JP2004067423A - Press forming method, forming mold for press forming, press forming apparatus, and method and apparatus for manufacturing glass substrate - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主として情報記録媒体のガラス基板の成形に好適なプレス成形方法に関する。また、プレス成形用金型、プレス成形装置、ガラス基板の製造方法、ガラス基板の製造装置にも関する。
【0002】
【従来の技術】
情報記録媒体の一例である磁気ディスクの基板については、近時は、小型化、大容量化の要求とともに磁気ヘッドの低浮上化、高度な表面平滑性の要求の高まりがあり、旧来のアルミニウム基板に代わって、高剛性、高強度で、平滑化が容易なガラス基板が採用されている。その場合に、生産性が低く高価につく研磨法に代わって、光学素子の製造の分野におけるプレス成形法の技術を転用する動向がある。プレス成形法は、ガラス素材を加熱して軟化する工程、加圧成形する工程、冷却する工程を経ることにより、金型の高精度に平滑な成形面をガラス素材に転写するものであり、後加工の研磨を必要としない。そのため、高品質な上に安価で生産性が高い。プレス成形法は、光学素子製造の分野では既に実用化が図られているが、磁気ディスクなどの情報記録媒体用のガラス基板にそのまま単純に適用しても、小型化、薄型化、高記録密度化、高信頼性の面で充分に望ましい結果は得にくいのが実情である。
【0003】
プレス成形に用いる金型は、高温高圧状態でガラス材を繰り返し成形しても劣化しない特殊な金型が必要であり、種々の検討がなされている。プレス成形用の金型母材としては、超硬合金(タングステンカーバイド)や、サーメット、ジルコニア、炭化珪素その他のセラミックスが使用される。金型母材の保護と離型時のガラス材粘着の防止のために、離型性、耐酸化性、耐反応性の良い保護膜がコーティングされるものが開発されている。
【0004】
例えば、特開平2−137914号公報では、超硬合金の表面に貴金属合金薄膜を設けたガラス成形用金型が提案されている。また、特開平8−151217号公報では、光学素子用金型についてであるが、超硬合金表面に硬質炭素膜、炭化水素膜を積層した金型が提案されている。いずれも良好な離型性を有するものの、金型母材として用いている超硬合金は焼結金属であるため、ミクロな欠陥を完全に防止することはできない。したがって、磁気ディスク用のガラス基板のプレス成形金型に求められる高精度な表面平滑性の要求には十分に応えることができない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、特開平11−147725号公報では、ミクロな欠陥を防止するため、金型母材として単結晶アルミナを用い、保護膜として貴金属合金薄膜を設けた金型が提案されている。しかしながら、最近の高密度記録の動きは、基板表面に対してさらなる高精度な平滑性を要求しており、上記従来の金型を用いるプレス成形では十分に応えることができなくなってきている。すなわち、高精度な平滑性が求められる磁気ディスク用のガラス基板のプレス成形においては、金型と成形ガラスとの離型が困難になるとともに、従来では問題にならなかったような表面の荒れも課題となってきた。
【0006】
本発明は、このような事情に鑑みて創案されたものであり、プレス成形品、特に情報記録媒体用のガラス基板について、平滑性に優れ、表面の荒れのない高品質な成形が行えるようにすることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、プレス成形方法について本発明は次のような手段を講じる。すなわち、第1の工程において、金型のプレス面に離型膜を形成し、第2の工程において、前記離型膜が形成された前記金型を用いてプレス成形を行い、第3の工程において、前記金型のプレス面からプレス成形後の前記離型膜を除去し、第4の工程において、前記プレス面の再生のために前記第1の工程に回帰する。第4の工程は、第3の工程の終了と第1の工程の開始とをサイクリックに結ぶものである。
【0008】
この方式は、次のようなコンセプトに基づいている。プレス成形に用いる金型において、金型母材を保護したり、離型時において素材の粘着を防止するために、プレス面に離型膜を形成する。この離型膜について、構成材料、性状、金型母材との相関関係などにつき、様々な研究がなされてきた。しかし、プレス成形を繰り返すうちに、ある要件については満足できるものの、他の要件については満足しにくい。すべての要件を充分に満足させる離型膜の開発は非常にむずかしいのが実情である。そこで、本発明では、発想の転換を行った。従来の考え方は、すべての要件あるいは大部分の要件を満足することを所望の期間にわたって持続できる金型構成を探求することであった。これに対して、本発明は、初期に満たしていた要件の全てまたは大部分を初期態様のまま持続しなければならないという束縛された考え方から脱却する。すなわち、発想を逆転し、プレス成形に供することで生じる離型膜の劣化は許容することとし、その劣化による悪影響が波及しないように、恒常的に離型膜の再生を繰り返すという方針を採ることにした。
【0009】
プレス成形の都度、金型プレス面に離型膜を形成し、プレス成形を実施しては、その都度、離型膜を除去し、改めて離型膜を形成する。すなわち、離型膜を再生するのである。プレス成形の都度、新生の離型膜を有する金型を用いてプレス成形を実施するので、常に最善の離型性のもとでプレス成形を行うことができる。
【0010】
別の考え方として、プレス成形の所定のショット回数ごとに顕微鏡(原子間力顕微鏡)で離型膜の膜性状を検査し、その検査結果に基づいて金型を新しいものと交換するか否かを決めるという方式も考えられる。また、検査結果に基づいて離型膜の除去および再生の時機を決めるという方式も考えられる。しかしながら、顕微鏡で離型膜の膜性状を検査することは、多大な時間・労力を要する上に設備が大掛かりになり、それでいて検査および判断が非常にむずかしい。
【0011】
本発明では、離型膜の膜性状の顕微鏡検査に必ずしも頼ることなく、プレス成形しては、その都度、離型膜を除去および再生する。検査および判断した上で離型膜を除去・再生するのではなく、検査・判断は省いて、ある決まったルーチンとして離型膜の除去・再生を行う。これで、離型膜の性状は常に最善を維持する。顕微鏡による検査・判断を省略することで、設備負担の軽減、時間・労力の削減も図られる。また、離型膜を再生することで、金型の劣化を抑制する効果もあり、高価な金型の寿命延長にも有利に作用する。全体として、プレス成形品を安価に大量に製造する上で有効である。
【0012】
なお、上記において、離型膜の除去・再生は、プレス成形実施の1回ごとに行うのを原則とする。ただし、条件が許すのであれば、プレス成形実施の所定回数(2回以上)ごとに行うのでもよい。
【0013】
上記において、前記離型膜をカーボン膜とするときに、本発明は非常に有効となる。カーボン膜は離型性に非常に優れている反面、成形を繰り返すうちに脱離が生じる可能性もあり、脱離したものが微細なパーティクルとなってガラス基板などの成形対象に付着し、成形対象の面精度の劣化を招く。また、成形温度が高温になるほど、窒素などの不活性ガス雰囲気下での成形においても成形室内に残存している微量な酸素とカーボンが反応し、二酸化炭素を生成する。その結果、カーボン膜は徐々に侵食されてしまう。すなわち、カーボン膜は、優れた離型性と高度の面精度との二者間においてトレードオフの関係にある。この場合に、上記の離型膜再生の本発明を適用して、成形の都度、カーボン膜の再生を行えば、離型性と高度面精度の両者を共に満足させることができる。
【0014】
上記において、前記カーボン膜の形成については、炭化水素化合物のプラズマ処理によって形成することができる。あるいは、カーボンまたはグラファイトをターゲットとするスパッタ処理によってカーボン膜を形成するのでもよい。
【0015】
また、上記において、前記金型については、少なくとも前記プレス面を有する金型部分が単結晶アルミナで構成されている金型を用いることが好ましい。この場合、金型の全体が単結晶アルミナで構成されていてもよいし、あるいは、少なくともプレス面を含む金型部分が単結晶アルミナで構成され、残りの部分は単結晶アルミナ以外の材料で構成されていてもよい。そして、後者の場合に、分離・組み立て方式とするのが好ましい。すなわち、プレス面を含む中型と、前記中型をその背面側から支持する金型本体とを含み、前記中型が前記金型本体に対して装着および分離自在な状態に金型を構成する。
【0016】
単結晶アルミナは、焼結金属である超硬合金に比べてミクロな欠陥が生じにくい。しかし、単結晶アルミナの平滑性にはおのずと一定の限界があり、表面荒れや離型困難などの課題がある。このような単結晶アルミナにカーボン膜などの離型膜を形成し、その離型膜を成形の都度、再生するようにすることにより、全体として、非常に優れた離型性および表面精度を確保することができる。
【0017】
金型を中型と金型本体とに分けておくと、離型膜の除去および再度の離型膜形成において、中型だけの取り扱いが可能となり、金型全体を取り扱う場合に比べて、重量および体積が小さくてすみ、作業性の向上を図ることができる。
【0018】
上記において、前記離型膜の除去については、いくつかの態様がある。
【0019】
(1)離型膜に対する加熱処理によって離型膜を除去する。この場合、加熱は、離型膜のみに対してでもよいし、金型本体、中型に対してでもよい。
【0020】
(2)離型膜に対する酸素プラズマ処理によって離型膜を除去する。
【0021】
(3)離型膜に対する不活性ガスによるスパッタ処理で離型膜を除去する。
【0022】
(4)離型膜を酸(硫酸や硝酸など)に浸漬することによって離型膜を除去する。この場合、超音波を併用してもよい。
【0023】
上記(1)〜(4)のうちの任意の処理を組み合わせてもよい。
【0024】
また、上記において、前記の離型膜の除去を行う第3の工程に先立って、前記の金型を用いてプレス成形を行う第2の工程の後に、金型のプレス面を洗浄することが好ましい。金型のプレス面には、成形過程で成形対象から溶出した成分が残存していることがある。成形対象がガラス材の場合は、溶出したアルカリ成分が残存する。プレス面を洗浄することにより、プレス面に残存している溶出成分を取り除く。これにより、離型膜の除去を良好化する。例えば、単結晶アルミナのプレス面に残存するカーボン膜の除去を容易に行うことができる。洗浄剤としては、水や酸性水溶液を用いる。
【0025】
ガラス基板の製造方法についての本発明は、金型の平滑なプレス面に成形対象としてガラス材を載置し、前記ガラス材を軟化点付近まで加熱した後、加圧成形し、その後冷却し、ガラス基板を製造する方法において、上記いずれかのプレス成形方法を適用するものである。この方法によれば、離型膜(カーボン膜)を再生することで、高価な金型の劣化を抑制して寿命延長を図りつつ、表面平滑性および平坦性に高度に優れたガラス基板を安価に製造することができる。このガラス基板は、磁気ディスク(ハードディスク)などの情報記録媒体の基板として非常に有用である。
【0026】
本発明はまたプレス成形用金型に関するものでもある。上記した課題を解決する上で有効な本発明によるプレス成形用金型は、プレス面を有する中型と、前記中型をその背面側から支持する金型本体とから構成され、前記中型が前記金型本体に対して装着および分離自在に構成されている。そして、前記中型が単結晶アルミナを主材とする材料で構成され、そのプレス面にカーボン膜からなる離型膜が形成されている。この金型を用いてプレス成形を行うと、表面精度に優れたプレス成形品を得ることができる。特に、この金型を用いてガラス基板のプレス成形を行うと、表面平滑性・平坦性に優れたガラス基板を得ることができる。中型を単結晶アルミナとしているのでミクロな欠陥が発生しにくく、さらに、カーボン膜を形成しているので離型性および表面精度に優れ、金型本体と中型とに分けているので、成形後のカーボン膜除去およびカーボン膜再形成が行いやすく、トータルとしてプレス成形品、ガラス基板の製造を効率良く行うことができる。
【0027】
上記のプレス成形用金型において、前記離型膜については、炭化水素化合物のプラズマ処理膜や、カーボンまたはグラファイトのスパッタ処理膜などが好ましい。また、前記金型本体については、超硬合金製のものが好ましい。
【0028】
本発明はまたプレス成形装置またはガラス基板の製造装置に関するものであり、一対のプレス成形用金型と、前記一対のプレス成形用金型を押圧する押圧機構とを備え、前記一対のプレス成形用金型のうち少なくとも一方が上記のいずれかのプレス成形用金型とされているものである。これにより、上記同様に、離型性および表面精度に優れたプレス成形品、ガラス基板を効率良く製造することができる。また、離型膜(カーボン膜)を再生することで、高価な金型の劣化を抑制して寿命延長を図ることができる。この装置は、磁気ディスク(ハードディスク)などの情報記録媒体のガラス基板の製造に非常に有用である。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による情報記録媒体用のガラス基板をプレス成形で製造する方法について、その実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【0030】
図1は本発明の情報記録媒体用のガラス基板の製造工程を示すフローチャートである。第1の工程S1は離型膜の形成を行う工程であり、第2の工程S2は金型の組み立てを行う工程であり、第3の工程S3はプレス成形法によるガラス成形の工程であり、第4の工程S4は成形されたガラス基板と中型の取り出しの工程であり、第5の工程S5は残存離型膜の除去の工程である。
【0031】
あらかじめ、プレス成形用金型について図3を用いて説明する。図3(a)はプレス成形用金型100をその構成要素に分解して示す断面図、図3(b)は金型100を組み立てた状態で示す断面図である。この金型100は、金型本体11と、プレス面を含む中型12と、胴型13の3つの構成要素からなる。中型12は、単結晶アルミナを主材とする材料で平坦な円柱状に構成され、そのプレス面にカーボン膜からなる離型膜14が形成されている。金型本体11は、超硬合金(タングステンカーバイト)からなる円柱状の母材の外周部に段部15が形成され、中心部に軸方向に貫通する真空引き孔16が形成されている。胴型13は、超硬合金(タングステンカーバイト)から円筒状に構成され、段部15に嵌入する状態で金型本体11に載置支持するように構成されている。離型膜14を有する中型12は、その背面側から金型本体11によって支持されるとともに、外周面を胴型13の内周面によって位置規制される。中型12は金型本体11に対して装着および分離自在である。胴型13も同様である。図3(b)の組み立て状態で、胴型13の上面13aは中型12の離型膜14よりも少し高い位置にある。この落差がプレス成形すべきガラス基板の厚みに相当する。このように、胴型13は、金型本体11と中型12との芯合わせの機能と、ガラス基板の厚さ規制の機能とを備えている。この金型100は、プレス成形に供せられる前段階の適当な時点で、真空引き孔16から真空吸引がかけられ、中型12が金型本体11に密着吸引される。一旦、真空吸着かかけられると、真空吸引を解除しても、真空引き孔16からの気体加圧が行われない限り、真空吸着状態は保持される。なお、仕様によっては、真空引き孔16のないタイプでもよい。
【0032】
離型膜14については、炭化水素化合物のプラズマ処理膜、カーボンまたはグラファイトのスパッタ処理膜が好適である。金型本体11や胴型13の超硬合金については、強化のためのクロム(Cr)などを混入してもよい。
【0033】
以下、図1のフローチャートに示す工程順に従って説明する。
【0034】
(1)第1の工程S1…[離型膜の形成]
離型膜の形成については、プラズマ処理やスパッタ処理などが適用できる。具体的には、炭化水素化合物のプラズマ処理によるカーボン膜の形成がある。この場合、炭化水素化合物としては、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサン、オクタンなどの脂肪族炭化水素化合物が使用でき、また、ベンゼン、トルエンなどの芳香族炭化水素化合物が使用できる。また、カーボン、グラファイトをターゲットとするスパッタ法により形成されるカーボン膜の形成がある。上記において、カーボン膜の付着強度を上げるためにバイアス電圧をかけてもよい。カーボン膜の性状については、アモルファスカーボンが適当であるが、炭化水素膜との混成であってもよい。
【0035】
カーボン膜の厚みについては、5〜50nmが好ましく、さらに好ましくは5〜20nmである。5nm未満では離型効果のバラツキが多く、また、50nmを超えると、離型効果は得られるものの、カーボン膜の部分的な剥離が生じ、成形したガラス基板の表面に欠陥の発生する(表1参照)。
【0036】
図2は、離型膜としてのカーボン膜を成膜するためのプラズマ処理装置を示す。図中、1は真空チャンバー、2は排気口、3は真空ポンプ、4はガス導入口、5,5は対向する網状電極、6aは搬入側の移載機、6bは搬出側の移載機、7aは搬入処理室、7bは搬出処理室、8a,8bは単結晶アルミナ基板である。
【0037】
真空ポンプ3を駆動して排気口2を介して排気することにより真空チャンバー1を超低圧に減圧する。次いで、ガス導入口4を介して真空チャンバー1内に炭化水素ガスを導入する。対向する網状電極5,5間に高周波電力を印加し、炭化水素化合物のプラズマを発生させる。搬入処理室7aに単結晶アルミナ基板8aを装入し、搬入側の移載機6aによって単結晶アルミナ基板8aを真空チャンバー1内に搬入し、網状電極5,5の箇所に位置決めする。位置決めされた単結晶アルミナ基板8aの表面には、炭化水素化合物のプラズマによりカーボン膜が形成される。カーボン膜が形成された単結晶アルミナ基板8bを搬出側の移載機6bにより搬出処理室7bを介して外部に取り出す。カーボン膜(離型膜)が形成された単結晶アルミナ基板8bが図3の中型12に相当する。
【0038】
なお、上記において、カーボン膜の成膜中は、真空チャンバー1の超低圧状態を保つために、搬入処理室7a、搬出処理室8bの図示しないドアを順序良く開閉する。なお、カーボン膜の形成は上記に限定されるものではない。
【0039】
(2)第2の工程S2…金型の組み立て
図3に示すように、カーボン膜(離型膜)14が形成された単結晶アルミナ製の中型12を金型本体11に装着して、プレス成形用金型100の組み立てを行う。この場合に、胴型13に対して中型12を鎮め込む。これにより、金型本体11に対する中型12の芯合わせを行う。また、成形されるべきガラス基板の厚みが中型12と胴型13との落差で決められる。真空引き孔16を介して真空引きを行うことにより、中型12を金型本体11に密着させる。
【0040】
単結晶アルミナ製の中型12の表面に対して一般的な表面研磨法を用いて研磨を施すことにより、高密度磁気記録に必要な表面平滑性が得られる。表面粗さとしては、Ra(中心線平均粗さ)で0.1〜0.5nmが適当であり、Ra=0.1〜0.2nmがより好ましい。
【0041】
金型本体11については、成形時の高温、高荷重での繰り返しによる変形を防止するため、高温時の機械強度ができるだけ高いものがよく、タングステンカーバイト(WC)を主成分とする超硬合金が最適である。またその表面は、単結晶アルミナ基板11を載置したときに良好な密着性を得るため、1μm以下の平坦性を有するものが望ましい。
【0042】
図4は、本発明の実施の形態におけるプレス成形装置の構成を示す模式図である。
【0043】
21はプレス室、22はシリンダを利用した押圧機構、23aは上側の押圧子、23bは下側の押圧子、24aは上側のヒータブロック、24bは下側のヒータブロック、25は上側の金型、26はガス導入口、27aは搬入処理室、27bは搬出処理室、28aは搬入側の移載機、28bは搬出側の移載機である。下側の押圧子23bの上にヒータブロック24bが載置固定され、ヒータブロック24b上に図3で示した金型100が載置固定されている。この金型100は、金型本体11、中型12、胴型13からなる。ヒータブロック24bの上に金型本体11が載置固定され、金型本体11に胴型13が嵌合され、胴型13に落とし込むようにして中型12が金型本体11の上に載置されている。
【0044】
平滑な表面にカーボン膜を形成した単結晶アルミナ製の中型12を、図示しない金型供給室から図示しない移載機を用いて金型本体11の上に載置し、金型100の組み立てを行う。
【0045】
(3)第3の工程S3…[ガラス成形]
上記の(2)の処理に引き続いて、ガス導入口26より窒素ガスをプレス室21内に導入して、プレス室21内を窒素雰囲気とする。搬入側の移載機28aにガラス材29を吸着保持し、搬入処理室27aからプレス室21にガラス材29を搬入し、金型100における中型12のプレス面上に載置する。このプレス面には離型膜としてのカーボン膜が形成されている。次いで、上下のヒータブロック24a,24bに通電して上下の金型25,100を加熱しながら、押圧機構(シリンダ)22を伸張させて上側の金型25を下降させ、下側の金型100の上に載置してあるガラス材29の上に上側の金型25のプレス面を押圧する。この状態で、ガラス材29の昇温を待つ。すなわち、ガラス材29がそのガラス軟化点温度付近まで昇温されるのを待って、押圧機構22をさらに伸張し、上側の金型25を胴型13の上面13aに当接するまで下降し、上下の金型25,100によりガラス材29に所定の圧力を印加する。この加熱加圧を所定時間にわたって継続することにより、胴型13によって厚み規制した状態で、ガラス材29をプレス成形する。加熱加圧されたガラス材29は軟化し上下の金型25,100の表面形状が転写される状態に成形され、ガラス基板29aとなる。
【0046】
次に、上下のヒータブロック24a,24bに対する通電を停止し、上下の金型25,100およびガラス基板29aをガラス転移点温度以下まで冷却する。所定温度までの冷却が行われると、押圧機構22を収縮させて上側の金型25を上昇させ、型開きする。
【0047】
上記において、プレス室21の窒素雰囲気は、少なくともガラス材29に対する加熱加圧の開始初期から所要の冷却が完了するまで継続する。窒素雰囲気中でプレス成形を行うことにより、離型膜(カーボン膜)の酸化を防止し、離型効果を安定に発揮させる。
【0048】
(4)第4の工程S4…[ガラス基板と中型の取り出し]
次いで、搬出側の移載機28bを用いて、成形されたガラス基板29aを搬出処理室27bに移載し、さらに外部に取り出す。このガラス基板29aは、磁気ディスク用のガラス基板に必要な高精度な平滑性を有している。
【0049】
一方、金型本体11の上に載置されていた単結晶アルミナ製の中型12を図示しない移載機で取り出す。
【0050】
(5)第5の工程S5…[残存離型膜の除去]
プレス成形に供した単結晶アルミナ製の中型12を取り出した上で、この中型12の表面にあるカーボン膜(離型膜)14を除去する。
【0051】
このカーボン膜14の除去においては、前もって、水または酸性水溶液を用いて中型12のプレス面を洗浄することが望ましい。あらかじめ洗浄しておくと、カーボン膜14の除去が良好になる。中型12のプレス面には、成形過程でガラス材29より溶出したアルカリ成分が残存している場合がある。この場合、水または酸性水溶液を用いてプレス面を洗浄することにより、前記の溶出したアルカリ成分を取り除くことができる。アルカリ成分をあらかじめ除去した上でカーボン膜14の除去を行えば、中型12のプレス面に残存するカーボン膜14の除去がより容易になり、除去効果が安定になる。
【0052】
カーボン膜14の除去においては、加熱処理、酸素プラズマ処理、不活性ガスによるスパッタ処理、酸への浸漬処理のうち少なくとも1種類以上の処理を行う。これにより、中型12の表面に残存するカーボン膜14を完全に除去する。
【0053】
加熱処理による離型膜除去の場合は、空気中で300℃以上、より好ましくは400℃以上の加熱を行う。処理時間については、実験的に決めることができる。長くても5時間程度である。
【0054】
酸素プラズマ処理により離型膜除去の場合は、0.001〜1Torrの圧力が適当であり、パワー密度、処理時間などについては、使用する装置に応じて実験的に決めることができる。
【0055】
不活性ガスによるスパッタ処理での離型膜除去の場合は、アルゴンガス導入下で、1×10−2〜1×10−4Torrの圧力が適当であり、パワー密度、処理時間などについては、使用する装置に応じて実験的に決めることができる。
【0056】
酸への浸漬処理による離型膜除去の場合は、硫酸、硝酸などの酸を用いることができる。酸の濃度、浸漬時間については、実験的に決めることができる。また、効率を上げるため、超音波を併用してもよい。
【0057】
近時においては、高記録密度の磁気ディスク用のガラス基板として、図5(a),(b)に示すように、裏面側中央部に軸状の凸部31aを一体的に有するディスク状のガラス基板31が用いられるようになってきている。
【0058】
このような軸状凸部付きのガラス基板を成形するための金型の概略構成を図6に示す。図6(a)は平面図、図6(b)は断面図、図6(c)は斜視図である。この中型41は、その中心部に上下に貫通する貫通孔41aが形成されている。中型41は、金型本体11の上に載置されるが、貫通孔41aにおいて金型本体11の成形面11aが露出している。中型41の表面、貫通孔41aの内周面、貫通孔41aにおいて露出する成形面11aに対してカーボン膜が形成されている。貫通孔41aは、ガラス基板31における軸状凸部31aを成形するためのものである。
【0059】
以下、本発明のガラス基板の製造方法の具体例について、比較例と対比しながら説明する。
【0060】
(実施例1)
サンプル1として、表面粗さRa=0.2nmの単結晶アルミナ製の中型12のプレス面に対して離型膜14を形成するに、ブタンのプラズマ処理を実施し、表面に厚さ10nmのアモルファスカーボンと炭化水素の混合膜からなるカーボン膜を形成した。カーボン膜を形成した中型を図4のプレス成形装置における金型本体11の上に載置した。
【0061】
次いで、搬入側の移載機28aにより碁石状のアルミノシリケート系のガラス材29を中型12のプレス面上に載置した。上下のヒータブロック24a,24bへの通電昇温によりガラス材29をそのガラス軟化点の600℃まで加熱した。600℃に達した後、3000kgfの荷重をかけ、所定の厚さまでプレス成形した。次いで、450℃まで冷却した。その後、荷重を30kgfまで低下させ、室温まで冷却した。そして型開きして得られたガラス基板29aを取り出した。
【0062】
次いで、成形に供した後の単結晶アルミナ製の中型12を取り出し、水洗した後、酸素プラズマを用いて200Wで10分の条件でプラズマ処理を行い、再生処理を実施した。
【0063】
上記のプレス成形、離型膜除去・再生のサイクルを100回繰り返した後、単結晶アルミナ製の中型12のプレス面を評価した。そのプレス面の表面粗さRaは、初期と同じRa=0.2nmを示していた。また、表面の欠陥は、初期に比べて増加していなかった。また、得られたガラス基板29aの表面は、中型12の平滑な表面を転写しており、その表面粗さはRa=0.2nmで、欠陥の増加は見られなかった。
【0064】
また、カーボン膜の形成条件を変更して別のサンプルでテストした。具体的には、カーボン膜の厚みを変えたサンプル、形成方法を変更したサンプル、カーボン膜の除去条件を変更したサンプル、前処理条件を変更したサンプルにつき、同様の条件でガラス基板を成形した。サンプル2〜6である。詳細条件は表1に示すとおりである。
【0065】
サンプル2においては、上記同様のプラズマ処理により厚さ40nmのカーボン膜を形成し、プレス成形の後に0.2規定の硫酸で洗浄を行い、カーボン膜の除去は400℃、2時間の加熱処理で行った。
【0066】
サンプル3においては、上記同様のプラズマ処理により厚さ5nmのカーボン膜を形成し、プレス成形の後に洗浄は行わず、カーボン膜の除去はアルゴンスパッタで行った。
【0067】
サンプル4においては、スパッタ処理により厚さ20nmのカーボン膜を形成し、プレス成形の後に水で洗浄を行い、カーボン膜の除去は1規定の硫酸への浸漬で行った。
【0068】
サンプル5においては、スパッタ処理により厚さ50nmのカーボン膜を形成し、プレス成形の後に0.2規定の硫酸で洗浄を行い、カーボン膜の除去はアルゴンスパッタで行った。
【0069】
サンプル6においては、スパッタ処理により厚さ10nmのカーボン膜を形成し、プレス成形の後に洗浄は行わず、カーボン膜の除去は300℃、4時間の加熱処理で行った。
【0070】
また、比較例としてカーボン膜を形成しないサンプル、カーボン膜の除去をしないで成形を継続したサンプルについて、実施例と同様にして、ガラス基板を作製した。サンプル7〜10である。
【0071】
以上のサンプル1〜10につき得られた磁気ディスク用の軸付きガラス基板の平滑面側の表面をAFM(原子間力顕微鏡)により50μm角で5箇所測定し、その表面粗さ(SRa)の平均を算出し、評価した。また、光学式の欠陥検出装置にて、ガラス基板の表面の欠陥の増加を調べた。表1にこの結果を示す。
【0072】
【表1】
表1から分かるように、本発明に基づく方法で製造したガラス基板(サンプル1〜6)においては、カーボン膜を再生する方式で100回成形した後においても、金型プレス面の表面粗さが転写されており、微小な欠陥の増加は観察されなかった。
【0073】
しかし、カーボン膜を形成しなかったサンプル7においては、初期からガラス付着が発生し、割れが発生したため正常なガラス基板を得ることができなかった。
【0074】
また、カーボン膜の厚みが薄いサンプル9においては(厚さ3nm)、金型プレス面の表面粗さを転写しているものの、ミクロな欠陥の増加が観察され、成形回数が増すに従って表面欠陥が増加し、ガラス付着による割れに発展した。
【0075】
カーボン膜の厚みが厚いサンプル10においては(厚さ60nm)、表面粗さは金型プレス面を転写しているものの、初期からカーボン膜の剥離が原因とみられる粗大欠陥が発生した。
【0076】
また、初回のみカーボン膜を形成したサンプル8は、成形回数が増加するに従って表面粗さが増加し、3ショット目より表面欠陥が増加し、5ショット目にはガラス付着によるガラス割れが発生した。
【0077】
また、本発明の実施例であるサンプル1〜6においては、カーボン膜の除去方法について、加熱処理、酸素プラズマ処理、不活性ガスによるスパッタ処理、酸への浸漬処理についても有効であることが分かる。100回成形の後において、初期と同じ表面粗さ0.2nmを保っており、表面欠陥の増加が認められなかった。
【0078】
さらに、水または酸性水溶液の洗浄による前処理により、その効果がより安定に発揮されていた。
【0079】
以上のように本発明を適用した磁気ディスク用のガラス基板の製造方法によれば、高精度な平滑性を有するガラス基板を、ミクロな欠陥の増加なしに製造することができる。また、金型は長期間の繰り返し使用においても劣化を防止することができる。全体として、高品質な磁気ディスク用のガラス基板を安価かつ大量に提供することができる。
【0080】
【発明の効果】
本発明によれば、プレス成形の都度、離型膜を再生するので、常に最善の離型性のもとでプレス成形を行うことができる。顕微鏡による検査・判断は必ずしも必要でなく、設備負担の軽減、時間・労力の削減が図られる。さらに、離型膜の再生により金型の劣化を抑制し、高価な金型の寿命を延ばすことができる。全体として、表面平滑性・平坦性に優れたプレス成形品を安価に大量に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態における情報記録媒体用のガラス基板の製造工程を示すフローチャート
【図2】本発明の実施の形態における離型膜(カーボン膜)を成膜するためのプラズマ処理装置を示す概略構成図
【図3】本発明の実施の形態におけるプレス成形用金型をその構成要素に分解して示す断面図と組み立てた状態で示す断面図
【図4】本発明の実施の形態におけるプレス成形装置の示す概略構成図
【図5】本発明の実施の形態における軸状凸部付きのガラス基板を示す側面図および斜視図
【図6】本発明の実施の形態におけるプレス成形装置の中型を示す平面図、断面図および斜視図
【符号の説明】
S1 離型膜の形成の工程
S2 金型の組み立ての工程
S3 ガラス成形の工程
S4 ガラス基板・中型の取り出しの工程
S5 残存離型膜の除去の工程
1 真空チャンバー
4 ガス導入口
5 網状電極
8a,8b 単結晶アルミナ基板
11 金型本体
12 中型
13 胴型
14 離型膜(カーボン膜)
21 プレス室
22 押圧機構(シリンダ)
24a,24b ヒータブロック
25 上側の金型
29 ガラス材
29a ガラス基板
31 ガラス基板
31a 軸状凸部
41 中型
41a 貫通孔
100 プレス成形用金型[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention mainly relates to a press molding method suitable for molding a glass substrate of an information recording medium. The present invention also relates to a mold for press molding, a press molding apparatus, a method for manufacturing a glass substrate, and an apparatus for manufacturing a glass substrate.
[0002]
[Prior art]
As for the magnetic disk substrate, which is an example of an information recording medium, recently, there has been a demand for a smaller magnetic head, a higher flying height and a higher demand for a high surface smoothness together with a demand for a smaller size and a larger capacity. Instead, a glass substrate having high rigidity, high strength and easy smoothing is used. In such a case, there is a trend to divert the technology of the press molding method in the field of the production of optical elements, instead of the polishing method which is low in productivity and expensive. The press molding method involves transferring the smooth molding surface of the mold to the glass material with high precision by passing through the steps of heating, softening, pressing and cooling the glass material. No polishing is required. Therefore, it is inexpensive and has high productivity in addition to high quality. The press molding method has already been put to practical use in the field of optical element manufacturing. However, even if it is simply applied to a glass substrate for an information recording medium such as a magnetic disk as it is, it can be made smaller, thinner, and has a higher recording density. In fact, it is difficult to obtain sufficiently desirable results in terms of reliability and high reliability.
[0003]
As a mold used for press molding, a special mold that does not deteriorate even when a glass material is repeatedly molded in a high temperature and high pressure state is required, and various studies have been made. As a mold base material for press molding, a cemented carbide (tungsten carbide), cermet, zirconia, silicon carbide and other ceramics are used. In order to protect the mold base material and prevent sticking of the glass material at the time of mold release, a material coated with a protective film having good releasability, oxidation resistance and reaction resistance has been developed.
[0004]
For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-137914 proposes a glass forming mold in which a noble metal alloy thin film is provided on the surface of a cemented carbide. Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-151217 discloses a mold for an optical element, in which a hard carbon film and a hydrocarbon film are laminated on the surface of a cemented carbide. Although both have good mold release properties, since the cemented carbide used as the mold base material is a sintered metal, micro defects cannot be completely prevented. Therefore, it is not possible to sufficiently meet the demand for high-precision surface smoothness required for a press mold for a glass substrate for a magnetic disk.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In order to prevent micro defects, Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-147725 proposes a mold using single crystal alumina as a mold base material and providing a noble metal alloy thin film as a protective film. However, the recent movement of high-density recording requires even higher precision smoothness on the substrate surface, and it has become impossible to sufficiently respond to the press molding using the above-described conventional mold. That is, in press molding of a glass substrate for a magnetic disk that requires high precision smoothness, it is difficult to release the mold and the molded glass, and the surface roughness, which was not a problem in the past, is also high. It has been an issue.
[0006]
The present invention has been made in view of such circumstances, and is intended to be able to perform high-quality molding with excellent smoothness and without surface roughness, for a press-formed product, particularly a glass substrate for an information recording medium. The purpose is to do.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, the present invention employs the following means for a press molding method. That is, in a first step, a release film is formed on a press surface of a mold, and in a second step, press molding is performed using the mold on which the release film is formed, and a third step is performed. In the method, the release film after the press molding is removed from the press surface of the mold, and in the fourth step, the process returns to the first step to regenerate the press face. The fourth step cyclically connects the end of the third step and the start of the first step.
[0008]
This method is based on the following concept. In a mold used for press molding, a release film is formed on a press surface in order to protect a mold base material and prevent sticking of the material at the time of release. Various studies have been made on the release film with respect to the constituent materials, properties, correlation with the mold base material, and the like. However, while the press molding is repeated, some requirements can be satisfied, but other requirements are hardly satisfied. The reality is that it is very difficult to develop a release film that satisfies all requirements. Therefore, in the present invention, the idea has been changed. The conventional philosophy has been to seek a mold configuration that can sustain all or most of the requirements for a desired period of time. In contrast, the present invention departs from the bound notion that all or most of the requirements that were initially met must be maintained in their initial form. In other words, the idea of reversing the idea and permitting the release film to be subjected to press molding is tolerated, and a policy of constantly regenerating the release film so that the adverse effects of the degradation do not spread is adopted. I made it.
[0009]
Each time press molding is performed, a release film is formed on the die pressing surface, and the press molding is performed. Each time, the release film is removed and a release film is formed again. That is, the release film is regenerated. Since press molding is performed using a mold having a new release film each time press molding is performed, press molding can always be performed with the best releasability.
[0010]
Another idea is to inspect the film properties of the release film with a microscope (atomic force microscope) every predetermined number of shots of press molding, and decide whether to replace the mold with a new one based on the inspection result. A method of deciding is also conceivable. It is also conceivable to determine the timing for removing and regenerating the release film based on the inspection result. However, inspecting the film properties of the release film with a microscope requires a great deal of time and labor and requires large-scale equipment, and yet it is very difficult to inspect and judge.
[0011]
In the present invention, each time the press-molding is performed without necessarily relying on the microscopic inspection of the film properties of the release film, the release film is removed and regenerated. Instead of removing and regenerating the release film after the inspection and determination, the inspection and determination are omitted and the removal and regeneration of the release film are performed as a fixed routine. In this way, the properties of the release film always maintain the best. By omitting the inspection / judgment using a microscope, the burden on equipment can be reduced, and time and labor can be reduced. In addition, the regeneration of the release film has an effect of suppressing the deterioration of the mold, and advantageously works to extend the life of the expensive mold. As a whole, it is effective in mass-producing press-formed products at low cost.
[0012]
In the above description, the removal and regeneration of the release film is basically performed each time press molding is performed. However, if conditions permit, it may be performed every predetermined number of times (two or more times) of press forming.
[0013]
In the above, when the release film is a carbon film, the present invention is very effective. While the carbon film has excellent mold release properties, it can desorb during repeated molding, and the desorbed particles become fine particles that adhere to the molding target such as a glass substrate and form. The surface accuracy of the object is degraded. Also, as the molding temperature increases, even in molding under an inert gas atmosphere such as nitrogen, a trace amount of oxygen remaining in the molding chamber reacts with carbon to generate carbon dioxide. As a result, the carbon film is gradually eroded. That is, the carbon film is in a trade-off relationship between the two, that is, excellent releasability and high surface accuracy. In this case, if the carbon film is regenerated each time molding is performed by applying the above-described release film regenerating invention, both the releasability and the high surface accuracy can be satisfied.
[0014]
In the above, the carbon film can be formed by plasma treatment of a hydrocarbon compound. Alternatively, a carbon film may be formed by a sputtering process using carbon or graphite as a target.
[0015]
Further, in the above, it is preferable to use a mold in which at least the mold portion having the press surface is made of single-crystal alumina. In this case, the entire mold may be made of single-crystal alumina, or at least the mold portion including the pressed surface is made of single-crystal alumina, and the rest is made of a material other than single-crystal alumina. It may be. Then, in the latter case, it is preferable to adopt a separation / assembly method. That is, the mold includes a middle mold including a press surface, and a mold body that supports the middle mold from the back side, and the middle mold forms the mold in a state where the middle mold can be attached to and separated from the mold body.
[0016]
Single crystal alumina is less likely to cause micro defects than a cemented carbide as a sintered metal. However, there is naturally a certain limit to the smoothness of single-crystal alumina, and there are problems such as surface roughness and difficulty in mold release. By forming a release film such as a carbon film on such single-crystal alumina and regenerating the release film each time it is formed, extremely excellent release properties and surface accuracy are secured as a whole. can do.
[0017]
If the mold is divided into a middle mold and a mold main body, it is possible to handle only the middle mold when removing the mold release film and forming the mold release film again. Can be reduced and workability can be improved.
[0018]
In the above, there are several modes for removing the release film.
[0019]
(1) The release film is removed by heating the release film. In this case, heating may be performed only on the release film, or may be performed on the mold body and the middle mold.
[0020]
(2) The release film is removed by oxygen plasma treatment on the release film.
[0021]
(3) The release film is removed by a sputtering process using an inert gas to the release film.
[0022]
(4) The release film is removed by immersing the release film in an acid (such as sulfuric acid or nitric acid). In this case, ultrasonic waves may be used together.
[0023]
Any of the above processes (1) to (4) may be combined.
[0024]
Further, in the above, prior to the third step of removing the release film, after the second step of performing press molding using the mold, the press surface of the mold may be washed. preferable. In some cases, components eluted from the molding object during the molding process remain on the pressing surface of the mold. When the object to be formed is a glass material, the eluted alkali component remains. The elution components remaining on the press surface are removed by washing the press surface. This improves the removal of the release film. For example, it is possible to easily remove the carbon film remaining on the pressed surface of single-crystal alumina. Water or an acidic aqueous solution is used as the cleaning agent.
[0025]
The present invention about the method of manufacturing a glass substrate, a glass material is placed as a molding target on a smooth press surface of a mold, and after heating the glass material to near a softening point, pressure molding, and then cooling, In the method for producing a glass substrate, any one of the above press molding methods is applied. According to this method, by regenerating the release film (carbon film), it is possible to suppress the deterioration of the expensive mold and extend the life thereof, and to reduce the cost of the glass substrate having excellent surface smoothness and flatness at a low cost. Can be manufactured. This glass substrate is very useful as a substrate for an information recording medium such as a magnetic disk (hard disk).
[0026]
The invention also relates to a press mold. The press molding die according to the present invention, which is effective in solving the above-described problems, includes a middle die having a press surface, and a die main body that supports the middle die from the back side, wherein the middle die is the die. It is configured to be freely attached to and detachable from the main body. The middle mold is made of a material mainly composed of single crystal alumina, and a release film made of a carbon film is formed on the pressed surface. When press molding is performed using this mold, a pressed product having excellent surface accuracy can be obtained. In particular, when a glass substrate is press-formed using this mold, a glass substrate having excellent surface smoothness and flatness can be obtained. Since the middle mold is made of single-crystal alumina, micro defects are unlikely to occur, and since the carbon film is formed, it has excellent mold release properties and surface accuracy, and is divided into a mold body and a middle mold. The removal of the carbon film and the re-formation of the carbon film can be easily performed, so that a press molded product and a glass substrate can be efficiently manufactured as a whole.
[0027]
In the mold for press molding, the release film is preferably a plasma-treated film of a hydrocarbon compound, a sputtered film of carbon or graphite, or the like. The mold body is preferably made of a cemented carbide.
[0028]
The present invention also relates to a press forming apparatus or a glass substrate manufacturing apparatus, comprising a pair of press forming dies, and a pressing mechanism for pressing the pair of press forming dies, the pair of press forming dies. At least one of the molds is any one of the molds for press molding described above. Thereby, similarly to the above, it is possible to efficiently manufacture a press-formed product and a glass substrate having excellent mold release properties and surface accuracy. Further, by regenerating the release film (carbon film), it is possible to suppress the deterioration of the expensive mold and extend the life. This apparatus is very useful for manufacturing a glass substrate of an information recording medium such as a magnetic disk (hard disk).
[0029]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of a method for manufacturing a glass substrate for an information recording medium by press molding according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0030]
FIG. 1 is a flowchart showing a process for manufacturing a glass substrate for an information recording medium according to the present invention. The first step S1 is a step of forming a release film, the second step S2 is a step of assembling a mold, the third step S3 is a glass forming step by a press forming method, The fourth step S4 is a step of removing the formed glass substrate and the middle mold, and the fifth step S5 is a step of removing the remaining release film.
[0031]
The press molding die will be described in advance with reference to FIG. FIG. 3A is a cross-sectional view showing the press-
[0032]
As the
[0033]
Hereinafter, description will be made in accordance with the order of steps shown in the flowchart of FIG.
[0034]
(1) First Step S1 [Formation of Release Film]
For the formation of the release film, a plasma treatment, a sputtering treatment, or the like can be applied. Specifically, there is a formation of a carbon film by plasma treatment of a hydrocarbon compound. In this case, as the hydrocarbon compound, an aliphatic hydrocarbon compound such as methane, ethane, propane, butane, pentane, hexane, and octane can be used, and an aromatic hydrocarbon compound such as benzene and toluene can be used. In addition, there is formation of a carbon film formed by a sputtering method using carbon or graphite as a target. In the above, a bias voltage may be applied to increase the adhesion strength of the carbon film. Regarding the properties of the carbon film, amorphous carbon is suitable, but it may be mixed with a hydrocarbon film.
[0035]
The thickness of the carbon film is preferably 5 to 50 nm, more preferably 5 to 20 nm. If it is less than 5 nm, the release effect varies widely, and if it exceeds 50 nm, although the release effect is obtained, the carbon film is partially peeled off and defects are generated on the surface of the formed glass substrate (Table 1). reference).
[0036]
FIG. 2 shows a plasma processing apparatus for forming a carbon film as a release film. In the figure, 1 is a vacuum chamber, 2 is an exhaust port, 3 is a vacuum pump, 4 is a gas inlet, 5 and 5 are opposing mesh electrodes, 6a is a transfer machine on the loading side, and 6b is a transfer machine on the unloading side. , 7a is a carry-in processing chamber, 7b is a carry-out processing chamber, and 8a, 8b are single crystal alumina substrates.
[0037]
By driving the
[0038]
In the above, during the formation of the carbon film, doors (not shown) of the carry-in
[0039]
(2) Second step S2: mold assembly
As shown in FIG. 3, a
[0040]
By polishing the surface of the single crystal
[0041]
The
[0042]
FIG. 4 is a schematic diagram illustrating a configuration of a press forming apparatus according to the embodiment of the present invention.
[0043]
21 is a press chamber, 22 is a pressing mechanism using a cylinder, 23a is an upper presser, 23b is a lower presser, 24a is an upper heater block, 24b is a lower heater block, and 25 is an upper mold. , 26 is a gas inlet, 27a is a carry-in processing chamber, 27b is a carry-out processing chamber, 28a is a transfer machine on the carry-in side, and 28b is a transfer machine on the carry-out side. The
[0044]
The
[0045]
(3) Third step S3 ... [glass molding]
Subsequent to the process (2), a nitrogen gas is introduced into the
[0046]
Next, the power supply to the upper and
[0047]
In the above, the nitrogen atmosphere in the
[0048]
(4) Fourth step S4 ... [Removal of glass substrate and middle mold]
Next, the formed
[0049]
On the other hand, the
[0050]
(5) Fifth Step S5 [Removal of Release Molding Film]
After taking out the
[0051]
In removing the
[0052]
In removing the
[0053]
In the case of removing the release film by heat treatment, heating is performed in air at 300 ° C. or higher, more preferably at 400 ° C. or higher. The processing time can be determined experimentally. It takes about 5 hours at most.
[0054]
In the case of removing the release film by the oxygen plasma treatment, a pressure of 0.001 to 1 Torr is appropriate, and the power density, the treatment time, and the like can be experimentally determined according to the apparatus used.
[0055]
In the case of removing the release film by sputtering with an inert gas, 1 × 10 -2 ~ 1 × 10 -4 The pressure of Torr is appropriate, and the power density, processing time, and the like can be experimentally determined according to the equipment used.
[0056]
In the case of removing the release film by immersion in an acid, an acid such as sulfuric acid or nitric acid can be used. The concentration of the acid and the immersion time can be determined experimentally. Further, ultrasonic waves may be used in combination to increase the efficiency.
[0057]
Recently, as a glass substrate for a magnetic disk having a high recording density, as shown in FIGS. 5A and 5B, a disk-shaped glass substrate integrally having a shaft-shaped
[0058]
FIG. 6 shows a schematic configuration of a mold for molding such a glass substrate having an axial projection. 6A is a plan view, FIG. 6B is a cross-sectional view, and FIG. 6C is a perspective view. The middle die 41 has a through
[0059]
Hereinafter, specific examples of the method for manufacturing a glass substrate of the present invention will be described in comparison with comparative examples.
[0060]
(Example 1)
As
[0061]
Next, a goshi-shaped
[0062]
Next, the single-crystal
[0063]
After repeating the above-described cycle of press molding and release film removal /
[0064]
Further, another sample was tested by changing the conditions for forming the carbon film. Specifically, a glass substrate was formed under the same conditions for a sample in which the thickness of the carbon film was changed, a sample in which the forming method was changed, a sample in which the removal condition of the carbon film was changed, and a sample in which the pretreatment condition was changed. Samples 2-6. Detailed conditions are as shown in Table 1.
[0065]
In
[0066]
In
[0067]
In sample 4, a carbon film having a thickness of 20 nm was formed by sputtering, washed with water after press molding, and the carbon film was removed by immersion in 1N sulfuric acid.
[0068]
In
[0069]
In sample 6, a carbon film having a thickness of 10 nm was formed by a sputtering process, washing was not performed after press molding, and the carbon film was removed by a heat treatment at 300 ° C. for 4 hours.
[0070]
In addition, as a comparative example, a glass substrate was manufactured in the same manner as in the example for a sample in which a carbon film was not formed and a sample in which molding was continued without removing the carbon film. Samples 7 to 10.
[0071]
The surface on the smooth surface side of the glass substrate with a shaft for a magnetic disk obtained for each of the
[0072]
[Table 1]
As can be seen from Table 1, in the glass substrate (
[0073]
However, in Sample 7 in which the carbon film was not formed, glass adhesion occurred from the beginning and cracks occurred, so that a normal glass substrate could not be obtained.
[0074]
In sample 9 having a thin carbon film (thickness: 3 nm), although the surface roughness of the die pressing surface was transferred, an increase in micro defects was observed, and the surface defects increased as the number of moldings increased. Increased and cracked due to glass adhesion.
[0075]
In the case of the sample 10 having a thick carbon film (thickness: 60 nm), although the surface roughness was transferred from the die pressing surface, a coarse defect which appeared to be caused by peeling of the carbon film occurred from the beginning.
[0076]
In sample 8 in which the carbon film was formed only in the first time, the surface roughness increased as the number of moldings increased, the surface defects increased from the third shot, and glass cracks occurred on the fifth shot due to glass adhesion.
[0077]
Further, in the
[0078]
Furthermore, the effect was more stably exhibited by pretreatment by washing with water or an acidic aqueous solution.
[0079]
As described above, according to the method for manufacturing a glass substrate for a magnetic disk to which the present invention is applied, a glass substrate having high-precision smoothness can be manufactured without increasing micro defects. In addition, the mold can prevent deterioration even after long-term repeated use. As a whole, high-quality glass substrates for magnetic disks can be provided inexpensively and in large quantities.
[0080]
【The invention's effect】
According to the present invention, the release film is regenerated every time the press molding is performed, so that the press molding can always be performed with the best releasability. Inspection / judgment using a microscope is not always necessary, and the burden on equipment can be reduced, and time and labor can be reduced. Further, the deterioration of the mold can be suppressed by regenerating the release film, and the life of the expensive mold can be extended. As a whole, a large number of press-formed products having excellent surface smoothness and flatness can be manufactured at low cost.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a flowchart showing a manufacturing process of a glass substrate for an information recording medium according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a plasma processing apparatus for forming a release film (carbon film) according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is an exploded cross-sectional view of a press-molding mold according to an embodiment of the present invention, and a cross-sectional view illustrating an assembled state.
FIG. 4 is a schematic configuration diagram illustrating a press molding apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIGS. 5A and 5B are a side view and a perspective view showing a glass substrate having a shaft-like convex portion according to an embodiment of the present invention. FIGS.
FIG. 6 is a plan view, a cross-sectional view, and a perspective view showing a middle size of a press forming apparatus according to the embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
S1 Step of forming release film
S2 Mold assembly process
S3 Glass molding process
S4 Process of taking out glass substrate and medium size
S5 Step of removing remaining release film
1 vacuum chamber
4 Gas inlet
5 Reticulated electrodes
8a, 8b Single crystal alumina substrate
11 Mold body
12 Medium
13 Body type
14 Release film (carbon film)
21 Press Room
22 Pressing mechanism (cylinder)
24a, 24b heater block
25 Upper mold
29 Glass material
29a glass substrate
31 glass substrate
31a axial convex
41 Medium
41a Through hole
100 Press Mold
Claims (19)
前記離型膜が形成された前記金型を用いてプレス成形を行う第2の工程と、
前記金型のプレス面からプレス成形後の前記離型膜を除去する第3の工程と、前記プレス面の再生のために前記第1の工程に回帰する第4の工程とを含むプレス成形方法。A first step of forming a release film on the pressing surface of the mold,
A second step of performing press molding using the mold on which the release film is formed;
A press forming method comprising: a third step of removing the release film after press forming from the press surface of the mold; and a fourth step returning to the first step for regeneration of the press surface. .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002227039A JP4174261B2 (en) | 2002-08-05 | 2002-08-05 | Press molding method and glass substrate manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002227039A JP4174261B2 (en) | 2002-08-05 | 2002-08-05 | Press molding method and glass substrate manufacturing method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004067423A true JP2004067423A (en) | 2004-03-04 |
JP4174261B2 JP4174261B2 (en) | 2008-10-29 |
Family
ID=32014181
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002227039A Expired - Fee Related JP4174261B2 (en) | 2002-08-05 | 2002-08-05 | Press molding method and glass substrate manufacturing method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4174261B2 (en) |
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KR20230153796A (en) * | 2022-04-29 | 2023-11-07 | 김근혜 | Glass panel curved part thermoforming mold module and glass panel curved part thermoforming system using the same |
-
2002
- 2002-08-05 JP JP2002227039A patent/JP4174261B2/en not_active Expired - Fee Related
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KR20230153796A (en) * | 2022-04-29 | 2023-11-07 | 김근혜 | Glass panel curved part thermoforming mold module and glass panel curved part thermoforming system using the same |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4174261B2 (en) | 2008-10-29 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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