JP2004053371A - Chemical analysis method and apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a chemical analysis method for concentrating a liquid sample inside an apparatus by reducing contamination due to impurities without using any concentration apparatus being separately installed outside. <P>SOLUTION: The chemical analysis method has a liquid tank, a channel, a fluid control element, and a detection element on a board, and an chemical analysis and chemical synthesis are performed on the board by using the liquid sample. Then, the liquid sample is heated by an electrical heating element and a solvent is evaporated for concentrating. The electrical heating element is provided in the liquid tank or the channel. One or entire portion of a surface for composing the liquid tank having the electrical heating element or the channel is formed by a material where a gas constituent can be permeated and a liquid constituent cannot be permeated. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、化学分析方法および装置に関し、特にチップ上で化学分析や化学合成を行う小型化分析システム(μTAS:Micro Total Analysis System)において、液体試料を濃縮するための化学分析方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、立体微細加工技術の発展に伴い、ガラスやシリコン等の基板上に、微小な流路とポンプ、バルブ等の流体素子およびセンサを集積化し、その基板上で化学分析を行うシステムが注目されている。これらのシステムは、小型化分析システム、μ−TAS(Micro Total Analysis System)あるいはLab on a Chipと呼ばれている。化学分析システムを小型化することにより、無効体積の減少や試料の分量の大幅な低減が可能となる。また、分析時間の短縮やシステム全体の低消費電力化が可能となる。さらに、小型化によりシステムの低価格を期待することができる。μ−TASは、システムの小型化、低価格化および分析時間の大幅な短縮が可能なことから、在宅医療やベッドサイドモニタ等の医療分野、DNA解析やプロテオーム解析等のバイオ分野での応用が期待されている。
【0003】
化学分析においては、試料を分析するための前処理として、試料を一定濃度まで濃縮する必要が生じる場合がある。例えば、液体試料中に含まれる成分を分析するときに、その濃度が極めて低い場合には、そのままでは分析が困難である。このような場合には、液体試料を濃縮し、分析したい成分の濃度を分析可能な濃度まで上げる必要がある。化学分析における試料の濃縮方法としては、例えば、イオン交換樹脂を使用する方法、有機溶媒抽出法、蒸発濃縮法等がある。このうち蒸発濃縮法は、微量成分が含まれた液体試料を蒸発させて、溶剤の量を減少させることによって、溶剤中に含まれた微量成分の濃度を相対的に増加させる方法である。例えば特開平10−22251号公報や特開2001−205031号公報では、化学分析の前処理として試料を加熱、濃縮する装置および方法が開示されている。
【0004】
μTASで化学分析を実施する場合でも、当然のことながら試料を濃縮する必要が生じる。上記で述べた従来技術を用いて試料を濃縮した場合は、システム外部で濃縮した試料をμTASに導入する。この場合、以下に述べる問題が生じる。
【0005】
システム外部で濃縮作業を実施した場合、高濃度の試料をピペットや注射器を用いてμTASに導入する。このとき、導入する液体試料の分量にハンドリング等に起因する誤差があると、分析成分の量に及ぼす影響が大きく、最終的な分析データに誤差が生じやすくなる。一方、システム内部で濃縮を実施する場合には、低濃度の試料を導入すれば良いので、導入分量の誤差が最終的な分析結果に及ぼす影響が少なくなり、分析結果の信頼性が向上する。
【0006】
また、外部で濃縮作業を実施してからμTASに導入する場合、その手間が煩雑であり、前処理も含めた全体の分析時間が増大し、分析コストが余分にかかってしまう場合がある。また、濃縮およびμTASへの導入の過程で、試料が不純物に汚染される可能性がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
以上に述べた状況から、μTASで濃縮を伴う化学分析を実施する場合には、システムの内部に濃縮の役割を果たす機構を備えたシステムが是非とも必要となる。
【0008】
そこで、本発明の課題は、外部の濃縮装置を用いることなく、化学分析装置の内部で試料を濃縮することが可能な化学分析方法及び装置を提供することである。
また、本発明は、液体試料の濃縮の過程における不純物による汚染を低減することができ、安定した分析データを得ることができる化学分析方法及び装置を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明の第一の発明は、基板上に液槽、流路、流体制御素子および検出素子を有し、前記基板上で液体試料を用いて化学分析および化学合成を行う化学分析方法において、前記液体試料を発熱体素子により加熱して溶媒を蒸発させることにより濃縮することを特徴とする化学分析方法である。
【0010】
本発明の第二の発明は、基板上に液槽、流路、流体制御素子および検出素子を有し、前記基板上で液体試料を用いて化学分析および化学合成を行う化学分析装置において、前記液体試料を発熱体素子により加熱して溶媒を蒸発させることにより濃縮する濃縮手段を有することを特徴とする化学分析装置である。
【0011】
次に、本発明の化学分析方法及び装置の好ましい実施態様を示す。
前記液槽内に発熱体素子を有することが好ましい。
前記流路内に発熱体素子を有することが好ましい。
前記発熱体素子が薄膜抵抗体であり、前記薄膜抵抗体が流路もしくは液槽を構成する面上に配置されていることが好ましい。
前記発熱体素子を有する液槽もしくは流路を構成する面の一部もしくは全部が気体成分が透過可能で、液体成分が透過不可能な材質で形成されていることが好ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
図1は本発明の化学分析装置の実施形態の一例を示す概念図である。図1(a)はAA’線平断面図、図1(b)はBB’線縦断面図を示す。以下、図1を用いて本発明の実施の形態について説明する。
【0013】
図1に示す化学分析装置は、基板101上に、液体試料を収納する液槽102〜105、液体試料を移動する流路106〜109、液体試料を加熱する発熱体素子110および液体試料を発熱体素子により加熱して溶媒を蒸発させることにより濃縮する濃縮手段115を有する。
【0014】
基板101の材質としては、液体試料に対して耐性を有し、かつ発熱体素子の発生する熱に対して耐性がある材料であれば特に制限はない。例えばシリコン等の半導体材料、ガラス材料、金属材料、樹脂材料等が挙げられる。
【0015】
液体試料としては、例えば水やアルコールを溶媒とした溶液を用いることができる。また、発熱体素子を用いて加熱することにより溶媒を蒸発させることが可能な溶液を液体試料として用いることができる。また本発明の化学分析装置は、例えば酸化還元反応や付加反応のような化学反応のほか、DNAやタンパク質のような生体成分を用いた生化学反応に用いることができる。
【0016】
液槽105の底面には、発熱体素子110が形成されている。発熱体素子110は薄膜抵抗体と、該薄膜抵抗体の両端に電圧を印加するための電極(不図示)よりなる。
【0017】
発熱体素子の構成の具体例を図5に示す。発熱体素子501は、基板505上に形成されており、薄膜抵抗体503の上下両面を絶縁体の保護層502で挟んだ構成となっている。薄膜抵抗体503の材質としては、金属材料、導電性を持たせたシリコン等の半導体が挙げられる。保護層502により、薄膜抵抗体の表面を化学反応から保護することが可能である。保護層502の材質としては、薬品耐性が高いものが好ましい。例えば、SiOやSi等の絶縁材料、Ta等の金属材料が挙げられる。また、薄膜抵抗体の両端は、保護層502に形成したコンタクトホールを介して電極504に電気的に接続されている。電極504を介して薄膜抵抗体の両端に電圧を印加することにより、発熱体素子を加熱することができる。基板505と発熱体素子501の間には蓄熱層506が形成されている。蓄熱層506を設けることにより、発熱体素子501で発生した熱を、基板505側に散逸させることなく、効率良く試料の濃縮に利用することが可能となる。蓄熱層506の材質は、熱伝導度が低い材料から選択される。例えば、SiOやSi等の絶縁体材料が好ましい。
【0018】
発熱体素子110は、試料の濃縮以外にも、化学反応を促進するための試料の加熱にも用いることが可能である。また、発熱体素子110は、試料を加熱して脱気する目的にも用いることが可能である。
【0019】
各液槽および流路は、遮断部112により外気から遮断されている。遮断部112の材質に関しては、液体試料に対して耐性を有し、かつ発熱体素子の発生する熱に対して耐性がある材料であれば特に制限はない。上面の天板側からの試料の状況の観察や光分析を実施する場合を考えると、ガラス、樹脂等の光透過性の材質を用いることが好ましい。
【0020】
液槽105の上部は気体成分のみが透過可能な材質よりなるシール材113でシールされている。シール材113は多孔質膜よりなる。多孔質膜を形成する材質としては、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリスルホン、ポリアクリロニトリル、セルロースアセテート等の疎水性高分子が使用可能である。気体成分のみが透過可能な材質を用いることにより、液体試料を外部に漏らすことなく、液槽105から蒸発する気体のみを装置外部に除去することが可能となる。また、液槽105の上部をシールせず外部に開放する場合と比較して、装置外部からの不純物によりシステム内が汚染する可能性を低くすることが可能となる。
【0021】
遮断部112の液槽102〜104の上部に対応する部分には、液槽102〜104に液体試料を導入するための試料導入口114が形成されている。
【0022】
また、図示していないが、液槽102〜104から液槽105に複数の液体を導入するための流路106〜108、および液槽105で濃縮した液体を液槽105から他の槽に導入するための流路109に液体の流れを制御するための弁を備えていてもよい。流路106〜109に形成された全ての弁を閉状態にして液槽105にて濃縮することにより、濃縮時に液体が液槽105の外部への移動がなくなるので、流路に弁が無く開放されている場合と比較して効率よく液体を濃縮することが可能となる。液体の濃縮が十分になされた後、弁を開放することにより、濃縮した液体を反応、分析槽に送液することができる。
【0023】
次に、本実施形態において液体試料を濃縮する方法を説明する。
まず、試料注入口114より液体試料を液槽102〜104に導入する。各液槽に注入された液体試料は、流路106〜108を介して液槽105に導入される。各液槽に種類の異なる液体試料が導入された場合は、試料同士が液槽105において接触し、混合する。その状態で、発熱体素子110を加熱することにより、液槽105内の液体試料の温度が上昇し、液体試料内の溶媒が蒸発する。それにより、液体試料内の溶質の濃度が相対的に高くなり、液体試料を濃縮することが可能である。蒸発した溶媒は、シール材113を介して透過して装置外部に排出される。
【0024】
液槽105で濃縮された液体試料は、流路109を介して、化学分析装置の他の部分(例えば、反応・分析部)に送液される。
なお、本実施形態では、液槽105内において、濃縮だけでなく、加熱、混合等の処理を行うことも可能である。
【0025】
図2は本発明の化学分析装置の他の実施形態を示す概念図である。図2(a)は平面図、図2(b)はCC’線断面図を示す。図2の実施形態においては、液槽202〜204と液槽205を接続する流路206〜208中に発熱体素子209〜211が形成されている。基板上201に形成された遮断部212のうち、発熱体素子209〜211に対応する部分は、気体成分のみが透過可能なシール材213でシールされている。本実施形態においては、複数の液体試料が混合する前に液体試料を濃縮することが可能であり、濃縮が必要な試料のみを効率良く、濃縮することが可能である。また、流路206〜208は、液槽205と比較して容積が小さいので、液体試料の温度を短時間で上昇させることが可能となる。
【0026】
なお、液槽202〜204内に発熱体素子を形成した場合も、本実施形態と同様の効果を得ることが可能である。
【0027】
また、発熱体素子に供給する駆動電圧をパルス状とし、その周波数またはパルス幅を制御することができる。それによって、溶媒の濃縮の程度を所望の大きさにすることができる。
【0028】
図4は、本発明の化学分析装置の一例を示す概略図である。
本発明の化学分析装置は、基板401、試料注入槽(液槽)402−404、流路405、液槽406、分離部407、流体素子である弁408−410およびポンプ411、検出部412からなる。液槽406の底面には、発熱体素子413が形成されている。図4の化学分析装置では、例えば試料注入槽402より分析したい試料を導入し、試料注入槽403より移動相(キャリア相)を導入する。移動相、キャリア層の流量は、弁408および弁409を開閉することにより調整しても良い。導入された移動相およびキャリア相は、液槽406において混合する。さらに、発熱体素子413を駆動して混合液を加熱することにより、溶媒の一部を蒸発させ濃縮する。混合・濃縮した液体は、ポンプ411により分離部407に送液され、ここで成分ごとに分離される。分離の方法としては、例えば液体クロマトグラフィ法、電気泳動法等が挙げられる。成分ごとに分離された試料は、検出部412において検出される。検出の方法としては、例えば電気化学的検出、蛍光を用いた検出が挙げられる。検出された試料は、廃液として基板外に排出される。なお、図4においては、説明の都合上、システムを外気から遮断するための遮断部は省略してある。
【0029】
【実施例】
以下、実施例を用いて本発明を、より詳細に説明する。なお実施例中における、寸法、形状、材質、作製プロセス条件は、一例であり、本発明の要件を満たす範囲内であれば、設計事項として任意に変更できるものである。
【0030】
実施例1
本実施例では、図1に示した化学分析装置を作製し、作製した化学分析装置を用いて化学分析を実施した。
本実施例の化学分析装置の作製方法を説明する。図3は、本実施例の化学分析装置の作製工程を示す工程図である。
【0031】
まず、シリコン基板(たて25mm、よこ30mm)301上に、熱酸化によりSiO 膜302を1.0μmの厚さに形成した。SiO 膜302は、発熱体素子303で発生した熱が基板301側に散逸するのを防ぎ、発熱体素子303で発生した熱を、液体試料の濃縮に有効に活用する蓄熱層の役割を果たす。SiO 膜302の上に、薄膜抵抗体と該薄膜抵抗体にパルス電圧を印加するための電極(不図示)よりなる発熱体素子303を形成した。薄膜抵抗体の材質には、P(リン)イオンをドープして導電性を持たせた多結晶シリコンを用いた。薄膜抵抗体の表面は保護層であるSiN膜(不図示)で覆われた構造とした(図3(a))。
【0032】
次に、液槽304および液槽305となる貫通孔、および流路306および流路307となる溝をドライエッチングによって形成したシリコン基板308と、発熱体素子303を形成したシリコン基板301とを、エポキシ系の接着剤を用いて貼りあわせた。このとき、発熱体素子303が液槽305内に配置されるように位置合わせを行った(図3(b))。
【0033】
次に、試料注入口309および蒸発した溶剤を外部に逃がすための開口部310をエッチングにより形成したガラス基板311を、陽極接合を用いてシリコン基板308に接合した。このとき、試料注入口309が液槽304の上に、開口部が液槽305の上に配置されるように位置合わせを行った(図3(c))。
次に、開口部310を、多孔質ポリプロピレン平膜よりなるシール部312を用いてシールした(図3(d))。
以上の作製工程により、本実施例の化学分析装置が完成した。
【0034】
図1の化学分析システムを用いて、以下の濃縮処理及び分析を実施した。
まず、ジクロロ酢酸分解細菌であるレノバクター・スピーシズAC株(独立行政法人 産業総合研究所 特許生物寄託センター受託番号:FERM P−14641;特開平8−140665に記載)を以下の組成の培地中で30℃で48時間培養し、増殖した。
【0035】
2.7g Na HPO ・2H O
1.4g KH PO
0.5g (NH ) SO
0.2g MgSO ・7H O
1mg FeSO ・7H O
0.1g ピルビン酸ナトリウム
(蒸留水1Lあたり;混合溶解後滅菌)
【0036】
増殖後、遠心分離により菌体を集め、菌体質重量1gあたり3mLになるように、以下の組成の溶液(溶液Aとする)に再懸濁した。
【0037】
溶液A:50mMグリシン/NaOH(pH9.0)溶液に、エチレンジアミン四酢酸及びβ−メルカプトエタノールを何れも最終濃度5mMになるよう加えた溶液
【0038】
次に、上記懸濁液をフレンチプレス処理し、菌体を破砕した後、遠心分離を行って、上澄としてデハロゲナーゼを含む菌体抽出液を回収した。この溶液を溶液Bとする。
次に、溶液Aにジクロロ酢酸溶液を溶解した溶液を作成した。この溶液を溶液Cとする。
【0039】
上記の溶液Bを液槽102に溶液Cを液槽103に、それぞれ注入した。溶液Bおよび溶液Cは、それぞれ流路106および流路107を介して、液槽105に到達し接触した。液槽105において、溶液C:溶液Bを19:1の割合で混合し、30℃で5時間ジクロロ酢酸の酵素分解反応を行った。
【0040】
次に、反応溶液を発熱体素子303で100℃で約30秒間加熱し、デハロゲナーゼを失活させた後、さらに発熱体素子303で加熱して60℃で反応液の量が当初の1/5になるまで濃縮した。
【0041】
上で得られた溶液を、流路109を介して分析部(不図示)へ送液した。分析部おいて、上記溶液をフィルターでろ過した。さらに、残留ジクロロ酢酸を、イオン交換樹脂充填カラムを設置した高速液体クロマトグラフィー(HPLC)法(展開溶媒:0.01N硫酸水溶液/アセトニトリル=95/5、210nmの吸光度を検出)により測定した。また、生成塩化物イオンを、電極法により測定した。その結果、残留ジクロロ酢酸濃度は10.8×10−3mol/lであり、生成塩化物イオン濃度は(ppmからの換算値)79.0mMであった。
【0042】
本実施例では、低濃度の液体試料を化学分析装置(μTAS)に導入し、装置内で濃縮処理を行った後、分析を実施した。これにより、ハンドリング等に起因する導入量の誤差の影響を低減することができ、安定した分析データを得ることができた。また、濃縮の過程における不純物による汚染の可能性を低減することができた。
【0043】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、外部に別に設置した濃縮装置を用いることなく、装置内部で試料を濃縮することが可能な化学分析方法および装置を提供することができる。
また、本発明は、液体試料の濃縮の過程における不純物による汚染を低減することができ、安定した分析データを得ることができる化学分析方法及び装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の化学分析装置の実施形態の一例を示す概念図である。
【図2】本発明の化学分析装置の他の実施形態を示す概念図である。
【図3】本発明の化学分析装置の作製方法を示す工程図である。
【図4】本発明の化学分析装置の一例を示す概略図である。
【図5】発熱体素子の構成を示す概略図である。
【符号の説明】
101、201、401、505 基板
102〜105、202〜205、304〜305、406 液槽
106〜109、206〜208、306〜307、405 流路
110、209〜211、303、413、501 発熱体素子
111、506 蓄熱層
112、212 遮断部
113、213 シール材
114、309 試料注入口
115 濃縮手段
301、308 シリコン基板
302 SiO 膜(蓄熱層)
310 開口部
311 ガラス基板(遮断部)
402〜404 試料注入槽(液槽)
407 分離部
408〜410 弁
411 ポンプ
412 検出部
502 保護層
503 薄膜抵抗体
504 電極
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a chemical analysis method and apparatus, and more particularly, to a chemical analysis method and apparatus for concentrating a liquid sample in a miniaturized analysis system (μTAS: Micro Total Analysis System) for performing chemical analysis or chemical synthesis on a chip.
[0002]
[Prior art]
In recent years, with the development of three-dimensional microfabrication technology, a system that integrates microscopic flow paths, fluid elements such as pumps and valves, and sensors on a substrate such as glass or silicon and performs chemical analysis on the substrate has attracted attention. ing. These systems are called miniaturized analysis systems, μ-TAS (Micro Total Analysis System) or Lab on a Chip. By reducing the size of the chemical analysis system, it is possible to reduce the ineffective volume and to significantly reduce the sample volume. Further, the analysis time can be reduced and the power consumption of the entire system can be reduced. Further, the system can be expected to have a low price due to the miniaturization. μ-TAS can be used in medical fields such as home medical care and bedside monitors, and in bio fields such as DNA analysis and proteome analysis, because the system can be reduced in size and cost and the analysis time can be significantly reduced. Expected.
[0003]
In chemical analysis, it may be necessary to concentrate a sample to a certain concentration as a pretreatment for analyzing the sample. For example, when analyzing a component contained in a liquid sample, if the concentration is extremely low, it is difficult to analyze the component as it is. In such a case, it is necessary to concentrate the liquid sample and increase the concentration of the component to be analyzed to a concentration at which analysis is possible. Examples of the method for concentrating a sample in chemical analysis include a method using an ion exchange resin, an organic solvent extraction method, and an evaporative concentration method. Among them, the evaporative concentration method is a method of evaporating a liquid sample containing a trace component to reduce the amount of the solvent, thereby relatively increasing the concentration of the trace component contained in the solvent. For example, JP-A-10-22251 and JP-A-2001-205031 disclose an apparatus and a method for heating and concentrating a sample as pretreatment for chemical analysis.
[0004]
Even when performing chemical analysis with μTAS, it is naturally necessary to concentrate the sample. When the sample is concentrated using the above-described conventional technique, the concentrated sample is introduced into the μTAS outside the system. In this case, the following problem occurs.
[0005]
When the enrichment operation is performed outside the system, a high-concentration sample is introduced into μTAS using a pipette or a syringe. At this time, if there is an error due to handling or the like in the amount of the liquid sample to be introduced, the influence on the amount of the analysis component is large, and an error easily occurs in final analysis data. On the other hand, when concentration is performed inside the system, a low-concentration sample may be introduced, so that the influence of the error in the introduced amount on the final analysis result is reduced, and the reliability of the analysis result is improved.
[0006]
In addition, when the concentration is performed externally and then introduced into the μTAS, the labor is complicated, the entire analysis time including the pretreatment increases, and the analysis cost may be increased. In the course of concentration and introduction into μTAS, the sample may be contaminated with impurities.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
From the situation described above, when performing chemical analysis involving concentration with μTAS, a system having a mechanism that plays a role of concentration inside the system is absolutely necessary.
[0008]
Therefore, an object of the present invention is to provide a chemical analysis method and apparatus capable of concentrating a sample inside a chemical analysis apparatus without using an external concentrator.
Another object of the present invention is to provide a chemical analysis method and apparatus capable of reducing contamination due to impurities in a process of concentrating a liquid sample and obtaining stable analysis data.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
That is, the first invention of the present invention relates to a chemical analysis method having a liquid tank, a flow path, a fluid control element and a detection element on a substrate, and performing chemical analysis and chemical synthesis using a liquid sample on the substrate. And a method for concentrating the liquid sample by heating the liquid sample with a heating element to evaporate a solvent.
[0010]
A second invention of the present invention is a chemical analysis device that has a liquid tank, a flow path, a fluid control element, and a detection element on a substrate, and performs chemical analysis and chemical synthesis using a liquid sample on the substrate. A chemical analyzer comprising a concentrating means for concentrating a liquid sample by heating the liquid sample with a heating element to evaporate a solvent.
[0011]
Next, preferred embodiments of the chemical analysis method and apparatus of the present invention will be described.
Preferably, a heating element is provided in the liquid tank.
It is preferable to have a heating element in the flow path.
Preferably, the heating element is a thin-film resistor, and the thin-film resistor is disposed on a surface constituting a flow path or a liquid tank.
It is preferable that a part or the whole of a surface forming the liquid tank or the flow path having the heating element is formed of a material through which a gas component can pass and a liquid component cannot pass.
[0012]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
FIG. 1 is a conceptual diagram showing an example of an embodiment of the chemical analyzer according to the present invention. FIG. 1A is a plan sectional view taken along line AA ′, and FIG. 1B is a longitudinal sectional view taken along line BB ′. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
[0013]
The chemical analyzer shown in FIG. 1 includes, on a substrate 101, liquid tanks 102 to 105 for storing a liquid sample, flow paths 106 to 109 for moving the liquid sample, a heating element 110 for heating the liquid sample, and heat generation for the liquid sample. There is provided a concentrating means 115 for concentrating by heating by the body element to evaporate the solvent.
[0014]
The material of the substrate 101 is not particularly limited as long as it has resistance to the liquid sample and resistance to the heat generated by the heating element. For example, a semiconductor material such as silicon, a glass material, a metal material, a resin material, and the like can be given.
[0015]
As the liquid sample, for example, a solution using water or alcohol as a solvent can be used. Further, a solution capable of evaporating a solvent by heating using a heating element can be used as a liquid sample. Further, the chemical analyzer of the present invention can be used for biochemical reactions using biological components such as DNA and proteins, in addition to chemical reactions such as redox reactions and addition reactions.
[0016]
On the bottom surface of the liquid tank 105, a heating element 110 is formed. The heating element 110 includes a thin film resistor and electrodes (not shown) for applying a voltage to both ends of the thin film resistor.
[0017]
FIG. 5 shows a specific example of the configuration of the heating element. The heating element 501 is formed on a substrate 505, and has a configuration in which upper and lower surfaces of a thin-film resistor 503 are sandwiched between protective layers 502 of an insulator. Examples of the material of the thin film resistor 503 include a metal material and a semiconductor such as silicon having conductivity. The protective layer 502 can protect the surface of the thin film resistor from a chemical reaction. As a material of the protective layer 502, a material having high chemical resistance is preferable. For example, an insulating material such as SiO 2 or Si 3 N 4 and a metal material such as Ta may be used. Further, both ends of the thin film resistor are electrically connected to the electrode 504 via contact holes formed in the protective layer 502. By applying a voltage to both ends of the thin film resistor via the electrode 504, the heating element can be heated. A heat storage layer 506 is formed between the substrate 505 and the heating element 501. By providing the heat storage layer 506, heat generated in the heating element 501 can be efficiently used for concentrating the sample without dissipating to the substrate 505 side. The material of the heat storage layer 506 is selected from materials having low thermal conductivity. For example, an insulator material such as SiO 2 or Si 3 N 4 is preferable.
[0018]
The heating element 110 can be used not only for concentrating the sample, but also for heating the sample to promote a chemical reaction. Further, the heating element 110 can also be used for the purpose of heating and degassing the sample.
[0019]
Each of the liquid tanks and the flow paths are shut off from the outside air by the shut-off unit 112. The material of the blocking unit 112 is not particularly limited as long as it is resistant to the liquid sample and resistant to the heat generated by the heating element. Considering the case of observing the state of the sample from the top plate side or performing optical analysis, it is preferable to use a light transmissive material such as glass or resin.
[0020]
The upper portion of the liquid tank 105 is sealed with a sealing material 113 made of a material that allows only gas components to pass therethrough. The sealing material 113 is made of a porous film. As a material for forming the porous membrane, a hydrophobic polymer such as polypropylene, polyethylene, polytetrafluoroethylene, polysulfone, polyacrylonitrile, and cellulose acetate can be used. By using a material that allows only gas components to pass through, it is possible to remove only the gas evaporating from the liquid tank 105 to the outside of the apparatus without leaking the liquid sample to the outside. Further, as compared with the case where the upper portion of the liquid tank 105 is opened to the outside without sealing, the possibility that the inside of the system is contaminated by impurities from the outside of the apparatus can be reduced.
[0021]
A sample introduction port 114 for introducing a liquid sample into the liquid tanks 102 to 104 is formed in a portion of the blocking unit 112 corresponding to the upper part of the liquid tanks 102 to 104.
[0022]
Although not shown, the flow paths 106 to 108 for introducing a plurality of liquids from the liquid tanks 102 to 104 to the liquid tank 105 and the liquid concentrated in the liquid tank 105 are introduced from the liquid tank 105 to another tank. May be provided with a valve for controlling the flow of the liquid. By concentrating in the liquid tank 105 with all valves formed in the flow paths 106 to 109 closed, the liquid does not move to the outside of the liquid tank 105 at the time of concentration. It is possible to concentrate the liquid more efficiently than in the case where the liquid is concentrated. After the liquid is sufficiently concentrated, by opening the valve, the concentrated liquid can be sent to the reaction and analysis tank.
[0023]
Next, a method for concentrating a liquid sample in the present embodiment will be described.
First, a liquid sample is introduced from the sample inlet 114 into the liquid tanks 102 to 104. The liquid sample injected into each liquid tank is introduced into the liquid tank 105 via channels 106 to 108. When different types of liquid samples are introduced into each liquid tank, the samples come into contact with each other in the liquid tank 105 and are mixed. In this state, by heating the heating element 110, the temperature of the liquid sample in the liquid tank 105 increases, and the solvent in the liquid sample evaporates. Thereby, the concentration of the solute in the liquid sample becomes relatively high, and the liquid sample can be concentrated. The evaporated solvent permeates through the sealing material 113 and is discharged to the outside of the device.
[0024]
The liquid sample concentrated in the liquid tank 105 is sent to another part of the chemical analyzer (for example, a reaction / analysis unit) via the flow path 109.
In this embodiment, in the liquid tank 105, not only concentration but also processing such as heating and mixing can be performed.
[0025]
FIG. 2 is a conceptual diagram showing another embodiment of the chemical analyzer of the present invention. 2A is a plan view, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line CC ′. In the embodiment of FIG. 2, heating elements 209 to 211 are formed in flow paths 206 to 208 connecting the liquid tanks 202 to 204 and the liquid tank 205. In the blocking portion 212 formed on the substrate 201, portions corresponding to the heating elements 209 to 211 are sealed with a sealing material 213 that allows only gas components to pass therethrough. In the present embodiment, the liquid sample can be concentrated before the plurality of liquid samples are mixed, and only the sample that needs to be concentrated can be efficiently concentrated. Further, since the volume of each of the flow channels 206 to 208 is smaller than that of the liquid tank 205, the temperature of the liquid sample can be increased in a short time.
[0026]
Note that the same effects as in the present embodiment can also be obtained when the heating elements are formed in the liquid tanks 202 to 204.
[0027]
Further, the driving voltage supplied to the heating element can be pulsed, and its frequency or pulse width can be controlled. Thereby, the degree of concentration of the solvent can be set to a desired size.
[0028]
FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of the chemical analyzer of the present invention.
The chemical analyzer according to the present invention includes a substrate 401, a sample injection tank (liquid tank) 402-404, a flow path 405, a liquid tank 406, a separation unit 407, a valve 408-410 as a fluid element, a pump 411, and a detection unit 412. Become. A heating element 413 is formed on the bottom surface of the liquid tank 406. In the chemical analyzer of FIG. 4, for example, a sample to be analyzed is introduced from a sample injection tank 402, and a mobile phase (carrier phase) is introduced from a sample injection tank 403. The mobile phase and the flow rate of the carrier layer may be adjusted by opening and closing the valves 408 and 409. The introduced mobile phase and carrier phase are mixed in the liquid tank 406. Further, by driving the heating element 413 to heat the mixed solution, a part of the solvent is evaporated and concentrated. The mixed and concentrated liquid is sent to the separation unit 407 by the pump 411, where it is separated for each component. Examples of the separation method include a liquid chromatography method and an electrophoresis method. The sample separated for each component is detected by the detection unit 412. Examples of the detection method include electrochemical detection and detection using fluorescence. The detected sample is discharged out of the substrate as a waste liquid. In FIG. 4, for convenience of explanation, a shut-off unit for shutting off the system from the outside air is omitted.
[0029]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples. Note that the dimensions, shapes, materials, and manufacturing process conditions in the examples are merely examples, and can be arbitrarily changed as design items within a range satisfying the requirements of the present invention.
[0030]
Example 1
In this example, the chemical analyzer shown in FIG. 1 was manufactured, and a chemical analysis was performed using the manufactured chemical analyzer.
A method for manufacturing the chemical analyzer according to this embodiment will be described. FIG. 3 is a process diagram showing a manufacturing process of the chemical analyzer of the present embodiment.
[0031]
First, an SiO 2 film 302 was formed to a thickness of 1.0 μm on a silicon substrate (25 mm long, 30 mm wide) by thermal oxidation. The SiO 2 film 302 serves as a heat storage layer that prevents heat generated by the heating element 303 from dissipating to the substrate 301 and effectively utilizes heat generated by the heating element 303 to concentrate the liquid sample. . On the SiO 2 film 302, a heating element 303 composed of a thin film resistor and an electrode (not shown) for applying a pulse voltage to the thin film resistor was formed. Polycrystalline silicon doped with P (phosphorus) ions and made conductive was used as the material of the thin film resistor. The surface of the thin-film resistor was covered with a SiN film (not shown) as a protective layer (FIG. 3A).
[0032]
Next, a silicon substrate 308 in which through holes serving as liquid tanks 304 and 305 and grooves serving as flow paths 306 and 307 are formed by dry etching, and a silicon substrate 301 on which a heating element 303 is formed, They were bonded using an epoxy adhesive. At this time, the positioning was performed such that the heating element 303 was disposed in the liquid tank 305 (FIG. 3B).
[0033]
Next, the glass substrate 311 in which the sample inlet 309 and the opening 310 for allowing the evaporated solvent to escape to the outside were formed by etching was bonded to the silicon substrate 308 by anodic bonding. At this time, positioning was performed such that the sample injection port 309 was located above the liquid tank 304 and the opening was located above the liquid tank 305 (FIG. 3C).
Next, the opening 310 was sealed with a sealing portion 312 made of a porous polypropylene flat membrane (FIG. 3D).
Through the above manufacturing steps, the chemical analyzer of this example was completed.
[0034]
The following concentration treatment and analysis were performed using the chemical analysis system of FIG.
First, a dichloroacetic acid-degrading bacterium, Renobacter sp. AC strain (Accession No .: FERM P-14641, described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-140665), which is an independent administrative agency of the National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, is placed in a medium having the following composition. The cells were cultured at 48 ° C. for 48 hours and proliferated.
[0035]
2.7g Na 2 HPO 4 · 2H 2 O
1.4 g KH 2 PO 4
0.5 g (NH 4 ) 2 SO 4
0.2g MgSO 4 · 7H 2 O
1mg FeSO 4 · 7H 2 O
0.1 g sodium pyruvate (per liter of distilled water; mixed and sterilized after dissolution)
[0036]
After the growth, the cells were collected by centrifugation, and resuspended in a solution having the following composition (hereinafter referred to as solution A) so as to be 3 mL per 1 g of the cell weight.
[0037]
Solution A: a solution obtained by adding both ethylenediaminetetraacetic acid and β-mercaptoethanol to a 50 mM glycine / NaOH (pH 9.0) solution to a final concentration of 5 mM.
Next, the suspension was subjected to a French press treatment to crush the cells, and then centrifuged to collect a cell extract containing dehalogenase as a supernatant. This solution is referred to as solution B.
Next, a solution was prepared by dissolving the dichloroacetic acid solution in solution A. This solution is referred to as solution C.
[0039]
The solution B was injected into the liquid tank 102 and the solution C was injected into the liquid tank 103. The solution B and the solution C reached and contacted the liquid tank 105 via the flow path 106 and the flow path 107, respectively. In the liquid tank 105, solution C: solution B were mixed at a ratio of 19: 1, and an enzymatic decomposition reaction of dichloroacetic acid was performed at 30 ° C. for 5 hours.
[0040]
Next, the reaction solution is heated at 100 ° C. for about 30 seconds in the heating element 303 to deactivate the dehalogenase, and then further heated in the heating element 303 to reduce the amount of the reaction solution at 60 ° C. to 1/5 of the initial amount. And concentrated to.
[0041]
The solution obtained above was sent to an analysis unit (not shown) via a flow path 109. In the analysis section, the solution was filtered with a filter. Furthermore, residual dichloroacetic acid was measured by a high performance liquid chromatography (HPLC) method equipped with an ion-exchange resin packed column (developing solvent: 0.01 N sulfuric acid aqueous solution / acetonitrile = 95/5, detecting absorbance at 210 nm). Further, the generated chloride ions were measured by an electrode method. As a result, the concentration of residual dichloroacetic acid was 10.8 × 10 −3 mol / l, and the concentration of produced chloride ions was 79.0 mM (converted from ppm).
[0042]
In this example, a low-concentration liquid sample was introduced into a chemical analyzer (μTAS), and after performing concentration processing in the apparatus, analysis was performed. As a result, the influence of an error in the amount introduced due to handling or the like can be reduced, and stable analysis data can be obtained. Further, the possibility of contamination by impurities in the process of concentration could be reduced.
[0043]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a chemical analysis method and apparatus capable of concentrating a sample inside a device without using a separately provided concentrator.
Further, the present invention can provide a chemical analysis method and apparatus capable of reducing contamination due to impurities in a process of concentrating a liquid sample and obtaining stable analysis data.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a conceptual diagram showing an example of an embodiment of a chemical analyzer according to the present invention.
FIG. 2 is a conceptual diagram showing another embodiment of the chemical analyzer of the present invention.
FIG. 3 is a process chart showing a method for producing a chemical analysis device of the present invention.
FIG. 4 is a schematic view showing an example of the chemical analyzer of the present invention.
FIG. 5 is a schematic diagram showing a configuration of a heating element.
[Explanation of symbols]
101, 201, 401, 505 Substrates 102 to 105, 202 to 205, 304 to 305, 406 Liquid tanks 106 to 109, 206 to 208, 306 to 307, 405 Flow paths 110, 209 to 211, 303, 413, 501 Body element 111, 506 Heat storage layer 112, 212 Blocking part 113, 213 Sealant 114, 309 Sample injection port 115 Concentrator 301, 308 Silicon substrate 302 SiO 2 film (heat storage layer)
310 Opening 311 Glass substrate (blocking part)
402-404 Sample injection tank (liquid tank)
407 Separation sections 408 to 410 Valve 411 Pump 412 Detection section 502 Protective layer 503 Thin film resistor 504 Electrode

Claims (14)

基板上に液槽、流路、流体制御素子および検出素子を有し、前記基板上で液体試料を用いて化学分析および化学合成を行う化学分析方法において、前記液体試料を発熱体素子により加熱して溶媒を蒸発させることにより濃縮することを特徴とする化学分析方法。In a chemical analysis method having a liquid tank, a flow path, a fluid control element, and a detection element on a substrate and performing chemical analysis and chemical synthesis using a liquid sample on the substrate, the liquid sample is heated by a heating element. A chemical analysis method characterized in that the solvent is concentrated by evaporating the solvent. 前記液槽内に発熱体素子を有することを特徴とする請求項1に記載の化学分析方法。The method according to claim 1, wherein a heating element is provided in the liquid tank. 前記流路に形成された全ての弁を閉状態にして前記液槽にて濃縮することを特徴とする請求項1または2記載の化学分析方法。3. The chemical analysis method according to claim 1, wherein the concentration is performed in the liquid tank with all valves formed in the flow path closed. 前記流路内に発熱体素子を有することを特徴とする請求項1または2記載の化学分析方法。3. The chemical analysis method according to claim 1, wherein a heating element is provided in the flow path. 前記発熱体素子が薄膜抵抗体であり、前記薄膜抵抗体が流路もしくは液槽を構成する面上に配置されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかの項に記載の化学分析方法。5. The chemical according to claim 1, wherein the heating element is a thin-film resistor, and the thin-film resistor is disposed on a surface forming a flow path or a liquid tank. 6. Analysis method. 前記発熱体素子を有する液槽もしくは流路を構成する面の一部もしくは全部が気体成分が透過可能で、液体成分が透過不可能な材質で形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかの項に記載の化学分析方法。The liquid tank having the heating element or a part or all of a surface constituting a flow path is formed of a material through which a gas component can pass and a liquid component cannot pass. 5. The chemical analysis method according to any one of the above items 5. 前記発熱体素子に供給する駆動電圧をパルス状とし、その周波数を制御することで溶媒の濃縮の程度を所望の大きさにすることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかの項に記載の化学分析方法。7. The method according to claim 1, wherein the driving voltage supplied to the heating element is pulsed, and the frequency of the driving voltage is controlled to make the degree of concentration of the solvent a desired value. Chemical analysis method. 前記発熱体素子に供給する駆動電圧をパルス状とし、そのパルス幅を制御することで溶媒の濃縮の程度を所望の大きさにすることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかの項に記載の化学分析方法。7. The method according to claim 1, wherein the driving voltage supplied to the heating element is pulsed, and the degree of concentration of the solvent is adjusted to a desired level by controlling the pulse width. Chemical analysis method as described. 基板上に液槽、流路、流体制御素子および検出素子を有し、前記基板上で液体試料を用いて化学分析および化学合成を行う化学分析装置において、前記液体試料を発熱体素子により加熱して溶媒を蒸発させることにより濃縮する濃縮手段を有することを特徴とする化学分析装置。In a chemical analyzer having a liquid tank, a flow path, a fluid control element, and a detection element on a substrate and performing chemical analysis and chemical synthesis using a liquid sample on the substrate, the liquid sample is heated by a heating element. A chemical analyzer comprising a concentrating means for concentrating by evaporating a solvent by heating. 前記液槽内に発熱体素子を有することを特徴とする請求項9に記載の化学分析装置。The chemical analyzer according to claim 9, further comprising a heating element in the liquid tank. 前記液槽に複数の液体を導入するための流路、および前記液槽で濃縮した液体を液槽から他の槽に導入するための流路を有し、前記流路に液体の流れを制御するための弁を備えていることを特徴とする請求項9または10記載の化学分析装置。A flow path for introducing a plurality of liquids into the liquid tank, and a flow path for introducing a liquid concentrated in the liquid tank from the liquid tank to another tank, and controlling a flow of the liquid in the flow path The chemical analyzer according to claim 9, further comprising a valve for performing the operation. 前記流路内に発熱体素子を有することを特徴とする請求項9乃至11のいずれかの項に記載の化学分析装置。The chemical analyzer according to claim 9, further comprising a heating element in the flow path. 前記発熱体素子が薄膜抵抗体であり、前記薄膜抵抗体が流路もしくは液槽を構成する面上に配置されていることを特徴とする請求項9乃至12のいずれかの項に記載の化学分析装置。13. The chemical according to claim 9, wherein the heating element is a thin-film resistor, and the thin-film resistor is arranged on a surface constituting a flow path or a liquid tank. Analysis equipment. 前記発熱体素子を有する液槽もしくは流路を構成する面の一部もしくは全部が気体成分が透過可能で、液体成分が透過不可能な材質で形成されていることを特徴とする請求項9乃至13のいずれかの項に記載の化学分析装置。10. A liquid tank having the heating element or a part or all of a surface constituting a flow path is formed of a material through which a gas component can pass and a liquid component cannot pass. 14. The chemical analyzer according to any one of the above items 13.
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JP2007263799A (en) * 2006-03-29 2007-10-11 Ttm:Kk Inspection instrument and inspection method of liquid fluid
JP2008256376A (en) * 2007-03-30 2008-10-23 Fujifilm Corp Specimen detection method and biochip
WO2009060994A1 (en) * 2007-11-09 2009-05-14 Canon Kabushiki Kaisha Liquid supply drive mechanism using osmotic pump and microchip having the liquid supply drive mechanism

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007263799A (en) * 2006-03-29 2007-10-11 Ttm:Kk Inspection instrument and inspection method of liquid fluid
JP2008256376A (en) * 2007-03-30 2008-10-23 Fujifilm Corp Specimen detection method and biochip
WO2009060994A1 (en) * 2007-11-09 2009-05-14 Canon Kabushiki Kaisha Liquid supply drive mechanism using osmotic pump and microchip having the liquid supply drive mechanism
JP2009115755A (en) * 2007-11-09 2009-05-28 Canon Inc Liquid supply drive mechanism using osmotic pump and microchip having liquid supply drive mechanism
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