JP2004035403A - Zirconia-based powder and zirconia-based formed article - Google Patents

Zirconia-based powder and zirconia-based formed article Download PDF

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秦 和男
Norikazu Aikawa
相川 規一
Keijirou Takasaki
高▲崎▼ 恵次郎
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide zirconia-based powder suitable for manufacturing a zirconia-based formed article having uniform quality and high reliability and the zirconia-based formed article obtained by using the zirconia-based powder. <P>SOLUTION: The zirconia-based powder has >0.5 μm to ≤0.8 μm mean particle diameter and in the powder, 90 vol.% of the powder has >1 μm to ≤2 μm particle diameter and the particle diameter of the 90 vol.% of the powder is 1.5-2.5 times as large as the mean particle diameter. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

 本発明はジルコニア系粉体およびジルコニア系成形体に関する。詳しくは、本発明は均一な品質を有し、信頼性の高いジルコニア系成形体を製造するに適したジルコニア系粉体、およびこの粉体を用いて得られる均一な品質を有し、信頼性の高いジルコニア系成形体に関する。 The present invention relates to a zirconia-based powder and a zirconia-based compact. More specifically, the present invention has a uniform quality, a zirconia-based powder suitable for producing a highly reliable zirconia-based molded body, and a uniform quality obtained using this powder, And a zirconia-based molded article having a high value

 セラミックスは、耐熱性および耐摩耗性などの機械的性質に加えて、電気的、磁気的特性、更には生体適合性などに優れていることから、多くの分野で広く活用されている。なかでも、ジルコニアを主体とするセラミックシートは、優れた酸素イオン伝導性、耐熱性および耐腐食性を有しているので、センサー部品、燃料電池用の電解質膜、または焼成用セッターなどとして有効に活用することができる。 Ceramics are widely used in many fields because they have excellent electrical and magnetic properties, as well as biocompatibility, in addition to mechanical properties such as heat resistance and wear resistance. Among them, zirconia-based ceramic sheets have excellent oxygen ion conductivity, heat resistance and corrosion resistance, so they can be effectively used as sensor parts, electrolyte membranes for fuel cells, or setters for firing. Can be used.

 上記のジルコニア系セラミックシートは、通常、ジルコニア系粉体、有機バインダーおよび溶媒からなるスラリーを用い、ドクターブレード法、カレンダーロール法または押出し法などによってシート状に成形し、これを乾燥して溶剤を揮発させることによりグリーンシートを作製し、このグリーンシートを切断、パンチングなどによって適当な大きさにした後、セッターに載せて焼成して有機バインダーを分解除去し、さらにセラミックスを焼結させることによって製造されている。 The zirconia-based ceramic sheet is usually formed into a sheet by a doctor blade method, a calendar roll method, an extrusion method, or the like, using a slurry composed of a zirconia-based powder, an organic binder, and a solvent, and drying the solvent to remove the solvent. A green sheet is produced by volatilization, cut into a suitable size by punching, etc., then placed on a setter and baked to decompose and remove the organic binder, followed by sintering the ceramic. Have been.

 上記のジルコニア系粉体については、その製造法やそれを用いて得られるセラミックスの物理的特性などについて数多くの報告がなされている。しかし、その多くは原料粉体の粒子径のみが記載されているにすぎず、粒子径の分布をも考慮して、粒子径と粒子径分布とを同時に記載したものは限られている。 数 多 く Regarding the zirconia-based powders described above, many reports have been made on the method of producing the zirconia-based powder and the physical properties of ceramics obtained by using the zirconia-based powder. However, in many cases, only the particle diameter of the raw material powder is described, and only the particle diameter and the particle diameter distribution are described at the same time in consideration of the particle diameter distribution.

 例えば、特許文献1には、0.1〜0.5μmの1次粒径を有し、好ましくは90体積%が0.1〜1μmの粒度分布を有する原料粉体を使用することが記載されている。 For example, Patent Document 1 describes that a raw material powder having a primary particle size of 0.1 to 0.5 μm, preferably 90% by volume has a particle size distribution of 0.1 to 1 μm is used. ing.

 特許文献2には、遠心沈降法によって測定した粒子径が平均1.3〜3.0μmの範囲にあり、1〜20μmの範囲にある粒子の割合が全質量基準で45〜75質量%の範囲にある原料粉体を使用することが記載されている。 Patent Document 2 discloses that the average particle diameter measured by the centrifugal sedimentation method is in the range of 1.3 to 3.0 μm, and the proportion of particles in the range of 1 to 20 μm is in the range of 45 to 75% by mass based on the total mass. The use of the raw material powder described in the above publication is described.

 特許文献3には、(1)平均粒径2.05〜2.12μm、粒径範囲1.00〜3.00μmのものが87〜90%、粒度分布幅0.60〜4.00μm、(2)平均粒径2.18〜2.22μm、粒径範囲1.00〜3.00μmのものが82〜85%、粒度分布幅0.80〜4.00μm、(3)平均粒径2.00〜2.04μm、粒径範囲1.00〜3.00μmのものが86〜90%、粒度分布幅0.88〜4.00μmのジルコニア微粉体が製造できたとされている。 Patent Document 3 discloses (1) 87 to 90% of particles having an average particle size of 2.05 to 2.12 μm and a particle size range of 1.00 to 3.00 μm, a particle size distribution width of 0.60 to 4.00 μm, 2) 82 to 85% having an average particle size of 2.18 to 2.22 μm, a particle size range of 1.00 to 3.00 μm, a particle size distribution width of 0.80 to 4.00 μm, and (3) an average particle size of 2. It is reported that 86 to 90% of the particles having a particle size range of from 0.000 to 2.04 µm and a particle size range of from 1.00 to 3.00 µm could produce a zirconia fine powder having a particle size distribution of from 0.88 to 4.00 µm.

 また、特許文献4には、平均粒子径が0.1〜0.5μmであり、かつ90体積%以上が1μm以下の粒子径を有する原料粉体を用いてセラミックスシートを製造することが記載されている。 Patent Document 4 discloses that a ceramic sheet is manufactured using a raw material powder having an average particle diameter of 0.1 to 0.5 μm and 90% by volume or more and 1 μm or less. ing.

特開平1−153530号公報JP-A-1-153530 特開平4−130018号公報JP-A-4-130018 特開平4−202016号公報JP-A-4-20206 特開平8−151270号公報JP-A-8-151270

 しかし、前記のような粒子径および粒子径分布を有する従来の粉体を用いては、得られるセラミックスシートはその表面部位によって機械的強度などにばらつきがあり、その表面全体にわたり均一な品質を有するセラミックシートを製造することは困難であった。 However, using the conventional powder having the particle size and the particle size distribution as described above, the obtained ceramic sheet has a variation in mechanical strength and the like depending on the surface portion, and has uniform quality over the entire surface. It has been difficult to produce ceramic sheets.

 かくして、本発明の目的は、均一な品質を有し、信頼性の高いジルコニア系成形体を製造するに好適なジルコニア系粉体を提供することにある。特に、ドクターブレード法、カレンダーロール法などの常圧で成形し、常圧で焼結させる方法によって均一な品質を有し、信頼性の高いジルコニア系成形体を製造するに好適なジルコニア系粉体を提供することにある。 Thus, an object of the present invention is to provide a zirconia-based powder having uniform quality and suitable for producing a highly reliable zirconia-based compact. In particular, a zirconia-based powder having a uniform quality by a method of forming at normal pressure such as a doctor blade method or a calender roll method and sintering at normal pressure, and suitable for producing a highly reliable zirconia-based molded body. Is to provide.

 また、他の目的は、上記粉体を用いて得られる、均一な品質を有し、信頼性の高いジルコニア系成形体を提供することにある。 Another object of the present invention is to provide a highly reliable zirconia-based compact having uniform quality and obtained by using the powder.

 本発明者らの研究によれば、特定の粒子径および粒子径分布を有するジルコニア系粉体を用いることにより上記目的が達成でいることがわかった。本発明はこの知見に基づいて完成されたものである。すなわち、本発明は次のとおりのものである。
(1)レーザー回折式粒度分布計を用いて測定した、平均粒子径が0.5μmを超え0.8μm以下、90体積%の粒子径が1μmを超え2μm以下であり、90体積%の粒子径が平均粒子径の1.5〜2.5倍の範囲にあるジルコニア系粉体。
(2)上記(1)のジルコニア系粉体を用いて得られるジルコニア系成形体。
(3)上記(2)のジルコニア系成形体であって、10を下回らないワイブル係数(m)値を有するジルコニア系成形体。
(4)12を下回らないワイブル係数(m)値を有するジルコニア系成形体。
According to the study of the present inventors, it was found that the above object was achieved by using a zirconia-based powder having a specific particle size and a particle size distribution. The present invention has been completed based on this finding. That is, the present invention is as follows.
(1) The average particle size measured using a laser diffraction type particle size distribution analyzer is more than 0.5 μm and 0.8 μm or less, and the particle size of 90% by volume is more than 1 μm and 2 μm or less, and the particle size is 90% by volume. Is in the range of 1.5 to 2.5 times the average particle diameter.
(2) A zirconia-based compact obtained using the zirconia-based powder of (1).
(3) The zirconia-based molded article according to (2), which has a Weibull coefficient (m) value not less than 10.
(4) A zirconia-based molded article having a Weibull coefficient (m) value not less than 12.

 本発明のジルコニア系粉体を用いることにより品質が均一で、信頼性の高いジルコニア系成形体を得ることができる。特に、ドクターブレード法、カレンダーロール法などにより常圧で成形し、さらに常圧で焼結させることによりジルコニア系成形体を製造する場合に、均一な品質を有し、信頼性の高いジルコニア系成形体を得ることができる。 こ と By using the zirconia-based powder of the present invention, a zirconia-based compact having uniform quality and high reliability can be obtained. In particular, when producing zirconia-based molded products by molding at normal pressure by doctor blade method, calender roll method, etc., and then sintering at normal pressure, zirconia-based molding with uniform quality and high reliability You can get the body.

 本発明のジルコニア系成形体は品質が均一であり、信頼性の高いものである。 ジ ル The zirconia-based molded article of the present invention has uniform quality and high reliability.

 本発明の「ジルコニア系成形体」とは、任意の形状の成形体およびこの成形体を焼成して得られるセラミックス成形体を意味する。上記形状の代表例としては、シート状、板状などの二次元形状、球状、円柱状、長方体状などの三次元形状、およびこれら形状に穴加工などを施した形状を挙げることができる。また、二次元形状の、いわゆるグリーンシートを更に加工して、例えば円筒状にした三次元形状も包含される。 「The“ zirconia-based molded article ”of the present invention means a molded article having an arbitrary shape and a ceramic molded article obtained by firing this molded article. Representative examples of the above-mentioned shapes include two-dimensional shapes such as a sheet shape and a plate shape, three-dimensional shapes such as a spherical shape, a columnar shape, and a rectangular shape, and shapes obtained by subjecting these shapes to holes. . Further, a three-dimensional shape in which a so-called green sheet having a two-dimensional shape is further processed into a cylindrical shape, for example, is also included.

 本発明の「粒子径」とは、2次粒子の粒径を意味する。一般に、ジルコニア系粉体の場合、結晶子(1次粒子)が微小なためファンデルワールス力などによって凝集して2次粒子を形成するが、この2次粒子は解砕などによって実質的に結晶子(1次粒子)に解膠することができる。 「The“ particle size ”in the present invention means the particle size of secondary particles. In general, in the case of zirconia-based powder, crystallites (primary particles) are small and aggregate by van der Waals force or the like to form secondary particles. These secondary particles are substantially crystallized by crushing or the like. Can be peptized into particles (primary particles).

 本発明のジルコニア系粉体とは、ジルコニアを主成分とする、具体的にはジルコニアを60質量%以上、好ましくは80質量%以上含有する粉体を意味する。その他の代表的な成分としては、イットリウム(Y)、セリウム(Ce)、カルシウム(Ca)、マグネシウム(Mg)、チタン(Ti)、ケイ素(Si)およびアルミニウム(Al)から選ばれる少なくとも一種の酸化物を挙げることができる。 ジ ル The zirconia-based powder of the present invention means a powder containing zirconia as a main component, specifically, zirconia of 60% by mass or more, preferably 80% by mass or more. Other typical components include at least one oxidation selected from yttrium (Y), cerium (Ce), calcium (Ca), magnesium (Mg), titanium (Ti), silicon (Si), and aluminum (Al). Things can be mentioned.

 上記ジルコニア系粉体のなかでも、酸化イットリウム、酸化セリウムおよび酸化カルシウムから選ばれる少なくとも一種を含有するジルコニア系粉体が好適である。このジルコニア系粉体における、酸化イットリウム、酸化セリウムおよび酸化カルシウムから選ばれる少なくとも一種の含有量は1〜20質量%の範囲にあるのが好適である。なかでも、酸化イットリウム5〜18質量%およびジルコニア82〜95質量%からなるジルコニア系粉体が好適に用いられる。 で も Among the zirconia-based powders, zirconia-based powders containing at least one selected from yttrium oxide, cerium oxide and calcium oxide are preferred. The content of at least one selected from yttrium oxide, cerium oxide and calcium oxide in the zirconia-based powder is preferably in the range of 1 to 20% by mass. Among them, a zirconia-based powder comprising 5 to 18% by mass of yttrium oxide and 82 to 95% by mass of zirconia is preferably used.

 本発明のジルコニア系粉体は平均粒子径が0.5μmを超え0.8μm以下、90体積%の粒子径が1μmを超え2μm以下の範囲にあり、好ましくは平均粒子径が0.5μmを超え0.8μm以下、90体積%の粒子径が1μmを超え1.5μm以下、更に好ましくは平均粒子径が0.55〜0.75μm、90体積%の粒子径が1μmを超え1.5μm以下の範囲にある。また、90体積%の粒子径は平均粒子径の1.5〜2.5倍であり、好ましくは1.5〜2倍である。 The zirconia-based powder of the present invention has an average particle diameter of more than 0.5 μm and 0.8 μm or less, and a particle diameter of 90% by volume of more than 1 μm and 2 μm or less, preferably an average particle diameter of more than 0.5 μm. 0.8 μm or less, 90% by volume has a particle diameter of more than 1 μm and 1.5 μm or less, more preferably 0.55 to 0.75 μm, and 90% by volume has a particle size of more than 1 μm and 1.5 μm or less. In range. The particle size of 90% by volume is 1.5 to 2.5 times, preferably 1.5 to 2 times, the average particle size.

 本発明のジルコニア系粉体の最大粒子径は10μm、好ましくは8μm、特に好ましくは5μmである。 最大 The maximum particle size of the zirconia-based powder of the present invention is 10 µm, preferably 8 µm, particularly preferably 5 µm.

 したがって、本発明のジルコニア系粉体は、2μmを超える粗大粒子が少なく、かつシャープな粒度分布を有する点に特徴を有する。 Therefore, the zirconia-based powder of the present invention is characterized in that it has few coarse particles exceeding 2 µm and has a sharp particle size distribution.

 本発明のジルコニア系粉体は、例えば、平均粒子径が0.8μmを超え、90体積%の粒子径が2μmを超えるジルコニア系粉体を微粉砕することにより調製することができる。平均粒子径が0.8μmを超え、90体積%の粒子径が2μmを超えるジルコニア系粉体は工業的に容易に入手することができ、例えばOZC−8YC(商品名、住友大阪セメント(株)製)、TZ−8Y(商品名、東ソー(株)製)などを挙げることができる。 The zirconia-based powder of the present invention can be prepared, for example, by finely pulverizing a zirconia-based powder having an average particle diameter of more than 0.8 μm and a 90% by volume particle diameter of more than 2 μm. A zirconia-based powder having an average particle diameter of more than 0.8 μm and a 90% by volume particle diameter of more than 2 μm can be easily obtained industrially, for example, OZC-8YC (trade name, Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.) And TZ-8Y (trade name, manufactured by Tosoh Corporation).

 上記微粉砕に使用する装置については特に制限はなく、上記のような平均粒子径が0.8μmを超え、90体積%の粒子径が2μmを超えるジルコニア系粉体を平均粒子径が0.5μmを超え0.8μm以下、90体積%の粒子径が1μmを超え2μm以下、また90体積%の粒子径が平均粒子径の1.5〜2.5倍である粉体にまで微粉砕し得るものであればいずれも使用することができる。このような粉砕機としては、例えばボールメディアを用いた湿式粉砕機を挙げることができる。このような湿式粉砕機は市販されており、例えばケムコ・アぺックスミル・V型(商品名、コトブキ技研工業(株)製)などを挙げることができる。 The apparatus used for the above-mentioned pulverization is not particularly limited, and the zirconia-based powder having an average particle diameter of more than 0.8 μm and a particle diameter of 90% by volume of more than 2 μm having an average particle diameter of 0.5 μm More than 0.8 μm and less than 90 μ% by volume and more than 1 μm and 2 μm or less, and 90% by volume can be pulverized to a powder having an average particle diameter of 1.5 to 2.5 times. Any of them can be used. Examples of such a crusher include a wet crusher using a ball medium. Such a wet pulverizer is commercially available, and examples thereof include Chemco Axmill V type (trade name, manufactured by Kotobuki Giken Kogyo Co., Ltd.).

 例えば、アペックスミルAMV−1型の場合、その仕様は、有効粉砕室容積1リットル、粉砕室直径80mm、粉砕室高さ240mm、ローター先端周速度max6.03m/秒(50Hz)および回転数480〜1920rpm(50Hz)である。なお、この場合、ボールメディアとしては、直径が0.3〜3mmの範囲のものを用いるのがよい。 For example, in the case of the Apex Mill AMV-1 type, the specifications are as follows: effective crushing chamber volume 1 liter, crushing chamber diameter 80 mm, crushing chamber height 240 mm, rotor tip peripheral speed max 6.03 m / sec (50 Hz), and rotation number 480 to 480. 1920 rpm (50 Hz). In this case, it is preferable to use a ball medium having a diameter in the range of 0.3 to 3 mm.

 上記湿式粉砕に際しては、処理すべき原料ジルコニア系粉体を溶媒と混合してスラリーを調製し、このスラリーを粉砕機に導入する。 は In the wet grinding, the raw zirconia-based powder to be treated is mixed with a solvent to prepare a slurry, and the slurry is introduced into a grinding machine.

 上記溶媒としては、微粉砕を阻害しないものであればいずれも使用することができる。代表例としては、水;メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノールなどの炭素数9以下のアルコール類;トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素類;酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル類;メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブなどのセロソルブ類などを挙げることができる。これらは単独でも、あるいは2種以上組み合わせて使用することができる。混合溶媒の代表例としては、トルエン/エタノール、酢酸エチル/イソプロパノール、トルエン/ブチルセロソルブなどの非水溶性溶媒と水溶性溶媒との混合物を挙げることができる。 溶媒 As the solvent, any solvent can be used as long as it does not hinder pulverization. Representative examples include water; alcohols having 9 or less carbon atoms such as methanol, ethanol, isopropanol, butanol, and octanol; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; esters such as ethyl acetate and butyl acetate; methyl cellosolve; Examples include cellosolves such as ethyl cellosolve and butyl cellosolve. These can be used alone or in combination of two or more. Typical examples of the mixed solvent include a mixture of a water-insoluble solvent and a water-soluble solvent such as toluene / ethanol, ethyl acetate / isopropanol, and toluene / butyl cellosolve.

 上記スラリー中の原料ジルコニア系粉体の濃度は通常30〜70質量%であり、好ましくは30〜50質量%である。濃度が高すぎると粉砕操作が困難となる。なお、原料ジルコニア系粉体の分散をよくするために、分散剤を添加することができる。分散剤を使用することにより、スラリー中の原料ジルコニア系粉体の濃度を40〜70質量%、特に45〜55質量%との高い範囲に設定しても微粉砕を効率よく行うことができる。これにより生産性を一段と高めることができる。 The concentration of the raw material zirconia-based powder in the slurry is usually 30 to 70% by mass, and preferably 30 to 50% by mass. If the concentration is too high, the pulverizing operation becomes difficult. In order to improve the dispersion of the raw zirconia powder, a dispersant can be added. By using a dispersant, fine pulverization can be performed efficiently even when the concentration of the raw material zirconia-based powder in the slurry is set to a high range of 40 to 70% by mass, particularly 45 to 55% by mass. Thereby, productivity can be further increased.

 上記分散剤としては、ギ酸、クエン酸、酒石酸などの有機酸類;ポリアクリル酸、ポリアクリル酸アンモニウムなどの高分子電解質;多鎖型高分子量非イオン界面活性剤、カルボン酸型界面活性剤、β−ナフタレンスルホン酸アンモニウム塩、高分子界面活性剤、非イオン界面活性剤などの界面活性剤(例えば、ディスコール類(商品名)第一工業製薬(株)製、ホモゲノール類(商品名)花王(株)製);ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルーエーテルなどのエーテル類(例えば、イオネット類(商品名)三洋化成工業(株)製);ジカルボン酸の部分エステル類またはカルボン酸の部分エステル類の共重合体(例えば、ブンサンG−200(商品名)共栄社化学(株)製、フローレンG−700(商品名)共栄社化学(株)製);アクリル酸エステル系、マレイン酸エステル系などの分散剤(オリコックス類(商品名)共栄社化学(株)製);グリセリン、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸ジエステルなどを挙げることができる。 Examples of the dispersant include organic acids such as formic acid, citric acid and tartaric acid; polyelectrolytes such as polyacrylic acid and ammonium polyacrylate; multi-chain high molecular weight nonionic surfactants, carboxylic acid type surfactants, β Surfactants such as naphthalenesulfonic acid ammonium salt, polymeric surfactant, and nonionic surfactant (for example, Discols (trade name) manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., homogenols (trade name) Kao ( Ethers such as polyoxyethylene nonyl phenyl ether and polyoxyethylene alkyl ether (for example, ionettes (trade name) manufactured by Sanyo Chemical Industries, Ltd.); partial esters of dicarboxylic acids or carboxylic acids Copolymers of partial esters (for example, Bunsan G-200 (trade name) manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., Floren G-700) (Trade name) manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.); dispersants such as acrylic acid ester and maleate ester (Oricox (trade name) manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.); glycerin, sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene fatty acid Diesters and the like can be mentioned.

 これらのなかでも、酸価を有する界面活性剤でジカルボン酸の部分エステル類またはカルボン酸の部分エステル類の共重合体が特に好適に用いられる。 Among them, a copolymer of a partial ester of dicarboxylic acid or a partial ester of carboxylic acid with a surfactant having an acid value is particularly preferably used.

 分散剤の添加量は、原料ジルコニア系粉体の0.01〜5質量%、好ましくは0.3〜2質量%である。 添加 The amount of the dispersant added is 0.01 to 5% by mass, preferably 0.3 to 2% by mass of the raw material zirconia-based powder.

 したがって、原料ジルコニア系粉体を分散剤の存在下に溶剤に分散させて、スラリー中の原料ジルコニア系粉体の濃度が40〜70質量%のスラリーを調製し、このスラリーをボールメディアを用いた湿式粉砕に供するのがよい。 Therefore, the raw material zirconia-based powder is dispersed in a solvent in the presence of a dispersant to prepare a slurry in which the concentration of the raw material zirconia-based powder in the slurry is 40 to 70% by mass. It is preferable to provide for wet grinding.

 なお、上記スラリーは、原料ジルコニア系粉体、溶媒および分散剤を粉砕機に導入して、調製しても、あるいは予めこれらを混合してスラリーを調製した後に粉砕機に導入してもよい。湿式粉砕はバッチ式でも連続式でもよい。 The slurry may be prepared by introducing a raw material zirconia-based powder, a solvent, and a dispersant into a pulverizer, or may be prepared by previously mixing them to prepare a slurry and then introducing the slurry. The wet pulverization may be a batch type or a continuous type.

 上記のようにして得られる平均粒子径が0.5μmを超え0.8μm以下、90体積%の粒子径が1μmを超え2μm以下、また90体積%の粒子径が平均粒子径の1.5〜2.5倍のジルコニア系粉体を含むスラリーは減圧乾燥などの操作を施してジルコニア系粉体としても、またはそのまま、あるいは必要なバインダーおよび可塑剤を所定量添加した後、グリーン体としてもよい。 The average particle diameter obtained as described above is more than 0.5 μm and 0.8 μm or less, the 90% by volume particle diameter is more than 1 μm and 2 μm or less, and the 90% by volume particle diameter is 1.5 to 1.5 μm of the average particle diameter. The slurry containing 2.5 times the zirconia-based powder may be subjected to operations such as drying under reduced pressure to obtain a zirconia-based powder, or may be used as it is, or may be formed into a green body after adding a predetermined amount of a necessary binder and plasticizer. .

 上記減圧乾燥などの操作には、ロータリーエバポレーター、振動流動乾燥機(例えば、中央加工機(株)製のVU−60(商品名))などを用いることができる。 ロ ー タ リ ー A rotary evaporator, a vibration fluidized dryer (for example, VU-60 (trade name) manufactured by Chuo Koki Co., Ltd.) or the like can be used for the operation such as the drying under reduced pressure.

 上記の湿式粉砕により得られるジルコニア系粉体の平均粒子径および90体積%の粒子径は、島津製作所(株)製のレーザー回折式粒度分布計SALD−1100を用いて測定した。 平均 The average particle diameter and the particle diameter of 90% by volume of the zirconia-based powder obtained by the above wet pulverization were measured using a laser diffraction particle size distribution analyzer SALD-1100 manufactured by Shimadzu Corporation.

 本発明のジルコニア系成形体は、粉体として本発明のジルコニア系粉体を使用する点を除けば、常法にしたがって調製することができる。以下、本発明のジルコニア系成形体の代表例としてのグリーンシートを例に挙げて説明する。 ジ ル The zirconia-based compact of the present invention can be prepared according to a conventional method except that the zirconia-based powder of the present invention is used as the powder. Hereinafter, a green sheet as a representative example of the zirconia-based molded article of the present invention will be described as an example.

 本発明のジルコニア系粉体にバインダーおよび溶剤、更に必要に応じて分散剤、可塑剤などを配合し、通常のボールミル法などの手段によりスラリー化し、このスラリーを用いてドクターブレード法、カレンダーロール法などによりシート状に成形してグリーンシートとする。 A binder and a solvent are further added to the zirconia-based powder of the present invention, and if necessary, a dispersant, a plasticizer, and the like are blended, and the mixture is slurried by means such as a normal ball mill method. It is formed into a sheet by a method such as a green sheet.

 上記バインダーとしては特に制限はなく、一般に使用されている有機または無機のバインダーから適宜選択して使用することができる。有機バインダーの例としては、エチレン系共重合体、スチレン系共重合体、アクリレートおよびメタクリレート系共重合体、酢酸ビニル系共重合体、マレイン酸系共重合体、ビニルブチラール樹脂、ビニルアセタール樹脂、ビニルホルマール樹脂、ビニルアルコール樹脂、ワックス類、エチルセルロースなどのセルロース類などを挙げることができる。また、無機バインダーの例としては、ジルコニアゾル、シリカゾル、アルミナゾル、チタニアゾルなどを挙げることができる。 The binder is not particularly limited, and may be appropriately selected from commonly used organic or inorganic binders. Examples of organic binders include ethylene copolymers, styrene copolymers, acrylate and methacrylate copolymers, vinyl acetate copolymers, maleic acid copolymers, vinyl butyral resins, vinyl acetal resins, and vinyl Examples include formal resins, vinyl alcohol resins, waxes, and celluloses such as ethyl cellulose. Examples of the inorganic binder include zirconia sol, silica sol, alumina sol, titania sol, and the like.

 バインダーの使用量は、グリーンシートの強度、柔軟性などのほかに、スラリーの粘度調整などを考慮して適宜決定することができる。例えば、本発明のジルコニア系粉体100質量部に対し、10〜30質量部の割合で用いる。 (4) The amount of the binder used can be appropriately determined in consideration of the viscosity of the slurry and the like in addition to the strength and flexibility of the green sheet. For example, it is used in a ratio of 10 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the zirconia-based powder of the present invention.

 上記溶媒についても特に制限はなく、一般に使用されている水および有機溶剤から適宜選択して使用される。有機溶剤の代表例としては、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−ブタノール、1−ヘキサノールなどのアルコール類;アセトン、2−ブタノールなどのケトン類;ペンタン、ヘキサン、ヘプタンなどの脂肪族炭化水素類;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼンなどの芳香族炭化水素類;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチルなどの酢酸エステル類などを挙げることができる。 The solvent is not particularly limited and may be appropriately selected from commonly used water and organic solvents. Representative examples of the organic solvent include alcohols such as methanol, ethanol, 2-propanol, 1-butanol and 1-hexanol; ketones such as acetone and 2-butanol; and aliphatic hydrocarbons such as pentane, hexane and heptane. Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene and ethylbenzene; and acetates such as methyl acetate, ethyl acetate and butyl acetate.

 溶剤の使用量は、スラリーの粘度との関係において適宜決定することができる。例えば、スラリーの粘度が20〜200ポイズとなるような割合で使用すればよい。
このようにして得られたスラリーは、通常の塗布方法、例えばドクターブレード法、カレンダーロール法などによりポリエチレンテレフタレート(PET)などの高分子フィルム上にキャスティングした後、乾燥してグリーンシートとする。このグリーンシートの厚さは通常0.1〜2mmである。
The amount of the solvent used can be appropriately determined in relation to the viscosity of the slurry. For example, the slurry may be used in such a ratio that the viscosity of the slurry becomes 20 to 200 poise.
The slurry thus obtained is cast on a polymer film such as polyethylene terephthalate (PET) by a usual coating method such as a doctor blade method or a calendar roll method, and then dried to form a green sheet. The thickness of this green sheet is usually 0.1 to 2 mm.

 このようにして得られたグリーンシートは汎用の焼成用敷板、例えば多孔質アルミナ板上に置いて、常圧で、1200〜1700℃の温度で焼成することによりジルコニア系セラミックシートとすることができる。 The green sheet thus obtained is placed on a general-purpose sintering plate, for example, a porous alumina plate, and sintered at normal pressure at a temperature of 1200 to 1700 ° C. to obtain a zirconia ceramic sheet. .

 本発明のジルコニア系粉体は、その成形に際しては、射出成形、プレス成形、鋳込み成形、押出し成形、シート成形などの各種成形方法が採用できるが、前記のドクターブレード法、カレンダーロール法などにより、特に常圧で成形してジルコニア系成形体を製造する際に、さらにこれを常圧で焼結させることによりジルコニア系セラミックス成形体を製造する際に特に好適に用いられる。すなわち、このような方法により、ジルコニア系成形体を製造する際に、本発明のジルコニア系粉体を使用すると均一な品質を有し、信頼性の高いジルコニア系成形体を製造することができる。 The zirconia-based powder of the present invention can be molded by various molding methods such as injection molding, press molding, casting molding, extrusion molding, sheet molding, etc., by the doctor blade method, calender roll method, etc. It is particularly preferably used when producing a zirconia-based molded body by molding under normal pressure, and further by sintering this at normal pressure to produce a zirconia-based ceramic molded body. That is, by using the zirconia-based powder of the present invention when manufacturing a zirconia-based molded article by such a method, a zirconia-based molded article having uniform quality and high reliability can be produced.

 本発明のジルコニア系成形体のうちの特にジルコニア系セラミックス成形体に関しては、その品質の均一性、ひいては信頼性を示す目安として、一般に、ワイブル係数(m)値が使われている。これは機械的強度などのばらつきを統計的な理論により表したものであり、ワイブル係数(m)値が高いほど機械的強度のばらつきが少なく実用上好ましいものである。本発明によれば、ワイブル係数(m)値が10より高いジルコニア系成形体を得ることができる。 ワ イ In the zirconia-based molded article of the present invention, in particular, with regard to the zirconia-based ceramic molded article, generally, the Weibull coefficient (m) value is used as a measure for indicating the uniformity of quality and, consequently, the reliability. This is a statistical representation of variations in mechanical strength and the like. The higher the Weibull coefficient (m), the smaller the variation in mechanical strength, which is practically preferable. According to the present invention, a zirconia-based molded body having a Weibull coefficient (m) value higher than 10 can be obtained.

 以下、実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明する。
実施例1
 平均粒子径0.84μm、90体積%の粒子径が2.65μmである市販のジルコニア系粉体OZC−8YC(商品名、住友大阪セメント(株)製)4kgを純水6kgとともにアペックスミルAM−1(商品名、コトブキ技研工業(株)製、ミル粉砕室直径8cm)に入れて次の条件下に粉砕を行った。
ボールメディア:0.5mm径のジルコニアボール(4kg)
ローター先端周速度:7m/秒(ミルモーター動力を調整して設定)
粉砕時間:1時間
 上記湿式粉砕により得られたスラリーを10リットルのロータリーエバポレーターに入れ、更に等量のオクタノールを入れて、加熱減圧しながら水を留出させてオクタノール置換スラリーを得た。このスラリーを更に加熱減圧してオクタノールを留出させた後、減圧乾燥して粉砕微粉体(A)を得た。
Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples.
Example 1
Apex Mill AM- with 4 kg of commercially available zirconia-based powder OZC-8YC (trade name, manufactured by Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.) having an average particle diameter of 0.84 μm and a particle diameter of 90% by volume of 2.65 μm together with 6 kg of pure water. 1 (trade name, manufactured by Kotobuki Giken Kogyo Co., Ltd., mill crushing chamber diameter: 8 cm) and crushed under the following conditions.
Ball media: 0.5 mm diameter zirconia ball (4 kg)
Rotor tip peripheral speed: 7m / sec (set by adjusting mill motor power)
Pulverization time: 1 hour The slurry obtained by the wet pulverization was put into a 10-liter rotary evaporator, an equal amount of octanol was further added, and water was distilled under heating and reduced pressure to obtain an octanol-substituted slurry. The slurry was further heated and reduced in pressure to distill octanol, and then dried under reduced pressure to obtain pulverized fine powder (A).

 この粉体(A)を島津製作所(株)製の粒度分布計SALD−1100を用い測定したところ、平均粒子径は0.66μm、90体積%の粒子径は1.3μmであった。また、最大粒子径は3.7μmであった。
実施例2
 平均粒子径0.84μm、90体積%の粒子径が2.65μmである市販のジルコニア系粉体OZC−8YC(商品名、住友大阪セメント(株)製)5.5kgと分散剤としてギ酸44gを添加した純水4.544kgとをアペックスミルAM−1(商品名、コトブキ技研工業(株)製、ミル粉砕室直径8cm)に入れて次の条件下に粉砕を行った。
ボールメディア:0.5mm径のジルコニアボール(4kg)
ローター先端周速度:5m/秒(ミルモーター動力を調整して設定)
粉砕時間:10分
 以下、実施例1と同様にして粉砕微粉体(B)を得、その平均粒子径と90体積%の粒子径とを測定した。この粉体(B)の平均粒子径は0.6μm、90体積%の粒子径は1.12μmであった。また、最大粒子径は3.7μmであった。
実施例3
 それぞれ実施例1および実施例3で調製したジルコニア系粉体(A)および(B)100質量部に、メタクリル酸共重合体15質量部を溶解したトルエン/酢酸エチル(1/1質量比)50質量部および可塑剤としてのジブチルフタレート2質量部を添加し、ボールミルにより混合してから粘度を調整した後、ドクターブレード法により0.25mm厚のグリーンシートを作製した。
When this powder (A) was measured using a particle size distribution analyzer SALD-1100 manufactured by Shimadzu Corporation, the average particle diameter was 0.66 μm, and the particle diameter of 90% by volume was 1.3 μm. Further, the maximum particle size was 3.7 μm.
Example 2
5.5 kg of commercially available zirconia-based powder OZC-8YC (trade name, manufactured by Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.) having an average particle diameter of 0.84 μm and a particle diameter of 90% by volume of 2.65 μm, and 44 g of formic acid as a dispersing agent. 4.544 kg of the pure water added was put into Apex Mill AM-1 (trade name, manufactured by Kotobuki Giken Kogyo Co., Ltd., mill crushing chamber diameter: 8 cm) and crushed under the following conditions.
Ball media: 0.5 mm diameter zirconia ball (4 kg)
Rotor tip peripheral speed: 5m / sec (set by adjusting mill motor power)
Pulverization time: 10 minutes Hereinafter, a pulverized fine powder (B) was obtained in the same manner as in Example 1, and the average particle diameter and the particle diameter of 90% by volume were measured. The average particle diameter of the powder (B) was 0.6 μm, and the particle diameter of 90% by volume was 1.12 μm. Further, the maximum particle size was 3.7 μm.
Example 3
50 parts by mass of toluene / ethyl acetate (1/1 mass ratio) obtained by dissolving 15 parts by mass of a methacrylic acid copolymer in 100 parts by mass of the zirconia-based powders (A) and (B) prepared in Examples 1 and 3 respectively. After adding 2 parts by weight of dibutyl phthalate as a plasticizer and mixing with a ball mill to adjust the viscosity, a green sheet having a thickness of 0.25 mm was produced by a doctor blade method.

 このグリーンシートを1450℃で2時間焼成して0.2mm厚のジルコニア系セラミックスシートを得た。このシートのワイブル係数(m)値を下記方法により求めた。結果を表1に示す。
<ワイブル係数(m)値>
 4mm(幅)×0.2mm(厚さ)×40mm(長さ)のシート状試験片20本を作製した。これら試験片について、その表面粗さの調整、面取りなどはせずに、JIS R1601の方法に準じて3点曲げ強度を測定した。
The green sheet was fired at 1450 ° C. for 2 hours to obtain a zirconia ceramic sheet having a thickness of 0.2 mm. The Weibull coefficient (m) value of this sheet was determined by the following method. Table 1 shows the results.
<Weibull coefficient (m) value>
Twenty sheet-shaped test pieces of 4 mm (width) x 0.2 mm (thickness) x 40 mm (length) were produced. For these test pieces, the three-point bending strength was measured according to the method of JIS R1601, without adjusting the surface roughness or chamfering.

 次に、「耐火物」39−489、1987−No.9の尾崎義治「セラミックスの強度と信頼性予測」11頁右欄に記載の式(2) Next, "Refractory" 39-489, 1987-No. No. 9 Yoshiharu Ozaki “Estimation of Strength and Reliability of Ceramics” Equation (2) described in the right column of page 11

Figure 2004035403
Figure 2004035403

(式中、Pfは破壊確率であり、Pf=n/(N+1)で定義される(ここで、Nはサンプル個数、nはn番目のサンプルである)、σfは破壊曲げ強度、mはワイブル係数、σ0は規格化因子、またσuはこの破壊曲げ強度以下では0となる応力値である)に基づき、σfは上記の3点曲げ強度の測定値とし、縦軸にInIn{1/(1−Pf)}を、横軸にIn(σf−σu)をとってグラフを書いた。なお、−mInσ0はグラフの切片となる。この傾きからmを最小自乗法により求めた。
実施例4
 それぞれ実施例1および実施例2で調製したジルコニア系粉体(A)および(B)をゴム袋に入れた後、2000kg/cmで10分間静水圧加圧を行い30mm×6mm×100mmのバルク体を得た。次いで、このバルク体を4mm×4mm×40mmに切り出し、表面を研磨した後、1500℃で2時間焼成してジルコニア系試験片を得た。
(Where Pf is the probability of fracture, defined by Pf = n / (N + 1) (where N is the number of samples and n is the nth sample), σf is the bending bending strength, and m is Weibull Σ0 is a normalization factor, and σu is a stress value that becomes 0 below this breaking bending strength), σf is a measured value of the above three-point bending strength, and the vertical axis is InIn {1 / (1 −Pf)} and In (σf−σu) on the horizontal axis, a graph was drawn. Note that -mIn? 0 is an intercept of the graph. From this slope, m was obtained by the least square method.
Example 4
After putting the zirconia-based powders (A) and (B) prepared in Example 1 and Example 2 in a rubber bag, respectively, they were subjected to hydrostatic pressure press at 2000 kg / cm 2 for 10 minutes to obtain a bulk of 30 mm × 6 mm × 100 mm. Got a body. Next, this bulk body was cut into 4 mm × 4 mm × 40 mm, the surface was polished, and then fired at 1500 ° C. for 2 hours to obtain a zirconia-based test piece.

 この試験片を用いて、実施例3と同様にして、ワイブル係数(m)値を求めた。結果を表2に示す。
比較例1
 実施例3において、実施例1で調製したジルコニア系成形体(A)の代わりに、その原料粉体である市販の平均粒子径0.84μm、90体積%の粒子径が2.65μmのジルコニア系粉体を用いた以外は実施例3と同様にしてジルコニア系セラミックスシートを作製し、そのワイブル係数(m)値を求めた。結果を表1に示した。
比較例2
 実施例4において、実施例1で調製したジルコニア系粉体(A)の代わりに、その原料粉体である市販の平均粒子径0.84μm、90体積%の粒子径が2.65μmのジルコニア系粉体を用いた以外は実施例4と同様にしてジルコニア系バルク体を作製し、そのワイブル係数(m)値を求めた。結果を表2に示した。
Using this test piece, the Weibull coefficient (m) value was determined in the same manner as in Example 3. Table 2 shows the results.
Comparative Example 1
In Example 3, in place of the zirconia-based molded product (A) prepared in Example 1, a commercially available zirconia-based material having a mean particle diameter of 0.84 μm and 90% by volume having a particle diameter of 2.65 μm as the raw material powder was used. A zirconia ceramic sheet was prepared in the same manner as in Example 3 except that the powder was used, and the Weibull coefficient (m) value was obtained. The results are shown in Table 1.
Comparative Example 2
In Example 4, in place of the zirconia-based powder (A) prepared in Example 1, a commercially available zirconia-based powder having a mean particle diameter of 0.84 μm and 90% by volume of 2.65 μm as the raw material powder was used. A zirconia-based bulk body was prepared in the same manner as in Example 4 except that the powder was used, and the Weibull coefficient (m) value was obtained. The results are shown in Table 2.

Figure 2004035403
Figure 2004035403

Figure 2004035403
Figure 2004035403

 上記表1および表2の結果から、本発明のジルコニア系成形体は、ワイブル係数が高く、品質が均一で、信頼性が高いものであることがわかる。 か ら From the results of Tables 1 and 2, it can be seen that the zirconia-based molded article of the present invention has a high Weibull coefficient, uniform quality, and high reliability.

産業上の利用分野Industrial applications

 本発明のジルコニア系成形体は、優れた酸素イオン伝導性、耐熱性および耐腐食性を有しているので、センサー部品、燃料電池用の電解質膜、または焼成用セッターなどとして有効に活用することができる。

Since the zirconia-based molded article of the present invention has excellent oxygen ion conductivity, heat resistance, and corrosion resistance, it can be effectively used as a sensor component, an electrolyte membrane for a fuel cell, or a firing setter. Can be.

Claims (4)

レーザー回折式粒度分布計を用いて測定した、平均粒子径が0.5μmを超え0.8μm以下、90体積%の粒子径が1μmを超え2μm以下であり、90体積%の粒子径が平均粒子径の1.5〜2.5倍の範囲にあるジルコニア系粉体。 The average particle diameter measured using a laser diffraction type particle size distribution analyzer is more than 0.5 μm and less than 0.8 μm, the particle diameter of 90% by volume is more than 1 μm and less than 2 μm, and the particle diameter of 90% by volume is an average particle. A zirconia-based powder having a diameter of 1.5 to 2.5 times. 請求項1記載のジルコニア系粉体を用いて得られるジルコニア系成形体。 A zirconia-based compact obtained by using the zirconia-based powder according to claim 1. 請求項2記載のジルコニア系成形体であって、10を下回らないワイブル係数(m)値を有するジルコニア系成形体。 The zirconia-based molded article according to claim 2, having a Weibull coefficient (m) value not less than 10. 12を下回らないワイブル係数(m)値を有するジルコニア系成形体。

A zirconia-based molded article having a Weibull coefficient (m) value not less than 12.

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