JP2004031021A - Method for enclosing gas into capillary tube and its device - Google Patents

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篠田　傳
Akira Tokai
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山田　斉
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the other capillary tube from being influenced even if a leak occurs in one of capillary tubes by disposing a plurality of capillary tubes in a single vacuum system and by evacuating of the capillary tubes and introducing gas into the capillary tubes. <P>SOLUTION: The plurality of capillary tubes are disposed in a chamber; the chamber is sealed to reduce pressure in the chamber below predetermined pressure; and thereafter gas is fed into the chamber until reaching the predetermined pressure; and at least one-side ends of the respective capillary tubes are sealed. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、細管内へのガス封入方法およびその装置に関し、さらに詳しくは、直径０．５〜５ｍｍ程度の細管からなる発光管（「表示管」や「ガス放電管」とも呼ばれる）を並列に複数配列して、任意の画像を表示する表示装置の作製に好適に用いられる細管内へのガス封入方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上述のような表示装置を作製する場合、直径０．５〜５ｍｍ程度の細管からなる発光管を多数作製する必要がある。各発光管は、細管内に、たとえば電子放出膜や蛍光体層を形成した後、内部に放電ガスを導入し、両端を封着することにより作製する。
【０００３】
この細管の内部に放電ガスを封入する際には、細管を一本ずつ真空排気した後、細管の内部に放電ガスを封入するようにしていたが、量産性に劣るため、本発明者らにより、複数の細管に対して排気と放電ガスの導入を同時に行うことが可能な、以下のような細管内へのガス封入装置が検討された。
【０００４】
図４は複数の細管内へのガス封入装置の概要を示す説明図である。
この図において、１は発光管となるガラス製の細管、３２は細管１に放電ガスを導入する本体、３３は本体３２に設けられ細管１を装着する装着部、３４は装着部３３に設けられたオーリング、３５は細管１の内部を真空にするための真空ポンプ、３６は真空ポンプ３５用の第１バルブ、３７は細管１の内部に放電ガスを導入するための放電ガスボンベ、３８は放電ガスボンベ３７用の第２バルブである。
【０００５】
この装置では、複数の細管１の内部に同時に放電ガスを導入する。それには、まず、複数の細管１の各一方端（図では上方）を加熱溶融させて封着しておく。そして、第１バルブ３６と第２バルブ３７の両方を閉じた状態にして、細管１の他方（図では下方）の各開口端を本体３２の装着部３３に装着する。この装着に際しては、オーリング３４で本体３２と細管１の密封性が保たれるようにする。
【０００６】
次に、第１バルブ３６を開き、真空ポンプ３５を用いて細管１の内部を真空に近い状態まで減圧し、排気を行う。
【０００７】
次に、第１バルブ３６を閉じ、第２バルブ３７を開いた状態にして、本体３２を介して細管１内に放電ガスボンベ３８内の放電ガスが導入されるようにし、細管１内の圧力が所定の圧力に達したら、細管１の他方（図では下方）の各開口端を、それぞれ図示しないヒーターで加熱して、細管１の各他方端を封着する。このようにして、細管１内に所定圧力（通常は１気圧以下）の放電ガスを封入することが検討された。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この装置では、複数の細管１の内、たとえば破損やオーリング３４の取り付け不良などによって、一本でも細管１にリーク（漏れ）が生じると、他の正常な細管１にもその影響が及び、全ての細管１に対して放電ガスの導入が不良となるという問題がある。
【０００９】
本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、単一の真空系に複数の細管を配置して、細管の排気と細管内へのガスの導入を行うようにし、一本の細管にリークが発生しても、他の細管に影響を及ぼさないようにすることを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、チャンバー内に複数の細管を配置し、チャンバーを密閉して、チャンバー内の圧力を所定の圧力以下に減圧し、その後、チャンバー内に所定の圧力までガスを供給し、各細管の少なくとも一方の端部を、それぞれ封着することからなる細管内へのガス封入方法である。
【００１１】
本発明によれば、チャンバー内に複数の細管を配置し、チャンバーを密閉して、それらの細管の排気と細管内へのガスの導入を行うようにしたので、一本の細管にリークが発生しても、そのリークが他の細管に影響を与えることがない。
【００１２】
【発明の実施の形態】
本発明において、ガスを封入する細管は、どのような径のものであってもよいが、特に直径０．５〜５ｍｍ程度のガラス細管を適用することが望ましい。この細管は、円形や扁平楕円形、あるいは矩形など、どのような断面形状を有していてもよい。
【００１３】
使用するチャンバーは、内部に複数の細管を配置した後、密閉して、内部の圧力を所定の圧力以下に減圧することが可能なものであればよく、当該分野で公知のチャンバーをいずれも適用することができる。チャンバー内の減圧には、当該分野で公知の真空ポンプをいずれも適用することができる。この場合、チャンバー内の圧力は、不純物ガスによる放電電圧上昇の理由から、１０−６Ｔｏｒｒ以下に減圧することが望ましい。
【００１４】
チャンバー内へのガスの供給は、バルブを開くことによってチャンバー内に、たとえば希ガスを供給することが可能なボンベを適用することができる。
【００１５】
各細管の少なくとも一方の端部を、それぞれ封着するには、公知の電熱ヒーターや赤外線ヒーターを使用して当該端部を加熱溶融する方法を適用することができる。これらのヒーターは、たとえば細管がガラスで作製されている場合であれば、そのガラスを融点まで加熱することができるものであればよい。
【００１６】
本発明は、また、複数の細管を内部に配置することが可能なチャンバーと、チャンバーに設けられ、複数の細管の出し入れが可能で、複数の細管が内部に配置された後、チャンバーを密閉することが可能な開口部と、チャンバー内の圧力を所定の圧力以下に減圧することが可能なポンプと、チャンバー内に所定の圧力までガスを供給することが可能なガス供給部と、各細管の少なくとも一方の端部を、それぞれ加熱溶融させて封着することが可能な加熱部とを備えてなる細管内へのガス封入装置である。
【００１７】
上記構成において、ポンプは、チャンバー内の圧力を、不純物ガスによる放電電圧上昇の理由から、１０−６Ｔｏｒｒ以下に減圧することが可能な真空ポンプで構成することが望ましい。
【００１８】
以下、図面に示す実施の形態に基づいてこの発明を詳述する。なお、この発明はこれによって限定されるものではなく、各種の変形が可能である。
【００１９】
図１は本発明の細管内へのガス封入装置の一実施形態の構成を示す説明図である。
この図において、２はチャンバー、３はチャンバーの開口部、４はチャンバーの蓋、５は真空ポンプ、６は放電ガスボンベ、７はバルブ、８はヒートコントローラー、９は上側電熱ヒーター、１０は下側電熱ヒーターである。
【００２０】
上側電熱ヒーター９は、細管の上側端部を封着するためのヒーターであり、チャンバーの蓋４の内側に設けられている。下側電熱ヒーター１０は、細管の下側端部を封着するためのヒーターであり、チャンバー２内部の底部に設けられている。そして、上側電熱ヒーター９と下側電熱ヒーター１０は、ヒートコントローラー８に接続され、ヒートコントローラー８によって加熱温度を任意に制御することが可能である。
【００２１】
チャンバー２内には、開口部３から複数の細管の出し入れが可能であり、この開口部３から、複数の細管１をチャンバー２内に配置した後、蓋４を閉じることで、チャンバー２を密閉することが可能である。
【００２２】
真空ポンプ５は、チャンバー２内の圧力を、たとえば１０−６Ｔｏｒｒ程度の所定の圧力まで減圧することが可能である。
【００２３】
放電ガスボンベ６には、放電ガスとしてＸｅ（９６％）＋Ｎｅ（４％）の混合希ガスが１００〜１０００Ｔｏｒｒの圧力で充填されている。そして、バルブ７を切り換えることにより、チャンバー２内の圧力を真空ポンプ５で減圧したり、チャンバー２内に放電ガスを供給することが可能である。
【００２４】
図２は細管と細管のホルダーを示す説明図である。
この図において、１は発光管となる細管、１２はホルダーである。
細管１は、円形の断面を有しており、ホウケイ酸ガラスを用い、管の外径１ｍｍ、肉厚１００μｍ、長さ４００ｍｍで作製したものである。
この細管１は、細管１と相似形の大形の母材をダンナー法で作製し、それを加熱して軟化させながら、リドロー（引き伸ばし）することにより作製している。
【００２５】
ホルダー１２は複数の細管１を縦方向に保持するようになっている。ホルダー１２の底部１２ａはホルダー１２が自立できるように筒状になっており、ホルダー１２をチャンバー２内に配置した際には、細管１の下端に下側電熱ヒーター１０を取り付けることができるようになっている。また、ホルダー１２をチャンバー２内に配置してチャンバーの蓋４を閉じたときには、細管１の上端に上側電熱ヒーター９を取り付けることができるようになっている。
【００２６】
図３はチャンバー内にホルダーを配置した状態を示す説明図である。
この図に示すように、複数の細管１を保持したホルダー１２を、チャンバーの開口部３からチャンバー２内に配置する。この配置は、人力で行ってもよいし、自動で行うようにしてもよい。
【００２７】
ホルダー１２をチャンバー２内に配置して、チャンバーの蓋４を閉じると、細管１の上端に上側電熱ヒーター９が取り付けられ、細管１の下端に下側電熱ヒーター１０が取り付けられた状態となる。
【００２８】
次に、細管内へのガス封入装置の動作を説明する。
本実施形態の細管内へのガス封入装置では、ホルダー１２に保持した複数の細管１の内部に同時に放電ガスを導入する。
【００２９】
それには、まず、ホルダー１２をチャンバー２内に配置した状態で、ヒートコントローラー８で制御することにより、全ての細管１に対し、同時に、上側電熱ヒーター９で細管１の上端を加熱し、細管１の上端を封着する。細管１は、外径が１ｍｍであるため、電熱ヒーターで加熱して溶融させることで、細管１を容易に封着することが可能である。
【００３０】
次に、バルブ７を操作して、真空ポンプ５とチャンバー２を連通させ、真空ポンプ５でチャンバー２内を１０−６Ｔｏｒｒまで減圧し、排気を行う。
【００３１】
次に、バルブ７を操作して、放電ガスボンベ６とチャンバー２を連通させ、チャンバー２内に放電ガスボンベ６内の放電ガスが導入されるようにし、チャンバー２内の圧力が５００Ｔｏｒｒに達したら、ヒートコントローラー８で制御することにより、全ての細管１に対し、同時に、下側電熱ヒーター１０で細管１の下端を加熱し、細管１の下端を封着する。
【００３２】
なお、上記では、細管１の上端を封着し、その後、放電ガスを導入して細管１の下端を封着したが、これを逆にし、細管１の下端を封着し、その後、放電ガスを導入して細管１の上端を封着するようにしてもよい。
【００３３】
また、細管１の上端も下端も封着せず、先にチャンバー２内に放電ガスを導入し、その後、細管１の上端、下端の順もしくはその逆の順、あるいは上端と下端を同時に封着してもよい。
【００３４】
このようにして、チャンバー内に複数の細管を配置して、それらの細管の排気と細管内への放電ガスの導入を行うことにより、一本の細管にリークが発生しても、そのリークが他の細管に影響を与えないようにすることができる。
【００３５】
【発明の効果】
本発明によれば、チャンバー内に複数の細管を配置し、チャンバーを密閉して、それらの細管の排気と細管内への放電ガスの導入を行うようにしたので、たとえば一本の細管にリークが発生したとしても、そのリークが他の細管に影響を及ぼすことがなくなり、細管内へのガス封入工程の効率の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の細管内へのガス封入装置の一実施形態の構成を示す説明図である。
【図２】実施形態における細管と細管のホルダーを示す説明図である。
【図３】実施形態におけるチャンバー内にホルダーを配置した状態を示す説明図である。
【図４】検討課題としての複数の細管内へのガス封入装置の概要を示す説明図である。
【符号の説明】
１　細管
２　チャンバー
３　チャンバーの開口部
４　チャンバーの蓋
５　真空ポンプ
６　放電ガスボンベ
７　バルブ
８　ヒートコントローラー
９　上側電熱ヒーター
１０　下側電熱ヒーター
１２　ホルダー
１２ａ　ホルダーの底部[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a method and an apparatus for filling gas into a thin tube, and more particularly, to an arc tube (also called a "display tube" or a "gas discharge tube") formed of a thin tube having a diameter of about 0.5 to 5 mm in parallel. The present invention relates to a method and a device for sealing a gas into a thin tube suitably used for producing a display device which displays a desired image by arranging a plurality of images.
[0002]
[Prior art]
When manufacturing the above-described display device, it is necessary to manufacture a large number of arc tubes made of thin tubes having a diameter of about 0.5 to 5 mm. Each arc tube is manufactured by forming, for example, an electron emission film or a phosphor layer in a thin tube, introducing a discharge gas into the inside, and sealing both ends.
[0003]
When sealing the discharge gas inside the narrow tube, the narrow gas was evacuated one by one, and then the discharge gas was sealed inside the narrow tube. In addition, a gas filling device into a small tube as described below, which can simultaneously perform exhaust and introduction of a discharge gas into a plurality of small tubes, has been studied.
[0004]
FIG. 4 is an explanatory view showing an outline of a device for filling gas into a plurality of narrow tubes.
In this figure, reference numeral 1 denotes a glass thin tube serving as an arc tube; 32, a main body for introducing a discharge gas into the thin tube 1; O-ring, 35 is a vacuum pump for evacuating the inside of the thin tube 1, 36 is a first valve for the vacuum pump 35, 37 is a discharge gas cylinder for introducing a discharge gas into the inside of the thin tube 1, and 38 is a discharge gas. This is a second valve for the gas cylinder 37.
[0005]
In this device, a discharge gas is simultaneously introduced into a plurality of narrow tubes 1. To this end, first, one end (upper side in the drawing) of each of the plurality of thin tubes 1 is sealed by heating and melting. Then, with both the first valve 36 and the second valve 37 closed, the other open end of the thin tube 1 (the lower side in the figure) is mounted on the mounting portion 33 of the main body 32. At this time, the sealing between the main body 32 and the thin tube 1 is maintained by the O-ring 34.
[0006]
Next, the first valve 36 is opened, and the inside of the thin tube 1 is depressurized to a state close to a vacuum using the vacuum pump 35, and exhausted.
[0007]
Next, the first valve 36 is closed and the second valve 37 is opened, so that the discharge gas in the discharge gas cylinder 38 is introduced into the thin tube 1 through the main body 32, and the pressure in the thin tube 1 is reduced. When the predetermined pressure is reached, the other open ends of the thin tube 1 (lower in the figure) are heated by heaters (not shown) to seal the other ends of the thin tube 1. In this way, it has been considered to enclose a discharge gas at a predetermined pressure (usually 1 atm or less) in the thin tube 1.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, in this device, if one of the thin tubes 1 leaks due to, for example, breakage or an improper installation of the O-ring 34, the influence is exerted on other normal thin tubes 1 as well. In addition, there is a problem that the introduction of the discharge gas into all the thin tubes 1 becomes defective.
[0009]
The present invention has been made in consideration of such circumstances, and a plurality of thin tubes are arranged in a single vacuum system to exhaust gas from the thin tubes and to introduce gas into the thin tubes. It is an object of the present invention to prevent leakage of a thin tube from affecting other thin tubes.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
The present invention arranges a plurality of thin tubes in a chamber, seals the chamber, reduces the pressure in the chamber to a predetermined pressure or less, and then supplies gas to a predetermined pressure in the chamber, and supplies the gas to each of the thin tubes. This is a method of sealing gas into a thin tube, which comprises sealing at least one end.
[0011]
According to the present invention, a plurality of small tubes are arranged in a chamber, the chamber is sealed, and the exhaust of these small tubes and the introduction of gas into the small tubes are performed. However, the leak does not affect other thin tubes.
[0012]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
In the present invention, the gas-filled thin tube may have any diameter, but it is particularly preferable to use a glass thin tube having a diameter of about 0.5 to 5 mm. This thin tube may have any cross-sectional shape such as a circular shape, a flat elliptical shape, or a rectangular shape.
[0013]
The chamber to be used only needs to be capable of reducing the internal pressure to a predetermined pressure or less after sealing a plurality of small tubes therein, and any chamber known in the art may be used. can do. Any vacuum pump known in the art can be used for reducing the pressure in the chamber. In this case, the pressure in the chamber is desirably reduced to 10 −6 Torr or less because of a rise in discharge voltage due to the impurity gas.
[0014]
For gas supply into the chamber, for example, a cylinder capable of supplying a rare gas can be applied into the chamber by opening a valve.
[0015]
In order to seal at least one end of each thin tube, a method of heating and melting the end using a known electric heater or infrared heater can be applied. These heaters need only be able to heat the glass to the melting point, for example, when the thin tube is made of glass.
[0016]
The present invention also provides a chamber in which a plurality of capillaries can be arranged, and a plurality of capillaries provided in the chamber, and a plurality of capillaries can be taken in and out, and the chamber is sealed after the capillaries are arranged inside. An opening capable of reducing the pressure in the chamber to a predetermined pressure or lower, a gas supply unit capable of supplying a gas to a predetermined pressure in the chamber, A gas filling device in a narrow tube, comprising: a heating portion capable of sealing by heating and melting at least one end of each gas.
[0017]
In the above structure, it is preferable that the pump be a vacuum pump capable of reducing the pressure in the chamber to 10 −6 Torr or less because of a rise in discharge voltage due to the impurity gas.
[0018]
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on an embodiment shown in the drawings. The present invention is not limited to this, and various modifications are possible.
[0019]
FIG. 1 is an explanatory diagram showing the configuration of an embodiment of the gas filling device in a thin tube of the present invention.
In this figure, 2 is a chamber, 3 is a chamber opening, 4 is a chamber lid, 5 is a vacuum pump, 6 is a discharge gas cylinder, 7 is a valve, 8 is a heat controller, 9 is an upper electric heater, and 10 is a lower side. It is an electric heater.
[0020]
The upper electric heater 9 is a heater for sealing the upper end of the thin tube, and is provided inside the lid 4 of the chamber. The lower electric heater 10 is a heater for sealing the lower end of the thin tube, and is provided at the bottom inside the chamber 2. The upper electric heater 9 and the lower electric heater 10 are connected to the heat controller 8, and the heating temperature can be arbitrarily controlled by the heat controller 8.
[0021]
In the chamber 2, a plurality of thin tubes can be taken in and out from the opening 3. After the plurality of thin tubes 1 are arranged in the chamber 2 from the opening 3, the chamber 4 is closed by closing the lid 4. It is possible to do.
[0022]
The vacuum pump 5 can reduce the pressure in the chamber 2 to a predetermined pressure of, for example, about 10 −6 Torr.
[0023]
The discharge gas cylinder 6 is filled with a mixed rare gas of Xe (96%) + Ne (4%) as a discharge gas at a pressure of 100 to 1000 Torr. By switching the valve 7, the pressure in the chamber 2 can be reduced by the vacuum pump 5 or a discharge gas can be supplied into the chamber 2.
[0024]
FIG. 2 is an explanatory view showing a thin tube and a holder for the thin tube.
In this figure, 1 is a thin tube serving as an arc tube, and 12 is a holder.
The thin tube 1 has a circular cross section, and is made of borosilicate glass and has an outer diameter of 1 mm, a wall thickness of 100 μm, and a length of 400 mm.
The thin tube 1 is manufactured by manufacturing a large-sized base material similar to the thin tube 1 by a Danner method, and heating and softening the same to redraw (stretch) it.
[0025]
The holder 12 holds a plurality of thin tubes 1 in the vertical direction. The bottom 12a of the holder 12 is cylindrical so that the holder 12 can stand on its own. When the holder 12 is disposed in the chamber 2, the lower electric heater 10 can be attached to the lower end of the thin tube 1. Has become. When the holder 12 is disposed in the chamber 2 and the lid 4 of the chamber is closed, the upper electric heater 9 can be attached to the upper end of the thin tube 1.
[0026]
FIG. 3 is an explanatory view showing a state where a holder is arranged in the chamber.
As shown in this figure, a holder 12 holding a plurality of thin tubes 1 is placed in a chamber 2 from an opening 3 of the chamber. This arrangement may be performed manually or automatically.
[0027]
When the holder 12 is disposed in the chamber 2 and the lid 4 of the chamber is closed, the upper electric heater 9 is attached to the upper end of the thin tube 1 and the lower electric heater 10 is attached to the lower end of the thin tube 1.
[0028]
Next, the operation of the gas filling device in the thin tube will be described.
In the gas filling device into a thin tube according to the present embodiment, a discharge gas is simultaneously introduced into a plurality of thin tubes 1 held by a holder 12.
[0029]
First, by controlling the heat controller 8 with the holder 12 placed in the chamber 2, the upper end of the thin tube 1 is simultaneously heated by the upper electric heater 9 for all the thin tubes 1. Seal the top of Since the thin tube 1 has an outer diameter of 1 mm, the thin tube 1 can be easily sealed by being heated and melted by an electric heater.
[0030]
Next, the valve 7 is operated to make the vacuum pump 5 communicate with the chamber 2, and the inside of the chamber 2 is depressurized to 10 −6 Torr by the vacuum pump 5 and exhausted.
[0031]
Next, the valve 7 is operated to make the discharge gas cylinder 6 communicate with the chamber 2, so that the discharge gas in the discharge gas cylinder 6 is introduced into the chamber 2, and when the pressure in the chamber 2 reaches 500 Torr, the heating is performed. By controlling with the controller 8, the lower end of the thin tube 1 is heated by the lower electric heater 10 for all the thin tubes 1 at the same time, and the lower end of the thin tube 1 is sealed.
[0032]
In the above description, the upper end of the thin tube 1 is sealed, and then the discharge gas is introduced to seal the lower end of the thin tube 1. However, the reverse is reversed, and the lower end of the thin tube 1 is sealed. May be introduced to seal the upper end of the thin tube 1.
[0033]
Also, the upper and lower ends of the thin tube 1 are not sealed, and a discharge gas is introduced into the chamber 2 first, and then the upper and lower ends of the thin tube 1 or the reverse order, or the upper and lower ends are simultaneously sealed. You may.
[0034]
In this way, by arranging a plurality of thin tubes in the chamber and exhausting those thin tubes and introducing a discharge gas into the thin tubes, even if a leak occurs in one thin tube, the leak can be reduced. Other capillaries can be left unaffected.
[0035]
【The invention's effect】
According to the present invention, a plurality of small tubes are arranged in the chamber, the chamber is sealed, and the discharge of the small tubes and the introduction of the discharge gas into the small tubes are performed. Does not affect the other small tubes even if the gas leaks, the efficiency of the gas filling process into the small tubes can be improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a configuration of an embodiment of a gas filling device in a thin tube of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a thin tube and a holder for the thin tube in the embodiment.
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a state in which a holder is arranged in a chamber in the embodiment.
FIG. 4 is an explanatory diagram showing an outline of a gas filling device into a plurality of thin tubes as a subject to be studied.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Capillary tube 2 Chamber 3 Chamber opening 4 Chamber lid 5 Vacuum pump 6 Discharge gas cylinder 7 Valve 8 Heat controller 9 Upper electric heater 10 Lower electric heater 12 Holder 12a Bottom of holder

Claims (6)

チャンバー内に複数の細管を配置し、
チャンバーを密閉して、チャンバー内の圧力を所定の圧力以下に減圧し、
その後、チャンバー内に所定の圧力までガスを供給し、
各細管の少なくとも一方の端部を、それぞれ封着することからなる細管内へのガス封入方法。Arrange multiple thin tubes in the chamber,
Close the chamber, reduce the pressure in the chamber to a predetermined pressure or less,
After that, gas is supplied to the predetermined pressure in the chamber,
A gas sealing method in a small tube, which comprises sealing at least one end of each small tube. 細管がガラス細管からなり、チャンバー内に供給されるガスが、そのガラス細管内に封入するための希ガスである請求項１記載の細管内へのガス封入方法。2. The gas filling method according to claim 1, wherein the thin tube is formed of a glass thin tube, and the gas supplied into the chamber is a rare gas for sealing the inside of the glass thin tube. チャンバー内の圧力が１０−６Ｔｏｒｒ以下に減圧される請求項１記載の細管内へのガス封入方法。2. The method according to claim 1, wherein the pressure in the chamber is reduced to 10 -6 Torr or less. 複数の細管を内部に配置することが可能なチャンバーと、
チャンバーに設けられ、複数の細管の出し入れが可能で、複数の細管が内部に配置された後、チャンバーを密閉することが可能な開口部と、
チャンバー内の圧力を所定の圧力以下に減圧することが可能なポンプと、
チャンバー内に所定の圧力までガスを供給することが可能なガス供給部と、
各細管の少なくとも一方の端部を、それぞれ加熱溶融させて封着することが可能な加熱部とを備えてなる細管内へのガス封入装置。A chamber in which a plurality of capillaries can be placed,
Provided in the chamber, a plurality of thin tubes can be taken in and out, and after the plurality of thin tubes are arranged inside, an opening capable of sealing the chamber,
A pump capable of reducing the pressure in the chamber to a predetermined pressure or less,
A gas supply unit capable of supplying gas to a predetermined pressure in the chamber,
A heating unit capable of heating and melting at least one end of each of the thin tubes to seal them. 細管がガラス細管からなり、チャンバー内に供給されるガスが、そのガラス細管内に封入するための希ガスである請求項４記載の細管内へのガス封入装置。5. The gas filling apparatus according to claim 4, wherein the thin tube is formed of a glass thin tube, and the gas supplied into the chamber is a rare gas for sealing the inside of the glass thin tube. ポンプが、チャンバー内の圧力を１０−６Ｔｏｒｒ以下に減圧することが可能な真空ポンプからなる請求項４記載の細管内へのガス封入装置。5. The gas filling apparatus according to claim 4, wherein the pump comprises a vacuum pump capable of reducing the pressure in the chamber to 10 -6 Torr or less.
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