JP2003509732A - Method of forming grating in optical waveguide - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】 ファイバがチューブの中に置かれている(34)。このチューブはシールされている。そのチューブ内のファイバに格子が書き込まれる(38)。 (57) [Summary] A fiber is placed in a tube (34). This tube is sealed. A grating is written to the fiber in the tube (38).
Description
【0001】[0001]
本発明は、光ファイバ要素の製造に関し、特に光導波路内のブラッグ反射格子
を形成して、製造工程中の光ファイバを汚染から保護する方法に関する。The present invention relates to the manufacture of optical fiber elements, and more particularly to a method of forming a Bragg reflector grating within an optical waveguide to protect the optical fiber from contamination during the manufacturing process.
【0002】[0002]
光導波路ファイバのある波長および強さに対する感度は1970年代後半以来知ら
れている。これは導波路ファイバの損失特性および屈折率が、所与の波長および
強さの光に導波路を曝すことによって、形成される光ファイバ片の屈折率の周期
的変動を許容することで、恒久的に変化せしめられることが明らかになった。導
波路の屈折率の長手軸方向に沿った周期的変動は一般的に光導波路格子として知
られている。ファイバブラッグ格子は、格子周期の2倍の波長を有する光線を選
択的に伝播させる光導波路格子である。こうしたファイバブラッグ格子は、波長
フィルターとして有用である。The sensitivity of optical waveguide fibers to certain wavelengths and strengths has been known since the late 1970s. This is because the loss properties and the index of refraction of the waveguide fiber allow for periodic fluctuations in the index of refraction of the optical fiber piece formed by exposing the waveguide to light of a given wavelength and intensity. It became clear that it could be changed. The periodic variation of the refractive index of the waveguide along the longitudinal axis is generally known as an optical waveguide grating. The fiber Bragg grating is an optical waveguide grating that selectively propagates a light beam having a wavelength twice the grating period. Such a fiber Bragg grating is useful as a wavelength filter.
【0003】
ファイバブラッグ格子は、周期的摂動を生じさせるために、化学線放射による
ライティング(writing)、エッチングまたは他の機構を含む複数のステッププ
ロセスを経て形成される。サイドライティングは光導波路ファイバ内に格子を形
成する1つのテクニックであり、例えば化学線放射のような光線が導波路の長手
軸方向に沿って、周期的な明暗の縞を形成する。かかる周期的縞の一例は、導波
路ファイバの側面や長手軸方向の一部に、周期的に形成される干渉パターンであ
る。光の干渉で作られる周期的な強度パターンは、導波路ファイバの長手軸方向
に沿う周期的な屈折率の変化を引き起こす。Fiber Bragg gratings are formed through a multi-step process involving writing by actinic radiation, etching, or other mechanisms to produce periodic perturbations. Sidelighting is one technique for forming a grating in an optical waveguide fiber in which a ray, such as actinic radiation, forms periodic light and dark stripes along the longitudinal axis of the waveguide. An example of such periodic fringes is an interference pattern that is periodically formed on the side surface of the waveguide fiber or on a part in the longitudinal axis direction. The periodic intensity pattern created by light interference causes a periodic change in refractive index along the longitudinal axis of the waveguide fiber.
【0004】
ファイバ格子の製造工程において、剥き出しのファイバを汚染物に曝すことは
、製造装置の故障を引き起こすとともに信頼性の低下を来す。さらにファイバの
ずれによる格子性能の低下を防ぐために、十分安定した状態でファイバを保持す
ることはやや困難である。かかるファイバのずれは、ファイバをそのポリマーコ
ーティングによって固定させる必要があるために生じ得る。Exposing exposed fibers to contaminants in the manufacturing process of fiber gratings causes failure of the manufacturing equipment and reduces reliability. Further, it is somewhat difficult to hold the fiber in a sufficiently stable state in order to prevent the grating performance from being deteriorated due to the displacement of the fiber. Such fiber misalignment can occur because the fiber needs to be fixed by its polymer coating.
【0005】
従って、格子のライティングプロセスにおいて、光ファイバのずれを防止する
ファイバブラッグ格子を作成するのプロセスを提供することは非常に有利である
。Accordingly, it would be highly advantageous to provide a process for making a fiber Bragg grating that prevents optical fiber misalignment in the grating lighting process.
【0006】[0006]
本発明は光導波路内に格子を形成するための有益な方法を提供する。本発明で
は、感光性の光導波路をパッケージ内に配置した後に格子のライティングを行う
ことによって、製造工程のいくつかのステップにおいて光導波路を安定して保持
し、かつ汚染から保護する。本発明の1つの特徴によれば、本発明の方法は光導
波路を囲繞構造体内に配置し、導波路を固定するために該構造体をシーリングし
て、該導波路の一部に格子を形成するステップを含む。The present invention provides a beneficial method for forming a grating in an optical waveguide. In the present invention, the grating is lit after the photosensitive light guide is placed in the package to hold the light guide stable and protect it from contamination during several steps of the manufacturing process. According to one feature of the invention, the method of the invention comprises placing an optical waveguide in an enclosing structure, sealing the structure to secure the waveguide, and forming a grating in a portion of the waveguide. Including the step of performing.
【0007】
本発明の別の特徴によれば、本発明の実施例は光導波路に感光性を付与するス
テップと、格子の特別な性能をテストするステップと、シーリングされた構造体
内で格子を調整するステップと、該格子および該構造体を熱処理するステップを
含んでいる。
本発明での光導波路は、例えば単モードもしくは多モード光ファイバやマルチ
コアファイバ、さらには溝型や平面型などの特殊な形態を有し得る。According to another feature of the invention, embodiments of the present invention provide for sensitizing the optical waveguide, testing for special performance of the grating, and adjusting the grating within the sealed structure. And heat treating the lattice and the structure. The optical waveguide according to the present invention may have a special mode such as a single mode or multimode optical fiber, a multicore fiber, and a groove type or a plane type.
【0008】
本発明の理解および本発明の更なる特徴ならびに利点は、後述の発明の詳細と
添付図面とから明らかになる。The understanding of the present invention and further features and advantages of the present invention will be apparent from the following detailed description of the invention and the accompanying drawings.
【0009】[0009]
本発明は、現段階において好ましい図示実施例によってより詳細に記述される
。しかしながら、本発明は様々な形態での実施が可能であり、ここに記載された
例示的実施例のみに限定解釈されるべきものではない。むしろこれらの典型的な
代表例を詳細に説明することによって、本明細書の開示が詳細かつ完全になるよ
うにすると同時に、当業者に対して本発明の範囲、構造、動作、機能性、広用の
可能性などを示す。The invention will now be described in more detail by means of the preferred illustrated embodiment. However, the present invention can be implemented in various forms, and should not be construed as being limited to only the exemplary embodiments described herein. Rather, the detailed description of these exemplary representatives will enable the present disclosure to be thorough and complete, while at the same time providing those skilled in the art with the scope, structure, operation, functionality, and breadth of the invention. Indicates the possibility of use.
【0010】
図1は本発明による後述する方法で形成される格子(グレーティング)パッケ
ージ10の断面図である。ここでは説明の都合上、導波路は光ファイバであって、
パッケージがチューブ構造である実施例について説明している。しかしながら、
本発明の方法は他のタイプの導波路についても適用可能であり、その場合パッケ
ージ形状や製造ステップを適切に改良もしくは変更して適用する。光ファイバ12
は、例えば紫外線のような化学線放射を透過する性質を有する素材で形成された
チューブ形状の構造体14に部分的に囲繞されている。この構造体14の素材として
は、ホウ素添加(ドーピングされた)シリカガラスもしくは紫外線を透過するよ
うな他のガラスが適している。またチューブ型構造体14の寸法は、図中の内径a
(例えば255〜1000μm)、外径b(例えば3.0mm)、長さc(例えば70mm)であ
る。コーティング部16を含む光ファイバ12の外径はd(例えば250μm)である。
このコーティング16は、中空のチューブ14に内包される長さの分だけ光ファイバ
12から剥ぎ取られている。また光ファイバ12には、コーティング16が剥ぎ取られ
た部分にファイバ格子18がライティングされたものを用いる。FIG. 1 is a cross-sectional view of a grating package 10 formed by the method described below according to the present invention. Here, for convenience of explanation, the waveguide is an optical fiber,
An example is described where the package is a tube structure. However,
The method of the present invention can also be applied to other types of waveguides, in which case the package shape and manufacturing steps are appropriately modified or changed. Optical fiber 12
Is partly surrounded by a tube-shaped structure 14 made of a material having a property of transmitting actinic radiation such as ultraviolet rays. As a material for the structure 14, boron-doped (doped) silica glass or other glass that transmits ultraviolet rays is suitable. The dimensions of the tube-type structure 14 are the inner diameter a in the figure.
(For example, 255 to 1000 μm), outer diameter b (for example, 3.0 mm), and length c (for example, 70 mm). The outer diameter of the optical fiber 12 including the coating portion 16 is d (for example, 250 μm).
The coating 16 has a length of the optical fiber that is contained in the hollow tube 14.
Stripped from twelve. Further, as the optical fiber 12, a fiber grating 18 is lit on a portion where the coating 16 is stripped off.
【0011】
2つのシール20と21はそれぞれ中空チューブ14の両端22と23に施され、ファイ
バ格子18を付与された光ファイバ12を適切な張力で保持している。これらのシー
ル20と21としては、銅ガラスや他の適した素材などを含むフリットを用いても良
い。またパッケージ10はチューブ型構造体14の両端22と23にエポキシや他の適切
な素材からなる栓24と25を設けることにより閉じられている。構造体14の両端22
と23は例えば45°の角度を有する漏斗形状を呈しており、光ファイバ12の挿入お
よび栓24と25の配置(取りつけ)を容易にしている。Two seals 20 and 21 are provided at both ends 22 and 23 of the hollow tube 14, respectively, to hold the optical fiber 12 provided with the fiber grating 18 with appropriate tension. The seals 20 and 21 may be frits including copper glass or other suitable material. The package 10 is also closed by providing plugs 24 and 25 of epoxy or other suitable material at both ends 22 and 23 of the tubular structure 14. Both ends of structure 14 22
And 23 have, for example, a funnel shape with an angle of 45 °, which facilitates the insertion of the optical fiber 12 and the placement (installation) of the plugs 24 and 25.
【0012】
本明細書では、現時点で好ましい素材や寸法などが開示されているが、当業者
は本発明の格子パッケージ10には様々な素材や大きさを用いても良いことを認識
し、本明細書で記述されている形状や実施例のみに限定されると解釈すべきでは
ない。これらは典型的あるいは一般的な例に過ぎない。本発明に用いることがで
きる他の格子パッケージおよびパッケージング方法の詳細は、1999年9月16日に
出願された米国特許出願(Attorney Docket No. Carberry 6)に記述されている
。この米国特許出願は「間隔の長いファイバ格子のパッケージング方法および装
置(Method And Apparatus For Packaging Long-Period Fiber Grating)」とい
う発明の名称であり、その開示内容は本明細書に記載されたものとする。While the present specification discloses currently preferred materials, dimensions, etc., those skilled in the art will recognize that a variety of materials and sizes may be used for the grid package 10 of the present invention. It should not be construed as limited to only the geometries and examples described in the specification. These are just typical or general examples. Details of other grid packages and packaging methods that can be used in the present invention are described in the US patent application (Attorney Docket No. Carberry 6) filed September 16, 1999. This U.S. patent application is entitled "Method And Apparatus For Packaging Long-Period Fiber Grating", the disclosure of which is incorporated herein by reference. To do.
【0013】
図2は本発明による、あるパッケージ(例えば図1のパッケージ10など)内の
導波路格子の形成方法30を示す。導波路に感光性を付与するステップ32では導波
路(例えば光ファイバなど)に感光性が加えられる(与えられる)。本発明で用
いた光ファイバの一例はハイデルタ(high-delta、後述の相対的な屈折率差が大
きいという意)であり、かつゲルマニウムを添加したステップ形ファイバで、ほ
ぼ2%の屈折率デルタのものである。ここで用いられている屈折率デルタという
用語は光ファイバのコア部とクラッド部との間での屈折率の相対的な差を百分率
(パーセント)で表わしたものである。図2の光ファイバに感光性を付与するプ
ロセスでの一例としては、光ファイバを100atmの水素雰囲気に2週間曝すものな
どがある。この後、光ファイバの一部は大量の紫外線で露光される。この露光に
適切な紫外線レーザは波長が248nmであり、15Hzでパルス発光される。この露光
は例えば30分間、75mJ/cm2のパルス強度で行われる。その後更に光ファイバには
125℃×24時間の熱処理(anneal)が加えられる。本発明に適用できる他のプロ
セスは、1999年2月18日に出願された米国特許出願、第09/252,151号(発明の名
称「光導波路の感光性付与方法(Optical Waveguide Photosensitization)」)
に記述されており、その開示内容は本明細書に記載されたものとする。FIG. 2 illustrates a method 30 of forming a waveguide grating in a package (eg, package 10 of FIG. 1, etc.) in accordance with the present invention. In step 32 of imparting photosensitivity to a waveguide, photosensitivity is imparted to a waveguide (eg, an optical fiber). An example of the optical fiber used in the present invention is a high-delta (high-delta, meaning that the relative refractive index difference described later is large) is a germanium-doped step type fiber having a refractive index delta of about 2%. It is a thing. The term "refractive index delta" used herein refers to the relative difference in refractive index between the core portion and the cladding portion of an optical fiber expressed as a percentage. An example of a process for imparting photosensitivity to the optical fiber of FIG. 2 is to expose the optical fiber to a hydrogen atmosphere of 100 atm for 2 weeks. After this, part of the optical fiber is exposed to a large amount of ultraviolet light. A suitable UV laser for this exposure has a wavelength of 248 nm and is pulsed at 15 Hz. This exposure is performed, for example, for 30 minutes with a pulse intensity of 75 mJ / cm 2 . After that, in the optical fiber
Anneal at 125 ° C for 24 hours is added. Another process applicable to the present invention is U.S. patent application Ser. No. 09 / 252,151, filed February 18, 1999 (Title of Invention: "Optical Waveguide Photosensitization")
, And the disclosure content is as described in this specification.
【0014】
次にパッケージング(パッケージ化する)ステップ34では、光ファイバは例え
ば図1の符号14に示すような中空チューブ内に置かれ、シールされてパッケージ
を形成する。このプロセスの間、パッケージは光ファイバを汚染から保護し、同
時にしっかりと保持している。そして、格子のライティングステップ36では、格
子が光ファイバ上に書き込まれる。この時、光ファイバに格子をサイドライティ
ング(side writing)するためのあらゆる技術を適用することができる。本発明
での典型的な前記技術の一例として、エキシマでポンピングされて周波数を倍増
させた色素レーザシステムが用いられ、本例ではほぼ240nmの波長で紫外線光源
として用いられる。本例のレーザ光による波長240nmのビームは一番初めにシリ
カスリットを透過する。この方法に適したシリカスリットについては、1998年5
月19日に出願された米国特許出願、第09/081,912号(発明の名称「高出力レーザ
ビーム用空間フィルタ(Spatial Filter For High Power laser Beam)」)に記
述されており、その開示内容は本明細書に記載されたものとする。波長240nmの
ビームはシリカスリットを透過した後、フェーズマスクを透過し、その後シリカ
チューブ内の光ファイバに到達する。このフェーズマスクは例えば透過回折格子
であり、その構造や性質が当該技術分野において知られている部品である。また
フェーズマスクは、一連の一定間隔で設けられた開口部を有する基板であっても
良い。格子のライティングステップ36では、実施例で示されているチューブ14は
フェーズマスクからおよそ4mmの位置に配置されており、エキシマレーザより発
振されるビームからのパルス露出は25分間、10Hzの周期で繰り返される。このレ
ーザの強さは光ファイバの位置でおよそ75mJ/cm2である。図3および図4に格子
の典型的な反射率曲線と透過率曲線を示す。このとき、レーザビームへ露光して
いる間の平均屈折率変化はおよそ2×10-4であった。Next, in a packaging step 34, the optical fiber is placed in a hollow tube, such as shown at 14 in FIG. 1, and sealed to form a package. During this process, the package protects the optical fiber from contamination and at the same time holds it securely. The grating writing step 36 then writes the grating onto the optical fiber. At this time, any technique for side writing the grating on the optical fiber can be applied. As an example of the typical technique of the present invention, an excimer pumped frequency doubled dye laser system is used, which in this example is used as an ultraviolet light source at a wavelength of approximately 240 nm. A beam having a wavelength of 240 nm generated by the laser light of this example first passes through the silica slit. For a silica slit suitable for this method, see 1998
U.S. Patent Application No. 09 / 081,912 filed on May 19, (invention title "Spatial Filter For High Power laser Beam"), the disclosure content of which is As described in the specification. The beam with a wavelength of 240 nm passes through the silica slit, then through the phase mask, and then reaches the optical fiber in the silica tube. This phase mask is, for example, a transmission diffraction grating, and is a component whose structure and properties are known in the art. Further, the phase mask may be a substrate having a series of openings provided at regular intervals. In the grating writing step 36, the tube 14 shown in the example is placed approximately 4 mm from the phase mask and the pulse exposure from the beam emitted by the excimer laser is repeated for 25 minutes at a 10 Hz period. Be done. The intensity of this laser is approximately 75 mJ / cm 2 at the position of the optical fiber. 3 and 4 show typical reflectance and transmittance curves of the grating. At this time, the average refractive index change during the exposure to the laser beam was about 2 × 10 −4 .
【0015】
次に最初のテストステップ38では、格子のスペクトル特性がテストされる。こ
のスペクトル特性は最初のチューニング(調整)ステップ40において補正もしく
は調整される。最初のチューニングステップ40では、格子が必要とする目標スペ
クトルを有するように多量の紫外線中で露光される。この時の紫外線は例えばほ
ぼ248nmの波長で5分間エキシマレーザシステムから照射される。図示実施例で示
された光ファイバの位置では、レーザ強度はおよそ75mJ/cm2であり、その反復率
(繰り返し速度)は15Hzである。図5は紫外線にいくつかの(異なる)時間間隔
で露光した場合の、ファイバ格子の典型的な透過(伝達)スペクトルを示す。波
長は露光されている間、全体的に(トータルで)およそ0.15nmシフトする。また
図5に見られるように、格子変調の振幅の減少に起因して露光時間が増加すると
、透過(伝達)できる最小値も増加する。この格子変調の減少は、格子の谷の部
分に事前に光線を照射することによる屈折率の増加によって起こる。さらに実施
例では、その後最初の熱処理ステップ42が行われる。このステップ42では、125
℃×24時間の熱処理が行われる。Next, in a first test step 38, the spectral properties of the grating are tested. This spectral characteristic is corrected or adjusted in the initial tuning step 40. In a first tuning step 40, the grating is exposed in a large amount of UV light so as to have the required target spectrum. At this time, the ultraviolet rays are emitted from the excimer laser system at a wavelength of, for example, approximately 248 nm for 5 minutes. At the position of the optical fiber shown in the illustrated embodiment, the laser intensity is approximately 75 mJ / cm 2 and its repetition rate (repetition rate) is 15 Hz. FIG. 5 shows a typical transmission (transmission) spectrum of a fiber grating when exposed to UV light for several (different) time intervals. The wavelength shifts about 0.15 nm overall (total) during exposure. Also, as seen in FIG. 5, as the exposure time increases due to the decrease in the amplitude of the grating modulation, the minimum value that can be transmitted (transmitted) also increases. This reduction in the grating modulation is caused by the increase in the refractive index by previously irradiating the valley portion of the grating with a light beam. Further, in an embodiment, a first heat treatment step 42 is then performed. In this step 42, 125
Heat treatment is performed at ℃ × 24 hours.
【0016】
実施例によっては、その後にテスト、調整および熱処理などの更なるステップ
が加わる場合がある。第2のテストステップ44では、格子が目標とするスペクト
ル特性を有するかどうかのテストが行われる。格子が目標とするスペクトル特性
を有していない場合、格子の調整を行うために第2のチューニングステップ46が
行われる。これは格子をほぼ248nmの波長のエキシマレーザから発振される多量
の紫外線に露出させる露光ステップである。図示されているように、光ファイバ
の位置におけるレーザ強度は15Hz周期でおよそ75mJ/cm2となる。その後最後のス
テップ48でパッケージには125℃×24時間の熱処理が施される。Depending on the embodiment, additional steps such as testing, conditioning and heat treatment may follow. A second test step 44 tests whether the grating has the desired spectral characteristics. If the grating does not have the desired spectral characteristics, a second tuning step 46 is performed to make the tuning of the grating. This is an exposure step that exposes the grating to a large amount of ultraviolet light emitted from an excimer laser with a wavelength of approximately 248 nm. As shown in the figure, the laser intensity at the position of the optical fiber is about 75 mJ / cm 2 in a 15 Hz cycle. Then, in the final step 48, the package is heat-treated at 125 ° C. for 24 hours.
【0017】
当業者であれば、本発明における様々な修正、変更および変形が発明の目的や
技術範囲(精神)などを逸脱することなく実施できることは明らかだろう。従っ
て、本発明は請求項やこれと均等な物に示された範囲の中で起こる修正、変更お
よび変形についても包含することになる。It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, changes and variations in the present invention can be implemented without departing from the object and technical scope (spirit) of the invention. Therefore, the present invention also covers modifications, changes and variations that occur within the scope of the claims and their equivalents.
【図1】本発明による格子パッケージの断面図である。1 is a cross-sectional view of a lattice package according to the present invention.
【図2】本発明によるファイバ格子形成方法を示すフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart showing a fiber grating forming method according to the present invention.
【図3】本発明によって形成されたファイバ格子の反射率曲線のグラフである。FIG. 3 is a graph of a reflectance curve of a fiber grating formed according to the present invention.
【図4】本発明によって形成されたファイバ格子の透過率曲線のグラフである。FIG. 4 is a graph of a transmittance curve for a fiber grating formed according to the present invention.
【図5】本発明によって形成された様々な光線照射時間によるファイバ格子の透
過(伝達)スペクトルのグラフである。FIG. 5 is a graph of the transmission spectrum of a fiber grating formed by the present invention with various irradiation times.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,CY, DE,DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,I T,LU,MC,NL,PT,SE),AE,AG,A L,AM,AT,AU,AZ,BA,BB,BG,BR ,BY,BZ,CA,CH,CN,CR,CU,CZ, DE,DK,DM,DZ,EE,ES,FI,GB,G D,GE,GH,GM,HR,HU,ID,IL,IN ,IS,JP,KE,KG,KP,KR,KZ,LC, LK,LR,LS,LT,LU,LV,MA,MD,M G,MK,MN,MW,MX,MZ,NO,NZ,PL ,PT,RO,RU,SD,SE,SG,SI,SK, SL,TJ,TM,TR,TT,TZ,UA,UG,U Z,VN,YU,ZA,ZW (72)発明者 ウェラブロフィ ローラ アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14830 コーニング パインレーン 6 Fターム(参考) 2H047 KA03 LA02 PA22 QA03 QA04 TA41 2H049 AA34 AA45 AA59 AA62 2H050 AA01 AB09X AC82 AC84 AD00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (81) Designated countries EP (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, I T, LU, MC, NL, PT, SE), AE, AG, A L, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR , BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, G D, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN , IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, M G, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL , PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, U Z, VN, YU, ZA, ZW (72) Inventor Wella Brophy Laura New York, USA 14830 Corning Pine Lane 6 F term (reference) 2H047 KA03 LA02 PA22 QA03 QA04 TA41 2H049 AA34 AA45 AA59 AA62 2H050 AA01 AB09X AC82 AC84 AD00
Claims (22)
ッケージ内に固定するステップと、 前記光導波路片の一部に格子を形成するステップと、 を含むことを特徴とする方法。1. A method of forming a grating in an optical waveguide, comprising: disposing the waveguide piece in an enclosing structure; and sealing the enclosing structure to form a package to form the optical waveguide piece. Fixing in the package, and forming a grating in a part of the optical waveguide piece.
載の方法。2. The method of claim 1, wherein the structure is substantially transparent to ultraviolet light.
とする請求項2記載の方法。3. The method according to claim 2, wherein the structure comprises silica glass to which boron is added.
方法。4. The method of claim 2, wherein the optical waveguide comprises an optical fiber.
方法。5. The method according to claim 2, wherein the optical waveguide is a planar waveguide.
方法。6. The method of claim 2, wherein the optical waveguide is a grooved waveguide.
法。7. The method of claim 1, wherein the optical waveguide is photosensitive.
記載の方法。8. The surrounding structure is a substantially cylindrical structure.
The method described.
る請求項1記載の方法。9. The method of claim 1, wherein the package protects the optical waveguide from contamination.
る請求項10記載の方法。11. The method of claim 10, wherein the ultraviolet light comprises a wavelength of approximately 240 nanometers.
記載の方法。12. The ultraviolet ray transmits through a silica slit, and
The method described.
10記載の方法。13. The ultraviolet ray is transmitted through a phase mask.
Method described in 10.
徴とする請求項10記載の方法。14. The method of claim 10, wherein the ultraviolet light is pulsed for 25 minutes at a frequency of approximately 10 Hz.
ステップを含むことを特徴とする請求項15記載の方法。16. The method of claim 15, wherein adjusting the grid comprises exposing the grid to a large amount of violet light.
ステップを含むことを特徴とする請求項18記載の方法。19. The method of claim 18, wherein the second adjusting step comprises exposing the grating to a large amount of ultraviolet light.
る請求項19記載の方法。20. The method of claim 19, wherein the wavelength of the ultraviolet light is approximately 248 nanometers.
徴とする請求項20記載の方法。21. The method of claim 20, wherein the ultraviolet light is pulsed for 5 minutes at a frequency of approximately 15 Hz.
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