JP2003329577A - Method for generating multiple connection optical retardation with rotation reflection body in optical coherence tomography and device of optical coherence tomography - Google Patents

Method for generating multiple connection optical retardation with rotation reflection body in optical coherence tomography and device of optical coherence tomography

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JP2003329577A
JP2003329577A JP2002137376A JP2002137376A JP2003329577A JP 2003329577 A JP2003329577 A JP 2003329577A JP 2002137376 A JP2002137376 A JP 2002137376A JP 2002137376 A JP2002137376 A JP 2002137376A JP 2003329577 A JP2003329577 A JP 2003329577A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for generating multiple connection optical retardation with a rotation reflection body in optical coherence tomography and the device of optical coherence tomography with high scanning speed in a depth direction (a Z direction), capable of simultaneously and continuously imaging a tomography image. <P>SOLUTION: When dividing light form a low coherence light source 1 into two parts, object light to an object to be inspected 109 and reference light with a half mirror 3 for two-dividing to reflect the reference light via an optical retardation mechanism by the reflection body 71, the reflection body 71 is arranged so as to generate reflection in two directions with a rotation angle; the light to the two directions are combined with the light of the object recurred from the object 109 with the half mirror 3 by individually reflecting to recur the light in the two directions with a plurality of another fixation mirrors; interference light including a heterodyne interference beat signal is continuously detected and then a plurality of deep cross sections of the object 109 are simultaneously multiple connection imaged by combining to interfere the reference light with reflection light from the different required deep layer of the object 109 by arbitrarily setting the regression optical path length of the reference light from a plurality of fixation mirrors 91, 92 responding to the position of the fixation mirror. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光コヒーレンスト
モグラフィーにおける回転反射体による多重連光遅延発
生方法及びその多重連映像化可能な光コヒーレンストモ
グラフィー装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical coherence tomography apparatus and a method for generating multiple continuous light delays by a rotating reflector in optical coherence tomography, and an optical coherence tomography apparatus capable of forming multiple continuous images.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の光コヒーレンストモグラフィーに
おける高速光遅延発生方法として、参照光路の経路をハ
ーフミラー→高速回転する第1のミラー→同第2のミラ
ー→固定ミラー→第2のミラー→第1のミラー→ハーフ
ミラーとし、光経路を回帰遅延反射する方法が知られて
いる。
2. Description of the Related Art As a conventional high-speed optical delay generation method in optical coherence tomography, a path of a reference optical path is a half mirror → a first mirror rotating at a high speed → a second mirror → a fixed mirror → a second mirror → a first mirror. A method is known in which the mirror is changed to a half mirror and the optical path is regressively delayed and reflected.

【0003】図7は、従来の光コヒーレンストモグラフ
ィー装置の概略構成図である。
FIG. 7 is a schematic configuration diagram of a conventional optical coherence tomography apparatus.

【0004】この図において、101は低コヒーレンス
光源〔例えばSLD(スーパールミネッセンスダイオー
ド)光源〕、102はハーフミラー(2分割用ハーフミ
ラー)、103は回転体、104は、第1のミラー10
4A及び第2のミラー104Bから構成される光遅延用
反射体、105は固定ミラー、106,107はミラ
ー、109は被検査物、110は光検出器である。
In this figure, 101 is a low coherence light source [for example, SLD (super luminescence diode) light source], 102 is a half mirror (half mirror for splitting), 103 is a rotating body, and 104 is the first mirror 10.
An optical delay reflector composed of 4A and the second mirror 104B, 105 is a fixed mirror, 106 and 107 are mirrors, 109 is an object to be inspected, and 110 is a photodetector.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の光コヒーレンストモグラフィーにおける高速遅
延方法では、奥行き方向(Z方向)の走査距離を長くと
れる代わりに、回転体円周上へのミラーの配置数を多く
とれないため、1回転あたりのトモグラフィー画像を数
多く効率よく取得できないなどの欠点があった。
However, in the above-described conventional high-speed delay method in optical coherence tomography, the number of mirrors arranged on the circumference of the rotating body is increased, instead of allowing a longer scanning distance in the depth direction (Z direction). However, there is a drawback in that many tomographic images per one rotation cannot be efficiently obtained.

【0006】従来の方法では、図7に示すように、回転
体の接線に垂直な中心線ABにミラーの対角線を合わせ
て配置し、入射光が第1のミラー104A→第2のミラ
ー104B→固定ミラー105と回帰遅延する場合のみ
考えられ、ミラーが回転によって逆に第2のミラー→第
1のミラーと入射する場合の反射遅延は利用されていな
かった。
In the conventional method, as shown in FIG. 7, the diagonal line of the mirror is aligned with the center line AB perpendicular to the tangent line of the rotating body, and the incident light is transmitted from the first mirror 104A to the second mirror 104B → This is considered only in the case of a return delay with respect to the fixed mirror 105, and the reflection delay in the case where the mirror reversely enters the second mirror → the first mirror by rotation is not used.

【0007】また、生体などの動いている被検査物で
は、Z方向の走査をできるだけ高速にする必要がある
が、機械的回転数は限られているので、ミラーを複数配
置し1秒当たりの取得断層画像を多くすることは、上記
した従来の方法では対応ができなかった。
Further, for a moving object to be inspected such as a living body, it is necessary to make the scanning in the Z direction as fast as possible, but since the number of mechanical rotations is limited, a plurality of mirrors are arranged and the number of mirrors per second is increased. Increasing the number of acquired tomographic images cannot be dealt with by the above-mentioned conventional method.

【0008】さらに、1回転で、異なる部位あるいは連
続した部位を多重に連続してトモグラフィーを構成する
方法などは、上記の従来の方法のみならず他の手段にお
いても、全く開示されていなかった。
Further, a method of constructing tomography by successively forming different parts or continuous parts in a single rotation in multiple layers has not been disclosed at all in other means than the above-mentioned conventional method.

【0009】本発明は、上記状況に鑑みて、奥行き方向
(Z方向)の走査速度が速く、同時に多重に連続して断
層画像を映像化できる、光コヒーレンストモグラフィー
における回転反射体による多重連光遅延発生方法及び光
コヒーレンストモグラフィー装置を提供することを目的
とする。
In view of the above situation, the present invention provides a multiple continuous light delay by a rotating reflector in optical coherence tomography, which has a high scanning speed in the depth direction (Z direction) and can simultaneously and multiple multiple tomographic images. An object is to provide a generating method and an optical coherence tomography apparatus.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔1〕光コヒーレンストモグラフィーにおける回転反射
体による多重連光遅延発生方法において、低コヒーレン
ス光源からの光を2分割用ハーフミラーで被検査物への
物体光と参照光とに2分割し、その参照光を回転反射体
による光遅延機構を介して反射するとき、回転角により
2方向への反射が連続して生じるように反射体を配置
し、その2方向への光をそれぞれ別の複数の固定ミラー
で反射回帰して、前記被検査物から回帰する物体光とと
もに前記2分割用ハーフミラーで合波し、前記複数の固
定ミラーからの参照光の回帰光路長をその固定ミラーの
位置により任意に設定することにより前記被検査物の異
なる所望の深層からの反射光と合波干渉して、ヘテロダ
イン干渉ビート信号を含む干渉光を連続して検出し、前
記被検査物の複数の深層断面を同時的に多重連映像化す
ることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention provides [1] a method for generating light from a low-coherence light source in two in a multiplex continuous light delay generation method using a rotating reflector in optical coherence tomography. When the half mirror splits the object light into the object to be inspected and the reference light into two and reflects the reference light through the optical delay mechanism of the rotary reflector, the reflection in two directions occurs continuously depending on the rotation angle. Are arranged as described above, light in the two directions is reflected and returned by a plurality of different fixed mirrors, respectively, and combined with the object light returning from the object to be inspected by the half mirror for splitting, By arbitrarily setting the return optical path length of the reference light from the plurality of fixed mirrors depending on the position of the fixed mirror, the heterodyne causes multiple interference with reflected light from different desired deep layers of the inspection object. It is characterized in that interference light including an interference beat signal is continuously detected, and a plurality of deep-layer cross-sections of the object to be inspected are simultaneously and continuously imaged.

【0011】〔2〕光コヒーレンストモグラフィー装置
において、低コヒーレンス光源と、この低コヒーレンス
光源からの光を被検査物への物体光と参照光に2分割す
る2分割用ハーフミラーと、前記参照光を回転角により
2方向へ反射が連続して生じるように反射体を配置した
回転反射体により遅延させる光遅延機構と、この光遅延
機構からの複数方向への反射をそれぞれ任意の光学距離
で反射回帰する複数の固定ミラーと、前記被検査物から
回帰する物体光と前記光遅延機構から回帰する参照光と
を合波する前記2分割用ハーフミラーとこの2分割用ハ
ーフミラーで合成されたヘテロダイン干渉ビート信号を
含む干渉光を検出する光検出器とを具備することを特徴
とする。
[2] In an optical coherence tomography apparatus, a low coherence light source, a half mirror for splitting the light from the low coherence light source into an object light and a reference light for an object to be inspected, and the reference light. An optical delay mechanism that delays by a rotating reflector in which a reflector is arranged so that reflection occurs continuously in two directions depending on the rotation angle, and reflection in multiple directions from this optical delay mechanism is reflected and returned at arbitrary optical distances. A plurality of fixed mirrors, the half-mirror for splitting the object light returning from the inspection object and the reference light returning from the optical delay mechanism, and the heterodyne interference synthesized by the half-mirror for splitting the two. And a photodetector for detecting interference light including a beat signal.

【0012】〔3〕光コヒーレンストモグラフィー装置
において、低コヒーレンス光源と、この低コヒーレンス
光源からの光を被検査物への物体光と参照光に2分割す
る2分割用ハーフミラーと、前記参照光を回転角により
2方向へ反射が連続して生じるように反射体を配置した
回転反射体により遅延させる光遅延機構と、この光遅延
機構からの複数方向への反射をそれぞれ任意の光学距離
で反射回帰するハーフミラーを含む複数の固定ミラー
と、前記物体光で被検査物の面内を走査する面走査機構
と、対物レンズと、前記被検査物から回帰する物体光と
前記光遅延機構から回帰する参照光とを合波する前記2
分割用ハーフミラーと、この2分割用ハーフミラーで合
成されたヘテロダイン干渉ビート信号を含む干渉光を検
出する光検出器とを具備することを特徴とする。
[3] In an optical coherence tomography apparatus, a low coherence light source, a half mirror for splitting the light from the low coherence light source into an object light and a reference light for an object to be inspected, and the reference light. An optical delay mechanism that delays by a rotating reflector in which a reflector is arranged so that reflection occurs continuously in two directions depending on the rotation angle, and reflection in multiple directions from this optical delay mechanism is reflected and returned at arbitrary optical distances. A plurality of fixed mirrors including a half mirror, a surface scanning mechanism for scanning the surface of the inspection object with the object light, an objective lens, an object light returning from the inspection object, and returning from the optical delay mechanism. The above 2 for combining with the reference light
It is characterized by comprising a splitting half mirror and a photodetector for detecting interference light containing a heterodyne interference beat signal synthesized by the splitting half mirror.

【0013】〔4〕上記〔2〕又は〔3〕記載の光コヒ
ーレンストモグラフィー装置において、前記光遅延機構
は、高速回転する回転体上に放射状に反射体を配置し、
かつその反射体は前記回転体の円周の法線に対し適度な
入射角で入射する光を回帰反射するように、所定の回転
角度範囲では第1のミラーに入射し第2のミラーで反射
して所定の光路長に設定した第1の固定ミラーで回帰反
射し、次なる回転角度範囲では逆に第2のミラーに入射
し第1のミラーで反射して別途所定の光路長に設定した
第2の固定ミラーで回帰反射するように、各第1のミラ
ーと第2のミラーの対を前記回転体の表面に複数対配置
し、ハーフミラーを含む複数の固定ミラーを所定の位置
に配置することを特徴とする。
[4] In the optical coherence tomography apparatus according to the above [2] or [3], the optical delay mechanism has reflectors arranged radially on a rotating body rotating at a high speed,
In addition, the reflector enters the first mirror and reflects on the second mirror in a predetermined rotation angle range so as to recursively reflect light incident at an appropriate incident angle with respect to the normal line of the circumference of the rotor. Then, the light is reflected back by the first fixed mirror set to a predetermined optical path length, and in the next rotation angle range, the light is incident on the second mirror, reflected by the first mirror, and set separately to the predetermined optical path length. A plurality of pairs of each of the first mirror and the second mirror are arranged on the surface of the rotating body so that the second fixed mirror recursively reflects, and a plurality of fixed mirrors including half mirrors are arranged at predetermined positions. It is characterized by doing.

【0014】〔5〕上記〔4〕記載の光コヒーレンスト
モグラフィー装置において、前記2分割ミラーを経た参
照光を別途ハーフミラーで2分割し、この2分割した光
を各々参照光とするように、前記光遅延機構は、高速回
転する回転体上に放射状に反射体を配置し、かつその反
射体は前記回転体の円周の法線に対し適度な入射角で入
射するその各参照光を独自に回帰反射するように、所定
の角度範囲では第1のミラーに入射し第2のミラーで反
射して所定の光路長に設定した第1の固定ミラーで回帰
反射し、次なる回転角度範囲では逆に第2のミラーに入
射し第1のミラーで反射して別途所定の光路長に設定し
た第2の固定ミラーで回帰反射するように、各第1のミ
ラーと第2のミラーの対を前記回転体の表面に複数対配
置し、複数の固定ミラーを所定の位置に配置することを
特徴とする。
[5] In the optical coherence tomography apparatus according to the above [4], the reference light that has passed through the two-split mirror is split into two separate half mirrors, and the split light is used as the reference light. The optical delay mechanism arranges reflectors radially on a rotating body that rotates at a high speed, and the reflector independently supplies each of the reference lights incident at an appropriate incident angle with respect to the normal line of the circumference of the rotating body. As in the case of recursive reflection, it enters the first mirror in a predetermined angle range, is reflected by the second mirror, and is retroreflected by the first fixed mirror set to a predetermined optical path length, and reverse in the next rotation angle range. Each pair of the first mirror and the second mirror so that the light enters the second mirror, is reflected by the first mirror, and is regressively reflected by the second fixed mirror separately set to a predetermined optical path length. Place multiple pairs on the surface of the rotating body and fix multiple Characterized by placing the error in position.

【0015】〔6〕上記〔2〕から〔5〕の何れか1項
記載の光コヒーレンストモグラフィー装置において、前
記ハーフミラーを含む複数の固定ミラーは各々スキャン
開始位置調整ミラーであり、前記物体光における光軸の
奥行き方向であるZ方向に一致させ、深さ方向の異なる
所望の地点から走査開始をするよう各々独立に光路長を
設定でき調整可能としたことを特徴とする。
[6] In the optical coherence tomography apparatus according to any one of [2] to [5] above, each of the plurality of fixed mirrors including the half mirrors is a scan start position adjusting mirror, and in the object light. It is characterized in that the optical path lengths can be independently set and adjusted so as to coincide with the Z direction which is the depth direction of the optical axis and start scanning from desired points in different depth directions.

【0016】〔7〕上記〔4〕記載の光コヒーレンスト
モグラフィー装置において、前記光遅延機構のうち、第
1のミラーと第2のミラーからなる1対の反射体を前記
参照光の入射光軸と直交する法線の立つ円周の一点に配
置し、大深度Z方向走査を可能とする少なくとも1対の
反射体を具備し、他の前記複数の反射体の走査位置を特
定する役割を有することを特徴とする。
[7] In the optical coherence tomography apparatus according to the above [4], in the optical delay mechanism, a pair of reflectors including a first mirror and a second mirror serves as an incident optical axis of the reference light. It has at least one pair of reflectors which are arranged at one point on the circumference where normal lines intersect at right angles and which enable scanning in the deep Z direction, and have a role of specifying the scanning position of the other plurality of reflectors. Is characterized by.

【0017】〔8〕上記〔2〕から〔7〕の何れか1項
記載の光コヒーレンストモグラフィー装置において、前
記参照光と物体光に2分割する2分割用ハーフミラーを
介してファイバー結合するレンズ系と、このレンズ系か
らの光を伝送する物体光用の光ファイバーと参照光用の
光ファイバーと、これらの光ファイバーからのそれぞれ
の出射光をおよそ平行光束にするレンズ系とを具備した
ことを特徴とする。
[8] In the optical coherence tomography apparatus according to any one of [2] to [7], a lens system in which fiber coupling is performed via a half mirror for splitting the reference light and the object light into two. And an optical fiber for object light and an optical fiber for reference light for transmitting the light from this lens system, and a lens system for making the respective outgoing lights from these optical fibers approximately parallel light fluxes. .

【0018】[0018]

〔9〕上記〔3〕記載の光コヒーレンスト
モグラフィー装置において、前記面走査機構はX軸走査
ミラー及びY軸走査ミラーを備え、前記複数の遅延参照
光に対応した所定の位置において、前記被検査物に対す
る物体光でその被検査物の面(X−Y)を高速に走査す
ることを特徴とする。
[9] In the optical coherence tomography apparatus according to [3], the surface scanning mechanism includes an X-axis scanning mirror and a Y-axis scanning mirror, and the object to be inspected at a predetermined position corresponding to the plurality of delayed reference lights. It is characterized in that the surface (X-Y) of the inspected object is scanned at high speed by the object light with respect to.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below.

【0020】図1は本発明の実施例を示す多重連映像化
光コヒーレンストモグラフィー装置の構成図である。
FIG. 1 is a block diagram of an optical coherence tomography apparatus for multiplex continuous imaging showing an embodiment of the present invention.

【0021】この図において、1は低コヒーレンス光源
〔例えば、SLD(スーパールミネッセンスダイオー
ド)光源〕、2はファイバー結合用レンズ、3はハーフ
ミラー(2分割用ハーフミラー)、4は参照光用光ファ
イバー、5および11は出射光平行光束用レンズ、6p
は光遅延機構への入射光及び回帰反射光、71は第1の
ミラー7a及び第2のミラー7bからなる光遅延機構反
射体、7a′は所定の回転角θp回転後の第1のミラー
位置、7b′も同様に回転後の第2のミラー位置、8は
回転体、91,92は第1、第2の固定ミラー、91
a,92aは第1、第2の固定ミラー91,92の光軸
方向へのスキャン開始位置調整機構であり、6A,6B
はそれぞれ回帰反射遅延光、10は物体光用光ファイバ
ー、12はX軸方向への面走査用ミラー、13はY軸方
向への面走査用ミラー、14は対物レンズである。ま
た、15はレンズ、16は光検出器、17はPC(パー
ソナルコンピュータ)システム、18は表示装置、10
9は被検査物である。
In this figure, 1 is a low coherence light source [eg, SLD (super luminescence diode) light source], 2 is a lens for fiber coupling, 3 is a half mirror (half mirror for splitting), 4 is an optical fiber for reference light, 5 and 11 are lenses for parallel rays of emitted light, 6p
Is the incident light and the return reflected light to the optical delay mechanism, 71 is the optical delay mechanism reflector consisting of the first mirror 7a and the second mirror 7b, and 7a 'is the first mirror position after the rotation of a predetermined rotation angle θp. , 7b 'are also the second mirror position after rotation, 8 is a rotating body, 91 and 92 are first and second fixed mirrors, and 91b.
Reference numerals a and 92a denote scan start position adjusting mechanisms of the first and second fixed mirrors 91 and 92 in the optical axis direction, and 6A and 6B.
Respectively, the reflection reflection delayed light, 10 are optical fibers for object light, 12 is a surface scanning mirror in the X-axis direction, 13 is a surface scanning mirror in the Y-axis direction, and 14 is an objective lens. Further, 15 is a lens, 16 is a photodetector, 17 is a PC (personal computer) system, 18 is a display device, 10
9 is an inspected object.

【0022】このように、光遅延機構は反射体71と回
転体8から構成され、反射体71は高速回転する回転体
8上に放射状に、かつ回転体8の円周の法線に対し適度
の角度で入射する参照光を平行に反射するように、第1
のミラー7a、第2のミラー7bで1対となる反射体7
1を複数配置しておく。
As described above, the optical delay mechanism is composed of the reflector 71 and the rotating body 8, and the reflecting body 71 is radially on the rotating body 8 rotating at a high speed and is appropriate to the normal line of the circumference of the rotating body 8. To reflect the reference light incident at an angle of
Reflector 7 which is a pair of the second mirror 7a and the second mirror 7a
Plural 1 are arranged.

【0023】例えばSLDなどの低コヒーレンス光源1
からの光波をファイバー結合用レンズ2を介して、ハー
フミラー3で参照光と物体光に2分割する。参照光は光
ファイバー4と平行光束用レンズ5を伝搬して光遅延機
構の反射体71に至る。反射体71が実線で示す角度の
位置にあるときには、参照光は第1のミラー7a、第2
のミラー7bと反射して第1の方向に向かい、第1の固
定ミラー91より同一光路を反射回帰し、反射体71の
回転とともに所定の光遅延長を得てハーフミラー3に戻
る。この回転により参照光の入射位置が、第1のミラー
7aと第2のミラー7bの合わせ境界を越えたとき、参
照光は点線で示す第2のミラー7b′、第1のミラー7
a′、第2の固定ミラー(スキャン開始位置調整機構付
きミラー)92と第2の方向へ反射する。すなわち、回
転角に応じ、入射参照光6pは2方向へ反射される。
Low coherence light source 1 such as SLD
The light wave from is split into a reference light and an object light by a half mirror 3 via a fiber coupling lens 2. The reference light propagates through the optical fiber 4 and the parallel light flux lens 5 and reaches the reflector 71 of the optical delay mechanism. When the reflector 71 is at the position of the angle indicated by the solid line, the reference light is emitted from the first mirror 7a and the second mirror 7a.
The light is reflected by the mirror 7b toward the first direction, reflected and returned along the same optical path from the first fixed mirror 91, and a predetermined optical delay length is obtained with the rotation of the reflector 71 to return to the half mirror 3. By this rotation, when the incident position of the reference light crosses the alignment boundary between the first mirror 7a and the second mirror 7b, the reference light shows the second mirror 7b 'and the first mirror 7 indicated by the dotted line.
a ', and the second fixed mirror (mirror with scan start position adjusting mechanism) 92 is reflected in the second direction. That is, the incident reference light 6p is reflected in two directions depending on the rotation angle.

【0024】このような光遅延機構としたので、反射光
を2方向へ形成することができて、第1の回転反射光6
Aが所定の光遅延延長に亘りZ走査をするとき、第2の
回帰反射光6Bは、第2の固定ミラー92の位置に応じ
て、第1の固定ミラー91と全く同域の被検査物の深層
のZ走査も、あるいは異なる分域でのZ走査も可能とな
る。前記両ミラーの合わせ境界点が、回転角度が例えば
θpの範囲で参照光が反射されつづければ、その前半と
後半で異なる分域でのZ走査、すなわち被検査物体の深
層方向のZ軸に対し、異なる範囲で深層の構造を反映す
る反射光分布図を測定できるものとなり従来にない特徴
がある。
With such an optical delay mechanism, the reflected light can be formed in two directions, and the first rotary reflected light 6 can be formed.
When A performs Z scanning over a predetermined optical delay extension, the second regressive reflected light 6B corresponds to the position of the second fixed mirror 92 and the object to be inspected in the same area as the first fixed mirror 91. It is also possible to perform Z scanning in the deep layer or in different domains. If the reference light continues to be reflected in the range where the rotation angle is, for example, θp, the alignment boundary points of the two mirrors are in Z scanning in different domains in the first half and the second half, that is, in the Z axis in the deep direction of the inspected object. On the other hand, it is possible to measure the reflected light distribution map that reflects the structure of the deep layer in different ranges, which is a unique feature.

【0025】前記回転体8は高速回転しているので、反
射体71が角度θpの範囲で参照光を反射しつづけ、か
つ光遅延を発生する変移が生じる結果、回転方向により
紫方または赤方に光ドップラー周波数シフトが生じる。
このドップラー周波数シフトは前記2方向への回帰反射
に際してもシフト周波数こそ異なるものの回転に応じ
て、前記ヘテロダイン干渉ビート信号が得られる。この
シフト周波数が回転の前半と後半で異なることを利用し
て、ビート周波数の弁別によりZ走査位置を識別して被
検査物の深層からの反射光分布を画像化できる特徴もあ
る。
Since the rotator 8 is rotating at a high speed, the reflector 71 continues to reflect the reference light in the range of the angle θp, and as a result of the shift causing the optical delay, the violet or red direction is generated depending on the rotating direction. An optical Doppler frequency shift occurs at.
The Doppler frequency shift has different shift frequencies even in the return reflection in the two directions, but the heterodyne interference beat signal is obtained according to the rotation. Utilizing the fact that the shift frequency is different between the first half and the latter half of the rotation, it is possible to identify the Z scanning position by discriminating the beat frequency and to image the distribution of reflected light from the deep layer of the inspection object.

【0026】前記2分割した他方の物体光は、物体光用
光ファイバー10と平行光束用レンズ11を伝搬して、
面走査機構(X軸走査ミラー12、Y軸走査ミラー1
3)、対物レンズ14を経て被検査物109に入射し、
その反射光は同一光路を回帰反射し、ハーフミラー3を
経て前記回帰反射してきた参照光と合波し、レンズ15
により集光され、光検出器16でヘテロダイン干渉信号
を発生し、電気信号となる。
The other object light divided into two is propagated through the object light optical fiber 10 and the parallel light beam lens 11,
Surface scanning mechanism (X-axis scanning mirror 12, Y-axis scanning mirror 1
3), enters the inspection object 109 through the objective lens 14,
The reflected light is regressively reflected on the same optical path, is combined with the reference light which is regressively reflected through the half mirror 3, and the lens 15
Is condensed by the photodetector 16 and a heterodyne interference signal is generated by the photodetector 16 to become an electric signal.

【0027】この面走査機構は、例えばガルバノメータ
ーにより同期駆動して、該ミラーの反射により物体光を
X−Y平面上に走査する。
This surface scanning mechanism is synchronously driven by, for example, a galvanometer, and the object light is scanned on the XY plane by the reflection of the mirror.

【0028】低コヒーレンス光源を用いているので、固
定ミラー91,92までの参照光路長と被検査物109
までの光路長が一致するときに干渉ビート信号が発生
し、光検出器16より、PC(パーソナルコンピュー
タ)システム17に送られる。PCシステム17では、
ヘテロダイン干渉信号の周波数弁別、信号増幅、3次元
画像化処理などを行い、表示装置18に被検査物109
の断層画像を表示する。
Since the low coherence light source is used, the reference optical path length up to the fixed mirrors 91 and 92 and the object to be inspected 109.
An interference beat signal is generated when the optical path lengths up to are coincident with each other, and the interference beat signal is sent from the photodetector 16 to the PC (personal computer) system 17. In the PC system 17,
Frequency discrimination of the heterodyne interference signal, signal amplification, three-dimensional imaging processing, etc. are performed, and the inspection object 109 is displayed on the display device 18.
Display a tomographic image of.

【0029】反射体71は、第1のミラー7aと第2の
ミラー7bとで表面反射ミラーを直角に配置するもので
も、直角プリズムや3面反射のコーナーキューブリフレ
クター、リトロリフレクター、キャッツアイ等でも構わ
ない。しかし、回転体8の回転には機械的な面ぶれが必
ず生じるので、物体回帰光との安定な干渉信号を得るた
めには、面ぶれに影響されず安定に回帰反射する3面反
射のコーナーキューブリフレクターやリトロリフレクタ
ーが実用的である。
The reflector 71 may be a first mirror 7a and a second mirror 7b in which surface reflection mirrors are arranged at a right angle, a right-angle prism, a three-sided reflection corner cube reflector, a retro-reflector, or a cat's eye. I do not care. However, since mechanical surface wobbling always occurs in the rotation of the rotator 8, in order to obtain a stable interference signal with the object return light, the corners of the three-sided reflection that are not affected by the surface wobbling and are stably reflected back. Cub reflectors and retro reflectors are practical.

【0030】また、物体光の光路途中にハーフミラーを
設置し、被検査物109からの表面実態をCCD素子な
どの撮像装置にて映像化することにより、被検査物に対
する検査光軸の位置合わせを容易に行うことができるこ
とは明らかである。
Further, a half mirror is installed in the optical path of the object light, and the surface condition from the inspection object 109 is visualized by an image pickup device such as a CCD element to align the inspection optical axis with the inspection object. It is clear that can be done easily.

【0031】さらに、従来は固定ミラーは1個であり、
走査開始位置の調整で1つの観測域のみに限られていた
が、本発明では、複数の固定ミラーとそれらの調整機構
91a,92aを設置することにより、任意に二つ以上
の観測域を同時的に走査観測の対象域とすることが可能
となる。
Further, conventionally, there is one fixed mirror,
The adjustment of the scanning start position was limited to only one observation area, but in the present invention, by installing a plurality of fixed mirrors and their adjustment mechanisms 91a and 92a, two or more observation areas can be simultaneously adjusted. It becomes possible to make it the target area of scanning observation.

【0032】本発明の原理を、図2及び図3を用いて説
明する。
The principle of the present invention will be described with reference to FIGS.

【0033】図2は本発明の多重連光遅延発生機構の幾
何学的説明図であり、図3は本発明の上記機構の回転角
度対光遅延距離のグラフである。
FIG. 2 is a geometrical explanatory view of the multiplex continuous light delay generating mechanism of the present invention, and FIG. 3 is a graph of rotation angle vs. optical delay distance of the above mechanism of the present invention.

【0034】図2において、6pは参照光の入射光およ
び回帰反射光、Oは回転中心、PVは円周の参照光の入
射点Pにおける法線、OHは入射光に平行な線分、dは
反射体71の反射ミラーの合わせ頂点の回転半径、rは
その回転軌跡をそれぞれ表す。
In FIG. 2, 6p is the incident light and the return reflected light of the reference light, O is the center of rotation, PV is the normal line at the incident point P of the reference light on the circumference, OH is a line segment parallel to the incident light, and d is Is the radius of gyration of the apex of the reflecting mirror of the reflector 71, and r is the locus of rotation thereof.

【0035】まず、反射体71の該頂点が回転開始角度
θ1の位置にあるとき、反射光6Aが発生し始めるとす
る。回転体8の回転に伴い漸次遅延反射光が発生し、入
射光6pが該頂点の位置を越え第2のミラー7b′で反
射すると、反射光は図の点線で示す遅延反射光6Bを発
生し、回転とともに漸次遅延反射光を発生し、回転終端
角度θ2で終わるとする。この間、遅延距離は、 Z(θ)=2d(cosθ1−cosθ2) …(1) と計算される。因子2は固定ミラーで回帰反射して2度
遅延を経験するためである。例えば、d=30mmの場
合の遅延距離を図3に示す。図3で中心角度θOは、該
頂点が図2のP点に来たときを示す。例えば、回転角度
θ1(=37.5度)−θO (=45度)で約5mm、
次の角度θO (=45度)−θ2(=51.5度)でさ
らに約5mmの遅延が得られることが分かる。
First, it is assumed that the reflected light 6A starts to be generated when the apex of the reflector 71 is at the position of the rotation start angle θ1. When the rotating body 8 rotates, delayed reflected light is gradually generated, and when the incident light 6p exceeds the position of the apex and is reflected by the second mirror 7b ', the reflected light generates delayed reflected light 6B shown by a dotted line in the figure. , The delayed reflected light is gradually generated with the rotation and ends at the rotation end angle θ2. During this period, the delay distance is calculated as Z (θ) = 2d (cos θ1-cos θ2) (1). Factor 2 is due to retroreflecting with a fixed mirror and experiencing a two degree delay. For example, the delay distance when d = 30 mm is shown in FIG. In FIG. 3, the central angle θ O indicates when the apex comes to point P in FIG. For example, the rotation angle θ1 (= 37.5 degrees) -θ O (= 45 degrees) is about 5 mm,
Next angle theta O (= 45 degrees) -.theta.2 (= 51.5 °) for a further delay of approximately 5mm is can be seen that to obtain.

【0036】反射光6A,6Bの先に図1で示した回帰
反射ミラー91,92を、被検査物109の深層の観測
したい分域の走査開始位置に合致するように配置するこ
とで、空気中で約5mmの深部の断層をそれぞれ独立に
多重連に観測できる。被検査物109の深層方向Z軸の
異なる観測域を観測する代わりに、同一観測域をX軸走
査で観測すれば、従来の観測速度の2倍の速さで走査し
て断層画像が取得できる。
By placing the return reflection mirrors 91 and 92 shown in FIG. 1 ahead of the reflected lights 6A and 6B so as to match the scanning start position of the domain to be observed in the deep layer of the object to be inspected 109, Multiple deep faults of about 5 mm can be independently observed in multiple rows. If the same observation area is observed by X-axis scanning instead of observing different observation areas in the deep direction Z-axis of the inspection object 109, a tomographic image can be acquired by scanning at twice the conventional observation speed. .

【0037】例えば、その頂角の回転半径をd=30m
mとした上記の例で、コーナーキューブリトロリフレク
タープリズムの大きさが入射面直径10mm、該頂点ま
での高さ8.6mmの既製品を用いると、回転体8の円
周に20度毎に18個を配置できる。回転体の回転数を
約3300rpmとすると、Z走査は毎秒2000本、
すなわち2KHzの走査速度を実現できる。例えば、断
層画像の画素数を(X軸100)×(Z軸100)とす
ると、毎秒当たり20枚の断層画像が取得でき、3次元
断層画像を容易に高速に実時間で観測できるものであ
る。従来の方法では、該プリズム数は上記の半径では4
個程度に限られ、走査速度は毎秒220本程度に限られ
たが、本実施例では9倍速が実現される。
For example, the radius of gyration of the apex angle is d = 30 m
In the above example with m, if a size of the corner cube retro-reflector prism is 10 mm in diameter of the entrance surface and 8.6 mm in height to the apex is used, it is 18 Individuals can be placed. If the rotation speed of the rotating body is about 3300 rpm, Z scanning is 2000 lines per second,
That is, a scanning speed of 2 KHz can be realized. For example, if the number of pixels of the tomographic image is (X axis 100) × (Z axis 100), 20 tomographic images can be acquired per second, and the three-dimensional tomographic image can be easily observed at high speed in real time. . In the conventional method, the number of prisms is 4 at the above radius.
The scanning speed is limited to about 120 pieces and the scanning speed is limited to about 220 pieces per second, but in the present embodiment, 9 times speed is realized.

【0038】また、本実施例では、上記約5mmの光遅
延距離は、回転角に対しほぼ線型に発生し、その線型率
は95%以上が得られる。さらに、回転当たりの反射光
の有効率は約70%と高効率である。
In the present embodiment, the optical delay distance of about 5 mm occurs almost linearly with respect to the rotation angle, and the linearity ratio is 95% or more. Furthermore, the effective rate of reflected light per rotation is about 70%, which is highly efficient.

【0039】このような光遅延動作において生じるドッ
プラーシフト周波数は、簡単な計算から、 fD (θ)=2(d/λ0 )(1−cosθ)(360/θ)fv …(2) で与えられる。ここで、λ0 は低コヒーレンス光源の中
心波長、fvは回転体の回転周波数である。上記の実施
例では、fD (θ)=16.4〜21.8MHzと変化
するので、中心周波数19MHz、バンド幅約5MHz
のビート信号増幅器を用いればよい。
From a simple calculation, the Doppler shift frequency generated in such an optical delay operation is f D (θ) = 2 (d / λ 0 ) (1-cos θ) (360 / θ) fv (2) Given. Here, λ 0 is the center wavelength of the low coherence light source, and fv is the rotation frequency of the rotating body. In the above embodiment, since f D (θ) = 16.4 to 21.8 MHz, the center frequency is 19 MHz and the bandwidth is about 5 MHz.
The beat signal amplifier may be used.

【0040】本発明の原理は、従来入射方向に平行な円
周の接線成分のみの遅延光発生に注目して反射体71を
配置したのに対し、より一般的に円周の法線に対する光
の入射角を任意に設定して参照光6pに対し、反射体7
1の描く円弧(θpの範囲)の参照光軸への射影成分が
光遅延を発生することによるもので、所望の光遅延距離
をより高速で、さらに回転当たりの反射光を高効率で利
用できるようにして、かつ次の実施例で示すように複数
の遅延光の発生をも可能としたものである。
According to the principle of the present invention, the reflector 71 is arranged by focusing attention on the delayed light generation of only the tangential line component of the circumference parallel to the incident direction, whereas the light for the normal to the circumference is more generally arranged. The incident angle of is set to an arbitrary value and the reflector 7
Because the projection component of the arc (range of θp) drawn by 1 on the reference optical axis causes optical delay, a desired optical delay distance can be used at a higher speed, and the reflected light per rotation can be used with high efficiency. In this way, a plurality of delayed lights can be generated as shown in the next embodiment.

【0041】図4は本発明の3重連光遅延機構を組み込
んだ多重連映像化光コヒーレンストモグラフィー装置の
実施例を示す図である。この図において、95は回帰反
射用のハーフミラー、95aはその位置調整機構であ
り、他の構成素子は図1と同じであるのでその説明は省
略する。
FIG. 4 is a view showing an embodiment of a multiplex continuous imaging optical coherence tomography apparatus incorporating the triplex continuous light delay mechanism of the present invention. In this figure, reference numeral 95 is a half mirror for retroreflection, 95a is its position adjusting mechanism, and the other constituent elements are the same as those in FIG.

【0042】上記回帰反射用ハーフミラー95は、反射
体71と固定ミラー91の間の適宜な位置に配備するこ
とによって、反射ミラー91による回帰反射光より先
に、すなわち短い光路長でのあらたな遅延光6Eの発生
ができ、固定ミラー91および92による参照遅延光の
発生に加え、3重連の遅延光を発生し3重連映像化光コ
ヒーレンストモグラフィーを実現できる特徴がある。
The recursive reflection half mirror 95 is arranged at an appropriate position between the reflector 71 and the fixed mirror 91, so that the recursive reflection light by the reflection mirror 91 is preceded, that is, a new optical path length is obtained. The delayed light 6E can be generated, and in addition to the generation of the reference delayed light by the fixed mirrors 91 and 92, the tripled delayed light can be generated to realize triple-coupling optical coherence tomography.

【0043】図5は本発明の4重連光遅延機構を組み込
んだ多重連映像化光コヒーレンストモグラフィー装置の
実施例を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing an embodiment of a multiplex continuous imaging optical coherence tomography apparatus incorporating the quadruple continuous light delay mechanism of the present invention.

【0044】この図において、72は反射体71とは異
なる角度範囲で遅延光を発生する反射体、93,94は
調整機構付きの回帰反射ミラー、19は参照光分岐ハー
フミラー、20はミラー、6C,6Dはそれぞれ回帰反
射光であり、他の構成素子は図1と同じであるのでその
説明は省略する。
In this figure, 72 is a reflector for generating delayed light in an angle range different from that of the reflector 71, 93 and 94 are recursive reflection mirrors with an adjusting mechanism, 19 is a reference light splitting half mirror, and 20 is a mirror. Reference numerals 6C and 6D denote regressive reflected light, and the other constituent elements are the same as those in FIG.

【0045】本実施例では、参照光を分岐ハーフミラー
19で2分割し、一方は、例えば図3に示すのと同じ角
度範囲θpで遅延光を発生させる。他方の参照光は、異
なる角度範囲θsあるいは同一角度範囲θpで遅延光を
発生させることができる。すなわち、Z方向の4つの分
域をそれぞれ独立、かつ同時にZ走査を可能ならしめ
る。さらに、回帰反射ミラー93,94の位置を調整し
て、回帰反射光6A,6B,6C,6Dを全て同じZ方
向の分域を走査する場合には、従来の約18倍速でのZ
走査を実現できる。上記の実施例の数値では、実に4K
HzでのZ走査を可能とする多重連映像化光コヒーレン
ストモグラフィーを実現するものである。参照光をさら
に分岐すれば、54倍速、12KHzでの映像化を実現
できる。
In this embodiment, the reference light is split into two by the split half mirror 19, and one of them produces delayed light in the same angle range θp as shown in FIG. 3, for example. The other reference light can generate delayed light in different angular ranges θs or the same angular range θp. That is, the four domains in the Z direction can be independently and simultaneously Z-scanned. Furthermore, when the positions of the retroreflective mirrors 93 and 94 are adjusted so that the retroreflective light 6A, 6B, 6C, and 6D are all scanned in the same Z direction domain, the Z at about 18 times the conventional speed is used.
Scanning can be realized. In the numerical value of the above embodiment, it is 4K.
It is intended to realize a multi-sequential imaging optical coherence tomography capable of Z scanning at Hz. If the reference light is further branched, it is possible to realize visualization at 54 × speed and 12 KHz.

【0046】図6は大深度用回転反射体を組み込んだ多
重連映像化光コヒーレンストモグラフィー装置の実施例
を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing an embodiment of a multiplex continuous imaging optical coherence tomography apparatus incorporating a rotary reflector for large depth.

【0047】この図において、7Xは大深度用反射体、
角POQは大深度反射体の回転角度D、21は回帰反射
ミラー、21aは回帰反射体位置調整機構、71′,7
2′,73′…は小深度用反射体列であり、他の構成素
子は図1と同じであるのでその説明は省略する。
In this figure, 7X is a reflector for large depth,
The angle POQ is the rotation angle D of the deep depth reflector, 21 is the recursive reflection mirror, 21a is the recursive reflector position adjusting mechanism, 71 ', 7
Reference numerals 2 ', 73' ... Are rows of small depth reflectors, and the other constituent elements are the same as those in FIG.

【0048】参照光の入射方向に平行にかつ円周の接線
成分を利用して遅延光を発生する方法は、従来技術とし
て開示されているが、他の反射体と光軸が抵触しないよ
うに広角度を必要とする。本実施例では、そのような大
深度用反射体7Xを該参照光の入射光軸と直交する法線
の立つ円周の一点Hに配置し、光遅延可能な角度を広角
度Dにする。他方、回転体8の他の円周部に図3の実施
例で説明したような反射体71を、例えば上記のように
20度ごとに複数配列する。大深度用反射体7Xによる
取得断層画像は、回転当たりの個数を1個あるいは2個
とすると必然的に画素数が限られ粗い画像となる。
A method of generating delayed light parallel to the incident direction of the reference light and utilizing the tangential component of the circumference is disclosed as a prior art, but it is necessary to prevent the optical axis from contacting other reflectors. Need a wide angle. In the present embodiment, such a large depth reflector 7X is arranged at a point H on the circumference where a normal line perpendicular to the incident optical axis of the reference light stands, and the light delayable angle is set to the wide angle D. On the other hand, a plurality of reflectors 71 as described in the embodiment of FIG. 3 are arranged on the other circumferential portion of the rotating body 8 every 20 degrees, for example, as described above. The tomographic image acquired by the large depth reflector 7X becomes a rough image because the number of pixels per rotation is inevitably limited if the number per rotation is one or two.

【0049】しかし、反面大深度の光遅延反射体7Xで
は大きい領域が観測できる。この大画面の断層像をあら
かじめ参照して、小深度用反射体71′,72′,7
3′…で観測できる領域を特定して固定ミラーを調整
し、所望の領域を正確に位置決めして解像度の高い断層
画像を観測できるものとなる。
On the other hand, however, a large area can be observed in the optical delay reflector 7X having a large depth. With reference to this tomographic image of the large screen in advance, the reflectors 71 ', 72', 7 for small depth are
It is possible to observe a high-resolution tomographic image by specifying the region that can be observed by 3 '... and adjusting the fixed mirror to accurately position the desired region.

【0050】上記のように、本発明による多重連映像化
光コヒーレンストモグラフィー方法および装置によれ
ば、ハーフミラー3からの参照光は、回転角度の異なる
領域で2方向に遅延反射を連続して発生でき、異なる観
測領域の同時観測や同一領域の8倍速走査などが実現さ
れ、さらには複数に参照光を分岐して、それに対応して
ハーフミラーを含む複数の固定ミラー91,92,…を
配置することで多重連映像化を可能とする。これらはい
ずれも従来の光コヒーレンストモグラフィーにおける高
速光遅延発生法では実現できなかったもので、Z方向の
走査を数十倍速にまで増速可能とし、かつ同時的に異な
る領域を特定して多重に連続して断層像を観測できる装
置を実現したものである。
As described above, according to the multiple continuous imaging optical coherence tomography method and apparatus according to the present invention, the reference light from the half mirror 3 continuously produces delayed reflection in two directions in regions having different rotation angles. It is possible to realize simultaneous observation of different observation areas and octuple speed scanning of the same area. Further, the reference light is branched into a plurality of pieces, and a plurality of fixed mirrors 91, 92, ... By doing so, multiple continuous video can be made. None of these can be realized by the conventional high-speed optical delay generation method in optical coherence tomography, and scanning in the Z direction can be speeded up to several tens of times, and different regions are simultaneously specified and multiplexed. This is a device that can continuously observe tomographic images.

【0051】また、本発明によれば、参照光の有効効率
を従来比で4倍以上も高めることができ、高SN比での
ヘテロダインビート信号の取得が可能となり、高々精度
な断層情報を超高速に、且つ任意の複数領域を広範囲に
選択して取込み表示することが可能となるので、例え
ば、眼科疾患診断装置に応用すれば、従来、眼科医の勘
と経験に頼っていた、眼底の診断や硝子体の診断を、高
々速、広範囲に独立な分域で、且つ同時的に容易に行う
ことができ、早期治療による治療が期待でき、患者の負
担を大幅に軽減できるようになる。
Further, according to the present invention, the effective efficiency of the reference light can be increased four times or more as compared with the conventional one, and the heterodyne beat signal can be acquired with a high SN ratio, and the highly accurate tomographic information can be obtained. Since it is possible to select and display at high speed a wide range of arbitrary multiple regions at high speed, for example, if applied to an ophthalmologic disease diagnostic device, conventionally, it relied on the intuition and experience of an ophthalmologist. Diagnosis and vitreous diagnosis can be performed easily at high speed, in a wide range of independent domains, and simultaneously, treatment by early treatment can be expected, and the burden on the patient can be greatly reduced.

【0052】さらには、本発明の多重連高速遅延法を胃
カメラでの断層観測に適用すれば、生体などの動的被検
査物を揺動などの影響を排除して瞬時に観測可能とする
特徴を有するものとなる。
Furthermore, when the multiple continuous high-speed delay method of the present invention is applied to tomographic observation with a gastric camera, it is possible to instantaneously observe a dynamic object to be inspected such as a living body without the influence of rocking. It has characteristics.

【0053】本発明の多重連映像化光コヒーレンストモ
グラフィー方法及び装置は、高々精度な断層情報を高
速、広範囲で独立な分域で、さらには被検査物の揺動の
影響などを排除して、多重に且つ連続して取り込み表示
することができ、特に眼科疾患診断装置をはじめとする
各種の医療用診断装置に好適である。
The multiple continuous imaging optical coherence tomography method and apparatus of the present invention provides highly accurate tomographic information at high speed, in a wide range of independent domains, and eliminates the influence of rocking of the object to be inspected. It is possible to take in and display in multiples and continuously, and it is particularly suitable for various medical diagnostic devices such as an ophthalmic disease diagnostic device.

【0054】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made within the scope of the present invention, and these modifications are not excluded from the scope of the present invention.

【0055】[0055]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。
As described in detail above, according to the present invention, the following effects can be achieved.

【0056】(A)奥行き方向(Z方向)の走査速度が
速く、同時に多重に連続して断層画像を映像化できる。
(A) The scanning speed in the depth direction (Z direction) is high, and at the same time, multiple tomographic images can be visualized continuously.

【0057】(B)より具体的には、ハーフミラーから
の参照光は、回転角度の異なる領域で2方向に遅延反射
を連続して発生でき、異なる観測領域の同時観測や同一
領域の8倍速走査などが実現され、さらには複数に参照
光を分岐し、それに対応してハーフミラーを含む複数の
固定ミラーを配置することで多重連映像化を可能とす
る。これらはいずれも従来の光コヒーレンストモグラフ
ィーにおける高速光遅延発生法では実現できなかったも
ので、Z方向の走査を数十倍速にまで増速可能とし、か
つ同時的に異なる領域を特定して多重に連続して断層像
を観測できる装置を実現することができる。
More specifically, (B), the reference light from the half mirror can continuously generate delayed reflections in two directions in regions having different rotation angles, which allows simultaneous observation of different observation regions and 8 times speed of the same region. Scanning or the like is realized, and reference beams are branched into a plurality of beams, and a plurality of fixed mirrors including half mirrors are arranged corresponding to the reference beams to enable multiple continuous image formation. None of these can be realized by the conventional high-speed optical delay generation method in optical coherence tomography, and scanning in the Z direction can be speeded up to several tens of times, and different regions are simultaneously specified and multiplexed. An apparatus capable of continuously observing tomographic images can be realized.

【0058】(C)また、参照光の有効効率を従来比で
4倍以上も高めることができ、高SN比でのヘテロダイ
ンビート信号の取得が可能となり、高々精度な断層情報
を超高速且つ任意の複数領域を広範囲に選択して取込み
表示することが可能となるので、例えば、眼科疾患診断
装置に応用すれば、従来、眼科医の勘と経験に頼ってい
た、眼底の診断や硝子体の診断を、高々速、広範囲に独
立な分域で、且つ同時的に容易に行うことができ、早期
治療による治療が期待でき、患者の負担を大幅に軽減で
きるようになる。
(C) Further, the effective efficiency of the reference light can be increased four times or more as compared with the conventional one, and the heterodyne beat signal can be acquired with a high SN ratio, and highly accurate tomographic information can be obtained at an extremely high speed and arbitrarily. Since it is possible to select and display a plurality of regions in a wide range, for example, if applied to an ophthalmic disease diagnostic device, conventionally, which relied on the intuition and experience of an ophthalmologist, the diagnosis of the fundus and the vitreous body. Diagnosis can be performed easily at high speed, in a wide range of independent domains, and simultaneously, treatment by early treatment can be expected, and the burden on the patient can be greatly reduced.

【0059】(D)さらに、多重連高速遅延法を胃カメ
ラでの断層観測に適用すれば、生体などの動的被検査物
を揺動などの影響を排除して瞬時に観測可能とする特徴
を有するものとなる。
(D) Furthermore, if the multiple continuous high-speed delay method is applied to tomographic observation with a gastric camera, it is possible to instantaneously observe a dynamic inspected object such as a living body by eliminating the influence of rocking or the like. Will have.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例を示す多重連映像化光コヒーレ
ンストモグラフィー装置の構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of a multiplex serial imaging optical coherence tomography apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の多重連光遅延発生機構の幾何学的説明
図である。
FIG. 2 is a geometrical explanatory view of a multiplex continuous light delay generation mechanism of the present invention.

【図3】図2の多重連光遅延発生機構の回転角度対光遅
延距離のグラフである。
FIG. 3 is a graph of rotation angle vs. optical delay distance of the multiplex continuous light delay generation mechanism of FIG.

【図4】本発明の3重連光遅延機構を組み込んだ多重連
映像化光コヒーレンストモグラフィー装置の実施例を示
す図である。
FIG. 4 is a diagram showing an embodiment of a multiplex continuous imaging optical coherence tomography apparatus incorporating the triplex continuous optical delay mechanism of the present invention.

【図5】本発明の4重連光遅延機構を組み込んだ多重連
映像化光コヒーレンストモグラフィー装置の実施例を示
す図である。
FIG. 5 is a diagram showing an embodiment of a multiplex continuous imaging optical coherence tomography apparatus incorporating the quadruple continuous light delay mechanism of the present invention.

【図6】大深度用回転反射体を組み込んだ多重連映像化
光コヒーレンストモグラフィー装置の実施例を示す図で
ある。
FIG. 6 is a diagram showing an embodiment of a multi-sequential imaging optical coherence tomography device incorporating a large depth rotary reflector.

【図7】従来の光コヒーレンストモグラフィー装置の構
成図である。
FIG. 7 is a configuration diagram of a conventional optical coherence tomography apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 低コヒーレンス光源(例えばSLD) 2,15 ファイバー結合用レンズ 3 ハーフミラー(2分割用ハーフミラー) 4 参照光用光ファイバー 5,11 出射光平行光束用レンズ 6A,6B,6C,6D,6E 回帰反射遅延光 6p 光遅延機構への入射光及び回帰反射光 71 光遅延機構反射体 7a 第1のミラー 7a′ 所定の回転角θp回転後の第1のミラー位置 7b 第2のミラー 7b′ 所定の回転角θp回転後の第2のミラー位置 7X 大深度用反射体 8 回転体 10 物体光用光ファイバー 12 X軸方向への面走査用ミラー 13 Y軸方向への面走査用ミラー 14 対物レンズ 16 光検出器 17 PC(パーソナルコンピュータ)システム 18 表示装置 19 参照光分岐ハーフミラー 20 ミラー 21 回帰反射ミラー 21a 回帰反射体位置調整機構 71 光遅延機構反射体 71′,72′,73′… 小深度用反射体列 72 異なる角度範囲で遅延光を発生する反射体 91 第1の固定ミラー 92 第2の固定ミラー 91a,92a 第1、第2の固定ミラーの光軸方向
へのスキャン開始位置調整機構 93,94 調整機構付きの回帰反射ミラー 95 回帰反射用のハーフミラー 95a 回帰反射用のハーフミラーの位置調整機構 109 被検査物 O 回転中心 PV 円周の参照光の入射点Pにおける法線 OH 入射光に平行な線分 d 反射体の反射ミラーの合わせ頂点の回転半径 r 回転軌跡 θ1 回転開始角度 θ2 回転終端角度 θp 所定の回転角 θs 異なる角度範囲
1 Low coherence light source (for example, SLD) 2,15 Fiber coupling lens 3 Half mirror (divided half mirror) 4 Reference light optical fiber 5,11 Emitting light parallel light flux lens 6A, 6B, 6C, 6D, 6E Regressive reflection Delayed light 6p Incident light to the optical delay mechanism and return reflected light 71 Optical delay mechanism Reflector 7a First mirror 7a 'First mirror position 7b Second mirror 7b' Second rotation 7b 'Predetermined rotation Second mirror position after rotation of angle θp 7X Reflector for large depth 8 Rotating body 10 Optical fiber for object light 12 Surface-scanning mirror 13 in X-axis direction 13 Surface-scanning mirror 14 in Y-axis direction Objective lens 16 Optical detection Device 17 PC (personal computer) system 18 Display device 19 Reference light splitting half mirror 20 Mirror 21 Retroreflective mirror 21a Regressive reflector position adjusting machine Structure 71 Optical delay mechanism Reflectors 71 ', 72', 73 '... Small depth reflector array 72 Reflector 91 for generating delayed light in different angular ranges First fixed mirror 92 Second fixed mirror 91a, 92a First and second fixed mirror scan start position adjusting mechanisms 93 and 94 in the optical axis direction Regressive reflection mirror 95 with adjustment mechanism Half mirror 95a for retroreflection Reflectance half mirror position adjustment mechanism 109 Inspected object O rotation center PV normal line at the incident point P of the reference light on the circumference OH line segment parallel to the incident light d radius of rotation r of the apex of the reflecting mirror of the reflector r rotation locus θ1 rotation start angle θ2 rotation end angle θp predetermined Rotation angle θs Different angle range

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 低コヒーレンス光源からの光を2分割用
ハーフミラーで被検査物への物体光と参照光とに2分割
し、該参照光を回転反射体による光遅延機構を介して反
射するとき、回転角により2方向への反射が連続して生
じるように反射体を配置し、該2方向への光をそれぞれ
別の複数の固定ミラーで反射回帰して、前記被検査物か
ら回帰する物体光とともに前記2分割用ハーフミラーで
合波し、前記複数の固定ミラーからの参照光の回帰光路
長を該固定ミラーの位置により任意に設定することによ
り前記被検査物の異なる所望の深層からの反射光と合波
干渉して、ヘテロダイン干渉ビート信号を含む干渉光を
連続して検出し、前記被検査物の複数の深層断面を同時
的に多重連映像化することを特徴とする光コヒーレンス
トモグラフィーにおける回転反射体による多重連光遅延
発生方法。
1. A light from a low-coherence light source is split into two by a half mirror for splitting into an object light to an object to be inspected and a reference light, and the reference light is reflected through an optical delay mechanism by a rotary reflector. At this time, a reflector is arranged so that reflection in two directions occurs continuously depending on the rotation angle, and light in the two directions is reflected and returned by a plurality of different fixed mirrors to return from the inspection object. The object light is combined with the two-division half mirrors, and the return optical path length of the reference light from the plurality of fixed mirrors is arbitrarily set by the position of the fixed mirrors so that the desired deep layers different from the object to be inspected can be obtained. The optical coherence is characterized in that the interference light including the heterodyne interference beat signal is continuously detected by performing the multiplexed interference with the reflected light of the above, and a plurality of deep-layer cross sections of the object to be inspected are simultaneously multiplexed and imaged. For tomography A method of generating multiple continuous light delays by a rotating reflector.
【請求項2】(a)低コヒーレンス光源と、(b)該低
コヒーレンス光源からの光を被検査物への物体光と参照
光に2分割する2分割用ハーフミラーと、(c)前記参
照光を回転角により2方向へ反射が連続して生じるよう
に反射体を配置した回転反射体により遅延させる光遅延
機構と、(d)該光遅延機構からの複数方向への反射を
それぞれ任意の光学距離で反射回帰する複数の固定ミラ
ーと、(e)前記被検査物から回帰する物体光と前記光
遅延機構から回帰する参照光とを合波する前記2分割用
ハーフミラーと、(f)該2分割用ハーフミラーで合成
されたヘテロダイン干渉ビート信号を含む干渉光を検出
する光検出器とを具備することを特徴とする光コヒーレ
ンストモグラフィー装置。
2. A low-coherence light source, (b) a half-split mirror for splitting the light from the low-coherence light source into an object light and a reference light for an object to be inspected, and (c) the reference. An optical delay mechanism in which light is delayed by a rotating reflector in which a reflector is arranged so that reflection is continuously generated in two directions depending on a rotation angle, and (d) reflection in multiple directions from the optical delay mechanism is arbitrary. A plurality of fixed mirrors that return and return at optical distances; (e) the two-division half mirror that combines the object light returning from the inspection object and the reference light returning from the optical delay mechanism; An optical coherence tomography apparatus, comprising: a photodetector for detecting interference light including a heterodyne interference beat signal synthesized by the half mirror for splitting.
【請求項3】(a)低コヒーレンス光源と、(b)該低
コヒーレンス光源からの光を被検査物への物体光と参照
光に2分割する2分割用ハーフミラーと、(c)前記参
照光を回転角により2方向へ反射が連続して生じるよう
に反射体を配置した回転反射体により遅延させる光遅延
機構と、(d)該光遅延機構からの複数方向への反射を
それぞれ任意の光学距離で反射回帰するハーフミラーを
含む複数の固定ミラーと、(e)前記物体光で被検査物
の面内を走査する面走査機構と、(f)対物レンズと、
(g)前記被検査物から回帰する物体光と前記光遅延機
構から回帰する参照光とを合波する前記2分割用ハーフ
ミラーと、(h)該2分割用ハーフミラーで合成された
ヘテロダイン干渉ビート信号を含む干渉光を検出する光
検出器とを具備することを特徴とする光コヒーレンスト
モグラフィー装置。
3. A low-coherence light source, (b) a half-split mirror for splitting light from the low-coherence light source into object light and reference light for an object to be inspected, and (c) the reference. An optical delay mechanism in which light is delayed by a rotating reflector in which a reflector is arranged so that reflection is continuously generated in two directions depending on a rotation angle, and (d) reflection in multiple directions from the optical delay mechanism is arbitrary. A plurality of fixed mirrors including a half mirror that regresses and returns at an optical distance; (e) a surface scanning mechanism that scans the surface of the inspection object with the object light; and (f) an objective lens,
(G) the half-divided half mirror for multiplexing the object light returning from the inspection object and the reference light returning from the optical delay mechanism; and (h) heterodyne interference synthesized by the half-divided half mirror. An optical coherence tomography apparatus, comprising: a photodetector that detects interference light including a beat signal.
【請求項4】 請求項2又は3記載の光コヒーレンスト
モグラフィー装置において、前記光遅延機構は、高速回
転する回転体上に放射状に反射体を配置し、かつ該反射
体は前記回転体の円周の法線に対し適度な入射角で入射
する光を回帰反射するように、所定の回転角度範囲では
第1のミラーに入射し第2のミラーで反射して所定の光
路長に設定した第1の固定ミラーで回帰反射し、次なる
回転角度範囲では逆に第2のミラーに入射し第1のミラ
ーで反射して別途所定の光路長に設定した第2の固定ミ
ラーで回帰反射するように、各第1のミラーと第2のミ
ラーの対を前記回転体の表面に複数対配置し、ハーフミ
ラーを含む複数の固定ミラーを所定の位置に配置するこ
とを特徴とする光コヒーレンストモグラフィー装置。
4. The optical coherence tomography apparatus according to claim 2 or 3, wherein the optical delay mechanism radially arranges reflectors on a rotating body that rotates at a high speed, and the reflecting bodies surround the circumference of the rotating body. In order to recursively reflect the light incident at an appropriate incident angle with respect to the normal line of the first line, the first mirror is made incident on the first mirror in the predetermined rotation angle range and is reflected by the second mirror to set the predetermined optical path length. In the following rotation angle range, the light is reflected back by the fixed mirror of ## EQU1 ## and is reflected by the first mirror and then reflected by the second fixed mirror separately set to the predetermined optical path length. An optical coherence tomography apparatus, wherein a plurality of pairs of the first mirror and the second mirror are arranged on the surface of the rotating body, and a plurality of fixed mirrors including half mirrors are arranged at predetermined positions.
【請求項5】 請求項4記載の光コヒーレンストモグラ
フィー装置において、前記2分割ミラーを経た参照光を
別途ハーフミラーで2分割し、該2分割した光を各々参
照光とするように、前記光遅延機構は、高速回転する回
転体上に放射状に反射体を配置し、かつ該反射体は前記
回転体の円周の法線に対し適度な入射角で入射する該各
参照光を独自に回帰反射するように、所定の角度範囲で
は第1のミラーに入射し第2のミラーで反射して所定の
光路長に設定した第1の固定ミラーで回帰反射し、次な
る回転角度範囲では逆に第2のミラーに入射し第1のミ
ラーで反射して別途所定の光路長に設定した第2の固定
ミラーで回帰反射するように、各第1のミラーと第2の
ミラーの対を前記回転体の表面に複数対配置し、複数の
固定ミラーを所定の位置に配置することを特徴とする光
コヒーレンストモグラフィー装置。
5. The optical coherence tomography apparatus according to claim 4, wherein the reference light that has passed through the split mirror is split into two separate half mirrors, and the split light is used as the reference light. The mechanism arranges radial reflectors on a rotating body that rotates at a high speed, and the reflecting body uniquely regresses each of the reference lights that are incident at an appropriate incident angle with respect to the normal line of the circumference of the rotating body. As described above, the light enters the first mirror in a predetermined angle range, is reflected by the second mirror, and is regressively reflected by the first fixed mirror set to a predetermined optical path length. Each pair of the first mirror and the second mirror is arranged so that the first mirror and the second mirror are incident on the second mirror, reflected by the first mirror, and regressed by the second fixed mirror separately set to have a predetermined optical path length. Place multiple pairs on the surface of the An optical coherence tomography device characterized by being placed at a position.
【請求項6】 請求項2から5の何れか1項記載の光コ
ヒーレンストモグラフィー装置において、前記ハーフミ
ラーを含む複数の固定ミラーは各々スキャン開始位置調
整ミラーであり、前記物体光における光軸の奥行き方向
であるZ方向に一致させ、深さ方向の異なる所望の地点
から走査開始をするよう各々独立に光路長を設定でき調
整可能としたことを特徴とする光コヒーレンストモグラ
フィー装置。
6. The optical coherence tomography apparatus according to claim 2, wherein each of the plurality of fixed mirrors including the half mirrors is a scan start position adjustment mirror, and the depth of the optical axis in the object light. An optical coherence tomography apparatus characterized in that the optical path lengths can be independently set and adjusted so as to start scanning from desired points in different depth directions in conformity with the Z direction which is the direction.
【請求項7】 請求項4記載の光コヒーレンストモグラ
フィー装置において、前記光遅延機構のうち、第1のミ
ラーと第2のミラーからなる1対の反射体を前記参照光
の入射光軸と直交する法線の立つ円周の一点に配置し、
大深度Z方向走査を可能とする少なくとも1対の反射体
を具備し、他の前記複数の反射体の走査位置を特定する
役割を有することを特徴とする光コヒーレンストモグラ
フィー装置。
7. The optical coherence tomography apparatus according to claim 4, wherein in the optical delay mechanism, a pair of reflectors including a first mirror and a second mirror are orthogonal to an incident optical axis of the reference light. Place it at one point on the circumference where the normal line stands,
An optical coherence tomography apparatus, comprising at least one pair of reflectors capable of scanning in a large depth Z direction, and having a role of specifying scanning positions of the other plurality of reflectors.
【請求項8】 請求項2から7の何れか1項記載の光コ
ヒーレンストモグラフィー装置において、前記参照光と
物体光に2分割する2分割用ハーフミラーを介してファ
イバー結合するレンズ系と、該レンズ系からの光を伝送
する物体光用の光ファイバーと参照光用の光ファイバー
と、これらの光ファイバーからのそれぞれの出射光をお
よそ平行光束にするレンズ系とを具備したことを特徴と
する光コヒーレンストモグラフィー装置。
8. The optical coherence tomography apparatus according to claim 2, wherein the lens system is fiber-coupled via a splitting half mirror that splits the reference light and the object light into two, and the lens. An optical coherence tomography apparatus comprising an optical fiber for object light and an optical fiber for reference light for transmitting light from the system, and a lens system for making the respective outgoing lights from these optical fibers approximately parallel light fluxes. .
【請求項9】 請求項3記載の光コヒーレンストモグラ
フィー装置において、前記面走査機構はX軸走査ミラー
及びY軸走査ミラーを備え、前記複数の遅延参照光に対
応した所定の位置において、前記被検査物に対する物体
光で該被検査物の面(X−Y)を高速に走査することを
特徴とする光コヒーレンストモグラフィー装置。
9. The optical coherence tomography apparatus according to claim 3, wherein the surface scanning mechanism includes an X-axis scanning mirror and a Y-axis scanning mirror, and the object to be inspected at a predetermined position corresponding to the plurality of delayed reference lights. An optical coherence tomography apparatus, characterized in that a surface (X-Y) of an object to be inspected is scanned at high speed with object light for an object.
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