JP2003326709A - Liquid granulater, its fabricating method, ink jet recording head, and ink jet printer - Google Patents

Liquid granulater, its fabricating method, ink jet recording head, and ink jet printer

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JP2003326709A
JP2003326709A JP2002138609A JP2002138609A JP2003326709A JP 2003326709 A JP2003326709 A JP 2003326709A JP 2002138609 A JP2002138609 A JP 2002138609A JP 2002138609 A JP2002138609 A JP 2002138609A JP 2003326709 A JP2003326709 A JP 2003326709A
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JP
Japan
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liquid
sound collector
vibration wave
wave
granulating
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Application number
JP2002138609A
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Japanese (ja)
Inventor
Koji Higuchi
浩司 樋口
Osamu Shinkawa
修 新川
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid granulater, and its fabricating method, suitable for enhancing the energy efficiency when a specified liquid e.g. ink, is granulated and flown by using a sound collector and for oscillating the sound collector stably. <P>SOLUTION: The liquid granulater comprises the sound collector 10, an oscillating wave supply section 11, a liquid chamber 12, a supporting part 13, a nozzle plate 14, and a nozzle 15. The sound collector 10 is supported, at the joint thereof, by the supporting part 13 and an ultrasonic wave is supplied from the oscillating wave supply section 11 to the sound collector 10. The ultrasonic wave is converged and the energy of the converged ultrasonic wave is utilized for crashing, granulating and flying the ink liquid in the liquid chamber 12. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】音響インクジェット方式の記
録装置に係り、特に、音響インクジェット方式の記録装
置に使用されるインクジェット式記録ヘッドを構成する
のに好適な液体粒状化装置、この製造方法、この液体粒
状化装置を備えたインクジェット式記録ヘッド及びこの
記録ヘッドを備えたインクジェットプリンタに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an acoustic ink jet type recording apparatus, and more particularly, to a liquid granulating apparatus suitable for constituting an ink jet type recording head used in an acoustic ink jet type recording apparatus, its manufacturing method, and this liquid. The present invention relates to an inkjet recording head equipped with a granulating device and an inkjet printer equipped with this recording head.

【0002】[0002]

【従来の技術】ピエゾなどの圧電素子などからなる振動
発生手段で発生した超音波を、集音体でインク自由表面
の一点に集束させてインク滴を吐出させる音響インクジ
ェット方式が提案されている。例えば、米国特許第43
08547号では、振動発生手段上に形成した集音体に
より超音波を集束させ、集音体先端に接触させたベルト
上を搬送されてくるインク薄膜に、この超音波を作用さ
せてインク滴を吐出させることが示されている。
2. Description of the Related Art An acoustic ink jet system has been proposed in which ultrasonic waves generated by a vibration generating means such as a piezoelectric element such as a piezo are focused on a point on an ink free surface by a sound collector to eject ink droplets. For example, US Pat.
In No. 08547, ultrasonic waves are focused by a sound collector formed on the vibration generating means, and the ultrasonic waves act on the ink thin film conveyed on the belt brought into contact with the tip of the sound collector to generate ink droplets. It is shown to be ejected.

【0003】また、同様の従来技術として、特開平4−
168050号公報では、集音体を振動発生手段上に設
ける記録装置が示されている。振動発生手段は圧電体お
よびこれに電圧を印加するための電極から形成され、集
音体と共にインクを保持したインクリザーバ内に配置さ
れる。インク中に沈んでいる集音体は、先細りの形状に
形成された先端部をインク自由表面に向けて配設されて
いる。ここで、振動発生手段から集音体の底部に超音波
が入射されると、集音体内を伝播するのに伴ってその振
幅が増幅され、集音体で集められた大振幅の波がインク
を叩いて、そこで生じた縦波がインク自由表面を押し上
げ、インク滴が吐出されるとしている。
A similar conventional technique is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No.
Japanese Patent No. 168050 discloses a recording device in which a sound collector is provided on the vibration generating means. The vibration generating means is formed of a piezoelectric body and an electrode for applying a voltage to the piezoelectric body, and is arranged in the ink reservoir holding the ink together with the sound collector. The sound collector submerged in the ink is arranged with the tip end formed in a tapered shape facing the ink free surface. Here, when an ultrasonic wave is incident on the bottom of the sound collector from the vibration generating means, its amplitude is amplified as it propagates through the sound collector, and the large-amplitude wave collected by the sound collector is ink. He says that the longitudinal wave generated there pushes up the ink free surface and ejects ink droplets.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記米
国特許第4308547号に開示されているように、集
音体先端にインク薄膜を安定に接触させることは困難で
あり、また、接触の不安定さから集音体の共振も不安定
となり、吐出するインク液滴径がばらつく原因になる。
However, as disclosed in the above-mentioned US Pat. No. 4,308,547, it is difficult to bring the ink thin film into stable contact with the tip of the sound collector, and the contact is unstable. Therefore, the resonance of the sound collector also becomes unstable, which causes variations in the diameter of the ejected ink droplets.

【0005】更に、上記特開平4−168050号公報
に開示されているように、集音体全体をインク中に沈め
る構成となっているため、集音体側面からインク中へ振
動エネルギが伝播してしまい、集音体先端に達するまで
にエネルギ損失が大きくなる。そこで、本発明は、この
ような従来の技術の有する未解決の課題に着目してなさ
れたものであって、集音体を利用してインク等の所定の
液体を粒状化し、且つ、飛翔させる装置において、液状
化及びそれを飛翔させる際のエネルギ効率を高め、且
つ、集音体を安定して振動させるのに好適な液体粒状化
装置、その製造方法、当該液体粒状化装置を備えたイン
クジェット式記録ヘッド及びインクジェットプリンタを
提供することを目的としている。
Further, as disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Laid-Open No. 4-168050, since the entire sound collector is soaked in the ink, vibration energy propagates from the side surface of the sound collector into the ink. Energy loss increases until the tip of the sound collector is reached. Therefore, the present invention has been made by paying attention to the unsolved problem of such a conventional technique, and uses a sound collector to granulate a predetermined liquid such as ink and cause it to fly. In the apparatus, a liquid granulating apparatus suitable for increasing energy efficiency in liquefying and flying the same and stably vibrating a sound collector, a manufacturing method thereof, and an inkjet equipped with the liquid granulating apparatus A printhead and an inkjet printer are provided.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る請求項1記載の液体粒状化装置は、振
動波伝播方向の長さが自己に供給される振動波の半波長
の整数倍の長さに設計された所定形状の集音体と、当該
集音体に振動波を供給する振動波供給手段と、所定の液
体を溜める液室と、を備え、前記振動波供給手段によっ
て前記集音体に振動波を供給することで当該振動波を集
束させ、この集束された振動波によって前記液室内の液
体の一部を粒状化し、且つ、飛翔させる液体粒状化装置
であって、前記集音体の先端部を含む一部を前記液室内
に配設し、他部を前記液体より低音響インピーダンスの
媒質中に配設したことを特徴としている。
In order to achieve the above object, a liquid granulating apparatus according to a first aspect of the present invention has a half-wavelength of a vibration wave whose length in the propagation direction of the vibration wave is supplied to itself. A sound collector having a predetermined shape designed to be an integral multiple of the length, a vibration wave supply means for supplying a vibration wave to the sound collector, and a liquid chamber for storing a predetermined liquid. A liquid granulating device for focusing the vibration waves by supplying the vibration waves to the sound collector by means, and granulating and flying a part of the liquid in the liquid chamber by the focused vibration waves. A part including the tip of the sound collector is arranged in the liquid chamber, and the other part is arranged in a medium having a lower acoustic impedance than the liquid.

【0007】このような構成であれば、振動波伝播方向
の長さが振動波の半波長の整数倍の長さに設計された集
音体の先端部を含む一部が液室内に配設され、その他の
部分が液室内の液体よりも低音響インピーダンスの媒質
中に配設されるので、例えば、液室内に純水から作られ
たインク液を入れ、集音体の先端部を含まないその他の
部分を空気中に配設したときには、集音体の先端部を含
む一部はこのインク液中に配設され、その他の部分は、
液室内の液体よりも低音響インピーダンスの媒質中に配
設されることになる。例えば、集音体がシリコンから形
成されているときに、これに超音波を供給すると、当該
集音体のインク液につかった部分におけるインク液への
エネルギの透過率と、その他の部分における空気中への
エネルギの透過率は、インク液の方が透過率が大きいた
め集音体の先端部を含む部分のエネルギの損失(インク
液を透過する振動波エネルギ)はその他の部分より大き
い。即ち、集音体全体をインク液につけた場合に比べる
と、空気中に出ている部分のエネルギの損失分が小さく
なるので、結果的に、エネルギ効率が向上することにな
る。このことの詳細は後述する。
With this structure, a part including the tip of the sound collector whose length in the vibration wave propagation direction is designed to be an integral multiple of the half wavelength of the vibration wave is provided in the liquid chamber. Since the other part is arranged in a medium having a lower acoustic impedance than the liquid in the liquid chamber, for example, the ink liquid made from pure water is put in the liquid chamber and the tip of the sound collector is not included. When the other part is arranged in the air, a part including the tip of the sound collector is arranged in this ink liquid, and the other part is
It is arranged in a medium whose acoustic impedance is lower than that of the liquid in the liquid chamber. For example, when the sound collector is made of silicon, if ultrasonic waves are supplied to the sound collector, the transmittance of energy to the ink liquid in the part of the sound collector that has been exposed to the ink liquid and the air permeability in the other parts. Regarding the transmittance of energy into the inside, since the ink liquid has a higher transmittance, the energy loss (vibration wave energy passing through the ink liquid) in a portion including the tip end portion of the sound collector is larger than in other portions. That is, as compared with the case where the entire sound collector is immersed in the ink liquid, the amount of energy loss in the portion exposed in the air is smaller, and as a result, the energy efficiency is improved. The details of this will be described later.

【0008】ここで、集音体は、一般に音響工学の分野
においては、共振により集音体の先端の振幅が大きくな
るように振動させるものであり、集音体の垂直断面方向
の長さ(高さ)は振動波の半波長の整数倍となる。ま
た、振幅の増幅率は集音体の形状、集音体の根元と先端
の断面積比などできまる。集音体の形状としては、断面
積が指数関数的に変化するもの、円錐形をしたもの、振
動の節部で不連続的に細くしたものなどがある。
Generally, in the field of acoustic engineering, the sound collector vibrates so that the amplitude of the tip of the sound collector increases due to resonance, and the length of the sound collector in the vertical cross-sectional direction ( Height) is an integral multiple of the half wavelength of the vibration wave. The amplification factor of the amplitude can be determined by the shape of the sound collector, the cross-sectional area ratio between the root and the tip of the sound collector, and the like. As the shape of the sound collector, there are a shape in which the cross-sectional area changes exponentially, a shape in a cone, and a shape in which the vibration node is discontinuously thin.

【0009】また、本発明に係る請求項2記載の液体粒
状化装置は、振動波伝播方向の長さが自己に供給される
振動波の半波長の整数倍の長さに設計された所定形状の
集音体と、当該集音体に振動波を供給する振動波供給手
段と、所定の液体を溜める液室と、を備え、前記振動波
供給手段によって前記集音体に振動波を供給することで
当該振動波を集束させ、この集束された振動波によって
前記液室内の液体の一部を粒状化し、且つ、飛翔させる
液体粒状化装置であって、前記集音体の先端部を含む一
部を前記液室内に配設し、他部を前記液室外に配設した
ことを特徴としている。
According to a second aspect of the liquid granulating apparatus of the present invention, the predetermined shape is designed such that the length in the vibration wave propagation direction is an integral multiple of the half wavelength of the vibration wave supplied to itself. Of the sound collecting body, a vibration wave supplying means for supplying a vibration wave to the sound collecting body, and a liquid chamber for storing a predetermined liquid, and the vibration wave supplying means supplies the vibration wave to the sound collecting body. A liquid granulating device for focusing the vibration wave, and for granulating and flying a part of the liquid in the liquid chamber by the focused vibration wave, including a tip portion of the sound collector. One part is arranged inside the liquid chamber, and the other part is arranged outside the liquid chamber.

【0010】このような構成であれば、振動波伝播方向
の長さが振動波の半波長の整数倍の長さに設計された集
音体の先端部を含む一部が液室内に配設され、その他の
部分が液室外に配設されるので、例えば、液室内に純水
から作られたインク液を入れたとすると、集音体の先端
部を含まないその他の部分は通常は空気中に配設される
ので、液室内の液体よりも低音響インピーダンスの媒質
中に配設されることになる。つまり、例えば、集音体が
シリコンから形成されているときに、これに超音波を供
給すると、当該集音体のインク液につかった部分におけ
るインク液へのエネルギの透過率と、その他の部分にお
ける空気中へのエネルギの透過率は、インク液の方が透
過率が大きいため集音体の先端部を含む部分のエネルギ
の損失(インク液を透過する振動波エネルギ)はその他
の部分より大きい。即ち、集音体全体をインク液につけ
た場合に比べると、空気中に出ている部分のエネルギの
損失分が小さくなるので、結果的に、エネルギ効率が向
上することになる。このことの詳細は後述する。
With such a configuration, a part including the tip portion of the sound collector whose length in the propagation direction of the vibration wave is designed to be an integral multiple of the half wavelength of the vibration wave is disposed in the liquid chamber. Since the other parts are arranged outside the liquid chamber, for example, if an ink liquid made of pure water is put into the liquid chamber, the other parts that do not include the tip of the sound collector are usually in the air. Therefore, it is arranged in a medium having a lower acoustic impedance than the liquid in the liquid chamber. That is, for example, when an ultrasonic wave is supplied to the sound collector when the sound collector is made of silicon, the transmittance of energy to the ink liquid in the portion of the sound collector that has been exposed to the ink liquid and the other portions. Since the ink liquid has a higher transmittance in the air in the air, the loss of energy in the portion including the tip of the sound collector (vibration wave energy that penetrates the ink liquid) is greater than in other portions. . That is, as compared with the case where the entire sound collector is immersed in the ink liquid, the amount of energy loss in the portion exposed in the air is smaller, and as a result, the energy efficiency is improved. The details of this will be described later.

【0011】また、請求項3に係る発明は、請求項1又
は請求項2記載の液体粒状化装置において、前記集音体
内を伝播する前記振動波の変位が0になる当該集音体の
位置部分を支持体側に支持手段を介して支持したことを
特徴としている。つまり、集音体内を伝播する振動波の
変位が0になる当該集音体の位置部分を支持体側に支持
手段を介して支持するようにしたものである。従って、
前記変位のある部分で支持するよりも集音体を安定して
振動させることが可能となる。
According to a third aspect of the present invention, in the liquid granulating apparatus according to the first or second aspect, the position of the sound collector at which the displacement of the vibration wave propagating in the sound collector becomes zero. It is characterized in that the portion is supported on the support body side through a support means. That is, the position portion of the sound collector where the displacement of the vibration wave propagating in the sound collector is zero is supported on the support body side through the support means. Therefore,
It becomes possible to vibrate the sound collector more stably than when it is supported at the portion having the displacement.

【0012】また、請求項4に係る発明は、請求項3記
載の液体粒状化装置において、前記支持手段を利用して
前記液室内外を分画したことを特徴としている。つま
り、支持手段によって液室の内外を分画するようにした
ので、例えば、液室から液体がもれないように分画する
ことで、本装置を所定の向きで利用することが可能とな
る。
The invention according to a fourth aspect is characterized in that, in the liquid granulating apparatus according to the third aspect, the inside and outside of the liquid chamber are fractionated by utilizing the supporting means. That is, since the inside and outside of the liquid chamber are fractionated by the support means, for example, by fractionating the liquid chamber so that the liquid does not leak, the device can be used in a predetermined orientation. .

【0013】また、請求項5に係る発明は、請求項1乃
至請求項4のいずれか1項に記載の液体粒状化装置にお
いて、前記集音体の底部を前記振動波供給手段からの前
記振動波の供給部とすると共に、当該供給部は、支持体
側とは非接触状態にしたことを特徴としている。つま
り、振動波供給手段からの振動波の供給部を集音体の底
部に設け、この供給部を支持体側に対して固定しないよ
うに非接触状態にしたもので、これにより、固定したと
きよりも集音体が自由に振動をすることが可能となるの
で、集音体に、安定、且つ、効率の良い振動を行わせる
ことが可能となる。
According to a fifth aspect of the present invention, in the liquid granulating apparatus according to any one of the first to fourth aspects, the bottom portion of the sound collector is vibrated from the vibration wave supplying means. In addition to being a wave supply unit, the supply unit is not in contact with the support body side. In other words, the vibration wave supply unit from the vibration wave supply means is provided at the bottom of the sound collector, and the supply unit is brought into a non-contact state so as not to be fixed to the support body side. Since the sound collector can freely vibrate, it is possible to cause the sound collector to vibrate stably and efficiently.

【0014】また、請求項6に係る発明は、請求項1乃
至請求項5のいずれか1項に記載の液体粒状化装置にお
いて、前記振動波供給手段は、圧電素子と当該圧電素子
に駆動信号を供給する信号発生部とからなることを特徴
としている。つまり、振動波供給手段が、圧電素子とこ
れに電圧を印加する電圧供給部とから形成されているも
のであり、例えば、圧電素子及び電極を集音体の底部に
密着接合させた構成のときに、この圧電素子及び電極か
らなる部分を集音体以外に固定しないようにすること
で、固定したときよりも集音体が自由に振動をすること
が可能となるので、集音体に、安定、且つ、効率の良い
振動を行わせることが可能となる。
According to a sixth aspect of the present invention, in the liquid granulating apparatus according to any one of the first to fifth aspects, the vibration wave supply means includes a piezoelectric element and a drive signal for the piezoelectric element. And a signal generator for supplying That is, the vibration wave supply means is formed of a piezoelectric element and a voltage supply section that applies a voltage to the piezoelectric element. For example, when the piezoelectric element and the electrode are in close contact with the bottom of the sound collector, In addition, by not fixing the part composed of the piezoelectric element and the electrode to anything other than the sound collector, the sound collector can vibrate more freely than when it is fixed. It is possible to perform stable and efficient vibration.

【0015】また、本発明に係る請求項7記載の液体粒
状化装置は、振動波伝播方向の長さが自己に供給される
振動波の半波長の整数倍の長さに設計された所定形状の
集音体と、当該集音体に振動波を供給する振動波供給手
段と、所定の液体を溜める液室と、を備え、前記振動波
供給手段によって前記集音体に振動波を供給することで
当該振動波を集束させ、この集束された振動波によって
前記液室内の液体の一部を粒状化し、且つ、飛翔させる
液体粒状化装置であって、前記集音体内を伝播する前記
振動波の変位が0になる当該集音体の位置部分を支持体
側に支持手段を介して支持するようにしたことを特徴と
している。
According to a seventh aspect of the liquid granulating apparatus of the present invention, the predetermined shape is designed such that the length in the vibration wave propagation direction is an integral multiple of the half wavelength of the vibration wave supplied to itself. Of the sound collecting body, a vibration wave supplying means for supplying a vibration wave to the sound collecting body, and a liquid chamber for storing a predetermined liquid, and the vibration wave supplying means supplies the vibration wave to the sound collecting body. A liquid granulation device for focusing the vibration wave by the use of the vibration wave, and for granulating and flying a part of the liquid in the liquid chamber by the focused vibration wave, the vibration wave propagating in the sound collecting body. It is characterized in that the position portion of the sound collector where the displacement of 0 is 0 is supported on the support body side through a support means.

【0016】つまり、集音体内を伝播する振動波の変位
が0になる当該集音体の位置部分を支持体側に支持手段
を介して支持するようにしたものである。従って、前記
変位のある部分で支持するよりも安定して振動させるこ
とが可能となる。また、請求項8に係る発明は、請求項
7記載の液体粒状化装置において、前記集音体の底部を
前記振動波供給手段からの前記振動波の供給部とすると
共に、当該供給部は、支持体側とは非接触状態にしたこ
とを特徴としている。
That is, the position portion of the sound collector in which the displacement of the vibration wave propagating in the sound collector is zero is supported on the support body side through the support means. Therefore, it is possible to vibrate more stably than when supporting the portion having the displacement. The invention according to claim 8 is the liquid granulating apparatus according to claim 7, wherein the bottom part of the sound collector is a supply part of the vibration wave from the vibration wave supply means, and the supply part is It is characterized in that it is not in contact with the support side.

【0017】つまり、振動波供給手段からの振動波の供
給部を集音体の底部に設け、この供給部を支持体側に対
して固定しないように非接触状態にしたもので、これに
より、固定したときよりも集音体が自由に振動をするこ
とが可能となるので、集音体に、安定、且つ、効率の良
い振動を行わせることが可能となる。また、請求項9に
係る発明は、請求項7又は請求項8記載の液体粒状化装
置において、前記支持手段を利用して前記液室内外を分
画したことを特徴としている。
That is, a supply portion for the vibration wave from the vibration wave supply means is provided at the bottom of the sound collector, and the supply portion is brought into a non-contact state so as not to be fixed to the support body side. Since it becomes possible for the sound collector to vibrate more freely than in the case described above, it is possible to cause the sound collector to vibrate stably and efficiently. Further, the invention according to claim 9 is characterized in that, in the liquid granulating apparatus according to claim 7 or 8, the inside and outside of the liquid chamber are fractionated by utilizing the supporting means.

【0018】つまり、支持手段によって液室の内外を分
画するようにしたので、例えば、液室から液体がもれな
いように分画することで、本装置を所定の向きで利用す
ることが可能となる。また、本発明に係る請求項10記
載の液体粒状化装置は、振動波伝播方向の長さが自己に
供給される振動波の半波長の整数倍の長さに設計された
所定形状の集音体と、当該集音体に振動波を供給する振
動波供給手段と、所定の液体を溜める液室と、を備え、
前記振動波供給手段によって前記集音体に振動波を供給
することで当該振動波を集束させ、この集束された振動
波によって前記液室内の液体の一部を粒状化し、且つ、
飛翔させる液体粒状化装置であって、前記集音体の底部
を前記振動波供給手段からの前記振動波の供給部とする
と共に、当該供給部は、支持体側とは非接触状態にした
ことを特徴としている。
That is, since the inside and outside of the liquid chamber are fractionated by the supporting means, the device can be used in a predetermined direction by fractionating the liquid chamber so that the liquid does not leak. It will be possible. The liquid granulating apparatus according to claim 10 of the present invention is a sound collecting device having a predetermined shape designed such that the length in the vibration wave propagation direction is an integral multiple of the half wavelength of the vibration wave supplied to itself. A body, a vibration wave supply unit that supplies a vibration wave to the sound collector, and a liquid chamber that stores a predetermined liquid,
By supplying a vibration wave to the sound collector by the vibration wave supply unit, the vibration wave is focused, and a part of the liquid in the liquid chamber is granulated by the focused vibration wave, and
A liquid granulating device for flying, wherein the bottom part of the sound collector is used as a supply part of the vibration wave from the vibration wave supply means, and the supply part is in a non-contact state with the support side. It has a feature.

【0019】つまり、振動波供給手段からの振動波の供
給部を集音体の底部に設け、この供給部を支持体側に対
して固定しないように非接触状態にしたもので、これに
より、固定したときよりも集音体が自由に振動をするこ
とが可能となるので、集音体に、安定、且つ、効率の良
い振動を行わせることが可能となる。また、請求項11
に係る発明は、請求項10記載の液体粒状化装置におい
て、前記振動波供給手段は、圧電素子と当該圧電素子に
駆動信号を供給する信号発生部とからなることを特徴と
している。
That is, a supply portion of the vibration wave from the vibration wave supply means is provided at the bottom of the sound collector, and the supply portion is brought into a non-contact state so as not to be fixed to the support body side. Since it becomes possible for the sound collector to vibrate more freely than in the case described above, it is possible to cause the sound collector to vibrate stably and efficiently. In addition, claim 11
According to a tenth aspect of the present invention, in the liquid granulating apparatus according to the tenth aspect, the vibration wave supply means is composed of a piezoelectric element and a signal generating section that supplies a drive signal to the piezoelectric element.

【0020】つまり、振動波供給手段が、圧電素子とこ
れに駆動信号を供給する信号発生部とから形成されてい
るものであり、例えば、圧電素子及び電極を集音体の底
部に密着接合させた構成のときに、この圧電素子及び電
極からなる部分を固定しないようにすることで、固定し
たときよりも集音体が自由に振動をすることが可能とな
るので、集音体に、安定、且つ、効率の良い振動を行わ
せることが可能となる。
That is, the vibration wave supply means is formed of a piezoelectric element and a signal generating section for supplying a drive signal to the piezoelectric element. For example, the piezoelectric element and the electrode are closely bonded to the bottom of the sound collector. In this configuration, by not fixing the part consisting of the piezoelectric element and the electrode, the sound collector can vibrate more freely than when it is fixed. And, it becomes possible to perform efficient vibration.

【0021】また、本発明に係る請求項12記載の液体
粒状化装置の製造方法は、振動波伝播方向の長さが自己
に供給される振動波の半波長の整数倍の長さに設計され
た所定形状の集音体と、当該集音体に振動波を供給する
振動波供給手段と、所定の液体を溜める液室と、を備
え、前記振動波供給手段によって前記集音体に振動波を
供給することで当該振動波を集束させ、この集束された
振動波によって前記液室内の液体の一部を粒状化し、且
つ、飛翔させる液体粒状化装置の製造方法であって、前
記集音体の先端部を含む一部を前記液室内に配設し、他
部を前記液体より低音響インピーダンスの媒質中に配設
することを特徴としている。
According to the twelfth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a liquid granulating apparatus, the length in the vibration wave propagation direction is designed to be an integral multiple of the half wavelength of the vibration wave supplied to itself. A sound collector having a predetermined shape, a vibration wave supply means for supplying a vibration wave to the sound collector, and a liquid chamber for accumulating a predetermined liquid, and the vibration wave supply means vibrates the sound collector. Is a method of manufacturing a liquid granulating device for focusing the vibration wave by supplying the vibration wave, granulating a part of the liquid in the liquid chamber by the focused vibration wave, and flying the liquid. Is disposed in the liquid chamber, and the other portion is disposed in a medium having a lower acoustic impedance than the liquid.

【0022】また、本発明に係る請求項13記載の液体
粒状化装置の製造方法は、振動波伝播方向の長さが自己
に供給される振動波の半波長の整数倍の長さに設計され
た所定形状の集音体と、当該集音体に振動波を供給する
振動波供給手段と、所定の液体を溜める液室と、を備
え、前記振動波供給手段によって前記集音体に振動波を
供給することで当該振動波を集束させ、この集束された
振動波によって前記液室内の液体の一部を粒状化し、且
つ、飛翔させる液体粒状化装置の製造方法であって、前
記集音体の先端部を含む一部を前記液室内に配設し、他
部を前記液室外に配設したことを特徴としている。
According to a thirteenth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a liquid granulating apparatus, the length in the vibration wave propagation direction is designed to be an integral multiple of the half wavelength of the vibration wave supplied to itself. A sound collector having a predetermined shape, a vibration wave supply means for supplying a vibration wave to the sound collector, and a liquid chamber for accumulating a predetermined liquid, and the vibration wave supply means vibrates the sound collector. Is a method of manufacturing a liquid granulating device for focusing the vibration wave by supplying the vibration wave, granulating a part of the liquid in the liquid chamber by the focused vibration wave, and flying the liquid. Is characterized in that a part including the tip portion of the above is disposed inside the liquid chamber, and the other portion is disposed outside the liquid chamber.

【0023】また、本発明に係る請求項14記載の液体
粒状化装置の製造方法は、振動波伝播方向の長さが自己
に供給される振動波の半波長の整数倍の長さに設計され
た所定形状の集音体と、当該集音体に振動波を供給する
振動波供給手段と、所定の液体を溜める液室と、を備
え、前記振動波供給手段によって前記集音体に振動波を
供給することで当該振動波を集束させ、この集束された
振動波によって前記液室内の液体の一部を粒状化し、且
つ、飛翔させる液体粒状化装置の製造方法であって、前
記集音体内を伝播する整数倍の波長の前記振動波のうち
いずれかの変位が0になる当該集音体の位置部分を所定
の支持手段で支持するようにしたことを特徴としてい
る。
According to a fourteenth aspect of the present invention, in the liquid granulating apparatus manufacturing method, the length in the propagation direction of the vibration wave is designed to be an integral multiple of the half wavelength of the vibration wave supplied to itself. A sound collector having a predetermined shape, a vibration wave supply means for supplying a vibration wave to the sound collector, and a liquid chamber for accumulating a predetermined liquid, and the vibration wave supply means vibrates the sound collector. A method for manufacturing a liquid granulating device for focusing the vibration wave by supplying the vibration wave, granulating a part of the liquid in the liquid chamber by the focused vibration wave, and flying the liquid. It is characterized in that the position portion of the sound collector in which any one of the vibration waves having an integral multiple wavelength that propagates is zero is supported by a predetermined supporting means.

【0024】また、本発明に係る請求項15記載の液体
粒状化装置の製造方法は、振動波伝播方向の長さが自己
に供給される振動波の半波長の整数倍の長さに設計され
た所定形状の集音体と、当該集音体に振動波を供給する
振動波供給手段と、所定の液体を溜める液室と、を備
え、前記振動波供給手段によって前記集音体に振動波を
供給することで当該振動波を集束させ、この集束された
振動波によって前記液室内の液体の一部を粒状化し、且
つ、飛翔させる液体粒状化装置の製造方法であって、前
記集音体の底部を前記振動波供給手段からの前記振動波
の供給部とすると共に、当該供給部は、支持体側とは非
接触状態にしたことを特徴としている。
According to a fifteenth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a liquid granulating apparatus, the length in the vibration wave propagation direction is designed to be an integral multiple of the half wavelength of the vibration wave supplied to itself. A sound collector having a predetermined shape, a vibration wave supply means for supplying a vibration wave to the sound collector, and a liquid chamber for accumulating a predetermined liquid, and the vibration wave supply means vibrates the sound collector. Is a method of manufacturing a liquid granulating device for focusing the vibration wave by supplying the vibration wave, granulating a part of the liquid in the liquid chamber by the focused vibration wave, and flying the liquid. The bottom part of is the supply part of the vibration wave from the vibration wave supply means, and the supply part is in a non-contact state with the support body side.

【0025】また、本発明に係る請求項16記載のイン
クジェット式記録ヘッドは、請求項1乃至請求項11の
いずれか1項に記載の液体粒状化装置を備えたことを特
徴としている。つまり、例えば、一定のノズルピッチで
複数のノズル開口が穿たれたノズル列のそれぞれに対応
させて、請求項1乃至請求項11のいずれか1項に記載
の液体粒状化装置を配設し、これら装置の液室には、そ
れぞれブラックインク、マゼンタインクなどの様々な種
類の色のインクを注入し、これらのインクを粒状化して
前記ノズル開口から飛翔させ、紙などの対象物に画像等
を記録するためのインクジェット式の記録ヘッドを構成
したものである。
An ink jet recording head according to a sixteenth aspect of the present invention is characterized by including the liquid granulating apparatus according to any one of the first to eleventh aspects. That is, for example, the liquid granulating device according to any one of claims 1 to 11 is arranged corresponding to each of the nozzle rows in which a plurality of nozzle openings are formed at a constant nozzle pitch, Inks of various types such as black ink and magenta ink are injected into the liquid chambers of these devices, and these inks are granulated and ejected from the nozzle openings to form an image or the like on an object such as paper. An inkjet recording head for recording is configured.

【0026】また、本発明に係る請求項17記載のイン
クジェットプリンタは、請求項16記載のインクジェッ
ト式記録ヘッドを備えたことを特徴としている。つま
り、請求項16に記載したインクジェット式記録ヘッド
を備えたインクジェットプリンタである。
An ink jet printer according to a seventeenth aspect of the present invention is characterized by including the ink jet recording head according to the sixteenth aspect. That is, it is an inkjet printer including the inkjet recording head according to claim 16.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図1乃至図4は、本発明に係る液
体粒状化装置の実施の形態を示す図である。まず、本発
明に係る液体粒状化装置の基本構成を図1に基づいて説
明する。図1は、本発明に係る液体粒状化装置の第1の
構成例を示すブロック図である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 4 are views showing an embodiment of a liquid granulating apparatus according to the present invention. First, the basic configuration of the liquid granulating apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a block diagram showing a first configuration example of a liquid granulating apparatus according to the present invention.

【0028】液体粒状化装置の第1の構成例1は、集音
体10と、振動波供給部11と、液室12と、支持部1
3と、ノズルプレート14と、ノズル15と、を含んだ
構成となっている。集音体10は、本実施の形態におい
ては、シリコン部材から生成されており、図1に示すよ
うに、後述する集音体の振動の節部から先端部にかけて
不連続的に細くした形状をしている。そして、この節部
を境に先端部を含む集音体上部10aが液室12内に配
設されており、節部を境にした下側部分である集音体下
部10bが空気中に配設されている。更に、本実施の形
態においては、集音体10の先端部の形状はフラットに
なっている。
The first structural example 1 of the liquid granulating apparatus is a sound collector 10, a vibration wave supplying section 11, a liquid chamber 12, and a supporting section 1.
3, the nozzle plate 14, and the nozzle 15 are included. In the present embodiment, the sound collector 10 is made of a silicon member, and as shown in FIG. 1, has a shape in which the vibration of the sound collector, which will be described later, is discontinuously thinned from a node to a tip. is doing. A sound collector upper part 10a including the tip end is disposed inside the liquid chamber 12 with this node as a boundary, and a sound collector lower part 10b which is a lower part with the node as a boundary is disposed in the air. Has been done. Further, in the present embodiment, the shape of the tip of the sound collector 10 is flat.

【0029】ここで、このように段のついた集音体10
の全長は、図4に示すように、根元及び先端の振動速度
及び断面積をそれぞれ、V1、V2及びS1、S2とする
と、両端面での振動速度拡大率V2/V1はS1/S2とい
った関係となり、この関係から適切な値を決定すること
が可能である。もっとも簡単な形状として、1/4波長
(1/4λ)の一様丸棒を2本つなげた例を説明する。
数ピコリットルの微小液滴を吐出するには十数MHzの
駆動周波数が必要である事が実験で確認されている。集
音体の材質をシリコンとすると、シリコン中の音速v=
8340[m/s]より、駆動周波数をf=15[MHz]と
すると、集音体の全長Lは、L=1/4λ+1/4λ=
(8340/15/4)×2=281[μm]となる。
Here, the sound collecting body 10 having a step like this
As shown in FIG. 4, assuming that the vibration velocity and the cross-sectional area of the root and the tip are respectively V 1 , V 2 and S 1 , S 2 , the vibration velocity expansion rate V 2 / V 1 at both end surfaces is Has a relationship such as S 1 / S 2 , and an appropriate value can be determined from this relationship. As the simplest shape, an example in which two uniform round bars of 1/4 wavelength (1 / 4λ) are connected will be described.
It has been confirmed by an experiment that a driving frequency of a dozen MHz is necessary to eject a few microliters of microdroplets. If the material of the sound collector is silicon, the speed of sound in silicon is v =
From 8340 [m / s], if the drive frequency is f = 15 [MHz], the total length L of the sound collector is L = 1 / 4λ + 1 / 4λ =
(8340/15/4) × 2 = 281 [μm].

【0030】また、本実施の形態においてこの段形状と
したのは、シリコン基板のドライエッチを想定したもの
で、集音体10の材質が異なれば、他の形状も実現可能
である。また、節部とは、図4に示すように、集音体1
0内を伝播する超音波の振幅の変位が丁度0になる部分
であり、本実施の形態においては、不連続に細くなる丁
度境目が節部となるように設計されており、上記したよ
うに集音体10は、この節部を境に集音体上部10aと
集音体下部10bとが分かれた構成となっている。
In this embodiment, the step shape is assumed to be dry etching of the silicon substrate, and other shapes can be realized if the material of the sound collector 10 is different. In addition, the knot portion, as shown in FIG.
It is a portion where the displacement of the amplitude of the ultrasonic wave propagating in 0 becomes just 0, and in the present embodiment, it is designed so that the boundary that becomes thinner discontinuously becomes the node portion, and as described above. The sound collector 10 has a structure in which an upper part 10a of the sound collector and a lower part 10b of the sound collector are separated from each other with this node as a boundary.

【0031】振動波供給部11は、圧電素子11aと、
当該圧電素子11aに駆動電圧を印加するための電極及
び信号発生器と増幅器から成る信号発生部11bと、を
含んだ構成となっている。つまり、圧電素子11aに交
流電圧を印加することにより、圧電素子11aが電圧の
極性に合わせた方向に交互に変位し振動が発生する。こ
の振動が集音体10との密着部分から超音波として入射
されることになる。ここで、圧電素子としてはPZT(チ
タン酸ジルコン酸鉛)などの振動の安定した素子が考え
られる。そして、この電極を含む圧電素子11aは、集
音体10の底部に配設され、更にの電極を含む圧電素子
11aの底部が、図1に示す液体粒状化装置の第1の構
成例1を構成する基部に固定されている。ここで、圧電
素子11aの底部と基部との固定は、集音体10の底部
と圧電素子11aの固定部の反対側に対応する部分を避
けておこなわれる。図1では基部の一部をくりぬいて圧
電素子11aの底部を基部と固定することで、圧電素子
11aの振動を妨げるのを小さくすることが可能となっ
ている。
The vibration wave supply unit 11 includes a piezoelectric element 11a,
The piezoelectric element 11a is configured to include an electrode for applying a drive voltage, a signal generator, and a signal generator 11b including an amplifier. That is, when an alternating voltage is applied to the piezoelectric element 11a, the piezoelectric element 11a is alternately displaced in the direction according to the polarity of the voltage and vibration is generated. This vibration is incident as an ultrasonic wave from the contact portion with the sound collector 10. Here, as the piezoelectric element, an element with stable vibration such as PZT (lead zirconate titanate) can be considered. The piezoelectric element 11a including this electrode is arranged at the bottom of the sound collector 10, and the bottom of the piezoelectric element 11a including further electrodes corresponds to the first configuration example 1 of the liquid granulating apparatus shown in FIG. It is fixed to the constituent base. Here, the bottom portion of the piezoelectric element 11a and the base portion are fixed to each other while avoiding a portion corresponding to the bottom portion of the sound collector 10 and the opposite side of the fixing portion of the piezoelectric element 11a. In FIG. 1, a part of the base part is hollowed out and the bottom part of the piezoelectric element 11a is fixed to the base part, so that it is possible to reduce the interference of the vibration of the piezoelectric element 11a.

【0032】液室12は、本実施の形態においては純水
から作成されたインク液17を溜めるものであり、この
液室12内には上記したように集音体上部10aが配設
されている。従って、集音体上部10aは液室12内の
インク液につかることになる。支持体13は、集音体1
0が適切な位置に配設されるように支持するものであ
り、更に、液室12と空気とを分離する役割も果たすも
のである。なお、本実施の形態においては、支持部13
は集音体10における節部の位置を支持するようになっ
ている。
In the present embodiment, the liquid chamber 12 stores the ink liquid 17 made of pure water, and the sound collector upper portion 10a is arranged in the liquid chamber 12 as described above. There is. Therefore, the upper part 10 a of the sound collector comes into contact with the ink liquid in the liquid chamber 12. The support 13 is the sound collector 1.
It supports 0 so that it is arranged at an appropriate position, and also plays a role of separating the liquid chamber 12 and air. In the present embodiment, the support portion 13
Supports the position of a node in the sound collector 10.

【0033】ノズルプレート14は、複数の液体粒状化
装置の第1の構成例1をアレイ化して利用するときに、
隣接した液面間での液面振動の干渉を取り除くものであ
り、更に、同構成例1を集音体10の先端部が下向きに
なるように利用したときの液漏れを防ぐためのものであ
る。ノズル15は、本実施の形態において、ノズルプレ
ート14に穿たれた孔であり、インク液17の一部を粒
状化した図1に示すインク液滴18を対象物に向けて飛
翔させるための射出孔である。ここで、ノズルプレート
14をスリット形状などのノズルの役割を果たす部分の
ある別の形状にすることでノズル部を形成するようにし
ても良い。
The nozzle plate 14 is used when the first constitutional example 1 of a plurality of liquid granulating devices is formed into an array and used.
It is intended to eliminate the interference of liquid surface vibration between adjacent liquid surfaces, and to prevent liquid leakage when the same configuration example 1 is used so that the tip of the sound collector 10 faces downward. is there. The nozzle 15 is a hole formed in the nozzle plate 14 in the present embodiment, and ejects ink droplets 18 shown in FIG. 1 in which a part of the ink liquid 17 is granulated to fly toward an object. It is a hole. Here, the nozzle portion may be formed by forming the nozzle plate 14 into another shape having a portion that plays a role of a nozzle, such as a slit shape.

【0034】以下、液体粒状化装置1のより具体的な動
作を説明する。図1に示すように、信号発生部11bか
ら圧電素子11aに対して集音体10の形状に合わせた
周期の交流電圧を印加すると、この周期に応じた電圧に
対して圧電素子10aが変位し振動を発生する。この振
動は超音波となって集音体10にその底部から入射され
る。そして、集音体10の内部を伝播する超音波は、集
音体10の先端部と底部との間で反射を繰り返し、これ
ら反射波と圧電素子11aからの入射波とによって共振
が起こる。この共振された超音波は、集音体10の先細
りの形状から集音体上部10aにおいて集束され、且
つ、反射による共振も手伝って先端部に行くほど振幅が
大きくなっている。この増幅され、且つ、集束された超
音波エネルギのうちインク液17中に透過された超音波
エネルギがインク液17を叩き、これによってインク液
17の一部が粒状のインク液滴18となり、ノズル15
から飛翔することになる。このとき、図1に示すよう
に、集音体上部10aは液室12内に配設され、集音体
下部10bは空気中に配設されているので、集音体上部
10aと集音体下部10bとにおいて、集音体10内部
から外部に透過するエネルギ量が両者の間で異なること
になる。つまり、本実施の形態においては、インク液1
7を純水から作っているので、集音体上部10aにおい
てインク液17中に透過する超音波エネルギと集音体下
部10bにおいて空気中に透過する超音波エネルギと
は、その密度の大きいインク液17中を透過する超音波
エネルギの方が大きくなる。
The more specific operation of the liquid granulating apparatus 1 will be described below. As shown in FIG. 1, when an AC voltage having a cycle matched to the shape of the sound collector 10 is applied from the signal generator 11b to the piezoelectric element 11a, the piezoelectric element 10a is displaced with respect to the voltage according to this cycle. Generates vibration. This vibration becomes an ultrasonic wave and is incident on the sound collector 10 from the bottom thereof. Then, the ultrasonic waves propagating inside the sound collector 10 are repeatedly reflected between the tip and the bottom of the sound collector 10, and resonance is caused by these reflected waves and the incident wave from the piezoelectric element 11a. The resonated ultrasonic waves are focused on the upper part 10a of the sound collector due to the tapered shape of the sound collector 10, and the amplitude becomes larger as it goes to the tip end, assisting the resonance due to reflection. The ultrasonic energy transmitted through the ink liquid 17 out of the amplified and focused ultrasonic energy hits the ink liquid 17, whereby a part of the ink liquid 17 becomes a granular ink droplet 18 and the nozzle 15
Will fly from. At this time, as shown in FIG. 1, the sound collector upper part 10a is arranged in the liquid chamber 12, and the sound collector lower part 10b is arranged in the air. In the lower portion 10b, the amount of energy transmitted from the inside of the sound collector 10 to the outside differs between the two. That is, in the present embodiment, the ink liquid 1
Since 7 is made of pure water, the ultrasonic energy that penetrates into the ink liquid 17 at the upper part of the sound collector 10a and the ultrasonic energy that penetrates into the air at the lower part of the sound collector 10b are ink liquids with high density. The ultrasonic energy transmitted through 17 becomes larger.

【0035】以下、超音波エネルギの透過についてその
原理を説明する。超音波エネルギは、集音体10とイン
ク液17との境界で反射成分と透過成分とに分かれる。
従って、インク液滴18を効率よく飛翔させるには集音
体10の先端に超音波が達するまでに集音体10の側面
などから周囲への超音波エネルギの透過成分を減らすこ
とが重要である。
The principle of transmission of ultrasonic energy will be described below. The ultrasonic energy is divided into a reflection component and a transmission component at the boundary between the sound collector 10 and the ink liquid 17.
Therefore, in order to efficiently fly the ink droplets 18, it is important to reduce the transmission component of ultrasonic energy from the side surface of the sound collector 10 to the surroundings before the ultrasonic waves reach the tip of the sound collector 10. .

【0036】ここで、平面で相接する二つの媒質の境界
面に垂直に入射する超音波エネルギの透過率について説
明する。密度ρ[kg/m3]の媒質中を超音波が音速c[m
/s]で伝播するとき、密度ρと音速cとの積は媒質の音
響インピーダンスZ[N・s/m3]と呼ばれ、二つの媒質の
境界面に垂直に入射する超音波のエネルギの透過率T
は、T=1−(Z1−Z22/(Z1+Z22で表され
る。ただし、Z1、Z2はそれぞれの媒質の音響インピー
ダンスである。ここで、集音体10にシリコン、インク
液に純水を用いた場合を説明する。シリコンの密度及び
シリコン中の超音波の伝播速度はそれぞれ、2.33×
103[kg/m3]及び8430[m/s]であり、音響イン
ピーダンスはZs=19.6×106[N・s/m3]である。
一方、純水の密度及び純水中の超音波の伝播速度はそれ
ぞれ、1.0×103[kg/m3]及び1500[m/s]で
あり、音響インピーダンスはZw=1.5×106[N・s/
m3]である。これから、集音体10から純水中への超音
波エネルギの透過率を計算すると26[%]となる。
Here, the transmittance of ultrasonic energy that is perpendicularly incident on the boundary surface between two media that are in contact with each other on a plane will be described. Ultrasonic waves in the medium of density ρ [kg / m 3 ]
/ s], the product of the density ρ and the speed of sound c is called the acoustic impedance Z [N · s / m 3 ] of the medium, which is the energy of the ultrasonic wave incident perpendicularly to the interface between the two media. Transmittance T
Is expressed by T = 1- (Z 1 -Z 2 ) 2 / (Z 1 + Z 2) 2. However, Z 1 and Z 2 are acoustic impedances of the respective media. Here, a case where silicon is used for the sound collector 10 and pure water is used for the ink liquid will be described. The density of silicon and the propagation velocity of ultrasonic waves in silicon are 2.33 ×, respectively.
It is 10 3 [kg / m 3 ] and 8430 [m / s], and the acoustic impedance is Z s = 19.6 × 10 6 [N · s / m 3 ].
On the other hand, the density of pure water and the propagation velocity of ultrasonic waves in pure water are 1.0 × 10 3 [kg / m 3 ] and 1500 [m / s], respectively, and the acoustic impedance is Z w = 1.5. × 10 6 [N · s /
m 3 ]. From this, the transmittance of ultrasonic energy from the sound collector 10 into pure water is calculated to be 26%.

【0037】更に、集音体10の周囲を空気とした場合
を説明する。空気の密度及び空気中の超音波の伝播速度
はそれぞれ、1.29[kg/m3]及び340[m/s]であ
り、音響インピーダンスZa=0.44×103[N・s/
m3]となり、これから、集音体10から空気中への超音
波エネルギの透過率を計算すると、9×10-3[%]と
なり、エネルギの透過はほとんど0となる。
Further, the case where the surrounding of the sound collector 10 is air will be described. The density of air and the propagation velocity of ultrasonic waves in air are 1.29 [kg / m 3 ] and 340 [m / s], respectively, and the acoustic impedance Z a = 0.44 × 10 3 [N · s /
m 3 ], from which the transmittance of ultrasonic energy from the sound collector 10 into the air is calculated to be 9 × 10 −3 [%], and the energy transmission is almost zero.

【0038】従って、本実施の形態における集音体10
は、上記したように集音体上部10aをインク液17中
につかるように液室12内に配設し、集音体下部10b
を空気中に配設したので、空気中にある集音体下部10
bにおける集音体から空気中への超音波エネルギの透過
はほとんど0となる。また、この液体粒状化装置の第1
の構成例1を複数用いた実際の利用例としてインクジェ
ットプリンタ用の記録ヘッド2を構成した例を図2に示
す。図2では内部構造が俯瞰できるよう集音体10と圧
電素子11aを分離しているが、本来はこれらは密着接
合されている。図2に示すように、複数の本構成例1に
よってインクジェット用の記録ヘッド2を構成すること
により、各液室12内のインク液17を集音体10によ
って集束された超音波エネルギによって粒状化しインク
液滴18として飛翔させプリンタ用紙に付着させること
で印字を行う。そのため、インクジェットプリンタは、
記録ヘッド2を主走査方向に移動させるヘッド走査機構
を備えた構成となっている。
Therefore, the sound collector 10 according to the present embodiment.
Is arranged in the liquid chamber 12 so that the upper part 10a of the sound collector is submerged in the ink liquid 17, and the lower part 10b of the sound collector is disposed.
Is placed in the air, the lower part of the sound collector 10 in the air
The transmission of ultrasonic energy from the sound collector to the air in b is almost zero. In addition, the first of the liquid granulating device
FIG. 2 shows an example in which a recording head 2 for an inkjet printer is configured as an actual application example using a plurality of the configuration example 1 of FIG. In FIG. 2, the sound collector 10 and the piezoelectric element 11a are separated so that the internal structure can be overlooked, but originally, these are closely joined. As shown in FIG. 2, by configuring the recording head 2 for inkjet by a plurality of the present configuration example 1, the ink liquid 17 in each liquid chamber 12 is granulated by the ultrasonic energy focused by the sound collector 10. Printing is performed by causing the ink droplets 18 to fly and adhere to the printer paper. Therefore, the inkjet printer
The head scanning mechanism is provided for moving the recording head 2 in the main scanning direction.

【0039】以上、液体粒状化装置の第1の構成例1
は、集音体10の集音体上部10aを液室12内に配設
し、集音体下部10bを、基部と支持部13に囲まれた
空間に配設するようにしたので、集音体10に超音波を
入射したときに、集音体上部10aの方が集音体下部1
0bよりも内部の超音波エネルギが外部に透過する量が
大きくなり、集音体10を全て液室12内に配設したと
きと比べ、集音体10の側面などの粒状化に作用する部
分とは関係ない所から透過するエネルギが、空気中に配
設されている部分においてはほとんどなくなるので、そ
の分のエネルギ損失を防ぐことが可能となる。
As described above, the first structural example 1 of the liquid granulating apparatus
Since the sound collector upper part 10a of the sound collector 10 is arranged in the liquid chamber 12 and the sound collector lower part 10b is arranged in the space surrounded by the base portion and the support portion 13, When ultrasonic waves are incident on the body 10, the upper part of the sound collector 10a is lower than the lower part of the sound collector 1
The amount by which the ultrasonic energy in the inside penetrates to the outside is larger than 0b, and compared to the case where the entire sound collector 10 is disposed in the liquid chamber 12, the side surface of the sound collector 10 that acts on the granularity. The energy transmitted from a place unrelated to is almost eliminated in the portion arranged in the air, so that the energy loss can be prevented.

【0040】また、集音体10を上記したように段形状
としたので、先端部付近のみ超音波エネルギが強くな
る。従って、利用方によっては、ノズルプレートが不要
となり、更に、小径のノズルを形成する必要がなくな
る。また、集音体10を、その節部の位置で支持体13
により支持するようにしたので、節部以外で支持するの
に比べ、集音体10の振動を妨げるのを小さくすること
が可能となる。
Further, since the sound collector 10 has the stepped shape as described above, the ultrasonic energy becomes strong only near the tip. Therefore, depending on the usage, the nozzle plate becomes unnecessary, and further, it is not necessary to form a nozzle having a small diameter. In addition, the sound collector 10 is supported by the support 13 at the position of the node.
Since it is supported by, it is possible to reduce the hindrance to the vibration of the sound collector 10 as compared with the case where it is supported by other than the node portion.

【0041】また、図3に基づき、本発明に係る液体粒
状化装置の第2の構成例を説明する。図3は、液体粒状
化装置の第2の構成例を示す図である。ここで、図1に
示す、液体粒状化装置の第1の構成例1と同様の構成部
に関しては同様の符号を振ることで詳細な説明を省略す
る。液体粒状化装置の第2の構成例3は、集音体10
と、振動波供給部11と、液室12と、支持部13と、
ノズルプレート14と、ノズル15と、を含んだ構成と
なっている。
A second structural example of the liquid granulating apparatus according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a diagram showing a second configuration example of the liquid granulating device. Here, the same components as those in the first configuration example 1 of the liquid granulating device shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted. A second configuration example 3 of the liquid granulating device is a sound collector 10.
A vibration wave supply unit 11, a liquid chamber 12, a support unit 13,
The nozzle plate 14 and the nozzle 15 are included.

【0042】液体粒状化装置の第1の構成例1との違い
は、集音体10の先端部が下向きになるように全体が逆
向きに設置されている点と、更に、図3に示すように、
液体粒状化装置の第2の構成例3を構成する基部に振動
波供給部11における圧電素子11a(電極を含む)が
集音体10以外に固定されていない点の2点である。こ
のように、圧電素子11aを固定せず、更に、支持部1
3によって集音体10の節部においてのみ支持すること
で、集音体10の振動を妨げず、余計なエネルギの消費
を抑えることが可能となる。
The difference from the first configuration example 1 of the liquid granulating device is that the whole of the sound collector 10 is installed in the opposite direction so that the tip end thereof faces downward, and further, it is shown in FIG. like,
The piezoelectric element 11a (including the electrodes) in the vibration wave supply unit 11 is not fixed to any part other than the sound collector 10 on the base portion of the second configuration example 3 of the liquid granulating device. In this way, the piezoelectric element 11a is not fixed,
By supporting only the node of the sound collector 10 by 3, the vibration of the sound collector 10 is not hindered, and it is possible to suppress unnecessary energy consumption.

【0043】ここで、図1乃至図3に示す、振動波供給
部11は、請求項1、2、5、6、7、8及び請求項1
0乃至請求項15記載の振動波供給手段に対応し、支持
部13は、請求項3、4、7、9、14記載の所定の支
持手段に対応し、図2に示すインクジェットプリンタ用
の記録ヘッド2は、請求項16及び請求項17記載のイ
ンクジェット式記録ヘッドに対応する。
Here, the oscillatory wave supply unit 11 shown in FIGS. 1 to 3 is defined by claim 1, 2, 5, 6, 7, 8 and claim 1.
0 to claim 15 corresponding to the vibration wave supply means, the support portion 13 corresponds to the predetermined support means according to claim 3, 4, 7, 9, 14 recording for the inkjet printer shown in FIG. The head 2 corresponds to the ink jet recording head described in claims 16 and 17.

【0044】なお、上記実施の形態においては、集音体
10の先端部の形状をフラットな形状としたが、これに
限らず、凹面形状にしたり、フレネルレンズにおけるレ
ンズ面と同様の形状にするなど、超音波を集束させるの
に適した別の形状にしても良い。また、上記実施の形態
においては、実際に利用される例として、インクジェッ
トプリンタ用のヘッドを例として説明したが、これに限
らず、インクジェット方式を利用する他の製品に適用し
ても良い。
In the above embodiment, the shape of the tip of the sound collector 10 is flat, but the shape is not limited to this, and it may be concave or similar to the lens surface of the Fresnel lens. For example, another shape suitable for focusing ultrasonic waves may be used. Further, in the above embodiment, the head for an inkjet printer has been described as an example that is actually used, but the present invention is not limited to this, and may be applied to other products that use an inkjet method.

【0045】また、上記実施の形態においては、粒状化
する液体を純水から作られたインク液を例として説明し
たが、これに限らず、より高い粘度を有する液体、顔料
やその他の粒状性を有する液体を含め、多種多様な液体
を粒状化して飛翔させるようにしても良い。例えば、液
晶表示装置におけるカラーフィルタ材料、有機EL装置
におけるEL発光材料、電子放出装置における蛍光材
料、電気泳動表示装置における泳動体、金属配線形成に
おける液体金属材料、2枚の基板間に微小なセルギャッ
プを構成すべく多数の粒子状のスペーサを形成するスペ
ーサ形成方法において、スペーサを構成する粒子材料を
導入した液体など、が考えられる。
Further, in the above-mentioned embodiment, the liquid to be granulated has been described by taking an ink liquid made of pure water as an example. However, the liquid is not limited to this, a liquid having a higher viscosity, a pigment or other granularity is used. A wide variety of liquids may be granulated and caused to fly, including liquids having For example, a color filter material in a liquid crystal display device, an EL light emitting material in an organic EL device, a fluorescent material in an electron emitting device, a migration body in an electrophoretic display device, a liquid metal material in forming metal wiring, and a small cell between two substrates. In a spacer forming method of forming a large number of particulate spacers to form a gap, a liquid into which a particle material forming the spacer is introduced can be considered.

【0046】[0046]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る液体
粒状化装置によれば、集音体の先端部を含む一部を液室
内に配設し、他部を液室内の液体よりも低音響インピー
ダンスの媒質中に配設するようにしたので、その他の部
分における空気中へのエネルギの透過率は、液室内の液
体の方が透過率が大きいため集音体の先端部を含む部分
からのエネルギの損失(液体を透過する振動波エネル
ギ)はその他の部分より大きい。即ち、集音体全体をイ
ンク液につけた場合に比べると、空気中に出ている部分
のエネルギの損失分が小さくなるので、エネルギ効率を
向上することが可能となる。
As described above, according to the liquid granulating apparatus of the present invention, a part including the tip of the sound collector is arranged in the liquid chamber, and the other part is arranged more than the liquid in the liquid chamber. Since it is arranged in a medium with a low acoustic impedance, the transmittance of energy into the air in other parts is higher in the liquid in the liquid chamber, so the part including the tip of the sound collector The energy loss (vibration wave energy that penetrates the liquid) is greater than the rest. That is, as compared with the case where the entire sound collector is immersed in the ink liquid, the energy loss in the portion exposed in the air becomes smaller, so that it is possible to improve energy efficiency.

【0047】更に、所定の支持手段によって集音体の節
部位置を支持して集音体の姿勢を安定させるようにした
ので、節部以外で支持するよりも集音体の振動を妨げな
くなるので、振動を安定させることが可能となる。更
に、集音体に密着した振動供給手段を集音体以外に固定
しないようにしたので、固定したときよりも集音体の振
動を妨げなくなるので、振動を安定させることが可能と
なる。
Further, since the predetermined position of the sound collecting member is supported by the predetermined supporting means to stabilize the posture of the sound collecting member, the vibration of the sound collecting member is less hindered as compared with the case where the sound collecting member is not supported. Therefore, it becomes possible to stabilize the vibration. Furthermore, since the vibration supplying means that is in close contact with the sound collector is not fixed to anything other than the sound collector, the vibration of the sound collector is not obstructed more than when it is fixed, so that the vibration can be stabilized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明に係る液体粒状化装置の第1の構成例
を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a first configuration example of a liquid granulation device according to the present invention.

【図2】 液体粒状化装置の第1の構成例1を複数用い
た実際の利用例としてインクジェットプリンタ用の記録
ヘッドを構成した例を示す図。
FIG. 2 is a diagram showing an example in which a recording head for an inkjet printer is configured as an actual application example in which a plurality of first configuration examples 1 of a liquid granulating device are used.

【図3】 液体粒状化装置の第2の構成例を示す図であ
る。
FIG. 3 is a diagram showing a second configuration example of the liquid granulation device.

【図4】 集音体の節部位置の一例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of node positions of a sound collector.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・液体粒状化装置の第1の構成例、2・・・イン
クジェットプリンタ用のヘッド2、3・・・液体粒状化
装置の第2の構成例、10・・・集音体、10a・・・
集音体上部、10b・・・集音体下部、11・・・振動
波供給部、11a・・・圧電素子、11b・・・信号発
生部、12・・・液室、13・・・支持部、14・・・
ノズルプレート、15・・・ノズル
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... 1st structural example of a liquid granulation apparatus, 2 ... Heads for inkjet printers 2, 3 ... 2nd structural example of a liquid granulation apparatus, 10 ... Sound collector, 10a ...
Upper part of sound collector, 10b ... Lower part of sound collector, 11 ... Oscillating wave supply part, 11a ... Piezoelectric element, 11b ... Signal generating part, 12 ... Liquid chamber, 13 ... Support Department, 14 ...
Nozzle plate, 15 ... Nozzle

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 振動波伝播方向の長さが自己に供給され
る振動波の半波長の整数倍の長さに設計された所定形状
の集音体と、当該集音体に振動波を供給する振動波供給
手段と、所定の液体を溜める液室と、を備え、前記振動
波供給手段によって前記集音体に振動波を供給すること
で当該振動波を集束させ、この集束された振動波によっ
て前記液室内の液体の一部を粒状化し、且つ、飛翔させ
る液体粒状化装置であって、 前記集音体の先端部を含む一部を前記液室内に配設し、
他部を前記液体より低音響インピーダンスの媒質中に配
設したことを特徴とする液体粒状化装置。
1. A sound collector having a predetermined shape designed to have a length in the vibration wave propagation direction that is an integral multiple of a half wavelength of the vibration wave supplied to the self, and the vibration wave is supplied to the sound collector. And a liquid chamber for accumulating a predetermined liquid. The vibrating wave is converged by supplying the vibrating wave to the sound collector by the vibrating wave supplying means. A liquid granulating device for granulating a part of the liquid in the liquid chamber and flying the liquid, wherein a part including the tip of the sound collector is disposed in the liquid chamber,
A liquid granulating device, characterized in that the other part is arranged in a medium having a lower acoustic impedance than the liquid.
【請求項2】 振動波伝播方向の長さが自己に供給され
る振動波の半波長の整数倍の長さに設計された所定形状
の集音体と、当該集音体に振動波を供給する振動波供給
手段と、所定の液体を溜める液室と、を備え、前記振動
波供給手段によって前記集音体に振動波を供給すること
で当該振動波を集束させ、この集束された振動波によっ
て前記液室内の液体の一部を粒状化し、且つ、飛翔させ
る液体粒状化装置であって、 前記集音体の先端部を含む一部を前記液室内に配設し、
他部を前記液室外に配設したことを特徴とする液体粒状
化装置。
2. A sound collector having a predetermined shape, the length of which in the direction of propagation of the vibration wave is designed to be an integral multiple of a half wavelength of the vibration wave supplied thereto, and the vibration wave is supplied to the sound collector. And a liquid chamber for accumulating a predetermined liquid. The vibrating wave is converged by supplying the vibrating wave to the sound collector by the vibrating wave supplying means. A liquid granulating device for granulating a part of the liquid in the liquid chamber and flying the liquid, wherein a part including the tip of the sound collector is disposed in the liquid chamber,
A liquid granulating device, characterized in that the other part is disposed outside the liquid chamber.
【請求項3】 前記集音体内を伝播する前記振動波の変
位が0になる当該集音体の位置部分を支持体側に支持手
段を介して支持したことを特徴とする請求項1又は請求
項2記載の液体粒状化装置。
3. The position part of the sound collector where the displacement of the vibration wave propagating in the sound collector is zero, is supported on the support body side through a support means. 2. The liquid granulating device according to 2.
【請求項4】 前記支持手段を利用して前記液室内外を
分画したことを特徴とする請求項3記載の液体粒状化装
置。
4. The liquid granulating apparatus according to claim 3, wherein the inside and outside of the liquid chamber are fractionated by utilizing the supporting means.
【請求項5】 前記集音体の底部を前記振動波供給手段
からの前記振動波の供給部とすると共に、 当該供給部は、支持体側とは非接触状態にしたことを特
徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の
液体粒状化装置。
5. The bottom part of the sound collector is used as a supply part of the vibration wave from the vibration wave supply means, and the supply part is in a non-contact state with the support body side. The liquid granulating apparatus according to any one of claims 1 to 4.
【請求項6】 前記振動波供給手段は、圧電素子と当該
圧電素子に駆動信号を供給する信号発生部とからなるこ
とを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に
記載の液体粒状化装置。
6. The vibrating wave supply means comprises a piezoelectric element and a signal generating section for supplying a drive signal to the piezoelectric element, as claimed in any one of claims 1 to 5. Liquid granulator.
【請求項7】 振動波伝播方向の長さが自己に供給され
る振動波の半波長の整数倍の長さに設計された所定形状
の集音体と、当該集音体に振動波を供給する振動波供給
手段と、所定の液体を溜める液室と、を備え、前記振動
波供給手段によって前記集音体に振動波を供給すること
で当該振動波を集束させ、この集束された振動波によっ
て前記液室内の液体の一部を粒状化し、且つ、飛翔させ
る液体粒状化装置であって、 前記集音体内を伝播する前記振動波の変位が0になる当
該集音体の位置部分を支持体側に支持手段を介して支持
するようにしたことを特徴とする液体粒状化装置。
7. A sound collector having a predetermined shape designed to have a length in the vibration wave propagation direction that is an integral multiple of a half wavelength of the vibration wave supplied to the self, and the vibration wave is supplied to the sound collector. And a liquid chamber for accumulating a predetermined liquid. The vibrating wave is converged by supplying the vibrating wave to the sound collector by the vibrating wave supplying means. A liquid granulating device for granulating and flying a part of the liquid in the liquid chamber by means of supporting a position part of the sound collecting body where the displacement of the vibration wave propagating in the sound collecting body becomes 0. A liquid granulating device characterized in that it is supported on the body side through a supporting means.
【請求項8】 前記集音体の底部を前記振動波供給手段
からの前記振動波の供給部とすると共に、当該供給部
は、支持体側とは非接触状態にしたことを特徴とする請
求項7記載の液体粒状化装置。
8. The bottom part of the sound collector is used as a supply part of the vibration wave from the vibration wave supply means, and the supply part is in a non-contact state with the support body side. 7. The liquid granulating device according to 7.
【請求項9】 前記支持手段を利用して前記液室内外を
分画したことを特徴とする請求項7又は請求項8記載の
液体粒状化装置。
9. The liquid granulation apparatus according to claim 7, wherein the inside and outside of the liquid chamber are fractionated by utilizing the supporting means.
【請求項10】 振動波伝播方向の長さが自己に供給さ
れる振動波の半波長の整数倍の長さに設計された所定形
状の集音体と、当該集音体に振動波を供給する振動波供
給手段と、所定の液体を溜める液室と、を備え、前記振
動波供給手段によって前記集音体に振動波を供給するこ
とで当該振動波を集束させ、この集束された振動波によ
って前記液室内の液体の一部を粒状化し、且つ、飛翔さ
せる液体粒状化装置であって、 前記集音体の底部を前記振動波供給手段からの前記振動
波の供給部とすると共に、当該供給部は、支持体側とは
非接触状態にしたことを特徴とする液体粒状化装置。
10. A sound collector having a predetermined shape designed to have a length in a vibration wave propagation direction that is an integral multiple of a half wavelength of the vibration wave supplied to the self, and the vibration wave is supplied to the sound collector. And a liquid chamber for accumulating a predetermined liquid. The vibrating wave is converged by supplying the vibrating wave to the sound collector by the vibrating wave supplying means. A liquid granulating device for granulating a part of the liquid in the liquid chamber and flying the liquid, wherein the bottom part of the sound collector serves as a supply part of the vibration wave from the vibration wave supply means, and The liquid granulation device is characterized in that the supply unit is in a non-contact state with the support side.
【請求項11】 前記振動波供給手段は、圧電素子と当
該圧電素子に駆動信号を供給する信号発生部とからなる
ことを特徴とする請求項10記載の液体粒状化装置。
11. The liquid granulating apparatus according to claim 10, wherein the vibration wave supply unit includes a piezoelectric element and a signal generator that supplies a drive signal to the piezoelectric element.
【請求項12】 振動波伝播方向の長さが自己に供給さ
れる振動波の半波長の整数倍の長さに設計された所定形
状の集音体と、当該集音体に振動波を供給する振動波供
給手段と、所定の液体を溜める液室と、を備え、前記振
動波供給手段によって前記集音体に振動波を供給するこ
とで当該振動波を集束させ、この集束された振動波によ
って前記液室内の液体の一部を粒状化し、且つ、飛翔さ
せる液体粒状化装置の製造方法であって、 前記集音体の先端部を含む一部を前記液室内に配設し、
他部を前記液体より低音響インピーダンスの媒質中に配
設することを特徴とする液体粒状化装置の製造方法。
12. A sound collector having a predetermined shape, the length of which in the direction of propagation of the vibration wave is designed to be an integral multiple of a half wavelength of the vibration wave supplied thereto, and the vibration wave is supplied to the sound collector. And a liquid chamber for accumulating a predetermined liquid. The vibrating wave is converged by supplying the vibrating wave to the sound collector by the vibrating wave supplying means. A method of manufacturing a liquid granulating device for granulating a part of the liquid in the liquid chamber and flying the liquid, wherein a part including a tip end portion of the sound collector is disposed in the liquid chamber,
A method for manufacturing a liquid granulating device, characterized in that the other part is disposed in a medium having a lower acoustic impedance than the liquid.
【請求項13】 振動波伝播方向の長さが自己に供給さ
れる振動波の半波長の整数倍の長さに設計された所定形
状の集音体と、当該集音体に振動波を供給する振動波供
給手段と、所定の液体を溜める液室と、を備え、前記振
動波供給手段によって前記集音体に振動波を供給するこ
とで当該振動波を集束させ、この集束された振動波によ
って前記液室内の液体の一部を粒状化し、且つ、飛翔さ
せる液体粒状化装置の製造方法であって、 前記集音体の先端部を含む一部を前記液室内に配設し、
他部を前記液室外に配設したことを特徴とする液体粒状
化装置の製造方法。
13. A sound collector having a predetermined shape designed to have a length in the vibration wave propagation direction that is an integral multiple of a half wavelength of the vibration wave supplied to the self, and the vibration wave is supplied to the sound collector. And a liquid chamber for accumulating a predetermined liquid. The vibrating wave is converged by supplying the vibrating wave to the sound collector by the vibrating wave supplying means. A method of manufacturing a liquid granulating device for granulating a part of the liquid in the liquid chamber and flying the liquid, wherein a part including a tip end portion of the sound collector is disposed in the liquid chamber,
A method of manufacturing a liquid granulating device, characterized in that another part is disposed outside the liquid chamber.
【請求項14】 振動波伝播方向の長さが自己に供給さ
れる振動波の半波長の整数倍の長さに設計された所定形
状の集音体と、当該集音体に振動波を供給する振動波供
給手段と、所定の液体を溜める液室と、を備え、前記振
動波供給手段によって前記集音体に振動波を供給するこ
とで当該振動波を集束させ、この集束された振動波によ
って前記液室内の液体の一部を粒状化し、且つ、飛翔さ
せる液体粒状化装置の製造方法であって、 前記集音体内を伝播する整数倍の波長の前記振動波のう
ちいずれかの変位が0になる当該集音体の位置部分を所
定の支持手段で支持するようにしたことを特徴とする液
体粒状化装置の製造方法。
14. A sound collector having a predetermined shape designed to have a length in the vibration wave propagation direction that is an integral multiple of a half wavelength of the vibration wave supplied to the self, and the vibration wave is supplied to the sound collector. And a liquid chamber for accumulating a predetermined liquid. The vibrating wave is converged by supplying the vibrating wave to the sound collector by the vibrating wave supplying means. A method for manufacturing a liquid granulating device for granulating and flying a part of the liquid in the liquid chamber by means of: a displacement of any one of the vibration waves of an integral multiple wavelength propagating in the sound collector. A method of manufacturing a liquid granulating apparatus, characterized in that a position portion of the sound collector which becomes 0 is supported by a predetermined supporting means.
【請求項15】 振動波伝播方向の長さが自己に供給さ
れる振動波の半波長の整数倍の長さに設計された所定形
状の集音体と、当該集音体に振動波を供給する振動波供
給手段と、所定の液体を溜める液室と、を備え、前記振
動波供給手段によって前記集音体に振動波を供給するこ
とで当該振動波を集束させ、この集束された振動波によ
って前記液室内の液体の一部を粒状化し、且つ、飛翔さ
せる液体粒状化装置の製造方法であって、 前記集音体の底部を前記振動波供給手段からの前記振動
波の供給部とすると共に、当該供給部は、支持体側とは
非接触状態にしたことを特徴とする液体粒状化装置の製
造方法。
15. A sound collector having a predetermined shape designed to have a length in the vibration wave propagation direction that is an integral multiple of a half wavelength of the vibration wave supplied to itself, and the vibration wave is supplied to the sound collector. And a liquid chamber for accumulating a predetermined liquid. The vibrating wave is converged by supplying the vibrating wave to the sound collector by the vibrating wave supplying means. A method for manufacturing a liquid granulating device for granulating and flying a part of the liquid in the liquid chamber by means of the method, wherein the bottom of the sound collector serves as a supply part of the vibration wave from the vibration wave supply means. At the same time, the supply unit is in a non-contact state with the support side, and the method for manufacturing a liquid granulating apparatus.
【請求項16】 請求項1乃至請求項11のいずれか1
項に記載の液体粒状化装置を備えたことを特徴とするイ
ンクジェット式記録ヘッド。
16. The method according to any one of claims 1 to 11.
An ink jet recording head comprising the liquid granulating device according to the item.
【請求項17】 請求項16記載のインクジェット式記
録ヘッドを備えたことを特徴とするインクジェットプリ
ンタ。
17. An ink jet printer comprising the ink jet recording head according to claim 16.
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