JP2003317338A - Magneto-optical recording medium - Google Patents

Magneto-optical recording medium

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JP2003317338A
JP2003317338A JP2002125117A JP2002125117A JP2003317338A JP 2003317338 A JP2003317338 A JP 2003317338A JP 2002125117 A JP2002125117 A JP 2002125117A JP 2002125117 A JP2002125117 A JP 2002125117A JP 2003317338 A JP2003317338 A JP 2003317338A
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JP
Japan
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magneto
recording
recording medium
reproducing
optical recording
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2002125117A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Ido
寛 井戸
Masaki Sekine
正樹 関根
Katsusuke Shimazaki
勝輔 島崎
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Maxell Holdings Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
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Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magneto-optical recording medium of a magnetic domain expandable reproducing system improved in tracking performance and reproduc ing characteristics. <P>SOLUTION: In the magneto-optical recording medium of the magnetic domain expandable reproducing system, a sample servo system is used for the tracking servo of laser light to be used for recording/reproducing information, and a data area is provided behind a servo area in a tracking direction. This, substrate forms of respective areas are separately designed such that a servo signal to be generated from the servo area and a recording mark to be formed in the data area can be optimal, respectively. As a result, the magneto-optical recording medium of the magnetic domain expandable reproducing system improved in the tracking performance and the reproducing characteristics is obtained. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、トラッキングサー
ボにサンプルサーボ方式を用いた光磁気記録媒体に関
し、より詳細には、上記サンプルサーボ方式を用い、磁
区を拡大して再生するタイプの光磁気記録媒体に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical recording medium using a sample servo system for tracking servo, and more specifically, a magneto-optical recording system of the type in which the magnetic domain is expanded and reproduced by using the sample servo system. Regarding the medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ディスクでは情報の記録再生の際、情
報の記録再生に用いるレーザー光を適切なトラック上の
位置に走査させるために、基板上にあらかじめ円周上に
溝やピットが形成されている。これらの溝やピットから
の反射光量を利用してレーザー光を常に円周上の所定位
置に走査することができる。例えば、反射光量をモニタ
ーするために2分割ディテクターを用いた場合、レーザ
ー光が2個のピット間や溝の中央を走査しているときに
は2分割ディテクターの差信号は0となる。しかし、レ
ーザー光がそれらの位置からずれると、2分割ディテク
ターの差信号は0でなくなる。その差信号は、レーザー
光のずれ量に比例して大きくなる。従って、2分割ディ
テクターの差信号を常に0にするようにレーザー光を駆
動走査すれば、円周上の所定のトラック位置にレーザー
光を追従させることができる。
2. Description of the Related Art In optical discs, when recording / reproducing information, in order to scan a laser beam used for recording / reproducing information to an appropriate position on a track, grooves or pits are preliminarily formed on the circumference of a substrate. There is. By utilizing the amount of light reflected from these grooves or pits, the laser light can be constantly scanned at a predetermined position on the circumference. For example, when a two-divided detector is used to monitor the amount of reflected light, the difference signal of the two-divided detector becomes 0 when the laser light is scanning between two pits or the center of the groove. However, if the laser light deviates from those positions, the difference signal of the two-divided detector becomes non-zero. The difference signal increases in proportion to the amount of laser light deviation. Therefore, by driving and scanning the laser light so that the difference signal of the two-divided detector is always zero, the laser light can be made to follow a predetermined track position on the circumference.

【0003】光ディスクにおいて上記反射光量を利用し
て光ビームを走査するトラッキングサーボ方式には、コ
ンティニュアスサーボ方式とサンプルサーボ方式の2種
類がある。前者は反射光量を常にモニターしながらレー
ザー光を走査する方式である。後者の方式では、ある一
定周期に限られた時間だけ反射光量をモニターし、それ
以外の時間帯、例えば情報の記録再生が行われている時
間帯では、それ以前にモニターされた反射光量に基づい
た走査が行われる。
There are two types of tracking servo systems for scanning an optical beam on the optical disk by utilizing the above-mentioned amount of reflected light, a continuous servo system and a sample servo system. The former is a method of scanning laser light while constantly monitoring the amount of reflected light. In the latter method, the amount of reflected light is monitored only for a limited period of time, and in other time zones, for example, when information is being recorded / reproduced, it is based on the amount of reflected light previously monitored. Scanning is performed.

【0004】光磁気ディスクでは、ユーザーデータ等の
追記情報は、記録層に記録された磁区に対してレーザー
光と外部磁界を用いて磁化の向きを変えることにより磁
化方向の異なる2種類の磁気マークを作成する。光磁気
ディスクの場合、記録密度を上げるためには、トラック
間隔(以下、トラックピッチという)を狭め且つ記録マ
ーク間隔(以下、ビットピッチという)を狭くしなけれ
ばならない。しかし、トラックピッチやビットピッチ
が、レーザー光のスポット径(λ/2NA λ:レーザ
ー波長、NA:絞込みレンズの開口数)より狭くなる
と、光スポット内に複数の記録マークが入り、記録マー
クが分別が出来なくなるという問題がある。
In a magneto-optical disk, additional write information such as user data is recorded with two types of magnetic marks having different magnetization directions by changing the magnetization direction of a magnetic domain recorded in a recording layer using laser light and an external magnetic field. To create. In the case of a magneto-optical disk, in order to increase the recording density, it is necessary to narrow the track interval (hereinafter referred to as the track pitch) and the recording mark interval (hereinafter referred to as the bit pitch). However, if the track pitch or bit pitch becomes narrower than the spot diameter of the laser light (λ / 2NA λ: laser wavelength, NA: numerical aperture of the focusing lens), multiple recording marks will be inserted in the light spot and the recording marks will be separated. There is a problem that can not be done.

【0005】この問題を解決する一つの手段として、光
磁気超解像(MSR:Magnetic Super
Resolution)再生方式がある。レーザー光の
スポット内の温度分布と記録膜の温度に対する磁化特性
を利用することにより、レーザー光のスポット径を小さ
くすることなく、信号再生領域を実効的に狭くすること
ができる。従って、光磁気超解像再生方式を用いると、
レーザー光の分解能を超えたサイズの微小磁区を独立し
て検出することが可能となる。しかし、光磁気超解像再
生方式では、再生信号に寄与する光スポット面積が減少
するために再生信号の振幅が小さくなり、微小な記録マ
ークを十分な信号対雑音比(S/N)で再生することが
困難となる。
As one means for solving this problem, a magneto-optical super-resolution (MSR: Magnetic Super)
Resolution) reproduction method. By utilizing the temperature distribution in the spot of the laser light and the magnetization characteristic with respect to the temperature of the recording film, the signal reproduction area can be effectively narrowed without reducing the spot diameter of the laser light. Therefore, using the magneto-optical super-resolution reproduction method,
It becomes possible to independently detect minute magnetic domains having a size exceeding the resolution of laser light. However, in the magneto-optical super-resolution reproduction method, the amplitude of the reproduction signal is reduced because the light spot area that contributes to the reproduction signal is reduced, and minute recording marks are reproduced with a sufficient signal-to-noise ratio (S / N). Will be difficult to do.

【0006】光磁気超解像再生方式での問題を解決する
方法として、特開平8‐7350に開示されている磁区
拡大再生方式(MAMMOS:Magnetic Am
plifying Magneto Optical
System)がある。磁区拡大再生方式は、記録層か
ら再生層に転写されている磁区にレーザー光を照射する
ことによって当該転写磁区を再生層に拡大して再生する
方式である。この方式を用いると、微小記録マークであ
っても増幅された再生信号が得られ、十分なS/Nで情
報を再生することができる。従って、磁区拡大再生方式
を用いると、光磁気記録媒体の超高密度記録が実現可能
となる。
As a method for solving the problem in the magneto-optical super-resolution reproducing system, a magnetic domain expansion reproducing system (MAMMOS: Magnetic Am) disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 8-7350.
proofing Magneto Optical
System). The magnetic domain expansion reproducing method is a method of irradiating the magnetic domain transferred from the recording layer to the reproducing layer with a laser beam to expand the reproduced magnetic domain to the reproducing layer and reproduce. By using this method, an amplified reproduction signal can be obtained even with a minute recording mark, and information can be reproduced with a sufficient S / N. Therefore, by using the magnetic domain expansion reproducing method, it is possible to realize ultra-high density recording on the magneto-optical recording medium.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】上記のように磁区拡大
再生方式は光磁気記録媒体の超高密度記録を可能とする
ため、この方式に適した光磁気記録媒体の製品化が期待
されている。光磁気記録媒体をこの方式に最適化させる
ためには、磁性層の磁化特性やトラッキングのための物
理フォーマットやトラッキングサーボ方式を検討する必
要がある。本発明の目的は、磁区拡大再生方式における
トラッキングに最適化された物理フォーマットを備えた
光磁気記録媒体を提供することである。
As described above, the magnetic domain expansion reproducing method enables ultra-high density recording of a magneto-optical recording medium, and therefore it is expected to commercialize a magneto-optical recording medium suitable for this method. . In order to optimize the magneto-optical recording medium for this method, it is necessary to consider the magnetization characteristics of the magnetic layer, the physical format for tracking, and the tracking servo method. It is an object of the present invention to provide a magneto-optical recording medium having a physical format optimized for tracking in a magnetic domain expansion reproducing system.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明に従えば、情報が
磁区として記録される記録層と、記録層に記録された磁
区が転写され再生時にレーザー光の照射により拡大され
る再生層と、トラッキング信号を発生させる領域及び記
録再生領域がそれぞれ画成された基板とを備えた光磁気
記録媒体であって、上記トラッキング信号発生領域及び
記録再生領域がトラック方向において異なる位置に形成
されていることを特徴とする光磁気記録媒体が提供され
る。
According to the present invention, a recording layer in which information is recorded as magnetic domains, and a reproducing layer in which the magnetic domains recorded in the recording layer are transferred and enlarged by irradiation of laser light during reproduction, A magneto-optical recording medium having a substrate in which an area for generating a tracking signal and a recording / reproducing area are defined, and the tracking signal generating area and the recording / reproducing area are formed at different positions in the track direction. A magneto-optical recording medium is provided.

【0009】磁区拡大再生方式を用いた光磁気記録媒体
では、情報再生時にレーザー光のスポット内の温度分布
に対する磁気特性の変化を利用している。本発明者の研
究によると、磁区拡大再生方式を用いた光磁気記録媒体
の再生性能は基板形状に大きく左右される。原因として
は、溝部などの基板形状により熱の流れが変化し、特異
的な形状の温度分布が発生すること、溝の壁部の形状に
より記録層から再生層に及ぼす漏洩磁界が変化すること
などが考えられる。
In a magneto-optical recording medium using the magnetic domain expansion reproducing method, a change in magnetic characteristic with respect to a temperature distribution in a spot of a laser beam is utilized at the time of reproducing information. According to the research by the present inventor, the reproducing performance of the magneto-optical recording medium using the magnetic domain expansion reproducing method is greatly influenced by the shape of the substrate. The cause is that the flow of heat changes depending on the shape of the substrate such as the groove, which causes a unique temperature distribution, and the shape of the wall of the groove changes the leakage magnetic field from the recording layer to the reproducing layer. Can be considered.

【0010】また、磁区拡大再生方式の再生性能は記録
マークの形状に影響される。レーザー光のスポット内の
温度分布は円ないし楕円状の等温線を示すので、温度の
高いスポット中央部から記録層の磁区をスムーズに転写
し拡大させるためには、記録層の記録マークの形状がで
きるだけレーザー光スポットの形状に近いほうが適切で
あると分かった。
The reproducing performance of the magnetic domain expansion reproducing system is influenced by the shape of the recording mark. Since the temperature distribution in the spot of laser light shows a circular or elliptical isotherm, in order to smoothly transfer and expand the magnetic domain of the recording layer from the center of the spot with high temperature, the shape of the recording mark on the recording layer should be It has been found that it is appropriate that the shape of the laser beam spot is as close as possible.

【0011】レーザー光のトラッキングサーボにコンテ
ィニュアスサーボ方式を用いる場合には、記録トラック
をレーザー光が追従するための溝が形成される。この溝
はサーボ信号を生成させるために、適切な幅、深さ、及
び傾斜をもって作製され、一方、アドレスを形成するた
めの一例として、図6(a)に示すようにウォブル状に
形成することが考えられる。しかし、このようなウォブ
ル状の溝は、溝内または溝間に形成される記録マークの
形状を制限してしまうことになる。
When the continuous servo system is used for the tracking servo of the laser light, a groove for the laser light to follow the recording track is formed. This groove is formed with an appropriate width, depth, and inclination in order to generate a servo signal. On the other hand, as an example for forming an address, it is formed in a wobble shape as shown in FIG. 6A. Can be considered. However, such wobbled grooves limit the shape of recording marks formed in or between the grooves.

【0012】本発明の光磁気記録媒体では、情報の記録
再生に用いるレーザー光のトラッキングサーボにサンプ
ルサーボ方式を用い、トラック方向においてトラッキン
グ信号発生領域と記録再生領域を異なる領域に設ける。
こうすることによりトラッキング信号発生領域から発生
するサーボ信号と、記録再生領域に形成する記録マーク
形状がそれぞれ最適となるようにそれぞれの領域の基板
形状を別々に設計することができる。この結果、トラッ
キング性能が優れ、且つ再生特性の優れた磁区拡大再生
方式の光磁気記録媒体が得られる。ここで、トラッキン
グ信号発生領域は、ピットあるいは溝で構成されるが、
トラックピッチやビットピッチが狭くなっても十分なサ
ーボ信号を得るためには、ピットで構成するのが好まし
い。
In the magneto-optical recording medium of the present invention, the sample servo system is used for the tracking servo of the laser light used for recording / reproducing information, and the tracking signal generating area and the recording / reproducing area are provided in different areas in the track direction.
By doing so, the substrate shape of each area can be designed separately so that the servo signal generated from the tracking signal generation area and the recording mark shape formed in the recording / reproducing area are optimized. As a result, it is possible to obtain a magneto-optical recording medium of the magnetic domain expansion reproducing system having excellent tracking performance and excellent reproducing characteristics. Here, the tracking signal generation area is composed of pits or grooves,
In order to obtain a sufficient servo signal even if the track pitch or the bit pitch becomes narrow, it is preferable that the pits are used.

【0013】本発明の光磁気記録媒体において、上記ト
ラッキング信号発生領域には、サーボ信号を得るための
ピット以外に、次の3種類のピットのうち少なくとも一
つが形成されていることが望ましい。レーザー光をフォ
ーカス調整するための鏡面部、光記録媒体中の目標アド
レス位置近くにレーザー光を粗動走査させるためのアド
レスピット部、及び基準クロック信号を発生させるため
のクロックピット部である。アドレスピット部とクロッ
クピット部のピットには、溝形状を周方向に変化させる
ウォブルによって形成することも可能であるが、トラッ
クピッチやビットピッチが狭くなっても、十分な信号を
得るためにピットで形成するのが望ましい。
In the magneto-optical recording medium of the present invention, it is desirable that at least one of the following three types of pits is formed in the tracking signal generating area in addition to the pits for obtaining the servo signal. A mirror surface portion for focus adjustment of the laser light, an address pit portion for coarsely scanning the laser light near the target address position in the optical recording medium, and a clock pit portion for generating a reference clock signal. It is possible to form wobbles that change the groove shape in the circumferential direction in the pits of the address pits and the clock pits, but in order to obtain a sufficient signal even if the track pitch or bit pitch becomes narrow, the pits can be formed. It is desirable to form by.

【0014】また本発明の光磁気記録媒体において、記
録再生領域の形状は、平坦な記録面でもよいが、トラッ
ク方向に複数の溝を形成し、該溝上あるいは溝溝間に形
成された記録トラックに情報を記録する構成が望まし
い。溝をトラック方向に形成することにより、クロスト
ークやクロスライトが防止できるだけでなく、磁区が拡
大するときに溝の壁部が磁壁移動のガイドとなり安定な
再生特性が得られ、磁区拡大再生現象を十分に機能させ
ることができる。
Further, in the magneto-optical recording medium of the present invention, the shape of the recording / reproducing area may be a flat recording surface, but a plurality of grooves are formed in the track direction and recording tracks formed on or between the grooves. It is desirable to record the information in the. By forming the groove in the track direction, not only crosstalk and crosswrite can be prevented, but also when the magnetic domain expands, the wall of the groove serves as a guide for the domain wall movement, and stable reproduction characteristics can be obtained. Can be fully functional.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【実施例1】本発明の光磁気記録媒体は磁区拡大再生方
式の光磁気記録媒体であって、図1に示すように、基板
1上に誘電体層2、磁区拡大再生層3、拡大トリガー層
4、記録層5、記録補助層6、保護膜7、及び放熱層8
を順次積層した構造を有する。
Example 1 The magneto-optical recording medium of the present invention is a magnetic domain expansion reproducing type magneto-optical recording medium. As shown in FIG. 1, a dielectric layer 2, a magnetic domain expansion reproducing layer 3 and an expansion trigger are formed on a substrate 1 as shown in FIG. Layer 4, recording layer 5, recording auxiliary layer 6, protective film 7, and heat dissipation layer 8
Has a structure in which

【0016】基板1はポリカーボネート基板を用い、射
出成形機を用いて所定の凹凸パターンが形成されるよう
に成形される。基板1の凹凸パターンについては後に詳
述する。誘電体層2は、層内で再生用光ビームを多重干
渉させ、検出されるカー回転角を増加させる層であり、
SiNで構成される。磁区拡大再生層3は、記録層6か
ら転写される磁区が拡大される層であり、フェリ磁性を
示すGdFe垂直磁化膜で構成される。拡大トリガー層
4は、再生層3と記録層5を磁気的に交換結合するため
の層であり、TbGdFeで構成されており、そのキュ
リー温度は140℃である。記録層5は、情報が磁化情
報として記録される層であり、垂直磁化を有するTbF
eCo非晶質膜で構成される。記録補助層6は、記録層
5と磁気的に交換結合されている層であり、より小さな
変調磁界で記録を可能とする層である。記録補助層6は
GdFeCoで構成される。保護膜7は、基板1上に順
次積層された各層2〜6を保護するための層で、SiN
で構成される。放熱層8は、記録時に発生する熱を逃が
すための層であり、AlTiで構成される。
The substrate 1 is a polycarbonate substrate and is molded by an injection molding machine so that a predetermined uneven pattern is formed. The concavo-convex pattern of the substrate 1 will be described later in detail. The dielectric layer 2 is a layer that causes multiple interference of the reproduction light beam within the layer and increases the detected Kerr rotation angle.
It is composed of SiN. The magnetic domain expansion reproducing layer 3 is a layer in which the magnetic domain transferred from the recording layer 6 is expanded, and is composed of a GdFe perpendicular magnetization film exhibiting ferrimagnetism. The expansion trigger layer 4 is a layer for magnetically exchange-coupling the reproducing layer 3 and the recording layer 5, is made of TbGdFe, and has a Curie temperature of 140 ° C. The recording layer 5 is a layer in which information is recorded as magnetization information, and is TbF having perpendicular magnetization.
It is composed of an eCo amorphous film. The recording auxiliary layer 6 is a layer that is magnetically exchange-coupled with the recording layer 5, and is a layer that enables recording with a smaller modulation magnetic field. The recording auxiliary layer 6 is composed of GdFeCo. The protective film 7 is a layer for protecting the layers 2 to 6 sequentially stacked on the substrate 1, and is made of SiN.
Composed of. The heat dissipation layer 8 is a layer for releasing heat generated during recording and is made of AlTi.

【0017】上記各層2〜8は、スパッタ装置を用いて
以下に示した条件で順次積層した。誘電体層2は、ター
ゲット材料としてSiを用い、Ar+N雰囲気中でS
iをスパッタすることにより基板1上に成膜した。誘電
体層2の膜厚は60nmとした。
The above layers 2 to 8 were sequentially laminated using a sputtering apparatus under the conditions shown below. The dielectric layer 2 uses Si as a target material, and S is used in an Ar + N 2 atmosphere.
A film was formed on the substrate 1 by sputtering i. The film thickness of the dielectric layer 2 was 60 nm.

【0018】磁区拡大再生層3は、Gd及びFeの単体
ターゲットを同時スパッタすることにより誘電体層2上
に成膜した。このとき、各ターゲットの投入電力の比を
制御することによりGdFe膜の組成を調整した。Gd
Fe組成は室温からキュリー温度まで垂直磁化を示し、
キュリー温度が約240℃、補償温度がキュリー温度以
上となるように調節した。磁区拡大再生層3の膜厚は2
0nmとした。
The magnetic domain expansion reproducing layer 3 was formed on the dielectric layer 2 by simultaneously sputtering a single target of Gd and Fe. At this time, the composition of the GdFe film was adjusted by controlling the ratio of the input power of each target. Gd
The Fe composition exhibits perpendicular magnetization from room temperature to the Curie temperature,
The Curie temperature was adjusted to about 240 ° C. and the compensation temperature was adjusted to the Curie temperature or higher. The thickness of the magnetic domain expansion reproducing layer 3 is 2
It was set to 0 nm.

【0019】拡大トリガー層4は、Tb、Gd及びFe
の単体ターゲットを同時スパッタすることにより磁区拡
大再生層3上に成膜した。この際、得られるTbGdF
e膜が室温からキュリー温度まで垂直磁化を示し、キュ
リー温度が140℃、補償温度が室温以下となるよう
に、TbGdFe組成を調整した。拡大トリガー層4の
膜厚は10nmとした。
The expansion trigger layer 4 is made of Tb, Gd and Fe.
Was deposited on the magnetic domain expansion reproducing layer 3 by simultaneous sputtering. At this time, the obtained TbGdF
The TbGdFe composition was adjusted so that the e film showed perpendicular magnetization from room temperature to the Curie temperature, the Curie temperature was 140 ° C., and the compensation temperature was room temperature or lower. The film thickness of the expansion trigger layer 4 was 10 nm.

【0020】記録層5は、Tb、Fe及びCoの単体タ
ーゲットを同時スパッタすることにより拡大トリガー層
4上に成膜した。この際、得られるTbFeCo膜が室
温からキュリー温度まで垂直磁化を示し、キュリー温度
が250℃、補償温度が約25℃となるように、TbF
eCo膜の組成を調整した。記録層5の膜厚は75nm
とした。
The recording layer 5 was formed on the expansion trigger layer 4 by co-sputtering single targets of Tb, Fe and Co. At this time, the obtained TbFeCo film exhibits perpendicular magnetization from room temperature to the Curie temperature, the Curie temperature is 250 ° C., and the compensation temperature is about 25 ° C.
The composition of the eCo film was adjusted. The thickness of the recording layer 5 is 75 nm
And

【0021】記録補助層6は、Gd、Fe及びCoの単
体ターゲットを同時スパッタすることにより記録層5上
に成膜した。この際、得られるGdFeCo膜のキュリ
ー温度が270℃、補償温度が室温以下となるように、
GdFeCo膜の組成を調整した。記録補助層6の膜厚
は10nmとした。
The recording auxiliary layer 6 was formed on the recording layer 5 by co-sputtering a single target of Gd, Fe and Co. At this time, the Curie temperature of the obtained GdFeCo film is 270 ° C. and the compensation temperature is room temperature or lower,
The composition of the GdFeCo film was adjusted. The film thickness of the recording auxiliary layer 6 was 10 nm.

【0022】保護層7は、ターゲット材料としてSiを
用い、Ar+N雰囲気中でスパッタすることにより記
録補助層6上に成膜した。保護層7の膜厚は20nmと
した。
The protective layer 7 was formed on the recording auxiliary layer 6 by using Si as a target material and sputtering in an Ar + N 2 atmosphere. The protective layer 7 had a thickness of 20 nm.

【0023】放熱層8は、ターゲット材料としてAlT
iを用いてスパッタすることにより保護層7上に成膜し
た。放熱層8の膜厚は30nmとした。次いで、放熱層
8上にアクリル系の紫外線硬化型樹脂を塗布して、その
後紫外線を照射し硬化させることにより保護コート層9
を膜厚10μmで形成した。
The heat dissipation layer 8 is made of AlT as a target material.
A film was formed on the protective layer 7 by sputtering using i. The film thickness of the heat dissipation layer 8 was 30 nm. Next, an acrylic ultraviolet curable resin is applied on the heat dissipation layer 8 and then irradiated with ultraviolet rays to be cured to thereby protect the protective coat layer 9
Was formed with a film thickness of 10 μm.

【0024】次に基板1に形成されるトラックの物理フ
ォーマットについて説明する。実施例1の光磁気記録媒
体のトラックレイアウトは、図3の最上段に示すよう
に、N個のセクターで構成されている。各セクターはそ
れぞれアドレスが付与されたM個のブロックで区切られ
ている。各セクターのアドレス0のブロックには自身の
セクターアドレスだけを示すピットが形成されている。
アドレス1以降のブロックには、サンプルサーボ方式で
レーザー光を走査するためのサーボ領域がブロックの先
頭部に配置され、その後方に記録再生用のデータ領域が
配置されている。
Next, the physical format of the tracks formed on the substrate 1 will be described. The track layout of the magneto-optical recording medium of Example 1 is composed of N sectors as shown in the uppermost row of FIG. Each sector is divided into M blocks to which addresses are assigned. A pit indicating only the sector address of itself is formed in the block of address 0 of each sector.
A servo area for scanning a laser beam by the sample servo method is arranged at the head of the block at the address 1 and subsequent blocks, and a recording / reproducing data area is arranged behind the servo area.

【0025】サンプルサーボ方式におけるサーボ領域
は、図3の最下段に示すように、目標のアドレス位置近
くにレーザー光を粗動走査させるためアクセス用ピット
部と、情報の記録再生を行うトラック上にレーザー光を
追従させるためのトラッキング用ピット部と、レーザー
光を光磁気記録媒体内の適切な位置にフォーカス(集
光)させるためのフォーカス用鏡面部と、データ信号に
対するクロック信号を発生させるための基準クロック用
ピット部とで構成されている。
The servo area in the sample servo system is, as shown at the bottom of FIG. 3, in the access pit portion for coarsely scanning the laser light near the target address position and on the track for recording / reproducing information. A tracking pit part for following the laser beam, a focusing mirror part for focusing the laser beam to an appropriate position in the magneto-optical recording medium, and a clock signal for generating a data signal. It is composed of a reference clock pit portion.

【0026】図3の最下段に示すように、トラッキング
用ピット部は2つのピット31と32で構成されてお
り、またピット31と32はトラック方向において前後
にずれた位置に形成されている。2つのピット31と3
2はトラックセンターを挟むようにして、トラックセン
ターからそれぞれトラック幅の1/4だけ隔てて形成さ
れている。フォーカス用鏡面部は、トラッキング用ピッ
ト部のトラック方向の後方に形成され、平坦な鏡面であ
る。基準クロック用ピット部は、フォーカス用鏡面部の
トラック方向の後方に形成され、トラックセンターにピ
ット33が形成されている。
As shown at the bottom of FIG. 3, the tracking pit portion is composed of two pits 31 and 32, and the pits 31 and 32 are formed at positions displaced in the front-back direction in the track direction. Two pits 31 and 3
2 are formed so as to sandwich the track center, and are separated from the track center by 1/4 of the track width. The focusing mirror surface portion is formed behind the tracking pit portion in the track direction and is a flat mirror surface. The reference clock pit portion is formed behind the focusing mirror surface portion in the track direction, and the pit 33 is formed at the track center.

【0027】実施例1で作製した磁区拡大再生方式の光
磁気記録媒体の基板1には、情報の記録再生を行う領域
のトラック間に溝が形成されている。この溝は記録再生
信号のクロスライトやクロストークを防ぐためだけでな
く、溝を配することにより、溝の壁部が磁区が拡大する
ときの磁壁移動のガイドとなり安定した再生特性を得る
ことができる。その基板断面の形状を図2に示す。基板
の表面には、射出成形により、図2に示すように溝(グ
ルーブ)GGと溝で挟まれた領域(ランド)LLが形成
される。図2に示すように、溝壁の傾斜角をθとし、溝
深さDの半分(0.5D)の深さ位置におけるランドL
Lの幅をランド半値幅Lとする。また溝深さDの半分の
深さ位置におけるグルーブGGの幅をグルーブ半値幅G
とする。そしてトラックピッチTPは、TP=G+Lで
表す。なお実施例1の光磁気記録媒体では、ランドに情
報が記録される。
On the substrate 1 of the magneto-optical recording medium of the magnetic domain expansion / reproduction system manufactured in Example 1, grooves are formed between tracks in the area for recording / reproducing information. Not only does this groove prevent cross-write and crosstalk of the recording / reproducing signal, but by arranging the groove, the wall portion of the groove serves as a guide for domain wall movement when the magnetic domain expands, and stable reproduction characteristics can be obtained. it can. The shape of the substrate cross section is shown in FIG. As shown in FIG. 2, a groove GG and a region (land) LL sandwiched between the grooves are formed on the surface of the substrate by injection molding. As shown in FIG. 2, the inclination angle of the groove wall is θ, and the land L at a depth position half the groove depth D (0.5D).
Let the width of L be the land half-value width L. In addition, the width of the groove GG at a depth position half the groove depth D is defined as the groove half width G
And The track pitch TP is represented by TP = G + L. In the magneto-optical recording medium of Example 1, information is recorded on the land.

【0028】[0028]

【実施例2】実施例2では、基板上のデータ領域に溝を
設けない場合のサンプルサーボ方式を用いた磁区拡大再
生方式の光磁気記録媒体を作製した。データ領域に溝を
設けない以外は、実施例1と同様に光磁気記録媒体を作
製した。実施例2で作製した光磁気記録媒体の基板の物
理フォーマットは、図6(b)に示すように、サーボ領
域は実施例1の物理フォーマット(図6(c))と同じ
構成であり、データ領域は溝を設けないで平坦な鏡面部
で形成した。
Example 2 In Example 2, a magneto-optical recording medium of a magnetic domain expansion reproducing system using a sample servo system in which a groove was not provided in a data area on a substrate was manufactured. A magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Example 1 except that no groove was provided in the data area. As shown in FIG. 6B, the physical format of the substrate of the magneto-optical recording medium manufactured in Example 2 has the same servo area configuration as that of the physical format of Example 1 (FIG. 6C). The area was formed by a flat mirror surface portion without grooves.

【0029】[0029]

【比較例1】比較例1では、コンティニュアスサーボ方
式の光磁気記録媒体を作製した。比較例1で作製した光
磁気記録媒体のトラックの物理フォーマットは、図6
(a)に示すように、サーボ領域にもグルーブが形成さ
れており、グルーブはグルーブ中心に向かって周期的に
蛇行するウォブルが形成されており、アドレス信号はウ
ォブルから検出することができる。なお基板形状以外
は、実施例1及び2と同様に光磁気記録媒体を作製し
た。
COMPARATIVE EXAMPLE 1 In Comparative Example 1, a continuous servo type magneto-optical recording medium was manufactured. The physical format of the track of the magneto-optical recording medium manufactured in Comparative Example 1 is shown in FIG.
As shown in (a), a groove is also formed in the servo area, and the groove has a wobble that meanders periodically toward the center of the groove, and the address signal can be detected from the wobble. A magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Examples 1 and 2 except for the shape of the substrate.

【0030】図4は上記例で作製した3種類の光磁気記
録媒体を記録再生するときに用いた記録再生装置400
である。記録再生装置400は光磁気系401と制御系
402とを備える。図4中の各処理ブロック間を結ぶ線
のうち、破線はレーザー光、実線は電気信号の流れを示
している。
FIG. 4 shows a recording / reproducing apparatus 400 used for recording / reproducing the three types of magneto-optical recording media produced in the above example.
Is. The recording / reproducing device 400 includes a magneto-optical system 401 and a control system 402. Among the lines connecting the processing blocks in FIG. 4, the broken line indicates the laser beam and the solid line indicates the flow of the electric signal.

【0031】記録再生装置400の光磁気系401は、
光磁気ディスク10を回転させるスピンドル20と、磁
気ヘッド30と、レーザー100と、コリメータレンズ
101と、2つのビーム成形プリズム102、103
と、3つのビームスプリッター104,105,106
と、1/2波長板107と、立ち上げミラー108と、
対物レンズ109と、3つのディテクター110,11
1,112とで構成されている。ここでレーザー100
の波長は640nmであり、対物レンズ109の開口比
NAは0.6である。
The magneto-optical system 401 of the recording / reproducing apparatus 400 is
A spindle 20 for rotating the magneto-optical disk 10, a magnetic head 30, a laser 100, a collimator lens 101, and two beam shaping prisms 102 and 103.
And three beam splitters 104, 105, 106
, A half-wave plate 107, a rising mirror 108,
Objective lens 109 and three detectors 110 and 11
1 and 112. Laser 100 here
Has a wavelength of 640 nm, and the objective lens 109 has an aperture ratio NA of 0.6.

【0032】一方、記録再生装置400の制御系402
は、レーザー駆動回路200と、ピット信号増幅回路2
01と、基準信号発生回路202と、サーボ回路203
と、MO信号増幅回路204と、アクチュエータ駆動回
路205と、磁気ヘッド駆動回路206と、これらの回
路を制御するコントローラ207から構成されている。
On the other hand, the control system 402 of the recording / reproducing apparatus 400.
Is a laser drive circuit 200 and a pit signal amplification circuit 2
01, the reference signal generation circuit 202, and the servo circuit 203
2, an MO signal amplifier circuit 204, an actuator drive circuit 205, a magnetic head drive circuit 206, and a controller 207 that controls these circuits.

【0033】基準信号発生回路202は、図3に示した
サーボ領域の基準クロック用ピット33から検出された
信号を用いて、データ領域に対する基準クロック信号を
生成するための回路であり、図5(a)に示すように、
ピークホールド回路と、クロックピット検出回路と、コ
ンパレータとローパスフィルタと、VCOと、分周回路
と、基準クロック発生回路から構成されている。図3に
示したサーボ領域の基準クロック用ピット33から検出
された信号が基準信号発生回路202に入力されると、
まずピークホールド回路とクロックピット検出回路によ
り基準クロック用ピットの正確な位置が求められる。そ
して、コンパレータ、ローパスフィルタ、VCO及び分
周回路によるPLL動作により、ピット自体の形状から
生じるジッタ、電気回路から発生するジッタ、スピンド
ルの回転動作から生じるジッタ等が除かれ、正確な基準
クロック信号が発生する。
The reference signal generation circuit 202 is a circuit for generating a reference clock signal for the data area by using the signal detected from the reference clock pit 33 in the servo area shown in FIG. As shown in a)
It is composed of a peak hold circuit, a clock pit detection circuit, a comparator, a low pass filter, a VCO, a frequency dividing circuit, and a reference clock generating circuit. When the signal detected from the reference clock pit 33 in the servo area shown in FIG. 3 is input to the reference signal generation circuit 202,
First, the peak hold circuit and the clock pit detection circuit determine the accurate position of the reference clock pit. Then, the PLL operation by the comparator, the low-pass filter, the VCO, and the frequency dividing circuit removes the jitter generated from the shape of the pit itself, the jitter generated from the electric circuit, the jitter generated from the rotation operation of the spindle, and the like, and an accurate reference clock signal is obtained. Occur.

【0034】サーボ回路203は、図3に示したサーボ
領域のトラッキング用ピット31及び32から検出され
た信号を用いて、レーザー光を所定のトラック上に走査
させる回路であり、図5(b)に示すように、信号検出
回路と、サンプルホールド回路と、位相補償回路と、増
幅器と、アクチュエータ駆動回路から構成されており、
デジタル信号処理では一般的に使われているサーボ回路
である。この回路では、図3に示したサーボ領域のみで
サーボ信号を検出するようにサンプルホールド回路が調
整されており、十分な低域のゲインと高域の位相余裕を
持たせるように位相補償回路は設定されている。
The servo circuit 203 is a circuit for scanning a laser beam on a predetermined track using the signals detected from the tracking pits 31 and 32 in the servo area shown in FIG. 3, and FIG. As shown in, it is composed of a signal detection circuit, a sample hold circuit, a phase compensation circuit, an amplifier, and an actuator drive circuit,
This is a servo circuit generally used in digital signal processing. In this circuit, the sample hold circuit is adjusted so that the servo signal is detected only in the servo area shown in FIG. 3, and the phase compensation circuit is provided so as to have a sufficient low-frequency gain and high-frequency phase margin. It is set.

【0035】実施例1及び2、並びに比較例1で作製し
た3種類の光磁気記録媒体を、上記記録再生装置を用い
て情報の記録再生テストを行った。レーザー光をパルス
状に照射して、外部磁界を記録情報に応じて変調させな
がら印加する、光パルス磁界変調方式を用いてテストデ
ータを記録した。光磁気記録媒体の線速度は3.5m/
sec、記録磁界は200Oeとした。また、記録時の
パルス光のデューティを30%とし、レーザー光の記録
パワーについては最適化を行った。記録はランド部に行
った。記録パターンとして最短マーク長0.12μmの
ランダムパターンを記録した。情報再生時には外部磁界
を印加しないで、最適化した再生パワーの再生光を光磁
気記録媒体に照射して磁区拡大再生信号を検出した。
The three types of magneto-optical recording media produced in Examples 1 and 2 and Comparative Example 1 were subjected to an information recording / reproducing test using the recording / reproducing apparatus. Test data was recorded using an optical pulse magnetic field modulation method in which a laser beam was applied in a pulsed manner and an external magnetic field was applied while being modulated according to the recorded information. The linear velocity of the magneto-optical recording medium is 3.5 m /
sec, the recording magnetic field was 200 Oe. The duty of the pulsed light during recording was set to 30% and the recording power of the laser light was optimized. Recording was done in the land area. A random pattern having a shortest mark length of 0.12 μm was recorded as a recording pattern. When reproducing information, the magneto-optical recording medium was irradiated with reproducing light having an optimized reproducing power without applying an external magnetic field to detect a magnetic domain expansion reproducing signal.

【0036】[サーボ信号量の特性評価]前述の例で作
製した3種類の光磁気記録媒体についてトラックピッチ
を変えて記録再生テストを行い、各光磁気記録媒体から
検出されるサーボ信号量を測定し比較した。その結果を
図7に示した。図中のコンティニュアスサーボAは、比
較例1の光磁気記録媒体の結果を示し、図中のサンプル
サーボ方式B,Cはそれぞれ実施例2の光磁気記録媒体
及び実施例1の光磁気記録媒体の実験結果を示す。図7
に示すように、コンティニュアスサーボ方式では、トラ
ックピッチが0.6μm以下ではトラッキングサーボに
必要なサーボ信号量が得られなくなるが、サンプルサー
ボ方式ではトラックピッチが0.6μm以下になって
も、トラッキングサーボに必要なサーボ信号量が十分得
られている。従って、サンプルサーボ方式を用いて、サ
ーボ領域をピットで構成することにより、トラックピッ
チが狭くなっても十分なサーボ信号量が得られるので、
さらなる高密度記録が可能になる。
[Characteristic Evaluation of Servo Signal Amount] A recording / reproducing test was conducted on the three types of magneto-optical recording media prepared in the above examples by changing the track pitch, and the servo signal amount detected from each magneto-optical recording medium was measured. And compared. The results are shown in Fig. 7. The continuous servo A in the figure shows the results of the magneto-optical recording medium of Comparative Example 1, and the sample servo methods B and C in the figure are the magneto-optical recording medium of Example 2 and the magneto-optical recording of Example 1, respectively. The experimental results of the medium are shown. Figure 7
As shown in, in the continuous servo system, when the track pitch is 0.6 μm or less, the servo signal amount necessary for the tracking servo cannot be obtained, but in the sample servo system, even if the track pitch is 0.6 μm or less, A sufficient amount of servo signals for tracking servo is obtained. Therefore, by using the sample servo method to configure the servo area with pits, a sufficient amount of servo signals can be obtained even if the track pitch is narrowed.
Higher density recording is possible.

【0037】[トラックピッチの評価]次に、前述の例
で作製した3種類の光磁気記録媒体についてトラックピ
ッチを変えて記録再生テストを行い、各光磁気記録媒体
のビットエラーレート(以下、BERという)を測定し
比較した。その結果を図8(a)に示した。図8(a)
に示すように、BERの閾値(上限)を1×10−4
すると、コンティニュアスサーボ方式(図中曲線A)で
は約0.68μm以上、サンプルサーボ方式(図中曲線
B)では約0.66μm以上、そしてサンプルサーボ方
式で且つトラック間に溝を配した場合(図中曲線C)で
は約0.62μm以上のトラックピッチで、良好なBE
Rが得られた。
[Evaluation of Track Pitch] Next, a recording / reproducing test was conducted on the three types of magneto-optical recording media prepared in the above-mentioned examples by changing the track pitch, and the bit error rate (hereinafter, BER) of each magneto-optical recording medium was tested. It was measured and compared. The result is shown in FIG. Figure 8 (a)
As shown in, when the threshold value (upper limit) of BER is 1 × 10 −4 , it is about 0.68 μm or more in the continuous servo system (curve A in the figure) and about 0 in the sample servo system (curve B in the figure). A good BE with a track pitch of 0.66 μm or more, and a track pitch of about 0.62 μm or more when a groove is arranged between tracks in the sample servo system (curve C in the figure)
R was obtained.

【0038】図8(a)に示すように、コンティニュア
スサーボ方式ではトラックピッチが0.7μmより小さ
くなると、トラックサーボが駆動しなくなり、急激にB
ERが悪化した。またサンプルサーボ方式とサンプルサ
ーボ方式で且つトラック間に溝を配した場合を比較する
と、溝を配した場合(実施例1)の方がトラックピッチ
の小さい領域でも良好なBERが得られた。これはトラ
ック間に溝を配したことによりクロストーク及びクロス
ライトを小さくなったためであると考えられる。従って
トラック間に溝を形成することにより、磁区拡大再生の
機能が十分に発揮され、より良好なBERが得られると
考えられる。またサンプルサーボ方式を用いることによ
り、ビットピッチが狭くなっても良好なBERが得られ
たので、さらなる高密度記録が可能になる。
As shown in FIG. 8 (a), in the continuous servo system, when the track pitch becomes smaller than 0.7 μm, the track servo is not driven and the B servo becomes sharp.
ER deteriorated. Further, comparing the sample servo system and the case where the grooves are arranged between the tracks in the sample servo system, a good BER was obtained in the case where the grooves were arranged (Example 1) even in a region where the track pitch was small. It is considered that this is because crosstalk and crosswrite were reduced by arranging the grooves between the tracks. Therefore, it is considered that by forming the groove between the tracks, the function of magnetic domain expansion reproduction is sufficiently exerted, and a better BER can be obtained. Further, by using the sample servo method, a good BER was obtained even if the bit pitch was narrowed, so that higher density recording is possible.

【0039】[最短記録マーク長の評価]上記の比較例
では最短記録マーク長が0.12μmである光磁気記録
媒体について比較したが、ここでは前述の例で作製した
3種類の光磁気記録媒体について最短記録マーク長を変
えて記録再生テストを行い、各光磁気記録媒体のBER
を測定し比較した。その結果を図8(b)に示した。最
短記録マーク長に対するBERの変化は、図8(b)に
示すように、BERの閾値(上限)を1×10−4とす
ると、コンティニュアスサーボ方式(図中曲線A)では
約0.13μm以上、サンプルサーボ方式(図中曲線
B)では約0.11μm以上、そしてサンプルサーボ方
式で且つトラック間に溝を配した場合(図中曲線C)で
は約0.10μm以上の最短記録マーク長で、良好なB
ERが得られることが分かった。コンティニュアスサー
ボ方式に比べて、サンプルサーボ方式の方が最短記録マ
ーク長が小さくなっても、良好なBERが得られた。従
ってサンプルサーボ方式を用いることにより、最短記録
マーク長が狭くなっても良好なBERが得られるので、
さらなる高密度記録が可能になる。
[Evaluation of Shortest Recording Mark Length] In the above comparative example, comparison was made with respect to the magneto-optical recording medium having the shortest recording mark length of 0.12 μm, but here, the three types of magneto-optical recording media produced in the above-mentioned example are compared. The recording and reproducing test was performed by changing the shortest recording mark length for
Was measured and compared. The result is shown in FIG. As shown in FIG. 8B, when the threshold value (upper limit) of the BER is set to 1 × 10 −4 , the change in the BER with respect to the shortest recording mark length is about 0 in the continuous servo system (curve A in the figure). Minimum recording mark length of 13 μm or more, about 0.11 μm or more in the sample servo system (curve B in the figure), and about 0.10 μm or more in the case of the sample servo system and a groove is arranged between tracks (curve C in the diagram) And good B
It turns out that ER is obtained. Compared with the continuous servo system, the sample servo system obtained a good BER even when the shortest recording mark length was smaller. Therefore, by using the sample servo method, a good BER can be obtained even if the shortest recording mark length is narrowed.
Higher density recording is possible.

【0040】[記録マーク形状の評価]次に実施例1で
作製したサンプルサーボ方式で且つトラック間に溝を配
した光磁気記録媒体において、記録マークの形状を変え
て、再生信号のBERを測定した。記録マークのトラッ
ク方向の長さ(以下、縦幅という)を0.1μm、0.
12μm、0.14μmと変化させ、さらに各縦幅に対
して記録マークのトラックを横切る方向の幅(以下、横
幅という)を変えて再生実験を行った。記録マークの縦
幅は情報記録時に印加する磁界パルスの変調周期を調整
することにより変化させることができる。一方、横幅は
情報記録時に照射するレーザー光の出力を調整すること
により変化させることができる。この結果を図9〜図1
1にした。図9は、記録マークの縦幅を0.1μmとし
て、記録マーク縦横比を変化させた場合のBER特性で
あり、図10は記録マークの縦幅を0.12μmとし
て、記録マーク縦横比を変化させた場合のBER特性で
あり、そして図11が記録マークの縦幅を0.14μm
として、記録マーク縦横比を変化させた場合のBER特
性である。記録マークの縦幅が0.1μmの場合、図9
に示すように、横幅を約0.56μm以下に調整するこ
とで、1×10−4以下の良好なBERを得ることがで
きた。しかし、横幅が0.15μm以下になるとBER
が劣化した。これは記録マークの横幅が0.15μm以
下になるとクロストークの影響が大きくなったためであ
ると考えられる。
[Evaluation of Recording Mark Shape] Next, in the magneto-optical recording medium of the sample servo system and having grooves formed between tracks, manufactured in Example 1, the shape of the recording mark was changed and the BER of the reproduction signal was measured. did. The length of the recording mark in the track direction (hereinafter referred to as the vertical width) is 0.1 μm, 0.
The reproduction experiment was performed by changing the width to 12 μm and 0.14 μm, and further changing the width of the recording mark in the direction traversing the track (hereinafter referred to as the horizontal width) with respect to each vertical width. The vertical width of the recording mark can be changed by adjusting the modulation period of the magnetic field pulse applied during information recording. On the other hand, the lateral width can be changed by adjusting the output of the laser beam applied during information recording. This result is shown in FIGS.
I set it to 1. FIG. 9 shows the BER characteristics when the recording mark height is 0.1 μm and the recording mark aspect ratio is changed, and FIG. 10 is the BER characteristic when the recording mark height is 0.12 μm and the recording mark aspect ratio is changed. FIG. 11 shows the BER characteristics when the recording marks are made to have a vertical width of 0.14 μm.
Is the BER characteristic when the recording mark aspect ratio is changed. When the vertical width of the recording mark is 0.1 μm, FIG.
As shown in (1), by adjusting the lateral width to about 0.56 μm or less, a good BER of 1 × 10 −4 or less could be obtained. However, when the width becomes 0.15 μm or less, BER
Has deteriorated. It is considered that this is because when the width of the recording mark becomes 0.15 μm or less, the influence of crosstalk becomes large.

【0041】図9〜図11に示すように、BERの閾値
(上限)を1×10−4とすると、記録マークの縦幅が
0.1μmの場合には、縦横比(横幅/縦幅)が1.5
〜5.6で良好なBERが得られることが分かる。記録
マークの縦幅が0.12μmの場合には、BERの閾値
を1×10−4とすると、縦横比が1.3〜5.4で良
好なBERが得られ、さらに縦横比を2.9〜4.3に
すると、1×10−5以下の最適なBERが得られるこ
とが分かる。また記録マークの縦幅が0.14μmの場
合には、BERの閾値を1×10−4とすると、縦横比
が1.1〜6.2で良好なBERを得られ、さらに縦横
比を1.8〜5.0にすると、1×10 −5以下の最適
なBERが得られることが分かる。図9〜11の結果を
総合すると、記録マークの縦横比が1.5〜5.4の範
囲にすれば、1×10−4以下の良好なBERが得られ
ることがわかる。本発明のように磁区拡大再生方式の光
磁気記録媒体にサンプルサーボ方式を用いた場合には、
記録再生領域の基板形状をトラッキングのためのサーボ
領域に関係なく設計できるので、記録マークの形状を上
記に示した最適な縦横比となるような光磁気記録媒体を
作製することができる。
As shown in FIGS. 9 to 11, the threshold value of BER
(Upper limit) is 1 × 10-4Then the vertical width of the recording mark is
When 0.1 μm, the aspect ratio (width / height) is 1.5
It can be seen that a good BER can be obtained at ˜5.6. Record
When the mark width is 0.12 μm, the BER threshold
1 x 10-4If so, the aspect ratio of 1.3 to 5.4 is good.
A good BER was obtained, and the aspect ratio was increased to 2.9-4.3.
Then 1 × 10-5The following optimum BER can be obtained
I understand. If the recording mark has a vertical width of 0.14 μm,
The threshold of BER is 1 × 10-4Then the aspect ratio
Is 1.1 to 6.2, a good BER is obtained, and
When the ratio is set to 1.8 to 5.0, 1 × 10 -5Best for
It can be seen that a good BER is obtained. The results of FIGS.
Taken together, the aspect ratio of the recording marks is in the range of 1.5 to 5.4.
If enclosed, 1 x 10-4The following good BER is obtained
I understand that The light of the magnetic domain expansion reproducing system as in the present invention
When the sample servo method is used for the magnetic recording medium,
Servo for tracking the substrate shape in the recording / playback area
Since it can be designed regardless of the area, the shape of the recording mark can be improved.
A magneto-optical recording medium with the optimum aspect ratio shown in
Can be made.

【0042】以下には、実施例1で作製したサンプルサ
ーボ方式を用いた磁区拡大再生方式の光磁気記録媒体に
おいて、溝形状を変化させた場合の記録再生特性の結果
を示す。
The following shows the results of the recording / reproducing characteristics when the groove shape was changed in the magneto-optical recording medium of the magnetic domain expansion reproducing method using the sample servo method manufactured in Example 1.

【0043】[グルーブ半値幅Gとランド半値幅Lの比
L/Gの評価]上記に示した実施例1の磁区拡大再生方
式の光磁気記録媒体について、溝幅を変えてグルーブ半
値幅Gとランド半値幅Lの比L/Gを変えた場合には、
図12に示すように、BERの閾値(上限)を1×10
−4とすると、L/Gが1.3≦L/G≦4.0の時に
良好なBERが得られた。特にL/Gが2.0≦L/G
≦3.0の範囲ではBERが1×10−5以下となり最
適なBERが得られた。
[Evaluation of ratio L / G of groove half width G and land half width L] Regarding the magneto-optical recording medium of the magnetic domain expansion reproducing system of Example 1 described above, the groove width was changed to the groove half width G. When the ratio L / G of the land half width L is changed,
As shown in FIG. 12, the BER threshold (upper limit) is set to 1 × 10.
-4 , good BER was obtained when L / G was 1.3 ≦ L / G ≦ 4.0. Especially L / G is 2.0 ≦ L / G
In the range of ≦ 3.0, the BER was 1 × 10 −5 or less, and the optimum BER was obtained.

【0044】[溝深さDの評価]溝深さDを変えた場合
には、図13に示すように、BERの閾値(上限)を1
×10−4とすると、Dの値が30nm〜80nmの時
に良好なBERが得られた。特にDの値が40nm〜6
5nmの範囲であるときはBERが1×10−5以下と
なり最適なBERが得られた。ただしこの実験では波長
が640nmのレーザー光を用いているが、さらに波長
の短いレーザー光を用いた場合には、上記に示した溝深
さDの最適範囲は小さくなる。逆に波長の長いレーザー
光を用いた場合には、上記に示した溝深さDの最適範囲
は大きくなる。
[Evaluation of Groove Depth D] When the groove depth D is changed, the BER threshold value (upper limit) is set to 1 as shown in FIG.
When set to × 10 −4 , good BER was obtained when the value of D was 30 nm to 80 nm. Especially when the value of D is 40 nm to 6
When it was in the range of 5 nm, the BER was 1 × 10 −5 or less, and the optimum BER was obtained. However, in this experiment, a laser beam having a wavelength of 640 nm is used, but when a laser beam having a shorter wavelength is used, the optimum range of the groove depth D shown above becomes smaller. On the contrary, when a laser beam having a long wavelength is used, the optimum range of the groove depth D shown above becomes large.

【0045】[溝傾斜角θの評価]溝の傾斜角θを変え
た場合には、図14に示すように、BERの閾値(上
限)を1×10−4とすると、θの値が40°〜75°
の時に良好なBERが得られた。特にθの値が45°〜
60°の範囲であるときはBERが1×10−5以下と
なり最適なBERが得られた。
[Evaluation of Groove Inclination Angle θ] When the groove inclination angle θ is changed and the BER threshold (upper limit) is set to 1 × 10 −4 as shown in FIG. 14, the value of θ is 40. ° ~ 75 °
At that time, a good BER was obtained. Especially when the value of θ is 45 °
When it was in the range of 60 °, the BER was 1 × 10 −5 or less, and the optimum BER was obtained.

【0046】上記実施例では8層(保護コート層9を除
く)を有する磁区拡大再生方式の光磁気記録媒体を例示
したが、本発明はこれに限定されるものではない。基本
的な層構造として、基板上に、情報を磁区として記録す
る記録層と、その記録された磁区を再生時に転写して拡
大する再生層とを有してればよい。
In the above-mentioned embodiment, the magnetic domain expansion reproducing type magneto-optical recording medium having eight layers (excluding the protective coating layer 9) is exemplified, but the present invention is not limited to this. As a basic layer structure, it suffices that the substrate has a recording layer for recording information as magnetic domains and a reproducing layer for transferring and expanding the recorded magnetic domains during reproduction.

【0047】また、上記実施例では情報を溝と溝の間に
画成されたランド部に記録した例を示したが、磁区拡大
再生方式用媒体の場合、溝が設けられていることにより
溝の側壁(ランドの側壁)により磁壁移動がスムーズに
なるので、ランドのみならず溝(グルーブ)内あるいは
ランド及びグルーブの両者に情報を記録することが可能
である。
In the above embodiment, the information is recorded in the land portion defined between the grooves, but in the case of the magnetic domain expansion reproducing system medium, the groove is provided because the groove is provided. Since the domain wall movement is smoothed by the side wall (side wall of the land), it is possible to record information not only in the land but also in the groove (groove) or in both the land and the groove.

【0048】[0048]

【発明の効果】本発明によれば、磁区拡大再生の機能を
十分に発揮でき、且つ更なる高密度記録が可能な光磁気
記録媒体が提供される。
According to the present invention, there is provided a magneto-optical recording medium capable of sufficiently exhibiting the function of magnetic domain expansion / reproduction and capable of higher density recording.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 実施例1で作製した磁区拡大再生方式の光磁
気記録媒体の層構造の概略図である。
FIG. 1 is a schematic diagram of a layer structure of a magneto-optical recording medium of a magnetic domain expansion reproducing system manufactured in Example 1.

【図2】 実施例1で作製した基板の溝形状の断面概略
図である。
2 is a schematic cross-sectional view of a groove shape of the substrate manufactured in Example 1. FIG.

【図3】 実施例1で作製したサンプルサーボ方式の基
板の物理フォーマットの概略図である。
FIG. 3 is a schematic view of a physical format of a sample servo type substrate manufactured in Example 1.

【図4】 本発明に従う光磁気記録媒体の記録再生に用
いる記録再生装置の概略回路図である。
FIG. 4 is a schematic circuit diagram of a recording / reproducing apparatus used for recording / reproducing of a magneto-optical recording medium according to the present invention.

【図5】 図4中の基準信号発生回路及びサーボ回路の
概略構成図であり、(a)は基準信号発生回路の構成図
であり、(b)サーボ回路の構成図である。
5 is a schematic configuration diagram of a reference signal generation circuit and a servo circuit in FIG. 4, (a) is a configuration diagram of a reference signal generation circuit, and (b) is a configuration diagram of a servo circuit.

【図6】 記録再生テストで使用した基板の物理フォー
マットの概略図であり、(a)はコンティニュアスサー
ボ方式の物理フォーマット概略図であり、(b)はサン
プルサーボ方式の物理フォーマット概略図であり、
(c)はサンプルサーボ方式且つ記録トラック間に溝を
配した基板の物理フォーマット概略図である。
6A and 6B are schematic diagrams of a physical format of a substrate used in a recording / reproducing test, FIG. 6A is a schematic diagram of a physical format of a continuous servo system, and FIG. 6B is a schematic diagram of a physical format of a sample servo system. Yes,
(C) is a schematic diagram of a physical format of a substrate in which grooves are arranged between recording tracks in the sample servo system.

【図7】 実施例1及び2並びに比較例1で作製したサ
ンプルサーボ方式及びコンティニュアスサーボ方式の光
磁気記録媒体のサーボ信号量を比較した図である。
FIG. 7 is a diagram comparing servo signal amounts of magneto-optical recording media of sample servo system and continuous servo system manufactured in Examples 1 and 2 and Comparative Example 1.

【図8】 コンティニュアスサーボ方式、サンプルサー
ボ方式、及びサンプルサーボ方式を用い且つ記録トラッ
ク間に溝を配した基板を用いた場合のビットエラーレー
ト特性を比較した図であり、(a)はトラックピッチに
対するビットエラーレート特性であり、(b)はビット
ピッチに対するビットエラーレート特性である。
FIG. 8 is a diagram comparing bit error rate characteristics when a continuous servo system, a sample servo system, and a substrate in which a groove is arranged between recording tracks is used, and FIG. It is a bit error rate characteristic with respect to a track pitch, and (b) is a bit error rate characteristic with respect to a bit pitch.

【図9】 記録マークの縦幅を0.1μmとして、記録
マーク縦横比を変化させた場合のビットエラーレート特
性を示した図である。
FIG. 9 is a diagram showing the bit error rate characteristics when the recording mark height is 0.1 μm and the recording mark aspect ratio is changed.

【図10】 記録マークの縦幅を0.12μmとして、
記録マーク縦横比を変化させた場合のビットエラーレー
ト特性を示した図である。
FIG. 10 shows a recording mark having a vertical width of 0.12 μm.
FIG. 9 is a diagram showing bit error rate characteristics when the recording mark aspect ratio is changed.

【図11】 記録マークの縦幅を0.14μmとして、
記録マーク縦横比を変化させた場合のビットエラーレー
ト特性を示した図である。
FIG. 11 shows a recording mark having a vertical width of 0.14 μm.
FIG. 9 is a diagram showing bit error rate characteristics when the recording mark aspect ratio is changed.

【図12】 実施例1の磁区拡大再生方式の光磁気記録
媒体において、ランド幅とグルーブ幅を変化させた時の
ビットエラーレート特性を示した図である。
FIG. 12 is a diagram showing the bit error rate characteristics when the land width and the groove width are changed in the magneto-optical recording medium of the magnetic domain expansion reproducing system of Example 1.

【図13】 実施例1の磁区拡大再生方式の光磁気記録
媒体において、溝深さを変化させた時のビットエラーレ
ート特性を示した図である。
13 is a diagram showing bit error rate characteristics when the groove depth is changed in the magneto-optical recording medium of the magnetic domain expansion reproducing system of Example 1. FIG.

【図14】 実施例1の磁区拡大再生方式の光磁気記録
媒体において、溝傾斜を変化させた時のビットエラーレ
ート特性を示した図である。
FIG. 14 is a diagram showing the bit error rate characteristics when the groove inclination is changed in the magneto-optical recording medium of the magnetic domain expansion and reproduction system of Example 1.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 誘電体層 3 磁区拡大再生層 4 拡大トリガー層 5 記録層 6 記録補助層 7 保護層 8 放熱層 9 保護コート層 31,32 トラッキング用ピット 33 クロックピット 10 光磁気ディスク 20 スピンドル 30 磁気ヘッド 100 レーザー 101 コリメータレンズ 102,103 ビーム成形プリズム 104,105,106 ビームスプリッター 107 1/2波長板 108 立ち上げミラー 109 対物レンズ 110,111,112 ディテクター 200 レーザー駆動回路 201 ピット信号増幅回路 202 基準信号発生回路 203 サーボ回路 204 MO信号増幅回路 205 アクチュエータ駆動回路 206 磁気ヘッド駆動回路 207 コントローラ 400 記録再生装置 401 光磁気系 402 制御系 1 substrate 2 Dielectric layer 3 Magnetic domain expansion reproduction layer 4 Expanded trigger layer 5 recording layers 6 Recording auxiliary layer 7 protective layer 8 Heat dissipation layer 9 Protective coating layer 31,32 Tracking pit 33 clock pits 10 magneto-optical disk 20 spindles 30 magnetic head 100 laser 101 collimator lens 102,103 Beam shaping prism 104,105,106 Beam splitter 107 1/2 wave plate 108 Launch mirror 109 Objective lens 110,111,112 detector 200 laser drive circuit 201 pit signal amplification circuit 202 Reference signal generation circuit 203 Servo circuit 204 MO signal amplification circuit 205 actuator drive circuit 206 Magnetic head drive circuit 207 controller 400 recording / reproducing device 401 Magneto-optical system 402 control system

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島崎 勝輔 大阪府茨木市丑寅一丁目1番88号 日立マ クセル株式会社内 Fターム(参考) 5D075 EE03 FF13 FG18    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Shosuke Shimazaki             Hitachima, 1-88, Torora, Ibaraki City, Osaka Prefecture             Within Kucsel Co., Ltd. F-term (reference) 5D075 EE03 FF13 FG18

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 情報が磁区として記録される記録層と、
記録層に記録された磁区が転写され再生時にレーザー光
の照射により拡大される再生層と、トラッキング信号を
発生させる領域及び記録再生領域がそれぞれ画成された
基板とを備えた光磁気記録媒体であって、 上記トラッキング信号発生領域及び記録再生領域がトラ
ック方向において異なる位置に形成されていることを特
徴とする光磁気記録媒体。
1. A recording layer in which information is recorded as magnetic domains,
A magneto-optical recording medium comprising a reproducing layer in which magnetic domains recorded in a recording layer are transferred and enlarged by irradiation of laser light during reproduction, and a substrate in which a region for generating a tracking signal and a recording / reproducing region are defined. A magneto-optical recording medium, wherein the tracking signal generating area and the recording / reproducing area are formed at different positions in the track direction.
【請求項2】 上記トラッキング信号発生領域にサンプ
ルサーボ方式で検出されるピットが形成されている請求
項1に記載の光磁気記録媒体。
2. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein pits detected by a sample servo method are formed in the tracking signal generating area.
【請求項3】 上記トラッキング信号発生領域に、上記
レーザー光のフォーカス調整のための鏡面部、上記光磁
気記録媒体中の目標アドレス位置近くにレーザー光を粗
動走査させるためのアドレスピット、及び基準クロック
信号を発生させるためのクロックピットの少なくとも一
つが形成されている請求項1または2に記載の光磁気記
録媒体。
3. The tracking signal generating area, a mirror surface portion for adjusting the focus of the laser light, an address pit for coarsely scanning the laser light near a target address position in the magneto-optical recording medium, and a reference. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein at least one of clock pits for generating a clock signal is formed.
【請求項4】 上記記録再生領域に、トラック方向に形
成された複数の溝と、上記溝上または溝間に画成された
記録トラックとを備えた請求項1〜3のいずれか一項に
記載の光磁気記録媒体。
4. The recording / reproducing area is provided with a plurality of grooves formed in a track direction, and recording tracks defined on or between the grooves. Magneto-optical recording medium.
【請求項5】 上記記録トラックに情報が記録される請
求項4に記載の光磁気記録媒体。
5. The magneto-optical recording medium according to claim 4, wherein information is recorded on the recording track.
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