JP2003298279A - Electromagnetic wave absorption sheet and manufacturing method therefor - Google Patents

Electromagnetic wave absorption sheet and manufacturing method therefor

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JP2003298279A
JP2003298279A JP2002099765A JP2002099765A JP2003298279A JP 2003298279 A JP2003298279 A JP 2003298279A JP 2002099765 A JP2002099765 A JP 2002099765A JP 2002099765 A JP2002099765 A JP 2002099765A JP 2003298279 A JP2003298279 A JP 2003298279A
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sheet
electromagnetic wave
dielectric constant
metal
wave absorption
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Shinichiro Yahagi
慎一郎 矢萩
Kiyoshi Suzuki
喜代志 鈴木
Atsushi Kametani
敦 亀谷
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Daido Steel Co Ltd
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Daido Steel Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electromagnetic wave absorption sheet having a superior shielding characteristic (electromagnetic wave absorption characteristic) without changing materials of a sheet of a matrix and metal powders. <P>SOLUTION: The electromagnetic wave absorption sheet includes a sheet body formed of an insulating material and multiple metal flakes or metal powders buried in the sheet body. A real part (ε') of a dielectric constant in a frequency region which is not more than 1 GHz is not less than 350. The method includes a material sheet forming process for mixing the multiple metal flakes of metal powders formed of a soft magnetic metal or alloy in the insulating material by a rate of 20 to 70 vol.% and forming a material sheet and a press process for pressing the material sheet along the thickness direction and forming the sheet body by prescribed thickness. The real part (ε') of the dielectric constant in the frequency region which is not more than 1 GHz becomes not less than 350. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、優れた遮蔽特性
(電磁波吸収特性)を有する電磁波吸収シートおよびその
製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention has excellent shielding properties.
The present invention relates to an electromagnetic wave absorbing sheet having (electromagnetic wave absorbing characteristics) and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】高周波数の電磁波を吸収する電磁波吸収
シートは、軟磁性の金属粉末をマトリックスであるゴム
シートまたは樹脂シートに埋設して圧延したものが用い
られている。係る形態の電磁波吸収シートは、電磁波吸
収特性の指標である反射減衰率(リターンロス)に基づき
設計される。そのうち、電磁波吸収シートが示す吸収ピ
ークは、誘電率(ε)、透磁率(μ)、およびシートの厚み
(t)に比例し、波長(λ)に反比例する。係る電磁波吸収
特性を向上させるには、次の方法がある。
2. Description of the Related Art As an electromagnetic wave absorbing sheet for absorbing a high frequency electromagnetic wave, a sheet obtained by burying soft magnetic metal powder in a matrix rubber sheet or resin sheet and rolling it is used. The electromagnetic wave absorbing sheet in such a form is designed based on the return loss, which is an index of electromagnetic wave absorbing characteristics. Among them, the absorption peaks shown by the electromagnetic wave absorbing sheet are dielectric constant (ε), magnetic permeability (μ), and sheet thickness.
It is proportional to (t) and inversely proportional to the wavelength (λ). The following methods are available to improve the electromagnetic wave absorption characteristics.

【0003】例えば、軟磁性の金属粉末と共にカーボン
などの添加物を樹脂シートなどに添加して、誘電率(ε)
の向上を図る方法がある。しかし、カーボンなどの添加
物を添加すると、金属粉末の添加量が低下するため、却
って誘電率(ε)が低下する。あるいは、金属粉末や樹脂
シートなどの材質や配合量を変更して、誘電率(ε)の向
上を図る方法もある。しかし、例えば樹脂シートの材質
を変更すると、耐熱性などが変化し、適用すべき用途に
制限が生じる。一方、金属粉末の材質やその配合量を変
更すると、透磁率(μ)が大きく変化するため、やはり用
途に制限が生じるなど、という問題があった。
For example, by adding additives such as carbon together with soft magnetic metal powder to a resin sheet or the like, the dielectric constant (ε)
There is a way to improve. However, when an additive such as carbon is added, the addition amount of the metal powder is reduced, so that the dielectric constant (ε) is rather reduced. Alternatively, there is also a method of improving the dielectric constant (ε) by changing the material such as the metal powder or the resin sheet and the compounding amount thereof. However, for example, when the material of the resin sheet is changed, the heat resistance and the like change, which limits the applications to which it should be applied. On the other hand, if the material of the metal powder or the amount of the metal powder is changed, the magnetic permeability (μ) changes greatly, so that there is a problem that the application is also limited.

【0004】[0004]

【発明が解決すべき課題】本発明は、以上のような従来
の技術における問題点を解決し、マトリックスであるシ
ートおよび金属粉末の材質を変更せず、優れた遮蔽特性
(電磁波吸収特性)を有する電磁波吸収シートおよびその
製造方法を提供する、ことを課題とする。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention solves the problems in the prior art as described above, and has excellent shielding characteristics without changing the materials of the matrix sheet and the metal powder.
An object is to provide an electromagnetic wave absorbing sheet having (electromagnetic wave absorbing characteristics) and a method for producing the same.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、金属粉末や金属フレークを埋設した樹脂シ
ートなどにおける誘電率を高めることに着想して成され
たものである。即ち、本発明の電磁波吸収シート(請求
項1)は、絶縁材からなるシート本体と、係るシート本
体中に埋設された多数の金属フレークまたは金属粉末
と、を含み、1GHz以下の周波数領域における誘電率
の実部(ε′)が350以上である、ことを特徴とする。
これによれば、上記周波数領域における誘電率の実部
(ε′)が350以上であるため、たとえば従来の圧延成
形による電磁波吸収シートに比べて高い遮蔽特性を発揮
することができる。上記実部(ε′)が350未満では、
遮蔽特性の向上が図れない場合があるため、係る範囲を
除外した。尚、誘電率(ε)は、実部(ε′)と虚部(ε″)
との総和であり、1GHz以下の周波数領域では、実部
(ε′)が遮蔽特性の作用の大半を占める。また、前記シ
ート本体を形成する絶縁材には、ゴム、樹脂、またはこ
れらを含む複合材が含まれる。更に、前記金属粉末に
は、例えばアトマイズ粉が用いられ、前記金属フレーク
には、係るアトマイズ粉を偏平化したものが用いられ
る。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention has been made with the idea of increasing the dielectric constant of a resin sheet in which metal powder or metal flakes are embedded. That is, an electromagnetic wave absorbing sheet (Claim 1) of the present invention includes a sheet body made of an insulating material and a large number of metal flakes or metal powders embedded in the sheet body, and has a dielectric property in a frequency range of 1 GHz or less. The real part (ε ′) of the ratio is 350 or more.
According to this, the real part of the dielectric constant in the above frequency region
Since (ε ') is 350 or more, higher shielding properties can be exhibited as compared with, for example, the conventional electromagnetic wave absorbing sheet formed by roll forming. If the real part (ε ′) is less than 350,
Such a range was excluded because the shielding property may not be improved. The permittivity (ε) is the real part (ε ′) and the imaginary part (ε ″).
And the real part in the frequency range of 1 GHz or less.
(ε ') dominates the action of the shielding property. In addition, the insulating material forming the sheet body includes rubber, resin, or a composite material containing these. Further, atomized powder is used for the metal powder, and flattened atomized powder is used for the metal flakes.

【0006】また、本発明には、1GHz以下の周波数
領域における誘電率の虚部(ε″)が70以上でもある、
電磁波吸収シート(請求項2)も含まれる。これによれ
ば、前記周波数領域における誘電率の実部(ε′)が35
0以上で且つ虚部(ε″)が70以上であるため、高い遮
蔽特性を一層確実に発揮し得る。虚部(ε″)が70未満
では、遮蔽特性の向上に至らない場合があるため、係る
範囲を除外した。尚、上記虚部(ε″)は、虚数(i)を掛
け算した値を、実部(ε′)と合計することにより、当該
周波数における誘電率(ε)が算出される。
Further, according to the present invention, the imaginary part (ε ″) of the dielectric constant in the frequency region of 1 GHz or less is 70 or more,
An electromagnetic wave absorbing sheet (claim 2) is also included. According to this, the real part (ε ′) of the dielectric constant in the frequency region is 35
Since the imaginary part (ε ″) is 0 or more and the imaginary part (ε ″) is 70 or more, the high shielding property can be more reliably exhibited. When the imaginary part (ε ″) is less than 70, the shielding property may not be improved. , Such range was excluded. The imaginary part (ε ″) is calculated by multiplying the value obtained by multiplying the imaginary number (i) by the real part (ε ′) to calculate the dielectric constant (ε) at the frequency.

【0007】更に、本発明には、前記金属フレークまた
は金属粉末は、軟磁性のFe、Ni、またはCoあるい
はこれらの何れかをベースとする合金からなると共に、
前記シート本体に対し20〜70vol%の割合で埋設さ
れている、電磁波吸収シート(請求項3)も含まれる。こ
れによれば、シート本体の厚み方向および平面方向の何
れにおいても、金属フレークなどが均一に分散して埋設
されているので、前述した高い遮蔽特性をシートの全面
において、確実に果たすことが可能となる。尚、金属フ
レークなどの割合が20vol%未満では、数10GHz
帯域における電磁波吸収体となるため、1GHz以下に
おける誘電率(ε,ε′,ε″)があまり向上せず、一方、
上記割合が70vol%を越えると、絶縁材が少なくなり
過ぎてシート化(シーティング)できなくなるため、これ
らの範囲を除外した。
Further, in the present invention, the metal flakes or the metal powders are made of soft magnetic Fe, Ni, Co or an alloy based on any of these, and
An electromagnetic wave absorbing sheet (claim 3) embedded at a rate of 20 to 70 vol% with respect to the sheet body is also included. According to this, since the metal flakes and the like are evenly dispersed and embedded in both the thickness direction and the plane direction of the sheet body, it is possible to surely achieve the above-mentioned high shielding property on the entire surface of the sheet. Becomes If the ratio of metal flakes is less than 20 vol%, several tens of GHz
Since it becomes an electromagnetic wave absorber in the band, the dielectric constant (ε, ε ′, ε ″) below 1 GHz does not improve so much, while
If the above ratio exceeds 70 vol%, the insulating material becomes too small to form a sheet (sheeting), so these ranges were excluded.

【0008】一方、本発明の電磁波吸収シートの製造方
法(請求項4)は、絶縁材に軟磁性の金属または合金から
なる多数の金属フレークまたは金属粉末を20〜70vo
l%の割合で混合し且つ平坦な素シートを形成する素シ
ート形成工程と、係る素シートをその厚み方向に沿って
プレスして所定の厚みのシート本体を形成するプレス工
程と、を含むと共に、1GHz以下の周波数領域におけ
る誘電率の実部(ε′)が350以上となる、ことを特徴
とする。これによれば、上記素シートをプレス成形する
ことにより、得られるシート本体の厚み方向における金
属フレークなどの分布割合が、従来の圧延成形による場
合に比べて、分散し易く且つ均一な分布密度になる。こ
れにより、上記周波数領域における誘電率の実部(ε′)
が350以上となる電磁波吸収シートを確実に製造する
ことができる。また、上記製造方法には、得られる電磁
波吸収シートにおける誘電率(ε)の虚部(ε″)が70以
上となるものも含まれる。尚、金属フレークなどの上記
混合割合が20vol%未満では、数10GHz帯域にお
ける電磁波吸収体となるため、1GHz以下における上
記誘電率の電磁波吸収シートが得られ難くなる。一方、
上記割合が70vol%を越えると、絶縁材が少なくなり
過ぎるため、上記プレスによるシーティングができなく
なる。これらを防ぐため、上記の各範囲を除外したもの
である。
On the other hand, in the method for producing an electromagnetic wave absorbing sheet of the present invention (claim 4), a large number of metal flakes or metal powders made of a soft magnetic metal or alloy is used as an insulating material in an amount of 20 to 70 vo.
and a flat sheet forming step of forming a flat flat sheet by mixing at a ratio of 1%, and a pressing step of pressing the raw sheet along its thickness direction to form a sheet body having a predetermined thickness. The real part (ε ') of the dielectric constant in the frequency region of 1 GHz or less is 350 or more. According to this, by press-forming the raw sheet, the distribution ratio of the metal flakes in the thickness direction of the sheet body obtained is easier to disperse and has a uniform distribution density as compared with the case of the conventional roll-forming. Become. As a result, the real part (ε ') of the dielectric constant in the above frequency range
It is possible to reliably manufacture an electromagnetic wave absorbing sheet having a value of 350 or more. In addition, the above-mentioned manufacturing method includes a method in which the imaginary part (ε ″) of the dielectric constant (ε) in the obtained electromagnetic wave absorbing sheet is 70 or more. When the mixing ratio of metal flakes is less than 20 vol%, Since it becomes an electromagnetic wave absorber in the several tens GHz band, it becomes difficult to obtain an electromagnetic wave absorption sheet having the above dielectric constant at 1 GHz or less.
If the above ratio exceeds 70 vol%, the amount of insulating material becomes too small, and sheeting by the above press cannot be performed. In order to prevent these, the above ranges are excluded.

【0009】また、本発明には、前記プレス工程は、前
記素シートを50℃以上の温度で且つ49N/mm
上の圧力を伴って1分間以上にわたり押圧する、電磁波
吸収シートの製造方法(請求項5)も含まれる。これによ
れば、得られるシート本体中に金属フレークなどを均一
な分布密度にして確実に埋設できるので、前記のような
誘電率(ε′)の特性を有する電磁波吸収シートを確実に
製造することができる。尚、素シートの加熱温度が50
℃未満では、プレス時に必要な圧力が過大となるため、
係る範囲を除外したものである。また、プレス圧力が4
9N/mm未満および加圧時間が1分未満の少なくと
も何れか一方になると、成形されたシート本体中におけ
る金属フレークなどが均一に分布しにくくなるため、こ
れらの範囲を除外した。
Further, in the present invention, the method for producing an electromagnetic wave absorbing sheet, wherein the pressing step presses the raw sheet at a temperature of 50 ° C. or more and a pressure of 49 N / mm 2 or more for 1 minute or more ( Claim 5) is also included. According to this, since it is possible to reliably embed metal flakes or the like in the obtained sheet main body with a uniform distribution density, it is possible to reliably manufacture the electromagnetic wave absorbing sheet having the above-mentioned characteristics of the dielectric constant (ε ′). You can The heating temperature of the raw sheet is 50
If the temperature is below ℃, the pressure required during pressing will be too high.
The range is excluded. Also, the press pressure is 4
If it is less than 9 N / mm 2 and the pressing time is at least one of less than 1 minute, it becomes difficult to uniformly distribute the metal flakes in the molded sheet body, so these ranges were excluded.

【0010】更に、本発明には、前記プレス工程は、複
数の前記素シートを積層した状態でこれらの厚み方向に
沿って押圧する、電磁波吸収シートの製造方法(請求項
6)も含まれる。これによれば、シート本体中に金属フ
レークなどを均一に埋設し且つ前記誘電率(ε′)の特性
を有する電磁波吸収シートを効率良く製造可能となる。
Furthermore, the present invention also includes a method for manufacturing an electromagnetic wave absorbing sheet (claim 6), wherein the pressing step comprises pressing a plurality of the elementary sheets in the thickness direction thereof in a laminated state. According to this, it becomes possible to efficiently manufacture the electromagnetic wave absorbing sheet having the characteristic of the dielectric constant (ε ') in which the metal flakes are uniformly embedded in the sheet body.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下において、本発明の実施に好
適な形態について説明する。軟磁性のFe、Ni、また
はCoあるいはこれらの何れかをベースとする合金を水
アトマイズ法またはガスアトマイズ法により、平均粒径
が数10μmの金属粉末とする。係る金属粉末を公知の
湿式アトライター中に装入し、硬質球と共に攪拌するこ
とにより、偏平な金属フレークを得る。係る金属フレー
クは、分級されて、長さ20〜30μm以上で且つ厚さ
約10μm以下の粒度分布とされる。尚、上記金属粉末
は、分級したままで、次述する絶縁材に混合しても良
い。次に、上記金属フレークまたは金属粉末を、20〜
70vol%の割合で液状のゴムまたは樹脂(絶縁材)と混
合し、得られた混合物を例えばトルエンなどの溶剤中に
浸漬した後、浸漬槽の底部からSiシートの表面上に薄
く引き延ばし且つ乾燥する。この結果、厚みが約0.1
mmで且つ上記金属フレークまたは金属粉末を埋設した
絶縁材からなる素シートが得られる(素シート形成工
程)。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiments for carrying out the present invention will be described. Soft magnetic Fe, Ni, or Co or an alloy based on any of them is formed into a metal powder having an average particle diameter of several tens of μm by a water atomizing method or a gas atomizing method. The flat metal flakes are obtained by charging the metal powder in a known wet attritor and stirring it together with hard spheres. Such metal flakes are classified into a particle size distribution having a length of 20 to 30 μm or more and a thickness of about 10 μm or less. The metal powder may be mixed with the insulating material described below while being classified. Next, the metal flakes or metal powders are added to 20 to
70% by volume is mixed with liquid rubber or resin (insulating material), and the resulting mixture is dipped in a solvent such as toluene, and then thinly spread on the surface of the Si sheet from the bottom of the dipping tank and dried. . As a result, the thickness is about 0.1
A raw sheet having a thickness of mm and made of an insulating material in which the metal flakes or the metal powder are embedded is obtained (raw sheet forming step).

【0012】次いで、上記素シートを50℃以上に加熱
しつつ、図示しないプレスのダイス上に載置して拘束す
る。そして、係る素シートの露出する表面に対して当該
プレスのパンチを、49N/mm(5kg/mm
当)以上の圧力を伴い且つ1分間にわたって押圧(プレ
ス)する(プレス工程)。尚、上記ダイス上に複数枚の素
シートを拘束した状態で、上記パンチによる押圧(プレ
ス)を一度に行っても良い。その結果、厚みが約0.0
4〜約6mmの前記絶縁材からなるシート本体と、その
中にほぼ均一な分布密度で埋設された前記金属フレーク
または金属粉末と、からなる電磁波遮蔽シートを得るこ
とができる。係る電磁波遮蔽シートに対し、公知のネッ
トワークアナライザを用いて、1GHz以下の周波数領
域における誘電率の実部(ε′)および虚部(ε″)を測定
すると、実部(ε′)は350以上となり、且つ虚部
(ε″)は70以上となる。従って、1GHz以下の周波
数領域において、従来の圧延成形による形態の遮蔽シー
トに比べて、高い遮蔽特性を有する電磁波吸収シートを
得ることができる。
Then, while heating the above-mentioned raw sheet at 50 ° C. or higher, it is placed and restrained on a die of a press (not shown). Then, the punch of the press is pressed (pressed) against the exposed surface of the raw sheet for 1 minute with a pressure of 49 N / mm 2 (corresponding to 5 kg / mm 2 ) or more. In addition, the pressing (pressing) by the punch may be performed at a time while a plurality of raw sheets are constrained on the die. As a result, the thickness is about 0.0
It is possible to obtain an electromagnetic wave shielding sheet composed of a sheet body of 4 to about 6 mm made of the insulating material and the metal flakes or metal powder embedded in the sheet body with a substantially uniform distribution density. When the real part (ε ′) and the imaginary part (ε ″) of the dielectric constant in the frequency range of 1 GHz or less are measured for the electromagnetic wave shielding sheet using a known network analyzer, the real part (ε ′) is 350 or more. And the imaginary part
(ε ″) is at least 70. Therefore, in the frequency range of 1 GHz or less, it is possible to obtain an electromagnetic wave absorbing sheet having higher shielding properties than the conventional shielding sheet formed by rolling.

【0013】[0013]

【実施例】ここで、本発明の具体的な実施例について、
比較例と共に説明する。Fe−80wt%Niの軟磁性合
金を水アトマイズ法によって、平均粒径10μmの金属
粉末とし、係る金属粉末を湿式アトライター中に装入し
且つ硬質球と共に攪拌することにより、偏平な金属フレ
ークを得た。係る金属フレークを篩いにかけることよ
り、長さ20〜30μm以上で且つ厚さ約10μm以下
の範囲内に分級した。上記分級後の金属フレークを、液
状の塩素化ポリエチレン(絶縁材、以下CPEとする)に
対し、55vol%で混合した。7個の混合物をトルエン
(溶剤)中に浸漬した後、浸漬槽の底部からSiシートの
表面上に薄く引き延ばして乾燥した。この結果、表1に
示す寸法で且つ上記金属フレークを埋設したCPE(絶
縁材)からなる7種類の素シートが得られた(素シート形
成工程)。
EXAMPLES Now, specific examples of the present invention will be described.
This will be described together with a comparative example. A soft magnetic alloy of Fe-80 wt% Ni was made into a metal powder having an average particle size of 10 μm by a water atomizing method, and the metal powder was charged into a wet attritor and stirred with hard spheres to produce flat metal flakes. Obtained. The metal flakes were sieved to classify them into a range of 20 to 30 μm or more in length and about 10 μm or less in thickness. The metal flakes after the classification were mixed with liquid chlorinated polyethylene (insulating material, hereinafter referred to as CPE) at 55 vol%. 7 mixture of toluene
After being dipped in the (solvent), it was thinly spread on the surface of the Si sheet from the bottom of the dipping tank and dried. As a result, seven types of raw sheets made of CPE (insulating material) having the dimensions shown in Table 1 and having the metal flakes embedded therein were obtained (raw sheet forming step).

【0014】次に、7種類の素シートのうち、4種類の
素シートに対し、表1に示すプレス圧力、温度、および
時間によるプレスを施し、これらを実施例1〜4とし
た。実施例1〜4に行った上記プレス工程は、50to
nプレスを用い、そのダイス上にアルミニウム板を載置
し、その上に表1に示すように1枚のみを、あるいは複
数枚の素シートを重ねて拘束し、更に、その上にアルミ
ニウム板を載置した状態で、120℃に加熱しつつポン
チを表1のプレス圧力を伴って押圧した。残りのうち、
素シートのまま加工や処理をしなかったものを比較例1
とした。更に、残った2種類の素シートについて、1枚
の素シートまたは厚み方向に5枚重ね合わせた素シート
を、図示しない対向するロール間に挿通させる圧延を、
表1に示すパス数に従って個別に行った。これにより得
られたシートを比較例2,3とした。
Next, among the seven types of base sheets, four types of base sheets were pressed by the press pressure, temperature and time shown in Table 1 to obtain Examples 1 to 4. The pressing process performed in Examples 1 to 4 is 50 to
Using an n press, an aluminum plate is placed on the die, and as shown in Table 1, only one sheet or a plurality of raw sheets are stacked and restrained, and further, the aluminum sheet is placed thereon. In the mounted state, the punch was pressed with the pressing pressure shown in Table 1 while heating at 120 ° C. Of the rest
Comparative example 1 is a raw sheet that has not been processed or treated as it is.
And Further, with respect to the remaining two types of raw sheets, a rolling process in which one raw sheet or five raw sheets stacked in the thickness direction are inserted between opposing rolls (not shown),
The steps were individually performed according to the number of passes shown in Table 1. The sheets thus obtained were designated as Comparative Examples 2 and 3.

【0015】[0015]

【表1】 [Table 1]

【0016】前記プレスにより得られた実施例1〜4の
電磁波吸収シートの寸法を、それぞれ表2に示した。ま
た、前記圧延によって得られた比較例2,3の電磁波吸
収シートの寸法も表2に示した。尚、比較例1の素シー
トは、そのままで比較例1の電磁波吸収シートとし、そ
の寸法を表2に示した。次に、各例毎に1枚の電磁波吸
収シートを抽出し、公知のネットワークアナライザを用
いて、0.1〜3.0GHzの周波数領域における誘電
率の実部(ε′)および虚部(ε″)を測定した。同時に、
各例のシートにおける透磁率(μ)の実部(μ′)および虚
部(μ″)を測定した。このうち、各例の1GHzにおけ
る誘電率の実部(ε′)および虚部(ε″)と、10MHz
におけるを透磁率(μ)の実部(μ′)および虚部(μ″)
と、を表2に示した。また、各例における誘電率の実部
(ε′)全体の測定結果を図1のグラフに、誘電率の虚部
(ε″)全体の測定結果を図2のグラフに、それぞれ示し
た。
The dimensions of the electromagnetic wave absorbing sheets of Examples 1 to 4 obtained by the pressing are shown in Table 2. Table 2 also shows the dimensions of the electromagnetic wave absorbing sheets of Comparative Examples 2 and 3 obtained by the rolling. The raw sheet of Comparative Example 1 was used as it was as the electromagnetic wave absorbing sheet of Comparative Example 1, and the dimensions are shown in Table 2. Next, one electromagnetic wave absorption sheet is extracted for each example, and using a known network analyzer, the real part (ε ′) and imaginary part (ε) of the dielectric constant in the frequency region of 0.1 to 3.0 GHz are extracted. ″) Was measured. At the same time,
The real part (μ ′) and the imaginary part (μ ″) of the magnetic permeability (μ) in the sheet of each example were measured. Of these, the real part (ε ′) and the imaginary part (ε) of the dielectric constant at 1 GHz of each example were measured. ″) And 10 MHz
The real part (μ ′) and imaginary part (μ ″) of permeability (μ) in
And are shown in Table 2. Also, the real part of the dielectric constant in each example
The graph of Fig. 1 shows the measurement result of (ε ′) as a whole, and the imaginary part of the permittivity
The measurement results of the entire (ε ″) are shown in the graph of FIG.

【0017】[0017]

【表2】 [Table 2]

【0018】図1のグラフによれば、実施例1〜4の電
磁波吸収シートは、0.1〜1.0GHzの周波数領域
全体で、誘電率の実部(ε′)が350以上となった。係
る実施例1〜4の各シートは、プレスにより当該シート
内のガスが抜け、金属フレークの密度が高まり、且つそ
の配向性が向上したためと推定される。これに対し、比
較例1で未処理の電磁波吸収シートは、誘電率の実部
(ε′)が約330〜270のレベルに留まり、比較例
2,3の圧延したシートでは、誘電率の実部(ε′)が2
00以下のレベルに却って低下した。これは、比較例1
では、金属フレークの密度が素シートと同じであり、比
較例2,3では、これらの素シートを圧延した際、金属
フレークに歪みが加わったためと推定される。また、図
2のグラフによれば、実施例1〜4の電磁波吸収シート
は、0.1〜1.0GHzの周波数領域全体で、誘電率
の虚部(ε″)が70以上となった。これに対し、比較例
1のシートは、誘電率の虚部(ε″)が50〜63のレベ
ルに留まり、比較例2,3の電磁波吸収シートでは、誘
電率の虚部(ε″)が却って30以下のレベルに低下し
た。これらの理由も上記と同様である。
According to the graph of FIG. 1, in the electromagnetic wave absorbing sheets of Examples 1 to 4, the real part (ε ') of the dielectric constant was 350 or more over the entire frequency range of 0.1 to 1.0 GHz. . It is presumed that, in each of the sheets of Examples 1 to 4, the gas in the sheet was released by pressing, the density of the metal flakes was increased, and the orientation thereof was improved. In contrast, the untreated electromagnetic wave absorbing sheet in Comparative Example 1 has a real part of the dielectric constant.
(ε ′) remained at a level of about 330 to 270, and in the rolled sheets of Comparative Examples 2 and 3, the real part (ε ′) of the dielectric constant was 2.
On the contrary, it fell to a level below 00. This is Comparative Example 1
The density of the metal flakes is the same as that of the bare sheet, and in Comparative Examples 2 and 3, it is presumed that strain was applied to the metal flakes when rolling these bare sheets. Further, according to the graph of FIG. 2, the electromagnetic wave absorbing sheets of Examples 1 to 4 had an imaginary part (ε ″) of the dielectric constant of 70 or more over the entire frequency range of 0.1 to 1.0 GHz. On the other hand, in the sheet of Comparative Example 1, the imaginary part of the dielectric constant (ε ″) remained at the level of 50 to 63, and in the electromagnetic wave absorbing sheets of Comparative Examples 2 and 3, the imaginary part of the dielectric constant (ε ″) was found. On the contrary, it fell to a level below 30. These reasons are the same as above.

【0019】従って、実施例1〜4のシートによれば、
上記実部(ε′)と虚部(ε″(虚数iを乗する))との総和
である誘電率(ε)が著しく向上するため、これに伴って
その電磁波遮蔽特性を向上させることが可能となる。以
上の結果は、実施例1〜4の電磁波吸収シートでは、前
記素シートに対し前記プレス工程を施したため、素シー
トの断面全体が厚み方向に沿って圧縮され、内包してい
た気泡を確実に排出し、得られたシート本体における金
属フレークなどが均一な分布密度となったことに起因す
るものと推定される。係る実施例1〜4により、本発明
の作用およびこれに基づく優れた遮蔽特性を発揮し得る
効果が裏付けられたことが、容易に理解されよう。尚、
実施例2〜4により、複数の素シートを重ね合わせて同
時にプレスすることで、上記の作用および効果を有する
電磁波吸収シートを効率良く製造できることも明らかで
ある。尚、実施例1〜4は、透磁率の実部(μ′)にて比
較例1よりも全て向上し、且つ実施例1,2は、透磁率
の虚部(μ″)にて比較例1よりも向上していた。
Therefore, according to the sheets of Examples 1 to 4,
Since the permittivity (ε), which is the sum of the real part (ε ′) and the imaginary part (ε ″ (multiplying the imaginary number i)), is remarkably improved, it is possible to improve the electromagnetic wave shielding property accordingly. The above results indicate that, in the electromagnetic wave absorbing sheets of Examples 1 to 4, since the raw sheet was subjected to the pressing step, the entire cross section of the raw sheet was compressed and included in the thickness direction. It is presumed that this is due to the reliable discharge of air bubbles and the uniform distribution density of the metal flakes etc. in the obtained sheet body. It can be easily understood that the effect that the excellent shielding property can be exhibited is supported.
It is also apparent from Examples 2 to 4 that an electromagnetic wave absorbing sheet having the above-described actions and effects can be efficiently produced by stacking a plurality of elementary sheets and pressing them simultaneously. It should be noted that Examples 1 to 4 are all improved in comparison with Comparative Example 1 in the real part (μ ′) of magnetic permeability, and Examples 1 and 2 are Comparative Examples in the imaginary part (μ ″) of magnetic permeability. It was better than 1.

【0020】本発明は、以上に説明した形態および実施
例に限定されるものではない。前記シート本体となる絶
縁材には、前記CPEに限らず、クロロプレンゴム、ポ
リブタジエンゴム、ポリイソプレンゴム、エチレンプロ
ピレンゴム、ブタジエンアクリロニトリゴム、イソブチ
レンイソプレンゴム、スチレンブタジエンゴムなどの合
成ゴムや、ポリアミド系、フェノール系、エポキシ系、
ポリエステル系、アクリル系、ポリ酢酸ビニル、ポリス
チレン、ポリウレタンなどの各種の合成樹脂を適用する
こともできる。あるいは、上記ゴム系と樹脂系との複合
材や、ゴムーゴム系または樹脂−樹脂系の複合材を用い
ることも可能である。また、前記金属フレークまたは金
属粉末には、パーマロイ系の前記Fe−Ni系合金に限
らず、Fe−Ni−Co系合金(例えばコバール)、Fe
−Cr−Ni系のステンレス鋼、Fe−10〜18wt%
Crのステンレス鋼、Fe−Cr−Al系合金、あるい
はFe−Cr−Si系合金などを適用しても良い。更
に、前記プレス工程は、据え込み鍛造として行っても良
い。尚、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で種々に
変更することができる。
The present invention is not limited to the forms and examples described above. The insulating material that forms the sheet body is not limited to the CPE, but synthetic rubber such as chloroprene rubber, polybutadiene rubber, polyisoprene rubber, ethylene propylene rubber, butadiene acrylonitri rubber, isobutylene isoprene rubber, styrene butadiene rubber, or polyamide. System, phenol system, epoxy system,
Various synthetic resins such as polyester-based, acrylic-based, polyvinyl acetate, polystyrene and polyurethane can also be applied. Alternatively, it is also possible to use the above-mentioned rubber-based and resin-based composite materials, or rubber-rubber-based or resin-resin-based composite materials. Further, the metal flakes or metal powders are not limited to the permalloy-based Fe-Ni-based alloys, but may be Fe-Ni-Co-based alloys (for example, Kovar), Fe.
-Cr-Ni system stainless steel, Fe-10-18wt%
Cr stainless steel, Fe—Cr—Al alloy, Fe—Cr—Si alloy, or the like may be applied. Further, the pressing step may be performed as upset forging. The present invention can be variously modified without departing from the spirit thereof.

【0021】[0021]

【発明の効果】本発明の電磁波吸収シート(請求項1)に
よれば、高い誘電率により優れた遮蔽特性(電磁波吸収
特性)を発揮することができる。また、請求項2の電磁
波吸収シートによれば、優れた遮蔽特性を一層確実に発
揮可能となる。一方、本発明の電磁波吸収シートの製造
方法(請求項4)によれば、上記特性のシートを確実に製
造することができる。また、請求項5の製造方法によれ
ば、上記特性の電磁波吸収シートを一層確実に製造する
ことが可能となる。更に、請求項6の製造方法によれ
ば、上記特性の電磁波吸収シートを効率良く製造するこ
とができる。
According to the electromagnetic wave absorbing sheet of the present invention (claim 1), it is possible to exhibit excellent shielding characteristics (electromagnetic wave absorbing characteristics) due to its high dielectric constant. Further, according to the electromagnetic wave absorbing sheet of the second aspect, it is possible to more surely exhibit excellent shielding characteristics. On the other hand, according to the method for producing an electromagnetic wave absorbing sheet of the present invention (claim 4), it is possible to reliably produce a sheet having the above characteristics. Further, according to the manufacturing method of the fifth aspect, it becomes possible to more reliably manufacture the electromagnetic wave absorbing sheet having the above characteristics. Furthermore, according to the manufacturing method of claim 6, the electromagnetic wave absorbing sheet having the above characteristics can be efficiently manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例および比較例の各シートの所定周波数域
における誘電率の実部(ε′)を示すグラフ。
FIG. 1 is a graph showing a real part (ε ′) of a dielectric constant in a predetermined frequency range of each sheet of Examples and Comparative Examples.

【図2】実施例および比較例の各シートの所定周波数域
における誘電率の虚部(ε″)を示すグラフ。
FIG. 2 is a graph showing an imaginary part (ε ″) of a dielectric constant in a predetermined frequency range of each sheet of the example and the comparative example.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 亀谷 敦 愛知県名古屋市港区竜宮町10番地 大同特 殊鋼株式会社築地工場内 Fターム(参考) 5E321 BB21 BB33 BB53 GG11    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Atsushi Kametani             Daido Special, 10 Ryugucho, Minato-ku, Nagoya City, Aichi Prefecture             Special Steel Co., Ltd., Tsukiji Factory F-term (reference) 5E321 BB21 BB33 BB53 GG11

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】絶縁材からなるシート本体と、係るシート
本体中に埋設された多数の金属フレークまたは金属粉末
と、を含み、 1GHz以下の周波数領域における誘電率の実部(ε′)
が350以上である、ことを特徴とする電磁波吸収シー
ト。
1. A real part (ε ′) of a dielectric constant in a frequency region of 1 GHz or less, which includes a sheet body made of an insulating material and a large number of metal flakes or metal powders embedded in the sheet body.
Is 350 or more, The electromagnetic wave absorption sheet characterized by the above-mentioned.
【請求項2】1GHz以下の周波数領域における誘電率
の虚部(ε″)が70以上でもある、ことを特徴とする請
求項1に記載の電磁波吸収シート。
2. The electromagnetic wave absorbing sheet according to claim 1, wherein the imaginary part (ε ″) of the dielectric constant in the frequency range of 1 GHz or less is 70 or more.
【請求項3】前記金属フレークまたは金属粉末は、軟磁
性のFe、Ni、またはCoあるいはこれらの何れかを
ベースとする合金からなると共に、前記シート本体に対
し20〜70vol%の割合で埋設されている、 ことを特徴とする請求項1または2に記載の電磁波吸収
シート。
3. The metal flakes or metal powders are made of soft magnetic Fe, Ni, Co or an alloy based on any of them, and are embedded at a ratio of 20 to 70 vol% with respect to the sheet body. The electromagnetic wave absorption sheet according to claim 1 or 2, wherein
【請求項4】絶縁材に軟磁性の金属または合金からなる
多数の金属フレークまたは金属粉末を5〜55vol%の
割合で混合し且つ平坦な素シートを形成する素シート形
成工程と、 上記素シートをその厚み方向に沿ってプレスして所定の
厚みのシート本体を形成するプレス工程と、を含むと共
に、 1GHz以下の周波数領域における誘電率の実部(ε′)
が350以上となる、ことを特徴とする電磁波吸収シー
トの製造方法。
4. A base sheet forming step of forming a flat base sheet by mixing a large number of metal flakes or metal powders made of a soft magnetic metal or alloy in an insulating material at a ratio of 5 to 55 vol%, and the base sheet. Pressing step along the thickness direction to form a sheet body having a predetermined thickness, and the real part (ε ') of the dielectric constant in the frequency region of 1 GHz or less.
Is 350 or more, The manufacturing method of the electromagnetic wave absorption sheet characterized by the above-mentioned.
【請求項5】前記プレス工程は、前記素シートを50℃
以上の温度で且つ49N/mm以上の圧力を伴って1
分間以上にわたり押圧する、 ことを特徴とする請求項4に記載の電磁波吸収シートの
製造方法。
5. In the pressing step, the raw sheet is heated to 50 ° C.
1 at the above temperature and with a pressure of 49 N / mm 2 or more
Pressing for more than a minute, The manufacturing method of the electromagnetic wave absorption sheet of Claim 4 characterized by the above-mentioned.
【請求項6】前記プレス工程は、複数の前記素シートを
積層した状態でこれらの厚み方向に沿って押圧する、 ことを特徴とする請求項4または5に記載の電磁波吸収
シートの製造方法。
6. The method of manufacturing an electromagnetic wave absorbing sheet according to claim 4, wherein in the pressing step, a plurality of the elementary sheets are laminated and pressed in the thickness direction thereof.
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