JP2003295200A - Method of manufacturing liquid crystal display device and device for manufacturing liquid crystal display device - Google Patents

Method of manufacturing liquid crystal display device and device for manufacturing liquid crystal display device

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JP2003295200A
JP2003295200A JP2003120058A JP2003120058A JP2003295200A JP 2003295200 A JP2003295200 A JP 2003295200A JP 2003120058 A JP2003120058 A JP 2003120058A JP 2003120058 A JP2003120058 A JP 2003120058A JP 2003295200 A JP2003295200 A JP 2003295200A
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liquid crystal
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light
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英次 藤村
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and a device for manufacturing a liquid crystal display device wherein a combination deviation between substrates is reduced, a curvature and a recess of substrates which constitutes a liquid crystal cell is reduced and an accurate and uniform cell gap can be formed. <P>SOLUTION: The method for manufacturing the liquid crystal display device is provided with a stage for irradiating the sealant with light from the other substrate side and then a stage for irradiating the sealant with light from the one substrate side via the stage, when one substrate of a pair of substrates disposed via a photosetting sealant is placed on a stage having light transmissivity to be stuck to the other substrate. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置の製造
方法及び製造装置に係り、特に、2枚の基板をシール材
を介して貼り合わせることによって構成された液晶セル
を製造するための方法及び装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly, to a method and a device for manufacturing a liquid crystal cell formed by bonding two substrates with a sealing material. Regarding the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、液晶表示装置の製造方法としては
種々のものがあるが、一般的に以下のような方法が採ら
れている。まず、2枚のガラス基板の内面上に配線層や
画素電極をそれぞれ形成し、必要に応じてアクティブ素
子やカラーフィルタ等をも形成する。次に、2枚のガラ
ス基板のいずれか一方に、1箇所の開口部を残したまま
液晶表示領域を取り囲むようにしてシール材を塗布し、
このシール材を介して他方のガラス基板を貼り付ける。
2. Description of the Related Art Conventionally, there are various methods for manufacturing a liquid crystal display device, but the following method is generally adopted. First, a wiring layer and a pixel electrode are formed on the inner surfaces of two glass substrates, and an active element, a color filter and the like are also formed if necessary. Next, a sealing material is applied to one of the two glass substrates so as to surround the liquid crystal display area while leaving one opening.
The other glass substrate is attached via this sealing material.

【0003】2枚のガラス基板は貼着された状態で相互
にプレス装置によって所定の圧力で圧着され、その後、
圧着された2枚のガラス基板に対して光や熱を加えてシ
ール材を硬化させ、液晶セルが形成される。液晶セルに
は、減圧下にて上記シール材の開口部から液晶が注入さ
れ、注入完了後、開口部が封止される。
The two glass substrates are bonded to each other under a predetermined pressure by a pressing device in a state where they are adhered to each other.
Light and heat are applied to the two pressure-bonded glass substrates to cure the sealing material, thereby forming a liquid crystal cell. Liquid crystal is injected into the liquid crystal cell from the opening of the sealing material under reduced pressure, and after the injection is completed, the opening is sealed.

【0004】ガラス基板の圧着工程やシール材の硬化工
程は、液晶セルの種類によって様々な方法にて行われ
る。例えば、ガラス基板の間に多数のスペーサを分散配
置する場合には、2枚のガラス基板を加圧して仮圧着さ
せ、そのままの状態で、或いは別の治具に移し替えてガ
ラス基板の間隔を保持したまま、シール材を硬化させる
ことによって、正確なセルギャップを有する液晶セルを
形成できる。
The pressure bonding process of the glass substrate and the curing process of the sealing material are performed by various methods depending on the type of liquid crystal cell. For example, when a large number of spacers are dispersedly arranged between the glass substrates, the two glass substrates are pressed and temporarily pressure-bonded to each other, and the gap between the glass substrates is kept as it is or by transferring it to another jig. A liquid crystal cell having an accurate cell gap can be formed by curing the sealing material while holding it.

【0005】また、ガラス基板の間にはスペーサを配置
しないが、シール材の中に所望のセルギャップと同様の
大きさを備えたスペーサを混入させておき、シール材の
存在する部分に圧力を加えて仮圧着し、その後、シール
材を硬化させる場合もある。
Although no spacer is arranged between the glass substrates, a spacer having a size similar to a desired cell gap is mixed in the sealing material and a pressure is applied to a portion where the sealing material exists. In addition, temporary pressure bonding may be performed, and then the sealing material may be cured.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の液晶表示装
置の製造方法においては、2枚のガラス基板の貼り合わ
せ時において、基板間の平面位置を必ずしも正確に設定
することができず、その結果、2枚のガラス基板間の組
みずれが発生し、ガラス基板の内面上に形成されている
画素構造のずれに起因する表示特性のばらつきや劣化が
問題となる。
In the above-described conventional method for manufacturing a liquid crystal display device, the plane position between the substrates cannot always be set accurately when the two glass substrates are bonded together, and as a result, A misalignment between the two glass substrates occurs, which causes a problem of variation and deterioration of display characteristics due to the misalignment of the pixel structure formed on the inner surface of the glass substrate.

【0007】また、他方のガラス基板を大判のままと
し、一方のガラス基板を液晶表示セルに対応した小型基
板として製造する方法においては、複数の小型基板に対
して一度に圧着、仮硬化を行うと、圧着時の圧力やシー
ル材の硬化度合いに応じてガラス基板の変形度合いが大
きく変化するため、液晶セルが完成した後のガラス基板
に反りや凹みが発生して、セルギャップの均一な液晶セ
ルを形成することが困難であるという問題点もある。一
方、小型基板に対して個々に圧着及び仮硬化を行おうと
すると、小型基板毎に位置決め作業を行わなければなら
ないため、処理時間がかかることが予想される。
Further, in the method of manufacturing the one glass substrate as a small substrate corresponding to the liquid crystal display cell while leaving the other glass substrate in a large size, the plurality of small substrates are pressure-bonded and temporarily cured at once. In addition, the degree of deformation of the glass substrate changes greatly depending on the pressure at the time of pressure bonding and the degree of curing of the sealing material, so that the glass substrate after the completion of the liquid crystal cell is warped or dented, resulting in a liquid crystal with a uniform cell gap. There is also a problem that it is difficult to form cells. On the other hand, if pressure bonding and temporary curing are individually performed on the small substrates, it is expected that it will take a long processing time because the positioning work must be performed for each small substrate.

【0008】そこで本発明は上記問題点を解決するもの
であり、その課題は、基板間の組みずれを低減するとと
もに、液晶セルを構成する基板の反りや凹みを低減し
て、正確かつ均一なセルギャップを形成することのでき
る液晶表示装置の製造方法及び装置を提供することにあ
る。
Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems, and its object is to reduce the misalignment between the substrates and to reduce the warpage and dents of the substrates constituting the liquid crystal cell to achieve accurate and uniform. An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for manufacturing a liquid crystal display device capable of forming a cell gap.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明が講じた手段は、2枚の基板をシール材を介し
て貼着し、前記基板の間に液晶を注入してなる液晶表示
装置の製造方法において、一方の前記基板を未硬化の前
記シール材を介して他方の前記基板に対して所定の圧力
で圧着した状態で、前記シール材を半硬化させる仮硬化
工程と、該仮硬化工程において圧着された2枚の前記基
板に対して前記圧力を解放した状態で前記シール材を硬
化させる本硬化工程とを有することを特徴とする。
Means for Solving the Problems In order to solve the above-mentioned problems, the means taken by the present invention is a liquid crystal in which two substrates are adhered to each other via a sealing material and liquid crystal is injected between the substrates. In the method for manufacturing a display device, a temporary curing step of semi-curing the sealing material in a state where one of the substrates is pressure-bonded to the other substrate through the uncured sealing material at a predetermined pressure, And a main curing step of curing the sealing material in a state where the pressure is released to the two substrates that are pressure-bonded in the temporary curing step.

【0010】この手段によれば、仮硬化工程において2
枚の基板を所定の圧力で圧着した状態でシール材を半硬
化させ、その後に、本硬化工程において圧力を解放した
状態でシール材を硬化させることにより、仮硬化工程に
おいて圧着時の圧力によって変形された基板は、仮硬化
工程が終了し圧力が解放された時点で、半硬化されたシ
ール材の適度な束縛力及び基板の復元力によって基板形
状が適度に復元され、基板の変形が修正されるため、そ
の後の本硬化工程によって圧力を加えずにシール材を硬
化させることによって、形成された液晶セルにおける基
板の平坦性やセルギャップの均一性を確保することがで
きる。
According to this means, in the temporary curing step, 2
The sealing material is semi-cured in a state where the substrates are pressure-bonded at a predetermined pressure, and then the sealing material is cured in the state where the pressure is released in the main curing step, so that the pressure is applied in the temporary curing step when the pressure is applied. At the time when the preliminary curing process is completed and the pressure is released, the substrate shape is appropriately restored by the proper binding force of the semi-cured sealing material and the restoring force of the substrate, and the deformation of the substrate is corrected. Therefore, by curing the sealing material without applying pressure in the subsequent main curing step, it is possible to secure the flatness of the substrate and the uniformity of the cell gap in the formed liquid crystal cell.

【0011】ここで、前記仮硬化工程においては、前記
圧力に対して前記仮硬化工程の終了後の前記圧力の解放
後に前記基板がほぼ平坦になるように若しくは前記基板
が僅かに反りを有するように前記シール材の硬化度を調
整して前記シール材を半硬化させることが好ましい。
Here, in the temporary curing step, the substrate is made substantially flat or slightly warped after the pressure is released after the temporary curing step is completed with respect to the pressure. It is preferable to semi-cure the sealing material by adjusting the curing degree of the sealing material.

【0012】この手段によれば、仮硬化工程において付
与する圧力に対してシール材の硬化度を調節することに
よって、仮硬化工程終了後の液晶セルにおける基板の平
坦性やセルギャップの均一性を制御することができる。
シール材の硬化度が低いとシール材の束縛力が弱くなる
ために基板の復元力が勝り、基板の平坦性を制御するこ
とが困難になる。一方、シール材の硬化度が高くなると
シール材の束縛力が強くなり、圧着状態における基板形
状を強く反映するようになるので、圧着時に基板が変形
している場合にはその変形が残り、また、圧着時に基板
をなるべく変形させないようにすると基板の本来の歪み
が反映されたり、基板のシール不良が発生したりする可
能性が高くなる。
According to this means, the flatness of the substrate and the uniformity of the cell gap in the liquid crystal cell after the temporary curing step are adjusted by adjusting the curing degree of the sealing material with respect to the pressure applied in the temporary curing step. Can be controlled.
When the degree of curing of the sealing material is low, the binding force of the sealing material is weakened, the restoring force of the substrate is increased, and it becomes difficult to control the flatness of the substrate. On the other hand, as the curing degree of the sealing material becomes higher, the binding force of the sealing material becomes stronger and strongly reflects the shape of the substrate in the pressure-bonded state, so if the substrate is deformed during pressure bonding, the deformation remains, and If the substrate is prevented from being deformed as much as possible at the time of pressure bonding, there is a high possibility that the original strain of the substrate is reflected or that the substrate has a defective seal.

【0013】また、前記仮硬化工程においては、一方の
前記基板を未硬化の前記シール材を介して他方の前記基
板に対して所定の圧力で圧着し、一方の前記基板を他方
の前記基板に対してアライメントするアライメント段階
と、前記所定の圧力とほぼ同様の圧力で加圧した状態で
前記シール材を半硬化させる半硬化段階とを有すること
が好ましい。
In the temporary curing step, one of the substrates is pressure-bonded to the other substrate through the uncured sealing material at a predetermined pressure, and the one substrate is attached to the other substrate. It is preferable to have an alignment step of aligning with respect to each other and a semi-curing step of semi-curing the sealing material in a state of being pressurized with a pressure substantially similar to the predetermined pressure.

【0014】この手段によれば、アライメント段階にお
いて一方の基板と他方の基板とを圧着させた状態でアラ
イメントを行い、その後の半硬化段階においては、アラ
イメント時の加圧力をほとんど変えることなくほぼ同じ
加圧力で圧着させた状態でシール材を硬化させるように
しているので、アライメント後の位置ずれの発生を抑制
することができるため、基板間の組みずれを防止すると
ともに基板間隔の精度及び均一性も向上させることがで
きる。
According to this means, the alignment is performed in a state where one substrate and the other substrate are pressure-bonded in the alignment step, and in the subsequent semi-curing step, the pressing force at the time of alignment is almost the same without changing. Since the sealant is hardened while being pressed by pressure, it is possible to suppress the occurrence of misalignment after alignment, thus preventing misalignment between the boards and accuracy and uniformity of the board spacing. Can also be improved.

【0015】この場合にはさらに、前記アライメント段
階の前に、前記所定の圧力よりも低い圧力で加圧した状
態で一方の前記基板を他方の前記基板に対して粗く位置
合わせを行う位置合わせ段階を有することが望ましい。
In this case, further, before the alignment step, an alignment step of roughly aligning one of the substrates with the other substrate under a pressure lower than the predetermined pressure. It is desirable to have

【0016】この手段によれば、位置合わせ段階によ
り、低い圧力で圧着させた状態で位置合わせを行うよう
にしているため、シール材を大きく変形させることな
く、しかも大きな応力を加えることなく位置合わせを行
うことができることから、迅速かつシール部の密閉性に
も支障を与えずに正確なアライメントを行うことが可能
となる。
[0016] According to this means, since the positioning is performed in a state where the pressure is applied at a low pressure in the positioning step, the sealing material is not largely deformed and the positioning is performed without applying a large stress. Therefore, it is possible to perform accurate alignment quickly and without impairing the sealing property of the seal portion.

【0017】一方、前記シール材を光硬化性を有するも
のとし、前記本硬化工程においては、透光性を有する冷
却ステージ上に前記基板を配置し、該冷却ステージを透
過させて前記冷却ステージ側から前記シール材に光を照
射することが好ましい。
On the other hand, it is assumed that the sealing material has a photo-curing property, and in the main curing step, the substrate is placed on a cooling stage having a light-transmitting property, and the cooling stage is allowed to pass through to the cooling stage side. Therefore, it is preferable to irradiate the sealing material with light.

【0018】この手段によれば、冷却ステージによって
冷却を行っている側から光を照射するため、液晶セルの
冷却効率が高くなり、液晶セルを過熱させることなく光
硬化処理を行うことが可能になる。
According to this means, since the light is emitted from the side which is being cooled by the cooling stage, the cooling efficiency of the liquid crystal cell is increased, and the photo-curing treatment can be performed without overheating the liquid crystal cell. Become.

【0019】また、前記シール材を光硬化性を有するも
のとし、前記本硬化工程においては、一方の前記基板側
から前記シール材に光を照射する段階と、他方の前記基
板側から前記シール材に光を照射する段階とを有するこ
とが好ましい。
Further, the sealing material is photo-curable, and in the main curing step, the step of irradiating the sealing material with light from one substrate side and the sealing material from the other substrate side. And irradiating it with light.

【0020】この手段によれば、液晶セルに対して表裏
両側からそれぞれ別の段階として光を照射しているの
で、シール材の硬化効率を高めることができ、その結
果、迅速に、かつ、液晶セルを過熱させることなく光硬
化処理を行うことが可能になる。
According to this means, the liquid crystal cell is irradiated with light from both the front and back sides in different steps, so that the curing efficiency of the sealing material can be enhanced, and as a result, the liquid crystal cell can be rapidly and quickly. It is possible to carry out the photo-curing treatment without overheating the cell.

【0021】さらに、前記シール材を光硬化性を有する
ものとし、前記本硬化工程においては、前記シール材に
対して所定周波数で断続若しくは増減された光を照射す
ることが好ましい。
Further, it is preferable that the sealing material has a photo-curing property, and that in the main curing step, the sealing material is irradiated with light intermittently or increased / decreased at a predetermined frequency.

【0022】この手段によれば、所定周波数で断続若し
くは増減された光を照射することによって、光強度と周
波数を液晶セルに対して適度に設定することによって、
液晶セルの過熱を防止することが可能になる。
According to this means, the light intensity and the frequency are appropriately set to the liquid crystal cell by irradiating the light intermittently or increased / decreased at the predetermined frequency,
It is possible to prevent overheating of the liquid crystal cell.

【0023】また、上記課題を解決するため本発明が講
じた手段は、光硬化性のシール材を介して配置された一
対の基板のうち一方の基板を、透光性を有するステージ
に載置して他方の基板と貼着する液晶表示装置の製造方
法であって、前記他方の基板側から前記シール材に光を
照射する工程と、しかる後に、前記一方の基板側から前
記ステージを介して前記シール材に光を照射する工程
と、を具備することを特徴とする。なおこの場合におい
て、前記一方の基板に照射される前記光の照射、又は前
記他方の基板に照射される前記光の照射は、断続的に行
われることが好ましい。また、前記ステージは冷却機構
を備え、前記冷却機構により前記ステージを冷却しつつ
前記シール材に前記光を照射することが好ましい。ま
た、冷却エアを前記他方の基板に吹き付けながら前記シ
ール材に光を照射することが好ましい。また、前記他方
の基板は前記一方の基板よりも小さく、前記一方の基板
に複数の前記他方の基板が貼着されることが好ましい。
Further, in order to solve the above-mentioned problems, the means taken by the present invention is that one of a pair of substrates arranged via a photo-curing sealing material is placed on a translucent stage. Then, a method of manufacturing a liquid crystal display device to be attached to the other substrate, the step of irradiating the sealing material with light from the other substrate side, and thereafter, from the one substrate side through the stage. Irradiating the sealing material with light. In this case, it is preferable that the irradiation of the light with which the one substrate is irradiated or the irradiation of the light with which the other substrate is irradiated is performed intermittently. Further, it is preferable that the stage includes a cooling mechanism, and the sealing member is irradiated with the light while the stage cools the stage. Further, it is preferable to irradiate the sealing material with light while blowing cooling air onto the other substrate. Further, it is preferable that the other substrate is smaller than the one substrate, and a plurality of the other substrates are attached to the one substrate.

【0024】さらに上記課題を解決するため本発明が講
じた手段は、光硬化性のシール材を介して配置された一
対の基板のうち一方の基板をステージに載置して、他方
の基板と貼着する液晶表示装置の製造装置であって、前
記シール材を硬化させるための光を照射する複数の光源
と、前記一方の基板を載置する第1のステージ及び透光
性を有する第2のステージと、を具備し、前記複数の光
源は、前記第1のステージに対して前記一方の基板を載
置する側と、前記第2のステージに対して前記一方の基
板を載置する側とは反対側とに設けられてなり、前記第
1のステージに前記一対の基板を載置して前記シール材
に前記光を照射した後に、前記第2のステージに前記一
対の基板を載置し、前記ステージを介して前記シール材
に前記光を照射することを特徴とする。なおこの場合に
おいて、前記第1および第2のステージの少なくとも一
つは、冷却機構を備えてなることが好ましい。また、前
記冷却機構は、冷却水をステージの内部に流通させて前
記ステージを冷却するものであることが好ましい。ま
た、前記一対の基板に冷却エアを吹き付ける冷却ノズル
をさらに備えることが好ましい。
Further, in order to solve the above-mentioned problems, the means taken by the present invention is that one of a pair of substrates arranged via a photo-curable sealing material is placed on a stage and the other substrate is A manufacturing apparatus of a liquid crystal display device to be stuck, comprising: a plurality of light sources for irradiating light for curing the sealing material; a first stage on which the one substrate is mounted; And a side on which the one substrate is placed on the first stage and a side on which the one substrate is placed on the second stage. Is provided on the opposite side of the first stage, the pair of substrates is placed on the first stage, the sealing material is irradiated with the light, and then the pair of substrates is placed on the second stage. And irradiate the sealing material with the light through the stage. It is characterized in. In this case, at least one of the first and second stages preferably comprises a cooling mechanism. Further, it is preferable that the cooling mechanism allows cooling water to flow inside the stage to cool the stage. Further, it is preferable to further include a cooling nozzle for blowing cooling air to the pair of substrates.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
に係る実施形態について説明する。図1は本発明に係る
液晶表示装置の製造装置(基板貼り合わせ装置)の実施
形態の概略構造を示すものである。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows a schematic structure of an embodiment of a liquid crystal display device manufacturing apparatus (substrate bonding apparatus) according to the present invention.

【0026】この実施形態においては、XYテーブル1
0の上面に緩衝材11が載置され、この緩衝材11の表
面上にガラス等からなる大判基板31が配置されてい
る。大判基板31の表面上には、予めディスペンサ等に
よって紫外線硬化性樹脂からなるシール材32が液晶封
入領域を取り囲むようにして塗布されている。このシー
ル材には図示しないスペーサが混入されている。シール
材32の上には、後述する圧着ヘッド20によってガラ
ス等からなる小型基板33が圧着され、その後、シール
材32は半硬化状態にされる。
In this embodiment, the XY table 1
A cushioning material 11 is placed on the upper surface of 0, and a large-sized substrate 31 made of glass or the like is arranged on the surface of the cushioning material 11. On the surface of the large-sized substrate 31, a sealing material 32 made of an ultraviolet curable resin is applied in advance by a dispenser or the like so as to surround the liquid crystal enclosed area. A spacer (not shown) is mixed in this sealing material. A small substrate 33 made of glass or the like is pressure-bonded onto the sealing material 32 by a pressure bonding head 20 described later, and then the sealing material 32 is semi-cured.

【0027】圧着ヘッド20は、図示しない昇降機構及
び油圧、空気圧等を利用した加圧機構によって昇降可能
に、かつ、上記大判基板31と小型基板33との間に制
御された圧力を印加することができるように構成されて
いる。また、この圧着ヘッド20には、自身を垂直軸を
中心に回転可能に構成するためのθ位置合わせ機構が設
けられ、このθ位置合わせ機構と、上記XYテーブル1
0のX方向及びY方向の調整機構とによって、後述する
アライメントを行うように構成されている。
The crimping head 20 can be moved up and down by an elevating mechanism (not shown) and a pressurizing mechanism utilizing hydraulic pressure, pneumatic pressure, etc., and a controlled pressure is applied between the large-sized substrate 31 and the small substrate 33. It is configured to be able to. Further, the pressure bonding head 20 is provided with a θ position adjusting mechanism for making itself rotatable about a vertical axis. The θ position adjusting mechanism and the XY table 1 are provided.
The alignment mechanism described below is configured to be performed by an X-direction adjusting mechanism and a Y-direction adjusting mechanism of 0.

【0028】圧着ヘッド20は、ガラス等の透光性材料
からなる圧着ベース21と、この圧着ベース21に対し
てパッキング23を介して重ねられたガラス等の透光性
材料からなる透光性板24と、透光性板24の上方に配
置された複数個のアライメント用カメラ25と、透光性
板24の上方から紫外線を照射するために紫外線ランプ
から発せられる光を光ファイバ26aによって導光して
照射するように構成された光照射部26とから概略構成
される。
The pressure bonding head 20 is composed of a pressure bonding base 21 made of a light transmitting material such as glass, and a light transmitting plate made of a light transmitting material such as glass laminated on the pressure bonding base 21 with a packing 23. 24, a plurality of alignment cameras 25 arranged above the translucent plate 24, and light emitted from an ultraviolet lamp for irradiating ultraviolet rays from above the translucent plate 24 is guided by an optical fiber 26a. And a light irradiation unit 26 configured to irradiate the light.

【0029】圧着ベース21の底面には、1.3インチ
の矩形の小型基板33とほぼ同面積の押圧面部21aが
形成されている。この押圧面部21aには、小型基板3
3のシール材に対する接触領域の上面に当接するように
圧着ベース21の底面部の外縁に形成された枠状部と、
その内側に形成された吸気用凹部とが設けられている。
この吸気用凹部は、圧着ベース21のほぼ中央部に縦に
貫通するように形成された吸気孔21bに連通してい
る。圧着ベース21の押圧面部21aの周囲部は遮光板
22によって覆われており、後述するシール材の半硬化
時に、周囲の他の小型基板33に対応する別のシール材
を硬化してしまうことを防止している。
On the bottom surface of the pressure-bonding base 21, a pressing surface portion 21a having substantially the same area as the 1.3-inch rectangular small substrate 33 is formed. The small substrate 3 is attached to the pressing surface portion 21a.
A frame-shaped portion formed on the outer edge of the bottom surface of the pressure-bonding base 21 so as to abut the upper surface of the contact area for the sealing material of No. 3,
An intake recess formed inside is provided.
The intake recess is in communication with an intake hole 21b that is formed so as to extend vertically through substantially the center of the pressure-bonding base 21. The peripheral portion of the pressing surface portion 21a of the pressure-bonding base 21 is covered with the light shielding plate 22, and when the sealing material described later is semi-cured, another sealing material corresponding to the other small substrate 33 in the periphery is hardened. To prevent.

【0030】吸気孔21bの上部開口は透光性板24と
の間に設けられた間隙部に開口しており、この間隙部
は、透光性板24に設けられた吸気孔24aに連通して
いる。吸気孔24aは、押圧面部21aの平面位置より
外側にずれた位置に形成されており、図示しない排気装
置に接続された排気管27に接続されている。上記吸気
孔21b、間隙部及び吸気孔24aは、押圧面部21a
の平面位置内から外側に外れるように形成された吸気通
路を構成している。
The upper opening of the air intake hole 21b is opened in a gap portion provided between the light transmission plate 24 and the air passage hole, and this air gap portion communicates with the air intake hole 24a provided in the light transmission plate 24. ing. The intake hole 24a is formed at a position outside the plane position of the pressing surface portion 21a, and is connected to an exhaust pipe 27 connected to an exhaust device (not shown). The air intake hole 21b, the gap and the air intake hole 24a are formed by the pressing surface portion 21a.
The intake passage is formed so as to deviate from the inside of the plane position to the outside.

【0031】図示しない排気装置の排気弁を開くと、上
記吸気孔21b、間隙部及び吸気孔24aからなる吸気
通路によって、吸気用凹部から空気が排気されるように
なっている。このため、上記圧着ベース21の押圧面部
21aに小型基板33を吸着させることができる。
When an exhaust valve of an exhaust device (not shown) is opened, air is exhausted from the intake recess by the intake passage formed by the intake hole 21b, the gap and the intake hole 24a. Therefore, the small substrate 33 can be adsorbed to the pressing surface portion 21a of the pressure-bonding base 21.

【0032】次に、上記構造の装置の動作について説明
する。まず、図示しない給材位置において小型基板33
を押圧面部21aに吸着保持させ、その後、圧着ヘッド
20を大判基板31上に移動させ、予め塗布されたシー
ル材32の位置に合わせて下降させる。次に、小型基板
33の外縁部をシール材32に接触させるように圧着ヘ
ッド20を降下させ、小型基板33を大判基板31に対
して圧着させる。
Next, the operation of the apparatus having the above structure will be described. First, the small board 33 is provided at a material supply position not shown.
Is sucked and held by the pressing surface portion 21a, and then the pressure bonding head 20 is moved onto the large-sized substrate 31 and lowered in accordance with the position of the seal material 32 applied in advance. Next, the pressure bonding head 20 is lowered so that the outer edge portion of the small substrate 33 contacts the sealing material 32, and the small substrate 33 is pressure bonded to the large substrate 31.

【0033】圧着ヘッド20の位置が安定したら、アラ
イメント用カメラ25によって、小型基板33と大判基
板31との図示しないアライメント用マークを合わせる
ようにXYテーブルの位置を修正し、さらに圧着ヘッド
20のθ位置合わせ機構により圧着ベース21の回転方
向を修正することにより、大判基板31に対して小型基
板33が正規の位置にて圧着されるようにアライメント
を行う。
When the position of the pressure bonding head 20 is stabilized, the position of the XY table is corrected by the alignment camera 25 so that the alignment marks (not shown) of the small substrate 33 and the large-sized substrate 31 are aligned, and the θ of the pressure bonding head 20 is adjusted. By correcting the rotation direction of the pressure bonding base 21 by the positioning mechanism, alignment is performed so that the small-sized substrate 33 is pressure-bonded to the large-sized substrate 31 at the regular position.

【0034】次に、光照射部26から紫外線を照射して
シール材を半硬化させる。このシール材の硬化度合い
は、後述するように、形成される液晶セルにおけるガラ
ス基板、特に小型基板33の反りや凹みの度合いに応じ
て設定される。シール材の半硬化が終了すると、図示し
ない排気装置の排気弁を閉じ、圧着ヘッド20を上昇さ
せることにより、小型基板33から押圧面部21aを離
反させる。このようにして、上記の装置は、大判基板3
1上の予め定められた位置に複数の小型基板33を順次
圧着していくように構成されている。
Next, the sealing material is semi-cured by irradiating it with ultraviolet rays from the light irradiating section 26. The degree of curing of the sealing material is set according to the degree of warpage or dent of the glass substrate, particularly the small substrate 33, in the liquid crystal cell to be formed, as described later. When the semi-curing of the sealing material is completed, the exhaust valve of the exhaust device (not shown) is closed and the pressure bonding head 20 is lifted to separate the pressing surface portion 21a from the small substrate 33. In this way, the above-mentioned device is used for the large-sized substrate 3
It is configured such that a plurality of small substrates 33 are sequentially crimped to a predetermined position on 1.

【0035】上記圧着ヘッド20の加圧状態を図2に示
す。圧着ヘッド20が降下して小型基板33を大判基板
31に圧着させると、圧着ヘッド20はまず、加圧力を
4kg程度にした状態で保持し、その間に、小型基板3
3を大判基板31に対して概略の位置修正を行う位置合
わせのためのステップを実行する。例えば、このステ
ップにおいては、上記のアライメント用カメラ25を
用いて、或いは他の位置センサ等を用いて、小型基板3
3を大判基板31上の正規位置に対する位置ずれが5μ
m以内になるように修正する。このステップの処理時
間は約1秒である。
The pressurization state of the pressure bonding head 20 is shown in FIG. When the crimping head 20 descends and crimps the small substrate 33 to the large-sized substrate 31, the crimping head 20 first holds the pressurizing force at about 4 kg, during which the small substrate 3 is held.
Step 3 for position adjustment for roughly correcting the position of the large-sized board 31 is executed. For example, in this step, the small substrate 3 is used by using the alignment camera 25 described above, or by using another position sensor or the like.
3 is 5μ misalignment from the regular position on the large-sized board 31
Modify so that it is within m. The processing time of this step is about 1 second.

【0036】次に、圧着ヘッド20の加圧力を高めて加
圧力を8kg程度とし、その後、一定に保持する。この
状態では、アライメントのためのステップを実行す
る。このステップにおいては、上記アライメント用カ
メラ25を用いて小型基板33の平面位置を大判基板3
1に対して1μm以内の誤差に収まるように修正する。
このステップの処理時間は約6秒である。
Next, the pressure of the pressure bonding head 20 is increased to about 8 kg, and thereafter, the pressure is kept constant. In this state, the steps for alignment are executed. In this step, the plane position of the small board 33 is determined by using the alignment camera 25 and the large board 3 is used.
Correct so that the error is within 1 μm with respect to 1.
The processing time of this step is about 6 seconds.

【0037】続いて、圧着ヘッド20の加圧力をそのま
ま保持し、シール材32の半硬化のためのステップを
実行する。このステップにおいては、上記光照射部2
6から紫外線を照射し、シール材を完全に硬化させない
範囲で、予め決められた程度に硬化させる。このステッ
プの処理時間は約7秒である。
Subsequently, the pressure applied by the pressure bonding head 20 is maintained as it is, and a step for semi-curing the sealing material 32 is executed. In this step, the light irradiation unit 2
Ultraviolet rays are irradiated from 6 to cure the sealing material to a predetermined degree within the range where the sealing material is not completely cured. The processing time of this step is about 7 seconds.

【0038】本実施形態では、ステップにおいて小さ
な加圧力で基板を圧着させた状態で粗い位置修正を行
い、次に、ステップにおいて最終的な加圧力とした状
態で精度の高い位置修正を実施し、その後、ステップ
において、加圧状態を変化させないまま光を照射してシ
ール材の半硬化を行っている。
In the present embodiment, rough position correction is performed in a state where the substrate is pressure-bonded with a small pressure force in the step, and then highly accurate position correction is performed in a state where the final pressure force is applied in the step, Then, in step, the sealing material is semi-cured by irradiating light without changing the pressure.

【0039】ステップにおいては、低い加圧力である
ために位置修正が容易であり、大きな修正もシール材に
大きな変形をもたらすことなく、また、大きな応力を加
えることなく容易に行うことができる。また、ステップ
においては、最終的な加圧力又はそれに近い加圧力で
アライメントを行うため、アライメント後においても基
板間の圧着状態に変化がほとんど発生せず、最終的に圧
着の完了した液晶セルの組みずれ(2枚の基板間の平面
方向のずれ)の発生を防止することができる。
In the step, the position can be easily corrected because the applied pressure is low, and the large correction can be easily performed without causing a large deformation of the sealing material and without applying a large stress. In addition, in the step, since alignment is performed with a final pressing force or a pressing force close to the final pressing force, there is almost no change in the pressure bonding state between the substrates even after the alignment, and the liquid crystal cell assembly after the pressure bonding is finally completed. It is possible to prevent the occurrence of displacement (displacement in the plane direction between the two substrates).

【0040】また、ステップからステップにかけて
加圧力をほとんど変化させないようにしているため、ス
テップにおいて行ったアライメント精度を維持しつつ
シール材の硬化を行うことができる。ここで、例えば、
図2において破線で示すように、ステップの圧力が大
きく、ステップにおいて圧力を低下させると、シール
部において基板の浮きが発生し、シール不良やセル厚の
ばらつき、基板の組みずれ等が発生する。逆に、図2に
おいて点線で示すように、ステップの加圧力よりもス
テップの加圧力を高めると、ステップにおいて折角
アライメントをしても、その後に加圧力を高めることに
よってステップにおいて再び組みずれが発生してしま
うという欠点がある。
Further, since the pressing force is hardly changed from step to step, the sealing material can be hardened while maintaining the alignment accuracy performed in the step. Where, for example,
As indicated by the broken line in FIG. 2, when the pressure in the step is large and the pressure is lowered in the step, the substrate floats in the seal portion, resulting in defective sealing, variations in cell thickness, misalignment of the substrate, and the like. On the contrary, as shown by the dotted line in FIG. 2, when the step pressing force is increased more than the step pressing force, even if the bending angle alignment is performed in the step, the pressing force is increased after that, and the misalignment occurs again in the step. There is a drawback that it does.

【0041】本実施形態では、圧着ベース21によって
小型基板33が押圧されることによって、小型基板33
は下方向に凸状に変形し(凹み)、また、大型基板31
も緩衝材11の変形により下方向に凸状に変形する。圧
着ヘッド20の印加する圧力が或る程度大きいと、小型
基板33の変形量よりも大型基板31の変形量の方がよ
り大きくなるため、図3(a)の左側に示すように、圧
着ヘッド20による加圧時において、液晶セルの中央部
においてセルギャップが大きくなる。この状態で加圧力
が解放されると、シール材が不完全に硬化されているこ
とにより基板の変形に対する或る程度の束縛力が存在す
ることと、加圧力によって基板が強制的に変形させられ
ていることによって基板の復元力が存在することとによ
って、図3(a)の右側に示すように、基板の反りが低
減されてほぼ平坦な状態になり、液晶セルのセルギャッ
プも均一化される。
In the present embodiment, the compact substrate 33 is pressed by the crimping base 21, so that the compact substrate 33 is pressed.
Deforms downward (concave), and the large substrate 31
Also, due to the deformation of the cushioning material 11, the cushioning material 11 is deformed in a downward convex shape. When the pressure applied by the pressure bonding head 20 is large to some extent, the deformation amount of the large substrate 31 becomes larger than the deformation amount of the small substrate 33. Therefore, as shown on the left side of FIG. When pressure is applied by 20, the cell gap becomes large in the central portion of the liquid crystal cell. When the pressing force is released in this state, the sealing material is incompletely hardened, so that there is a certain binding force against the deformation of the substrate, and the pressing force causes the substrate to be deformed. By virtue of the presence of the restoring force of the substrate, the warp of the substrate is reduced to a substantially flat state as shown on the right side of FIG. 3A, and the cell gap of the liquid crystal cell is made uniform. It

【0042】しかしながら、図3(b)の左側に示すよ
うに、加圧力が大きすぎて大型基板31の反り量が大き
くなると、図3(b)の右側に示すように、シール材の
硬化後加圧力が解放されても基板の反りが残存する場合
がある。また、このような基板の反りの残存は、シール
材が硬化しすぎてしまった場合には特に、シール材の束
縛力によって加圧状態の基板の変形が解消されにくくな
ることから同様に発生する。
However, as shown on the left side of FIG. 3B, when the applied pressure is too large and the warp amount of the large substrate 31 becomes large, as shown on the right side of FIG. 3B, after the sealing material is cured. Even if the pressing force is released, the warp of the substrate may remain. In addition, such residual warpage of the substrate also occurs when the sealing material is excessively hardened, because the binding force of the sealing material makes it difficult to eliminate the deformation of the substrate under pressure. .

【0043】本実施形態とは異なり、小型基板同士を圧
着させる場合、或いは、大型基板上において複数の小型
基板を大きくかつ平坦な一体の加圧面部によって押圧す
る場合には、本実施形態とは異なる様相を呈する。すな
わち、圧着時の加圧力によって上側の基板は下方向に凸
状に変形する一方、小型基板同士を圧着させる場合には
下側の基板を変形させる力はほとんど発生せず、また、
複数の小型基板を一体的に大型基板上で加圧する場合に
は下側の基板を変形させる力は弱いため、いずれにして
も下側の基板の変形量は少なく、図3(c)の左側に示
すように、液晶セルの中央部のセルギャップは周囲より
も小さくなる。この状態で加圧力を解放すると、図3
(c)の右側に示すように、上側の基板は解放時に凹み
状態から反り状態に向かって変形することになる。
Unlike the present embodiment, when the small substrates are pressure-bonded to each other, or when the plurality of small substrates are pressed on the large substrate by a large and flat integral pressing surface portion, this embodiment is different from the present embodiment. Take a different look. That is, the upper substrate is deformed in a downward convex shape by the pressure applied during the crimping, while a force of deforming the lower substrate is hardly generated when the small substrates are crimped, and
When a plurality of small substrates are integrally pressed on a large substrate, since the force of deforming the lower substrate is weak, the amount of deformation of the lower substrate is small in any case, and the left side of FIG. As shown in, the cell gap at the center of the liquid crystal cell is smaller than that at the periphery. When the pressure is released in this state,
As shown on the right side of (c), the upper substrate is deformed from the recessed state to the warped state when released.

【0044】圧着ヘッド20の加圧力が小さい場合に
は、図3(d)の左側に示すように、基板はほぼ平坦で
あり、セルギャップも均一になっているが、加圧力を解
放すると、基板に本来備わっていた歪み等に起因して、
図3(d)の右側に示すように基板がやや反った形状と
なったり、或いは逆に凹んだ状態となったりする。
When the pressing force of the pressure bonding head 20 is small, the substrate is almost flat and the cell gap is uniform as shown on the left side of FIG. 3D, but when the pressing force is released, Due to the inherent distortion of the board,
As shown on the right side of FIG. 3D, the substrate may have a slightly warped shape or, on the contrary, may have a concave shape.

【0045】逆に、圧着ヘッド20の加圧力がかなり大
きくなると、図3(e)の左側に示すように基板は大き
く凹んだ状態となり、この状態で、シール材32の硬化
を進め過ぎてしまうと、圧力を解放しても、図3(e)
の右側に示すように、凹んだ状態のままとなる。
On the contrary, when the pressure applied by the pressure bonding head 20 becomes considerably large, the substrate becomes largely recessed as shown on the left side of FIG. 3 (e), and in this state, the sealing material 32 is excessively hardened. Even if the pressure is released,
It will remain recessed as shown on the right side of.

【0046】上記のように、本実施形態では、シール材
を半硬化させることによって、加圧力を解放した際の基
板変形の復元作用が発生するため、加圧時に基板が多少
反っていても、液晶セルの歪みを低減することができ
る。したがって、液晶セルの変形を気にすることなく、
圧着時には所望のセルギャップを確実に得るために或る
程度しっかりと加圧することが可能になり、基板の圧着
不良も低減できる。
As described above, in this embodiment, the semi-curing of the sealing material causes a restoring action of the deformation of the substrate when the applied pressure is released. Therefore, even if the substrate is slightly warped during pressurization, The distortion of the liquid crystal cell can be reduced. Therefore, without worrying about the deformation of the liquid crystal cell,
At the time of pressure bonding, it is possible to apply a certain amount of pressure to surely obtain a desired cell gap, and it is possible to reduce the pressure bonding failure of the substrate.

【0047】上記の加圧力の解放時における復元量は、
シール材の硬化度合いによって変わる。本実施形態にお
ける液晶セルの反り量と光照射時間との関係を図4に示
す。本実施形態においては、シール材への光照射時間が
短すぎると、シール材による基板の束縛力が小さすぎ
て、小型基板33の本来の歪みに起因して基板の反り量
(若しくは凹み量)のばらつきが多くなる。一方、シー
ル材への光照射時間が長すぎると、シール材が硬化しす
ぎて束縛力が大きくなり、加圧時の基板の反り状態が維
持されてしまい、液晶セルは大きな反りを呈することと
なる。
The amount of restoration when the above-mentioned pressing force is released is
It changes depending on the degree of curing of the sealing material. FIG. 4 shows the relationship between the warp amount of the liquid crystal cell and the light irradiation time in this embodiment. In the present embodiment, if the light irradiation time to the sealing material is too short, the binding force of the substrate by the sealing material is too small and the warp amount (or the dent amount) of the substrate due to the original strain of the small substrate 33. There are many variations. On the other hand, if the light irradiation time to the sealing material is too long, the sealing material is excessively hardened and the binding force becomes large, and the warped state of the substrate at the time of pressurization is maintained, and the liquid crystal cell exhibits a large warp. Become.

【0048】図4に示す領域Aにおいては、基板の反り
量が小さく、しかも、反り量のばらつきも少なく、安定
した液晶セルの断面形状が得られる。この場合、領域A
においては基板にわずかな反りが存在し、形成された液
晶セルは、その中央部においてややセルギャップが大き
くなっている。しかし、液晶表示体を形成するに際し
て、空セルの状態で基板に僅かな反りが存在する方が、
完全に基板がフラットである場合よりもより好ましい。
これは、後の液晶注入工程においては、液晶セル内を減
圧して内外の圧力差によって液晶を注入するようにして
いるため、基板に僅かな反りがあった方が液晶の注入が
円滑に行われ、しかも液晶注入後にほぼ平坦な液晶セル
が形成される傾向があるからである。
In the area A shown in FIG. 4, the amount of warpage of the substrate is small, the variation in the amount of warpage is small, and a stable cross-sectional shape of the liquid crystal cell can be obtained. In this case, area A
In Fig. 3, there is a slight warp in the substrate, and the formed liquid crystal cell has a slightly large cell gap in the central portion. However, when forming a liquid crystal display, it is better that the substrate has a slight warp in an empty cell state.
It is more preferable than the case where the substrate is completely flat.
This is because in the subsequent liquid crystal injection process, the liquid crystal cell is depressurized and the liquid crystal is injected by the pressure difference between the inside and the outside. Therefore, a slight warpage of the substrate allows the liquid crystal to be injected smoothly. This is because a flat liquid crystal cell tends to be formed after the liquid crystal is injected.

【0049】図5には、小型基板同士を圧着させる場合
や大型基板上に複数の小型基板を大きくかつ平坦な一体
の加圧面部によって押圧したりする場合における液晶セ
ルの反り量とシール材への光照射時間との関係を示す。
ここで、横軸よりも上の領域は基板に反りがある場合、
横軸よりも下の領域は基板に凹みがある場合を示す。
FIG. 5 shows the amount of warpage of the liquid crystal cell and the sealing material when the small substrates are pressure-bonded to each other or when a plurality of small substrates are pressed on the large substrate by a large and flat integral pressing surface portion. The relationship with the light irradiation time is shown.
Here, if the area above the horizontal axis is warped on the substrate,
The region below the horizontal axis shows the case where the substrate has a depression.

【0050】この場合には、液晶セルの反り量は、シー
ル材への光照射時間を長くすることによってほぼ直線的
に減少していき、やがて、形成された液晶セルは中央部
が凹んだ断面形状を呈するようになる。この場合にも、
図5の領域Bとして示すように、光照射時間を調節し
て、液晶セルの反り量が小さい状態となるようにシール
材の硬化度を設定することが好ましい。なお、図5にお
ける点線は、圧着ヘッドの加圧力を高めた場合の反り量
を示すものである。
In this case, the amount of warpage of the liquid crystal cell decreases almost linearly by increasing the light irradiation time to the sealing material, and eventually the formed liquid crystal cell has a cross section with a concave central portion. It takes on a shape. Also in this case,
As shown as a region B in FIG. 5, it is preferable to adjust the light irradiation time and set the curing degree of the sealing material so that the warp amount of the liquid crystal cell is small. The dotted line in FIG. 5 shows the amount of warpage when the pressure of the pressure bonding head is increased.

【0051】上記のようにして仮硬化された液晶セル
を、圧力を加えない自由な状態で本硬化させる。この本
硬化工程は、図6に示す第1段階と、図7に示す第2段
階とに分けて実施される。この工程においては、シール
材を完全に硬化させることによって、上記の仮硬化工程
においてほぼ理想的な状態に形成された液晶セルの形状
を外力に耐え得るように変形し難くする。また、後述す
るように、当該工程において冷却機構を備えた装置によ
って処理を施すことにより、基板の過熱を抑制し、シー
ル材の硬化時に発生する基板の位置ズレを防止すること
ができる。
The liquid crystal cell temporarily hardened as described above is main hardened in a free state where no pressure is applied. This main curing step is performed by being divided into a first stage shown in FIG. 6 and a second stage shown in FIG. In this step, by completely curing the sealing material, the shape of the liquid crystal cell formed in the substantially ideal state in the above-mentioned temporary curing step is made difficult to deform so as to withstand external force. Further, as will be described later, it is possible to suppress overheating of the substrate and prevent positional deviation of the substrate that occurs when the sealing material is cured, by performing processing with an apparatus having a cooling mechanism in the process.

【0052】第1段階においては、図6に示すように、
大判基板31上に複数の小型基板33がシール材32を
介して接着された状態の液晶セルを、冷却ステージ40
の表面上に載置し、上方から紫外線ランプ41によって
紫外線を照射する。冷却ステージ40は熱伝導性の高い
表面素材が用いられ、その内部には、冷却水が循環して
常時ステージ面を冷却している。液晶セルの斜め上方か
らは、エアノズル42から冷却エアが液晶セルの設置面
に沿って吹き付けられる。これらの硬化装置全体はフー
ドや装置のケーシングによって密閉されており、図示し
ない排気ダクトが取り付けられている。
In the first stage, as shown in FIG.
A liquid crystal cell in which a plurality of small substrates 33 are adhered to a large-sized substrate 31 via a sealing material 32 is used as a cooling stage 40.
It is placed on the surface of and is irradiated with ultraviolet rays from above by the ultraviolet lamp 41. The cooling stage 40 is made of a surface material having high thermal conductivity, and cooling water circulates inside the cooling stage 40 to constantly cool the stage surface. From the obliquely upper side of the liquid crystal cell, cooling air is blown from the air nozzle 42 along the installation surface of the liquid crystal cell. The entire curing device is sealed by a hood and a casing of the device, and an exhaust duct (not shown) is attached.

【0053】この第1段階は、液晶セルの大判基板31
上の電極パッド上に塗布された光硬化性の導電性樹脂
(光硬化樹脂に導電性粒子を混練したもの等)を硬化さ
せるためには導電性樹脂が電極パッドの影にならないよ
うに小型基板33側から光を照射する必要があることか
ら主として設けられたものである。ただし、この第1段
階において、シール材32の硬化も同時に進むようにな
っている。
The first stage is the large-sized substrate 31 of the liquid crystal cell.
In order to cure the photo-curable conductive resin (such as photo-curable resin mixed with conductive particles) applied on the upper electrode pad, a small substrate is used so that the conductive resin does not shade the electrode pad. It is provided mainly because it is necessary to irradiate light from the 33 side. However, in this first stage, the curing of the sealing material 32 also proceeds at the same time.

【0054】第2段階においては、図7に示すように、
透光性を有する冷却ステージ50の上に液晶セルを載置
し、冷却ステージ50の裏面側に紫外線ランプ55を配
置して光を照射するようになっている。冷却ステージ5
0は、2枚のガラス等からなる透光性板51,52をパ
ッキング53を介して固定し、透光性板51と52との
間に冷却水を流通させることによって、冷却性能を確保
しつつ、透光性を備えたものとされている。なお、エア
ノズル54は上記と同様に冷却エアを小型基板33上に
吹き付けるものであり、また、上記と同様に本装置も周
囲から密閉されているとともに、排気ダクトを備えてい
る。
In the second stage, as shown in FIG.
A liquid crystal cell is placed on a cooling stage 50 having translucency, and an ultraviolet lamp 55 is arranged on the back surface side of the cooling stage 50 to irradiate light. Cooling stage 5
No. 0 secures the cooling performance by fixing the translucent plates 51 and 52 made of two pieces of glass or the like via the packing 53 and circulating the cooling water between the translucent plates 51 and 52. At the same time, it is said to have translucency. The air nozzle 54 blows cooling air onto the small substrate 33 as in the above, and, similarly to the above, this apparatus is also sealed from the surroundings and is provided with an exhaust duct.

【0055】この第2段階においては、液晶セルの大判
基板31側から光を照射しているとともに、主として光
の照射側を冷却しているので、第1段階よりも冷却効率
が良好となり、液晶セルを過熱させることなくシール材
32を硬化させることができる。
In the second step, light is irradiated from the large-sized substrate 31 side of the liquid crystal cell and the light irradiation side is mainly cooled, so that the cooling efficiency is better than in the first step and the liquid crystal is The sealing material 32 can be cured without overheating the cells.

【0056】上記のように、硬化工程を第1段階と第2
段階とに分け、液晶セルの表裏両面から光を照射するこ
とによって、シール材32への光照射効率を向上させる
ことができ、シール材32を短時間に均一に硬化させる
ことができる。また、このようにすると効率的にシール
材の光硬化を行うことができることから、液晶セルの過
熱を防止することもできる。
As described above, the curing process includes the first step and the second step.
By irradiating light from both the front and back sides of the liquid crystal cell, the efficiency of light irradiation to the sealing material 32 can be improved and the sealing material 32 can be uniformly cured in a short time. Further, in this way, the sealing material can be efficiently photocured, so that the liquid crystal cell can be prevented from being overheated.

【0057】上記の本硬化工程においては、上述のよう
に冷却を行うとともに、さらに、紫外線ランプ41,5
5からの光照射を断続的に行うことにより、液晶セルの
過熱を防止している。本実施形態においては、図8に点
線で示すように100秒周期で光照射を断続している。
その結果、液晶セルの温度は図8に実線で示すように周
期的に昇降し、長時間照射し続けても、従来のように温
度がいたずらに上昇することがない。このため、光照射
量を多くしても液晶セルの過熱を防止することができ
る。
In the above-mentioned main curing step, cooling is performed as described above, and the ultraviolet lamps 41, 5 are further added.
By intermittently irradiating light from 5, the liquid crystal cell is prevented from overheating. In this embodiment, as shown by the dotted line in FIG. 8, the light irradiation is intermittently performed at a cycle of 100 seconds.
As a result, the temperature of the liquid crystal cell periodically rises and falls as shown by the solid line in FIG. 8, and even if irradiation is continued for a long time, the temperature does not rise unnecessarily unlike the conventional case. Therefore, overheating of the liquid crystal cell can be prevented even if the light irradiation amount is increased.

【0058】光照射の断続周期は、液晶セルの放熱性に
応じて適宜設定される。断続周期と光照射強度とを最適
化することによって、液晶セルを過熱させることなく迅
速に硬化を完了させることができる。この光照射は、必
ずしも断続させる必要はなく、光照射強度を増減するこ
とによっても同様の効果を得ることができる。
The intermittent period of light irradiation is appropriately set according to the heat dissipation of the liquid crystal cell. By optimizing the intermittent cycle and the light irradiation intensity, curing can be completed quickly without overheating the liquid crystal cell. This light irradiation does not necessarily have to be intermittent, and the same effect can be obtained by increasing or decreasing the light irradiation intensity.

【0059】上記実施形態の製造方法においては、大判
基板に対して複数の小型基板を圧着させるように設定さ
れた製造工程に適用させているが、本発明は、このよう
な製造工程への適用に限定されるものではなく、複数個
の液晶表示体を包含する大判基板同士を圧着する製造工
程や、単一の液晶表示体を構成するための小型基板同士
を圧着する製造工程にも適用でき、さらに、小型基板を
一つずつ圧着させる場合に限らず、例えば、図3(c)
〜(e)及び図5にて説明したように、一度に複数の小
型基板を圧着させたり、平坦な押圧面部を備えた圧着ヘ
ッドにて圧着させたりするように構成された製造工程に
対しても適用することができるものである。
In the manufacturing method of the above-mentioned embodiment, the present invention is applied to a manufacturing process set so that a plurality of small-sized substrates are pressure-bonded to a large-sized substrate, but the present invention is applied to such a manufacturing process. The present invention is not limited to the above, but can be applied to a manufacturing process in which large-sized substrates including a plurality of liquid crystal display bodies are pressure-bonded to each other, or a small-sized substrate for forming a single liquid crystal display body is pressure-bonded to each other. Further, not only when the small substrates are pressure-bonded one by one, but as shown in FIG.
As described with reference to (e) and FIG. 5, for a manufacturing process configured to crimp a plurality of small substrates at one time or crimp with a crimp head having a flat pressing surface portion. Can also be applied.

【0060】本実施形態において採用した方法は、シー
ル材に対して、基板の復元を或る程度許容しつつ、完全
な復元を妨げるような或る程度の拘束力を持たせること
によって、圧着ヘッドによる加圧によって変形された基
板を圧力解放時に或る程度復元させ、その復元状態にお
いてなるべく平坦なセル形状を形成してしまうというも
のであり、このような方法によってより理想的なセル形
状を再現性良く得ることができる。
The method adopted in the present embodiment is such that the sealing material is allowed a certain degree of restoration of the substrate, while having a certain degree of restraining force that prevents the restoration of the substrate. The substrate deformed by the pressurization is restored to a certain extent when the pressure is released, and a cell shape that is as flat as possible is formed in the restored state, and a more ideal cell shape is reproduced by such a method. You can get good quality.

【0061】[0061]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば以下
の効果を奏する。
As described above, the present invention has the following effects.

【0062】仮硬化工程において2枚の基板を所定の圧
力で圧着した状態でシール材を半硬化させ、その後に、
本硬化工程において圧力を解放した状態でシール材を硬
化させることにより、仮硬化工程において圧着時の圧力
によって変形された基板は、仮硬化工程が終了し圧力が
解放された時点で、半硬化されたシール材の適度な束縛
力及び基板の復元力によって基板形状が適度に復元さ
れ、基板の変形が修正されるため、その後の本硬化工程
によって圧力を加えずにシール材を硬化させることによ
って、形成された液晶セルにおける基板の平坦性やセル
ギャップの均一性を確保することができる。
In the temporary curing step, the sealing material is semi-cured in a state where the two substrates are pressure-bonded at a predetermined pressure, and thereafter,
By curing the sealing material with the pressure released in the main curing step, the substrate deformed by the pressure during pressure bonding in the temporary curing step is semi-cured at the time when the temporary curing step is completed and the pressure is released. Since the substrate shape is appropriately restored by the proper binding force of the sealing material and the restoring force of the substrate, and the deformation of the substrate is corrected, by curing the sealing material without applying pressure in the subsequent main curing step, The flatness of the substrate and the uniformity of the cell gap in the formed liquid crystal cell can be ensured.

【0063】仮硬化工程において付与する圧力に対して
シール材の硬化度を調節することによって、仮硬化工程
終了後の液晶セルにおける基板の平坦性やセルギャップ
の均一性を制御することができる。シール材の硬化度が
低いとシール材の束縛力が弱くなるために基板の復元力
が勝り、基板の平坦性を制御することが困難になる。一
方、シール材の硬化度が高くなるとシール材の束縛力が
強くなり、圧着状態における基板形状を強く反映するよ
うになるので、圧着時に基板が変形している場合にはそ
の変形が残り、また、圧着時に基板をなるべく変形させ
ないようにすると基板の本来の歪みが反映されたり、基
板のシール不良が発生したりする可能性が高くなる。
By adjusting the degree of curing of the sealing material with respect to the pressure applied in the temporary curing step, the flatness of the substrate and the uniformity of the cell gap in the liquid crystal cell after the temporary curing step can be controlled. When the degree of curing of the sealing material is low, the binding force of the sealing material is weakened, the restoring force of the substrate is increased, and it becomes difficult to control the flatness of the substrate. On the other hand, as the curing degree of the sealing material becomes higher, the binding force of the sealing material becomes stronger and strongly reflects the shape of the substrate in the pressure-bonded state, so if the substrate is deformed during pressure bonding, the deformation remains, and If the substrate is prevented from being deformed as much as possible at the time of pressure bonding, there is a high possibility that the original strain of the substrate is reflected or that the substrate has a defective seal.

【0064】アライメント段階において一方の基板と他
方の基板とを圧着させた状態でアライメントを行い、そ
の後の半硬化段階においては、アライメント時の加圧力
をほとんど変えることなくほぼ同じ加圧力で圧着させた
状態でシール材を硬化させるようにしているので、アラ
イメント後の位置ずれの発生を抑制することができるた
め、基板間の組みずれを防止するとともに基板間隔の精
度及び均一性も向上させることができる。
In the alignment step, alignment was performed in a state where one substrate and the other substrate were pressure-bonded, and in the subsequent semi-curing step, pressure was applied at almost the same pressure with almost no change in pressure during alignment. Since the sealing material is cured in this state, it is possible to suppress the occurrence of positional deviation after alignment, so that it is possible to prevent misalignment between the boards and improve the accuracy and uniformity of the board spacing. .

【0065】位置合わせ段階により、低い圧力で圧着さ
せた状態で位置合わせを行うようにしているため、シー
ル材を大きく変形させることなく、しかも大きな応力を
加えることなく位置合わせを行うことができることか
ら、迅速かつシール部の密閉性にも支障を与えずに正確
なアライメントを行うことが可能となる。
In the positioning step, since the positioning is performed in a state of being pressed with a low pressure, it is possible to perform the positioning without significantly deforming the sealing material and without applying a large stress. It is possible to perform accurate alignment quickly and without impairing the sealing property of the seal portion.

【0066】冷却ステージによって冷却を行っている側
から光を照射するため、液晶セルの冷却効率が高くな
り、液晶セルを過熱させることなく光硬化処理を行うこ
とが可能になる。
Since the cooling stage irradiates light from the side where the liquid crystal is cooled, the cooling efficiency of the liquid crystal cell is increased, and the photo-curing process can be performed without overheating the liquid crystal cell.

【0067】液晶セルに対して表裏両側からそれぞれ別
の段階として光を照射しているので、シール材の硬化効
率を高めることができ、その結果、迅速に、かつ、液晶
セルを過熱させることなく光硬化処理を行うことが可能
になる。
Since the liquid crystal cell is irradiated with light from both the front and back sides in different steps, the curing efficiency of the sealing material can be improved, and as a result, the liquid crystal cell can be rapidly heated without overheating. It becomes possible to perform photo-curing treatment.

【0068】所定周波数で断続若しくは増減された光を
照射することによって、光強度と周波数を液晶セルに対
して適度に設定することによって、液晶セルの過熱を防
止することが可能になる。
By irradiating light which is intermittently or increased / decreased at a predetermined frequency, the light intensity and the frequency are appropriately set for the liquid crystal cell, whereby it becomes possible to prevent the liquid crystal cell from overheating.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明に係る液晶表示装置の製造装置の実施
形態を示す概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of an apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention.

【図2】 本発明に係る液晶表示装置の製造方法の実施
形態における仮硬化工程の加圧力を示すタイムチャート
である。
FIG. 2 is a time chart showing a pressing force in a temporary curing step in the embodiment of the method for manufacturing the liquid crystal display device according to the present invention.

【図3】 仮硬化工程の加圧時と加圧力解放後の液晶セ
ルの断面形状を説明するための概念説明図(a)〜
(e)である。
FIG. 3 is a conceptual explanatory diagram (a) for explaining the cross-sectional shape of the liquid crystal cell at the time of pressurization in the temporary curing step and after releasing the applied pressure.
(E).

【図4】 上記実施形態における液晶セルの反り量と仮
硬化工程の光照射時間との関係を示すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing the relationship between the amount of warpage of the liquid crystal cell and the light irradiation time in the temporary curing step in the above embodiment.

【図5】 上記実施形態とは異なる方法における液晶セ
ルの反り量と仮硬化工程の光照射時間との関係を示すグ
ラフである。
FIG. 5 is a graph showing a relationship between a warp amount of a liquid crystal cell and a light irradiation time in a temporary curing step in a method different from the above embodiment.

【図6】 上記実施形態における本硬化工程の第1段階
における処理状態を示す装置構成図である。
FIG. 6 is an apparatus configuration diagram showing a processing state in a first stage of a main curing step in the above embodiment.

【図7】 上記実施形態における本硬化工程の第2段階
における処理状態を示す装置構成図である。
FIG. 7 is an apparatus configuration diagram showing a processing state in the second stage of the main curing step in the above embodiment.

【図8】 上記実施形態における本硬化工程の光照射サ
イクルと液晶セルの温度変化とを示すグラフである。
FIG. 8 is a graph showing a light irradiation cycle and a temperature change of a liquid crystal cell in a main curing step in the above embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 XYテーブル 11 緩衝材 20 圧着ヘッド 21 圧着ベース 21a 押圧面部 21b 吸気孔 24 透光性板 24a 吸気孔 25 アライメント用カメラ 26 光照射部 27 排気管 10 XY table 11 cushioning material 20 crimping head 21 Crimp base 21a Pressing surface part 21b intake hole 24 Translucent plate 24a intake hole 25 Alignment camera 26 Light irradiation unit 27 Exhaust pipe

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 住田 敏憲 長野県諏訪市大和3丁目3番5号 セイコ ーエプソン株式会社内 Fターム(参考) 2H089 NA24 NA39 NA42 NA44 NA45 NA48 NA50 NA51 NA53 NA60 QA03 QA04 QA11 QA13 QA14   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Toshinori Sumita             Seiko, 3-3-3 Yamato, Suwa City, Nagano Prefecture             -In Epson Corporation F-term (reference) 2H089 NA24 NA39 NA42 NA44 NA45                       NA48 NA50 NA51 NA53 NA60                       QA03 QA04 QA11 QA13 QA14

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】光硬化性のシール材を介して配置された一
対の基板のうち一方の基板を、透光性を有するステージ
に載置して他方の基板と貼着する液晶表示装置の製造方
法であって、 前記他方の基板側から前記シール材に光を照射する工程
と、 しかる後に、前記一方の基板側から前記ステージを介し
て前記シール材に光を照射する工程と、 を具備することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
1. A liquid crystal display device in which one substrate of a pair of substrates arranged via a photo-curable sealant is placed on a translucent stage and attached to the other substrate. A method of irradiating the sealing material with light from the other substrate side, and thereafter irradiating the sealing material with light from the one substrate side through the stage. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising:
【請求項2】前記一方の基板に照射される前記光の照
射、又は前記他方の基板に照射される前記光の照射は、
断続的に行われることを特徴とする請求項1に記載の液
晶装置の製造方法。
2. The irradiation of the light with which the one substrate is irradiated, or the irradiation of the light with which the other substrate is irradiated,
The method for manufacturing a liquid crystal device according to claim 1, wherein the method is performed intermittently.
【請求項3】前記ステージは冷却機構を備え、前記冷却
機構により前記ステージを冷却しつつ前記シール材に前
記光を照射することを特徴とする請求項1又は2に記載
の液晶表示装置の製造方法。
3. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the stage has a cooling mechanism, and the sealing member is irradiated with the light while the stage cools the stage. Method.
【請求項4】冷却エアを前記他方の基板に吹き付けなが
ら前記シール材に光を照射することを特徴とする請求項
1〜3のいずれか一項に記載の液晶表示装置の製造方
法。
4. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the sealing material is irradiated with light while blowing cooling air onto the other substrate.
【請求項5】前記他方の基板は前記一方の基板よりも小
さく、前記一方の基板に複数の前記他方の基板が貼着さ
れることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに
記載の液晶装置の製造方法。
5. The substrate according to claim 1, wherein the other substrate is smaller than the one substrate, and a plurality of the other substrates are attached to the one substrate. A method for manufacturing the liquid crystal device described.
【請求項6】光硬化性のシール材を介して配置された一
対の基板のうち一方の基板をステージに載置して、他方
の基板と貼着する液晶表示装置の製造装置であって、前
記シール材を硬化させるための光を照射する複数の光源
と、 前記一方の基板を載置する第1のステージ及び透光性を
有する第2のステージと、を具備し、 前記複数の光源は、前記第1のステージに対して前記一
方の基板を載置する側と、前記第2のステージに対して
前記一方の基板を載置する側とは反対側とに設けられて
なり、 前記第1のステージに前記一対の基板を載置して前記シ
ール材に前記光を照射した後に、前記第2のステージに
前記一対の基板を載置し、前記ステージを介して前記シ
ール材に前記光を照射することを特徴とする液晶表示装
置の製造装置。
6. An apparatus for manufacturing a liquid crystal display device, wherein one of a pair of substrates arranged via a photo-curable sealing material is placed on a stage and is attached to the other substrate. A plurality of light sources that irradiate light for curing the sealing material; a first stage that mounts the one substrate and a second stage that has a light-transmitting property; A first substrate is mounted on the first stage, and a second substrate is mounted on the opposite side of the second stage. After placing the pair of substrates on one stage and irradiating the sealing material with the light, the pair of substrates is placed on the second stage, and the sealing material is exposed to the light through the stage. A device for manufacturing a liquid crystal display device, which is characterized by irradiating a liquid crystal display device.
【請求項7】前記第1および第2のステージの少なくと
も一つは、冷却機構を備えてなることを特徴とする請求
項6に記載の液晶表示装置の製造装置。
7. The liquid crystal display device manufacturing apparatus according to claim 6, wherein at least one of the first and second stages includes a cooling mechanism.
【請求項8】前記冷却機構は、冷却水をステージの内部
に流通させて前記ステージを冷却するものであることを
特徴とする請求項7に記載の液晶表示装置の製造装置。
8. The liquid crystal display device manufacturing apparatus according to claim 7, wherein the cooling mechanism circulates cooling water inside the stage to cool the stage.
【請求項9】前記一対の基板に冷却エアを吹き付ける冷
却ノズルをさらに備える請求項6〜8のいずれか一項に
記載の液晶表示装置の製造装置。
9. The apparatus for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 6, further comprising a cooling nozzle for blowing cooling air to the pair of substrates.
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