JP2003294949A - Optical element, method for manufacturing the same and color liquid crystal projector - Google Patents

Optical element, method for manufacturing the same and color liquid crystal projector

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JP2003294949A JP2002191792A JP2002191792A JP2003294949A JP 2003294949 A JP2003294949 A JP 2003294949A JP 2002191792 A JP2002191792 A JP 2002191792A JP 2002191792 A JP2002191792 A JP 2002191792A JP 2003294949 A JP2003294949 A JP 2003294949A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polarizing beamsplitter, a polarizing plate and the like for a color liquid crystal projector, any one of which has satisfactory brightness and durability. <P>SOLUTION: Light transmissive magnesia ceramics having ≥78% transmittance of linear light having 600 nm wavelength at 4 mm thickness is used for the polarizing beamsplitter 4 made of magnesia, polarizing plates 7R, 7G and 7B with magnesia substrates and the like which are used for the color liquid crystal projector. The magnesia ceramics contains alumina and silicon oxide so that sum total content of alumina and silicon oxide is ≤2,000 ppm by weight and 6*alumina + silicon oxide is ≥250 ppm by weight. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶プロジェク
ターに用いるマグネシア製の光学素子に関し、特にマグ
ネシア製の偏光ビームスプリッターや偏光板、位相差板
等に関する。この発明はまた、このような光学素子の製
造方法や、それを配したカラー液晶プロジェクターに関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnesia optical element used in a color liquid crystal projector, and more particularly to a magnesia polarization beam splitter, a polarizing plate, a retardation plate and the like. The present invention also relates to a method for manufacturing such an optical element and a color liquid crystal projector in which the optical element is arranged.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラー液晶プロジェクターでは、その液
晶画像形成部に偏光板を使用する為に光が吸収され、ま
た1〜6インチの小面積の画像を数10〜数100イン
チ程度まで拡大することにより、明るさが低減する。そ
の為光源としては高輝度のものが使用されるが、プロジ
ェクターの明るさを向上するとの要望も根強く、その結
果、使用する光源強度は益々高くなってきている。
2. Description of the Related Art In a color liquid crystal projector, light is absorbed because a polarizing plate is used in its liquid crystal image forming section, and an image having a small area of 1 to 6 inches is enlarged to several tens to several hundreds of inches. This reduces the brightness. Therefore, a high-luminance light source is used, but there is a strong demand for improving the brightness of the projector, and as a result, the intensity of the light source used is becoming higher and higher.

【0003】ところで一般に、カラー液晶プロジェクタ
ーでは、光源と液晶パネルの間に偏光ビームスプリッタ
ーが使用される。偏光ビームスプリッターは、自然光を
互いに直交する偏光に分離して、片方の偏光を他方の偏
光方向に回転させて明るさを向上させる、光学部品であ
る。偏光ビームスプリッターには、通常の非晶質のガラ
ス、例えばBK−7ガラスや白板ガラス等が硝材として
使用されている。
Generally, in a color liquid crystal projector, a polarization beam splitter is used between a light source and a liquid crystal panel. The polarizing beam splitter is an optical component that splits natural light into polarized light that is orthogonal to each other and rotates one polarized light in the other polarized light direction to improve brightness. For the polarization beam splitter, ordinary amorphous glass such as BK-7 glass or white plate glass is used as a glass material.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、最近のカラー
液晶プロジェクターの高輝度化、小型・軽量化の要請に
より、使用する光源強度は益々強くなり、しかも光学部
品が小型化されているので、耐久性と投影画像の明るさ
を兼ね備えた偏光ビームスプリッターや偏光板、および
カラー液晶プロジェクターが望まれている。
However, due to the recent demand for higher brightness, smaller size and lighter weight of the color liquid crystal projector, the intensity of the light source to be used becomes stronger and moreover, the optical parts are made smaller, so that the durability is improved. There is a demand for a polarizing beam splitter, a polarizing plate, and a color liquid crystal projector that have both the lightness and the brightness of the projected image.

【0005】一般に偏光ビームスプリッターをカラー液
晶プロジェクターで使用する場合、まず光源からの光
を、インテグレーターレンズで、予め等ピッチで帯状に
集光させる。このようにして焦点を結び増幅された光
が、偏光ビームスプリッターの帯状パターンに交互に入
り、内部で互いに直交する偏光に分離される。ここで、
偏光ビームスプリッターの偏光変換効率を上げる為、偏
光ビームスプリッターのパターンに交互に、しかも、そ
のパターンの中心に光を帯状に焦点を結び、集光させる
様に光学設計がなされている。この為、偏光ビームスプ
リッターの面内の照度のムラや温度のムラが大きく、照
度や温度の最高部分から劣化が起こる。
In general, when a polarization beam splitter is used in a color liquid crystal projector, light from a light source is first condensed into a band shape at an equal pitch by an integrator lens. The thus focused and amplified light alternately enters the strip-shaped pattern of the polarization beam splitter, and is internally divided into polarized lights orthogonal to each other. here,
In order to increase the polarization conversion efficiency of the polarization beam splitter, the optical design is made so that the light is focused on the pattern of the polarization beam splitter alternately and in a band shape at the center of the pattern. Therefore, the unevenness of the illuminance and the unevenness of the temperature in the plane of the polarization beam splitter are large, and the deterioration occurs from the highest part of the illuminance and the temperature.

【0006】ガラスに比較して熱伝導率の高い硝材を用
いることにより、この種の問題は解決される。熱伝導率
の高い硝材として産業応用可能な素材としては、結晶質
のサファイアやYAGセラミックス等がある。しかしな
がら、これらの結晶は非常に硬く、複雑な加工を要する
偏光ビームスプリッターの硝材には不向きである。
This kind of problem is solved by using a glass material having a higher thermal conductivity than glass. Industrially applicable materials having high thermal conductivity include crystalline sapphire and YAG ceramics. However, these crystals are extremely hard and are not suitable for the glass material of the polarization beam splitter which requires complicated processing.

【0007】偏光板の場合、サファイヤが硝材(基板)
として主に用いられているが、サファイヤでは硬度が高
いために研磨が困難で、また軸性結晶(3方晶)なの
で、結晶軸から少しでも傾いて硝材を切り出すと、画像
がぼやける。これに対して、発明者は、マグネシアは結
晶が立方晶系なので透光性が高く、またセラミックスな
ので軸合わせに注意する必要がないことに着目した。さ
らに、カラー液晶プロジェクターの偏光板での熱負荷を
考えると、サファイヤの熱伝導率を1とした場合、YA
Gセラミックスが0.5、マグネシアで2で、マグネシ
アの熱伝導率が高いことに着目した。なおサファイヤの
熱伝導率は23(W/mK)、YAGセラミックスで12(W/m
K)、マグネシアで55(W/mK),光学ガラスで7(W/mK)程
度である。
In the case of a polarizing plate, sapphire is a glass material (substrate)
However, since sapphire has a high hardness, it is difficult to polish it, and since it is an axial crystal (trigonal crystal), if the glass material is cut out with a slight inclination from the crystal axis, the image will be blurred. On the other hand, the inventor has noticed that magnesia has a high light-transmitting property because its crystal is a cubic system and that it is a ceramic, so that it is not necessary to pay attention to axis alignment. Furthermore, considering the heat load on the polarizing plate of the color liquid crystal projector, if the thermal conductivity of sapphire is 1, then YA
We paid attention to the high thermal conductivity of magnesia, with G ceramics being 0.5 and magnesia being 2. The thermal conductivity of sapphire is 23 (W / mK) and that of YAG ceramics is 12 (W / mK).
K), magnesia 55 (W / mK) and optical glass 7 (W / mK).

【0008】カラー液晶プロジェクターには、R,G,
Bの3枚の偏光板が必要であるが、青色の偏光板ではサ
ファイヤでも熱負荷の点で限界にきており、今後の高輝
度化を考慮すると、透光性が高くかつ耐久性の高い材料
が必要とされている。このような事情は1/2波長板や
1/4波長板などの位相差板でも同様で、透光性が高
く、かつ熱伝導率が高い位相差板が必要とされる。
Color liquid crystal projectors include R, G,
Three polarizing plates of B are required, but the blue polarizing plate has reached the limit in terms of heat load even with sapphire, and in consideration of future high brightness, it has high translucency and high durability. Material is needed. Such a situation is the same as in a retardation plate such as a half-wave plate or a quarter-wave plate, and a retardation plate having high translucency and high thermal conductivity is required.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記の問
題を解決するため種々検討した結果、ガラスより熱伝導
率が高い上、ビッカース硬度が約400とガラスに近い
硬度を持つマグネシアを、偏光ビームスプリッターや偏
光板、位相差板などの光学素子の硝材に使用することに
より、硝材の表面温度を低下させ、且つ面内の温度を均
一にさせることができるため長寿命で、しかも安価な光
学素子が得られることを見い出し、本発明を完成した。
The inventors of the present invention have conducted various studies to solve the above-mentioned problems, and as a result, have found that magnesia having a thermal conductivity higher than that of glass and a Vickers hardness of about 400, which is close to that of glass, is used. By using it as a glass material for optical elements such as a polarizing beam splitter, a polarizing plate, and a retardation plate, the surface temperature of the glass material can be lowered and the in-plane temperature can be made uniform, so that it has a long life and is inexpensive. The present invention has been completed by finding out that such an optical element can be obtained.

【0010】本発明のカラー液晶プロジェクター用の光
学素子は、波長600nmでの直線光透過率が4mm厚で7
8%以上の、透光性マグネシアセラミックスを硝材とし
て用いたものである(請求項1)。本発明の光学素子を
カラー液晶プロジェクター用の偏光ビームスプリッター
に用いると、例えば1000ANSIルーメン程度の出力の
カラー液晶プロジェクターで5000時間程度の耐久性
が得られ、直線光透過率が76%と78%とでは、実施
例で示すように耐久性に大差がある。ここで波長600
nmでの直線光透過率を4mm厚で83%以上とすると、耐
久性が更に増すので好ましく、特に好ましくは波長60
0nmでの直線光透過率を4mm厚で84%以上、最も好ま
しくは同じ条件で85%以上とする。これらのことは偏
光板や位相差板の場合も同様で、直線光透過率は高いほ
ど好ましく、波長600nmでの直線光透過率は4mm厚で
少なくとも78%以上、好ましくは83%以上、特に好
ましくは84%以上とし、最も好ましくは85%以上と
する。サファイヤの直線光透過率の理論値は85.4%
なので、マグネシアセラミックスの透過率が84%以上
あれば、明るさの点でもサファイヤに匹敵する。マグネ
シアセラミックスを硝材とすると、これに、低コスト,
研磨が容易,軸合わせが不要,熱伝導率が高いなどの利
点が加わってくる。以下では透過率は、波長600nmで
の4mm厚での直線光透過率を意味する。
The optical element for a color liquid crystal projector of the present invention has a linear light transmittance of 7 mm at a thickness of 4 mm at a wavelength of 600 nm.
8% or more of translucent magnesia ceramics is used as a glass material (Claim 1). When the optical element of the present invention is used in a polarizing beam splitter for a color liquid crystal projector, for example, a color liquid crystal projector with an output of about 1000 ANSI lumens can achieve durability of about 5000 hours and linear light transmittances of 76% and 78%. Then, there is a great difference in durability as shown in the examples. Wavelength 600 here
It is preferable that the linear light transmittance in nm is 83% or more at a thickness of 4 mm, because the durability is further increased, and the wavelength of 60 is particularly preferable.
The linear light transmittance at 0 nm is 84% or more at a thickness of 4 mm, and most preferably 85% or more under the same conditions. The same applies to the case of a polarizing plate or a retardation plate, and the higher the linear light transmittance, the more preferable. The linear light transmittance at a wavelength of 600 nm is at least 78% or more, preferably 83% or more at a thickness of 4 mm, and particularly preferably. Is 84% or more, and most preferably 85% or more. The theoretical linear light transmittance of sapphire is 85.4%
Therefore, if the transmittance of magnesia ceramics is 84% or more, it is comparable in brightness to sapphire. If magnesia ceramics is used as the glass material,
It has advantages such as easy polishing, no axis alignment, and high thermal conductivity. In the following, the transmittance means the linear light transmittance at a wavelength of 600 nm and a thickness of 4 mm.

【0011】好ましくは、前記マグネシアセラミックス
は、Al2O3とSiO2を、合計含有量が2000wtppm以下
で、6*Al2O3+SiO2が250wtppm以上(好ましくは3
00wtppm以上)となるように含有させる(請求項
2)。Al2O3やSiO2はマグネシアセラミックスの直線光
透過率を著しく改善し、低濃度域ではAl2O3はSiO2に比
べて6倍程度効果が大きいので、6*Al2O3+SiO2を2
50wtppm以上(好ましくは300wtppm以上)とし、Al
2O3濃度の6倍とSiO2濃度の和を250wtppm以上とす
る。なおAl2O3の不純物レベルは10wtppm以下、SiO2
不純物レベルは30wtppm以下である。
Preferably, the magnesia ceramic has a total content of Al 2 O 3 and SiO 2 of 2000 wtppm or less and 6 * Al 2 O 3 + SiO 2 of 250 wtppm or more (preferably 3 wt% or more).
(More than 00 wtppm) (Claim 2). Al 2 O 3 and SiO 2 significantly improve the linear light transmittance of magnesia ceramics, and since Al 2 O 3 is about 6 times more effective than SiO 2 in the low concentration region, 6 * Al 2 O 3 + SiO 2 2
50wtppm or more (preferably 300wtppm or more), Al
The sum of 6 times the 2 O 3 concentration and the SiO 2 concentration is set to 250 wtppm or more. The impurity level of Al 2 O 3 is 10 wtppm or less, and the impurity level of SiO 2 is 30 wtppm or less.

【0012】マグネシアセラミックスは、両面ラッピン
グや両面ポリッシングなどの研磨が容易で、カット時の
軸合わせが不要であり、立方晶のためセラミックスとし
ては光透過率が高く、明るい画像が得られる。そして光
透過率が高くかつ熱伝導率が高いため耐熱性も高く、偏
光ビームスプリッターや偏光板、位相差板などの光学素
子に用いると、光学素子の昇温を防止して、耐久性に富
んだ素子が得られ、しかも均一な画像を投影できる(請
求項3〜5)。
The magnesia ceramics can be easily polished by double-sided lapping and double-sided polishing and do not require axial alignment at the time of cutting. Since they are cubic crystals, they have a high light transmittance as a ceramic and a bright image can be obtained. And because it has high light transmittance and high thermal conductivity, it also has high heat resistance, and when used for optical elements such as polarization beam splitters, polarizing plates, and phase difference plates, it prevents temperature rise of the optical elements and is highly durable. The element can be obtained, and a uniform image can be projected (claims 3 to 5).

【0013】本発明の、偏光ビームスプリッターや偏光
板などの光学素子の製造方法では、Al2O3又はSiO2を含
有した塩基性炭酸マグネシウムを熱処理したマグネシア
原料粉末とバインダーを用いて成形体を作製し、熱処理
によりバインダーを除去した後に、水素雰囲気中もしく
は真空中で、1250℃以上1500℃以下で焼結し、
さらにHIP処理(高温等方圧加圧)することにより、波
長600nmでの直線光透過率が4mm厚で78%以上の透
光性マグネシアセラミックスを得て、これを硝材とする
(請求項6)。好ましくは、前記マグネシア原料粉末に
は、Al2O3とSiO2を、合計含有量が2000wtppm以下
で、6*Al2O3+SiO2が250wtppm以上となるように含
有させる(請求項7)。
In the method for producing an optical element such as a polarizing beam splitter or a polarizing plate of the present invention, a molded body is formed by using a magnesia raw material powder obtained by heat-treating basic magnesium carbonate containing Al 2 O 3 or SiO 2 and a binder. After manufacturing and removing the binder by heat treatment, sintering is performed at 1250 ° C. or more and 1500 ° C. or less in a hydrogen atmosphere or a vacuum,
Further, by HIP treatment (high temperature isotropic pressure pressurization), a translucent magnesia ceramic having a linear light transmittance at a wavelength of 600 nm of 78% or more at a thickness of 4 mm is obtained, which is used as a glass material (claim 6). . Preferably, the magnesia raw material powder contains Al 2 O 3 and SiO 2 in a total content of 2000 wtppm or less and 6 * Al 2 O 3 + SiO 2 of 250 wtppm or more (claim 7).

【0014】また本発明は、請求項1〜5のいずれかの
光学素子を用いたカラー液晶プロジェクターにある(請
求項8)。より好ましくは、請求項3の偏光ビームスプ
リッターや、請求項4の偏光板、あるいは請求項5の位
相差板を用いる。
The present invention also resides in a color liquid crystal projector using the optical element according to any one of claims 1 to 5 (claim 8). More preferably, the polarizing beam splitter of claim 3, the polarizing plate of claim 4, or the retardation plate of claim 5 is used.

【0015】[0015]

【発明の実施の態様】マグネシアは電気絶縁性、熱伝導
性に優れていることから、電融マグネシアの形でシース
ヒータの絶縁体として用いられているが、マグネシアの
融点は2800℃と高く、電融マグネシアの製造過程で
まれに大型の結晶が得られることがある程度であり、現
在までのところ産業的に応用できる大型単結晶育成技術
は見出されていない。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Since magnesia is excellent in electric insulation and thermal conductivity, it is used as an insulator of a sheath heater in the form of electro-fused magnesia, but the melting point of magnesia is as high as 2800 ° C. In the process of producing fused magnesia, large crystals are rarely obtained to some extent, and up to now, no large-scale single crystal growing technique that can be industrially applied has been found.

【0016】一方、粉体製造技術ならびにセラミックス
製造技術の方法については、特開昭50−153798
や特開昭51−47911に開示されており、光学応用
可能な透光性セラミックスも製造されるようになってき
た。本発明で使用するマグネシアセラミックスは、透光
性マグネシアセラミックスを板状にしたものである。
On the other hand, the method of powder manufacturing technology and ceramics manufacturing technology is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 153798/1975.
And Japanese Patent Application Laid-Open No. 51-47911, the transparent ceramics applicable to optics have been manufactured. The magnesia ceramics used in the present invention is a plate-shaped translucent magnesia ceramics.

【0017】光学素子に使用するに当たって、透光性マ
グネシアセラミックスの直線光透過率が重要である。直
線光透過率が低い場合には入射した光が散乱され、透過
光量の低下や縦偏光ないし横偏光への変換効率の低下な
どが起こる。更にはセラミックス内部で光吸収が起こ
り、硝材の表面温度が上昇する。これらの理由から、透
光性マグネシアセラミックスの直線光透過率は波長60
0nmにおいて4mm厚で78%以上とし、好ましくは83
%以上とし、特に好ましくは84%以上、最も好ましく
は85%以上とする。なお理論透過率は86%である。
The linear light transmittance of the translucent magnesia ceramics is important for use in an optical element. When the linear light transmittance is low, the incident light is scattered and the amount of transmitted light is reduced and the efficiency of conversion into vertical polarized light or horizontal polarized light is reduced. Further, light absorption occurs inside the ceramic, and the surface temperature of the glass material rises. For these reasons, the transmissive magnesia ceramics has a linear light transmittance of 60 nm.
At 4 nm thickness at 0 nm, 78% or more, preferably 83
% Or more, particularly preferably 84% or more, and most preferably 85% or more. The theoretical transmittance is 86%.

【0018】マグネシア製光学素子で使用する位相差膜
には1/2波長膜があげられ、例えばポラテクノ社製の
WBR−90PCARやWBR−90PC(CL)AR
などのWBR−90シリーズ(広帯域用1/2波長膜)
などがある。なお「WBR−90PCAR」等は商品名
で、1/2波長膜などは1/2波長板などと呼ばれるこ
とがある。本発明のマグネシア製偏光ビームスプリッタ
ーの表面には、AR(反射防止)層を設けても良く、例
えば二酸化珪素、酸化チタン等の蒸着膜やスパッタリン
グ膜などを用い、またフッ素系物質を薄く塗布しても形
成できる。
The retardation film used in the magnesia optical element may be a 1/2 wavelength film, for example, WBR-90PCAR or WBR-90PC (CL) AR manufactured by Polatechno.
WBR-90 series such as (1/2 wavelength film for broadband)
and so on. Note that "WBR-90PCAR" and the like are trade names, and the 1/2 wavelength film and the like are sometimes called 1/2 wavelength plate and the like. An AR (antireflection) layer may be provided on the surface of the magnesia polarization beam splitter of the present invention. For example, a vapor deposition film or a sputtering film of silicon dioxide, titanium oxide or the like is used, and a fluorine-based substance is thinly applied. Can also be formed.

【0019】本発明の光学素子の大きさは所望の大きさ
で良く、例えば一辺または径が5〜300mm、好ましく
は20〜200mm程度であり、その形状は長方形、正方
形、円形等、特に制限はないが、通常は長方形とする。
その厚さは一般的には0.3〜10mm程度とし、好まし
くは0.5〜5mm程度とする。偏光ビームスプリッター
の場合は、厚さを例えば0.5〜10mmとし、好ましく
は1〜5mm程度とする。
The size of the optical element of the present invention may be any desired size, for example, one side or diameter is 5 to 300 mm, preferably about 20 to 200 mm, and its shape is rectangular, square, circular, etc., with no particular limitation. No, but usually rectangular.
Its thickness is generally about 0.3 to 10 mm, preferably about 0.5 to 5 mm. In the case of a polarization beam splitter, the thickness is, for example, 0.5 to 10 mm, preferably about 1 to 5 mm.

【0020】本発明の偏光ビームスプリッターにおける
一つの態様は、板状の透光性マグネシアセラミックスを
研磨したマグネシア基板の片面に、偏光分離膜を蒸着マ
ルチコート加工し、所望の枚数を接着し、正確に45度
方向に切り出したものを、硝材として使用し、1/2波
長膜を等ピッチで貼付したものである。このようにする
ことにより、マグネシア基板の熱伝導性の高さの為に、
高輝度、高温度または不均一な高温度に暴露されても、
温度の均一化が起こり、最高温度部分の著しい温度低下
をもたらし、貼付した1/2波長膜の耐久性が向上し、
硝材の接合部の黄変や剥離を防止することができる。ま
た、単板光透過率をより向上させるために、マグネシア
面または1/2波長膜のピッチ面の一方もしくは双方の
面にAR(反射防止)層を設けることが好ましい。
One aspect of the polarization beam splitter of the present invention is that a polarization separation film is vapor-deposited and multi-coated on one surface of a magnesia substrate obtained by polishing a plate-shaped light-transmitting magnesia ceramics, and a desired number of them are adhered to each other. The one cut out in the direction of 45 degrees is used as a glass material, and the ½ wavelength film is attached at an equal pitch. By doing so, due to the high thermal conductivity of the magnesia substrate,
Even when exposed to high brightness, high temperature or uneven high temperature,
Uniformization of temperature occurs, causing a significant temperature drop in the highest temperature part, improving the durability of the attached 1/2 wavelength film,
It is possible to prevent yellowing and peeling of the joint portion of the glass material. Further, in order to further improve the light transmittance of the single plate, it is preferable to provide an AR (antireflection) layer on one or both of the magnesia surface and the pitch surface of the ½ wavelength film.

【0021】本発明の偏光ビームスプリッターを製造す
るには、例えばまず1/2波長膜などの位相差膜の遅相
軸または進相軸を測定し、1つの辺を基準として所望の
軸角度と大きさで、短形に切り、硝材として準備した等
ピッチで整列したマグネシア基板に透明な接着(粘着)
剤を塗布し、ついでこの塗布面に位相差膜を貼付すれば
良い。また、位相差膜に透明な接着(粘着)剤を塗布
し、ついでこの塗布面にマグネシア基板を貼付しても良
い。ここで使用する接着(粘着)剤は、例えばアクリル
酸エステル系のものが好ましい。この1/2波長膜の大
きさは所望の大きさで良く、例えば一辺が1〜300m
m、好ましくは3〜150mm程度であり、その形状は長
方形、正方形等、特に制限はないが、通常は長方形が好
ましい。その厚さは0.1〜1mm、好ましくは0.1〜
0.3mm程度がよい。
In order to manufacture the polarization beam splitter of the present invention, first, for example, the slow axis or the fast axis of a retardation film such as a ½ wavelength film is measured, and one side is set as a desired axis angle. Transparent adhesion (adhesion) to a magnesia substrate that has a size and is cut into a rectangular shape and is prepared as a glass material and arranged at an equal pitch.
The agent may be applied, and then the retardation film may be attached to this application surface. Alternatively, a transparent adhesive (adhesive) agent may be applied to the retardation film, and then the magnesia substrate may be attached to the applied surface. The adhesive (adhesive) used here is preferably, for example, an acrylic ester type. The size of the ½ wavelength film may be a desired size, for example, one side is 1 to 300 m.
m, preferably about 3 to 150 mm, and the shape thereof is not particularly limited and may be rectangular, square, etc., but generally rectangular is preferable. Its thickness is 0.1-1 mm, preferably 0.1-
About 0.3mm is good.

【0022】また、偏光ビームスプリッターに使用する
硝材を製造するには、透光性マグネシアセラミックスを
板状にしたものから、厚みが均一になるように、正確に
表面研磨したマグネシア基板を所望の枚数用意する。こ
の厚みは所望の厚みでよく、例えば0.3〜10mm、好
ましくは0.5〜5mm程度がよい。このマグネシア基板
の片面に蒸着マルチコート加工により偏光分離膜を形成
させて、所望の枚数を重ね合わせて、接着する。ここで
使用する接着(粘着)剤としては、例えば紫外線硬化型
接着剤や熱硬化型接着剤のいずれも使用できる。
Further, in order to manufacture a glass material used for the polarization beam splitter, a desired number of magnesia substrates whose surface is precisely polished so as to have a uniform thickness are prepared from a plate of translucent magnesia ceramics. prepare. This thickness may be a desired thickness, for example, 0.3 to 10 mm, preferably 0.5 to 5 mm. A polarization separation film is formed on one surface of this magnesia substrate by vapor deposition multi-coating, and a desired number of sheets are stacked and bonded. As the adhesive (adhesive) agent used here, for example, either an ultraviolet curable adhesive or a thermosetting adhesive can be used.

【0023】この接着したものを、正確に45度方向に
切り出し、厚みが均一になるように表面研磨する。この
厚みは一般的には、偏光ビームスプリッターのピッチの
幅と同一にし、例えば一つのピッチが0.5〜10mm、
好ましくは1〜5mm程度がよい。このマグネシアを所望
の大きさに切り出して、本発明で使用する硝材を得る。
この大きさは所望の大きさで良く、例えば一辺が5〜3
00mm、好ましくは20〜200mm程度であり、その形
状は長方形、正方形等、特に制限はないが、通常は長方
形が好ましい。
The adhered product is accurately cut in the direction of 45 degrees and surface-polished so as to have a uniform thickness. This thickness is generally the same as the pitch width of the polarization beam splitter, for example, one pitch is 0.5 to 10 mm,
It is preferably about 1 to 5 mm. This magnesia is cut into a desired size to obtain a glass material used in the present invention.
This size may be a desired size, for example, one side is 5 to 3
The length is about 00 mm, preferably about 20 to 200 mm, and the shape thereof is not particularly limited and may be rectangular, square, etc., but generally rectangular is preferable.

【0024】本発明のカラー液晶プロジェクターには、
上記のマグネシア製偏光ビームスプリッターを用い、通
常は光源と入射側偏光板の間に配置する。また反射型液
晶パネルを使用した場合は、各々のシステムによって最
適な位置に配置する。
In the color liquid crystal projector of the present invention,
The above-mentioned polarized beam splitter made of magnesia is used and is usually arranged between the light source and the incident side polarization plate. If a reflective liquid crystal panel is used, it should be placed at the optimum position for each system.

【0025】本発明のカラー液晶プロジェクターでは、
例えば光源の直後に紫外線カットフィルタ、マルチレン
ズを順に設け、その後に上記のマグネシア製偏光ビーム
スプリッターを配置する。上記マルチレンズによって、
偏光ビームスプリッターのピッチの一つおきに、光は焦
点を結ばれ、この部分の光束密度は極めて高く、それに
より温度も高くなる。ここに本発明のマグネシア製偏光
ビームスプリッターを配置すると、硝材がマグネシアで
ある為に熱伝導率が高く、周囲へ熱を分散させて高温部
の温度を下げ、偏光ビームスプリッターの1/2波長膜
や接合部への負荷を減らし、耐久性を向上させることが
できる。
In the color liquid crystal projector of the present invention,
For example, an ultraviolet cut filter and a multi-lens are sequentially provided immediately after the light source, and then the above-mentioned magnesia polarization beam splitter is arranged. With the multi lens,
At every other pitch of the polarizing beam splitter, the light is focused, and the luminous flux density in this part is extremely high, and the temperature is also high. When the polarizing beam splitter made of magnesia of the present invention is arranged here, the glass material is magnesia, so that the thermal conductivity is high, the heat is dispersed to the surroundings to lower the temperature of the high temperature portion, and the 1/2 wavelength film of the polarizing beam splitter is provided. It is possible to reduce the load on the joint and the joint and improve the durability.

【0026】好ましくは、偏光板の硝材として請求項4
のようにマグネシアセラミックスを用いる。ここで光入
射側偏光板は、液晶プロジェクター使用中に強い光にさ
らされ昇温する。通常の液晶表示素子のように、液晶セ
ルと光入射側偏光板が密着していると、光入射側偏光板
の熱が液晶セルに伝達し、液晶セル内の液晶がNI点
(液晶相と等方相の相変化温度)を越えて、表示ができ
なくなってしまう。これを避けるため、好ましくは液晶
セルと光入射側偏光板とを離間して配置し、冷却ファン
等により空気やガスを循環させ、あるいは水冷などの液
冷により液晶セルの過熱を防止する。
Preferably, the glass material of the polarizing plate is claim 4.
The magnesia ceramics are used as in. Here, the light-incident-side polarization plate is exposed to intense light and rises in temperature during use of the liquid crystal projector. When the liquid crystal cell and the light-incident-side polarization plate are in close contact with each other like a normal liquid crystal display element, the heat of the light-incidence-side polarization plate is transferred to the liquid crystal cell, and the liquid crystal in the liquid crystal cell is at the NI point (liquid crystal phase Beyond the phase change temperature of the isotropic phase), the display will not be possible. In order to avoid this, it is preferable to dispose the liquid crystal cell and the light incident side polarization plate apart from each other, and to circulate air or gas by a cooling fan or the like, or to prevent overheating of the liquid crystal cell by liquid cooling such as water cooling.

【0027】また位相差板の硝材には、請求項5のよう
に、マグネシアセラミックスを用いることが好ましく、
位相差板には1/2波長板や1/4波長板などがある。
このようにすると、マグネシアセラミックスの光透過率
が高く、しかも熱伝導度が高いため、明るくかつ耐久性
の高い位相差板が得られる。
As the glass material of the retardation plate, it is preferable to use magnesia ceramics,
The retardation plate includes a half-wave plate and a quarter-wave plate.
By doing so, since the magnesia ceramics has a high light transmittance and a high thermal conductivity, a bright and highly durable phase difference plate can be obtained.

【0028】また偏光ビームスプリッターも液晶プロジ
ェクター使用中に強い光にさらされ温度が高くなり、偏
光ビームスプリッターの劣化が進み、投影画像の明るさ
の減少や不具合が生じてしまう。これを避けるため、偏
光ビームスプリッター周辺部に、冷却ファン等により空
気やガスを循環させて、偏光ビームスプリッターの過熱
を防止している。また過熱防止の方法としては水冷方式
も用いられる。
Also, the polarization beam splitter is exposed to strong light while using the liquid crystal projector and its temperature rises, the deterioration of the polarization beam splitter progresses, and the brightness of the projected image decreases and a defect occurs. In order to avoid this, air or gas is circulated around the polarization beam splitter by a cooling fan or the like to prevent the polarization beam splitter from overheating. A water cooling method is also used as a method for preventing overheating.

【0029】本発明のカラー液晶プロジェクターの1例
をあげると、メタルハライドランプ等の光源から放射さ
れた光は、紫外線カットフィルタや偏光ビームスプリッ
ターを通過し、ついで3つのダイクロイックミラーでR
(赤色)、G(緑色)、B(青色)の3原色の光に分け
られ、それぞれ偏光板を通過して液晶表示パネルに照射
される。液晶表示パネルを通過した3原色の光は、出射
側の偏光板を通過しダイクロイックプリズムにより集光
された後、投射レンズにより拡大されてスクリーンに投
影される。
As an example of the color liquid crystal projector of the present invention, light emitted from a light source such as a metal halide lamp passes through an ultraviolet ray cut filter and a polarization beam splitter, and then is reflected by three dichroic mirrors.
The light is divided into light of three primary colors (red), G (green), and B (blue), and passes through the respective polarizing plates to be irradiated on the liquid crystal display panel. The light of the three primary colors that has passed through the liquid crystal display panel passes through the polarizing plate on the emission side, is condensed by the dichroic prism, and then is enlarged by the projection lens and projected on the screen.

【0030】[0030]

【実施例】透光性マグネシアセラミックスの調整 透光性マグネシアセラミックスの調製を次の方法で行っ
た。原料の塩化マグネシウムの純度は99.99%以上
である。0.4(mol/l)の塩化マグネシウム水溶液中
に、塩化アルミニウム溶液又は珪酸ナトリウム溶液等の
形態で、Al元素やSi元素を添加し、これを0.4(mol
/l)の炭酸ナトリウム溶液と反応させ、正炭酸マグネシ
ウム(MgCO3・3H2O)を得た。得られた沈殿物をろ過洗
浄し、炭酸ガスによりPHを9.7に調製した。さらに
沈殿物を35℃で24時間熟成させて、塩基性炭酸マグ
ネシウム(4MgCO3・Mg(OH)2・5H2O)を得た。原料中
の不純物や珪酸ナトリウム中のナトリウムなどは、濾過
と洗浄の過程で失われ、塩基性炭酸マグネシウム中に残
存する不純物の大部分はAl2O3又はSiO2で、これらを意
図的に添加しない場合の不純物レベルは各々10wtppm
以下及び30wtppm以下であった。
Example Preparation of translucent magnesia ceramics Translucent magnesia ceramics were prepared by the following method. The purity of magnesium chloride as a raw material is 99.99% or more. Al element or Si element is added to a 0.4 (mol / l) aqueous solution of magnesium chloride in the form of an aluminum chloride solution or a sodium silicate solution, and this is added to 0.4 (mol / l).
/ l) was reacted with a sodium carbonate solution to obtain magnesium carbonate (MgCO 3 .3H 2 O). The obtained precipitate was washed by filtration, and the pH was adjusted to 9.7 with carbon dioxide. Further, the precipitate was aged at 35 ° C. for 24 hours to obtain basic magnesium carbonate (4MgCO 3 .Mg (OH) 2 .5H 2 O). Impurities in the raw materials and sodium in sodium silicate are lost in the process of filtration and washing, and most of the impurities remaining in basic magnesium carbonate are Al 2 O 3 or SiO 2 and these are intentionally added. If not, the impurity level is 10wtppm each
And below 30 wtppm.

【0031】得られた塩基性炭酸マグネシウムを110
℃で乾燥後、酸素雰囲気中で900℃で18時間熱処理
して、透光性マグネシアセラミックスの原料粉末とし
た。この原料粉末に対して、Al2O3やSiO2の含有量を測
定した。得られたマグネシア原料粉末200gに対し
て、解膠剤(例えば共栄社化学製フローレンG−700
を6g、「フローレンG」は商品名)、バインダーとし
てメチルセルロースを4g、エタノール120gを加え、
ナイロンポット及びナイロンボールを用いて5時間混合
し、アルコールスラリーとした。このスラリーを透水性
の樹脂型に流し込み、100mm×100mm×7mmの成形
体を得た。
The obtained basic magnesium carbonate was added to 110
After drying at 0 ° C., it was heat-treated at 900 ° C. for 18 hours in an oxygen atmosphere to obtain a light-transmitting magnesia ceramic raw material powder. The content of Al 2 O 3 and SiO 2 was measured for this raw material powder. A peptizer (for example, Floren G-700 manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) was added to 200 g of the obtained magnesia raw material powder.
6g, "Floren G" is a trade name), 4g of methylcellulose as a binder, 120g of ethanol are added,
The mixture was mixed for 5 hours using a nylon pot and a nylon ball to obtain an alcohol slurry. This slurry was poured into a water-permeable resin mold to obtain a 100 mm × 100 mm × 7 mm molded body.

【0032】この成形体を、酸素気流中10℃/hrに
て昇温し、1000℃で20時間脱脂を行った。焼結
は、水素雰囲気又は真空中(真空度は0.1Pa以下)
にて1250℃〜1500℃で行った後(一次焼結)、
1300℃〜1550℃で、高純度アルゴンガス雰囲気
中108Pa(一般的には3×107Pa以上)の圧力に
て、4時間HIP処理を行った。得られた焼結体の両面
を、ダイヤモンドスラリーを用いて鏡面研磨を行い、分
光光度計にて直線光透過率を測定した。得られた透光性
マグネシアセラミックスの直線光透過率(600nmで4m
m厚)と製造条件の関係を、試験例1〜9として表1に示
す。透光性マグネシアの粒径は10〜20μmで均一な
組織構造であり、Al2O3含有量(不純物)は3wtppm、Si
O2含有量(珪酸ナトリウムとして添加)は600wtppm
であった。
This molded body was heated at 10 ° C./hr in an oxygen stream and degreased at 1000 ° C. for 20 hours. Sintering in hydrogen atmosphere or vacuum (vacuum degree is 0.1 Pa or less)
At 1250 ° C to 1500 ° C (primary sintering),
HIP treatment was carried out at a pressure of 10 8 Pa (generally 3 × 10 7 Pa or higher) in a high-purity argon gas atmosphere at 1300 ° C. to 1550 ° C. for 4 hours. Both surfaces of the obtained sintered body were mirror-polished using diamond slurry, and the linear light transmittance was measured with a spectrophotometer. Linear light transmittance of the obtained translucent magnesia ceramics (4 m at 600 nm)
The relationship between m thickness) and manufacturing conditions is shown in Table 1 as Test Examples 1 to 9. The particle size of the translucent magnesia is 10 to 20 μm and the structure is uniform, and the Al 2 O 3 content (impurity) is 3 wtppm, Si
O 2 content (added as sodium silicate) is 600wtppm
Met.

【0033】[0033]

【表1】 透光性マグネシアセラミックスの焼結条件 一次焼結温度 一次焼結後の HIP温度(℃) HIP後の (℃×時間) 成型体密度(%) 直線光透過率(%) 試験例1 1250×1 92.5 1350 75.5 試験例2 1300×1 93.8 1400 76.0 試験例3 1350×1 94.9 1450 78.0 試験例4 1400×1 96.3 1500 83.0 試験例5 1450×1 97.8 1550 84.0 試験例6 1475×1 99.0 1550 84.5 試験例7 1475×1 99.0 1600 85.0 試験例8 1500×1 99.1 1600 85.3 試験例9 1500×1 99.1 1625 85.4[Table 1] Sintering conditions for translucent magnesia ceramics Primary sintering temperature HIP temperature after primary sintering (° C) After HIP (° C x hour) Density of compact (%) Linear light transmittance (%) Test example 1 1250 × 1 92.5 1350 75.5 Test Example 2 1300 × 1 93.8 1400 76.0 Test Example 3 1350 × 1 94.9 1450 78.0 Test Example 4 1400 × 1 96.3 1500 83.0 Test Example 5 1450 × 1 97.8 1550 84.0 Test Example 6 1475 × 1 99.0 1550 84.5 Test Example 7 1475 × 1 99.0 1600 85.0 Test Example 8 1500 × 1 99.1 1600 85 .3 Test Example 9 1500 × 1 99.1 1625 85.4

【0034】試験例5の条件で、Al2O3含有量を3wtppm
に固定し、SiO2含有量を変化させ、他は試験例5と同様
にして、マグネシアセラミックスを調製した。SiO2含有
量と波長600nmでの4mm厚での直線光透過率との関係
を表2に示す。
Under the conditions of Test Example 5, the Al 2 O 3 content was 3 wtppm.
The magnesia ceramics were prepared in the same manner as in Test Example 5 except that the content of SiO 2 was changed. Table 2 shows the relationship between the SiO 2 content and the linear light transmittance at a wavelength of 600 nm and a thickness of 4 mm.

【0035】[0035]

【表2】SiO2濃度(wtppm) 100 300 600 2000 直線光透過率(%) 45.0 84.0 84.0 82.0Table 2 SiO 2 concentration (wtppm) 100 300 600 2000 Linear light transmittance (%) 45.0 84.0 84.0 82.0

【0036】試験例5の条件で、SiO2含有量を30wtpp
mに固定し、Al2O3含有量を変化させ、他は試験例5と同
様にして、マグネシアセラミックスを調製した。Al2O3
含有量と波長600nmでの4mm厚での直線光透過率との
関係を表3に示す。
Under the conditions of Test Example 5, the SiO 2 content was 30 wtpp.
Magnesia ceramics were prepared in the same manner as in Test Example 5 except that the content of Al 2 O 3 was changed while the content was fixed to m. Al 2 O 3
Table 3 shows the relationship between the content and the linear light transmittance at a wavelength of 600 nm and a thickness of 4 mm.

【0037】[0037]

【表3】Al2O3濃度(wtppm) 10 50 2000 直線光透過率(%) 45.0 84.0 82.0[Table 3] Al 2 O 3 concentration (wtppm) 10 50 2000 Linear light transmittance (%) 45.0 84.0 82.0

【0038】表2,表3から、直線光透過率が78%以
上のマグネシアセラミックスを得るには、Al2O3又はSiO
2が必要で、低濃度域ではAl2O3はSiO2よりも効果的に光
透過率を向上させ、Al2O3の効果はSiO2の効果の約6倍
であることが分かる。またAl2O3含有量やSiO2含有量が
5000wtppm程度では、固溶できないAl2O3やSiO2が粒
界に析出して直線光透過率を著しく低下させ、また硝材
として加工するのが困難となる程度に平均粒径が増して
セラミックスの強度が低下した。このためAl2O3含有量
やSiO2含有量は、合計で2000wtppm以下とする。
From Tables 2 and 3, in order to obtain magnesia ceramics having a linear light transmittance of 78% or more, Al 2 O 3 or SiO 2 is used.
2 is required, Al 2 O 3 in the low concentration range effectively improves the light transmittance than SiO 2, it can be seen the effect of Al 2 O 3 is about 6 times the effect of SiO 2. Further, when the Al 2 O 3 content or the SiO 2 content is about 5000 wtppm, Al 2 O 3 or SiO 2 which cannot be solid-dissolved precipitates at the grain boundaries, and the linear light transmittance is remarkably reduced, and it is processed as a glass material. The average grain size increased to such an extent that the strength of the ceramics decreased. Therefore, the total content of Al 2 O 3 and SiO 2 is 2000 wtppm or less.

【0039】偏光ビームスプリッターの構造(実施例
1) マグネシア製偏光ビームスプリッター4の例を図1に示
す。ここで、図1の接合部41は基板と基板を接着した
部分で、貼付部42は基板に1/2波長膜を貼付する部
分である。透光性マグネシアセラミックスを板状にした
ものから、厚みが2.8mm(=2√2:一つのピッチが
4.0mmとなる)になるように、正確に表面研磨したマ
グネシア基板を所望の枚数、用意した。なお、用いた透
光性マグネシアセラミックス基板(試験例7)の直線光
透過率は4mm厚で85.0%であった。このマグネシア
基板の片面に、蒸着マルチコート加工により偏光分離膜
を形成し、17枚を重ね合わせ、紫外線硬化型接着剤に
より接着した。この接着したものを、正確に45度方向
に切り出し、厚みが4mmになるように表面研磨し、縦6
8.8mm、横66.8mmのサイズに切り出した。また、片
面に粘着層を有するポリカーボネート系1/2波長膜W
BR−90PC(ポラテクノ社製で「WBR−90P
C」は商品名)を、その原反から、縦68.8mm、横4.
0mmの大きさに正確に切り出した。切り出した8枚の1
/2波長膜の粘着剤面を上記マグネシア硝材の貼付部4
2と正確にあわせて貼付し、その双方の面にAR加工処
理(反射防止加工処理)を施し、マグネシア製偏光ビー
ムスプリッター4を得た。
Structure of Polarizing Beam Splitter (Example
1) Fig. 1 shows an example of the magnesia polarization beam splitter 4. Here, the joint portion 41 of FIG. 1 is a portion where substrates are adhered to each other, and the attaching portion 42 is a portion where a ½ wavelength film is attached to the substrates. From a plate of translucent magnesia ceramics, the desired number of magnesia substrates whose surface has been accurately polished to a thickness of 2.8 mm (= 2√2: one pitch is 4.0 mm) , Prepared. The translucent magnesia ceramics substrate (Test Example 7) used had a linear light transmittance of 85.0% at a thickness of 4 mm. A polarization separation film was formed on one surface of this magnesia substrate by vapor deposition multi-coating, 17 sheets were stacked and adhered by an ultraviolet curable adhesive. Cut this bonded piece exactly in the direction of 45 degrees, grind the surface to a thickness of 4 mm, and cut it vertically 6
It was cut out to a size of 8.8 mm and a width of 66.8 mm. Also, a polycarbonate-based half-wave film W having an adhesive layer on one surface
BR-90PC (manufactured by Polatechno Co., Ltd. "WBR-90P
"C" is the product name), and the length is 68.8 mm and the width is 4.
Exactly cut to a size of 0 mm. Eight cut pieces
The adhesive surface of the / 2 wavelength film is attached to the magnesia glass material sticking portion 4
It was adhered exactly as in No. 2 and AR processing (antireflection processing) was applied to both surfaces thereof to obtain a polarizing beam splitter 4 made of magnesia.

【0040】偏光ビームスプリッターの構造(実施例
2) 試験例7で調製したマグネシアセラミックスを用い、偏
光分離膜の形成と接着後で、1/2波長膜を貼り付ける
前の、縦68.8mm、横66.8mm、厚み4mmの透光性マ
グネシアセラミックス硝材の双方の面に、AR加工処理
を施した。また、その片面に粘着層を有するポリカーボ
ネート系1/2波長膜WBR−90PCAR(表面AR
加工処理品、ポラテクノ社製で、「WBR−90PCA
R」は商品名)をその原反から、縦68.8mm、横4.0
mmの大きさに正確に切り出した。切り出した8枚の1/
2波長膜の粘着剤面を上記マグネシア硝材の貼付部42
と正確にあわせて貼付し、マグネシア製偏光ビームスプ
リッターを得た。他の点は、実施例1と全く同様であ
る。
Structure of Polarizing Beam Splitter (Example
2) Using the magnesia ceramics prepared in Test Example 7, after forming and adhering the polarization separation film and before attaching the half-wavelength film, the light transmittance of 68.8 mm in length, 66.8 mm in width, and 4 mm in thickness. Both surfaces of the magnesia ceramics glass material were subjected to AR processing. Further, a polycarbonate-based half-wave film WBR-90PCAR (surface AR having an adhesive layer on one surface thereof)
Processed product, made by Polatechno Co., "WBR-90PCA
"R" is the product name), and the length is 68.8 mm and width is 4.0
Exactly cut out to the size of mm. 1 of 8 cut out
The pressure-sensitive adhesive surface of the two-wavelength film is attached to the sticking portion 42 of the magnesia glass material.
And affixed exactly to obtain a polarized beam splitter made of magnesia. The other points are exactly the same as in the first embodiment.

【0041】硝材の変更 透光性マグネシアセラミックスとして、波長600nmで
の直線光透過率が4mm厚で76%(試験例2)、78%
(試験例3)および84%(試験例5)のものを用いた
以外は、実施例1と同様にして、3種の偏光ビームスプ
リッターを作製した。
Change of glass material As a translucent magnesia ceramic, linear light transmittance at a wavelength of 600 nm is 76% at 4 mm thickness (Test Example 2), 78%.
Three types of polarizing beam splitters were produced in the same manner as in Example 1 except that those used in (Test Example 3) and 84% (Test Example 5) were used.

【0042】カラー液晶プロジェクター 実施例1の方法で得られたマグネシア製偏光ビームスプ
リッターを使用した、カラー液晶プロジェクターを図2
に示す。この例では、通常のガラス板に1/2波長膜付
き偏光板を貼付したガラス板付き偏光板を入射側偏光板
として、偏光板面を液晶側に配置し、サファイア基板付
き偏光板は液晶セルの出射側に配置している。光源(メ
タルハライドランプ)1から出射された可視光線はUV
/IRカットフィルタ2を通過し、インテグレーターレ
ンズ3と偏光ビームスプリッター4により大部分の自然
光が一定方向の偏光に効率よく変換された後、最初の色
分解用ダイクロイックミラー5で赤(R)が分離され、
ついで2番目の色分解用ダイクロイックミラー5で緑
(G)と青(B)に分解されて3原色を得る。R、G、
Bそれぞれの光線は、青用入射側偏光板7B、赤用入射
側偏光板7R、緑用入射側偏光板7Gに入射され、一定
方向の偏光の光線のみがTFT液晶セル8に入射する。
なお6はミラーである。液晶セル8を通過した偏光は青
用出射側偏光板9B、赤用出射側偏光板9R、緑用出射
側偏光板9Gに入射する。出射側偏光板9B、9Rを通
過した偏光は、直接合成用ダイクロイックミラー付きク
ロスプリズム11へ入射し、また緑用出射側偏光板9G
を通過した光線は、1/2波長膜10を通過して、色合
成用ダイクロイックミラー付きクロスプリズム11へ入
射する。その後、クロスプリズム11を通過して合成さ
れた偏光は、投射レンズ12を介して、スクリーン13
に投影される。
Color Liquid Crystal Projector A color liquid crystal projector using the polarizing beam splitter made of magnesia obtained by the method of Example 1 is shown in FIG.
Shown in. In this example, a polarizing plate with a glass plate in which a polarizing plate with a ½ wavelength film is attached to a normal glass plate is used as an incident side polarizing plate, the polarizing plate surface is arranged on the liquid crystal side, and the polarizing plate with a sapphire substrate is a liquid crystal cell. Is arranged on the emission side of. The visible light emitted from the light source (metal halide lamp) 1 is UV
After passing through the / IR cut filter 2, most of the natural light is efficiently converted into polarized light in a fixed direction by the integrator lens 3 and the polarization beam splitter 4, and then red (R) is separated by the first color separation dichroic mirror 5. Is
Then, the second color separation dichroic mirror 5 separates them into green (G) and blue (B) to obtain three primary colors. R, G,
The respective light beams of B are incident on the blue incident side polarizing plate 7B, the red incident side polarizing plate 7R, and the green incident side polarizing plate 7G, and only the light beams of polarized light in a certain direction are incident on the TFT liquid crystal cell 8.
In addition, 6 is a mirror. The polarized light that has passed through the liquid crystal cell 8 is incident on the blue emitting side polarizing plate 9B, the red emitting side polarizing plate 9R, and the green emitting side polarizing plate 9G. The polarized light that has passed through the emission side polarization plates 9B and 9R is directly incident on the cross prism 11 with the dichroic mirror for combining, and the emission side polarization plate 9G for green.
The light beam that has passed through passes through the ½ wavelength film 10 and is incident on the cross prism 11 with a dichroic mirror for color synthesis. Then, the polarized light that has passed through the cross prism 11 and is synthesized is passed through the projection lens 12 and the screen 13
Projected on.

【0043】耐久性 通常のガラスを硝材とした偏光ビームスプリッター、な
らびに透光性マグネシアセラミックスを用いた4種(直
線光透過率76%,78%,84%,85%)の偏光ビ
ームスプリッターを用いて、図2に示したカラー液晶プ
ロジェクターを作成した。各液晶プロジェクターの出力
(明るさ)は、1000ANSIルーメン程度であった。さ
らにこれら5台のプロジェクターを40℃環境下で同時
に5000時間連続運転を行い、偏光ビームスプリッタ
ー4の変化を確認した。通常のガラス製偏光ビームスプ
リッターならびに直線光透過率が76%のマグネシア製
偏光ビームスプリッターでは、1/2波長膜に焼けが発
生し、接合部も黄変した。これに対して、波長600nm
での直線光透過率が4mm厚で78%以上の、3種のマグ
ネシア製偏光ビームスプリッターでは、何れも変化がな
かった。
Durability A polarizing beam splitter using ordinary glass as a glass material and four types of polarizing beam splitters (linear light transmittance of 76%, 78%, 84%, 85%) using translucent magnesia ceramics were used. Then, the color liquid crystal projector shown in FIG. 2 was produced. The output (brightness) of each liquid crystal projector was about 1000 ANSI lumens. Further, these five projectors were continuously operated at 40 ° C. for 5000 hours at the same time, and the change of the polarization beam splitter 4 was confirmed. In the normal glass polarization beam splitter and the magnesia polarization beam splitter having a linear light transmittance of 76%, the half-wavelength film was burnt and the joint was yellowed. On the other hand, wavelength 600nm
In the case of the three types of magnesia-made polarization beam splitters having a linear light transmittance of 4 mm thickness of 78% or more, there was no change.

【0044】また、同様にして10000時間連続運転
を行い、偏光ビームスプリッター4の変化を確認したと
ころ、波長600nmでの直線光透過率が4mm厚で78%
のマグネシア製偏光ビームスプリッターでは1/2波長
膜に焼けが発生し、接合部も黄変した。これに対して、
直線光透過率が84%以上のマグネシア製偏光ビームス
プリッターには変化がなかった。以上のように、波長6
00nmでの直線光透過率が4mm厚で78%以上のマグネ
シア製偏光ビームスプリッターを使用することにより、
連続5000時間運転での1/2波長膜の焼けや接合部
の黄変や剥離を防止でき、直線光透過率が84%以上の
マグネシア製偏光ビームスプリッターを使用することに
より、連続10000時間運転での1/2波長膜の焼け
や接合部の黄変や剥離を防止でき、明るく、高コントラ
ストで均一性の優れた画像を長時間安定に表示できる、
カラー液晶プロジェクターが得られた。
Further, the same operation was continued for 10,000 hours, and the change in the polarization beam splitter 4 was confirmed. The linear light transmittance at a wavelength of 600 nm was 78% at a thickness of 4 mm.
In the polarized beam splitter manufactured by Magnesia, the half-wavelength film was burnt and the joint part was yellowed. On the contrary,
There was no change in the magnesia polarization beam splitter having a linear light transmittance of 84% or more. As described above, the wavelength 6
By using a magnesia polarization beam splitter with a linear light transmittance of 00 nm of 4 mm and a thickness of 78% or more,
By using a magnesia polarization beam splitter with a linear light transmittance of 84% or more, it is possible to prevent the half-wavelength film from burning and the yellowing and peeling of the joint during 5000 hours of continuous operation. It is possible to prevent burning of the 1/2 wavelength film and yellowing or peeling of the joint, and to display a bright, high-contrast and excellent uniformity image for a long time,
A color liquid crystal projector was obtained.

【0045】偏光板の調製 表1の試験例7に相当する条件で、直線光透過率(60
0nmで4mm厚)85%のマグネシアセラミックス板を調
製した。Al2O3含有量(不純物レベル)は3wtppm、SiO2
含有量は600wtppmであった。このマグネシアセラミ
ックスを縦27mm、横33mm、厚さ0.5mmに切り出
し、両面を鏡面研磨した後に、片面をAR(反射防止)
加工した。次に有機系偏光フィルム(片面をAR加工し
ても良い。その場合はAR加工面を接着面としない)
を、AR加工していない側のマグネシアセラミックス面
に、アクリル酸エステル系接着剤で貼り付ける。
Preparation of Polarizing Plate Under the conditions corresponding to Test Example 7 in Table 1, the linear light transmittance (60
An 85% magnesia ceramics plate (4 mm thick at 0 nm) was prepared. Al 2 O 3 content (impurity level) is 3 wtppm, SiO 2
The content was 600 wtppm. This magnesia ceramic is cut into a length of 27 mm, a width of 33 mm, and a thickness of 0.5 mm, both sides are mirror-polished, and one side is AR (antireflection).
processed. Next, an organic polarizing film (one side may be AR-processed, in which case the AR-processed surface is not the adhesive surface)
Is attached to the surface of the magnesia ceramic on the side not subjected to the AR processing with an acrylic ester adhesive.

【0046】図3に、得られた偏光板20の構造を示す
と、22は前記のマグネシアセラミックス硝材、23は
反射防止コート層、24は偏光フィルムである。このよ
うにして、青用、緑用、赤用の3種類のマグネシア偏光
板を得、図2の入射側偏光板7R〜7Bと、出射側偏光
板9R〜9Bの双方に用いた。なお1/2波長膜は、ダ
イクロイックミラー付きクロスプリズム11側に装着し
た。
FIG. 3 shows the structure of the obtained polarizing plate 20. Reference numeral 22 is the above-mentioned magnesia ceramic glass material, 23 is an antireflection coating layer, and 24 is a polarizing film. In this way, three types of magnesia polarizing plates for blue, green and red were obtained and used for both the incident side polarizing plates 7R-7B and the emitting side polarizing plates 9R-9B of FIG. The 1/2 wavelength film was attached to the cross prism 11 side with the dichroic mirror.

【0047】比較のために、硝材をマグネシアからBK
−7ガラスに変更した他は同様の偏光板(比較例1)、
硝材をYAGセラミックスとした他は同様の偏光板(比
較例2)、硝材をサファイヤとした他は同様の偏光板
(比較例3)を調製した。これらを図2の入射側や出射
側の偏光板(R,G,Bとも)に用い、4種類のカラー
液晶プロジェクターを作成した。各プロジェクターの出
力(明るさ)は1000ANSIルーメン程度であった。こ
れらの4台のカラー液晶プロジェクターを、40℃の環
境下で10,000時間連続運転した後に、熱負荷の大
きい青用と緑用の偏光板について、表面温度を測定し
た。結果を表4に示す。
For comparison, the glass material was changed from magnesia to BK.
The same polarizing plate (Comparative Example 1) except that the glass was changed to -7 glass,
A similar polarizing plate (Comparative Example 2) was prepared except that the glass material was YAG ceramics, and a similar polarizing plate (Comparative Example 3) was prepared except that the glass material was sapphire. These were used for the incident side and emission side polarizing plates (R, G, B) of FIG. 2 to prepare four types of color liquid crystal projectors. The output (brightness) of each projector was about 1000 ANSI lumens. After these four color liquid crystal projectors were continuously operated in an environment of 40 ° C. for 10,000 hours, the surface temperatures of the blue and green polarizing plates having a large heat load were measured. The results are shown in Table 4.

【0048】[0048]

【表4】 10,000時間使用後の偏光板表面温度 試 料 表面温度 (℃) 7B 9B 7G 9G 実施例3(マグネシヤ) 48 55 40 57 比較例1(ガラス) 65 76 56 78 比較例2(YAG) 56 66 47 69 比較例3(サファイヤ) 52 61 44 64[Table 4] Polarizing plate surface temperature sample after use for 10,000 hours Surface temperature (° C) 7B 9B 7G 9G Example 3 (magnesia) 48 55 40 57 Comparative Example 1 (glass) 65 76 56 78 78 Comparative Example 2 ( YAG) 56 66 47 69 Comparative Example 3 (sapphire) 52 61 44 64

【0049】以上のように、熱伝導率が高く、透光性が
高いために発熱の少ない、マグネシア基板を用いること
により、偏光板の表面温度を低く抑えられ、均一な画像
を長時間維持できる偏光板が得られた。なおマグネシア
セラミックスの直線光透過率は、波長600nmで4mm厚
の条件で、少なくとも78%以上とし、好ましくは83
%以上、特に好ましくは84%以上、最も好ましくは8
5%以上とする。マグネシアセラミックスには、直線光
透過率を向上させるため、Al2O3とSiO2を、合計含有量
が2000wtppm以下で、6*Al2O3+SiO2が250wtpp
m以上(好ましくは300wtppm以上)となるように含有
させる。
As described above, the surface temperature of the polarizing plate can be kept low by using a magnesia substrate, which has a high thermal conductivity and a high light-transmitting property, and thus generates little heat, so that a uniform image can be maintained for a long time. A polarizing plate was obtained. The linear light transmittance of the magnesia ceramics is at least 78% or more, preferably 83% under the condition of wavelength of 600 nm and thickness of 4 mm.
% Or more, particularly preferably 84% or more, most preferably 8%
5% or more. In order to improve the linear light transmittance of magnesia ceramics, the total content of Al 2 O 3 and SiO 2 is 2000 wtppm or less, and 6 * Al 2 O 3 + SiO 2 is 250 wtpp.
It is contained so as to be m or more (preferably 300 wtppm or more).

【0050】偏光板の場合と同様に、1/2波長板や1
/4波長板などの位相差板の硝材にも、マグネシアセラ
ミックスを用いることが好ましい。位相差板の場合も、
硝材のマグネシアセラミックスの直線光透過率は、波長
600nmで4mm厚の条件で、少なくとも78%以上と
し、好ましくは83%以上、特に好ましくは84%以
上、最も好ましくは85%以上とする。また硝材のマグ
ネシアセラミックスには、直線光透過率を向上させるた
め、Al2O3とSiO2を、合計含有量が2000wtppm以下
で、6*Al2O3+SiO2が250wtppm以上(好ましくは3
00wtppm以上)となるように含有させる。
As in the case of the polarizing plate, a half-wave plate or a 1-wave plate is used.
It is preferable to use magnesia ceramics also for the glass material of the retardation plate such as the / 4 wavelength plate. In the case of a retarder,
The linear light transmittance of the glass material magnesia ceramics is at least 78% or more, preferably 83% or more, particularly preferably 84% or more, most preferably 85% or more under the condition of a wavelength of 600 nm and a thickness of 4 mm. In addition, in order to improve the linear light transmittance, magnesia ceramics as a glass material has a total content of Al 2 O 3 and SiO 2 of 2000 wtppm or less and 6 * Al 2 O 3 + SiO 2 of 250 wtppm or more (preferably 3 wt% or more).
(00 wtppm or more).

【0051】位相差板の製造では、マグネシアセラミッ
クスの両面を鏡面研磨し、例えば片面に反射防止コート
層を設け、他面に1/2波長膜や1/4波長膜を透明な
接着剤で貼り付ける。1/2波長膜や1/4波長膜は例
えばポリビニルアルコールやポリカーボネートなどの膜
を1軸延伸して異方性を持たせたもので、延伸の程度や
添加物などにより赤用、青用、緑用等の種類を設けて、
リタデーション値を異ならせたものを用いる。そして1
/2波長膜や1/4波長膜は、進相軸や遅相軸が所定の
向きを向くように切断し、アクリル酸エステル系やポリ
ビニルアルコール系等の透明接着剤で、マグネシア硝材
に貼り付ける。このようにすると、硝材の直線光透過率
が高く、熱伝導度が高いため、1/2波長膜や1/4波
長膜などに焼けや黄変が生じず、耐久性の高い1/2波
長板などが得られ、光源を明るくできるため、高輝度の
カラー液晶スプリッターが得られる。また硝材が等軸性
のマグネシアセラミックスなので軸合わせの必要がな
い。
In the production of the retardation plate, both surfaces of the magnesia ceramic are mirror-polished, for example, an antireflection coating layer is provided on one surface, and a ½ wavelength film or a ¼ wavelength film is attached to the other surface with a transparent adhesive. wear. The half-wave film and the quarter-wave film are, for example, uniaxially stretched films of polyvinyl alcohol, polycarbonate, etc. to have anisotropy, and depending on the degree of stretching and additives, for red, blue, Providing types such as for green,
Different retardation values are used. And 1
The / 2 wavelength film and the 1/4 wavelength film are cut so that the fast axis and the slow axis are oriented in a predetermined direction, and attached to a magnesia glass material with a transparent adhesive such as an acrylate ester or polyvinyl alcohol . By doing so, since the linear light transmittance of the glass material is high and the thermal conductivity is high, the half-wavelength film and the quarter-wavelength film are not burnt or yellowed and have a high durability of the half-wavelength. Since a plate or the like can be obtained and the light source can be brightened, a high-brightness color liquid crystal splitter can be obtained. Also, since the glass material is equiaxed magnesia ceramics, there is no need to align the axes.

【0052】[0052]

【発明の効果】本発明の光学素子を用いると、明るさと
耐久性のいずれもが良好で、優れた画像を長時間安定的
に表示できる、カラー液晶プロジェクターが得られる。
本発明の偏光ビームスプリッターを用いると、さらに高
コントラストで均一性に優れた画像を長時間安定に表示
できる。本発明の偏光板や位相差板を用いると、セラミ
ックスとしてはサファイヤに匹敵し得るほどに明るく、
軸合わせが不要で、昇温が少ないため偏光層や1/2波
長膜などの劣化を防止して、高輝度のカラー画像を長時
間安定に表示できる。
By using the optical element of the present invention, it is possible to obtain a color liquid crystal projector having excellent brightness and durability and capable of stably displaying an excellent image for a long time.
By using the polarizing beam splitter of the present invention, an image having higher contrast and excellent uniformity can be stably displayed for a long time. When the polarizing plate and the retardation plate of the present invention are used, the ceramic is bright enough to be comparable to sapphire,
Axis alignment is not required, and since the temperature rise is small, deterioration of the polarizing layer and the half-wavelength film can be prevented, and a high-intensity color image can be displayed stably for a long time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 実施例の偏光ビームスプリッターの構造を示
す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a structure of a polarization beam splitter of an example.

【図2】 実施例の偏光ビームスプリッターを用いたカ
ラー液晶プロジェクタの構造を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a structure of a color liquid crystal projector using the polarization beam splitter of the embodiment.

【図3】 実施例の偏光板の断面図である。FIG. 3 is a sectional view of a polarizing plate of an example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光源(メタルハライドランプ) 2 UV/IRカットフィルタ 3 インテグレーターレンズ 4 偏光ビームスプリッター 41 接合部 42 貼付部 5 色分解用ダイクロイックミラー 6 ミラー 7R 赤用入射側偏光板 7G 緑用入射側偏光板 7B 青用入射側偏光板 8 TFT液晶セル 9R 赤用出射側偏光板 9G 緑用出射側偏光板 9B 青用出射側偏光板 10 1/2波長膜 11 色合成用ダイクロイックミラー付きクロスプリ
ズム 12 投射レンズ 13 スクリーン 20 偏光板 22 マグネシアセラミックス硝材 23 反射防止コート層 24 偏光フィルム
1 Light Source (Metal Halide Lamp) 2 UV / IR Cut Filter 3 Integrator Lens 4 Polarization Beam Splitter 41 Joining Section 42 Attachment Section 5 Color Separation Dichroic Mirror 6 Mirror 7R Red Incident Side Polarizer 7G Green Incident Side Polarizer 7B Blue Incident side polarizing plate 8 TFT liquid crystal cell 9R Red emitting side polarizing plate 9G Green emitting side polarizing plate 9B Blue emitting side polarizing plate 10 1/2 wavelength film 11 Cross prism with dichroic mirror for color synthesis 12 Projection lens 13 Screen 20 Polarizing plate 22 Magnesia ceramics glass material 23 Antireflection coating layer 24 Polarizing film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H049 BA02 BA05 BA06 BA42 BA43 BB03 BB42 BB51 BC10 BC13 BC14 BC22 2H088 EA12 HA15 HA20 2H091 FA10X FA11X FB06 FC22 2K103 AA01 AA05 AA11 AA16 AB04 BC11 BC15 BC16 CA26 DA01 DA11    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F-term (reference) 2H049 BA02 BA05 BA06 BA42 BA43                       BB03 BB42 BB51 BC10 BC13                       BC14 BC22                 2H088 EA12 HA15 HA20                 2H091 FA10X FA11X FB06 FC22                 2K103 AA01 AA05 AA11 AA16 AB04                       BC11 BC15 BC16 CA26 DA01                       DA11

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 波長600nmでの直線光透過率が4mm厚
で78%以上の、透光性マグネシアセラミックスを硝材
とした、カラー液晶プロジェクター用の光学素子。
1. An optical element for a color liquid crystal projector, comprising a translucent magnesia ceramic as a glass material having a linear light transmittance at a wavelength of 600 nm of 4% and a thickness of 78% or more.
【請求項2】 前記マグネシアセラミックスは、Al2O3
とSiO2を、合計含有量が2000wtppm以下で、6*Al2
O3+SiO2が250wtppm以上となるように含有させたこ
とを特徴とする、請求項1の光学素子。
2. The magnesia ceramics is Al 2 O 3
And SiO 2 with a total content of 2000 wtppm or less, 6 * Al 2
The optical element according to claim 1, wherein O 3 + SiO 2 is contained in an amount of 250 wtppm or more.
【請求項3】 前記光学素子が偏光ビームスプリッター
であることを特徴とする、請求項2の光学素子。
3. The optical element according to claim 2, wherein the optical element is a polarization beam splitter.
【請求項4】 前記光学素子が偏光板であることを特徴
とする、請求項2の光学素子。
4. The optical element according to claim 2, wherein the optical element is a polarizing plate.
【請求項5】 前記光学素子が位相差板であることを特
徴とする、請求項2の光学素子。
5. The optical element according to claim 2, wherein the optical element is a retardation plate.
【請求項6】 Al2O3又はSiO2を含有する塩基性炭酸マ
グネシウムを熱処理したマグネシア原料粉末と、バイン
ダーとを用いて成形体を作製し、熱処理によりバインダ
ーを除去した後に、水素雰囲気中もしくは真空中で、1
250℃以上1500℃以下で焼結し、さらにHIP処理
(高温等方圧加圧)することにより得た、波長600nm
での直線光透過率が4mm厚で78%以上の透光性マグネ
シアセラミックスを硝材とする、カラー液晶プロジェク
ター用の光学素子の製造方法。
6. A molded body is prepared using a magnesia raw material powder obtained by heat-treating basic magnesium carbonate containing Al 2 O 3 or SiO 2 and a binder, and the binder is removed by heat treatment, and then, in a hydrogen atmosphere or In vacuum 1
Wavelength 600nm obtained by sintering at 250 ℃ or more and 1500 ℃ or less and further HIP treatment (high temperature isotropic pressure)
A method for manufacturing an optical element for a color liquid crystal projector, which uses a translucent magnesia ceramic having a linear light transmittance of 4 mm thickness of 78% or more as a glass material.
【請求項7】 前記マグネシア原料粉末には、Al2O3とS
iO2を、合計含有量が2000wtppm以下で、6*Al2O3
+SiO2が250wtppm以上となるように含有させること
を特徴とする、請求項6の光学素子の製造方法。
7. The magnesia raw material powder contains Al 2 O 3 and S.
When the total content of iO 2 is 2000 wtppm or less, 6 * Al 2 O 3
7. The method for manufacturing an optical element according to claim 6, wherein the content of + SiO 2 is 250 wtppm or more.
【請求項8】 請求項1〜5のいずれかの光学素子を用
いたカラー液晶プロジェクター。
8. A color liquid crystal projector using the optical element according to claim 1.
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