JP2003266936A - Information recording medium, information recording method and information recording/reproducing device - Google Patents

Information recording medium, information recording method and information recording/reproducing device

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JP2003266936A JP2002067541A JP2002067541A JP2003266936A JP 2003266936 A JP2003266936 A JP 2003266936A JP 2002067541 A JP2002067541 A JP 2002067541A JP 2002067541 A JP2002067541 A JP 2002067541A JP 2003266936 A JP2003266936 A JP 2003266936A
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information recording
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an information recording medium suited for high density by adopting a recording layer material suited for an information recording medium with a multilayered recording layer and a laminar constitution. <P>SOLUTION: The information recording medium has more than two recording layers formed on a substrate and records data by a change in shape or a change in an atomic configuration by exposing the recording layer to light and regenerates the recorded data through reading the difference in the atomic configuration. In addition, the medium uses a film composed of elements such as R, M and O (R is not less than one kind of element selected from among Y, Bi, In and a lanthanum element; M is not less than one element selected from among Al, Cr, Mn, Sc, In, Ru, Rh, Co, Fe, Cu, Ni, Zn, Li, Si, Ge, Zr, Ti, Hf, Sn, Pb, Mo, V and Nb; and O is oxygen) as a recording layer material. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に記録層を
有し、光を照射することにより記録、再生を行う情報記
録媒体において、二層以上の記録層を備えることによ
り、より大容量を実現する情報記録媒体に関する。さら
に本発明は、波長が500nm 以下の光を用いて記録を行う
ための情報記録方法、および情報の記録、または情報記
録媒体に記録されている情報を再生する、または記録及
び再生を行う情報記録再生装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an information recording medium which has a recording layer on a substrate and which records and reproduces by irradiating light, and thus has a large capacity by providing two or more recording layers. The present invention relates to an information recording medium that realizes. Furthermore, the present invention provides an information recording method for recording by using light having a wavelength of 500 nm or less, and recording of information, or reproduction of information recorded on an information recording medium, or information recording for recording and reproduction. Reproduction device

【0002】[0002]

【従来の技術】情報記録媒体としては、コンパクトディ
スクに代表されるようにディスク状情報記録媒体が知ら
れているが、マルチメディア、情報ネットワークの時代
になり、さらなる大容量の記録システムが必要とされて
いる。情報記録媒体には読み出し専用、追記型、書き換
え型があるが、読み出し専用としてはCD-ROM、DVD-ROM
、追記型としてCD-Rなど、書き換え型としてCD−R
Wのような相変化記録方式、またはMOのような光磁気
記録方式のものが実用化されている。
2. Description of the Related Art Disc-shaped information recording media, such as compact discs, are known as information recording media, but in the age of multimedia and information networks, a recording system with a larger capacity is required. Has been done. There are read-only, write-once, and rewritable information recording media, but read-only CD-ROM, DVD-ROM
, CD-R as a write-once type, CD-R as a rewritable type
A phase change recording method such as W or a magneto-optical recording method such as MO has been put into practical use.

【0003】情報技術の進歩に伴い、情報量の飛躍的増
加し、情報記録媒体に対する高密度化および大容量化へ
の要求は高まっている。高密度化の方法として、同じ情
報量が記録される面積を小さくする方法、つまり記録ピ
ットを小さくする方法がある。また、同じ面積に、より
多くの情報量を記録する方法として多値記録する方法が
ある。情報を多値化することにより、同じ面積に多くの
情報を記録することが可能となる。また、面積だけでは
なく、三次元的に記録することにより高密度化を行うと
いう方法もある。
Along with the advance of information technology, the amount of information has increased dramatically, and the demand for higher density and larger capacity of information recording media has increased. As a method of increasing the density, there is a method of reducing the area where the same amount of information is recorded, that is, a method of reducing recording pits. Further, there is a multi-valued recording method as a method for recording a larger amount of information in the same area. By multi-valued information, it is possible to record a large amount of information in the same area. There is also a method of increasing the density by recording not only the area but also three-dimensionally.

【0004】記録ピットを小さくするには、光をより小
さく絞り光のスポットを小さくする必要がある。光のス
ポット径は波長をλ、レンズの開口率をNAとするとλ
/NAに比例するため、スポット径を小さくするには、
波長を小さくするか開口率を大きくすることが行われて
いる。最近では、波長0.65μmの光を利用したDVDが
実用化を迎え、更に波長0.4 μm程度の光を用いて高密
度化を目指す開発が盛んに行われている( 特開平6−2
95469、特開2000−108513など) 。
To make the recording pits smaller, it is necessary to make the light smaller and the spot of the diaphragm light smaller. The light spot diameter is λ, where λ is the wavelength and NA is the aperture ratio of the lens.
Since it is proportional to / NA, to reduce the spot diameter,
It has been practiced to reduce the wavelength or increase the aperture ratio. Recently, a DVD using light with a wavelength of 0.65 μm has come into practical use, and further development aiming at higher density using light with a wavelength of about 0.4 μm has been actively conducted (Japanese Patent Laid-Open No. 6-2.
95469, JP-A-2000-108513, etc.).

【0005】しかしながら、光の短波長化は短期間には
難しく、波長0.4 μm のレーザーダイオードは、まだ実
用化レベルにはいたっていない。多値記録により高密度
化する方法は、既存のレーザー、光学系などを大きく変
更することなく行うことが可能であるが、多値情報を信
号処理により変復調することが必要である。多値化を行
うためには、従来二値情報として扱っていた信号電圧を
分割することにより多値信号として扱うことになる。そ
のため各信号レベルのしきい値に許されるマージンが小
さくなる。このような状態で正確に信号を読み出すため
には情報が所望のしきい値に入っているかを検証するな
どの余分な時間が必要となり、記録、再生に要する時間
が多くかかることになる。
However, it is difficult to shorten the wavelength of light in a short period of time, and a laser diode having a wavelength of 0.4 μm has not reached a practical level yet. The method of increasing the density by multi-valued recording can be performed without significantly changing the existing laser and optical system, but it is necessary to modulate and demodulate multi-valued information by signal processing. In order to perform multi-valued processing, the signal voltage, which was conventionally handled as binary information, is divided and handled as a multi-valued signal. Therefore, the margin allowed for the threshold value of each signal level becomes small. In order to accurately read out the signal in such a state, extra time is required for verifying whether the information is within a desired threshold value or the like, and it takes much time for recording and reproducing.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】また、記録層を複数備
え、多層構造にするなど三次元的に記録を行い、高密度
化する方法では、既存のシステムを大きく変更すること
なく高密度化を図ることができる(特開平09−198
709など)。しかし、多層にすると光源から遠い位置
にある記録層は、他の記録層を透過した光で記録を行
い、また再生を行う必要がある。そのため、記録が可能
となるような光の透過率、また再生が可能となる程度の
光が反射することが必要であり、そのような設計が可能
な記録層などの材料、媒体の層構成を実現できるまでに
は、さらに課題が残っていた。
Further, in a method of providing a recording medium in a three-dimensional manner such as a multilayer structure having a plurality of recording layers to increase the recording density, it is possible to increase the recording density without significantly changing the existing system. Can be achieved (Japanese Patent Laid-Open No. 09-198)
709). However, in the case of multiple layers, it is necessary for the recording layer located far from the light source to perform recording and reproduction with the light transmitted through the other recording layers. Therefore, it is necessary that the transmittance of light to enable recording and the reflection of light to the extent that reproduction is possible are performed. There were still issues to be solved before it could be realized.

【0007】上記のような問題を鑑み、本発明の目的
は、多層の記録層を持つ情報記録媒体に適した記録層材
料、層構成を用いることにより高密度化に適した情報記
録媒体を提供することにある。
In view of the above problems, an object of the present invention is to provide an information recording medium suitable for high density by using a recording layer material and a layer structure suitable for an information recording medium having multiple recording layers. To do.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
基板上に二層以上の記録層を有し、記録層に光を照射す
ることにより形状の変化、または原子配列の変化により
記録を行い、また形状の違い、または原子配列の違いを
読み取ることにより再生を行う情報記録媒体において、
記録層材料としてR、M、Oの各元素(ただし、Rは
Y、Bi、Inおよびランタン系列元素より選ばれる一
種以上の元素を示し、MはAl、Cr、Mn、Sc、I
n、Ru、Rh、Co、Fe、Cu、Ni、Zn、L
i、Si、Ge、Zr、Ti、Hf、Sn、Pb、M
o、VおよびNbのうちより選ばれる一種以上の元素、
Oは酸素を示す。)からなる膜を用いる情報記録媒体に
関する。
The invention according to claim 1 is
By having two or more recording layers on the substrate and irradiating the recording layers with light to record by changing the shape or the atomic arrangement, and by reading the difference in shape or the difference in atomic arrangement In the information recording medium to be reproduced,
Each element of R, M, O as a recording layer material (wherein R represents one or more elements selected from Y, Bi, In and lanthanum series elements, and M represents Al, Cr, Mn, Sc, I).
n, Ru, Rh, Co, Fe, Cu, Ni, Zn, L
i, Si, Ge, Zr, Ti, Hf, Sn, Pb, M
one or more elements selected from o, V and Nb,
O represents oxygen. The present invention relates to an information recording medium using a film made of.

【0009】請求項2記載の発明は、情報記録媒体にお
いて、記録層材料としてX、Y、Oの各元素(ただし、
XはMg、Fe、Zn、Mn、Ni、Liのうちから選
ばれる一種以上の元素を示し、YはAl 、Fe、Cr、
Ti、Mn、Ni、Co、Cu、Vのうちから選ばれる
一種以上の元素、Oは酸素を示す。)からなる膜を用い
る情報記録媒体に関する。
According to a second aspect of the invention, in the information recording medium, each element of X, Y and O (provided that
X represents one or more elements selected from Mg, Fe, Zn, Mn, Ni and Li, and Y represents Al, Fe, Cr,
One or more elements selected from Ti, Mn, Ni, Co, Cu and V, and O represents oxygen. The present invention relates to an information recording medium using a film made of.

【0010】請求項3に記載の発明は、記録層の材料と
してFeの酸化物を含む情報記録媒体に関する。
The invention according to claim 3 relates to an information recording medium containing an oxide of Fe as a material of a recording layer.

【0011】請求項4記載の発明は、記録層材料として
Bi、Fe、Oの元素を含む情報記録媒体に関する。
The invention according to claim 4 relates to an information recording medium containing elements of Bi, Fe and O as a recording layer material.

【0012】請求項5記載の発明は、記録層材料として
Mn、Fe、Oの元素を含む情報記録媒体に関する。
The fifth aspect of the present invention relates to an information recording medium containing elements of Mn, Fe and O as a recording layer material.

【0013】請求項6記載の発明は、記録層材料の結晶
構造がアモルファス構造である情報記録媒体に関する。
The invention according to claim 6 relates to an information recording medium in which the crystal structure of the recording layer material is an amorphous structure.

【0014】請求項7記載の発明は、記録層の膜厚が50
nm以下である情報記録媒体に関する。
According to the invention of claim 7, the recording layer has a film thickness of 50.
The present invention relates to an information recording medium having a thickness of nm or less.

【0015】請求項8記載の発明は、波長が500nm 以下
の光を用いて、記録を行う情報記録媒体に関する。請求
項1から7の発明における記録層材料は、波長が500nm
以下になると光の吸収が大きくなり記録感度が向上する
ため、さらに高密度記録に適した記録媒体となりうる。
The present invention according to claim 8 relates to an information recording medium for recording by using light having a wavelength of 500 nm or less. The recording layer material according to any one of claims 1 to 7 has a wavelength of 500 nm.
In the following cases, light absorption is increased and recording sensitivity is improved, so that the recording medium can be more suitable for high density recording.

【0016】請求項9に記載の発明は、波長が500nm 以
下の光を用いて、請求項1から8に記載のいずれかの情
報記録媒体へ情報を記録する情報記録方法に関する。
The invention according to claim 9 relates to an information recording method for recording information on any of the information recording media according to claims 1 to 8 by using light having a wavelength of 500 nm or less.

【0017】請求項10に記載の発明は、波長が500nm
以下の光を請求項1から8に記載のいずれかの情報記録
媒体へ照射することにより情報を記録し、また情報記録
媒体に記録されている情報を再生する情報記録再生装置
に関する。
The invention according to claim 10 has a wavelength of 500 nm.
The present invention relates to an information recording / reproducing apparatus for recording information by irradiating the information recording medium according to any one of claims 1 to 8 with the following light and reproducing the information recorded on the information recording medium.

【0018】[作用]請求項1記載の発明によって、基
板上に多層構造を備え、記録層を複数層としそれぞれの
記録層に光の焦点を合わせることにより記録を行う。表
面から遠い位置にある記録層に記録、再生を行う場合
は、他の記録層を透過した光で記録を行い、また再生を
行う必要がある。そのため、記録が可能となるような光
の透過率、また再生が可能となる程度の光が反射するこ
とが必要であり、上記の材料は単層で記録が可能で比較
的透過率も高いので表面から遠い位置にある記録層への
記録、再生においても問題なく行うことができる。上記
の材料は、光を吸収し熱が発生することにより膜の結晶
相、結晶構造、または形状が変化することにより記録が
可能である。製膜後の膜は数種類の酸化物の混合化合物
となっており、温度上昇により融点を超える、酸素を放
出することによる結晶構造の変化、反応により新たな化
合物の生成などにより、形状変化、結晶構造変化がおこ
り、記録を行うことができる。また、基板と接触してい
る面の温度が上昇することにより基板の変質、形状変化
がおこることにより記録するというメカニズムもある。
これらの変化は数百℃から起こりうる。上述した材料の
ような従来の記録媒体では用いられていないような酸化
物記録材料を用い、記録方法をこれらの材料に適した方
法とすることにより高密度記録において良好な記録が可
能となる。上述したような材料は、酸化などに強く、ま
た情報を記録した後高温になっても記録した情報が消え
にくいため情報の保存性も向上する。膜の作製はCVD
法、プラズマCVD法、イオンビーム蒸着法、スパッタ
法等がいずれも使用可能である。本発明では、光磁気記
録のように磁気的に記録を行うのではなく、形状の変
化、または原子配列の変化により記録を行い、また形状
の違い、または原子配列の違いを光学的に読み取ること
により再生を行う。
[Operation] According to the first aspect of the present invention, recording is performed by providing a multilayer structure on the substrate and using a plurality of recording layers to focus light on each recording layer. When recording / reproducing on a recording layer located far from the surface, it is necessary to record / reproduce with the light transmitted through another recording layer. Therefore, it is necessary that the transmittance of light that enables recording and the reflection of light that enables reproduction be performed. Since the above materials can record in a single layer and have relatively high transmittance, Recording and reproduction on a recording layer located far from the surface can be performed without any problem. The above materials can record by changing the crystal phase, crystal structure, or shape of the film by absorbing light and generating heat. The film after film formation is a mixed compound of several kinds of oxides, and its shape changes and crystallizes due to the temperature exceeding the melting point, the change in crystal structure due to the release of oxygen, and the formation of a new compound due to the reaction. A structural change occurs and recording can be performed. In addition, there is also a mechanism in which recording is performed when the temperature of the surface in contact with the substrate rises and the substrate is altered and its shape changes.
These changes can occur from a few hundred degrees Celsius. By using an oxide recording material that is not used in the conventional recording media such as the above-mentioned materials and adopting a recording method suitable for these materials, excellent recording can be performed in high density recording. The materials described above are resistant to oxidation and the like, and the recorded information is hard to be erased even when the temperature becomes high after the information is recorded. CVD for film formation
Any of the method, plasma CVD method, ion beam vapor deposition method, sputtering method and the like can be used. In the present invention, instead of magnetically recording as in magneto-optical recording, recording is performed by a change in shape or an atomic arrangement, and a difference in shape or a difference in atomic arrangement is optically read. Play by.

【0019】請求項2記載の発明によって、これらの材
料は、光を照射することにより光を吸収し熱が発生する
ことにより膜の結晶相、結晶構造、または形状が変化す
る。高温では酸素を放出して結晶構造の変化が起こるこ
ともある。情報に対応した光のパルスを照射することに
より情報の記録を行うことができる。上述した材料のよ
うな従来の記録媒体では用いられていない記録材料を用
い、記録方法をこれらの材料に適した方法とすることに
より高密度記録において良好な記録が可能となる。上述
したような材料は、酸化などに強く、また情報を記録し
た後高温になっても記録した情報が消えにくいため情報
の保存性も向上する。膜の作製はCVD法、プラズマC
VD法、イオンビーム蒸着法、スパッタ法等がいずれも
使用可能である。
According to the second aspect of the invention, these materials change the crystal phase, crystal structure, or shape of the film by absorbing light and generating heat by irradiation with light. At high temperature, oxygen may be released to change the crystal structure. Information can be recorded by irradiating a pulse of light corresponding to the information. By using a recording material that is not used in the conventional recording media such as the above-mentioned materials and adopting a recording method suitable for these materials, excellent recording can be performed in high density recording. The materials described above are resistant to oxidation and the like, and the recorded information is hard to be erased even when the temperature becomes high after the information is recorded. The film is formed by the CVD method and plasma C
Any of the VD method, the ion beam evaporation method, the sputtering method and the like can be used.

【0020】請求項3に記載の発明によって、Feは三
価とニ価をとり数種類の酸化物の形態を取りうる。Fe
2 3 ではα型とγ型などの相転移を起こす。また、F
e、及びFeの酸化物は比較的安価でありコスト的にも
有利である。
According to the third aspect of the invention, Fe has trivalent and divalent states and can take the form of several kinds of oxides. Fe
2 O 3 causes α-type and γ-type phase transitions. Also, F
The oxides of e and Fe are relatively inexpensive and advantageous in terms of cost.

【0021】請求項4に記載の発明によって、Bi、F
eのそれぞれの元素は光の吸収が比較的大きく、これの
元素を含む合金、化合物も光の吸収が比較的大きい。そ
こでこれらの元素から成る化合物を記録層に用いること
により記録感度の向上が可能となる。また、酸化物を用
いることにより酸化などに強く、また情報を記録した後
高温になっても記録した情報が消えにくいため情報の保
存性も向上する。膜の作製はCVD法、プラズマCVD
法、イオンビーム蒸着法、スパッタ法等がいずれも使用
可能である。
According to the invention of claim 4, Bi, F
The respective elements of e have relatively large light absorption, and alloys and compounds containing these elements also have relatively large light absorption. Therefore, it is possible to improve the recording sensitivity by using a compound composed of these elements in the recording layer. Further, by using an oxide, it is resistant to oxidation and the stored information is improved because the recorded information is hard to be erased even when the temperature becomes high after the information is recorded. The film is formed by the CVD method or plasma CVD
Any of a method, an ion beam vapor deposition method, a sputtering method and the like can be used.

【0022】請求項5に記載の発明によって、Mn、F
eのそれぞれの元素は光の吸収が比較的大きく、これら
の元素を用いた合金、化合物も光の吸収が比較的大き
い。そこでこれらの元素から成る化合物を記録層に用い
ることにより記録感度の向上が可能となる。また、酸化
物を用いることにより酸化などに強く、また情報を記録
した後高温になっても記録した情報が消えにくいため情
報の保存性も向上する。膜の作製はCVD法、プラズマ
CVD法、イオンビーム蒸着法、スパッタ法等がいずれ
も使用可能である。
According to the invention of claim 5, Mn, F
The respective elements of e have relatively large light absorption, and alloys and compounds using these elements also have relatively large light absorption. Therefore, it is possible to improve the recording sensitivity by using a compound composed of these elements in the recording layer. Further, by using an oxide, it is resistant to oxidation and the stored information is improved because the recorded information is hard to be erased even when the temperature becomes high after the information is recorded. A CVD method, a plasma CVD method, an ion beam vapor deposition method, a sputtering method, or the like can be used for forming the film.

【0023】請求項6に記載の発明によって、結晶質材
料に比べ均一性が高いため高密度に記録するため小さい
領域に記録を行う場合、結晶粒界などの影響を受けにく
く有効である。
According to the sixth aspect of the present invention, the uniformity is higher than that of the crystalline material, and therefore recording is performed at a high density, so that when recording in a small area, it is effective without being affected by crystal grain boundaries.

【0024】請求項7に記載の発明によって、膜厚が50
nmよりも厚くなると記録感度が悪くなり良好な記録を行
うことができなくなる。20nm以下のときにさらに感度が
良くなり、好ましい。
According to the invention of claim 7, the film thickness is 50
If the thickness is thicker than nm, the recording sensitivity becomes poor and good recording cannot be performed. When the thickness is 20 nm or less, the sensitivity is further improved, which is preferable.

【0025】請求項8に記載の発明によって、特に波長
が400 nmから430 nm程度のいわゆる青色レーザーダ
イオードの光に対して特に好ましい効果がある。
According to the invention described in claim 8, there is a particularly preferable effect on the light of a so-called blue laser diode having a wavelength of about 400 nm to 430 nm.

【0026】請求項9に記載の発明によって、記録した
い情報に対応した光を照射することで記録膜の結晶相、
結晶構造、または形状を変化させることにより情報の記
録を行うという本発明の情報記録方法は、上記のような
情報記録媒体を用い良好な記録を行う方法として効果が
大きい。本発明では、光磁気記録のように磁気的に記録
を行うのではなく、形状の変化、または原子配列の変化
により記録を行い、また形状の違い、または原子配列の
違いを光学的に読み取ることにより再生を行う。
According to the invention of claim 9, by irradiating light corresponding to information to be recorded, the crystalline phase of the recording film,
The information recording method of the present invention in which information is recorded by changing the crystal structure or shape is highly effective as a method for performing good recording using the above information recording medium. In the present invention, instead of magnetically recording as in magneto-optical recording, recording is performed by a change in shape or an atomic arrangement, and a difference in shape or a difference in atomic arrangement is optically read. Play by.

【0027】請求項10に記載の発明によって、請求項
1から8に記載の情報記録媒体に光を照射することによ
って、膜の結晶相、結晶構造、または形状を変化させる
ことにより情報の記録を行う情報記録手段を備えている
か、または上記材料の膜を記録層とする記録媒体に光を
照射することで記録部と未記録部の結晶相、結晶構造、
または形状の違いを検出することにより情報の再生を行
う再生手段を備えているか、またはこれらの記録手段、
再生手段のどちらともを備えている情報記録再生装置に
関する。請求項1から8に記載された、従来の情報記録
媒体では用いられていない材料を記録層に用いたような
情報記録媒体に対し、記録方法、再生方法もこれらの媒
体に適した方法を用い、光学系、信号処理系などをこれ
らの媒体に最適化することにより高密度記録において良
好な記録が可能となる。
According to the tenth aspect of the invention, the information recording medium according to the first aspect to the eighth aspect is irradiated with light to change the crystal phase, crystal structure, or shape of the film, thereby recording information. By irradiating a recording medium having an information recording means for performing, or irradiating a recording medium having a film of the above material as a recording layer, the crystalline phase of the recorded portion and the unrecorded portion, the crystal structure,
Or, a reproducing means for reproducing information by detecting a difference in shape is provided, or these recording means,
The present invention relates to an information recording / reproducing apparatus having both reproducing means. For an information recording medium having a recording layer made of a material which is not used in the conventional information recording medium according to any one of claims 1 to 8, a method suitable for these recording and reproducing methods is used. By optimizing the optical system, the signal processing system, and the like for these media, good recording can be achieved in high-density recording.

【0028】[0028]

【発明の実施の形態】以下、本発明の情報記録媒体、情
報記録方法および情報記録再生装置について、図面を参
照しつつ、実施の形態により説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, an information recording medium, an information recording method, and an information recording / reproducing apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0029】(光情報記録媒体)本実施の形態に係る光
情報記録媒体は、光照射により記録または再生を行う光
情報記録媒体において、記録層がR、MおよびOの各元
素からなることを特徴とする。ここで、RはY、Bi、
Inおよびランタン系列元素より選ばれる一種以上の元
素を示し、MはAl、Cr、Mn、Sc、In、Ru、
Rh、Co、Fe、Cu、Ni、Zn、Li、Si、G
e、Zr、Ti、Hf、Sn、Pb、Mo、VおよびN
bのうちより選ばれる一種以上の元素を示し、Oは酸素
を示す。
(Optical Information Recording Medium) In the optical information recording medium according to the present embodiment, in the optical information recording medium for recording or reproducing by light irradiation, the recording layer is made of each element of R, M and O. Characterize. Where R is Y, Bi,
Indicates one or more elements selected from In and lanthanum series elements, M is Al, Cr, Mn, Sc, In, Ru,
Rh, Co, Fe, Cu, Ni, Zn, Li, Si, G
e, Zr, Ti, Hf, Sn, Pb, Mo, V and N
It represents one or more elements selected from b, and O represents oxygen.

【0030】従来の光情報記録媒体において、記録層は
媒体の構成要素の中で比較的柔らかい材質よりなってお
り、この層の強度を高めることができれば媒体の強度も
高まることが期待される。酸化物は比較的硬度が高いた
め、酸化物を記録層に用いることは、強度の高い光情報
記録媒体を実現するために有効である。
In the conventional optical information recording medium, the recording layer is made of a relatively soft material among the constituent elements of the medium, and if the strength of this layer can be increased, the strength of the medium is expected to increase. Since the oxide has a relatively high hardness, it is effective to use the oxide for the recording layer in order to realize an optical information recording medium having high strength.

【0031】上記したR、MおよびOの各元素からなる
酸化物は、スパッタなど気相成長法により、特性の良い
膜が容易に製膜される。ここで、RはY、Bi、Inお
よびランタン系列元素より選ばれる一種以上の元素を示
し、MはAl、Cr、Mn、Sc、In、Ru、Rh、
Co、Fe、Cu、Ni、Zn、Li、Si、Ge、Z
r、Ti、Hf、Sn、Pb、Mo、VおよびNbのう
ちより選ばれる一種以上の元素を示し、Oは酸素を示
す。
A film having good characteristics can be easily formed from the above oxides of the elements R, M and O by a vapor phase growth method such as sputtering. Here, R represents one or more elements selected from Y, Bi, In and lanthanum series elements, and M represents Al, Cr, Mn, Sc, In, Ru, Rh,
Co, Fe, Cu, Ni, Zn, Li, Si, Ge, Z
It represents one or more elements selected from r, Ti, Hf, Sn, Pb, Mo, V and Nb, and O represents oxygen.

【0032】このように製膜した記録層に光を照射し温
度を上昇させることにより、結晶構造が変化し情報を記
録することができる。光の吸収率が高い元素を含むこと
で記録時における必要な光の出力が小さくてすむように
なる。つまり記録感度が高くなる。このように、例えば
Biのように光吸収率が高い元素を多く含む組成、場合
によってはBiFeO合金のような組成を持つことによ
り記録感度が大きく向上するため、好ましい。また、酸
化物はもともと酸化されているため大気中で安定であ
り、酸化物を記録層に用いた場合、記録された情報が酸
化により破壊されることがなく、このような記録層を用
いることにより保存性に優れた光情報記録媒体の実現が
可能である。
By irradiating the recording layer thus formed with light to raise the temperature, the crystal structure is changed and information can be recorded. By including an element having a high light absorptivity, the required light output during recording can be reduced. That is, the recording sensitivity becomes high. As described above, it is preferable to have a composition containing many elements having a high light absorptivity such as Bi, or a composition such as a BiFeO alloy in some cases, because the recording sensitivity is greatly improved. In addition, since the oxide is originally oxidized, it is stable in the atmosphere, and when the oxide is used for the recording layer, the recorded information is not destroyed by the oxidation, and such a recording layer should be used. Thus, it is possible to realize an optical information recording medium having excellent storage stability.

【0033】製膜した記録層に光を照射し温度を上昇さ
せることにより結晶構造が変化し情報を記録することが
できる。また、酸化物はもともと酸化されているため大
気中で安定であり、酸化物を記録層に用いた場合、記録
された情報が酸化により破壊されることがなく、このよ
うな記録層を用いることにより保存性に優れた光情報記
録媒体の実現が可能である。
By irradiating the formed recording layer with light to raise the temperature, the crystal structure is changed and information can be recorded. In addition, since the oxide is originally oxidized, it is stable in the atmosphere, and when the oxide is used for the recording layer, the recorded information is not destroyed by the oxidation, and such a recording layer should be used. Thus, it is possible to realize an optical information recording medium having excellent storage stability.

【0034】記録層としてR3512(ただし、Rは
Y、Bi、Inおよびランタン系列元素より選ばれる一
種以上の元素を示し、MはAl、Cr、Mn、Sc、I
n、Ru、Rh、Co、Fe、Cu、Ni、Zn、L
i、Si、Ge、Zr、Ti、Hf、Sn、Pb、M
o、VおよびNbのうちより選ばれる一種以上の元素を
示し、Oは酸素を示す。)の組成を有する酸化物を用い
ることができる。
As a recording layer, R 3 M 5 O 12 (wherein R represents one or more elements selected from Y, Bi, In and lanthanum series elements, and M represents Al, Cr, Mn, Sc, I)
n, Ru, Rh, Co, Fe, Cu, Ni, Zn, L
i, Si, Ge, Zr, Ti, Hf, Sn, Pb, M
It represents one or more elements selected from o, V and Nb, and O represents oxygen. An oxide having a composition of 1) can be used.

【0035】R3512の組成を持つ酸化物として、
いわゆるガーネット構造を有する酸化物がある。ガーネ
ット構造を持つ化合物は硬度が高いためこれを記録層に
用いることができれば強度が高い光情報記録媒体が実現
できる。
As an oxide having a composition of R 3 M 5 O 12 ,
There is an oxide having a so-called garnet structure. Since a compound having a garnet structure has a high hardness, an optical information recording medium having a high strength can be realized if this compound can be used for the recording layer.

【0036】スパッタ法などのような気相成長法で製膜
することが可能であり、この方法が簡便で特性の良い膜
を容易に作成できることから好ましい。また本発明で
は、このような気相法以外でも、たとえば、めっき法、
ゾル−ゲル法を用いて製膜することも可能であり、さら
に、CVD法、プラズマCVD法、イオンビーム蒸着法
等を用いることもできる。このようにして、好ましくは
気相成長法で製膜した膜に光を照射し、温度を上昇させ
ることにより、たとえば結晶構造が変化するなどによ
り、情報を記録することができる。
It is possible to form a film by a vapor phase growth method such as a sputtering method, and this method is preferable because it is easy and a film having excellent characteristics can be easily formed. Further, in the present invention, other than such a vapor phase method, for example, a plating method,
It is also possible to form a film by using a sol-gel method, and it is also possible to use a CVD method, a plasma CVD method, an ion beam evaporation method, or the like. In this way, information can be recorded, for example, by irradiating the film formed by the vapor phase growth method with light and raising the temperature, for example, by changing the crystal structure.

【0037】ガーネットは光磁気記録材料として研究が
行われている材料であり高温で熱処理することによりガ
ーネット構造をとるようになる。しかし、光で記録を行
ったマークは熱処理によっても消去されることはなく、
また酸化により情報が破壊されることもなく保存性にも
優れている。
Garnet is a material that has been studied as a magneto-optical recording material, and can be formed into a garnet structure by heat treatment at high temperature. However, the marks recorded by light are not erased by heat treatment,
In addition, the information is not destroyed by oxidation and the storage stability is excellent.

【0038】また光情報記録層として、X24 O(た
だし、XはMg、Fe、Zn、Mn、Ni、Liのうち
から選ばれる一種以上の元素を示し、YはAl、Fe、
Cr、Ti、Mn、Ni、Co、Cu、Vのうちから選
ばれる一種以上の元素を示し、Oは酸素を示す。)の組
成を有する酸化物を用いることができる。
As the optical information recording layer, X 2 Y 4 O (where X represents one or more elements selected from Mg, Fe, Zn, Mn, Ni and Li, and Y represents Al, Fe,
One or more elements selected from Cr, Ti, Mn, Ni, Co, Cu, and V are shown, and O shows oxygen. An oxide having a composition of 1) can be used.

【0039】X24 Oの組成を持つ化合物は、いわゆ
るスピネル構造を有する酸化物が挙げられる。スピネル
は硬度が高いためこれを記録層に用いることができれば
強度が高い光情報記録媒体が実現できる。
The compound having a composition of X 2 Y 4 O includes an oxide having a so-called spinel structure. Since spinel has high hardness, an optical information recording medium having high strength can be realized if it can be used for the recording layer.

【0040】本発明では、上述したような光情報記録媒
体においては、記録層を構成する酸化物が未記録状態で
は非晶質構造であることが好ましい。未記録状態で非晶
質構造を有する記録層に光照射を行い、温度を上昇させ
ることによって、書きこむことができる。非晶質状態か
ら結晶質への転移は比較的低温で起こるため、感度良く
記録を行うことができる。本発明は、上述したような記
録層を2層以上有する記録媒体を用いている。これらの
記録層を2層以上に積層する方法は、限定されず、あら
ゆる公知の方法を用いることができる。
In the present invention, in the above-mentioned optical information recording medium, it is preferable that the oxide constituting the recording layer has an amorphous structure in the unrecorded state. Writing can be performed by irradiating the recording layer having an amorphous structure with light in an unrecorded state and raising the temperature. Since the transition from the amorphous state to the crystalline state occurs at a relatively low temperature, recording can be performed with high sensitivity. The present invention uses a recording medium having two or more recording layers as described above. The method of laminating two or more recording layers is not limited, and any known method can be used.

【0041】上記の光情報記録媒体においては、反射層
を有することができる。反射層を設けることにより、記
録層を透過した光が反射層で反射され、再度記録層を透
過する。これによって、さらに光を効率良く利用できる
ようになり、良好な記録、再生を行うことができるよう
になるとともに、反射率が向上するなどの効果がある。
反射率が高くなると再生信号強度が大きくなるため、信
号処理が容易になり高速記録、再生が可能となる。
The above optical information recording medium may have a reflective layer. By providing the reflective layer, the light transmitted through the recording layer is reflected by the reflective layer and is transmitted through the recording layer again. As a result, the light can be used more efficiently, good recording and reproduction can be performed, and the reflectance is improved.
Since the reproduction signal strength increases as the reflectance increases, signal processing is facilitated and high-speed recording and reproduction becomes possible.

【0042】また、反射層として熱伝導率の高い材料を
用いることにより記録層に加わる熱を制御することがで
き記録マークの形状、大きさを制御することができる。
反射層に用いられる材料としては、温度の制御を行うた
めその設計に応じた熱伝導を有する材料を用いることが
できるが、例えばAg、Au、Al、またはこれらの2
種以上からなる合金などが挙げられる。
Further, by using a material having high thermal conductivity for the reflective layer, the heat applied to the recording layer can be controlled and the shape and size of the recording mark can be controlled.
As the material used for the reflective layer, a material having heat conduction according to its design for controlling the temperature can be used. For example, Ag, Au, Al, or 2 of these materials can be used.
Examples include alloys composed of more than one kind.

【0043】上記の光情報記録媒体には、潤滑層を有す
ることもできる。このような潤滑層を媒体の最表面に潤
滑層を設けることにより、ディスクとヘッドとの潤滑が
改善され、接触しても媒体が損傷を受け難くなるが、接
触させて使用する中間層として使用した構成においても
動作が滑らかになる。この潤滑層は上述した様々な層構
成に適用可能である。
The above optical information recording medium can also have a lubricating layer. By providing such a lubrication layer on the outermost surface of the medium, the lubrication between the disk and the head is improved, and the medium is less likely to be damaged even if it comes into contact with it, but it is used as an intermediate layer to be used in contact. Even in the above configuration, the operation becomes smooth. This lubricating layer can be applied to the various layer configurations described above.

【0044】潤滑層としては、炭化水素系潤滑剤とフッ
素系潤滑剤とを用いて層状に形成することによって得ら
れる。炭化水素系潤滑剤としては、ステアリン酸、オレ
イン酸等のカルボン酸類、ステアリン酸ブチル等のエス
テル類、オクタデシルスルホン酸等のスルホン酸類、リ
ン酸モノオクタデシル等のリン酸エステル類、ステアリ
ンアルコール、オレインアルコール等のアルコール類、
ステアリン酸アミド等のカルボン酸アミド類、またはス
テアリルアミン等のアミン類などが好ましい。
The lubricating layer can be obtained by forming a layer using a hydrocarbon type lubricant and a fluorine type lubricant. Hydrocarbon lubricants include carboxylic acids such as stearic acid and oleic acid, esters such as butyl stearate, sulfonic acids such as octadecyl sulfonic acid, phosphoric acid esters such as monooctadecyl phosphate, stearic alcohol, oleic alcohol. Alcohols such as
Carboxylic acid amides such as stearic acid amide or amines such as stearylamine are preferable.

【0045】フッ化系潤滑剤としては、上記炭化水素系
潤滑剤のアルキル基の一部または全部をフルオロアルキ
ル基もしくはパーフルオロポリエーテル基で置換した潤
滑剤がより好ましい。
As the fluorinated lubricant, a lubricant obtained by substituting a part or all of the alkyl group of the above hydrocarbon lubricant with a fluoroalkyl group or a perfluoropolyether group is more preferable.

【0046】これらの潤滑層は、ディッピング法、スプ
レー塗布法、スピンコート法などで形成される。最表面
に炭素膜を形成し、その上面にフッ素系潤滑剤を用いる
と、炭素膜とフッ素系潤滑剤とは結合が強く強固な潤滑
層の形成が可能となり、好ましい。また、固体潤滑層と
してテフロン(登録商標)(4フッ化エチレン樹脂など
を含むフッ素樹脂)などの弗化物、ポリイミド、グラフ
ァイト、炭素化合物、二硫化モリブデン、W、Moなど
の酸化物および硫化物なども例示できる。
These lubricating layers are formed by a dipping method, a spray coating method, a spin coating method or the like. It is preferable to form a carbon film on the outermost surface and use a fluorine-based lubricant on the upper surface of the carbon film, because a strong bond between the carbon film and the fluorine-based lubricant can be formed and a strong lubricating layer can be formed. Further, as the solid lubricating layer, fluoride such as Teflon (registered trademark) (fluorine resin including tetrafluoroethylene resin), polyimide, graphite, carbon compound, molybdenum disulfide, oxides and sulfides such as W and Mo, etc. Can also be illustrated.

【0047】上記の光情報記録媒体においては、前記光
情報記録媒体が、W、Mo、Ta、Ti、Cr、Co、
Ni、Zr、Nbの中から少なくとも一種類の元素また
はこれらの元素を含む合金の中から選択される少なくと
も一種類の材料からなる反射層を有することができる。
In the above optical information recording medium, the optical information recording medium is W, Mo, Ta, Ti, Cr, Co,
It is possible to have a reflective layer made of at least one kind of material selected from at least one kind of element selected from Ni, Zr, and Nb or an alloy containing these elements.

【0048】反射層として、比較的硬度が高い材料であ
るW、Mo、Ta、Ti、Cr、Co、Ni、Zr、N
bの中から少なくとも一種類の元素またはこれらの合金
の中から選択される少なくとも一種類の材料を用いるこ
とにより、強度的に優れた光情報記録媒体を実現するこ
とができる。W、Mo、Ta、Ti、Cr、Co、N
i、Zr、Nbの元素およびこれらの合金は、ビッカー
ス硬さで硬度を評価するとAgの2倍以上の値を示すこ
とから強度の高い光情報記録媒体を実現するのに効果が
ある。
As the reflective layer, W, Mo, Ta, Ti, Cr, Co, Ni, Zr and N, which are materials having relatively high hardness, are used.
By using at least one kind of material selected from at least one kind of element or alloys thereof in b, an optical information recording medium excellent in strength can be realized. W, Mo, Ta, Ti, Cr, Co, N
The elements of i, Zr, and Nb and their alloys are effective in realizing a high-strength optical information recording medium, because the hardness is evaluated by Vickers hardness to be more than twice the value of Ag.

【0049】上記の光情報記録媒体においては、前記光
情報記録媒体の基板が、Al、W、Mo、Ta、Ti、
Cr、Co、Ni、Zr、Nbの中から少なくとも一種
類の元素またはこれらの元素を含む合金の中から選択さ
れる少なくとも一種類の材料からなることができる。
In the above optical information recording medium, the substrate of the optical information recording medium is Al, W, Mo, Ta, Ti,
It can be made of at least one kind of material selected from at least one kind of element selected from Cr, Co, Ni, Zr, and Nb or an alloy containing these elements.

【0050】基板として、これらの比較的硬度の高い材
料を用いることにより媒体の強度を高めるのに効果があ
る。また、基板と反射層とを兼ねることができるため媒
体を構成する層を一層減らすことができる。層数を減ら
すことで媒体全体としての強度は高くなるため基板に上
記のような材料を用いることは効果がある。
The use of these materials having a relatively high hardness as the substrate is effective in increasing the strength of the medium. Further, since the substrate and the reflection layer can be used as the same, the number of layers constituting the medium can be further reduced. Since the strength of the medium as a whole is increased by reducing the number of layers, it is effective to use the above materials for the substrate.

【0051】特に、アルミニウムまたはアルミニウム合
金は安価で加工も容易であり、表面粗さを小さくするこ
とが可能であるため好ましい。中でもアルミニウム−マ
グネシウム合金、アルミニウム−チタン合金、アルミニ
ウム−クロム合金などが特に好ましい。
In particular, aluminum or aluminum alloy is preferable because it is inexpensive, easy to process, and can reduce the surface roughness. Among them, aluminum-magnesium alloy, aluminum-titanium alloy, aluminum-chromium alloy and the like are particularly preferable.

【0052】また、本発明のような金属基板の表面にN
i合金の皮膜を形成した場合効果が大きい。Ni合金は
レーザなどで高温にすると容易に形状を作ることが可能
である。
In addition, N is formed on the surface of the metal substrate as in the present invention.
The effect is great when a film of i alloy is formed. The Ni alloy can be easily formed into a shape when heated to a high temperature with a laser or the like.

【0053】NiP、NiNbのような合金は腐食しに
くく、硬いため、基板の表面にこれらの合金を形成する
ことが好ましい。特にアルミニウム合金基板とNi合金
の組み合わせは好ましい。Ni合金の形成は無電解めっ
きなどのめっき法を好ましく用いることができるが、蒸
着法、スパッタ法などでも形成可能である。
Since alloys such as NiP and NiNb are hard to corrode and hard, it is preferable to form these alloys on the surface of the substrate. A combination of an aluminum alloy substrate and a Ni alloy is particularly preferable. The Ni alloy can be formed preferably by a plating method such as electroless plating, but can also be formed by a vapor deposition method, a sputtering method or the like.

【0054】また、上記した光情報記録媒体以外にも本
発明では、400nmから430nmの波長に対する記
録層の光の吸収率が10%以上としたことが好ましい。
このような記録層は、上記波長の光が入射されると記録
に必要な熱が生じるため良好な記録が可能となる。つま
り、記録層は、光を吸収して熱を発生することにより、
膜の結晶相、結晶構造および/または形状が変化されて
情報が記録される。より詳しくは、下記に示す通りであ
る。
In addition to the above-mentioned optical information recording medium, in the present invention, it is preferable that the absorption rate of light of the recording layer with respect to the wavelength of 400 nm to 430 nm is 10% or more.
In such a recording layer, heat required for recording is generated when light of the above wavelength is incident, and good recording is possible. That is, the recording layer absorbs light to generate heat,
Information is recorded by changing the crystal phase, crystal structure and / or shape of the film. More details are as shown below.

【0055】記録層は、数種類の酸化物の混合化合物と
なっており、温度上昇により融点を超えると、層中の酸
素を放出して結晶構造の変化を引きおこしたり、あるい
は反応をおこすことで新たな化合物等が生成され、形状
変化や結晶構造変化がおこる。これらの変化と情報とを
対応させることで情報記録が可能となる。このような変
化は、数百℃から起こり、酸素を外部に放出する反応な
どは600℃程度で生じる。記録層の光の吸収率が10
%より小さいと、光が照射された場合の記録層の温度上
昇が小さくなるため、C/Nの高い記録を行うことが困
難となる。
The recording layer is a mixed compound of several kinds of oxides, and when the temperature exceeds the melting point due to temperature rise, oxygen in the layer is released to change the crystal structure or cause a reaction. A new compound or the like is generated, which causes a change in shape or a change in crystal structure. Information can be recorded by associating these changes with information. Such changes occur from several hundreds of degrees Celsius, and reactions such as releasing oxygen to the outside occur at about 600 degrees Celsius. The light absorption rate of the recording layer is 10
If it is less than%, the temperature rise of the recording layer when irradiated with light becomes small, and it becomes difficult to perform recording with a high C / N.

【0056】記録層に、情報に対応した光のパルスを照
射することで、情報を記録することができる。つまり、
光照射による発熱により、記録層の結晶面などの結晶性
を変化させたり、結晶相などの結晶構造の変化などが生
じさせたり、記録層に穴が形成させたり、部分的に凹部
または凸部が形成させるなど、記録層に上記パルスに応
じた変化を生じさせて情報記録する。
Information can be recorded by irradiating the recording layer with a pulse of light corresponding to the information. That is,
The heat generated by light irradiation changes the crystallinity of the recording layer, such as the crystal plane, changes in the crystal structure such as the crystal phase, the formation of holes in the recording layer, and the partial depressions or protrusions. Information is recorded on the recording layer by causing a change corresponding to the pulse.

【0057】上述したような従来の記録媒体では用いら
れていないような酸化物記録材料を用いて記録層を形成
し、当該記録層に適した方法で情報を記録すれば、高密
度記録を行う場合でも極めて良好に記録できる。上述し
たような材料は、酸化などに強く、また情報を記録した
後高温になっても記録した情報が消えにくいため情報の
保存性が向上するからである。また、光磁気記録のよう
に磁気的に記録を行うのではなく、形状の変化および/
または原子配列の変化により記録を行い、これを光学的
に読み取ることで再生すれば、上述したように高密度記
録が可能となる。
High density recording is performed by forming a recording layer using an oxide recording material which is not used in the conventional recording medium as described above and recording information by a method suitable for the recording layer. Even in this case, recording can be performed extremely well. This is because the above-mentioned materials are resistant to oxidation and the like, and the recorded information is hard to be erased even when the temperature becomes high after the information is recorded, so that the storability of the information is improved. Further, instead of magnetically recording as in magneto-optical recording, a change in shape and / or
Alternatively, if recording is performed by changing the atomic arrangement, and this is read by optically reading it, high-density recording becomes possible as described above.

【0058】なお、光の吸収率は、膜に入射した光のう
ち反射と透過する分を除いた光の量の入射した光の総量
に対する割合であらわされる。例えば、物質の吸収係数
に膜厚を乗じることにより算出してもよい。
The light absorptance is represented by the ratio of the amount of light excluding the amount of light reflected and transmitted in the light incident on the film to the total amount of incident light. For example, it may be calculated by multiplying the absorption coefficient of the substance by the film thickness.

【0059】また、前記したように、X、Y、Oの各元
素(ただし、XはMg、Fe、Zn、Mn、Ni、Li
のうちから選ばれる一種以上の元素を示し、YはAl、
Fe、Cr、Ti、Mn、Ni、Co、Cu、Vのうち
から選ばれる一種以上の元素、Oは酸素を示す。)を含
有する記録層を採用し、当該記録層を、波長が400n
mから430nmの光の吸収率を10%以上とすれば、
極めて感度よく情報記録を行えることを見いだした。
As described above, each element of X, Y and O (where X is Mg, Fe, Zn, Mn, Ni and Li)
One or more elements selected from the above, Y is Al,
One or more elements selected from Fe, Cr, Ti, Mn, Ni, Co, Cu and V, and O represents oxygen. ) Is used, and the wavelength is 400n.
If the absorption rate of light from m to 430 nm is 10% or more,
We have found that information can be recorded with extremely high sensitivity.

【0060】前記したように、記録層は、照射された光
を吸収して熱を発生することにより結晶相、結晶構造お
よび/または形状が変化する。記録層は、数種類の酸化
物の混合膜になっていると考えられるが、例えば、Mn
OとFe23 は600℃以上では反応してスピネル型
化合物に変化するといわれている。また、高温では酸素
を放出して結晶構造の変化が起こることもある。
As described above, the recording layer changes the crystal phase, crystal structure and / or shape by absorbing the irradiated light and generating heat. The recording layer is considered to be a mixed film of several kinds of oxides.
It is said that O and Fe 2 O 3 react with each other at a temperature of 600 ° C. or higher to change into a spinel type compound. Further, at high temperatures, oxygen may be released to change the crystal structure.

【0061】また、記録層に少なくともBi、Fe、O
を含有させることで、記録感度が極めてよく、酸化に強
く、また、情報が消えにくい光情報記録媒体を提供でき
る。BiおよびFeは、光の吸収が比較的大きいため、
これらの合金、化合物も光の吸収が比較的大きい。その
ため、これらの元素またはこれらの元素を含有する化合
物を記録層に用いることにより記録感度が極めて高くな
る。また、酸化物を用いることにより酸化に極めて強く
なる。また、情報が記録された後に高温されても、記録
された情報が消えにくくなり、情報の保存性も向上す
る。
Further, at least Bi, Fe and O are contained in the recording layer.
By containing the above, it is possible to provide an optical information recording medium having extremely good recording sensitivity, strong resistance to oxidation, and hard to erase information. Since Bi and Fe have a relatively large light absorption,
These alloys and compounds also have relatively large light absorption. Therefore, by using these elements or a compound containing these elements in the recording layer, the recording sensitivity becomes extremely high. Further, the use of an oxide makes it extremely resistant to oxidation. Further, even if the temperature is increased after the information is recorded, the recorded information is hard to be erased, and the storability of the information is improved.

【0062】また、記録層に少なくともMn、Fe、O
を含有させることで、記録感度が極めてよく、酸化に強
く、また、情報が消えにくい光情報記録媒体を提供でき
る。MnおよびFeは、光の吸収が比較的大きいため、
これらの合金、化合物も光の吸収が比較的大きい。その
ため、これらの元素またはこれらの元素を含有する化合
物を記録層に用いることにより記録感度が極めて高くな
る。また、酸化物を用いることにより酸化に極めて強く
なる。また、情報が記録された後に高温されても、記録
された情報が消えにくくなり、情報の保存性も向上す
る。
Further, at least Mn, Fe and O are added to the recording layer.
By containing the above, it is possible to provide an optical information recording medium having extremely good recording sensitivity, strong resistance to oxidation, and hard to erase information. Since Mn and Fe have relatively large light absorption,
These alloys and compounds also have relatively large light absorption. Therefore, by using these elements or a compound containing these elements in the recording layer, the recording sensitivity becomes extremely high. Further, the use of an oxide makes it extremely resistant to oxidation. Further, even if the temperature is increased after the information is recorded, the recorded information is hard to be erased, and the storability of the information is improved.

【0063】また、記録層の結晶構造をアモルファス構
造とすることが好ましい。結晶質材料とした場合に比べ
均一性が高いため、高密度に記録のように極めて小さい
領域に記録を行う場合、結晶粒界などの影響を受けにく
くなる。
The crystal structure of the recording layer is preferably an amorphous structure. Since the uniformity is higher than when a crystalline material is used, when recording is performed in an extremely small area such as high density recording, it is less likely to be affected by crystal grain boundaries and the like.

【0064】また、記録層の膜厚を50nm以下とする
ことが好ましい。膜厚が50nmよりも厚くなると記録
感度が悪くなり良好な記録を行うことができなくなる。
なお、膜厚を20nm以下とするとさらに感度よく記録
できるため好ましい。
The thickness of the recording layer is preferably 50 nm or less. If the film thickness is greater than 50 nm, the recording sensitivity will be poor and good recording will not be possible.
A film thickness of 20 nm or less is preferable because recording can be performed with higher sensitivity.

【0065】(情報記録方法)本実施の形態に係る情報
記録方法は、上記光情報記録媒体の記録層に光を照射す
ることで、この記録層の結晶相、結晶構造および/また
は形状を変化させて情報の記録を行う。本発明に係る情
報記録方法では、上記記録層内で情報を記録する箇所
に、記録する情報に対応した光のパルスを照射する。記
録層(の上記箇所)は、光を吸収して熱を発生し、上記
パルスに対応した所定の結晶相、結晶構造および/また
は形状に変化する。
(Information Recording Method) In the information recording method according to the present embodiment, the recording layer of the optical information recording medium is irradiated with light to change the crystal phase, crystal structure and / or shape of the recording layer. To record the information. In the information recording method according to the present invention, a portion of the recording layer where information is recorded is irradiated with a pulse of light corresponding to the information to be recorded. The recording layer (the above-mentioned portion thereof) absorbs light to generate heat, and changes into a predetermined crystal phase, crystal structure and / or shape corresponding to the pulse.

【0066】別言すれば、本発明に係る情報記録方法
は、上記2層以上からなる記録層の情報記録箇所の結晶
相、結晶構造および/または形状を、情報に対応した状
態に変化させて情報の記録を行う。より詳しくは、光照
射による発熱により、結晶面などの結晶性の変化、結晶
相などの結晶構造の変化、穴の形成、部分的に凹部/凸
部の形成など、記録層の状態を情報と対応する状態へ変
化させることで情報を記録する。
In other words, in the information recording method according to the present invention, the crystal phase, crystal structure and / or shape of the information recording portion of the recording layer composed of two or more layers is changed to a state corresponding to information. Record information. More specifically, the state of the recording layer such as a change in crystallinity such as a crystal plane, a change in crystal structure such as a crystal phase, a hole formation, a partial recess / protrusion formation, and the like are provided as information by heat generated by light irradiation. Information is recorded by changing to the corresponding state.

【0067】このように、上述した材料を用いた光情報
記録媒体を用い、当該媒体(材料)に適した情報記録方
法を採用することで、良好な高密度記録が可能となる。
つまり、酸化などの耐環境性が極めてよく、また、情報
を記録した後高温条件下におかれても情報が消えにく
い、優れた保存性を有する上記情報記録媒体に、本発明
による情報記録方法を用いて情報記録を行えば、近接場
光を用いた場合にも良好に記録を行うことができる。
As described above, by using the optical information recording medium using the above-mentioned material and adopting the information recording method suitable for the medium (material), good high density recording becomes possible.
That is, the information recording method according to the present invention can be applied to the above-described information recording medium having excellent environmental resistance such as oxidation and having excellent storability, in which the information is hard to be erased even after being recorded under high temperature conditions. If information recording is performed by using, it is possible to perform excellent recording even when using near-field light.

【0068】また、上記記録層へ照射する光の波長は、
0. 5μm以下とすることが好ましい。上記記録層は、
0.5μm以下の波長の光の吸収が極めてよいため、こ
のような波長の光が入射すると熱の吸収による発熱も多
くなる。従って、効率のよい記録が可能となる。
The wavelength of light applied to the recording layer is
It is preferably 0.5 μm or less. The recording layer is
Since light with a wavelength of 0.5 μm or less is very well absorbed, when light with such a wavelength is incident, heat generation due to absorption of heat also increases. Therefore, efficient recording is possible.

【0069】特に、上記記録層は、波長が0. 4〜0.
43μm程度の光、いわゆる青色レーザーダイオードの
光に対し、吸収が大きく、記録感度が高く、比較的弱い
光でも記録を可能とする。このように、波長が0. 5μ
m以下の光を照射して記録層の結晶相、結晶構造および
/または形状を変化させることで情報の記録を行う情報
記録方法は、従来用いられていない上記光情報記録媒体
の情報記録を可能とする。
In particular, the recording layer has a wavelength of 0.4-0.
It absorbs light of about 43 μm, that is, light of a so-called blue laser diode, has high recording sensitivity, and enables recording even with relatively weak light. In this way, the wavelength is 0.5μ
The information recording method for recording information by irradiating light of m or less to change the crystal phase, crystal structure and / or shape of the recording layer enables information recording on the above optical information recording medium which has not been used conventionally. And

【0070】なお、上記光情報記録媒体に対して情報を
記録する場合に、波長が400nmから430nmの光
を用いることができる。上記光情報記録媒体は、波長が
400nmから430nmの光、いわゆる青色レーザー
ダイオードの光に対し吸収が大きく、記録感度が高く、
比較的弱い光でも記録が可能である。そこで、記録した
い情報に対応した波長400nmから430nmの光を
上記媒体に照射することで、上記媒体の記録層の結晶
相、結晶構造および/または形状を変化させて情報を記
録できる。この情報記録方法は、前記したような情報記
録媒体に対して行う記録方法としては極めて効果が大き
い。
When recording information on the optical information recording medium, light having a wavelength of 400 nm to 430 nm can be used. The above optical information recording medium has a large absorption for light having a wavelength of 400 nm to 430 nm, that is, light of a so-called blue laser diode, and has high recording sensitivity,
Recording is possible even with relatively weak light. Therefore, by irradiating the medium with light having a wavelength of 400 nm to 430 nm corresponding to the information to be recorded, it is possible to record information by changing the crystal phase, crystal structure and / or shape of the recording layer of the medium. This information recording method is extremely effective as a recording method performed on the above-described information recording medium.

【0071】(情報再生方法)本実施の形態に係る情報
再生方法は、上記光情報記録媒体の記録層に結晶相、結
晶構造および/または形状が変化されて記録された情報
を、この記録層に光を照射することで再生する。より詳
しくは、上記記録層に光を照射した場合の光の特性を検
出し、当該光の特性から上記情報を再生する。光の特性
は結晶相、結晶構造および/または形状と一意に対応す
るため、上記光の特性に基づき記録層に記録された情報
を再生できる。つまり、結晶相、結晶構造および/また
は形状を光の特性として検出し、当該結晶相、結晶構造
および/または形状と対応する情報を再生する。
(Information Reproducing Method) In the information reproducing method according to the present embodiment, the information recorded in the recording layer of the optical information recording medium with the crystal phase, the crystal structure and / or the shape changed is recorded in the recording layer. It is reproduced by irradiating it with light. More specifically, the characteristics of light when the recording layer is irradiated with light are detected, and the information is reproduced from the characteristics of the light. Since the light characteristics uniquely correspond to the crystal phase, the crystal structure and / or the shape, the information recorded in the recording layer can be reproduced based on the light characteristics. That is, the crystal phase, the crystal structure and / or the shape is detected as a characteristic of light, and the information corresponding to the crystal phase, the crystal structure and / or the shape is reproduced.

【0072】本発明に係る情報再生方法では、記録層に
光を照射し、情報が記録されている部分と未記録の部分
とで光のもつ特性に違いが生じる。また、情報毎、つま
り情報が記録された箇所毎に結晶相、結晶構造および/
または形状が異なる。また、光の特性は、結晶相、結晶
構造および/または形状により異なる。つまり、記録層
に光を照射して得られる光の特性(上記情報記録箇所の
光の特性)は、光を照射した部分に記録された情報毎に
一意に決まる。従って、記録層に光を照射すれば、光を
照射した部分の情報を再生することが可能となる。
In the information reproducing method according to the present invention, the recording layer is irradiated with light, and the characteristics of the light differ between the information recorded portion and the unrecorded portion. In addition, the crystal phase, the crystal structure, and / or the
Or the shape is different. In addition, the characteristics of light differ depending on the crystal phase, crystal structure and / or shape. That is, the characteristic of light obtained by irradiating the recording layer with light (the characteristic of light at the above-mentioned information recording portion) is uniquely determined for each information recorded in the portion irradiated with light. Therefore, by irradiating the recording layer with light, it becomes possible to reproduce the information of the portion irradiated with light.

【0073】なお、前記した光の持つ特性としては、例
えば光の反射率や透過率の違い、位相差、偏光の違いな
どがある。上記光情報記録媒体の記録層の材料は、様々
な結晶構造をとりうる。そこで、温度制御するなどして
記録層の結晶性、結晶構造および/または形状の変化を
作り出すことが可能である。例えば、前記した情報記録
方法を採用し、形状の変化を作り出せばよい。また、情
報を記録してある部分と未記録の部分とで光の反射率な
どが大きく異なるように結晶構造などを制御しておくこ
とによりこれらの材料を用いた場合、情報を良好に再生
することが可能となる。このように、本発明に係る情報
再生方法では、上述した材料からなる材料のような従来
の記録媒体では用いられていない材料を用い、情報の再
生方法をこれらの材料に適した方法とすることにより高
密度記録において良好な再生が可能となる。なお、この
再生方法では、光磁気記録のように磁気的に記録を行う
のではなく、形状の変化(違い)および/または原子配
列の変化(違い)を光学的に読み取る。
The above-mentioned characteristics of light include, for example, differences in light reflectance and transmittance, phase difference, and polarization. The material of the recording layer of the optical information recording medium can have various crystal structures. Therefore, it is possible to change the crystallinity, crystal structure and / or shape of the recording layer by controlling the temperature. For example, the above-mentioned information recording method may be adopted to create a change in shape. In addition, when these materials are used, information is satisfactorily reproduced by controlling the crystal structure or the like so that the reflectance of light is largely different between the recorded portion and the unrecorded portion. It becomes possible. As described above, in the information reproducing method according to the present invention, materials that are not used in the conventional recording medium, such as the materials described above, are used, and the information reproducing method is set to a method suitable for these materials. As a result, good reproduction becomes possible in high density recording. In this reproducing method, instead of magnetically recording as in magneto-optical recording, changes in shape (difference) and / or changes in atomic arrangement (difference) are optically read.

【0074】(情報記録装置)本実施の形態に係る情報
記録装置は、上記情報記録方法を用いて上記光情報記録
媒体に情報を記録する手段を有する。これにより、従来
記録媒体として用いられていない上記光情報記録媒体で
高密度記録を実現できる。
(Information Recording Apparatus) The information recording apparatus according to the present embodiment has means for recording information on the optical information recording medium by using the above information recording method. As a result, high density recording can be realized with the above optical information recording medium that has not been used as a conventional recording medium.

【0075】(情報再生装置)本実施の形態に係る情報
再生装置は、上記情報再生方法を用いて上記光情報記録
媒体に記録された情報を再生する手段を有する。これに
より、従来記録媒体として用いられていない上記光情報
記録媒体を用いた情報伝達を可能とする。
(Information Reproducing Apparatus) The information reproducing apparatus according to the present embodiment has means for reproducing the information recorded on the optical information recording medium by using the above information reproducing method. This enables information transmission using the optical information recording medium that has not been used as a recording medium in the related art.

【0076】(情報記録/再生装置)本実施の形態に係
る情報記録/再生装置は、上記情報記録方法を用いて上
記光情報記録媒体に情報を記録する手段と、上記情報再
生方法を用いて上記光情報記録媒体に記録された情報を
再生する手段とを有する。
(Information Recording / Reproducing Apparatus) The information recording / reproducing apparatus according to the present embodiment uses means for recording information on the optical information recording medium by using the above information recording method and the above information reproducing method. And means for reproducing the information recorded on the optical information recording medium.

【0077】なお、上記第1または第2の光情報記録媒
体は、上記情報記録方法で情報を記録でき、および/ま
たは上記情報再生方法で記録された情報を再生可能とす
ることが好ましい。このように記録層として上記材料を
用いることで、従来になかった高密度化に適した情報記
録媒体を提供できる。
It is preferable that the first or second optical information recording medium can record information by the above-mentioned information recording method and / or can reproduce the information recorded by the above-mentioned information reproducing method. By using the above-mentioned material for the recording layer in this way, it is possible to provide an information recording medium suitable for higher density than ever before.

【0078】つまり、上記光情報記録媒体の記録層は、
光照射による発熱により、結晶面などの結晶性の変化、
結晶相などの結晶構造の変化、また穴の形成、部分的な
凹部または凸部が形成などの変化が生じるように構成
し、この変化を情報と対応させることで、情報を記録可
能とする。
That is, the recording layer of the optical information recording medium is
Change in crystallinity such as crystal plane due to heat generated by light irradiation,
Information can be recorded by arranging the crystal structure such as a crystal phase to be changed, forming holes, forming partial recesses or protrusions, and making the changes correspond to the information.

【0079】また、記録層に光を照射し、得られた光の
特性から情報が記録されている部分/未記録の部分の判
別および記録されている情報の特定を可能とする。この
光の特性としては、例えば、光の反射率、透過率、位相
差または偏光などがある。記録層の情報が記録された箇
所は、この情報に1対1で対応する結晶相、結晶構造お
よび/または形状となる。当然、情報が記録されていな
い部分の結晶相、結晶構造および形状は初期状態とな
る。また、結晶相、結晶構造および形状により、光の特
性、つまり入射された光に対する特性(上記した反射
率、透過率等)は異なる。従って、この光記録媒体の記
録層に光を照射し、照射した部分の光の特性を検出すれ
ば、この部分の結晶相、結晶構造および形状が分かる。
結晶相、結晶構造および/または形状は、情報と一意に
対応しているため、上記光の特性から情報を再生するこ
とが可能となる。
Further, by irradiating the recording layer with light, it is possible to discriminate a portion where information is recorded / an unrecorded portion and to specify recorded information from the characteristics of the obtained light. The characteristics of this light include, for example, light reflectance, transmittance, phase difference or polarization. A portion of the recording layer where information is recorded has a crystal phase, a crystal structure and / or a shape corresponding to this information on a one-to-one basis. Naturally, the crystal phase, crystal structure, and shape of the portion where no information is recorded are in the initial state. Further, the characteristics of light, that is, the characteristics with respect to incident light (the above-mentioned reflectance, transmittance, etc.) differ depending on the crystal phase, crystal structure, and shape. Therefore, if the recording layer of this optical recording medium is irradiated with light and the light characteristics of the irradiated portion are detected, the crystal phase, crystal structure and shape of this portion can be known.
Since the crystal phase, the crystal structure and / or the shape uniquely correspond to the information, it becomes possible to reproduce the information from the characteristics of the light.

【0080】このように、上記材料で作成した膜は硬度
が高い構造もとりうるため、この構造を記録層に用いる
ことで耐磨耗性、強度の高い光情報記録媒体を実現でき
る。強度の高い光記録媒体を実現するためには記録層の
強度を高めることが一つの方法として考えられるが、記
録層材料として上述の材料を用いることにより強度が改
善される。上述したような材料は、酸化などに強く、ま
た情報を記録した後高温になっても記録した情報が消え
にくいため情報の保存性も向上する。
As described above, since the film made of the above material can have a structure having high hardness, an optical information recording medium having high abrasion resistance and high strength can be realized by using this structure for the recording layer. One way to realize an optical recording medium having high strength is to increase the strength of the recording layer, but the strength is improved by using the above-mentioned material as the recording layer material. The materials described above are resistant to oxidation and the like, and the recorded information is hard to be erased even when the temperature becomes high after the information is recorded.

【0081】[実施例]以下に実施例を示して、本発明
をさらに具体的に説明するが、本発明は、これら実施例
に何ら拘束されない。 [実施例1]情報記録媒体として図1のような構成のも
のを用いた。基板11としてポリカーボネート製のディ
スク状基板を用いた。基板11はトラッキングを制御す
るための溝、ピットを備えていても良い。ここでは溝を
備えた基板を用いた。基板11上に第一記録層12とし
てBi、Fe、Oからなる化合物の膜を30nm、中間
層13として樹脂層を30μm 設けた。その上に第二記録
層14としてBi、Fe、Oからなる化合物の膜を10
nm、その上にカバー層15を30μm とし情報記録媒
体とした。第一、第二の記録層の製膜はBi3 Fe5
12の組成のターゲットを用いて高周波マグネトロンスパ
ッタ法によりアルゴンガス中で行った。製膜後の膜の結
晶構造はアモルファス構造であった。このように作製し
た情報記録媒体を線速3.5m/sで回転させ、記録を行っ
た。基板とは反対側のカバー層15を通して光を照射し
た。波長405nm 、NA0.65のピックアップを用いて6m
Wの出力でマーク長400nm マーク間隔400nm の単一周期
マークを記録した。第一記録層に焦点を合わせ、記録し
たときのC/ Nをスペクトラムアナライザで測定した。
周波数幅の解像度を1 kHzで測定を行ったところ、C
/ Nは61dBであった。第二記録層への記録は光の出
力を10mWとして行った。そのときのC/ Nは59dB
であった。
[Examples] The present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but the present invention is not limited to these examples. Example 1 An information recording medium having a structure as shown in FIG. 1 was used. A disk-shaped substrate made of polycarbonate was used as the substrate 11. The substrate 11 may be provided with grooves and pits for controlling tracking. Here, a substrate provided with a groove was used. On the substrate 11, a film of a compound containing Bi, Fe, and O was provided as the first recording layer 12 with a thickness of 30 nm, and a resin layer was provided as the intermediate layer 13 with a thickness of 30 μm. On top of that, a compound film made of Bi, Fe and O is formed as a second recording layer 14
nm, and the cover layer 15 thereon was 30 μm to obtain an information recording medium. The first and second recording layers are made of Bi 3 Fe 5 O.
The sputtering was performed in argon gas by a high frequency magnetron sputtering method using 12 targets. The crystal structure of the film after film formation was an amorphous structure. The information recording medium thus produced was rotated at a linear velocity of 3.5 m / s for recording. Light was irradiated through the cover layer 15 on the side opposite to the substrate. 6m using a pickup with wavelength 405nm and NA 0.65
A single period mark having a mark length of 400 nm and a mark interval of 400 nm was recorded at an output of W. Focusing on the first recording layer, the C / N at the time of recording was measured with a spectrum analyzer.
When the frequency width resolution was measured at 1 kHz, C
/ N was 61 dB. Recording on the second recording layer was performed with a light output of 10 mW. C / N at that time is 59 dB
Met.

【0082】[実施例2]第一記録層12、第二記録層
14の材料としてBi、Al、Oからなる材料を用いた
こと以外は実施例1と同様に製膜を行い、情報記録媒体
を作製した。ターゲットの組成としてはBi3 Al5
12を用いた。このように作製した情報記録媒体を線速
3.5m/sで回転させ、波長405nm 、NA0.65のピックアッ
プを用いて9mWの出力でマーク長400nm マーク間隔40
0nm の単一周期マークを記録した。第一記録層に焦点を
合わせ、記録したときのC/ Nをスペクトラムアナライ
ザで測定した。周波数幅の解像度を1 kHzで測定を行
ったところ、C/ Nは52dBであった。第二記録層へ
の記録は光の出力を11mWとして行った。そのときの
C/ Nは49dBであった。
[Example 2] An information recording medium was formed in the same manner as in Example 1 except that the material for the first recording layer 12 and the second recording layer 14 was Bi, Al, and O. Was produced. The composition of the target is Bi 3 Al 5
O 12 was used. The information recording medium manufactured in this way is
It is rotated at 3.5 m / s, and a pickup with a wavelength of 405 nm and NA of 0.65 is used to output 9 mW with a mark length of 400 nm and a mark spacing of 40.
A single periodic mark of 0 nm was recorded. Focusing on the first recording layer, the C / N at the time of recording was measured with a spectrum analyzer. When the resolution of the frequency width was measured at 1 kHz, the C / N was 52 dB. Recording on the second recording layer was performed with a light output of 11 mW. The C / N at that time was 49 dB.

【0083】[実施例3]第一記録層12、第二記録層
14の材料としてMn、Fe、Oからなる材料を用いた
こと以外は実施例1と同様に製膜を行い、情報記録媒体
を作製した。ターゲットは、MnFe2 4 の組成のも
のを用いた。このように作製した情報記録媒体を線速3.
5m/sで回転させ、波長405nm 、NA0.65のピックアップ
を用いて9mWの出力でマーク長400nm マーク間隔400n
m の単一周期マークを記録した。第一記録層に焦点を合
わせ、記録したときのC/ Nをスペクトラムアナライザ
で測定した。周波数幅の解像度を1 kHzで測定を行っ
たところ、C/ Nは61dBであった。第二記録層への
記録は光の出力を11mWとして行った。そのときのC
/ Nは59dBであった。
[Embodiment 3] An information recording medium was formed in the same manner as in Embodiment 1 except that a material consisting of Mn, Fe and O was used as the material for the first recording layer 12 and the second recording layer 14. Was produced. The target used had a composition of MnFe 2 O 4 . The information recording medium produced in this manner was used at a linear velocity of 3.
It is rotated at 5m / s, and a pickup with a wavelength of 405nm and NA of 0.65 is used to output 9mW with a mark length of 400nm and a mark interval of 400n.
A single period mark of m was recorded. Focusing on the first recording layer, the C / N at the time of recording was measured with a spectrum analyzer. When the resolution of the frequency width was measured at 1 kHz, the C / N was 61 dB. Recording on the second recording layer was performed with a light output of 11 mW. C at that time
/ N was 59 dB.

【0084】[実施例4]第一記録層12、第二記録層
14の材料としてMn、Cr、Oからなる材料を用いた
こと以外は実施例1と同様に製膜を行い、情報記録媒体
を作製した。MnCr2 4 の組成のターゲットを用い
た。このように作製した情報記録媒体を線速3.5m/sで回
転させ、波長405nm 、NA0.65のピックアップを用いて
8mWの出力でマーク長400nm マーク間隔400nm の単一
周期マークを記録した。第一記録層に焦点を合わせ、記
録したときのC/ Nをスペクトラムアナライザで測定し
た。周波数幅の解像度を1 kHzで測定を行ったとこ
ろ、C/ Nは56dBであった。第二記録層への記録は
光の出力を11mWとして行った。そのときのC/ Nは
55dBであった。
[Embodiment 4] An information recording medium was formed in the same manner as in Embodiment 1 except that a material consisting of Mn, Cr and O was used as the material for the first recording layer 12 and the second recording layer 14. Was produced. A target having a composition of MnCr 2 O 4 was used. The information recording medium thus produced was rotated at a linear velocity of 3.5 m / s, and a single period mark having a mark length of 400 nm and a mark interval of 400 nm was recorded with an output of 8 mW using a pickup having a wavelength of 405 nm and an NA of 0.65. Focusing on the first recording layer, the C / N at the time of recording was measured with a spectrum analyzer. When the resolution of the frequency width was measured at 1 kHz, the C / N was 56 dB. Recording on the second recording layer was performed with a light output of 11 mW. The C / N at that time was 55 dB.

【0085】[実施例5]第一記録層12、第二記録層
14の材料としてBi、Dy、Fe、Oからなる材料を
用いたこと以外は実施例1と同様に製膜を行い、情報記
録媒体を作製した。製膜はBi2.76Dy0.24Fe5 12
の組成のターゲットを用いて行った。このように作製し
た情報記録媒体を線速3.5m/sで回転させ、波長405nm 、
NA0.65のピックアップを用いて8mWの出力でマーク
長400nm マーク間隔400nm の単一周期マークを記録し
た。第一記録層に焦点を合わせ、記録したときのC/ N
をスペクトラムアナライザで測定した。周波数幅の解像
度を1 kHzで測定を行ったところ、C/ Nは51dB
であった。第二記録層への記録は光の出力を11mWと
して行った。そのときのC/ Nは51dBであった。
[Embodiment 5] Film formation was carried out in the same manner as in Embodiment 1 except that a material consisting of Bi, Dy, Fe and O was used as the material of the first recording layer 12 and the second recording layer 14, and information was recorded. A recording medium was produced. The film is formed of Bi 2.76 Dy 0.24 Fe 5 O 12
The target having the composition of The information recording medium produced in this manner was rotated at a linear velocity of 3.5 m / s to obtain a wavelength of 405 nm,
A single period mark with a mark length of 400 nm and a mark interval of 400 nm was recorded with an output of 8 mW using a pickup with NA 0.65. C / N when recording by focusing on the first recording layer
Was measured with a spectrum analyzer. When the resolution of the frequency width was measured at 1 kHz, the C / N was 51 dB.
Met. Recording on the second recording layer was performed with a light output of 11 mW. The C / N at that time was 51 dB.

【0086】[実施例6]第一記録層12、第二記録層
14の材料としてNi、Fe、Oからなる材料を用いた
こと以外は実施例1と同様に製膜を行い、情報記録媒体
を作製した。製膜はNiFe2 4 の組成のターゲット
を用いて行った。このように作製した情報記録媒体を線
速3.5m/sで回転させ、波長405nm 、NA0.65のピックア
ップを用いて8mWの出力でマーク長400nm マーク間隔
400nm の単一周期マークを記録した。第一記録層に焦点
を合わせ、記録したときのC/ Nをスペクトラムアナラ
イザで測定した。周波数幅の解像度を1 kHzで測定を
行ったところ、C/ Nは51dBであった。第二記録層
への記録は光の出力を11mWとして行った。そのとき
のC/ Nは51dBであった。
[Embodiment 6] An information recording medium was formed in the same manner as in Embodiment 1 except that the material for the first recording layer 12 and the second recording layer 14 was made of Ni, Fe and O. Was produced. The film formation was performed using a target having a composition of NiFe 2 O 4 . The information recording medium manufactured in this manner was rotated at a linear velocity of 3.5 m / s, a pickup of wavelength 405 nm and NA 0.65 was used, and a mark length of 400 nm and a mark interval of 400 nm.
A single periodic mark of 400 nm was recorded. Focusing on the first recording layer, the C / N at the time of recording was measured with a spectrum analyzer. When the resolution of the frequency width was measured at 1 kHz, the C / N was 51 dB. Recording on the second recording layer was performed with a light output of 11 mW. The C / N at that time was 51 dB.

【0087】[実施例7]情報記録媒体として図1のよ
うな構成のものを用いた。基板11としてポリカーボネ
ート製のディスク状基板を用いた。基板11はトラッキ
ングを制御するための溝、ピットを備えた基板を用いた
が、このようなピットを備えていない基板を用いること
もできる。基板11上に第一記録層12としてBi、F
e、Oからなる化合物の膜を50nm、中間層13とし
て樹脂層を30μm 設けた。その上に第二記録層14とし
てBi、Fe、Oからなる化合物の膜を10nm、その
上にカバー層15を30μm とし情報記録媒体とした。
第一、第二の記録層の製膜はBi3 Fe5 12の組成の
ターゲットを用いて高周波マグネトロンスパッタ法によ
りアルゴンガス雰囲気中で行った。製膜後の膜の構造
は、アモルファス構造であった。このように作製した情
報記録媒体を線速3.5m/sで回転させ、波長405nm 、NA
0.65のピックアップを用いて6mWの出力でマーク長40
0nm マーク間隔400nm の単一周期マークを記録した。第
一記録層に焦点を合わせ、記録したときのC/ Nをスペ
クトラムアナライザで測定した。周波数幅の解像度を1
kHzで測定を行ったところ、C/ Nは59dBであっ
た。第二記録層への記録は光の出力を10mWとして行っ
た。そのときのC/ Nは55dBであった。
[Embodiment 7] An information recording medium having the structure shown in FIG. 1 was used. A disk-shaped substrate made of polycarbonate was used as the substrate 11. The substrate 11 is a substrate provided with grooves and pits for controlling tracking, but a substrate without such pits may be used. Bi, F as the first recording layer 12 on the substrate 11
A film of a compound consisting of e and O was provided in a thickness of 50 nm, and a resin layer was provided in a thickness of 30 μm as the intermediate layer 13. A second recording layer 14 having a compound film of Bi, Fe, and O having a thickness of 10 nm was formed thereon, and a cover layer 15 having a thickness of 30 μm was formed thereon to form an information recording medium.
The formation of the first and second recording layers was performed in an argon gas atmosphere by a high frequency magnetron sputtering method using a target having a composition of Bi 3 Fe 5 O 12 . The film structure after film formation was an amorphous structure. The information recording medium thus manufactured was rotated at a linear velocity of 3.5 m / s to obtain a wavelength of 405 nm and an NA.
Mark length 40 with 6mW output using 0.65 pickup
A single period mark with a 0 nm mark interval of 400 nm was recorded. Focusing on the first recording layer, the C / N at the time of recording was measured with a spectrum analyzer. Frequency width resolution 1
When measured at kHz, C / N was 59 dB. Recording on the second recording layer was performed with a light output of 10 mW. The C / N at that time was 55 dB.

【0088】[実施例8]情報記録媒体として図1のよ
うな構成のものを用いた。基板11としてポリカーボネ
ート製のディスク状基板を用いた。基板11はトラッキ
ングを制御するための溝、ピットを備えた基板を用いた
が、このようなピットを備えていない基板を用いること
もできる。第一記録層12と第二記録層14の材料を異
なるものとした。第一記録層12としてBi、Fe、O
からなる化合物の膜を30nm、中間層13として樹脂
層を30μm 設けた。第二記録層14としてMn、Fe、
Oからなる化合物の膜を10nm、その上にカバー層1
5を30μm とし情報記録媒体とした。第一の記録層の
製膜はBi 3 Fe5 12の組成のターゲットを用いて、
第二記録層はMnFe2 4 の組成のターゲットを用い
て、高周波マグネトロンスパッタ法によりアルゴンガス
中で行った。製膜後の膜の結晶構造はアモルファス構造
であった。このように作製した情報記録媒体を線速3.5m
/sで回転させ、波長405nm 、NA0.65のピックアップを
用いて8mWの出力でマーク長400nm マーク間隔400nm
の単一周期マークをカバー層15側から光照射すること
により記録した。第一記録層12に焦点を合わせ、記録
したときのC/ Nをスペクトラムアナライザで測定し
た。周波数幅の解像度を1 kHzで測定を行ったとこ
ろ、C/ Nは63dBであった。第二記録層14への記
録は光の出力を11mWとして行った。そのときのC/
Nは61dBであった。
[Embodiment 8] FIG. 1 shows an information recording medium.
The one with such a structure was used. Polycarbonate as substrate 11
A disk-shaped substrate made of glass was used. Board 11 is a track
Substrate with grooves and pits for controlling
However, using a substrate that does not have such pits
You can also The materials of the first recording layer 12 and the second recording layer 14 are different.
I was supposed to. Bi, Fe, O as the first recording layer 12
30 nm film of compound consisting of, resin as the intermediate layer 13
Layers were provided 30 μm. As the second recording layer 14, Mn, Fe,
A compound film made of O is 10 nm thick, and a cover layer 1 is formed thereon.
5 was set to 30 μm to obtain an information recording medium. Of the first recording layer
Bi film formation 3FeFiveO12Using the target of the composition
The second recording layer is MnFe2OFourWith target of composition
Argon gas by high frequency magnetron sputtering
Went inside. Crystal structure of film after film formation is amorphous
Met. The information recording medium manufactured in this manner was used at a linear velocity of 3.5 m.
Rotate at / s and pick up a wavelength of 405nm and NA 0.65
With an output of 8mW, mark length 400nm, mark interval 400nm
Irradiating the single period mark of from the side of the cover layer 15
Recorded by. Focus on the first recording layer 12 and record
Measure the C / N at that time with a spectrum analyzer
It was The frequency width resolution was measured at 1 kHz.
The C / N was 63 dB. Writing on the second recording layer 14
The recording was performed with the light output of 11 mW. C / at that time
N was 61 dB.

【0089】[実施例9]情報記録媒体として図2のよ
うな構成のものを用いた。基板11としてポリカーボネ
ート製のディスク状基板を用いた。基板11はトラッキ
ングを制御するための溝、ピットを備えていても良い。
ここでは溝を備えた基板を用いた。基板11上に第一記
録層12としてMn、Fe、Oからなる化合物の膜を3
0nm、中間層13として樹脂層を30μm 設けた。その
上に第二記録層14としてMn、Cr、Oからなる化合
物の膜を10nm、その上に中間層13の樹脂層を30
μm、第三記録層16としてBi、Fe、Oからなる化
合物の膜を10nm、カバー層15を30μm とし情報
記録媒体とした。第一の記録層の製膜はMnFe2 4
の組成のターゲットを用いて、第二記録層はMnCr2
4 の組成のターゲットを用いて、第三記録層はBi2
Fe5 12の組成のターゲットを用いて、高周波マグネ
トロンスパッタ法によりアルゴンガス中で行った。製膜
後の膜の結晶構造はアモルファス構造であった。このよ
うに作製した情報記録媒体を線速3.5m/sで回転させ、波
長405nm 、NA0.65のピックアップを用いて8mWの出
力でマーク長400nm マーク間隔400nm の単一周期マーク
を記録した。第一記録層に焦点を合わせ、記録したとき
のC/ Nをスペクトラムアナライザで測定した。周波数
幅の解像度を1 kHzで測定を行ったところ、C/ Nは
55dBであった。第二記録層への記録は光の出力を1
0mWとして行った。そのときのC/ Nは54dBであ
った。第三記録層への記録は光の出力を12mWとして
行った。そのときのC/ Nは50dBであった。
[Embodiment 9] FIG. 2 shows an information recording medium.
The one with such a structure was used. Polycarbonate as substrate 11
A disk-shaped substrate made of glass was used. Board 11 is a track
A groove or a pit for controlling the ring may be provided.
Here, a substrate provided with a groove was used. First note on substrate 11
As the recording layer 12, a compound film composed of Mn, Fe, and O is used.
A resin layer having a thickness of 0 nm and a thickness of 30 μm was provided as the intermediate layer 13. That
A compound containing Mn, Cr, and O as the second recording layer 14
10 nm, and the resin layer of the intermediate layer 13 on it is 30 nm.
μm, third recording layer 16 made of Bi, Fe, O
Information of compound film 10 nm, cover layer 15 30 μm
It was used as a recording medium. The first recording layer is made of MnFe2OFour
And the second recording layer is MnCr.2
OFourAnd the third recording layer is made of Bi.2
FeFiveO 12High-frequency magnet with target of composition
It was performed in argon gas by the tron sputtering method. Film formation
The crystal structure of the subsequent film was an amorphous structure. This
The information recording medium prepared in this way was rotated at a linear velocity of 3.5 m / s,
Output of 8mW with a long 405nm, 0.65 NA pickup
Single period mark with mark length 400nm and mark spacing 400nm by force
Was recorded. When focusing and recording on the first recording layer
C / N of was measured with a spectrum analyzer. frequency
When the width resolution was measured at 1 kHz, C / N was
It was 55 dB. For recording on the second recording layer, the light output is 1
It was performed at 0 mW. The C / N at that time is 54 dB.
It was. For recording on the third recording layer, the light output is 12 mW
went. The C / N at that time was 50 dB.

【0090】[実施例10]図3に情報記録再生装置の
構成の概略を示した。請求項10に記載した発明の情報
記録再生装置の例である。請求項9に記載した情報記録
方法を用いている。情報記録媒体21、ディスクドライ
ブ22、コントローラー23よりなる。コントローラー
23は装置全体の制御を行っており、信号処理部31、
サーボ制御部32、光ピックアップ33、ディスク駆動
部34などの制御を行っている。情報記録媒体21とし
て、例えばMn、Fe、O、からなる化合物の膜を記録
層に用いた媒体を用いる。情報記録媒体21は可換であ
る。信号処理部で情報記録媒体21に記録するのに適し
た信号を作りだしその信号に応じて光ピックアップ33
から光が照射される。また、光を照射し再生信号を検出
し信号処理部で情報に変換し再生を行う。ここでは情報
記録媒体21からの反射光を検出し再生を行うような例
を示したが、透過光を検出し再生を行うような装置でも
よい。光ピックアップ33に備わっているレーザーダイ
オードの光の波長は405nm のものを用いた。
[Embodiment 10] FIG. 3 shows a schematic structure of an information recording / reproducing apparatus. It is an example of the information recording / reproducing apparatus of the invention described in claim 10. The information recording method described in claim 9 is used. The information recording medium 21, the disk drive 22, and the controller 23 are included. The controller 23 controls the entire device, and includes a signal processing unit 31,
The servo control unit 32, the optical pickup 33, the disk drive unit 34, and the like are controlled. As the information recording medium 21, for example, a medium having a recording layer made of a compound film made of Mn, Fe, and O is used. The information recording medium 21 is replaceable. A signal suitable for recording on the information recording medium 21 is produced by the signal processing section, and the optical pickup 33 is produced according to the signal.
Light is emitted from. Also, light is emitted to detect a reproduction signal, and the signal processing unit converts the information into information and reproduces the information. Although the example in which the reflected light from the information recording medium 21 is detected and the reproduction is performed is shown here, an apparatus that detects the transmitted light and performs the reproduction may be used. The laser diode provided in the optical pickup 33 has a wavelength of 405 nm.

【0091】[0091]

【発明の効果】請求項1から7の発明によって、二層以
上の記録層を有する高密度記録が可能な情報記録媒体を
提供できる。
According to the inventions of claims 1 to 7, it is possible to provide an information recording medium having two or more recording layers and capable of high density recording.

【0092】請求項8の発明では、光の波長を限定する
ことにより、更に良好な記録が可能となり高密度情報記
録媒体が提供可能となる。
In the eighth aspect of the present invention, by limiting the wavelength of light, better recording is possible and a high density information recording medium can be provided.

【0093】請求項9記載の発明では、請求項1から8
に記載のいずれかの情報記録媒体へ情報を良好に高密度
記録することを可能とする情報記録方法を提供できる。
In the invention according to claim 9, the inventions according to claims 1 to 8
It is possible to provide an information recording method capable of satisfactorily recording information in high density on any of the information recording media described in 1.

【0094】請求項10記載の発明では、請求項1から
8に記載のいずれかの情報記録媒体へ情報を良好に高密
度記録することを可能とする情報記録再生装置を提供で
きる。
According to the tenth aspect of the invention, it is possible to provide an information recording / reproducing apparatus capable of favorably recording information on the information recording medium according to any one of the first to eighth aspects with high density.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】情報記録媒体の断面の概略図である。FIG. 1 is a schematic view of a cross section of an information recording medium.

【図2】情報記録媒体の断面の概略図である。FIG. 2 is a schematic view of a cross section of an information recording medium.

【図3】情報記録再生装置の概略図である。FIG. 3 is a schematic diagram of an information recording / reproducing apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 基板 12 第一記録層 13 中間層 14 第二記録層 15 カバー層 16 第三記録層 21 情報記録媒体 22 ディスクドライブ 23 コントローラー 31 信号処理部 32 サーボ制御部 33 光ピックアップ 34 ディスク駆動部 11 board 12 First recording layer 13 Middle class 14 Second recording layer 15 cover layer 16 Third recording layer 21 Information recording medium 22 disk drive 23 Controller 31 Signal processing unit 32 Servo control unit 33 Optical pickup 34 Disk drive

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に二層以上の記録層を有し、記録
層に光を照射することにより形状の変化、または原子配
列の変化により記録を行い、また形状の違い、または原
子配列の違いを読み取ることにより再生を行う情報記録
媒体において、記録層材料としてR、M、Oの各元素
(ただし、RはY、Bi、Inおよびランタン系列元素
より選ばれる一種以上の元素を示し、MはAl、Cr、
Mn、Sc、In、Ru、Rh、Co、Fe、Cu、N
i、Zn、Li、Si、Ge、Zr、Ti、Hf、S
n、Pb、Mo、VおよびNbのうちより選ばれる一種
以上の元素、Oは酸素を示す。)からなる膜を用いるこ
とを特徴とする情報記録媒体。
1. A substrate has two or more recording layers, and recording is performed by changing the shape by changing the shape of the recording layer by irradiating the recording layer with light or by changing the atomic arrangement. In an information recording medium that is reproduced by reading the difference, each element of R, M, and O as a recording layer material (wherein R represents one or more elements selected from Y, Bi, In, and lanthanum series elements, and M Is Al, Cr,
Mn, Sc, In, Ru, Rh, Co, Fe, Cu, N
i, Zn, Li, Si, Ge, Zr, Ti, Hf, S
One or more elements selected from n, Pb, Mo, V and Nb, O represents oxygen. An information recording medium characterized by using a film of (1).
【請求項2】 前記情報記録媒体において、記録層材料
としてX、Y、Oの各元素(ただし、XはMg、Fe、
Zn、Mn、Ni、Liのうちから選ばれる一種以上の
元素を示し、YはAl 、Fe、Cr、Ti、Mn、N
i、Co、Cu、Vのうちから選ばれる一種以上の元
素、Oは酸素を示す。)からなる膜を用いることを特徴
とする情報記録媒体。
2. In the information recording medium, each element of X, Y, and O (where X is Mg, Fe, or
One or more elements selected from Zn, Mn, Ni and Li, and Y is Al, Fe, Cr, Ti, Mn, N
One or more elements selected from i, Co, Cu and V, and O represents oxygen. An information recording medium characterized by using a film of (1).
【請求項3】 前記記録層の材料としてFeの酸化物を含
むことを特徴とする情報記録媒体。
3. An information recording medium comprising an oxide of Fe as a material of the recording layer.
【請求項4】 前記記録層材料としてBi、Fe、Oの
元素を含むことを特徴とする請求項1及び2記載の情報
記録媒体。
4. The information recording medium according to claim 1, wherein the recording layer material contains elements of Bi, Fe and O.
【請求項5】 前記記録層材料としてMn、Fe、Oの
元素を含むことを特徴とする請求項1 及び2記載の情報
記録媒体。
5. The information recording medium according to claim 1, wherein the recording layer material contains elements of Mn, Fe, and O.
【請求項6】 前記記録層材料の結晶構造がアモルファ
ス構造であることを特徴とする請求項1から5のいずれ
かに記載の情報記録媒体。
6. The information recording medium according to claim 1, wherein the crystal structure of the recording layer material is an amorphous structure.
【請求項7】 前記記録層の膜厚が50nm以下であること
を特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の情報記
録媒体。
7. The information recording medium according to claim 1, wherein the thickness of the recording layer is 50 nm or less.
【請求項8】 波長が500nm 以下の光を用いて、記録を
行うことを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載
の情報記録媒体。
8. The information recording medium according to claim 1, wherein recording is performed using light having a wavelength of 500 nm or less.
【請求項9】 波長が500nm 以下の光を用いて、請求項
1から8に記載のいずれかの情報記録媒体へ情報を記録
することを特徴とする情報記録方法。
9. An information recording method, wherein information is recorded on the information recording medium according to any one of claims 1 to 8 using light having a wavelength of 500 nm or less.
【請求項10】 波長が500nm 以下の光を請求項1から
8に記載のいずれかの情報記録媒体へ照射することによ
り情報を記録し、また情報記録媒体に記録されている情
報を再生することを特徴とする情報記録再生装置。
10. Information is recorded by irradiating the information recording medium according to any one of claims 1 to 8 with light having a wavelength of 500 nm or less, and information recorded on the information recording medium is reproduced. An information recording / reproducing apparatus characterized by:
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