JP2003261381A - Ceramic-base composite member and method for producing the same - Google Patents

Ceramic-base composite member and method for producing the same

Info

Publication number
JP2003261381A
JP2003261381A JP2002059907A JP2002059907A JP2003261381A JP 2003261381 A JP2003261381 A JP 2003261381A JP 2002059907 A JP2002059907 A JP 2002059907A JP 2002059907 A JP2002059907 A JP 2002059907A JP 2003261381 A JP2003261381 A JP 2003261381A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sic
matrix
composite member
cvi
treatment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002059907A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4117529B2 (en
Inventor
Hirohide Yamaguchi
博英 山口
Hiroshige Murata
裕茂 村田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IHI Corp filed Critical IHI Corp
Priority to JP2002059907A priority Critical patent/JP4117529B2/en
Publication of JP2003261381A publication Critical patent/JP2003261381A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4117529B2 publication Critical patent/JP4117529B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Chemical Or Physical Treatment Of Fibers (AREA)
  • Treatments For Attaching Organic Compounds To Fibrous Goods (AREA)
  • Turbine Rotor Nozzle Sealing (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a ceramic-base composite member less liable to lowering of strength due to repetitive thermal shocks and capable of ensuring airtightness in a few steps, thereby capable of shortening the manufacturing time and capable of lowering costs and to provide a method for manufacturing the same. <P>SOLUTION: The method for producing a ceramic-base composite member has a CVI treatment step (A) in which an SiC matrix layer is formed on the surface of a shaped woven fabric of fibers, a PIP treatment step (B) in which a thermosetting polymer is impregnated as a base material into the matrix layer and fired, and a slurry impregnating step (C) in which a slurry containing SiC particles is further impregnated into the matrix layer. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、気密性と耐熱衝撃
性にすぐれたセラミックス基複合部材及びその製造方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic-based composite member having excellent airtightness and thermal shock resistance, and a method for producing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】NTO/N24,NTO/MMH等を推
進剤とするロケットエンジンの高性能化のために、燃焼
器(スラストチャンバ)の耐熱温度を高めることが要望
される。そのため、耐熱温度が約1500℃であるコー
ティング付きのニオブ合金が、従来多くのロケットエン
ジンのチャンバ材料として用いられてきた。しかしこの
材料は、密度が高いため重く、高温強度が低く、コーテ
ィングの寿命が短い欠点があった。
2. Description of the Related Art In order to improve the performance of a rocket engine using NTO / N 2 H 4 , NTO / MMH or the like as a propellant, it is required to increase the heat resistant temperature of a combustor (thrust chamber). Therefore, a coated niobium alloy having a heat resistant temperature of about 1500 ° C. has been conventionally used as a chamber material for many rocket engines. However, this material has drawbacks that it is heavy due to its high density, its high temperature strength is low, and the life of the coating is short.

【0003】一方、セラミックスは耐熱性が高いが脆い
欠点があるため、これをセラミックス繊維で強化したセ
ラミックス基複合部材(Ceramic Matrix
Composite:以下、CMCと略称する )が
開発されている。すなわち、セラミックス基複合部材
(CMC)はセラミックス繊維とセラミックスマトリッ
クスとからなる。なお、一般にCMCはその素材によ
り、セラミックス繊維/セラミックスマトリックス(例
えば、両方がSiCからなる場合、SiC/SiC)と
表示される。
On the other hand, ceramics have a high heat resistance but have a drawback of being brittle. Therefore, a ceramic matrix composite member (Ceramic Matrix) reinforced with ceramic fibers is used.
Composite: Hereinafter, abbreviated as CMC) has been developed. That is, the ceramic matrix composite member (CMC) is composed of ceramic fibers and a ceramic matrix. Note that CMC is generally expressed as ceramic fiber / ceramic matrix (for example, SiC / SiC when both are made of SiC) depending on its material.

【0004】CMCは、軽量かつ高温強度が高いため、
上述したロケットエンジンの燃焼器(スラストチャン
バ)の他、高温部の燃料配管、ジェットエンジンのター
ビン翼、燃焼器、アフターバーナ部品等に極めて有望な
材料である。
Since CMC is lightweight and has high strength at high temperature,
In addition to the above-described rocket engine combustor (thrust chamber), it is a very promising material for high-temperature fuel pipes, jet engine turbine blades, combustors, afterburner parts, and the like.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のCMC
は、気密性を保持することができず、かつ耐熱衝撃性が
低い問題点があった。すなわち、従来のCMCは、所定
の形状をセラミックス繊維で構成したのち、いわゆるC
VI処理(Chemical Vapor Infil
tration:気相含浸法)で繊維の隙間にマトリッ
クスを形成するが、このCVIで繊維間の隙間を完全に
埋めるには実用不可能な長期間(例えば1年以上)を要
する問題点があった。また、このように形成した従来の
CMCを高温で試験等すると、激しい熱衝撃(例えば温
度差が900℃以上)が作用した場合に、強度低下が激
しく、再使用がほとんどできない問題点があった。その
ため、従来のセラミックス基複合部材(CMC)は、燃
焼器(スラストチャンバ)や燃料配管のような気密性と
耐熱衝撃性を要する部品には実質的に使用できないと考
えられていた。
[Problems to be Solved by the Invention] However, the conventional CMC
Had a problem that it could not maintain airtightness and had low thermal shock resistance. That is, in the conventional CMC, after a predetermined shape is made of ceramic fibers, the so-called C
VI processing (Chemical Vapor Infil)
A matrix is formed in the interstices of the fibers by the (translation: vapor phase impregnation method), but there is a problem that it takes an impractical long time (for example, one year or longer) to completely fill the interstices between the fibers with this CVI. . Further, when the conventional CMC thus formed is tested at a high temperature or the like, when a strong thermal shock (for example, a temperature difference of 900 ° C. or more) is applied, there is a problem that the strength is severely reduced and the reuse is hardly possible. . Therefore, it has been considered that the conventional ceramics-based composite member (CMC) cannot be practically used for parts that require airtightness and thermal shock resistance, such as a combustor (thrust chamber) and a fuel pipe.

【0006】上述した問題点を解決するために、本発明
の発明者等は、先に、「セラミックス基複合部材及びそ
の製造方法」を創案し、出願した(特開2000−21
9576号)。この製造方法は、CVI処理とPIP処
理とを組み合わせたプロセス(ハイブリッド処理)であ
り、気密性と耐熱衝撃性を大幅に高めることができ、こ
れによりスラストチャンバ等にも実用可能となった。
In order to solve the above-mentioned problems, the inventors of the present invention previously created and applied for "Ceramics-based composite member and its manufacturing method" (Japanese Patent Laid-Open No. 2000-21).
9576). This manufacturing method is a process (hybrid processing) in which the CVI processing and the PIP processing are combined, and the airtightness and the thermal shock resistance can be remarkably enhanced, which makes it practically applicable to the thrust chamber and the like.

【0007】しかし、上述した製造方法で製造した従来
のSiC/SiC(CMC)は、10回程度の繰り返し
熱衝撃を受けると、強度が半分以下になってしまうとい
う問題点があった。また、気密性を確保するために、P
IP処理を30〜40回程度行う必要があり、その結
果、製造期間が長期化し、かつコストが高い問題点があ
った。
However, the conventional SiC / SiC (CMC) manufactured by the above-described manufacturing method has a problem that its strength becomes half or less when repeatedly subjected to a thermal shock of about 10 times. In addition, in order to ensure airtightness, P
It is necessary to perform the IP treatment about 30 to 40 times, resulting in a problem that the manufacturing period is prolonged and the cost is high.

【0008】本発明は、かかる問題点を解決するために
創案されたものである。すなわち、本発明の目的は、繰
り返し熱衝撃による強度低下が少なく、少ない工程で気
密性を確保でき、これにより製造期間を短縮化できかつ
大幅なコストダウンが可能となるセラミックス基複合部
材及びその製造方法を提供することにある。
The present invention was devised to solve such problems. That is, the object of the present invention is to reduce the strength due to repeated thermal shock, to ensure the airtightness in a small number of steps, thereby shortening the manufacturing period and greatly reducing the cost, and the manufacturing thereof. To provide a method.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、成形し
た繊維織物の表面にSiCマトリックス層を形成するC
VI処理ステップ(A)と、そのマトリックス層の隙間
に熱硬化性ポリマーを基材として含浸し焼成するPIP
処理ステップ(B)と、更にマトリックス層の隙間にS
iC粒子を含むスラリーを含浸するスラリー含浸ステッ
プ(C)とを備えた、ことを特徴とするセラミックス基
複合部材の製造方法が提供される。
According to the present invention, C forming a SiC matrix layer on the surface of a formed fiber fabric is described.
VI treatment step (A) and PIP in which the gap between the matrix layers is impregnated with a thermosetting polymer as a base material and fired
In the processing step (B), and further in the gap between the matrix layers, S
and a slurry impregnation step (C) of impregnating a slurry containing iC particles.

【0010】本発明のこの方法によれば、CVI処理ス
テップ(A)で繊維織物の表面にSiCマトリックス層
を形成した後、PIP処理ステップ(B)においてマト
リックス層の隙間に熱硬化性ポリマー(例えばPVS)
を基材として含浸し焼成するので、PVSを内部まで容
易に含浸でき、効率よく充填率を稼ぐことができる。ま
た、スラリー含浸ステップ(C)において、SiC粒子
を含むスラリーを含浸するので、更に効率よく充填率を
高めることができる。
According to this method of the present invention, after the SiC matrix layer is formed on the surface of the fiber fabric in the CVI treatment step (A), the thermosetting polymer (for example, in the gap between the matrix layers is formed in the PIP treatment step (B). PVS)
Since PVS is impregnated as a base material and fired, PVS can be easily impregnated to the inside, and the filling rate can be efficiently obtained. Further, in the slurry impregnation step (C), since the slurry containing the SiC particles is impregnated, the filling rate can be increased more efficiently.

【0011】本発明の好ましい実施形態によれば、前記
CVI処理ステップ(A)において、複数のCVI処理
の中間で、繊維間のガスパスを塞ぐ表面のSiC膜を除
去する表面膜除去処理を有する。この方法により、表面
でガスパスを塞いでいるCVI処理によるSiC膜を除
去し、CVI処理による含浸効率を上げることができ
る。
According to a preferred embodiment of the present invention, in the CVI treatment step (A), there is a surface film removal treatment for removing the SiC film on the surface blocking the gas path between the fibers in the middle of the plurality of CVI treatments. By this method, it is possible to remove the SiC film by the CVI treatment that blocks the gas path on the surface and increase the impregnation efficiency by the CVI treatment.

【0012】また、前記PIP処理ステップ(B)にお
いて、熱硬化性ポリマーとして、PVS(ボリビニルシ
ラン)を用い、これを粘度を低下させるために約30〜
40℃に加熱して含浸させ、次いで800〜1300℃
で熱処理する。約30〜40℃に加熱して含浸すること
により、PVSの粘度を低下させ、マトリックス層の隙
間にPVSを効率良く充填することができる。また、8
00〜1300℃で熱処理することにより、PVSに含
まれる低分子量成分,水素,メタン等を蒸発・放出さ
せ、更にポリマーを熱分解してセラミックス化(SiC
化)することができる。
In the step (B) of PIP treatment, PVS (polyvinyl silane) is used as the thermosetting polymer, and in order to reduce the viscosity, it is about 30-
Heat to 40 ° C to impregnate, then 800-1300 ° C
Heat treatment. By heating to about 30 to 40 ° C. and impregnating, the viscosity of PVS can be reduced, and PVS can be efficiently filled in the gaps in the matrix layer. Also, 8
By heat treatment at 00 to 1300 ° C, low molecular weight components, hydrogen, methane, etc. contained in PVS are evaporated and released, and the polymer is further thermally decomposed into ceramics (SiC
Can be changed).

【0013】また、前記スラリー含浸ステップ(C)に
おいて、平均粒径0.1〜5μmのSiC粒子をエタノ
ール等の粘度の低い揮発性液体に混合して含浸させ、次
いで、該揮発性液体を蒸発させた後CVI処理でSiC
粒子を固定する。粘度の低いエタノール等の揮発性液体
に混合することにより、スラリー自体の粘度を下げ、マ
トリックス層の隙間にスラリーを効率良く充填すること
ができる。また、このスラリーは揮発性液体のみなの
で、SiC粒子が繊維と固定されないが、次いで、揮発
性液体を蒸発させた後CVI処理を行うことにより、C
VI処理によるSiC膜で充填されたSiC粒子を固定
することができる。
In the slurry impregnation step (C), SiC particles having an average particle size of 0.1 to 5 μm are mixed and impregnated with a volatile liquid having a low viscosity such as ethanol, and then the volatile liquid is evaporated. And then SiC by CVI treatment
Fix the particles. By mixing it with a low-viscosity volatile liquid such as ethanol, the viscosity of the slurry itself can be lowered and the slurry can be efficiently filled in the gaps in the matrix layer. Further, since this slurry contains only the volatile liquid, the SiC particles are not fixed to the fibers. However, the CVI treatment is performed after evaporating the volatile liquid.
It is possible to fix the SiC particles filled with the SiC film by the VI treatment.

【0014】更に、マトリックス層の隙間に熱可塑性ポ
リマーを基材として含浸し焼成するPIP処理ステップ
(D)を備える、ことが好ましい。このPIP処理ステ
ップ(D)により、熱可塑性のPCS(ボリカルボシラ
ン)が繊維にまとわりつくように付いて、マトリックス
と繊維との接合力を高め、CMC自体の初期強度を高め
ることができる。
Further, it is preferable to provide a PIP treatment step (D) of impregnating a gap between the matrix layers with a thermoplastic polymer as a base material and baking the same. By this PIP treatment step (D), the thermoplastic PCS (polycarbosilane) is attached to the fibers so as to cling to the fibers, so that the bonding force between the matrix and the fibers can be increased and the initial strength of the CMC itself can be increased.

【0015】また本発明によれば、成形した繊維織物の
表面に形成されたSiCマトリックス層と、そのマトリ
ックス層の隙間に形成されたPVS(ボリビニルシラ
ン)からなるマトリックス層と、を備えたことを特徴と
するセラミックス基複合部材が提供される。この構成に
より、PVS(ボリビニルシラン)からなるマトリック
ス層とセラミックス繊維との拘束力が弱いため、一種の
柔構造となり、ヤング率が低下して、熱応力が軽減され
耐熱衝撃性が向上する。
Further, according to the present invention, a SiC matrix layer formed on the surface of the molded fiber woven fabric and a matrix layer made of PVS (polyvinylsilane) formed in the gap between the matrix layers are provided. A featured ceramic-based composite member is provided. With this configuration, the binding force between the matrix layer made of PVS (polyvinylsilane) and the ceramic fiber is weak, so that a kind of flexible structure is formed, the Young's modulus is reduced, the thermal stress is reduced, and the thermal shock resistance is improved.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を図面を参照して説明する。図1は、従来のセラミック
ス基複合部材の製造方法を示す模式図である。この図
は、特開2000−219576号で開示したセラミッ
クス基複合部材の製造方法を示している。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic view showing a conventional method for manufacturing a ceramic-based composite member. This figure shows a method for manufacturing a ceramic-based composite member disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-219576.

【0017】この方法により気密性を要するチャンバを
製造する場合、(1)まず、マンドレル(製織用治具)
を用いて、ブレイド織り等でチャンバ形状に織物を織
る。(2)次いで、この織物に、インターフェイスコー
ティングを行う。このコーティングは、繊維とマトリッ
クスを分ける層であると共に、SiC/SiCとして強
度を発現するための滑り層となる。このインターフェイ
スコーティングには、主にC(カーボン)が用いられ
る。(3)その後、CVI(Chemical Vap
or Infiltration,気相含浸)を行い、
SiCマトリックスを付ける。(4)その後、さらにP
IP(Polymer Impregnation a
nd Pyrolysis,液相含浸)を繰り返し行う
ことによって、チャンバの充填率を高め、(5)最後に
機械加工で形状を出す。この後、表面にCVIコーティ
ングを行い、更にリーク検査をして、気密性のあるチャ
ンバ等のCMCが完成する。リーク検査でリークがある
場合には、上述した(3)〜(5)を繰り返す。
When manufacturing a chamber requiring air tightness by this method, (1) first, a mandrel (weaving jig)
Is used to weave a woven fabric into a chamber shape by braid weaving or the like. (2) Next, the fabric is subjected to interface coating. This coating serves as a layer that separates the fiber from the matrix and also serves as a sliding layer for developing strength as SiC / SiC. C (carbon) is mainly used for this interface coating. (3) After that, CVI (Chemical Vap)
or Infiltration, vapor phase impregnation)
Attach a SiC matrix. (4) After that, P
IP (Polymer Implementation a)
nd Pyrolysis, liquid phase impregnation) is repeatedly performed to increase the filling rate of the chamber, and (5) finally, a shape is formed by machining. After that, CVI coating is performed on the surface, and a leak test is further performed to complete a CMC such as an airtight chamber. If there is a leak in the leak inspection, the above (3) to (5) are repeated.

【0018】図2は、従来の製造方法を具体的に示すフ
ロー図である。織物2を構成する繊維には、SiC繊維
1を用い、スラストチャンバのような軸対称形状の織物
を製作する。
FIG. 2 is a flowchart specifically showing the conventional manufacturing method. The SiC fiber 1 is used as a fiber forming the woven fabric 2, and a woven fabric having an axially symmetrical shape such as a thrust chamber is manufactured.

【0019】IFコーティング処理11では、原料ガス
を流して炉内で分解させて、カーボン又は窒化ボロンを
織物の繊維の表面にコーティングする。このコーティン
グは、前述のように、繊維とマトリックスを分ける層
(インターフェイス)であると共に、SiC/SiCと
して強度を発現するための滑り層となる。すなわち、I
Fコーティング処理11は、成形された繊維織物にカー
ボン(好ましくはグラファイトカーボン)又はBN等を
コーティングする工程である。コーティングの厚さは、
0.1〜1.0μm程度であるのがよい。かかるコーテ
ィング層は、特開昭63−12671号公報に開示され
るように、マトリックスとセラミックス繊維とを分離し
繊維のじん性を強化する役割を果たす。なお、一般的に
は、IFコーティング処理の前に、デサイズ処理を行
う。このデサイズ処理では、SiC繊維の表面に付いて
いるサイジング剤(ポリマー)を真空中で熱処理して除
去する。
In the IF coating treatment 11, a raw material gas is caused to flow and decomposed in a furnace to coat carbon or boron nitride on the surface of the fiber of the woven fabric. As described above, this coating is a layer (interface) that separates the fiber from the matrix, and also serves as a sliding layer for expressing strength as SiC / SiC. That is, I
The F coating treatment 11 is a step of coating the formed fiber fabric with carbon (preferably graphite carbon) or BN. The coating thickness is
It is preferably about 0.1 to 1.0 μm. As disclosed in JP-A-63-12671, such a coating layer plays a role of separating the matrix and the ceramic fiber and strengthening the toughness of the fiber. In addition, generally, a desizing process is performed before the IF coating process. In this desizing treatment, the sizing agent (polymer) attached to the surface of the SiC fiber is heat-treated in vacuum to be removed.

【0020】CVI処理12では、CVI処理(Che
mical Vapor Infiltration:
気相含浸法)で繊維の隙間にSiCのマトリックスを形
成する。このSiCマトリックスは、コーティング層
(インターフェイス)が後工程で行われるPIP等で反
応しないようにする機能と、使用時にインターフェイス
及び繊維を酸化から守る役割を果す。図2の従来の方法
では、このCVI処理12で所定の密度を達成した後
に、次のPCS−PIP処理13を実施する。
In the CVI process 12, the CVI process (Che
medical Vapor Information:
A SiC matrix is formed in the interstices between the fibers by the vapor phase impregnation method. This SiC matrix has a function of preventing the coating layer (interface) from reacting with PIP or the like performed in a later step, and a role of protecting the interface and the fiber from oxidation during use. In the conventional method of FIG. 2, after the CVI process 12 achieves a predetermined density, the next PCS-PIP process 13 is performed.

【0021】PIP処理は、熱分解してSiCになるポ
リマーを含浸させ、Ar中で熱処理してSiCマトリッ
クスを付ける工程である。ポリマーには、主に熱可塑性
のPCS(ポリカルボシラン)使用される。PCSを用
いたPIP処理を、本出願においてPCS−PIP処理
と呼ぶ。PCS−PIP処理13、16では、PCSは
粉末であるため、溶媒(例えばキシレン)に溶解して使
用される。含浸は、例えば減圧環境下で織物内部の気泡
を追い出すようにして行い、その後、約900℃で熱処
理して、ポリマーを熱分解してSiCにする。図2の工
程では、チャンバーの気密性を確保するために、PCS
−PIP処理を合計30回以上行っている。
The PIP treatment is a step of impregnating a polymer which is pyrolyzed into SiC and heat-treating it in Ar to attach a SiC matrix. Thermoplastic PCS (polycarbosilane) is mainly used for the polymer. PIP processing using PCS is referred to as PCS-PIP processing in this application. In the PCS-PIP treatments 13 and 16, since PCS is a powder, it is used by dissolving it in a solvent (for example, xylene). The impregnation is performed, for example, in a depressurized environment by expelling bubbles inside the fabric, and then heat-treated at about 900 ° C. to thermally decompose the polymer into SiC. In the process of FIG. 2, in order to secure the airtightness of the chamber, the PCS
-PIP processing is performed 30 times or more in total.

【0022】また、ポリマーとして熱硬化性のPVS
(ポリビニルシラン)を用いる場合がある。PVSを用
いたPIP処理を、本出願においてPVS−PIP処理
と呼ぶ。PVSは高粘度の液体であり、そのままでは粘
度が高すぎて使用できないので、約30〜40℃に温め
て使用する。含浸は、例えば減圧環境下で織物内部の気
泡を追い出すようにして行い、その後、約900℃で熱
処理して、ポリマーを熱分解してSiCにする。PCS
(ポリカルボシラン)とPVS(ポリビニルシラン)の
熱分解過程は類似しており、約400〜550℃で低分
子量成分が蒸発し、約550〜1000℃でメタンと水
素が放出してセラミックス化し、SiCマトリックスを
形成する。
Further, as the polymer, thermosetting PVS is used.
(Polyvinylsilane) may be used. PIP processing using PVS is referred to as PVS-PIP processing in this application. PVS is a highly viscous liquid and cannot be used as it is because the viscosity is too high. Therefore, PVS is used after being heated to about 30 to 40 ° C. The impregnation is performed, for example, in a depressurized environment by expelling bubbles inside the fabric, and then heat-treated at about 900 ° C. to thermally decompose the polymer into SiC. PCS
The thermal decomposition processes of (polycarbosilane) and PVS (polyvinylsilane) are similar, low molecular weight components evaporate at about 400 to 550 ° C, and methane and hydrogen are released at about 550 to 1000 ° C to form a ceramic, Form a SiC matrix.

【0023】図2の機械加工14では、PCS−PIP
処理13した織物2の内外面を研削する。また、CVI
−コーティング17では、織物全面にCVI処理により
SiC層をコーティングする。
In the machining 14 shown in FIG. 2, the PCS-PIP is used.
The inner and outer surfaces of the treated fabric 2 are ground. Also, CVI
In coating 17, the entire fabric is coated with a SiC layer by CVI treatment.

【0024】上述した従来のセラミックス基複合部材の
製造方法により、気密性と耐熱衝撃性を高めたCMC
(スラストチャンバ等)の製造が可能となった。しか
し、上述した方法で製作されたCMCは、ロケットノズ
ルが受ける熱衝撃に相当する過酷な熱衝撃(例えば、大
気中900℃、1時間から氷水に投下し、表裏でΔT=
400℃程度の温度差が発生する)を10回程度受ける
と、強度が半減してしまうことが試験の結果明らかとな
った。また、上述のように、気密性を確保するために、
PIP処理を30〜40回程度行う必要があり、その結
果、製造期間が長期化し、かつコストが高すぎる問題が
あった。
CMC having improved airtightness and thermal shock resistance by the above-mentioned conventional method for producing a ceramic-based composite member.
(Thrust chamber etc.) can be manufactured. However, the CMC manufactured by the above-described method has a severe thermal shock equivalent to the thermal shock received by the rocket nozzle (for example, 900 ° C in the atmosphere, it is dropped in ice water for 1 hour, and ΔT =
As a result of the test, it became clear that the strength is halved when subjected to a temperature difference of about 400 ° C.) about 10 times. In addition, as described above, in order to ensure airtightness,
It is necessary to perform the PIP process about 30 to 40 times, and as a result, there is a problem that the manufacturing period becomes long and the cost is too high.

【0025】図3は、本発明のセラミックス基複合部材
の製造方法の第1実施形態を示すフロー図である。この
図に示すように、本発明のセラミックス基複合部材及び
その製造方法は、CVI処理ステップ(A)、PIP処
理ステップ(B)及びスラリー含浸ステップ(C)を備
える。
FIG. 3 is a flow chart showing the first embodiment of the method for producing a ceramics-based composite member of the present invention. As shown in this figure, the ceramic-based composite member of the present invention and its manufacturing method include a CVI treatment step (A), a PIP treatment step (B), and a slurry impregnation step (C).

【0026】CVI処理ステップ(A)は、この例で
は、2回のCVI処理21a,21bとその間の表面膜
除去処理22とからなり、成形した繊維織物の表面にS
iCマトリックス層を形成する。CVI処理21a,2
1bでは、上述したCVI処理で繊維の隙間にSiCの
マトリックスを形成する。また,このCVI処理ステッ
プ(A)では、複数(この例では2回)のCVI処理2
1a,21bの中間に表面膜除去処理22を有し、繊維
間のガスパスを塞ぐ表面のSiC膜を除去する。
In this example, the CVI treatment step (A) consists of two CVI treatments 21a and 21b and a surface film removal treatment 22 between them, and the SVI treatment is performed on the surface of the formed fiber fabric.
An iC matrix layer is formed. CVI processing 21a, 2
In 1b, the matrix of SiC is formed in the interstices between the fibers by the CVI treatment described above. In addition, in this CVI processing step (A), a plurality (two times in this example) of CVI processing 2 is performed.
A surface film removal treatment 22 is provided between 1a and 21b to remove the SiC film on the surface blocking the gas path between the fibers.

【0027】PIP処理ステップ(B)は、この例で
は、2回のPVS−PIP処理23からなり、マトリッ
クス層の隙間に熱硬化性ポリマーを基材として含浸し焼
成する。このPIP処理ステップ(B)において、熱硬
化性ポリマーとして、PVS(ボリビニルシラン)を用
い、これを粘度を低下させるために約30〜40℃に加
熱して含浸させ、次いで約900℃で熱処理する。この
熱処理温度は、800℃以上1300℃未満であればよ
い。
In this example, the PIP treatment step (B) consists of two PVS-PIP treatments 23, in which the gaps in the matrix layer are impregnated with a thermosetting polymer as a base material and fired. In this PIP treatment step (B), PVS (polyvinylsilane) is used as the thermosetting polymer, and this is impregnated by heating at about 30 to 40 ° C. to reduce the viscosity, and then heat treatment at about 900 ° C. . The heat treatment temperature may be 800 ° C. or higher and lower than 1300 ° C.

【0028】スラリー含浸ステップ(C)は、この例で
は、2回のCVI処理21c,21dとその間のスラリ
ー含浸処理24とからなり、マトリックス層の隙間にS
iC粒子を含むスラリーを含浸する。このスラリー含浸
ステップ(C)において、平均粒径1〜3μmのSiC
粒子をエタノールに混合して含浸させ、次いで、エタノ
ールを蒸発させた後CVI処理でSiC粒子を固定す
る。図3において、その他の処理11、14、17は、
図2と同様である。SiC粒子の平均粒径は0.1〜5
μmであればよく、エタノールは他の粘度の低い揮発性
液体でもよい。
In this example, the slurry impregnation step (C) consists of two CVI treatments 21c and 21d and a slurry impregnation treatment 24 between them, and the S in the gap between the matrix layers.
Impregnate a slurry containing iC particles. In this slurry impregnation step (C), SiC having an average particle size of 1 to 3 μm
The particles are mixed with ethanol for impregnation, then the ethanol is evaporated and the SiC particles are fixed by CVI treatment. In FIG. 3, the other processes 11, 14, and 17 are
It is similar to FIG. The average particle size of SiC particles is 0.1 to 5
It may be μm, and ethanol may be another volatile liquid having a low viscosity.

【0029】図3に示した本発明の方法によれば、CV
I処理ステップ(A)で繊維織物の表面にSiCマトリ
ックス層を形成した後、PIP処理ステップ(B)にお
いてマトリックス層の隙間に熱硬化性ポリマー(例えば
PVS)を基材として含浸し焼成するので、PVSを内
部まで容易に含浸でき、効率よく充填率を稼ぐことがで
きる。また、スラリー含浸ステップ(C)において、S
iC粒子を含むスラリーを含浸するので、更に効率よく
充填率を高めることができる。
According to the method of the present invention shown in FIG. 3, CV
After the SiC matrix layer is formed on the surface of the textile fabric in the treatment step (A), the gap between the matrix layers is impregnated with the thermosetting polymer (for example, PVS) as the base material in the PIP treatment step (B) and then fired. PVS can be easily impregnated into the inside, and the filling rate can be efficiently obtained. In the slurry impregnation step (C), S
Since the slurry containing the iC particles is impregnated, the filling rate can be increased more efficiently.

【0030】また、複数のCVI処理21a,21bの
中間に表面膜除去処理22を有するので、表面でガスパ
スを塞いでいるCVI処理によるSiC膜を除去し、C
VI処理による含浸効率を上げることができる。
Further, since the surface film removing process 22 is provided between the plurality of CVI processes 21a and 21b, the SiC film by the CVI process blocking the gas path on the surface is removed to remove C
Impregnation efficiency can be increased by VI treatment.

【0031】更に、PIP処理ステップ(B)におい
て、約30〜40℃に加熱して含浸することにより、P
VSの粘度を低下させ、マトリックス層の隙間にPVS
を効率良く充填することができる。また、800〜13
00℃で熱処理することにより、PVSに含まれる低分
子量成分,水素,メタン等を蒸発・放出させ、更にポリ
マーを熱分解してセラミックス化(SiC化)すること
ができる。
Further, in the PIP treatment step (B), the P is treated by heating at about 30 to 40 ° C. to impregnate it.
Decrease the viscosity of VS, PVS in the gap of the matrix layer
Can be efficiently filled. Also, 800 to 13
By heat treatment at 00 ° C., low molecular weight components, hydrogen, methane, etc. contained in PVS can be vaporized and released, and the polymer can be thermally decomposed into a ceramic (SiC).

【0032】また、前記スラリー含浸ステップ(C)に
おいて、平均粒径0.1〜5μmのSiC粒子を粘度の
低いエタノールに混合することにより、スラリー自体の
粘度を下げ、マトリックス層の隙間にスラリーを効率良
く充填することができる。また、このスラリーはエタノ
ールのみなので、SiC粒子が繊維と固定されないが、
次いで、エタノールを蒸発させた後CVI処理を行うこ
とにより、CVI処理によるSiC膜で充填されたSi
C粒子を固定することができる。
In the slurry impregnation step (C), the viscosity of the slurry itself is lowered by mixing SiC particles having an average particle diameter of 0.1 to 5 μm with ethanol having a low viscosity, and the slurry is filled in the gaps of the matrix layer. It can be filled efficiently. Also, since this slurry is only ethanol, SiC particles are not fixed to the fibers,
Next, CVI treatment is performed after evaporating the ethanol to obtain Si filled with the SiC film by the CVI treatment.
C particles can be fixed.

【0033】図4は、従来例(A)と本発明(B)によ
るセラミックス基複合部材の顕微鏡写真である。図4
(A)に示すように、図2に示した従来の方法によるC
MCでは、PCSのマトリックス(PCSが分解したS
iCマトリックス)は繊維にまとわり付くように付着し
ており、空隙(黒い部分)が丸くなっているのがわか
る。これはPCSのマトリックスが繊維をしっかり結合
していることを示している。これに対して、図4(B)
に示すように、図3に示した本発明の方法によるCMC
では、PVSのマトリックス(PVSが分解したSiC
マトリックス)は、角張った形状をしており、繊維から
ほぼ独立している。また、PVSのマトリックスはその
周囲のCVIのマトリックス(白い層)により繊維と結
合されている。
FIG. 4 is a photomicrograph of the ceramic-based composite member according to the conventional example (A) and the present invention (B). Figure 4
As shown in (A), C according to the conventional method shown in FIG.
In MC, the matrix of PCS (S decomposed by PCS
It can be seen that the iC matrix) is attached so as to cling to the fibers, and the voids (black portions) are rounded. This indicates that the matrix of PCS binds the fibers tightly. In contrast, FIG. 4 (B)
As shown in FIG. 3, CMC according to the method of the present invention shown in FIG.
Then, PVS matrix (PVS decomposed SiC
The matrix) has an angular shape and is almost independent of the fibers. Also, the PVS matrix is bound to the fibers by the surrounding CVI matrix (white layer).

【0034】すなわち、本発明のCMCは、成形した繊
維織物の表面に形成されたSiCマトリックス層(CV
Iのマトリックス)と、そのマトリックス層の隙間に形
成されたPVS(ボリビニルシラン)からなるマトリッ
クス層(PVSのマトリックス)とを備え、更に、PV
Sのマトリックスはその周囲のCVIのマトリックスに
より繊維と結合されている。
That is, the CMC of the present invention comprises a SiC matrix layer (CV) formed on the surface of a molded fiber fabric.
I matrix), and a matrix layer (PVS matrix) made of PVS (polyvinylsilane) formed in the gap between the matrix layers, and further comprising PV
The matrix of S is bound to the fibers by the matrix of CVI around it.

【0035】図5は、従来例と本発明による熱衝撃回数
と引張強度の関係図である。この図において、横軸は熱
衝撃回数であり、縦軸は引張強度である。また、図中の
●は従来のCMC(PCSのマトリックス)、◆は本発
明のCMC(PVSのマトリックス)を示している。こ
の熱衝撃試験は、ロケットノズルが受ける熱衝撃に相当
する、大気中900℃、1時間から氷水に投下する熱衝
撃を10回実施した。図5から、本発明のCMCの初期
の引張強度は約200MPaであり、従来のCMCの約
8割の強度に低下している。これは、図4に示したよう
に、PVSマトリックスが繊維と直接結合せず、CVI
マトリックスによる結合しているためと考えられる。し
かし、10回の熱衝撃試験後の引張強度は、本発明のC
MCでは、初期の引張強度とほぼ等しい約200MPa
であるのに対して、従来のCMCでは、約180MPa
まで低下している。これは、PVS(ボリビニルシラ
ン)からなるマトリックス層とセラミックス繊維との拘
束力は弱いが、これが一種の柔構造となり、ヤング率が
低下して、熱応力が軽減され耐熱衝撃性が向上するもの
と考えられる。
FIG. 5 is a graph showing the relationship between the number of thermal shocks and the tensile strength according to the conventional example and the present invention. In this figure, the horizontal axis represents the number of thermal shocks and the vertical axis represents the tensile strength. Further, in the figure, ● represents the conventional CMC (PCS matrix), and ◆ represents the CMC (PVS matrix) of the present invention. This thermal shock test was carried out 10 times, which is equivalent to the thermal shock received by the rocket nozzle and was dropped into ice water from 900 ° C. for 1 hour in the atmosphere. From FIG. 5, the initial tensile strength of the CMC of the present invention is about 200 MPa, which is about 80% that of the conventional CMC. This is because the PVS matrix does not bond directly to the fibers, as shown in FIG.
It is considered that they are linked by the matrix. However, the tensile strength after 10 thermal shock tests was C of the present invention.
In MC, approximately 200 MPa, which is almost equal to the initial tensile strength
On the other hand, in the conventional CMC, about 180 MPa
Has fallen to. Although the binding force between the matrix layer made of PVS (polyvinyl silane) and the ceramic fiber is weak, this is a kind of flexible structure, the Young's modulus is lowered, the thermal stress is reduced, and the thermal shock resistance is improved. Conceivable.

【0036】表1に従来例と本発明のCMCのマトリッ
クス構成の比較を示す。
Table 1 shows a comparison between the matrix structures of the conventional example and the CMC of the present invention.

【0037】[0037]

【表1】 [Table 1]

【0038】従来のCMCでは、CVIとPIPの体積
比が1:1であったが、本発明では4:1までCVIの
比率が上がっている。空隙率は、従来例では14vol
%であるが、本発明では約6.4vol%まで低くなっ
ている。従って、その分、気密性能が向上している。P
IP回数は、従来の約30回に対して、図3の例ではス
ラリー含浸を含めて4回に減少している。すなわち、本
発明により、気密性を達成するための工程回数が大幅に
減少し、かつ高い充填率が得られており、マトリックス
の含浸効率が高いことがわかる。
In the conventional CMC, the volume ratio of CVI to PIP was 1: 1, but in the present invention, the ratio of CVI is increased up to 4: 1. The porosity is 14 vol in the conventional example.
%, But in the present invention, it is as low as about 6.4 vol%. Therefore, the airtightness is improved accordingly. P
The number of IPs is reduced to 4 in the example of FIG. 3 including the slurry impregnation, compared to about 30 in the conventional case. That is, according to the present invention, it is understood that the number of steps for achieving the airtightness is significantly reduced and a high filling rate is obtained, and the impregnation efficiency of the matrix is high.

【0039】図6は、本発明のセラミックス基複合部材
の製造方法の第2実施形態を示すフロー図である。この
第2実施形態では、図3の第1実施形態に加えて、更
に、マトリックス層の隙間に熱可塑性ポリマーを基材と
して含浸し焼成するPIP処理ステップ(D)を備えて
いる。このPIP処理ステップ(D)は、この例では、
2回のPCS−PIP処理25と2回のスラリー含浸処
理26からなる。その他の処理は、図3と同様である。
かかるPIP処理ステップ(D)を追加することによ
り、熱可塑性のPCS(ボリカルボシラン)が繊維にま
とわりつくように付いて、マトリックスと繊維との接合
力を高め、CMC自体の初期強度を更に高めることがで
きる。
FIG. 6 is a flow chart showing a second embodiment of the method for manufacturing a ceramics-based composite member of the present invention. In addition to the first embodiment of FIG. 3, the second embodiment further includes a PIP processing step (D) of impregnating the gaps of the matrix layer with a thermoplastic polymer as a base material and firing the same. This PIP processing step (D), in this example,
It consists of two PCS-PIP treatments 25 and two slurry impregnation treatments 26. Other processes are the same as those in FIG.
By adding the PIP treatment step (D), the thermoplastic PCS (polycarbosilane) is attached to the fibers so as to cling to the fibers to enhance the bonding force between the matrix and the fibers and further enhance the initial strength of the CMC itself. You can

【0040】なお、本発明は上述した実施の形態に限定
されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更でき
ることは勿論である。
The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.

【0041】[0041]

【発明の効果】上述したように、本発明では、PIPに
熱可塑性のポリマーを主体に使用するのではなく、熱硬
化性のポリマーを使用する。また、熱硬化性ポリマーか
らできるSiCは繊維との密着性に欠けるので、その固
定のためにCVIを行う。このCVIはPIPマトリッ
クスの耐酸化性向上にも役立つ。更に、この後に、熱可
塑性のポリマーで更に埋めてもよい。
As described above, in the present invention, the thermosetting polymer is used for the PIP instead of the thermoplastic polymer as the main component. Further, since SiC made of a thermosetting polymer lacks adhesion to fibers, CVI is performed for fixing the SiC. This CVI also helps improve the oxidation resistance of the PIP matrix. In addition, this may be followed by further filling with a thermoplastic polymer.

【0042】すなわち、熱硬化性のポリマーを使用する
ことにより、熱可塑性のものに比べて、内部に亀裂が少
ない耐酸化性に優れたSiCができる。また熱硬化性で
あるため個々のSiCが独立し、大きな隙間ができ易
い。このため、固定のCVIが効率よく入り、周囲を完
全にCVIで包み込める。更に熱衝撃でCMC表面のコ
ーティングに亀裂が入っても、PIPマトリックスが直
ちに酸化されることがなくなるため、10回の熱衝撃後
でも、ほとんど強度低下しなくなる。
That is, by using a thermosetting polymer, SiC having less cracks inside and excellent in oxidation resistance as compared with a thermoplastic one can be obtained. Further, since it is thermosetting, individual SiC is independent and a large gap is likely to be formed. Therefore, the fixed CVI can efficiently enter, and the surroundings can be completely wrapped with the CVI. Further, even if the coating on the surface of CMC is cracked by thermal shock, the PIP matrix is not immediately oxidized, so that the strength hardly decreases even after 10 thermal shocks.

【0043】従って、本発明のセラミックス基複合部材
及びその製造方法は、繰り返し熱衝撃による強度低下が
少なく、少ない工程で気密性を確保でき、これにより製
造期間を短縮化できかつ大幅なコストダウンが可能とな
る、等の優れた効果を有する。
Therefore, the ceramic-based composite member of the present invention and the method for manufacturing the same have little strength reduction due to repeated thermal shocks, and can secure airtightness in a small number of steps, thereby shortening the manufacturing period and greatly reducing the cost. It has an excellent effect such as being possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】従来のセラミックス基複合部材の製造方法を示
す模式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a conventional method for manufacturing a ceramic-based composite member.

【図2】従来のセラミックス基複合部材の製造方法を示
すフロー図である。
FIG. 2 is a flow chart showing a conventional method for manufacturing a ceramic-based composite member.

【図3】本発明のセラミックス基複合部材の製造方法の
第1実施形態を示すフロー図である。
FIG. 3 is a flow chart showing a first embodiment of a method for manufacturing a ceramics-based composite member of the present invention.

【図4】従来例と本発明によるセラミックス基複合部材
の顕微鏡写真である。
FIG. 4 is a micrograph of a ceramic-based composite member according to a conventional example and the present invention.

【図5】従来例と本発明による熱衝撃回数と引張強度の
関係図である。
FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the number of thermal shocks and the tensile strength according to the conventional example and the present invention.

【図6】本発明のセラミックス基複合部材の製造方法の
第2実施形態を示すフロー図である。
FIG. 6 is a flowchart showing a second embodiment of the method for manufacturing a ceramics-based composite member of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 SiC繊維、2 織物、3 CMC(セラミックス
基複合部材)、11 IFコーティング処理、12 C
VI処理、13 PCS−PIP処理、14 機械加
工、15 PVS−PIP処理、16 PCS−PIP
処理、17 CVI−コーティング処理、21a〜21
d CVI処理、22 表面膜除去処理、23 PVS
−PIP処理、24,26 スラリー含浸処理、25
PCS−PIP処理
1 SiC fiber, 2 woven fabric, 3 CMC (ceramic matrix composite member), 11 IF coating treatment, 12 C
VI treatment, 13 PCS-PIP treatment, 14 machining, 15 PVS-PIP treatment, 16 PCS-PIP
Treatment, 17 CVI-Coating Treatment, 21a-21
d CVI treatment, 22 surface film removal treatment, 23 PVS
-PIP treatment, 24, 26 slurry impregnation treatment, 25
PCS-PIP processing

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F02C 7/00 D06M 15/21 A C04B 35/80 G F02K 9/62 L D06M 11/00 Z Fターム(参考) 3G002 EA08 EA09 4G001 BA22 BA33 BA60 BA77 BA86 BB22 BB86 BC22 BC33 BC47 BC52 BC54 BD07 BD15 BE11 BE39 4L031 AA29 AB32 BA19 DA11 4L033 AA09 AB05 AC15 CA59 DA03─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) F02C 7/00 D06M 15/21 A C04B 35/80 G F02K 9/62 L D06M 11/00 Z F term ( Reference) 3G002 EA08 EA09 4G001 BA22 BA33 BA60 BA77 BA86 BB22 BB86 BC22 BC33 BC47 BC52 BC54 BD07 BD15 BE11 BE39 4L031 AA29 AB32 BA19 DA11 4L033 AA09 AB05 AC15 CA59 DA03

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 成形した繊維織物の表面にSiCマトリ
ックス層を形成するCVI処理ステップ(A)と、その
マトリックス層の隙間に熱硬化性ポリマーを基材として
含浸し焼成するPIP処理ステップ(B)と、更にマト
リックス層の隙間にSiC粒子を含むスラリーを含浸す
るスラリー含浸ステップ(C)とを備えた、ことを特徴
とするセラミックス基複合部材の製造方法。
1. A CVI treatment step (A) for forming a SiC matrix layer on the surface of a molded fiber woven fabric, and a PIP treatment step (B) for impregnating a gap between the matrix layers with a thermosetting polymer as a base material and firing the same. And a slurry impregnation step (C) of impregnating a slurry containing SiC particles in the gaps between the matrix layers.
【請求項2】 前記CVI処理ステップ(A)におい
て、複数のCVI処理の中間で、繊維間のガスパスを塞
ぐ表面のSiC膜を除去する表面膜除去処理を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載のセラミックス基複合
部材の製造方法。
2. In the CVI treatment step (A), there is a surface film removal treatment for removing the SiC film on the surface blocking the gas path between the fibers in the middle of the plurality of CVI treatments.
The method for producing a ceramics-based composite member according to claim 1, wherein.
【請求項3】 前記PIP処理ステップ(B)におい
て、熱硬化性ポリマーとして、PVS(ボリビニルシラ
ン)を用い、これを粘度を低下させるために約30〜4
0℃に加熱して含浸させ、次いで800〜1300℃で
熱処理する、ことを特徴とする請求項1に記載のセラミ
ックス基複合部材の製造方法。
3. In the PIP processing step (B), PVS (polyvinylsilane) is used as the thermosetting polymer, and about 30 to 4 is used to reduce the viscosity.
2. The method for producing a ceramics-based composite member according to claim 1, wherein the impregnation is carried out by heating to 0 [deg.] C., followed by heat treatment at 800-1300 [deg.] C.
【請求項4】 前記スラリー含浸ステップ(C)におい
て、平均粒径0.1〜5μmのSiC粒子を粘度の低い
揮発性液体に混合して含浸させ、次いで、該揮発性液体
を蒸発させた後CVI処理でSiC粒子を固定する、こ
とを特徴とする請求項1に記載のセラミックス基複合部
材の製造方法。
4. In the slurry impregnation step (C), SiC particles having an average particle diameter of 0.1 to 5 μm are mixed and impregnated with a volatile liquid having a low viscosity, and then the volatile liquid is evaporated. The method for producing a ceramics-based composite member according to claim 1, wherein the SiC particles are fixed by CVI treatment.
【請求項5】 更に、マトリックス層の隙間に熱可塑性
ポリマーを基材として含浸し焼成するPIP処理ステッ
プ(D)を備えた、ことを特徴とする請求項1に記載の
セラミックス基複合部材の製造方法。
5. The production of a ceramic-based composite member according to claim 1, further comprising a PIP treatment step (D) of impregnating a gap between the matrix layers with a thermoplastic polymer as a base material and firing the same. Method.
【請求項6】 成形した繊維織物の表面に形成されたS
iCマトリックス層と、そのマトリックス層の隙間に形
成されたPVS(ボリビニルシラン)からなるマトリッ
クス層と、を備えたことを特徴とするセラミックス基複
合部材。
6. S formed on the surface of a molded fiber woven fabric
A ceramics-based composite member comprising an iC matrix layer and a matrix layer made of PVS (polyvinylsilane) formed in a gap between the matrix layers.
JP2002059907A 2002-03-06 2002-03-06 Method for producing ceramic matrix composite member Expired - Lifetime JP4117529B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002059907A JP4117529B2 (en) 2002-03-06 2002-03-06 Method for producing ceramic matrix composite member

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002059907A JP4117529B2 (en) 2002-03-06 2002-03-06 Method for producing ceramic matrix composite member

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003261381A true JP2003261381A (en) 2003-09-16
JP4117529B2 JP4117529B2 (en) 2008-07-16

Family

ID=28669425

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002059907A Expired - Lifetime JP4117529B2 (en) 2002-03-06 2002-03-06 Method for producing ceramic matrix composite member

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4117529B2 (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1317238C (en) * 2004-09-24 2007-05-23 中国人民解放军国防科学技术大学 Method for preparing composite rail control thrust chamber by pioneer impregnating cracking technology
JP2008081379A (en) * 2006-09-28 2008-04-10 Ihi Corp Ceramic-based composite material and its production method
JP2015505934A (en) * 2011-12-15 2015-02-26 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ Composite storage case for gas turbine fan and manufacturing method thereof
US9039955B2 (en) 2010-03-29 2015-05-26 Ihi Corporation Powder material impregnation method and method for producing fiber-reinforced composite material
JP2016533637A (en) * 2013-06-07 2016-10-27 アップル インコーポレイテッド Radio frequency transparent window
CN107266099A (en) * 2017-06-16 2017-10-20 中国人民解放军第五七九工厂 A kind of aero-engine ceramic matrix composite turbine stator blade near-net-shape fixture

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06141603A (en) * 1992-11-06 1994-05-24 Ishikawajima Shibaura Mach Co Ltd Tillage and spraying machine

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1317238C (en) * 2004-09-24 2007-05-23 中国人民解放军国防科学技术大学 Method for preparing composite rail control thrust chamber by pioneer impregnating cracking technology
JP2008081379A (en) * 2006-09-28 2008-04-10 Ihi Corp Ceramic-based composite material and its production method
US8728383B2 (en) 2006-09-28 2014-05-20 Ishikawajima-Harima Heavy Industries Co., Ltd. Ceramic composite material
US9039955B2 (en) 2010-03-29 2015-05-26 Ihi Corporation Powder material impregnation method and method for producing fiber-reinforced composite material
JP2015505934A (en) * 2011-12-15 2015-02-26 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ Composite storage case for gas turbine fan and manufacturing method thereof
US9248612B2 (en) 2011-12-15 2016-02-02 General Electric Company Containment case and method of manufacture
JP2016533637A (en) * 2013-06-07 2016-10-27 アップル インコーポレイテッド Radio frequency transparent window
US9627749B2 (en) 2013-06-07 2017-04-18 Apple Inc. Radio-frequency transparent window
CN107266099A (en) * 2017-06-16 2017-10-20 中国人民解放军第五七九工厂 A kind of aero-engine ceramic matrix composite turbine stator blade near-net-shape fixture

Also Published As

Publication number Publication date
JP4117529B2 (en) 2008-07-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6723382B2 (en) Method for fabricating ceramic matrix composite
US6820334B2 (en) Method for repairing articles of ceramic composites
US6342269B1 (en) Method for manufacturing ceramic-based composite material
US10458653B2 (en) Machinable CMC insert
US10465534B2 (en) Machinable CMC insert
JP2000219576A (en) Ceramic-base composite member and its production
US10401028B2 (en) Machinable CMC insert
US10294166B2 (en) Densified polymer infiltrated and pyrolysis-based CMC articles
US20200308066A1 (en) Ceramic Matrix Composite Articles and Methods for Manufacturing the Same
JPWO2018212139A1 (en) Silicon carbide ceramics
US10472976B2 (en) Machinable CMC insert
JP2003261381A (en) Ceramic-base composite member and method for producing the same
US11814325B2 (en) Method for coating a ceramic matrix composite part with an environmental barrier
US20210053882A1 (en) Method of densifying a ceramic matrix composite using a filled tackifier
JP2003252694A (en) SiC-FIBER-COMPOSITED SiC COMPOSITE MATERIAL
JP2006265080A (en) Ceramic composite material and its production method
US6121169A (en) Porous interfacial coating for fiber reinforced ceramic matrix composites
US6723381B1 (en) Method and apparatus for manufacturing ceramic-based composite member
JP2001146486A (en) Method and apparatus for producing ceramic base composite material
JP3371993B2 (en) Method for producing fiber-reinforced ceramic composite material
JP2003128482A (en) Composite ceramic material and its manufacturing method
JP2003321277A (en) Ceramic-based composite material and method for producing the same
CN115650752A (en) Preparation method of ultrahigh-temperature ceramic modified SiC/SiC composite material
JP2020132470A (en) Ceramic fiber-reinforced ceramic composite material and production method therefor
JP2006169019A (en) Manufacturing method of ceramic-based composite material

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041021

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070509

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070911

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071024

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080327

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080409

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4117529

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110502

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120502

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120502

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130502

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140502

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term