JP2003255155A - Optical fiber structure for ultraviolet-ray transmission - Google Patents
Optical fiber structure for ultraviolet-ray transmissionInfo
- Publication number
- JP2003255155A JP2003255155A JP2002051280A JP2002051280A JP2003255155A JP 2003255155 A JP2003255155 A JP 2003255155A JP 2002051280 A JP2002051280 A JP 2002051280A JP 2002051280 A JP2002051280 A JP 2002051280A JP 2003255155 A JP2003255155 A JP 2003255155A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- ultraviolet
- tube member
- transmitting
- hydrogen gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、紫外線伝送用光フ
ァイバに水素ガス封入用のチューブ部材を組み合わせて
なる紫外線伝送用光ファイバ構造体に関する技術分野に
属する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technical field of an optical fiber structure for ultraviolet ray transmission, which is formed by combining an optical fiber for ultraviolet ray transmission with a tube member for filling hydrogen gas.
【０００２】[0002]
【従来の技術】現在、光ファイバは、高速・大容量の情
報伝送手段として欠かすことのできない技術となってい
るが、それ以外の応用分野での利用価値も高まってきて
いる。使用する光の波長は、その用途によって様々で、
例えば高エネルギーレーザ加工では１０６０ｎｍ（ＹＡ
Ｇレーザ）、可視・赤外の分光測定等では３５０ｎｍ〜
１６００ｎｍ等であるが、紫外線領域での用途も、近年
の重要な産業・技術分野で利用されている。2. Description of the Related Art At present, optical fibers have become an indispensable technique for high-speed, large-capacity information transmission means, but their utility value is also increasing in other application fields. The wavelength of the light used varies depending on the application,
For example, in high energy laser processing, 1060 nm (YA
G laser), visible / infrared spectroscopic measurement, etc.
Although it is 1600 nm or the like, it is also used in the ultraviolet region in important industrial and technical fields in recent years.
【０００３】その代表的な例として、半導体チップの高
密度集積回路製造用のマイクロリソグラフィー装置が挙
げられる。本装置の照射系には、高エネルギー紫外線パ
ルスを放出するエキシマレーザが備え付けられている。
このエキシマレーザには波長２４８ｎｍ（ＫｒＦレー
ザ）及び波長１９３ｎｍ（ＡｒＦレーザ）の２種類があ
り、現在、産業の主流は２４８ｎｍ（ＫｒＦレーザ）で
あるが、高密度化が進むに連れて短波長化が進んでい
る。また、この他、医療光学、材料加工、紫外分光等、
産業や研究での紫外線の利用用途は益々拡大されてい
る。A typical example thereof is a microlithography apparatus for manufacturing high density integrated circuits of semiconductor chips. The irradiation system of this device is equipped with an excimer laser that emits high-energy ultraviolet pulses.
There are two types of excimer lasers having a wavelength of 248 nm (KrF laser) and a wavelength of 193 nm (ArF laser). Currently, the industrial mainstream is 248 nm (KrF laser), but the wavelength becomes shorter as the density increases. Is progressing. In addition, medical optics, material processing, ultraviolet spectroscopy, etc.
The usage of ultraviolet rays in industry and research is expanding more and more.
【０００４】この紫外線伝送用光ファイバの材料として
は、石英に１００〜１０００重量ｐｐｍ程度のＯＨ成分
が含有された石英ガラスが用いられているが、この石英
ガラスからなる紫外線伝送用光ファイバで紫外線の伝送
を続けたとき、石英ガラスの構造的原因に起因する吸収
が生じ、その結果として伝送損失が増大していくという
根本的問題が発生する。この石英ガラスの吸収帯は何種
類かあるが、最も大きくかつ影響の大きい吸収は、Ｅ′
（イープライム）センタと呼ばれる２１５ｎｍ付近の吸
収であり、ケイ素原子と３個の酸素原子との欠陥結合で
ある（欠陥がなければ４個の酸素原子と結合してい
る）。本吸収による伝送損失の増大は、勿論、使用する
光エネルギーの種類、大きさ、時間等に依存するが、最
終的には初期透過光量の１０分の１以下になることが知
られている。As a material for the optical fiber for transmitting ultraviolet rays, quartz glass containing 100 to 1000 ppm by weight of OH component in quartz is used. When the transmission is continued, there is a fundamental problem that absorption due to the structural cause of the silica glass occurs, and as a result, the transmission loss increases. This quartz glass has several absorption bands, but the largest and most influential absorption is E '.
It is absorption around 215 nm, which is called (e-prime) center, and is a defect bond between a silicon atom and three oxygen atoms (if there is no defect, they are bonded to four oxygen atoms). It is known that the increase in transmission loss due to the main absorption depends on, of course, the type, size, time, etc. of the light energy to be used, but finally becomes 1/10 or less of the initial transmitted light amount.
【０００５】その他としては、ＮＢＯＨセンタと呼ばれ
る非架橋酸素原子が存在する酸素過剰欠陥で、２６５ｎ
ｍ付近の波長で吸収を生じる。The other is oxygen excess defect called NBOH center in which non-bridging oxygen atoms are present, and 265n
Absorption occurs at wavelengths near m.
【０００６】これら紫外線の吸収に起因して伝送損失が
増大する現象は、「ＵＶ劣化」と呼ばれている。上述し
たように、特に半導体チップの高密度集積回路製造用の
マイクロリソグラフィー装置では、短波長化が進んでい
るため、このＵＶ劣化が光ファイバの供給側にとって極
めて重要な課題となっている。The phenomenon that the transmission loss increases due to the absorption of the ultraviolet rays is called "UV deterioration". As described above, particularly in a microlithography apparatus for manufacturing a high-density integrated circuit of a semiconductor chip, the wavelength is becoming shorter, so this UV deterioration is an extremely important issue for the supply side of the optical fiber.
【０００７】そこで、従来、例えば特開平６―３４８３
０公報等に示されるように、紫外線伝送用光ファイバの
使用中又は使用後に、数気圧〜数百気圧に加圧した水素
ガスを入れた容器内に紫外線伝送用光ファイバを収容し
て、該ファイバに表面から水素分子を入れる水素処理を
施すことで、そのＵＶ劣化を抑止することが知られてい
る。この水素処理は、Ｓｉ分子との結合が切れた酸素分
子を水素と結合させてＳｉＯ3の生成を抑制することに
より、ＳｉＯ2の構造を安定保持するようにしたもので
ある。Therefore, in the past, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 6-34883 has been proposed.
As disclosed in Japanese Patent Laid-Open Publication No. 0-242242, etc., during or after the use of the optical fiber for ultraviolet transmission, the optical fiber for ultraviolet transmission is housed in a container containing hydrogen gas pressurized to several atm to several hundred atm. It is known that UV deterioration is suppressed by subjecting the fiber to hydrogen treatment in which hydrogen molecules are introduced from the surface. In this hydrogen treatment, oxygen molecules, which are disconnected from Si molecules, are bonded to hydrogen to suppress the production of SiO 3 , so that the structure of SiO 2 is stably maintained.
【０００８】また、この他、紫外線伝送用光ファイバに
対し電磁波を照射して、石英に欠陥構造を積極的に形成
し、その後に水素処理をすることにより、欠陥部に水素
分子を結合させて全体としてＵＶ劣化を抑制することも
提案されている。In addition, by irradiating the ultraviolet transmitting optical fiber with electromagnetic waves, a defect structure is positively formed in quartz, and then hydrogen treatment is performed to bond hydrogen molecules to the defective portion. It has also been proposed to suppress UV deterioration as a whole.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記水素処
理により加入された水素分子はファィバを大気中に放置
するだけでも自然に抜け出るものであるので、水素処理
の後はＵＶ劣化を抑止できるものの、それは一時的であ
り、水素処理の後に一定時間が経過すると、やはり水素
分子がファイバから抜け出てしまい、本質的な解決策に
はなり得ず、ＵＶ劣化を長期間に亘って信頼性よく抑止
することは難しい。By the way, since the hydrogen molecules added by the above-mentioned hydrogen treatment can spontaneously escape even if the fiber is left in the atmosphere, UV deterioration can be suppressed after the hydrogen treatment. It is temporary, and after a certain period of time has passed after hydrogen treatment, hydrogen molecules also escape from the fiber, which cannot be an essential solution, and it reliably inhibits UV deterioration for a long period of time. It's difficult.
【００１０】本発明は斯かる点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、上記の如き紫外線伝送用光ファイバを
所定の部材と組み合わせて一体化することにより、水素
分子が光ファイバから抜け出るのを可及的に抑制し、紫
外線伝送用光ファイバのＵＶ劣化を長期間に亘って信頼
性よく抑止することにある。The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to allow hydrogen molecules to escape from the optical fiber by combining the ultraviolet transmission optical fiber as described above with a predetermined member and integrating them. To suppress UV deterioration of the optical fiber for transmitting ultraviolet light with high reliability over a long period of time.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明では、紫外線伝送用光ファイバが単独で
使用されることは少なく、何等かのアッセンブリを施し
た構造で用いられることに着目し、この紫外線伝送用光
ファイバを可撓性を持つチューブ部材により一体的に気
密状に覆うとともに、そのチューブ部材の内部に水素ガ
スを封入するようにした。In order to achieve the above object, according to the present invention, an optical fiber for transmitting ultraviolet rays is rarely used alone, and is used in a structure having some assembly. Focusing attention, the optical fiber for ultraviolet ray transmission was integrally and airtightly covered with a flexible tube member, and hydrogen gas was sealed inside the tube member.
【００１２】具体的には、請求項１の発明では、紫外線
伝送用光ファイバ構造体として、紫外線を伝送する少な
くとも１本の紫外線伝送用光ファイバと、この紫外線伝
送用光ファイバの周りを空間をあけて気密状に覆う可撓
性を有するチューブ部材とを備え、このチューブ部材の
端末部は、紫外線伝送用光ファイバの端末部が挿通され
た状態で気密状に閉塞されており、上記チューブ部材内
に水素ガスが封入されていることを特徴とする。Specifically, in the invention of claim 1, as the optical fiber structure for transmitting ultraviolet light, at least one optical fiber for transmitting ultraviolet light and a space around the ultraviolet transmitting optical fiber are provided. A flexible tube member that opens and covers in an airtight manner, and the end portion of the tube member is airtightly closed in a state where the end portion of the optical fiber for transmitting ultraviolet light is inserted, It is characterized in that hydrogen gas is enclosed therein.
【００１３】上記の構成によると、紫外線伝送用光ファ
イバはその周りが可撓性を有するチューブ部材により気
密状に覆われ、このチューブ部材内に水素ガスが封入さ
れているので、紫外線伝送用光ファイバの外表面はチュ
ーブ部材内の水素ガスに常時接触したままに保持され
る。このため、ファイバから水素分子が抜け出て大気中
に拡散することはなく、紫外線伝送用光ファイバのＵＶ
劣化を長期間に亘って信頼性よく抑止することができ
る。With the above structure, the optical fiber for transmitting ultraviolet rays is hermetically covered with a flexible tube member, and hydrogen gas is enclosed in the tube member. The outer surface of the fiber is held in constant contact with the hydrogen gas in the tube member. Therefore, hydrogen molecules do not escape from the fiber and diffuse into the atmosphere, and the UV of the optical fiber for transmitting ultraviolet light
Deterioration can be reliably suppressed over a long period of time.
【００１４】また、水素ガスが封入されているチューブ
部材の端末部は紫外線伝送用光ファイバの端末部が挿通
された状態で気密状に閉塞されているので、このチュー
ブ部材の端末部を閉塞した後に、その内部に水素ガスを
封入する処理を行うようにすれば、端末部の閉塞のため
に接着剤の熱硬化処理による紫外線伝送用光ファイバの
加熱処理があっても、その後に水素ガスの封入により紫
外線伝送用光ファイバに水素処理が行われることとな
り、水素処理を行った後に紫外線ファイバに対する加熱
により水素分子の大気への拡散スピードが増加して水素
分子が抜け出た状態のままになるのを回避することがで
きる。Further, since the end portion of the tube member in which hydrogen gas is sealed is airtightly closed with the end portion of the optical fiber for transmitting ultraviolet rays being inserted, the end portion of this tube member is closed. If hydrogen gas is sealed in the inside later, even if there is heat treatment of the ultraviolet transmission optical fiber due to thermosetting treatment of the adhesive due to blockage of the end portion, hydrogen gas By encapsulation, hydrogen treatment will be performed on the optical fiber for ultraviolet transmission, and after hydrogen treatment, heating of the ultraviolet fiber increases the diffusion speed of hydrogen molecules into the atmosphere and the hydrogen molecules remain released. Can be avoided.
【００１５】請求項２の発明では、請求項１の発明と同
様に、紫外線を伝送する少なくとも１本の紫外線伝送用
光ファイバと、この紫外線伝送用光ファイバの周りを空
間をあけて気密状に覆う可撓性を有するチューブ部材と
を備え、このチューブ部材の端末部は、紫外線伝送用光
ファイバの端末部が挿通された状態で気密状に閉塞され
ている。そして、上記チューブ部材内への水素ガスの封
入により、紫外線伝送用光ファイバが水素処理されるよ
うに構成されていることを特徴とする。According to a second aspect of the invention, as in the first aspect of the invention, at least one ultraviolet transmitting optical fiber for transmitting ultraviolet rays and a space around the ultraviolet transmitting optical fiber are airtightly formed. A flexible tube member for covering is provided, and a terminal portion of the tube member is hermetically closed in a state where the terminal portion of the optical fiber for transmitting ultraviolet rays is inserted. The ultraviolet transmission optical fiber is hydrogen-treated by enclosing hydrogen gas in the tube member.
【００１６】こうすると、チューブ部材内への水素ガス
の封入により、紫外線伝送用光ファイバの外表面が水素
との接触によって水素処理されたままに保持される。こ
のため、ファイバから水素分子が抜け出て大気中に拡散
することはなく、紫外線伝送用光ファイバのＵＶ劣化を
長期間に亘って信頼性よく抑止することができる。In this case, by enclosing hydrogen gas in the tube member, the outer surface of the optical fiber for transmitting ultraviolet light is kept in a hydrogen-treated state by contact with hydrogen. For this reason, hydrogen molecules do not escape from the fiber and diffuse into the atmosphere, and UV deterioration of the optical fiber for transmitting ultraviolet light can be reliably suppressed for a long period of time.
【００１７】また、この発明でも、チューブ部材の端末
部を閉塞した後に、その内部に水素ガスを封入する水素
処理を行うようにすれば、端末部の閉塞のために接着剤
の熱硬化処理による紫外線伝送用光ファイバの加熱処理
があっても、その後に水素ガスの封入により紫外線伝送
用光ファイバに水素処理が行われることとなり、水素処
理を行った後に紫外線ファイバに対する加熱により水素
分子の大気への拡散スピードが増加して水素分子が抜け
出た状態のままになるのを回避することができる。Also in the present invention, if the hydrogen treatment for filling the hydrogen gas inside the tube member is performed after the end portion of the tube member is closed, the thermosetting treatment of the adhesive is performed to close the end portion. Even if the UV transmission optical fiber is heat-treated, hydrogen gas will be injected into the UV transmission optical fiber after that, and the hydrogen will be exposed to the hydrogen molecules by heating the UV fiber. It is possible to prevent the hydrogen molecules from being left in the released state by increasing the diffusion speed of.
【００１８】請求項３の発明では、上記チューブ部材に
その内外を連通する連通孔が設けられ、この連通孔に開
閉弁が一体的に接続されていることを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, the tube member is provided with a communication hole that communicates the inside and outside thereof, and an on-off valve is integrally connected to the communication hole.
【００１９】このことで、チューブ部材内に水素ガスを
封入する場合、まず、開閉弁を開いた状態でチューブ部
材内を真空引きし、次いで、開閉弁を一旦閉じて水素ガ
ス供給源に接続し直した後、開閉弁を再度開いてチュー
ブ部材内に水素ガスを封入すればよく、開閉弁の開閉に
よりチューブ部材内に水素ガスを容易に封入することが
できる。Thus, when hydrogen gas is sealed in the tube member, first the inside of the tube member is evacuated with the on-off valve open, and then the on-off valve is once closed and connected to the hydrogen gas supply source. After the correction, the on-off valve may be reopened to fill the hydrogen gas in the tube member, and the hydrogen gas can be easily filled in the tube member by opening and closing the on-off valve.
【００２０】その場合、請求項４の発明では、上記チュ
ーブ部材は連結具を備えているものとし、この連結具に
連通孔を設ける。このことで、連通孔を容易に形成する
ことができる。In this case, in the invention of claim 4, the tube member is provided with a connecting tool, and the connecting tool is provided with a communication hole. Thereby, the communication hole can be easily formed.
【００２１】請求項５の発明では、上記チューブ部材に
その内部の圧力を検出する圧力検出手段を一体的に設け
る。こうすれば、チューブ部材内に封入されている水素
ガスの圧力が常時検出され、その検出が容易になる。According to a fifth aspect of the invention, the tube member is integrally provided with a pressure detecting means for detecting the pressure inside the tube member. By doing so, the pressure of the hydrogen gas sealed in the tube member is always detected, and the detection becomes easy.
【００２２】請求項６の発明では、上記チューブ部材
は、紫外線伝送用光ファイバの端末部が挿通される端末
具を備えており、この端末具内に接着剤が充填されてチ
ューブ部材の端末部が気密状に閉塞されている構成とす
る。この構成により、チューブ部材の端末部での気密状
の閉塞構造を容易に得ることができる。In the invention of claim 6, the tube member is provided with a terminal tool through which the terminal part of the optical fiber for transmitting ultraviolet rays is inserted, and the terminal part of the tube member is filled with an adhesive in the terminal tool. Is hermetically closed. With this configuration, it is possible to easily obtain an airtight closed structure at the end of the tube member.
【００２３】請求項７の発明では、同様に、チューブ部
材は、紫外線伝送用光ファイバの端末部が挿通される端
末具を備えており、この端末具内でのロウ付け処理によ
りチューブ部材の端末部が気密状に閉塞されている構成
とする。このことで、チューブ部材の端末部での気密状
の閉塞構造を容易に得ることができる。特に、ロウ付け
処理によって気密性を高めることができ、水素ガスを長
期間に亘り安定して封入維持することができる。In the invention of claim 7, similarly, the tube member is provided with a terminal tool through which the terminal part of the optical fiber for transmitting ultraviolet rays is inserted, and the terminal of the tube member is brazed in the terminal tool. The part is hermetically closed. This makes it possible to easily obtain an airtight closed structure at the end portion of the tube member. In particular, the brazing treatment can improve the airtightness, and the hydrogen gas can be stably sealed and maintained for a long period of time.
【００２４】請求項８の発明では、上記チューブ部材内
に封入される水素ガスの圧力は１ＭＰａ未満とする。ま
た、請求項９の発明では、チューブ部材内に封入される
水素ガスの圧力は０．２５ＭＰａ以下とする。これら発
明の構成によれば、本発明の効果が有効に発揮されるの
に最適な水素ガス封入圧が得られる。尚、「高圧ガス保
安法」では、１ＭＰａ以上の高圧ガスを扱うには、当該
法律で規定された有資格者や特定の設備が必要となって
しまうが、本発明のように、取り扱う水素ガスの圧力を
１ＭＰａ未満又は０．２５ＭＰａ以下とすることで、上
記の如き有資格者や特別な設備は必要とせず、低圧にて
水素処理が可能である。In the invention of claim 8, the pressure of the hydrogen gas sealed in the tube member is less than 1 MPa. Further, in the invention of claim 9, the pressure of the hydrogen gas sealed in the tube member is 0.25 MPa or less. According to the configurations of these inventions, the optimum hydrogen gas charging pressure for effectively exhibiting the effects of the present invention can be obtained. According to the "High Pressure Gas Safety Law", in order to handle high pressure gas of 1 MPa or more, qualified personnel and specific equipment specified by the law are required. By setting the pressure of 1 to less than 1 MPa or 0.25 MPa or less, hydrogen treatment can be performed at a low pressure without requiring the above-mentioned qualified personnel and special equipment.
【００２５】[0025]
【発明の実施の形態】（実施形態１）図１は本発明の実
施形態１に係る紫外線伝送用光ファイバ構造体Ａを示
し、このファイバ構造体Ａは、紫外線を伝送する複数本
の紫外線伝送用光ファイバ１，１，…と、これら紫外線
伝送用光ファイバ１，１，…の周りを空間Ｓをあけて気
密状に覆う可撓性を有するチューブ部材４とを備えてな
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS (Embodiment 1) FIG. 1 shows an ultraviolet transmission optical fiber structure A according to a first embodiment of the present invention. The fiber structure A is a plurality of ultraviolet transmissions for transmitting ultraviolet rays. , And a tube member 4 having flexibility for covering the circumference of these ultraviolet transmission optical fibers 1, 1, ... In an airtight manner with a space S therebetween.
【００２６】上記各紫外線伝送用光ファイバ１は石英ガ
ラスからなる公知構造のもので、図２に示すように、複
数本のファイバ１，１，…が所定の配列及び形状（図示
例では円形状）に束ねられて集合体としてのバンドルフ
ァイバ２をなしている。上記バンドルファイバ２の端部
には光ファイバ端末部品２ａが一体的に装着固定されて
おり、このバンドルファイバ２の各紫外線伝送用光ファ
イバ１は該端末部品２ａと共に端面が研磨されている。
尚、紫外線伝送用光ファイバ１は１本（シングルファイ
バ）であってもよい。Each of the above-mentioned optical fibers 1 for transmitting ultraviolet rays has a known structure made of quartz glass. As shown in FIG. 2, a plurality of fibers 1, 1, ... ) Are bundled together to form a bundle fiber 2 as an aggregate. An optical fiber terminal component 2a is integrally mounted and fixed to the end of the bundle fiber 2, and each ultraviolet transmitting optical fiber 1 of the bundle fiber 2 has its end face polished together with the terminal component 2a.
The ultraviolet transmission optical fiber 1 may be one (single fiber).
【００２７】一方、チューブ部材４は、気密耐圧構造を
持つ例えば金属製のシームレスフレキシブルチューブ５
を備えている。このシームレスフレキシブルチューブ５
は曲げ変形可能な可撓構造のもので、このシームレスフ
レキシブルチューブ５の可撓構造によりチューブ部材４
が可撓性を有する。シームレスフレキシブルチューブ５
は、両方の端末に予め気密状に接続一体化された円筒状
の金属製嵌合部６を備えている。そして、シームレスフ
レキシブルチューブ５の両方の端末部には例えば金属か
らなる端末具７，７が一体的に気密状に溶接されてい
る。この各端末具７は、上記バンドルファイバ２の光フ
ァイバ端末部品２ａを密嵌合可能な中心孔８を有する有
底円筒状のもので、その中心孔８の基端部内にシームレ
スフレキシブルチューブ５端部の嵌合部６が同心状かつ
気密状に嵌合されてＴＩＧ（Tungsten Inert Gas）溶接
等の溶接手段により溶着一体化されている。尚、このよ
うな嵌合部６と端末具７とのＴＩＧ溶接等の溶接手段に
代え、図３に示すように、端末具７の中心孔８端部内に
シームレスフレキシブルチューブ５端部の嵌合部６を嵌
合した状態で隙間部分にエポキシ系接着剤１７を充填す
ることにより、溶着一体化するようにすることもでき
る。On the other hand, the tube member 4 is made of, for example, a metal seamless flexible tube 5 having an airtight pressure resistant structure.
Is equipped with. This seamless flexible tube 5
Is a flexible structure that can be bent and deformed, and the flexible structure of the seamless flexible tube 5 allows the tube member 4 to be bent.
Has flexibility. Seamless flexible tube 5
Is equipped with a cylindrical metal fitting portion 6 which is connected to both ends in advance in an airtight manner. Then, both end portions of the seamless flexible tube 5 are integrally welded with the terminal tools 7, 7 made of metal in an airtight manner. Each of the terminals 7 has a bottomed cylindrical shape having a central hole 8 into which the optical fiber terminal component 2a of the bundle fiber 2 can be tightly fitted, and a seamless flexible tube 5 end is provided in a proximal end portion of the central hole 8. The fitting parts 6 of the parts are fitted concentrically and airtightly and are welded and integrated by welding means such as TIG (Tungsten Inert Gas) welding. Instead of welding means such as TIG welding between the fitting portion 6 and the terminal device 7, as shown in FIG. 3, the end of the seamless flexible tube 5 is fitted into the end part of the center hole 8 of the terminal device 7. By filling the gap portion with the epoxy adhesive 17 in the state where the portion 6 is fitted, it is possible to weld and integrate them.
【００２８】そして、端末具７の中心孔８には、上記紫
外線伝送用光ファイバ１，１，…の集合体たるバンドル
ファイバ２が挿通された状態で例えばエポキシ系樹脂か
らなる接着剤９が充填されている。具体的には、端末具
７の中間部には複数（図示例では２つ）の接着剤充填孔
７ａ，７ａが貫通形成されており、端末具７の中心孔８
にバンドルファイバ２がその端部の光ファイバ端末部品
２ａを中心孔８の先端部内に密嵌合状態で位置せしめて
挿通嵌合され、その状態で接着剤９が接着剤充填孔７
ａ，７ａを経て中心孔８内の上記光ファイバ端末部品２
ａと嵌合部６との間の部分に充填されて固着されてい
る。この接着剤９はバンドルファイバ２におけるファイ
バ１，１，…の間にも充填されており、この端末具７の
中心孔８内への接着剤９の充填により、チューブ部材４
の端末部は、紫外線伝送用光ファイバ１，１，…の集合
体たるバンドルファイバ２の端末部が挿通された状態で
気密状に閉塞されている。The central hole 8 of the terminal 7 is filled with an adhesive 9 made of, for example, an epoxy resin in a state where the bundle fiber 2 which is an assembly of the optical fibers 1, 1, ... Has been done. Specifically, a plurality of (two in the illustrated example) adhesive filling holes 7 a, 7 a are formed through the middle portion of the terminal device 7, and the central hole 8 of the terminal device 7 is formed.
The optical fiber terminal component 2a at the end of the bundle fiber 2 is inserted into and fitted into the distal end of the central hole 8 in a tightly fitted state, and in that state, the adhesive 9 is filled with the adhesive filling hole 7
The optical fiber terminal component 2 in the center hole 8 through a and 7a
The portion between a and the fitting portion 6 is filled and fixed. The adhesive 9 is also filled between the fibers 1, 1, ... In the bundle fiber 2, and the tube 9 is filled with the adhesive 9 in the center hole 8 of the terminal device 7.
Is hermetically closed with the end portion of the bundle fiber 2 which is an assembly of the ultraviolet transmission optical fibers 1, 1, ... Inserted.
【００２９】また、上記シームレスフレキシブルチュー
ブ５はその長さ方向の途中で２つの分割部５ａ，５ｂに
分断され、各分割部５ａ，５ｂの先端部にも予めそれぞ
れ上記嵌合部６が気密状に接続一体化されている。そし
て、両分割部５ａ，５ｂ間には例えば金属製の連結具１
０が一体的に気密状に溶接されている。この連結具１０
は、中心孔１１を有する有底円筒状のもので、その中心
孔１１の一端部内にシームレスフレキシブルチューブ５
における一方の分割部５ａ端部の嵌合部６が、また他端
部内に他方の分割部５ｂ端部の嵌合部６がそれぞれ同心
状かつ気密状に嵌合されて上記ＴＩＧ溶接等の溶接手段
により溶着一体化されており（この場合も、図３に示す
ようにエポキシ系接着剤１７の充填を用いてもよい）、
連結具１０の中心孔１１には、上記端末具７と同様に紫
外線伝送用光ファイバ１，１，…の集合体たるバンドル
ファイバ２が挿通されている。Further, the seamless flexible tube 5 is divided into two divided portions 5a and 5b in the lengthwise direction thereof, and the fitting portions 6 are airtight in advance at the tip portions of the divided portions 5a and 5b. It is connected and integrated with. And, for example, a metallic connecting tool 1 is provided between the two divided portions 5a and 5b.
0 is welded integrally in an airtight manner. This connector 10
Is a bottomed cylindrical shape having a central hole 11, and the seamless flexible tube 5 is provided in one end of the central hole 11.
The fitting part 6 at one end of the divided part 5a and the fitting part 6 at the end of the other divided part 5b in the other end are concentrically and airtightly fitted to each other to perform welding such as TIG welding. Are integrated by welding by means (in this case, the filling of the epoxy adhesive 17 may be used as shown in FIG. 3),
A bundle fiber 2, which is an assembly of the optical fibers 1, 1, ... For transmitting ultraviolet light, is inserted through the center hole 11 of the connector 10 as in the case of the terminal device 7.
【００３０】さらに、上記連結具１０には、内端が中心
孔１１に連通しかつ外端が外周面に開口する第１及び第
２の２つの連通孔１２，１３が形成されており、これら
連通孔１２，１３によりチューブ部材４の内外が連通さ
れている。上記連通孔１２，１３にはそれぞれ常時閉の
第１及び第２開閉弁１４，１５が連結具１０と一体化さ
れて接続され、第２開閉弁１５には、チューブ部材４内
部の圧力を検出する圧力検出手段としての圧力計１６
（図４参照）が接続可能とされている。そして、２つの
開閉弁１４，１５の閉弁により、チューブ部材４内は外
部から気密状に遮断されて封閉されており、このチュー
ブ部材４内の紫外線伝送用光ファイバ１，１，…との間
の空間Ｓに水素ガスが封入されている。Further, the connecting tool 10 is formed with two first and second communication holes 12 and 13 having an inner end communicating with the central hole 11 and an outer end opening to the outer peripheral surface. The inside and outside of the tube member 4 are communicated with each other through the communication holes 12 and 13. Normally-closed first and second on-off valves 14 and 15 are connected to the communication holes 12 and 13, respectively, integrally with the connector 10, and the second on-off valve 15 detects the pressure inside the tube member 4. Pressure gauge 16 as pressure detecting means
(See FIG. 4) is connectable. By closing the two on-off valves 14 and 15, the inside of the tube member 4 is airtightly shielded from the outside to be sealed, and the inside of the tube member 4 is connected to the optical fibers 1, 1, ... Hydrogen gas is enclosed in the space S between them.
【００３１】上記チューブ部材４内に封入される水素ガ
スの圧力は、１ＭＰａ未満であればよいが、水素ガスの
安全性を考慮して、０．２５ＭＰａ以下であるのが好ま
しい。The pressure of the hydrogen gas sealed in the tube member 4 may be less than 1 MPa, but it is preferably 0.25 MPa or less in consideration of the safety of hydrogen gas.
【００３２】ここで、上記紫外線伝送用光ファイバ構造
体Ａのチューブ部材４内に水素ガスを封入する工程を図
４により説明すると、図４（ａ）に示す紫外線伝送用光
ファイバ構造体Ａに対し、まず、図４（ｂ）に示す如
く、第２開閉弁１５に圧力計１６を接続し、第１開閉弁
１４を真空吸引装置Ａ１に接続した後、その第１開閉弁
１４及び第２開閉弁１５を共に開いてチューブ部材４内
を真空引きにより吸引する。このチューブ部材４内の圧
力を圧力計１６で監視し、その圧力が略真空状態になる
まで下がると、第１開閉弁１４を一旦閉じ、図４（ｃ）
に示すように、この第１開閉弁１４を真空吸引装置Ａ１
に代えて水素ガス供給源Ａ２に接続した後、再度第１開
閉弁１４を開けて水素ガス供給源Ａ２からの水素ガスを
チューブ部材４内の空間Ｓに充填する。そして、この水
素ガスの圧力を圧力計１６で監視し、その圧力が所定圧
力に達すると、第１開閉弁１４及び第２開閉弁１５を閉
じ、その後、図４（ｄ）に示すように、第１開閉弁１４
の水素ガス供給源Ａ２との接続を切り離すとともに、第
２開閉弁１５から圧力計１６を取り外す。以上により、
チューブ部材４内に水素ガスが封入され、紫外線伝送用
光ファイバ構造体Ａは使用可能の状態となる。Here, the step of filling hydrogen gas into the tube member 4 of the ultraviolet transmitting optical fiber structure A will be described with reference to FIG. 4, in which the ultraviolet transmitting optical fiber structure A shown in FIG. On the other hand, first, as shown in FIG. 4B, after connecting the pressure gauge 16 to the second opening / closing valve 15 and connecting the first opening / closing valve 14 to the vacuum suction device A1, the first opening / closing valve 14 and the second opening / closing valve 14 are connected. The on-off valve 15 is opened together and the inside of the tube member 4 is sucked by vacuuming. The pressure inside the tube member 4 is monitored by the pressure gauge 16, and when the pressure falls to a substantially vacuum state, the first opening / closing valve 14 is once closed,
As shown in, the first opening / closing valve 14 is connected to the vacuum suction device A1.
Instead of connecting to the hydrogen gas supply source A2, the first opening / closing valve 14 is opened again to fill the space S in the tube member 4 with the hydrogen gas from the hydrogen gas supply source A2. Then, the pressure of the hydrogen gas is monitored by the pressure gauge 16, and when the pressure reaches a predetermined pressure, the first opening / closing valve 14 and the second opening / closing valve 15 are closed, and thereafter, as shown in FIG. First on-off valve 14
Is disconnected from the hydrogen gas supply source A2, and the pressure gauge 16 is removed from the second opening / closing valve 15. From the above,
Hydrogen gas is sealed in the tube member 4, and the ultraviolet transmitting optical fiber structure A is ready for use.
【００３３】尚、以上のようにしてチューブ部材４内に
水素ガスが充填封入された紫外線伝送用光ファイバ構造
体Ａは、そのまま使用してフィールド設置してもよいし
（水素ガスの効果を高めるために、ガス封入の完了から
例えば１０時間程度経過した後に使用するのが好まし
い）、一旦在庫状態で保管しておいて必要時にフィール
ド設置してもよい。The ultraviolet transmitting optical fiber structure A in which hydrogen gas is filled and sealed in the tube member 4 as described above may be used as it is and installed in the field (to enhance the effect of hydrogen gas. For this reason, it is preferable to use it after, for example, about 10 hours have passed from the completion of gas filling), and may be stored in the stock state once and installed in the field when necessary.
【００３４】したがって、この実施形態に係る紫外線伝
送用光ファイバ構造体Ａにおいては、紫外線伝送用光フ
ァイバ１，１，…の集合体たるバンドルファイバ２の周
りが、可撓性を有するチューブ部材４により気密状に覆
われ、このチューブ部材４内に水素ガスが封入されてい
るので、紫外線伝送用光ファイバ１，１，…の各々の外
表面はチューブ部材４内の水素に常時接触したままに保
持される。このため、各紫外線伝送用光ファイバ１から
水素分子が抜け出て大気中に拡散することはなく、紫外
線伝送用光ファイバ１のＵＶ劣化を長期間に亘って信頼
性よく抑止することができる。Therefore, in the ultraviolet transmitting optical fiber structure A according to this embodiment, a flexible tube member 4 is provided around the bundle fiber 2 which is an assembly of the ultraviolet transmitting optical fibers 1, 1, .... Since it is covered in an airtight manner by this, and hydrogen gas is enclosed in this tube member 4, the outer surfaces of the optical fibers 1, 1, ... For ultraviolet ray transmission are always kept in contact with hydrogen in the tube member 4. Retained. Therefore, hydrogen molecules do not escape from each ultraviolet transmission optical fiber 1 and diffuse into the atmosphere, and UV deterioration of the ultraviolet transmission optical fiber 1 can be reliably suppressed for a long period of time.
【００３５】例えば、上記実施形態１の構造の如く、端
末具７内にエポキシ系接着剤９が充填されてチューブ部
材４の端末部が気密状に閉塞されている構造において、
今、チューブ部材４内の空間Ｓの容積（水素ガス封入
量）を１ｌ、チューブ部材４内からの水素ガスのリーク
量を１０-4Ｐａ・ｌ／ｓ、チューブ部材４内に加圧封入
された水素ガスが１ｋｇ／ｃｍ2（約１０5Ｐａ）だけ減
圧するのに要する時間をｔ秒とすれば、
１０-4［Ｐａ・ｌ／ｓ］×ｔ［ｓ］＝１０5［Ｐａ］×
１［ｌ］
であるので、
ｔ＝１０9［ｓ］＝２．７８×１０5［ｈ］＝１．１６×
１０4［ｄａｙ］
となり、約３１．７年となる。For example, as in the structure of the first embodiment, in the structure in which the terminal 7 is filled with the epoxy adhesive 9 and the end of the tube member 4 is hermetically closed,
Now, the volume (hydrogen gas filling amount) of the space S in the tube member 4 is 1 l, the leak amount of hydrogen gas from the tube member 4 is 10 −4 Pa · l / s, and the tube member 4 is pressurized and sealed. If the time required for decompressing hydrogen gas by 1 kg / cm 2 (about 10 5 Pa) is t seconds, then 10 −4 [Pa · l / s] × t [s] = 10 5 [Pa] ×
Since it is 1 [l], t = 10 9 [s] = 2.78 × 10 5 [h] = 1.16 ×
10 4 [day], which is about 31.7 years.
【００３６】また、上記実施形態においては、水素ガス
が封入されているチューブ部材４の端末部は紫外線伝送
用光ファイバ１，１，…の端末部（バンドルファイバ２
の端末部）が挿通された状態で気密状に閉塞されている
ので、このチューブ部材４の端末部を閉塞した後に、そ
の内部に水素ガスを封入する処理を行うようにすれば、
端末部の閉塞のために接着剤９の熱硬化処理による紫外
線伝送用光ファイバ１への加熱処理があっても、その後
に水素ガスの封入により紫外線伝送用光ファイバ１に水
素処理が行われることとなり、水素処理を行った後に紫
外線ファイバ１に対する加熱により、水素分子の大気へ
の拡散スピードが増加して水素分子が抜け出た状態のま
まになるのを回避することができる。Further, in the above embodiment, the end portion of the tube member 4 in which the hydrogen gas is sealed is the end portion of the optical fibers 1, 1, ...
Since the end portion of the tube member 4 is airtightly closed, the end portion of the tube member 4 is closed, and then a process of filling hydrogen gas into the inside is performed,
Even if the ultraviolet ray transmitting optical fiber 1 is heat-treated by thermosetting the adhesive 9 due to the blockage of the terminal portion, the hydrogen ray treatment is performed on the ultraviolet ray transmitting optical fiber 1 by enclosing hydrogen gas thereafter. Therefore, it is possible to prevent the hydrogen molecules from being left in a released state by increasing the diffusion speed of hydrogen molecules into the atmosphere by heating the ultraviolet fiber 1 after performing the hydrogen treatment.
【００３７】また、チューブ部材４はその途中に第１及
び第２の２つの連通孔１２，１３が形成された連結具１
０を備え、この連結具１０の各連通孔１２，１３にそれ
ぞれ第１及び第２開閉弁１４，１５が接続されているの
で、チューブ部材４内に水素ガスを封入する場合、上記
したように、第１開閉弁１４を開いた状態でチューブ部
材４内を真空引きし、次いで、第１開閉弁１４を一旦閉
じて水素ガス供給源Ａ２に接続し直した後、該開閉弁１
４を再度開いてチューブ部材４内に水素ガスを封入すれ
ばよく、こうした第１開閉弁１４の開閉によりチューブ
部材４内に水素ガスを容易に封入することができる。Further, the tube member 4 has a connecting member 1 in which two first and second communicating holes 12 and 13 are formed in the middle thereof.
0, and the first and second opening / closing valves 14 and 15 are connected to the communication holes 12 and 13 of the connecting device 10, respectively. Therefore, when hydrogen gas is sealed in the tube member 4, as described above. , The inside of the tube member 4 is evacuated with the first opening / closing valve 14 opened, and then the first opening / closing valve 14 is once closed and reconnected to the hydrogen gas supply source A2.
It suffices to reopen 4 to fill the tube member 4 with hydrogen gas, and by opening and closing the first opening / closing valve 14 as described above, hydrogen gas can be easily filled in the tube member 4.
【００３８】さらに、上記チューブ部材４に連結具１０
が設けられ、この連結具１０に連通孔１２，１３が形成
されているので、シームレスフレキシブルチューブ５自
体に連通孔を開けるのに比べ、その連通孔１２，１３の
形成は容易である。Further, the connecting member 10 is connected to the tube member 4.
Since the communication holes 12 and 13 are formed in the connecting tool 10, the communication holes 12 and 13 can be formed more easily than when the communication holes are formed in the seamless flexible tube 5 itself.
【００３９】また、上記チューブ部材４は、紫外線伝送
用光ファイバ１，１，…の端末部が挿通される端末具７
を備え、この端末具７内に接着剤９が充填されてチュー
ブ部材４の端末部が気密状に閉塞されているので、チュ
ーブ部材４の端末部での気密状の閉塞構造を容易に得る
ことができる。Further, the tube member 4 has a terminal tool 7 into which the terminal portions of the optical fibers 1, 1, ...
Since the end portion of the tube member 4 is airtightly closed by filling the inside of the terminal device 7 with the adhesive 9, it is possible to easily obtain an airtight closed structure at the end portion of the tube member 4. You can
【００４０】（実施形態２）図５は本発明の実施形態２
を示し（尚、図１〜図４と同じ部分については同じ符号
を付してその詳細な説明は省略する）、上記実施形態１
では端末具７内に接着剤９を充填してチューブ部材４の
端末部を気密状に閉塞しているのに対し、ロウ付け処理
によりチューブ部材４端末部を気密状に閉塞するように
したものである。(Second Embodiment) FIG. 5 shows a second embodiment of the present invention.
(Note that the same portions as those in FIGS. 1 to 4 are denoted by the same reference numerals and detailed description thereof is omitted), and the first embodiment
Then, the terminal portion 7 of the tube member 4 is airtightly closed by filling the terminal device 7 with the adhesive 9, whereas the end portion of the tube member 4 is airtightly closed by brazing. Is.
【００４１】すなわち、この実施形態では、端末具７の
先端部にはその中心孔８の開口周りの端面を段差状に凹
陥してなる窓部嵌合用の凹部７ｂが同心状に形成されて
いる。この凹部７ｂには、光ファィバ１に対し紫外線を
透過させるサファイア等からなる透明円板状の窓部１８
が端末具７の中心孔８先端開口を閉塞するように嵌合さ
れ、窓部１８の周囲はＡｇ−Ｃｕ合金のロウ付け処理に
より気密状に封止されている。尚、凹部７ｂから光ファ
イバ端末部品２ａの略全体が位置する部分までの中心孔
８は、光ファイバ端末部品２ａの周囲に空間を形成する
ように他の部分によりも大径の大径部８ａとされてい
る。その他の構成は上記実施形態１と同様である。That is, in this embodiment, the distal end portion of the terminal 7 is concentrically formed with a window fitting recess 7b formed by recessing the end face around the opening of the center hole 8 in a stepped shape. . In this concave portion 7b, a transparent disk-shaped window portion 18 made of sapphire or the like which transmits ultraviolet rays to the optical fiber 1 is formed.
Are fitted so as to close the tip end opening of the center hole 8 of the terminal device 7, and the periphery of the window portion 18 is hermetically sealed by a brazing process of Ag—Cu alloy. The central hole 8 from the recess 7b to the portion where almost the whole of the optical fiber terminal component 2a is located has a large diameter portion 8a larger in diameter than other portions so as to form a space around the optical fiber terminal component 2a. It is said that. Other configurations are the same as those in the first embodiment.
【００４２】したがって、この実施形態においては、端
末具７の開口に対する窓部１８のロウ付け処理によって
気密性をさらに高めることができ、水素ガスを長期間に
亘り安定して封入維持することができる。具体的に、水
素ガスのリーク量は、上記実施形態１のようにエポキシ
系接着剤９では１０-4Ｐａ・ｌ／ｓｅｃであるのに対
し、例えばサファイアロウ付け処理の場合では１０-11
Ｐａ・ｌ／ｓｅｃ程度となり、チューブ部材４内に水素
ガスを実質的に半永久的に封じ込めることができる。Therefore, in this embodiment, the airtightness can be further enhanced by the brazing process of the window 18 to the opening of the terminal 7, and the hydrogen gas can be stably sealed and maintained for a long period of time. . Specifically, the leak amount of hydrogen gas is 10 −4 Pa · l / sec in the epoxy adhesive 9 as in the first embodiment, whereas it is 10 −11 in the case of sapphire brazing treatment.
The pressure is about Pa · l / sec, and hydrogen gas can be substantially semi-permanently contained in the tube member 4.
【００４３】（他の実施形態）本発明は上記各実施形態
に限定されるものではなく、変形例としての種々の他の
実施形態を包含している。例えば、上記各実施形態で
は、連結具１０の第２連通孔１３に連通する第２開閉弁
１５に圧力計１６を接続して、チューブ部材４内の水素
ガス圧を検出するようにしているが、この第２開閉弁１
５を圧力計１６そのものに代えることにより、連結具１
０に圧力計１６を一体的に設けるようにしてもよい。ま
た、連結具１０以外のチューブ部材４に圧力計１６を一
体的に設けることもできる。これらのことで、チューブ
部材４内に封入されている水素ガスの圧力を常時圧力計
１６で検出でき、その検出が容易になる。(Other Embodiments) The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and includes various other embodiments as modified examples. For example, in each of the above-described embodiments, the pressure gauge 16 is connected to the second opening / closing valve 15 that communicates with the second communication hole 13 of the connector 10, and the hydrogen gas pressure in the tube member 4 is detected. , This second on-off valve 1
By replacing 5 with the pressure gauge 16 itself, the connector 1
The pressure gauge 16 may be integrally provided at zero. Further, the pressure gauge 16 may be integrally provided on the tube member 4 other than the connector 10. As a result, the pressure of the hydrogen gas sealed in the tube member 4 can always be detected by the pressure gauge 16, which facilitates the detection.
【００４４】さらに、上記各実施形態では、チューブ部
材４内に水素ガスを常時封入しているが、必要時のみに
チューブ部材４内への水素ガスの封入を行うことによ
り、各紫外線伝送用光ファイバ１が水素処理されるよう
に構成することもできる。すなわち、その場合、紫外線
伝送用光ファイバ構造体Ａの構造は上記実施形態と同様
であり、異なるのはチューブ部材４内に水素ガスが常時
封入されていないことだけである。そして、紫外線伝送
用光ファイバ構造体Ａの保管時は上記実施形態と同様に
してチューブ部材４内に水素ガスを封入するが（図４参
照）、紫外線伝送用光ファイバ構造体Ａのフィールド設
置時には、チューブ部材４内に封入されている水素ガス
を抜いて水素ガスのない状態とし、その状態で設置す
る。Further, in each of the above-mentioned embodiments, the hydrogen gas is always enclosed in the tube member 4, but by filling the tube member 4 with the hydrogen gas only when necessary, the light for transmitting each ultraviolet ray can be obtained. The fiber 1 can also be configured to be hydrotreated. That is, in that case, the structure of the optical fiber structure A for transmitting ultraviolet rays is the same as that of the above-mentioned embodiment, and the only difference is that the hydrogen gas is not always enclosed in the tube member 4. Then, when the ultraviolet transmission optical fiber structure A is stored, hydrogen gas is enclosed in the tube member 4 in the same manner as in the above embodiment (see FIG. 4), but when the ultraviolet transmission optical fiber structure A is installed in the field. Then, the hydrogen gas sealed in the tube member 4 is removed to make it free of hydrogen gas, and the tube member 4 is installed in that state.
【００４５】さらには、上記の如く紫外線伝送用光ファ
イバ構造体Ａを水素ガスのない状態でフィールド設置し
た後、各紫外線伝送用光ファイバ１からの水素分子の拡
散が進行してＵＶ劣化に至る時期を予め求めておいたデ
ータから予測し、その時期の到達前に再度水素ガスをチ
ューブ部材４内に封入して水素処理を行い、しかる後に
その水素抜きをするようにしてもよい。Furthermore, after the ultraviolet transmitting optical fiber structure A is installed in the field in the absence of hydrogen gas as described above, hydrogen molecules diffuse from each ultraviolet transmitting optical fiber 1 to cause UV deterioration. The time may be predicted from previously obtained data, hydrogen gas may be enclosed in the tube member 4 again before the time arrives, and hydrogen treatment may be performed, and then the hydrogen may be removed.
【００４６】このようにすることで、紫外線伝送用光フ
ァイバ構造体Ａをチューブ部材４内に水素ガスのない状
態で使用することができ、チューブ部材４内に水素ガス
を封入保持したままで使用する場合の安全性等の問題を
なくすことができる。但し、各紫外線伝送用光ファイバ
１は、フィールド設置前の保管時やフィールド設置後で
もチューブ部材４内に水素ガスを封入したときに水素処
理がなされるので、ＵＶ劣化に至ることはない。By doing so, the optical fiber structure A for transmitting ultraviolet rays can be used in the tube member 4 in a state where there is no hydrogen gas, and the tube member 4 is used while the hydrogen gas is sealed and held. It is possible to eliminate problems such as safety when doing. However, each of the optical fibers 1 for transmitting ultraviolet rays is subjected to hydrogen treatment when hydrogen gas is enclosed in the tube member 4 even during storage before field installation or after field installation, so that no UV deterioration occurs.
【００４７】[0047]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明の
紫外線伝送用光ファイバ構造体では、可撓性を有するチ
ューブ部材で紫外線伝送用光ファイバの周りを気密状に
覆い、このチューブ部材の端末部を紫外線伝送用光ファ
イバの端末部が挿通された状態で気密状に閉塞し、チュ
ーブ部材内に水素ガスを封入した。また、請求項２の発
明の紫外線伝送用光ファイバ構造体では、チューブ部材
内への水素ガスの封入により、紫外線伝送用光ファイバ
が水素処理されるようにした。これらの発明によると、
紫外線伝送用光ファイバを水素ガスとの接触により水素
処理したままに保持し、ファイバから水素分子が抜け出
て大気中に拡散するのを防いで、紫外線伝送用光ファイ
バのＵＶ劣化を長期間に亘って信頼性よく抑止すること
ができる。また、チューブ部材の端末部を閉塞した後に
水素ガスを封入する処理を行えば、端末部の閉塞のため
に接着剤の熱硬化処理による紫外線伝送用光ファイバの
加熱処理があっても、その後に水素ガスの封入により紫
外線伝送用光ファイバに水素処理が行われることとな
り、水素処理を行った後に紫外線ファイバが加熱されて
水素分子が抜け出た状態のままになるのを回避すること
ができる。As described above, in the optical fiber structure for ultraviolet ray transmission according to the invention of claim 1, the periphery of the optical fiber for ultraviolet ray transmission is airtightly covered with a flexible tube member, and this tube member is provided. The end portion of (1) was hermetically closed while the end portion of the optical fiber for transmitting ultraviolet rays was inserted, and hydrogen gas was sealed in the tube member. Further, in the ultraviolet transmitting optical fiber structure of the invention of claim 2, the ultraviolet transmitting optical fiber is treated with hydrogen by enclosing hydrogen gas in the tube member. According to these inventions,
The ultraviolet transmission optical fiber is kept hydrogen-treated by contact with hydrogen gas to prevent hydrogen molecules from escaping from the fiber and diffusing into the atmosphere, thus preventing UV deterioration of the ultraviolet transmission optical fiber for a long period of time. Can be reliably suppressed. In addition, if the process of sealing the hydrogen gas after closing the end portion of the tube member is performed, even if the heat treatment of the ultraviolet transmission optical fiber due to the thermosetting treatment of the adhesive for closing the end portion is performed, By enclosing hydrogen gas, hydrogen treatment is performed on the optical fiber for transmitting ultraviolet rays, and it is possible to avoid that the ultraviolet fibers are heated and hydrogen molecules are left in a released state after performing the hydrogen treatment.
【００４８】請求項３の発明によると、チューブ部材に
連通孔を設け、この連通孔に開閉弁を一体的に接続した
ことにより、開閉弁の開閉によりチューブ部材内に水素
ガスを容易に封入することができる。According to the third aspect of the present invention, the tube member is provided with the communication hole, and the opening / closing valve is integrally connected to the communication hole, so that the hydrogen gas is easily enclosed in the tube member by opening / closing the opening / closing valve. be able to.
【００４９】請求項４の発明によると、チューブ部材は
連結具を備え、この連結具に連通孔を設けたことによ
り、連通孔を容易に形成することができる。According to the invention of claim 4, the tube member is provided with the connecting member, and the connecting hole is provided in the connecting member, so that the connecting hole can be easily formed.
【００５０】請求項５の発明によると、チューブ部材に
その内部の圧力を検出する圧力検出手段を一体的に設け
たことにより、チューブ部材内に封入されている水素ガ
スの圧力を容易に検出することができる。According to the invention of claim 5, the pressure detecting means for detecting the internal pressure of the tube member is integrally provided, so that the pressure of the hydrogen gas sealed in the tube member can be easily detected. be able to.
【００５１】請求項６の発明によると、チューブ部材
は、紫外線伝送用光ファイバの端末部が挿通される端末
具を備え、この端末具内に接着剤を充填してチューブ部
材の端末部を気密状に閉塞したことにより、チューブ部
材の端末部での気密状の閉塞構造を容易に得ることがで
きる。According to the invention of claim 6, the tube member is provided with a terminal tool through which the terminal part of the optical fiber for transmitting ultraviolet rays is inserted, and the terminal part of the tube member is hermetically sealed by filling the terminal tool with an adhesive. Due to the closed shape, the airtight closed structure at the end portion of the tube member can be easily obtained.
【００５２】請求項７の発明によると、チューブ部材
は、紫外線伝送用光ファイバの端末部が挿通する端末具
を備え、この端末具内でのロウ付け処理によりチューブ
部材の端末部を気密状に閉塞したことにより、チューブ
部材の端末部での気密状の閉塞構造を容易に得ることが
できるとともに、水素ガスを長期間に亘り安定して封入
維持することができる。According to the invention of claim 7, the tube member is provided with a terminal tool through which the terminal part of the optical fiber for transmitting ultraviolet rays is inserted, and the terminal part of the tube member is made airtight by the brazing process in this terminal tool. Due to the blockage, an airtight blockage structure at the end of the tube member can be easily obtained, and hydrogen gas can be stably sealed and maintained for a long period of time.
【００５３】請求項８の発明では、チューブ部材内に封
入される水素ガスの圧力は１ＭＰａ未満とした。また、
請求項９の発明では、水素ガスの圧力は０．２５ＭＰａ
以下とした。従って、これら発明の構成によれば、本発
明の効果が有効に発揮されるのに最適な水素ガス封入圧
が得られる。In the invention of claim 8, the pressure of the hydrogen gas sealed in the tube member is less than 1 MPa. Also,
In the invention of claim 9, the pressure of hydrogen gas is 0.25 MPa.
Below. Therefore, according to the configurations of these inventions, the optimum hydrogen gas charging pressure for effectively exhibiting the effects of the present invention can be obtained.
【図１】本発明の実施形態１に係る紫外線伝送用光ファ
イバ構造体の全体構成を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing an overall configuration of an ultraviolet transmission optical fiber structure according to a first embodiment of the present invention.
【図２】バンドルファイバの拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a bundle fiber.
【図３】シームレスフレキシブルチューブにおける嵌合
部の端末具への結合構造の変形例を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing a modified example of the connecting structure of the fitting portion of the seamless flexible tube to the terminal device.
【図４】紫外線伝送用光ファイバ構造体に水素ガスを封
入する工程を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a step of filling hydrogen gas into an optical fiber structure for transmitting ultraviolet light.
【図５】実施形態２に係る紫外線伝送用光ファイバ構造
体の要部を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a main part of an ultraviolet transmission optical fiber structure according to a second embodiment.
Ａ 紫外線伝送用光ファイバ構造体 １ 紫外線伝送用光ファイバ ２ バンドルファイバ ２ａ 光ファイバ端末部品 ４ チューブ部材 ５ シームレスフレキシブルチューブ ６ 嵌合部 ７ 端末具 ９ 接着剤 Ｓ 空間 １０ 連結具 １２ 第１連通孔 １３ 第２連通孔 １４ 第１開閉弁 １５ 第２開閉弁 １６ 圧力計（圧力検出手段） １８ 窓部 A Ultraviolet transmission optical fiber structure 1 Optical fiber for UV transmission 2 bundle fiber 2a Optical fiber terminal parts 4 tube members 5 Seamless Flexible Tube 6 Fitting part 7 terminal 9 Adhesive S space 10 Connecting tool 12 First communication hole 13 Second communication hole 14 1st on-off valve 15 Second on-off valve 16 Pressure gauge (pressure detection means) 18 windows
フロントページの続き (72)発明者 佐竹 武史 兵庫県伊丹市池尻４丁目３番地 三菱電線 工業株式会社伊丹製作所内 Ｆターム(参考） 2H050 AB04Z BB26S BC11 BD00Continued front page (72) Inventor Takeshi Satake 4-3 Ikejiri, Itami City, Hyogo Prefecture Mitsubishi Electric Cable Industrial Co., Ltd. Itami Works F-term (reference) 2H050 AB04Z BB26S BC11 BD00
Claims (9)
線伝送用光ファイバと、 上記紫外線伝送用光ファイバの周りを空間をあけて気密
状に覆う可撓性を有するチューブ部材とを備え、 上記チューブ部材の端末部は、紫外線伝送用光ファイバ
の端末部が挿通された状態で気密状に閉塞されており、 上記チューブ部材内に水素ガスが封入されていることを
特徴とする紫外線伝送用光ファイバ構造体。1. A tube comprising at least one ultraviolet transmitting optical fiber for transmitting ultraviolet rays, and a flexible tube member for airtightly covering the ultraviolet transmitting optical fiber with a space around the optical fiber. The end portion of the member is hermetically closed with the end portion of the optical fiber for transmitting ultraviolet light being inserted, and the optical fiber for transmitting ultraviolet light is characterized in that hydrogen gas is enclosed in the tube member. Structure.
線伝送用光ファイバと、 上記紫外線伝送用光ファイバの周りを空間をあけて気密
状に覆う可撓性を有するチューブ部材とを備え、 上記チューブ部材の端末部は、紫外線伝送用光ファイバ
の端末部が挿通された状態で気密状に閉塞されており、 上記チューブ部材内への水素ガスの封入により、紫外線
伝送用光ファイバが水素処理されるように構成されてい
ることを特徴とする紫外線伝送用光ファイバ構造体。2. A tube comprising at least one ultraviolet transmitting optical fiber for transmitting ultraviolet rays, and a flexible tube member for airtightly covering the ultraviolet transmitting optical fiber with a space therebetween. The end portion of the member is hermetically closed with the end portion of the optical fiber for ultraviolet transmission being inserted, and the optical fiber for ultraviolet transmission is treated with hydrogen by enclosing hydrogen gas in the tube member. An optical fiber structure for transmitting ultraviolet light, which is configured as described above.
バ構造体において、 チューブ部材にその内外を連通する連通孔が設けられ、 上記連通孔に開閉弁が一体的に接続されていることを特
徴とする紫外線伝送用光ファイバ構造体。3. The optical fiber structure for transmitting ultraviolet light according to claim 1 or 2, wherein the tube member is provided with a communication hole that communicates the inside and the outside thereof, and the opening / closing valve is integrally connected to the communication hole. A characteristic optical fiber structure for transmitting ultraviolet rays.
体において、 チューブ部材は連結具を備えており、 上記連結具に連通孔が設けられていることを特徴とする
紫外線伝送用光ファイバ構造体。4. The optical fiber structure for ultraviolet transmission according to claim 3, wherein the tube member is provided with a connecting tool, and the connecting tool is provided with a communication hole. body.
送用光ファイバ構造体において、 チューブ部材にその内部の圧力を検出する圧力検出手段
が一体的に設けられていることを特徴とする紫外線伝送
用光ファイバ構造体。5. The ultraviolet transmitting optical fiber structure according to any one of claims 1 to 3, wherein the tube member is integrally provided with pressure detecting means for detecting the pressure inside the tube member. Optical fiber structure for UV transmission.
送用光ファイバ構造体において、 チューブ部材は、紫外線伝送用光ファイバの端末部が挿
通される端末具を備えており、 上記端末具内に接着剤が充填されてチューブ部材の端末
部が気密状に閉塞されていることを特徴とする紫外線伝
送用光ファイバ構造体。6. The optical fiber structure for ultraviolet ray transmission according to any one of claims 1 to 5, wherein the tube member includes a terminal tool through which a terminal portion of the optical fiber for ultraviolet ray transmission is inserted. An optical fiber structure for ultraviolet ray transmission, characterized in that the inside of the tube member is closed in an airtight manner by filling the inside with an adhesive.
送用光ファイバ構造体において、 チューブ部材は、紫外線伝送用光ファイバの端末部が挿
通される端末具を備えており、 上記端末具内でのロウ付け処理によりチューブ部材の端
末部が気密状に閉塞されていることを特徴とする紫外線
伝送用光ファイバ構造体。7. The ultraviolet transmission optical fiber structure according to claim 1, wherein the tube member includes a terminal through which a terminal portion of the ultraviolet transmission optical fiber is inserted. An optical fiber structure for transmitting ultraviolet rays, characterized in that the end portion of the tube member is airtightly closed by a brazing process inside.
バ構造体において、 チューブ部材内に封入される水素ガスの圧力は１ＭＰａ
未満であることを特徴とする紫外線伝送用光ファイバ構
造体。8. The ultraviolet transmitting optical fiber structure according to claim 1, wherein the pressure of the hydrogen gas sealed in the tube member is 1 MPa.
An optical fiber structure for transmitting ultraviolet light, characterized in that
バ構造体において、 チューブ部材内に封入される水素ガスの圧力は０．２５
ＭＰａ以下であることを特徴とする紫外線伝送用光ファ
イバ構造体。9. The ultraviolet transmitting optical fiber structure according to claim 1, wherein the pressure of the hydrogen gas sealed in the tube member is 0.25.
An optical fiber structure for ultraviolet ray transmission, which has a pressure of MPa or less.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002051280A JP2003255155A (en) | 2002-02-27 | 2002-02-27 | Optical fiber structure for ultraviolet-ray transmission |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002051280A JP2003255155A (en) | 2002-02-27 | 2002-02-27 | Optical fiber structure for ultraviolet-ray transmission |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003255155A true JP2003255155A (en) | 2003-09-10 |
Family
ID=28663296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002051280A Pending JP2003255155A (en) | 2002-02-27 | 2002-02-27 | Optical fiber structure for ultraviolet-ray transmission |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003255155A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7277616B2 (en) | 2002-05-17 | 2007-10-02 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical fiber bundle and method of manufacturing the same |
| JP2007272251A (en) * | 2002-05-17 | 2007-10-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Optical fiber bundle |
| JP2013117095A (en) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Ohbayashi Corp | Bag body fastener |
| JP2013117096A (en) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Ohbayashi Corp | Bag body for natural ground reinforcement |
| US11733617B2 (en) | 2019-03-25 | 2023-08-22 | Asml Netherlands B.V. | Frequency broadening apparatus and method |
-
2002
- 2002-02-27 JP JP2002051280A patent/JP2003255155A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7277616B2 (en) | 2002-05-17 | 2007-10-02 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical fiber bundle and method of manufacturing the same |
| JP2007272251A (en) * | 2002-05-17 | 2007-10-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Optical fiber bundle |
| JP2013117095A (en) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Ohbayashi Corp | Bag body fastener |
| JP2013117096A (en) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Ohbayashi Corp | Bag body for natural ground reinforcement |
| US11733617B2 (en) | 2019-03-25 | 2023-08-22 | Asml Netherlands B.V. | Frequency broadening apparatus and method |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6732746B2 (en) | Reduced particle contamination manufacturing and packaging for reticles | |
| JP2980094B2 (en) | Quartz glass article and method for producing the same | |
| US6333283B1 (en) | Silica glass article and manufacturing process therefor | |
| WO2003083512A3 (en) | Instrumentation package and integrated radiation detector | |
| GB1573245A (en) | Hermetic seal for optical fibre | |
| JPH01273009A (en) | Method and apparatus for hermetically conducting light waveguide | |
| JP2003255155A (en) | Optical fiber structure for ultraviolet-ray transmission | |
| US20220406672A1 (en) | Hermetically sealed glass package | |
| JP2000133736A (en) | Method and apparatus for airtight sealing of semiconductor laser device | |
| US20140332084A1 (en) | Systems and methods for preventing or reducing contamination enhanced laser induced damage (c-lid) to optical components using gas phase additives | |
| FR2583219A1 (en) | ELECTRIC LAMP HAVING AN INTERFERENTIAL FILTER | |
| US20040184753A1 (en) | Fiber module in which optical fiber coated with metal or inorganic material is fixed to sealable package so that an end of the optical fiber appears inside the package | |
| US20030021311A1 (en) | Semiconductor laser module, optical measuring method and optical measuring apparatus | |
| JP2005524112A (en) | Chip protector and chip operating method | |
| US20070297466A1 (en) | Vacuum cell for optical components | |
| US4252457A (en) | Optical fiber-to-metal hermetic seal | |
| US20020122446A1 (en) | Semiconductor laser module and method of making the same | |
| JP2003255143A (en) | Method of using optical fiber for ultraviolet-ray transmission | |
| JP4352133B2 (en) | Adhesion method for adjacent optical components | |
| US20050218811A1 (en) | Gas discharge lamp with high-energy vacuum ultraviolet emission | |
| EP3882672A1 (en) | Synthetic quartz glass substrate with antireflection film, window material, lid for optical element package, optical element package, and light irradiation device | |
| CN109781659B (en) | Preparation method of photoelectric detector with reference air chamber | |
| US20100221484A1 (en) | Ceramic sealed transmissive substrate assemblies | |
| JPH10120034A (en) | Unit having electrical and/or optical constituent producing on airtight package body and method for producing the same | |
| JP2003021731A (en) | Bundle fiber for transmission of uv light |