JP2003253301A - Method for manufacturing metal powder for conductive paste, metal powder for conductive paste, conductive paste, and multilayer ceramic electronic part - Google Patents

Method for manufacturing metal powder for conductive paste, metal powder for conductive paste, conductive paste, and multilayer ceramic electronic part

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JP2003253301A
JP2003253301A JP2002056220A JP2002056220A JP2003253301A JP 2003253301 A JP2003253301 A JP 2003253301A JP 2002056220 A JP2002056220 A JP 2002056220A JP 2002056220 A JP2002056220 A JP 2002056220A JP 2003253301 A JP2003253301 A JP 2003253301A
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JP
Japan
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metal powder
conductive paste
powder
producing
stator
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JP2002056220A
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Japanese (ja)
Inventor
Masayoshi Maeda
昌禎 前田
Hisanobu Nakajima
寿信 中島
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a metal powder for a conductive paste used for an internal electrode of a multilayer ceramic electronic part capable of improving the reliability of the multilayer ceramic electronic part. <P>SOLUTION: The method includes a washing process where the metal powder for the conductive paste is washed with water or an organic solvent. It also includes a pulverizing process where the metal powder in slurry 13 is pulverized by passing the slurry 13 containing the metal powder under washing through a clearance 14 between a stator 11 and a rotor 12 which makes the clearance 14 of ≥0.1 mm and ≤1.5 mm against the stator 11 and rotates at a circumferential velocity of ≥4 m/s. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、積層セラミック電
子部品、特に積層セラミックコンデンサの内部電極用ペ
ースト等の導電性金属粉末として用いられる、金属粉末
の製造方法、及びその方法によって得られた導電性ペー
スト用金属粉末に関するものであり、さらにはこの導電
性ペースト用金属粉末を用いた導電性ペースト、並びに
その導電性ペーストを用いて作製した積層セラミック電
子部品に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a metal powder used as a conductive metal powder such as a paste for an internal electrode of a monolithic ceramic electronic component, in particular, a monolithic ceramic capacitor, and the electroconductivity obtained by the method. The present invention relates to a metal powder for paste, a conductive paste using the metal powder for conductive paste, and a laminated ceramic electronic component manufactured using the conductive paste.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、積層セラミックコンデンサに代表
される積層セラミック電子部品においては、その内部電
極(内部導体)を形成するために導電性ペーストを用い
ることが多い。そのような積層セラミック電子部品の製
造方法では、まず、上記導電性ペーストを、厚膜状に、
数十μmから数μm厚のセラミックグリーンシート上に
内部電極パターンにて印刷し、これらグリーンシートを
数枚から数百枚、それらの厚さ方向に互いに積層した
後、所定サイズにカットにし、カットされた生チップを
800℃から1500℃前後までの温度で焼成し、続い
て焼き付け等の方法により端子電極(外部電極)を形成
して、積層セラミック電子部品が得られる。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a monolithic ceramic electronic component represented by a monolithic ceramic capacitor, a conductive paste is often used to form an internal electrode (internal conductor) thereof. In the method for manufacturing such a laminated ceramic electronic component, first, the conductive paste is formed into a thick film,
The internal electrode pattern is printed on a ceramic green sheet with a thickness of several tens of μm to several μm, and several to several hundreds of these green sheets are laminated on each other in the thickness direction, and then cut into a predetermined size and cut. The green chip thus obtained is fired at a temperature of from 800 ° C. to about 1500 ° C., and then a terminal electrode (external electrode) is formed by a method such as baking to obtain a laminated ceramic electronic component.

【0003】この導電性ペーストは、導電性成分となる
金属粉末と、有機溶剤及び有機バインダ成分からなる有
機ビヒクルと、並びに場合によってはさらに、用いられ
るセラミック素体と略同一のセラミック粉末からなる焼
結制御剤とで構成されることが多い。ここで、金属粉末
としては、現在、積層セラミックコンデンサの薄層、多
層化による大容量化に伴って、パラジウムに代表される
貴金属に代わり、比較的安価なニッケルや銅の金属粉末
が多く用いられるようになっている。
This conductive paste is composed of a metal powder serving as a conductive component, an organic vehicle composed of an organic solvent and an organic binder component, and in some cases, a ceramic powder substantially the same as the ceramic body used. Often composed of a binding control agent. Here, as the metal powder, at present, relatively inexpensive metal powder of nickel or copper is often used in place of the noble metal typified by palladium in accordance with the increase in capacity due to thin layers and multilayers of multilayer ceramic capacitors. It is like this.

【0004】このような積層セラミック電子部品におい
て、上述のようにセラミックグリーンシートの薄層化、
多層化が進むに伴い、内部電極用の導電性ペーストに含
有される金属粉末には、粒径のより均一な、粗粒の少な
いものが求められている。
In such a laminated ceramic electronic component, as described above, the ceramic green sheet is thinned,
As the number of layers increases, the metal powder contained in the conductive paste for internal electrodes is required to have a more uniform particle size and a small number of coarse particles.

【0005】金属粉末の製造方法には、大別して、特開
平4−45207号公報に示される、還元性ガスによる
金属塩蒸気の還元法に代表される気相法によるものと、
特開平5−51610号公報や特開2000−8712
1号公報に代表される、水もしくは有機溶媒中で、還元
剤により金属塩を還元する液相法に大別され、それら製
造方法の最適化によって、セラミックグリーンシートの
薄層化、多層化に対応するための、粒径のより均一な、
粗粒の少ないものが作製されている。
The method for producing the metal powder is roughly classified into a gas phase method represented by Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-45207, a method of reducing a metal salt vapor with a reducing gas,
JP-A-5-51610 and JP-A-2000-8712
The liquid phase method of reducing a metal salt with a reducing agent in water or an organic solvent, which is typified by Japanese Patent Publication No. 1), is roughly classified. More uniform particle size to accommodate
Those with few coarse particles have been produced.

【0006】さらには、これら金属粉末の分散性を高め
るため、特開平11−343501号公報に示されてい
るような方法により粉砕、解砕処理が施されている場合
もある。
Further, in order to improve the dispersibility of these metal powders, they may be crushed and crushed by a method as disclosed in JP-A-11-343501.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
導電性ペースト用金属粉末の製造方法においては、特開
平11−343501号公報に示されているように、一
旦、洗浄、乾燥を経た金属粉末を粉砕、解砕処理してい
た。一般に、金属粉末は、反応時もしくは洗浄時の溶液
内で発生する粉末凝集、及び、乾燥時の塩架橋により発
生する粉末凝集という二つの凝集因子により凝集が進む
とされている。
However, in the conventional method for producing a metal powder for a conductive paste, as described in JP-A No. 11-343501, a metal powder that has been once washed and dried is used. It was crushed and crushed. Generally, it is said that the metal powder is agglomerated by two aggregating factors, that is, powder agglomeration that occurs in a solution during reaction or washing and powder agglomeration that occurs due to salt crosslinking during drying.

【0008】したがって、洗浄、乾燥を経た金属粉末を
粉砕、解砕処理するプロセスでは、上記の二つの凝集因
子を有する金属粉末を粉砕、解砕処理する必要があり、
単分散に近い状態まで分散することが困難となる場合が
あった。
Therefore, in the process of crushing and crushing the metal powder that has been washed and dried, it is necessary to crush and crush the metal powder having the above two agglomeration factors.
In some cases, it was difficult to disperse even to a state close to monodispersion.

【0009】ここで、特開平5−51610号公報や特
開2000−87121号公報に代表される液相法は、
水もしくは有機溶剤中で金属粉末を反応、生成するた
め、必ず洗浄、乾燥工程が含まれることは言うまでもな
いが、特開平4−45207号公報に代表される気相法
においても、特開平11−189813号公報に示され
るように、その製造方法中にも洗浄、乾燥工程が含まれ
る。これにより、上記各製造方法では、上述のような反
応時もしくは洗浄時の溶液内で発生する粉末凝集、及
び、乾燥時の塩架橋により発生する粉末凝集という二つ
の凝集因子を有する金属粉末を粉砕、解砕処理する必要
が生じる。
Here, the liquid phase method represented by JP-A-5-51610 and JP-A-2000-87121 is
Needless to say, since the metal powder is reacted and produced in water or an organic solvent, washing and drying steps are necessarily included. However, even in the gas phase method represented by JP-A-4-45207, JP-A-11- As shown in Japanese Patent No. 189813, the manufacturing method also includes washing and drying steps. Thus, in each of the above production methods, the metal powder having two aggregating factors, that is, powder agglomeration generated in the solution at the time of reaction or washing as described above and powder agglomeration generated by salt crosslinking during drying, is ground. , It is necessary to disintegrate.

【0010】金属粉末の解砕が不十分となると、その金
属粉末の平均粒径より大きな凝集粒子が存在することに
なる。これら凝集粒子がそのまま解砕、分散されずに積
層セラミックコンデンサ用内部電極として印刷、成膜さ
れてしまうと、特に積層セラミックコンデンサの焼成後
の内部電極に挟まれたセラミック層の厚みが、5μm以
下と薄い場合、上記凝集粒子がセラミック層を貫通し
て、上記セラミック層を挟んで対面する各内部電極間で
ショートし、積層セラミックコンデンサの歩留まりを大
きく低下させるという問題が発生する場合がある。
When the crushing of the metal powder is insufficient, aggregate particles larger than the average particle size of the metal powder are present. If these agglomerated particles are not crushed or dispersed as they are and printed and formed as an internal electrode for a laminated ceramic capacitor, the thickness of the ceramic layer sandwiched between the internal electrodes after firing of the laminated ceramic capacitor is 5 μm or less. If it is thin, the aggregated particles may penetrate the ceramic layer and short-circuit between the internal electrodes facing each other with the ceramic layer interposed therebetween, which may cause a problem that the yield of the laminated ceramic capacitor is significantly reduced.

【0011】これを防止するため、予め、使用するニッ
ケルに代表される金属粉末の分級処理を行い、凝集粒子
を除去した上でペースト化するといった方法もとられて
いるが、このような処理により金属粉末の歩留まりが著
しく低下してしまうという弊害が発生することがある。
In order to prevent this, a method of classifying a metal powder typified by nickel to be used in advance to remove agglomerated particles and then forming a paste has been used. There may be a problem that the yield of the metal powder is significantly reduced.

【0012】また、これら凝集粒子をペースト加工工程
時に分散、解砕する場合もあるが、特に凝集が強固な場
合、加工工程時に三本ロールミル等で加える分散力では
十分に解砕できなかったり、または分散工程に長時間を
費やす必要が生じたりする等の不具合が発生することが
あった。
In addition, these agglomerated particles may be dispersed and crushed during the paste processing step. However, if the agglomeration is particularly strong, it may not be sufficiently crushed by the dispersing force applied by a three-roll mill during the processing step. Alternatively, there may be a problem in that it is necessary to spend a long time in the dispersion process.

【0013】本発明は、上記間題を鑑み、金属粉末洗浄
から乾燥に到る工程で発生する凝集を防止もしくは低減
し、導電性ペースト中における未解砕の凝集粒子の存在
を無くする、もしくは低減することにより、積層セラミ
ックコンデンサに代表される積層セラミック電子部品の
歩留まりを著しく向上させることが可能な、導電性ペー
スト用金属粉末の製造方法、その製造方法により得られ
る導電性ペースト用金属粉末、それを用いた導電性ペー
スト、及びそれの焼結体を内部電極として有する積層セ
ラミック電子部品を提供することを目的とする。
In view of the above problems, the present invention prevents or reduces agglomeration generated in the steps from washing of metal powder to drying, and eliminates the presence of uncrushed agglomerated particles in the conductive paste, or By reducing, it is possible to significantly improve the yield of multilayer ceramic electronic components typified by multilayer ceramic capacitors, a method for producing a metal powder for a conductive paste, a metal powder for a conductive paste obtained by the method, An object of the present invention is to provide a conductive paste using the same and a multilayer ceramic electronic component having the sintered body of the conductive paste as an internal electrode.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明の導電性ペースト
用金属粉末の製造方法は、上記課題を解決するために、
導電性ペースト用の金属粉末に対する水及び有機溶剤の
少なくとも一方による洗浄工程を備えた導電性ペースト
用金属粉末の製造方法において、洗浄中の金属粉末を含
有するスラリーを、ステータと、該ステータに対して
0.1mm以上1.5mm以下の間隙を有して周速4m
/s以上の速度で回転するロータとの間の上記間隙に通
過させて、金属粉末を解砕する工程を備えていることを
特徴としている。
In order to solve the above-mentioned problems, the method for producing a metal powder for a conductive paste of the present invention comprises:
In a method for producing a metal powder for a conductive paste, which comprises a washing step of at least one of water and an organic solvent for a metal powder for a conductive paste, a slurry containing the metal powder being washed, a stator, and the stator. And a peripheral speed of 4 m with a gap of 0.1 mm or more and 1.5 mm or less
It is characterized by including a step of crushing the metal powder by allowing the metal powder to pass through the gap between the rotor and the rotor rotating at a speed of / s or more.

【0015】本発明に係る他の導電性ペースト用金属粉
末の製造方法は、前記課題を解決するために、導電性ペ
ースト用の金属粉末に対する水もしくは有機溶剤による
洗浄工程を備えた導電性ペースト用金属粉末の製造方法
において、金属粉末の洗浄後に、該金属粉末を未乾燥
(乾燥完了前)の状態で、スラリーとし、該スラリー
を、ステータと、該ステータに対して0.1mm以上、
1.5mm以下の間隙を有して周速4m/s以上の速度
で回転するロータとの間の上記間隙に通過させて、金属
粉末を解砕する工程を備えていることを特徴としてい
る。
In order to solve the above-mentioned problems, another method for producing a metal powder for a conductive paste according to the present invention is for a conductive paste, which comprises a step of washing the metal powder for a conductive paste with water or an organic solvent. In the method for producing a metal powder, after washing the metal powder, the metal powder is undried (before drying is completed) to form a slurry, and the slurry is 0.1 mm or more with respect to the stator and the stator.
It is characterized by including a step of crushing the metal powder by allowing it to pass through the above-mentioned gap between the rotor having a gap of 1.5 mm or less and rotating at a peripheral speed of 4 m / s or more.

【0016】いずれの場合においても、重要なことは、
一旦乾燥工程を経た粉末にせん断力による解砕を加える
のではなく、洗浄中、もしくは洗浄後の未乾燥の金属粉
末に対し、0.1mm以上、1.5mm以下の間隙を有
し、周速4m/s以上の速度で回転するロータによりせ
ん断を加えることに特徴がある。上記周速は、ロータの
外径部分の線速を示す。
In any case, the important thing is that
Rather than crushing the powder that has undergone the drying step by shearing force, there is a gap of 0.1 mm or more and 1.5 mm or less with respect to the undried metal powder during or after cleaning, and the peripheral speed is It is characterized by applying shear by a rotor rotating at a speed of 4 m / s or more. The peripheral speed indicates the linear speed of the outer diameter portion of the rotor.

【0017】すなわち、乾燥前の金属粉末は、乾燥時に
生じる塩架橋による凝集を受けていないため、乾燥後の
金属粉末を解砕するよりも、より簡易に、より効果的に
凝集をほぐすことが可能となる。乾燥後の分散工程にお
いて解砕できないような凝集であっても、本発明のよう
に乾燥前にせん断力を加えることによって、その解砕が
可能となり、導電性ペースト中の凝集粒子、すなわち粗
粒の発生を防止し、積層セラミックコンデンサに代表さ
れる積層セラミック電子部品の歩留まりを向上させるこ
とが可能となる。
That is, since the metal powder before drying has not undergone agglomeration due to salt cross-linking that occurs during drying, it is possible to loosen the agglomeration more easily and effectively than by crushing the metal powder after drying. It will be possible. Even in the case of agglomeration that cannot be crushed in the dispersion step after drying, it is possible to crush it by applying a shearing force before drying as in the present invention, and agglomerated particles in the conductive paste, that is, coarse particles. It is possible to prevent the occurrence of the above and improve the yield of the laminated ceramic electronic component represented by the laminated ceramic capacitor.

【0018】本発明における解砕方法として、0.1m
m以上、1.5mm以下の間隙を周速4m/s以上の速
度で回転するロータによりせん断力を加えることとした
のは、分散メディアを用いる分散機、例えばボールミル
やサンドミルでは、メディアの衝突による金属粉末の変
形や、メディアからのコンタミの発生、混入が危惧され
ることと、0.1mm以上、1.5mm以下の間隙を有
し、周速4m/s以上の速度で回転するロータ(回転
体)によりせん断力を加える形式の分散機は、通常のプ
ロペラ回転による洗浄設備からの置き換えが容易なため
である。
The crushing method in the present invention is 0.1 m
The shearing force is applied to the gap of m or more and 1.5 mm or less by the rotor rotating at the peripheral speed of 4 m / s or more because the dispersion machine using the dispersion media, for example, the ball mill or the sand mill, is caused by the collision of the media. There is a risk of deformation of metal powder, generation of contamination from media, and mixing, and a rotor (rotating body) that has a gap of 0.1 mm or more and 1.5 mm or less and rotates at a peripheral speed of 4 m / s or more. This is because the disperser of the type that applies a shearing force by means of () is easy to replace from the washing equipment by the normal propeller rotation.

【0019】さらには、0.1mm以上、1.5mm以
下の間隙を有し、周速4m/s以上の速度で回転するロ
ータによりせん断力を加える形式の分散機(解砕機)
は、溶液の攪拌効果も併せ持つため、水もしくは有機溶
剤中に存在する金属粉末に対して、せん断力による、よ
り効果的な解砕を施すことが可能である。
Further, a disperser (crusher) of a type having a gap of 0.1 mm or more and 1.5 mm or less and applying a shearing force by a rotor rotating at a peripheral speed of 4 m / s or more.
Since it also has the effect of stirring the solution, it is possible to more effectively disintegrate the metal powder existing in water or the organic solvent by the shearing force.

【0020】上記分散機の一例について図1に基づいて
説明すれば以下の通りである。上記分散機は、図1に示
すように、有底円筒状のステータ11と、上記ステータ
11に対して同軸上にて回転するロータ12とを有して
いる。ステータ11は、円筒状の周壁部11aと、底面
部11bと、その底面部11bと同軸状に円形状の開口
部11cとを備えている。
An example of the above disperser will be described below with reference to FIG. As shown in FIG. 1, the disperser includes a bottomed cylindrical stator 11 and a rotor 12 that rotates coaxially with the stator 11. The stator 11 includes a cylindrical peripheral wall portion 11a, a bottom surface portion 11b, and a circular opening portion 11c coaxial with the bottom surface portion 11b.

【0021】ロータ12には、外形が円錐台形状の有底
筒状のロータ本体12aと、そのロータ本体11aを回
転するための回転軸12bとが同軸上に設けられてい
る。ロータ本体11aにおいては、リング状の先端面1
2cと、円錐台形状の外周面12dと、上記外周面12
dに対し略平行な内周面12eとが形成されている。
The rotor 12 is provided coaxially with a bottomed cylindrical rotor body 12a having a truncated cone shape and a rotary shaft 12b for rotating the rotor body 11a. In the rotor body 11a, the ring-shaped tip surface 1
2c, a truncated cone-shaped outer peripheral surface 12d, and the outer peripheral surface 12
An inner peripheral surface 12e that is substantially parallel to d is formed.

【0022】これにより、上記外周面12d及び内周面
12eは、それぞれ、底部から先端面12cに向かっ
て、順次、外径及び内径が大きくなるテーパー形状とな
っている。
As a result, the outer peripheral surface 12d and the inner peripheral surface 12e each have a tapered shape in which the outer diameter and the inner diameter gradually increase from the bottom toward the tip surface 12c.

【0023】また、上記先端面12cは、ステータ11
の底面部11bの内底面に対して略平行に対面してい
る。上記先端面12cと上記内底面との間となるクリア
ランス(間隙)14は、ロータ12を回転軸に沿って移
動させることにより調節可能となっている。
Further, the tip surface 12c is formed by the stator 11
It faces the inner bottom surface of the bottom surface portion 11b of the base 11 substantially in parallel. The clearance (gap) 14 between the tip surface 12c and the inner bottom surface can be adjusted by moving the rotor 12 along the rotation axis.

【0024】一方、ステータ11の周壁部11aの内径
は、ロータ本体12aの外周面12dの最大外径より大
きく設定されている。よって、ロータ本体12aは、ス
テータ11内にて回転自在となっている。さらに、ステ
ータ11の開口部11cの内径は、ロータ本体12aの
内周面12eにおける先端面12c側となる最大外径よ
り小さく設定されている。これにより、ロータ本体12
aの先端面12cの全面は、ステータ11の底面部11
bの内底面と、前記クリアランス14を有して対面する
ことになる。
On the other hand, the inner diameter of the peripheral wall portion 11a of the stator 11 is set to be larger than the maximum outer diameter of the outer peripheral surface 12d of the rotor body 12a. Therefore, the rotor body 12a is rotatable within the stator 11. Further, the inner diameter of the opening 11c of the stator 11 is set to be smaller than the maximum outer diameter of the inner peripheral surface 12e of the rotor body 12a on the tip surface 12c side. As a result, the rotor body 12
The entire front end surface 12c of a is the bottom surface portion 11 of the stator 11.
It faces the inner bottom surface of b with the clearance 14.

【0025】このような分散機では、ステータ11に対
してロータ12が回転すると、遠心力により、スラリー
13を吸い込み、上記クリアランス14を介して、ステ
ータ11の上部開口部から外部へ排出するようになって
いる。
In such a dispersing machine, when the rotor 12 rotates with respect to the stator 11, centrifugal force sucks the slurry 13 and discharges it from the upper opening of the stator 11 through the clearance 14 to the outside. Has become.

【0026】このとき、上記クリアランス14では、ス
ラリー13は乱流となっていて、通過するスラリー13
に対して大きなせん断力が発生する。また、上記クリア
ランス14においては、ロータ本体12aの先端面12
cの内径側から外径側に向かって、順次、周速が大きく
なっているから、同様に、せん断力も順次大きくなって
いる。これらのことにより、上記分散機では、上記スラ
リー13中における凝集した金属粉末を解砕することが
可能となる。
At this time, in the clearance 14, the slurry 13 is in a turbulent flow and the slurry 13 passing through
A large shearing force is generated against. In the clearance 14, the tip surface 12 of the rotor body 12a is
Since the peripheral speed increases in order from the inner diameter side of c to the outer diameter side, the shearing force also sequentially increases. By these things, it becomes possible with the above-mentioned disperser to crush the aggregated metal powder in the above-mentioned slurry 13.

【0027】このステータ11とロータ12との互いに
面する接液部には、相対する凹凸があってもよいし、ま
た無い場合においても、十分なせん断力が期待できる。
より具体的にこのような機構を備えた設備として特殊機
化工業株式会社製のT.KホモミクサーMARKII型
や、同じくT.Kホモミックラインフロー型等が挙げら
れる。
The wetted portions of the stator 11 and the rotor 12 facing each other may have irregularities facing each other, or even if they do not exist, a sufficient shearing force can be expected.
More specifically, as equipment equipped with such a mechanism, T.K. K homomixer MARK II type and T.K. Examples include K homomic line flow type.

【0028】なお、本発明の効果は、上記分散設備に限
定されるものではなく、同様なせん断機構を有する設備
であれば使用可能である。例えば、固定体と、その固定
体に対して0.1mm以上1.5mm以下、より好適に
は0.1mm以上1.0mm以下のクリアランス14に
調整された移動体(回転体)とを有し、この移動体が固
定体に対して周速4m/s以上の速度で相対移動(回
転)するような機構を備えた設備であればよい。
The effect of the present invention is not limited to the above-mentioned dispersion equipment, and any equipment having a similar shearing mechanism can be used. For example, it has a fixed body and a moving body (rotating body) adjusted to a clearance 14 of 0.1 mm or more and 1.5 mm or less, more preferably 0.1 mm or more and 1.0 mm or less with respect to the fixed body. Any equipment can be used as long as this moving body has a mechanism for moving (rotating) relative to the fixed body at a peripheral speed of 4 m / s or more.

【0029】これらの設備のせん断力は、ステータ11
とロータ12とのクリアランス14と、ロータ12の周
速に依存するため、ステータ11とロータ12との間の
クリアランス14は狭ければ狭いほど、また、周速は速
ければ速いほどせん断力は向上する。上記クリアランス
14は1.5mm以下、より好適には1.0mm以下で
ないと金属粉末の凝集を解砕することが可能なせん断力
が得られない。
The shearing force of these facilities is
Since the clearance 14 between the stator 11 and the rotor 12 depends on the clearance 14 between the rotor 12 and the rotor 12, the narrower the clearance 14 between the stator 11 and the rotor 12 and the higher the peripheral speed, the higher the shearing force. To do. Unless the clearance 14 is 1.5 mm or less, and more preferably 1.0 mm or less, a shearing force capable of crushing the agglomeration of the metal powder cannot be obtained.

【0030】本発明においてクリアランス14の下限値
として0.1mmを規定しているが、これは金属粉末の
解砕力によって制限されるものではなく、ステータ11
とロータ12の機械的な加工精度により制限されるもの
であり、ステータ11とロータ12の機械的な加工精度
の向上により0.1mm未満のクリアランス14が達成
できれば、この成果を妨げるものではない。
In the present invention, the lower limit of the clearance 14 is specified as 0.1 mm, but this is not limited by the crushing force of the metal powder, and the stator 11
This is limited by the mechanical processing accuracy of the rotor 12 and if the clearance 14 of less than 0.1 mm can be achieved by improving the mechanical processing accuracy of the stator 11 and the rotor 12, this result will not be hindered.

【0031】また、ロータ12では、4m/s以上の周
速が、金属粉末の凝集を解砕するために必要である。こ
の周速より遅い場合においては、凝集粒子の解砕が不完
全となるため、導電性ペースト中の凝集粒子、すなわち
粗粒の発生を生むことになり、結果的にショート不良に
よる積層セラミックコンデンサに代表される積層セラミ
ック電子部品の歩留まりを低下させることに繋がる。
Further, in the rotor 12, a peripheral speed of 4 m / s or more is required to break up the agglomeration of the metal powder. If the peripheral speed is slower than this, the agglomeration of the agglomerated particles will be incomplete, resulting in the production of agglomerated particles in the conductive paste, that is, coarse particles. This leads to a reduction in the yield of a typical multilayer ceramic electronic component.

【0032】特に液相法による、導電性ペースト用金属
粉末の製造方法の場合、用いられる還元剤の還元力を高
める目的で、高アルカリ下において金属粉末の生成反応
が行われる場合が多い。そのため洗浄溶液のpHは、初
期的には高アルカリを示す場合が多く、それらイオン残
渣を完全に除去するためには、複数回にわたる洗浄液の
交換が必要となる。
In particular, in the case of the method for producing a metal powder for a conductive paste by the liquid phase method, the production reaction of the metal powder is often carried out under high alkali in order to enhance the reducing power of the reducing agent used. Therefore, the pH of the cleaning solution often shows a high alkali in the initial stage, and it is necessary to replace the cleaning solution a plurality of times in order to completely remove the ionic residues.

【0033】ここで、本発明のように、洗浄時に0.1
mm以上1.5mm以下のクリアランス14を有し、周
速4m/s以上の速度で回転するロータ12によりせん
断力を加え、金属粉末の解砕を施した場合、特に金属粉
末の粒径が0.5μm以下と細かい時には、洗浄溶液中
での金属粉末の沈降速度が著しく遅くなり、洗浄液から
の分離ができなくなり、洗浄液の交換や、金属粉末の回
収が困難になることがあった。
Here, as in the present invention, at the time of washing, 0.1
When the metal powder is crushed by applying a shearing force by the rotor 12 having a clearance 14 of not less than 1.5 mm and not more than 1.5 mm and rotating at a peripheral speed of 4 m / s or more, especially when the particle diameter of the metal powder is 0. When the particle size is as small as 0.5 μm or less, the sedimentation speed of the metal powder in the cleaning solution becomes remarkably slow, the separation from the cleaning liquid becomes impossible, and it may be difficult to replace the cleaning liquid or recover the metal powder.

【0034】ここで、ストークスの沈降速度式により、
粒径の細かな粒子ほど沈降が遅くなることは広く知られ
ていることである。今回の場合も、凝集している金属粉
末は擬似的な粗大粒子として速く沈降するが、本発明に
よる方法により凝集していた金属粉末が一次粒径近傍ま
で解砕されたため、その粒径の細かさ故に沈降が遅くな
ったと考えられる。
Here, according to the Stokes sedimentation velocity equation,
It is widely known that finer particles have a slower sedimentation. Also in this case, the agglomerated metal powder rapidly settles as pseudo coarse particles, but since the agglomerated metal powder was crushed to the vicinity of the primary particle size by the method according to the present invention, the particle size was fine. Therefore, it is considered that the sedimentation was delayed.

【0035】また、この現象は、溶液中のイオン残渣が
少なくなった場合に顕著に発生する。そこでその対策と
して、100G以上の重力加速度による遠心分離によ
り、前記洗浄溶液と金属粉末とを分離する工程が加えら
れることが好ましい。100G以上の重力加速度を金属
粉末に与えることによって、金属粉末の沈降が速くな
り、金属粉末の分離、回収が容易となる。平均粒径が
0.5μm程度の金属粉末においては、100G程度の
重力加速度により実用的な時間内での金属粉末の沈降、
回収が可能であるが、平均粒径が0.1μm以下の粉末
においては1000G以上の重力加速度が必要とされる
場合もある。
Further, this phenomenon remarkably occurs when the amount of ionic residues in the solution decreases. Therefore, as a countermeasure against this, it is preferable to add a step of separating the cleaning solution and the metal powder by centrifugation by gravitational acceleration of 100 G or more. By giving a gravitational acceleration of 100 G or more to the metal powder, the precipitation of the metal powder is accelerated, and the separation and recovery of the metal powder are facilitated. In the case of a metal powder having an average particle size of about 0.5 μm, sedimentation of the metal powder within a practical time due to gravitational acceleration of about 100 G,
Although it is possible to collect the powder, a gravitational acceleration of 1000 G or more may be required in the case of powder having an average particle size of 0.1 μm or less.

【0036】本発明の金属粉末は、ニッケル及び銅のう
ちの少なくとも1種を主成分とする金属粉末である。こ
れは、前述のように、近年の積層セラミックコンデンサ
の薄層、多層化に伴って、比較的安価なニッケルや銅の
金属粉末が多く用いられるようになったからであって、
導電性厚膜ペーストに用いられる他の一般的な金属粉、
例えばパラジウム粉末や銀粉末への同様な効果を妨げる
ものではない。
The metal powder of the present invention is a metal powder containing at least one of nickel and copper as a main component. This is because, as described above, relatively inexpensive metal powders of nickel and copper have come to be used more and more with the thin layers and multilayers of recent multilayer ceramic capacitors.
Other common metal powders used in conductive thick film pastes,
For example, it does not prevent the same effect on palladium powder and silver powder.

【0037】これら金属粉末は、平均粒径が1.0μm
以下であることを特徴とするが、これは、平均粒径が
1.0μm以下の金属粉末ほど、凝集が生じる傾向が強
く、本発明の効果が顕著に現れるからであって、平均粒
径が1.0μmを超える金属粉末に対しても同様な効果
は期待できる。本発明において、平均粒径とは、電子顕
微鏡により撮影された金属粉末を測長することにより求
めた数値を指す。
These metal powders have an average particle size of 1.0 μm.
It is characterized in that the metal powder having an average particle size of 1.0 μm or less has a stronger tendency to cause aggregation, and the effect of the present invention becomes more prominent. The same effect can be expected for metal powders exceeding 1.0 μm. In the present invention, the average particle size refers to a numerical value obtained by measuring the length of a metal powder photographed by an electron microscope.

【0038】そして本発明は、上述のような方法により
作成された金属粉末、並びにそれを用いた積層セラミッ
クコンデンサ等の積層セラミック電子部品用の導電性ペ
ーストにも向けられる。
The present invention is also directed to the metal powder prepared by the above-mentioned method, and a conductive paste for a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor using the metal powder.

【0039】ところで、前述のように、金属粉末の凝集
原因として、反応時もしくは洗浄時の溶液内で発生する
粉末凝集、及び、乾燥時の塩架橋により発生する粉末凝
集という二つの凝集因子があることを説明した。本発明
のように、金属粉末の乾燥前に凝集粒子を解砕すること
で、乾燥後の金属粉末に分散処理を施すより、より効果
的に解砕が可能となる。
By the way, as described above, there are two aggregating factors as a cause of the agglomeration of metal powders: powder agglomeration occurring in the solution during reaction or washing, and powder agglomeration occurring due to salt crosslinking during drying. I explained that. As in the present invention, crushing the agglomerated particles before drying the metal powder enables more effective crushing than performing the dispersion treatment on the dried metal powder.

【0040】しかしながら、洗浄時、もしくは洗浄後に
湿中で一旦解砕した金属粉末に対して、そのまま乾燥工
程を施した場合、乾燥時の塩架橋による再凝集が発生す
る。
However, when the metal powder once crushed in the wet or after the cleaning is directly subjected to the drying step, reaggregation due to salt crosslinking during the drying occurs.

【0041】乾燥時の塩架橋による再凝集が発生した場
合においても、本発明によれば、反応時、もしくは洗浄
時の溶液内で発生する粉末凝集、乾燥時の塩架橋により
発生する粉末凝集という二つの凝集因子のうち一つはす
でに取り除かれているため、その凝集は本発明方法によ
らない金属粉末の製造方法に比べ容易に解砕が可能とな
り、本発明効果を否定するものではない。
Even when re-aggregation occurs due to salt crosslinking during drying, according to the present invention, it is referred to as powder agglomeration occurring in a solution during reaction or washing, and powder agglomeration occurring due to salt crosslinking during drying. Since one of the two aggregating factors has already been removed, the agglomeration can be more easily disintegrated as compared with the method for producing a metal powder that does not use the method of the present invention, and the effect of the present invention is not denied.

【0042】しかしながら、金属粉末の凝集原因を完全
に除去するためには、乾燥時の塩架橋により発生する粉
末凝集因子も取り除く必要がある。そこで、より効果的
な本発明の実施形態は、水もしくは有機溶剤による洗浄
工程を備えた金属粉末の製造法において、水もしくは有
機溶剤中で、0.1mm以上1.5mm以下の間隙を周
速4m/s以上の速度で回転するロータによるせん断力
により解砕された金属粉末を完全に乾燥させることなく
導電性ペースト用導電成分とする導電性ペーストの製造
方法である。
However, in order to completely remove the cause of aggregation of the metal powder, it is necessary to remove the powder aggregation factor generated by salt crosslinking during drying. Therefore, in a more effective embodiment of the present invention, in a method for producing a metal powder including a washing step with water or an organic solvent, a circumferential speed of a gap of 0.1 mm or more and 1.5 mm or less is set in a water or organic solvent. It is a method for producing a conductive paste in which a metal powder crushed by a shearing force by a rotor rotating at a speed of 4 m / s or more is used as a conductive component for a conductive paste without being completely dried.

【0043】本発明による方法により湿中解砕された金
属粉末を、完全に乾燥することなくつまり未乾燥(乾燥
完了前)の状態にて導電性ペースト用金属粉末として用
いるため、粉末乾燥時の塩架橋による凝集の発生を防止
できる。
Since the metal powder crushed in the moisture by the method according to the present invention is used as the metal powder for the conductive paste without being completely dried, that is, in the undried state (before completion of drying), It is possible to prevent the occurrence of aggregation due to salt crosslinking.

【0044】解砕済みの金属粉末を、完全に乾燥させる
ことなく導電性厚膜ペースト用導電材料とする方法とし
て、特開平12−48644号公報に記載の粉末乾燥時
に高沸点の溶剤を添加する方法、あるいは導電性厚膜ペ
ーストの溶剤、例えばテルピネオール等の中で解砕す
る、もしくは解砕後に導電性ペースト用の溶剤に置換し
てそのまま導電性ペースト材料とする方法が挙げられ
る、解砕済みの金属粉末を、完全に乾燥させることなく
導電性ペースト用導電材料とする方法として、さらに
は、特開2001−67951号公報に記載の、固形成
分と、希釈溶剤と、分散剤と、有機樹脂成分と、主溶剤
と、を用いた導電性ペーストの製造方法であって、前記
希釈溶剤の沸点は前記主溶剤の沸点より100℃以上低
く、前記希釈溶剤は、前記有機樹脂成分及び前記主溶剤
と相溶性があり、まず、前記固形成分と、前記希釈溶剤
と、前記分散剤とを混合した第1ミルベースを分散処理
して第1スラリーを得る第1分散工程と、次に、前記第
1スラリーに、前記有機樹脂成分と、前記主溶剤とを混
合した第2ミルベースを分散処理して第2スラリーを得
る第2分散工程と、次に、前記第2スラリーから前記希
釈溶剤を除去する工程と、を備えることを特徴とする導
電性ペーストの製造方法における、前記希釈溶媒中で解
砕する、もしくは解砕後に前記希釈溶媒に置換してその
まま導電性ペースト材料とする方法が挙げられる。いず
れの方法をとっても、金属粉末は完全に乾燥されないた
め、塩架橋による凝集を防止できる。
As a method for converting the crushed metal powder into a conductive material for a conductive thick film paste without completely drying it, a solvent having a high boiling point is added at the time of powder drying described in JP-A-12-48644. A method, or a method of crushing in a solvent of a conductive thick film paste, for example, terpineol or the like, or a method of substituting with a solvent for a conductive paste after crushing to use the conductive paste material as it is, crushed As a method of using the metal powder of No. 1 as a conductive material for a conductive paste without completely drying the solid powder, a solid component, a diluting solvent, a dispersant, and an organic resin described in JP 2001-67951 A. A method for producing a conductive paste using components and a main solvent, wherein the boiling point of the diluent solvent is 100 ° C. or more lower than the boiling point of the main solvent, and the diluent solvent is A first dispersion step that is compatible with the organic resin component and the main solvent, and first disperses a first mill base obtained by mixing the solid component, the diluent solvent, and the dispersant to obtain a first slurry; Then, a second dispersion step of dispersing a second mill base obtained by mixing the organic resin component and the main solvent in the first slurry to obtain a second slurry, and then from the second slurry A step of removing the diluent solvent, in a method for producing a conductive paste, characterized by comprising crushing in the diluent solvent, or replacing the diluent solvent after crushing the conductive paste material as it is There is a method of doing. Whichever method is used, the metal powder is not completely dried, and therefore aggregation due to salt crosslinking can be prevented.

【0045】ここで本発明におけるより好適な実施形態
の一つとして、上記記載の方法のうち三番目に述べた導
電性ペースト作成時の希釈溶媒中で解砕する、もしくは
解砕後に希釈溶剤に置換してそのまま導電性ペースト材
料とする方法について説明する。
Here, as one of the more preferred embodiments of the present invention, crushing is carried out in a diluting solvent at the time of preparing the conductive paste described in the third of the above-mentioned methods, or after crushing, a diluting solvent is used. A method of substituting the conductive paste material as it is will be described.

【0046】特開2001−67951号公報に記載の
希釈溶剤は、沸点が主溶剤の沸点より100℃以上低い
溶剤が適宜用いられる。例えば、主溶剤としてテルピネ
オール、有機樹脂成分としてエチルセルロースを用いる
導電性ペーストの場合、希釈溶剤としては、アセトン、
ジメチルケトン等のケトン系溶剤、メタノール、エタノ
ール等のアルコール系溶剤等が好ましい。
As the diluting solvent described in JP 2001-67951 A, a solvent having a boiling point lower than the boiling point of the main solvent by 100 ° C. or more is appropriately used. For example, in the case of a conductive paste using terpineol as the main solvent and ethyl cellulose as the organic resin component, acetone as the diluting solvent,
A ketone solvent such as dimethyl ketone and an alcohol solvent such as methanol and ethanol are preferable.

【0047】例えば、液相法により金属粉末を合成した
後、まず水により洗浄を行い、その後、例えば水をエタ
ノールに置換することにより、特開2001−6795
1号公報に記載の導電性ペースト製造法における導電成
分としてそのまま用いることが可能である。
For example, after synthesizing a metal powder by a liquid phase method, first washing with water, and then substituting ethanol with water, for example, JP-A-2001-6795.
It can be used as it is as a conductive component in the conductive paste manufacturing method described in JP-A-1.

【0048】この希釈溶剤は、希釈溶剤を除去する工程
において導電性ペースト中から除去されるため、金属粉
末を乾燥させることなく用いることが可能となる。ここ
で、本発明の特徴である、水もしくは有機溶剤中で、
0.1mm以上1.5mm以下のクリアランス14を有
し、周速4m/s以上の速度で回転するロータ12によ
るせん断力に基づく解砕工程は、水洗時に行ってもよい
し、エタノール置換時に行ってもよいし、双方において
行ってもよいし、いずれの場合においても同様な効果が
期待できる。
Since this diluent solvent is removed from the conductive paste in the step of removing the diluent solvent, it is possible to use it without drying the metal powder. Here, in water or an organic solvent, which is a feature of the present invention,
The crushing step based on the shearing force by the rotor 12 having a clearance 14 of 0.1 mm or more and 1.5 mm or less and rotating at a peripheral speed of 4 m / s or more may be performed during washing with water or during replacement with ethanol. The same effect can be expected in either case.

【0049】そして本発明は、焼成後の内部電極に挟ま
れたセラミック層の厚みが、5μm以下である積層セラ
ミック電子部品の内部電極を形成するために好適に用い
られる、本発明に係る導電性ペーストに向けられ、さら
には本発明に記載の導電性ペーストを用いた積層セラミ
ック電子部品にも向けられる。
The present invention is a conductive material according to the present invention, which is preferably used for forming an internal electrode of a laminated ceramic electronic component in which the thickness of the ceramic layer sandwiched between the internal electrodes after firing is 5 μm or less. The present invention is also directed to a paste, and further to a laminated ceramic electronic component using the conductive paste according to the present invention.

【0050】ここで、作製後の内部電極に挟まれたセラ
ミック層の厚みが、5μm以下としたのは、本発明にお
ける効果による凝集物の除去により、ショート不良の発
生率低減が顕著に現れるためであって、5μmを超える
セラミック層厚みの場合においても同様な効果は期待で
きる。
Here, the reason why the thickness of the ceramic layer sandwiched between the internal electrodes after fabrication is set to 5 μm or less is that the reduction of the occurrence rate of short-circuit defects is remarkably reduced due to the removal of aggregates due to the effect of the present invention. Therefore, the same effect can be expected even when the thickness of the ceramic layer exceeds 5 μm.

【0051】このような積層セラミック電子部品として
の積層セラミックコンデンサについて図2に基づき以下
に説明する。図2に示すように、積層セラミックコンデ
ンサは、互いに積層されたセラミック層2aを備える、
略直方体形状のセラミック素体2と、各セラミック層2
a間に設けられた内部電極(内部導体)3と、外部電極
4とを有している。さらに、外部電極4上に、Niめっ
き膜5と、Snめっき膜6とが、この順にて積層されて
いることが好ましい。
A laminated ceramic capacitor as such a laminated ceramic electronic component will be described below with reference to FIG. As shown in FIG. 2, the monolithic ceramic capacitor includes ceramic layers 2a laminated on each other.
Ceramic body 2 having a substantially rectangular parallelepiped shape and each ceramic layer 2
It has an internal electrode (internal conductor) 3 provided between a and an external electrode 4. Further, it is preferable that the Ni plating film 5 and the Sn plating film 6 are laminated in this order on the external electrode 4.

【0052】セラミック素体2は、誘電体材料、例えば
BaTiO3 を主成分とする複数のセラミックグリーン
シートが互いに積層され焼成されてなる各セラミック層
2aを有している。
The ceramic body 2 has ceramic layers 2a formed by laminating and firing a plurality of ceramic green sheets containing a dielectric material, for example, BaTiO 3 as a main component.

【0053】内部電極3は、所定枚数のセラミックグリ
ーンシート上に形成された内部電極用導電性ペーストが
セラミックグリーンシートとともに同時に焼成されてな
り、それぞれの端縁がセラミック層2aのいずれかの端
面に露出するように形成されている。内部電極3は、N
iを主成分とした内部電極用導電性ペーストを用いたの
で、Niを主成分としている。
The internal electrodes 3 are formed by simultaneously firing the internal electrode conductive paste formed on a predetermined number of ceramic green sheets together with the ceramic green sheets, and each edge is formed on one end surface of the ceramic layer 2a. It is formed so as to be exposed. The internal electrode 3 is N
Since the conductive paste for internal electrodes containing i as the main component was used, Ni was the main component.

【0054】よって、上記各内部電極3、3は、セラミ
ック層2aの何れかの端面(辺部)に交互に露出すると
共に、セラミック層2a間に互いに離間して対面するこ
とにより、セラミック素体2内において、静電容量を形
成して、コンデンサとしての機能を発揮できるように配
置されていることになる。
Therefore, the internal electrodes 3 and 3 are alternately exposed on any one end surface (side portion) of the ceramic layer 2a, and face each other with a space between the ceramic layers 2a. In Fig. 2, it is arranged so that an electrostatic capacity is formed and a function as a capacitor can be exhibited.

【0055】外部電極4は、セラミック素体2の両端面
に、後述する導電性ペーストがそれぞれ塗布され乾燥さ
れて焼成されてなる一対の厚膜電極であり、セラミック
素体2の両端面にそれぞれ露出した各内部電極3に電気
的かつ機械的に接続されるように形成されている。
The external electrodes 4 are a pair of thick-film electrodes formed by applying conductive paste, which will be described later, to both end faces of the ceramic body 2, respectively, and then drying and firing the paste. It is formed so as to be electrically and mechanically connected to each exposed internal electrode 3.

【0056】このような外部電極4、4は、互いの間の
絶縁性を容易に確保できることから、互いに対向し、略
平行となるように配置されていることが望ましい。つま
り、外部電極4、4は、セラミック素体2における、互
いに略平行に対向する両端面上に形成されていることが
好ましい。この場合、内部電極3、3がそれぞれ露出し
た各面は、上記両端面となる。
It is desirable that the external electrodes 4 and 4 as described above are arranged so as to face each other and be substantially parallel to each other, since the insulation between them can be easily ensured. That is, it is preferable that the external electrodes 4 and 4 are formed on both end surfaces of the ceramic body 2 that face each other substantially in parallel. In this case, the exposed surfaces of the internal electrodes 3 and 3 are the both end surfaces.

【0057】なお、本発明の積層セラミック電子部品に
おけるセラミック素体2の形状、材質、内部電極3の形
成位置、枚数、めっき膜5、6の材質、層数等は、上述
した一つの実施形態である積層セラミックコンデンサに
特に限定されない。
The shape and material of the ceramic body 2, the formation position and the number of the internal electrodes 3, the material of the plating films 5 and 6, the number of layers, etc. in the monolithic ceramic electronic component of the present invention are the same as those in one embodiment described above. Is not particularly limited to the monolithic ceramic capacitor.

【0058】なお、本発明の積層セラミックコンデンサ
におけるセラミック素体2の材料は、上述の実施形態に
限定されることなく、例えばPbTiO3 、PbZrO
3 等その他の誘電体材料からなっていても構わない。ま
た、本発明の積層セラミックコンデンサにおける内部電
極の枚数は、上述の実施形態に限定されない。
The material of the ceramic body 2 in the monolithic ceramic capacitor of the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and may be, for example, PbTiO 3 or PbZrO.
It may be made of other dielectric material such as 3 . Further, the number of internal electrodes in the monolithic ceramic capacitor of the present invention is not limited to that in the above embodiment.

【0059】なお、本発明の特徴である、水もしくは有
機溶剤中で、0.1mm以上1.5mm以下のクリアラ
ンス14を有し、周速4m/s以上の速度で回転するロ
ータ12によるせん断力による解砕工程中に、分散助
剤、例えば飽和脂肪酸、不飽和脂肪酸、ノニオン性高分
子分散剤、カチオン性高分子分散剤、アニオン性高分子
分散剤、等を加えてより分散、解砕効果を高めること
は、これまでの様々の公開特許文献等により容易に推測
が可能である。
The shearing force by the rotor 12 having a clearance 14 of 0.1 mm or more and 1.5 mm or less and rotating at a peripheral speed of 4 m / s or more in water or an organic solvent, which is a feature of the present invention. During the crushing step by adding a dispersion aid, for example, saturated fatty acid, unsaturated fatty acid, nonionic polymer dispersant, cationic polymer dispersant, anionic polymer dispersant, etc., to further disperse and crush It can be easily inferred from the various published patent documents and the like up to now.

【0060】また、液相法による粉末製造方法に限ら
ず、洗浄工程工程を備える気相法による粉末製造法に適
用が可能であるし、さらには、金属粉末の合成時のみな
らず、焼結速度や分散性の制御のための無機物、有機物
のコート工法における洗浄工程においても適用が可能で
ある。
Further, the present invention can be applied not only to the powder manufacturing method by the liquid phase method but also to the powder manufacturing method by the gas phase method including the washing step, and further, not only at the time of synthesizing the metal powder, but also at the sintering. It can also be applied in a cleaning step in a coating method of an inorganic material or an organic material for controlling speed and dispersibility.

【0061】[0061]

【実施例】(実施例1)以下に、本発明における導電性
ペースト用金属粉末の製造方法に関する好適な実施例1
について説明する。
Example 1 Hereinafter, a preferred example 1 relating to a method for producing a metal powder for a conductive paste according to the present invention.
Will be described.

【0062】まず、公知のニッケル粉末の製造方法であ
る特開平5−51610号公報に記載の方法により、
0.5μmのニッケル粉末を、特開2000−8712
1号公報に記載の方法により、0.1μmのニッケル粉
末を作製した。それぞれの粉末を反応原液より分離し、
表1に示す条件により洗浄処理を施した。
First, according to the method described in JP-A-5-51610, which is a known method for producing nickel powder,
Nickel powder of 0.5 μm was prepared according to the method described in JP-A-2000-8712.
According to the method described in Japanese Patent Laid-Open No. 1, a 0.1 μm nickel powder was produced. Separate each powder from the reaction stock solution,
The cleaning process was performed under the conditions shown in Table 1.

【0063】[0063]

【表1】 [Table 1]

【0064】上記表1における、*は本発明の範囲外を
示す。
In Table 1 above, * indicates outside the scope of the present invention.

【0065】何れの洗浄方法においても、予備評価にお
いて、洗浄回数が4回を超えた時点で洗浄液のpHが8
台に収束したため、洗浄回数は4回とした。ちなみに洗
浄一回目の洗浄液のpHは、いずれの粒径においても1
3を示した。また、洗浄液は水を、容器は10リットル
ビーカーを用い、液量は5リットル、金属粉末量は20
0gとした。
In any of the cleaning methods, in the preliminary evaluation, the pH of the cleaning liquid was 8 when the number of times of cleaning exceeded 4 times.
Since it converged on the table, the number of washings was set to 4 times. By the way, the pH of the first washing liquid is 1 for all particle sizes.
3 was shown. The cleaning liquid is water, the container is a 10 liter beaker, the liquid amount is 5 liters, and the metal powder amount is 20 liters.
It was set to 0 g.

【0066】なお、比較用の各試料1、7、各試料6、
12においては、直径50mmの3枚羽のプロペラによ
り、回転数200rpmにより10分間の洗浄を加え、
10分の静沈の後、上澄み液を交換する方法で洗浄を行
った。
Samples 1 and 7 for comparison, samples 6 for comparison,
In No. 12, washing with a three-blade propeller with a diameter of 50 mm for 10 minutes at a rotation speed of 200 rpm was added,
After 10 minutes of settling, washing was performed by a method of exchanging the supernatant.

【0067】各試料2、3、4、5、8、9、10、1
1においては、特殊機化工業株式会社製のT.Kホモミ
クサーMARKII型(図1の相当品)を用いて、クリア
ランス(間隙)14を、0.5mmに調整し、表1に示
す周速により、洗浄、解砕処理を施した。
Samples 2, 3, 4, 5, 8, 9, 10, 1
1, T.K. manufactured by Tokushu Kika Kogyo Co., Ltd. The clearance (gap) 14 was adjusted to 0.5 mm using a K homomixer MARK II type (corresponding product in FIG. 1), and cleaning and crushing treatments were performed at the peripheral speed shown in Table 1.

【0068】各試料6、12においては、前述のように
プロペラによる洗浄を加えたのち、T.Kホモミクサー
MARKII型を用いてクリアランス14を0.5mmに
調整し、同じく表1に示す周速により解砕処理を施し
た。なお、その際の解砕処理回数は2回とした。
In each of Samples 6 and 12, after washing with a propeller was added as described above, T. The clearance 14 was adjusted to 0.5 mm using a K homomixer MARKII type, and the crushing treatment was also performed at the peripheral speed shown in Table 1. In addition, the number of times of the crushing process at that time was made into 2 times.

【0069】各試料2、3、4、5、各試料8、9、1
0、11において、洗浄液のpHが10を下回った時点
で、静沈による金属粉末の分離回収が困難となったた
め、0.5μmの金属粉末については100Gの重力加
速度による遠心分離を、0.1μmの金属粉末について
は1000Gの重力加速度による遠心分離を3分間行
い、洗浄液からの金属粉末の分離を行った。
Samples 2, 3, 4, 5 and Samples 8, 9, 1
At 0 and 11, when the pH of the cleaning solution fell below 10, it was difficult to separate and collect the metal powder by settling. Therefore, for 0.5 μm metal powder, centrifugation by 100 G gravity acceleration was performed at 0.1 μm. With respect to the metal powder of (3), centrifugal separation was performed for 3 minutes at a gravitational acceleration of 1000 G to separate the metal powder from the cleaning liquid.

【0070】なお、0.5μmの金属粉末については1
00Gの重力加速度による遠心分離を行わない場合、金
属粉末の沈降分離に最長5時間を要した。長時間の沈降
放置が可能な静沈タンク等を備えた粉末製造製造設備に
おいては、遠心分離を行わない条件での生産も可能であ
ると思われるが、今回は、実験スケールでの確認試験の
ため、各試料2−6、8−12のすべての試料において
遠心分離を実施した。
It should be noted that 1 for 0.5 μm metal powder.
When centrifugation was not performed by the gravitational acceleration of 00G, it took a maximum of 5 hours to settle and separate the metal powder. In a powder manufacturing and manufacturing facility equipped with a settling tank that can be left for a long time to settle, it is possible that production can be performed without centrifugation. Therefore, centrifugation was performed on all the samples 2-6 and 8-12.

【0071】0.1μmの金属粉末については1000
Gの重力加速度による遠心分離を行わない場合、特に周
速が15m/s以上と速い条件では一昼夜洗浄液を放置
しても金属粉末が完全に沈降することはなかった。
1000 for 0.1 μm metal powder
In the case where the centrifugal separation due to the gravitational acceleration of G was not performed, the metal powder was not completely settled even when the cleaning liquid was left standing overnight for a fast peripheral speed of 15 m / s or more.

【0072】上述の方法により洗浄した、未乾燥のニッ
ケル粉末を、5リットルビーカー中に投入しエタノール
3リットルを加えた。比較用の各試料1、7について
は、直径50mmの3枚羽のプロペラによって、回転数
200rpmにより10分間の撹拌を加え、続いて10
分の静沈の後、上澄み液を交換する方法で、エタノール
への置換を行った。各試料2−6、8−12について
は、T.KホモミクサーMARKII型を用いてエタノー
ル溶液に置換した。エタノール溶液による置換はいずれ
も3回行い、各試料2−6、8−12については、その
都度、遠心分離による粉末分離を行った。
The undried nickel powder washed by the above method was put into a 5 liter beaker and 3 liters of ethanol was added. For each of Samples 1 and 7 for comparison, stirring was performed by a three-bladed propeller having a diameter of 50 mm at a rotation speed of 200 rpm for 10 minutes, and then 10
After stationary precipitation for minutes, replacement with ethanol was performed by a method of exchanging the supernatant. For each of the samples 2-6 and 8-12, T. K homomixer MARK type II was used to replace the ethanol solution. The replacement with the ethanol solution was performed three times, and the samples 2-6 and 8-12 were subjected to powder separation by centrifugation each time.

【0073】次に、エタノール中からニッケル粉末を回
収し、100℃のオーブン中に3時間放置してニッケル
粉末を乾燥させた。これらニッケル粉末50重量部に対
して、分散剤としてステアリン酸0.5重量部、エチル
セルロース系バインダ10重量部をテルピネオール90
重量部に溶解して作製した有機ビヒクル49.5重量部
を加えて、3本ロールミルにより、全て同一条件で分散
混合処理を行うことによって、ニッケル粉末を含有する
導電性ペーストを調製した。なお、3本ロールミルの条
件は、ロール間隙を約15μmとし、ロール回数は2回
とした。
Next, the nickel powder was recovered from ethanol and left in an oven at 100 ° C. for 3 hours to dry the nickel powder. To 50 parts by weight of these nickel powders, 0.5 part by weight of stearic acid and 10 parts by weight of an ethylcellulose-based binder as a dispersant were added to terpineol 90.
A conductive paste containing nickel powder was prepared by adding 49.5 parts by weight of an organic vehicle prepared by dissolving it in parts by weight and performing a dispersion mixing process with a three-roll mill under the same conditions. The conditions for the three-roll mill were that the roll gap was about 15 μm and the number of rolls was two.

【0074】作製した導電性ペースト中の粗粒を、最大
測定粗粒径25μmのグランドメータを用いて計測し
た。結果を表1に併記する。なお、グランドメータでの
測定では5μm以下の粗粒の正確な測定は困難であった
ため、5μm以下の粗粒値を示した試料については全て
5μm以下と表示している。
The coarse particles in the produced conductive paste were measured using a ground meter having a maximum measured coarse particle diameter of 25 μm. The results are also shown in Table 1. Note that it was difficult to accurately measure coarse particles of 5 μm or less by the measurement with a ground meter, so that all samples showing a coarse particle value of 5 μm or less are indicated as 5 μm or less.

【0075】0.1mm以上1.5mm以下のクリアラ
ンス14を有し、周速4m/s以上の速度で回転するロ
ータ12によるせん断力に基づく、洗浄、解砕処理が行
われていない試料1、7については、用いられたニッケ
ル粉末の粒径に関わらず、導電性ペースト中の粗粒の大
きさが20μm近傍に達した。特に、平均粒径0.1μ
mのニッケル粉末を用いた試料7については、25μm
を上回る大きさの粗粒が含まれていた。
Sample 1, which has a clearance 14 of 0.1 mm or more and 1.5 mm or less and is not washed or disintegrated based on the shearing force of the rotor 12 rotating at a peripheral speed of 4 m / s or more, Regarding No. 7, the size of coarse particles in the conductive paste reached around 20 μm regardless of the particle size of the nickel powder used. In particular, the average particle size is 0.1μ
25 μm for Sample 7 using m nickel powder
It contained coarse particles that were larger than

【0076】これは、粒径の細かなニッケル粉末ほど凝
集力が増し、解砕が困難となることを現している。いず
れにせよ試料1、7は金属粉末の凝集が強く、今回の三
本ロールミルにおける分散条件においては凝集が解砕さ
れず、それら凝集物が導電性ペースト中に粗粒として現
れる結果となった。
This means that the finer the particle size of the nickel powder, the greater the cohesive force and the more difficult the crushing becomes. In any case, in Samples 1 and 7, the aggregation of the metal powder was strong, and the aggregation was not crushed under the dispersion conditions in the present three-roll mill, and these aggregates appeared as coarse particles in the conductive paste.

【0077】20μm程度の大きさの粗粒を含む導電性
ペーストが、セラミック層厚み5μm以下である積層セ
ラミック電子部品の内部電極として用いられた場合、そ
の組粒が絶縁体であるセラミック層を貫きショート不良
の原因となることは容易に想像できる。
When a conductive paste containing coarse particles with a size of about 20 μm is used as an internal electrode of a laminated ceramic electronic component having a ceramic layer thickness of 5 μm or less, the granules penetrate the ceramic layer as an insulator. It can be easily imagined that it causes a short circuit defect.

【0078】T.KホモミクサーMARKII型によりせ
ん断を加えた、各試料2−5、8−11については、同
一粉末粒径の比較用の各試料1、7とそれぞれと比較す
ると、粗粒の大きさが小さくなっていることが分かる。
T. Regarding Samples 2-5 and 8-11 which were sheared by K homomixer MARK II type, the size of coarse particles was smaller than that of Comparative Samples 1 and 7 having the same powder particle size. I know that

【0079】周速が2m/sの、各試料2、8について
は、それぞれ15μm、20μmの粗粒が存在している
が、周速が4m/sの、各試料3、9は、それぞれ7μ
m、11μmとほぼ半減しており、周速を4m/s以上
とすることで凝集物の解砕効果が上がっていることが分
かる。また周速が15m/s以上では全ての、各試料に
おいて5μm、もしくはそれを下回る粗粒径まで金属粉
末の解砕が進んでいた。これにより、周速を4m/s以
上とすることで、本発明が目的とする効果が発揮される
と判断できる。
Samples 2 and 8 having a peripheral speed of 2 m / s have coarse particles of 15 μm and 20 μm, respectively, but samples 3 and 9 having a peripheral speed of 4 m / s each have 7 μm.
m and 11 μm, which are almost halved, and it can be seen that the crushing effect of aggregates is improved by setting the peripheral speed to 4 m / s or more. When the peripheral speed was 15 m / s or more, the crushing of the metal powder proceeded to a coarse particle size of 5 μm or less in all the samples. From this, it can be judged that the intended effect of the present invention is exhibited by setting the peripheral speed to 4 m / s or more.

【0080】また、いったんプロペラにより洗浄処理を
行った後、T.KホモミクサーMARKII型によりせん
断力を加えた、各試料6、12についても、5μm、も
しくはそれを下回る粗粒径まで金属粉末の解砕が進んで
おり、洗浄済みのニッケル粉末に解砕処理を施しても同
様な効果を期待できることが分かる。
Further, after the cleaning treatment is once performed with a propeller, T. For each of Samples 6 and 12 to which shearing force was applied by K homomixer MARKII type, the metal powder was crushed to a coarse particle size of 5 μm or less, and the washed nickel powder was crushed. However, it can be seen that the same effect can be expected.

【0081】(実施例2)以下に、本発明における導電
性ペースト、及びそれを用いた積層セラミックコンデン
サに関する好適な実施例2について説明する。
(Embodiment 2) A preferred embodiment 2 of the conductive paste and the laminated ceramic capacitor using the same according to the present invention will be described below.

【0082】上述実施例1の、試料11に示す条件に
て、乾燥済ニッケル粉末11−1と、エタノールを溶媒
とした未乾燥のスラリー状のニッケル粉末11−2とを
準備した。
Dried nickel powder 11-1 and undried slurry nickel powder 11-2 using ethanol as a solvent were prepared under the conditions shown in Sample 11 of Example 1 above.

【0083】次に、上記それぞれのニッケル粉末を用い
て、特開2001−67951号公報に記載の方法に基
づき、導電性ペーストを製造した。すなわち、ニッケル
粉末200gに対し、分散剤としてステアリン酸2g、
希釈溶剤としてエタノール400mlを混合して第1ミ
ルベースを得て、これを玉石(2mm径)とともに容積
1リットルの樹脂ポット中に調合した。
Next, a conductive paste was produced by using each of the above nickel powders according to the method described in JP 2001-67951 A. That is, to 200 g of nickel powder, 2 g of stearic acid as a dispersant,
400 ml of ethanol as a diluting solvent was mixed to obtain a first mill base, which was compounded with a cobblestone (2 mm diameter) in a resin pot having a volume of 1 liter.

【0084】なお、ニッケル粉末11−2の場合は、ス
ラリー中に含まれるニッケル粉末重量比率によりエタノ
ールスラリーとして秤量、添加した。希釈溶剤のエタノ
ールについても、ニッケル粉末を含むエタノールスラリ
ー中のエタノールを合算して400mlとなるように調
合した。
In the case of the nickel powder 11-2, it was weighed and added as an ethanol slurry according to the weight ratio of nickel powder contained in the slurry. Regarding ethanol as a diluting solvent, the ethanol in the ethanol slurry containing nickel powder was added to prepare 400 ml.

【0085】この調合済みの樹脂ポットを一定回転速度
で12時間回転させてポットミル分散処理を行い、第1
スラリーを得た。
The prepared resin pot is rotated at a constant rotation speed for 12 hours to carry out a pot mill dispersion treatment.
A slurry was obtained.

【0086】次に、上記樹脂ポット中に、実施例1と同
組成の有機ビヒクル198gを添加し、さらに一定回転
速度で12時間回転させてポットミル分散処理を行い、
第2スラリーを得た。次に、第2スラリーを減圧下で7
0℃に加熱して希釈溶剤を除去し、減圧留去して導電性
ペーストを得た。得られた導電性ペースト中の粗粒値
を、最大測定粗粒径25μmのグランドメータを用いて
計測したが、いずれも5μm以下と良好な値を示した。
Next, 198 g of an organic vehicle having the same composition as in Example 1 was added to the above resin pot, and the mixture was further rotated at a constant rotation speed for 12 hours to carry out a pot mill dispersion treatment.
A second slurry was obtained. Next, the second slurry is evacuated to 7
The diluted solvent was removed by heating to 0 ° C., and the solvent was distilled off under reduced pressure to obtain a conductive paste. The coarse particle value in the obtained conductive paste was measured using a ground meter having a maximum measured coarse particle diameter of 25 μm, and all showed good values of 5 μm or less.

【0087】同様にして、上記実施例1に記載の試料7
に示す条件にて、比較例としてのニッケル粉末7−1を
準備し、同様にして導電性ペーストを得た。
Similarly, sample 7 described in the above Example 1 was used.
Under the conditions shown in, a nickel powder 7-1 as a comparative example was prepared and a conductive paste was obtained in the same manner.

【0088】次に、これらの導電性ペーストを、BaT
iO3 を主成分とする、耐還元性のセラミックグリーン
シートに印刷、積層、焼成して、ニッケルを主成分とす
る内部電極を形成した積層セラミック焼結体を得た。そ
の後、外部電極用導電性ペーストを塗布、焼き付けして
積層セラミックコンデンサとした。
Next, these conductive pastes were mixed with BaT.
A reduction-resistant ceramic green sheet containing iO 3 as a main component was printed, laminated and fired to obtain a laminated ceramic sintered body having an internal electrode containing nickel as a main component. Then, a conductive paste for external electrodes was applied and baked to obtain a laminated ceramic capacitor.

【0089】試料数は各100個であり、焼成後のセラ
ミック層の厚みは3μmで、内部電極層は100層であ
った。得られた積層セラミックコンデンサの絶縁抵抗
を、IRメーターにより測定し、ショート不良率を算出
した。結果を表2に示す。
The number of samples was 100 each, the thickness of the ceramic layer after firing was 3 μm, and the number of internal electrode layers was 100. The insulation resistance of the obtained monolithic ceramic capacitor was measured by an IR meter to calculate the short circuit defect rate. The results are shown in Table 2.

【0090】[0090]

【表2】 [Table 2]

【0091】上記表2における*印は、本発明の範囲外
を示す。
The mark * in Table 2 above is outside the scope of the present invention.

【0092】0.1mm以上1.5mm以下のクリアラ
ンス14を有し、周速4m/s以上の速度で回転するロ
ータ12によるせん断力により、洗浄、解砕処理が行わ
れていない試料7−1のショート不良率は100%に達
した。比較用の試料7−1に用いた導電性ペーストに
は、25μmを上回る大きさの粗粒が含まれていること
を考慮すると、容易に推測がつく結果である。
Sample 7-1 having a clearance 14 of 0.1 mm or more and 1.5 mm or less and not washed or disintegrated by the shearing force of the rotor 12 rotating at a peripheral speed of 4 m / s or more. The short-circuit failure rate reached 100%. This is an easily guessable result, considering that the conductive paste used for the sample 7-1 for comparison contains coarse particles having a size of more than 25 μm.

【0093】試料7−1と同粒径のニッケル粉末を、周
速20m/sで解砕処理したニッケル粉末を乾燥させた
後、ペースト化した試料11−1では、同じ設計の積層
セラミックコンデンサのショート不良率が41%と半分
以下に改善された。
Sample 11-1 prepared by crushing nickel powder having the same particle size as sample 7-1 at a peripheral speed of 20 m / s and then drying it into paste 11-1 was the same as the multilayer ceramic capacitor of the same design. The short-circuit defect rate was 41%, which was improved to less than half.

【0094】さらに、周速20m/sで解砕処理したニ
ッケル粉末を、乾燥させずにペースト化した試料11−
2においては、ショート不良率が12%と、大幅に改善
されていることが分かる。これは、金属粉末を乾燥させ
ることなくペースト化したため、乾燥時の塩架橋による
凝集の発生が抑制され、ペースト中でより分散され易い
ニッケル粉末となったためである。
Further, the nickel powder crushed at a peripheral speed of 20 m / s was pasted into a sample 11-
In No. 2, it can be seen that the short-circuit defect rate is 12%, which is a significant improvement. This is because the metal powder was made into a paste without being dried, so that the occurrence of agglomeration due to salt crosslinking during drying was suppressed, and the nickel powder was more easily dispersed in the paste.

【0095】なお、試料11−1、11−2の本発明に
係る導電性ペーストの焼結体を内部電極として用いた積
層セラミックコンデンサにおいても、それぞれ41%、
12%と二桁のショート不良が発生しているが、これは
あくまで今回の試作製造条件による結果であって、本発
明の内容に、さらに他の公知の積層セラミックコンデン
サに関する歩留まり改善方法を加えれば、これらショー
ト不良率がより低減されることは言うまでもない。
In the laminated ceramic capacitors using the sintered bodies of the conductive pastes of the present invention of Samples 11-1 and 11-2 as internal electrodes, 41% and 41%, respectively.
Although a short-circuit defect of 12% and a double digit occurs, this is only a result of the trial manufacturing conditions of this time, and if a yield improving method for another known monolithic ceramic capacitor is added to the contents of the present invention. Needless to say, the short-circuit defect rate is further reduced.

【0096】また、今回の実施例においては、金属粉末
としてニッケル粉末を用いた例を示したが、銅粉末等の
他の金属粉末を用いても同様な効果が期待できる。
Further, in the present embodiment, an example in which nickel powder is used as the metal powder has been shown, but the same effect can be expected by using other metal powder such as copper powder.

【0097】さらには、本実施例における周速は20m
/sを上限としているが、これは用いた設備の実用最高
周速が20m/sであるからであって、20m/sを超
える周速での、同様な効果を否定するものではない。
Further, the peripheral speed in this embodiment is 20 m.
Although / s is set as the upper limit, this is because the practical maximum peripheral speed of the equipment used is 20 m / s, and the same effect is not denied at peripheral speeds exceeding 20 m / s.

【0098】[0098]

【発明の効果】本発明に係る導電性ペースト用の金属粉
末の製造方法、及び導電性ペーストを用いれば、金属粉
末の洗浄から乾燥に至る工程までに発生する凝集を防止
もしくは軽減でき、導電性ペースト中の未解砕となる凝
集粒子の存在を無くするもしくは低減できることによ
り、導電性ペースト中の粗粒の発生が抑制され、積層セ
ラミックコンデンサに代表される積層セラミック電子部
品の歩留まりを大幅に向上させることが可能となるとい
う効果を奏する。
EFFECTS OF THE INVENTION By using the method for producing a metal powder for a conductive paste and the conductive paste according to the present invention, it is possible to prevent or reduce agglomeration that occurs during the steps from washing to drying of the metal powder. By eliminating or reducing the presence of agglomerated particles that have not been crushed in the paste, the generation of coarse particles in the conductive paste is suppressed, and the yield of multilayer ceramic electronic components typified by multilayer ceramic capacitors is greatly improved. There is an effect that it becomes possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の導電性ペースト用金属粉末の製造方法
に用いる分散機の一例を示す概略断面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a disperser used in the method for producing a metal powder for conductive paste of the present invention.

【図2】本発明の積層セラミックコンデンサの概略断面
図である。
FIG. 2 is a schematic sectional view of a monolithic ceramic capacitor of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 セラミック素体 2a セラミック層 3 内部電極 4 外部電極 5 Niめっき 6 Snめっき 11 ステータ 12 ロータ 13 スラリー 14 クリアランス(間隙) 2 Ceramic body 2a Ceramic layer 3 internal electrodes 4 external electrodes 5 Ni plating 6 Sn plating 11 Stator 12 rotor 13 slurry 14 Clearance

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4K018 BA02 BA04 BB04 BC08 BC13 BD04 5E001 AB03 AC09 5G301 DA10 DA42 DD01    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F-term (reference) 4K018 BA02 BA04 BB04 BC08 BC13                       BD04                 5E001 AB03 AC09                 5G301 DA10 DA42 DD01

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】導電性ペースト用の金属粉末に対する水も
しくは有機溶剤による洗浄工程を備えた導電性ペースト
用金属粉末の製造方法において、 洗浄中の金属粉末を含有するスラリーを、ステータと、
該ステータに対して0.1mm以上1.5mm以下の間
隙を有して周速4m/s以上の速度で回転するロータと
の間の上記間隙に通過させて、金属粉末を解砕する工程
を備えていることを特徴とする導電性ペースト用金属粉
末の製造方法。
1. A method of producing a metal powder for a conductive paste, comprising a step of washing the metal powder for a conductive paste with water or an organic solvent, wherein a slurry containing the metal powder being washed is used as a stator.
A step of crushing the metal powder by passing the stator through a gap having a gap of 0.1 mm or more and 1.5 mm or less and rotating with a rotor rotating at a peripheral speed of 4 m / s or more; A method for producing a metal powder for a conductive paste, comprising:
【請求項2】導電性ペースト用の金属粉末に対する水も
しくは有機溶剤による洗浄工程を備えた導電性ペースト
用金属粉末の製造方法において、 金属粉末の洗浄後に、該金属粉末を未乾燥の状態で、ス
ラリーとし、該スラリーを、ステータと、該ステータに
対して0.1mm以上、1.5mm以下の間隙を有して
周速4m/s以上の速度で回転するロータとの間の上記
間隙に通過させて、金属粉末を解砕する工程を備えてい
ることを特徴とする導電性ペースト用金属粉末の製造方
法。
2. A method for producing a metal powder for a conductive paste, comprising a step of washing the metal powder for a conductive paste with water or an organic solvent, wherein the metal powder is undried after washing the metal powder. Slurry, and the slurry is passed through the gap between the stator and a rotor that has a gap of 0.1 mm or more and 1.5 mm or less with respect to the stator and rotates at a peripheral speed of 4 m / s or more. The method for producing a metal powder for a conductive paste, comprising the step of crushing the metal powder.
【請求項3】解砕された金属粉末を有するスラリーか
ら、100G以上の重力加速度による遠心分離により、
金属粉末を分離する工程を備えることを特徴とする請求
項1又は2に記載の導電性ペースト用金属粉末の製造方
法。
3. A slurry containing crushed metal powder is centrifuged by gravity acceleration of 100 G or more,
The method for producing a metal powder for a conductive paste according to claim 1 or 2, further comprising a step of separating the metal powder.
【請求項4】金属粉末は、ニッケル及び銅のうちの少な
くとも1種からなることを特徴とする請求項1乃至3の
何れか1項に記載の導電性ペースト用金属粉末の製造方
法。
4. The method for producing a metal powder for conductive paste according to claim 1, wherein the metal powder is made of at least one of nickel and copper.
【請求項5】金属粉末は、平均粒径1.0μm以下であ
ることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載
の導電性ペースト用金属粉末の製造方法。
5. The method for producing a metal powder for a conductive paste according to claim 1, wherein the metal powder has an average particle size of 1.0 μm or less.
【請求項6】請求項1乃至5の何れか1項に記載の導電
性ペースト用金属粉末の製造方法によって得られたもの
であることを特徴とする導電性ペースト用金属粉末。
6. A metal powder for a conductive paste, which is obtained by the method for producing a metal powder for a conductive paste according to any one of claims 1 to 5.
【請求項7】有機ビヒクルと、請求項6に記載の導電性
ペースト用金属粉末とを含有することを特徴とする導電
性ペースト。
7. A conductive paste comprising an organic vehicle and the metal powder for a conductive paste according to claim 6.
【請求項8】複数のセラミック層と、セラミック層間に
形成された請求項7記載の導電性ペーストの焼結体とを
備えていることを特徴とする積層セラミック電子部品。
8. A laminated ceramic electronic component comprising a plurality of ceramic layers and a sintered body of the conductive paste according to claim 7, which is formed between the ceramic layers.
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Cited By (4)

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