JP2003247861A - Linear sensor - Google Patents

Linear sensor

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JP2003247861A
JP2003247861A JP2002051540A JP2002051540A JP2003247861A JP 2003247861 A JP2003247861 A JP 2003247861A JP 2002051540 A JP2002051540 A JP 2002051540A JP 2002051540 A JP2002051540 A JP 2002051540A JP 2003247861 A JP2003247861 A JP 2003247861A
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magnetic
rod
linear sensor
coil
output
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Takeshi Suganuma
毅 菅沼
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Tamagawa Seiki Co Ltd
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Tamagawa Seiki Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a resolver type linear sensor by fitting magnetic boards to the plane portions of a rod made of a nonmagnetic material, and using these magnetic boards and coils. <P>SOLUTION: In this linear sensor, the magnetic boards (31) are fitted to the plane portions (30) of the rod (1) made of a nonmagnetic material, and a linear displacement is detected by detecting a change in the degree of magnetic coupling caused by relative movement between the magnetic boards (31) and the coils (14, 15). <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、リニアセンサに関
し、特に、ロッドに設ける磁性部を予め形成された磁性
板として平面部に取付け、出力信号のレベルを向上させ
ると共に、量産を容易化するための新規な改良に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear sensor, and in particular, a magnetic portion provided on a rod is attached to a flat portion as a preformed magnetic plate to improve the level of an output signal and facilitate mass production. Regarding new improvements in.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、用いられていたこの種のリニアセ
ンサとしては、例えば、特公平5−38247号公報に
開示された構成があり、そのロッドの構造は図13に示
されている通りである。すなわち、図13において符号
1で示されるものは丸棒状をなす鉄系磁性材よりなるロ
ッドであり、このロッド1の周面1aには、厚さ約50
μm程度の銅メッキからなる磁性部2が溝3に設けら
れ、この磁性部2の表面に硬質クロムメッキ3が形成さ
れている。前述のロッド1の製造工程は、図14に示さ
れる通りであり、ロッド1の製造にはメッキ処理が必須
であった。
2. Description of the Related Art As a linear sensor of this type which has been conventionally used, for example, there is a structure disclosed in Japanese Patent Publication No. 5-38247, and the structure of the rod is as shown in FIG. is there. That is, the reference numeral 1 in FIG. 13 is a rod made of an iron-based magnetic material in the shape of a round bar, and the peripheral surface 1 a of the rod 1 has a thickness of about 50 mm.
A magnetic portion 2 made of copper plating of about μm is provided in the groove 3, and a hard chrome plating 3 is formed on the surface of the magnetic portion 2. The manufacturing process of the rod 1 described above is as shown in FIG. 14, and the plating process was indispensable for manufacturing the rod 1.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来のリニアセンサ
は、以上のように構成されていたため、次のような課題
が存在していた。すなわち、磁性材のロッドの外周に銅
メッキを施し、この銅メッキを必要とする磁性部として
残す以外は除去しなければならず、この銅メッキの部分
除去後に、残った銅メッキを保護するためにロッド全体
を硬質クロムによってメッキ処理する必要があり、メッ
キ処理の回数が複数となることによって、製造プロセス
が複雑となり、コストダウンも困難であった。また、前
述の従来例の場合、ロッドの露出した導電部分を用いた
渦電流による電流量の変化を出力コイルで出力する構成
であるため、その出力信号の信号レベルが低く、高感度
のリニアセンサを得ることが困難であった。
Since the conventional linear sensor is constructed as described above, the following problems exist. In other words, the outer circumference of the rod of magnetic material is plated with copper, and it must be removed except to leave this copper plating as the magnetic part that requires it. In addition, it is necessary to plate the entire rod with hard chrome, and since the number of times of plating is plural, the manufacturing process becomes complicated and it is difficult to reduce the cost. Further, in the case of the above-mentioned conventional example, since the change in the amount of current due to the eddy current using the exposed conductive portion of the rod is output by the output coil, the signal level of the output signal is low and a highly sensitive linear sensor Was difficult to obtain.

【0004】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、ロッドに設ける磁性部を予
め形成された磁性板として平面部に取付け、出力信号の
レベルを向上させると共に、量産を容易化するようにし
たリニアセンサを提供することを目的とする。
The present invention has been made to solve the above problems, and in particular, the magnetic portion provided on the rod is attached to the flat portion as a preformed magnetic plate to improve the level of the output signal. An object is to provide a linear sensor that facilitates mass production.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明によるリニアセン
サは、励磁コイルと出力コイルを有する筒状ケース内
に、所定の間隔で複数の磁性部を有するロッドを前記各
コイルに対して相対的に直線変位可能に配設し、前記ロ
ッドの直線変位を前記出力コイルから出力するようにし
たリニアセンサにおいて、前記ロッドは非磁性材よりな
ると共にその周面に平面部を複数個有し、前記平面部に
は、前記磁性部を構成するための予め形成された磁性板
が設けられている構成であり、また、前記平面部は、前
記ロッドの軸方向における同一位置の周面に少なくとも
2個以上設けられている構成であり、また、前記磁性板
は、同一の平面部に複数枚重ねて設けられている構成で
あり、また、前記各磁性板は、嫌気性接着剤で接着され
ている構成であり、また、前記磁性板は、前記平面部を
形成する切欠部に設けられた樹脂によって覆われている
構成であり、また、前記磁性板は溶接によって前記平面
部に固定されている構成であり、また、前記励磁コイル
は1相よりなり、前記出力コイルは2相よりなり、1相
励磁2相出力型の構成である。
According to the linear sensor of the present invention, a rod having a plurality of magnetic portions at a predetermined interval is provided in a cylindrical case having an exciting coil and an output coil relative to each coil. In a linear sensor arranged so as to be linearly displaceable so that the linear displacement of the rod is output from the output coil, the rod is made of a non-magnetic material and has a plurality of plane portions on its peripheral surface, The part is provided with a preformed magnetic plate for forming the magnetic part, and the planar part is at least two or more on the circumferential surface at the same position in the axial direction of the rod. The magnetic plates are provided on the same plane, and the magnetic plates are attached to each other with an anaerobic adhesive. And In addition, the magnetic plate is a structure that is covered with a resin provided in a cutout portion that forms the flat surface portion, and the magnetic plate is a structure that is fixed to the flat surface portion by welding, The excitation coil has one phase and the output coil has two phases, which is a one-phase excitation two-phase output type.

【0006】[0006]

【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明によるリ
ニアセンサの好適な実施の形態について説明する。尚、
従来例と同一又は同等部分には同一符号を用いて説明す
る。図1において符号1で示されるものは筒状ケース
(又は装置内の組込部分の場合もある)であり、この筒
状ケース10内には端板11を有する筒状の磁気シール
ド部材12が設けられている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of a linear sensor according to the present invention will be described below with reference to the drawings. still,
The same or equivalent portions as those of the conventional example will be described using the same reference numerals. A reference numeral 1 in FIG. 1 denotes a tubular case (or it may be an incorporated portion in the apparatus), and a tubular magnetic shield member 12 having an end plate 11 is provided in the tubular case 10. It is provided.

【0007】前記磁気シールド部材12内には、樹脂か
らなるボビン13に保持された励磁コイル14及び出力
コイル15が設けられ、図1に図示されているように、
1相励磁2相出力のリニアレゾルバからなるリニアセン
サが形成されるように構成されている。前記磁気シール
ド部材12は、各コイル14、15からの外部への磁束
漏れが発生しないように設けられている。
An exciting coil 14 and an output coil 15 held by a resin bobbin 13 are provided in the magnetic shield member 12, and as shown in FIG.
A linear sensor composed of a linear resolver with one-phase excitation and two-phase output is formed. The magnetic shield member 12 is provided so that magnetic flux leakage from the coils 14 and 15 to the outside does not occur.

【0008】前記筒状ケース10の各コイル14、15
の内側には、ステンレス等の非磁性材(弱磁性でも可)
で形成された長手棒部材からなるロッド1が各コイル1
4、15に対して相対的に直線変位可能に挿入配設され
ている。このロッド1の周面1aには、その接線方向に
沿って切欠き形成された切欠部からなる平坦な平面部3
0が形成され、この平面部30には予め形成して用意さ
れた磁性材からなり磁性部をなす板状の1枚の磁性板2
が接着等によって固定されている。
Each coil 14, 15 of the cylindrical case 10
Inside, the non-magnetic material such as stainless steel (weak magnetic is also acceptable)
Each coil 1 is a rod 1 formed of a long rod member formed by
It is inserted and arranged so as to be linearly displaceable relative to Nos. 4 and 15. On the peripheral surface 1a of the rod 1, a flat plane portion 3 having a notch formed along the tangential direction is formed.
0 is formed, and a flat plate-shaped magnetic plate 2 made of a magnetic material prepared in advance and prepared as a magnetic part is formed on the flat surface 30.
Are fixed by adhesion or the like.

【0009】前記励磁コイル14、ロッド1及び出力コ
イル15の電気磁気的関係は、図2で示される通りであ
り、周知の回転レゾルバと同様に、ロッド1の磁性板2
を介して磁気結合度が変わることにより、ロッド1の直
線変位に応じて、図3で示されるsin相及びcos相
の2相出力信号31が得られるように構成されている。
前記2相出力信号31は、周知の信号変換部であるR/
D部32を介してデジタル位置信号33に変換されて出
力される。
The electromagnetic relationship between the exciting coil 14, the rod 1 and the output coil 15 is as shown in FIG. 2, and the magnetic plate 2 of the rod 1 is the same as in the well-known rotary resolver.
By changing the degree of magnetic coupling via, the two-phase output signal 31 of the sin phase and the cos phase shown in FIG. 3 is obtained according to the linear displacement of the rod 1.
The two-phase output signal 31 is a well-known signal conversion unit R /
The digital position signal 33 is converted and output via the D section 32.

【0010】前記ロッド1の構成は、図1の構造に限る
ことなく、例えば、図4及び図5に示されるように、平
面部30に1枚だけではなく2枚(2枚以上も可)の磁
性板2を積層させ、この磁性板2の寸法は、軸方向の第
1幅Wはその平面部30の軸方向長さに一致させ、そ
の横断面方向の第2幅Wはロッド1の直径よりも小と
なるように設けられている。尚、この磁性板30の板厚
は、一例として、図6に示されるように、0.2〜0.
5mmが好適である。また、この磁性板30の枚数を増
加させることにより、磁路が広がると共に、磁気的な結
合度が向上し、2相出力信号31の電圧レベルを向上さ
せることができる。また、図4及び図5では、ロッド1
の外周1aに、180°対向する状態で平面部30を形
成して磁性板31を軸方向における同一位置の周面1a
に2ヶ所設けているが、この2ヶ所に限ることなく、例
えば、4ヶ所、6ヶ所、8ヶ所等とすることもでき、2
相出力信号31の電圧レベルの向上を得ることができ
る。
The structure of the rod 1 is not limited to the structure shown in FIG. 1. For example, as shown in FIGS. 4 and 5, not only one rod but two rods (two or more rods are possible) on the flat portion 30. The magnetic plates 2 are laminated, and the dimensions of the magnetic plates 2 are such that the first width W 1 in the axial direction matches the axial length of the flat portion 30, and the second width W 2 in the cross-sectional direction is the rod. It is provided to be smaller than the diameter of 1. The plate thickness of the magnetic plate 30 is, as an example, as shown in FIG.
5 mm is preferred. Further, by increasing the number of the magnetic plates 30, the magnetic path is widened, the degree of magnetic coupling is improved, and the voltage level of the two-phase output signal 31 can be improved. Further, in FIGS. 4 and 5, the rod 1
The outer peripheral surface 1a of the magnetic plate 31 is formed on the outer peripheral surface 1a of the magnetic disk 31 at the same position in the axial direction so as to face each other by 180 °.
Although it is provided in two locations, it is not limited to these two locations, and it is also possible to have four locations, six locations, eight locations, etc.
An improvement in the voltage level of the phase output signal 31 can be obtained.

【0011】また、前述の各磁性板31を2枚積層させ
る場合、図7で示されているように、ロッド1との接合
部分を周知の嫌気性接着剤40で接着すると、鉄系であ
るため効果的である。
Further, when two magnetic plates 31 are laminated, if the joint portion with the rod 1 is adhered with a well-known anaerobic adhesive 40 as shown in FIG. 7, it is iron-based. Therefore, it is effective.

【0012】また、前述の磁性板31のロッド1への固
定方法に限ることなく、例えば、図8及び図9で示され
るように、エポキシ樹脂等からなる樹脂50をポッティ
ング処理によって滴下させることにより、接着処理され
た各磁性板31を接着剤と樹脂の二重接着によって剥が
れを防止してロッド1に固定することができる。また、
外径の仕上がりをロッド1と同一とすることができ、か
つ、磁性の特性は低下することがなく、ロッド1が中空
状の場合には肉厚が薄いため、より効果的となる。
Further, the method of fixing the magnetic plate 31 to the rod 1 is not limited to the above-mentioned method. For example, as shown in FIGS. 8 and 9, a resin 50 made of epoxy resin or the like is dropped by a potting process. The magnetic plates 31 that have been subjected to the adhesion treatment can be fixed to the rod 1 while preventing the peeling due to the double adhesion of the adhesive and the resin. Also,
The outer diameter can be made the same as that of the rod 1, and the magnetic properties do not deteriorate. When the rod 1 is hollow, the wall thickness is thin, which is more effective.

【0013】また、図10及び図11で示されるよう
に、磁性板31を溶接60によって直接ロッド1に溶着
することにより、機械的に最も強固に固定することがで
きる。
Further, as shown in FIGS. 10 and 11, the magnetic plate 31 is directly welded to the rod 1 by welding 60, whereby the magnetic plate 31 can be mechanically most firmly fixed.

【0014】[0014]

【発明の効果】本発明によるリニアセンサは、以上のよ
うに構成されているため、次のような効果を得ることが
できる。すなわち、非磁性材のロッドの周面部の平坦な
平面部に磁性板を設けているため、従来の渦電流変化の
構成に比べると磁性板とコイルとの磁気結合度の変化に
よる出力変化(従来のレゾルバと同じ原理)で直線位置
変化を検出しているため、出力信号の電圧レベルが従来
よりも大でかつ、ロッドの製造が容易である。
Since the linear sensor according to the present invention is constructed as described above, the following effects can be obtained. That is, since the magnetic plate is provided on the flat plane part of the peripheral surface of the rod made of non-magnetic material, the output change due to the change in the degree of magnetic coupling between the magnetic plate and the coil (conventional) compared to the conventional eddy current change configuration. Since the linear position change is detected by the same principle as the resolver of (1), the voltage level of the output signal is higher than before and the rod can be easily manufactured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明によるリニアセンサを示す要部の断面図
である。
FIG. 1 is a sectional view of an essential part showing a linear sensor according to the present invention.

【図2】図1のリニアセンサの原理図である。FIG. 2 is a principle diagram of the linear sensor of FIG.

【図3】図2の出力コイルの出力波形図である。FIG. 3 is an output waveform diagram of the output coil of FIG.

【図4】図1のリニアセンサの全体構成図である。FIG. 4 is an overall configuration diagram of the linear sensor of FIG.

【図5】図1のロッドの断面図である。5 is a cross-sectional view of the rod of FIG.

【図6】図5のA−A断面図である。6 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.

【図7】図5の磁性板の説明図である。FIG. 7 is an explanatory view of the magnetic plate of FIG.

【図8】図5の要部の拡大図である。FIG. 8 is an enlarged view of a main part of FIG.

【図9】図8の他の形態を示す断面図である。9 is a cross-sectional view showing another form of FIG.

【図10】図9の縦断面図である。10 is a vertical cross-sectional view of FIG.

【図11】図8の他の形態を示す断面図である。11 is a cross-sectional view showing another form of FIG.

【図12】図11の縦断面図である。12 is a vertical cross-sectional view of FIG.

【図13】従来のロッドを示す一部断面付き構成図であ
る。
FIG. 13 is a structural view with a partial cross section showing a conventional rod.

【図14】図13のロッドの製造工程図である。FIG. 14 is a manufacturing process diagram of the rod of FIG. 13;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ロッド 10 ケース 14 励磁コイル 15 出力コイル 30 平面部 31 磁性板(磁性部) 50 平面部(切欠部) 1 rod 10 cases 14 Excitation coil 15 Output coil 30 Plane 31 Magnetic plate (magnetic part) 50 Flat part (notch part)

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 励磁コイル(14)と出力コイル(15)を有す
る筒状ケース(10)内に、所定の間隔で複数の磁性部を有
するロッド(1)を前記各コイル(14,15)に対して相対的に
直線変位可能に配設し、前記ロッド(1)の直線変位を前
記出力コイル(15)から出力するようにしたリニアセンサ
において、 前記ロッド(1)は非磁性材よりなると共にその周面に平
面部(30)を複数個有し 、前記平面部(30)には、前記磁性部を構成するための予
め形成された磁性板(31)が設けられていることを特徴と
するリニアセンサ。
1. A rod (1) having a plurality of magnetic parts at predetermined intervals is provided in a cylindrical case (10) having an exciting coil (14) and an output coil (15), and each coil (14, 15) is provided with the rod (1). In the linear sensor which is arranged so as to be linearly displaceable relative to each other, and the linear displacement of the rod (1) is output from the output coil (15), the rod (1) is made of a non-magnetic material. In addition, it has a plurality of flat portions (30) on its peripheral surface, and the flat portion (30) is provided with a preformed magnetic plate (31) for constituting the magnetic portion. And a linear sensor.
【請求項2】 前記平面部(30)は、前記ロッド(1)の軸
方向における同一位置の周面に少なくとも2個以上設け
られていることを特徴とする請求項1記載のリニアセン
サ。
2. The linear sensor according to claim 1, wherein at least two flat portions (30) are provided on the circumferential surface at the same position in the axial direction of the rod (1).
【請求項3】 前記磁性板(31)は、同一の平面部(30)に
複数枚重ねて設けられていることを特徴とする請求項1
又は2記載のリニアセンサ。
3. The magnetic plate (31) is provided in a plurality of layers on the same flat surface portion (30).
Alternatively, the linear sensor described in 2.
【請求項4】 前記各磁性板(31)は、嫌気性接着剤で接
着されていることを特徴とする請求項3記載のリニアセ
ンサ。
4. The linear sensor according to claim 3, wherein each of the magnetic plates (31) is adhered with an anaerobic adhesive.
【請求項5】 前記磁性板(31)は、前記平面部(30)を形
成する切欠部に設けられた樹脂(50)によって覆われてい
ることを特徴とする請求項1ないし4の何れかに記載の
リニアセンサ。
5. The magnetic plate (31) is covered with a resin (50) provided in a cutout portion forming the flat surface portion (30), according to any one of claims 1 to 4. Linear sensor described in.
【請求項6】 前記磁性板(31)は溶接によって前記平面
部(30)に固定されていることを特徴とする請求項1ない
し3の何れかに記載のリニアセンサ。
6. The linear sensor according to claim 1, wherein the magnetic plate (31) is fixed to the flat portion (30) by welding.
【請求項7】 前記励磁コイル(14)は1相よりなり、前
記出力コイル(15)は2相よりなり、1相励磁2相出力型
を構成することを特徴とする請求項1ないし6の何れか
に記載のリニアセンサ。
7. The excitation coil (14) is of one phase and the output coil (15) is of two phases to form a one-phase excitation two-phase output type. The linear sensor according to any of the above.
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