JP2003240788A - Apparatus and method for detection of number-of- rotations per unit time of turbodevice - Google Patents

Apparatus and method for detection of number-of- rotations per unit time of turbodevice

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JP2003240788A
JP2003240788A JP2002037527A JP2002037527A JP2003240788A JP 2003240788 A JP2003240788 A JP 2003240788A JP 2002037527 A JP2002037527 A JP 2002037527A JP 2002037527 A JP2002037527 A JP 2002037527A JP 2003240788 A JP2003240788 A JP 2003240788A
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rotor
signal
frequency
detecting
rotation speed
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Toru Mizuta
徹 水田
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus for the number-of-rotations per unit time (r.p.m., hereinafter) detection which can be used irrespective of dimensions of a turbodevice and in which the readjustment of a rotation balance of a rotor is not required, and to provide an r.p.m. detection method. <P>SOLUTION: The r.p.m. detection apparatus for the turbodevice is provided so as to be provided with the rotor which is turned around a shaft; a pressure detection means which is provided at a case used to house the rotor, and which outputs a signal by responding to a pressure change due to the passage of a turbine blade of the rotor at the turbodevice; and a measuring means which frequency-analyzes the signal from the pressure detection means so as to measure a fundamental frequency on the basis of a frequency component of the signal. Alternatively, the provided r.p.m. detection apparatus uses an index means which is executed to the rotor and which corresponds to a rotational phase of the rotor without using the turbine blade and the pressure detection means, and a detection means which outputs a signal by responding to the index means. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明が属する技術分野】本発明は様々な装置に利用可
能な回転数検出装置および方法に関し、特にターボ装置
の回転数検出装置および方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rotation speed detecting device and method applicable to various devices, and more particularly to a rotation speed detecting device and method for a turbo device.

【0002】[0002]

【従来の技術】ターボ装置の回転数検出方法には、図5
に示すように、羽根車201の外周側に設けられたケー
シング202に距離を検知するセンサ203を設置し、
羽根の通過周波数を検出する方法がある。この方法を用
いる場合、羽根の翼厚が薄すぎるとセンサ203が羽根
201aを検知できないことや、羽根枚数の多い羽根車
や高回転になるとセンサ203の周波数応答能力以上と
なり、主として小径のターボ装置には適用できない場合
が多い。
2. Description of the Related Art FIG.
As shown in, the sensor 203 for detecting the distance is installed in the casing 202 provided on the outer peripheral side of the impeller 201,
There is a method of detecting the passing frequency of the blade. When this method is used, if the blade thickness of the blade is too thin, the sensor 203 cannot detect the blade 201a, and if the number of blades is high or the rotation speed is high, the frequency response capability of the sensor 203 is exceeded, and mainly a small-diameter turbo device. Often not applicable to.

【0003】別の方法として、ケーシング202の外側
に設けられた箱207の内部にコイルを配し、そこに電
流を流して磁場を発生させておき、208のナットを磁
化させておいて回転させる方法がある。この方法によれ
ば、コイルの電流により発生した磁場をナットの磁場が
横切ることで、コイルに誘導パルスが発生する。このパ
ルスは回転周波数に同期しているので、回転周波数を検
出することができる。しかしながらこの方法では磁界が
弱いため、大径の羽根車には適用できない場合が多い。
As another method, a coil is placed inside a box 207 provided outside the casing 202, a current is passed through the coil to generate a magnetic field, and a nut 208 is magnetized and rotated. There is a way. According to this method, an induction pulse is generated in the coil by the magnetic field of the nut crossing the magnetic field generated by the current of the coil. Since this pulse is synchronized with the rotation frequency, the rotation frequency can be detected. However, this method cannot be applied to a large-diameter impeller in many cases because the magnetic field is weak.

【0004】さらに別の方法として、回転軸204に段
差205を設け、その外周側に設置された距離を検知す
るギャップセンサ206を用いて段差の通過周波数を検
出する方法がある。この方法では回転軸そのものに加工
が必要となる。また回転バランスを精密に確保する回転
バランスの再調整の追加工程も必要となる。特に小径の
ターボ装置は、高回転数で使用する場合が多いため、回
転バランスを精密に調整する必要があり、加工コストが
問題となっている。また、小径軸のターボ装置では、強
度的観点よりこういった段差加工が難しいという難点も
ある。
As another method, there is a method in which a step 205 is provided on the rotary shaft 204 and a passing frequency of the step is detected by using a gap sensor 206 for detecting a distance installed on the outer peripheral side thereof. This method requires machining on the rotary shaft itself. In addition, an additional process of re-adjusting the rotation balance to precisely secure the rotation balance is required. In particular, a small-diameter turbo device is often used at a high rotational speed, and therefore it is necessary to precisely adjust the rotational balance, which causes a problem of processing cost. In addition, a small-diameter shaft turbo device has a drawback in that it is difficult to form such a step from the viewpoint of strength.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、上
記課題の少なくともいくつかの解決を図るべく、ターボ
装置の大きさに関係なく用いることができ、回転子の回
転バランスの再調整が不要な回転検出装置を提供するこ
とを目的とする。
Therefore, in order to solve at least some of the above problems, the present invention can be used regardless of the size of the turbo device and does not require readjustment of the rotational balance of the rotor. An object of the present invention is to provide a simple rotation detection device.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明では、回転子を収
容するケースに設けられ、該回転子の羽根の通過による
圧力変動に応答して信号を出力する圧力検知手段と、該
圧力検知手段からの信号を周波数解析して該信号の周波
数成分から基本周波数を測定する測定手段とを備えてな
る回転子を有するターボ装置の回転数検出装置を提供す
る。本発明では、また、回転子を収容するケースに設け
られた圧力検知手段によって該回転子の羽根の通過によ
る圧力変動を検知し、該圧力変動に応答した信号を得る
ステップと、 該圧力検知手段からの信号を周波数解析
して該信号の周波数成分から基本周波数を測定するステ
ップとを備えてなる回転子を有するターボ装置の回転数
検出方法を提供する。
According to the present invention, there is provided a case for accommodating a rotor, a pressure detecting means for outputting a signal in response to a pressure fluctuation caused by passage of blades of the rotor, and the pressure detecting means. And a measuring means for measuring a fundamental frequency from a frequency component of the signal by frequency-analyzing the signal from Eq. In the present invention, a step of detecting a pressure fluctuation due to passage of blades of the rotor by a pressure detecting means provided in a case accommodating the rotor and obtaining a signal in response to the pressure fluctuation, and the pressure detecting means. And frequency-analyzing the signal from the signal to measure the fundamental frequency from the frequency component of the signal.

【0007】圧力検知手段とは、圧力の時間変化を検出
できる任意の手段であり、絶対圧力測定型やバランス圧
力測定型といったタイプを用いることができる。また、
ダイアフラム型や圧電素子型なども用いることができ
る。
The pressure detecting means is any means capable of detecting a change in pressure with time, and an absolute pressure measuring type or a balance pressure measuring type can be used. Also,
A diaphragm type or a piezoelectric element type can also be used.

【0008】圧力検知手段周波数成分からの信号は、F
FT(高速フーリエ変換)アナライザやパルスカウンタ
ーなど、任意の周波数を解析する装置で周波数解析され
て、圧力変動に起因する複数ピークを示す中から、高調
波やノイズ成分から基本波が分離され、基本波の基本周
波数が求められる。この基本周波数は、回転数そのもの
を表わしたり、あるいは、回転数の整数倍を表わすもの
であるので、必要に応じて、この測定手段によって測定
された基本周波数を前記ターボ装置の回転数に変換する
手段を備え、所望の単位の回転数に換算する。
The signal from the frequency component of the pressure detecting means is F
The fundamental wave is separated from the harmonic and noise components by performing frequency analysis with a device that analyzes arbitrary frequencies, such as an FT (Fast Fourier Transform) analyzer or pulse counter, and showing multiple peaks due to pressure fluctuations. The fundamental frequency of the wave is determined. Since this fundamental frequency represents the number of revolutions itself or an integer multiple of the number of revolutions, the fundamental frequency measured by this measuring means is converted into the number of revolutions of the turbo device, if necessary. A means is provided and it converts into the rotation speed of a desired unit.

【0009】本発明では、さらに、回転子に施され、該
回転子と共に回転する指標手段と、該指標手段に応答し
て信号を出力する検知手段と、該検知手段からの信号を
周波数解析して該信号の周波数成分から基本周波数を測
定する測定手段とを備えた回転子を有するターボ装置の
回転数検出装置であって、前記指標手段がターボ装置の
回転子の形状変更を伴わない指標手段であるターボ装置
の回転数検出装置を提供する。本発明では、また、回転
子に設けられ、該回転子と共に回転し、回転子の形状変
更を伴わない指標手段の回転を検知する検知手段を設け
るステップと、該検知手段によって該指標手段の回転を
検知して回転に応答した信号を得るステップと、該信号
を周波数解析して該検知信号の周波数成分から基本周波
数を測定するステップとを備えてなる回転子を有するタ
ーボ装置の回転数検出方法を提供する。
According to the present invention, further, the indexing means applied to the rotor and rotating together with the rotor, the detecting means for outputting a signal in response to the indexing means, and the signal from the detecting means are subjected to frequency analysis. And a measuring device for measuring a fundamental frequency from a frequency component of the signal, the rotating speed detecting device for a turbo device having a rotor, wherein the indexing device does not change the shape of the rotor of the turbo device. There is provided a rotation speed detection device for a turbo device. In the present invention, there is also provided a step of providing a detecting means which is provided on the rotor, rotates with the rotor, and detects the rotation of the indicator means without changing the shape of the rotor, and the detecting means rotates the indicator means. Method for detecting the rotational speed of a turbo device having a rotor, which comprises a step of detecting a signal to obtain a signal in response to rotation, and a step of frequency-analyzing the signal to measure a fundamental frequency from a frequency component of the detected signal. I will provide a.

【0010】ここで、回転子とは流体の流れを軸の回転
運動に変えたり、軸の回転運動を流体の流れに変えたり
するタービンやコンプレッサ、そのタービンやコンプレ
ッサと一体となって回転する回転軸から構成される回転
軸なども含む機械要素を指す。また、指標手段とは、回
転子と共に回転して回転を示す任意の手段をいい、検知
手段とは、その指標手段の回転に伴う何らかの物理量
(例えば、圧力、輝度、磁場)の時間的な変動・変化を
検出・検知する任意の手段を意味する。また、形状の変
更を伴わない指標手段とは、形状が変化して回転バラン
ス(ダイナミックバランス)の再調整が必要な状況を生
じさせない指標手段を意味する。
Here, the rotor means a turbine or a compressor that converts a fluid flow into a rotational motion of a shaft or a rotary motion of a shaft into a fluid flow, and a rotation that rotates integrally with the turbine or the compressor. A mechanical element that includes a rotating shaft that is composed of a shaft. Further, the index means means any means that rotates together with the rotor to indicate rotation, and the detection means means temporal fluctuation of some physical quantity (for example, pressure, brightness, magnetic field) accompanying the rotation of the index means. -Means any means of detecting and detecting changes. Further, the indexing means that does not change the shape means an indexing means that does not cause a situation in which the shape is changed and readjustment of the rotational balance (dynamic balance) is necessary.

【0011】さらに、本発明では、前記指標手段がター
ボ装置の回転子の少なくとも一部の電磁気的特性を変更
してなるものとすることができる。電磁気的特性とは、
回転子の形状を変化させずに検知可能とするために材料
の物理的特性を変化させることのうち、特に検知が容易
である電気的特性(抵抗率等)や磁気特性(磁化等)と
いったものを指す。
Further, according to the present invention, the index means may change the electromagnetic characteristics of at least a part of the rotor of the turbo device. What are electromagnetic characteristics?
Among the physical properties of the material that can be detected without changing the shape of the rotor, electrical properties (such as resistivity) and magnetic properties (such as magnetization) that are particularly easy to detect Refers to.

【0012】ここで、本発明においては、前記電磁気的
特性の変更は回転子の少なくとも一部の材質の部分焼入
れによって施すことができ、前記検知手段は、渦電流検
知型ギャップセンサとすることができる。
Here, in the present invention, the change of the electromagnetic characteristic can be performed by partial hardening of at least a part of the material of the rotor, and the detecting means may be an eddy current detecting type gap sensor. it can.

【0013】部分焼入れとは、材質の特定箇所のみに施
された焼入れ処理であり、処理された部分の分子レベ
ル、結晶レベルでの材質変化を起こすものである。部分
焼入れとしては、高周波焼入れ、レーザーによる部分焼
入れ等の手段が利用できる。また、部分焼入れ以外に
は、形状を変えず、電気伝導特性を部分的に変更した
り、磁気特性を部分的に変更して渦電流の発生量を変更
できる任意の手段が可能である。例えば、材料組成を部
分的な元素拡散で変更してこれを達成したり、部分焼入
れのように材料の結晶構造を変更したりする別の手段と
することができる。また、形状は厳密には変わるが実質
的に影響のない手段であっても良い。この例としては、
めっき等が利用できる。いずれにしても、渦電流式ギャ
ップセンサが後述するエレクトリカルランアウト現象を
起こす任意の電磁気的特性の部分的な変更方法であれば
よい。
Partial quenching is a quenching treatment applied only to a specific portion of the material, and causes a material change in the treated portion at the molecular level and the crystal level. As the partial hardening, means such as induction hardening and partial hardening by laser can be used. Further, other than partial quenching, any means capable of changing the amount of eddy current generated by partially changing the electric conduction characteristics or the magnetic characteristics without changing the shape is possible. For example, the material composition can be changed by partial elemental diffusion to achieve this, or another means for changing the crystal structure of the material such as partial quenching can be used. Moreover, the shape may be changed in a strict manner, but the shape may be substantially unaffected. An example of this is
Plating etc. can be used. In any case, any method of partially changing the electromagnetic characteristics of the eddy current type gap sensor that causes the electrical runout phenomenon described later may be used.

【0014】本発明においては、好ましくは、指標手段
がターボ装置の回転子の少なくとも一部において電磁波
の放射輝度を変更するものであり、検知手段が該放射輝
度の変化を検知するものとすることができる。電磁波
は、例えば光であり、その反射率を検知することができ
る。これに用いる検知装置は、放射される光の輝度など
を検知するものであり、より一般には、電磁波の放射輝
度を直接・間接に検知することができる任意の手段を利
用できるが、この手段には、必要に応じて光を含む電磁
波の照射装置や照明装置を組み合わせることができる。
この輝度や放射輝度を検知する手段とは、可視画像や赤
外画像等の画像を取り込む手段や、フォトトランジスタ
などの光検知手段といった、任意のものが使用できる。
回転子に施す放射輝度を変更する指標とは、実質的な形
状変化を伴わない任意の手段を用いることができる。例
として、照明光等を用いてその反射による輝度を用いる
場合には、殆ど厚みがないペイント等によるマーキン
グ、レーザーアブレーションを利用した表面近傍のみに
影響するマーキング、表面仕上げの違いによる光沢の違
い、めっき、部分焼入れによる色調の変更、その他の任
意の手段である。また、検知手段に赤外線の波長領域に
感度があるものを用い、運転中に高温となっている回転
子からの赤外線領域の放射を用いる場合にも、赤外線の
放射輝度を変化させる手段、特に赤外線透過率が変動す
る任意の手段が利用できる。
In the present invention, preferably, the index means changes the radiance of the electromagnetic wave in at least a part of the rotor of the turbo device, and the detection means detects the change in the radiance. You can The electromagnetic wave is, for example, light, and its reflectance can be detected. The detection device used for this is to detect the brightness of radiated light, and more generally, any means capable of directly or indirectly detecting the radiance of electromagnetic waves can be used. Can be combined with a device for irradiating electromagnetic waves including light and a lighting device, if necessary.
As the means for detecting the brightness and the radiance, any means such as a means for capturing an image such as a visible image or an infrared image and a light detecting means for a phototransistor can be used.
As the index for changing the radiance applied to the rotor, any means that does not substantially change the shape can be used. As an example, when using the brightness due to its reflection using illumination light etc., marking with paint with almost no thickness, marking that affects only the vicinity of the surface using laser ablation, difference in gloss due to difference in surface finish, Plating, changing the color tone by partial quenching, or any other means. Further, when the detection means having sensitivity in the infrared wavelength range is used and the radiation in the infrared range from the rotor which is hot during operation is used, a means for changing the infrared radiance, particularly infrared rays Any means of varying the transmittance can be used.

【0015】さらに本発明は、回転子の羽根による音に
応答して信号を出力する音波検知手段と、該音波検知手
段からの信号を周波数解析して該信号の周波数成分から
基本周波数を測定する測定手段とを備えてなる回転子を
有するターボ装置の回転数検出装置を提供する。本発明
は、また、回転子の羽根による音を音波検知手段によっ
て検知し、該音に応答した信号を出力するステップと、
該音波検知手段からの信号を周波数解析して該信号の周
波数成分から基本周波数を測定するステップとを備えて
なる回転子を有するターボ装置の回転数検出方法を提供
する。タービンの回転に伴って回転音が発生する場合に
は、音波検知手段、例えば、マイクロフォンを用いて回
転音を検知し、その信号を解析することによって回転数
を求めることが可能となる。
Further, according to the present invention, a sound wave detecting means for outputting a signal in response to a sound generated by a blade of a rotor and a frequency analysis of a signal from the sound wave detecting means to measure a fundamental frequency from a frequency component of the signal. Provided is a rotation speed detection device for a turbo device, which has a rotor including a measuring unit. The present invention also includes a step of detecting a sound by the blades of the rotor by the sound wave detecting means and outputting a signal in response to the sound,
And a frequency analysis of a signal from the sound wave detecting means to measure a fundamental frequency from a frequency component of the signal. When a rotation sound is generated with the rotation of the turbine, it is possible to obtain the rotation speed by detecting the rotation sound using a sound wave detection unit, for example, a microphone, and analyzing the signal.

【0016】以上に示した回転数検出装置において、検
出・検知された圧力、音、電磁場、反射率等に応じた信
号等に応じて、定められたしきい値に基づくパルス信号
を発生する手段をさらに備え、基本周波数を測定する前
記測定手段は該パルス信号を周波数解析して基本周波数
を測定する回転数検出装置とすることができる。パルス
信号は、予め定められたしきい値をトリガレベルとして
トリガーされるパルス信号であり、波形が整形されるた
め、より簡便な装置で基本周波数の測定等が行える。
In the rotation speed detecting device shown above, means for generating a pulse signal based on a predetermined threshold value in accordance with a signal or the like according to the detected / detected pressure, sound, electromagnetic field, reflectance or the like. The measuring means for measuring the fundamental frequency may be a rotation speed detecting device for frequency-analyzing the pulse signal to measure the fundamental frequency. The pulse signal is a pulse signal that is triggered by using a predetermined threshold as a trigger level, and since the waveform is shaped, the basic frequency can be measured with a simpler device.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】[実施の形態1]図1に本発明の
第1の実施の形態を示す。ターボ装置1は気体等の流体
流から回転力を作り出すタービンであり、回転子2は羽
根2aを備えている。羽根2aは、図の左方からケーシ
ングの内部を流れてくる作動流体による圧力を受け、そ
れを回転子2全体の回転力に変える。この回転子2はケ
ーシング3に収容されていて、そのケーシング3には圧
力を検知する圧力センサ4が配置されている。圧力セン
サ4の出力はケーシング3内部で、羽根2aの回転位相
に伴って、羽根の通過に応じて周期的に変動する、Aの
ような圧力波形を検知する。この圧力センサ3の周期的
に変動する圧力波形の出力信号を周波数解析装置100
に入力し、周波数解析して、Bのようなパワースペクト
ルを得る。このパワースペクトルは圧力波形に応じて様
々な高調波を含むが、この基本周波数f1は単位時間当
たりの羽根の通過数であるため、回転数(z)と羽根の
枚数(N)との積となる。したがって、パワースペクト
ルから基本周波数を適当な基準に従って測定してf1
し、それを羽根の枚数Nで割ってf1/Nとすることに
よって、求める回転数が、周波数と同じ単位で求まる。
このとき、羽根の形状が全て同一のものでなく、複数種
の羽根が用いられているもの等においても、羽根の枚数
(N)を調整することによって、実際の回転数が検出で
きる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [First Embodiment] FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention. The turbo device 1 is a turbine that produces a rotational force from a fluid flow such as a gas, and the rotor 2 includes blades 2a. The blade 2a receives the pressure of the working fluid flowing from the left side of the drawing into the casing, and converts it into the rotational force of the entire rotor 2. The rotor 2 is housed in a casing 3, and a pressure sensor 4 for detecting pressure is arranged in the casing 3. The output of the pressure sensor 4 detects, inside the casing 3, a pressure waveform such as A that periodically fluctuates in accordance with the passage of the blade 2a in accordance with the rotation phase of the blade 2a. The frequency analysis device 100 outputs the output signal of the pressure waveform that periodically changes from the pressure sensor 3.
, And frequency-analyze to obtain a B-like power spectrum. This power spectrum includes various harmonics according to the pressure waveform, but since the fundamental frequency f 1 is the number of blades passing per unit time, the product of the number of revolutions (z) and the number of blades (N) is obtained. Becomes Therefore, by measuring the fundamental frequency from the power spectrum according to an appropriate standard to obtain f 1, and dividing it by the number N of blades to obtain f 1 / N, the number of revolutions to be obtained can be obtained in the same unit as the frequency.
At this time, the actual number of rotations can be detected by adjusting the number of blades (N) even when the blades are not all the same in shape and a plurality of types of blades are used.

【0018】本実施の形態では、羽根2aの翼厚及び大
きさに関係なく、回転数の算出が可能である。羽根2a
を具備する回転体であれば、その大きさに関係なく、回
転周波数を検出する事が可能である。本実施の形態で
は、回転軸を何ら加工する必要が無いため、高速で回転
するターボ装置においても容易に利用でき、回転バラン
スの修正といったコストがかかる追加工程は発生しな
い。また、既存のターボ装置でケーシングに圧力センサ
を取り付けるだけで回転数検出機能が付加でき、既存の
装置に監視機能が付加できる。
In the present embodiment, the rotation speed can be calculated regardless of the blade thickness and size of the blade 2a. Blade 2a
If the rotating body is provided with, it is possible to detect the rotation frequency regardless of its size. In the present embodiment, since it is not necessary to process the rotary shaft at all, it can be easily used in a turbo device rotating at high speed, and an additional process such as costly correction of rotation balance does not occur. In addition, a rotation speed detection function can be added to the existing turbo device by simply attaching a pressure sensor to the casing, and a monitoring function can be added to the existing device.

【0019】また、圧力センサ4の出力を、図示しない
パルス発生器に入力させて、例えば図1のAに示したト
リガレベル50によって任意のデューティー比のパルス
とすることができる。このパルス発生器を用いると、パ
ルスをカウントするだけでf 1を求めることができ、高
価なFFTアナライザなどを用いなくても良好に周波数
を測定することができる。
The output of the pressure sensor 4 is not shown.
Input to the pulse generator, for example
Pulse of arbitrary duty ratio by Riga level 50
Can be With this pulse generator,
F just counting the lus 1Can ask for a high
Good frequency without using an expensive FFT analyzer
Can be measured.

【0020】[実施の形態2]図2に本発明の第2実施
の形態の構成を示す。本実施の形態では回転子に一体化
されている回転軸20(一体化されていない場合もあ
る)に部分焼入れ21を設ける。この部分焼き入れ部2
1と正対する外周側に距離を検知する渦電流式ギャップ
センサ22を設ける。この渦電流式ギャップセンサ22
の出力を周波数解析装置100に接続し、その周波数解
析装置100の出力から基本周波数f1を取り出して回
転数へと換算する。
[Second Embodiment] FIG. 2 shows the configuration of a second embodiment of the present invention. In the present embodiment, the partial hardening 21 is provided on the rotary shaft 20 (which may not be integrated) which is integrated with the rotor. This part hardening part 2
An eddy current type gap sensor 22 for detecting the distance is provided on the outer peripheral side directly facing 1. This eddy current type gap sensor 22
Is connected to the frequency analysis device 100, and the fundamental frequency f 1 is extracted from the output of the frequency analysis device 100 and converted into a rotation speed.

【0021】部分焼き入れとは、局所的に部材を加熱す
ることで内部材料組織構造を変化させて強度を上げる方
法として一般的に用いられている。本実施の形態では、
この通常の目的とは異なり、部分焼入れによる組織変化
が、材料の電磁気的な性質を変化させることを用いてい
る。部分焼き入れ部21のようなある一部分の電磁気的
性質が他の部位に比べて異なる回転軸20を回転させる
と、ギャップセンサ22のエレクトリカルランアウト現
象と呼ばれる現象により、図2のAのような渦電流式ギ
ャップセンサ22の出力が得られる。ここで、エレクト
リカルランアウト現象とは、渦電流式ギャップセンサが
距離に比例した電圧を出力する特性を備えているとき
に、実際の距離が変わっていないにもかかわらず、材料
の内部組織、組成等により出力が変化する現象である。
また、渦電流式ギャップセンサとは、空隙(ギャップ)
を精密に測定することで対象物が回転しているものであ
るときにその回転の芯ぶれ(ランアウト)を検知するも
のである。このセンサは、通常はメインコイルと読み出
しコイルの2つのコイルを備えており、メインコイルに
よって発生させた磁界中の作用で回転運動に伴って移動
する導体に渦電流を発生させ、その渦電流が発生する反
対向きの磁界を読み出しコイルで検知するものである。
Partial quenching is generally used as a method of locally heating a member to change the internal material structure and increase the strength. In this embodiment,
Unlike this usual purpose, it is used that the structural change due to partial quenching changes the electromagnetic properties of the material. When the rotating shaft 20 having a different electromagnetic property in a part such as the partially hardened part 21 is rotated as compared with other parts, a phenomenon called an electrical runout phenomenon of the gap sensor 22 causes a vortex as shown in FIG. The output of the current gap sensor 22 is obtained. Here, the electrical runout phenomenon means that when the eddy current type gap sensor has a characteristic of outputting a voltage proportional to the distance, the internal structure of the material, the composition, etc. of the material are changed even if the actual distance is not changed. This is a phenomenon in which the output changes due to.
The eddy current type gap sensor is a gap.
By precisely measuring, when the object is rotating, the runout of the rotation is detected. This sensor is usually provided with two coils, a main coil and a read coil. The action in the magnetic field generated by the main coil generates an eddy current in the conductor that moves with the rotational movement, and the eddy current is generated. The read coil detects the generated magnetic field in the opposite direction.

【0022】図2の構成においてギャップセンサ22で
得られた出力波形は、Aに示した様なものとなる。この
変位量とは、実際の回転軸20の表面とギャップセンサ
22との実際の相対的な位置変化(メカニカルランアウ
ト)だけでなく、前述のエレクトリカルランアウトをも
含んでいる点に注意されたい。この出力波形を周波数解
析装置100により解析して、基本周波数を測定する事
で、部分焼き入れ部21が渦電流式ギャップセンサ22
を通過する周期、すなわち軸の回転周波数が検出でき
る。以上の実施の形態において、例えば、ターボ装置の
使用条件が過酷である場合や、軸の精度が長期間にわた
って高い精度に保たれている必要がある場合には、部分
焼入れ箇所が回転中心に対して軸対称になるように複数
箇所配置するといった工夫も有効である。なお、部分焼
き入れ部21は渦電流式ギャップセンサがエレクトリカ
ルランアウト現象を起こす他の電磁気的特性の変更方法
とすることができる。また、本実施の形態においても、
実施の形態1と同様に、パルス発生器を採用することは
有効である。
In the configuration of FIG. 2, the output waveform obtained by the gap sensor 22 is as shown in A. Note that this displacement amount includes not only the actual relative position change (mechanical runout) between the actual surface of the rotary shaft 20 and the gap sensor 22 but also the above-described electrical runout. By analyzing this output waveform by the frequency analysis device 100 and measuring the fundamental frequency, the partial quenching portion 21 is made to have the eddy current type gap sensor 22.
It is possible to detect the cycle of passing through, that is, the rotation frequency of the shaft. In the above embodiment, for example, when the turbo device is used under severe conditions, or when the shaft accuracy needs to be maintained at high accuracy for a long period of time, the partial quenching point is located relative to the center of rotation. It is also effective to arrange multiple points so that they are axially symmetrical. The partial quenching portion 21 can be used as another method for changing the electromagnetic characteristics in which the eddy current type gap sensor causes an electrical runout phenomenon. Further, also in the present embodiment,
As in the first embodiment, it is effective to employ the pulse generator.

【0023】本実施の形態の方法を用いると、ターボ装
置の大きさに無関係で回転周波数を検出することができ
る。また、回転軸に段差加工を必要としない為、回転バ
ランスの再調整といったコストのかかる追加工程が不要
となる。
By using the method of the present embodiment, the rotation frequency can be detected regardless of the size of the turbo device. Further, since no step processing is required on the rotary shaft, a costly additional process such as readjustment of the rotational balance becomes unnecessary.

【0024】[実施の形態3]図3に本発明の第3実施
の形態を示す。ターボ装置30の外部に、音波検知手段
であるマイクロフォン31を設ける。マイクロフォン3
1の出力は周波数解析装置100に接続されている。こ
の音波の周波数成分からも、実施の形態1および2と同
様に、基本周波数を測定する。
[Third Embodiment] FIG. 3 shows a third embodiment of the present invention. A microphone 31 that is a sound wave detection unit is provided outside the turbo device 30. Microphone 3
The output of 1 is connected to the frequency analysis device 100. Also from the frequency component of this sound wave, the fundamental frequency is measured as in the first and second embodiments.

【0025】羽根32aを具備する回転子32が回転す
ると、羽根32aによる風切り騒音が発生する。その風
切り騒音をターボ機械30の外部に設置したマイクロフ
ォン31によって拾うと、Aのような電圧波形データが
得られる。この電圧波形には羽根32aの回転に伴う周
期性が含まれるため、これを周波数解析装置100によ
って解析を行うことにより、Bのような羽根32aによ
る音波のパワースペクトルが得られる。この得られたパ
ワースペクトルから基本周波数を測定し、実施の形態1
と同様の手続で軸の回転周波数へと換算される。
When the rotor 32 having the blades 32a rotates, wind noise due to the blades 32a is generated. When the wind noise is picked up by the microphone 31 installed outside the turbomachine 30, voltage waveform data such as A is obtained. Since this voltage waveform contains periodicity associated with the rotation of the blade 32a, the power spectrum of the sound wave by the blade 32a such as B can be obtained by analyzing this with the frequency analysis device 100. The fundamental frequency is measured from the obtained power spectrum, and the first embodiment
It is converted into the rotation frequency of the shaft by the same procedure as.

【0026】本実施の形態の方法では、ターボ装置への
一切の加工を必要とせずに、ターボ装置の大きさに無関
係で回転数を検出することができる。これにより、ター
ボ装置の回転数を容易に検出することができる。
According to the method of the present embodiment, the number of revolutions can be detected irrespective of the size of the turbo device without requiring any processing on the turbo device. Thereby, the rotation speed of the turbo device can be easily detected.

【0027】[実施の形態4]図4に本発明の第4実施
の形態を示す。回転軸40にある任意の位置に部分的に
他の部材と比較して変色させた部分(放射輝度変更手
段)41を設ける。この変色部分41は、回転軸40の
表面と異なる反射色を呈する金属薄膜をメッキして設け
る。光源44はこの回転軸を照明し、画像撮影装置(放
射輝度検知手段)42で容易に撮影できるようにする。
このようにして、前記変色部分41が回転に応じて通過
する部分を画像撮影装置42で撮影し、この画像撮影装
置42の出力を画像解析装置43に入力する。画像解析
装置43では変色部分41を示す画素位置の画素値が回
転軸40の回転に応じて周期的に変動する。この変動は
画像撮影装置42が撮影している部分での輝度の変動を
表わしている。
[Fourth Embodiment] FIG. 4 shows a fourth embodiment of the present invention. A portion (radiance changing means) 41 that is partially discolored compared to other members is provided at an arbitrary position on the rotating shaft 40. The discolored portion 41 is provided by plating a metal thin film that exhibits a reflection color different from the surface of the rotating shaft 40. The light source 44 illuminates this rotation axis so that the image capturing device (radiance detecting means) 42 can easily capture an image.
In this way, the image capturing device 42 captures an image of the portion where the discolored portion 41 passes according to the rotation, and the output of the image capturing device 42 is input to the image analysis device 43. In the image analysis device 43, the pixel value at the pixel position indicating the discolored portion 41 periodically changes according to the rotation of the rotation shaft 40. This variation represents a variation in brightness in the part where the image capturing device 42 is capturing an image.

【0028】本実施の形態では、画像撮影装置42を用
いる際には撮影された画像は即時に画像解析装置43に
転送される。画像解析装置43にて画像解析を行うと、
Aに示すような前記変色部分41に起因する輝度変動が
観察される。この輝度変動の測定値を周波数解析するこ
とにより、Bに示す基本周波数が求まる。この基本周波
数は変色部分41の通過する時間周期の逆数であるた
め、回転数を算出することができる。
In the present embodiment, when the image photographing device 42 is used, the photographed image is immediately transferred to the image analysis device 43. When image analysis is performed by the image analysis device 43,
A brightness variation due to the discolored portion 41 as shown in A is observed. The fundamental frequency shown in B is obtained by frequency-analyzing the measured value of the luminance fluctuation. Since this fundamental frequency is the reciprocal of the time period in which the color changing portion 41 passes, the rotation speed can be calculated.

【0029】本実施の形態の方法においても、ターボ装
置への一切の加工を必要とせずに、ターボ装置の大きさ
に無関係で回転数を検出することができる。本実施の形
態によれば、さらに、ターボ装置の大きさに無関係に回
転周波数を検出する事ができ、また軸に段差加工等を必
要としないことから回転バランスの再調整等のコストの
かかる追加工程が不要となる。画像撮影装置としては、
例えば装置の運転状態を監視するためといった他の目的
に用いる画像撮影装置等が利用できる。
Also in the method of the present embodiment, the number of revolutions can be detected irrespective of the size of the turbo device without requiring any processing on the turbo device. According to the present embodiment, the rotation frequency can be detected irrespective of the size of the turbo device, and since the shaft is not required to be stepped, it is necessary to perform additional adjustment such as re-adjustment of the rotation balance. No process is required. As an image capturing device,
For example, an image capturing device used for other purposes such as monitoring the operating state of the device can be used.

【0030】なお、本実施の形態では、画像取り込みの
フレームレートをサンプリング周期とする時間的に離散
化されたサンプリングデータが得られる。したがって、
ナイキストのサンプリング理論より、フレームレートが
監視するタービンの回転数の周波数の1/2より低い場
合には、エイリアシリングを起こす。このため、例えば
実際は回転しているタービンが全く回転していないよう
に観測されたりすることもある。しかし、本発明に記載
される別の手段を用いる等の工夫により回転数の概略の
値が別途求まっていれば、画像から推測できる複数の回
転数のうちの何れかに同定することが可能となる。
In this embodiment, temporally discretized sampling data having the sampling rate of the frame rate of image capture can be obtained. Therefore,
According to Nyquist's sampling theory, when the frame rate is lower than ½ of the frequency of the rotational speed of the monitored turbine, aliasing occurs. Therefore, for example, it may be observed that a turbine that is actually rotating does not rotate at all. However, if the approximate value of the rotation speed is separately obtained by devising such as using another means described in the present invention, it is possible to identify any of the plurality of rotation speeds that can be estimated from the image. Become.

【0031】また、より高速な現象に対応できるフォト
トランジスタを用いても良い。この場合、適当な照明に
よってマーク部分を照明し、この照明した箇所からの反
射光の強度を信号としてより速いサンプリングレートで
データとして得られる。このとき、通常の画像撮影装置
のような2次元のドットマトリックス画素構造以外に
も、1次元のインライン画素構造や、0次元の点状の光
検出器等であっても同様の信号が得られる。この場合に
は、2次元や1次元の画像撮影装置で高速使用とすると
非常に高価な撮影装置が必要になるが、それらより高速
にサンプリングが可能な検知器が安価に得られるという
利点もある。画像撮影装置42を用いないときには画像
解析装置43を省略して周波数解析装置100に接続可
能であるという利点もある。
Further, a phototransistor capable of coping with a higher speed phenomenon may be used. In this case, the mark portion is illuminated with an appropriate illumination, and the intensity of the reflected light from the illuminated location is used as a signal to obtain data at a higher sampling rate. At this time, the same signal can be obtained by a one-dimensional in-line pixel structure, a zero-dimensional dot-shaped photodetector, etc. other than the two-dimensional dot matrix pixel structure as in a normal image capturing apparatus. . In this case, if a two-dimensional or one-dimensional image capturing device is used at high speed, a very expensive image capturing device is required, but there is also an advantage that a detector capable of sampling at a higher speed can be obtained at low cost. . When the image capturing device 42 is not used, the image analysis device 43 can be omitted and the frequency analysis device 100 can be connected.

【0032】また、回転数が大きいターボ装置やガスタ
ービン装置等では、回転子が高温になることがしばしば
見られる。このような場合には、回転子が赤外線を放射
していることを利用して、変色部で赤外線の放射量(放
射輝度)を低下させたり、増強させたりするような工夫
を行うことにより、照明装置44を用いる必要が無くな
る。
Further, in a turbo device, a gas turbine device or the like having a high rotation speed, it is often observed that the rotor becomes hot. In such a case, by utilizing the fact that the rotor radiates infrared rays, by devising to reduce or enhance the infrared radiation amount (radiance) in the color changing part, There is no need to use the lighting device 44.

【0033】[0033]

【発明の効果】本発明によれば、回転バランス等の再調
整といった追加工程を必要としない回転数検出装置が得
られる。また、ターボ装置の大きさにも依存しない回転
数検出装置が得られる。
According to the present invention, it is possible to obtain a rotation speed detecting device which does not require an additional step such as readjustment of rotation balance or the like. Further, it is possible to obtain a rotation speed detection device that does not depend on the size of the turbo device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態に係る圧力検知手段を用い
た回転数検出装置の構成を示す構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of a rotation speed detection device using a pressure detection means according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施の形態に係るギャップセンサを用
いた回転数検出装置の構成を示す構成図である。
FIG. 2 is a configuration diagram showing a configuration of a rotation speed detection device using the gap sensor according to the embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施の形態に係る音波検知手段を用い
た回転数検出装置の構成を示す構成図である。
FIG. 3 is a configuration diagram showing a configuration of a rotation speed detection device using a sound wave detection unit according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施の形態に係る放射輝度検知手段を
用いた回転数検出装置の構成を示す構成図である。
FIG. 4 is a configuration diagram showing a configuration of a rotation speed detection device using radiance detection means according to an embodiment of the present invention.

【図5】従来の回転数検出装置の構成を示す構成図であ
る。
FIG. 5 is a configuration diagram showing a configuration of a conventional rotation speed detection device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ターボ装置 2 回転子 3 ケーシング 4 圧力センサ 100 周波数解析装置 20、40 回転軸 42 画像撮影装置(放射輝度検知手段) 1 turbo equipment 2 rotor 3 casing 4 Pressure sensor 100 frequency analyzer 20, 40 rotation axis 42 Image capturing device (radiance detecting means)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G01P 3/49 G01P 3/49 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G01P 3/49 G01P 3/49

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回転子を収容するケースに設けられ、該
回転子の羽根の通過による圧力変動に応答して信号を出
力する圧力検知手段と、 該圧力検知手段からの信号を周波数解析して該信号の周
波数成分から基本周波数を測定する測定手段とを備えて
なる回転子を有するターボ装置の回転数検出装置。
1. A pressure detecting means which is provided in a case for accommodating a rotor and which outputs a signal in response to a pressure fluctuation due to passage of blades of the rotor, and frequency-analyzes the signal from the pressure detecting means. A rotation speed detection device for a turbo device having a rotor, which comprises a measuring means for measuring a fundamental frequency from a frequency component of the signal.
【請求項2】 回転子に施され、該回転子と共に回転す
る指標手段と、 該指標手段に応答して信号を出力する検知手段と、 該検知手段からの信号を周波数解析して該信号の周波数
成分から基本周波数を測定する測定手段とを備えた回転
子を有するターボ装置の回転数検出装置であって、 前記指標手段がターボ装置の回転子の形状変更を伴わな
い指標手段であるターボ装置の回転数検出装置。
2. An indexing unit which is provided on a rotor and rotates together with the rotor, a detecting unit which outputs a signal in response to the indexing unit, and a frequency analysis of the signal from the detecting unit to analyze the signal. A rotation speed detection device for a turbo device having a rotor provided with a measuring means for measuring a fundamental frequency from a frequency component, wherein the index means is an index means that does not involve a change in the shape of the rotor of the turbo device. Rotation speed detection device.
【請求項3】 前記指標手段がターボ装置の回転子の少
なくとも一部の電磁気的特性を変更してなるものである
請求項2に記載の回転数検出装置。
3. The rotation speed detection device according to claim 2, wherein the index means is one in which at least a part of the rotor of the turbo device is changed in electromagnetic characteristic.
【請求項4】 前記電磁気的特性の変更は回転子の少な
くとも一部の材質の部分焼入れによって施されており、
前記検知手段が渦電流検知型ギャップセンサである請求
項3に記載の回転数検出装置。
4. The modification of the electromagnetic characteristics is performed by partial quenching of at least part of the material of the rotor,
The rotation speed detection device according to claim 3, wherein the detection means is an eddy current detection type gap sensor.
【請求項5】 前記指標手段がターボ装置の回転子の少
なくとも一部において電磁波の放射輝度を変更してなる
ものであり、前記検知手段が該放射輝度を検知するもの
である請求項2に記載の回転数検出装置。
5. The radiance of electromagnetic waves is changed in at least a part of a rotor of a turbo device, and the detecting means is for detecting the radiance. Rotation speed detection device.
【請求項6】 回転子の羽根による音に応答して信号を
出力する音波検知手段と、 該音波検知手段からの信号を周波数解析して該信号の周
波数成分から基本周波数を測定する測定手段とを備えて
なる回転子を有するターボ装置の回転数検出装置。
6. A sound wave detecting means for outputting a signal in response to a sound produced by a rotor blade, and a measuring means for frequency-analyzing a signal from the sound wave detecting means to measure a fundamental frequency from a frequency component of the signal. A rotation speed detection device for a turbo device, which has a rotor including.
【請求項7】 前記信号に応じ、定められたしきい値に
基づくパルス信号を発生する手段をさらに備え、基本周
波数を測定する前記測定手段は該パルス信号を周波数解
析して基本周波数を測定する請求項1から6のいずれか
に記載の回転数検出装置。
7. The apparatus further comprises means for generating a pulse signal based on a predetermined threshold value according to the signal, and the measuring means for measuring the fundamental frequency measures the fundamental frequency by frequency-analyzing the pulse signal. The rotation speed detection device according to claim 1.
【請求項8】 回転子を収容するケースに設けられた圧
力検知手段によって該回転子の羽根の通過による圧力変
動を検知し、該圧力変動に応答した信号を得るステップ
と、 該圧力検知手段からの信号を周波数解析して該信号の周
波数成分から基本周波数を測定するステップとを備えて
なる回転子を有するターボ装置の回転数検出方法。
8. A step of detecting a pressure fluctuation due to passage of blades of the rotor by a pressure detection means provided in a case accommodating the rotor, and obtaining a signal in response to the pressure fluctuation, and from the pressure detection means. Of the signal of (1) and measuring the fundamental frequency from the frequency component of the signal.
【請求項9】 回転子に設けられ、該回転子と共に回転
し、回転子の形状変更を伴わない指標手段の回転を検知
する検知手段を設けるステップと、 該検知手段によって該指標手段の回転を検知して回転に
応答した信号を得るステップと、 該信号を周波数解析して該検知信号の周波数成分から基
本周波数を測定するステップとを備えてなる回転子を有
するターボ装置の回転数検出方法。
9. A step of providing a detecting means, which is provided on a rotor and rotates together with the rotor, for detecting the rotation of the index means without changing the shape of the rotor, and the rotation of the index means by the detecting means. A method for detecting the number of revolutions of a turbo device having a rotor, comprising: detecting and obtaining a signal in response to rotation; and analyzing the frequency of the signal to measure a fundamental frequency from a frequency component of the detection signal.
【請求項10】 回転子の羽根による音を音波検知手段
によって検知し、該音に応答した信号を出力するステッ
プと、 該音波検知手段からの信号を周波数解析して該信号の周
波数成分から基本周波数を測定するステップとを備えて
なる回転子を有するターボ装置の回転数検出方法。
10. A step of detecting a sound by a blade of a rotor by a sound wave detecting means and outputting a signal in response to the sound, and performing a frequency analysis of the signal from the sound wave detecting means to determine a basic frequency component of the signal. A method for detecting a rotation speed of a turbo device having a rotor, the method comprising: measuring a frequency.
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