JP2003224307A - Light-emitting diode and its formation method - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、LEDディスプレイ、
バックライト光源、信号機、照光式スイッチ、各種セン
サー及び各種インジケータなどに利用される発光装置に
係わり、特に発光素子からの発光を波長変換して発光可
能な蛍光体を有する発光ダイオードにおいて、発光方
位、色調ムラ及び量産性を改善した発光ダイオード及び
その形成方法に関する。The present invention relates to an LED display,
Related to a light emitting device used for a backlight light source, a traffic light, an illuminated switch, various sensors, various indicators, and the like, in particular, in a light emitting diode having a phosphor capable of wavelength-converting light emitted from a light emitting element, a light emitting direction, The present invention relates to a light emitting diode having improved color tone unevenness and mass productivity and a method for forming the same.
【0002】[0002]
【従来技術】発光装置である発光ダイオード(以下、L
EDとも呼ぶ。)は、小型で効率が良く鮮やかな色の発
光をする。また、半導体素子であるため球切れなどの心
配がない。駆動特性に優れ、振動やON/OFF点灯の繰り
返しに強いという特徴を有する。そのため各種インジケ
ータや種々の光源として利用されている。しかしなが
ら、LEDは優れた単色性ピーク波長を有するが故に白
色系などの発光波長を発光することができない。2. Description of the Related Art A light emitting diode (hereinafter referred to as L
Also called ED. ) Is small, efficient and emits bright colors. In addition, since it is a semiconductor element, there is no fear of breaking the ball. It has excellent driving characteristics and is resistant to vibration and repeated ON / OFF lighting. Therefore, it is used as various indicators and various light sources. However, since the LED has an excellent monochromatic peak wavelength, it cannot emit light having an emission wavelength such as white.
【0003】そこで、本出願人は、青色発光ダイオード
と蛍光物質により青色発光ダイオードからの発光を色変
換させて他の色などが発光可能な発光ダイオードとし
て、特開平5−152609号公報、特開平7−993
45号公報などに記載された発光ダイオードを開発し
た。これらの発光ダイオードによって、1種類のLED
チップを用いて白色系や青色LEDチップを用いた緑色
など他の発光色を発光させることができる。Therefore, the applicant of the present invention discloses, as a light emitting diode capable of emitting light of other colors by color-converting the light emitted from the blue light emitting diode by means of a blue light emitting diode and a fluorescent substance, JP-A-5-152609 and JP-A-5-152609. 7-993
The light emitting diode described in Japanese Patent No. 45, etc. has been developed. With these light emitting diodes, one type of LED
The chip can be used to emit other emission colors such as white and green using a blue LED chip.
【0004】具体的には、青色系が発光可能なLEDチ
ップなどをリードフレームの先端に設けられたカップ上
などに配置する。LEDチップは、LEDチップが設け
られたメタルステムやメタルポストとそれぞれ電気的に
接続させる。そして、LEDチップを被覆する樹脂モー
ルド部材中などにLEDチップからの光を吸収し波長変
換する蛍光物質を含有させて形成させてある。青色系の
発光ダイオードと、その発光を吸収し黄色系を発光する
蛍光物質などとを選択することにより、混色を利用して
白色系を発光させることができる。これは、十分な輝度
を発光する白色系発光ダイオードとして利用することが
できる。Specifically, an LED chip capable of emitting blue light is arranged on a cup or the like provided at the tip of the lead frame. The LED chip is electrically connected to a metal stem or a metal post provided with the LED chip. Then, a fluorescent material that absorbs light from the LED chip and converts the wavelength is contained in a resin mold member that covers the LED chip. By selecting a blue light emitting diode and a fluorescent substance that absorbs the emitted light and emits yellow light, white light can be emitted by utilizing the color mixture. It can be used as a white light emitting diode that emits light with sufficient brightness.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、この発光ダイ
オードは、所望通りの色に形成されにくい傾向にある。
発光ダイオードを量産させた場合において、各発光ダイ
オードがそれぞれ所望の色度範囲に形成させることが難
しく歩留まりが低下する傾向にある。また、発光ダイオ
ードの発光観測面において僅かながら色むらを生じると
いう問題がある。However, this light emitting diode tends not to be formed in a desired color.
When light emitting diodes are mass-produced, it is difficult to form each light emitting diode in a desired chromaticity range, and the yield tends to decrease. Further, there is a problem that color unevenness occurs slightly on the light emission observation surface of the light emitting diode.
【0006】具体的には、発光観測面側から見て発光素
子であるLEDチップが配置された中心部が青色ぽく、
その周囲方向にリング状に黄、緑や赤色ぽい部分が見ら
れる場合がある。人間の色調感覚は、白色において特に
敏感である。そのため、わずかな色調差でも赤ぽい白、
緑色ぽい白、黄色っぽい白等と感じる。Specifically, when viewed from the light emission observation surface side, the central portion where the LED chip, which is a light emitting element, is arranged has a blue color.
There may be yellow, green, or red-colored portions in a ring shape in the peripheral direction. Human color perception is particularly sensitive in white. Therefore, even if there is a slight color difference, it looks reddish white,
I feel greenish white, yellowish white, etc.
【0007】このような発光観測面を直視することによ
って生ずる色むらは、品質上好ましくないばかりでなく
表示装置に利用したときの表示面における色むらや、光
センサーなど精密機器における誤差を生ずることにもな
る。さらに、より厳しい条件として高輝度長時間の使用
においては発光ダイオードの輝度が低下する傾向があ
る。本発明は上記問題点を解決し発光観測面における色
調むらや発光ダイオードごとのバラツキが極めて少な
く、量産性の良い発光ダイオードを形成させることにあ
る。The color unevenness caused by directly looking at such a light emission observation surface is not only unfavorable in terms of quality, but also causes color unevenness on the display surface when used in a display device and an error in precision equipment such as an optical sensor. It also becomes. Further, as a more severe condition, the brightness of the light emitting diode tends to decrease when used for a long time with high brightness. An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to form a light emitting diode which is excellent in mass productivity because color unevenness on an emission observation surface and variations among the light emitting diodes are extremely small.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は、支持体上に配
置されたLEDチップと、LEDチップからの発光の少
なくとも一部を吸収し波長変換して発光する粒子状蛍光
体と、を有する発光ダイオードである。特に、本発明で
は、LEDチップ上に配置された粒子状蛍光体を有する
コーティング部の厚みと、LEDチップ上以外の支持体
上に配置された粒子状蛍光体を有するコーティング部の
厚みと、が略等しい発光ダイオードである。The present invention has an LED chip arranged on a support, and a particulate phosphor that absorbs at least a part of the light emitted from the LED chip and converts the wavelength to emit light. It is a light emitting diode. In particular, in the present invention, the thickness of the coating portion having the particulate phosphor disposed on the LED chip and the thickness of the coating portion having the particulate phosphor disposed on the support other than the LED chip are The light emitting diodes are substantially equal.
【0009】また、請求項2に記載の本発明の発光ダイ
オードは、コーティング部が粒子状蛍光体と共に少なく
ともSi、Al、Ga、Ti、Ge、P、B及びアルカ
リ土類元素の1種又は2種以上を有する酸化物からなる
発光ダイオードである。Further, in the light emitting diode of the present invention according to claim 2, the coating portion together with the particulate phosphor is at least one of Si, Al, Ga, Ti, Ge, P, B and one or two of alkaline earth elements. It is a light emitting diode made of an oxide having one or more species.
【0010】請求項3に記載の本発明の発光ダイオード
は、LEDチップの発光層が窒化物系化合物半導体であ
り、且つ粒子状蛍光体がセリウムで付活されたイットリ
ウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体である。The light emitting diode of the present invention according to claim 3 is a yttrium-aluminum-garnet-based phosphor in which the light-emitting layer of the LED chip is a nitride-based compound semiconductor and the particulate phosphor is activated by cerium. Is.
【0011】請求項4に記載の本発明の発光ダイオード
は、LEDチップの主発光ピークが400nmから53
0nmであり、且つ粒子状蛍光体の主発光波長がLED
チップの主発光ピークよりも長い発光ダイオードであ
る。In the light emitting diode of the present invention according to claim 4, the main emission peak of the LED chip is 400 nm to 53 nm.
0 nm and the main emission wavelength of the particulate phosphor is an LED
It is a light emitting diode that is longer than the main emission peak of the chip.
【0012】請求項5に記載の本発明の発光ダイオード
は、LEDチップの発光層が窒化物系化合物半導体であ
り、且つ粒子状蛍光体が(Re1-xSmx)3(Al1-yG
ay)5O12:Ceである。(ただし、0≦x<1、0≦
y≦1、Reは、Y、Gd、Laから選択される少なく
とも一種の元素である。)請求項6に記載の本発明の形
成方法は、LEDチップと、LEDチップからの発光の
少なくとも一部を吸収し波長変換して発光する蛍光体
と、を有する発光ダイオードの形成方法である。特に、
気相又は液相中に分散させた粒子状蛍光体の沈降によ
り、LEDチップ上に粒子状蛍光体を含むコーティング
部を形成させる発光ダイオードの形成方法である。In the light emitting diode of the present invention according to claim 5, the light emitting layer of the LED chip is a nitride compound semiconductor, and the particulate phosphor is (Re1-xSmx) 3 (Al1-yG).
ay) 5O12: Ce. (However, 0 ≦ x <1, 0 ≦
y ≦ 1 and Re are at least one element selected from Y, Gd, and La. According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a method for forming a light emitting diode, which includes an LED chip and a phosphor that absorbs at least a part of light emitted from the LED chip and converts the wavelength to emit light. In particular,
This is a method for forming a light emitting diode in which a coating portion containing a particulate phosphor is formed on an LED chip by sedimentation of a particulate phosphor dispersed in a gas phase or a liquid phase.
【0013】[0013]
【作用】本発明は、粒子状蛍光体が含有されたコーティ
ング部の厚みがLEDチップ上及びLEDチップが配置
された基体上の何れにおいても略等しい。LEDチップ
から放出された光の光路長差が比較的等しく均一な発光
特性を得ることができる。また、発光面における色むら
や発光ダイオードごとのバラツキのきわめて少なくする
ことができる。さらに、複数のLEDチップが配置され
たパッケージ上に粒子状蛍光体を沈降堆積させることに
より、一度に大量の発光ダイオードを量産性良く形成さ
せることができる。LED上に配置される粒子状蛍光体
の量がきわめて少量であっても粒子状蛍光体の量(コー
ティング部の厚み)を均等に制御させることができる。
そのため、よりバラツキの少ない発光ダイオードを形成
させることができる。In the present invention, the thickness of the coating portion containing the particulate phosphor is substantially equal both on the LED chip and on the substrate on which the LED chip is arranged. It is possible to obtain uniform emission characteristics in which the differences in the optical path lengths of the light emitted from the LED chips are relatively equal. Further, it is possible to extremely reduce color unevenness on the light emitting surface and variations among the light emitting diodes. Further, by depositing and depositing the particulate phosphor on the package in which a plurality of LED chips are arranged, a large number of light emitting diodes can be formed at one time with good mass productivity. Even if the amount of the particulate phosphor disposed on the LED is extremely small, the amount of the particulate phosphor (thickness of the coating portion) can be controlled uniformly.
Therefore, a light emitting diode with less variation can be formed.
【0014】コーティング部がSi、Al、Ga、T
i、Ge、P、B及びアルカリ土類元素の1種又は2種
以上を有する酸化物である無機物で粒子状蛍光体をバイ
ンドする。これによりLEDチップからの比較的高いエ
ネルギー光を高密度に照射した場合でもコーティング部
が着色劣化することがなくなる。そのため、長時間高輝
度に発光させても輝度が低下することがない発光ダイオ
ードとすることができる。The coating portion is Si, Al, Ga, T
The particulate phosphor is bound with an inorganic substance that is an oxide having one or more of i, Ge, P, B, and an alkaline earth element. As a result, even if a relatively high energy light from the LED chip is irradiated at a high density, the coating portion will not be colored and deteriorated. Therefore, it is possible to obtain a light emitting diode in which the brightness does not decrease even if the light is emitted with high brightness for a long time.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】本発明者は種々の実験の結果、L
EDチップ上に配置された粒子状蛍光体と、それ以外の
支持体上に配置された粒子状蛍光体とを略均等に配分さ
せることによって発光観測面における色調むらや発光装
置ごとのバラツキを改善できることを見出し本発明を成
すに到った。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION As a result of various experiments, the present inventor
Distributing the particle-shaped phosphors on the ED chip and the particle-shaped phosphors arranged on a support other than the ED chip substantially evenly improves the unevenness of color tone on the light emission observation surface and the variation among the light emitting devices. The inventors have found out what can be done and have completed the present invention.
【0016】発光観測面における色調むらや発光ダイオ
ードごとのバラツキは、コーティング部形成時にコーテ
ィング部中に含まれる粒子状蛍光体の平面分布における
傾きが生ずることにより生ずると考えられる。即ち、コ
ーティング部は粒子状蛍光体を含有させた樹脂を先の細
いノズルの如き管から吐出させることによって所望のカ
ップ上に配置させることができる。It is considered that the unevenness of the color tone on the light emission observation surface and the variation among the light emitting diodes are caused by the inclination of the planar distribution of the particulate phosphor contained in the coating portion when the coating portion is formed. That is, the coating portion can be placed on a desired cup by discharging the resin containing the particulate phosphor from a tube such as a thin nozzle.
【0017】しかし、バインダー中に含有された粒子状
蛍光体をLEDチップ上に等量均一且つ、高速に塗布さ
せることは極めて難しい。また、バインダーの粘度やコ
ーティング部と接するパッケージ表面などとの表面張力
により、最終的に形成されるコーティング部の形状が一
定しない。コーティング部の厚み(粒子状蛍光体の量)
が部分的に異なり、LEDチップからの光量、粒子状蛍
光体からの光量が部分的に異なる。However, it is extremely difficult to apply an equal amount of the particulate phosphor contained in the binder onto the LED chip at a high speed. In addition, the shape of the finally formed coating portion is not constant due to the viscosity of the binder and the surface tension between the coating surface and the package surface in contact with the coating portion. Coating thickness (amount of particulate phosphor)
Is partially different, and the amount of light from the LED chip and the amount of light from the particulate phosphor are partially different.
【0018】そのため発光観測面上において部分的にL
EDチップからの発光色が強くなったり、蛍光体からの
発光色が強くなり色調むらが生ずる。また、各発光ダイ
オードごとのバラツキが生ずると考えられる。本発明で
は、LEDチップ上とそれ以外に形成される粒子状蛍光
体が均一に配置させることにより、色調むらや指向性な
どを改善させることができるものである。以下、本発明
の構成部材について詳述する。Therefore, L is partially present on the emission observation surface.
The color of light emitted from the ED chip becomes strong, and the color of light emitted from the phosphor becomes strong, resulting in uneven color tone. In addition, it is considered that variations occur among the light emitting diodes. In the present invention, the unevenness of color tone and the directivity can be improved by uniformly disposing the particulate phosphors formed on the LED chip and other parts. Hereinafter, the constituent members of the present invention will be described in detail.
【0019】(コーティング部111、112)本発明
に用いられるコーティング部111、112とは、モー
ルド部材とは別にマウント・リードのカップ内やパッケ
ージの開口部内などに設けられるものでありLEDチッ
プ103の発光を変換する粒子状蛍光体及び粒子状蛍光
体を結着する樹脂や硝子などである。本発明のコーティ
ング部111、112は、LEDチップ103上に設け
られたコーティング部111の厚みとLEDチップ以外
の支持体上に設けられたコーティング部112の厚みと
が略等しい。LEDチップ103上に設けられたコーテ
ィング部111と、支持体となるパッケージの開口部表
面に設けられたコーティング部112との厚みは、気相
や液相中に分散させた粒子状蛍光体を静置させ沈降する
ことにより比較的簡単に略等しく形成させることができ
る。(Coating parts 111, 112) The coating parts 111, 112 used in the present invention are provided in a cup of a mount lead or in an opening part of a package separately from the molding member, and are formed in the LED chip 103. Examples thereof include a particulate fluorescent substance that converts light emission and a resin or glass that binds the particulate fluorescent substance. In the coating portions 111 and 112 of the present invention, the thickness of the coating portion 111 provided on the LED chip 103 and the thickness of the coating portion 112 provided on the support other than the LED chip are substantially equal. The thickness of the coating part 111 provided on the LED chip 103 and the coating part 112 provided on the surface of the opening of the package serving as the support is such that the particulate phosphor dispersed in the gas phase or the liquid phase is kept static. By placing them and allowing them to settle, they can be relatively easily formed to be substantially equal.
【0020】コーティング部では、カップなどによりL
EDチップから放出される高エネルギー光などが反射も
されるため高密度になる。さらに、粒子状蛍光体によっ
ても反射散乱されコーティング部が高密度の高エネルギ
ー光にさらされる場合がある。そのため、発光強度が強
く高エネルギー光が発光可能な窒化物系半導体をLED
チップとして利用した場合は、それらの高エネルギー光
に対して耐光性のあるSi、Al、Ga、Ti、Ge、
P、B及びアルカリ土類金属の1種又は2種以上有する
酸化物を結着剤として利用することが好ましい。In the coating section, L
High-energy light emitted from the ED chip is also reflected, resulting in high density. Further, the particulate fluorescent material may be reflected and scattered, and the coating portion may be exposed to high-density, high-energy light. Therefore, a nitride-based semiconductor that emits high-energy light with high emission intensity is used as an LED.
When used as a chip, Si, Al, Ga, Ti, Ge, which have light resistance to those high energy lights,
It is preferable to use an oxide containing one or more of P, B and alkaline earth metals as a binder.
【0021】コーティング部の具体的主材料の一つとし
ては、SiO2、Al2O3、MSiO3(なお、Mとして
は、Zn、Ca、Mg、Ba、Srなどが挙げられ
る。)などの透光性無機部材に粒子状蛍光体を含有させ
たものが好適に用いられる。これらの透光性無機部材に
より粒子状蛍光体が結着され層状にLEDチップや支持
体上に堆積される。なお、コーティング部には、粒子状
蛍光体と共に紫外線吸収剤を含有させても良い。As one of the specific main materials of the coating portion, a translucent inorganic member such as SiO2, Al2O3, MSiO3 (where M is Zn, Ca, Mg, Ba, Sr, etc.). Those containing a particulate fluorescent substance are preferably used. A particulate fluorescent substance is bound by these translucent inorganic members and deposited in layers on the LED chip and the support. The coating part may contain an ultraviolet absorber together with the particulate phosphor.
【0022】このようなコーティング部111、121
は、コーティング部111、121の材料となる粒子状
蛍光体と結着剤とをよく混合させ容器202内に排出手
段201のノズルから噴出する。容器202内には、、
LEDチップを有するパッケージ105が配置されてい
る。ノズルから噴出された材料は、懸濁液として容器2
02内にたまる。容器202を静置しておくと、蛍光体
粒子が沈降し容器202の底に蛍光体膜204が形成さ
れる。上澄液を排出後、乾燥装置205から放出される
加温エアを吹き付け乾燥させる。その後、各パッケージ
105を取り出すことにより粒子状蛍光体を有する発光
ダイオードとすることができる。The coating parts 111, 121
The particles of the coating material 111 and 121 are thoroughly mixed with the binder and sprayed from the nozzle of the discharge means 201 into the container 202. In the container 202,
A package 105 having an LED chip is arranged. The material ejected from the nozzle is suspended in the container 2
It collects in 02. When the container 202 is left standing, the phosphor particles settle and the phosphor film 204 is formed on the bottom of the container 202. After discharging the supernatant, warm air discharged from the drying device 205 is blown to dry. After that, each package 105 is taken out to obtain a light emitting diode having a particulate phosphor.
【0023】(粒子状蛍光体)本発明に用いられる蛍光
体としては、少なくともLEDチップ103の半導体発
光層から発光された光で励起されて発光する粒子状蛍光
体をいう。LEDチップ103が発光した光と、粒子状
蛍光体が発光した光が補色関係などにある場合、それぞ
れの光を混色させることで白色を発光することができ
る。具体的には、LEDチップ103からの光と、それ
によって励起され発光する粒子状蛍光体の光がそれぞれ
光の3原色(赤色系、緑色系、青色系)に相当する場合
やLEDチップ103が発光した青色の光と、それによ
って励起され発光する粒子状蛍光体の黄色の光が挙げら
れる。(Particulate Phosphor) The phosphor used in the present invention means a particulate phosphor that emits light when excited by light emitted from at least the semiconductor light emitting layer of the LED chip 103. When the light emitted by the LED chip 103 and the light emitted by the particulate phosphor have a complementary color relationship or the like, white light can be emitted by mixing the respective lights. Specifically, when the light from the LED chip 103 and the light of the particulate phosphor that is excited and emitted by the LED chip 103 respectively correspond to the three primary colors of light (red, green, and blue), The emitted blue light and the yellow light of the particulate fluorescent material that is excited by the emitted blue light and emits light.
【0024】発光ダイオードの発光色は、粒子状蛍光体
と粒子状蛍光体の結着剤として働く各種樹脂やガラスな
どの無機部材などとの比率、粒子状蛍光体の沈降時間、
粒子状蛍光体の形状などを種々調整すること及びLED
チップの発光波長を選択することにより電球色など任意
の白色系の色調を提供させることができる。発光ダイオ
ードの外部には、LEDチップからの光と蛍光体からの
光がモールド部材を効率よく透過することが好ましい。The emission color of the light emitting diode is determined by the ratio of the particulate fluorescent material to various resins that act as a binder for the particulate fluorescent material or an inorganic member such as glass, the sedimentation time of the particulate fluorescent material,
Various adjustment of the shape of the particulate phosphor and the LED
By selecting the emission wavelength of the chip, it is possible to provide an arbitrary white color tone such as a light bulb color. It is preferable that the light from the LED chip and the light from the phosphor are efficiently transmitted through the mold member to the outside of the light emitting diode.
【0025】具体的な粒子状蛍光体としては、銅で付活
された硫化カドミ亜鉛やセリウムで付活されたイットリ
ウム・アルミニウム・ガーネット系蛍光体が挙げられ
る。特に、高輝度且つ長時間の使用時においては(Re
1-xSmx)3(Al1-yGay)5O12:Ce(0≦x<
1、0≦y≦1、但し、Reは、Y,Gd,Laからな
る群より選択される少なくとも一種の元素である。)な
どが好ましい。粒子状蛍光体として特に(Re1-xSm
x)3(Al1-yGay)5O12:Ceを用いた場合には、
LEDチップと接する或いは近接して配置され放射照度
として(Ee)=3W・cm-2以上10W・cm-2以下
においても高効率に十分な耐光性を有する発光ダイオー
ドとすることができる。Specific particulate phosphors include cadmium zinc sulfide activated by copper and yttrium-aluminum-garnet-based phosphor activated by cerium. In particular, when using for a long time with high brightness (Re
1-xSmx) 3 (Al1-yGay) 5O12: Ce (0≤x <
1, 0 ≦ y ≦ 1, provided that Re is at least one element selected from the group consisting of Y, Gd, and La. ) And the like are preferable. Especially as a particulate phosphor (Re1-xSm
x) 3 (Al1-yGay) 5O12: Ce is used,
A light emitting diode which is arranged in contact with or close to an LED chip and has sufficient light resistance with high efficiency even when the irradiance is (Ee) = 3 W · cm −2 or more and 10 W · cm −2 or less can be obtained.
【0026】(Re1-xSmx)3(Al1-yGay)5O1
2:Ce蛍光体は、ガーネット構造のため、熱、光及び
水分に強く、励起スペクトルのピークが470nm付近
などにさせることができる。また、発光ピークも530
nm付近にあり720nmまで裾を引くブロードな発光
スペクトルを持たせることができる。しかも、組成のA
lの一部をGaで置換することで発光波長が短波長にシ
フトし、また組成のYの一部をGdで置換することで、
発光波長が長波長へシフトする。このように組成を変化
することで発光色を連続的に調節することが可能であ
る。したがって、長波長側の強度がGdの組成比で連続
的に変えられるなど窒化物半導体の青色系発光を利用し
て白色系発光に変換するための理想条件を備えている。(Re1-xSmx) 3 (Al1-yGay) 5O1
Since the 2: Ce phosphor has a garnet structure, it is resistant to heat, light and moisture, and the peak of the excitation spectrum can be set to around 470 nm. Also, the emission peak is 530
It can have a broad emission spectrum in the vicinity of nm and skirting down to 720 nm. Moreover, the composition A
By substituting a part of l with Ga, the emission wavelength shifts to a short wavelength, and by substituting a part of Y of the composition with Gd,
The emission wavelength shifts to longer wavelengths. By changing the composition in this way, it is possible to continuously adjust the emission color. Therefore, the ideal condition for converting the blue-based light emission of the nitride semiconductor into the white-based light emission is provided such that the intensity on the long wavelength side is continuously changed by the composition ratio of Gd.
【0027】このような蛍光体は、Y、Gd、Ce、S
m、Al、La及びGaの原料として酸化物、又は高温
で容易に酸化物になる化合物を使用し、それらを化学量
論比で十分に混合して原料を得る。又は、Y、Gd、C
e、Smの希土類元素を化学量論比で酸に溶解した溶解
液を蓚酸で共沈したものを焼成して得られる共沈酸化物
と、酸化アルミニウム、酸化ガリウムとを混合して混合
原料を得る。これにフラックスとしてフッ化アンモニウ
ム等のフッ化物を適量混合して坩堝に詰め、空気中13
50〜1450°Cの温度範囲で2〜5時間焼成して焼
成品を得る。次に焼成品を水中でボールミルして、洗
浄、分離、乾燥、最後に篩を通すことで所望の粒子状蛍
光体を得ることができる。Such phosphors include Y, Gd, Ce and S.
An oxide or a compound that easily becomes an oxide at high temperature is used as a raw material for m, Al, La and Ga, and they are sufficiently mixed in a stoichiometric ratio to obtain a raw material. Or Y, Gd, C
e, a coprecipitated oxide obtained by firing a solution obtained by coprecipitating a solution of rare earth elements of Sm in an acid at a stoichiometric ratio with oxalic acid, aluminum oxide, and gallium oxide to prepare a mixed raw material. obtain. An appropriate amount of a fluoride such as ammonium fluoride is mixed as a flux into the crucible and packed in a crucible.
Firing is performed in the temperature range of 50 to 1450 ° C for 2 to 5 hours to obtain a fired product. Next, the fired product is ball-milled in water, washed, separated, dried, and finally passed through a sieve to obtain a desired particulate phosphor.
【0028】本発明の発光ダイオードにおいて、粒子状
蛍光体は、2種類以上の粒子状蛍光体を混合させてもよ
い。即ち、Al、Ga、Y、La及びGdやSmの含有
量が異なる2種類以上の(Re1-xSmx)3(Al1-yG
ay)5O12:Ce蛍光体を混合させてRGBの波長成分
を増やすことができる。また、現在のところ半導体発光
素子の発光波長には、バラツキが生ずるものがあるため
2種類以上の蛍光体を混合調整させて所望の白色光など
を得ることができる。具体的には、発光素子の発光波長
に合わせて色度点の異なる蛍光体の量を調整し含有させ
ることでその蛍光体間と発光素子で結ばれる色度図上の
任意の点を発光させることができる。In the light emitting diode of the present invention, the particulate phosphor may be a mixture of two or more kinds of particulate phosphors. That is, two or more kinds of (Re1-xSmx) 3 (Al1-yG) having different contents of Al, Ga, Y, La, Gd and Sm.
ay) It is possible to increase the wavelength components of RGB by mixing the 5O12: Ce phosphor. In addition, at present, there are variations in the emission wavelength of the semiconductor light emitting device, so that it is possible to obtain a desired white light by mixing and adjusting two or more kinds of phosphors. Specifically, by adjusting and containing the amount of phosphors having different chromaticity points according to the emission wavelength of the light emitting element, light is emitted at any point on the chromaticity diagram connected between the phosphors and the light emitting element. be able to.
【0029】このような粒子状蛍光体は、気相や液相中
に分散させ均一に放出させることができる。気相や液相
中での粒子状蛍光体は、自重によって沈降する。特に液
相中においては懸濁液を静置させることで、より均一性
の高い粒子状蛍光体を持つ層を形成させることができ
る。所望に応じて複数回繰り返すことにより所望の粒子
状蛍光体量を形成することができる。Such a particulate phosphor can be dispersed in a gas phase or a liquid phase and uniformly emitted. The particulate fluorescent material in the gas phase or liquid phase settles due to its own weight. In particular, by allowing the suspension to stand in the liquid phase, it is possible to form a layer having a more uniform particulate phosphor. It is possible to form a desired amount of the particulate phosphor by repeating a plurality of times as desired.
【0030】(LEDチップ103)本発明に用いられ
るLEDチップ103とは、粒子状蛍光体を励起可能な
ものである。発光素子であるLEDチップ103は、M
OCVD法等により基板上にGaAs、InP、GaA
lAs、InGaAlP、InN、AlN、GaN、I
nGaN、AlGaN、InGaAlN等の半導体を発
光層として形成させる。半導体の構造としては、MIS
接合、PIN接合やPN接合などを有するホモ構造、ヘ
テロ構造あるいはダブルへテロ構成のものが挙げられ
る。半導体層の材料やその混晶度によって発光波長を種
々選択することができる。また、半導体活性層を量子効
果が生ずる薄膜に形成させた単一量子井戸構造や多重量
子井戸構造とすることもできる。好ましくは、粒子状蛍
光体を効率良く励起できる比較的短波長を効率よく発光
可能な窒化物系化合物半導体(一般式IniGajAlk
N、ただし、0≦i、0≦j、0≦k、i+j+k=
1)である。(LED Chip 103) The LED chip 103 used in the present invention is capable of exciting the particulate fluorescent material. The LED chip 103, which is a light emitting element, is M
GaAs, InP, GaA on the substrate by OCVD etc.
lAs, InGaAlP, InN, AlN, GaN, I
A semiconductor such as nGaN, AlGaN, or InGaAlN is formed as a light emitting layer. The semiconductor structure is MIS.
A homo structure, a hetero structure, or a double hetero structure having a junction, a PIN junction, a PN junction, or the like can be used. Various emission wavelengths can be selected depending on the material of the semiconductor layer and the degree of mixed crystal thereof. Further, the semiconductor active layer may be formed as a thin film in which a quantum effect is generated, and may have a single quantum well structure or a multiple quantum well structure. Preferably, a nitride-based compound semiconductor (general formula IniGajAlk) capable of efficiently emitting a relatively short wavelength that can efficiently excite the particulate phosphor.
N, where 0 ≦ i, 0 ≦ j, 0 ≦ k, i + j + k =
1).
【0031】窒化ガリウム系化合物半導体を使用した場
合、半導体基板にはサファイヤ、スピネル、SiC、S
i、ZnO、GaN等の材料が好適に用いられる。結晶
性の良い窒化ガリウムを形成させるためにはサファイヤ
基板を用いることがより好ましい。サファイヤ基板上に
半導体膜を成長させる場合、GaN、AlN等のバッフ
ァー層を形成しその上にPN接合を有する窒化ガリウム
半導体を形成させることが好ましい。また、サファイア
基板上にSiO2をマスクとして選択成長させたGaN
単結晶自体を基板として利用することもできる。この場
合、各半導体層を形成後SiO2をエッチング除去させ
ることによって発光素子とサファイア基板とを分離させ
ることもできる。窒化ガリウム系化合物半導体は、不純
物をドープしない状態でN型導電性を示す。発光効率を
向上させるなど所望のN型窒化ガリウム半導体を形成さ
せる場合は、N型ドーパントとしてSi、Ge、Se、
Te、C等を適宜導入することが好ましい。一方、P型
窒化ガリウム半導体を形成させる場合は、P型ドーパン
ドであるZn、Mg、Be、Ca、Sr、Ba等をドー
プさせる。When a gallium nitride compound semiconductor is used, sapphire, spinel, SiC, S are used as the semiconductor substrate.
Materials such as i, ZnO and GaN are preferably used. It is more preferable to use a sapphire substrate in order to form gallium nitride having good crystallinity. When growing a semiconductor film on a sapphire substrate, it is preferable to form a buffer layer of GaN, AlN or the like, and to form a gallium nitride semiconductor having a PN junction thereon. In addition, GaN selectively grown on a sapphire substrate using SiO2 as a mask.
The single crystal itself can also be used as the substrate. In this case, the light emitting element and the sapphire substrate can be separated by removing SiO2 by etching after forming each semiconductor layer. The gallium nitride-based compound semiconductor exhibits N-type conductivity in a state where it is not doped with impurities. In the case of forming a desired N-type gallium nitride semiconductor such as improving the luminous efficiency, Si, Ge, Se, N
It is preferable to introduce Te, C and the like as appropriate. On the other hand, when forming a P-type gallium nitride semiconductor, P-type dopants such as Zn, Mg, Be, Ca, Sr, and Ba are doped.
【0032】窒化ガリウム系化合物半導体は、P型ドー
パントをドープしただけではP型化しにくいためP型ド
ーパント導入後に、炉による加熱、低速電子線照射やプ
ラズマ照射等によりアニールすることでP型化させるこ
とが好ましい。具体的発光素子の層構成としては、窒化
ガリウム、窒化アルミニウムなどを低温で形成させたバ
ッファ層を有するサファイア基板や炭化珪素上に、窒化
ガリウム半導体であるN型コンタクト層、窒化アルミニ
ウム・ガリウム半導体であるN型クラッド層、Zn及び
Siをドープさせた窒化インジュウムガリウム半導体で
ある活性層、窒化アルミニウム・ガリウム半導体である
P型クラッド層、窒化ガリウム半導体であるP型コンタ
クト層が積層されたものが好適に挙げられる。LEDチ
ップ103を形成させるためにはサファイア基板を有す
るLEDチップ103の場合、エッチングなどによりP
型半導体及びN型半導体の露出面を形成させた後、半導
体層上にスパッタリング法や真空蒸着法などを用いて所
望の形状の各電極を形成させる。SiC基板の場合、基
板自体の導電性を利用して一対の電極を形成させること
もできる。The gallium nitride-based compound semiconductor is difficult to become P-type by only doping with a P-type dopant, so that after introducing the P-type dopant, it is annealed by heating in a furnace, low-speed electron beam irradiation, plasma irradiation, or the like to make it P-type. It is preferable. As a layer structure of a specific light emitting element, an N-type contact layer which is a gallium nitride semiconductor, an aluminum nitride / gallium semiconductor is formed on a sapphire substrate or a silicon carbide having a buffer layer in which gallium nitride, aluminum nitride, etc. are formed at a low temperature. An N-type clad layer, an active layer made of Zn and Si doped indium gallium nitride semiconductor, a P-type clad layer made of aluminum nitride / gallium semiconductor, and a P-type contact layer made of gallium nitride semiconductor are laminated. Suitable examples include: In order to form the LED chip 103, in the case of the LED chip 103 having a sapphire substrate, P is formed by etching or the like.
After forming the exposed surface of the type semiconductor and the N-type semiconductor, each electrode having a desired shape is formed on the semiconductor layer by a sputtering method, a vacuum evaporation method, or the like. In the case of a SiC substrate, the pair of electrodes can be formed by utilizing the conductivity of the substrate itself.
【0033】次に、形成された半導体ウエハー等をダイ
ヤモンド製の刃先を有するブレードが回転するダイシン
グソーにより直接フルカットするか、又は刃先幅よりも
広い幅の溝を切り込んだ後(ハーフカット)、外力によ
って半導体ウエハーを割る。あるいは、先端のダイヤモ
ンド針が往復直線運動するスクライバーにより半導体ウ
エハーに極めて細いスクライブライン(経線)を例えば
碁盤目状に引いた後、外力によってウエハーを割り半導
体ウエハーからチップ状にカットする。このようにして
窒化物系化合物半導体であるLEDチップ103を形成
させることができる。Next, the formed semiconductor wafer or the like is directly full-cut by a dicing saw in which a blade having a diamond edge is rotated, or after a groove having a width wider than the edge width is cut (half-cut), The semiconductor wafer is broken by an external force. Alternatively, an extremely thin scribe line (meridian line) is drawn in a semiconductor wafer, for example, in a grid pattern by a scriber in which a diamond needle at the tip moves reciprocally in a straight line, and then the wafer is split by external force to be cut into chips. In this way, the LED chip 103, which is a nitride-based compound semiconductor, can be formed.
【0034】本発明の発光ダイオードにおいて白色系を
発光させる場合は、粒子状蛍光体との補色等を考慮して
LEDチップ103の主発光波長は400nm以上53
0nm以下が好ましく、420nm以上490nm以下
がより好ましい。LEDチップ103と粒子状蛍光体と
の効率をそれぞれより向上させるためには、450nm
以上475nm以下がさらに好ましい。When the white light is emitted in the light emitting diode of the present invention, the main emission wavelength of the LED chip 103 is 400 nm or more 53 considering the complementary color with the particulate phosphor.
The thickness is preferably 0 nm or less, more preferably 420 nm or more and 490 nm or less. In order to further improve the efficiency of each of the LED chip 103 and the particulate phosphor, 450 nm is required.
More preferably, it is 475 nm or less.
【0035】(パッケージ102)パッケージ102
は、LEDチップ103を凹部内に固定保護する支持体
として働く。また、外部との電気的接続が可能な外部電
極104を有する。LEDチップ103の数や大きさに
合わせて複数の開口部を持ったパッケージ102とする
こともできる。また、好適には遮光機能を持たせるため
に黒や灰色などの暗色系に着色させる、或いはパッケー
ジ102の発光観測表面側が暗色系に着色されている。
パッケージ102は、LEDチップ103をさらに外部
環境から保護するためにコーティング部111、112
に加えて透光性保護体であるモールド部材106を設け
ることもできる。パッケージ102は、コーティング部
111、112やモールド部材106との接着性がよく
剛性の高いものが好ましい。LEDチップ103と外部
とを電気的に遮断させるために絶縁性を有することが望
まれる。さらに、パッケージ102は、LEDチップ1
03などからの熱の影響をうけた場合、モールド部材1
06との密着性を考慮して熱膨張率の小さい物が好まし
い。(Package 102) Package 102
Serves as a support for fixing and protecting the LED chip 103 in the recess. Further, it has an external electrode 104 that can be electrically connected to the outside. It is also possible to form the package 102 having a plurality of openings according to the number and size of the LED chips 103. Further, it is preferable that the light emitting observation surface side of the package 102 is colored in a dark color system such that it is colored in a dark color system such as black or gray in order to have a light shielding function.
The package 102 includes coating portions 111 and 112 to further protect the LED chip 103 from an external environment.
In addition to the above, a mold member 106, which is a translucent protective body, can be provided. It is preferable that the package 102 has good adhesion to the coating portions 111 and 112 and the molding member 106 and high rigidity. It is desired to have an insulating property in order to electrically shut off the LED chip 103 and the outside. Further, the package 102 includes the LED chip 1
Mold member 1 when affected by heat from
A material having a small coefficient of thermal expansion is preferable in consideration of the adhesiveness with 06.
【0036】パッケージ102の凹部内表面は、エンボ
ス加工させて接着面積を増やしたり、プラズマ処理して
モールド部材との密着性を向上させることもできる。パ
ッケージ102は、外部電極104と一体的に形成させ
てもよく、パッケージ102が複数に分かれ、はめ込み
などにより組み合わせて構成させてもよい。このような
パッケージ102は、インサート成形などにより比較的
簡単に形成することができる。パッケージ材料としてポ
リカーボネート樹脂、ポリフェニレンサルファイド(P
PS)、液晶ポリマー(LCP)、ABS樹脂、エポキ
シ樹脂、フェノール樹脂、アクリル樹脂、PBT樹脂等
の樹脂やセラミックなどを用いることができる。また、
パッケージ102を暗色系に着色させる着色剤としては
種々の染料や顔料が好適に用いられる。具体的には、C
r2O3、MnO2、Fe2O3やカーボンブラックなどが
好適に挙げられる。The inner surface of the recess of the package 102 may be embossed to increase the adhesion area, or plasma treated to improve the adhesion to the mold member. The package 102 may be formed integrally with the external electrode 104, or the package 102 may be divided into a plurality of pieces and combined by fitting or the like. Such a package 102 can be formed relatively easily by insert molding or the like. Polycarbonate resin, polyphenylene sulfide (P
Resins such as PS), liquid crystal polymer (LCP), ABS resin, epoxy resin, phenol resin, acrylic resin and PBT resin, and ceramics can be used. Also,
Various dyes and pigments are preferably used as the coloring agent for coloring the package 102 in a dark color system. Specifically, C
Preferable examples include r2O3, MnO2, Fe2O3 and carbon black.
【0037】LEDチップ103とパッケージ102と
の接着は熱硬化性樹脂などによって行うことができる。
具体的には、エポキシ樹脂、アクリル樹脂やイミド樹脂
などが挙げられる。また、LEDチップ103を配置固
定させると共にパッケージ102内の外部電極104と
電気的に接続させるためにはAgペースト、カーボンペ
ースト、ITOペースト、金属バンプ等が好適に用いら
れる。The LED chip 103 and the package 102 can be adhered to each other with a thermosetting resin or the like.
Specifically, an epoxy resin, an acrylic resin, an imide resin, or the like can be given. In addition, Ag paste, carbon paste, ITO paste, metal bumps, and the like are preferably used to arrange and fix the LED chip 103 and electrically connect to the external electrodes 104 in the package 102.
【0038】(外部電極104)外部電極104は、パ
ッケージ102外部からの電力を内部に配置されたLE
Dチップ103に供給させるために用いられるためのも
のである。そのためパッケージ102上に設けられた導
電性を有するパターンやリードフレームを利用したもの
など種々のものが挙げられる。また、外部電極104は
放熱性、電気伝導性、LEDチップ103の特性などを
考慮して種々の大きさに形成させることができる。外部
電極104は、各LEDチップ103を配置すると共に
LEDチップ103から放出された熱を外部に放熱させ
るため熱伝導性がよいことが好ましい。外部電極104
の具体的な電気抵抗としては300μΩ・cm以下が好
ましく、より好ましくは、3μΩ・cm以下である。ま
た、具体的な熱伝導度は、0.01cal/(s)(cm
2)(℃/cm)以上が好ましく、より好ましくは 0.5
cal/(s)(cm2)(℃/cm)以上である。(External Electrode 104) The external electrode 104 is an LE in which electric power from the outside of the package 102 is arranged.
It is used for supplying to the D chip 103. Therefore, various types such as those using a conductive pattern provided on the package 102 or a lead frame can be used. Also, the external electrode 104 can be formed in various sizes in consideration of heat dissipation, electrical conductivity, characteristics of the LED chip 103, and the like. The external electrode 104 preferably has good thermal conductivity in order to dispose the LED chips 103 and to dissipate the heat emitted from the LED chips 103 to the outside. External electrode 104
The specific electrical resistance is preferably 300 μΩ · cm or less, and more preferably 3 μΩ · cm or less. Moreover, the specific thermal conductivity is 0.01 cal / (s) (cm
2) (° C / cm) or higher, more preferably 0.5
cal / (s) (cm2) (° C / cm) or more.
【0039】このような外部電極104としては、銅や
りん青銅板表面に銀、パラジュウム或いは金などの金属
メッキや半田メッキなどを施したものが好適に用いられ
る。外部電極104としてリードフレームを利用した場
合は、電気伝導度、熱伝導度によって種々利用できるが
加工性の観点から板厚0.1mmから2mmが好まし
い。ガラスエポキシ樹脂やセラミックなどの支持体上な
どに設けられた外部電極104としては、銅箔やタング
ステン層を形成させることができる。プリント基板上に
金属箔を用いる場合は、銅箔などの厚みとして18〜7
0μmとすることが好ましい。また、銅箔等の上に金、
半田メッキなどを施しても良い。As such an external electrode 104, a copper or phosphor bronze plate whose surface is plated with a metal such as silver, palladium or gold or a solder plating is preferably used. When a lead frame is used as the external electrode 104, it can be used in various ways depending on electrical conductivity and thermal conductivity, but a plate thickness of 0.1 mm to 2 mm is preferable from the viewpoint of workability. A copper foil or a tungsten layer can be formed as the external electrode 104 provided on a support such as a glass epoxy resin or ceramic. When a metal foil is used on the printed circuit board, the thickness of the copper foil is 18 to 7
It is preferably 0 μm. Also, gold on copper foil,
You may give solder plating.
【0040】(導電性ワイヤー105)導電性ワイヤー
105としては、LEDチップ103の電極とのオーミ
ック性、機械的接続性、電気伝導性及び熱伝導性がよい
ものが求められる。熱伝導度としては0.01cal/
(s)(cm2)(℃/cm)以上が好ましく、より好ましく
は0.5cal/(s)(cm2)(℃/cm)以上である。
また、作業性などを考慮して導電性ワイヤー105の直
径は、好ましくは、Φ10μm以上、Φ45μm以下で
ある。このような導電性ワイヤー105として具体的に
は、金、銅、白金、アルミニウム等の金属及びそれらの
合金を用いた導電性ワイヤーが挙げられる。このような
導電性ワイヤー105は、各LEDチップ103の電極
と、インナー・リード及びマウント・リードなどと、を
ワイヤーボンディング機器によって容易に接続させるこ
とができる。(Conductive Wire 105) The conductive wire 105 is required to have good ohmic contact with the electrodes of the LED chip 103, mechanical connectivity, electrical conductivity and thermal conductivity. The thermal conductivity is 0.01 cal /
It is preferably (s) (cm2) (° C / cm) or more, more preferably 0.5 cal / (s) (cm2) (° C / cm) or more.
Further, in consideration of workability and the like, the diameter of the conductive wire 105 is preferably Φ10 μm or more and Φ45 μm or less. Specific examples of such a conductive wire 105 include a conductive wire using a metal such as gold, copper, platinum, aluminum, or an alloy thereof. Such conductive wires 105 can easily connect the electrodes of each LED chip 103 to the inner leads, mount leads and the like by a wire bonding device.
【0041】(モールド部材106)モールド部材10
6は、発光ダイオードの使用用途に応じてLEDチップ
103、導電性ワイヤー105、粒子状蛍光体が含有さ
れたコーティング部111、112などを外部から保護
するために設けることができる。モールド部材106
は、各種樹脂や硝子などを用いて形成させることができ
る。モールド部材106の具体的材料としては、主とし
てエポキシ樹脂、ユリア樹脂、シリコーン樹脂などの耐
候性に優れた透明樹脂や硝子などが好適に用いられる。
また、モールド部材に拡散剤を含有させることによって
LEDチップ103からの指向性を緩和させ視野角を増
やすこともできる。このような、モールド部材106
は、コーティング部の結着剤と同じ材料を用いても良い
し異なる材料としても良い。以下、本発明の実施例につ
いて説明するが、本発明は具体的実施例のみに限定され
るものではないことは言うまでもない。(Mold Member 106) Mold Member 10
6 can be provided to protect the LED chip 103, the conductive wire 105, the coating portions 111 and 112 containing the particulate fluorescent material, and the like from the outside according to the intended use of the light emitting diode. Mold member 106
Can be formed using various resins or glass. As a specific material for the molding member 106, a transparent resin having excellent weather resistance such as an epoxy resin, a urea resin, a silicone resin, or glass is preferably used.
Further, by including a diffusing agent in the mold member, it is possible to reduce the directivity from the LED chip 103 and increase the viewing angle. Such a mold member 106
May be the same as or different from the binder of the coating portion. Examples of the present invention will be described below, but it goes without saying that the present invention is not limited to specific examples.
【0042】[0042]
【実施例】(実施例1)LEDチップとして主発光ピー
クが460nmのIn0.2Ga0.8N半導体を用いた。L
EDチップは、洗浄させたサファイヤ基板上にTMG
(トリメチルガリウム)ガス、TMI(トリメチルイン
ジュウム)ガス、窒素ガス及びドーパントガスをキャリ
アガスと共に流し、MOCVD法で窒化ガリウム系化合
物半導体を成膜させることにより形成させた。ドーパン
トガスとしてSiH4とCp2Mgと、を切り替えること
によってN型導電性を有する窒化ガリウム系半導体とP
型導電性を有する窒化ガリウム系半導体を形成しPN接
合を形成させる。半導体発光素子として、N型導電性を
有する窒化ガリウム半導体であるコンタクト層と、P型
導電性を有する窒化ガリウムアルミニウム半導体である
クラッド層、P型導電性を有する窒化ガリウム半導体で
あるコンタクト層を形成させた。N型導電性を有するコ
ンタクト層とP型導電性を有するクラッド層との間に厚
さ約3nmであり、単一量子井戸構造とされるノンドー
プInGaNの活性層を形成させた。(なお、サファイ
ア基板上には低温で窒化ガリウム半導体を形成させバッ
ファ層とさせてある。また、P型導電性を有する半導体
は、成膜後400℃以上でアニールさせてある。)エッ
チングによりサファイア基板上のPN各半導体表面を露
出させた後、スパッタリングにより各電極をそれぞれ形
成させた。こうして出来上がった半導体ウエハーをスク
ライブラインを引いた後、外力により分割させ発光素子
として350μm角のLEDチップを形成させた。Example 1 An In0.2Ga0.8N semiconductor having a main emission peak of 460 nm was used as an LED chip. L
The ED chip is TMG on the cleaned sapphire substrate.
A (trimethylgallium) gas, a TMI (trimethylindium) gas, a nitrogen gas and a dopant gas were caused to flow together with a carrier gas to form a gallium nitride-based compound semiconductor by MOCVD. By switching between SiH4 and Cp2Mg as a dopant gas, a gallium nitride-based semiconductor having N-type conductivity and P
A gallium nitride based semiconductor having type conductivity is formed to form a PN junction. As a semiconductor light emitting element, a contact layer which is a gallium nitride semiconductor having N-type conductivity, a clad layer which is a gallium aluminum nitride semiconductor having P-type conductivity, and a contact layer which is a gallium nitride semiconductor having P-type conductivity are formed. Let An active layer of non-doped InGaN having a single quantum well structure and having a thickness of about 3 nm was formed between the contact layer having N-type conductivity and the clad layer having P-type conductivity. (Note that a gallium nitride semiconductor is formed on a sapphire substrate at a low temperature to form a buffer layer. A semiconductor having P-type conductivity is annealed at 400 ° C. or higher after film formation.) Sapphire by etching After exposing the surface of each PN semiconductor on the substrate, each electrode was formed by sputtering. After the scribe line was drawn on the semiconductor wafer thus produced, it was divided by an external force to form a 350 μm square LED chip as a light emitting element.
【0043】一方、インサート成形によりポリカーボネ
ート樹脂を用いてチップタイプLEDのパッケージを形
成させた。チップタイプLEDのパッケージ内は、LE
Dチップが配される開口部を備えている。パッケージ中
には、銀メッキした銅板を外部電極として配置させてあ
る。パッケージ内部でLEDチップをエポキシ樹脂など
を用いて固定させる。導電性ワイヤーである金線をLE
Dチップの各電極とパッケージに設けられた各外部電極
とにそれぞれワイヤーボンディングさせ電気的に接続さ
せてある。こうしてLEDチップが配置されたパッケー
ジを8280個形成させた。各パッケージの開口部を除
く表面には、レジスト膜が形成されている。8280個
のLEDチップが配置されたパッケージを純粋電解質が
入った容器中に配置させる。On the other hand, a chip type LED package was formed by insert molding using a polycarbonate resin. The inside of the chip type LED package is LE
It has an opening in which the D chip is arranged. A silver-plated copper plate is arranged as an external electrode in the package. The LED chip is fixed inside the package using epoxy resin or the like. LE is a conductive wire
Each electrode of the D chip and each external electrode provided on the package are wire-bonded and electrically connected. In this way, 8280 packages in which the LED chips were arranged were formed. A resist film is formed on the surface of each package except the opening. A package with 8280 LED chips is placed in a container with pure electrolyte.
【0044】他方、粒子状蛍光体は、Y、Gd、Ceの
希土類元素を化学量論比で酸に溶解した溶解液を蓚酸で
共沈させた。これを焼成して得られる共沈酸化物と、酸
化アルミニウムと混合して混合原料を得る。これにフラ
ックスとしてフッ化アンモニウムを混合して坩堝に詰
め、空気中1400°Cの温度で3時間焼成して焼成品
を得た。焼成品を水中でボールミルして、洗浄、分離、
乾燥、最後に篩を通して形成させた。形成された(Y0.
8Gd0.2)3Al5O12:Ce蛍光体をSiO2ゾル中に
分散させる。On the other hand, for the particulate phosphor, a solution in which rare earth elements of Y, Gd and Ce were dissolved in an acid at a stoichiometric ratio was coprecipitated with oxalic acid. The coprecipitated oxide obtained by firing this is mixed with aluminum oxide to obtain a mixed raw material. Ammonium fluoride was mixed with this as a flux, packed in a crucible, and baked in air at a temperature of 1400 ° C for 3 hours to obtain a baked product. Ball-mill the baked product in water to wash, separate,
It was dried and finally screened. Formed (Y0.
8Gd0.2) 3Al5O12: Ce phosphor is dispersed in SiO2 sol.
【0045】次に、酢酸でpHを5.0に調整した後、
直ちにパッケージが配置された容器中に(Y0.8Gd0.
2)3Al5O12:Ce蛍光体とSiO2ゾルを一挙に懸濁
注入させる(図2(A))。静置後(Y0.8Gd0.2)3Al
5O12:Ce蛍光体が沈降しパッケージ上に沈降する
(図2(B))。容器内の廃液を除しLEDチップ上に粒
子状蛍光体が堆積したパッケージを120度に加熱した
空気で乾燥させる(図2(C))。この後に、容器から各
発光ダイオードを取り出して発光ダイオードの非発光部
に付着した粒子状蛍光体をレジストマスクごと除去する
ことによってLEDチップ上とパッケージ底面との膜厚
が共に約40μmと略等しいコーティング部を形成させ
ることができる。さらに、LEDチップや粒子状蛍光体
を外部応力、水分及び塵埃などから保護する目的でコー
ティング部が形成されたパッケージ開口部内にモールド
部材として透光性エポキシ樹脂を形成させた。透光性エ
ポシキ樹脂を混入後、150℃5時間にて硬化させた。
こうして図1の如き発光装置である発光ダイオードを形
成させた。Next, after adjusting the pH to 5.0 with acetic acid,
Immediately put (Y0.8Gd0.
2) 3Al5O12: Ce phosphor and SiO2 sol are suspended and injected all at once (FIG. 2 (A)). After standing (Y0.8Gd0.2) 3Al
The 5O12: Ce phosphor settles and settles on the package (FIG. 2 (B)). The waste liquid in the container is removed, and the package in which the particulate phosphor is deposited on the LED chip is dried with air heated to 120 degrees (FIG. 2 (C)). After that, each light-emitting diode is taken out of the container, and the particulate phosphor adhering to the non-light-emitting portion of the light-emitting diode is removed together with the resist mask, so that the film thicknesses on the LED chip and the package bottom surface are both approximately equal to about 40 μm. Parts can be formed. Further, a translucent epoxy resin was formed as a mold member in the package opening formed with the coating for the purpose of protecting the LED chip and the particulate phosphor from external stress, moisture and dust. After the translucent epoxy resin was mixed in, it was cured at 150 ° C. for 5 hours.
Thus, a light emitting diode as a light emitting device as shown in FIG. 1 was formed.
【0046】得られた発光ダイオードに電力を供給させ
ることによって白色系を発光させることができる。発光
ダイオードの正面から色温度、演色性をそれぞれ測定し
た。色温度8090K、Ra(演色性指数)=87.5
を示した。また、発光光率は10.8 lm/wであっ
た。さらに、CIE色度図上のx,y=(0.305,
0.315)±0.03で囲まれた範囲内に、約811
4個の各発光ダイオードが分布しており歩留まりは、約
98%であった。White light can be emitted by supplying power to the obtained light emitting diode. The color temperature and the color rendering properties were measured from the front of the light emitting diode. Color temperature 8090K, Ra (color rendering index) = 87.5
showed that. Moreover, the light emission rate was 10.8 lm / w. Furthermore, x, y = (0.305, on the CIE chromaticity diagram,
0.315) Within the range surrounded by ± 0.03, about 811
The four light emitting diodes were distributed, and the yield was about 98%.
【0047】(比較例1)エポキシ樹脂中に(Y0.8G
d0.2)3Al5O12:Ce蛍光体を混合させてノズルか
ら突出させコーティング部を形成させた以外は、実施例
1と同様にして発光ダイオードを形成させた。形成され
た発光ダイオードの断面は、コーティング部の端面がは
い上がっていると共に粒子状蛍光体の量が不均一であっ
た。こうして形成された発光ダイオードの色度点を実施
例1と同様に測定した。形成された発光ダイオードの色
度点は、LEDチップの主発光ピークと蛍光体の主発光
波長を結んだ線上に略位置していたが、歩留まりは約6
1%にしか過ぎなかった。(Comparative Example 1) In epoxy resin (Y0.8G
d0.2) A light emitting diode was formed in the same manner as in Example 1 except that the phosphor of 3Al5O12: Ce was mixed and projected from the nozzle to form the coating portion. In the cross section of the formed light emitting diode, the end face of the coating portion was raised and the amount of the particulate phosphor was non-uniform. The chromaticity point of the light emitting diode thus formed was measured in the same manner as in Example 1. The chromaticity point of the formed light emitting diode was located approximately on the line connecting the main emission peak of the LED chip and the main emission wavelength of the phosphor, but the yield was about 6
It was only 1%.
【0048】[0048]
【発明の効果】コーティングの厚みが均一な本発明の発
光ダイオードとすることにより各方位による色度のずれ
が極めて少なく、発光観測面から見て色調ずれがない発
光ダイオードとさせることができる。また、歩留まりの
高い発光ダイオードとすることができる。EFFECTS OF THE INVENTION By using the light emitting diode of the present invention having a uniform coating thickness, it is possible to obtain a light emitting diode in which the deviation of chromaticity due to each direction is extremely small and there is no color deviation when viewed from the light emission observation surface. Further, a light emitting diode with high yield can be obtained.
【0049】特に、本発明の請求項1に記載の構成とす
ることにより高輝度、長時間の使用においても色ずれ、
発光光率の低下が極めて少ない発光ダイオードとするこ
とができる。In particular, with the structure according to claim 1 of the present invention, color shift occurs even at high brightness and long time use,
It is possible to obtain a light emitting diode in which the reduction of the luminous efficiency is extremely small.
【0050】本発明の請求項2の構成とすることによ
り、より耐光性及び発光効率の高い発光ダイオードとす
ることができる。With the structure according to the second aspect of the present invention, a light emitting diode having higher light resistance and higher luminous efficiency can be obtained.
【0051】本発明の請求項3の構成とすることによ
り、高輝度、長時間の使用においてもより輝度の低下や
色ずれが少なく白色系が発光可能な発光ダイオードとす
ることができる。With the structure according to claim 3 of the present invention, it is possible to obtain a light emitting diode capable of emitting white light with high brightness and less deterioration in brightness and color shift even when used for a long time.
【0052】本発明の請求項4の構成とすることによ
り、白色発光可能でより発光効率の高い発光ダイオード
とすることができる。With the structure according to the fourth aspect of the present invention, a light emitting diode capable of emitting white light and having higher light emission efficiency can be obtained.
【0053】本発明の請求項5の構成とすることによ
り、高輝度、長時間の使用においてもより輝度の低下や
色ずれが少なく白色系が発光可能な発光ダイオードとす
ることができる。With the structure according to claim 5 of the present invention, it is possible to obtain a light emitting diode capable of emitting white light with high brightness and less deterioration in brightness and color shift even when used for a long time.
【0054】本発明の請求項6の方法とすることによ
り、発光むらがなく、且つ大量に均一発光可能な発光ダ
イオードを歩留まりよく形成させることができる。By adopting the method of claim 6 of the present invention, it is possible to form a light emitting diode which has no light emission unevenness and is capable of uniformly emitting a large amount of light with a high yield.
【図1】図1は、本発明の発光装置であるチップタイプ
LEDの模式的断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a chip type LED which is a light emitting device of the present invention.
【図2】図2は、本発明の発光ダイオードを形成させる
形成装置を示した模式図である。FIG. 2 is a schematic view showing a forming apparatus for forming the light emitting diode of the present invention.
111・・LEDチップ上のコーティング部
112・・・支持体上のコーティング部
102・・・パッケージ
103・・・LEDチップ
104・・・外部電極
105・・・導電性ワイヤー
106・・・モールド部材
201・・・コーティング部の材料を噴出させる排出手
段
202・・・容器
203・・・ノズルから噴出されたコーティング部の材
料
204・・・蛍光体膜
205・・・加温エアを吹き付けれる乾燥装置111 ... Coating portion 112 on LED chip ... Coating portion 102 on support 102 ... Package 103 ... LED chip 104 ... External electrode 105 ... Conductive wire 106 ... Mold member 201 ... Ejection means 202 for ejecting the material of the coating portion ... Container 203 ... Material of the coating portion 204 ejected from the nozzle ... Phosphor film 205 ... Drying device capable of blowing heated air
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C09K 11/80 CPN C09K 11/80 CPN CPP CPP ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) C09K 11/80 CPN C09K 11/80 CPN CPP CPP
Claims (6)
LEDチップからの発光の少なくとも一部を吸収し波長
変換して発光する粒子状蛍光体と、を有する発光ダイオ
ードであって、 前記LEDチップ上に配置された粒子状蛍光体を有する
コーティング部の厚みと、前記LEDチップ上以外の支
持体上に配置された粒子状蛍光体を有するコーティング
部の厚みと、が略等しいことを特徴とする発光ダイオー
ド。1. A light-emitting diode comprising: an LED chip disposed on a support; and a particulate phosphor that absorbs at least a part of light emitted from the LED chip and converts the wavelength to emit light. It is characterized in that the thickness of the coating portion having the particulate fluorescent substance arranged on the LED chip is substantially equal to the thickness of the coating portion having the particulate fluorescent substance arranged on the support other than the LED chip. And a light emitting diode.
に少なくともSi、Al、Ga、Ti、Ge、P、B及
びアルカリ土類元素の1種又は2種以上を有する酸化物
からなる請求項1記載の発光ダイオード。2. The coating part is made of an oxide containing at least one kind of Si, Al, Ga, Ti, Ge, P, B and an alkaline earth element together with the particulate phosphor. The light emitting diode described.
物半導体であり、且つ前記粒子状蛍光体がセリウムで付
活されたイットリウム・アルミニウム・ガーネット系蛍
光体である請求項1記載の発光ダイオード。3. The light emitting diode according to claim 1, wherein the light emitting layer of the LED chip is a nitride-based compound semiconductor, and the particulate phosphor is a yttrium-aluminum-garnet-based phosphor activated with cerium. .
nmから530nmであり、且つ前記粒子状蛍光体の主
発光波長が前記LEDチップの主発光ピークよりも長い
請求項3記載の発光ダイオード。4. The main emission peak of the LED chip is 400.
4. The light emitting diode according to claim 3, wherein the main emission wavelength of the particulate phosphor is longer than the main emission peak of the LED chip.
物半導体であり、且つ前記粒子状蛍光体が(Re1-xS
mx)3(Al1-yGay)5O12:Ceである請求項1記
載の発光ダイオード。ただし、0≦x<1、0≦y≦
1、Reは、Y、Gd、Laから選択される少なくとも
一種の元素である。5. The light emitting layer of the LED chip is a nitride-based compound semiconductor, and the particulate phosphor is (Re1-xS).
The light emitting diode according to claim 1, which is mx) 3 (Al1-yGay) 5O12: Ce. However, 0 ≦ x <1, 0 ≦ y ≦
1, Re is at least one element selected from Y, Gd, and La.
光の少なくとも一部を吸収し波長変換して発光する蛍光
体と、を有する発光ダイオードの形成方法であって、気
相又は液相中に分散させた粒子状蛍光体の沈降により前
記LEDチップ上に粒子状蛍光体を含むコーティング部
を形成させることを特徴とする発光ダイオードの形成方
法。6. A method for forming a light emitting diode, comprising: an LED chip; and a phosphor that absorbs at least a part of light emitted from the LED chip and converts the wavelength to emit light. A method for forming a light emitting diode, characterized in that a coating portion containing the particulate phosphor is formed on the LED chip by sedimentation of the dispersed particulate phosphor.
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