JP2003222585A

JP2003222585A - 光学部材の位置調整機構

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Publication number: JP2003222585A
Application number: JP2002022418A
Authority: JP
Inventors: Yoshiaki Tokawa; 喜昭東川; Takuji Kurozumi; 拓司黒住
Original assignee: Horiba Ltd
Current assignee: Horiba Ltd
Priority date: 2002-01-30
Filing date: 2002-01-30
Publication date: 2003-08-08
Anticipated expiration: 2022-01-30
Also published as: JP4071971B2

Abstract

(57)【要約】【課題】簡単な構成でありながらも高精度に光学部材
の位置調整を行うことのできる光学部材の位置調整機構
を提供すること。【解決手段】光学部材８を保持するための二軸ステー
ジ１８を基準となるベースステージ１７に平行になるよ
うに、ベースステージ１７の平面内において変形かつ変
位する３つの板ばね１９，２０，２１で支持し、そのう
ちの第１および第２の板ばね１９，２０の一端部を互い
に直交する二軸方向において前記二軸ステージ１８に結
合し、これら第１および第２の板ばね１９，２０を前記
ベースステージ１７の平面内において変位させることに
より、前記二軸ステージ１８を前記平面内において変位
できるようにし、もって光学部材８の位置を調整できる
ようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、粒径分
布測定装置に組み込まれる光検出器など各種の光学部材
の位置を調整する機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】粒径分布測定装置は、例えば粉粒や粒体
など粉粒体の粒子径の分布を測定するものであり、基本
的には、分散媒など適宜の液体中に粉粒体を分散させた
試料が流通的に供給されるセルの一側にレーザ光を発す
る光源を設け、他側に前記レーザ光の照射により生ずる
散乱光や回折光を検出する光検出器を設けてなるもので
ある。

【０００３】上記粒径分布測定装置においては、光源と
光検出器との光軸が互いに厳密に一致していなければな
らず、例えば、透過光受光素子と、この受光素子を中心
にして適宜の間隔をおいて設けられる複数の円弧状の散
乱光受光素子（リングディテクタ）とからなる光検出器
の場合、光源を発したレーザ光の光軸と透過光受光素子
の中心位置とが一致している必要があるが、光源が熱歪
みを起こしたり、光源と光検出器との間に設けられるセ
ルやレンズをそれぞれ設けたベンチが熱で歪んだり、ま
た、セルを交換したりする場合、その取付け位置が変化
するなどして、前記光軸にずれが生ずることがあった。

【０００４】そこで、従来の粒径分布測定装置において
は、前記光検出器を、例えば図４に示すように保持し、
その位置調整を行えるようにしていた。すなわち、図４
において、６０はレーザ光源（図示していない）から発
せられるレーザ光Ｌの光軸と垂直な平面Ｘ−Ｙ平面にお
いて設けられる光検出器位置調整機構で、第１ステージ
６１と第２ステージ６２とからなる。第１ステージ６１
には、第２ステージ６２とこれをＸ軸方向に移動させる
Ｘ軸アクチュエータ６３が設けられている。また、第２
ステージ６２には、ディテクタステージ６４とこれを前
記Ｘ軸と直交するＹ軸方向に移動させるＹ軸アクチュエ
ータ６５が設けられている。そして、ディテクタステー
ジ６４には、透過光受光素子６６ａとこの受光素子６６
ａを中心にして適宜の間隔をおいて設けられる複数の円
弧状の散乱光受光素子６６ｂとからなる光検出器６６が
設けられている。

【０００５】前記光検出器位置調整機構６０において
は、Ｘ軸アクチュエータ６３およびＹ軸アクチュエータ
６５を動作させて、ディテクタステージ６４をＸ軸およ
び／またはＹ軸方向に移動させることにより、光検出器
６０の透過光受光素子６６ａをレーザ光Ｌの光軸と一致
するように調整することができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の光検出器位置調整機構６０においては、その構成が
２つのステージ６１，６２の２層構造であるとともに、
第２ステージ６２に設けられるアクチュエータ６５とし
ては、ディテクタステージ６４を移動させるに十分な力
を出力するものであればよいが、第１ステージ６１に設
けられるアクチュエータ６３としては、第２ステージ６
２、ディテクタステージ６４およびアクチュエータ６５
を十分移動させる力を有するアクチュエータが必要にな
り、それだけ、装置全体の構成が大型化し、重量も大き
くなる。そして、装置全体の重量が大きいため、外部か
らの振動や衝撃による影響を受けやすく、また、それに
耐える堅牢な構造が必要となる。また、第１ステージ６
１および第２ステージ６２にそれぞれ設けられているア
クチュエータ６３，６５が発生する熱がディテクタステ
ージ６４に伝わり、光検出器６６を構成する受光素子６
６ａ，６６ｂに悪影響が及ぼされるおそれがある。

【０００７】上述のような課題は、粒径分布測定装置に
おける光検出器６６のみならず、ガス分析計など各種の
分析装置や測定装置などに設けられるレンズ、光源、光
学フィルタ、ミラー、ピンホール、回折格子などの光学
部材の位置調整機構において共通して生じているところ
である。

【０００８】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、簡単な構成でありながらも高精
度に光学部材の位置調整を行うことのできる光学部材の
位置調整機構を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の光学部材の位置調整機構は、光学部材を
保持するための二軸ステージを基準となるベースステー
ジに平行になるように、ベースステージの平面内におい
て変形かつ変位する３つの板ばねで支持し、そのうちの
第１および第２の板ばねの一端部を互いに直交する二軸
方向において前記二軸ステージに結合し、これら第１お
よび第２の板ばねを前記ベースステージの平面内におい
て変位させることにより、前記二軸ステージを前記平面
内において変位できるようにし、もって光学部材の位置
を調整できるようにしたことを特徴としている（請求項
１）。

【００１０】請求項１に記載の光学部材の位置調整機構
において、第１および第２の板ばねがいずれもＬ字状に
形成されており、前記各板ばねの一端部が二軸ステージ
に結合され、各板ばねの他端部が同じ平面内において固
定され、各板ばねを前記平面内において変位させるよう
にしてあってもよい（請求項２）。

【００１１】請求項２に記載の光学部材の位置調整機構
において、第１および第２の板ばねのそれぞれにてこ機
構を介して各板ばねを変位させる力を印加するようにし
てあってもよい（請求項３）。

【００１２】請求項２または３に記載の光学部材の位置
調整機構において、二軸ステージの第１および第２の板
ばねの結合された点を越えた位置に、第１および第２の
板ばねの延設方向に沿うようにしてばねを設けてあって
もよい（請求項４）。

【００１３】上記光学部材の位置調整機構によれば、全
体の構成が簡単であり、軽量であるので、外部からの振
動や衝撃の影響を受けにくく、光学部材を保持するため
の二軸ステージを、それほど強固ではない簡単な構造で
支持することができる。そして、アクチュエータ部を二
軸ステージとは別の位置に配置することができるので、
任意の構造および大きさのアクチュエータ部を用いるこ
とができる。また、アクチュエータ部を二軸ステージか
ら離れた位置に配置することができるので、アクチュエ
ータ部から発生する熱が二軸ステージやこれに保持され
る光学部材に直接伝わることがない。さらに、二軸ステ
ージが一つの平面的な部材である場合、機構全体の構成
を簡単かつ小型化することができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、この発明の詳細を、図を参
照しながら説明する。図１〜図３は、この発明の一つの
実施の形態を示すものである。まず、図１は、この発明
の光学部材の位置調整機構（以下、単に位置調整機構と
いう）を組み込んだ粒径分布測定装置の全体構成を概略
的に示すものである。この図において、１はレーザ光２
を発する光源、３はレーザ光２を適宜拡大するビームエ
クスパンダ、４は試料５が図中の矢印６で示すように供
給される流通型のセル、７はセル４の後方に設けられる
集光レンズである。８は集光レンズ７からの散乱光や透
過光を検出する光検出器で、例えば薄いディテクタステ
ージ９の表面に、透過光受光素子１０を中心にして複数
の円弧状の散乱光受光素子１１が適宜の間隔をおいて設
けられてなるもので、各受光素子１０，１１はフォトダ
イオードよりなる。１２は光検出器８からの信号を取り
込むマルチプレクサ、１３はマルチプレクサ１２からの
信号が入力され、散乱光強度パターンに基づいて演算を
行って粒子径分布を求めるＣＰＵ、１４は装置全体を制
御するパソコンで、演算結果などを表示するカラーディ
スプレイなどの表示装置１５を備えている。ここまでの
構成は、従来の粒径分布測定装置のそれと変わるところ
はない。

【００１５】前記図１に示した粒径分布測定装置におい
ては、前記光検出器８の透過光受光素子１０の中心を、
レーザ光２の光軸中心と合致させるための位置調整機構
１６として、図２および図３に示すように構成されるも
のを用いている。

【００１６】すなわち、図１〜図３において、１７は例
えば平板状のベースステージで、レーザ光２の光軸２と
直交するように立設されるものである。このベースステ
ージ１７の一方の平面側に、光学部材としての光検出器
８を着脱自在に保持する平板状の二軸ステージ１８がベ
ースステージ１７の平面に沿うように変形かつ変位する
３つの適宜の幅を有する板ばね１９，２０，２１で支持
される。この実施の形態における二軸ステージ１８は、
その平面視形状がほぼ正方形で、その一つの対角線が上
下方向に、他の対角線が水平方向になるように、つま
り、４辺１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄが４５°の状
態で傾いた状態で設けられる。そして、この二軸ステー
ジ１８の一つの角部（辺１８ａと辺１８ｂが挟む部分）
には平面視左右対称形の膨出部１８Ａが形成される一
方、これと対角線の角部（辺１８ｃと辺１８ｄが挟む部
分）には、平面視矩形状の膨出部１８Ｂが形成されてい
る。そして、光検出器８は、前記平板状の二軸ステージ
１８の一方の面側に設けられ、板ばね１９〜２１は、二
軸ステージ１８の他方の面側、ベースステージ１７と二
軸ステージ１８との間に設けられる。なお、以下、辺１
８ａと平行な方向をＸ方向、辺１８ｂと平行な方向をＹ
方向といい、二軸とは、Ｘ方向、Ｙ方向のことをいう。

【００１７】前記板ばね１９〜２１のうちの第１の板ば
ね１９および第２の板ばね２０は、それらの板厚方向か
ら見てＬ字形を呈して、それぞれ、互いに直交した面部
１９ａ，１９ｂ、２０ａ，２０ｂよりなる。また、第３
の板ばね２１は、一つのフラットな面部を有する板ばね
よりなる。

【００１８】そして、第１の板ばね１９は、その一つの
面部１９ａがＸ方向と平行になり、面部１９ａの端部が
二軸ステージ１８の膨出部１８Ａの縁に固定され、他の
面部１９ｂの端部がベースステージ１７の平面１７ａに
突設された固定部材２２に固定され、その幅面が前記平
面１７ａと垂直となっている。また、第２の板ばね２０
は、その一つの面部２０ａがＹ方向と平行になり、面部
２０ａの端部が前記平面１７ａに突設された固定部材２
３に固定され、その幅面が前記平面１７ａと垂直になっ
ている。さらに、第３の板ばね２１、その一端が前記膨
出部１８Ａとは対角線上の反対側に位置する膨出部１８
Ｂの水平な縁に固定され、他端が前記平面１７ａに突設
された固定部材２４に固定され、その幅面が前記平面１
７ａと垂直かつＸ方向、Ｙ方向と４５°の状態（水平状
態）になるように設けられている。

【００１９】上述のように構成された板ばね１９〜２１
は、ベースステージ１７の平面１７ａに沿った方向、す
なわち、第１の板ばね１９はＸ方向に、第２の板ばね２
０は前記Ｘ方向と直交するＹ方向に、第３のばね２１は
Ａ方向（ベースステージ１７の上下方向）にのみ変形お
よび／または移動することができ、その結果、二軸ステ
ージ１８は、ベースステージ１７の平面１７ａに沿っ
て、Ｘ方向およびＹ方においてのみ移動することができ
る。特に、二軸ステージ１８は、その上端側が第３のば
ね２１によって支持されているので、平面１７ａに平行
かつ上下方向以外の無用な動きを行うことはない。

【００２０】そして、前記二軸ステージ１８は、以下に
述べるような機構の働きにより、ｘ ₁方向（Ｘ方向にお
いて上向きの方向）、ｘ₂方向（Ｘ方向において下向き
の方向）、ｙ₁方向（Ｙ方向において上向きの方向）、
ｙ₂方向（Ｙ方向において下向きの方向）に移動できる
ように構成されている。

【００２１】すなわち、第１の板ばね１９および第２の
板ばね２０のそれぞれ屈曲部の内側には、ベースステー
ジ１７に設けられるアクチュエータ部３０Ｘ，３０Ｙ
（後述する）の押圧力を受けて、二軸ステージ１８をｘ
₁方向およびｙ₁方向に移動させる駆動部材２５，２６
が設けられている。また、前記膨出部１８Ａにおける点
（第１の板ばね１９の面部１９ａを延長した線と第２の
板ばね２０の面部２０ａを延長した線との交点）２７に
それぞれ一端が結合され、それぞれの他端がベースステ
ージ１７上の固定点２８，２９にそれぞれ結合され、Ｘ
方向およびＹ方向にそれぞれ沿うように引きばね３０，
３１が張設されている。

【００２２】前記駆動部材２５，２６に所定の押圧力を
印加するアクチュエータ部３２Ｘ，３２Ｙの構成を説明
する。アクチュエータ部３２Ｘは、駆動部材２５をＸ方
向に押圧するものであり、アクチュエータ部３２Ｙは駆
動部材２６をＹ方向に押圧するものである。そして、両
アクチュエータ部３２Ｘ，３２Ｙは互いに同じ構成であ
るので、一方のＸ方向アクチュエータ部３２Ｘの構成を
説明し、図２および図３において、Ｙ方向アクチュエー
タ部３２Ｙ側の対応する部材には同一符号を付してその
説明は省略する。

【００２３】すなわち、図２および図３において、３３
はモータで、例えば正、逆いずれの方向にも回転するこ
とのできるステップモータ（パルスモータともいう）
で、ベースステージ１７の平面１７ａにブラケットを介
して取り付けられている。このモータ３３の出力軸３３
ａは、上下方向の変位を吸収するカップリング３４を介
して、押圧部材としてのボールねじ３５と結合されてい
る。そして、前記平面１７ａのモータ３３の下方位置に
は、ブラケットを介してボールナット３６が取り付けら
れており、ボールねじ３５は、ボールナット３６と螺合
し、その先端（下端）部３５ａは球面または適宜の曲面
に形成されており、この先端部側がボールナット３６か
ら適宜長さだけ下方に突出している。したがって、前記
ボールねじ３５は、モータ３３の正方向の回転または逆
方向の回転により、それぞれ、図２中の符号Ｕ方向また
はＶ方向に下降または上昇し、後述するレバー３７を駆
動する。

【００２４】３７は前記ボールねじ３５の下方向の移動
量または上方向の移動量および押圧力を適宜変倍して伝
達する機構で、この実施の形態においては、レバー（梃
子）よりなる。このレバー３７は、ボールねじ３５の下
端部３５ａの押圧力が作用する水平な第１レバー部３７
Ａと、第１の板ばね１９の面部１９ｂ（第２の板ばね２
０の面部２０ｂ）と平行になるように第１レバー部３７
Ａから４５°の角度で斜め方向に立ち上がる第２レバー
部３７Ｂとからなり、ベースステージ１７に立設される
支点３７Ｃによって回転自在にに枢支されている。そし
て、前記レバー３７は、ボールねじ３５の押圧力が作用
する第１レバー部３７Ａの力点部には平座金３８がボー
ルねじ３５および第１レバー部３５ａのいずれによって
も拘束されない状態で介装されている。また、前記レバ
ー３７の第２レバー部３７Ｂの出力側には、駆動部材２
５（２６）を押圧する押圧部３７ｂが形成されている。

【００２５】上記構成の位置調整機構１６においては、
光検出器８は、その透過光受光素子１０が第１の板ばね
１９の面部１９ａを延長した線と第２の板ばね２０の面
部２０ａを延長した線との交点２７に一致するようにし
て、二軸ステージ１８に取り付けられる。この状態で、
アクチュエータ部３２Ｘ，３２Ｙのモータ３３を正転さ
せると、このモータ３３の出力軸３３ａと上下方向の変
位を吸収するカップリング３４を介して接続されたボー
ルねじ３５が下方向（Ｕ方向）に動き、その押圧力が平
座金３８を介してレバー３７の第１レバー部３７ＡをＵ
方向に変位させる。この第１レバー部３７Ａの下方向へ
の変位に伴って第２レバー部３７Ｂが図２および図３に
おいて符号ｗ₁で示す方向に回転し、この回転による押
圧力が駆動部材２５，２６に印加される。その結果、第
１の板ばね１９は引きばね３０の引っ張り力に抗して、
また、第２の板ばね２０は引きばね３１の引っ張り力に
抗して、それぞれ、符号ｘ₁，ｙ₁で示す方向に移動
し、この移動に伴って、二軸ステージ１８が同様に移動
し、二軸ステージ１８に保持されている光検出器８が同
様に移動する。したがって、前記モータ３３に対してそ
れぞれ最適の回転量を得るための指令を与えることによ
り、光検出器８を保持した二軸ステージ１８を移動させ
ることができ、光検出器８の中心である透過光受光素子
１０の位置をレーザ光２の光軸に合致させることができ
るのである。

【００２６】なお、前記モータ３３を逆転させたときに
は、二軸ステージ１８を符号ｘ₂，ｙ₂で示す方向に移
動させることができることはいうまでもない。

【００２７】上述した位置調整機構１６においては、ア
クチュエータ部３２Ｘ，３２Ｙおよびこのアクチュエー
タ部３２Ｘ，３２Ｙによる駆動力をＸ方向、Ｙ方向への
駆動部材２５，２６に伝達する機構３７を、二軸ステー
ジ１８ととともにベースステージ１７に組み込むように
しているので、光検出器８の位置調整機構１６として小
型・コンパクトなものが得られる。

【００２８】そして、前記アクチュエータ部３２Ｘ，３
２Ｙには、モータ３３を用い、その出力軸３３ａを上下
方向の変位を吸収することができるカップリング３４を
用いてボールねじ３５に伝達するとともに、ボールねじ
３５による駆動力をレバー３７を介して第１の板ばね１
９および第２の板ばね２０にそれぞれ設けた駆動部材２
５，２６に伝えるようにしているので、アクチュエータ
部３２Ｘ，３２Ｙを光検出器８を光検出器持する二軸ス
テージ１８とは離れた位置に設けることができ、モータ
３３の熱が板ばね１９，２０に伝えられるといった不都
合を生ずることがない。

【００２９】また、上記位置調整機構１６においては、
摺動部がなく、こじれやこすれがないので、動きがスム
ーズである。さらに、レバー３７におけるレバー比を適
宜調整することにより、二軸ステージ１８の動きの大小
を設定することができ、光検出器８の位置をよりきめ細
かく微調整することができる。

【００３０】この発明は、種々の変形して実施すること
ができ、第１の板ばね１９および第２の板ばね２０は、
それぞれ、必ずしも一体物でなくてもよく、例えば、第
１の板ばね１９を構成するのに、２枚の独立したフラッ
トな板ばねを、駆動部材２５に対して、面部１９ａ，１
９ｂと同じように取り付けるようにしてもよい。第２の
板ばね２０についても同様である。さらに、第１の板ば
ね１９および第２の板ばね２０として、面部１９ａ，２
０ａからのみなるものを用い、この面部１９ａ，２０ａ
の長手方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に変位させる駆動力を印
加するようにしてもよい。

【００３１】そして、駆動部材２５，２６に対しては、
押圧力に代えて、引っ張り力を印加するようにしてもよ
い。すなわち、アクチュエータ部３２Ｘ，３２Ｙとして
引っ張り力を発生させるように構成したものを用いても
よい。

【００３２】また、引きばね３０，３１に代えて押しば
ねを用いてもよく、そして、第３の板ばね２１が十分に
強いものであれば、ばね３０，３１は必ずしも設ける必
要はない。さらに、二つのばね３０，３１を設けるのに
代えて、点２７から下方に真っ直ぐに（鉛直方向）一つ
のばねを、点２７とベースステージ１７上の固定点（図
示していない）との間に張設してもよい。

【００３３】さらに、光検出器８は、その透過光受光素
子１０が二軸ステージ１８上の点２７に一致するように
して二軸ステージ１８に取り付ける必要はなく、前記透
過光受光素子１０と前記点２７が多少ずれていてもよ
い。

【００３４】そして、上述の実施の形態においては、二
軸ステージ１８に保持される光学部材が光検出器８であ
ったが、この発明はこれに限られるものではなく、光学
部材がガス分析計など各種の分析装置や測定装置などに
設けられるレンズ、光源、光学フィルタ、ミラー、ピン
ホール、回折格子などであっても、同様に位置調整を行
うことができる。この場合、レンズ、光学フィルタ、ピ
ンホールなど、光を通過させるものにおいては、ベース
ステージ１７に光通過用孔など光通過部を開設したり、
ベースステージ１７の形状を適宜工夫する必要がある。

【００３５】

【発明の効果】以上のように、この発明の光学部材の位
置調整機構は、光学部材を保持するための二軸ステージ
を基準となるベースステージに平行になるように、ベー
スステージの平面内において変形かつ変位する３つの板
ばねで支持し、そのうちの第１および第２の板ばねの一
端部を互いに直交する二軸方向において前記二軸ステー
ジに結合し、これら第１および第２の板ばねを前記ベー
スステージの平面内において変位させることにより、前
記二軸ステージを前記平面内において変位できるように
し、もって光学部材の位置を調整できるようにしている
ので、全体の構成が簡単であり、軽量であり、したがっ
て、外部からの振動や衝撃の影響を受けにくく、光学部
材を保持するための二軸ステージを、それほど強固では
ない簡単な構造で支持することができる。

【００３６】そして、アクチュエータ部を二軸ステージ
とは別の位置に配置することができるので、任意の構造
および大きさのアクチュエータ部を用いることができ
る。また、アクチュエータ部を二軸ステージから離れた
位置に配置することができるので、アクチュエータ部か
ら発生する熱が二軸ステージやこれに保持される光学部
材に直接伝わることがない。さらに、二軸ステージが一
つの平面的な部材である場合、機構全体の構成を簡単か
つ小型化することができ、二軸ステージを一つの平面内
に形成することができ、二軸ステージの小型・コンパク
ト化が図れ、特に、厚み方向のサイズを小さくすること
ができるので、光路長の短い小型・コンパクトな光学装
置が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の光学部材の位置調整機構を組み込ん
だ粒径分布測定装置の全体構成を概略的に示す図であ
る。

【図２】この発明の光学部材の位置調整機構の平面構成
を概略的に示す図である。

【図３】前記位置調整機構の要部を拡大して示す図であ
る。

【図４】従来技術を説明するための図である。

【符号の説明】

８…光学部材、１６…位置調整機構、１７…ベースステ
ージ、１８…二軸ステージ、１９，２０，２１…板ば
ね、３０，３１…ばね、３７…変倍機構。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光学部材を保持するための二軸ステージ
を基準となるベースステージに平行になるように、ベー
スステージの平面内において変形かつ変位する３つの板
ばねで支持し、そのうちの第１および第２の板ばねの一
端部を互いに直交する二軸方向において前記二軸ステー
ジに結合し、これら第１および第２の板ばねを前記ベー
スステージの平面内において変位させることにより、前
記二軸ステージを前記平面内において変位できるように
し、もって光学部材の位置を調整できるようにしたこと
を特徴とする光学部材の位置調整機構。
【請求項２】第１および第２の板ばねがいずれもＬ字
状に形成されており、前記各板ばねの一端部が二軸ステ
ージに結合され、各板ばねの他端部が同じ平面内におい
て固定され、各板ばねを前記平面内において変位させる
ようにしてある請求項１に記載の光学部材の位置調整機
構。
【請求項３】第１および第２の板ばねのそれぞれに変
倍機構を介して各板ばねを変位させる力を印加するよう
にしてある請求項２に記載の光学部材の位置調整機構。
【請求項４】二軸ステージの第１および第２の板ばね
の結合された点を超えた位置に、第１および第２の板ば
ねの延設方向に沿うようにしてばねを設けてなる請求項
２または３に記載の光学部材の位置調整機構。