JP2003203559A - Method of manufacturing display device and display device - Google Patents

Method of manufacturing display device and display device

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JP2003203559A
JP2003203559A JP2002001814A JP2002001814A JP2003203559A JP 2003203559 A JP2003203559 A JP 2003203559A JP 2002001814 A JP2002001814 A JP 2002001814A JP 2002001814 A JP2002001814 A JP 2002001814A JP 2003203559 A JP2003203559 A JP 2003203559A
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JP
Japan
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electron source
layer
display device
cathode wiring
phosphor
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Application number
JP2002001814A
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Japanese (ja)
Inventor
Shigemi Hirasawa
重實 平澤
Yuichi Kijima
勇一 木島
Susumu Sasaki
進 佐々木
Hiroshi Kawasaki
浩 川崎
Kenji Miyata
健治 宮田
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Hitachi Ltd
Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
Japan Display Inc
Original Assignee
Hitachi Device Engineering Co Ltd
Hitachi Ltd
Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
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Publication date
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  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
  • Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently emit an electron by using a fibered material. <P>SOLUTION: A pressure sensitive adhesive sheet 10 is stuck to the outermost surface of an electron source layer 3 composed of a baked conductive filler 3A and a conductive fiber 3B. A fibered conductive material 3B' is torn off together with a conductive filler 3A' of the outermost surface by tearing off this sheet, and a conductive material 3B is raised up, so that the fibered conductive material 3B is exposed in an electric field in an implanted state. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【発明の属する技術分野】本発明は、真空中への電子放
出を利用した表示装置に係り、特に、安定した電子放出
を可能とした電子源を実現して表示特性を向上した表示
装置の製造方法及び表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a display device utilizing electron emission into a vacuum, and more particularly, to manufacturing a display device having an electron source capable of stable electron emission to improve display characteristics. A method and a display device.

【0001】[0001]

【従来の技術】高輝度、高精細に優れたディスプレイデ
バイスとして従来からカラー陰極線管が広く用いられて
いる。しかし、近年の情報処理装置やテレビ放送の高画
質化に伴い、高輝度、高精細の特性をもつと共に軽量、
省スペースの平板状ディスプレイ(パネルディスプレ
イ)の要求が高まっている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a color cathode ray tube has been widely used as a display device excellent in high brightness and high definition. However, with the recent improvement in image quality of information processing devices and television broadcasting, it has characteristics of high brightness and high definition and is lightweight,
There is an increasing demand for space-saving flat panel displays.

【0002】その典型例として液晶表示装置、プラズマ
表示装置などが実用化されている。また、特に、高輝度
化が可能なものとして、電子源から真空への電子放出を
利用した表示装置(以下、電子放出型表示装置、または
電界放出型表示装置:FEDと呼ばれる)や、低消費電
力を特徴とする有機ELディスプレイなど、種々の型式
のパネル型表示装置の実用化も近い。
As typical examples thereof, liquid crystal display devices, plasma display devices and the like have been put into practical use. In addition, in particular, a display device utilizing electron emission from an electron source to a vacuum (hereinafter, referred to as an electron emission display device or a field emission display device: FED) and a low consumption device, which can achieve high brightness, Practical application of various types of panel-type display devices such as organic EL displays characterized by electric power is near.

【0003】このようなパネル型の表示装置のうち、上
記電界放出型表示装置には、C.A.Spindtらに
より発案された電子放出構造をもつもの、メタル−イン
シュレータ−メタル(MIM)型の電子放出構造をもつ
もの、量子論的トンネル効果による電子放出現象を利用
する電子放出構造(表面伝導型電子源とも呼ばれる)を
もつもの、さらにはダイアモンド膜やグラファイト膜、
カーボンナノチューブ(CNT)の持つ電子放出現象を
利用する電界放出型表示装置、等が知られている。
Among such panel type display devices, the field emission type display device includes C.I. A. Those having an electron emission structure proposed by Spindt et al., Those having a metal-insulator-metal (MIM) type electron emission structure, electron emission structures utilizing the electron emission phenomenon by the quantum tunnel effect (surface conduction type electrons). (Also called source), as well as diamond and graphite films,
A field emission type display device and the like utilizing the electron emission phenomenon of carbon nanotubes (CNT) are known.

【0004】図17は電界放出型表示装置の構成例を説
明する模式断面図であり、図18は図17の矢印Aで示
した部分の拡大断面図である。参照符号100は背面パ
ネル、200は前面パネル、300は封止枠を示す。背
面パネル100は、背面基板1の内面に、電子源3を有
する陰極配線2と絶縁層4を介して設けられた制御電極
5を有している。また、前面パネル200を構成する前
面基板6の内面には、蛍光体7と陽極8が形成されてい
る。
FIG. 17 is a schematic cross-sectional view for explaining a constitutional example of the field emission display device, and FIG. 18 is an enlarged cross-sectional view of a portion indicated by an arrow A in FIG. Reference numeral 100 indicates a rear panel, 200 indicates a front panel, and 300 indicates a sealing frame. The rear panel 100 has a cathode electrode 2 having an electron source 3 and a control electrode 5 provided via an insulating layer 4 on the inner surface of the rear substrate 1. Further, the phosphor 7 and the anode 8 are formed on the inner surface of the front substrate 6 that constitutes the front panel 200.

【0005】制御電極5は絶縁層4上に導電材料の蒸着
等で形成され、陰極配線2に有する電子源3からの電子
放出(電子の引き出し)を制御する機能を有する。ま
た、電子を蛍光体7に収束させる電位を印加する他の電
極を設けてもよい。なお、図17では、陽極8の上に蛍
光体7を設けた構成としてあるが、蛍光体7を覆って陽
極8を形成したものもある。また、隣接する蛍光体の間
に遮光層(ブラックマトリクス)を設けることも行われ
ている。背面パネル100と前面パネル200とは、封
止枠300で貼り合わせて真空封止される。
The control electrode 5 is formed on the insulating layer 4 by vapor deposition of a conductive material or the like, and has a function of controlling electron emission (electron extraction) from the electron source 3 included in the cathode wiring 2. Further, another electrode for applying a potential for converging electrons to the phosphor 7 may be provided. Although the phosphor 7 is provided on the anode 8 in FIG. 17, the anode 8 may be formed by covering the phosphor 7. In addition, a light shielding layer (black matrix) is also provided between adjacent phosphors. The back panel 100 and the front panel 200 are attached to each other by a sealing frame 300 and vacuum sealed.

【0006】背面パネル100に設ける陰極配線2の上
には電子源3が形成されている。この電子源3は陰極配
線2と制御電極5の間に印加される電界で電子を効率よ
く発生する電子放出材料で構成される。導電性の材料
は、一般的に外側エッジが先鋭な形状であるほど電子放
出性能が高い。したがって、ファイバ状(棒状)の導電
材料を用いることで高効率の電子放出を実現することが
できる。この電子放出材料の一つとして、所謂カーボン
ナノチューブ(CNT)がある。カーボンナノチューブ
は銀、あるいはニッケル等の導電性フィラーと混合され
て陰極配線2に固定されて電子源3を構成する。尚、放
出された電子は陰極配線2と陽極8の間に印加される電
界で加速されて蛍光体7を発光させる。尚、制御電極5
を設けずに陽極8により電界を印加して電子を放出させ
ることもできる。
An electron source 3 is formed on the cathode wiring 2 provided on the rear panel 100. The electron source 3 is composed of an electron emitting material that efficiently generates electrons by an electric field applied between the cathode wiring 2 and the control electrode 5. A conductive material generally has a higher electron emission performance as the outer edge has a sharper shape. Therefore, highly efficient electron emission can be realized by using a fiber-shaped (rod-shaped) conductive material. There is so-called carbon nanotube (CNT) as one of the electron emitting materials. The carbon nanotubes are mixed with a conductive filler such as silver or nickel and fixed to the cathode wiring 2 to form the electron source 3. The emitted electrons are accelerated by the electric field applied between the cathode wiring 2 and the anode 8 to cause the phosphor 7 to emit light. The control electrode 5
It is also possible to emit an electron by applying an electric field by the anode 8 without providing.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ファイバ状の導電材料
を電子源として用いる場合、陰極配線2上にこの導電材
料を固定する必要がある。ここでは、ファイバ状の導電
材料としてカーボンナノチューブを例として説明する。
カーボンナノチューブは、極めて細い針状の炭素化合物
(厳密に言えば、炭素原子が6角形状に並んだグラフェ
ンと呼ばれる平面構造が円筒状に配置されて閉じてお
り、直径がナノメートルスケールの中空物質であり、こ
れを陰極配線2に配置して電子源3として用いることで
効率のよい電子放出を得ることができる。
When a fibrous conductive material is used as an electron source, it is necessary to fix this conductive material on the cathode wiring 2. Here, carbon nanotubes will be described as an example of the fibrous conductive material.
A carbon nanotube is an extremely thin needle-like carbon compound (strictly speaking, a planar structure called graphene in which carbon atoms are arranged in a hexagonal shape is arranged in a cylindrical shape and closed, and is a hollow substance with a diameter of nanometer scale. Therefore, by arranging this on the cathode wiring 2 and using it as the electron source 3, efficient electron emission can be obtained.

【0008】カーボンナノチューブを陰極配線2に設置
する際には、カーボンナノチューブを銀やニッケルなど
の導電性フィラーと共に混練した電極ペーストを塗布し
て電子源層を形成し、これを焼成して陰極配線2に固定
する方法が知られている。しかし、ニッケルを導電性フ
ィラーとした場合、これを塗布、焼成して形成した電子
源3では、その最表面に導電性フィラーであるニッケル
の粒子が露出したり、カーボンナノチューブがニッケル
粒子の表面に貼り付いてしまい、カーボンナノチューブ
が先鋭な端部を真空中に露出され難くなる。又、焼成に
より表面にあるカーボンナノチューブの一部又は全部が
焼失してしまう場合がある。その結果、電子放出性能を
充分に発揮できない。
When the carbon nanotubes are placed on the cathode wiring 2, an electrode paste prepared by kneading the carbon nanotubes with a conductive filler such as silver or nickel is applied to form an electron source layer, which is baked to form the cathode wiring. A method of fixing to 2 is known. However, when nickel is used as the conductive filler, in the electron source 3 formed by applying and firing the conductive filler, nickel particles that are the conductive filler are exposed on the outermost surface thereof, or carbon nanotubes are present on the surface of the nickel particles. The carbon nanotubes stick to each other, making it difficult for the sharp ends of the carbon nanotubes to be exposed in a vacuum. In addition, there is a case where part or all of the carbon nanotubes on the surface are burned out by the firing. As a result, the electron emission performance cannot be fully exhibited.

【0009】従来は、ニッケルを導電性フィラーとした
ような電子源3を用いる場合、塗布膜の焼成後に表面を
研磨することで電子源層の研磨面にカーボンナノチュー
ブを露出させる方法を採用していた。また、導電性フィ
ラーに銀を用いた場合、銀の混入量が多いと焼成工程で
銀がカーボンナノチューブを取り込んでしまい、カーボ
ンナノチューブは電子源3としての作用を奏しなくな
る。逆に、銀の混入量が少ないと塗布膜の強度が得られ
ず、中間的な混入量でも表面にカーボンナノチューブを
露出させるためには研磨を必要としていた。
Conventionally, when the electron source 3 using nickel as a conductive filler is used, a method of exposing the carbon nanotubes to the polished surface of the electron source layer by polishing the surface after baking the coating film is adopted. It was Further, when silver is used as the conductive filler, if the amount of silver mixed is large, the silver will take in the carbon nanotubes in the firing step, and the carbon nanotubes will not function as the electron source 3. On the contrary, if the amount of silver mixed is small, the strength of the coating film cannot be obtained, and even if the amount of silver mixed is intermediate, polishing is required to expose the carbon nanotubes on the surface.

【0010】上記の研磨によりカーボンナノチューブを
露出させた場合、この露出部分は電子源の最表面に研磨
面が見える程度であり、電子放出性能を果たすための充
分な端部露出はできない。したがって、高効率の電子放
出で充分に明るい表示装置を構成することが困難であっ
た。
When the carbon nanotubes are exposed by the above-mentioned polishing, the exposed portion is such that the polished surface can be seen on the outermost surface of the electron source, and it is not possible to sufficiently expose the end portion for fulfilling the electron emission performance. Therefore, it is difficult to construct a sufficiently bright display device with highly efficient electron emission.

【0011】本発明の目的は、カーボンナノチューブの
ようなファイバ状の材料を用いて効率のよい電子放出を
実現できる電子源を有する表示装置の製造方法と、この
電子源を備えた表示装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a display device having an electron source capable of realizing efficient electron emission by using a fibrous material such as carbon nanotube, and a display device provided with this electron source. To do.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の製造方法は、焼成した電子源層の最表面に
粘着シートを貼着し、これを引き剥がすことで当該最表
面の導電性フィラーと共にファイバ状の導電性材料を引
き起こすことによって、当該ファイバ状の導電性材料を
電界中に植立状態で露出させた点に特徴を有する。尚、
粘着シートを用いるかわりに樹脂膜などによる密着層を
形成し、これを引き剥がしてもよい。
In order to achieve the above-mentioned object, the production method of the present invention is such that an adhesive sheet is attached to the outermost surface of a fired electron source layer, and the adhesive sheet is peeled off to conduct the outermost surface. The feature is that the fibrous conductive material is exposed in an electric field in an upright state by causing the fibrous conductive material together with the conductive filler. still,
Instead of using the adhesive sheet, an adhesive layer made of a resin film or the like may be formed and then peeled off.

【0013】また、本発明の表示装置は、上記の製造方
法で製造することにより、高効率の電子放出を実現して
充分に明るい表示装置を提供することを特徴とする。本
発明の代表的な構成を記述すれば次のとおりである。
The display device of the present invention is characterized by providing a sufficiently bright display device by realizing highly efficient electron emission by being manufactured by the above manufacturing method. The typical constitution of the present invention is as follows.

【0014】まず、表示装置の一製造方法については、
陰極配線上に電子源を配した背面パネルと、前記電子源
に対向する陽極および蛍光体とを有する前面パネルとを
備え、前記電子源に電界を印加することにより前記電子
源から放出される電子で前記蛍光体を励起して表示を行
う表示装置の製造方法であって、前記陰極配線上に導電
性フィラーと導電性ファイバを混入した電極ペーストを
塗布する電極ペースト塗布工程と、前記電極ペーストを
焼成して電子源層とする焼成・電子源層形成工程と、焼
成後の前記電子源層の表面に粘着シートを貼着し又は密
着層を形成し、前記粘着シートを貼着し又は密着層を前
記電子源層の表層と共に剥離することにより前記導電性
ファイバを前記電子源層の表面から引き起こす表面層剥
離工程と、を含む。
First, regarding one manufacturing method of the display device,
An electron is emitted from the electron source by providing a rear panel having an electron source on the cathode wiring and a front panel having an anode and a phosphor facing the electron source, and applying an electric field to the electron source. In the method of manufacturing a display device for exciting the phosphor to display, an electrode paste applying step of applying an electrode paste containing a conductive filler and a conductive fiber on the cathode wiring, and the electrode paste. A step of forming an electron source layer by baking to form an electron source layer, and attaching an adhesive sheet to the surface of the electron source layer after firing or forming an adhesion layer, attaching the adhesive sheet or an adhesion layer A surface layer peeling step of causing the conductive fiber from the surface of the electron source layer by peeling with the surface layer of the electron source layer.

【0015】上記の導電性ファイバとしてカーボンナノ
チューブ、グラフィトファイバ、カーボンナノホーンの
うちの少なくとも1つを用い、また、前記導電性フィラ
ーとして、銀、またはニッケルの何れかを主成分とす
る、あるいはそれらの混合物を主成分として用いる。
At least one of carbon nanotubes, graffiti fibers, and carbon nanohorns is used as the conductive fiber, and the conductive filler contains silver or nickel as a main component, or those. Is used as the main component.

【0016】上記の工程を含む製造方法により、電子源
としての導電性ファイバが電子源層から電界中に立ち上
がって露出し、かつ当該電子源層に植設された状態で固
定される。そのため、電界中における電子放出性能が向
上し、明るい表示装置が得られる。
By the manufacturing method including the above steps, the conductive fiber as the electron source rises from the electron source layer in the electric field to be exposed, and is fixed in a state of being implanted in the electron source layer. Therefore, the electron emission performance in an electric field is improved, and a bright display device can be obtained.

【0017】また、表示装置の他の製造方法として、陰
極配線上に設けられた電子源と、前記電子源とは絶縁層
により電気的に絶縁され、且つ近接して交差配置された
制御電極とを有する背面パネルと、前記電子源に対向し
て配置された蛍光体および陽極を有する前面パネルとを
備え、前記電子源に電界を印加することにより前記電子
源から放出される電子が前記蛍光体を励起して発光させ
る表示装置の製造方法であって、前記背面パネルの内面
に前記陰極配線を形成する陰極配線形成工程と、少なく
とも前記電子源を形成する領域を露出させた絶縁層を形
成する絶縁層形成工程と、前記絶縁層の上、かつ前記電
子源を臨む部分に制御電極を形成する制御電極形成工程
と、前記陰極配線上の前記電子源を形成する領域に導電
性フィラーと導電性ファイバを混入した電極ペーストを
塗布する電極ペースト塗布工程と、前記電極ペーストを
焼成して電子源層とする焼成・電子源層形成工程と、焼
成後の前記電子源層の表面に粘着シートを貼着し又は密
着層を形成し、前記粘着シートを貼着し又は密着層を前
記電子源層の表層と共に剥離することにより前記導電性
ファイバを前記電子源層の表面から引き起こす表面層剥
離工程と、を含む。
As another method of manufacturing the display device, an electron source provided on the cathode wiring and a control electrode electrically insulated from the electron source by an insulating layer and arranged in close proximity to each other are provided. And a front panel having a phosphor and an anode arranged to face the electron source, the electrons emitted from the electron source by applying an electric field to the electron source are the phosphor. A method of manufacturing a display device for exciting light to emit light, comprising: forming a cathode wiring on the inner surface of the back panel; and forming an insulating layer exposing at least a region where the electron source is formed. An insulating layer forming step, a control electrode forming step of forming a control electrode on a portion of the insulating layer facing the electron source, and a conductive filler and a conductive material in a region of the cathode wiring where the electron source is formed. An electrode paste applying step of applying an electrode paste containing fibers, a baking / electron source layer forming step of baking the electrode paste to form an electron source layer, and an adhesive sheet attached to the surface of the electron source layer after baking. Wearing or forming an adhesion layer, a surface layer peeling step of causing the conductive fiber from the surface of the electron source layer by peeling the adhesion layer or the adhesion layer together with the surface layer of the electron source layer, including.

【0018】上記の導電性ファイバとしてカーボンナノ
チューブ、グラフィトファイバ、カーボンナノホーンの
うちの少なくとも1つを用い、また、前記導電性フィラ
ーとして、銀、またはニッケルの何れかを主成分とす
る、あるいはそれらの混合物を主成分として用いる。
At least one of carbon nanotubes, graffiti fibers, and carbon nanohorns is used as the conductive fiber, and the conductive filler contains silver or nickel as a main component, or those. Is used as the main component.

【0019】この製造方法では、陰極配線と制御電極の
間に絶縁層を設けて電気的に絶縁し、当該絶縁層に上に
蒸着等の手段によって上記制御電極を形成する。そし
て、絶縁層および制御電極に開けた開口に陰極配線を露
出させて上記電極ペーストを塗布し、焼成して電子源層
を形成する。その上から粘着シートを被せて上記電子源
層の表層に粘着シートを貼着させて当該表層と共に剥離
する。これにより、電子源としての導電性ファイバが電
子源層から電界中に立ち上がって露出し、かつ当該電子
源層に植設された状態で固定される。そのため、電界中
における電子放出性能が向上し、明るい表示装置が得ら
れる。粘着シートのかわりに密着層を用いてもよい。
In this manufacturing method, an insulating layer is provided between the cathode wiring and the control electrode for electrical insulation, and the control electrode is formed on the insulating layer by means such as vapor deposition. Then, the cathode wiring is exposed in the openings formed in the insulating layer and the control electrode, the electrode paste is applied, and baked to form an electron source layer. A pressure-sensitive adhesive sheet is covered from above, and the pressure-sensitive adhesive sheet is attached to the surface layer of the electron source layer, and is peeled off together with the surface layer. Thereby, the conductive fiber as an electron source rises from the electron source layer in the electric field to be exposed, and is fixed in a state of being implanted in the electron source layer. Therefore, the electron emission performance in an electric field is improved, and a bright display device can be obtained. An adhesive layer may be used instead of the adhesive sheet.

【0020】さらに、表示装置の他の製造方法として、
陰極配線上に設けられた電子源と、前記電子源とは電気
的に絶縁され、且つ近接して交差配置された制御電極と
を有する背面パネルと、前記電子源に対向して配置され
た蛍光体および陽極を有する前面パネルとを備え、前記
電子源に電界を印加することにより前記電子源から放出
される電子で前記蛍光体を励起して発光させる表示装置
の製造方法であって、前記背面パネルの内面に前記陰極
配線を形成する陰極配線形成工程と、前記陰極配線上の
前記電子源を形成する領域に導電性フィラーと導電性フ
ァイバを混入した電極ペーストを塗布する電極ペースト
塗布工程と、前記電極ペーストを焼成して電子源層とす
る焼成・電子源層形成工程と、焼成後の前記電子源層の
表面に粘着シートを貼着し又は密着層を形成し、前記粘
着シートを貼着し又は密着層を前記電子源層の表層と共
に剥離することにより前記導電性ファイバを前記電子源
層の表面から引き起こす表面層剥離工程と、前記陰極配
線と交差させて前記制御電極を設置する制御電極形成工
程と、を含む。
Further, as another method of manufacturing the display device,
A rear panel having an electron source provided on the cathode wiring, a control electrode electrically insulated from the electron source, and arranged in close proximity to each other, and a fluorescent light arranged to face the electron source. A method of manufacturing a display device, comprising: a body and a front panel having an anode, wherein the phosphor is excited by the electrons emitted from the electron source to emit light by applying an electric field to the electron source. A cathode wiring forming step of forming the cathode wiring on the inner surface of the panel, an electrode paste applying step of applying an electrode paste containing a conductive filler and a conductive fiber in a region where the electron source is formed on the cathode wiring, A firing / electron source layer forming step of firing the electrode paste to form an electron source layer, and attaching an adhesive sheet or forming an adhesive layer on the surface of the electron source layer after firing, and attaching the adhesive sheet Shi Is a surface layer peeling step in which the conductive fiber is peeled from the surface of the electron source layer by peeling the adhesion layer together with the surface layer of the electron source layer, and the control electrode is formed by intersecting the cathode wiring and installing the control electrode. And a step.

【0021】上記の導電性ファイバとしてカーボンナノ
チューブ、グラフィトファイバ、カーボンナノホーンの
うちの少なくとも1つを用い、また、前記導電性フィラ
ーとして、銀、またはニッケルの何れかを主成分とす
る、あるいはそれらの混合物を主成分として用いる。
At least one of carbon nanotubes, graffiti fibers, and carbon nanohorns is used as the conductive fiber, and the conductive filler contains silver or nickel as a main component, or those. Is used as the main component.

【0022】この製造方法では、陰極配線と制御電極の
間に絶縁層を設けることが必須ではない。すなわち、制
御電極として薄板状部材を用い、その自己形状保持特性
を利用し、あるいは張力を印加して陰極配線とは電気的
に絶縁する。したがって、この製造方法では、陰極配線
上に電極ペーストを塗布し、焼成して電子源層を形成す
る。その上から粘着シートを被せて上記電子源層の表層
に粘着シートを貼着させて当該表層と共に剥離する。そ
の後に上記した制御電極の設置を行う。これによても、
電子源としての導電性ファイバが電子源層から電界中に
立ち上がって露出し、かつ当該電子源層に植設された状
態で固定される。そのため、電界中における電子放出性
能が向上し、明るい表示装置が得られる。粘着シートの
かわりに密着層を用いてもよい。
In this manufacturing method, it is not essential to provide an insulating layer between the cathode wiring and the control electrode. That is, a thin plate-like member is used as the control electrode, and its self-shape retention property is utilized, or tension is applied to electrically insulate it from the cathode wiring. Therefore, in this manufacturing method, the electrode paste is applied onto the cathode wiring and fired to form the electron source layer. A pressure-sensitive adhesive sheet is covered from above, and the pressure-sensitive adhesive sheet is attached to the surface layer of the electron source layer, and is peeled off together with the surface layer. After that, the above-mentioned control electrodes are installed. According to this,
The conductive fiber as an electron source rises from the electron source layer in the electric field to be exposed, and is fixed in a state of being implanted in the electron source layer. Therefore, the electron emission performance in an electric field is improved, and a bright display device can be obtained. An adhesive layer may be used instead of the adhesive sheet.

【0023】そして、本発明による表示装置の構成とし
ては、陰極配線上に設けられた電子源と、前記電子源と
は電気的に絶縁され、且つ近接して交差配置された制御
電極とを有する背面パネルと、前記電子源に対向する蛍
光体および陽極を有する前面パネルとを備え、前記電子
源に電界を印加することにより前記電子源から放出され
る電子で前記蛍光体を励起して発光させる表示装置であ
って、前記電子源は、導電性フィラーと、導電性ファイ
バの混合層であり、前記導電性ファイバは前記導電性フ
ィラーから前記前面パネル側に引き起こされて露出する
部分を有し、前記引き起こされた前記導電性ファイバの
少なくとも一部の露出端に引きちぎりによる不定型な先
鋭形状を有する。
The structure of the display device according to the present invention includes an electron source provided on the cathode wiring and a control electrode electrically insulated from the electron source and arranged in close proximity to each other. A back panel and a front panel having a phosphor facing the electron source and an anode are provided, and by applying an electric field to the electron source, electrons emitted from the electron source excite the phosphor to emit light. In the display device, the electron source is a mixed layer of a conductive filler and a conductive fiber, the conductive fiber has a portion that is caused to be exposed from the conductive filler to the front panel side, At least a part of the exposed end of the conductive fiber that has been caused has an irregular sharp shape due to tearing.

【0024】上記の導電性ファイバとしてカーボンナノ
チューブ、グラフィトファイバ、カーボンナノホーンの
うちの少なくとも1つを用い、また、前記導電性フィラ
ーとして、銀、またはニッケルの何れかを主成分とす
る、あるいはそれらの混合物を主成分として用いる。
At least one of carbon nanotubes, graffiti fibers, and carbon nanohorns is used as the conductive fiber, and the conductive filler contains silver or nickel as a main component, or those. Is used as the main component.

【0025】この構成において、特に導電性フィラーか
ら前面パネル側に引き起こされて露出する部分を有する
導電性ファイバの先端の一部には、前記製造方法におけ
る粘着シート又は密着層の剥離時に剥離される表層と電
子源層の間で引きちぎられたものが存在する。このよう
な引きちぎりで形成される不定型な先鋭形状により、電
子放出性能が大幅に向上するため、明るい表示装置が得
られる。
In this structure, a part of the tip of the conductive fiber having a portion exposed from the conductive filler toward the front panel side is peeled off at the time of peeling the pressure-sensitive adhesive sheet or the adhesion layer in the above manufacturing method. There is a tear between the surface layer and the electron source layer. The amorphous sharp shape formed by such tearing off significantly improves the electron emission performance, and thus a bright display device can be obtained.

【0026】なお、本発明は、上記の構成および後述す
る実施例の構成に限定されるものではなく、本発明の技
術思想を逸脱することなく、種々の変更が可能であるこ
とは言うまでもない。
It is needless to say that the present invention is not limited to the above-mentioned constitutions and constitutions of embodiments to be described later, and various modifications can be made without departing from the technical idea of the present invention.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、実施例の図面を参照して詳細に説明する。図1〜図
4は本発明による表示装置の製造方法の一実施例の要部
工程を説明する模式図である。図1は電極ペーストを焼
成した電子源層に粘着シートを貼付した状態を示す断面
図、図2は図1の電子源層の拡大図である。また、図3
は電子源層に貼着した粘着シートと共に電子源層の最上
層を剥離する状態を示す断面図、図4は粘着シートの剥
離により引き起こされた導電性ファイバの状態を示す断
面図である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings of the embodiments. 1 to 4 are schematic diagrams for explaining the main steps of an embodiment of the method for manufacturing a display device according to the present invention. 1 is a cross-sectional view showing a state in which an adhesive sheet is attached to an electron source layer obtained by firing an electrode paste, and FIG. 2 is an enlarged view of the electron source layer in FIG. Also, FIG.
Is a cross-sectional view showing a state in which the uppermost layer of the electron source layer is peeled off together with the adhesive sheet attached to the electron source layer, and FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state of the conductive fiber caused by peeling the adhesive sheet.

【0028】図1に示したように、表示装置の背面基板
1の内面に形成した陰極配線2は、絶縁層4に形成した
開口4Aに露出している。この陰極配線2の上に電子源
層3を有している。この電子源層3は導電性フィラーと
してニッケル粒子3Aと導電性ファイバとしてのカーボ
ンナノチューブ(以下、CNTとも称する)3Bの混合
層からなる電子源層3が形成されている。
As shown in FIG. 1, the cathode wiring 2 formed on the inner surface of the rear substrate 1 of the display device is exposed in the opening 4A formed in the insulating layer 4. The electron source layer 3 is provided on the cathode wiring 2. The electron source layer 3 is formed with a mixed layer of nickel particles 3A as a conductive filler and carbon nanotubes (hereinafter also referred to as CNT) 3B as a conductive fiber.

【0029】電子源層3は、上記のニッケル粒子3Aと
カーボンナノチューブ3Bを適宜の分散剤(例えば、エ
チルセルロース)に混練した電極ペーストを印刷等で塗
布し、しかる後に焼成することで形成される。電子源層
3におけるニッケル粒子3Aとカーボンナノチューブ3
Bとは図2に拡大して示したように、極細のカーボンナ
ノチューブ3Bがニッケル粒子3Aの間に埋設された
り、ニッケル粒子3Aの表面に貼り付いた状態となって
いる。したがって、このままではカーボンナノチューブ
3Bは電子源層3の表面からは殆ど露出することがな
く、カーボンナノチューブが有する電子放出性能を発揮
できない。
The electron source layer 3 is formed by applying an electrode paste obtained by kneading the above-mentioned nickel particles 3A and carbon nanotubes 3B with an appropriate dispersant (eg, ethyl cellulose) by printing or the like, and then firing. Nickel particles 3A and carbon nanotubes 3 in the electron source layer 3
As shown in the enlarged view of FIG. 2, B means that the ultrafine carbon nanotubes 3B are embedded between the nickel particles 3A or attached to the surfaces of the nickel particles 3A. Therefore, as it is, the carbon nanotubes 3B are hardly exposed from the surface of the electron source layer 3, and the electron emission performance of the carbon nanotubes cannot be exhibited.

【0030】そこで、本実施例では、図1に示したよう
に、焼成後の電子源層3の最上層に粘着テープあるいは
粘着フィルム等の粘着シート部材10(以下粘着シート
と称する)を貼付し、図3の矢印に示したようにこの粘
着シート10の剥離を行う。焼成後の電子源層3は陰極
配線2にその下層が固定されているため、この粘着シー
ト10の剥離によって最上層にある若干のニッケル粒子
3A’が、表面近傍のカーボンナノチューブ3B’と共
に引き剥がされる。このとき、電子源層3に残留したカ
ーボンナノチューブ3Bは、粘着シート10の剥離操作
で、当該粘着シート10の大略引き剥がし方向(前面パ
ネル側)に引っ張られ、強制的に引きちぎられる。
Therefore, in this embodiment, as shown in FIG. 1, an adhesive sheet member 10 (hereinafter referred to as an adhesive sheet) such as an adhesive tape or an adhesive film is attached to the uppermost layer of the electron source layer 3 after firing. The adhesive sheet 10 is peeled off as indicated by the arrow in FIG. Since the lower layer of the electron source layer 3 after firing is fixed to the cathode wiring 2, some nickel particles 3A ′ in the uppermost layer are peeled off together with the carbon nanotubes 3B ′ in the vicinity of the surface by peeling off the adhesive sheet 10. Be done. At this time, the carbon nanotubes 3B remaining on the electron source layer 3 are pulled in the substantially peeling direction (front panel side) of the adhesive sheet 10 by the peeling operation of the adhesive sheet 10 and forcibly torn off.

【0031】その結果、図4に拡大して示したように、
カーボンナノチューブ3Bはニッケル粒子3Aから、あ
たかも当該ニッケル粒子3A(すなわち、電子源層3)
に植立した如く先端が露出し、前面パネルとの間に印加
される電界中に引きちぎりによる不定型な先鋭形状とし
て形成される。このようにカーボンナノチューブ3Bの
先鋭な先端が電界中に露出することにより、カーボンナ
ノチューブ3Bが本来有する電子放出性能を十分に発揮
させることができる。
As a result, as shown enlarged in FIG.
The carbon nanotubes 3B are formed from the nickel particles 3A as if they were the nickel particles 3A (that is, the electron source layer 3).
The tip is exposed as if it had been planted in, and is formed as an indeterminate sharp shape due to tearing in the electric field applied to the front panel. By exposing the sharp tip of the carbon nanotube 3B to the electric field in this manner, the electron emission performance originally possessed by the carbon nanotube 3B can be sufficiently exhibited.

【0032】図5は本発明による表示装置の製造方法の
一実施例の主要プロセスを説明する工程図である。図5
の工程を図1〜図4を参照して説明する。先ず、背面パ
ネル用のガラス板1(図1、図3の背面基板1に相当)
を用意し、これをアニール処理して残留応力を除去する
(プロセス1:以下P−1のように表記する)。アニー
ルしたガラス板1の一方の表面(表示装置の内面とな
る)に陰極配線2を形成する(P−2)。陰極配線2
は、当該ガラス板1の表面に銀ペースト等の印刷、焼成
等で複数本並設される。
FIG. 5 is a process chart for explaining the main process of one embodiment of the method for manufacturing a display device according to the present invention. Figure 5
The process will be described with reference to FIGS. First, the glass plate 1 for the rear panel (corresponding to the rear substrate 1 in FIGS. 1 and 3)
Is prepared and annealed to remove residual stress (process 1: hereinafter referred to as P-1). The cathode wiring 2 is formed on one surface of the annealed glass plate 1 (which will be the inner surface of the display device) (P-2). Cathode wiring 2
Are arranged in parallel on the surface of the glass plate 1 by printing with silver paste or the like, firing, or the like.

【0033】次に、陰極配線2の上層に絶縁材料を塗布
あるいは蒸着して絶縁層4を形成し(P−3)、さらに
その上に適宜の導電材料の薄層を形成し、陰極配線2上
の少なくとも画素に相当する部分、すなわち電子源を設
ける部分にフォトリソグラフィー技法等のパターニング
法で制御電極5と絶縁層4に開口(4A)を形成する
(P−4)。その結果、電子源層3を設ける部分に陰極
配線2が露出する。
Next, an insulating material is applied or vapor-deposited on the cathode wiring 2 to form an insulating layer 4 (P-3), and a thin layer of an appropriate conductive material is further formed thereon to form the cathode wiring 2. An opening (4A) is formed in the control electrode 5 and the insulating layer 4 by a patterning method such as a photolithography technique in at least a portion corresponding to a pixel, that is, a portion where an electron source is provided (P-4). As a result, the cathode wiring 2 is exposed at the portion where the electron source layer 3 is provided.

【0034】この開口4Aにニッケルにカーボンナノチ
ューブ(CNT)を混練した電極ペーストを例えば印刷
などによりを塗布する(P−5)。この場合、電極ペー
ストは後段の焼成による収縮を考慮し、、焼成後に形成
される電子源層3の表面が開口4Aの開口縁近傍にある
ような厚さとする。その後、350°C〜600°Cで
焼成して電子源層3を得る(P−6)。
An electrode paste prepared by kneading carbon nanotubes (CNT) into nickel is applied to the opening 4A by, for example, printing (P-5). In this case, the electrode paste has a thickness such that the surface of the electron source layer 3 formed after firing is in the vicinity of the opening edge of the opening 4A in consideration of shrinkage due to firing in the latter stage. Then, it is baked at 350 ° C to 600 ° C to obtain the electron source layer 3 (P-6).

【0035】焼成により陰極配線2に固定した電子源層
3の表面に粘着シート10を貼付する(P−7)。粘着
シート10は開口4Aに存在する電子源層3の最上層に
あるニッケル粒子3Aと、カーボンナノチューブ3Bの
一部、およびこのニッケル粒子3Aに貼り付いているカ
ーボンナノチューブ3Bの一部も粘着する。粘着シート
10を粘着した後、この粘着シート10を図3に示した
ように剥離する(P−7)。この剥離で、上記最上層の
ニッケル粒子3Aとカーボンナノチューブ3Bの一部が
剥ぎ取られる。
The adhesive sheet 10 is attached to the surface of the electron source layer 3 fixed to the cathode wiring 2 by firing (P-7). The adhesive sheet 10 also adheres to the nickel particles 3A in the uppermost layer of the electron source layer 3 existing in the openings 4A, a part of the carbon nanotubes 3B, and a part of the carbon nanotubes 3B attached to the nickel particles 3A. After sticking the pressure-sensitive adhesive sheet 10, the pressure-sensitive adhesive sheet 10 is peeled off as shown in FIG. 3 (P-7). By this peeling, the nickel particles 3A and the carbon nanotubes 3B in the uppermost layer are partly peeled off.

【0036】カーボンナノチューブ3Bの大部分は、そ
の少なくとも一部は最上層のニッケル粒子に固着し、他
の一部は下層のニッケル粒子(電子源層3の大部分)と
に固着している。したがって、最上層のニッケル粒子が
剥離されるとき、このニッケル粒子に一部を固着し、他
の一部が下層のニッケル粒子に貼り付いているカーボン
ナノチューブ3Bは引きちぎられて不定型な先鋭形状を
持って電子源層3の表面に立ち上がった状態とされた
(P−8)、背面パネルが得られる。このとき、粘着シ
ート10は制御電極5の上も覆うが、この制御電極5は
表面が略ゝ平滑な金属薄膜であるため、剥離により制御
電極5まではぎ取られることはない。
At least a part of most of the carbon nanotubes 3B is fixed to the uppermost nickel particles, and the other part is fixed to the lower nickel particles (most of the electron source layer 3). Therefore, when the nickel particles in the uppermost layer are peeled off, the carbon nanotubes 3B partially adhered to the nickel particles and the other part adhered to the nickel particles in the lower layer are torn off to form an indeterminate sharp tip shape. The back panel is obtained by holding the electron source layer 3 on the surface of the electron source layer 3 (P-8). At this time, the adhesive sheet 10 covers the control electrode 5 as well, but since the control electrode 5 is a metal thin film having a substantially smooth surface, the control electrode 5 is not peeled off by peeling.

【0037】一方、前面パネルとなるガラス板を用意
し、このガラス板の内面(平面パネルと対面する表面)
に陽極(アノード)と蛍光体を形成して前面パネルとす
る。この前面パネルと前記した背面パネルとを貼り合わ
せ、真空封止して(P−9)、電界放出型表示装置が製
作される。
On the other hand, a glass plate to be the front panel is prepared, and the inner surface of this glass plate (the surface facing the flat panel)
An anode and a phosphor are formed on the substrate to form a front panel. The front panel and the back panel described above are bonded together and vacuum-sealed (P-9) to manufacture a field emission display device.

【0038】図6は本発明による表示装置の一実施例に
おける一画素の構造を説明する模式図である。同図
(a)は前面パネル側から見た背面パネルの平面図、同
(b)は同(a)のD−D’線に沿った断面図である。
図中、図1〜図4と同一の参照符号は同一の機能部分に
対応する。図6において、y方向に延在する陰極配線2
とx方向に延在する制御電極3の交差部分に一画素が形
成される。背面パネル100は、背面基板1の内面に形
成した陰極配線2、陰極配線2の上に形成した電子源層
3、絶縁層4、制御電極5を有する。一方、前面パネル
200は前面基板(前面ガラス板)6、ブラックマトリ
クス7Aで区画された蛍光体7、および陽極8を有して
いる。
FIG. 6 is a schematic diagram for explaining the structure of one pixel in one embodiment of the display device according to the present invention. FIG. 3A is a plan view of the rear panel as seen from the front panel side, and FIG. 3B is a sectional view taken along the line DD ′ of FIG.
In the figure, the same reference numerals as those in FIGS. 1 to 4 correspond to the same functional portions. In FIG. 6, the cathode wiring 2 extending in the y direction
And one pixel is formed at the intersection of the control electrodes 3 extending in the x direction. The back panel 100 has a cathode wiring 2 formed on the inner surface of the back substrate 1, an electron source layer 3 formed on the cathode wiring 2, an insulating layer 4, and a control electrode 5. On the other hand, the front panel 200 has a front substrate (front glass plate) 6, a phosphor 7 partitioned by a black matrix 7A, and an anode 8.

【0039】前記の製造方法で形成された電子源層3
は、陰極配線2の上方に露出したカーボンナノチューブ
3Bから電子(図中の丸で囲んだeで示す)を発生す
る。この電子で蛍光体7を励起し、当該蛍光体に依存し
た色相で発色させる。カラー表示の場合は、図6の一画
素を3原色に対応させた画素トリオでカラーの一画素と
して配列する。本実施例によりカーボンナノチューブの
電子放出性能が充分に発揮され、明るい表示画面の表示
装置を得ることができる。
Electron source layer 3 formed by the above manufacturing method
Generate electrons (indicated by circled e in the figure) from the carbon nanotubes 3B exposed above the cathode wiring 2. The electrons excite the phosphor 7 to develop a color depending on the phosphor. In the case of color display, one pixel in FIG. 6 is arranged as one color pixel by a pixel trio corresponding to the three primary colors. According to this example, the electron emission performance of the carbon nanotubes is sufficiently exhibited, and a display device having a bright display screen can be obtained.

【0040】図7〜図10は本発明による表示装置の製
造方法の他の実施例の要部工程を説明する模式図であ
る。図7は電極ペーストを焼成した電子源層に粘着シー
トを貼付した状態を示す断面図、図8は図7の電子源層
の拡大図である。また、図9は電子源層に貼着した粘着
シートと共に電子源層の最上層を剥離する状態を示す断
面図、図10は粘着シートの剥離により引き起こされた
導電性ファイバの状態を示す断面図である。
7 to 10 are schematic views for explaining the main steps of another embodiment of the method for manufacturing a display device according to the present invention. 7 is a cross-sectional view showing a state in which an adhesive sheet is attached to the electron source layer obtained by firing the electrode paste, and FIG. 8 is an enlarged view of the electron source layer in FIG. Further, FIG. 9 is a sectional view showing a state in which the uppermost layer of the electron source layer is peeled off together with the adhesive sheet attached to the electron source layer, and FIG. 10 is a sectional view showing a state of the conductive fiber caused by the peeling of the adhesive sheet. Is.

【0041】本実施例は、図7に示したように、表示装
置の背面基板1の内面に形成した陰極配線2の上に前記
した実施例と同様の電子源層3を有している。この陰極
配線2は背面基板1上に印刷等で形成され、隣接する陰
極配線2の間には図1に示したような絶縁層4を有しな
い。電子源層3におけるニッケル粒子3Aとカーボンナ
ノチューブ3Bとは図8に拡大して示したように、極細
のカーボンナノチューブ3Bがニッケル粒子3Aの間に
埋設されたり、ニッケル粒子3Aの表面に貼り付いた状
態となっている。したがって、このままではカーボンナ
ノチューブ3Bは電子源層3の表面からは殆ど露出する
ことがなく、カーボンナノチューブが有する電子放出性
能を発揮できない。
In this embodiment, as shown in FIG. 7, an electron source layer 3 similar to the above-mentioned embodiments is provided on the cathode wiring 2 formed on the inner surface of the back substrate 1 of the display device. The cathode wiring 2 is formed on the rear substrate 1 by printing or the like, and the insulating layer 4 as shown in FIG. 1 is not provided between adjacent cathode wirings 2. As shown in the enlarged view of FIG. 8, the nickel particles 3A and the carbon nanotubes 3B in the electron source layer 3 have extremely fine carbon nanotubes 3B embedded between the nickel particles 3A or attached to the surface of the nickel particles 3A. It is in a state. Therefore, as it is, the carbon nanotubes 3B are hardly exposed from the surface of the electron source layer 3, and the electron emission performance of the carbon nanotubes cannot be exhibited.

【0042】本実施例では、図7に示したように、焼成
後の電子源層3の最上層に粘着テープあるいは粘着フィ
ルム等の粘着シート10を貼付し、図9の矢印に示した
ようにこの粘着シート10の剥離を行う。焼成後の電子
源層3は陰極配線2にその下層が固定されているため、
この粘着シート10の剥離によって最上層にある若干の
ニッケル粒子3A’が、表面近傍のカーボンナノチュー
ブ3B’と共に引き剥がされる。このとき、電子源層3
に残留したカーボンナノチューブ3Bは、粘着シート1
0の剥離操作で、当該粘着シート10の大略引き剥がし
方向(前面パネル側)に引っ張られ、強制的に引きちぎ
られる。
In this embodiment, as shown in FIG. 7, an adhesive sheet 10 such as an adhesive tape or an adhesive film is attached to the uppermost layer of the electron source layer 3 after firing, and as shown by the arrow in FIG. The adhesive sheet 10 is peeled off. Since the lower layer of the electron source layer 3 after firing is fixed to the cathode wiring 2,
By peeling off the adhesive sheet 10, some nickel particles 3A ′ in the uppermost layer are peeled off together with the carbon nanotubes 3B ′ near the surface. At this time, the electron source layer 3
Carbon nanotubes 3B remaining on the adhesive sheet 1
With a peeling operation of 0, the adhesive sheet 10 is pulled in the substantially peeling direction (front panel side) and forcibly torn off.

【0043】その結果、図10に拡大して示したよう
に、カーボンナノチューブ3Bはニッケル粒子3Aか
ら、あたかも当該ニッケル粒子3A(すなわち、電子源
層3)に植立した如く先端が露出し、前面パネルとの間
に印加される電界中に引きちぎりによる不定型な先鋭形
状として形成される。このようにカーボンナノチューブ
3Bの先鋭な先端が電界中に露出することにより、カー
ボンナノチューブが本来有する電子放出性能を十分に発
揮させることができる。
As a result, as shown in an enlarged view in FIG. 10, the carbon nanotubes 3B have their tips exposed from the nickel particles 3A as if they were erected in the nickel particles 3A (ie, the electron source layer 3). It is formed as an indeterminate sharp shape due to tearing in the electric field applied between the panel and the panel. By exposing the sharp tip of the carbon nanotube 3B to the electric field in this manner, the electron emission performance originally possessed by the carbon nanotube can be sufficiently exhibited.

【0044】図11は本発明による表示装置の製造方法
の他の実施例の主要プロセスを説明する工程図である。
図11の工程を図7〜図10を参照して説明する。先
ず、背面パネル用のガラス板1(図7、図8の背面基板
1に相当)を用意し、これをアニール処理して残留応力
を除去する(P−10)。アニールしたガラス板1の一
方の表面(表示装置の内面)に陰極配線2を形成する
(P−20)。陰極配線2は、当該ガラス板1の表面に
銀ペースト等の印刷、焼成等で複数本並設される。
FIG. 11 is a process chart for explaining the main process of another embodiment of the method for manufacturing a display device according to the present invention.
The process of FIG. 11 will be described with reference to FIGS. First, a glass plate 1 for a rear panel (corresponding to the rear substrate 1 in FIGS. 7 and 8) is prepared and annealed to remove residual stress (P-10). The cathode wiring 2 is formed on one surface (inner surface of the display device) of the annealed glass plate 1 (P-20). A plurality of cathode wirings 2 are arranged in parallel on the surface of the glass plate 1 by printing with silver paste or the like, firing, or the like.

【0045】次に、陰極配線2の上にニッケルにカーボ
ンナノチューブ(CNT)を適宜の分散剤に混練した電
極ペーストを塗布する(P−30)。その後、350°
C〜600°Cで焼成して電子源層3を得る(P−4
0)。焼成により陰極配線2に固定した電子源層3の表
面に粘着シート10を貼付し、図9に示したように剥離
する(P−50)。この剥離で、上記最上層のニッケル
粒子3Aとカーボンナノチューブ3Bの一部が剥ぎ取ら
れる。
Next, an electrode paste prepared by kneading carbon nanotubes (CNT) with nickel in an appropriate dispersant is applied onto the cathode wiring 2 (P-30). Then 350 °
The electron source layer 3 is obtained by firing at C to 600 ° C. (P-4
0). The pressure-sensitive adhesive sheet 10 is attached to the surface of the electron source layer 3 fixed to the cathode wiring 2 by firing and peeled off as shown in FIG. 9 (P-50). By this peeling, the nickel particles 3A and the carbon nanotubes 3B in the uppermost layer are partly peeled off.

【0046】カーボンナノチューブ3Bの大部分は、そ
の少なくとも一部は最上層のニッケル粒子に固着し、他
の一部は下層のニッケル粒子(電子源層3の大部分)と
に固着している。したがって、最上層のニッケル粒子が
剥離されるとき、このニッケル粒子に一部を固着し、他
の一部が下層のニッケル粒子に貼り付いているカーボン
ナノチューブ3Bは引きちぎられて不定型な先鋭形状を
持って電子源層3の表面に立ち上がった状態とされた
(P−60)、背面パネルが得られる。その後、例えば
金属薄板などを、例えばエッチングなどにより加工して
別部材として作成した板部材の制御電極5を設置する
(P−70)。
At least a part of most of the carbon nanotubes 3B is fixed to the uppermost nickel particles, and the other part is fixed to the lower nickel particles (most of the electron source layer 3). Therefore, when the nickel particles in the uppermost layer are peeled off, the carbon nanotubes 3B partially adhered to the nickel particles and the other part adhered to the nickel particles in the lower layer are torn off to form an indeterminate sharp tip shape. The back panel is obtained by holding it on the surface of the electron source layer 3 (P-60). After that, for example, a metal thin plate is processed by etching or the like, and the control electrode 5 of a plate member prepared as a separate member is set (P-70).

【0047】一方、前面パネルとなるガラス板を用意
し、このガラス板の内面(平面パネルと対面する表面)
に陽極(アノード)と蛍光体を形成して前面パネルとす
る。この前面パネルと前記した背面パネルとを貼り合わ
せ、真空封止して(P−80)、電界放出型表示装置が
製作される。
On the other hand, a glass plate to be the front panel is prepared, and the inner surface of this glass plate (the surface facing the flat panel)
An anode and a phosphor are formed on the substrate to form a front panel. The front panel and the back panel described above are bonded together and vacuum-sealed (P-80) to manufacture a field emission display device.

【0048】図12は本発明による表示装置の他の実施
例における一画素の構造を説明する模式図である。同図
(a)は平面図、同(b)は同(a)のD−D’線に沿
って切断した断面図である。図中、図7〜図10と同一
の参照符号は同一の機能部分に対応する。図12におい
て、y方向に延在する陰極配線2とx方向に延在する制
御電極5の交差部分に一画素が形成される。背面パネル
100は、背面基板1の内面に形成した陰極配線2、陰
極配線2の上に形成した電子源層3、陰極配線2と絶縁
された制御電極5を有する。一方、前面パネル200は
前面基板(前面ガラス板)6、ブラックマトリクス7A
で区画された蛍光体7、および陽極8を有している。
FIG. 12 is a schematic view for explaining the structure of one pixel in another embodiment of the display device according to the present invention. 9A is a plan view, and FIG. 9B is a cross-sectional view taken along line DD ′ of FIG. In the figure, the same reference numerals as those in FIGS. 7 to 10 correspond to the same functional parts. In FIG. 12, one pixel is formed at the intersection of the cathode wiring 2 extending in the y direction and the control electrode 5 extending in the x direction. The back panel 100 has a cathode wiring 2 formed on the inner surface of the back substrate 1, an electron source layer 3 formed on the cathode wiring 2, and a control electrode 5 insulated from the cathode wiring 2. On the other hand, the front panel 200 includes a front substrate (front glass plate) 6 and a black matrix 7A.
It has a phosphor 7 and an anode 8 partitioned by.

【0049】前記の製造方法で形成された電子源層3
は、電界の印加により陰極配線2の上方に露出したカー
ボンナノチューブ3Bから電子(図中の丸で囲んだeで
示す)を発生する。この電子で蛍光体7を励起し、当該
蛍光体7に依存した色相で発色させる。カラー表示の場
合は、図6の一画素を3原色に対応させた画素トリオで
カラーの一画素として配列する。本実施例によりカーボ
ンナノチューブ3Bの電子放出性能が充分に発揮され、
明るい表示画面の表示装置を得ることができる。
Electron source layer 3 formed by the above manufacturing method
Generate electrons (indicated by circled e in the figure) from the carbon nanotubes 3B exposed above the cathode wiring 2 by applying an electric field. The electrons excite the phosphor 7 to develop a color depending on the phosphor 7. In the case of color display, one pixel in FIG. 6 is arranged as one color pixel by a pixel trio corresponding to the three primary colors. According to this example, the electron emission performance of the carbon nanotube 3B is sufficiently exhibited,
A display device with a bright display screen can be obtained.

【0050】図13は本発明による表示装置の駆動方式
を説明する等価回路である。この表示装置は、y方向に
延在するn本の陰極配線2がx方向に並設されている。
また、x方向に延在するm本の制御電極5がy方向に並
設され、陰極配線2と共にm行×n列のマトリクスを構
成している。
FIG. 13 is an equivalent circuit for explaining the driving method of the display device according to the present invention. In this display device, n cathode wirings 2 extending in the y direction are arranged in parallel in the x direction.
In addition, m control electrodes 5 extending in the x direction are arranged in parallel in the y direction to form a matrix of m rows × n columns together with the cathode wiring 2.

【0051】この表示装置を構成する背面パネルの周辺
には走査回路60と映像信号回路50が配置されてい
る。制御電極5のそれぞれは走査回路60に制御電極端
子40(Y1,Y2,・・・・Ym)で接続されてい
る。そして、陰極配線2のそれぞれには映像信号回路5
0に陰極端子20(X1,X2,・・・・Xn)で接続
されている。
A scanning circuit 60 and a video signal circuit 50 are arranged around the rear panel which constitutes this display device. Each of the control electrodes 5 is connected to the scanning circuit 60 by control electrode terminals 40 (Y1, Y2, ..., Ym). The video signal circuit 5 is provided on each of the cathode wirings 2.
0 to the cathode terminal 20 (X1, X2, ... Xn).

【0052】マトリクス配列された陰極配線2と制御電
極5の交差部の画素毎に前記の実施例で説明した電子源
層3が設けられている。なお、上記の各実施例では、こ
の電子源層3は各交差部の1画素あたり1個として説明
したが、これに限るものではなく、2個以上を1画素領
域に配列することができる。図中のR,G,Bはそれぞ
れカラーの一画素を形成する赤(R)、緑(G)、青
(B)の単色画素であり、それぞれの色に対応した光を
蛍光体7から放出する。
The electron source layer 3 described in the above embodiment is provided for each pixel at the intersection of the cathode wiring 2 and the control electrode 5 arranged in a matrix. In each of the above embodiments, the number of electron source layers 3 is one per pixel at each intersection, but the number of electron source layers 3 is not limited to this and two or more electron source layers 3 can be arranged in one pixel region. R, G, and B in the figure are single-color pixels of red (R), green (G), and blue (B) that form one color pixel, respectively, and emit light corresponding to each color from the phosphor 7. To do.

【0053】走査回路60と映像信号回路50には、図
示しないホストコンピュータから表示のための各種信号
が印加される。走査回路60には同期信号61が入力さ
れる。走査回路60は制御電極端子61を介して制御電
極5のマトリクスの行を選択して走査信号電圧を印加す
る。
Various signals for display are applied to the scanning circuit 60 and the video signal circuit 50 from a host computer (not shown). A sync signal 61 is input to the scanning circuit 60. The scanning circuit 60 selects a row of the matrix of the control electrode 5 via the control electrode terminal 61 and applies a scanning signal voltage.

【0054】一方、映像信号回路50には映像信号51
が入力される。映像信号回路50は陰極端子20(X
1,X2,・・・・Xn)を介して陰極配線2に接続さ
れ、マトリクスの列を選択して選択された陰極配線2に
映像信号51に応じた電圧を印加する。これにより、制
御電極5と陰極配線2とで順次選択された所定の画素が
所定の色光で発光し、2次元の映像を表示する。
On the other hand, the video signal 51 is supplied to the video signal circuit 50.
Is entered. The video signal circuit 50 has a cathode terminal 20 (X
1, X2, ..., Xn) are connected to the cathode wiring 2 and a column of the matrix is selected to apply a voltage according to the video signal 51 to the selected cathode wiring 2. As a result, the predetermined pixels sequentially selected by the control electrode 5 and the cathode wiring 2 emit light with predetermined color light to display a two-dimensional image.

【0055】本実施例によるカーボンナノチューブ3B
を電子源とした表示装置により、比較的低電圧で高効率
の明るいフラットパネル型の表示装置が実現される。
Carbon nanotube 3B according to this embodiment
With the display device using the electron source as the electron source, a bright flat panel display device having a relatively low voltage and high efficiency can be realized.

【0056】図14は本発明の表示装置の外観を示す平
面図である。この表示装置は背面パネル100と前面パ
ネル200を封止枠300で貼り合わせ、、封止枠30
0の内側に表示領域ARを形成する。参照符号500は
背面パネル100と前面パネル200および封止枠30
0で貼り合わせた内部を真空に引くための排気管を示
し、通常は表示領域ARの外側に配置される。
FIG. 14 is a plan view showing the appearance of the display device of the present invention. In this display device, a back panel 100 and a front panel 200 are bonded together with a sealing frame 300, and a sealing frame 30 is formed.
A display area AR is formed inside 0. Reference numeral 500 is a back panel 100, a front panel 200, and a sealing frame 30.
The numeral 0 indicates an exhaust pipe for drawing a vacuum to the inside, which is normally arranged outside the display area AR.

【0057】図15は図14に示した表示装置の構成の
具体例の説明図であり、同図(a)は展開斜視図、同
(b)は断面構造図である。前記したように、背面パネ
ル100の内面には陰極配線2が形成されており、その
陰極端子20が背面基板1の一辺に引き出されている。
この陰極配線2に対して絶縁層4を介し、かつ陰極配線
2と交差させて制御電極5が形成されている。制御電極
5から引き出された制御電極端子40は背面基板1の他
の一辺に引き出されている。この表示装置は図1〜図6
で説明した本発明の一実施例に相当する。
15A and 15B are explanatory views of a specific example of the configuration of the display device shown in FIG. 14, FIG. 15A is a developed perspective view, and FIG. 15B is a sectional structural view. As described above, the cathode wiring 2 is formed on the inner surface of the rear panel 100, and the cathode terminal 20 is extended to one side of the rear substrate 1.
A control electrode 5 is formed on the cathode wiring 2 via an insulating layer 4 and intersects the cathode wiring 2. The control electrode terminal 40 drawn from the control electrode 5 is drawn to the other side of the rear substrate 1. This display device is shown in FIGS.
This corresponds to the embodiment of the present invention described in the above.

【0058】このような表示装置には、その背面パネル
と前面パネルとの間の間隔を保持するための間隙保持部
材を設けることができる。図16は表示装置に設ける間
隙保持部材の配置例を説明する模式図である。図中、参
照符号400は間隙保持部材を示し、背面パネル100
と前面パネル200の間で、表示領域AR内に設置され
る。この隔壁部材400には絶縁材が用いられるが、一
部に導電部分を形成する場合もある。
A gap holding member for holding the gap between the back panel and the front panel can be provided in such a display device. FIG. 16 is a schematic diagram illustrating an arrangement example of the gap holding members provided in the display device. In the figure, reference numeral 400 indicates a gap maintaining member, and the rear panel 100 is shown.
It is installed in the display area AR between the front panel 200 and the front panel 200. An insulating material is used for the partition member 400, but a conductive portion may be partially formed.

【0059】以下、本発明の各実施例の変形例を説明す
る。これまで説明した各実施例では、導電性フィラー3
Aとしてニッケルを主成分とするニッケル粒子を用いて
いたが、これに限られず、例えば、銀を主成分とするも
の、あるいは、銀とニッケルの混合物を主成分とするも
のなど、ニッケル以外のものを用いてもよい。本発明に
用いられる導電性フィラー3Aには例えばB、P、Pb
などが微量含まれたものを用いることができる。本明細
書において「主成分とする」との表現は、これらの微量
の添加物を含むものでも、また含まないものでも、どち
らでもよいことを意味する。
Modifications of each embodiment of the present invention will be described below. In each of the examples described so far, the conductive filler 3
Although nickel particles containing nickel as a main component were used as A, the present invention is not limited to this. For example, those containing silver as a main component, or those containing a mixture of silver and nickel as a main component, other than nickel. May be used. The conductive filler 3A used in the present invention includes, for example, B, P, Pb.
It is possible to use a material containing a small amount of the like. In the present specification, the expression "comprising a main component" means that it may or may not contain these trace amounts of additives.

【0060】また、導電性ファイバ3Bとしては、炭素
系の電子放出材料が望ましい。炭素系の導電性ファイバ
3Bとしては、例えばカーボンナノチューブ、グラファ
イトファイバ、カーボンナノホーンなどが挙げられ、こ
れらのうちの少なくとも1つを含むものを用いることが
できる。但し、細長い形状のものであれば炭素系に限ら
ず適用できる。
As the conductive fiber 3B, a carbon-based electron emitting material is desirable. Examples of the carbon-based conductive fiber 3B include carbon nanotubes, graphite fibers, and carbon nanohorns, and those containing at least one of these can be used. However, as long as it has an elongated shape, it is not limited to the carbon type and can be applied.

【0061】また、粘着シート10を用いるかわりに、
電子源層3を覆って例えば樹脂などによる密着層を形成
し、この密着層を引き剥がすようにしても良い。この場
合は粘着ではないが、粘着シート10を使った場合と類
似した効果を奏する。密着層を形成する方法としては、
例えば樹脂の液体などを塗布し、乾燥させることなどの
方法がある。塗布する際にはスプレーによって塗布して
も良い。
Further, instead of using the adhesive sheet 10,
It is also possible to cover the electron source layer 3 and form an adhesion layer of, for example, a resin and peel off the adhesion layer. In this case, it is not adhesive, but it has an effect similar to that when the adhesive sheet 10 is used. As a method for forming the adhesion layer,
For example, there is a method of applying a resin liquid or the like and drying. When applying, it may be applied by spraying.

【0062】尚、粘着シート10の貼着又は密着層の形
成と、これらの剥離は電子源層3の焼成後に行ってい
る。これにより、焼成工程において電子源層3の表面の
導電性ファイバ3Bの全部又は一部が焼失しても表面を
剥離することで焼失していない導電性ファイバ3Bが露
出され、さらに剥離の際にかかる物理的な力により導電
性ファイバ3Bを立たせることができるので電子放出特
性が大幅に改善できる。
The sticking of the pressure-sensitive adhesive sheet 10 or the formation of the adhesion layer and the peeling of these are carried out after the firing of the electron source layer 3. As a result, even if all or part of the conductive fiber 3B on the surface of the electron source layer 3 is burnt out in the firing step, the surface is peeled off to expose the conductive fiber 3B that has not been burned off. Since the conductive fiber 3B can be erected by such physical force, the electron emission characteristics can be greatly improved.

【0063】導電性ファイバ3Bを引きちぎることで不
定型な先鋭形状が形成され電子放出特性が向上するが、
これは全ての導電性ファイバ3Bが引きちぎられる必要
はない。それは、導電性ファイバ3Bを立たせただけで
も電子放出特性が改善されるからである。従って、多少
は電子放出特性が劣るが、引きちぎりが起こらず単に導
電性ファイバ3Bを立たせただけの構成でも良いし、少
なくとも一部の導電性ファイバ3Bを引きちぎった構成
でも良い。背面基板1及び前面基板6にはガラス板を用
いたが、他の材料を用いてもよい。尚、これらの変形例
はあくまで一例を挙げただけであり、本発明の技術思想
を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
By tearing off the conductive fiber 3B, an amorphous sharp shape is formed and the electron emission characteristic is improved.
This does not require that all conductive fibers 3B be torn off. This is because the electron emission characteristics are improved by just standing the conductive fiber 3B. Therefore, although the electron emission characteristic is somewhat inferior, the conductive fiber 3B may be simply stood up without tearing, or at least a part of the conductive fiber 3B may be torn off. Although glass plates are used for the back substrate 1 and the front substrate 6, other materials may be used. Note that these modified examples are merely examples, and various modifications can be made without departing from the technical idea of the present invention.

【0064】[0064]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
カーボンナノチューブの端部を電界中に露出させ、かつ
少なくとも一部のカーボンナノチューブに、その先端に
不定形な先鋭形状を付与することで、高効率の電子放出
特性を実現した明るい表示装置を提供することができ
る。
As described above, according to the present invention,
A bright display device that realizes highly efficient electron emission characteristics is provided by exposing the end portion of a carbon nanotube to an electric field and imparting an amorphous sharp tip to at least a part of the carbon nanotube. be able to.

【0065】[0065]

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】電極ペーストを焼成した電子源層に粘着シート
を貼付した状態を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a state where an adhesive sheet is attached to an electron source layer obtained by firing an electrode paste.

【図2】図1の電子源層の拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of an electron source layer of FIG.

【図3】電子源層に貼着した粘着シートと共に電子源層
の最上層を剥離する状態を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state in which the uppermost layer of the electron source layer is peeled off together with the adhesive sheet attached to the electron source layer.

【図4】粘着シートの剥離により引き起こされた導電性
ファイバの状態を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state of a conductive fiber caused by peeling of an adhesive sheet.

【図5】本発明による表示装置の製造方法の一実施例の
主要プロセスを説明する工程図である。
FIG. 5 is a process diagram illustrating a main process of an embodiment of a method for manufacturing a display device according to the present invention.

【図6】本発明による表示装置の一実施例における一画
素の構造を説明する模式図である。
FIG. 6 is a schematic diagram illustrating the structure of one pixel in one embodiment of the display device according to the present invention.

【図7】電極ペーストを焼成した電子源層に粘着シート
を貼付した状態を示す断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a state in which an adhesive sheet is attached to an electron source layer obtained by firing an electrode paste.

【図8】図7の電子源層の拡大図である。FIG. 8 is an enlarged view of the electron source layer of FIG.

【図9】電子源層に貼着した粘着シートと共に電子源層
の最上層を剥離する状態を示す断面図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view showing a state in which the uppermost layer of the electron source layer is peeled off together with the adhesive sheet attached to the electron source layer.

【図10】粘着シートの剥離により引き起こされた導電
性ファイバの状態を示す断面図である。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing a state of a conductive fiber caused by peeling of an adhesive sheet.

【図11】本発明による表示装置の製造方法の他の実施
例の主要プロセスを説明する工程図である。
FIG. 11 is a process chart for explaining a main process of another embodiment of the method for manufacturing the display device according to the present invention.

【図12】本発明による表示装置の他の実施例における
一画素の構造を説明する模式図である。
FIG. 12 is a schematic diagram illustrating the structure of one pixel in another embodiment of the display device according to the present invention.

【図13】本発明による表示装置の駆動方式を説明する
等価回路である。
FIG. 13 is an equivalent circuit illustrating a driving method of a display device according to the present invention.

【図14】本発明の表示装置の外観を示す平面図であ
る。
FIG. 14 is a plan view showing the outer appearance of the display device of the present invention.

【図15】図14に示した表示装置の構成の具体例の説
明図である。
15 is an explanatory diagram of a specific example of the configuration of the display device shown in FIG.

【図16】表示装置に設ける間隙保持部材の配置例を説
明する模式図である。
FIG. 16 is a schematic diagram illustrating an arrangement example of a gap holding member provided in a display device.

【図17】電界放出型表示装置の構成例を説明する模式
断面図である。
FIG. 17 is a schematic cross-sectional view illustrating a configuration example of a field emission display device.

【図18】図17の矢印Aで示した部分の拡大断面図で
ある。
FIG. 18 is an enlarged sectional view of a portion indicated by an arrow A in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

100 背面パネル 200 前面パネル 300 封止枠 400 間隙保持部材 1 背面基板 2 陰極配線 3 電子源層 3A 導電性フィラー 3B 導電性ファイバ 4 絶縁層 4A 開口 5 制御電極 6 前面基板 7 蛍光体 7A 遮光膜 8 陽極。 100 rear panel 200 front panel 300 sealing frame 400 Gap holding member 1 Back substrate 2 cathode wiring 3 Electron source layer 3A conductive filler 3B conductive fiber 4 insulating layers 4A opening 5 control electrodes 6 Front substrate 7 Phosphor 7A light-shielding film 8 Anode.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木島 勇一 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所ディスプレイグループ内 (72)発明者 佐々木 進 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所ディスプレイグループ内 (72)発明者 川崎 浩 千葉県茂原市早野3681番地 日立デバイス エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 宮田 健治 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所ディスプレイグループ内 Fターム(参考) 5C036 EE14 EF01 EF06 EF09 EG12 EH08 EH26    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Yuichi Kijima             Hitachi, Ltd. 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba             Factory Display Group (72) Inventor Susumu Sasaki             Hitachi, Ltd. 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba             Factory Display Group (72) Inventor Hiroshi Kawasaki             Hitachi Device, 3681 Hayano, Mobara-shi, Chiba             Engineering Co., Ltd. (72) Inventor Kenji Miyata             Hitachi, Ltd. 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba             Factory Display Group F term (reference) 5C036 EE14 EF01 EF06 EF09 EG12                       EH08 EH26

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】陰極配線上に電子源を配した背面パネル
と、 前記電子源に対向する陽極および蛍光体とを有する前面
パネルとを備え、 前記電子源に電界を印加することにより前記電子源から
放出される電子で前記蛍光体を励起して表示を行う表示
装置の製造方法であって、 前記陰極配線上に導電性フィラーと導電性ファイバを混
入した電極ペーストを塗布する電極ペースト塗布工程
と、 前記電極ペーストを焼成して電子源層とする焼成・電子
源層形成工程と、 焼成後の前記電子源層の表面に粘着シートを貼着し又は
密着層を形成し、前記粘着シート又は前記密着層を前記
電子源層の表層と共に剥離することにより前記導電性フ
ァイバを前記電子源層の表面から引き起こす表面層剥離
工程と、を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
1. A back panel having an electron source arranged on a cathode wiring, and a front panel having an anode and a phosphor facing the electron source, the electron source by applying an electric field to the electron source. A method of manufacturing a display device for exciting and displaying the phosphor by electrons emitted from, wherein an electrode paste applying step of applying an electrode paste containing a conductive filler and a conductive fiber on the cathode wiring. A firing / electron source layer forming step of firing the electrode paste to form an electron source layer, and attaching an adhesive sheet or forming an adhesive layer on the surface of the electron source layer after firing, the adhesive sheet or the And a surface layer peeling step of causing the conductive fiber from the surface of the electron source layer by peeling the adhesion layer together with the surface layer of the electron source layer.
【請求項2】前記導電性ファイバがカーボンナノチュー
ブ、グラファイトファイバ、カーボンナノホーンのうち
の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1に記
載の表示装置の製造方法。
2. The method for manufacturing a display device according to claim 1, wherein the conductive fiber includes at least one of carbon nanotube, graphite fiber, and carbon nanohorn.
【請求項3】前記導電性フィラーが銀、ニッケルの何れ
かを主成分とする、またはそれらの混合物を主成分とす
ることを特徴とする請求項1または2に記載の表示装置
の製造方法。
3. The method for manufacturing a display device according to claim 1, wherein the conductive filler contains silver or nickel as a main component, or a mixture thereof.
【請求項4】陰極配線上に設けられた電子源と、前記電
子源とは絶縁層により電気的に絶縁され、且つ近接して
交差配置された制御電極とを有する背面パネルと、 前記電子源に対向して配置された蛍光体および陽極を有
する前面パネルとを備え、 前記電子源に電界を印加することにより前記電子源から
放出される電子が前記蛍光体を励起して発光させる表示
装置の製造方法であって、 前記背面パネルの内面に前記陰極配線を形成する陰極配
線形成工程と、 少なくとも前記電子源を形成する領域を露出させた絶縁
層を形成する絶縁層形成工程と、 前記絶縁層の上、かつ前記電子源を臨む部分に制御電極
を形成する制御電極形成工程と、 前記陰極配線上の前記電子源を形成する領域に導電性フ
ィラーと導電性ファイバを混入した電極ペーストを塗布
する電極ペースト塗布工程と、 前記電極ペーストを焼成して電子源層とする焼成・電子
源層形成工程と、 焼成後の前記電子源層の表面に粘着シートを貼着し又は
密着層を形成し、前記粘着シート又は前記密着層を前記
電子源層の表層と共に剥離することにより前記導電性フ
ァイバを前記電子源層の表面から引き起こす表面層剥離
工程と、を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
4. A back panel having an electron source provided on the cathode wiring and a control electrode electrically insulated from the electron source by an insulating layer and arranged in close proximity to each other, and the electron source. A front panel having a phosphor and an anode arranged opposite to each other, wherein electrons emitted from the electron source excite the phosphor to emit light by applying an electric field to the electron source. A manufacturing method, wherein a cathode wiring forming step of forming the cathode wiring on the inner surface of the back panel, an insulating layer forming step of forming an insulating layer exposing at least a region where the electron source is formed, and the insulating layer And a control electrode forming step of forming a control electrode on a portion facing the electron source, and an electrode paste in which a conductive filler and a conductive fiber are mixed in a region where the electron source is formed on the cathode wiring. Electrode paste application step of applying, firing and electron source layer forming step of firing the electrode paste to form an electron source layer, and sticking an adhesive sheet or forming an adhesion layer on the surface of the electron source layer after firing Then, a surface layer peeling step of causing the conductive fiber from the surface of the electron source layer by peeling the adhesive sheet or the adhesive layer together with the surface layer of the electron source layer, Production method.
【請求項5】陰極配線上に設けられた電子源と、前記電
子源とは電気的に絶縁され、且つ近接して交差配置され
た制御電極とを有する背面パネルと、 前記電子源に対向して配置された蛍光体および陽極を有
する前面パネルとを備え、 前記電子源に電界を印加することにより前記電子源から
放出される電子で前記蛍光体を励起して発光させる表示
装置の製造方法であって、 前記背面パネルの内面に前記陰極配線を形成する陰極配
線形成工程と、 前記陰極配線上の前記電子源を形成する領域に導電性フ
ィラーと導電性ファイバを混入した電極ペーストを塗布
する電極ペースト塗布工程と、 前記電極ペーストを焼成して電子源層とする焼成・電子
源層形成工程と、 焼成後の前記電子源層の表面に粘着シートを貼着し又は
密着層を形成し、前記粘着シート又は前記密着層を前記
電子源層の表層と共に剥離することにより前記導電性フ
ァイバを前記電子源層の表面から引き起こす表面層剥離
工程と、 前記陰極配線と交差させて前記制御電極を設置する制御
電極形成工程と、を含むことを特徴とする表示装置の製
造方法。
5. A rear panel having an electron source provided on the cathode wiring and a control electrode electrically insulated from the electron source and arranged in close proximity to each other, and a rear panel facing the electron source. A front panel having a phosphor and an anode that are arranged as an electron source, and a method for manufacturing a display device in which the phosphor is excited by light emitted from the electron source by applying an electric field to the phosphor to emit light. There is a cathode wiring forming step of forming the cathode wiring on the inner surface of the back panel, and an electrode for applying an electrode paste in which a conductive filler and a conductive fiber are mixed in a region where the electron source is formed on the cathode wiring. A paste application step, a firing / electron source layer formation step of firing the electrode paste to form an electron source layer, and a pressure-sensitive adhesive sheet is attached to the surface of the electron source layer after firing or an adhesion layer is formed, Stickiness A surface layer peeling step of causing the conductive fiber from the surface of the electron source layer by peeling the sheet or the adhesion layer together with the surface layer of the electron source layer, and a control for setting the control electrode intersecting with the cathode wiring. A method of manufacturing a display device, comprising: an electrode forming step.
【請求項6】前記導電性ファイバがカーボンナノチュー
ブ、グラフィトファイバ、カーボンナノホーンのうちの
少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項4または
5に記載の表示装置の製造方法。
6. The method of manufacturing a display device according to claim 4, wherein the conductive fiber includes at least one of carbon nanotube, graffiti fiber, and carbon nanohorn.
【請求項7】前記導電性フィラーが銀、ニッケルの何れ
かを主成分とする、またはそれらの混合物を主成分とす
ることを特徴とする請求項4乃至6の何れかに記載の表
示装置の製造方法。
7. The display device according to claim 4, wherein the conductive filler contains silver or nickel as a main component, or a mixture thereof. Production method.
【請求項8】陰極配線上に設けられた電子源と、前記電
子源とは電気的に絶縁され、且つ近接して交差配置され
た制御電極とを有する背面パネルと、 前記電子源に対向する蛍光体および陽極を有する前面パ
ネルとを備え、 前記電子源に電界を印加することにより前記電子源から
放出される電子で前記蛍光体を励起して発光させる表示
装置であって、 前記電子源は、導電性フィラーと、導電性ファイバとの
混合層であり、 前記導電性ファイバは前記導電性フィラーから前記前面
パネル側に引き起こされて露出する部分を有し、 前記引き起こされた前記導電性ファイバの少なくとも一
部の露出端に引きちぎりによる不定型な先鋭形状を有す
ることを特徴とする表示装置。
8. A rear panel having an electron source provided on the cathode wiring and a control electrode electrically insulated from the electron source and arranged in close proximity to each other, and facing the electron source. A display device comprising: a phosphor and a front panel having an anode, wherein the phosphor emits light by exciting the phosphor with electrons emitted from the electron source by applying an electric field to the electron source. , A mixed layer of a conductive filler and a conductive fiber, the conductive fiber has a portion that is exposed to the front panel side from the conductive filler, of the conductive fiber caused A display device, wherein at least a part of the exposed end has an indeterminate sharpened shape due to tearing.
【請求項9】前記導電性ファイバがカーボンナノチュー
ブ、グラフィトファイバ、カーボンナノホーンのうちの
少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項8に記載
の表示装置。
9. The display device according to claim 8, wherein the conductive fiber includes at least one of carbon nanotubes, graffiti fibers, and carbon nanohorns.
【請求項10】前記導電性フィラーが銀、ニッケルの何
れかを主成分とする、又はそれらの混合物を主成分とす
ることを特徴とする請求項8または9に記載の表示装
置。
10. The display device according to claim 8, wherein the conductive filler contains silver or nickel as a main component, or a mixture thereof.
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