JP2003195175A - Image forming optical system - Google Patents
Image forming optical systemInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、像ずれを調整可能
な結像光学系、特に波長ごとによって生じる像ずれを調
整し得るようにした結像光学系に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image forming optical system capable of adjusting an image shift, and more particularly to an image forming optical system capable of adjusting an image shift caused by each wavelength.
【０００２】[0002]
【従来の技術】最近、半導体における線幅が小さくな
り、その重ね合わせの精度が厳しくなっている。Ｊｐ
ｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｖｏｌ．３６（１９９
７） ｐｐ．７５１２−７５１６ Ｎｏｖｅｌ Ｏｐｔ
ｉｍｉａｔｉｏｎ ｏｆ Ｔｏｔａｌ Ａｌｉｇｎｍｅ
ｎｔｏ Ｅｒｒｏｒ Ｆａｃｔｏｒｓに記載されている
ように、重ね合わせ精度に影響を与える誤差要因として
ウエハーに起因するＷＩＳ（ｗａｆｅｒ ｉｎｄｕｃｅ
ｄ ｓｈｉｆｔ）と測定装置に起因するＴＩＳ（ｔｏｏ
ｌ，ｉｎｄｕｃｅｄ ｓｈｉｆｔ）とがあげられる。そ
のうちのＴＩＳには、照明の均一性、コマ収差、色によ
る像のシフト等がある。このうち、特に問題になるの
が、色による像のシフト、つまり色によって光軸に垂直
な方向へ像がシフトすることである。2. Description of the Related Art In recent years, the line width of semiconductors has become smaller and the precision of their superposition has become more severe. Jp
n. J. Appl. Phys. Vol. 36 (199
7) pp. 7512-7516 Novel Opt
animation of Total Alignment
As described in “Nto Error Factors”, a WIS (wafer inducer) caused by a wafer is an error factor that affects overlay accuracy.
dshift) and TIS (too caused by the measuring device)
l, induced shift). Among them, TIS includes uniformity of illumination, coma, and image shift due to color. Of these, a particular problem is that the image shifts depending on the color, that is, the image shifts in the direction perpendicular to the optical axis depending on the color.
【０００３】図１４は、誤差要因を補正するようにした
顕微鏡の例である。図において、１は光源、２は照明
系、３は絞り、４はハーフミラー、５は対物レンズ、６
は標本、７は結像レンズ、８は電子撮像素子、９は平行
平面板である。図１４において平行平面板９は、平行光
束ではない位置に配置されている。そして、その角度を
変更することができるようになっている。FIG. 14 shows an example of a microscope adapted to correct an error factor. In the figure, 1 is a light source, 2 is an illumination system, 3 is a diaphragm, 4 is a half mirror, 5 is an objective lens, and 6
Is a sample, 7 is an imaging lens, 8 is an electronic image sensor, and 9 is a plane parallel plate. In FIG. 14, the plane-parallel plate 9 is arranged at a position that is not a parallel light flux. Then, the angle can be changed.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】前記文献には、前述の
色による像のシフトの影響について記載されている。し
かしながら、この像シフトを調整するための実際の調整
手段や、色による像シフトを補正する光学系や測定装置
については全く開示されていない。また図１４に示す顕
微鏡は、コマ収差の調整のみで、色による像シフトの調
整を行うことはできない。The above-mentioned document describes the influence of the image shift due to the aforementioned color. However, nothing is disclosed about an actual adjusting means for adjusting the image shift, an optical system for correcting the image shift due to color, and a measuring device. Further, the microscope shown in FIG. 14 can only adjust coma and cannot adjust image shift depending on color.
【０００５】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、色による像のずれを補正できるようにした結像光
学系を提供するものである。The present invention has been made in view of the above problems, and provides an image forming optical system capable of correcting image shift due to color.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明の結像光学系は、
複数の波長を含む光で照明された物体の像を形成するた
めのもので、前記の複数の波長のいずれかの波長におい
て下記条件（１）を満足する接合レンズを含んでおり、
この接合レンズが光学系の光軸に対して垂直な方向に移
動可能であることを特徴とする。
（１） ｜φ｜≦０．００１
ただし、φは接合レンズの屈折力であって、接合レンズ
の焦点距離をｆとするときφ＝１／ｆで与えられる。The image forming optical system of the present invention comprises:
For forming an image of an object illuminated with light containing a plurality of wavelengths, including a cemented lens satisfying the following condition (1) at any one of the plurality of wavelengths:
The cemented lens is movable in a direction perpendicular to the optical axis of the optical system. (1) | φ | ≦ 0.001 where φ is the refractive power of the cemented lens and is given by φ = 1 / f when the focal length of the cemented lens is f.
【０００７】この本発明の結像光学系は、この接合レン
ズを光学系の光軸に対して垂直な方向に移動させる（以
下、偏芯調整とする）ことにより、色による像のシフト
を調整するようにしたものである。一般的にレンズの位
置が変化すると、各収差も変化していく。そこで本発明
の光学系では、接合レンズが前記条件（１）を満足する
ようにして、偏芯調整したときに他の収差の悪化を防止
するようにした。The image forming optical system of the present invention adjusts the image shift due to color by moving the cemented lens in a direction perpendicular to the optical axis of the optical system (hereinafter referred to as eccentricity adjustment). It is something that is done. Generally, when the lens position changes, each aberration also changes. Therefore, in the optical system of the present invention, the cemented lens satisfies the above condition (1) to prevent deterioration of other aberrations when decentering is adjusted.
【０００８】この条件（１）を満足すれば、他の収差を
悪化させることなく色による像シフトの補正が可能にな
る。｜φ｜が０．００１よりも大になると、接合レンズ
の移動によって他の収差（非対称性収差）が悪化してし
まう。If this condition (1) is satisfied, it is possible to correct image shift due to color without deteriorating other aberrations. When | φ | becomes larger than 0.001, other aberrations (asymmetrical aberrations) are deteriorated due to the movement of the cemented lens.
【０００９】この結像光学系において、φが条件（１）
の代わりに下記条件（１−１）を満足すれば他の諸収差
への悪影響を一層小にし得るため望ましい。
（１−１） ｜φ｜≦０．０００１In this imaging optical system, φ is a condition (1)
If the following condition (1-1) is satisfied instead of the above condition, adverse effects on other aberrations can be further reduced, which is desirable. (1-1) | φ | ≦ 0.0001
【００１０】また、本発明の結像光学系において、接合
レンズが条件（１）又は条件（１−１）に加えて下記条
件（２）を満足することが一層望ましい。
（２） ０．００００２≦φ（ｍａｘ）−φ（ｍｉｎ）
≦０．００１
ただし、φ（ｍａｘ）は使用波長域で接合レンズの屈折
力が最大になる波長での屈折力、φ（ｍｉｎ）は使用波
長域で接合レンズの屈折力が最小になる波長での屈折力
である。In the image forming optical system of the present invention, it is more preferable that the cemented lens satisfies the following condition (2) in addition to condition (1) or condition (1-1). (2) 0.00002 ≦ φ (max) −φ (min)
≦ 0.001 where φ (max) is the refractive power at the wavelength where the refractive power of the cemented lens is maximum in the used wavelength range, and φ (min) is the wavelength at which the refractive power of the cemented lens is minimized in the used wavelength range. Is the refractive power of.
【００１１】屈折力は波長ごとによって異なる。そこ
で、本発明の結像光学系では、使用する波長域で最大の
屈折力と最少の屈折力の差が、上記条件（２）を満足す
るようにした。The refractive power differs depending on the wavelength. Therefore, in the imaging optical system of the present invention, the difference between the maximum refractive power and the minimum refractive power in the wavelength range used is set to satisfy the above condition (2).
【００１２】条件（２）の下限値の０．０００２以上で
あれば色による像シフトを補正する能力が高いので、十
分な補正が可能になる。しかし、条件（２）の下限値の
０．０００２よりも小さい場合は、補正能力が小さくな
りすぎる。また、条件（２）の上限の０．００１よりも
大になると、補正能力が大になりすぎて調整が困難にな
る。If the lower limit value of the condition (2) is 0.0002 or more, the ability to correct the image shift due to color is high, so that sufficient correction can be performed. However, if it is smaller than the lower limit of 0.0002 of the condition (2), the correction capability becomes too small. If the upper limit of 0.001 of the condition (2) is exceeded, the correction capability becomes too large and adjustment becomes difficult.
【００１３】また、本発明の結像光学系において、調整
のために用いられる接合レンズが下記条件（３）を満足
することが望ましい。
（３）ｎmax−ｎmin≦０．０５
ただし、ｎmaxは上記接合レンズの硝材のうち、屈折率
が最も高い硝材のｄ線における屈折率、ｎminは上記接
合レンズの硝材のうち、屈折率が最も低い硝材のｄ線に
おける屈折率である。In the image forming optical system of the present invention, it is desirable that the cemented lens used for adjustment satisfy the following condition (3). (3) n max −n min ≦ 0.05 where n max is the refractive index at the d line of the glass material with the highest refractive index among the glass materials of the above-mentioned cemented lens, and n min is the refractive index among the glass materials of the above-mentioned cemented lens It is the refractive index at the d-line of the glass material having the lowest index.
【００１４】条件（３）において屈折率の差が０．０５
よりも大になるとこの接合レンズの空気接触面の屈折力
が必要になる。そのため、接合レンズを略平行平面形状
にすることができなくなる。この場合、結像光学系中に
屈折力のある程度大きな光学素子が存在することにな
る。その結果、本来の結像光学系の基準波長（ここでは
ｄ線）における性能を劣化させてしまう。このような理
由から、条件（３）に示すように屈折率の差を０．０５
以下にすることが好ましい。Under the condition (3), the difference in refractive index is 0.05.
If it becomes larger than this, the refractive power of the air contact surface of this cemented lens becomes necessary. Therefore, the cemented lens cannot be formed into a substantially parallel plane shape. In this case, there is an optical element having a certain degree of refracting power in the imaging optical system. As a result, the performance of the original imaging optical system at the reference wavelength (here, the d-line) is deteriorated. For this reason, as shown in the condition (3), the difference in refractive index is set to 0.05.
The following is preferable.
【００１５】本発明の結像光学系は、対物レンズと結像
レンズとにて構成されてもよい。この場合、偏芯調整の
ための接合レンズを、対物レンズ中に配置してもよい。
このように接合レンズを対物レンズ中に配置する場合
も、接合レンズは前記条件（１）を満足するものであ
る。The image forming optical system of the present invention may be composed of an objective lens and an image forming lens. In this case, a cemented lens for decentering adjustment may be arranged in the objective lens.
Even when the cemented lens is arranged in the objective lens as described above, the cemented lens satisfies the above condition (1).
【００１６】また、対物レンズ中の前記接合レンズが条
件（１）の代わりに条件（１−１）を満足すればより望
ましい。It is more desirable that the cemented lens in the objective lens satisfies the condition (1-1) instead of the condition (1).
【００１７】また、対物レンズ中の接合レンズが前記条
件（２）を満足することが望ましい。It is desirable that the cemented lens in the objective lens satisfy the above condition (2).
【００１８】また、前記対物レンズ中の接合レンズが前
記条件（３）を満足することが望ましい。Further, it is desirable that the cemented lens in the objective lens satisfies the condition (3).
【００１９】このように、本発明の光学系が対物レンズ
と結像レンズとにて構成されている構成の場合も、この
接合レンズが条件（１）、（２）または（３）を満足す
るときのそれによる特徴は、既に述べた通りである。ま
た、それら条件より外れたときの問題点も前述と同じで
ある。As described above, also in the case where the optical system of the present invention is constituted by the objective lens and the imaging lens, this cemented lens satisfies the condition (1), (2) or (3). The characteristics of the time are as described above. Further, the problems when the conditions are not satisfied are the same as described above.
【００２０】この光学系にて使用される光源は、ハロゲ
ン光源のような連線のスペクトルをもつ光源や、複数の
レーザーを配置した光源等が使用される。As the light source used in this optical system, a light source having a continuous spectrum such as a halogen light source, a light source in which a plurality of lasers are arranged, or the like is used.
【００２１】[0021]
【発明の実施の形態】本発明の結像光学系の実施の形態
を示す。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the imaging optical system of the present invention will be described.
【００２２】図１は、本発明の結像光学系の構成を示す
図である。図において、１は光源、２は照明系、３は絞
り、４はハーフミラー、５は対物レンズ、６は標本、７
は結像レンズ、８は電子撮像素子で、顕微鏡撮像装置を
構成する。FIG. 1 is a view showing the arrangement of the image forming optical system according to the present invention. In the figure, 1 is a light source, 2 is an illumination system, 3 is a diaphragm, 4 is a half mirror, 5 is an objective lens, 6 is a sample, and 7 is a sample.
Is an image forming lens, and 8 is an electronic image pickup element, which constitutes a microscope image pickup apparatus.
【００２３】結像光学系は対物レンズ５と結像レンズ７
で構成されている。そして、結像レンズ７の近くに接合
レンズＣＬが配置されている。この接合レンズＣＬが色
による像のシフトを補正する。つまり、接合レンズＣＬ
を光軸１０に垂直な方向（矢印方向）に移動させて色に
よる像シフトを補正する。The image forming optical system includes an objective lens 5 and an image forming lens 7.
It is composed of. The cemented lens CL is arranged near the imaging lens 7. This cemented lens CL corrects the image shift due to color. That is, the cemented lens CL
Is moved in a direction (arrow direction) perpendicular to the optical axis 10 to correct the image shift due to color.
【００２４】この実施の形態は、結像レンズの近くに接
合レンズＣＬを配置した例である。しかし、この接合レ
ンズＣＬは、対物レンズ側に配置してもよい。ただし、
配置場所によっては、例えば倍率の色収差が変化する。
そのため配置場所にあわせて設計を変更することもあ
る。This embodiment is an example in which a cemented lens CL is arranged near the imaging lens. However, the cemented lens CL may be arranged on the objective lens side. However,
Depending on the location, for example, the chromatic aberration of magnification changes.
Therefore, the design may be changed according to the location.
【００２５】次に本発明の結像光学系の実施例を示す。
本発明の各実施例は、夫々図２〜図１３に示す通りの構
成で、下記データを有する。Next, examples of the image forming optical system of the present invention will be described.
Each of the embodiments of the present invention has a configuration as shown in FIGS. 2 to 13 and has the following data.
【００２６】 実施例1 面NO ｒ ｄ ｎｄ νｄ 1 -3000 4.38 1.74077 27.79 2 -387.9 4.36 1.741 52.64 3 -2847.4 7.12 1 4 61.282 5.57 1.65412 39.68 5 34.173 8.27 1.497 81.54 6 657.85 波長(nm) 焦点距離 屈折力(φ) 屈折力（φ）の絶対値 587.56 76666.411 1.30435E-05 1.30435E-05 656.27 188195.43 5.31363E-06 5.31363E-06 486.13 29573.665 3.38139E-05 3.38139E-05 435.84 18813.598 5.3153E-05 5.3153E-05 546.07 50799.677 1.96852E-05 1.96852E-05 φmax-φmin 0.0000478 1/mm 屈折力（φ）の絶対値の最小値 0.0000053 1/mm 色による像シフト補正能力(1mm偏心時) 0.00861mm[0026] Example 1 Surface NO rd nd νd 1 -3000 4.38 1.74077 27.79 2 -387.9 4.36 1.741 52.64 3 -2847.4 7.12 1 4 61.282 5.57 1.65412 39.68 5 34.173 8.27 1.497 81.54 6 657.85 Wavelength (nm) Focal length Refractive power (φ) Absolute value of refractive power (φ) 587.56 76666.411 1.30435E-05 1.30435E-05 656.27 188195.43 5.31363E-06 5.31363E-06 486.13 29573.665 3.38139E-05 3.38139E-05 435.84 18813.598 5.3153E-05 5.3153E-05 546.07 50799.677 1.96852E-05 1.96852E-05 φmax-φmin 0.0000478 1 / mm Minimum absolute value of refractive power (φ) 0.0000053 1 / mm Image shift correction ability by color (1mm eccentricity) 0.00861mm
【００２７】 実施例2 面NO ｒ ｄ ｎｄ νｄ 1 ∞ 4 1.744 44.78 2 80 4 1.741 52.64 3 ∞ 8.75 1 4 146 5.01 1.60562 43.7 5 83.36 6.98 1.497 81.54 6 -177.19 波長(nm) 焦点距離 屈折力(φ) 屈折力（φ）の絶対値 587.56 -2.67E+04 -3.7475E-05 3.7475E-05 656.27 -3.45E+04 -2.9019E-05 2.90188E-05 486.13 -1.65E+04 -6.07E-05 6.07E-05 435.84 -1.22E+04 -8.1928E-05 8.1928E-05 546.07 -2.23E+04 -4.4895E-05 4.4895E-05 φmax-φmin 0.0000529 1/mm 屈折力（φ）の絶対値の最小値 0.0000290 1/mm 色による像シフト補正能力(1mm偏心時) 0.00951mm[0027] Example 2 Surface NO rd nd νd 1 ∞ 4 1.744 44.78 2 80 4 1.741 52.64 3 ∞ 8.75 1 4 146 5.01 1.60562 43.7 5 83.36 6.98 1.497 81.54 6 -177.19 Wavelength (nm) Focal length Refractive power (φ) Absolute value of refractive power (φ) 587.56 -2.67E + 04 -3.7475E-05 3.7475E-05 656.27 -3.45E + 04 -2.9019E-05 2.90188E-05 486.13 -1.65E + 04 -6.07E-05 6.07E-05 435.84 -1.22E + 04 -8.1928E-05 8.1928E-05 546.07 -2.23E + 04 -4.4895E-05 4.4895E-05 φmax-φmin 0.0000529 1 / mm Minimum absolute value of refractive power (φ) 0.0000290 1 / mm Image shift correction ability by color (at 1 mm eccentricity) 0.00951 mm
【００２８】 実施例3 面NO ｒ ｄ ｎｄ νｄ 1 212.56 6.21 1.497 81.54 2 -73.81 5 1.60562 43.7 3 -126.91 8.65 1 4 ∞ 4 1.744 44.78 5 80 4 1.741 52.64 6 ∞ 波長(nm) 焦点距離 屈折力(φ) 屈折力（φ）の絶対値 587.56 -2.67E+04 -3.7475E-05 3.7475E-05 656.27 -3.45E+04 -2.9019E-05 2.90188E-05 486.13 -1.65E+04 -6.07E-05 6.07E-05 435.84 -1.22E+04 -8.1928E-05 8.1928E-05 546.07 -2.23E+04 -4.4895E-05 4.4895E-05 φmax-φmin 0.0000529 屈折力（φ）の絶対値の最小値 0.0000290 色による像シフト補正効果 8.81E-03[0028] Example 3 Surface NO rd nd νd 1 212.56 6.21 1.497 81.54 2 -73.81 5 1.60562 43.7 3 -126.91 8.65 1 4 ∞ 4 1.744 44.78 5 80 4 1.741 52.64 6 ∞ Wavelength (nm) Focal length Refractive power (φ) Absolute value of refractive power (φ) 587.56 -2.67E + 04 -3.7475E-05 3.7475E-05 656.27 -3.45E + 04 -2.9019E-05 2.90188E-05 486.13 -1.65E + 04 -6.07E-05 6.07E-05 435.84 -1.22E + 04 -8.1928E-05 8.1928E-05 546.07 -2.23E + 04 -4.4895E-05 4.4895E-05 φmax-φmin 0.0000529 Minimum absolute value of refractive power (φ) 0.0000290 Image shift correction effect by color 8.81E-03
【００２９】 実施例4 面NO ｒ ｄ ｎｄ νｄ 1 692.08 6.53 1.51633 64.14 2 130 5.36 1.70154 41.24 3 310.42 8.17 1 4 6879.1 6.28 1.497 81.54 5 -38.07 4.38 1.65412 39.68 6 -67.94 波長(nm) 焦点距離 屈折力(φ) 屈折力（φ）の絶対値 587.56 -1.41E+04 -7.1136E-05 7.11358E-05 656.27 -1.28E+04 -7.8404E-05 7.84037E-05 486.13 -1.93E+04 -5.1862E-05 5.18622E-05 435.84 -2.90E+04 -3.4473E-05 3.44732E-05 546.07 -1.54E+04 -6.4914E-05 6.49144E-05 φmax-φmin 0.0000439 屈折力（φ）の絶対値の最小値 0.0000345 色による像シフト補正効果 7.92E-03[0029] Example 4 Surface NO rd nd νd 1 69 2.08 6.53 1.51633 64.14 2 130 5.36 1.70154 41.24 3 310.42 8.17 1 4 6879.1 6.28 1.497 81.54 5 -38.07 4.38 1.65412 39.68 6 -67.94 Wavelength (nm) Focal length Refractive power (φ) Absolute value of refractive power (φ) 587.56 -1.41E + 04 -7.1136E-05 7.11358E-05 656.27 -1.28E + 04 -7.8404E-05 7.84037E-05 486.13 -1.93E + 04 -5.1862E-05 5.18622E-05 435.84 -2.90E + 04 -3.4473E-05 3.44732E-05 546.07 -1.54E + 04 -6.4914E-05 6.49144E-05 φmax-φmin 0.0000439 Minimum absolute value of refractive power (φ) 0.0000345 Image shift correction effect by color 7.92E-03
【００３０】 実施例5 面NO ｒ ｄ ｎｄ νｄ 1 ∞ 5.83 1.51742 52.43 2 300 6.29 1.741 52.64 3 ∞ 7.62 1 4 321.23 7.14 1.497 81.54 5 -56.4 4.14 1.65412 39.68 6 -106.84 波長(nm) 焦点距離 屈折力(φ) 屈折力（φ）の絶対値 587.56 1.34E+03 0.000745273 0.000745273 656.27 1.35E+03 0.000740941 0.000740941 486.13 1.32E+03 0.000754972 0.000754972 435.84 1.31E+03 0.000762321 0.000762321 546.07 1.34E+03 0.000748631 0.000748631 φmax-φmin 0.0000214 屈折力（φ）の絶対値の最小値 0.0007409 色による像シフト補正効果 3.82E-03[0030] Example 5 Surface NO rd nd νd 1 ∞ 5.83 1.51742 52.43 2 300 6.29 1.741 52.64 3 ∞ 7.62 1 4 321.23 7.14 1.497 81.54 5 -56.4 4.14 1.65412 39.68 6 -106.84 Wavelength (nm) Focal length Refractive power (φ) Absolute value of refractive power (φ) 587.56 1.34E + 03 0.000745273 0.000745273 656.27 1.35E + 03 0.000740941 0.000740941 486.13 1.32E + 03 0.000754972 0.000754972 435.84 1.31E + 03 0.000762321 0.000762321 546.07 1.34E + 03 0.000748631 0.000748631 φmax-φmin 0.0000214 Minimum absolute value of refractive power (φ) 0.0007409 Image shift correction effect by color 3.82E-03
【００３１】 実施例6 面NO ｒ ｄ ｎｄ νｄ 1 ∞ 5.83 1.57135 52.95 2 300 6.29 1.741 52.64 3 ∞ 7.62 1 4 345.08 7.13 1.497 81.54 5 -55.04 4.14 1.65412 39.68 6 -101.34 波長(nm) 焦点距離 屈折力(φ) 屈折力（φ）の絶対値 587.56 1.77E+03 0.000565493 0.000565493 656.27 1.78E+03 0.000562074 0.000562074 486.13 1.75E+03 0.000573033 0.000573033 435.84 1.73E+03 0.000578711 0.000578711 546.07 1.76E+03 0.000568115 0.000568115 φmax-φmin 0.0000166 屈折力（φ）の絶対値の最小値 0.0005621 色による像シフト補正効果 2.97E-03[0031] Example 6 Surface NO rd nd νd 1 ∞ 5.83 1.57135 52.95 2 300 6.29 1.741 52.64 3 ∞ 7.62 1 4 345.08 7.13 1.497 81.54 5 -55.04 4.14 1.65412 39.68 6 -101.34 Wavelength (nm) Focal length Refractive power (φ) Absolute value of refractive power (φ) 587.56 1.77E + 03 0.000565493 0.000565493 656.27 1.78E + 03 0.000562074 0.000562074 486.13 1.75E + 03 0.000573033 0.000573033 435.84 1.73E + 03 0.000578711 0.000578711 546.07 1.76E + 03 0.000568115 0.000568115 φmax-φmin 0.0000166 Minimum absolute value of refractive power (φ) 0.0005621 Image shift correction effect by color 2.97E-03
【００３２】 実施例7 面NO ｒ ｄ ｎｄ νｄ 1 ∞ 4 1.741 52.64 2 80 4 1.6398 34.46 3 -505 4.34 1 4 -236.37 5.3 1.58267 46.42 5 39.94 7.21 1.497 81.54 6 -50.39 波長(nm) 焦点距離 屈折力(φ) 屈折力（φ）の絶対値 587.56 1.71E+05 5.83813E-06 5.83813E-06 656.27 -5.19E+04 -1.9272E-05 1.92718E-05 486.13 1.36E+04 7.34489E-05 7.34489E-05 435.84 7.33E+03 0.000136344 0.000136344 546.07 3.64E+04 2.7448E-05 2.7448E-05 φmax-φmin 0.0001556 屈折力（φ）の絶対値の最小値 0.0000058 色による像シフト補正効果 2.80E-02[0032] Example 7 Surface NO rd nd νd 1 ∞ 4 1.741 52.64 2 80 4 1.6398 34.46 3 -505 4.34 1 4 -236.37 5.3 1.58267 46.42 5 39.94 7.21 1.497 81.54 6 -50.39 Wavelength (nm) Focal length Refractive power (φ) Absolute value of refractive power (φ) 587.56 1.71E + 05 5.83813E-06 5.83813E-06 656.27 -5.19E + 04 -1.9272E-05 1.92718E-05 486.13 1.36E + 04 7.34489E-05 7.34489E-05 435.84 7.33E + 03 0.000136344 0.000136344 546.07 3.64E + 04 2.7448E-05 2.7448E-05 φmax-φmin 0.0001556 Minimum absolute value of refractive power (φ) 0.0000058 Image shift correction effect by color 2.80E-02
【００３３】 実施例8 面NO ｒ ｄ ｎｄ νｄ 1 ∞ 4 1.62004 36.26 2 40 4 1.618 63.33 3 ∞ 4.393 1 4 147.488 8.86 1.58267 46.42 5 -55.89 7.54 1.48749 70.23 6 ∞ 波長(nm) 焦点距離 屈折力(φ) 屈折力（φ）の絶対値 587.56 -1.96E+04 -5.1025E-05 5.1025E-05 656.27 3.42E+06 2.925E-07 2.925E-07 486.13 -5.46E+03 -0.00018322 0.00018322 435.84 -3.31E+03 -0.0003018 0.000301795 546.07 -1.06E+04 -9.4012E-05 9.40125E-05 φmax-φmin 0.0003021 屈折力（φ）の絶対値の最小値 0.0000003 色による像シフト補正効果 5.41E-02[0033] Example 8 Surface NO rd nd νd 1 ∞ 4 1.62004 36.26 2 40 4 1.618 63.33 3 ∞ 4.393 1 4 147.488 8.86 1.58267 46.42 5 -55.89 7.54 1.48749 70.23 6 ∞ Wavelength (nm) Focal length Refractive power (φ) Absolute value of refractive power (φ) 587.56 -1.96E + 04 -5.1025E-05 5.1025E-05 656.27 3.42E + 06 2.925E-07 2.925E-07 486.13 -5.46E + 03 -0.00018322 0.00018322 435.84 -3.31E + 03 -0.0003018 0.000301795 546.07 -1.06E + 04 -9.4012E-05 9.40125E-05 φmax-φmin 0.0003021 Minimum absolute value of refractive power (φ) 0.0000003 Image shift correction effect by color 5.41E-02
【００３４】 実施例9 面NO ｒ ｄ ｎｄ νｄ 1 ∞ 3 1.62004 36.26 2 20 5 1.618 63.33 3 ∞ 3.23 1 4 -324.87 5.43 1.51633 64.14 5 117.89 4.72 1.80518 25.42 6 -169.08 32.9415 波長(nm) 焦点距離 屈折力(φ) 屈折力（φ）の絶対値 587.56 -9.80E+03 -0.00010205 0.00010205 656.27 1.71E+06 5.85E-07 5.85E-07 486.13 -2.73E+03 -0.00036644 0.00036644 435.84 -1.66E+03 -0.00060359 0.00060359 546.07 -5.32E+03 -0.00018803 0.000188025 φmax-φmin 0.0006042 屈折力（φ）の絶対値の最小値 0.0000006 色による像シフト補正効果 1.08E-01[0034] Example 9 Surface NO rd nd νd 1 ∞ 3 1.62004 36.26 2 20 5 1.618 63.33 3 ∞ 3.23 1 4 -324.87 5.43 1.51633 64.14 5 117.89 4.72 1.80518 25.42 6 -169.08 32.9415 Wavelength (nm) Focal length Refractive power (φ) Absolute value of refractive power (φ) 587.56 -9.80E + 03 -0.00010205 0.00010205 656.27 1.71E + 06 5.85E-07 5.85E-07 486.13 -2.73E + 03 -0.00036644 0.00036644 435.84 -1.66E + 03 -0.00060359 0.00060359 546.07 -5.32E + 03 -0.00018803 0.000188025 φmax-φmin 0.0006042 Minimum absolute value of refractive power (φ) 0.0000006 Image shift correction effect by color 1.08E-01
【００３５】 実施例10 面NO ｒ ｄ ｎｄ νｄ 1 ∞ 1.2 1.618 63.33 2 -20 0.8 1.62004 36.26 3 ∞ 0.3 1 4 9.213 1.994 1.80518 25.42 5 -9.247 1.548 1.7725 49.6 6 4.126 2.384 1 7 -8.368 5.000 1.6516 58.55 8 68.033 3.080 1.43875 94.99 9 -7.769 4.585 1 10 -22.606 1.200 1.6516 58.55 11 10.818 4.157 1.43875 94.99 12 -4.575 1.200 1.53996 59.46 13 -21.870 0.300 1 14 18.122 2.411 1.43875 94.99 15 -26.343 0.300 1 16 12.471 3.635 1.43875 94.99 17 -8.110 0.846 1.53996 59.46 18 -69.933 0.300 1 19 8.159 4.121 1.43875 94.99 20 -7.474 1.000 1.51742 52.43 21 20.823 0.395 1 22 7.310 3.400 1.618 63.33 23 -4.925 1.200 1.60562 43.7 24 11.470 0.300 1 25 1.833 1.924 1.883 40.76 26 1.725 0.418 1 波長(nm) 焦点距離 屈折力(φ) 屈折力（φ）の絶対値 587.56 -9.80E+03 -0.000102 0.000102 656.27 1.71E+06 5.85E-07 5.85E-07 486.13 -2.73E+03 -0.0003664 0.0003664 435.84 -1.66E+03 -0.0006036 0.0006036 546.07 -5.32E+03 -0.000188 0.000188 φmax-φmin 0.0006042 屈折力（φ）の絶対値の最小値 0.0000006 色による像シフト補正効果 1.09E-01[0035] Example 10 Surface NO rd nd νd 1 ∞ 1.2 1.618 63.33 2 -20 0.8 1.62004 36.26 3 ∞ 0.3 1 4 9.213 1.994 1.80518 25.42 5 -9.247 1.548 1.7725 49.6 6 4.126 2.384 1 7 -8.368 5.000 1.6516 58.55 8 68.033 3.080 1.43875 94.99 9 -7.769 4.585 1 10 -22.606 1.200 1.6516 58.55 11 10.818 4.157 1.43875 94.99 12 -4.575 1.200 1.53996 59.46 13 -21.870 0.300 1 14 18.122 2.411 1.43875 94.99 15 -26.343 0.300 1 16 12.471 3.635 1.43875 94.99 17 -8.110 0.846 1.53996 59.46 18 -69.933 0.300 1 19 8.159 4.121 1.43875 94.99 20 -7.474 1.000 1.51742 52.43 21 20.823 0.395 1 22 7.310 3.400 1.618 63.33 23 -4.925 1.200 1.60562 43.7 24 11.470 0.300 1 25 1.833 1.924 1.883 40.76 26 1.725 0.418 1 Wavelength (nm) Focal length Refractive power (φ) Absolute value of refractive power (φ) 587.56 -9.80E + 03 -0.000102 0.000102 656.27 1.71E + 06 5.85E-07 5.85E-07 486.13 -2.73E + 03 -0.0003664 0.0003664 435.84 -1.66E + 03 -0.0006036 0.0006036 546.07 -5.32E + 03 -0.000188 0.000188 φmax-φmin 0.0006042 Minimum absolute value of refractive power (φ) 0.0000006 Image shift correction effect by color 1.09E-01
【００３６】 実施例11 面NO ｒ ｄ ｎｄ νｄ 1 9.040 2.057 1.80518 25.42 2 -13.155 1.604 1.7725 49.6 3 4.143 1.565 1 4 ∞ 1.200 1.618 63.33 5 -20.000 0.800 1.62004 36.26 6 ∞ 1.000 1 7 -8.322 4.087 1.6516 58.55 8 -186.991 2.455 1.43875 94.99 9 -7.221 4.978 1 10 -22.906 1.315 1.6516 58.55 11 7.166 3.976 1.43875 94.99 12 -5.441 1.200 1.53996 59.46 13 -25.021 0.400 1 14 20.928 2.333 1.43875 94.99 15 -23.929 0.393 1 16 12.850 3.651 1.43875 94.99 17 -7.762 0.874 1.53996 59.46 18 -68.117 0.631 1 19 8.009 4.453 1.43875 94.99 20 -7.212 1.000 1.51742 52.43 21 39.815 0.574 1 22 8.021 3.390 1.618 63.33 23 -4.760 1.200 1.60562 43.7 24 13.077 0.362 1 25 1.802 1.917 1.883 40.76 26 1.589 0.427 1 波長(nm) 焦点距離 屈折力(φ) 屈折力（φ）の絶対値 587.56 -9.80E+03 -0.000102 0.000102 656.27 1.71E+06 5.85E-07 5.85E-07 486.13 -2.73E+03 -0.0003664 0.0003664 435.84 -1.66E+03 -0.0006036 0.0006036 546.07 -5.32E+03 -0.000188 0.000188 φmax-φmin 0.0006042 屈折力（φ）の絶対値の最小値 0.0000006 色による像シフト補正効果 1.09E-01[0036] Example 11 Surface NO rd nd νd 1 9.040 2.057 1.80518 25.42 2 -13.155 1.604 1.7725 49.6 3 4.143 1.565 1 4 ∞ 1.200 1.618 63.33 5 -20.000 0.800 1.62004 36.26 6 ∞ 1.000 1 7 -8.322 4.087 1.6516 58.55 8 -186.991 2.455 1.43875 94.99 9 -7.221 4.978 1 10 -22.906 1.315 1.6516 58.55 11 7.166 3.976 1.43875 94.99 12 -5.441 1.200 1.53996 59.46 13 -25.021 0.400 1 14 20.928 2.333 1.43875 94.99 15 -23.929 0.393 1 16 12.850 3.651 1.43875 94.99 17 -7.762 0.874 1.53996 59.46 18 -68.117 0.631 1 19 8.009 4.453 1.43875 94.99 20 -7.212 1.000 1.51742 52.43 21 39.815 0.574 1 22 8.021 3.390 1.618 63.33 23 -4.760 1.200 1.60562 43.7 24 13.077 0.362 1 25 1.802 1.917 1.883 40.76 26 1.589 0.427 1 Wavelength (nm) Focal length Refractive power (φ) Absolute value of refractive power (φ) 587.56 -9.80E + 03 -0.000102 0.000102 656.27 1.71E + 06 5.85E-07 5.85E-07 486.13 -2.73E + 03 -0.0003664 0.0003664 435.84 -1.66E + 03 -0.0006036 0.0006036 546.07 -5.32E + 03 -0.000188 0.000188 φmax-φmin 0.0006042 Minimum absolute value of refractive power (φ) 0.0000006 Image shift correction effect by color 1.09E-01
【００３７】
実施例12
面NO ｒ ｄ ｎｄ νｄ
1 9.032 2.058 1.80518 25.42
2 -13.900 1.604 1.7725 49.6
3 4.140 1.588 1
4 ∞ 1.2 1.618 63.33
5 -20 0.8 1.62004 36.26
6 -500 1 1
7 -8.465 4.424 1.6516 58.55
8 -205.046 2.539 1.43875 94.99
9 -7.418 4.986 1
10 -24.056 1.366 1.6516 58.55
11 6.902 3.972 1.43875 94.99
12 -5.729 1.200 1.53996 59.46
13 -25.720 0.300 1
14 20.383 2.334 1.43875 94.99
15 -24.619 0.300 1
16 12.560 3.656 1.43875 94.99
17 -7.777 0.783 1.53996 59.46
18 -78.716 0.530 1
19 7.882 4.428 1.43875 94.99
20 -7.268 1.000 1.51742 52.43
21 40.816 0.464 1
22 8.467 3.377 1.618 63.33
23 -4.776 1.200 1.60562 43.7
24 14.528 0.373 1
25 1.815 1.934 1.883 40.76
26 1.582 0.429 1
波長(nm) 焦点距離 屈折力(φ) 屈折力（φ）の絶対値
587.56 878.6617 0.00113809 0.0011381
656.27 812.5897 0.00123063 0.0012306
486.13 1.11E+03 0.00089803 0.000898
435.84 1.47E+03 0.00068114 0.0006811
546.07 943.1594 0.00106027 0.0010603
φmax-φmin 0.0005495
屈折力（φ）の絶対値の最小値 0.0006811
色による像シフト補正効果 9.80E-02
上記データ中、面ＮＯ１、２、・・・における曲率半径
の値は、図面中のｒ 1，ｒ2・・・が対応して、面ＮＯ
１、２における肉厚は、面間隔（レンズの肉厚及び空気
間隔）であって、図面中のｄ1，ｄ2・・・が対応し、面
番号１、３、・・・におけるｎｄ及びνｄは第１面ｒ1
と第２面ｒ2の間の硝材、第３面ｒ3と第４面ｒ4の間の
硝材、・・・のｄ線に対する屈折率及びアッベ数であ
る。また、データ中の曲率半径、肉厚などの長さの単位
はｍｍである。[0037]
Example 12
Surface NO rd nd νd
1 9.032 2.058 1.80518 25.42
2 -13.900 1.604 1.7725 49.6
3 4.140 1.588 1
4 ∞ 1.2 1.618 63.33
5 -20 0.8 1.62004 36.26
6 -500 1 1
7 -8.465 4.424 1.6516 58.55
8 -205.046 2.539 1.43875 94.99
9 -7.418 4.986 1
10 -24.056 1.366 1.6516 58.55
11 6.902 3.972 1.43875 94.99
12 -5.729 1.200 1.53996 59.46
13 -25.720 0.300 1
14 20.383 2.334 1.43875 94.99
15 -24.619 0.300 1
16 12.560 3.656 1.43875 94.99
17 -7.777 0.783 1.53996 59.46
18 -78.716 0.530 1
19 7.882 4.428 1.43875 94.99
20 -7.268 1.000 1.51742 52.43
21 40.816 0.464 1
22 8.467 3.377 1.618 63.33
23 -4.776 1.200 1.60562 43.7
24 14.528 0.373 1
25 1.815 1.934 1.883 40.76
26 1.582 0.429 1
Wavelength (nm) Focal length Refractive power (φ) Absolute value of refractive power (φ)
587.56 878.6617 0.00113809 0.0011381
656.27 812.5897 0.00123063 0.0012306
486.13 1.11E + 03 0.00089803 0.000898
435.84 1.47E + 03 0.00068114 0.0006811
546.07 943.1594 0.00106027 0.0010603
φmax-φmin 0.0005495
Minimum absolute value of refractive power (φ) 0.0006811
Image shift correction effect by color 9.80E-02
In the above data, the radii of curvature for surfaces NO1, 2, ...
The value of r is r in the drawing 1, R2... corresponds to the surface number
The wall thicknesses in 1 and 2 are the surface spacing (lens wall thickness and air
Space) and d in the drawing1, D2... corresponds to the surface
Nd and νd in the numbers 1, 3, ... Are the first surfaces r1
And the second surface r2Glass material between the third surface r3And the fourth surface rFourBetween
Refractive index and Abbe number for glass material, ...
It Also, the unit of length such as radius of curvature and wall thickness in the data
Is mm.
【００３８】また、例えば実施例１の屈折力（φ）の値
中の１．３０４３５Ｅ−０５、５．３１３６３Ｅ−０６
は１．３０４３５×１０-5、５．３１３６３×１０-6を
意味する。Further, for example, 1.34435E-05, 5.31363E-06 in the value of the refractive power (φ) of the first embodiment.
Means 1.34435 × 10 −5 , 5.31363 × 10 −6 .
【００３９】上記実施例中、実施例１〜９は、いずれも
結像レンズ中に色による像のシフトを補正するための接
合レンズを配置した例であっる。これら実施例１〜９の
図面およびデータは共に結像レンズを記載してある。Of the above examples, Examples 1 to 9 are examples in which a cemented lens for correcting the shift of the image due to color is arranged in the imaging lens. The drawings and data of Examples 1 to 9 both describe an imaging lens.
【００４０】実施例１は、図２に示す通りの構成であっ
て、標本側（図面左側）より順に、色による像のシフト
を補正する接合レンズＣＬ（ｒ1〜ｒ3）と、結像レンズ
ＩＬ（ｒ4〜ｒ6）より構成されている。The first embodiment has a configuration as shown in FIG. 2, and in order from the sample side (left side in the drawing), a cemented lens CL (r 1 to r 3 ) for correcting image shift due to color and an image formation. It is composed of lenses IL (r 4 to r 6 ).
【００４１】上記接合レンズＣＧの波長５８７．５６ｎ
ｍ、６５６．２７ｎｍ、４８６．１３ｎｍ、４３５．８
４ｎｍ、５４６．０７ｎｍに対する焦点距離ｆ、屈折力
φはデータに示す通りである。このデータより明らかな
ように、上記実施例１は、条件（１）、（１−１）、
（２）、（３）を満足する。Wavelength 587.56n of the cemented lens CG
m, 656.27 nm, 486.13 nm, 435.8.
The focal length f and the refractive power φ for 4 nm and 546.07 nm are as shown in the data. As is clear from this data, the above-mentioned Example 1 has the following conditions (1), (1-1),
Satisfies (2) and (3).
【００４２】実施例２は図３に示す通り実施例１と同様
の構成である。つまり、標本側から順に、補正のための
接合レンズＣＬと、結像レンズＩＬとよりなる。また、
データ中に示すように、実施例２は、条件（１）、（１
−１）、（２）、（３）を満足する。The second embodiment has the same structure as the first embodiment as shown in FIG. That is, the cemented lens CL for correction and the imaging lens IL are arranged in this order from the sample side. Also,
As shown in the data, in Example 2, the conditions (1), (1
-1), (2), and (3) are satisfied.
【００４３】実施例３は、図４に示す通りの構成で、接
合レンズＩＬと、接合レンズＣＬとよりなる。この実施
例３は、像側の接合レンズＣＬが色による像のずれを補
正するために用いられる接合レンズである。つまり、標
本側より順に、結像レンズＩＬと接合レンズＣＬとにて
構成されている。The third embodiment has a construction as shown in FIG. 4 and comprises a cemented lens IL and a cemented lens CL. The third embodiment is a cemented lens in which the cemented lens CL on the image side is used to correct image shift due to color. That is, it is composed of the imaging lens IL and the cemented lens CL in order from the sample side.
【００４４】この実施例３もデータ中に示すように、条
件（１）、（１−１）、（２）、（３）を満足する。This Example 3 also satisfies the conditions (1), (1-1), (2) and (3) as shown in the data.
【００４５】実施例４〜９は夫々図５〜図１０に示す通
りであって、実施例１と同様の構成である。つまり、こ
れら実施例は、標本側より色ずれを補正するための接合
レンズＣＬと結像レンズ（接合レンズ）ＩＬにて構成さ
れている。The fourth to ninth embodiments are as shown in FIGS. 5 to 10, respectively, and have the same construction as the first embodiment. That is, in these examples, the cemented lens CL for correcting the color shift from the sample side and the imaging lens (junction lens) IL are configured.
【００４６】これら実施例４〜９のうち、実施例４は条
件（１）、（１−１）、（２）を満足する。また実施例
５は条件（１）、（２）を満足する。また、実施例６
は、条件（１）を満足する。また実施例７は、条件
（１）、（１−１）、（２）を満足する。更に実施例
８、９は、条件（１）、（１−１）、（２）、（３）を
満足する。Of these Examples 4 to 9, Example 4 satisfies the conditions (1), (1-1) and (2). In addition, Example 5 satisfies the conditions (1) and (2). In addition, Example 6
Satisfies the condition (1). Moreover, Example 7 satisfies the conditions (1), (1-1), and (2). Furthermore, Examples 8 and 9 satisfy the conditions (1), (1-1), (2), and (3).
【００４７】本発明の実施例１０〜１２は、対物レンズ
側に色によるずれを補正するために用いられる接合レン
ズを配置した実施例である。Embodiments 10 to 12 of the present invention are embodiments in which a cemented lens used for correcting a color shift is arranged on the objective lens side.
【００４８】尚、図１１〜１３において、右側が物体
側、左側が像側である。また、データ中の面番号は、像
側から順に記載してある。同様に、図１０〜１２におい
て、ｒ1，ｒ2・・・等は、像側（図面左側）より順に記
入してある。In FIGS. 11 to 13, the right side is the object side and the left side is the image side. The surface numbers in the data are listed in order from the image side. Similarly, in FIGS. 10 to 12, r 1 , r 2, ... Are sequentially written from the image side (left side of the drawing).
【００４９】これら実施例１０〜１２のうち、実施例１
０は色による像シフトのための接合レンズＣＬ（ｒ1〜
ｒ3）を対物レンズの像側に配置した例である。Of these Examples 10-12, Example 1
0 is a cemented lens CL (r 1 ~
In this example, r 3 ) is arranged on the image side of the objective lens.
【００５０】また、実施例１１、１２は共に色による像
シフトのための接合レンズＣＬ（ｒ4〜ｒ6）を対物レン
ズ中に配置した例である。つまり、図１１、１２に示す
通り、レンズ面ｒ3と、レンズ面ｒ7の間に接合レンズＣ
Ｌを配置した。Further, Embodiments 11 and 12 are examples in which cemented lenses CL (r 4 to r 6 ) for image shift depending on color are arranged in the objective lens. That is, as shown in FIGS. 11 and 12, the cemented lens C is provided between the lens surface r 3 and the lens surface r 7.
L was placed.
【００５１】これら実施例は、対物レンズと結像レンズ
を組み合わせた統合倍率が１００×になるように構成さ
れている。These embodiments are constructed so that the combined magnification of the combination of the objective lens and the imaging lens is 100 ×.
【００５２】これら実施例１０〜１１は、データに示す
ように接合レンズが、夫々条件（１）、（１−１）、
（２）、（３）を満足する。In these Examples 10 to 11, as shown in the data, the cemented lens has conditions (1), (1-1),
Satisfies (2) and (3).
【００５３】また、実施例１２は、条件（１）、
（２）、（３）を満足する。In the twelfth embodiment, the condition (1),
Satisfies (2) and (3).
【００５４】本発明の結像光学系は、以上述べた通りの
構成である。つまり請求項に記載する光学系のほか、次
の各項の結像光学系も本発明の目的を達成し得る。The image forming optical system of the present invention has the structure as described above. That is, in addition to the optical system described in the claims, the imaging optical system of each of the following items can also achieve the object of the present invention.
【００５５】（１） 特許請求の範囲の請求項１、２又
は３に記載する光学系で、前記条件（１）の代わりに下
記条件（１−１）を満足することを特徴とする結像光学
系。（１−１） ｜φ｜＜０．０００１(1) An image forming system according to any one of claims 1, 2 and 3 in the claims, characterized in that the following condition (1-1) is satisfied instead of the condition (1). Optical system. (1-1) | φ | <0.0001
【００５６】（２） 特許請求の範囲の請求項１、２又
は３あるいは前記の（１）の項に記載する光学系で、前
記結像光学系が対物レンズと結像レンズとを含み、前記
結像レンズが前記接合レンズを含むことを特徴とする結
像光学系。(2) An optical system according to claim 1, 2 or 3 of the claims or (1) above, wherein the imaging optical system includes an objective lens and an imaging lens. An image forming optical system, wherein the image forming lens includes the cemented lens.
【００５７】（３） 前記結像光学系が対物レンズと結
像レンズとを含み、前記対物レンズが前記接合レンズを
含むことを特徴とする結像光学系。(3) The image forming optical system, wherein the image forming optical system includes an objective lens and an image forming lens, and the objective lens includes the cemented lens.
【００５８】[0058]
【発明の効果】本発明の結像光学系によれば、光学系中
に配置した接合レンズを光軸と垂直方向に偏芯させて色
による像ずれを補正し得る。According to the image forming optical system of the present invention, it is possible to correct the image shift due to color by decentering the cemented lens arranged in the optical system in the direction perpendicular to the optical axis.
【図１】 本発明の実施の形態の構成を示す図FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の実施例１の構成を示す図FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a first embodiment of the present invention.
【図３】 本発明の実施例２の構成を示す図FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a second embodiment of the present invention.
【図４】 本発明の実施例３の構成を示す図FIG. 4 is a diagram showing a configuration of a third embodiment of the present invention.
【図５】 本発明の実施例４の構成を示す図FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a fourth embodiment of the present invention.
【図６】 本発明の実施例５の構成を示す図FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a fifth embodiment of the present invention.
【図７】 本発明の実施例６の構成を示す図FIG. 7 is a diagram showing a configuration of a sixth embodiment of the present invention.
【図８】 本発明の実施例７の構成を示す図FIG. 8 is a diagram showing a configuration of a seventh embodiment of the present invention.
【図９】 本発明の実施例８の構成を示す図FIG. 9 is a diagram showing a configuration of an eighth embodiment of the present invention.
【図１０】 本発明の実施例９の構成を示す図FIG. 10 is a diagram showing a configuration of a ninth embodiment of the present invention.
【図１１】 本発明の実施例１０の構成を示す図FIG. 11 is a diagram showing the configuration of Example 10 of the present invention.
【図１２】 本発明の実施例１１の構成を示す図FIG. 12 is a diagram showing the configuration of Example 11 of the present invention.
【図１３】 本発明の実施例１２の構成を示す図FIG. 13 is a diagram showing the configuration of Example 12 of the present invention.
【図１４】 従来のコマ収差の調整手段を備えた結像光
学系の構成を示す図FIG. 14 is a diagram showing a configuration of a conventional imaging optical system including a coma-aberration adjusting unit.
１ 光源 ２ 照明系 ３ 絞り ４ ハーフミラー ５ 対物レンズ ６ 標本 ７、ＩＬ 結像レンズ ８ 電子撮像素子 １０ 光軸 ＣＬ 色による像シフトを補正する接合レンズ 1 light source 2 Lighting system 3 aperture 4 half mirror 5 Objective lens 6 specimens 7, IL imaging lens 8 Electronic image sensor 10 optical axes A cemented lens that corrects image shift due to CL color
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H087 KA09 LA01 NA01 NA09 NA14 PA02 PA09 PA16 PA19 PB04 PB17 QA01 QA02 QA03 QA05 QA06 QA07 QA12 QA14 QA17 QA18 QA21 QA22 QA25 QA26 QA32 QA33 QA34 QA37 QA38 QA41 QA42 QA45 QA46 Continued front page F term (reference) 2H087 KA09 LA01 NA01 NA09 NA14 PA02 PA09 PA16 PA19 PB04 PB17 QA01 QA02 QA03 QA05 QA06 QA07 QA12 QA14 QA17 QA18 QA21 QA22 QA25 QA26 QA32 QA33 QA34 QA37 QA38 QA41 QA42 QA45 QA46
Claims (3)
の像を形成する結像光学系であって、該結像光学系は前
記複数の波長のいずれかの波長において以下の条件を満
足する接合レンズを含み、前記結像光学系の光軸に対し
て垂直な方向に該接合レンズが移動することを特徴とす
る結像光学系。 （１） ｜φ｜≦０．００１ ただし、φは接合レンズの屈折力である。1. An imaging optical system for forming an image of an object illuminated with light including a plurality of wavelengths, the imaging optical system satisfying the following conditions at any one of the plurality of wavelengths. An image forming optical system, comprising: a cemented lens that moves in a direction perpendicular to the optical axis of the image forming optical system. (1) | φ | ≦ 0.001 where φ is the refractive power of the cemented lens.
足する請求項１の結像光学系。 （２） ０．００００２≦φ（ｍａｘ）−φ（ｍｉｎ）
≦０．００１ ただし、φ（ｍａｘ）は使用波長域で接合レンズの屈折
力が最大になる波長での屈折力、φ（ｍｉｎ）は使用波
長域で接合レンズの屈折力が最小になる波長での屈折力
である。2. The image forming optical system according to claim 1, wherein the cemented lens satisfies the following condition (2). (2) 0.00002 ≦ φ (max) −φ (min)
≦ 0.001 where φ (max) is the refractive power at the wavelength where the refractive power of the cemented lens is maximum in the used wavelength range, and φ (min) is the wavelength at which the refractive power of the cemented lens is minimized in the used wavelength range. Is the refractive power of.
足することを特徴とする請求項１又は２の結像光学系。 （３）ｎmax−ｎmin≦０．０５ ただし、ｎmaxは上記接合レンズの最も屈折率が高い硝
材のｄ線の屈折率、ｎminは上記接合レンズの最も屈折
率が低い硝材のｄ線の屈折率である。3. The image forming optical system according to claim 1, wherein the cemented lens satisfies the following condition (3). (3) n max −n min ≦ 0.05 where n max is the d-line refractive index of the glass material having the highest refractive index of the cemented lens, and n min is the d-line of the glass material having the lowest refractive index of the cemented lens. Is the refractive index of.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001393684A JP2003195175A (en) | 2001-12-26 | 2001-12-26 | Image forming optical system |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2001393684A JP2003195175A (en) | 2001-12-26 | 2001-12-26 | Image forming optical system |
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| JP2003195175A true JP2003195175A (en) | 2003-07-09 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009054388A1 (en) * | 2007-10-22 | 2009-04-30 | Nikon Corporation | Image formation lens and microscope device |
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2001
- 2001-12-26 JP JP2001393684A patent/JP2003195175A/en active Pending
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