JP2003185812A - Lightweight mirror, method for manufacturing it and method for inspecting it - Google Patents
Lightweight mirror, method for manufacturing it and method for inspecting itInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば人工衛星
等の移動体に搭載される望遠鏡や光学センサないし光ア
ンテナに使用する軽量化ミラー、その製造方法およびそ
の検査方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lightweight mirror used for a telescope, an optical sensor or an optical antenna mounted on a mobile body such as an artificial satellite, a manufacturing method thereof and an inspection method thereof.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図７は従来の軽量化ミラーの例を示すも
ので、軽量化ミラーの片半分の斜視図である。このドー
ナツ形状の軽量化ミラーは、表面にガラス材料を研磨し
て形成された鏡面１を有し裏面に三角形状の穴３が柱状
のリブ部４を介して複数形成されたコア２と、このコア
２の裏面に接着されているとともにガラス材料と同一材
料または同等の線膨張係数を有する材料で構成されたバ
ックプレート５とを備えている。バックプレート５には
小孔７が形成されており、この小孔７は人工衛星搭載用
の望遠鏡等に使用される際に、穴３内の残留空気が存在
しないようにするものである。2. Description of the Related Art FIG. 7 shows an example of a conventional lightweight mirror and is a perspective view of one half of the lightweight mirror. The doughnut-shaped lightweight mirror has a core 2 having a mirror surface 1 formed by polishing a glass material on the front surface, and a plurality of triangular holes 3 formed on the back surface through columnar rib portions 4, and a core 2. The back plate 5 is attached to the back surface of the core 2 and is made of the same material as the glass material or a material having a similar linear expansion coefficient. A small hole 7 is formed in the back plate 5, and this small hole 7 prevents residual air in the hole 3 when used in a telescope or the like mounted on an artificial satellite.
【０００３】この軽量化ミラーは、バックプレートがな
い小規模の軽量化ミラーと比較して、中規模の大きさの
軽量化ミラーであり、移動体に搭載して被る荷重が大き
いため、バックプレート５が必要であり、バックプレー
ト５がコア２の裏面全面を覆ってコア２を補強してい
る。そして、コア２に対してバックプレート５を取付け
る方法として、例えば低融点のガラスを接着材として用
いてコア２とバックプレート５とを接着させていた。This lightweight mirror is a medium-sized lightweight mirror as compared with a small-sized lightweight mirror having no back plate, and the load applied to a moving body is large. 5, the back plate 5 covers the entire back surface of the core 2 to reinforce the core 2. As a method of attaching the back plate 5 to the core 2, for example, glass having a low melting point is used as an adhesive material to adhere the core 2 and the back plate 5.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来の軽量化ミラーで
は、コア２に対してバックプレート５を例えば接着材で
ある低融点ガラスを溶融、固化して、コア２とバックプ
レート５とを接着していたが、例えば接着材がコア２の
リブ部４の表面の全域にわたって均一に行き渡らず、そ
のためコア２に対するバックプレート５の十分な接着強
度が得られないという問題点があった。また、バックプ
レート５のコア２に対する接着の良否を肉眼判定で行っ
ているが、リブ部４の表面の全域に接着材が行き渡って
いるかどうかを肉眼で判定するのが難しいという問題点
もあった。In the conventional lightweight mirror, the back plate 5 is adhered to the core 2 by melting and solidifying the back plate 5 with respect to the core 2, for example, a low melting point glass as an adhesive material. However, for example, there is a problem in that the adhesive material does not spread evenly over the entire surface of the rib portion 4 of the core 2, so that sufficient adhesive strength of the back plate 5 to the core 2 cannot be obtained. Further, although the quality of adhesion of the back plate 5 to the core 2 is judged by naked eyes, there is a problem that it is difficult to judge with naked eyes whether or not the adhesive is spread over the entire surface of the rib portion 4. .
【０００５】また、従来の軽量化ミラーでは、直径６０
０ｍｍ程度より大型になると、一枚のバックプレート５
をコア２に取付ける際に、接触して接着すべき面積が大
きいため、バックプレート５およびコア２の何れも平面
度と面平滑度の両方で厳しい加工精度が必要となり、加
工が難しく、長時間の加工が必要で、製造コストが高く
なってしまうという問題点もあった。また、接触面全面
を均一に接着させるのが難しいため不良品ができるリス
クが高く、歩留が悪いという問題点もあった。また、コ
ア２の裏面全面に均一厚さの一枚のバックプレート５を
取付けるので、強度剛性の観点で非効果的であり、過剰
重量であるという問題点もあった。In the conventional lightweight mirror, the diameter is 60
When it becomes larger than about 0 mm, one back plate 5
When attaching the core 2 to the core 2, since the area to be contacted and adhered is large, both the back plate 5 and the core 2 require strict machining accuracy in terms of both flatness and surface smoothness, which makes machining difficult and takes a long time. However, there is also a problem that the manufacturing cost becomes high. In addition, since it is difficult to uniformly bond the entire contact surface, there is a high risk that defective products will be produced and the yield will be poor. Further, since one back plate 5 having a uniform thickness is mounted on the entire back surface of the core 2, it is ineffective in terms of strength and rigidity, and there is a problem that the weight is excessive.
【０００６】この発明は、かかる問題点を解決すること
を課題とするものであって、コアに対するバックプレー
トの接着強度が十分で、かつコアに対するバックプレー
トの接着の良否の肉眼判定が容易な軽量化ミラーを提供
することを目的とする。また、軽量、高剛性で、歩留ま
りが高く、製造コストを低減できる軽量化ミラーを提供
することを目的とする。また、コアに対するバックプレ
ートの接着強度が高く、かつコアに対するバックプレー
トの接着の良否の肉眼判定が容易な軽量化ミラーの製造
方法を得ることを目的とする。また、コアに対するバッ
クプレートの接着状態を、真空、温度サイクルのもとで
検査することができる軽量化ミラーの検査方法を得るこ
とを目的とする。An object of the present invention is to solve such a problem, and it has a sufficient adhesive strength of the back plate to the core and is easy to visually judge whether the adhesion of the back plate to the core is good or not. Intended to provide an optimized mirror. Another object of the present invention is to provide a lightweight mirror that is lightweight, highly rigid, has a high yield, and can reduce manufacturing costs. Another object of the present invention is to obtain a method for manufacturing a lightweight mirror, which has a high adhesive strength of the back plate to the core and is easy to visually judge whether the back plate is adhered to the core. Another object of the present invention is to obtain an inspection method for a lightweight mirror that can inspect the adhesion state of the back plate to the core under vacuum and temperature cycles.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】この発明の軽量化ミラー
は、表面にガラス材料を研磨して形成された鏡面を有
し、裏面に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介して複数形
成されたコアと、このコアの裏面に接着されているとと
もに前記ガラス材料と同一材料または同等の線膨張係数
を有する材料で構成されコアを補強したバックプレート
とを備え、前記コアと前記バックプレートとは、光学接
着された軽量化ミラーであって、少なくとも前記コアと
前記バックプレートとの接着部は加熱処理されている。A lightweight mirror of the present invention has a mirror surface formed by polishing a glass material on the front surface, and a plurality of recessed holes are formed on the back surface through columnar ribs. A core and a back plate that is adhered to the back surface of the core and is made of a material having the same or the same linear expansion coefficient as that of the glass material and that reinforces the core, and the core and the back plate are An optically bonded lightweight mirror, wherein at least a bonding portion between the core and the back plate is heat-treated.
【０００８】この発明の軽量化ミラーでは、バックプレ
ートは、個々の穴を覆った複数のプレート部で構成され
ている。In the lightweight mirror of the present invention, the back plate is composed of a plurality of plate portions covering the individual holes.
【０００９】この発明の軽量化ミラーでは、リブ部同士
が交差する交差部には、小穴が形成されている。In the lightweight mirror of the present invention, a small hole is formed at the intersection where the ribs intersect each other.
【００１０】この発明の軽量化ミラーでは、プレート部
には穴内の空気を抜く小孔が形成されている。In the lightweight mirror of the present invention, the plate portion is formed with a small hole for removing air from the hole.
【００１１】この発明の軽量化ミラーの製造方法は、表
面にガラス材料を研磨して形成された鏡面を有し、裏面
に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介して複数形成された
コアと、このコアの裏面に接着されているとともに前記
ガラス材料と同一材料または同等の線膨張係数を有する
材料で構成されコアを補強したバックプレートとを備え
た軽量化ミラーの製造方法であって、前記コアと前記バ
ックプレートとの接着部を光学接着する工程と、その後
少なくとも接着部を加熱処理する工程とを含むものであ
る。The method for manufacturing a lightweight mirror of the present invention has a core having a mirror surface formed by polishing a glass material on the front surface, and a core having a plurality of recessed holes formed on the back surface through columnar ribs. A method for manufacturing a lightweight mirror having a back plate which is adhered to the back surface of the core and which is made of the same material as the glass material or has a coefficient of linear expansion equivalent to that of the core and a back plate which reinforces the core, It includes a step of optically adhering an adhesive portion between the core and the back plate, and a step of heating at least the adhesive portion thereafter.
【００１２】この発明の軽量化ミラーの製造方法では、
加熱処理は水素雰囲気中で行われる。In the method for manufacturing the lightweight mirror of the present invention,
The heat treatment is performed in a hydrogen atmosphere.
【００１３】この発明の軽量化ミラーの製造方法では、
鏡面に金属または誘電体多層膜の反射膜を蒸着装置内で
形成する工程と、この蒸着装置内でコアおよびバックプ
レートを加熱処理する工程とを含む。In the method for manufacturing the lightweight mirror of the present invention,
The method includes a step of forming a reflective film of a metal or a dielectric multilayer film on a mirror surface in a vapor deposition apparatus, and a step of heat-treating the core and the back plate in the vapor deposition apparatus.
【００１４】この発明の軽量化ミラーの製造方法では、
加熱処理は加熱手段を用いて接着部のみを加熱して行わ
れる。In the method for manufacturing the lightweight mirror of the present invention,
The heat treatment is performed by heating only the adhesive portion using a heating means.
【００１５】この発明の軽量化ミラーの製造方法では、
加熱手段は、接着部に付着され高周波を吸収する高周波
吸収体に高周波を照射する高周波加熱器である。In the method for manufacturing the lightweight mirror of the present invention,
The heating means is a high-frequency heater that irradiates the high-frequency absorber that is attached to the adhesive portion and absorbs high-frequency waves with high-frequency waves.
【００１６】この発明の軽量化ミラーの製造方法では、
加熱手段は、接着部に熱風を送る熱風ヒータである。In the method for manufacturing the lightweight mirror of the present invention,
The heating means is a hot air heater that sends hot air to the bonding portion.
【００１７】この発明の軽量化ミラーの製造方法では、
加熱手段は、接着部の付近でバックプレートに取り付け
られたヒータである。In the method for manufacturing the lightweight mirror of the present invention,
The heating means is a heater attached to the back plate near the bonding portion.
【００１８】この発明の軽量化ミラーの製造方法では、
加熱手段は、接着部に付着されレーザ光を吸収するレー
ザ光吸収体にレーザ光を照射するレーザである。In the method of manufacturing the lightweight mirror of the present invention,
The heating means is a laser that irradiates the laser light absorber that is attached to the adhesive portion and absorbs the laser light with the laser light.
【００１９】この発明の軽量化ミラーの製造方法では、
ガラス材料はＬｉ2Ｏ−Ａｌ2Ｏ3−ＳｉＯ2系の結晶化ガ
ラスで構成され、加熱処理温度は６８０℃〜８３０℃で
ある。In the method for manufacturing the lightweight mirror of the present invention,
The glass material is made of Li 2 O—Al 2 O 3 —SiO 2 -based crystallized glass, and the heat treatment temperature is 680 ° C. to 830 ° C.
【００２０】この発明の軽量化ミラーの検査方法は、表
面にガラス材料を研磨して形成された鏡面を有し、裏面
に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介して複数形成された
コアと、このコアの裏面に接着されているとともに前記
ガラス材料と同一材料または同等の線膨張係数を有する
材料で構成されコアを補強したバックプレートとを備え
た軽量化ミラーの温度サイクル検査を行う軽量化ミラー
の検査方法であって、光学接着された前記コアと前記バ
ックプレートとを、鏡面に金属または誘電体多層膜の反
射膜を形成する蒸着装置内で加熱処理した後、引き続き
前記蒸着装置内を真空にしたまま、温度サイクルにより
軽量化ミラーの温度サイクル検査を行うものである。The method for inspecting a lightweight mirror according to the present invention has a core having a mirror surface formed by polishing a glass material on the front surface, and a core having a plurality of recessed holes formed on the back surface through columnar ribs. , A weight reduction performed by temperature cycle inspection of a mirror, which is adhered to the back surface of the core and includes a back plate made of the same material as the glass material or having a coefficient of linear expansion equivalent to that of the glass material and reinforcing the core A method of inspecting a mirror, wherein the optically bonded core and the back plate are heat-treated in a vapor deposition apparatus for forming a reflection film of a metal or dielectric multilayer film on a mirror surface, and then the interior of the vapor deposition apparatus is continuously processed. The temperature cycle inspection of the weight-reducing mirror is performed by the temperature cycle while the vacuum is maintained.
【００２１】[0021]
【発明の実施の形態】以下、この発明について説明する
が、従来のものと同一部材、部位、または相当部材、部
位については同一符号を付して説明する。
実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１の軽量化
ミラーの片半分斜視図であり、ドーナツ形状の軽量化ミ
ラーは、表面にガラス材料を研磨して形成された鏡面１
を有し裏面に三角形状の穴３が柱状のリブ部４を介して
複数形成されたコア２と、このコア２の裏面に光学接着
されているとともにガラス材料と同一材料または同等の
線膨張係数を有する材料で構成されたバックプレート１
５とを備えている。リブ部４が交差する部位にはコア２
の軽量化のために小孔８が形成されている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described below, but the same members and parts as those of the conventional one, or equivalent members and parts will be designated by the same reference numerals. Embodiment 1. FIG. 1 is a half-half perspective view of a weight-reducing mirror according to Embodiment 1 of the present invention.
And a core 2 having a plurality of triangular holes 3 formed on the back surface through columnar rib portions 4, and the core 2 is optically bonded to the back surface of the core 2 and has the same or the same linear expansion coefficient as the glass material. 1 composed of a material having
5 and. The core 2 is located at the intersection of the ribs 4.
A small hole 8 is formed to reduce the weight.
【００２２】バックプレート１５は、個々の穴３を覆っ
た複数のプレート部６で構成されている。プレート部６
は三角形状の個別の穴３の開口形状より大きい板状に形
成されている。個々のプレート部６の大きさは、個々の
穴３の寸法にリブ部４の幅寸法の半分以下の寸法を加え
た大きさである。個々のプレート部６は、同一寸法であ
り、その周縁部がリブ部４の表面に接着されている。プ
レート部６には小孔７が形成されており、人工衛星搭載
用望遠鏡などに使用される際にコア２とプレート部６と
の間に残留空気がないようになっている。なお、コア２
の裏面に施された穴３は三角形状であるが、詳細には各
三角形の彫り込みの隅部にはドリル等のツールが回転加
工した後に残る円弧状部位が残っている。また、この例
の他に四角形状の彫り込みによるエッグクレート構造
や、六角形状に彫り込むハニカム構造でもよいのは勿論
である。The back plate 15 is composed of a plurality of plate portions 6 covering the individual holes 3. Plate part 6
Is formed in a plate shape larger than the opening shape of the individual triangular holes 3. The size of each plate portion 6 is the size of each hole 3 plus a dimension not more than half the width dimension of the rib portion 4. The individual plate portions 6 have the same size, and the peripheral edge portion is adhered to the surface of the rib portion 4. A small hole 7 is formed in the plate portion 6 so that there is no residual air between the core 2 and the plate portion 6 when the plate portion 6 is used in a satellite mounting telescope or the like. In addition, core 2
The hole 3 formed on the back surface of the triangle has a triangular shape, but in detail, an arcuate portion that remains after a tool such as a drill is rotationally processed remains at the corner of the engraving of each triangle. In addition to this example, it is needless to say that an egg crate structure formed by engraving a rectangular shape or a honeycomb structure engraved in a hexagonal shape may be used.
【００２３】ところで、使用するガラス材料としては例
えばクリアセラム(株式会社オハラの登録商標、２００
１年製)等の低膨張ガラス材料が用いられている。この
ガラス材料はＬｉ2Ｏ−Ａｌ2Ｏ3−ＳｉＯ2系の結晶化ガ
ラスで構成されている。プレート部６をコア２に接着す
る方法として、プレート部６およびコア２の平面度を維
持したままそれぞれの接触面を物理的に研磨して密着さ
せるオプティカルコンタクト(光学接着)と呼ばれる方法
で接着した後、プレート部６およびコア２を加熱処理し
て行っている。加熱処理は水素雰囲気中で行われてい
る。そのときの加熱処理温度は６８０℃〜８３０℃であ
る。By the way, as a glass material to be used, for example, clear serum (registered trademark of OHARA CORPORATION, 200
Low expansion glass materials such as 1 year old) are used. This glass material is composed of Li 2 O—Al 2 O 3 —SiO 2 system crystallized glass. As a method of adhering the plate portion 6 to the core 2, the plate portion 6 and the core 2 are adhered by a method called optical contact (optical adhesion) in which the contact surfaces of the plate portion 6 and the core 2 are physically polished and brought into close contact with each other. After that, the plate portion 6 and the core 2 are heat-treated. The heat treatment is performed in a hydrogen atmosphere. The heat treatment temperature at that time is 680 ° C to 830 ° C.
【００２４】ここで光学接着の原理および加熱処理温度
６８０℃〜８３０℃の条件設定の理由について説明す
る。ガラスまたは結晶を構成する原子同士、イオン同士
または原子とイオンとが結合し、この結合が結晶または
ガラス内部では連続している。しかし、結晶またはガラ
スの端面部分では、この結合の連続がとぎれて余ってい
る接合の手、いわゆるダングリングボンドが形成されて
いる。部品の接触面を物理的に研磨し、平面度をだし、
接触面にあるダングリングボンド同士を近づけ、密着さ
せることで、部品同士を接着するのが光学接着である。Here, the principle of optical adhesion and the reason for setting the heat treatment temperature of 680 ° C. to 830 ° C. will be described. Atoms constituting the glass or crystal are bound to each other, ions are bound to each other, or atoms and ions are bound to each other, and this binding is continuous inside the crystal or glass. However, at the end face portion of the crystal or glass, a so-called dangling bond where the continuity of this bond is interrupted and left is formed. Physically polish the contact surface of parts to obtain flatness,
Optical bonding is to bond the parts together by bringing the dangling bonds on the contact surface close to each other and bringing them into close contact with each other.
【００２５】光学接着の原理から、ダングリングボンド
を活性化させることにより光学接着の接着強度を増加さ
せることが可能である。この方法としては、加熱処理が
採られるが、空気中で研磨を実施した場合はダングリン
グボンドに酸素が結合していることが多く、酸素を除去
する目的で水素雰囲気中で加熱処理されている。From the principle of optical adhesion, it is possible to increase the adhesive strength of optical adhesion by activating the dangling bond. As this method, heat treatment is adopted, but when polishing is performed in air, oxygen is often bonded to the dangling bond, and heat treatment is performed in a hydrogen atmosphere for the purpose of removing oxygen. .
【００２６】光学接着の原理から加熱処理時に温度が高
いほど接着強度が上昇することはいうまでもない。しか
し、例えばクリアセラムなどの低膨張ガラス材料は一般
的に膨張率を小さくするため、結晶の部分とガラスの部
分が混在したいわゆる半結晶状態になっている。コア２
およびバックプレート１５の加熱時に、ガラス温度をあ
る温度以上に上昇させてしまうと半結晶状態からほぼ全
面が結晶の状態に変化し、膨張率が増加するという現象
が生じる。It goes without saying that the higher the temperature during the heat treatment, the higher the adhesive strength from the principle of optical adhesion. However, for example, a low expansion glass material such as clear serum generally has a so-called semi-crystalline state in which a crystal part and a glass part are mixed in order to reduce the expansion coefficient. Core 2
Also, if the glass temperature is raised above a certain temperature during heating of the back plate 15, a phenomenon occurs in which the semi-crystalline state changes to a crystalline state on almost the entire surface and the expansion coefficient increases.
【００２７】低膨張ガラスとしてクリアセラムの場合、
この状態変化の温度が８３０℃付近にあることが分かっ
ている。また、クリアセラム同士を光学接着後に加熱処
理した場合６８０℃以上であれば、人工衛星搭載用望遠
鏡などに使用して十分な接着強度が得られることが分か
っている。このため、コア２およびバックプレート１５
が低膨張性を維持しつつ、かつ互いの接着強度が十分確
保されるためには、コア２およびバックプレート１５の
加熱処理温度を６８０〜８３０℃に設定している。In the case of clear serum as the low expansion glass,
It is known that the temperature of this state change is around 830 ° C. Further, it has been known that when heat treatment is performed after clear bonding the clear serums to each other at 680 ° C. or more, sufficient bonding strength can be obtained by using the clear serum in a satellite mounted telescope or the like. Therefore, the core 2 and the back plate 15
In order to maintain the low expansion property and sufficiently secure the mutual adhesive strength, the heat treatment temperature of the core 2 and the back plate 15 is set to 680 to 830 ° C.
【００２８】上記構成の軽量化ミラーでは、コア２とバ
ックプレート１５とが光学接着および加熱処理で接着さ
れているので、光学接着だけの場合と比較して接着強度
が向上する。また、コア２とバックプレート１５との接
着に接着材が介在してないので、コア２とバックプレー
ト１５との間に空気等が介在した接着不良が起こりう
る。このときには、接着部の屈折率が不連続となり、そ
の様子を肉眼的に簡単に観察できるので、コア２および
バックプレート１５の接着の良否についての肉眼検査精
度が向上する。また、加熱処理の設定条件は、６８０〜
８３０℃に設定してあるので、コア２およびバックプレ
ート１５は低膨張性を維持しつつ、かつ人工衛星搭載用
望遠鏡等に使用しても十分な接着強度が確保される。In the lightweight mirror having the above structure, the core 2 and the back plate 15 are bonded by optical bonding and heat treatment, so that the bonding strength is improved as compared with the case of only optical bonding. In addition, since no adhesive material is present in the adhesion between the core 2 and the back plate 15, air or the like may be present between the core 2 and the back plate 15 to cause adhesion failure. At this time, the refractive index of the bonded portion becomes discontinuous, and the state can be easily observed with the naked eye, so that the accuracy of the naked eye inspection for the quality of the adhesion of the core 2 and the back plate 15 is improved. Further, the setting condition of the heat treatment is 680 to
Since the temperature is set to 830 ° C., the core 2 and the back plate 15 maintain a low expansion property, and at the same time, a sufficient adhesive strength is secured even when used in a satellite-mounted telescope or the like.
【００２９】また、バックプレート１５は、個々の穴３
を覆った複数のプレート部６で構成されているので、一
枚のバックプレート５を用いた従来のものと比較して、
バックプレート１５の平面度および面平滑度の加工が容
易となり、加工時間が短縮され、かつ取付作業の容易
化、取付作業時間の短縮化が可能となる。また、軽量化
ミラーの製品歩留まりも向上し、製造コストを低減する
ことができる。The back plate 15 has individual holes 3
Since it is composed of a plurality of plate portions 6 covering the above, compared with the conventional one using one back plate 5,
The flatness and surface smoothness of the back plate 15 can be easily processed, the processing time can be shortened, and the mounting work can be facilitated and the mounting work time can be shortened. Further, the product yield of the lightweight mirror can be improved, and the manufacturing cost can be reduced.
【００３０】なお、加熱処理は、コア２およびバックプ
レート１５の全体を加熱してもよいが、実質的には加熱
処理は接着部のみを行えばよい。図２ないし図５は、接
着部のみを加熱処理する加熱手段を示す構成図である。
図２は加熱手段として高周波加熱器２０が用いられてい
る例である。プレート部６の周縁部に水である高周波吸
収体２０を付着させ、プレート部６およびコア２に高周
波を照射させることで、高周波吸収体２０に高周波が吸
収され、プレート部６のコア２に対する接続部が局所的
に加熱され、プレート部６のコア２に対する接着強度が
向上する。Although the heat treatment may heat the entire core 2 and the back plate 15, the heat treatment may substantially be performed only on the bonded portion. 2 to 5 are configuration diagrams showing a heating unit that heats only the bonded portion.
FIG. 2 shows an example in which a high frequency heater 20 is used as the heating means. By attaching the high frequency absorber 20, which is water, to the peripheral edge of the plate portion 6 and irradiating the plate portion 6 and the core 2 with the high frequency, the high frequency absorber 20 absorbs the high frequency, and the plate portion 6 is connected to the core 2. The part is locally heated, and the adhesive strength of the plate part 6 to the core 2 is improved.
【００３１】図３は加熱手段として熱風ヒータ２２が用
いられている例である。この例では、プレート部６のコ
ア２に対する接続部に熱風ヒータ２２からの温風２３を
当てることで、接続部が局所的に加熱され、プレート部
６のコア２に対する接着強度が向上している。FIG. 3 shows an example in which a hot air heater 22 is used as the heating means. In this example, by applying warm air 23 from the hot air heater 22 to the connection portion of the plate portion 6 with respect to the core 2, the connection portion is locally heated, and the adhesive strength of the plate portion 6 with respect to the core 2 is improved. .
【００３２】図４は加熱手段としてヒータ２４が用いら
れている例である。この例では、プレート部６のコア２
に対する接続部の付近のプレート部６の上面にヒータ２
４を貼り付け、ヒータ２４により、プレート部６のコア
２に対する接続部を局所的に加熱することで、プレート
部６のコア２に対する接着強度が向上している。FIG. 4 shows an example in which the heater 24 is used as the heating means. In this example, the core 2 of the plate portion 6
On the upper surface of the plate portion 6 near the connection portion for the heater 2
4 is attached and the heater 24 locally heats the connecting portion of the plate portion 6 to the core 2 to improve the adhesive strength of the plate portion 6 to the core 2.
【００３３】図５は加熱手段としてレーザ２９が用いら
れている例である。プレート部６の周縁部に水であるレ
ーザ光吸収体２７を付着させ、このレーザ光吸収体２７
にレーザ２４から光学系２５を通過したレーザ光２６が
照射され、レーザ光吸収体２７が加熱され、プレート部
６のコア２に対する接続部が局所的に加熱され、プレー
ト部６のコア２に対する接着強度が向上している。FIG. 5 shows an example in which a laser 29 is used as the heating means. A laser light absorber 27, which is water, is attached to the peripheral portion of the plate portion 6, and the laser light absorber 27 is attached.
The laser light 26 that has passed through the optical system 25 is emitted from the laser 24, the laser light absorber 27 is heated, the connection portion of the plate portion 6 to the core 2 is locally heated, and the plate portion 6 is bonded to the core 2. Strength is improved.
【００３４】実施の形態２．図６はこの発明の実施の形
態２を示す構成図である。鏡面１に金属または誘電体多
層膜の反射膜を形成する蒸着装置３４は、ケース３５
と、このケース３５内に設けられた蒸着源３２と、この
蒸着源３２の前方に配置されたシャッタ３１と、ケース
３５に接続されケース３５内を真空にする排気装置３３
と、軽量化ミラーのバックプレート１５上に設けられた
ヒータ３０とを備えている。ケース３５の周囲には冷媒
配管（図示せず）が設けられており、ケース３５内の雰
囲気を冷媒配管を通る冷媒で冷却することで、ヒータ３
０、蒸着源３２等から不純物がケース３５内に浮遊する
のを防止している。Embodiment 2. 6 is a block diagram showing a second embodiment of the present invention. A vapor deposition device 34 for forming a reflective film of a metal or dielectric multilayer film on the mirror surface 1 includes a case 35.
An evaporation source 32 provided in the case 35, a shutter 31 arranged in front of the evaporation source 32, and an exhaust device 33 connected to the case 35 to evacuate the case 35.
And a heater 30 provided on the back plate 15 of the weight-reducing mirror. A refrigerant pipe (not shown) is provided around the case 35, and the heater 3 is cooled by cooling the atmosphere in the case 35 with the refrigerant passing through the refrigerant pipe.
0, impurities from the vapor deposition source 32 and the like are prevented from floating in the case 35.
【００３５】次に、この蒸着装置３４の取り扱いについ
て説明する。先ず、所謂光学接着で各プレート部６がコ
ア２に接着された軽量化ミラーをケース３５内に蒸着源
３２に対向させた状態で載置する。このときには、排気
装置３３の作動によりケース３５内は高真空度になって
いる。この後、ヒータ３０の通電によりバックプレート
１５およびコア６を例えば７８０℃の温度になるまで加
熱処理する。このときには、シャッタ３１は閉じられて
いる。また、ケース３５の周囲の冷媒配管には冷媒が供
給されてなく、ケース３５は冷媒で冷却されるようなこ
とはない。その後、シャッタ３１を開き、蒸着源３２か
らの蒸着物質を蒸発させて鏡面１にアルミ、銀等の金属
または絶縁体多層膜による反射膜を形成する。このとき
も、反射膜の強度を高めるために、ヒータ３０の通電に
より、軽量化ミラーは加熱された状態で行われる。Next, the handling of the vapor deposition device 34 will be described. First, the weight-reducing mirror in which each plate portion 6 is bonded to the core 2 by so-called optical bonding is placed in the case 35 in a state of facing the vapor deposition source 32. At this time, the inside of the case 35 has a high degree of vacuum due to the operation of the exhaust device 33. Then, the back plate 15 and the core 6 are heated by energization of the heater 30 until the temperature reaches 780 ° C., for example. At this time, the shutter 31 is closed. Further, the refrigerant is not supplied to the refrigerant pipe around the case 35, and the case 35 is not cooled by the refrigerant. After that, the shutter 31 is opened, the vapor deposition material from the vapor deposition source 32 is evaporated, and a reflective film made of a metal such as aluminum or silver or an insulating multilayer film is formed on the mirror surface 1. At this time as well, in order to increase the strength of the reflective film, the weight reduction mirror is heated while the heater 30 is energized.
【００３６】加熱処理され、また反射膜が形成された軽
量化ミラーは、引き続き温度サイクル検査に供される。
それには、先ず、ヒータ３０の通電を遮断するととも
に、ケース３５の周囲の冷媒配管に冷媒を供給してケー
ス３５内の雰囲気を低温（例えば−５０℃）にする。こ
の状態で軽量化ミラーを所定時間ケース３５内に載置し
た後、冷媒の供給を停止し、ヒータ３０を通電すること
で、ケース３５内の雰囲気を高温（例えば１２０℃）に
設定する。このような軽量化ミラーに要求される環境温
度範囲で、ヒータ３０の通電の有無、および冷媒の供給
の有無により、ケース３５内の温度変化を繰り返し行
う。これにより、宇宙用望遠鏡等に要求される温度環境
下での検査を低コスト、短期間で実施することが可能と
なる。この方法によれば、加熱処理用の装置として蒸着
装置３４を代用することができ、低コストで軽量化ミラ
ーを製造できる。また、蒸着装置３４をそのまま温度サ
イクル検査に供することができ、温度サイクル検査用の
装置をわざわざ用意する必要性はない。The weight-reduced mirror that has been heat-treated and provided with the reflection film is subsequently subjected to a temperature cycle inspection.
For that purpose, first, the energization of the heater 30 is cut off, and the refrigerant is supplied to the refrigerant pipe around the case 35 to make the atmosphere in the case 35 low temperature (for example, −50 ° C.). After placing the lightweight mirror in the case 35 for a predetermined time in this state, the supply of the refrigerant is stopped and the heater 30 is energized to set the atmosphere in the case 35 to a high temperature (for example, 120 ° C.). Within the environmental temperature range required for such a lightweight mirror, the temperature inside the case 35 is repeatedly changed depending on whether the heater 30 is energized and whether the coolant is supplied. As a result, it becomes possible to carry out an inspection under a temperature environment required for a space telescope or the like at low cost and in a short period of time. According to this method, the vapor deposition device 34 can be used as a device for heat treatment, and a lightweight mirror can be manufactured at low cost. Further, the vapor deposition device 34 can be directly subjected to the temperature cycle inspection, and there is no need to purposely prepare a device for the temperature cycle inspection.
【００３７】[0037]
【発明の効果】以上説明したように、この発明の軽量化
ミラーによれば、表面にガラス材料を研磨して形成され
た鏡面を有し、裏面に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介
して複数形成されたコアと、このコアの裏面に接着され
ているとともに前記ガラス材料と同一材料または同等の
線膨張係数を有する材料で構成されコアを補強したバッ
クプレートとを備え、前記コアと前記バックプレートと
は、光学接着された軽量化ミラーであって、少なくとも
前記コアと前記バックプレートとの接着部は加熱処理さ
れているので、光学接着だけの場合と比較して接着強度
が向上する。また、コアとバックプレートとの間には接
着材が介在せず、コアとバックプレートとの間に空気等
が介在したときには、接着部の屈折率が不連続となり、
その様子は肉眼的に簡単に観察できるので、接着の良否
についての肉眼検査精度が向上する。As described above, according to the lightweight mirror of the present invention, the front surface has the mirror surface formed by polishing the glass material, and the rear surface has the recessed hole through the columnar rib portion. A plurality of formed cores, and a back plate which is adhered to the back surface of the core and is made of the same material as the glass material or a material having a linear expansion coefficient equivalent to that of the core and a back plate which reinforces the core. The back plate is a lightweight mirror that is optically bonded, and at least the bonding portion between the core and the back plate is heat-treated, so that the bonding strength is improved as compared with the case of only optical bonding. Further, no adhesive material is interposed between the core and the back plate, and when air or the like is interposed between the core and the back plate, the refractive index of the adhesive portion becomes discontinuous,
Since the state can be easily observed with the naked eye, the accuracy of the visual inspection for the quality of the adhesion is improved.
【００３８】また、この発明の軽量化ミラーによれば、
バックプレートは、個々の穴を覆った複数のプレート部
で構成されているので、一枚のバックプレートを用いた
従来のものと比較して、バックプレートの平面度および
面平滑度の加工が容易となり、加工時間が短縮され、か
つ取付作業の容易化、取付作業時間の短縮化が可能とな
る。また、軽量化ミラーの製品歩留まりも向上し、製造
コストを低減することができる。Further, according to the lightweight mirror of the present invention,
The back plate is made up of multiple plate parts that cover the individual holes, making it easier to machine the flatness and surface smoothness of the back plate compared to the conventional one using a single back plate. Therefore, the processing time can be shortened, the mounting work can be facilitated, and the mounting work time can be shortened. Further, the product yield of the lightweight mirror can be improved, and the manufacturing cost can be reduced.
【００３９】また、この発明の軽量化ミラーによれば、
リブ部同士が交差する交差部には、小穴が形成されてい
るので、コアを軽量化することができる。Further, according to the lightweight mirror of the present invention,
Since the small hole is formed at the intersection where the ribs intersect each other, the core can be made lighter.
【００４０】また、この発明の軽量化ミラーによれば、
プレート部には穴内の空気を抜く小孔が形成されている
ので、例えば人工衛星搭載用望遠鏡等に使用されたとき
に、穴内に空気が残留するようなことはない。According to the lightweight mirror of the present invention,
Since the plate portion is formed with a small hole for removing the air in the hole, the air does not remain in the hole when it is used in, for example, a telescope for mounting an artificial satellite.
【００４１】また、この発明の軽量化ミラーの製造方法
によれば、表面にガラス材料を研磨して形成された鏡面
を有し、裏面に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介して複
数形成されたコアと、このコアの裏面に接着されている
とともに前記ガラス材料と同一材料または同等の線膨張
係数を有する材料で構成されコアを補強したバックプレ
ートとを備えた軽量化ミラーの製造方法であって、前記
コアと前記バックプレートとの接着部を光学接着する工
程と、その後少なくとも接着部を加熱処理する工程とを
含むので、コアとバックプレートとの接着強度につい
て、高い接着強度が容易に得られる。Further, according to the method for manufacturing a lightweight mirror of the present invention, the front surface has a mirror surface formed by polishing a glass material, and a plurality of recessed holes are formed on the back surface through columnar rib portions. And a back plate which is adhered to the back surface of the core and which is made of a material having the same or the same linear expansion coefficient as the glass material and having a reinforced core. Then, since it includes a step of optically adhering the adhesive portion between the core and the back plate, and a step of heat-treating at least the adhesive portion after that, high adhesive strength between the core and the back plate is easily increased. can get.
【００４２】また、この発明の軽量化ミラーの製造方法
によれば、加熱処理は水素雰囲気中で行われるので、ダ
ングリングボンドに酸素が結合するようなことはなく、
コアとバックプレートとの接着強度について、高い接着
強度が容易に得られる。According to the method for manufacturing a lightweight mirror of the present invention, since the heat treatment is performed in a hydrogen atmosphere, oxygen is not bound to the dangling bond,
Regarding the adhesive strength between the core and the back plate, high adhesive strength can be easily obtained.
【００４３】また、この発明の軽量化ミラーの製造方法
によれば、鏡面に金属または誘電体多層膜の反射膜を蒸
着装置内で形成する工程と、この蒸着装置内でコアおよ
びバックプレートを加熱処理する工程とを含むので、加
熱処理用の特別の装置を製造することなく、既存の装置
で加熱処理を行うことができる。Further, according to the method for manufacturing a lightweight mirror of the present invention, a step of forming a reflection film of a metal or dielectric multilayer film on a mirror surface in a vapor deposition apparatus, and heating a core and a back plate in the vapor deposition apparatus. Since the treatment step is included, the heat treatment can be performed by the existing apparatus without manufacturing a special apparatus for the heat treatment.
【００４４】また、この発明の軽量化ミラーの製造方法
によれば、加熱処理は加熱手段を用いて接着部のみを加
熱して行われるので、省エネルギで、コアとバックプレ
ートとの接着強度について、高い接着強度が得られる。
また、加熱処理がコアおよびバックプレートの全体にわ
たって行われた場合と比較して、コアおよびバックプレ
ートの低膨張性がより維持される。Further, according to the method for manufacturing a lightweight mirror of the present invention, since the heat treatment is performed by heating only the bonding portion using the heating means, it is possible to save energy and reduce the bonding strength between the core and the back plate. High adhesive strength can be obtained.
Further, the low expansion of the core and the back plate is further maintained as compared with the case where the heat treatment is performed over the entire core and the back plate.
【００４５】また、この発明の軽量化ミラーの製造方法
によれば、加熱手段は、接着部に付着され高周波を吸収
する高周波吸収体に高周波を照射する高周波加熱器であ
るので、簡単な構造で接着部のみを加熱することができ
る。Further, according to the method for manufacturing a lightweight mirror of the present invention, the heating means is a high-frequency heater for irradiating a high-frequency wave to a high-frequency absorber attached to the adhesive portion and absorbing high-frequency waves, so that the heating means has a simple structure. Only the adhesive part can be heated.
【００４６】また、この発明の軽量化ミラーの製造方法
によれば、加熱手段は、接着部に熱風を送る熱風ヒータ
であるので、簡単な構造で接着部のみを加熱することが
できる。Further, according to the method for manufacturing a lightweight mirror of the present invention, since the heating means is a hot air heater for sending hot air to the bonding portion, it is possible to heat only the bonding portion with a simple structure.
【００４７】また、この発明の軽量化ミラーの製造方法
によれば、加熱手段は、接着部の付近でバックプレート
に取り付けられたヒータであるので、簡単な構造で接着
部のみを加熱することができる。Further, according to the method for manufacturing a lightweight mirror of the present invention, since the heating means is a heater attached to the back plate in the vicinity of the adhesive portion, only the adhesive portion can be heated with a simple structure. it can.
【００４８】また、この発明の軽量化ミラーの製造方法
によれば、加熱手段は、接着部に付着されレーザ光を吸
収するレーザ光吸収体にレーザ光を照射するレーザであ
るので、簡単な構造で接着部のみを加熱することができ
る。Further, according to the method for manufacturing a lightweight mirror of the present invention, the heating means is a laser for irradiating the laser light absorber attached to the adhesive portion and absorbing the laser light with the laser light, so that the structure is simple. It is possible to heat only the bonded portion with.
【００４９】また、この発明の軽量化ミラーの製造方法
によれば、ガラス材料はＬｉ2Ｏ−Ａｌ2Ｏ3−ＳｉＯ2系
の結晶化ガラスで構成され、加熱処理温度は６８０℃〜
８３０℃であるので、コアおよびバックプレートは低膨
張性を維持しつつ、かつ例えば人工衛星搭載用望遠鏡等
に使用しても十分な接着強度が確保される。According to the method for manufacturing a lightweight mirror of the present invention, the glass material is composed of Li 2 O--Al 2 O 3 --SiO 2 system crystallized glass, and the heat treatment temperature is 680 ° C.
Since the temperature is 830 ° C., the core and the back plate maintain a low expansion property, and sufficient adhesive strength is secured even when used in, for example, a telescope for mounting an artificial satellite.
【００５０】また、この発明の軽量化ミラーの検査方法
によれば、表面にガラス材料を研磨して形成された鏡面
を有し、裏面に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介して複
数形成されたコアと、このコアの裏面に接着されている
とともに前記ガラス材料と同一材料または同等の線膨張
係数を有する材料で構成されコアを補強したバックプレ
ートとを備えた軽量化ミラーの温度サイクル検査を行う
軽量化ミラーの検査方法であって、光学接着された前記
コアと前記バックプレートとを、鏡面に金属または誘電
体多層膜の反射膜を形成する蒸着装置内で加熱処理した
後、引き続き前記蒸着装置内を真空にし、かつ温度サイ
クルにより軽量化ミラーの温度サイクル検査を行うの
で、既存の蒸着装置で加熱処理を行った後、同装置を用
いて引き続き温度サイクル検査を行うことができ、軽量
化ミラーの製造から検査まで、円滑に行うことができ
る。Further, according to the method for inspecting a lightweight mirror of the present invention, the front surface has a mirror surface formed by polishing a glass material, and a plurality of recessed holes are formed on the back surface through columnar rib portions. Cycle inspection of a lightweight mirror having a core formed with a back plate and a back plate which is adhered to the back surface of the core and which is made of the same material as the glass material or a material having a linear expansion coefficient equivalent to that of the core and reinforced the core. A method for inspecting a lightweight mirror, wherein the core and the back plate that are optically adhered to each other are heat-treated in a vapor deposition device that forms a reflective film of a metal or dielectric multilayer film on a mirror surface, and then the The evaporation chamber is evacuated, and the temperature cycle inspection of the lightweight mirror is performed by temperature cycling.Therefore, after performing heat treatment with the existing evaporation system, the temperature is continuously measured using the same device. Can be performed cycle test, to test the production of lightweight mirror can be smoothly carried out.
【図１】 この発明の実施の形態１の軽量化ミラーを示
すもので、半分に切断した軽量化ミラーの斜視図であ
る。FIG. 1 is a perspective view of a weight-reducing mirror cut in half, showing a weight-reducing mirror according to a first embodiment of the present invention.
【図２】 加熱手段の例を示す構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram showing an example of heating means.
【図３】 加熱手段の例を示す構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram showing an example of heating means.
【図４】 加熱手段の例を示す構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram showing an example of heating means.
【図５】 加熱手段の例を示す構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram showing an example of heating means.
【図６】 軽量化ミラーの検査に用いられる蒸発装置の
構成図である。FIG. 6 is a configuration diagram of an evaporation device used for inspecting a lightweight mirror.
【図７】 従来の軽量化ミラーの片半分の斜視図であ
る。FIG. 7 is a perspective view of one half of a conventional lightweight mirror.
１ 鏡面、２ コア、３ 穴、４ リブ部、６ プレー
ト部、７ 小孔、８小穴、１５ バックプレート、２０
高調波加熱器、２２ 熱風ヒータ、２４ヒータ、２９
レーザ、３０ ヒータ、３３ 排気装置、３４ 蒸着
装置。1 mirror surface, 2 cores, 3 holes, 4 rib parts, 6 plate parts, 7 small holes, 8 small holes, 15 back plate, 20
Harmonic heater, 22 hot air heater, 24 heater, 29
Laser, 30 heater, 33 exhaust device, 34 vapor deposition device.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上野 信一 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 迎 久幸 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 南川 弘行 神奈川県相模原市小山１丁目15番30号 株 式会社オハラ内 (72)発明者 山城 亮治 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内 Ｆターム(参考） 2H042 DA01 DA08 DA12 DA19 DA20 DE09 2H043 CA02 CE00 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Shinichi Ueno 2-3 2-3 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Inside Ryo Electric Co., Ltd. (72) Inventor Yasuyuki 2-3 2-3 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Inside Ryo Electric Co., Ltd. (72) Inventor Hiroyuki Minamikawa 1-15-30 Koyama, Sagamihara City, Kanagawa Prefecture In ceremony company OHARA (72) Inventor Ryoji Yamashiro Marunouchi 3 2-3 No. 3 shares, Chiyoda-ku, Tokyo Ceremony Company Nikon F-term (reference) 2H042 DA01 DA08 DA12 DA19 DA20 DE09 2H043 CA02 CE00
Claims (14)
鏡面を有し、裏面に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介し
て複数形成されたコアと、このコアの裏面に接着されて
いるとともに前記ガラス材料と同一材料または同等の線
膨張係数を有する材料で構成されコアを補強したバック
プレートとを備え、前記コアと前記バックプレートと
は、光学接着された軽量化ミラーであって、少なくとも
前記コアと前記バックプレートとの接着部は加熱処理さ
れている軽量化ミラー。1. A core having a mirror surface formed by polishing a glass material on the front surface, and a plurality of recessed holes formed on the back surface through columnar ribs, and a core bonded to the back surface of the core. And a back plate configured by reinforcing the core made of a material having the same or the same linear expansion coefficient as the glass material, wherein the core and the back plate are optically bonded lightweight mirrors, A weight-reducing mirror in which at least an adhesive portion between the core and the back plate is heat-treated.
数のプレート部で構成されている請求項１に記載の軽量
化ミラー。2. The weight-reducing mirror according to claim 1, wherein the back plate includes a plurality of plate portions that cover the individual holes.
が形成されている請求項１または請求項２に記載の軽量
化ミラー。3. The lightweight mirror according to claim 1, wherein a small hole is formed at an intersection where the ribs intersect each other.
形成されている請求項２または請求項３に記載の軽量化
ミラー。4. The weight-reducing mirror according to claim 2, wherein the plate portion has a small hole for removing air from the hole.
鏡面を有し、裏面に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介し
て複数形成されたコアと、このコアの裏面に接着されて
いるとともに前記ガラス材料と同一材料または同等の線
膨張係数を有する材料で構成されコアを補強したバック
プレートとを備えた軽量化ミラーの製造方法であって、 前記コアと前記バックプレートとの接着部を光学接着す
る工程と、その後少なくとも接着部を加熱処理する工程
とを含む軽量化ミラーの製造方法。5. A core having a mirror surface formed by polishing a glass material on the front surface, and a plurality of recessed holes formed on the back surface through columnar ribs, and a core bonded to the back surface of the core. A method for manufacturing a weight-reducing mirror having a back plate which is made of the same material as the glass material or has a coefficient of linear expansion equivalent to that of the glass material and which has a reinforced core, wherein an adhesive portion between the core and the back plate is provided. A method for manufacturing a lightweight mirror, which comprises a step of optically adhering the above, and a step of heat-treating at least the adhering portion thereafter.
項５に記載の軽量化ミラーの製造方法。6. The method for manufacturing a lightweight mirror according to claim 5, wherein the heat treatment is performed in a hydrogen atmosphere.
を蒸着装置内で形成する工程と、この蒸着装置内でコア
およびバックプレートを加熱処理する工程とを含む請求
項５または請求項６に記載の軽量化ミラーの製造方法。7. The method according to claim 5, further comprising the step of forming a reflective film of a metal or dielectric multilayer film on the mirror surface in an evaporation apparatus, and the step of heat-treating the core and the back plate in this evaporation apparatus. The method for manufacturing a lightweight mirror described in.
を加熱して行われる請求項５ないし請求項７の何れかに
記載の軽量化ミラーの製造方法。8. The method for manufacturing a lightweight mirror according to claim 5, wherein the heat treatment is performed by heating only the adhesive portion using a heating means.
吸収する高周波吸収体に高周波を照射する高周波加熱器
である請求項８に記載の軽量化ミラーの製造方法。9. The method of manufacturing a lightweight mirror according to claim 8, wherein the heating means is a high-frequency heater that irradiates a high-frequency wave on a high-frequency absorber that is attached to the adhesive portion and absorbs the high-frequency wave.
ヒータである請求項８に記載の軽量化ミラーの製造方
法。10. The method for manufacturing a lightweight mirror according to claim 8, wherein the heating means is a hot air heater that sends hot air to the bonding portion.
レートに取り付けられたヒータである請求項８に記載の
軽量化ミラーの製造方法。11. The method for manufacturing a lightweight mirror according to claim 8, wherein the heating means is a heater attached to the back plate near the bonding portion.
光を吸収するレーザ光吸収体にレーザ光を照射するレー
ザである請求項８に記載の軽量化ミラーの製造方法。12. The method for manufacturing a lightweight mirror according to claim 8, wherein the heating means is a laser that irradiates the laser light absorber attached to the adhesive portion and absorbing the laser light with the laser light.
ｉＯ2系の結晶化ガラスで構成され、加熱処理温度は６
８０℃〜８３０℃である請求項５ないし請求項１２の何
れかに記載の軽量化ミラーの製造方法。13. The glass material is Li 2 O—Al 2 O 3 —S.
It is made of crystallized glass of io 2 system and the heat treatment temperature is 6
It is 80 degreeC-830 degreeC, The manufacturing method of the lightweight mirror in any one of Claim 5 thru | or 12.
た鏡面を有し、裏面に凹部形状の穴が柱状のリブ部を介
して複数形成されたコアと、このコアの裏面に接着され
ているとともに前記ガラス材料と同一材料または同等の
線膨張係数を有する材料で構成されコアを補強したバッ
クプレートとを備えた軽量化ミラーの温度サイクル検査
を行う軽量化ミラーの検査方法であって、 光学接着された前記コアと前記バックプレートとを、鏡
面に金属または誘電体多層膜の反射膜を形成する蒸着装
置内で加熱処理した後、引き続き前記蒸着装置内を真空
にしたまま、温度サイクルにより軽量化ミラーの温度サ
イクル検査を行う軽量化ミラーの検査方法。14. A core having a mirror surface formed by polishing a glass material on the front surface, and a plurality of recessed holes formed on the back surface through columnar ribs, and a core bonded to the back surface of the core. A method for inspecting a weight-reducing mirror, the method including: a temperature-inspection of a weight-reducing mirror having a core-reinforced back plate made of the same material as or a material having a linear expansion coefficient similar to that of the glass material. After heat-treating the bonded core and the back plate in a vapor deposition device that forms a reflection film of a metal or dielectric multilayer film on a mirror surface, the weight is reduced by a temperature cycle while continuously keeping the vapor deposition device vacuum. Inspection method for lightweight mirrors that performs temperature cycle inspections for optimized mirrors.
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