JP2003177537A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2003177537A5
JP2003177537A5 JP2002060583A JP2002060583A JP2003177537A5 JP 2003177537 A5 JP2003177537 A5 JP 2003177537A5 JP 2002060583 A JP2002060583 A JP 2002060583A JP 2002060583 A JP2002060583 A JP 2002060583A JP 2003177537 A5 JP2003177537 A5 JP 2003177537A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
substituent
carbon atoms
acid
resist film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002060583A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2003177537A (ja
JP4004820B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2002060583A priority Critical patent/JP4004820B2/ja
Priority claimed from JP2002060583A external-priority patent/JP4004820B2/ja
Publication of JP2003177537A publication Critical patent/JP2003177537A/ja
Publication of JP2003177537A5 publication Critical patent/JP2003177537A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4004820B2 publication Critical patent/JP4004820B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

JP2002060583A 2001-10-01 2002-03-06 ポジ型電子線、x線又はeuv用レジスト組成物 Expired - Lifetime JP4004820B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002060583A JP4004820B2 (ja) 2001-10-01 2002-03-06 ポジ型電子線、x線又はeuv用レジスト組成物

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001305364 2001-10-01
JP2001-305364 2001-10-01
JP2002060583A JP4004820B2 (ja) 2001-10-01 2002-03-06 ポジ型電子線、x線又はeuv用レジスト組成物

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2003177537A JP2003177537A (ja) 2003-06-27
JP2003177537A5 true JP2003177537A5 (US07297724-20071120-C00005.png) 2005-04-07
JP4004820B2 JP4004820B2 (ja) 2007-11-07

Family

ID=26623540

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002060583A Expired - Lifetime JP4004820B2 (ja) 2001-10-01 2002-03-06 ポジ型電子線、x線又はeuv用レジスト組成物

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4004820B2 (US07297724-20071120-C00005.png)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4429620B2 (ja) * 2002-10-15 2010-03-10 出光興産株式会社 感放射線性有機化合物
WO2005031464A1 (ja) * 2003-09-25 2005-04-07 Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. 低加速電子線用ポジ型レジスト組成物、レジスト積層体およびパターン形成方法
JP4418659B2 (ja) * 2003-09-26 2010-02-17 富士フイルム株式会社 ポジ型電子線、x線又はeuv光用レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
JP4347110B2 (ja) 2003-10-22 2009-10-21 東京応化工業株式会社 電子線又はeuv用ポジ型レジスト組成物
JP4347205B2 (ja) * 2004-01-23 2009-10-21 東京応化工業株式会社 ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法
US7250246B2 (en) 2004-01-26 2007-07-31 Fujifilm Corporation Positive resist composition and pattern formation method using the same
JP2006078760A (ja) 2004-09-09 2006-03-23 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 電子線またはeuv(極端紫外光)用レジスト組成物及びレジストパターン形成方法
JP5844613B2 (ja) 2010-11-17 2016-01-20 ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC 感光性コポリマーおよびフォトレジスト組成物
JP5531034B2 (ja) * 2012-01-31 2014-06-25 富士フイルム株式会社 感光性樹脂組成物、硬化膜の形成方法、硬化膜、有機el表示装置及び液晶表示装置
JP6894364B2 (ja) 2017-12-26 2021-06-30 信越化学工業株式会社 有機膜形成用組成物、半導体装置製造用基板、有機膜の形成方法、及びパターン形成方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2004117688A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2000214588A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2002268223A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2004101706A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2002323768A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2004334107A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2004287262A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2004029136A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2003177537A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2002303978A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2004126013A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2002278053A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2003262952A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2003292547A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2004271629A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2000352822A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2000231194A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2004053822A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2000338676A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2004078105A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2003316007A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2003295438A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2000338680A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2002372784A5 (US07297724-20071120-C00005.png)
JP2000227659A5 (US07297724-20071120-C00005.png)