JP2003177351A - Projection optical device - Google Patents

Projection optical device

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JP2003177351A
JP2003177351A JP2001375262A JP2001375262A JP2003177351A JP 2003177351 A JP2003177351 A JP 2003177351A JP 2001375262 A JP2001375262 A JP 2001375262A JP 2001375262 A JP2001375262 A JP 2001375262A JP 2003177351 A JP2003177351 A JP 2003177351A
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projection
prism
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optical axis
illumination light
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Kokichi Kenno
孝吉 研野
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a projection optical device which is made small-sized by using an eccentric prism as a projection optical system and devising a way of introducing illumination light into a reflection type display element. <P>SOLUTION: The projection optical device is equipped with the reflection type display element 1, the projection optical system 2 which projects an image displayed thereupon, and an illumination light source which lights up a display surface. The projection optical system 2 has a reflecting and refracting optical element 10 having two rotationally asymmetrical curved reflecting surfaces 12 and 13 with positive power or more; and the illumination light source is so arranged that a light beam exiting from the display surface and reaching a projection display surface and a light beam exiting from the illumination light source and reaching the display surface are both reflected up to the 2nd reflecting surface from the display surface side of the reflecting and refracting display element 10 and the axis 6 of projection light incident on the reflecting and refracting optical element 10 is not contained in a plane passing the optical axis 7 of projection light exiting from the reflecting and refracting optical element 10 and the center of the display surface. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、投影光学装置に関
し、特に、壁面又はスクリーンに反射型表示素子の映像
を拡大投影するフロントプロジェクターに関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a projection optical apparatus, and more particularly to a front projector for enlarging and projecting an image of a reflective display element on a wall surface or a screen.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のプロジェクターは回転対称なレン
ズ系を使用していた。この場合、明るい表示を得るため
に、DMD(ディジタルマイクロミラーデバイス)や反
射型LCD等の反射型表示素子を用いた場合(例えば、
特開2000−98272)に、照明光路の配置が難し
く、小型の装置として構成することは容易ではなかっ
た。
2. Description of the Related Art Conventional projectors use a rotationally symmetric lens system. In this case, a reflective display element such as a DMD (digital micromirror device) or a reflective LCD is used to obtain a bright display (for example,
In Japanese Patent Laid-Open No. 2000-98272), it is difficult to arrange an illumination optical path, and it is not easy to configure a small device.

【0003】このような中、PDLCやDMDの反射型
表示素子への照明を、回転対称な投影レンズ系の全部あ
るいは一部を介して行うものが特開平8−201755
号、特開平8−251520号において提案されてい
る。
Under these circumstances, there is a method in which the reflection type display element of PDLC or DMD is illuminated through all or part of a rotationally symmetric projection lens system.
And Japanese Patent Laid-Open No. 8-251520.

【0004】また、投影光学系でないが、偏心プリズム
を用いる頭部装着型画像表示装置において、反射型LC
Dの照明を偏心プリズムの一部の反射面と透過面を介し
て行うものが特開平11−337863号において提案
されている。
In a head-mounted image display device using a decentered prism, which is not a projection optical system, a reflective LC
Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-337863 proposes a method of illuminating D through a reflecting surface and a transmitting surface of a part of a decentered prism.

【0005】なお、特開2000−111800におい
ては、2つの偏心プリズムからなり、像面側のプリズム
に光路がプリズム内で交差する構成のプリズムを用いる
結像光学系が示されている。
Incidentally, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-111800 discloses an image forming optical system using a prism having two decentered prisms, and a prism having an optical path intersecting with the prism on the image plane side.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】反射型表示素子は、そ
の開口率が高く明るい表示画面を提供することが可能で
あるが、照明光路と投影光路の干渉の問題や、特にDM
D素子では照明を斜め方向から導入する必要があり、投
影光学系の小型化が困難であった。
The reflection type display device can provide a bright display screen with a high aperture ratio, but it has a problem of interference between the illumination light path and the projection light path, and in particular DM.
In the D element, it is necessary to introduce the illumination from an oblique direction, which makes it difficult to downsize the projection optical system.

【0007】本発明は従来技術のこのような問題点に鑑
みてなされたものであり、その目的は、投影光学系とし
て偏心プリズムを用い、照明光の反射型表示素子への導
入のし方に工夫を施すことにより小型化を図った投影光
学装置を提供することである。
The present invention has been made in view of such problems of the prior art, and its object is to introduce illumination light into a reflection type display element by using a decentered prism as a projection optical system. An object of the present invention is to provide a projection optical device which is downsized by devising the device.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の第1の投影光学装置は、反射型表示素子と、該反射
型表示素子に表示された画像を投影する投影光学系と、
前記反射型表示素子の表示面を照明する照明光源とを備
えた投影光学装置において、前記投影光学系は、少なく
とも、反射面を2面以上備え、その中の少なくとも1つ
の反射面が光束にパワーを与える曲面形状であって、偏
心収差補正機能を有した回転非対称な曲面反射面にて構
成され、前記反射型表示素子の表示面に面して配置され
た正のパワーを有する反射屈折光学素子又は反射光学素
子を有し、前記表示面から出て投影表示面に至る光線
と、前記照明光源から出て前記表示面に至る光線とは、
前記反射屈折光学素子又は反射光学素子の前記表示面側
から投影光線の通る順に数えて少なくとも2番目までの
反射面を共に反射するように、前記照明光源が配置さ
れ、かつ、前記照明光源からの照明光束中の前記表示面
の中心に至る光線であって照明光束の中心光線を照明光
光軸とし、前記表示面中心を出て瞳中心を通り投影表示
面に至る光線を投影光光軸とするとき、前記反射屈折光
学素子又は反射光学素子に入射する照明光光軸が、前記
反射屈折光学素子又は反射光学素子から出る投影光光軸
と前記表示面中心とを通る平面内に含まれないように、
前記照明光源が配置されていることを特徴とするもので
ある。
A first projection optical apparatus of the present invention that achieves the above object comprises a reflective display element, a projection optical system for projecting an image displayed on the reflective display element,
In a projection optical device including an illumination light source that illuminates the display surface of the reflective display element, the projection optical system includes at least two reflective surfaces, and at least one of the reflective surfaces has a power for a light beam. A catadioptric optical element having a positive power, which is formed of a rotationally asymmetric curved reflecting surface having a decentering aberration correcting function and is arranged facing the display surface of the reflective display element. Or, having a reflective optical element, the light rays coming out of the display surface to the projection display surface, and the light rays coming out of the illumination light source to the display surface,
The illumination light source is arranged so as to reflect at least the second reflection surface counting from the display surface side of the catadioptric optical element or the display surface side of the reflection optical element together, and A light ray in the illumination light flux that reaches the center of the display surface, the central light ray of the illumination light flux is the illumination light optical axis, and a light ray that exits the display surface center and passes through the pupil center to the projection display surface is the projection light optical axis. In this case, the illumination light optical axis incident on the catadioptric optical element or the catoptric optical element is not included in the plane passing through the projection light optical axis emitted from the catadioptric optical element or the catoptric optical element and the display surface center. like,
The illumination light source is arranged.

【0009】上記目的を達成する本発明の第2の投影光
学装置は、反射型表示素子と、該反射型表示素子に表示
された画像を投影する投影光学系と、前記反射型表示素
子の表示面を照明する照明光源とを備えた投影光学装置
において、前記反射型表示素子は、2次元的に配置され
た多数のピクセルの微小ミラーの傾きを変化させて反射
光の射出角度を変化させることによりオン/オフ状態を
作る反射型表示素子からなり、前記投影光学系は、少な
くとも、反射面を2面以上備え、その中の少なくとも1
つの反射面が光束にパワーを与える曲面形状であって、
偏心収差補正機能を有した回転非対称な曲面反射面にて
構成され、前記反射型表示素子の表示面に面して配置さ
れた正のパワーを有する反射屈折光学素子又は反射光学
素子を有し、前記表示面から出て投影表示面に至る光線
と、前記照明光源から出て前記表示面に至る光線とは、
前記反射屈折光学素子又は反射光学素子の前記表示面側
から投影光線の通る順に数えて少なくとも最初の反射面
を共に反射するように、前記照明光源が配置され、か
つ、前記照明光源からの照明光束中の前記表示面の中心
に至る光線であって照明光束の中心光線を照明光光軸と
し、前記表示面中心を出て瞳中心を通り投影表示面に至
る光線を投影光光軸とするとき、前記反射屈折光学素子
又は反射光学素子に入射する照明光光軸が、前記反射屈
折光学素子又は反射光学素子から出る投影光光軸と前記
表示面中心とを通る平面内に含まれないように、前記照
明光源が配置されていることを特徴とするものである。
A second projection optical device of the present invention which achieves the above object, comprises a reflective display element, a projection optical system for projecting an image displayed on the reflective display element, and display of the reflective display element. In a projection optical device provided with an illumination light source for illuminating a surface, the reflection type display element changes an inclination angle of a minute mirror of a large number of pixels arranged two-dimensionally to change an emission angle of reflected light. The projection optical system includes at least two reflective surfaces, at least one of which is provided.
The two reflecting surfaces are curved surfaces that give power to the luminous flux,
It is composed of a rotationally asymmetric curved reflective surface having an eccentric aberration correction function, and has a catadioptric optical element or a catadioptric optical element having a positive power arranged facing the display surface of the reflective display element, The light rays coming out of the display surface to the projection display surface and the light rays coming out of the illumination light source to the display surface are
The illumination light source is arranged so as to reflect together at least the first reflection surface counting from the display surface side of the catadioptric optical element or the display surface side of the reflection optical element, and the illumination light flux from the illumination light source. When the ray reaching the center of the display surface inside is the central ray of the illumination light flux as the illumination light optical axis, and the ray exiting the center of the display surface and passing through the pupil center to the projection display surface is the projection optical axis , The illumination light optical axis incident on the catadioptric optical element or the catoptric optical element is not included in a plane passing through the projection light optical axis emitted from the catadioptric optical element or the catoptric optical element and the display surface center. The illumination light source is arranged.

【0010】以下、本発明において、上記構成をとった
理由と作用について説明する。
Hereinafter, the reason why the above configuration is adopted and the operation thereof will be described.

【0011】本発明の投影光学装置は、反射型表示素子
に表示された画像を投影するものであり、投影光学系と
その反射型表示素子の表示面を照明する照明光源とを備
えている。
The projection optical apparatus of the present invention projects an image displayed on a reflective display element, and comprises a projection optical system and an illumination light source for illuminating the display surface of the reflective display element.

【0012】そして、その投影光学系としては、少なく
とも、反射面を2面以上備え、その中の少なくとも1つ
の反射面が光束にパワーを与える曲面形状であって、偏
心収差補正機能を有した回転非対称な曲面反射面にて構
成さた正のパワーを有する反射屈折光学素子又は反射光
学素子を含んでなるもので、その光学素子は反射型表示
素子の表示面に面して配置されている。
As the projection optical system, at least two reflecting surfaces are provided, and at least one of the reflecting surfaces has a curved surface shape that gives power to the light flux, and has a decentering aberration correcting function. It includes a catadioptric optical element or a catadioptric element having a positive power, which is composed of an asymmetric curved reflecting surface, and the optical element is arranged facing the display surface of the reflective display element.

【0013】ここで、反射屈折光学素子としては、特開
平11−337863号、特開2000−111800
等で言及された、パワーを有し内面反射する曲面形状の
反射面を2面以上備えてなる偏心プリズムを指すもの
で、また、反射光学素子とは、そのような反射面を表面
鏡で構成して空中に所定の位置関係で配置してなるもの
である。
Here, as the catadioptric optical element, JP-A Nos. 11-337863 and 2000-111800 are available.
Refers to a decentered prism having two or more curved reflective surfaces that have power and internally reflect, and a reflective optical element is such a reflective surface composed of a surface mirror. Then, they are arranged in the air in a predetermined positional relationship.

【0014】そして、光束にパワーを与える曲面形状で
あって偏心収差補正機能を有した回転非対称な曲面反射
面は、一般的には、自由曲面で定義される面形状を有す
る。そのような自由曲面の面形状は、例えば米国特許第
6,124,989号(特開2000−66105号)
の(a)式により定義される自由曲面である。
The rotationally asymmetric curved reflecting surface having a curved surface shape for giving power to the light flux and having a function of correcting eccentric aberration generally has a surface shape defined by a free curved surface. The surface shape of such a free-form surface is, for example, US Pat. No. 6,124,989 (JP 2000-66105 A).
It is a free-form surface defined by equation (a).

【0015】そして、本発明の第1の投影光学装置にお
いては、反射型表示素子は特に限定されないが、本発明
の第2の投影光学装置においては、2次元的に配置され
た多数のピクセルの微小ミラーの傾きを変化させて反射
光の射出角度を変化させることによりオン/オフ状態を
作る反射型表示素子を用いるものとしている。
In the first projection optical device of the present invention, the reflective display element is not particularly limited, but in the second projection optical device of the present invention, a large number of pixels arranged two-dimensionally are used. It is assumed that a reflection type display element is used in which an on / off state is created by changing the inclination angle of the micro mirror and changing the emission angle of the reflected light.

【0016】このような反射型表示素子は、DMD(デ
ィジタルマイクロミラーデバイス)として知られてお
り、「光学」(vol.25,No.6,p.313 〜314,1996年)に記
載されているように、2次元的に配列した各ピクセルが
微小なミラーから構成され、各ピクセル毎にその直下に
配置されたメモリー素子による静電界作用によって上記
微小ミラーの傾きを制御し、反射光の反射角度を変化さ
せることによってオン/オフ状態を作る反射型表示素子
である。そして、ピクセルがオフの状態では、当該ピク
セルの微小ミラーによる反射光が投影光学系に入射せ
ず、ピクセルがオンの状態では、当該ピクセルの微小ミ
ラーによる反射光が投影光学系に入射してスクリーンに
画像を形成するように光学系部品を配置する必要がある
ものである。なお、各ピクセルの微小ミラーのオン時の
傾き角は、DMDの光線の入射面に対して10°程度と
決められている。
Such a reflective display element is known as a DMD (Digital Micromirror Device) and is described in "Optics" (vol.25, No.6, p.313 to 314, 1996). As described above, each pixel arranged two-dimensionally is composed of minute mirrors, and the tilt of the minute mirrors is controlled by the electrostatic field action of the memory element arranged immediately below each pixel to reflect the reflected light. It is a reflective display element that creates an on / off state by changing an angle. When the pixel is off, the reflected light from the micro mirror of the pixel does not enter the projection optical system, and when the pixel is on, the reflected light from the micro mirror of the pixel enters the projection optical system. It is necessary to arrange the optical system components so as to form an image on the. The tilt angle of the micro mirror of each pixel when it is turned on is determined to be about 10 ° with respect to the incident surface of the DMD light beam.

【0017】そして、反射型表示素子の表示面から出て
投影表示面に至る光線と、照明光源から出て反射型表示
素子の表示面に至る光線とが、反射屈折光学素子又は反
射光学素子の表示面側から投影光線の通る順に数えて、
本発明の第1の投影光学装置においては、少なくとも2
番目までの反射面を、本発明の第2の投影光学装置にお
いては、少なくとも最初の反射面を、共に反射するよう
に、照明光源を配置するものである。
Then, a ray of light from the display surface of the reflective display element to the projection display surface and a ray of light from the illumination light source to the display surface of the reflective display element are reflected by the catadioptric optical element or the reflective optical element. Count from the display surface side in the order that the projection rays pass,
In the first projection optical apparatus of the present invention, at least 2
In the second projection optical apparatus of the present invention, the illumination light source is arranged so that the reflecting surfaces up to the first reflecting surface are reflected together with at least the first reflecting surface.

【0018】すなわち、反射型表示素子の表示面に面し
て配置された反射屈折光学素子又は反射光学素子の、少
なくとも2番目までの反射面、あるいは、最初の反射面
を経て照明光と投影光が反射され、表示面を照明し、か
つ、その表示画像を投影するように、光学系の一部を照
明光路と投影光路が共用するものである。
That is, at least the second reflecting surface of the catadioptric optical element or the reflecting optical element arranged facing the display surface of the reflective display element, or the illumination light and the projection light through the first reflecting surface. Is reflected, illuminates the display surface, and projects the display image, a part of the optical system is shared by the illumination optical path and the projection optical path.

【0019】そして、何れの場合も、照明光源からの照
明光束中の表示面の中心に至る光線であって照明光束の
中心光線を照明光光軸とし、表示面中心を出て瞳中心を
通り投影表示面に至る光線を投影光光軸とするとき、本
発明に基づき、反射屈折光学素子又は反射光学素子に入
射する照明光光軸が、反射屈折光学素子又は反射光学素
子から出る投影光光軸と表示面中心とを通る平面内に含
まれないように、照明光源を配置するものである。
In any case, the light beam reaching the center of the display surface in the illumination light beam from the illumination light source is the center light beam of the illumination light beam as the illumination optical axis, and exits the center of the display surface and passes through the center of the pupil. When the ray reaching the projection display surface is used as the projection light optical axis, the illumination light optical axis incident on the catadioptric optical element or the catoptric optical element is projected light light emitted from the catadioptric optical element or catoptric optical element according to the present invention. The illumination light source is arranged so as not to be included in a plane passing through the axis and the center of the display surface.

【0020】このような照明光光軸の意味は、偏心光学
系として構成される反射屈折光学素子又は反射光学素子
は、特別な偏心構成の場合と除き、各反射面の偏心方向
は、反射屈折光学素子又は反射光学素子から出る投影光
光軸と表示面中心とを通る平面の方向になる。この面内
に反射屈折光学素子又は反射光学素子に入射する照明光
光軸存在すると、各反射面の偏心方向の有効面は、照明
光路用と投影光路用に大きくしなければならなくなり、
反射屈折光学素子又は反射光学素子が大型化するか、あ
るいは、光束の一部がケラレることになってしまい、明
るく均一の投影が困難になる。
Such an illumination light optical axis means that a catadioptric optical element or a catadioptric optical element configured as a decentered optical system has a decentering direction of each reflecting surface, except in the case of a special decentering configuration. It is in the direction of a plane passing through the optical axis of the projection light emitted from the optical element or the reflective optical element and the center of the display surface. When the illumination light optical axis incident on the catadioptric optical element or the catoptric optical element is present in this surface, the effective surface in the decentering direction of each reflecting surface must be made large for the illumination optical path and the projection optical path.
The catadioptric optical element or the catadioptric element becomes large, or a part of the light beam is vignetted, which makes it difficult to project a bright and uniform image.

【0021】これに対して、反射屈折光学素子又は反射
光学素子に入射する照明光光軸が、反射屈折光学素子又
は反射光学素子から出る投影光光軸と表示面中心とを通
る平面内に含まれないようにすると、各反射面において
照明光路用と投影光路用に大きくしなければならない有
効面方向は、一般に偏心方向と交差する方向となるた
め、反射屈折光学素子又は反射光学素子の大型化には繋
がらない。
On the other hand, the illumination light optical axis incident on the catadioptric optical element or the catoptric optical element is included in the plane passing through the projection light optical axis emitted from the catadioptric optical element or the catoptric optical element and the center of the display surface. If this is not done, the effective surface direction, which must be increased for the illumination light path and the projection light path on each reflecting surface, is generally the direction intersecting the eccentric direction, so that the catadioptric optical element or the catoptric optical element becomes larger. Does not connect to.

【0022】特に、反射屈折光学素子又は反射光学素子
が、反射面を2面備えた第1偏心プリズムからなり、表
示面から出て投影光光軸が最初に入射する反射面で反射
された投影光光軸とその反射面に入射する投影光光軸と
を含む平面に、2番目の反射面で反射された投影光光軸
を投影した場合に、2番目の反射面で反射された投影光
光軸の像が最初に入射する反射面で反射された投影光光
軸とプリズム内で交差するように、その偏心プリズムを
構成する場合には、この偏心プリズムが各反射面に正の
パワーを分散するタイプのプリズムであるため、同じ偏
心プリズムのパワーとしたとき、各反射面の曲面形状が
より弱い形になるので、プリズムを大型化せずに偏心方
向と交差する方向に有効径を大きく取ることができ、好
ましいものである。
In particular, the catadioptric optical element or the catadioptric optical element comprises a first decentered prism having two reflecting surfaces, and the projection reflected from the reflecting surface that emerges from the display surface and first enters the optical axis of the projection light. Projection light reflected by the second reflecting surface when the projection light optical axis reflected by the second reflecting surface is projected on a plane including the light optical axis and the projection light optical axis incident on the reflecting surface If the decentering prism is configured so that the image of the optical axis intersects with the projection optical axis reflected by the first incident reflecting surface in the prism, this decentering prism applies positive power to each reflecting surface. Since it is a type of prism that disperses, the curved surface shape of each reflecting surface becomes weaker when the power of the same decentering prism is used, so the effective diameter is increased in the direction intersecting the decentering direction without increasing the size of the prism. Can be taken and is preferred

【0023】この点を後記の実施例1の投影光学系を例
にして説明する。図1は、反射型表示素子として用いら
れるDMD1と、そのDMD1に表示された画像を投影
する投影光学系2と、図3に示した照明光源3からの光
を投影光学系2の偏心プリズム10に入射させる照明光
導入プリズム30とからなる光学系部分の正面斜め上方
向から見た斜視図であり、投影光学系2は偏心プリズム
10と偏心プリズム20からなり、DMD1は偏心プリ
ズム10に大部分が隠れて見えないが、図2の同じ方向
から見た透視斜視図を見れば、DMD1は偏心プリズム
10の図の裏面側に配置されていることが分かる。図3
は、図1、図2の表側から見た正面透視図であり、図1
〜図3に示した座標の−Z方向にこの投影光学系2によ
ってDMD1の表示画像を投影するスクリーン等の投影
表示面5(図5)が配置されることになる。
This point will be described by taking the projection optical system of Example 1 described later as an example. 1 shows a DMD 1 used as a reflective display element, a projection optical system 2 for projecting an image displayed on the DMD 1, and a decentering prism 10 of the projection optical system 2 for projecting light from the illumination light source 3 shown in FIG. FIG. 3 is a perspective view of an optical system portion including an illumination light introducing prism 30 that is incident on a front surface as viewed from obliquely above, in which the projection optical system 2 includes a decentering prism 10 and a decentering prism 20, and the DMD 1 includes most of the decentering prism 10. Can not be seen because it is hidden, but it can be seen from the perspective view seen from the same direction in FIG. 2 that the DMD 1 is arranged on the back side of the decentering prism 10 in the figure. Figure 3
1 is a front perspective view seen from the front side of FIGS. 1 and 2. FIG.
The projection display surface 5 (FIG. 5) such as a screen for projecting the display image of the DMD 1 by the projection optical system 2 is arranged in the −Z direction of the coordinates shown in FIG.

【0024】この例では、偏心プリズム10において、
面ABCDがDMD1からの表示光を入射させる入射面
11、面EFGHが入射面11からプリズム内に入射し
た表示光を反射させる第1反射面12、面IJBAが第
1反射面12で反射した表示光を反射させる第2反射面
13、面HGCDが第2反射面13で反射した表示光を
プリズム外に射出させる射出面14であり、偏心プリズ
ム20において、面KLOMが偏心プリズム10から射
出された表示光をプリズム内に入射させる入射面21、
面PQOMが入射面21からプリズム内に入射した表示
光を反射させる反射面22、面KLQPが反射面22で
反射した表示光をプリズム外に射出させる射出面23で
ある。
In this example, in the decentering prism 10,
The surface ABCD is an incident surface 11 on which the display light from the DMD 1 is incident, the surface EFGH is a first reflective surface 12 that reflects the display light incident on the incident surface 11 into the prism, and the surface IJBA is a display reflected on the first reflective surface 12. The second reflecting surface 13 for reflecting light and the surface HGCD are the emitting surfaces 14 for emitting the display light reflected by the second reflecting surface 13 to the outside of the prism. In the decentering prism 20, the surface KLOM is emitted from the decentering prism 10. An incident surface 21 for allowing display light to enter the prism,
The surface PQOM is a reflection surface 22 that reflects the display light that has entered the prism from the entrance surface 21, and the surface KLQP is an exit surface 23 that outputs the display light that is reflected by the reflection surface 22 to the outside of the prism.

【0025】偏心プリズム10と偏心プリズム20の間
には、投影光学系2の瞳を形成する絞り4が配置されて
いるが、この絞り4の形状は、照明光に対しては必ずし
も正しい形状には図示されていない。
A diaphragm 4 which forms a pupil of the projection optical system 2 is arranged between the decentering prism 10 and the decentering prism 20, and the shape of the diaphragm 4 is not always correct for illumination light. Are not shown.

【0026】偏心プリズム10の射出面14に面して反
射面を持つ照明光導入プリズム30が配置されており、
その入射側に照明光源3が配置される(図3)。
An illumination light introducing prism 30 having a reflecting surface facing the exit surface 14 of the decentering prism 10 is arranged.
The illumination light source 3 is arranged on the incident side (FIG. 3).

【0027】この配置において、照明光源3からの軸上
主光線(光軸)は、照明光導入プリズム30の入射面に
点aで交差して照明光導入プリズム30内に入り、その
反射面に点bで入射して反射され、点cで照明光導入プ
リズム30外に出ると共に、偏心プリズム10の射出面
14に同じ点cで入射し、偏心プリズム10内に入った
照明光光軸はその第2反射面13の点dに入射して反射
され、次にその第1反射面12の点eに入射して反射さ
れ、偏心プリズム10の入射面11の点fに入射して偏
心プリズム10の外に出て、DMD1の画面中心gに法
線方向に対して約20°の角度を成してDMD1の対角
線方向から照明光光軸が入射することによりDMD1表
示面を照明する。
In this arrangement, the axial principal ray (optical axis) from the illumination light source 3 intersects the incident surface of the illumination light introducing prism 30 at the point a and enters the illumination light introducing prism 30, and its reflecting surface. The illumination light optical axis which is incident on the point b, is reflected, exits the illumination light introducing prism 30 at the point c, is incident on the exit surface 14 of the eccentric prism 10 at the same point c, and enters the eccentric prism 10 is The light enters the point d on the second reflecting surface 13 and is reflected, then enters and reflects on the point e on the first reflecting surface 12, and enters the point f on the entrance surface 11 of the decentering prism 10 and enters the decentering prism 10. The DMD1 display surface is illuminated when the illumination light optical axis is incident on the screen center g of the DMD1 from the diagonal direction of the DMD1 at an angle of about 20 ° with respect to the normal direction.

【0028】DMD1の画面中心gから法線方向に出た
投影光光軸は、偏心プリズム10の入射面11の点hに
入射して偏心プリズム10内に入り、その第1反射面1
2の点iに入射して反射され、次にその第2反射面13
の点jに入射して反射され、偏心プリズム10の射出面
14の点kに入射して偏心プリズム10の外に出て、絞
り4の中心を通り、今度は偏心プリズム20の入射面2
1の点lに入射して偏心プリズム20内に入り、その反
射面22の点mに入射して反射され、次に偏心プリズム
20の射出面23の点nに入射して偏心プリズム20の
外に出て、図示しない投影表示面に達してDMD1の表
示像の拡大像を投影する。
The optical axis of the projection light projected from the screen center g of the DMD 1 in the normal direction is incident on the point h of the incident surface 11 of the eccentric prism 10 and enters the eccentric prism 10, and the first reflection surface 1 thereof.
It is incident on and reflected by the second point i, and then the second reflecting surface 13
Is incident on the point j of the decentered prism 10 to be reflected, and then is incident on the point k of the exit surface 14 of the decentered prism 10 to go out of the decentered prism 10 to pass through the center of the diaphragm 4 and this time, the incident surface 2 of the decentered prism 20.
1 enters the eccentric prism 20 and enters the eccentric prism 20, enters the reflecting surface 22 at a point m, is reflected, and then enters an exit surface 23 of the eccentric prism 20 at a point n. Then, it reaches a projection display surface (not shown) and projects a magnified image of the display image of the DMD 1.

【0029】ここで、本発明に基づき、偏心プリズム1
0に入射する照明光光軸である点cに入射する照明光光
軸は、偏心プリズム10の点kから出る投影光光軸と表
示面中心gとを通る平面(図3の点gと点kを通り図3
の面に垂直な面)内に含まれないように、照明光源3を
配置することにより、偏心プリズム10が大型にならず
に照明光をDMD1に導くことができ、投影光学装置を
小型化することができる。
Here, according to the present invention, the decentering prism 1
The illumination light optical axis incident on the point c which is the illumination light optical axis incident on 0 is the plane passing through the projection light optical axis emitted from the point k of the eccentric prism 10 and the display surface center g (point g and the point in FIG. 3). through k Fig. 3
By arranging the illumination light source 3 so that the illumination light source 3 is not included in the surface (perpendicular to the plane), the illumination light can be guided to the DMD 1 without making the decentering prism 10 large, and the projection optical device can be miniaturized. be able to.

【0030】図1〜図3の場合は、投影光学系2は、偏
心プリズム10以外に、収差を十分に補正して拡大投影
像を投影するために、偏心プリズム10から投影光線の
出る側に別の光学系として偏心プリズム20を配置して
いるが、別の光学系としては偏心プリズムに限らず、回
転対称の屈折光学系を配置してもよい。
In the case of FIGS. 1 to 3, in addition to the decentering prism 10, the projection optical system 2 is provided on the side where the projection light beam exits from the decentering prism 10 in order to sufficiently correct aberrations and project an enlarged projection image. Although the decentered prism 20 is arranged as another optical system, the other optical system is not limited to the decentered prism, and a rotationally symmetrical refracting optical system may be arranged.

【0031】この偏心プリズム10の射出側に配置する
偏心プリズムとしては、反射面を1面以上備え、その反
射面が光束にパワーを与える曲面形状であって、偏心収
差補正機能を有した回転非対称な曲面反射面にて構成さ
れたものを用いることができる。
The decentering prism arranged on the exit side of the decentering prism 10 has at least one reflecting surface, and the reflecting surface has a curved surface shape for giving power to a light beam, and has a rotationally asymmetrical function having a decentering aberration correcting function. It is possible to use the one having a curved reflecting surface.

【0032】そして、この第1偏心プリズム10及び第
2偏心プリズム20は、何れもプリズム中の投影光光軸
が平面内に含まれており、第1偏心プリズム10中のそ
の投影光光軸が含まれる平面と第2偏心プリズム20中
のその投影光光軸が含まれる平面とが平行であるものと
してもよく、あるいは、それらの平面が相互に45°回
転してるものとしてもよい。後者の場合、その回転によ
る投影像の回転を補うように、反射型表示素子(図1〜
図3の場合はDMD1)を投影光光軸の回りで回転配置
する必要がある。
In each of the first decentering prism 10 and the second decentering prism 20, the projection light optical axis in the prism is included in the plane, and the projection light optical axis in the first decentering prism 10 is The included plane may be parallel to the plane in which the projection optical axis of the second decentering prism 20 is included, or the planes may be rotated by 45 ° with respect to each other. In the latter case, the reflection type display element (FIG.
In the case of FIG. 3, it is necessary to rotate the DMD 1) around the projection optical axis.

【0033】なお、第2偏心プリズム20も、第1偏心
プリズム10同様に、反射面を2面備えており、第2偏
心プリズム20中の投影光光軸が含まれる平面内で投影
光光軸が交差するように構成してもよく、あるいは、反
射面を1面備えているものとして構成してもよい。
Like the first decentering prism 10, the second decentering prism 20 also has two reflecting surfaces, and the projection optical axis is within a plane including the projection optical axis in the second decentering prism 20. May be configured to intersect with each other, or one reflective surface may be provided.

【0034】なお、本発明において、反射型表示素子と
して反射型液晶表示素子を用いる場合にも適用できる。
The present invention can also be applied to the case where a reflective liquid crystal display element is used as the reflective display element.

【0035】また、反射型表示素子として、2次元的に
配置された多数のピクセルの微小ミラーの傾きを変化さ
せて反射光の射出角度を変化させることによりオン/オ
フ状態を作る反射型表示素子、すなわちDMDを用いる
場合に、その微小ミラーによる反射光の偏向方向として
は、第1偏心プリズム中の投影光光軸が含まれる平面と
直交するようにDMDを配置すると、DMDに入射する
照明光光軸がDMDから出る投影光光軸とDMDの表示
面中心とを通る平面内に含まれないようになる。
Further, as a reflection type display element, a reflection type display element for making an on / off state by changing the inclination of micro mirrors of a large number of pixels arranged two-dimensionally to change the emission angle of reflected light. That is, when the DMD is used, if the DMD is arranged so that the direction of deflection of the reflected light by the micro mirror is orthogonal to the plane including the projection light optical axis in the first decentering prism, the illumination light incident on the DMD The optical axis is not included in the plane that passes through the optical axis of the projection light emitted from the DMD and the center of the display surface of the DMD.

【0036】また、投影光学系を第1偏心プリズムと第
2偏心プリズムから構成する場合に、第1偏心プリズム
を構成する透明媒質と第2偏心プリズムを構成する透明
媒質との光学的性質が異なることが望ましい。
When the projection optical system is composed of the first decentering prism and the second decentering prism, the optical properties of the transparent medium forming the first decentering prism and the transparent medium forming the second decentering prism are different. Is desirable.

【0037】回転非対称な反射面を持つ2つの偏心プリ
ズムからなり、中間像を結像しない投影光学系において
は、絞りが光学系の中央付近に配置して対称性を良くす
ることができるので、コマ収差等の単色収差は改善する
が、各プリズムの入射面と射出面が何れも屈折面からな
るために、屈折率の色分散に起因する色収差、特に、倍
率の色収差は、プリズムの面形状として回転非対称な自
由曲面形状としても補正しきれない。特に、光学系を小
型化する場合、相対的に波長が大きくなり、倍率の色収
差の収差補正が難しくなる。
In a projection optical system which is composed of two decentered prisms having a rotationally asymmetric reflection surface and does not form an intermediate image, the diaphragm can be arranged near the center of the optical system to improve symmetry. Although monochromatic aberrations such as coma are improved, the chromatic aberration due to the chromatic dispersion of the refractive index, especially the chromatic aberration of magnification, is the prism surface shape because the entrance surface and the exit surface of each prism are both refracting surfaces. As a result, even a rotationally asymmetric free-form surface cannot be corrected. In particular, when the optical system is downsized, the wavelength becomes relatively large, and it becomes difficult to correct the chromatic aberration of magnification.

【0038】そこで、本発明においては、第1偏心プリ
ズムを構成する透明媒質と第2偏心プリズムを構成する
透明媒質との光学的性質が異なるようにすることによ
り、色収差、特に、倍率色収差を補正するようにしてい
る。このように偏心プリズム相互の媒質の光学的性質を
異なるようにすると、プリズムの屈折面での分散に基づ
く色収差、特に、倍率の色収差を良好に補正できるよう
になる。
Therefore, in the present invention, the chromatic aberration, particularly the lateral chromatic aberration, is corrected by making the optical properties of the transparent medium forming the first decentering prism and the transparent medium forming the second decentering prism different. I am trying to do it. By making the optical properties of the decentered prisms different from each other in this way, it becomes possible to satisfactorily correct chromatic aberration due to dispersion at the refracting surface of the prism, particularly chromatic aberration of magnification.

【0039】ここで、透明媒質の光学的性質とは、具体
的に屈折率とアッベ数であるが、少なくとも何れか一方
が異なることが必要である。
Here, the optical properties of the transparent medium are specifically the refractive index and the Abbe number, but at least one of them must be different.

【0040】[0040]

【発明の実施形態】以下、本発明の投影光学装置を特に
その投影光学系を中心にして実施例に基づいて説明す
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The projection optical apparatus of the present invention will be described below based on embodiments, particularly focusing on the projection optical system.

【0041】まず、以下の実施例の座標の取り方は、像
を投影する投影表示面(スクリーン)側から投影光学系
2を見て、図1〜図3に示すように、逆光線追跡の投影
光光軸7が投影光学系2の最終面(図1〜図3では第2
偏心プリズム20の射出面23)に向かう方向(正面方
向)をZ軸のプラス方向、水平方向の右から左に向かう
方向(左右方向)をX軸のプラス方向、垂直方向の下か
ら上に向かう方向(上下方向)をY軸のプラス方向と
し、光学系の原点を投影光光軸7が投影光学系2の最終
面と交差する点とする。なお、以下の構成の説明もその
逆光線追跡の順で説明する。以下、図面を参照にして説
明する。
First, the way of obtaining the coordinates in the following embodiments is as follows. As shown in FIGS. 1 to 3, when the projection optical system 2 is viewed from the projection display surface (screen) side on which the image is projected, the backward ray tracing projection is performed. The optical optical axis 7 is the final surface of the projection optical system 2 (the second surface in FIGS. 1 to 3).
The direction toward the exit surface 23) of the eccentric prism 20 (front direction) is the positive direction of the Z axis, the direction from the right to the left in the horizontal direction (left-right direction) is the positive direction of the X axis, and the vertical direction is from the bottom to the top. The direction (vertical direction) is the plus direction of the Y axis, and the origin of the optical system is the point where the projection optical axis 7 intersects the final surface of the projection optical system 2. The following description will be made in the order of the backward ray tracing. Hereinafter, description will be given with reference to the drawings.

【0042】なお、実施例1〜6は、逆光線追跡の第1
面(投影光学系2の最終面)から1200mmの位置の
投影表示面5に反射型表示素子2の像が拡大投影される
ものであり、投影像の大きさは730.0×547.5
mm(対角長36インチ)であり、入射瞳径φ7mmに
設定され、反射型表示素子2の大きさは13.61×1
0.21mmを用いるものとしている。
In the first to sixth embodiments, the first backward ray tracing is performed.
The image of the reflective display element 2 is enlarged and projected on the projection display surface 5 at a position of 1200 mm from the surface (the final surface of the projection optical system 2), and the size of the projected image is 730.0 × 547.5.
mm (diagonal length 36 inches), the entrance pupil diameter is set to φ7 mm, and the size of the reflective display element 2 is 13.61 × 1.
0.21 mm is used.

【0043】実施例1 この実施例は、反射型表示素子1としてDMDを用いる
こと想定しており、図1は、投影光学系2を投影表示面
5(図5)側の斜め上方向から見た斜視図であり、図2
は、同じ方向から見た透視斜視図であり、図3は、図
1、図2の表側から見た正面透視図である。また、図4
には、投影光学系2のY−Z断面図を示す。さらに、図
5には、この実施例の投影光学系を用いた全体の装置の
模式的斜視図を示す。
Example 1 In this example, it is assumed that a DMD is used as the reflective display element 1. In FIG. 1, the projection optical system 2 is viewed obliquely from above on the projection display surface 5 (FIG. 5) side. 2 is a perspective view of FIG.
3 is a perspective view seen from the same direction, and FIG. 3 is a front perspective view seen from the front side of FIGS. 1 and 2. Also, FIG.
3 shows a YZ sectional view of the projection optical system 2. Further, FIG. 5 shows a schematic perspective view of the entire apparatus using the projection optical system of this embodiment.

【0044】この実施例の投影光学系2は、投影表示面
5側から、第2偏心プリズム20、絞り4、第1偏心プ
リズム10からなり、第1偏心プリズム10の入射面1
1に面して反射型表示素子1が配置されており、第1偏
心プリズム10の射出面14の投影光光軸7が通る位置
から外れた位置に照明光導入プリズム30が配置されて
いる。第1偏心プリズム10は、反射型表示素子1に面
した入射面11、入射面11からプリズム内に入射した
表示光を反射させる第1反射面12、第1反射面12で
反射した表示光を反射させる第2反射面13、第2反射
面13で反射した表示光をプリズム外に射出させる射出
面14の4面からなり、この第1偏心プリズム10中で
は投影光光軸7は同一のY−Z面内に含まれるように反
射され、入射面11から第1反射面12へ向かう投影光
光軸7と、第2反射面13から射出面14へ向かう投影
光光軸7とはプリズム内で交差する。
The projection optical system 2 of this embodiment comprises a second decentering prism 20, a diaphragm 4, and a first decentering prism 10 from the projection display surface 5 side.
The reflection type display element 1 is arranged facing the optical axis 1, and the illumination light introducing prism 30 is arranged at a position deviated from the position where the projection light optical axis 7 of the exit surface 14 of the first decentering prism 10 passes. The first decentering prism 10 includes an incident surface 11 facing the reflective display element 1, a first reflecting surface 12 that reflects the display light that enters the prism from the incident surface 11, and a display light that is reflected by the first reflecting surface 12. The first decentered prism 10 has the same Y-axis as the projection light optical axis 7 and is composed of a second reflection surface 13 for reflection and an emission surface 14 for emitting the display light reflected by the second reflection surface 13 to the outside of the prism. The projection light optical axis 7 that is reflected so as to be included in the -Z plane and goes from the incident surface 11 to the first reflection surface 12 and the projection light optical axis 7 that goes from the second reflection surface 13 to the exit surface 14 are inside the prism. Cross at.

【0045】第2偏心プリズム20は、第1偏心プリズ
ム10から射出された表示光をプリズム内に入射させる
入射面21、入射面21からプリズム内に入射した表示
光を反射させる反射面22、反射面22で反射した表示
光をプリズム外に射出させる射出面23の3面からな
り、この第2偏心プリズム20中では投影光光軸7は同
一のY−Z面内に含まれるように反射される。
The second decentering prism 20 has an incident surface 21 for allowing the display light emitted from the first decentering prism 10 to enter the prism, a reflecting surface 22 for reflecting the display light entering the prism from the incident surface 21, and a reflection. The second decentering prism 20 is formed so that the projection light optical axis 7 is reflected so as to be included in the same YZ plane. It

【0046】したがって、反射型表示素子1から投影表
示面5に至る投影光光軸7は同一のY−Z面内に存在す
ることになる。
Therefore, the projection optical axis 7 from the reflection type display element 1 to the projection display surface 5 exists in the same YZ plane.

【0047】また、照明光源3からの照明光の照明光光
軸6は、照明光導入プリズム30を経て第1偏心プリズ
ム10の射出面14に入射し、第1偏心プリズム10内
に入った照明光光軸はその第2反射面13、第1反射面
12で順次反射され、入射面11から外に出て、反射型
表示素子1の画面中心に法線方向に対して約20°の角
度を成して反射型表示素子1の対角線方向から入射する
ように反射型表示素子1の表示面を照明する。そのた
め、反射型表示素子1は、第1偏心プリズム10の入射
する投影光光軸7の回りで45°傾くように配置され
る。また、第1偏心プリズム10の射出面14に入射す
る照明光光軸6は、反射型表示素子1から投影表示面5
に至る投影光光軸7が含まれるY−Z面内には含まれ
ず、−X方向に外れた位置から射出面14に入射するよ
うに配置されている。そして、投影光学系2に入射する
投影光光軸7の回りで反射型表示素子1が45°傾いて
配置され、投影像が投影表示面5上で投影光学系2から
射出する投影光光軸7の回りで45°傾くのを補償する
ために、全体の光学系を投影光学系2から射出する投影
光光軸7の回りで反対方向に45°傾けて配置される
(図5)。
Further, the illumination light optical axis 6 of the illumination light from the illumination light source 3 enters the exit surface 14 of the first decentering prism 10 through the illumination light introducing prism 30 and enters the first decentering prism 10. The optical axis is sequentially reflected by the second reflecting surface 13 and the first reflecting surface 12, goes out from the incident surface 11, and is at an angle of about 20 ° with respect to the normal direction at the screen center of the reflective display element 1. The display surface of the reflective display element 1 is illuminated so that the light enters from the diagonal direction of the reflective display element 1. Therefore, the reflective display element 1 is arranged so as to be inclined by 45 ° around the projection light optical axis 7 on which the first decentering prism 10 is incident. The optical axis 6 of the illumination light incident on the exit surface 14 of the first decentering prism 10 is projected from the reflective display element 1 to the projection display surface 5.
Is not included in the YZ plane including the projection light optical axis 7 up to and is arranged so as to enter the exit surface 14 from a position deviated in the -X direction. Then, the reflective display element 1 is arranged at an angle of 45 ° around the projection light optical axis 7 that is incident on the projection optical system 2, and the projection image optical axis where the projection image is emitted from the projection optical system 2 on the projection display surface 5. In order to compensate for the 45 ° tilt around 7 the entire optical system is tilted 45 ° in the opposite direction around the projection optical axis 7 exiting the projection optical system 2 (FIG. 5).

【0048】本実施例の第2偏心プリズム20及び第1
偏心プリズム10の各面21〜23、11〜14は何れ
も偏心した自由曲面からなる。
The second decentering prism 20 and the first embodiment of this embodiment
Each of the surfaces 21 to 23 and 11 to 14 of the decentering prism 10 is a decentered free-form surface.

【0049】この実施例の投影光学系2の構成パラメー
タを後記する。
The constituent parameters of the projection optical system 2 of this embodiment will be described later.

【0050】実施例2 この実施例は、反射型表示素子1としてDMDを用いる
こと想定しており、図6にこの実施例の投影光学系2の
Y−Z断面図を示す。さらに、図7に投影光学系2を用
いた全体の装置の模式的斜視図を示す。
Example 2 This example assumes that a DMD is used as the reflective display element 1, and FIG. 6 shows a YZ sectional view of the projection optical system 2 of this example. Further, FIG. 7 shows a schematic perspective view of the entire apparatus using the projection optical system 2.

【0051】この実施例の投影光学系2は、投影表示面
5側から、投影表示面5に凸面を向けた2枚のメニスカ
スレンズからなる正パワーの同軸屈折光学系20’、絞
り4、第1偏心プリズム10からなり、第1偏心プリズ
ム10は実施例1と同様の形状の偏心プリズムからな
り、その入射面11に面して反射型表示素子1が配置さ
れており、第1偏心プリズム10の射出面14の投影光
光軸7が通る位置から外れた位置に、図示はないが、実
施例1と同様に照明光導入プリズム30が配置される。
第1偏心プリズム10は、反射型表示素子1に面した入
射面11、入射面11からプリズム内に入射した表示光
を反射させる第1反射面12、第1反射面12で反射し
た表示光を反射させる第2反射面13、第2反射面13
で反射した表示光をプリズム外に射出させる射出面14
の4面からなり、この第1偏心プリズム10中では投影
光光軸7は同一のY−Z面内に含まれるように反射さ
れ、入射面11から第1反射面12へ向かう投影光光軸
7と、第2反射面13から射出面14へ向かう投影光光
軸7とはプリズム内で交差する。
The projection optical system 2 of this embodiment comprises, from the projection display surface 5 side, a positive-power coaxial refraction optical system 20 'composed of two meniscus lenses having convex surfaces facing the projection display surface 5, an aperture stop 4, and a fourth optical element. The first decentering prism 10 includes the first decentering prism 10, the first decentering prism 10 is a decentering prism having the same shape as that of the first embodiment, and the reflection type display element 1 is disposed facing the incident surface 11. Although not shown, the illumination light introducing prism 30 is arranged at a position deviated from the position where the projection light optical axis 7 of the exit surface 14 passes, though it is not shown.
The first decentering prism 10 includes an incident surface 11 facing the reflective display element 1, a first reflecting surface 12 that reflects the display light that enters the prism from the incident surface 11, and a display light that is reflected by the first reflecting surface 12. Second reflecting surface 13 for reflecting, second reflecting surface 13
Exit surface 14 for exiting the display light reflected by the outside of the prism
In the first decentered prism 10, the projection light optical axis 7 is reflected so as to be included in the same YZ plane, and the projection light optical axis going from the incident surface 11 to the first reflection surface 12 is formed. 7 and the projection optical axis 7 from the second reflecting surface 13 toward the exit surface 14 intersect within the prism.

【0052】そして、図示しない照明光源3からの照明
光の照明光光軸6は、照明光導入プリズム30を経て第
1偏心プリズム10の射出面14に入射し、第1偏心プ
リズム10内に入った照明光光軸はその第2反射面1
3、第1反射面12で順次反射され、入射面11から外
に出て、反射型表示素子1の画面中心に法線方向に対し
て約20°の角度を成して反射型表示素子1の対角線方
向から入射するように反射型表示素子1の表示面を照明
する。そのため、反射型表示素子1は、第1偏心プリズ
ム10の入射する投影光光軸7の回りで45°傾くよう
に配置される。また、第1偏心プリズム10の射出面1
4に入射する照明光光軸6は、反射型表示素子1から投
影表示面5に至る投影光光軸7が含まれるY−Z面内に
は含まれず、−X方向に外れた位置から射出面14に入
射するように配置されている。そして、投影光学系2に
入射する投影光光軸7の回りで反射型表示素子1が45
°傾いて配置され、投影像が投影表示面5上で投影光学
系2から射出する投影光光軸7の回りで45°傾くのを
補償するために、全体の光学系を投影光学系2から射出
する投影光光軸7の回りで反対方向に45°傾けて配置
される(図7)。
The illumination light optical axis 6 of the illumination light from the illumination light source 3 (not shown) enters the exit surface 14 of the first decentering prism 10 through the illumination light introducing prism 30 and enters the first decentering prism 10. The illumination light optical axis is the second reflection surface 1
3. The reflective display element 1 is sequentially reflected by the first reflective surface 12, goes out from the incident surface 11, and forms an angle of about 20 ° with respect to the normal direction at the screen center of the reflective display element 1. The display surface of the reflective display element 1 is illuminated so as to enter from the diagonal direction. Therefore, the reflective display element 1 is arranged so as to be inclined by 45 ° around the projection light optical axis 7 on which the first decentering prism 10 is incident. In addition, the exit surface 1 of the first decentering prism 10
The illuminating light optical axis 6 that is incident on 4 is not included in the YZ plane that includes the projection light optical axis 7 that extends from the reflective display element 1 to the projection display surface 5, and is emitted from a position deviated in the -X direction. It is arranged so as to be incident on the surface 14. Then, the reflective display element 1 is rotated about 45 degrees around the projection optical axis 7 which is incident on the projection optical system 2.
The entire optical system is inclined from the projection optical system 2 in order to compensate for the inclination of 45 ° around the projection light optical axis 7 emitted from the projection optical system 2 on the projection display surface 5. It is arranged at an angle of 45 ° in the opposite direction around the projected projection optical axis 7 (Fig. 7).

【0053】本実施例の第1偏心プリズム10の各面1
1〜14は何れも偏心した自由曲面からなる。
Each surface 1 of the first decentering prism 10 of this embodiment
Each of 1 to 14 is composed of an eccentric free-form surface.

【0054】この実施例の投影光学系2の構成パラメー
タを後記する。
The constituent parameters of the projection optical system 2 of this embodiment will be described later.

【0055】実施例3 この実施例は、反射型表示素子1として反射型液晶表示
素子を用いること想定しており、図8にこの実施例の投
影光学系2のY−Z断面図を示す。さらに、図9に投影
光学系2を用いた全体の装置の模式的斜視図を示す。
Example 3 In this example, it is assumed that a reflective liquid crystal display element is used as the reflective display element 1. FIG. 8 shows a YZ sectional view of the projection optical system 2 of this example. Further, FIG. 9 shows a schematic perspective view of the entire apparatus using the projection optical system 2.

【0056】この実施例の投影光学系2は、投影表示面
5側から、第2偏心プリズム20、絞り4、第1偏心プ
リズム10からなり、第2偏心プリズム20、第1偏心
プリズム10共に実施例1と同様の形状の偏心プリズム
からなり、第1偏心プリズム10の入射面11に面して
反射型表示素子1が配置されており、第1偏心プリズム
10の射出面14の投影光光軸7が通る位置から外れた
位置に、図示はないが、実施例1と同様に照明光導入プ
リズム30が配置される。
The projection optical system 2 of this embodiment comprises a second decentering prism 20, a diaphragm 4, and a first decentering prism 10 from the projection display surface 5 side, and both the second decentering prism 20 and the first decentering prism 10 are implemented. It is composed of a decentered prism having the same shape as in Example 1, the reflection type display element 1 is arranged facing the entrance surface 11 of the first decentered prism 10, and the projection optical axis of the exit surface 14 of the first decentered prism 10 is arranged. Although not shown, the illumination light introducing prism 30 is arranged at a position deviating from the position where 7 passes, as in the first embodiment.

【0057】第1偏心プリズム10は、反射型表示素子
1に面した入射面11、入射面11からプリズム内に入
射した表示光を反射させる第1反射面12、第1反射面
12で反射した表示光を反射させる第2反射面13、第
2反射面13で反射した表示光をプリズム外に射出させ
る射出面14の4面からなり、この第1偏心プリズム1
0中では投影光光軸7は同一のY−Z面内に含まれるよ
うに反射され、入射面11から第1反射面12へ向かう
投影光光軸7と、第2反射面13から射出面14へ向か
う投影光光軸7とはプリズム内で交差する。
The first decentering prism 10 is reflected by the incident surface 11 facing the reflective display element 1, the first reflecting surface 12 and the first reflecting surface 12 that reflect the display light incident from the incident surface 11 into the prism. The first decentering prism 1 is composed of four surfaces, that is, a second reflecting surface 13 for reflecting the display light and an exit surface 14 for emitting the display light reflected by the second reflecting surface 13 to the outside of the prism.
At 0, the projection light optical axis 7 is reflected so as to be included in the same YZ plane, and the projection light optical axis 7 goes from the incident surface 11 to the first reflecting surface 12 and the second reflecting surface 13 to the exit surface. The optical axis 7 of the projection light traveling toward 14 intersects in the prism.

【0058】第2偏心プリズム20は、第1偏心プリズ
ム10から射出された表示光をプリズム内に入射させる
入射面21、入射面21からプリズム内に入射した表示
光を反射させる反射面22、反射面22で反射した表示
光をプリズム外に射出させる射出面23の3面からな
り、この第2偏心プリズム20中では投影光光軸7は同
一のY−Z面内に含まれるように反射される。
The second decentering prism 20 has an incident surface 21 for allowing the display light emitted from the first decentering prism 10 to enter the prism, a reflecting surface 22 for reflecting the display light entering the prism from the incident surface 21, and a reflection. The second decentering prism 20 is formed so that the projection light optical axis 7 is reflected so as to be included in the same YZ plane. It

【0059】したがって、反射型表示素子1から投影表
示面5に至る投影光光軸7は同一のY−Z面内に存在す
ることになる。
Therefore, the projection optical axis 7 extending from the reflective display element 1 to the projection display surface 5 exists in the same YZ plane.

【0060】また、照明光源3からの照明光の照明光光
軸6は、照明光導入プリズム30を経て第1偏心プリズ
ム10の射出面14に入射し、第1偏心プリズム10内
に入った照明光光軸はその第2反射面13、第1反射面
12で順次反射され、入射面11から外に出て、反射型
表示素子1の画面中心に法線方向に対して所定の角度を
成して反射型表示素子1の長手方向斜め横方向から入射
するように反射型表示素子1の表示面を照明する。した
がって、この実施例では、反射型表示素子1は、第1偏
心プリズム10の入射する投影光光軸7の回りで傾いて
配置されない。また、第1偏心プリズム10の射出面1
4に入射する照明光光軸6は、反射型表示素子1から投
影表示面5に至る投影光光軸7が含まれるY−Z面内に
は含まれず、−X方向に外れた位置から射出面14に入
射するように配置されている。なお、この実施例では、
全体の光学系を投影光学系2から射出する投影光光軸7
の回りで傾けて配置する必要はない(図9)。
The illumination light optical axis 6 of the illumination light from the illumination light source 3 is incident on the exit surface 14 of the first decentering prism 10 via the illumination light introducing prism 30 and enters the first decentering prism 10. The optical optical axis is sequentially reflected by the second reflecting surface 13 and the first reflecting surface 12, goes out from the incident surface 11, and forms a predetermined angle with respect to the normal direction at the screen center of the reflective display element 1. Then, the display surface of the reflective display element 1 is illuminated so as to enter the reflective display element 1 obliquely from the longitudinal and lateral directions. Therefore, in this embodiment, the reflective display element 1 is not arranged so as to be inclined around the projection light optical axis 7 on which the first decentering prism 10 is incident. In addition, the exit surface 1 of the first decentering prism 10
The illuminating light optical axis 6 that is incident on 4 is not included in the YZ plane that includes the projection light optical axis 7 that extends from the reflective display element 1 to the projection display surface 5, and is emitted from a position deviated in the -X direction. It is arranged so as to be incident on the surface 14. In this example,
Projection optical axis 7 for projecting the entire optical system from the projection optical system 2.
It is not necessary to place it at an angle around (Fig. 9).

【0061】本実施例の第2偏心プリズム20及び第1
偏心プリズム10の各面21〜23、11〜14は何れ
も偏心した自由曲面からなる。
The second decentering prism 20 and the first decentering prism of this embodiment
Each of the surfaces 21 to 23 and 11 to 14 of the decentering prism 10 is a decentered free-form surface.

【0062】この実施例の投影光学系2の構成パラメー
タを後記する。
The constituent parameters of the projection optical system 2 of this embodiment will be described later.

【0063】実施例4 この実施例は、反射型表示素子1としてDMDを用いる
こと想定しており、図10にこの実施例の投影光学系2
を用いた全体の装置の模式的斜視図を示す。
Example 4 This example assumes that a DMD is used as the reflective display element 1, and the projection optical system 2 of this example is shown in FIG.
The schematic perspective view of the whole apparatus using is shown.

【0064】この実施例の投影光学系2は、投影表示面
5側から、第2偏心プリズム20、絞り4、第1偏心プ
リズム10からなり、第2偏心プリズム20、第1偏心
プリズム10共に実施例1と同様の形状の偏心プリズム
からなり、第1偏心プリズム10の入射面11に面して
反射型表示素子1が配置されており、第1偏心プリズム
10の射出面14の投影光光軸7が通る位置から外れた
位置に、図示はないが、実施例1と同様に照明光導入プ
リズム30が配置される。
The projection optical system 2 of this embodiment comprises a second decentering prism 20, a diaphragm 4, and a first decentering prism 10 from the side of the projection display surface 5, and both the second decentering prism 20 and the first decentering prism 10 are implemented. It is composed of a decentered prism having the same shape as in Example 1, the reflection type display element 1 is arranged facing the entrance surface 11 of the first decentered prism 10, and the projection optical axis of the exit surface 14 of the first decentered prism 10 is arranged. Although not shown, the illumination light introducing prism 30 is arranged at a position deviating from the position where 7 passes, as in the first embodiment.

【0065】第1偏心プリズム10は、反射型表示素子
1に面した入射面11、入射面11からプリズム内に入
射した表示光を反射させる第1反射面12、第1反射面
12で反射した表示光を反射させる第2反射面13、第
2反射面13で反射した表示光をプリズム外に射出させ
る射出面14の4面からなり、この第1偏心プリズム1
0中では投影光光軸7は同一の平面内に含まれるように
反射され、入射面11から第1反射面12へ向かう投影
光光軸7と、第2反射面13から射出面14へ向かう投
影光光軸7とはプリズム内で交差する。
The first decentering prism 10 is reflected by the incident surface 11 facing the reflective display element 1, the first reflecting surface 12 and the first reflecting surface 12 that reflect the display light incident on the inside of the prism from the incident surface 11. The first decentering prism 1 is composed of four surfaces, that is, a second reflecting surface 13 for reflecting the display light and an exit surface 14 for emitting the display light reflected by the second reflecting surface 13 to the outside of the prism.
In 0, the projection light optical axis 7 is reflected so as to be included in the same plane, and the projection light optical axis 7 goes from the incident surface 11 to the first reflection surface 12 and goes from the second reflection surface 13 to the exit surface 14. The projection light optical axis 7 intersects in the prism.

【0066】第2偏心プリズム20は、第1偏心プリズ
ム10から射出された表示光をプリズム内に入射させる
入射面21、入射面21からプリズム内に入射した表示
光を反射させる反射面22、反射面22で反射した表示
光をプリズム外に射出させる射出面23の3面からな
り、この第2偏心プリズム20中では投影光光軸7は同
一のY−Z面内に含まれるように反射される。
The second decentering prism 20 has an incident surface 21 for allowing the display light emitted from the first decentering prism 10 to enter the prism, a reflecting surface 22 for reflecting the display light entering the prism from the incident surface 21, and a reflection. The second decentering prism 20 is formed so that the projection light optical axis 7 is reflected so as to be included in the same YZ plane. It

【0067】しかし、この実施例においては、第2偏心
プリズム20内の投影光光軸7が含まれる平面と、第1
偏心プリズム10内の投影光光軸7が含まれる平面とは
相互に45°を成すように、第1偏心プリズム10から
出る投影光光軸7の周りで第2偏心プリズム20が45
°回転した関係になるように、第2偏心プリズム20と
第1偏心プリズム10が配置されている。
However, in this embodiment, the plane including the projection light optical axis 7 in the second decentering prism 20 and the first
The second decentering prism 20 is arranged around the projection light optical axis 7 exiting from the first decentering prism 10 so as to form an angle of 45 ° with the plane in which the projection light optical axis 7 is included in the decentering prism 10.
The second decentering prism 20 and the first decentering prism 10 are arranged so as to have a rotated relationship.

【0068】なお、照明光源3からの照明光の照明光光
軸6は、図示を省いた照明光導入プリズム30を経て第
1偏心プリズム10の射出面14に入射し、第1偏心プ
リズム10内に入った照明光光軸はその第2反射面1
3、第1反射面12で順次反射され、入射面11から外
に出て、反射型表示素子1の画面中心に法線方向に対し
て約20°の角度を成して反射型表示素子1の対角線方
向から入射するように反射型表示素子1の表示面を照明
する。そのため、反射型表示素子1は、第1偏心プリズ
ム10の入射する投影光光軸7の回りで45°傾くよう
に配置される。また、第1偏心プリズム10の射出面1
4に入射する照明光光軸6は、第1偏心プリズム10内
の投影光光軸7が含まれる平面内には含まれず、その一
方に外れた位置から射出面14に入射するように配置さ
れている。そして、投影光学系2に入射する投影光光軸
7の回りで反射型表示素子1が45°傾いて配置され、
投影像が投影表示面5上で投影光学系2から射出する投
影光光軸7の回りで45°傾くのを補償するために、上
記のように、第1偏心プリズム10から出る投影光光軸
7の周りで第2偏心プリズム20が45°回転した関係
で第2偏心プリズム20が配置される(図10)。
The illumination light optical axis 6 of the illumination light from the illumination light source 3 is incident on the exit surface 14 of the first decentering prism 10 through the illumination light introducing prism 30 (not shown), and inside the first decentering prism 10. The optical axis of the illumination light entering the second reflection surface 1
3. The reflective display element 1 is sequentially reflected by the first reflective surface 12, goes out from the incident surface 11, and forms an angle of about 20 ° with respect to the normal direction at the screen center of the reflective display element 1. The display surface of the reflective display element 1 is illuminated so as to enter from the diagonal direction. Therefore, the reflective display element 1 is arranged so as to be inclined by 45 ° around the projection light optical axis 7 on which the first decentering prism 10 is incident. In addition, the exit surface 1 of the first decentering prism 10
The illumination light optical axis 6 that is incident on 4 is not included in the plane that includes the projection light optical axis 7 in the first decentering prism 10, and is arranged so as to enter the exit surface 14 from a position deviated from one side. ing. Then, the reflective display element 1 is arranged at an angle of 45 ° around the projection light optical axis 7 that is incident on the projection optical system 2,
In order to compensate for the tilt of the projected image on the projection display surface 5 by 45 ° around the projection optical axis 7 emitted from the projection optical system 2, the projection optical axis emitted from the first decentering prism 10 as described above. The second decentering prism 20 is arranged in a relationship in which the second decentering prism 20 is rotated by 45 ° around 7 (FIG. 10).

【0069】本実施例の第2偏心プリズム20及び第1
偏心プリズム10の各面21〜23、11〜14は何れ
も偏心した自由曲面からなる。
The second decentering prism 20 and the first decentering prism of this embodiment
Each of the surfaces 21 to 23 and 11 to 14 of the decentering prism 10 is a decentered free-form surface.

【0070】この実施例の投影光学系2の構成パラメー
タを後記する。
The constituent parameters of the projection optical system 2 of this embodiment will be described later.

【0071】実施例5、6 これらの実施例は、反射型表示素子1としてDMDを用
いること想定しており、図11にこれらの実施例の投影
光学系2を用いた全体の装置の模式的斜視図を示す。
Embodiments 5 and 6 In these embodiments, it is assumed that a DMD is used as the reflection type display element 1, and FIG. 11 is a schematic view of the entire apparatus using the projection optical system 2 of these embodiments. A perspective view is shown.

【0072】これらの実施例の投影光学系2は、投影表
示面5側から、第2偏心プリズム20、絞り4、第1偏
心プリズム10からなり、第1偏心プリズム10は実施
例1と同様の形状の偏心プリズムからなり、第1偏心プ
リズム10の入射面11に面して反射型表示素子1が配
置されており、第1偏心プリズム10の射出面14の投
影光光軸7が通る位置から外れた位置に、図示はない
が、実施例1と同様に照明光導入プリズム30が配置さ
れる。
The projection optical system 2 of these examples comprises, from the projection display surface 5 side, a second decentering prism 20, a diaphragm 4, and a first decentering prism 10. The first decentering prism 10 is the same as that of the first example. The reflection type display element 1 is arranged so as to face the entrance surface 11 of the first decentering prism 10, and the projection optical axis 7 of the exit surface 14 of the first decentering prism 10 passes from the position. Although not shown, the illumination light introducing prism 30 is arranged at the deviated position as in the first embodiment.

【0073】第1偏心プリズム10は、反射型表示素子
1に面した入射面11、入射面11からプリズム内に入
射した表示光を反射させる第1反射面12、第1反射面
12で反射した表示光を反射させる第2反射面13、第
2反射面13で反射した表示光をプリズム外に射出させ
る射出面14の4面からなり、この第1偏心プリズム1
0中では投影光光軸7は同一の平面内に含まれるように
反射され、入射面11から第1反射面12へ向かう投影
光光軸7と、第2反射面13から射出面14へ向かう投
影光光軸7とはプリズム内で交差する。
The first decentering prism 10 is reflected by the incident surface 11 facing the reflective display element 1, the first reflecting surface 12 that reflects the display light that has entered the prism from the incident surface 11, and the first reflecting surface 12. The first decentering prism 1 is composed of four surfaces, that is, a second reflecting surface 13 for reflecting the display light and an exit surface 14 for emitting the display light reflected by the second reflecting surface 13 to the outside of the prism.
In 0, the projection light optical axis 7 is reflected so as to be included in the same plane, and the projection light optical axis 7 goes from the incident surface 11 to the first reflection surface 12 and goes from the second reflection surface 13 to the exit surface 14. The projection light optical axis 7 intersects in the prism.

【0074】第2偏心プリズム20は、第1偏心プリズ
ム10から射出された表示光をプリズム内に入射させる
入射面21、入射面21からプリズム内に入射した表示
光を反射させる第1反射面22、第1反射面22で反射
した表示光を反射させる第2反射面23、第2反射面2
3で反射した表示光をプリズム外に射出させる射出面2
4の4面からなり、第1偏心プリズム10と同様の形状
の偏心プリズムである。この第2偏心プリズム20中で
は投影光光軸7は同一のY−Z面内に含まれるように反
射される。
The second decentering prism 20 has an incident surface 21 that allows the display light emitted from the first decentering prism 10 to enter the prism, and a first reflecting surface 22 that reflects the display light that enters the prism from the incident surface 21. , A second reflecting surface 23 for reflecting the display light reflected by the first reflecting surface 22, a second reflecting surface 2
Emission surface 2 for emitting the display light reflected by 3 to the outside of the prism
It is a decentering prism having four surfaces 4 and 4 and having the same shape as the first decentering prism 10. In the second decentering prism 20, the projection light optical axis 7 is reflected so as to be included in the same YZ plane.

【0075】しかし、この実施例においては、第2偏心
プリズム20内の投影光光軸7が含まれる平面と、第1
偏心プリズム10内の投影光光軸7が含まれる平面とは
相互に45°を成すように、第1偏心プリズム10から
出る投影光光軸7の周りで第2偏心プリズム20が45
°回転した関係になるように、第2偏心プリズム20と
第1偏心プリズム10が配置されている。
However, in this embodiment, the plane including the projection optical axis 7 in the second decentering prism 20 and the first
The second decentering prism 20 is arranged around the projection light optical axis 7 exiting from the first decentering prism 10 so as to form an angle of 45 ° with the plane in which the projection light optical axis 7 is included in the decentering prism 10.
The second decentering prism 20 and the first decentering prism 10 are arranged so as to have a rotated relationship.

【0076】なお、照明光源3からの照明光の照明光光
軸6は、図示を省いた照明光導入プリズム30を経て第
1偏心プリズム10の射出面14に入射し、第1偏心プ
リズム10内に入った照明光光軸はその第2反射面1
3、第1反射面12で順次反射され、入射面11から外
に出て、反射型表示素子1の画面中心に法線方向に対し
て約20°の角度を成して反射型表示素子1の対角線方
向から入射するように反射型表示素子1の表示面を照明
する。そのため、反射型表示素子1は、第1偏心プリズ
ム10の入射する投影光光軸7の回りで45°傾くよう
に配置される。また、第1偏心プリズム10の射出面1
4に入射する照明光光軸6は、第1偏心プリズム10内
の投影光光軸7が含まれる平面内には含まれず、その一
方に外れた位置から射出面14に入射するように配置さ
れている。そして、投影光学系2に入射する投影光光軸
7の回りで反射型表示素子1が45°傾いて配置され、
投影像が投影表示面5上で投影光学系2から射出する投
影光光軸7の回りで45°傾くのを補償するために、上
記のように、第1偏心プリズム10から出る投影光光軸
7の周りで第2偏心プリズム20が45°回転した関係
で第2偏心プリズム20が配置される(図11)。
The illumination light optical axis 6 of the illumination light from the illumination light source 3 is incident on the exit surface 14 of the first decentering prism 10 through the illumination light introducing prism 30 (not shown), and inside the first decentering prism 10. The optical axis of the illumination light entering the second reflection surface 1
3. The reflective display element 1 is sequentially reflected by the first reflective surface 12, goes out from the incident surface 11, and forms an angle of about 20 ° with respect to the normal direction at the screen center of the reflective display element 1. The display surface of the reflective display element 1 is illuminated so as to enter from the diagonal direction. Therefore, the reflective display element 1 is arranged so as to be inclined by 45 ° around the projection light optical axis 7 on which the first decentering prism 10 is incident. In addition, the exit surface 1 of the first decentering prism 10
The illumination light optical axis 6 that is incident on 4 is not included in the plane that includes the projection light optical axis 7 in the first decentering prism 10, and is arranged so as to enter the exit surface 14 from a position deviated from one side. ing. Then, the reflective display element 1 is arranged at an angle of 45 ° around the projection light optical axis 7 that is incident on the projection optical system 2,
In order to compensate for the tilt of the projected image on the projection display surface 5 by 45 ° around the projection optical axis 7 emitted from the projection optical system 2, the projection optical axis emitted from the first decentering prism 10 as described above. The second decentering prism 20 is arranged in a relationship in which the second decentering prism 20 is rotated by 45 ° around 7 (FIG. 11).

【0077】これらの本実施例の第2偏心プリズム20
及び第1偏心プリズム10の各面21〜23、11〜1
4は何れも偏心した自由曲面からなる。
These second decentering prisms 20 of this embodiment
And each surface 21 to 23, 11 to 1 of the first decentering prism 10.
Each of 4 is composed of an eccentric free-form surface.

【0078】これらの実施例の投影光学系2の構成パラ
メータを後記する。
The constituent parameters of the projection optical system 2 of these examples will be described later.

【0079】次に、上記実施例1〜6の投影光学系2の
構成パラメータを示す。各実施例の構成パラメータにお
いては、図2、図3に示すように、逆光線追跡で、投影
光光軸7を、反射型表示素子1の表示面中心を出て瞳4
中心を通り投影表示面5に至る光線で定義する。そし
て、逆光線追跡において、投影表示面5から投影光学系
2に向かう投影光光軸7が投影光学系2の最終面と交差
する点(最終面の面頂)を原点として、投影光光軸7が
投影光学系2の最終面に向かう方向(正面方向)をZ軸
のプラス方向、水平方向の右から左に向かう方向(左右
方向)をX軸のプラス方向、垂直方向の下から上に向か
う方向(上下方向)をY軸のプラス方向とする。
Next, constituent parameters of the projection optical system 2 of Examples 1 to 6 will be shown. In the configuration parameters of each embodiment, as shown in FIGS. 2 and 3, the projection light optical axis 7 is projected from the center of the display surface of the reflective display element 1 by the back ray tracing and the pupil 4 is detected.
It is defined by a ray that passes through the center and reaches the projection display surface 5. Then, in the backward ray tracing, the projection optical optical axis 7 is set with the origin (a vertex of the final surface) where the projection optical optical axis 7 extending from the projection display surface 5 to the projection optical system 2 intersects the final surface of the projection optical system 2. Is the positive direction of the Z axis in the direction toward the final surface of the projection optical system 2 (front direction), the positive direction of the X axis in the direction from right to left in the horizontal direction (horizontal direction), and upward from the vertical direction. The direction (vertical direction) is the plus direction of the Y axis.

【0080】偏心面については、光学系の原点の中心か
らその面の面頂位置の偏心量(X軸方向、Y軸方向、Z
軸方向をそれぞれX,Y,Z)と、その面の中心軸(自
由曲面については、後記の引用文献の(a)式のZ軸)
のX軸、Y軸、Z軸それぞれを中心とする傾き角(それ
ぞれα,β,γ(°))とが与えられている。その場
合、αとβの正はそれぞれの軸の正方向に対して反時計
回りを、γの正はZ軸の正方向に対して時計回りを意味
する。なお、面の中心軸のα,β,γの回転のさせ方
は、面の中心軸とそのXYZ直交座標系を、まずX軸の
回りで反時計回りにα回転させ、次に、その回転した面
の中心軸を新たな座標系のY軸の回りで反時計回りにβ
回転させると共に1度回転した座標系もY軸の回りで反
時計回りにβ回転させ、次いで、その2度回転した面の
中心軸を新たな座標系の新たな座標系のZ軸の回りで時
計回りにγ回転させるものである。
For the eccentric surface, the amount of eccentricity from the center of the origin of the optical system to the top of the surface (X axis direction, Y axis direction, Z
Axial directions are X, Y, and Z, respectively, and the central axis of the surface (for the free-form surface, the Z axis of the expression (a) in the cited document below).
The tilt angles (α, β, γ (°)) about the X axis, the Y axis, and the Z axis, respectively, are given. In that case, positive α and β mean counterclockwise rotation with respect to the positive directions of the respective axes, and positive γ means clockwise rotation with respect to the positive direction of the Z-axis. The rotation of α, β, γ of the center axis of the surface is performed by rotating the center axis of the surface and its XYZ orthogonal coordinate system by α counterclockwise around the X axis, and then rotating the same. The center axis of the surface is β counterclockwise around the Y axis of the new coordinate system.
The coordinate system that is rotated by 1 degree is also rotated counterclockwise by β around the Y axis, and then the center axis of the surface that is rotated by 2 degrees is rotated around the Z axis of the new coordinate system of the new coordinate system. It rotates by γ clockwise.

【0081】また、各実施例の光学系を構成する光学作
用面の中、特定の面とそれに続く面が共軸光学系を構成
する場合には面間隔が与えられており、その他、面の曲
率半径、媒質の屈折率、アッベ数が慣用法に従って与え
られている。
Further, among the optical action surfaces forming the optical system of each embodiment, when a specific surface and the surface following the specific surface form a coaxial optical system, a surface spacing is given, and other surfaces are given. The radius of curvature, the refractive index of the medium, and the Abbe number are given according to the conventional method.

【0082】また、本発明で用いられる自由曲面の面の
形状は、例えば米国特許第6,124,989号(特開
2000−66105号)の(a)式により定義される
自由曲面であり、その定義式のZ軸が自由曲面の軸とな
る。
The shape of the surface of the free-form surface used in the present invention is, for example, the free-form surface defined by the equation (a) of US Pat. No. 6,124,989 (JP 2000-66105 A), The Z-axis of the defining equation becomes the axis of the free-form surface.

【0083】なお、データの記載されていない自由曲面
に関する項は0である。屈折率については、d線(波長
587.56nm)に対するものを表記してある。長さ
の単位はmmである。
The term relating to the free-form surface for which no data is written is 0. Regarding the refractive index, those for the d-line (wavelength 587.56 nm) are shown. The unit of length is mm.

【0084】また、以下の数値データの表中の“FF
S”は自由曲面、“RE”は反射面をそれぞれ示す。な
お、物体面は投影像面5、像面は反射型表示素子1の表
示面である。
In the table of numerical data below, "FF
Reference character S denotes a free-form surface, and reference character RE denotes a reflection surface, where the object surface is the projection image surface 5 and the image surface is the display surface of the reflective display element 1.

【0085】 実施例1 面番号 曲率半径 面間隔 偏心 屈折率 アッベ数 物体面 ∞ 偏心(1) 1 FFS 1.4924 57.6 2 FFS(RE) 偏心(2) 1.4924 57.6 3 FFS 偏心(3) 4 ∞(絞り面) 偏心(4) 5 FFS 偏心(5) 1.4924 57.6 6 FFS(RE) 偏心(6) 1.4924 57.6 7 FFS(RE) 偏心(7) 1.4924 57.6 8 FFS 偏心(8) 像 面 ∞ 偏心(9) FFS C4 6.8091×10-36 8.9914×10-38 -2.4721×10-410 6.4722×10-5 FFS C4 -1.0594×10-36 2.8085×10-38 -2.0276×10-510 2.9571×10-511 -8.7851×10-713 -8.1133×10-715 7.3249×10-7 FFS C4 -4.7838×10-36 1.5035×10-28 1.0081×10-310 -1.8708×10-4 FFS C4 2.5890×10-26 1.5953×10-28 1.2005×10-310 -1.4249×10-4 FFS C4 6.1496×10-36 7.1308×10-38 5.2260×10-610 1.8362×10-611 -1.1447×10-613 -1.4625×10-715 5.1726×10-7 FFS C4 -5.8591×10-36 4.1503×10-48 -1.2559×10-410 8.8654×10-611 -1.7472×10-613 -3.6838×10-615 6.8127×10-7 FFS C4 -9.7353×10-36 9.5723×10-38 -5.9950×10-410 -1.8043×10-4 偏心(1) X 0.00 Y 0.00 Z-1200.00 α 0.00 β 0.00 γ 45.00 偏心(2) X 0.00 Y 0.00 Z 12.44 α -45.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(3) X 0.00 Y 15.45 Z 12.44 α -90.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(4) X 0.00 Y 25.36 Z 12.44 α -90.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(5) X 0.00 Y 26.36 Z 12.44 α -90.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(6) X 0.00 Y 48.86 Z 12.44 α -112.50 β 0.00 γ 0.00 偏心(7) X 0.00 Y 35.50 Z -0.92 α -157.50 β 0.00 γ 0.00 偏心(8) X 0.00 Y 35.50 Z 21.85 α -180.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(9) X 0.00 Y 35.50 Z 23.57 α -180.00 β 0.00 γ -45.00 。Example 1 Surface Number Curvature Radius Surface Spacing Eccentricity Refractive Index Abbe Number Object Surface ∞ Eccentricity (1) 1 FFS 1.4924 57.6 2 FFS (RE) Eccentricity (2) 1.4924 57.6 3 FFS Eccentricity (3) 4 ∞ (Aperture surface) ) Eccentricity (4) 5 FFS Eccentricity (5) 1.4924 57.6 6 FFS (RE) Eccentricity (6) 1.4924 57.6 7 FFS (RE) Eccentricity (7) 1.4924 57.6 8 FFS Eccentricity (8) Image plane ∞ Eccentricity (9) FFS C 4 6.809 1 × 10 -3 C 6 8.9 914 × 10 -3 C 8 -2.4721 × 10 -4 C 10 6.4722 × 10 -5 FFS C 4 -1.059 4 × 10 -3 C 6 2.8085 × 10 -3 C 8 -2.0276 × 10 -5 C 10 2.9571 x 10 -5 C 11 -8.7851 x 10 -7 C 13 -8.1133 x 10 -7 C 15 7.3249 x 10 -7 FFS C 4 -4.7838 x 10 -3 C 6 1.5035 x 10 -2 C 8 1.0081 × 10 −3 C 10 −1.8708 × 10 −4 FFS C 4 2.5890 × 10 −2 C 6 1.5953 × 10 −2 C 8 1.2005 × 10 −3 C 10 −1.4249 × 10 −4 FFS C 4 6.1496 × 10 3 C 6 7.1308 × 10 -3 C 8 5.2260 × 10 -6 C 10 1.8362 × 10 -6 C 11 -1.1447 × 10 -6 C 13 -1.4625 × 10 -7 C 15 5.1726 × 10 - 7 FFS C 4 -5.8591 × 10 -3 C 6 4.1503 × 10 -4 C 8 -1.2559 × 10 -4 C 10 8.8654 × 10 -6 C 11 -1.7472 × 10 -6 C 13 -3.6838 × 10 -6 C 15 6.8 127 × 10 -7 FFS C 4 -9.7353 × 10 -3 C 6 9.5723 × 10 -3 C 8 -5.9950 × 10 -4 C 10 -1.8043 × 10 -4 Eccentricity (1) X 0.00 Y 0.00 Z-1200.00 α 0.00 β 0.00 γ 45.00 Eccentricity (2) X 0.00 Y 0.00 Z 12.44 α -45.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (3) X 0.00 Y 15.45 Z 12.44 α -90.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (4) X 0.00 Y 25.36 Z 12.44 α- 90.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (5) X 0.00 Y 26.36 Z 12.44 α -90.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (6) X 0.00 Y 48.86 Z 12.44 α -112.50 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (7) X 0.00 Y 35.50 Z -0.92 α -157.50 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (8) X 0.00 Y 35.50 Z 21.85 α -180.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (9) X 0.00 Y 35.50 Z 23.57 α -180.00 β 0.00 γ -45.00.

【0086】 実施例2 面番号 曲率半径 面間隔 偏心 屈折率 アッベ数 物体面 ∞ 偏心(1) 1 ∞ 2 11.56 偏心(2) 1.4875 70.4 3 8.02 偏心(3) 4 8.71 偏心(4) 1.5092 59.3 5 9.03 偏心(5) 6 ∞(絞り面) 偏心(6) 7 FFS 偏心(7) 1.4924 57.6 8 FFS(RE) 偏心(8) 1.4924 57.6 9 FFS(RE) 偏心(9) 1.4924 57.6 10 FFS 偏心(10) 像 面 ∞ 偏心(11) FFS C4 -1.6269×10-26 -1.3958×10-28 1.2005×10-310 1.6587×10-4 FFS C4 -5.5890×10-36 -4.2159×10-38 7.2404×10-510 2.6520×10-511 -4.3471×10-713 -1.4172×10-615 -1.2542×10-6 FFS C4 4.9701×10-36 4.8760×10-38 2.6570×10-510 -9.7540×10-611 -5.8319×10-713 -8.7007×10-715 -1.2780×10-6 FFS C4 1.9707×10-26 2.1280×10-28 2.8436×10-410 -4.6898×10-5 偏心(1) X 0.00 Y 0.00 Z-1200.00 α 0.00 β 0.00 γ 45.00 偏心(2) X 0.00 Y 0.00 Z 0.00 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(3) X 0.00 Y 0.00 Z 6.11 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(4) X 0.00 Y 0.00 Z 7.89 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(5) X 0.00 Y 0.00 Z 9.80 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(6) X 0.00 Y 0.00 Z 23.56 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(7) X 0.00 Y 0.00 Z 24.98 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(8) X 0.00 Y 0.00 Z 54.69 α -22.50 β 0.00 γ 0.00 偏心(9) X 0.00 Y 15.82 Z 38.87 α -67.50 β 0.00 γ 0.00 偏心(10) X 0.00 Y -11.56 Z 38.87 α -90.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(11) X 0.00 Y -14.04 Z 38.87 α -90.00 β 0.00 γ -45.00 。Example 2 Surface number Curvature radius Surface spacing Eccentricity Refractive index Abbe number Object plane ∞ Eccentricity (1) 1 ∞ 2 11.56 Eccentricity (2) 1.4875 70.4 3 8.02 Eccentricity (3) 4 8.71 Eccentricity (4) 1.5092 59.3 5 9.03 Eccentric (5) 6 ∞ (Throttle surface) Eccentric (6) 7 FFS Eccentric (7) 1.4924 57.6 8 FFS (RE) Eccentric (8) 1.4924 57.6 9 FFS (RE) Eccentric (9) 1.4924 57.6 10 FFS Eccentric (10) Image plane ∞ Eccentricity (11) FFS C 4 -1.6269 × 10 -2 C 6 -1.3958 × 10 -2 C 8 1.2005 × 10 -3 C 10 1.6587 × 10 -4 FFS C 4 -5.5890 × 10 -3 C 6- 4.2159 × 10 -3 C 8 7.2404 × 10 -5 C 10 2.6520 × 10 -5 C 11 -4.3471 × 10 -7 C 13 -1.4172 × 10 -6 C 15 -1.2542 × 10 -6 FFS C 4 4.9701 × 10 - 3 C 6 4.8 760 x 10 -3 C 8 2.6570 x 10 -5 C 10 -9.7540 x 10 -6 C 11 -5.8319 x 10 -7 C 13 -8.7007 x 10 -7 C 15 -1.2780 x 10 -6 FFS C 4 1.9707 × 10 -2 C 6 2.1280 × 10 -2 C 8 2.8436 × 10 -4 C 10 -4.68 98 × 10 -5 Eccentricity (1) X 0.00 Y 0.00 Z-120 0.00 α 0.00 β 0.00 γ 45.00 Eccentricity (2) X 0.00 Y 0.00 Z 0.00 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (3) X 0.00 Y 0.00 Z 6.11 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (4) X 0.00 Y 0.00 Z 7.89 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (5) X 0.00 Y 0.00 Z 9.80 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (6) X 0.00 Y 0.00 Z 23.56 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (7) X 0.00 Y 0.00 Z 24.98 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (8) X 0.00 Y 0.00 Z 54.69 α -22.50 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (9) X 0.00 Y 15.82 Z 38.87 α -67.50 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (10) X 0.00 Y -11.56 Z 38.87 α -90.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (11) X 0.00 Y -14.04 Z 38.87 α -90.00 β 0.00 γ -45.00.

【0087】 実施例3 面番号 曲率半径 面間隔 偏心 屈折率 アッベ数 物体面 ∞ 偏心(1) 1 FFS 1.4924 57.6 2 FFS(RE) 偏心(2) 1.4924 57.6 3 FFS 偏心(3) 4 ∞(絞り面) 偏心(4) 5 FFS 偏心(5) 1.4924 57.6 6 FFS(RE) 偏心(6) 1.4924 57.6 7 FFS(RE) 偏心(7) 1.4924 57.6 8 FFS 偏心(8) 像 面 ∞ 偏心(9) FFS C4 9.3298×10-36 9.2282×10-47 -2.6786×10-58 -4.9982×10-59 2.5479×10-410 2.4669×10-4 FFS C4 -7.2942×10-46 1.7125×10-37 4.4980×10-68 1.2130×10-59 1.9812×10-510 2.4264×10-511 -2.0904×10-712 2.9589×10-713 3.5188×10-714 7.4955×10-715 1.0501×10-6 FFS C4 -1.5671×10-26 1.6491×10-27 8.9825×10-58 5.7132×10-49 -5.4764×10-410 -2.5398×10-4 FFS C4 1.0604×10-26 1.5130×10-27 1.5781×10-48 3.1048×10-49 -8.0121×10-410 2.1858×10-5 FFS C4 5.9599×10-36 8.9163×10-37 1.3098×10-58 -7.0396×10-59 -5.0955×10-610 8.5524×10-611 4.9139×10-712 -4.8582×10-813 3.6872×10-714 -3.4003×10-715 2.5281×10-7 FFS C4 -6.7057×10-36 4.3417×10-37 -1.4197×10-58 -2.7031×10-49 1.0850×10-410 1.4768×10-411 -5.3609×10-712 -2.5406×10-613 -5.9738×10-614 3.5345×10-615 2.8943×10-6 FFS C4 -2.5519×10-26 1.3790×10-27 9.0713×10-48 -1.3777×10-39 4.4602×10-410 8.1380×10-4 偏心(1) X 0.00 Y 0.00 Z-1200.00 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(2) X 0.00 Y 0.00 Z 12.25 α -45.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(3) X 0.00 Y 22.81 Z 12.25 α -90.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(4) X 0.00 Y 33.48 Z 12.25 α -90.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(5) X 0.00 Y 42.96 Z 12.25 α -90.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(6) X 0.00 Y 59.43 Z 12.25 α -112.50 β 0.00 γ 0.00 偏心(7) X 0.00 Y 48.91 Z 1.74 α -157.50 β 0.00 γ 0.00 偏心(8) X 0.00 Y 48.91 Z 20.83 α -180.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(9) X 0.00 Y 48.91 Z 23.08 α -180.00 β 10.00 γ 0.00 。Example 3 Surface Number Curvature Radius Surface Spacing Eccentricity Refractive Index Abbe Number Object Surface ∞ Eccentricity (1) 1 FFS 1.4924 57.6 2 FFS (RE) Eccentricity (2) 1.4924 57.6 3 FFS Eccentricity (3) 4 ∞ (Aperture surface) ) Eccentricity (4) 5 FFS Eccentricity (5) 1.4924 57.6 6 FFS (RE) Eccentricity (6) 1.4924 57.6 7 FFS (RE) Eccentricity (7) 1.4924 57.6 8 FFS Eccentricity (8) Image plane ∞ Eccentricity (9) FFS C 4 9.3298 × 10 -3 C 6 9.2282 × 10 -4 C 7 -2.6786 × 10 -5 C 8 -4.9982 × 10 -5 C 9 2.5479 × 10 -4 C 10 2.4669 × 10 -4 FFS C 4 -7.2942 × 10 -4 C 6 1.7 125 x 10 -3 C 7 4.4 980 x 10 -6 C 8 1.2 130 x 10 -5 C 9 1.9812 x 10 -5 C 10 2.4 264 x 10 -5 C 11 -2.0 904 x 10 -7 C 12 2.9589 x 10 -7 C 13 3.5 188 x 10 -7 C 14 7.4 955 x 10 -7 C 15 1.050 1 x 10 -6 FFS C 4 -1.567 1 x 10 -2 C 6 1.6491 x 10 -2 C 7 8.9 825 x 10 -5 C 8 5.7 132 x 10 -4 C 9 -5.4764 x 10 -4 C 10 -2.5398 x 10 -4 FFS C 4 1.060 4 x 10 -2 C 6 1.5130 x 10 -2 C 7 1.5781 x 10 -4 C 8 3.1048 x 10 -4 C 9 -8.012 1 × 10 -4 C 10 2.1858 × 10 -5 FFS C 4 5.9 599 × 10 -3 C 6 8.9163 × 10 -3 C 7 1.3098 × 10 -5 C 8 -7.0 396 × 10 -5 C 9 -5.0955 × 10 -6 C 10 8.5524 × 10 -6 C 11 4.9139 × 10 -7 C 12 -4.8582 × 10 -8 C 13 3.6872 × 10 -7 C 14 -3.4003 × 10 -7 C 15 2.5281 × 10 -7 FFS C 4 -6.7057 × 10 -3 C 6 4.3417 × 10 -3 C 7 -1.4197 × 10 -5 C 8 -2.7031 × 10 -4 C 9 1.0850 × 10 -4 C 10 1.4768 × 10 -4 C 11 -5.3609 × 10 -7 C 12 -2.5406 × 10 -6 C 13 -5.9738 × 10 -6 C 14 3.5345 × 10 -6 C 15 2.8943 × 10 -6 FFS C 4 -2.5519 × 10 -2 C 6 1.3790 × 10 -2 C 7 9.0713 × 10 -4 C 8 -1.3777 × 10 -3 C 9 4.4602 × 10 -4 C 10 8.1 380 × 10 -4 Eccentricity (1) X 0.00 Y 0.00 Z-120 0.00 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (2) X 0.00 Y 0.00 Z 12.25 α -45.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (3) X 0.00 Y 22.81 Z 12.25 α -90.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (4) X 0.00 Y 33.48 Z 12.25 α -90.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (5 ) X 0.00 Y 42.96 Z 12.25 α -90.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (6) X 0 .00 Y 59.43 Z 12.25 α -112.50 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (7) X 0.00 Y 48.91 Z 1.74 α -157.50 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (8) X 0.00 Y 48.91 Z 20.83 α -180.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (9 ) X 0.00 Y 48.91 Z 23.08 α -180.00 β 10.00 γ 0.00.

【0088】 実施例4 面番号 曲率半径 面間隔 偏心 屈折率 アッベ数 物体面 ∞ 偏心(1) 1 FFS 1.7552 27.6 2 FFS(RE) 偏心(2) 1.7552 27.6 3 FFS 偏心(3) 4 ∞(絞り面) 偏心(4) 5 FFS 偏心(5) 1.5088 68.2 6 FFS(RE) 偏心(6) 1.5088 68.2 7 FFS(RE) 偏心(7) 1.5088 68.2 8 FFS 偏心(8) 像 面 ∞ 偏心(9) FFS C4 4.2989×10-35 -1.2883×10-36 1.0182×10-27 2.6155×10-58 5.9167×10-59 1.0709×10-510 -6.8105×10-5 FFS C4 -5.9749×10-45 -1.1772×10-36 1.9769×10-37 -1.1223×10-68 -3.8718×10-69 -2.3494×10-510 2.9728×10-511 -5.4885×10-712 -5.8200×10-713 5.2841×10-714 -2.0975×10-715 2.2147×10-7 FFS C4 -2.2464×10-35 -8.7840×10-46 -1.2195×10-27 -2.7718×10-48 -5.2352×10-49 -3.7322×10-510 4.8929×10-4 FFS C4 7.7146×10-45 -3.3221×10-26 -4.6107×10-37 -2.3980×10-48 1.2005×10-39 -1.9513×10-410 7.3906×10-5 FFS C4 5.3916×10-35 -8.5164×10-46 4.8949×10-37 6.1656×10-68 3.8395×10-59 -3.8998×10-510 1.3846×10-611 6.9769×10-712 8.9109×10-713 -3.2507×10-614 -3.0447×10-815 7.4263×10-7 FFS C4 -4.8608×10-35 5.5089×10-46 -3.2594×10-37 6.8152×10-68 -3.1111×10-59 -3.5032×10-510 -3.4600×10-511 3.2365×10-712 3.2128×10-613 -3.4451×10-614 2.7333×10-615 5.6830×10-7 FFS C4 4.6699×10-45 1.5730×10-26 3.2156×10-37 -1.5354×10-58 -3.2900×10-49 -1.3150×10-310 4.3665×10-5 偏心(1) X 0.00 Y 0.00 Z-1200.00 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(2) X 0.00 Y 0.00 Z 13.77 α -45.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(3) X 0.00 Y 14.65 Z 13.77 α -90.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(4) X 0.00 Y 17.71 Z 13.77 α -90.00 β 0.00 γ 45.00 偏心(5) X 0.00 Y 18.71 Z 13.77 α -90.00 β 0.00 γ 45.00 偏心(6) X 0.00 Y 41.49 Z 13.77 α -106.33 β -15.70 γ 42.73 偏心(7) X 9.21 Y 28.46 Z 4.55 α -149.64 β -40.79 γ 20.94 偏心(8) X -6.12 Y 28.46 Z 19.89 α -180.00 β -45.00 γ 0.00 偏心(9) X -6.95 Y 28.46 Z 20.71 α -180.00 β -45.00 γ -45.00 。Example 4 Surface Number Curvature Radius Surface Spacing Eccentricity Refractive Index Abbe Number Object Surface ∞ Eccentricity (1) 1 FFS 1.7552 27.6 2 FFS (RE) Eccentricity (2) 1.7552 27.6 3 FFS Eccentricity (3) 4 ∞ (Aperture surface) ) Eccentricity (4) 5 FFS Eccentricity (5) 1.5088 68.2 6 FFS (RE) Eccentricity (6) 1.5088 68.2 7 FFS (RE) Eccentricity (7) 1.5088 68.2 8 FFS Eccentricity (8) Image plane ∞ Eccentricity (9) FFS C 4 4.2989 × 10 -3 C 5 -1.2883 × 10 -3 C 6 1.0182 × 10 -2 C 7 2.6155 × 10 -5 C 8 5.9167 × 10 -5 C 9 1.0709 × 10 -5 C 10 -6.8 105 × 10 -5 FFS C 4 -5.9749 x 10 -4 C 5 -1.1772 x 10 -3 C 6 1.9769 x 10 -3 C 7 -1.1223 x 10 -6 C 8 -3.8718 x 10 -6 C 9 -2.3494 x 10 -5 C 10 2.9728 x 10 -5 C 11 -5.4885 x 10 -7 C 12 -5.8200 x 10 -7 C 13 5.2841 x 10 -7 C 14 -2.0975 x 10 -7 C 15 2.2 147 x 10 -7 FFS C 4 -2.2464 x 10 -3 C 5 -8.7840 x 10 -4 C 6 -1.2 195 x 10 -2 C 7 -2.7718 x 10 -4 C 8 -5.2352 x 10 -4 C 9 -3.7322 x 10 -5 C 10 4.8929 x 10 -4 FFS C 4 7.7146 × 10 -4 C 5 -3.3221 × 10 -2 C 6 -4.6107 × 10 -3 C 7 -2.3980 × 10 -4 C 8 1.2005 × 10 -3 C 9 -1.9513 × 10 -4 C 10 7.3906 × 10 - 5 FFS C 4 5.3916 × 10 -3 C 5 -8.5164 × 10 -4 C 6 4.8949 × 10 -3 C 7 6.1656 × 10 -6 C 8 3.8395 × 10 -5 C 9 -3.8998 × 10 -5 C 10 1.3846 × 10 -6 C 11 6.9769 x 10 -7 C 12 8.9 109 x 10 -7 C 13 -3.2507 x 10 -6 C 14 -3.0 447 x 10 -8 C 15 7.4263 x 10 -7 FFS C 4 -4.8608 x 10 -3 C 5 5.5089 x 10 -4 C 6 -3.259 4 x 10 -3 C 7 6.8152 x 10 -6 C 8 -3.1111 x 10 -5 C 9 -3.5032 x 10 -5 C 10 -3.4 600 x 10 -5 C 11 3.2 365 x 10 -7 C 12 3.2 128 x 10 -6 C 13 -3.4451 x 10 -6 C 14 2.7333 x 10 -6 C 15 5.6830 x 10 -7 FFS C 4 4.6699 x 10 -4 C 5 1.5730 x 10 -2 C 6 3.2156 x 10 -3 C 7 -1.535 4 x 10 -5 C 8 -3.2900 x 10 -4 C 9 -1.3150 x 10 -3 C 10 4.3 665 x 10 -5 Eccentricity (1) X 0.00 Y 0.00 Z -120 0.00 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (2) X 0.00 Y 0.00 Z 13.77 α -45.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (3) X 0.00 Y 14.65 Z 13.77 α -90.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (4) X 0.00 Y 17.71 Z 13.77 α -90.00 β 0.00 γ 45.00 Eccentricity (5) X 0.00 Y 18.71 Z 13.77 α -90.00 β 0.00 γ 45.00 Eccentricity (6) X 0.00 Y 41.49 Z 13.77 α -106.33 β -15.70 γ 42.73 Eccentric (7) X 9.21 Y 28.46 Z 4.55 α -149.64 β -40.79 γ 20.94 Eccentric (8) X -6.12 Y 28.46 Z 19.89 α -180.00 β -45.00 γ 0.00 Eccentric (9) X -6.95 Y 28.46 Z 20.71 α -180.00 β -45.00 γ -45.00.

【0089】 実施例5 面番号 曲率半径 面間隔 偏心 屈折率 アッベ数 物体面 ∞ 偏心(1) 1 FFS 1.4875 70.4 2 FFS(RE) 偏心(2) 1.4875 70.4 3 FFS(RE) 偏心(3) 1.4875 70.4 4 FFS 偏心(4) 5 ∞(絞り面) 偏心(5) 6 FFS 偏心(6) 1.5281 52.6 7 FFS(RE) 偏心(7) 1.5281 52.6 8 FFS(RE) 偏心(8) 1.5281 52.6 9 FFS 偏心(9) 像 面 ∞ 偏心(10) FFS C4 8.9607×10-35 -6.8680×10-46 3.1200×10-27 -2.2704×10-48 8.7887×10-49 3.3485×10-410 -3.0776×10-4 FFS C4 -7.0920×10-35 7.8223×10-46 -7.2947×10-37 -2.7624×10-58 -1.6065×10-59 3.8935×10-510 4.9827×10-511 2.1185×10-712 1.0801×10-713 1.3385×10-514 1.9531×10-615 4.8432×10-6 FFS C4 1.2147×10-25 5.8941×10-46 1.0360×10-27 -9.0553×10-58 5.5037×10-49 1.9906×10-410 -2.8358×10-411 -8.1100×10-612 -9.8655×10-613 3.8522×10-514 3.5845×10-615 5.5724×10-6 FFS C4 -3.7478×10-25 4.3638×10-36 -4.2695×10-27 5.8617×10-48 -1.2502×10-39 -4.4465×10-410 1.1549×10-3 FFS C4 -3.2003×10-25 -2.6689×10-26 -3.6711×10-27 1.6582×10-48 1.2005×10-39 2.1055×10-310 6.7384×10-4 FFS C4 -5.1949×10-35 -4.7878×10-46 -4.9258×10-37 -1.9416×10-58 2.1687×10-59 4.3747×10-510 2.9404×10-511 -4.2660×10-712 8.2344×10-713 5.9896×10-814 1.0826×10-615 -7.6572×10-8 FFS C4 5.6793×10-35 -1.0769×10-36 4.0807×10-37 -1.8251×10-58 -3.8749×10-59 3.5780×10-510 -1.4815×10-611 -5.0377×10-712 5.1151×10-713 4.3297×10-814 1.0385×10-615 -4.1980×10-8 FFS C4 2.6410×10-25 -8.8970×10-36 2.0898×10-27 -8.6245×10-58 -4.4155×10-49 1.6185×10-410 8.8770×10-5 偏心(1) X 0.00 Y 0.00 Z-1200.00 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(2) X 0.00 Y 0.00 Z 19.43 α 22.50 β 0.00 γ 0.00 偏心(3) X 0.00 Y -13.63 Z 5.80 α 67.50 β 0.00 γ 0.00 偏心(4) X 0.00 Y 8.21 Z 5.80 α 90.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(5) X 0.00 Y 12.41 Z 5.80 α 90.00 β 0.00 γ 45.00 偏心(6) X 0.00 Y 13.41 Z 5.80 α 90.00 β 0.00 γ 45.00 偏心(7) X 0.00 Y 44.59 Z 5.80 α 73.67 β -15.70 γ 42.73 偏心(8) X -11.70 Y 28.03 Z -5.91 α 30.36 β -40.79 γ 20.94 偏心(9) X 7.03 Y 28.03 Z 12.83 α 0.00 β -45.00 γ 0.00 偏心(10) X 21.76 Y 28.03 Z 27.56 α 0.00 β -45.00 γ -45.00 。Example 5 Surface Number Curvature Radius Surface Spacing Eccentricity Refractive Index Abbe Number Object Surface ∞ Eccentricity (1) 1 FFS 1.4875 70.4 2 FFS (RE) Eccentricity (2) 1.4875 70.4 3 FFS (RE) Eccentricity (3) 1.4875 70.4 4 FFS eccentricity (4) 5 ∞ (diaphragm surface) eccentricity (5) 6 FFS eccentricity (6) 1.5281 52.6 7 FFS (RE) eccentricity (7) 1.5281 52.6 8 FFS (RE) eccentricity (8) 1.5281 52.6 9 FFS eccentricity (8) 9) Image plane ∞ Eccentricity (10) FFS C 4 8.9607 × 10 -3 C 5 -6.8680 × 10 -4 C 6 3.1200 × 10 -2 C 7 -2.2704 × 10 -4 C 8 8.7887 × 10 -4 C 9 3.3485 × 10 -4 C 10 -3.0776 × 10 -4 FFS C 4 -7.0920 × 10 -3 C 5 7.8223 × 10 -4 C 6 -7.2947 × 10 -3 C 7 -2.7624 × 10 -5 C 8 -1.6065 × 10 -5 C 9 3.8935 × 10 -5 C 10 4.9827 × 10 -5 C 11 2.1185 × 10 -7 C 12 1.0801 × 10 -7 C 13 1.3385 × 10 -5 C 14 1.9531 × 10 -6 C 15 4.8432 × 10 - 6 FFS C 4 1.2147 × 10 -2 C 5 5.894 1 × 10 -4 C 6 1.0 360 × 10 -2 C 7 -9.0553 × 10 -5 C 8 5.5037 × 10 -4 C 9 1.9906 × 10 -4 C 10 -2.8358 x 10 -4 C 11 -8.1 100 x 10 -6 C 12 -9.8655 x 10 -6 C 13 3.852 2 x 10 -5 C 14 3.5845 x 10 -6 C 15 5.5724 x 10 -6 FFS C 4 -3.7478 × 10 -2 C 5 4.3638 × 10 -3 C 6 -4.2695 × 10 -2 C 7 5.8617 × 10 -4 C 8 -1.2502 × 10 -3 C 9 -4.4465 × 10 -4 C 10 1.1549 × 10 - 3 FFS C 4 -3.203 0 x 10 -2 C 5 -2.6689 x 10 -2 C 6 -3.6711 x 10 -2 C 7 1.6582 x 10 -4 C 8 1.2005 x 10 -3 C 9 2.1055 x 10 -3 C 10 6.7384 × 10 -4 FFS C 4 -5.1949 × 10 -3 C 5 -4.7878 × 10 -4 C 6 -4.9258 × 10 -3 C 7 -1.9416 × 10 -5 C 8 2.1687 × 10 -5 C 9 4.3747 × 10 - 5 C 10 2.9404 x 10 -5 C 11 -4.2660 x 10 -7 C 12 8.2 344 x 10 -7 C 13 5.9896 x 10 -8 C 14 1.0826 x 10 -6 C 15 -7.6572 x 10 -8 FFS C 4 5.6793 x 10 -3 C 5 -1.0769 x 10 -3 C 6 4.0807 x 10 -3 C 7 -1.8251 x 10 -5 C 8 -3.8749 x 10 -5 C 9 3.5780 x 10 -5 C 10 -1.4815 x 10 -6 C 11 -5.0377 x 10 -7 C 12 5.1151 x 10 -7 C 13 4.3297 x 10 -8 C 14 1.0385 x 10 -6 C 15 -4.1980 x 10 -8 FFS C 4 2.6 410 x 10 -2 C 5 -8.8970 × 10 -3 C 6 2.0898 × 10 -2 C 7 -8.6245 × 10 -5 C 8 -4.4155 × 10 -4 C 9 1.6185 × 10 -4 C 10 8.8770 × 10 -5 Eccentricity (1) X 0.00 Y 0.00 Z-1200.00 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (2) X 0.00 Y 0.00 Z 19.43 α 22.50 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (3) X 0.00 Y -13.63 Z 5.80 α 67.50 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (4) X 0.00 Y 8.21 Z 5.80 α 90.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (5) X 0.00 Y 12.41 Z 5.80 α 90.00 β 0.00 γ 45.00 Eccentricity (6) X 0.00 Y 13.41 Z 5.80 α 90.00 β 0.00 γ 45.00 Eccentricity (7) X 0.00 Y 44.59 Z 5.80 α 73.67 β -15.70 γ 42.73 Eccentricity (8) X -11.70 Y 28.03 Z -5.91 α 30.36 β -40.79 γ 20.94 Eccentricity (9) X 7.03 Y 28.03 Z 12.83 α 0.00 β -45.00 γ 0.00 Eccentricity (10) X 21.76 Y 28.03 Z 27.56 α 0.00 β -45.00 γ -45.00.

【0090】 実施例6 面番号 曲率半径 面間隔 偏心 屈折率 アッベ数 物体面 ∞ 偏心(1) 1 FFS 1.7552 27.6 2 FFS(RE) 偏心(2) 1.7552 27.6 3 FFS(RE) 偏心(3) 1.7552 27.6 4 FFS 偏心(4) 5 ∞(絞り面) 偏心(5) 6 FFS 偏心(6) 1.4875 70.4 7 FFS(RE) 偏心(7) 1.4875 70.4 8 FFS(RE) 偏心(8) 1.4875 70.4 9 FFS 偏心(9) 像 面 ∞ 偏心(10) FFS C4 5.1638×10-35 5.0652×10-56 4.3811×10-37 1.3741×10-68 -1.6974×10-59 1.3838×10-510 3.2824×10-6 FFS C4 1.6150×10-35 -5.4130×10-46 4.0839×10-37 9.9564×10-78 -2.1304×10-59 1.4346×10-510 -3.0124×10-511 -7.7491×10-812 1.0349×10-713 2.6473×10-714 -2.1943×10-715 1.9439×10-7 FFS C4 -3.1976×10-35 -8.3139×10-46 1.7910×10-37 -8.7376×10-68 -2.8171×10-59 6.0348×10-610 -1.0533×10-511 -6.6993×10-712 3.1109×10-713 -1.5051×10-614 -9.4957×10-815 -2.7479×10-7 FFS C4 3.1422×10-35 2.8723×10-46 1.1404×10-37 -7.2869×10-58 -4.2283×10-59 1.1974×10-410 -1.9637×10-5 FFS C4 4.1903×10-35 -1.7103×10-26 1.1897×10-37 -2.2095×10-59 -2.8941×10-410 -4.0904×10-6 FFS C4 -3.6419×10-35 -4.0108×10-56 -3.2596×10-37 -8.5024×10-68 9.6344×10-79 1.0897×10-510 7.0846×10-611 1.9849×10-712 -6.9036×10-713 1.1972×10-614 2.7183×10-715 6.6353×10-8 FFS C4 3.0296×10-35 6.0925×10-46 2.4968×10-37 -7.6108×10-68 -1.4515×10-59 1.7190×10-510 -9.6467×10-611 1.1763×10-712 4.8445×10-913 5.8332×10-714 5.7569×10-715 1.5561×10-7 FFS C4 -2.2921×10-35 3.3906×10-36 -2.1936×10-37 -2.6289×10-58 -5.1374×10-59 6.8019×10-510 -4.1738×10-5 偏心(1) X 0.00 Y 0.00 Z-1200.00 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(2) X 0.00 Y 0.00 Z 19.76 α 22.50 β 0.00 γ 0.00 偏心(3) X 0.00 Y -13.91 Z 5.85 α 67.50 β 0.00 γ 0.00 偏心(4) X 0.00 Y 10.64 Z 5.85 α 90.00 β 0.00 γ 0.00 偏心(5) X 0.00 Y 11.64 Z 5.85 α 90.00 β 0.00 γ 45.00 偏心(6) X 0.00 Y 15.33 Z 5.85 α 90.00 β 0.00 γ 45.00 偏心(7) X 0.00 Y 41.98 Z 5.85 α 73.67 β -15.70 γ 42.73 偏心(8) X -10.07 Y 27.74 Z -4.22 α 30.36 β -40.79 γ 20.94 偏心(9) X 7.68 Y 27.74 Z 13.53 α 0.00 β -45.00 γ 0.00 偏心(10) X 19.02 Y 27.74 Z 24.87 α 0.00 β -45.00 γ -45.00 。
Example 6 Surface number Radius of curvature Surface spacing Eccentricity Refractive index Abbe number Object surface ∞ Eccentricity (1) 1 FFS 1.7552 27.6 2 FFS (RE) Eccentricity (2) 1.7552 27.6 3 FFS (RE) Eccentricity (3) 1.7552 27.6 4 FFS Eccentric (4) 5 ∞ (Throttle surface) Eccentric (5) 6 FFS Eccentric (6) 1.4875 70.4 7 FFS (RE) Eccentric (7) 1.4875 70.4 8 FFS (RE) Eccentric (8) 1.4875 70.4 9 FFS Eccentric ( 9) Image plane ∞ Eccentricity (10) FFS C 4 5.1638 × 10 -3 C 5 5.0652 × 10 -5 C 6 4.3811 × 10 -3 C 7 1.3741 × 10 -6 C 8 -1.6974 × 10 -5 C 9 1.3838 × 10 -5 C 10 3.2824 x 10 -6 FFS C 4 1.6 150 x 10 -3 C 5 -5.4 130 x 10 -4 C 6 4.0839 x 10 -3 C 7 9.9564 x 10 -7 C 8 -2.1304 x 10 -5 C 9 1.4346 x 10 -5 C 10 -3.0124 x 10 -5 C 11 -7.7491 x 10 -8 C 12 1.0349 x 10 -7 C 13 2.6473 x 10 -7 C 14 -2.1943 x 10 -7 C 15 1.9439 x 10 -7 FFS C 4 -3.1976 × 10 -3 C 5 -8.3139 × 10 -4 C 6 1.7910 × 10 -3 C 7 -8.7376 × 10 -6 C 8 -2.8171 × 10 -5 C 9 6.0348 × 1 0 -6 C 10 -1.0533 x 10 -5 C 11 -6.6993 x 10 -7 C 12 3.1109 x 10 -7 C 13 -1.5051 x 10 -6 C 14 -9.4957 x 10 -8 C 15 -2.7479 x 10 -7 FFS C 4 3.1422 × 10 -3 C 5 2.8723 × 10 -4 C 6 1.1404 × 10 -3 C 7 -7.2869 × 10 -5 C 8 -4.2283 × 10 -5 C 9 1.1974 × 10 -4 C 10 -1.9637 × 10 -5 FFS C 4 4.1903 x 10 -3 C 5 -1.7 103 x 10 -2 C 6 1.1897 x 10 -3 C 7 -2.2095 x 10 -5 C 9 -2.8941 x 10 -4 C 10 -4.0904 x 10 -6 FFS C 4 -3.6419 x 10 -3 C 5 -4.0 108 x 10 -5 C 6 -3.2596 x 10 -3 C 7 -8.5024 x 10 -6 C 8 9.6344 x 10 -7 C 9 1.0897 x 10 -5 C 10 7.0846 × 10 -6 C 11 1.9849 × 10 -7 C 12 -6.9036 × 10 -7 C 13 1.1972 × 10 -6 C 14 2.7183 × 10 -7 C 15 6.6353 × 10 -8 FFS C 4 3.0296 × 10 -3 C 5 6.0 925 x 10 -4 C 6 2.49 68 x 10 -3 C 7 -7.6 108 x 10 -6 C 8 -1.4515 x 10 -5 C 9 1.7 190 x 10 -5 C 10 -9.6 467 x 10 -6 C 11 1.1763 x 10 -7 C 12 4.8445 × 10 -9 C 13 5.8332 × 10 -7 C 14 5.7569 × 10 -7 C 15 1.5561 × 10 -7 FFS C 4 -2.2921 × 10 -3 C 5 3.3906 × 10 -3 C 6 -2.1936 x 10 -3 C 7 -2.6289 x 10 -5 C 8 -5.1374 x 10 -5 C 9 6.80 19 x 10 -5 C 10 -4.1738 x 10 -5 Eccentricity (1) X 0.00 Y 0.00 Z -1200.00 α 0.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (2) X 0.00 Y 0.00 Z 19.76 α 22.50 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (3) X 0.00 Y -13.91 Z 5.85 α 67.50 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (4) X 0.00 Y 10.64 Z 5.85 α 90.00 β 0.00 γ 0.00 Eccentricity (5) X 0.00 Y 11.64 Z 5.85 α 90.00 β 0.00 γ 45.00 Eccentricity (6) X 0.00 Y 15.33 Z 5.85 α 90.00 β 0.00 γ 45.00 Eccentricity (7) X 0.00 Y 41.98 Z 5.85 α 73.67 β- 15.70 γ 42.73 eccentric (8) X -10.07 Y 27.74 Z -4.22 α 30.36 β -40.79 γ 20.94 eccentric (9) X 7.68 Y 27.74 Z 13.53 α 0.00 β -45.00 γ 0.00 eccentric (10) X 19.02 Y 27.74 Z 24.87 α 0.00 β -45.00 γ -45.00.

【0091】 次に、上記実施例1の横収差図を図12に示す。この横
収差図において、括弧 内に示された数字は(水平(X方向)画角、垂直(Y方
向)画角)を表し、その 画角における横収差を示す。
Next, FIG. 12 shows a lateral aberration diagram for Example 1 above. In this lateral aberration diagram, the numbers in parentheses represent (horizontal (X direction) angle of view, vertical (Y direction) angle of view), and the lateral aberration at that angle of view.

【0092】 以上の実施例において、光学系全体のX方向、Y方向の
パワーをそれぞれPX、 PYとし、第1偏心プリズム10のX方向、Y方向のパワ
ーをそれぞれPx1 、Py1 、第2偏心プリズム20あるいは同軸屈折光学系のパワ
ーをPx2 、Py2 とする。 なお、各偏心プリズムのパワーは偏心プリズムの投影光
光軸7が含まれる面内の 方向をYとする座標系で計算してある。
In the above embodiments, the powers of the entire optical system in the X and Y directions are PX and PY, respectively, and the powers of the first decentering prism 10 in the X and Y directions are Px1, Py1 and the second decentering prism, respectively. 20 or the power of the coaxial refractive optical system is Px2 and Py2. The power of each decentered prism is calculated in a coordinate system in which the direction in the plane of the decentered prism including the projection optical axis 7 is Y.

【0093】 本発明の投影光学系2においては、 0<Px/Py <2 ・・・(1) を満足することが望ましく、より好ましくは、 0.5<Px/Py <1.5
・・・(1−1) を満足すること好ましく、さらに好ましくは、 0.9<Px/Py <1.1
・・・(1−1) を満足すること好ましい。
In the projection optical system 2 of the present invention, it is desirable that 0 <Px / Py <2 (1) is satisfied, and more preferably 0.5 <Px / Py <1.5.
It is preferable that (1-1) is satisfied, and more preferably 0.9 <Px / Py <1.1.
It is preferable that (1-1) is satisfied.

【0094】各条件式の下限の0、0.5あるいは0.
9を越えると、X方向のパワーが弱くなりX方向に映像
が小さく拡大され、歪みが大きく発生する。一方、上限
の2、1.5あるいは1.1を越えると、Y方向のパワ
ーが弱くなりY方向に映像が小さく拡大され、歪みが大
きく発生する。
The lower limit of each conditional expression is 0, 0.5 or 0.
If it exceeds 9, the power in the X direction becomes weak, the image is enlarged in the X direction to a small extent, and distortion is largely generated. On the other hand, when the upper limit of 2, 1.5 or 1.1 is exceeded, the power in the Y direction becomes weak, the image is enlarged in the Y direction, and the distortion is increased.

【0095】以下に、上記実施例1〜6のPx/Py の値、
及び、Px2/Px1 、Py2/Py1 の値を示す。 実施例 1 2 3 4 5 6 Px/Py 0.983 0.993 0.933 0.983 0.979 0.990 Px2/Px1 0.127 0.067 0.011 0.140 0.805 0.810 Py2/Py1 0.064 0.067 0.160 0.422 0.239 0.248 。
The values of Px / Py in the above Examples 1 to 6 are as follows:
And the values of Px2 / Px1 and Py2 / Py1 are shown. Example 1 2 3 4 5 6 Px / Py 0.983 0.993 0.933 0.983 0.979 0.990 Px2 / Px1 0.127 0.067 0.011 0.140 0.805 0.810 Py2 / Py1 0.064 0.067 0.160 0.422 0.239 0.248.

【0096】なお、以上の実施例4〜6においては、第
1偏心プリズム10を構成する透明材料と第2偏心プリ
ズム20を構成する透明材料とを異なる種類のものとし
て、各偏心プリズムの屈折面での分散に基づく色収差、
特に、倍率の色収差を良好に補正している。
In Examples 4 to 6 described above, the transparent material forming the first decentering prism 10 and the transparent material forming the second decentering prism 20 are different types, and the refracting surface of each decentering prism is different. Chromatic aberration due to dispersion at
Especially, the chromatic aberration of magnification is well corrected.

【0097】以上の本発明の投影光学装置は、例えば次
のように構成することができる。
The projection optical apparatus of the present invention described above can be configured as follows, for example.

【0098】〔1〕 反射型表示素子と、該反射型表示
素子に表示された画像を投影する投影光学系と、前記反
射型表示素子の表示面を照明する照明光源とを備えた投
影光学装置において、前記投影光学系は、少なくとも、
反射面を2面以上備え、その中の少なくとも1つの反射
面が光束にパワーを与える曲面形状であって、偏心収差
補正機能を有した回転非対称な曲面反射面にて構成さ
れ、前記反射型表示素子の表示面に面して配置された正
のパワーを有する反射屈折光学素子又は反射光学素子を
有し、前記表示面から出て投影表示面に至る光線と、前
記照明光源から出て前記表示面に至る光線とは、前記反
射屈折光学素子又は反射光学素子の前記表示面側から投
影光線の通る順に数えて少なくとも2番目までの反射面
を共に反射するように、前記照明光源が配置され、か
つ、前記照明光源からの照明光束中の前記表示面の中心
に至る光線であって照明光束の中心光線を照明光光軸と
し、前記表示面中心を出て瞳中心を通り投影表示面に至
る光線を投影光光軸とするとき、前記反射屈折光学素子
又は反射光学素子に入射する照明光光軸が、前記反射屈
折光学素子又は反射光学素子から出る投影光光軸と前記
表示面中心とを通る平面内に含まれないように、前記照
明光源が配置されていることを特徴とする投影光学装
置。
[1] A projection optical apparatus including a reflective display element, a projection optical system for projecting an image displayed on the reflective display element, and an illumination light source for illuminating the display surface of the reflective display element. In, at least the projection optical system,
The reflective display includes two or more reflective surfaces, at least one of which has a curved surface shape for giving power to a light beam and which is a rotationally asymmetric curved reflective surface having a function of correcting eccentric aberration. A catadioptric element having a positive power or a catoptric element arranged facing the display surface of the element, and a light ray that exits from the display surface and reaches the projection display surface; The light ray reaching the surface is arranged such that the illumination light source is arranged so as to reflect at least the second reflecting surface counted from the display surface side of the catadioptric optical element or the reflecting optical element in the order in which the projection light ray passes, Further, a light ray in the illumination light flux from the illumination light source that reaches the center of the display surface and has a central ray of the illumination light flux as an illumination light optical axis, and exits from the display surface center and passes through the pupil center to reach the projection display surface. Ray of light projected onto the optical axis In this case, the optical axis of illumination light incident on the catadioptric optical element or the catoptric optical element is not included in the plane passing through the optical axis of the projection light emitted from the catadioptric optical element or the catoptric optical element and the center of the display surface. A projection optical device, wherein the illumination light source is arranged as described above.

【0099】〔2〕 反射型表示素子と、該反射型表示
素子に表示された画像を投影する投影光学系と、前記反
射型表示素子の表示面を照明する照明光源とを備えた投
影光学装置において、前記反射型表示素子は、2次元的
に配置された多数のピクセルの微小ミラーの傾きを変化
させて反射光の射出角度を変化させることによりオン/
オフ状態を作る反射型表示素子からなり、前記投影光学
系は、少なくとも、反射面を2面以上備え、その中の少
なくとも1つの反射面が光束にパワーを与える曲面形状
であって、偏心収差補正機能を有した回転非対称な曲面
反射面にて構成され、前記反射型表示素子の表示面に面
して配置された正のパワーを有する反射屈折光学素子又
は反射光学素子を有し、前記表示面から出て投影表示面
に至る光線と、前記照明光源から出て前記表示面に至る
光線とは、前記反射屈折光学素子又は反射光学素子の前
記表示面側から投影光線の通る順に数えて少なくとも最
初の反射面を共に反射するように、前記照明光源が配置
され、かつ、前記照明光源からの照明光束中の前記表示
面の中心に至る光線であって照明光束の中心光線を照明
光光軸とし、前記表示面中心を出て瞳中心を通り投影表
示面に至る光線を投影光光軸とするとき、前記反射屈折
光学素子又は反射光学素子に入射する照明光光軸が、前
記反射屈折光学素子又は反射光学素子から出る投影光光
軸と前記表示面中心とを通る平面内に含まれないよう
に、前記照明光源が配置されていることを特徴とする投
影光学装置。
[2] Projection optical apparatus including a reflective display element, a projection optical system for projecting an image displayed on the reflective display element, and an illumination light source for illuminating the display surface of the reflective display element. In the above, the reflective display element is turned on / off by changing the inclination of micro mirrors of a large number of pixels arranged two-dimensionally to change the emission angle of reflected light.
The projection optical system includes at least two reflective surfaces, at least one of which has a curved surface shape for giving power to a light beam, and eccentric aberration correction. A rotationally asymmetric curved reflective surface having a function, and having a catadioptric optical element or a reflective optical element having a positive power and arranged facing the display surface of the reflective display element, wherein the display surface From the illumination light source to the display surface, at least the first in the order of projection light rays from the display surface side of the catadioptric optical element or reflective optical element. The illumination light source is arranged so as to reflect the reflection surface together, and the light ray reaching the center of the display surface in the illumination light flux from the illumination light source and the central light ray of the illumination light flux as the illumination light optical axis , The above When the ray that exits the center of the plane of view and passes through the center of the pupil and reaches the projection display surface is the projection optical axis, the illumination optical axis that enters the catadioptric optical element or catadioptric optical element is the catadioptric optical element or the catoptric optical element. A projection optical device, wherein the illumination light source is arranged so as not to be included in a plane passing through an optical axis of a projection light emitted from an optical element and the center of the display surface.

【0100】〔3〕 前記反射屈折光学素子又は反射光
学素子は、反射面を2面備えた第1偏心プリズムからな
り、前記表示面から出て投影光光軸が最初に入射する反
射面で反射された投影光光軸とその反射面に入射する投
影光光軸とを含む平面に、2番目の反射面で反射された
投影光光軸を投影した場合に、前記2番目の反射面で反
射された投影光光軸の像が前記最初に入射する反射面で
反射された投影光光軸と交差するように、前記第1偏心
プリズムが構成されていることを特徴とする上記1又は
2記載の投影光学装置。
[3] The catadioptric optical element or catadioptric element is composed of a first decentered prism having two reflecting surfaces, and is reflected by the reflecting surface that emerges from the display surface and the projection optical axis first enters. When the projection light optical axis reflected by the second reflecting surface is projected onto a plane including the projected projection light optical axis and the projection light optical axis incident on the reflecting surface, the second reflecting surface reflects the light. 3. The first decentering prism is configured so that the image of the projected optical axis of the projected light intersects the optical axis of the projected light reflected by the first incident reflecting surface. Projection optics.

【0101】〔4〕 前記投影光学系は、前記第1偏心
プリズムから投影光線の出る側に別の光学系を含むこと
を特徴とする上記3記載の投影光学装置。
[4] The projection optical device according to the above item 3, wherein the projection optical system includes another optical system on the side where the projection light beam exits from the first decentering prism.

【0102】〔5〕 前記別の光学系が、少なくとも、
反射面を1面以上備え、その反射面が光束にパワーを与
える曲面形状であって、偏心収差補正機能を有した回転
非対称な曲面反射面にて構成された第2偏心プリズムか
らなることを特徴とする上記4記載の投影光学装置。
[5] The other optical system is at least
A second decentering prism having one or more reflecting surfaces, the reflecting surface having a curved surface shape for giving power to a light beam, and comprising a rotationally asymmetric curved reflecting surface having a decentering aberration correction function. 5. The projection optical device according to 4 above.

【0103】〔6〕 前記第1偏心プリズム及び前記第
2偏心プリズムは、何れもプリズム中の投影光光軸が平
面内に含まれており、前記第1偏心プリズム中の前記平
面と前記第2偏心プリズム中の前記平面とが平行である
ことを特徴とする上記5記載の投影光学装置。
[6] In each of the first decentering prism and the second decentering prism, the projection optical axis in the prism is included in a plane, and the plane in the first decentering prism and the second decentering prism are included. 6. The projection optical device according to the above 5, wherein the plane in the decentering prism is parallel to the plane.

【0104】〔7〕 前記第1偏心プリズム及び前記第
2偏心プリズムは、何れもプリズム中の投影光光軸が平
面内に含まれており、前記第1偏心プリズム中の前記平
面と前記第2偏心プリズム中の前記平面とが相互に45
°回転してることを特徴とする上記5記載の投影光学装
置。
[7] In each of the first decentering prism and the second decentering prism, the projection optical axis in the prism is included in a plane, and the plane in the first decentering prism and the second decentering prism are included. The plane in the decentered prism is mutually 45
6. The projection optical device according to the above 5, wherein the projection optical device is rotated by °.

【0105】〔8〕 前記第2偏心プリズムは、反射面
を2面備えており、前記第2偏心プリズム中の前記平面
内で投影光光軸が交差するように構成されていることを
特徴とする上記6又は7記載の投影光学装置。
[8] The second decentering prism is provided with two reflecting surfaces, and the projection optical axes intersect each other in the plane of the second decentering prism. 6. The projection optical device according to 6 or 7 above.

【0106】[0106]

〔9〕 前記第2偏心プリズムは、反射面
を1面備えていることを特徴とする上記6又は7記載の
投影光学装置。
[9] The projection optical device according to the above item 6 or 7, wherein the second decentering prism has one reflecting surface.

【0107】〔10〕 前記反射型表示素子は、反射型
液晶表示素子からなることを特徴とする上記1、3〜9
の何れか1項記載の投影光学装置。
[10] The reflection type display element is formed of a reflection type liquid crystal display element.
The projection optical device according to claim 1.

【0108】〔11〕 前記反射型表示素子は、2次元
的に配置された多数のピクセルの微小ミラーの傾きを変
化させて反射光の射出角度を変化させることによりオン
/オフ状態を作る反射型表示素子からなり、前記微小ミ
ラーによる反射光の偏向方向が、前記第1偏心プリズム
中の前記平面と直交するように、前記反射型表示素子が
配置されていることを特徴とする上記6〜9の何れか1
項記載の投影光学装置。
[11] The reflection type display element is a reflection type which makes an on / off state by changing the inclination of micromirrors of a large number of pixels arranged two-dimensionally to change the emission angle of reflected light. 6 to 9, wherein the reflection type display element is formed of a display element, and the reflection type display element is arranged so that the deflection direction of the reflected light by the micro mirror is orthogonal to the plane in the first decentering prism. One of
The projection optical device according to the item.

【0109】〔12〕 前記第1偏心プリズムを構成す
る透明媒質と前記第2偏心プリズムを構成する透明媒質
との光学的性質が異なることを特徴とする上記5〜12
の何れか1項記載の投影光学装置。
[12] The transparent medium forming the first decentering prism and the transparent medium forming the second decentering prism have different optical properties from each other.
The projection optical device according to claim 1.

【0110】[0110]

【発明の効果】以上のように、本発明においては、投影
光学系として偏心プリズムを用い、照明光の反射型表示
素子への導入のし方に工夫を施すことにより小型化を図
った投影光学装置を提供することができる。本発明は、
特にDMDを表示素子として用いる投影光学装置に適し
たものである。
As described above, according to the present invention, the decentering prism is used as the projection optical system, and the projection optical system is downsized by devising the way of introducing the illumination light into the reflection type display element. A device can be provided. The present invention is
In particular, it is suitable for a projection optical device that uses a DMD as a display element.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例1の投影光学系を投影表示面側
の斜め上方向から見た斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a projection optical system according to a first exemplary embodiment of the present invention as viewed obliquely from above on a projection display surface side.

【図2】実施例1の図1と同じ方向から見た透視斜視図
である。
FIG. 2 is a perspective view of the first embodiment seen from the same direction as FIG.

【図3】実施例1の図1、図2の表側から見た正面透視
図である。
3 is a front perspective view of the first embodiment viewed from the front side of FIGS. 1 and 2. FIG.

【図4】実施例1の投影光学系のY−Z断面図である。4 is a YZ sectional view of the projection optical system of Example 1. FIG.

【図5】実施例1の投影光学系を用いた全体の装置の模
式的斜視図である。
5 is a schematic perspective view of an entire apparatus using the projection optical system of Example 1. FIG.

【図6】実施例2の投影光学系のY−Z断面図である。6 is a YZ sectional view of the projection optical system of Example 2. FIG.

【図7】実施例2の投影光学系を用いた全体の装置の模
式的斜視図である。
FIG. 7 is a schematic perspective view of an entire apparatus using the projection optical system of Example 2.

【図8】実施例3の投影光学系のY−Z断面図である。FIG. 8 is a YZ sectional view of the projection optical system of Example 3;

【図9】実施例3の投影光学系を用いた全体の装置の模
式的斜視図である。
FIG. 9 is a schematic perspective view of an entire apparatus using the projection optical system of Example 3.

【図10】実施例4の投影光学系を用いた全体の装置の
模式的斜視図である。
FIG. 10 is a schematic perspective view of the entire apparatus using the projection optical system of Example 4.

【図11】実施例5、6の投影光学系を用いた全体の装
置の模式的斜視図である。
FIG. 11 is a schematic perspective view of an entire apparatus using the projection optical system of Examples 5 and 6.

【図12】実施例1の横収差を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing transverse aberration of the first example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…反射型表示素子(DMD、反射型液晶表示素子) 2…投影光学系 3…照明光源 4…絞り 5…投影表示面 6…照明光光軸 7…投影光光軸 10…第1偏心プリズム 11…入射面 12…第1反射面 13…第2反射面 14…射出面 20…第2偏心プリズム 21…入射面 22…反射面(第1反射面) 23…射出面(第2反射面) 24…射出面 30…照明光導入プリズム 1-Reflective display device (DMD, reflective liquid crystal display device) 2 ... Projection optical system 3 ... Illumination light source 4 ... Aperture 5 ... Projection display surface 6 ... Illumination optical axis 7 ... Projection optical axis 10 ... First decentered prism 11 ... Incident surface 12 ... 1st reflective surface 13 ... Second reflective surface 14 ... Ejection surface 20 ... Second decentered prism 21 ... Incident surface 22 ... Reflective surface (first reflective surface) 23 ... Ejection surface (second reflection surface) 24 ... Ejection surface 30 ... Illumination light introducing prism

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 反射型表示素子と、該反射型表示素子に
表示された画像を投影する投影光学系と、前記反射型表
示素子の表示面を照明する照明光源とを備えた投影光学
装置において、 前記投影光学系は、少なくとも、反射面を2面以上備
え、その中の少なくとも1つの反射面が光束にパワーを
与える曲面形状であって、偏心収差補正機能を有した回
転非対称な曲面反射面にて構成され、前記反射型表示素
子の表示面に面して配置された正のパワーを有する反射
屈折光学素子又は反射光学素子を有し、 前記表示面から出て投影表示面に至る光線と、前記照明
光源から出て前記表示面に至る光線とは、前記反射屈折
光学素子又は反射光学素子の前記表示面側から投影光線
の通る順に数えて少なくとも2番目までの反射面を共に
反射するように、前記照明光源が配置され、 かつ、前記照明光源からの照明光束中の前記表示面の中
心に至る光線であって照明光束の中心光線を照明光光軸
とし、前記表示面中心を出て瞳中心を通り投影表示面に
至る光線を投影光光軸とするとき、前記反射屈折光学素
子又は反射光学素子に入射する照明光光軸が、前記反射
屈折光学素子又は反射光学素子から出る投影光光軸と前
記表示面中心とを通る平面内に含まれないように、前記
照明光源が配置されていることを特徴とする投影光学装
置。
1. A projection optical apparatus comprising a reflective display element, a projection optical system for projecting an image displayed on the reflective display element, and an illumination light source for illuminating a display surface of the reflective display element. The projection optical system includes at least two reflecting surfaces, at least one of which has a curved surface shape for giving power to a light beam, and a rotationally asymmetric curved reflecting surface having a decentering aberration correcting function. And having a catadioptric optical element or a catadioptric optical element having a positive power arranged facing the display surface of the reflective display element, and a light ray coming out of the display surface to the projection display surface. The light rays emitted from the illumination light source and reaching the display surface are reflected together by at least the second reflection surface counted from the display surface side of the catadioptric optical element or the reflection optical element in the order in which projection light rays pass. In front An illumination light source is arranged, and a light ray reaching the center of the display surface in the illumination light flux from the illumination light source is a central light ray of the illumination light flux as an illumination light optical axis, and exits from the display surface center and the pupil center. When the ray reaching the projection display surface is the projection light optical axis, the illumination light optical axis incident on the catadioptric optical element or the catoptric optical element is the projection light optical axis emitted from the catadioptric optical element or the catoptric optical element. The projection optical device, wherein the illumination light source is arranged so as not to be included in a plane passing through the center of the display surface.
【請求項2】 反射型表示素子と、該反射型表示素子に
表示された画像を投影する投影光学系と、前記反射型表
示素子の表示面を照明する照明光源とを備えた投影光学
装置において、 前記反射型表示素子は、2次元的に配置された多数のピ
クセルの微小ミラーの傾きを変化させて反射光の射出角
度を変化させることによりオン/オフ状態を作る反射型
表示素子からなり、 前記投影光学系は、少なくとも、反射面を2面以上備
え、その中の少なくとも1つの反射面が光束にパワーを
与える曲面形状であって、偏心収差補正機能を有した回
転非対称な曲面反射面にて構成され、前記反射型表示素
子の表示面に面して配置された正のパワーを有する反射
屈折光学素子又は反射光学素子を有し、 前記表示面から出て投影表示面に至る光線と、前記照明
光源から出て前記表示面に至る光線とは、前記反射屈折
光学素子又は反射光学素子の前記表示面側から投影光線
の通る順に数えて少なくとも最初の反射面を共に反射す
るように、前記照明光源が配置され、 かつ、前記照明光源からの照明光束中の前記表示面の中
心に至る光線であって照明光束の中心光線を照明光光軸
とし、前記表示面中心を出て瞳中心を通り投影表示面に
至る光線を投影光光軸とするとき、前記反射屈折光学素
子又は反射光学素子に入射する照明光光軸が、前記反射
屈折光学素子又は反射光学素子から出る投影光光軸と前
記表示面中心とを通る平面内に含まれないように、前記
照明光源が配置されていることを特徴とする投影光学装
置。
2. A projection optical apparatus comprising a reflective display element, a projection optical system for projecting an image displayed on the reflective display element, and an illumination light source for illuminating a display surface of the reflective display element. The reflective display element is a reflective display element that creates an on / off state by changing the inclination of micromirrors of a large number of pixels arranged two-dimensionally to change the emission angle of reflected light, The projection optical system is provided with at least two reflecting surfaces, and at least one of the reflecting surfaces has a curved surface shape for giving power to a light beam, and is a rotationally asymmetric curved reflecting surface having a decentering aberration correcting function. Configured to have a catadioptric optical element or catadioptric element having a positive power disposed facing the display surface of the reflective display element, and a ray of light from the display surface to the projection display surface, The lighting The light ray emitted from the light source and reaching the display surface is the illumination light source so that at least the first reflection surface is counted together in the order in which the projection light ray passes from the display surface side of the catadioptric optical element or the reflection optical element. And a central ray of the illumination light flux, which is a light ray in the illumination light flux from the illumination light source that reaches the center of the display surface, is projected through the center of the display surface and the pupil center. When the ray reaching the display surface is the projection optical axis, the illumination optical axis incident on the catadioptric optical element or catoptric optical element is the projection optical optical axis emitted from the catadioptric optical element or catoptric optical element and the display. A projection optical device in which the illumination light source is arranged so as not to be included in a plane passing through a plane center.
【請求項3】 前記反射屈折光学素子又は反射光学素子
は、反射面を2面備えた第1偏心プリズムからなり、前
記表示面から出て投影光光軸が最初に入射する反射面で
反射された投影光光軸とその反射面に入射する投影光光
軸とを含む平面に、2番目の反射面で反射された投影光
光軸を投影した場合に、前記2番目の反射面で反射され
た投影光光軸の像が前記最初に入射する反射面で反射さ
れた投影光光軸とプリズム内で交差するように、前記第
1偏心プリズムが構成されていることを特徴とする請求
項1又は2記載の投影光学装置。
3. The catadioptric optical element or the catadioptric optical element comprises a first decentered prism having two reflecting surfaces, which is reflected by a reflecting surface that emerges from the display surface and on which a projection optical axis first enters. When the projection light optical axis reflected by the second reflecting surface is projected on the plane including the projection light optical axis and the projection light optical axis incident on the reflecting surface, the light is reflected by the second reflecting surface. The first decentering prism is configured such that the image of the projected light optical axis intersects with the projected light optical axis reflected by the first incident reflecting surface in the prism. Or the projection optical device according to item 2.
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