JP2003165215A - Ink jet printer head - Google Patents

Ink jet printer head

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JP2003165215A
JP2003165215A JP2001366175A JP2001366175A JP2003165215A JP 2003165215 A JP2003165215 A JP 2003165215A JP 2001366175 A JP2001366175 A JP 2001366175A JP 2001366175 A JP2001366175 A JP 2001366175A JP 2003165215 A JP2003165215 A JP 2003165215A
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JP
Japan
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ink
printer head
ink pressure
pressure chamber
land pattern
Prior art date
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Pending
Application number
JP2001366175A
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Japanese (ja)
Inventor
Atsushi Hirota
Atsuo Sakaida
Hidetoshi Watanabe
惇夫 坂井田
淳 廣田
英年 渡辺
Original Assignee
Brother Ind Ltd
ブラザー工業株式会社
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Publication date
Application filed by Brother Ind Ltd, ブラザー工業株式会社 filed Critical Brother Ind Ltd
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    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, e.g. INK-JET PRINTERS, THERMAL PRINTERS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14209Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
    • B41J2002/14217Multi layer finger type piezoelectric element
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, e.g. INK-JET PRINTERS, THERMAL PRINTERS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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    • B41J2/14209Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
    • B41J2002/14225Finger type piezoelectric element on only one side of the chamber
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14491Electrical connection

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink jet printer head in which failure of soldering can be prevented surely by enlarging the area of a land pattern and mounting densi ty of ink pressure chamber can be increased. <P>SOLUTION: On the upper surface part of a first piezoelectric layer 21, a substantially rhombic drive electrode 20A slightly smaller than and similar to the projection of an ink pressure chamber 19A is formed at a position corresponding to each ink pressure chamber 19A, and an arrow type land pattern 20B is formed continuously from the acute angle part of the drive electrode 20A. A through hole 20C is made substantially in the center of each land pattern 20B. On the upper surface part of a third piezoelectric layer 23, a large number of inner electrodes 23A of the substantially same shape as that of the drive electrode 20A and the land pattern 20B are formed. The land pattern 20B and the inner electrodes 23A are connected electrically with through-holes 30. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットプ
リンタヘッドに関し、特に、キャビティプレートに積層
される圧電シートの略菱形形状の駆動電極に駆動信号を
入力するためのランドパターンを、該駆動電極の鋭角部
から連続して矢印形状に形成することによって、ランド
パターンの広い面積を確保して半田付不良を確実に防止
できると共に、インク圧力室の実装密度の向上を図るこ
とができるインクジェットプリンタヘッドに関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet printer head, and more particularly, to a land pattern for inputting a drive signal to a substantially rhombic drive electrode of a piezoelectric sheet laminated on a cavity plate, which has an acute angle. Related to an ink jet printer head capable of ensuring a large area of a land pattern, reliably preventing soldering failure, and improving the packaging density of ink pressure chambers by forming an arrow shape continuously from the portion Is.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来より、積層型の圧電アクチュエータ
を用いたインクジェットプリンタヘッドが種々提案され
ている。例えば、米国特許第5,402,159号公報
に記載されるインクジェットプリンタヘッドは、複数個
のノズルと当該各ノズルごとの圧力室とを備えたキャビ
ティプレートに、各圧力室ごとに形成された駆動電極と
隣接する圧力室に共通するコモン電極とにより圧電シー
トを挟んで当該圧電シートを積層したプレート型の圧電
アクチュエータを接着して構成されている。また、特公
平7−67803号公報に記載のインク・ジェット・プ
リント・ヘッドは、キャビティプレートに菱形の圧力室
が複数列形成されると共に、各圧力室ごとに形成された
駆動電極と隣接する圧力室に共通するコモン電極とによ
り圧電シートを挟んで当該圧電シートを積層したプレー
ト型の圧電アクチュエータを積層して構成されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, various ink jet printer heads using a laminated piezoelectric actuator have been proposed. For example, in an inkjet printer head described in US Pat. No. 5,402,159, a drive formed for each pressure chamber in a cavity plate having a plurality of nozzles and a pressure chamber for each nozzle. A plate-type piezoelectric actuator in which the piezoelectric sheets are laminated with the piezoelectric sheet sandwiched between the electrodes and a common electrode common to the adjacent pressure chambers is bonded. Further, in the ink jet print head described in Japanese Patent Publication No. 7-68003, a plurality of rows of rhombic pressure chambers are formed in the cavity plate, and the pressure adjacent to the drive electrode formed for each pressure chamber is adjacent. It is configured by stacking plate-type piezoelectric actuators in which the piezoelectric sheets are stacked with a common electrode common to the chambers sandwiching the piezoelectric sheets.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、米国特
許第5,402,159号公報に記載されるインクジェ
ットプリンタヘッドを構成する圧電シートや特公平7−
67803号公報に記載のインク・ジェット・プリント
・ヘッドを構成する圧電シートにおいて、各圧電アクチ
ュエータの駆動電極と電源部とを接続するために駆動電
極から離れた位置にまで配線を引き出して電源部との接
続を行っていた。この場合には、駆動電極と電源部との
電気的接続はできるが、配設される配線との電気的絶縁
性を確保するため、駆動電極間にある程度のスペースが
必要になる。そのため、圧力室配置の実装密度の向上が
阻害されるという問題がある。また、駆動電極から連続
してランドパターンを形成する場合には、このランドパ
ターン用にある程度のスペースが必要になるため、圧力
室配置の実装密度の向上が阻害されるという問題があ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION However, the piezoelectric sheet and the Japanese Patent Publication No.
In the piezoelectric sheet constituting the ink jet print head described in Japanese Patent No. 67803, in order to connect the drive electrode of each piezoelectric actuator and the power supply unit, a wire is pulled out to a position apart from the drive electrode to form a power supply unit. Was making a connection. In this case, the drive electrodes and the power source can be electrically connected, but a certain amount of space is required between the drive electrodes in order to ensure electrical insulation from the wiring provided. Therefore, there is a problem that the improvement of the packaging density of the pressure chamber arrangement is hindered. In addition, when a land pattern is formed continuously from the drive electrode, a certain amount of space is required for this land pattern, so that there is a problem that improvement of the packaging density of the pressure chamber arrangement is hindered.
【0004】そこで、本発明は、上述した問題点を解決
するためになされたものであり、インク圧力室の配設位
置に対応して形成される圧電シートの駆動電極と電源部
との確実な電気的接続ができると共に、インク圧力室の
実装密度の向上を図ることができるインクジェットプリ
ンタヘッドを提供することを目的とする。
Therefore, the present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and ensures the reliable formation of the drive electrodes and the power supply section of the piezoelectric sheet formed corresponding to the positions where the ink pressure chambers are arranged. An object of the present invention is to provide an inkjet printer head that can be electrically connected and can improve the packaging density of ink pressure chambers.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
請求項1に係るインクジェットプリンタヘッドは、平面
視で略菱形形状のインク圧力室が形成されたキャビティ
プレートと、前記インク圧力室の形状に対応する略菱形
形状を有すると共に、インク圧力室に対向して配置され
る駆動電極が形成され、前記キャビティプレートに積層
される圧電シートとを備えたインクジェットプリンタヘ
ッドであって、前記駆動電極には、その菱形形状の鋭角
部から連続して矢印形状のランドパターンが形成された
ことを特徴とする。
In order to achieve the above object, an ink jet printer head according to a first aspect of the present invention has a cavity plate in which a substantially rhombic ink pressure chamber is formed in a plan view and a shape of the ink pressure chamber. An ink jet printer head having a corresponding rhomboidal shape, a drive electrode that is arranged to face an ink pressure chamber, and a piezoelectric sheet that is laminated on the cavity plate. An arrow-shaped land pattern is formed continuously from the diamond-shaped acute-angled portion.
【0006】このような特徴を有する請求項1に係るイ
ンクジェットプリンタヘッドでは、キャビティプレート
に設けられたインク圧力室は、略菱形形状に形成されて
いる。また、このキャビティプレートに積層される圧電
シートには、各インク圧力室に対向して、該インク圧力
室の形状に対応する略菱形形状の駆動電極が形成されて
いる。また、この各駆動電極には、その菱形形状の鋭角
部から連続して矢印形状のランドパターンが形成されて
いる。これにより、複数列の各インク圧力室の鋭角部が
互いに他の列のインク圧力室間に入り込んだ状態で配置
されることになるので、一のインク圧力室に対向して形
成される駆動電極の鋭角部から連続して矢印形状のラン
ドパターンが形成される。そのため、該矢印形状のラン
ドパターンの各斜辺部を、他のインク圧力室に対向して
形成される駆動電極の各鋭角部の外側端縁部の斜辺部に
より近づけることが可能となり、該ランドパターンの広
い面積を確保して該ランドパターンへの半田付けを確実
に行うことができる。また、各インク圧力室の鋭角部間
のスペースを有効に活用してランドパターンの広い面積
を確保しているので、インク圧力室の実装密度の向上を
図ることができる。
In the ink jet printer head according to the present invention having such a feature, the ink pressure chamber provided in the cavity plate is formed in a substantially rhombic shape. Further, the piezoelectric sheet laminated on the cavity plate is provided with drive electrodes of a substantially rhombic shape corresponding to the shape of the ink pressure chambers, facing the respective ink pressure chambers. In addition, an arrow-shaped land pattern is continuously formed on each of the drive electrodes from the diamond-shaped acute-angled portion. As a result, since the acute-angled portions of the ink pressure chambers of the plurality of rows are arranged so as to be inserted between the ink pressure chambers of the other rows, the drive electrodes formed facing one ink pressure chamber. An arrow-shaped land pattern is formed continuously from the acute-angled portion. Therefore, it becomes possible to bring each hypotenuse portion of the arrow-shaped land pattern closer to the hypotenuse portion of the outer edge of each acute angle portion of the drive electrode formed facing the other ink pressure chamber. It is possible to secure a large area for the soldering and reliably perform soldering to the land pattern. Further, since a large area of the land pattern is secured by effectively utilizing the space between the acute angle portions of each ink pressure chamber, it is possible to improve the packaging density of the ink pressure chambers.
【0007】また、請求項2に係るインクジェットプリ
ンタヘッドは、請求項1に記載のインクジェットプリン
タヘッドにおいて、前記圧電シートは、複数の圧電層を
積層した積層体から構成されていることを特徴とする。
An ink jet printer head according to a second aspect of the present invention is the ink jet printer head according to the first aspect, wherein the piezoelectric sheet is composed of a laminated body in which a plurality of piezoelectric layers are laminated. .
【0008】このような特徴を有する請求項2に係るイ
ンクジェットプリンタヘッドでは、請求項1に記載のイ
ンクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電シート
は、複数の圧電層を積層した積層体から構成されている
ため、各圧電層に印可する電界を変化させることによっ
て、圧電層が単層の場合に比べて厚さ方向に大きな撓み
を発生させることができる。このため、圧電シートにお
いて、このような厚さ方向に撓みを発生させる圧電シー
トの部位の占める面積が狭くても所望のインク量を吐出
することができるので、インク圧力室の実装密度を更に
向上させることができる。
According to a second aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to the first aspect, the piezoelectric sheet is composed of a laminated body in which a plurality of piezoelectric layers are laminated. By changing the electric field applied to each piezoelectric layer, it is possible to generate a large deflection in the thickness direction as compared with the case where the piezoelectric layer is a single layer. Therefore, in the piezoelectric sheet, a desired ink amount can be ejected even if the area occupied by the portion of the piezoelectric sheet that causes such bending in the thickness direction is small, so that the packaging density of the ink pressure chambers is further improved. Can be made.
【0009】また、請求項3に係るインクジェットプリ
ンタヘッドは、請求項1又は請求項2に記載のインクジ
ェットプリンタヘッドにおいて、前記キャビティプレー
トには複数のインク圧力室が形成されると共に、前記圧
電シートには複数の駆動電極が形成され、前記圧電シー
トは、各駆動電極がそれぞれ個別のインク圧力室に対向
するように、前記キャビティプレートに積層されている
ことを特徴とする。
An ink jet printer head according to a third aspect is the ink jet printer head according to the first or second aspect, wherein a plurality of ink pressure chambers are formed in the cavity plate and the piezoelectric sheet is provided. Is formed with a plurality of drive electrodes, and the piezoelectric sheet is laminated on the cavity plate such that each drive electrode faces an individual ink pressure chamber.
【0010】このような特徴を有する請求項3に係るイ
ンクジェットプリンタヘッドでは、請求項1又は請求項
2に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前
記圧電シートは、キャビティプレートに形成される複数
の各インク圧力室に対向するように駆動電極が形成され
ている。このため、キャビティプレートへの圧電シート
の積層方向に、各駆動電極も対応するインク圧力室に対
して積層されるので、インク圧力室の高い実装密度を維
持したままインクジェットプリンタヘッドを構成するこ
とができる。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the ink jet printer head according to the first or second aspect, wherein the piezoelectric sheet has a plurality of ink pressures formed on the cavity plate. A drive electrode is formed so as to face the chamber. For this reason, since each drive electrode is also laminated with respect to the corresponding ink pressure chamber in the lamination direction of the piezoelectric sheet on the cavity plate, the ink jet printer head can be configured while maintaining a high packaging density of the ink pressure chamber. it can.
【0011】また、請求項4に係るインクジェットプリ
ンタヘッドは、請求項2又は請求項3に記載のインクジ
ェットプリンタヘッドにおいて、前記積層体の内部の圧
電層には、前記インク圧力室の形状に対応する略菱形形
状を有すると共に、各インク圧力室に対向して配置され
る内部電極が形成されており、前記駆動電極と前記内部
電極とを電気的に接続するスルーホールが形成されてい
ることを特徴とする。
An ink jet printer head according to a fourth aspect is the ink jet printer head according to the second or third aspect, wherein the piezoelectric layer inside the laminate corresponds to the shape of the ink pressure chamber. An internal electrode having a substantially rhombic shape and arranged to face each ink pressure chamber is formed, and a through hole electrically connecting the drive electrode and the internal electrode is formed. And
【0012】このような特徴を有する請求項4に係るイ
ンクジェットプリンタヘッドでは、請求項2又は請求項
3に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前
記積層体の内部の圧電層には、前記インク圧力室の形状
に対応する略菱形形状を有すると共に、各インク圧力室
に対向して配置される内部電極が形成されている。ま
た、この内部電極と駆動電極とはスルホールによって電
気的に接続されている。これにより、内部電極と駆動電
極とがスルーホールにより厚さ方向に沿って電気的に接
続されるため、該内部電極から配線を引き出すスペース
をインク圧力室間に設ける必要がなく、インク圧力室の
実装密度の向上を図ることができる。また、内部電極と
駆動電極とがスルーホールによって厚さ方向に沿って電
気的に接続されるため、厚さ方向に撓みを発生させる積
層体の部位の占める面積が狭くても所望のインク量を吐
出することができるので、インク圧力室の実装密度を確
実に向上することができる。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the ink jet printer head according to the second or third aspect, wherein the piezoelectric layer inside the laminate has the ink pressure chamber of the ink pressure chamber. An internal electrode is formed which has a substantially rhombic shape corresponding to the shape and is arranged to face each ink pressure chamber. Further, the internal electrode and the drive electrode are electrically connected by a through hole. As a result, since the internal electrode and the drive electrode are electrically connected to each other through the through hole in the thickness direction, it is not necessary to provide a space for drawing the wiring from the internal electrode between the ink pressure chambers, and The packaging density can be improved. Further, since the internal electrodes and the drive electrodes are electrically connected to each other through the through-holes in the thickness direction, a desired ink amount can be obtained even if the area occupied by the layered body that causes the bending in the thickness direction is small. Since the ink can be ejected, the packaging density of the ink pressure chambers can be reliably improved.
【0013】また、請求項5に係るインクジェットプリ
ンタヘッドは、請求項4に記載のインクジェットプリン
タヘッドにおいて、前記スルーホールは、前記矢印形状
のランドパターンに形成されていることを特徴とする。
An ink jet printer head according to a fifth aspect is the ink jet printer head according to the fourth aspect, wherein the through hole is formed in the land pattern having the arrow shape.
【0014】このような特徴を有する請求項5に係るイ
ンクジェットプリンタヘッドでは、請求項4に記載のイ
ンクジェットプリンタヘッドにおいて、前記積層体には
内部電極が形成されており、前記矢印形状のランドパタ
ーンには、前記内部電極と電気的に接続するスルーホー
ルが形成されている。これにより、内部電極とランドパ
ターンとがスルーホールにより厚さ方向に沿って電気的
に接続されるため、該内部電極から配線を引き出すスペ
ースをインク圧力室間に設ける必要がなく、インク圧力
室の実装密度の向上を図ることができる。また、内部電
極とランドパターンとが矢印形状のランドパターンに形
成されたスルーホールによって電気的に接続されるた
め、積層体の厚さ方向に撓みを発生させる部位に対応す
る駆動電極の面積が、スルーホールが形成されることで
減少することがないので、所望のインク量を吐出させる
ために、この減少した電極面積を補うことで駆動電極の
見かけの占有面積を広くする必要がない。これにより、
インク圧力室の高い実装密度をより確実に維持すること
ができる。
According to a fifth aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to the fourth aspect, internal electrodes are formed on the laminated body to form the arrow-shaped land pattern. Has a through hole electrically connected to the internal electrode. As a result, since the internal electrode and the land pattern are electrically connected to each other through the through hole in the thickness direction, it is not necessary to provide a space for drawing the wiring from the internal electrode between the ink pressure chambers. The packaging density can be improved. Further, since the internal electrode and the land pattern are electrically connected by the through hole formed in the arrow-shaped land pattern, the area of the drive electrode corresponding to the portion that causes bending in the thickness direction of the laminated body is Since the through hole is not reduced by forming it, it is not necessary to increase the apparent occupied area of the drive electrode by compensating for the reduced electrode area in order to eject a desired ink amount. This allows
The high packing density of the ink pressure chambers can be maintained more reliably.
【0015】更に、請求項6に係るインクジェットプリ
ンタヘッドは、請求項4又は請求項5に記載のインクジ
ェットプリンタヘッドにおいて、前記内部電極と電気的
に接続するスルーホールは、導電性材料により充填され
ることを特徴とする。
Furthermore, an ink jet printer head according to a sixth aspect is the ink jet printer head according to the fourth or fifth aspect, wherein the through holes electrically connected to the internal electrodes are filled with a conductive material. It is characterized by
【0016】このような特徴を有する請求項6に係るイ
ンクジェットプリンタヘッドでは、請求項4又は請求項
5に記載のインクジェットプリンタヘッドにおいて、前
記内部電極と電気的に接続する矢印形状のランドパター
ンに形成されたスルーホールは、導電性材料により充填
されるため、内部電極とランドパターンとが確実に電気
的に接続されると共に、フレキシブルプリント配線板
(FPC:Flexible Printed Circuit)のランド部に対
する内部電極の電気的接合を確実に行うことができる。
According to a sixth aspect of the ink jet printer head having such a feature, in the ink jet printer head according to the fourth or fifth aspect, an arrow-shaped land pattern electrically connected to the internal electrodes is formed. Since the formed through holes are filled with the conductive material, the internal electrodes and the land pattern are surely electrically connected to each other, and the internal electrodes of the flexible printed wiring board (FPC: Flexible Printed Circuit) are connected to the land portions. The electrical connection can be reliably performed.
【0017】[0017]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るインクジェッ
トプリンタヘッドを具体化した一実施形態を図面に基づ
き説明する。先ず、本実施形態に係るインクジェットプ
リンタヘッドの概略構成について図1乃至図4に基づき
説明する。図1は本実施形態に係るインクジェットプリ
ンタヘッドの分解斜視図である。図2は本実施形態に係
るインクジェットプリンタヘッドの圧電シートとキャビ
ティプレートとの要部分解斜視図である。図3は本実施
形態に係るインクジェットプリンタヘッドのインク圧力
室と駆動電極との概略構成を示す図で、(A)は平面
図、(B)は縦断面図である。図4は本実施形態に係る
インクジェットプリンタヘッドの圧電シート上に形成さ
れる駆動電極の配置構成を模式的に示す要部拡大斜視図
である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of an ink jet printer head according to the present invention will be described below with reference to the drawings. First, a schematic configuration of the inkjet printer head according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 4. FIG. 1 is an exploded perspective view of an inkjet printer head according to this embodiment. FIG. 2 is an exploded perspective view of essential parts of the piezoelectric sheet and the cavity plate of the inkjet printer head according to the present embodiment. 3A and 3B are views showing a schematic configuration of an ink pressure chamber and a drive electrode of the inkjet printer head according to the present embodiment, FIG. 3A is a plan view, and FIG. FIG. 4 is an enlarged perspective view of an essential part schematically showing the arrangement configuration of the drive electrodes formed on the piezoelectric sheet of the inkjet printer head according to the present embodiment.
【0018】図1乃至図4に示すように、インクジェッ
トプリンタヘッド1は、略長方形に形成された薄い金属
板の積層構造からなるキャビティプレート2の上に、平
面視略台形状若しくは略平行四辺形状のプレート型の5
枚の各圧電シート20、20、20、20、20が互い
に隣接した状態で積層された構造となっている。また、
キャビティプレート2の表面には、ほぼ菱形形状に形成
されたインク圧力室19Aが要求される印字密度に対応
して複数列配列されている。また、この複数列の各イン
ク圧力室19Aは、このインク圧力室19Aの鋭角部を
互いに他の列のインク圧力室19A間に入り込ませるよ
うに高密度に配置されている。
As shown in FIGS. 1 to 4, an ink jet printer head 1 has a substantially trapezoidal shape in plan view or a substantially parallelogram shape in plan view on a cavity plate 2 having a laminated structure of thin metal plates formed in a substantially rectangular shape. Plate type 5
Each of the piezoelectric sheets 20, 20, 20, 20, 20 has a structure in which they are laminated in a state of being adjacent to each other. Also,
On the surface of the cavity plate 2, a plurality of rows of ink pressure chambers 19A formed in a substantially rhombic shape are arranged corresponding to a required printing density. Further, the ink pressure chambers 19A in the plurality of rows are arranged at a high density so that the acute-angled portions of the ink pressure chambers 19A are inserted between the ink pressure chambers 19A in the other rows.
【0019】また、キャビティプレート2は、略長方形
の金属板の板材を9枚積層した9層構造になっている。
具体的には、キャビティプレート2は、図3(B)に示
すように、下層から、ノズルプレート11、カバープレ
ート12、第一マニホールドプレート13、第二マニホ
ールドプレート14、第三マニホールドプレート15、
サプライプレート16、アパーチャプレート17、スペ
ーサプレート18及びベースプレート19の9枚の薄い
金属板を積層した構造となっている。また、図1に示す
ように、キャビティプレート2の長手方向の両端縁部に
は、インクが供給される各フィルタ孔19B、19Bが
形成され、この各フィルタ孔19B、19Bには、イン
ク内のゴミが侵入するのを防ぐための微細な貫通孔が多
数形成される各フィルタ21、21が積層されている。
The cavity plate 2 has a nine-layer structure in which nine substantially rectangular metal plate members are laminated.
Specifically, as shown in FIG. 3 (B), the cavity plate 2 includes a nozzle plate 11, a cover plate 12, a first manifold plate 13, a second manifold plate 14, a third manifold plate 15, from the lower layer.
It has a structure in which nine thin metal plates of a supply plate 16, an aperture plate 17, a spacer plate 18, and a base plate 19 are laminated. Further, as shown in FIG. 1, filter holes 19B and 19B to which ink is supplied are formed at both end portions in the longitudinal direction of the cavity plate 2, and these filter holes 19B and 19B are filled with ink inside the ink. The filters 21, 21 each having a plurality of fine through holes for preventing dust from entering are stacked.
【0020】また、図3に示すように、ノズルプレート
11には、微小径のインク噴出用のノズル11Aが、多
数個穿設されている。また、カバープレート12には、
各ノズル11Aに対向する位置に該ノズル11Aに連通
した微小径のインクの通路である貫通孔12Aが多数穿
設されると共に、各マニホールドプレート13、14、
15によって形成される後述のインクマニホールド通路
の1つの壁面を構成している。
As shown in FIG. 3, the nozzle plate 11 is provided with a large number of minute nozzles 11A for ejecting ink. In addition, the cover plate 12 includes
A large number of through holes 12A, which are passages of ink of a small diameter, which communicate with the nozzles 11A, are formed at positions facing the nozzles 11A, and the manifold plates 13, 14 are provided.
It constitutes one wall surface of an ink manifold passage described later formed by 15.
【0021】また、第1マニホールドプレート13に
は、前記貫通孔12Aに対向する位置に該貫通孔12A
に連通した微小径のインクの通路である貫通孔13Aが
多数穿設されると共に、前記インクマニホールド通路を
構成する溝状の孔部13Bが長手方向に沿って延びるよ
うに各インク圧力室19Aの各列に沿って複数列形成さ
れている。
In the first manifold plate 13, the through hole 12A is provided at a position facing the through hole 12A.
A large number of through holes 13A, which are passages of a minute diameter ink communicating with the ink pressure chambers 19A of the ink pressure chambers 19A, are formed so that the groove-like holes 13B constituting the ink manifold passages extend in the longitudinal direction. Multiple rows are formed along each row.
【0022】また、第2マニホールドプレート14に
は、前記貫通孔13Aに対向する位置に該貫通孔13A
に連通した微小径のインクの通路である貫通孔14Aが
多数穿設されると共に、前記インクマニホールド通路を
構成する溝状の孔部14Bが長手方向に沿って延びるよ
うに各インク圧力室19Aの各列に沿って複数列形成さ
れている。
The second manifold plate 14 has a through hole 13A at a position facing the through hole 13A.
A large number of through-holes 14A, which are passages of ink having a small diameter, are formed in the ink pressure chambers 19A so that the groove-shaped holes 14B forming the ink manifold passages extend in the longitudinal direction. Multiple rows are formed along each row.
【0023】また、第3マニホールドプレート15に
は、前記貫通孔14Aに対向する位置に該貫通孔14A
に連通した微小径のインクの通路である貫通孔15Aが
多数穿設されると共に、前記インクマニホールド通路を
構成する溝状の孔部15Bが長手方向に沿って延びるよ
うに各インク圧力室19Aの各列に沿って複数列形成さ
れている。
The third manifold plate 15 has a through hole 14A at a position facing the through hole 14A.
A large number of through-holes 15A, which are passages of ink having a minute diameter, are formed in the ink pressure chambers 19A so that the groove-like holes 15B forming the ink manifold passages extend in the longitudinal direction. Multiple rows are formed along each row.
【0024】また、サプライプレート16には、前記貫
通孔15Aに対向する位置に該貫通孔15Aに連通した
微小径のインクの通路である貫通孔16Aが多数穿設さ
れている。また、このサプライプレート16の貫通孔1
6Aに対して上記インク圧力室19Aの鋭角部と反対の
対角線方向で、かつ、前記孔部15Bの側端縁部の近傍
位置(図3(B)中、右側端縁部の近傍位置)には、イ
ンクマニホールド通路に連通してインクの供給通路を形
成する貫通孔16Bが多数穿設されている。
Further, the supply plate 16 is provided with a large number of through holes 16A which are passages of ink having a small diameter and which communicate with the through holes 15A, at positions facing the through holes 15A. In addition, the through hole 1 of the supply plate 16
6A in a diagonal direction opposite to the acute angle portion of the ink pressure chamber 19A and in the vicinity of the side edge portion of the hole 15B (in the vicinity of the right edge portion in FIG. 3B). Has a large number of through holes 16B which communicate with the ink manifold passage and form an ink supply passage.
【0025】ここで、図3(B)に示すように、カバー
プレート12の上面部、溝状の各孔部13B、14B、
15B、及びサプライプレート16の底面部によって構
成され、インクを各インク圧力室19Aに供給する共通
のインク室として働くインクマニホールド通路が長手方
向に複数列形成されいてる。
Here, as shown in FIG. 3B, the upper surface of the cover plate 12, the groove-shaped holes 13B and 14B,
15B and the bottom surface of the supply plate 16, and a plurality of rows of ink manifold passages are formed in the longitudinal direction that serve as a common ink chamber that supplies ink to each ink pressure chamber 19A.
【0026】また、アパーチャプレート17には、前記
貫通孔16Aに連通した微小径のインクの通路である貫
通孔17Aが多数穿設されている。また、このアパーチ
ャプレート17には、各インク圧力室19Aのインク供
給側の鋭角部の下側の位置に貫通孔17Bが穿設される
と共に、該貫通孔17Bの下端部から前記貫通孔16B
に対向する位置まで溝状の凹部であるアパーチャ部17
Cが底面部に形成されている。このアパーチャ部17C
は、アパーチャプレート17の厚みの約半分程度の深さ
の溝に形成されている。
Further, the aperture plate 17 is provided with a large number of through holes 17A which are passages of ink having a minute diameter and which communicate with the through holes 16A. Further, the aperture plate 17 is provided with a through hole 17B at a position below the acute angle portion on the ink supply side of each ink pressure chamber 19A, and the through hole 16B is formed from the lower end portion of the through hole 17B.
Aperture portion 17 which is a groove-shaped recess up to the position facing
C is formed on the bottom surface. This aperture part 17C
Is formed in a groove having a depth of about half the thickness of the aperture plate 17.
【0027】また、スペーサプレート18には、前記各
貫通孔17Aに連通する貫通孔18Aが多数穿設されて
いる。また、スペーサプレート18には、前記各貫通孔
17Bに連通する貫通孔18Bが多数穿設されている。
Further, the spacer plate 18 is provided with a large number of through holes 18A communicating with the respective through holes 17A. Further, the spacer plate 18 is provided with a large number of through holes 18B communicating with the through holes 17B.
【0028】また、ベースプレート19には、略菱形形
状のインク圧力室19Aが多数形成されている。また、
前記スペーサプレート18に穿設された各貫通孔18
A、18Bは、インク圧力室19Aの各鋭角部に対向す
るように配置されている。そして、この各インク圧力室
19Aの上面部は、上側に積層される各圧電シート2
0、20、20、20、20によって塞がれている。
Further, the base plate 19 is provided with a large number of substantially rhombic ink pressure chambers 19A. Also,
Through holes 18 formed in the spacer plate 18
A and 18B are arranged so as to face each acute angle portion of the ink pressure chamber 19A. The upper surface of each ink pressure chamber 19A has a piezoelectric sheet 2 laminated on the upper side.
It is blocked by 0, 20, 20, 20, 20.
【0029】また、圧電シート20の上面部には、各イ
ンク圧力室19Aに対応する位置に前記菱形のインク圧
力室19Aの投影形状よりも少し小さいほぼ相似形の略
菱形形状を有する駆動電極20Aが形成されている。ま
た、図3(A)に示すように、インク圧力室19Aのイ
ンク供給側の鋭角部に対応する該駆動電極20Aの鋭角
部から連続して矢印形状のランドパターン20Bが形成
されている。
Further, on the upper surface portion of the piezoelectric sheet 20, a drive electrode 20A having a substantially rhombic shape which is slightly similar to the projected shape of the rhombic ink pressure chamber 19A is provided at a position corresponding to each ink pressure chamber 19A. Are formed. Further, as shown in FIG. 3A, an arrow-shaped land pattern 20B is formed continuously from the acute angle portion of the drive electrode 20A corresponding to the acute angle portion of the ink pressure chamber 19A on the ink supply side.
【0030】次に、圧電シート20の概略構造及び該圧
電シート20と電源回路部(不図示)から延設されるフ
レキシブルプリント配線板(FPC)との電気的な接続
構造について図5及び図6に基づいて説明する。図5は
本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッド1の圧
電シート20の要部拡大縦断面図である。図6は本実施
形態に係るインクジェットプリンタヘッド1の圧電シー
ト20の内部の電気接続構造を模式的に示す分解斜視図
である。図5及び図6に示すように、圧電シート20
は、5枚の第1圧電層21、第2圧電層22、第3圧電
層23、第4圧電層24、及び第5圧電層25を積層し
た構造に形成されている。また、第1圧電層21の上面
部には、上記のように各インク圧力室19Aに対応する
位置に該インク圧力室19Aの投影形状よりも少し小さ
いほぼ相似形の略菱形の駆動電極20Aと、該駆動電極
20Aの鋭角部から連続して形成される矢印形状のラン
ドパターン20Bが形成されている。また、各ランドパ
ターン20Bの略中央部には、貫通孔20Cが穿設され
ている。
Next, a schematic structure of the piezoelectric sheet 20 and an electrical connection structure between the piezoelectric sheet 20 and a flexible printed wiring board (FPC) extending from a power supply circuit section (not shown) will be described with reference to FIGS. 5 and 6. It will be described based on. FIG. 5 is an enlarged vertical cross-sectional view of a main part of the piezoelectric sheet 20 of the inkjet printer head 1 according to this embodiment. FIG. 6 is an exploded perspective view schematically showing the electrical connection structure inside the piezoelectric sheet 20 of the inkjet printer head 1 according to this embodiment. As shown in FIGS. 5 and 6, the piezoelectric sheet 20
Is formed in a structure in which five first piezoelectric layers 21, second piezoelectric layers 22, third piezoelectric layers 23, fourth piezoelectric layers 24, and fifth piezoelectric layers 25 are laminated. Further, on the upper surface portion of the first piezoelectric layer 21, the substantially rhombic drive electrode 20A having a substantially similar shape slightly smaller than the projected shape of the ink pressure chamber 19A is provided at the position corresponding to each ink pressure chamber 19A as described above. An arrow-shaped land pattern 20B is formed continuously from the acute angle portion of the drive electrode 20A. Further, a through hole 20C is formed in the substantially central portion of each land pattern 20B.
【0031】また、第2圧電層22は、前記貫通孔20
Cに対向する位置に貫通孔22Aが多数穿設されてい
る。そして、この第2圧電層22の上面部には、各貫通
孔22Aの上端周縁部の近傍位置を除く、ほぼ全面に渡
ってコモン電極22Bが形成されている。また、このコ
モン電極22Bの端部は、第2圧電層22の側面端部に
露出するように形成されている。
The second piezoelectric layer 22 has the through hole 20.
A large number of through holes 22A are formed at positions facing C. Then, on the upper surface of the second piezoelectric layer 22, a common electrode 22B is formed over almost the entire surface, except for the position near the upper edge of each through hole 22A. Further, the end portion of the common electrode 22B is formed so as to be exposed at the side surface end portion of the second piezoelectric layer 22.
【0032】また、第3圧電層23の上面部には、前記
各駆動電極20A及びランドパターン20Bに対応する
位置に、該駆動電極20A及びランドパターン20Bと
ほぼ同じ形状の内部電極23Aが多数形成されている。
A large number of internal electrodes 23A having substantially the same shape as the drive electrodes 20A and the land patterns 20B are formed on the upper surface of the third piezoelectric layer 23 at positions corresponding to the drive electrodes 20A and the land patterns 20B. Has been done.
【0033】また、第4圧電層24の上面部には、ほぼ
全面に渡ってコモン電極24Aが形成されている。ま
た、このコモン電極24Aの端部は、第4圧電層24の
側面端部に露出するように形成されている。
A common electrode 24A is formed on the upper surface of the fourth piezoelectric layer 24 over almost the entire surface. Further, the end portion of the common electrode 24A is formed so as to be exposed at the side surface end portion of the fourth piezoelectric layer 24.
【0034】また、第5圧電層25の上面部には、電極
は形成されていない。ここで、第1圧電層21の各貫通
孔20Cと第2圧電層22の各貫通孔22Aとは連通し
て、各スルーホール30が形成され、該各スルーホール
30内に導電性材料(例えば、タングステンやモリブデ
ン等)が充填されている。これにより、各ランドパター
ン20Bと各内部電極23Aとは、該スルーホール30
を介して電気的に接続されている。
No electrode is formed on the upper surface of the fifth piezoelectric layer 25. Here, each through hole 20C of the first piezoelectric layer 21 and each through hole 22A of the second piezoelectric layer 22 are communicated with each other to form each through hole 30, and a conductive material (for example, a conductive material) is formed in each through hole 30. , Tungsten, molybdenum, etc.). As a result, each land pattern 20B and each internal electrode 23A is connected to the through hole 30.
Are electrically connected via.
【0035】また、図5に示すように、圧電シート20
の上面部には、不図示の電源回路部から延設されるフレ
キシブルプリント配線板(FPC)32が配設される。
このFPC32は、各ランドパターン20Bに対向する
位置まで配線された銅箔より構成される導体部33と、
これら導体部33の上面部に接着されるベースフィルム
34と、これら導体部33の下面部に接着されるカバー
フィルム35とから構成されている。また、このカバー
フィルム35の各ランドパターン20Bに対向する位
置、即ち各導体部33の端縁部には、貫通孔35Aが多
数穿設されている。そして、導体部33の各貫通孔35
Aに対応する部分には、各ランドパターン20Bに接続
するための予備半田36が形成されている。従って、各
予備半田36を各ランドパターン20Bに重ね合わせ
て、半田付けすることにより、各導体部33とランドパ
ターン20Bとが接合されると共に、スルーホール30
を介して各導体部33と各内部電極23Aとが電気的に
接続される。
As shown in FIG. 5, the piezoelectric sheet 20 is used.
A flexible printed wiring board (FPC) 32 extending from a power circuit section (not shown) is disposed on the upper surface of the.
The FPC 32 includes a conductor portion 33 made of copper foil wired up to a position facing each land pattern 20B,
The base film 34 is adhered to the upper surfaces of the conductors 33, and the cover film 35 is adhered to the lower surfaces of the conductors 33. In addition, a large number of through holes 35A are formed in the cover film 35 at positions facing the respective land patterns 20B, that is, at the edge portions of the conductor portions 33. Then, each through hole 35 of the conductor portion 33
Preliminary solder 36 for connecting to each land pattern 20B is formed in a portion corresponding to A. Therefore, the conductor portions 33 and the land patterns 20B are bonded to each other and the through holes 30 are formed by superimposing and soldering the preliminary solders 36 on the respective land patterns 20B.
Each conductor part 33 and each internal electrode 23A are electrically connected via.
【0036】上記のように構成された第1乃至第5圧電
層21、22、23、24、25の内、FPC32を介
して第1圧電層21の駆動電極20A及び第3圧電層2
3の内部電極23Aと、第2圧電層22のコモン電極2
2B及び第4圧電層24のコモン電極24Aとの間に駆
動電圧を印可することにより、第1乃至第5圧電層2
1、22、23、24、25が変形して、キャビティプ
レート2の対応するインク圧力室19A内のインクに圧
力を加えることができる。
Of the first to fifth piezoelectric layers 21, 22, 23, 24, 25 configured as described above, the drive electrode 20A of the first piezoelectric layer 21 and the third piezoelectric layer 2 via the FPC 32.
Internal electrode 23A of No. 3 and the common electrode 2 of the second piezoelectric layer 22
2B and the common electrode 24A of the fourth piezoelectric layer 24, by applying a drive voltage, the first to fifth piezoelectric layers 2
1, 22, 23, 24, 25 can be deformed to apply pressure to the ink in the corresponding ink pressure chamber 19A of the cavity plate 2.
【0037】よって、第1乃至第3圧電層21、22、
23の駆動電極20A及び内部電極23Aに対応した部
分が電圧印可時に撓む活性部を構成することになる。ま
た、第1乃至第5圧電層21、22、23、24、25
を焼成する場合に、圧電セラミックスと電極を構成する
金属材料では焼成した場合の収縮率が異なるので、シー
ト全体が反ったり波打ったりすることがある。第4及び
第5圧電層24、25は、焼成後に第1乃至第5圧電層
21、22、23、24、25が反ったり、あるいは波
打ったりしてその平面性が損なわれないようにするた
め、及び、第1乃至第3圧電層21、22、23の活性
部がインク圧力室19A方向へのみ変形するようにする
ための拘束層として機能する。
Therefore, the first to third piezoelectric layers 21, 22,
The portion of 23 corresponding to the drive electrode 20A and the internal electrode 23A constitutes an active portion that bends when a voltage is applied. In addition, the first to fifth piezoelectric layers 21, 22, 23, 24, 25
In the case of firing, since the shrinkage rate when firing is different between the piezoelectric ceramics and the metal material forming the electrodes, the entire sheet may be warped or corrugated. The fourth and fifth piezoelectric layers 24 and 25 prevent the flatness of the first to fifth piezoelectric layers 21, 22, 23, 24, 25 from being warped or corrugated after firing. Therefore, the active portions of the first to third piezoelectric layers 21, 22, and 23 function as a constraining layer for deforming only in the direction of the ink pressure chamber 19A.
【0038】次に、上記のように構成されるインクジェ
ットプリンタヘッド1の動作を図3に基づいて説明す
る。図3に示すように、カバープレート12の上面部、
溝状の各孔部13B、14B、15B、及びサプライプ
レート16の底面部から構成されるインクマニホールド
通路から供給されるインクは、貫通孔16B、アパーチ
ャ部17C、貫通孔17B及び貫通孔18Bを経て、イ
ンク圧力室19Aに流入する。そして、FPC32を介
してランドパターン20Bと各コモン電極22B、24
Aとの間に駆動電圧が印可されると、圧電シート20が
インク圧力室19A側に変形して、インク圧力室19A
内のインクは押し出され、各貫通孔18A、17A、1
6A、15A、14A、13A、12Aを経て、ノズル
11Aから吐出される。
Next, the operation of the ink jet printer head 1 configured as described above will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 3, the upper surface portion of the cover plate 12,
The ink supplied from the ink manifold passage constituted by the groove-shaped holes 13B, 14B, 15B and the bottom surface of the supply plate 16 passes through the through hole 16B, the aperture portion 17C, the through hole 17B and the through hole 18B. , Into the ink pressure chamber 19A. Then, the land pattern 20B and each of the common electrodes 22B and 24 via the FPC 32.
When a drive voltage is applied between the piezoelectric sheet 20 and A, the piezoelectric sheet 20 is deformed to the ink pressure chamber 19A side, and the ink pressure chamber 19A
The ink in the inside is pushed out, and each through hole 18A, 17A, 1
It is discharged from the nozzle 11A through 6A, 15A, 14A, 13A and 12A.
【0039】以上詳細に説明した通り、本実施形態のイ
ンクジェットプリンタヘッド1においては、キャビティ
プレート2は、9枚の薄い金属板から形成される各プレ
ート11〜19を積層した構造となっている。また、ベ
ースプレート19には、略菱形形状のインク圧力室19
Aが多数形成されている。そして、この各インク圧力室
19Aの上面部は、上側に積層される各圧電シート2
0、20、20、20、20によって塞がれている。ま
た、この圧電シート20は、5枚の第1乃至第5圧電層
21、22、23、24、25を積層した構造となって
いる。また、第1圧電層21の各インク圧力室19Aに
対応する位置には、相似形状の略菱形形状の駆動電極2
0Aが形成されている。なお、駆動電極20Aの形状と
しては鋭角部をもてばよく、平行四辺形もこの略菱形形
状に含まれるものである。また、駆動電極20Aの鋭角
部から連続して矢印形状のランドパターン20Bが形成
されている。また、第3圧電層23の各駆動電極20A
及びランドパターン20Bに対応する位置には、ほぼ同
形状の内部電極23Aが多数形成されている。そして、
ランドパターン20Bと内部電極23Aとは、導電性材
料によって充填されるスルーホール30を介して電気的
に接合されている。また、第2及び第4圧電層22、2
4の上面部には、各コモン電極22B、24Aが形成さ
れている。そして、FPC32を介してランドパターン
20Bに駆動電圧が印可されると、圧電シート20の駆
動電極20A及び内部電極23Aに対応する部位に形成
される活性部が変形して、インク圧力室19A内のイン
クが吐出される。
As described in detail above, in the ink jet printer head 1 of this embodiment, the cavity plate 2 has a structure in which the plates 11 to 19 formed of nine thin metal plates are laminated. In addition, the base plate 19 has a substantially rhombus-shaped ink pressure chamber 19
Many A are formed. The upper surface of each ink pressure chamber 19A has a piezoelectric sheet 2 laminated on the upper side.
It is blocked by 0, 20, 20, 20, 20. The piezoelectric sheet 20 has a structure in which five first to fifth piezoelectric layers 21, 22, 23, 24 and 25 are laminated. In addition, at positions corresponding to the ink pressure chambers 19A of the first piezoelectric layer 21, the drive electrodes 2 having a similar rhombic shape are formed.
0A is formed. The drive electrode 20A may have an acute angle portion, and a parallelogram is also included in this substantially rhombic shape. Further, an arrow-shaped land pattern 20B is formed continuously from the acute angle portion of the drive electrode 20A. Further, each drive electrode 20A of the third piezoelectric layer 23
A large number of internal electrodes 23A having substantially the same shape are formed at the positions corresponding to the land patterns 20B. And
The land pattern 20B and the internal electrode 23A are electrically connected to each other through a through hole 30 filled with a conductive material. Also, the second and fourth piezoelectric layers 22, 2
Common electrodes 22B and 24A are formed on the upper surface of No. 4. Then, when a drive voltage is applied to the land pattern 20B via the FPC 32, the active portion formed at a portion corresponding to the drive electrode 20A and the internal electrode 23A of the piezoelectric sheet 20 is deformed and the inside of the ink pressure chamber 19A is deformed. Ink is ejected.
【0040】従って、複数列の各インク圧力室19Aの
鋭角部を互いに他の列のインク圧力室19A間に入り込
ませて配置した場合に、一のインク圧力室19Aに対向
して形成される駆動電極20Aの鋭角部から連続して矢
印形状のランドパターン20Bが形成されるため、該矢
印形状のランドパターン20Bの各斜辺部を、他のイン
ク圧力室19Aに対向して形成される駆動電極20Aの
各鋭角部の外側端縁部の斜辺部により近づけることが可
能となり、該ランドパターン20Bの広い面積を確保し
ているので、該ランドパターン20Bへの半田付けを確
実に行うことができる。また、各インク圧力室19Aの
鋭角部間のスペースを有効に活用してランドパターン2
0Bの半田付けに必要な面積を容易に確保することが可
能となるため、インク圧力室19Aの実装密度の向上を
図ることができる。更に、ランドパターン20Bが駆動
電極20Aの近傍に形成されるため、静電容量の増加を
防止することができる。尚、本実施形態で述べるインク
ジェットプリンタヘッド1において、仮に、駆動電極2
0Aあるいはランドパターン20Bから配線を引き出し
て、各電極が配設された領域外において、電源部と電気
的に接続されたFPC32と接合しようとした場合、各
駆動電極20Aあるいはランドパターン20Bへの配線
長が異なるとともに長くなるので、不必要に静電容量が
それぞれ異なる大きさで増えることになり、インク吐出
に対する応答特性が悪くなるとともに、バラツキも生じ
てしまうという不具合が発生してしまう。各電極に対す
る配線は、このように長く引き回すのは得策ではなく、
インクジェットプリンタヘッド1の駆動特性に悪影響を
及ぼすばかりでなく、配設のためのスペースも必要にな
ることから、高密度実装を実現するという面からも不利
である。
Therefore, when the acute-angled portions of the ink pressure chambers 19A in the plurality of rows are arranged so as to be inserted between the ink pressure chambers 19A in the other rows, the drive formed to face one ink pressure chamber 19A. Since the arrow-shaped land pattern 20B is continuously formed from the acute-angled portion of the electrode 20A, each oblique side of the arrow-shaped land pattern 20B is formed so as to face another ink pressure chamber 19A. Since it is possible to bring it closer to the hypotenuse of the outer edge of each acute angle portion and to secure a large area of the land pattern 20B, it is possible to reliably perform soldering to the land pattern 20B. In addition, the space between the acute-angled portions of each ink pressure chamber 19A is effectively utilized to make the land pattern 2
Since it is possible to easily secure the area required for soldering 0B, it is possible to improve the mounting density of the ink pressure chambers 19A. Furthermore, since the land pattern 20B is formed in the vicinity of the drive electrode 20A, it is possible to prevent an increase in capacitance. In the inkjet printer head 1 described in the present embodiment, the driving electrode 2
0A or the land pattern 20B, if wiring is to be joined to the FPC 32 that is electrically connected to the power source section outside the area where the electrodes are arranged, the wiring to the drive electrodes 20A or the land pattern 20B Since the lengths are different and the lengths are longer, the capacitances are unnecessarily increased in different sizes, and the response characteristics to ink ejection are deteriorated and variations occur. It is not a good idea to run the wiring for each electrode in this way,
Not only is the drive characteristic of the inkjet printer head 1 adversely affected, but a space for disposition is also required, which is disadvantageous in terms of realizing high-density mounting.
【0041】また、圧電シート20は、5枚の第1乃至
第5圧電層21、22、23、24、25を積層した構
造となっているため、第1乃至第3圧電層21、22、
23、即ち、厚さ方向の中心線に対して約半分の層の圧
電層の電界を変化させることによって、厚さ方向に大き
な撓みを発生させることができる。このため、圧電シー
ト20において、このような厚さ方向に撓みを発生させ
る活性部の占める面積が狭くても所望のインク量を吐出
することができるのでインク圧力室19Aの実装密度を
更に向上することができる。また、薄膜の第1乃至第5
圧電層21、22、23、24、25積層することによ
って単位静電容量に対する圧電素子の変形効率を高める
ことが可能となり、駆動電源回路の小型化及び低コスト
化を図ることもできる。
Since the piezoelectric sheet 20 has a structure in which five first to fifth piezoelectric layers 21, 22, 23, 24 and 25 are laminated, the first to third piezoelectric layers 21, 22,
23, that is, a large deflection can be generated in the thickness direction by changing the electric field of the piezoelectric layer of about half the layer with respect to the center line in the thickness direction. Therefore, in the piezoelectric sheet 20, a desired ink amount can be ejected even if the area occupied by the active portion that causes such bending in the thickness direction is small, and thus the mounting density of the ink pressure chambers 19A is further improved. be able to. In addition, the first to fifth thin films
By stacking the piezoelectric layers 21, 22, 23, 24, 25, it is possible to increase the deformation efficiency of the piezoelectric element with respect to the unit capacitance, and it is possible to reduce the size and cost of the drive power supply circuit.
【0042】また、キャビティプレート2の各インク圧
力室19Aに渡って所定形状の圧電シート20を積層す
ることにより、キャビティプレート2の各インク圧力室
19A内のインクに個別に圧力を加えることができるた
め、組立工数の削減化及び製造コストの低廉化を図るこ
とができる。また、略長方形のキャビティプレート2の
上面部を5枚の圧電シート20、20、20、20、2
0、20によって塞ぐため、各圧電シート20の寸法の
小型化が図れて、焼成後の寸法精度を高精度化すること
ができる。もちろん、キャビティプレート2への圧電シ
ート20の積層方向に、各駆動電極20Aも対応するイ
ンク圧力室19Aに対して積層されるので、インク圧力
室19Aの高い実装密度を維持したままインクジェット
プリンタヘッド1を構成することができる。
By stacking the piezoelectric sheets 20 having a predetermined shape over the ink pressure chambers 19A of the cavity plate 2, it is possible to individually apply pressure to the ink in each ink pressure chamber 19A of the cavity plate 2. Therefore, the number of assembling steps can be reduced and the manufacturing cost can be reduced. In addition, the upper surface of the substantially rectangular cavity plate 2 is provided with five piezoelectric sheets 20, 20, 20, 20, 2.
Since it is closed by 0 and 20, the size of each piezoelectric sheet 20 can be reduced, and the dimensional accuracy after firing can be improved. Of course, since the drive electrodes 20A are also stacked with respect to the corresponding ink pressure chambers 19A in the stacking direction of the piezoelectric sheet 20 on the cavity plate 2, the inkjet printer head 1 with the high mounting density of the ink pressure chambers 19A maintained. Can be configured.
【0043】また、内部電極23Aとランドパターン2
0Bとがスルーホール30により厚さ方向に沿って電気
的に接続されるため、該内部電極23Aから配線を引き
出すスペースをインク圧力室19A間に設ける必要がな
く、インク圧力室19Aの実装密度の向上を図ることが
できる。また、内部電極23Aとランドパターン20B
とがスルーホール30によって電気的に接続されるた
め、静電容量の不要な増加を防止することができる。な
お、スルーホール30は、必ずしもランドパターン20
Bの位置に設ける必要はなく、インク圧力室19Aの位
置に対応して配設されている駆動電極20Aと内部電極
23Aとを電気的に接続するように設けてもよい。ま
た、ランドパターン20Bのみをフレキシブルプリント
配線板(FPC)32に電気的に接続することができる
ため、圧電シート20の変形への影響を防止することが
できる。特に、ランドパターン20Bにスルーホール3
0を設けた場合、活性部を形成する駆動電極20Aの面
積のスルーホール30による減少がないので、この減少
分を補って見かけの電極面積を広くする必要がない。こ
れにより、インク圧力室19Aの高い実装密度を損なう
ことがない。
In addition, the internal electrode 23A and the land pattern 2
0B is electrically connected through the through hole 30 in the thickness direction, so that it is not necessary to provide a space for drawing the wiring from the internal electrode 23A between the ink pressure chambers 19A, and the mounting density of the ink pressure chambers 19A can be reduced. It is possible to improve. In addition, the internal electrode 23A and the land pattern 20B
Since and are electrically connected by the through hole 30, it is possible to prevent an unnecessary increase in capacitance. In addition, the through hole 30 is not necessarily the land pattern 20.
The drive electrode 20A and the internal electrode 23A, which are provided corresponding to the position of the ink pressure chamber 19A, may be provided so as to be electrically connected to each other, without being provided at the position B. Further, since only the land pattern 20B can be electrically connected to the flexible printed wiring board (FPC) 32, the influence on the deformation of the piezoelectric sheet 20 can be prevented. In particular, the through holes 3 are formed in the land pattern 20B.
When 0 is provided, there is no reduction in the area of the drive electrode 20A forming the active portion due to the through hole 30, so it is not necessary to compensate for this reduction and increase the apparent electrode area. As a result, the high mounting density of the ink pressure chamber 19A is not impaired.
【0044】更に、内部電極23Aと電気的に接続する
スルーホール30は、導電性材料により充填されるた
め、内部電極23Aとランドパターン20Bとが確実に
電気的に接続されると共に、フレキシブルプリント配線
板(FPC)32の予備半田36に対する内部電極23
Aの電気的接合を確実に行うことができる。
Further, since the through hole 30 electrically connected to the internal electrode 23A is filled with the conductive material, the internal electrode 23A and the land pattern 20B are surely electrically connected and the flexible printed wiring is provided. Internal electrode 23 for pre-solder 36 of plate (FPC) 32
The electrical connection of A can be reliably performed.
【0045】尚、本発明は前記実施形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の
改良、変形が可能であることは勿論である。例えば、前
記実施形態では、駆動電極20Aとランドパターン20
Bとは、ほぼインク圧力室19Aの投影形状内に形成さ
れていたが(図5参照)、図7に示すように、圧電シー
ト20の矢印形状のランドパターン41をインク圧力室
19Aの投影形状よりも外側の部分で、かつ、各インク
圧力室19Aの鋭角部の投影形状内に拡大して形成して
もよい。これにより、FPC32の予備半田部と各ラン
ドパターン41との電気的接合を更に確実に行うことが
できる。ここで、図7は他の実施形態に係るインクジェ
ットプリンタヘッドの圧電シート20上に形成される駆
動電極20Aの配置構成を模式的に示す要部拡大斜視図
である。尚、図7において、本実施形態に係るインクジ
ェットプリンタヘッド1と同一符号は、上記インクジェ
ットプリンタヘッド1と同一あるいは相当部分を示すも
のである。
The present invention is not limited to the above embodiment, and it goes without saying that various improvements and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, in the above embodiment, the drive electrode 20A and the land pattern 20 are used.
B is formed substantially within the projected shape of the ink pressure chamber 19A (see FIG. 5), but as shown in FIG. 7, the land pattern 41 in the shape of an arrow on the piezoelectric sheet 20 is projected onto the projected shape of the ink pressure chamber 19A. It may be formed on the outer side of the ink pressure chamber 19A by enlarging it within the projected shape of the acute angle portion of each ink pressure chamber 19A. As a result, the electrical connection between the preliminary solder portion of the FPC 32 and each land pattern 41 can be performed more reliably. Here, FIG. 7 is an enlarged perspective view of an essential part schematically showing the arrangement configuration of the drive electrodes 20A formed on the piezoelectric sheet 20 of the inkjet printer head according to another embodiment. In FIG. 7, the same reference numerals as those of the inkjet printer head 1 according to the present embodiment indicate the same or corresponding portions as the inkjet printer head 1.
【0046】[0046]
【発明の効果】以上説明した通り請求項1に係るインク
ジェットプリンタヘッドにおいては、キャビティプレー
トに設けられたインク圧力室は、略菱形形状に形成され
ている。また、このキャビティプレートに積層される圧
電シートには、各インク圧力室に対向して、該インク圧
力室の形状に対応する略菱形形状の駆動電極が形成され
ている。また、この各駆動電極には、その菱形形状の鋭
角部から連続して矢印形状のランドパターンが形成され
ている。これにより、複数列の各インク圧力室の鋭角部
が互いに他の列のインク圧力室間に入り込んだ状態で配
置されることになるので、一のインク圧力室に対向して
形成される駆動電極の鋭角部から連続して矢印形状のラ
ンドパターンが形成される。そのため、該矢印形状のラ
ンドパターンの各斜辺部を、他のインク圧力室に対向し
て形成される駆動電極の各鋭角部の外側端縁部の斜辺部
により近づけることが可能となり、該ランドパターンの
広い面積を確保して該ランドパターンへの半田付けを確
実に行うことができるインクジェットプリンタヘッドを
提供することができる。また、各インク圧力室の鋭角部
間のスペースを有効に活用してランドパターンの広い面
積を確保しているので、インク圧力室の実装密度の向上
を図ることができるインクジェットプリンタヘッドを提
供することができる。
As described above, in the ink jet printer head according to the first aspect, the ink pressure chamber provided in the cavity plate is formed in a substantially rhombic shape. Further, the piezoelectric sheet laminated on the cavity plate is provided with drive electrodes of a substantially rhombic shape corresponding to the shape of the ink pressure chambers, facing the respective ink pressure chambers. In addition, an arrow-shaped land pattern is continuously formed on each of the drive electrodes from the diamond-shaped acute-angled portion. As a result, since the acute-angled portions of the ink pressure chambers of the plurality of rows are arranged so as to be inserted between the ink pressure chambers of the other rows, the drive electrodes formed facing one ink pressure chamber. An arrow-shaped land pattern is formed continuously from the acute-angled portion. Therefore, it becomes possible to bring each hypotenuse portion of the arrow-shaped land pattern closer to the hypotenuse portion of the outer edge of each acute angle portion of the drive electrode formed facing the other ink pressure chamber. It is possible to provide an ink jet printer head which can secure a large area and reliably solder to the land pattern. Further, since a wide area of the land pattern is secured by effectively utilizing the space between the acute angle portions of each ink pressure chamber, it is possible to provide an inkjet printer head capable of improving the mounting density of the ink pressure chambers. You can
【0047】また、請求項2に係るインクジェットプリ
ンタヘッドにおいては、請求項1に記載のインクジェッ
トプリンタヘッドにおいて、前記圧電シートは、複数の
圧電層を積層した積層体から構成されているため、各圧
電層に印可する電界を変化させることによって、圧電層
が単層の場合に比べて厚さ方向に大きな撓みを発生させ
ることができる。このため、圧電シートにおいて、この
ような厚さ方向に撓みを発生させる圧電シートの部位の
占める面積が狭くても所望のインク量を吐出することが
できるので、インク圧力室の実装密度を更に向上させる
ことができるインクジェットプリンタヘッドを提供する
ことができる。
Further, in the ink jet printer head according to the second aspect, in the ink jet printer head according to the first aspect, since the piezoelectric sheet is composed of a laminated body in which a plurality of piezoelectric layers are laminated, each piezoelectric sheet. By changing the electric field applied to the layer, it is possible to generate a large deflection in the thickness direction as compared with the case where the piezoelectric layer is a single layer. Therefore, in the piezoelectric sheet, a desired ink amount can be ejected even if the area occupied by the portion of the piezoelectric sheet that causes such bending in the thickness direction is small, so that the packaging density of the ink pressure chambers is further improved. It is possible to provide an inkjet printer head capable of performing the above.
【0048】また、請求項3に係るインクジェットプリ
ンタヘッドにおいては、請求項1又は請求項2に記載の
インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電シー
トは、キャビティプレートに形成される複数の各インク
圧力室に対向するように駆動電極が形成されている。そ
して、この圧電シートは、各駆動電極が各インク圧力室
に対向するようにキャビティプレートに積層されて設け
られている。これにより、キャビティプレートの各イン
ク圧力室に渡って所定形状の圧電シートを積層すること
により、キャビティプレートの各インク圧力室内のイン
クに個別に圧力を加えることができる配置となるため、
インク圧力室の高い実装密度を維持したままインクジェ
ットプリンタヘッドを提供することができる。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the ink jet printer head according to the first or second aspect, wherein the piezoelectric sheet faces the plurality of ink pressure chambers formed in the cavity plate. The drive electrode is formed so that The piezoelectric sheet is provided so as to be laminated on the cavity plate so that each drive electrode faces each ink pressure chamber. As a result, by stacking the piezoelectric sheets having a predetermined shape across the ink pressure chambers of the cavity plate, the ink can be individually applied to the ink in the ink pressure chambers of the cavity plate.
It is possible to provide an inkjet printer head while maintaining a high packaging density of ink pressure chambers.
【0049】また、請求項4に係るインクジェットプリ
ンタヘッドにおいては、請求項2又は請求項3に記載の
インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記積層体の
内部の圧電層には、前記インク圧力室の形状に対応する
略菱形形状を有すると共に、各インク圧力室に対向して
配置される内部電極が形成されている。また、この内部
電極と駆動電極とはスルホールによって電気的に接続さ
れている。これにより、内部電極と駆動電極とがスルー
ホールにより厚さ方向に沿って電気的に接続されるた
め、該内部電極から配線を引き出すスペースをインク圧
力室間に設ける必要がなく、インク圧力室の実装密度の
向上を図ることができるインクジェットプリンタヘッド
を提供することができる。また、内部電極と駆動電極と
がスルーホールによって厚さ方向に沿って電気的に接続
されるため、積層体の厚さ方向に撓みを発生させる部位
の占める面積が狭くても所望のインク量を吐出すること
ができるので、インク圧力室の高い実装密度を確実に維
持できると共に向上することができるインクジェットプ
リンタヘッドを提供することができる。
According to a fourth aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to the second or third aspect, the piezoelectric layer inside the laminate corresponds to the shape of the ink pressure chamber. An internal electrode having a substantially rhombic shape is formed so as to be opposed to each ink pressure chamber. Further, the internal electrode and the drive electrode are electrically connected by a through hole. As a result, since the internal electrode and the drive electrode are electrically connected to each other through the through hole in the thickness direction, it is not necessary to provide a space for drawing the wiring from the internal electrode between the ink pressure chambers, and It is possible to provide an inkjet printer head capable of improving the packaging density. Further, since the internal electrodes and the drive electrodes are electrically connected by the through holes along the thickness direction, a desired ink amount can be obtained even if the area occupied by the portion that causes the bending in the thickness direction of the laminate is small. Since the ink can be ejected, it is possible to provide an inkjet printer head that can surely maintain a high packaging density of the ink pressure chambers and improve the density.
【0050】また、請求項5に係るインクジェットプリ
ンタヘッドにおいては、請求項4に記載のインクジェッ
トプリンタヘッドにおいて、前記積層体には内部電極が
形成されており、前記矢印形状のランドパターンには、
前記内部電極と電気的に接続するスルーホールが形成さ
れている。これにより、内部電極とランドパターンとが
スルーホールにより厚さ方向に沿って電気的に接続され
るため、該内部電極から配線を引き出すスペースをイン
ク圧力室間に設ける必要がなく、インク圧力室の実装密
度の向上を図ることができるインクジェットプリンタヘ
ッドを提供することができる。また、内部電極とランド
パターンとが矢印形状のランドパターンに形成されたス
ルーホールによって電気的に接続されるため、積層体の
厚さ方向に撓みを発生させる部位に対応する駆動電極の
面積が、スルーホールが形成されることで減少すること
がないので、所望のインク量を吐出させるために、この
減少した電極面積を補うことで駆動電極の見かけの占有
面積を広くする必要がない。これにより、インク圧力室
の高い実装密度をより確実に維持したインクジェットプ
リンタヘッドを提供することができる。
According to a fifth aspect of the present invention, in the ink jet printer head according to the fourth aspect, internal electrodes are formed on the laminate, and the land pattern in the shape of the arrow has
Through holes that are electrically connected to the internal electrodes are formed. As a result, since the internal electrode and the land pattern are electrically connected to each other through the through hole in the thickness direction, it is not necessary to provide a space for drawing the wiring from the internal electrode between the ink pressure chambers. It is possible to provide an inkjet printer head capable of improving the packaging density. Further, since the internal electrode and the land pattern are electrically connected by the through hole formed in the arrow-shaped land pattern, the area of the drive electrode corresponding to the portion that causes bending in the thickness direction of the laminated body is Since the through hole is not reduced by forming it, it is not necessary to increase the apparent occupied area of the drive electrode by compensating for the reduced electrode area in order to eject a desired ink amount. As a result, it is possible to provide an inkjet printer head in which the high packaging density of the ink pressure chambers is more reliably maintained.
【0051】更に、請求項6に係るインクジェットプリ
ンタヘッドにおいては、請求項4又は請求項5に記載の
インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記内部電極
と電気的に接続する矢印形状のランドパターンに形成さ
れたスルーホールは、導電性材料により充填されるた
め、内部電極とランドパターンとが確実に電気的に接続
されると共に、フレキシブルプリント配線板(FPC:
Flexible Printed Circuit)のランド部に対する内部電
極の電気的接合を確実に行うことができるインクジェッ
トプリンタヘッドを提供することができる。
Further, in the ink jet printer head according to a sixth aspect, in the ink jet printer head according to the fourth or fifth aspect, a through formed in an arrow-shaped land pattern electrically connected to the internal electrode is formed. Since the holes are filled with the conductive material, the internal electrodes and the land patterns are surely electrically connected and the flexible printed wiring board (FPC:
It is possible to provide an inkjet printer head capable of reliably electrically connecting the internal electrode to the land portion of the flexible printed circuit).
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図1】本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッ
ドの分解斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view of an inkjet printer head according to an embodiment.
【図2】本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッ
ドの圧電シートとキャビティプレートとの要部分解斜視
図である。
FIG. 2 is an exploded perspective view of essential parts of a piezoelectric sheet and a cavity plate of the inkjet printer head according to the present embodiment.
【図3】本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッ
ドのインク圧力室と駆動電極との概略構成を示す図で、
(A)は平面図、(B)は縦断面図である。
FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of an ink pressure chamber and a drive electrode of the inkjet printer head according to the present embodiment,
(A) is a plan view and (B) is a longitudinal sectional view.
【図4】本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッ
ドの圧電シート上に形成される駆動電極の配置構成を模
式的に示す要部拡大斜視図である。
FIG. 4 is an enlarged perspective view of an essential part schematically showing the arrangement configuration of drive electrodes formed on the piezoelectric sheet of the inkjet printer head according to the present embodiment.
【図5】本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッ
ドの圧電シートの要部拡大縦断面図である。
FIG. 5 is an enlarged vertical cross-sectional view of a main part of the piezoelectric sheet of the inkjet printer head according to the present embodiment.
【図6】本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッ
ドの圧電シートの内部の電気接続構造を模式的に示す分
解斜視図である。
FIG. 6 is an exploded perspective view schematically showing the electrical connection structure inside the piezoelectric sheet of the inkjet printer head according to the present embodiment.
【図7】他の実施形態に係るインクジェットプリンタヘ
ッドの圧電シート上に形成される駆動電極の配置構成を
模式的に示す要部拡大斜視図である。
FIG. 7 is an enlarged perspective view of essential parts schematically showing the arrangement configuration of drive electrodes formed on a piezoelectric sheet of an inkjet printer head according to another embodiment.
【符号の説明】[Explanation of symbols]
1 インクジェットプリンタヘッド 2 キャビティプレート 11 ノズルプレート 12 カバープレート 13 第1マニホールドプレート 14 第2マニホールドプレート 15 第3マニホールドプレート 16 サプライプレート 17 アパーチャプレート 18 スペーサプレート 19 ベースプレート 19A インク圧力室 20 圧電シート 20A 駆動電極 20B ランドパターン 20C、22A 貫通孔 21 第1圧電層 22 第2圧電層 22B、24A コモン電極 23 第3圧電層 23A 内部電極 24 第4圧電層 25 第5圧電層 30 スルーホール 32 FPC 33 導体部 36 予備半田 1 Inkjet printer head 2 Cavity plate 11 nozzle plate 12 cover plate 13 1st manifold plate 14 Second manifold plate 15 Third manifold plate 16 supply plates 17 Aperture plate 18 Spacer plate 19 base plate 19A ink pressure chamber 20 Piezoelectric sheet 20A drive electrode 20B land pattern 20C, 22A through hole 21 First Piezoelectric Layer 22 Second piezoelectric layer 22B, 24A common electrode 23 Third Piezoelectric Layer 23A internal electrode 24 Fourth Piezoelectric Layer 25 fifth piezoelectric layer 30 through holes 32 FPC 33 Conductor 36 Spare solder
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 廣田 淳 名古屋市瑞穂区苗代町15番1号 ブラザー 工業株式会社内 Fターム(参考) 2C057 AF36 AF93 AG48 AG90 AG93 AP02 AP14 AQ06 BA03 BA14   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Jun Hirota             Brother, 15-1, Naeshiro-cho, Mizuho-ku, Nagoya             Industry Co., Ltd. F-term (reference) 2C057 AF36 AF93 AG48 AG90 AG93                       AP02 AP14 AQ06 BA03 BA14

Claims (6)

    【特許請求の範囲】[Claims]
  1. 【請求項1】 平面視で略菱形形状のインク圧力室が形
    成されたキャビティプレートと、 前記インク圧力室の形状に対応する略菱形形状を有する
    と共に、インク圧力室に対向して配置される駆動電極が
    形成され、前記キャビティプレートに積層される圧電シ
    ートとを備えたインクジェットプリンタヘッドであっ
    て、 前記駆動電極には、その菱形形状の鋭角部から連続して
    矢印形状のランドパターンが形成されたことを特徴とす
    るインクジェットプリンタヘッド。
    1. A cavity plate in which an ink pressure chamber having a substantially rhombic shape in plan view is formed, and a drive which has a substantially rhombic shape corresponding to the shape of the ink pressure chamber and is arranged so as to face the ink pressure chamber. An inkjet printer head having an electrode and a piezoelectric sheet laminated on the cavity plate, wherein an arrow-shaped land pattern is continuously formed from the diamond-shaped acute-angled portion of the drive electrode. An inkjet printer head characterized in that
  2. 【請求項2】 前記圧電シートは、複数の圧電層を積層
    した積層体から構成されていることを特徴とする請求項
    1に記載のインクジェットプリンタヘッド。
    2. The ink jet printer head according to claim 1, wherein the piezoelectric sheet is composed of a laminated body in which a plurality of piezoelectric layers are laminated.
  3. 【請求項3】 前記キャビティプレートには複数のイン
    ク圧力室が形成されると共に、前記圧電シートには複数
    の駆動電極が形成され、 前記圧電シートは、各駆動電極がそれぞれ個別のインク
    圧力室に対向するように、前記キャビティプレートに積
    層されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に
    記載のインクジェットプリンタヘッド。
    3. A plurality of ink pressure chambers are formed in the cavity plate, and a plurality of drive electrodes are formed in the piezoelectric sheet. In the piezoelectric sheet, each drive electrode is formed in an individual ink pressure chamber. The inkjet printer head according to claim 1 or 2, wherein the inkjet plates are laminated on the cavity plate so as to face each other.
  4. 【請求項4】 前記積層体の内部の圧電層には、前記イ
    ンク圧力室の形状に対応する略菱形形状を有すると共
    に、各インク圧力室に対向して配置される内部電極が形
    成されており、 前記駆動電極と前記内部電極とを電気的に接続するスル
    ーホールが形成されていることを特徴とする請求項2又
    は請求項3に記載のインクジェットプリンタヘッド。
    4. The piezoelectric layer inside the laminate has an internal electrode that has a substantially rhombic shape corresponding to the shape of the ink pressure chamber and that is arranged to face each ink pressure chamber. The inkjet printer head according to claim 2 or 3, wherein a through hole that electrically connects the drive electrode and the internal electrode is formed.
  5. 【請求項5】 前記スルーホールは、前記矢印形状のラ
    ンドパターンに形成されていることを特徴とする請求項
    4に記載のインクジェットプリンタヘッド。
    5. The ink jet printer head according to claim 4, wherein the through hole is formed in the arrow-shaped land pattern.
  6. 【請求項6】 前記内部電極と電気的に接続するスルー
    ホールは、導電性材料により充填されることを特徴とす
    る請求項4又は請求項5に記載のインクジェットプリン
    タヘッド。
    6. The ink jet printer head according to claim 4, wherein the through hole electrically connected to the internal electrode is filled with a conductive material.
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005026370A (en) * 2003-06-30 2005-01-27 Brother Ind Ltd Piezoelectric actuator and ink jet recording head equipped therewith
EP1512534A1 (en) 2003-08-13 2005-03-09 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Inkjet head
JP2005059441A (en) * 2003-08-14 2005-03-10 Brother Ind Ltd Inkjet head recorder, inkjet recording method and program
JP2005059442A (en) * 2003-08-14 2005-03-10 Brother Ind Ltd Inkjet head, ink jet recorder, inkjet recording method, and program of inkjet recorder
JP2005212374A (en) * 2004-01-30 2005-08-11 Brother Ind Ltd Ink jet head and its manufacturing method
JP2005238839A (en) * 2004-01-29 2005-09-08 Brother Ind Ltd Ink-jet head
US7290865B2 (en) 2002-02-19 2007-11-06 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Inkjet head
US7360874B2 (en) 2003-06-30 2008-04-22 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Ink-jet printer, ink-jet head and method of manufacturing the ink-jet head
US7396111B2 (en) 2003-08-11 2008-07-08 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Inkjet head and inkjet printer
US7744198B2 (en) 2003-08-14 2010-06-29 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Inkjet head printing device
JP2012257458A (en) * 2005-03-22 2012-12-27 Brother Ind Ltd Piezoelectric actuator, fluid transfer apparatus, and manufacturing method of piezoelectric actuator

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7290865B2 (en) 2002-02-19 2007-11-06 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Inkjet head
JP4497850B2 (en) * 2003-06-30 2010-07-07 ブラザー工業株式会社 Piezoelectric actuator and ink jet recording head having the same
US7360874B2 (en) 2003-06-30 2008-04-22 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Ink-jet printer, ink-jet head and method of manufacturing the ink-jet head
JP2005026370A (en) * 2003-06-30 2005-01-27 Brother Ind Ltd Piezoelectric actuator and ink jet recording head equipped therewith
US8474138B2 (en) 2003-06-30 2013-07-02 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Method of manufacturing the ink-jet head
US7396111B2 (en) 2003-08-11 2008-07-08 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Inkjet head and inkjet printer
EP1512534A1 (en) 2003-08-13 2005-03-09 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Inkjet head
CN100357103C (en) * 2003-08-13 2007-12-26 兄弟工业株式会社 Ink-jet head
US7338152B2 (en) 2003-08-13 2008-03-04 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Inkjet head
US7300125B2 (en) 2003-08-14 2007-11-27 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Inkjet head printing device
JP2005059441A (en) * 2003-08-14 2005-03-10 Brother Ind Ltd Inkjet head recorder, inkjet recording method and program
JP4506124B2 (en) * 2003-08-14 2010-07-21 ブラザー工業株式会社 Inkjet head, inkjet recording apparatus
JP2005059442A (en) * 2003-08-14 2005-03-10 Brother Ind Ltd Inkjet head, ink jet recorder, inkjet recording method, and program of inkjet recorder
US7744198B2 (en) 2003-08-14 2010-06-29 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Inkjet head printing device
JP2005238839A (en) * 2004-01-29 2005-09-08 Brother Ind Ltd Ink-jet head
JP4581709B2 (en) * 2004-01-29 2010-11-17 ブラザー工業株式会社 Inkjet head
JP4525094B2 (en) * 2004-01-30 2010-08-18 ブラザー工業株式会社 Inkjet head manufacturing method
US7891093B2 (en) 2004-01-30 2011-02-22 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Method for manufacturing an inkjet head
JP2005212374A (en) * 2004-01-30 2005-08-11 Brother Ind Ltd Ink jet head and its manufacturing method
JP2012257458A (en) * 2005-03-22 2012-12-27 Brother Ind Ltd Piezoelectric actuator, fluid transfer apparatus, and manufacturing method of piezoelectric actuator

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