JP2003143697A - ボルト締めランジュバン振動子の製造方法 - Google Patents

ボルト締めランジュバン振動子の製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 圧電素子の静電容量値を基準としてボルト締
めを行うことにより、圧電素子の押圧力を適正値に設定
し、品質の安定したボルト締めランジュバン振動子の製
造方法を提供すること。 【解決手段】 ボルト締めランジュバン振動子１１の製
造方法において、ランジュバン振動子１１を構成する圧
電素子１５の静電容量値を基準としてボルト締めを行う
ようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ボルト締めランジ
ュバン振動子の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的にボルト締めランジュバン振動子
１は、図５に示すように電歪効果を有する複数の圧電素
子２と、圧電素子２間に挿入される電極３ａ、３ｂと、
該圧電素子２及び電極３を挟持する一対の金属ブロック
４及び５と、該金属ブロック４及び５締結するボルト６
から構成されている。このボルト６のボルト締めによる
圧電素子２の押圧力は、トルクレンチ等により締付トル
クにより管理していた。
【０００３】ところで、圧電素子２に加える押圧力は振
動子の性能に多大な影響を与える。例えば、その押圧力
が適正値より低い場合、該振動子に電流を投入して駆動
させると振動で発生する引張応力が圧電素子の引張強さ
を超えるため破壊する恐れがある。一方、その押圧力が
適正値より高い場合、振動で発生する圧縮応力が圧電素
子の圧縮強さを超えるため破壊する恐れがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述したように圧電素
子に加える押圧力を管理することは重要であるが、この
押圧力を管理する場合に締付トルクを基準として、押圧
力を管理すると、各部材間の面粗さ、平坦度によって摩
擦係数がばらつくため、圧電素子に加わる押圧力もばら
つき、ランジュバン振動子１の品質が安定しないという
問題があった。
【０００５】そこで、このような特開平５１−１１１０
９４号公報にあるように金属ブロックをボルトで締め付
けるにあたり、電歪効果により発生する圧電素子の電荷
量を検出しこれを基準とすることにより、圧電素子に対
して常に適正範囲内の押圧力を負荷し得るとしていた。
【０００６】しかし、ボルト締付時に発生する圧電素子
の電荷すなわち電流は周期１〜１００μｓｅｃ程度のパ
ルス波であるため正確に計測することが困難である。ま
た、発生した電流は直接オシロスコープ等の測定装置に
流れるため、過負荷により測定装置が破損する恐れがあ
った。
【０００７】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、圧電素子の静電容量値を基準としてボ
ルト締めを行うことにより、圧電素子の押圧力を適正値
に設定し、品質の安定したボルト締めランジュバン振動
子の製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項1記載のボルト締
めランジュバン振動子の製造方法は、ボルト締めランジ
ュバン振動子の製造方法において、ランジュバン振動子
を構成する圧電素子の静電容量値を基準としてボルト締
めを行うことを特徴とする。
【０００９】請求項1記載の発明によれば、圧電素子の
静電容量は押圧力に比例することを利用して、圧電素子
の静電容量値を計測して、静電容量値が適正値に到達す
るまでボルト締めするようにしたので、圧電素子の押圧
力を確実に適正値に設定することができる。
【００１０】請求項２記載のボルト締めランジュバン振
動子の製造方法は、請求項1記載のランジュバン振動子
の両電極間に、ダイオードを互いに逆向き並列に接続し
たものに抵抗を付加した整流回路を接続し、この整流回
路の両端に上記圧電素子の静電容量値を測定するための
容量計を接続したことを特徴とする。
【００１１】請求項２記載の発明によれば、ボルト締め
の際、圧電素子の電歪効果により発生する電流の向きに
関わらず整流回路を介して流れるため、ボルト締めの際
に発生する電流は容量計に流れ込むことはないので、そ
の電流により容量計が破壊されることを未然に防止する
ことができる。
【００１２】請求項３記載のボルト締めランジュバン振
動子の製造方法は、請求項２記載のランジュバン振動子
をボルト締めする際の上記圧電素子の電歪効果により上
記ランジュバン振動子の両電極間に発生する電圧をＶｅ
ｆｆ、上記整流回路の許容電流をＩｍａｘとした場合
に、上記整流回路のインピーダンスをＶｅｆｆ／Ｉｍａ
ｘ＜整流回路のインピーダンス＜容量計のインピーダン
スとなるように設定したことを特徴とする。
【００１３】請求項３記載の発明によれば、Ｖｅｆｆ／
Ｉｍａｘ＜整流回路のインピーダンスにしたので、Ｖｅ
ｆｆ／整流回路のインピーダンス＜Ｉｍａｘとすること
ができる。つまり、Ｖｅｆｆ／整流回路のインピーダン
スはランジュバン振動子をボルト締めする際に両電極間
に発生する電圧Ｖｅｆｆにより整流回路に流れる電流を
整流回路の許容電流Ｉｍａｘより小さくすることができ
るので、ボルト締めする際に両電極間に発生する電圧Ｖ
ｅｆｆに起因した電流により整流回路が破壊されること
はない。このように整流回路が破壊されることがないた
め、この整流回路の両端に接続されている容量計のイン
ピーダンスは整流回路のインピーダンスより大きく設定
しておれば、容量計の破壊されることはない。
【００１４】請求項４記載のボルト締めランジュバン振
動子の製造方法は、請求項３の容量計は測定信号電圧を
上記ランジュバン振動子の両電極間に印加して流れる電
流を検出することにより上記ランジュバン振動子の静電
容量値を測定するように構成されており、上記整流回路
を構成するダイオードの順方向電圧降下は上記測定信号
電圧より大きいことを特徴とする。
【００１５】請求項４記載の発明によれば、整流回路を
構成するダイオードの順方向電圧降下は容量計から出力
される測定信号電圧より大きいので、その測定信号電圧
により整流回路を構成するダイオードが順方向に導通す
ることはない。従って、容量計から出力される測定信号
電圧はランジュバン振動子の両電極間のみに流れるた
め、ランジュバン振動子を構成する圧電素子の静電容量
値を正確に計測することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図１及び図２を参照して本
発明の一実施の形態について説明する。図１はボルト締
めランジュバン振動子の製造方法に用いられる装置であ
る。図１において、１１はボルト締めランジュバン振動
子である。このランジュバン振動子１１は円錐形状の絞
りを有するホーン１２を端部に有する。このホーン１２
の円錐形状の円形底面の中心部には軸方向に沿って雌ね
じ１３が刻まれている。
【００１７】１４は両端に雄ねじが刻まれているボルト
である。このボルト１４の雄ねじが刻まれていない部分
の外周面上は短絡防止用のためのチューブ状の絶縁被覆
材１４ａで被覆されている。
【００１８】ホーン１２の円形底面の中心部に刻まれた
雌ねじ１３にはボルト１４の一端に刻まれている雄ねじ
が螺合されている。
【００１９】１５はリング形状の圧電素子であり、中心
部にボルト１４を挿入可能な挿入孔１６を有する。この
圧電素子１５の材質は、電歪効果を有するセラミックス
であり、両端面を陽極と陰極になるように予め厚さ方向
に分極処理が施されている。さらに、圧電素子１５の厚
さ方向の両端面は、Ｎｉメッキ電極が形成されている。
【００２０】また、１７ａ〜１７ｃは＋電極板であり、
中央にボルト１４が挿入される挿入孔を有する。１８ａ
〜１８ｃは−電極板であり、中央にボルト１４が挿入さ
れる挿入孔を有する。
【００２１】そして、ホーン１２の円形底面側から圧電
素子１５、＋電極板１７ａ、圧電素子１５、−電極板１
８ａ、圧電素子１５、＋電極板１７ｂ、…、圧電素子１
５、−電極板１８ｃというように圧電素子１５と＋電極
板１７ａ〜１７ｃと−電極板１８ａ〜１８ｃがボルト１
４に挿入されて交互に積み重ねられる。この際に、圧電
素子１５は＋電極板１７ａ〜１７ｃあるいは−電極板１
８ａ〜１８ｃを挟んで同じ極面が対向するように積み重
ねられる。
【００２２】ボルト１４の他端の雄ねじは略円柱形状の
裏打板１９の円形底面の中心部に刻まれている雌ねじ２
０に螺合されている。
【００２３】ところで、＋電極板１７ａ〜１７ｃは容量
計２１の測定信号印加端子２２及び電圧検出プラス端子
２３に接続され、−電極板１８ａ〜１８ｃは容量計２１
の電圧検出ＧＮＤ端子２４及び測定電流検出端子２５に
接続されている。容量計２１は測定信号印加端子２２を
介して例えば０．５Ｖで周波数が１kHzの測定信号を出
力し、その結果発生する電流を測定電流検出端子２５を
介して取り込んで圧電素子１５の静電容量値を算出して
表示部２５に表示する。この容量計２１の内部インピー
ダンスは例えば１kΩに設定されている。
【００２４】さらに、＋電極板１７ａ〜１７ｃと−電極
板１８ａ〜１８ｃとの間には整流回路２６が接続され
る。つまり、ランジュバン振動子１１と容量計２１との
間において、整流回路２６が並列に接続される。
【００２５】この整流回路２６はダイオードＤ１，Ｄ２
を互いに逆向きとなるように並列接続し、その並列接続
体の一端は例えば５０Ωの抵抗Ｒ１を介して＋電極板１
７ａ〜１７ｃに接続され、その並列接続体の他端は−電
極板１８ａ〜１８ｃに接続される。
【００２６】ダイオードＤ１及びＤ２の特性は同じ特性
を有する。図２を参照してその特性について説明する。
ダイオードＤ１及びＤ２の順方向電圧降下Ｖｂは２．５
Ｖ、許容電流はＩmaxである。また、ダイオードＤ１及
びＤ２が順方向に導通したときの順方向抵抗は０．１m
Ωである。
【００２７】次に、上記のように構成された本発明の一
実施の形態の動作について説明する。まず、ボルト１４
のネジ部以外の表面を絶縁被覆材１４ａで覆う。そし
て、ホーン１２の雌ねじ１３にボルト１４の一端部をね
じ込む。さらに、圧電素子１５と＋電極板１７ａ〜１７
ｃと−電極板１８ａ〜１８ｃがボルト１４に挿入されて
交互に積み重ねられる。その後、裏打板１９をボルト１
４に軽くねじ込み仮止めする。
【００２８】次に、容量計２１の測定信号印加端子２２
及び電圧検出プラス端子２３を振動子１１の＋電極板１
７ａ〜１７ｃに、電圧検出ＧＮＤ端子２４及び測定電流
検出端子２５は−電極板１８ａ〜１８ｃに接続する。さ
らに、整流回路２６を振動子１１と容量計２１との間に
並列接続する。
【００２９】従って、ボルト締めの際、圧電素子１５の
電歪効果により発生する電流の向きに関わらず整流回路
２６を介して流れるため、ボルト締めの際に発生する電
流は容量計に流れ込むことはないので、その電流により
容量計２１が破壊されることを未然に防止することがで
きる。
【００３０】そして、容量計２１に電源を投入して測定
信号を発信させる。次に、裏打板１９をレンチで締め付
ける。
【００３１】次に、振動子１１の静電容量値を容量計２
１でリアルタイムに計測して、静電容量値が所定の値に
到達するまでボルト締めする。
【００３２】つまり、圧電素子１５の静電容量は押圧力
に比例することを利用して、圧電素子１５の静電容量値
を計測して、静電容量値が適正値に到達するまでボルト
締めするようにしたので、圧電素子の押圧力を確実に適
正値に設定することができる。従って、ランジュバン振
動子１１の品質を安定させることができる。
【００３３】ボルト締めの時にランジュバン振動子１１
に発生する電圧Ｖｅｆｆは１００〜２００Ｖ程度であ
る。ここで、整流回路２６の許容電流Ｉｍａｘは図２に
示すように１０Ａであるので、Ｖｅｆｆ／Ｉｍａｘは１
０〜２０Ωである。
【００３４】一方、整流回路２６のインピーダンスはダ
イオードＤ１及びＤ２が導通されたときのインピーダン
スはほぼ無視できるので、抵抗Ｒ１のインピーダンスで
ある５０Ωと考えてよい。
【００３５】また、容量計２１のインピーダンスは１ｋ
Ωであるので、Ｖｅｆｆ／Ｉｍａｘ＝１０〜２０Ω＜回
路のインピーダンス＝５０Ω＜容量計のインピーダンス
＝１ｋΩつまり、Ｖｅｆｆ／Ｉｍａｘ＜整流回路のイン
ピーダンスにしたので、Ｖｅｆｆ／整流回路のインピー
ダンス＜Ｉｍａｘとすることができる。つまり、Ｖｅｆ
ｆ／整流回路のインピーダンスはランジュバン振動子１
１をボルト締めする際に＋電極板１７ａ〜１７ｃと−電
極板１８ａ〜１８ｃ間に発生する電圧Ｖｅｆｆにより整
流回路２６に流れる電流を整流回路２６の許容電流Ｉｍ
ａｘより小さくすることができるので、ボルト締めする
際に＋電極板１７ａ〜１７ｃと−電極板１８ａ〜１８ｃ
間に発生する電圧Ｖｅｆｆに起因した電流により整流回
路２６が破壊されることはない。このように整流回路２
６が破壊されることがないため、この整流回路２６の両
端に接続されている容量計２１のインピーダンスは整流
回路２６のインピーダンスより大きく設定しておれば、
容量計２１が破壊されることはない。
【００３６】容量計２１の測定信号電圧は０．５Ｖ、ダ
イオードＤ１及びＤ２の順方向電圧降下が２．５Ｖであ
り、整流回路２６を構成するダイオードＤ１及びＤ２の
順方向電圧降下は容量計２１から出力される測定信号電
圧より大きいので、その測定信号電圧により整流回路２
６を構成するダイオードＤ１あるいはＤ２が順方向に導
通することはない。従って、容量計２１から出力される
測定信号電圧はランジュバン振動子１１の両電極間のみ
に印加されるため、ランジュバン振動子１１を構成する
圧電素子１５の静電容量値を正確に計測することができ
る。
【００３７】なお、上記実施の形態の整流回路２６を図
３に示す構成としても良い。つまり、２つのダイオード
Ｄ１１，Ｄ１２及び２つのダイオードＤ１３及びＤ１４
をそれぞれ直列接続した直列接続体を互いに逆向きにな
るように並列接続し、５０Ωの抵抗Ｒ１と直列接続する
ようにしても良い。ダイオードＤ１１〜Ｄ１４の特性は
前述したダイオードＤ１及びＤ２と同じである。
【００３８】このように整流回路２６内にダイオードを
２つ直列に接続しておくことにより、整流回路２６の容
量を図１で示した整流回路２６のものよりも半分にする
ことができる。
【００３９】従って、振動子１１の静電容量の測定に与
える影響を抑えることができる。
【００４０】さらに、整流回路２６を図４に示す構成と
しても良い。つまり、両極性ダイオードＤ２１と５０Ω
の抵抗Ｒ１を直列に接続するようにしている。
【００４１】つまり、図１の整流回路２６に使用するダ
イオードを両極性ダイオードＤ２１とすることにより、
部品点数を少なくすることができる。
【００４２】なお、図３あるいは図４の整流回路を図１
の整流回路２６として使用した場合にも、Ｖｅｆｆ／Ｉ
ｍａｘ＝１０〜２０Ω＜回路のインピーダンス＝５０Ω
＜容量計のインピーダンス＝１ｋΩの関係を満たすこと
により、前述した実施の形態と同様の降下を奏する。
【００４３】さらに、図３あるいは図４の整流回路を図
１の整流回路２６として使用した場合にも、測定信号電
圧により整流回路２６を構成するダイオードが順方向に
導通しないようにすることにより前述した実施の形態と
同様の効果を奏する。
【００４４】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、圧
電素子の静電容量値を基準としてボルト締めを行うこと
により、圧電素子の押圧力を適正値に設定することがで
きる。従って、品質の安定したボルト締めランジュバン
振動子の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係るボルト締めランジ
ュバン振動子の製造方法に使用される装置の構成図。
【図２】同実施の形態に係るダイオードの特性図。
【図３】同実施の形態に係る整流回路の変形例を示す
図。
【図４】同実施の形態に係る整流回路の他の変形例を示
す図。
【図５】従来のボルト締めランジュバン振動子の製造方
法を説明するための図。
【符号の説明】 １１…ランジュバン振動子、 １２…ホーン、 １４…ボルト、 １５…圧電素子、 １７ａ〜１７ｃ…＋電極板、 １８ａ〜１８ｃ…−電極板、 ２１…容量計、 ２６…整流回路。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ボルト締めランジュバン振動子の製造方
    法において、ランジュバン振動子を構成する圧電素子の
    静電容量値を基準としてボルト締めを行うことを特徴と
    するボルト締めランジュバン振動子の製造方法。
  2. 【請求項２】 上記ランジュバン振動子の両電極間に、
    ダイオードを互いに逆向き並列に接続したものに抵抗を
    付加した整流回路を接続し、この整流回路の両端に上記
    圧電素子の静電容量値を測定するための容量計を接続し
    たことを特徴とする請求項1記載のボルト締めランジュ
    バン振動子の製造方法。
  3. 【請求項３】 上記ランジュバン振動子をボルト締めす
    る際の上記圧電素子の電歪効果により上記ランジュバン
    振動子の両電極間に発生する電圧をＶｅｆｆ、上記整流
    回路の許容電流をＩｍａｘとした場合に、 上記整流回路のインピーダンスをＶｅｆｆ／Ｉｍａｘ＜
    整流回路のインピーダンス＜容量計のインピーダンスと
    なるように設定したことを特徴とする請求項２記載のボ
    ルト締めランジュバン振動子の製造方法。
  4. 【請求項４】 上記容量計は測定信号電圧を上記ランジ
    ュバン振動子の両電極間に印加して流れる電流を検出す
    ることにより上記ランジュバン振動子の静電容量値を測
    定するように構成されており、上記整流回路を構成する
    ダイオードの順方向電圧降下は上記測定信号電圧より大
    きいことを特徴とする請求項３記載のボルト締めランジ
    ュバン振動子の製造方法。
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JP2009082904A (ja) * 2007-09-11 2009-04-23 Ngk Spark Plug Co Ltd 超音波振動子及びその製造方法
JP2010034817A (ja) * 2008-07-29 2010-02-12 Ngk Spark Plug Co Ltd 超音波振動子及びその製造方法
WO2018061199A1 (ja) * 2016-09-30 2018-04-05 オリンパス株式会社 超音波トランスデューサ及び超音波トランスデューサの製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4300169B2 (ja) * 2004-09-10 2009-07-22 アロカ株式会社 超音波手術器
KR100949985B1 (ko) 2009-04-17 2010-03-26 주식회사 시무텍 정전기 어스장치가 구비된 아이씨카드 리더기 소켓
EP2840806B1 (en) * 2012-04-19 2018-02-28 Olympus Corporation Ultrasonic generator manufacturing method and ultrasonic generator assembly system
CN104434231B (zh) * 2014-11-27 2016-08-17 大连理工大学 一种pzt换能器和变幅杆一体化超声驱动结构
KR101805359B1 (ko) * 2017-05-18 2017-12-06 임준수 진동자 조립 장치 제어 시스템
DE102021119464B4 (de) * 2021-07-27 2023-11-30 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co KG Elektromechanischer Wandler

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4294122A (en) * 1979-07-12 1981-10-13 General Dynamics Corporation Fastener incorporating ultrasonic transducer
US6016821A (en) * 1996-09-24 2000-01-25 Puskas; William L. Systems and methods for ultrasonically processing delicate parts
US4812697A (en) * 1986-04-09 1989-03-14 Taga Electric Co., Ltd. Ultrasonic vibrator and a method of controllingly driving same
GB8729632D0 (en) * 1987-12-18 1988-02-03 Renishaw Plc Workpiece inspection
US5180363A (en) * 1989-04-27 1993-01-19 Sumitomo Bakelite Company Company Limited Operation device
US5113116A (en) * 1989-10-05 1992-05-12 Firma J. Eberspacher Circuit arrangement for accurately and effectively driving an ultrasonic transducer
FR2696215B1 (fr) * 1992-09-25 1994-12-02 Serge Bras Elément d'assemblage et procédé et machine d'assemblage.
US6109109A (en) * 1998-10-19 2000-08-29 The Regents Of The University Of California High energy, low frequency, ultrasonic transducer
US6278218B1 (en) * 1999-04-15 2001-08-21 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Apparatus and method for tuning ultrasonic transducers
US6802220B2 (en) * 2000-10-26 2004-10-12 Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki Apparatus for transporting levitated objects
US6501211B1 (en) * 2001-07-13 2002-12-31 Masoud Nasrollahzadeh Ultra-sonic transducer assembly incorporated into a printed circuit board for determining tension forces in a bolt

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009082904A (ja) * 2007-09-11 2009-04-23 Ngk Spark Plug Co Ltd 超音波振動子及びその製造方法
JP2010034817A (ja) * 2008-07-29 2010-02-12 Ngk Spark Plug Co Ltd 超音波振動子及びその製造方法
WO2018061199A1 (ja) * 2016-09-30 2018-04-05 オリンパス株式会社 超音波トランスデューサ及び超音波トランスデューサの製造方法

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Publication number Publication date
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US20030084561A1 (en) 2003-05-08

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