JP2003130704A - Coriolis mass flowmeter - Google Patents

Coriolis mass flowmeter

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JP2003130704A
JP2003130704A JP2001327709A JP2001327709A JP2003130704A JP 2003130704 A JP2003130704 A JP 2003130704A JP 2001327709 A JP2001327709 A JP 2001327709A JP 2001327709 A JP2001327709 A JP 2001327709A JP 2003130704 A JP2003130704 A JP 2003130704A
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稔 翠川
Toshiyuki Tanaka
俊行 田中
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豊明 横井
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To realize a Coriolis mass flowmeter that an filter even when the sensor frequency suddenly varies by selecting a filter coincided with a sensor frequency. SOLUTION: The Coriolis flowmeter using a pair of Coriolis signals from measurement tubes on the upstream and downstream, is composed of a pair of filters having the same phase that filter each of Coriolis signals by the same phase to individually output a first and a second filter signals, a pair of filters having different phases that convert each of the signals to different phases to output them as a third and fourth filter signals, a pair of means for computing phases that compute the ratio of the first to the third filter signal and the ratio of the second to the fourth filter signal to compute the first phase and the second phase from each ratio, a means for computing the difference between phases that computes the difference between the first phase and the second phase to output the signal of the phase difference corresponding to the mass flow rate, and a means for changing a filter that changes the frequency bands of the same phase filter and the different phase filter corresponding to the frequency of the Coriolis signal.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、両端が固定されて
いる測定チューブ内に被測定流体を流し励振装置により
測定チューブを所定モードで振動させ測定チューブの上
下流で得られる一対のコリオリ信号を用いて質量流量を
測定するコリオリ質量流量計に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a pair of Coriolis signals obtained upstream and downstream of a measurement tube by causing a fluid to be measured to flow in a measurement tube whose both ends are fixed and vibrating the measurement tube in a predetermined mode by an exciter. The present invention relates to a Coriolis mass flow meter for measuring mass flow rate.

【0002】[0002]

【従来の技術】図3は周知のコリオリ質量流量計のセン
サ部の構成を示す構成図である。図4は図3に示すコリ
オリ質量流量計のセンサ部の動作を説明する波形図であ
る。図5は、図3に示すセンサ部と組合せて質量流量を
演算する変換部の構成を示す構成図であり、出願人が特
開平7−181069号公報で開示したものである。
2. Description of the Related Art FIG. 3 is a configuration diagram showing a configuration of a sensor portion of a known Coriolis mass flowmeter. FIG. 4 is a waveform diagram for explaining the operation of the sensor unit of the Coriolis mass flowmeter shown in FIG. FIG. 5 is a configuration diagram showing a configuration of a conversion unit that calculates a mass flow rate in combination with the sensor unit shown in FIG. 3, and is disclosed by the applicant in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-181069.

【0003】以下、図3〜図5を用いて従来のコリオリ
質量流量計について説明する。この場合の測定チューブ
は、例えばU字管方式など他の方式でも良いが、簡単の
ため直管方式のもので以下に説明する。
A conventional Coriolis mass flowmeter will be described below with reference to FIGS. The measuring tube in this case may be another method such as a U-tube method, but for simplicity, a straight tube method will be described below.

【0004】1は被測定流体を流す測定チューブであ
り、この測定チューブ1の両端は支持部材2、3に固定
されている。この測定チューブ1の中央部近傍には、こ
の測定チューブ1を上下に機械振動をさせる加振器4が
設置されている。
Reference numeral 1 is a measuring tube through which a fluid to be measured flows, and both ends of the measuring tube 1 are fixed to supporting members 2 and 3. A vibrating device 4 for mechanically vibrating the measuring tube 1 up and down is installed near the center of the measuring tube 1.

【0005】そして、測定チューブ1の支持部材2、3
に固定されている近傍には、この測定チューブ1の振動
を検出する上流センサ5A、下流センサ5Bが固定され
ている。また、支持部材3の近傍には温度補償に使用す
る温度センサ6が設けられている。以上によりセンサ部
SNSが構成されている。
Then, the supporting members 2, 3 of the measuring tube 1
The upstream sensor 5A and the downstream sensor 5B that detect the vibration of the measuring tube 1 are fixed near the fixed position. A temperature sensor 6 used for temperature compensation is provided near the support member 3. The sensor unit SNS is configured as described above.

【0006】加振器4から測定チューブ1に図4のM
1、M2に示すような1次モードの形状で振動が与えら
れている状態で、測定チューブ1に被測定流体が流れる
と、M3、M4に示すような2次モードの形状で測定チ
ューブ1が振動する。
From the shaker 4 to the measuring tube 1 shown in FIG.
When the fluid to be measured flows through the measurement tube 1 in a state where vibration is applied in the shape of the primary mode as shown by M1 and M2, the measurement tube 1 becomes a shape of the secondary mode as shown by M3 and M4. Vibrate.

【0007】実際には、この2種類の振動パターンが重
畳された形で測定チューブ1が振動する。測定チューブ
1のこの変形をセンサ5A、5Bで検出して変位信号S
A、SBとして図5に示す変換部TR1に送出する。
Actually, the measuring tube 1 vibrates in a form in which these two types of vibration patterns are superimposed. This deformation of the measuring tube 1 is detected by the sensors 5A and 5B and the displacement signal S
A and SB are sent to the conversion unit TR1 shown in FIG.

【0008】次に、このセンサ部SNSから出力される
信号を処理する変換部TRについて説明する。クロック
信号発振器17は測定チューブ1の振動とは関係なし
に、所定のサンプリング周期を持つタイミング信号TC
を生成する。
Next, the conversion unit TR for processing the signal output from the sensor unit SNS will be described. The clock signal oscillator 17 has a timing signal TC having a predetermined sampling period regardless of the vibration of the measuring tube 1.
To generate.

【0009】一方、変位信号SAは、例えばA・sin
(ωt0)なる形でトラッンアンドホールド(T&H)回
路18に出力され、ここでサンプリングの時点を決める
タイミング信号TCにより変位信号SAは順次サンプル
/ホールドされる。ここで、Aは振幅、ωは角周波数、
t0は任意の時点を示す。
On the other hand, the displacement signal SA is, for example, A · sin.
The displacement signal SA is sequentially sampled / held by the timing signal TC that determines the sampling time, and is output to the truck-and-hold (T & H) circuit 18 in the form of (ωt0). Where A is the amplitude, ω is the angular frequency,
t0 indicates an arbitrary time point.

【0010】ホールドされた変位信号SAはアナログ/
ディジタル変換器19に出力され、ここで順次ディジタ
ル信号DA2に変換されて、ディジタル形式で処理され
るローパスフィルタ(LPF)20に出力される。
The held displacement signal SA is analog /
It is output to the digital converter 19, where it is sequentially converted into the digital signal DA2 and output to the low-pass filter (LPF) 20 which is processed in a digital format.

【0011】ローパスフィルタ(LPF)20は、測定
チューブの振動周波数付近よりも高い周波数成分を除去
して、ディジタルフィルタの一種であるFIR(Finite
Impulse Response有限インパルス応答)フィルタ21
Aにディジタル信号DA3として出力する。
A low-pass filter (LPF) 20 removes frequency components higher than the vicinity of the vibration frequency of the measuring tube, and a FIR (Finite) which is a kind of digital filter.
Impulse Response Filter 21
It is output to A as a digital signal DA3.

【0012】FIRフィルタ21Aは、入力信号と同位
相の出力信号に変換する同相ディジタルフィルタであ
り、その出力端には基本的にA・sin(ωt0)なる形
のディジタル信号DA4を出力する。
The FIR filter 21A is an in-phase digital filter for converting an input signal into an output signal having the same phase as the input signal. The FIR filter 21A basically outputs a digital signal DA4 of the form A · sin (ωt0).

【0013】また、ディジタル信号DAは同様にディジ
タルフィルタの一種であるFIRフィルタ21Bに出力
される。このFIRフィルタ21Bは入力信号と90°
異なる位相の出力信号に変換する異相ディジタルフィル
タであり、基本的にA・cos(ωt0)なる形のディジ
タル信号DA5を出力する。そして、これ等のFIRフ
ィルタ21AとFIRフィルタ21Bでヒルベルト変換
器21を構成する。
The digital signal DA is also output to the FIR filter 21B which is a kind of digital filter. This FIR filter 21B has an input signal of 90 °.
It is a different-phase digital filter for converting output signals of different phases, and basically outputs a digital signal DA5 of the form A · cos (ωt0). The FIR filter 21A and the FIR filter 21B constitute the Hilbert transformer 21.

【0014】位相演算器23は、ディジタル信号DA4
とディジタル信号DA5との比率[A・sin(ωt0)
/A・cos(ωt0)=tan(ωt0)]を演算し、そ
のtan-1を演算して位相信号θA2(=ωt0)を算
定する。
The phase calculator 23 uses the digital signal DA4.
Of digital signal DA5 and [A · sin (ωt0)
/ A · cos (ωt0) = tan (ωt0)], and tan −1 is calculated to calculate the phase signal θA2 (= ωt0).

【0015】また、変位信号SBは、例えばB・sin
(ωt0+ΔΦ)なる形でトラッンアンドホールド(T&
H)回路24に出力され、ここでサンプリングの時点を
決めるタイミング信号TCにより変位信号SBは順次サ
ンプル/ホールドされる。ここで、Bは振幅、ΔΦは時
点t0における変位信号SAに対する位相差を示す。
The displacement signal SB is, for example, B · sin.
In the form of (ωt0 + ΔΦ)
H) The displacement signal SB is output to the circuit 24, and the displacement signal SB is sequentially sampled / held by the timing signal TC that determines the sampling time. Here, B indicates the amplitude, and ΔΦ indicates the phase difference with respect to the displacement signal SA at time t0.

【0016】ホールドされた変位信号SBはアナログ/
ディジタル変換器25に出力され、ここで順次ディジタ
ル信号DB2に変換されて、ディジタル形式で処理され
るローパスフィルタ(LPF)26に出力される。この
ローパスフィルタ26はローパスフィルタ20と同一の
構成であり、ゲイン特性および群遅延特性なども共通に
選定しておく。
The held displacement signal SB is analog /
The signal is output to the digital converter 25, where it is sequentially converted into the digital signal DB2 and output to the low pass filter (LPF) 26 which is processed in a digital format. This low-pass filter 26 has the same configuration as the low-pass filter 20, and gain characteristics and group delay characteristics are also selected in common.

【0017】ローパスフィルタ26は、ローパスフィル
タ20と同様に、測定チューブの振動周波数付近よりも
高い周波数成分を除去して、ディジタルフィルタの1種
であるFIRフィルタ27にディジタル信号DB3とし
て出力する。
Like the low-pass filter 20, the low-pass filter 26 removes a frequency component higher than the vicinity of the vibration frequency of the measuring tube and outputs it as a digital signal DB3 to an FIR filter 27 which is one type of digital filter.

【0018】FIRフィルタ27Aは、FIRフィルタ
21Aと同様に、入力信号と同位相の出力信号に変換す
る同相ディジタルフィルタであり、その出力端には基本
的にB・sin(ωt0+ΔΦ)なる形のディジタル信号
DB4を出力する。
Similar to the FIR filter 21A, the FIR filter 27A is an in-phase digital filter for converting an input signal into an output signal of the same phase, and its output end is basically a digital signal of the form B · sin (ωt0 + ΔΦ). The signal DB4 is output.

【0019】また、ディジタル信号DB3はディジタル
フィルタの1種であるFIRフィルタ27Bに出力され
る。このFIRフィルタ27Bは、入力信号と90°異
なる位相の出力信号に変換する異相ディジタルフィルタ
であり、基本的にB・cos(ωt0+ΔΦ)なる形のデ
ィジタル信号DB5を出力する。そして、これ等のFI
Rフィルタ27AとFIRフィルタ27Bとでヒルベル
ト変換器27を構成している。
Further, the digital signal DB3 is output to the FIR filter 27B which is one type of digital filter. The FIR filter 27B is an out-of-phase digital filter that converts an input signal into an output signal having a phase different by 90 °, and basically outputs a digital signal DB5 in the form of B · cos (ωt0 + ΔΦ). And these FIs
The Hilbert transformer 27 is configured by the R filter 27A and the FIR filter 27B.

【0020】位相演算器29は、ディジタル信号DB4
とディジタル信号DB5との比率[B・sin(ωt0
+ΔΦ)/B・cos(ωt0+ΔΦ)=tan(ωt0+
ΔΦ)]を演算し、そのtan-1を演算して位相信号θ
A2=(ωt0+ΔΦ)を算定する。
The phase calculator 29 uses the digital signal DB4
To the digital signal DB5 [B · sin (ωt0
+ ΔΦ) / B · cos (ωt0 + ΔΦ) = tan (ωt0 +
ΔΦ)] is calculated, and its tan −1 is calculated to obtain the phase signal θ.
Calculate A2 = (ωt0 + ΔΦ).

【0021】位相差演算回路30は位相演算器23から
順次出力される位相信号θA2と、位相演算器29から
順次出力される位相信号θB2との差(=ΔΦ)を演算
して位相差信号θ2として順次出力する。この位相差信
号θ2は被測定流体の質量流量に比例することとなる。
The phase difference calculation circuit 30 calculates the difference (= ΔΦ) between the phase signal θA2 sequentially output from the phase calculator 23 and the phase signal θB2 sequentially output from the phase calculator 29 to calculate the phase difference signal θ2. Are sequentially output as. This phase difference signal θ2 is proportional to the mass flow rate of the fluid to be measured.

【0022】時間遅れ要素32は位相演算器23から出
力される位相信号θA2(=ωt0)をサンプル周期T
Cだけ遅らされて出力する。したがって、時刻t0にお
いては、1サンプル点手前の位相信号θA2’(=ωt
-1、t-1は1つ前のサンプリング時点)が周波数演算器
33に出力される。
The time delay element 32 outputs the phase signal θA2 (= ωt0) output from the phase calculator 23 to the sampling period T.
It is delayed by C and then output. Therefore, at time t0, the phase signal θA2 ′ (= ωt
−1 and t −1 are immediately previous sampling points) and are output to the frequency calculator 33.

【0023】周波数演算器33はこれらの位相信号θA
2とθA2’との差を2πTで割算する演算[(ωt0
−ωt-1)/2πT=fC]を行い、時点t0における
センサ周波数fCを求める。これを平均化回路34で多
数のサンプリング点で求めたセンサ周波数fCの平均の
加振周波数fC’として出力する。
The frequency calculator 33 receives these phase signals θA.
The operation of dividing the difference between 2 and θA2 ′ by 2πT [(ωt0
−ωt −1 ) / 2πT = fC] is performed to obtain the sensor frequency fC at the time point t0. The averaging circuit 34 outputs this as an average excitation frequency fC ′ of the sensor frequency fC obtained at a large number of sampling points.

【0024】また、励振回路35には変位信号SAが入
力され、この変位信号SAに対応する加振電圧を加振器
4に出力し、加振器4を例えば正弦波状に駆動する。一
方、温度センサ6からは、温度信号ST1がトラッンア
ンドホールド回路37に出力され、サンプリングの時点
を決めるタイミング信号TCによりホールドされた多数
の温度信号は、アナログ/ディジタル変換器38でディ
ジタル信号に変換されて平均化回路39に出力され、こ
こで平均されて温度信号ST2として出力される。
Further, the displacement signal SA is input to the excitation circuit 35, an excitation voltage corresponding to the displacement signal SA is output to the exciter 4, and the exciter 4 is driven in, for example, a sine wave shape. On the other hand, the temperature signal ST1 is output from the temperature sensor 6 to the trunk-and-hold circuit 37, and the many temperature signals held by the timing signal TC that determines the sampling time point are converted into digital signals by the analog / digital converter 38. It is converted and output to the averaging circuit 39, where it is averaged and output as the temperature signal ST2.

【0025】密度演算器40は、加振周波数fC’と温
度信号ST2とが入力されて被測定流体の密度の演算が
次式に基づいて演算される。基準温度において、被測定
流体が測定チューブ1に充満している状態の共振周波数
をfV、測定チューブ1が空の状態の共振周波数をf
0、K1、K2を定数とすると、密度信号Dは fV=fC’+K1・ST2 (1) D=K2(f02−fV2)/fV2 (2) として求められる
The density calculator 40 receives the vibration frequency fC 'and the temperature signal ST2, and calculates the density of the fluid to be measured based on the following equation. At the reference temperature, the resonance frequency when the measured fluid is filled in the measurement tube 1 is fV, and the resonance frequency when the measurement tube 1 is empty is fV.
When 0, K1 and K2 are constants, the density signal D is obtained as fV = fC ′ + K1 · ST2 (1) D = K2 (f0 2 −fV 2 ) / fV 2 (2)

【0026】質量流量演算器41は、密度信号D、セン
サ周波数fC’、位相差信号θ2(=ΔΦ)、温度信号
ST2とが入力されて、次式に基づき質量流量QMが演
算される。 QM=f(ST2)・f(D)・tanθ2/fC’ (3) ただし、f(ST2)は温度の補正項、f(D)は密度
の補正項である。
The mass flow rate calculator 41 receives the density signal D, the sensor frequency fC ′, the phase difference signal θ2 (= ΔΦ), and the temperature signal ST2, and calculates the mass flow rate QM based on the following equation. QM = f (ST2) · f (D) · tan θ2 / fC ′ (3) where f (ST2) is a temperature correction term and f (D) is a density correction term.

【0027】[0027]

【発明が解決しようとする課題】ヒルベルト変換器2
1、27を形成するFIRフィルタの構成については、
前記特開平7−181069号公報に詳述されているの
で、説明を省略する。FIRフィルタ21Aと21B
は、測定チューブ1の振動周波数の付近のみを通過させ
るような周波数帯域を有するバンドパスフィルタ特性に
するが、通過周波数帯域における群遅延特性はFIRフ
ィルタ21AよりもFIRフィルタ21Bの方が90度
位相が進むように各FIRフィルタの係数が設定され
る。この関係は、FIRフィルタ27AとFIRフィル
タ27Bの関係においても同様である。
[Problems to be Solved by the Invention] Hilbert transformer 2
Regarding the configuration of the FIR filter forming 1, 27,
Since it is described in detail in JP-A-7-181069, the description thereof will be omitted. FIR filters 21A and 21B
Is a bandpass filter characteristic having a frequency band that allows only the vicinity of the vibration frequency of the measurement tube 1 to pass, but the group delay characteristic in the passing frequency band is 90 degrees in phase in the FIR filter 21B than in the FIR filter 21A. The coefficient of each FIR filter is set so that This relationship also applies to the relationship between the FIR filter 27A and the FIR filter 27B.

【0028】FIRフィルタの周波数帯域を、測定チュ
ーブ1の振動周波数の付近のみを通過させるようなバン
ドパス特性に固定した場合には、測定流体の急激な変化
によるセンサ信号の周波数の急変、チューブの交換によ
る周波数の変化などで、予め設定した周波数帯域を逸脱
したセンサ信号が入力された時に、FIRフィルタの周
波数帯域が不適切となり、精度の高い測定が困難とな
る。即ち、変換部TRの汎用性が低いという問題点があ
る。
When the frequency band of the FIR filter is fixed to a bandpass characteristic that allows passage only near the vibration frequency of the measuring tube 1, a sharp change in the frequency of the sensor signal due to a sudden change in the measuring fluid, When a sensor signal deviating from a preset frequency band is input due to a change in frequency due to replacement, the frequency band of the FIR filter becomes unsuitable, and accurate measurement becomes difficult. That is, there is a problem that the versatility of the conversion unit TR is low.

【0029】本発明の目的の第1は、センサ信号の周波
数が急激に変化した場合にも前記センサ信号の周波数に
合致した周波数帯域の同相および移相ディジタルフィル
タを選択してディジタルフィルタリングを行うことがで
きるコリオリ質量流量計を実現することにある。
A first object of the present invention is to perform digital filtering by selecting in-phase and phase-shifting digital filters in a frequency band that matches the frequency of the sensor signal even when the frequency of the sensor signal suddenly changes. It is to realize a Coriolis mass flowmeter capable of

【0030】本発明の目的の第2は、センサ信号の周波
数に合致した周波数帯域の同相および移相ディジタルフ
ィルタを選択してディジタルフィルタリングを行う場
合、センサ信号などにノイズが混入した場合において
も、誤りなく上流センサ信号と下流センサ信号の周波数
に合致した周波数帯域の同相および移相ディジタルフィ
ルタを選択する手段を具備したコリオリ質量流量計を実
現することにある。
A second object of the present invention is to perform digital filtering by selecting in-phase and phase-shifting digital filters in a frequency band matching the frequency of the sensor signal, even when noise is mixed in the sensor signal, etc. It is an object to realize a Coriolis mass flowmeter equipped with means for selecting in-phase and phase-shifting digital filters in a frequency band that matches the frequencies of the upstream sensor signal and the downstream sensor signal without error.

【0031】[0031]

【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
る本発明は、次の通りである。 (1)測定チューブの上下流に設置された上流センサ並
びに下流センサで得られる一対のコリオリ信号を用いて
質量流量を測定するコリオリ質量流量計において、前記
各コリオリ信号を各ディジタル信号に変換するアナログ
/ディジタル変換器と、この各ディジタル信号を同一位
相でフィルタリングして各々第1・第2フィルタ信号と
して出力する一対の同相ディジタルフィルタ手段と、前
記各ディジタル信号を異なる位相に変換して第3・第4
フィルタ信号として出力する一対の異相ディジタルフィ
ルタ手段と、これ等の第1・第3フィルタ信号の比率と
第2・第4フィルタ信号の比率とを演算して各比率から
第1・第2位相を演算する一対の位相演算手段と、前記
第1位相と前記第2位相との差分を演算して前記質量流
量に対応する位相差信号を出力する位相差演算手段と、
前記コリオリ信号の周波数に応じて前記同相ディジタル
フィルタ手段並びに前記異相ディジタルフィルタ手段の
周波数帯域を変更するフィルタ変更手段と、を具備する
ことを特徴とするコリオリ質量流量計。 (2)前記同相ディジタルフィルタ手段並びに前記異相
ディジタルフィルタ手段は、夫々周波数帯域の異なる複
数組で構成され、前記フィルタ変更手段は、前記コリオ
リ信号の周波数に応じて最適な1組を選択することを特
徴とする、(1)記載のコリオリ質量流量計。 (3)前記位相演算手段の出力より導かれる前記コリオ
リ信号の周波数により、前記フィルタ変更手段が制御さ
れることを特徴とする、(1)又は(2)記載のコリオ
リ質量流量計。 (4)前記上流センサ又は下流センサで得られるコリオ
リ信号の周波数により、前記フィルタ変更手段が制御さ
れることを特徴とする、(1)又は(2)記載のコリオ
リ質量流量計。 (5)前記同相ディジタルフィルタ手段又は前記異相デ
ィジタルフィルタ手段の出力振幅を監視する振幅測定手
段を具備し、前記振幅測定手段の出力に基づき、前記位
相演算手段の出力より導かれる前記前記コリオリ信号の
周波数、前記上流センサ、下流センサで得られるコリオ
リ信号の周波数のいずれかを選択して前記フィルタ変更
手段を制御することを特徴とする、(1)又は(2)記
載のコリオリ質量流量計。 (6)前記同相ディジタルフィルタ手段又は前記異相デ
ィジタルフィルタ手段として有限インパルス応答フィル
タを用いたことを特徴とする、(1)乃至(5)のいず
れかに記載のコリオリ質量流量計。 (7)前記有限インパルス応答フィルタにバンドパス特
性を持たせることを特徴とする(1)乃至(5)のいず
れかに記載のコリオリ質量流量計。 (8)前記アナログ/ディジタル変換器の後段に、各々
一対のローパスフィルタを設け、この各出力を前記各デ
ィジタル信号として用いることを特徴とする(1)
(5)のいずれかに記載のコリオリ質量流量計。 (9)前記第1または第2位相において、所定の時間差
で測定された位相差をこの時間差で割ることにより求め
られた前記測定チューブの振動周波数と、前記被測定流
体の温度に関連して測定された温度信号とを用いて、前
記位相差信号に対して前記周波数補正と温度補正とを行
うことを特徴とする(1)乃至(5)のいずれかに記載
のコリオリ質量流量計。
The present invention which achieves the above objects is as follows. (1) In a Coriolis mass flow meter that measures a mass flow rate using a pair of Coriolis signals obtained by an upstream sensor and a downstream sensor installed on the upstream and downstream sides of a measurement tube, an analog that converts each Coriolis signal into each digital signal / Digital converter, a pair of in-phase digital filter means for filtering the respective digital signals in the same phase and outputting as first and second filter signals respectively, and a third phase for converting the respective digital signals into different phases. Fourth
A pair of out-of-phase digital filter means for outputting as a filter signal, and a ratio of these first / third filter signals and a ratio of the second / fourth filter signals are calculated to obtain the first / second phase from each ratio. A pair of phase calculating means for calculating; a phase difference calculating means for calculating a difference between the first phase and the second phase and outputting a phase difference signal corresponding to the mass flow rate;
A Coriolis mass flowmeter, comprising: a filter changing unit that changes the frequency bands of the in-phase digital filter unit and the different-phase digital filter unit according to the frequency of the Coriolis signal. (2) The in-phase digital filter means and the out-of-phase digital filter means are composed of a plurality of sets each having a different frequency band, and the filter changing means selects an optimum set according to the frequency of the Coriolis signal. The Coriolis mass flowmeter according to (1), which is characterized. (3) The Coriolis mass flowmeter according to (1) or (2), wherein the filter changing means is controlled by the frequency of the Coriolis signal derived from the output of the phase calculating means. (4) The Coriolis mass flowmeter according to (1) or (2), wherein the filter changing means is controlled by the frequency of the Coriolis signal obtained by the upstream sensor or the downstream sensor. (5) Amplitude measuring means for monitoring the output amplitude of the in-phase digital filter means or the different-phase digital filter means is provided, and based on the output of the amplitude measuring means, the Coriolis signal of the Coriolis signal derived from the output of the phase calculating means is provided. The Coriolis mass flowmeter according to (1) or (2), characterized in that the filter changing means is controlled by selecting any of a frequency, a frequency of the Coriolis signal obtained by the upstream sensor, and a frequency of the Coriolis signal obtained by the downstream sensor. (6) The Coriolis mass flowmeter according to any one of (1) to (5), characterized in that a finite impulse response filter is used as the in-phase digital filter means or the different-phase digital filter means. (7) The Coriolis mass flowmeter according to any one of (1) to (5), wherein the finite impulse response filter has a bandpass characteristic. (8) A pair of low-pass filters is provided in the subsequent stage of the analog / digital converter, and each output is used as each digital signal (1).
The Coriolis mass flowmeter according to any one of (5). (9) In relation to the vibration frequency of the measuring tube obtained by dividing the phase difference measured at a predetermined time difference in the first or second phase by this time difference, and the temperature of the fluid to be measured. The Coriolis mass flowmeter according to any one of (1) to (5), wherein the frequency correction and the temperature correction are performed on the phase difference signal using the temperature signal thus generated.

【0032】[0032]

【発明の実施の形態】以下本発明実施態様を、図面を用
いて説明する。図1は本発明を適用したコリオリ質量流
量計の変換部TRの主要部を示す機能ブロック図であ
る。図5で説明した要素と同一要素には同一符号を付し
て説明を省略する。尚、図1のブロック図は本発明にか
かるコリオリ質量流量計の主要部であり、この主要部以
外のブロックは、図5で説明した従来のコリオリ質量流
量計と全く同様であるので、その詳しい説明は重複する
ので省略する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a functional block diagram showing a main part of a converter TR of a Coriolis mass flowmeter to which the present invention is applied. The same elements as those described with reference to FIG. 5 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. The block diagram of FIG. 1 shows the main part of the Coriolis mass flowmeter according to the present invention, and the blocks other than this main part are exactly the same as the conventional Coriolis mass flowmeter described in FIG. The description will be omitted because it is redundant.

【0033】ヒルベルト変換器21及び27において、
FIRフィルタ1,2(21A)及びFIRフィルタ
1,2(27A)は周波数帯域の異なる複数の同相ディ
ジタルフィルタ群(最小構成ではFIRフィルタ1及び
FIRフィルタ2の2個)である。
In the Hilbert transformers 21 and 27,
The FIR filters 1 and 2 (21A) and the FIR filters 1 and 2 (27A) are a plurality of in-phase digital filter groups having different frequency bands (two FIR filters 1 and 2 in the minimum configuration).

【0034】同様に、ヒルベルト変換器21及び27に
おいて、FIRフィルタ(21B)及びFIRフィルタ
(27B)は周波数帯域の異なる複数の90°移相ディ
ジタルフィルタ群(最小構成ではFIRフィルタ1及び
FIRフィルタ2の2個)である。
Similarly, in the Hilbert transformers 21 and 27, the FIR filter (21B) and the FIR filter (27B) are composed of a plurality of 90 ° phase shift digital filter groups (in the minimum configuration, FIR filter 1 and FIR filter 2). Of two).

【0035】42及び42´は、複数の同相ディジタル
フィルタ群21A(最小構成ではFIRフィルタ1及び
FIRフィルタ2)の1個を選択する入力側及び出力側
の切り替えスイッチ、同様に、43及び43´は、複数
の同相ディジタルフィルタ群27A(最小構成ではFI
Rフィルタ1及びFIRフィルタ2)の1個を選択する
入力側及び出力側の切り替えスイッチである。
Reference numerals 42 and 42 'are input-side and output-side change-over switches for selecting one of the plurality of in-phase digital filter groups 21A (FIR filter 1 and FIR filter 2 in the minimum configuration), similarly 43 and 43'. Is a plurality of in-phase digital filter groups 27A (FI in the minimum configuration
These are input side and output side changeover switches for selecting one of the R filter 1 and the FIR filter 2).

【0036】44及び44´は、複数の90°位相ディ
ジタルフィルタ群21B(最小構成ではFIRフィルタ
1及びFIRフィルタ2)の1個を選択する入力側及び
出力側の切り替えスイッチ、同様に、45及び45´
は、複数の90°移相ディジタルフィルタ群27B(最
小構成ではFIRフィルタ1及びFIRフィルタ2)の
1個を選択する入力側及び出力側の切り替えスイッチで
ある。
44 and 44 'are input-side and output-side change-over switches for selecting one of the plurality of 90 ° phase digital filter groups 21B (FIR filter 1 and FIR filter 2 in the minimum configuration), similarly 45 and 45 '
Are input-side and output-side selector switches that select one of the plurality of 90 ° phase shift digital filter groups 27B (the FIR filter 1 and the FIR filter 2 in the minimum configuration).

【0037】これら切り替えスイッチは、操作信号S1
により連動して作動し、同相ディジタルフィルタ群21
A,27A及び90°移相ディジタルフィルタ群21
B,27Bの中のうち上流センサ信号の周波数に合致し
たディジタルフィルタ1組が選択される。
These changeover switches are operated by the operation signal S1.
And operates in tandem with the in-phase digital filter group 21.
A, 27A and 90 ° phase shift digital filter group 21
A set of digital filters that matches the frequency of the upstream sensor signal is selected from B and 27B.

【0038】46はフィルタ変更手段であり、平均化回
路34より求められる周波数fC’とディジタルフィル
タの周波数帯域の周波数値をソフトウェアで比較して周
波数fc’が帯域内となるディジタルフィルタを選択す
るための操作信号S1を出力する。
Reference numeral 46 is a filter changing means for comparing the frequency fC 'obtained by the averaging circuit 34 with the frequency value of the frequency band of the digital filter by software to select the digital filter whose frequency fc' is within the band. The operation signal S1 of is output.

【0039】ハードウエア構成とする場合では、周波数
fC’をこれに比例した電圧に変換して、その電圧を同
様にディジタルフィルタの周波数帯域の周波数に比例し
た電圧と比較器により比較してディジタルフィルタを選
択する操作信号S1を出力してもよい。
In the case of the hardware configuration, the frequency fC 'is converted into a voltage proportional to the frequency fC', and the voltage is similarly compared with a voltage proportional to the frequency of the frequency band of the digital filter by a comparator to obtain a digital filter. The operation signal S1 for selecting may be output.

【0040】その一方で、図1に示す本発明を適用した
場合は、上流センサや下流センサの信号などにノイズ成
分が重畳されて周波数fc’がノイズ成分の周波数を出
力してしまうと、フィルタ変更手段46はノイズ成分の
周波数に対応したディジタルフィルタを選択してしまう
虞がある。そしてノイズ成分が消滅してもこのとき選択
されたディジタルフィルタでは上流センサなどの信号が
減衰されて正常な測定ができなくなる。
On the other hand, when the present invention shown in FIG. 1 is applied, if the noise component is superimposed on the signals of the upstream sensor and the downstream sensor and the frequency fc 'outputs the frequency of the noise component, the filter The changing unit 46 may select a digital filter corresponding to the frequency of the noise component. Even if the noise component disappears, the signal from the upstream sensor or the like is attenuated by the digital filter selected at this time and normal measurement cannot be performed.

【0041】流体種類の変化など(空状態を含む)によ
り上流センサおよび下流センサの信号の周波数が急激に
変化した場合、選択されているディジタルフィルタは変
化前の周波数に対するものなので、周波数変化後の信号
は減衰されて正常な測定ができない。
When the frequency of the signal of the upstream sensor and the signal of the downstream sensor suddenly changes due to the change of the fluid type (including the empty state), the selected digital filter is for the frequency before the change, so The signal is attenuated and normal measurement cannot be performed.

【0042】図2の実施例は、ノイズの混入や信号周波
数が急変した場合でも、正常な測定ができるように上流
側信号などの周波数に合致したディジタルフィルタを選
択できる機能を追加した構成を特徴とする。
The embodiment of FIG. 2 is characterized by the addition of a function capable of selecting a digital filter that matches the frequency of an upstream signal or the like so that normal measurement can be performed even when noise is mixed in or the signal frequency suddenly changes. And

【0043】47は上流センサの信号SAを直接入力す
る周波数測定手段であり、ノイズを除去できる手段(例
えばアナログフィルタによるノイズ除去やヒステリシス
特性を有する比較器)を含んでおり、これにより上流セ
ンサの信号の周波数を求めて、フィルタ変更手段48に
出力する。
Reference numeral 47 is a frequency measuring means for directly inputting the signal SA of the upstream sensor, which includes means for removing noise (for example, noise removal by an analog filter or a comparator having a hysteresis characteristic). The frequency of the signal is obtained and output to the filter changing means 48.

【0044】フィルタ変更手段48は、図1で説明した
フィルタ変更手段46と同一機能を有しており、上流セ
ンサの信号SAの周波数faとディジタルフィルタの周
波数帯域の周波数値を比較して周波数faが帯域内とな
るディジタルフィルタを選択するための操作信号S2を
出力する。
The filter changing means 48 has the same function as the filter changing means 46 described in FIG. 1, and compares the frequency fa of the signal SA of the upstream sensor with the frequency value of the frequency band of the digital filter to obtain the frequency fa. Outputs an operation signal S2 for selecting a digital filter whose band is within the band.

【0045】49は操作信号S1と操作信号S2を切り
替える操作信号切り替えスイッチであり、振幅測定手段
50の操作出力S3で切り替え操作が実行される。
Reference numeral 49 is an operation signal changeover switch for switching between the operation signal S1 and the operation signal S2, and the switching operation is executed by the operation output S3 of the amplitude measuring means 50.

【0046】振幅測定手段50は、ディジタルフィルタ
(例えば21A、21B)出力の振幅を監視する機能を
有しており、振幅の減衰が所定のレベル以下となったと
き、操作信号S3を出力し、ディジタルフィルタの切り
替え操作信号をS1よりS2に切り替える。
The amplitude measuring means 50 has a function of monitoring the amplitude of the digital filter (for example, 21A, 21B) output, and outputs the operation signal S3 when the attenuation of the amplitude becomes less than a predetermined level. The switching operation signal of the digital filter is switched from S1 to S2.

【0047】ここでディジタルフィルタがノイズ成分の
周波数に合致した帯域のものを選択してしまうとノイズ
成分が消滅したあとに上流センサの信号の周波数成分は
減衰されてその振幅は小さくなるため、振幅測定手段5
0によりディジタルフィルタの出力の振幅が一定のしき
い値以下か否かを判断することで、上流センサの信号の
周波数faに合致したディジタルフィルタの選択が行え
る。
If the digital filter selects a band in which the frequency of the noise component matches, the frequency component of the signal of the upstream sensor is attenuated and its amplitude becomes small after the noise component disappears. Measuring means 5
It is possible to select a digital filter that matches the frequency fa of the signal of the upstream sensor by determining whether the amplitude of the output of the digital filter is less than or equal to a certain threshold value by 0.

【0048】振幅測定手段50としては、ディジタルフ
ィルタ21Aの出力はAsinωt、21Bの出力はA
cosωtなので、各々の自乗の和により求められる振
幅Aの自乗(=振幅に対応する)値を用いることもでき
る。
As the amplitude measuring means 50, the output of the digital filter 21A is Asinωt and the output of 21B is A
Since it is cos ωt, it is also possible to use the square (= corresponding to the amplitude) value of the amplitude A obtained by the sum of the respective squares.

【0049】流体種類の変化など(空状態を含む)により
上流センサおよび下流センサの信号の周波数が急激に変
化した場合でも、上記と同様に周波数変化後の上流セン
サの信号の振幅は一定のしきい値以下になるため、フィ
ルタ変更手段48の操作信号S2によりディジタルフィ
ルタが選択されて、周波数変化後の上流センサの信号f
aに合致したディジタルフィルタを選択することができ
る。
Even when the frequencies of the signals of the upstream sensor and the downstream sensor change rapidly due to changes in the fluid type (including the empty state), the amplitude of the signal of the upstream sensor after the frequency change remains constant as in the above case. Since it becomes less than the threshold value, the digital filter is selected by the operation signal S2 of the filter changing means 48, and the signal f of the upstream sensor after the frequency change is selected.
A digital filter matching a can be selected.

【0050】以上説明した実施例では、簡単のため選択
対象ディジタルフィルタの数は2個で示したが、具体的
な設計では多数個の異なる周波数帯域を持つディジタル
フィルタを用意して、それらの選択が可能となる。また
フィルタの変更は、FIRフィルタの特性を決定する係
数パラメータをテーブル化してソフトウェアによりテー
ブルから所定のパラメータを選択する構成が可能であ
る。
In the embodiment described above, the number of digital filters to be selected is shown to be two for simplification. However, in the concrete design, a plurality of digital filters having different frequency bands are prepared and selected. Is possible. Further, the filter can be changed by constructing a table of coefficient parameters that determine the characteristics of the FIR filter and selecting a predetermined parameter from the table by software.

【0051】図1において、周波数fC’を下流センサ
側から出力してフィルタ選択を実現することもできる。
又図2において、周波数fC’を下流センサ側から出力
して、下流センサ側に周波数測定手段47、フィルタ変
更手段46,48、振幅測定手段50を具備しても同様
にフィルタ選択を実現することができる。
In FIG. 1, the frequency fC 'can be output from the downstream sensor side to realize the filter selection.
Also, in FIG. 2, the frequency fC ′ is output from the downstream sensor side, and the filter selection can be similarly realized even if the frequency measuring means 47, the filter changing means 46, 48, and the amplitude measuring means 50 are provided on the downstream sensor side. You can

【0052】なお、図1及び図2に示す実施例では、デ
スクリートな回路素子を用いて実現する形として説明し
たが、アナログ/ディジタル変換器19、25、38以
降の信号処理については、マイクロプロセッサ、メモリ
などを用いたソフトウエア演算処理により各ブロックで
の機能を順次実行させ、質量流量信号を得ることができ
る。
Although the embodiments shown in FIGS. 1 and 2 have been described as being realized by using discrete circuit elements, the signal processing of the analog / digital converters 19, 25 and 38 and thereafter is not limited to the micro. The functions in each block can be sequentially executed by software arithmetic processing using a processor, a memory, etc., and a mass flow rate signal can be obtained.

【0053】[0053]

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によればセンサの口径や流体密度により広範な周
波数帯域をもつセンサ群に対して、センサ信号の周波数
に合致した(=最適な)周波数帯域の同相および移相デ
ィジタルフィルタを選択してディジタルフィルタリング
を行うことが可能となり、変換部に汎用性を持たせたコ
リオリ質量流量を実現することができる。
As is apparent from the above description,
According to the present invention, for a sensor group having a wide frequency band depending on the diameter of the sensor and the fluid density, the in-phase and phase-shifting digital filters in the (= optimal) frequency band matching the frequency of the sensor signal are selected and digitalized. It becomes possible to perform filtering, and it is possible to realize the Coriolis mass flow rate with general versatility in the conversion unit.

【0054】また、センサ信号などにノイズが混入した
場合にも、ノイズ消滅後速やかにセンサ信号周波数に合
致したディジタルフィルタを選択して正常な出力を得る
ことが可能なコリオリ質量流量を実現することができ
る。
Further, even when noise is mixed in the sensor signal or the like, it is possible to realize a Coriolis mass flow rate capable of obtaining a normal output by quickly selecting a digital filter that matches the sensor signal frequency after the noise disappears. You can

【0055】さらに、気泡の混入や満水から空状態にな
る等によりセンサ信号の周波数が急激に変化した場合に
も、速やかにセンサ信号周波数に合致したディジタルフ
ィルタを選択して正常な出力に得ることが可能なコリオ
リ質量流量を実現することができる。
Further, even when the frequency of the sensor signal changes abruptly due to the inclusion of bubbles or the empty state from full water, it is necessary to promptly select a digital filter that matches the sensor signal frequency and obtain a normal output. It is possible to realize a Coriolis mass flow rate capable of

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明を適用したコリオリ質量流量計の変換部
TRの主要部を示す機能ブロック図である。
FIG. 1 is a functional block diagram showing a main part of a conversion unit TR of a Coriolis mass flowmeter to which the present invention is applied.

【図2】本発明の他の実施例を示す変換部TRの主要部
の機能ブロック図である。
FIG. 2 is a functional block diagram of a main part of a conversion unit TR showing another embodiment of the present invention.

【図3】周知のコリオリ質量流量計のセンサ部の構成を
示す構成図である。
FIG. 3 is a configuration diagram showing a configuration of a sensor unit of a known Coriolis mass flowmeter.

【図4】図3に示すコリオリ質量流量計のセンサ部の動
作を説明する波形図である。
FIG. 4 is a waveform diagram illustrating an operation of a sensor unit of the Coriolis mass flowmeter shown in FIG.

【図5】図3に示すセンサ部と組合せて質量流量を演算
する変換部の構成を示す構成図である。
5 is a configuration diagram showing a configuration of a conversion unit that calculates a mass flow rate in combination with the sensor unit shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20、26 ローパスフィルタ 21、27 ヒルベルト変換器 21A、27A 同相ディジタルフィルタ 21B、27B 90°異相ディジタルフィルタ 23、29 位相演算器 34 平均化回路 42〜45´ 切り替えスイッチ 46 フィルタ変更手段 20, 26 Low pass filter 21, 27 Hilbert transformer 21A, 27A in-phase digital filter 21B, 27B 90 ° out-of-phase digital filter 23, 29 Phase calculator 34 Averaging circuit 42-45 'changeover switch 46 Filter changing means

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】測定チューブの上下流に設置された上流セ
ンサ並びに下流センサで得られる一対のコリオリ信号を
用いて質量流量を測定するコリオリ質量流量計におい
て、 前記各コリオリ信号を各ディジタル信号に変換するアナ
ログ/ディジタル変換器と、 この各ディジタル信号を同一位相でフィルタリングして
各々第1・第2フィルタ信号として出力する一対の同相
ディジタルフィルタ手段と、 前記各ディジタル信号を異なる位相に変換して第3・第
4フィルタ信号として出力する一対の異相ディジタルフ
ィルタ手段と、 これ等の第1・第3フィルタ信号の比率と第2・第4フ
ィルタ信号の比率とを演算して各比率から第1・第2位
相を演算する一対の位相演算手段と、 前記第1位相と前記第2位相との差分を演算して前記質
量流量に対応する位相差信号を出力する位相差演算手段
と、 前記コリオリ信号の周波数に応じて前記同相ディジタル
フィルタ手段並びに前記異相ディジタルフィルタ手段の
周波数帯域を変更するフィルタ変更手段と、を具備する
ことを特徴とするコリオリ質量流量計。
1. A Coriolis mass flowmeter for measuring a mass flow rate using a pair of Coriolis signals obtained by an upstream sensor and a downstream sensor installed upstream and downstream of a measuring tube, wherein each Coriolis signal is converted into each digital signal. An analog-to-digital converter, a pair of in-phase digital filter means for filtering the respective digital signals with the same phase and outputting them as the first and second filter signals, respectively, and converting the respective digital signals into different phases. A pair of out-of-phase digital filter means for outputting as the third and fourth filter signals, and a ratio of the first and third filter signals and a ratio of the second and fourth filter signals are calculated to calculate the first and second ratios from the respective ratios. A pair of phase calculation means for calculating a second phase, and a difference between the first phase and the second phase for calculating the mass flow rate. Phase difference calculating means for outputting a phase difference signal, and filter changing means for changing the frequency band of the in-phase digital filter means and the different-phase digital filter means according to the frequency of the Coriolis signal. Coriolis mass flow meter.
【請求項2】前記同相ディジタルフィルタ手段並びに前
記異相ディジタルフィルタ手段は、夫々周波数帯域の異
なる複数組で構成され、 前記フィルタ変更手段は、前記コリオリ信号の周波数に
応じて最適な1組を選択することを特徴とする、請求項
1記載のコリオリ質量流量計。
2. The in-phase digital filter means and the out-of-phase digital filter means are composed of a plurality of sets each having a different frequency band, and the filter changing means selects an optimum set according to the frequency of the Coriolis signal. The Coriolis mass flowmeter according to claim 1, characterized in that
【請求項3】前記位相演算手段の出力より導かれる前記
コリオリ信号の周波数により、前記フィルタ変更手段が
制御されることを特徴とする、請求項1又は2記載のコ
リオリ質量流量計。
3. The Coriolis mass flowmeter according to claim 1, wherein the filter changing means is controlled by the frequency of the Coriolis signal derived from the output of the phase calculating means.
【請求項4】前記上流センサ又は下流センサで得られる
コリオリ信号の周波数により、前記フィルタ変更手段が
制御されることを特徴とする、請求項1又は2記載のコ
リオリ質量流量計。
4. The Coriolis mass flowmeter according to claim 1, wherein the filter changing means is controlled by the frequency of the Coriolis signal obtained by the upstream sensor or the downstream sensor.
【請求項5】前記同相ディジタルフィルタ手段又は前記
異相ディジタルフィルタ手段の出力振幅を監視する振幅
測定手段を具備し、 前記振幅測定手段の出力に基づき、前記位相演算手段の
出力より導かれる前記前記コリオリ信号の周波数、前記
上流センサ、下流センサで得られるコリオリ信号の周波
数のいずれかを選択して前記フィルタ変更手段を制御す
ることを特徴とする、請求項1又は2記載のコリオリ質
量流量計。
5. Coriolis derived from the output of the phase calculating means based on the output of the amplitude measuring means, comprising amplitude measuring means for monitoring the output amplitude of the in-phase digital filter means or the out-of-phase digital filter means. 3. The Coriolis mass flowmeter according to claim 1, wherein the filter changing means is controlled by selecting either the frequency of the signal or the frequency of the Coriolis signal obtained by the upstream sensor or the downstream sensor.
【請求項6】前記同相ディジタルフィルタ手段又は前記
異相ディジタルフィルタ手段として有限インパルス応答
フィルタを用いたことを特徴とする、請求項1乃至5の
いずれかに記載のコリオリ質量流量計。
6. A Coriolis mass flowmeter according to claim 1, wherein a finite impulse response filter is used as said in-phase digital filter means or said different-phase digital filter means.
【請求項7】前記有限インパルス応答フィルタにバンド
パス特性を持たせることを特徴とする請求項1乃至5の
いずれかに記載のコリオリ質量流量計。
7. The Coriolis mass flowmeter according to claim 1, wherein the finite impulse response filter has a bandpass characteristic.
【請求項8】前記アナログ/ディジタル変換器の後段
に、各々一対のローパスフィルタを設け、この各出力を
前記各ディジタル信号として用いることを特徴とする請
求項1乃至5のいずれかに記載のコリオリ質量流量計。
8. The Coriolis unit according to claim 1, wherein a pair of low-pass filters are provided at the subsequent stage of the analog / digital converter, and the respective outputs are used as the respective digital signals. Mass flow meter.
【請求項9】前記第1または第2位相において、所定の
時間差で測定された位相差をこの時間差で割ることによ
り求められた前記測定チューブの振動周波数と、前記被
測定流体の温度に関連して測定された温度信号とを用い
て、前記位相差信号に対して前記周波数補正と温度補正
とを行うことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに
記載のコリオリ質量流量計。
9. A vibration frequency of the measuring tube obtained by dividing a phase difference measured at a predetermined time difference in the first or second phase by the time difference and a temperature related to the fluid to be measured. 6. The Coriolis mass flowmeter according to claim 1, wherein the frequency correction and the temperature correction are performed on the phase difference signal using the temperature signal measured by the above.
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