JP2003121107A - Rotary position detector - Google Patents

Rotary position detector

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JP2003121107A
JP2003121107A JP2001313083A JP2001313083A JP2003121107A JP 2003121107 A JP2003121107 A JP 2003121107A JP 2001313083 A JP2001313083 A JP 2001313083A JP 2001313083 A JP2001313083 A JP 2001313083A JP 2003121107 A JP2003121107 A JP 2003121107A
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rotation
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    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D2205/00Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
    • G01D2205/70Position sensors comprising a moving target with particular shapes, e.g. of soft magnetic targets
    • G01D2205/73Targets mounted eccentrically with respect to the axis of rotation

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To miniaturize and simplify a rotary position detector. SOLUTION: The rotary position detector has a sensor head (SH) which is constituted by arranging at least a pair of coils excited by an AC signal over a part of a predetermined angle-of-rotation range, and a magnetic response member (RP) arranged so as to be rotationally displaced relatively with respect to the sensor head (SH). The magnetic response member (RP) has a shape generating not only output showing differential characteristics in the respective coils corresponding to a relative rotary position, but also output corresponding to a plurality of cycles during one rotation. By this constitution, the sensor head (SH) is arranged so as to be biased to a place of an angle range where no obstacle is present to make it possible to detect rotation with high accuracy. Therefore, an effective result is obtained in such a case that the position detector is arranged within an existing machine of a narrow range.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、交流励磁される
コイルとこのコイルに対して相対的に変位する磁性体又
は導電体とを含んで構成される回転型位置検出装置に関
し、1回転又は所定角度範囲にわたる回転位置の検出に
適したものであり、特に、1相の交流で励磁される1次
コイルのみを使用して複数相の振幅関数特性を示す出力
交流信号を検出対象回転位置に応じて生成するものに関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rotary type position detecting device including a coil excited by an alternating current and a magnetic body or a conductive body which is relatively displaced with respect to the coil. It is suitable for detecting the rotational position over an angular range, and in particular, it uses only a primary coil excited by a one-phase alternating current to output an output AC signal showing the amplitude function characteristics of a plurality of phases depending on the rotational position to be detected. About what to generate.

【0002】[0002]

【従来の技術】誘導型の回転位置検出装置として、1相
励磁入力で2相出力(サイン相とコサイン相の出力)を
生じるものは「レゾルバ」として知られており、1相励
磁入力で3相出力(120度ずれた3相)を生じるもの
は「シンクロ」として知られている。最も古いタイプの
在来型のレゾルバは、ステータ側に90度の機械角で直
交する2極(サイン極とコサイン極)の2次巻線を配
し、ロータ側に1次巻線を配したものである。このよう
なタイプのレゾルバはロータの1次巻線に電気的にコン
タクトするためのブラシを必要としているので、これが
欠点となっている。これに対して、ブラシを不要とした
ブラシレス・レゾルバの存在も知られている。ブラシレ
ス・レゾルバは、ロータ側においてブラシに代わる回転
トランスを設けたものである。しかし、このようなブラ
シレス・レゾルバはロータ側に回転トランスを具備する
構成の故に、装置を小型化することが困難であり、小型
化には限度があるし、また、回転トランスの分だけ装置
構成部品点数が増すので製造コストの上昇にもつながっ
てしまう。
2. Description of the Related Art An induction type rotational position detecting device which produces a two-phase output (output of sine phase and cosine phase) with one-phase excitation input is known as a "resolver", and one with three-phase excitation input. What produces a phase output (three phases shifted by 120 degrees) is known as "synchronization". The oldest conventional resolver has two poles (sine pole and cosine pole) that are orthogonal to each other at a mechanical angle of 90 degrees on the stator side and a primary winding on the rotor side. It is a thing. This is a drawback because these types of resolvers require a brush to make electrical contact with the primary winding of the rotor. On the other hand, the existence of a brushless resolver that does not require a brush is also known. The brushless resolver is provided with a rotary transformer that replaces the brush on the rotor side. However, since such a brushless resolver has a structure in which a rotary transformer is provided on the rotor side, it is difficult to downsize the device, and there is a limit to downsizing, and the device configuration is reduced by the amount of the rotary transformer. Since the number of parts increases, it also leads to an increase in manufacturing cost.

【0003】一方、ステータ側の複数の凸極に1次巻線
と2次巻線を配し、ロータを所定形状(偏心円形状、あ
るいは楕円形状、あるいは突起を持つ形状)の磁性体で
構成し、ステータ凸極とロータ磁性体との間のギャップ
が回転位置に応じて変化することに基づき、回転位置に
応じた磁気抵抗変化を生成し、これに応じた出力信号を
得るようにした、無接触式・可変磁気抵抗型の回転位置
検出装置が、古くは商品名「マイクロシン」として知ら
れている。また、同様の可変磁気抵抗原理に基づく回転
位置検出装置が、例えば、特開昭55−46862号、
特開昭55−70406号、特開昭59−28603号
などにおいて示されている。なお、この場合、出力信号
に基づく位置検出方式は、位相方式(検出した位置デー
タが出力信号の電気的位相角に対応している方式)と電
圧方式(検出した位置データが出力信号の電圧レベルに
対応している方式)のどちらもが知られている。例え
ば、位相方式を採用する場合は、2相励磁入力又は3相
励磁入力等、異なる機械角で配置された各1次巻線を位
相のずれた複数相で励磁し、回転位置に応じて電気的位
相角がずれた1相の出力信号を生ずる。また、電圧方式
を採用する場合は、1次巻線と2次巻線の関係が上記位
相方式とは逆になり、上記「レゾルバ」のように1相励
磁入力で複数相出力を生ずる。
On the other hand, the primary winding and the secondary winding are arranged on a plurality of salient poles on the stator side, and the rotor is made of a magnetic material of a predetermined shape (eccentric circle shape, elliptical shape, or shape having protrusions). Then, based on that the gap between the stator salient pole and the rotor magnetic body changes according to the rotational position, a magnetic resistance change corresponding to the rotational position is generated, and an output signal corresponding to this is obtained. A contactless variable magnetic resistance type rotational position detecting device has been known as a product name "Micro Thin" for a long time. Further, a rotary position detecting device based on the same variable reluctance principle is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 55-46862.
It is shown in JP-A-55-70406 and JP-A-59-28603. In this case, the position detection method based on the output signal includes the phase method (the detected position data corresponds to the electrical phase angle of the output signal) and the voltage method (the detected position data is the voltage level of the output signal). Both of which are compatible with) are known. For example, when the phase method is adopted, each primary winding arranged at a different mechanical angle, such as a two-phase excitation input or a three-phase excitation input, is excited by a plurality of phases out of phase and the electric A one-phase output signal whose phase angle is shifted is generated. Further, when the voltage method is adopted, the relationship between the primary winding and the secondary winding is opposite to that of the phase method described above, and a plurality of phase outputs are generated by the one-phase excitation input as in the above “resolver”.

【0004】「レゾルバ」のように1相励磁入力で複数
相出力を生ずる回転位置検出装置においては、典型的に
は、サイン相出力とコサイン相出力の2相出力を生じる
ように構成されている。そのために、従来の無接触式・
可変磁気抵抗型のレゾルバタイプの回転位置検出装置
は、最低でもステータは4極構成とされ、各極が機械角
で90度の間隔で配置され、第1の極をサイン相とする
と、それから90度離れた第2の極はコサイン相とさ
れ、更に90度離れた第3の極はマイナスサイン相とさ
れ、更に90度離れた第4の極はマイナスコサイン相と
される。その場合、各ステータ極に対して回転に応じた
磁気抵抗変化を生じさせるためにロータは、磁性体又は
導電体からなり、その形状が偏心円形状や楕円形状ある
いは歯車形状等の周期的な形状に形成される。そして、
各ステータ極には1次コイルと2次コイルが設けられ、
各ステータ極とロータ間のギャップがロータの回転位置
に対応して変化することにより該ステータ極を通る磁気
回路の磁気抵抗が変化し、これに基づき該ステータ極に
おける1次コイルと2次コイルとの間の磁気結合度が回
転位置に対応して変化し、こうして回転位置に対応する
出力信号が2次コイルに誘導されるようにしており、各
ステータ極の出力信号のピーク振幅特性は周期的関数特
性を示す。
A rotary position detecting device such as a "resolver" which produces a plurality of phase outputs with a one-phase excitation input is typically configured to produce a two-phase output of a sine phase output and a cosine phase output. . Therefore, the conventional non-contact type
In the variable magnetic resistance type resolver type rotational position detecting device, at least the stator has a four-pole configuration, and each pole is arranged at an interval of 90 degrees in mechanical angle. The second pole spaced apart is in the cosine phase, the third pole further spaced 90 degrees is in the negative sine phase, and the fourth pole further spaced 90 degrees is in the negative cosine phase. In that case, the rotor is made of a magnetic material or a conductive material in order to cause a change in magnetic resistance according to rotation for each stator pole, and its shape is a periodic shape such as an eccentric shape, an elliptical shape, or a gear shape. Is formed. And
Each stator pole is provided with a primary coil and a secondary coil,
The magnetic resistance of the magnetic circuit passing through the stator poles changes as the gap between each stator pole and the rotor changes corresponding to the rotational position of the rotor, and based on this, the primary coil and the secondary coil in the stator poles are changed. The degree of magnetic coupling between the two changes according to the rotational position, and thus the output signal corresponding to the rotational position is induced in the secondary coil, and the peak amplitude characteristic of the output signal of each stator pole is periodic. The function characteristics are shown.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の無
接触式・可変磁気抵抗型のレゾルバタイプの回転位置検
出装置は、1次コイルと2次コイルを設ける1次−2次
誘導タイプであるために、コイル数が多くなり、故に、
構造を小型化するのに限度があり、また、コストを低減
するのにも限度があった。更に、従来の回転位置検出装
置は、複数のステータ極が1回転の全体にわたって均等
間隔で配置される構成であるため、その構造上の制限か
ら適用可能な場所やスペースに限度があった。また、従
来の回転位置検出装置においては、サインとコサインの
2相出力を得る場合であっても、ステータを単純な2極
構成とすることはできず、4極構成としなければならな
かったので、構造を小型化するのに限度があった。
The conventional contactless variable magnetic reluctance type resolver type rotary position detecting device as described above is a primary-secondary induction type in which a primary coil and a secondary coil are provided. Therefore, the number of coils increases, and therefore,
There is a limit to downsizing the structure, and also a limit to reducing the cost. Further, since the conventional rotational position detection device has a configuration in which a plurality of stator poles are arranged at equal intervals over the entire rotation, there is a limit to the applicable place and space due to the structural limitation. Further, in the conventional rotational position detecting device, even when the two-phase output of sine and cosine is obtained, the stator cannot have a simple two-pole structure, and the four-pole structure has to be used. There was a limit to downsizing the structure.

【0006】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、小型かつシンプルな構造を持つ回転型位置検出装置
を提供しようとするものである。また、利用可能な位相
角範囲を広くとることができ、更には、検出対象の変位
が微小でも高分解能での検出が可能な、回転型位置検出
装置を提供しようとするものである。
The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to provide a rotary type position detecting device having a small size and a simple structure. Further, it is an object of the present invention to provide a rotary type position detection device which can take a wide range of usable phase angles and can detect with high resolution even when the displacement of the detection target is minute.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明に係る回転型位置
検出装置は、交流信号で励磁される少なくとも1対のコ
イルを所定の一部の回転角度範囲にわたって配置してな
るコイル部であって、1対のコイルにおける各コイルは
所定の回転角に対応する間隔で離隔されて配置されてお
り、前記コイル部に対して相対的に回転変位するよう配
置された磁気応答部材であって、検出対象の回転に応じ
て該部材と前記コイル部との相対的回転位置が変化し、
この相対的回転位置に応じて前記コイルのインピーダン
スを変化させ、このインピーダンス変化に基づき前記相
対的回転位置が所定の回転角範囲にわたって変化する間
で前記コイルに生じる電圧が増減変化するようにし、1
対のコイルにおける各コイルの電圧の増減変化が差動的
な特性を示すようにしたものであり、1回転において複
数周期分の前記インピーダンス変化を生じさせるような
形状からなるものと、前記1対のコイルにおける各コイ
ルに生じる電圧の差をそれぞれ取り出し、所定の周期的
振幅関数を振幅係数として持つ交流出力信号を各コイル
毎に生成する回路であって、前記各交流出力信号の前記
周期的振幅関数はその周期特性において所定位相だけ異
なっているものとを具える。
A rotary type position detecting device according to the present invention is a coil portion in which at least one pair of coils excited by an AC signal are arranged over a predetermined partial rotation angle range. The coils of the pair of coils are arranged at intervals corresponding to a predetermined rotation angle, and are magnetically responsive members arranged so as to be rotationally displaced relative to the coil portion. The relative rotational position of the member and the coil portion changes according to the rotation of the object,
The impedance of the coil is changed according to the relative rotational position, and the voltage generated in the coil is increased or decreased while the relative rotational position changes over a predetermined rotation angle range based on the impedance change.
The pair of coils is configured so that an increase / decrease in voltage of each coil shows a differential characteristic, and has a shape that causes the impedance change for a plurality of cycles in one rotation. A circuit for extracting the difference between the voltages generated in the coils of the respective coils and generating an AC output signal having a predetermined cyclic amplitude function as an amplitude coefficient for each coil, wherein the cyclic amplitude of each AC output signal is The function has a difference in its periodic characteristic by a predetermined phase.

【0008】また、本発明の好ましい実施例として、前
記コイル対は2対設けられており、前記回路は、各々の
コイル対からサイン関数を振幅係数として持つ交流出力
信号とコサイン関数を振幅係数として持つ交流出力信号
とを生成することを特徴とする。
Further, as a preferred embodiment of the present invention, two pairs of the coils are provided, and the circuit has an AC output signal having a sine function as an amplitude coefficient and a cosine function as an amplitude coefficient from each coil pair. And an alternating current output signal that it has.

【0009】磁気応答部材は、典型的には、磁性体及び
導電体の少なくとも一方を含んでなるものである。磁気
応答部材が磁性体からなる場合は、該部材のコイルに対
峙する面積が広くなるほど、該コイルのインダクタンス
が増加して、該コイルの電気的インピーダンスが増加
し、該コイルに生じる電圧(すなわち端子間電圧)が増
加する。反対に、該磁気応答部材のコイルに対峙する面
積が狭くなるほど、該コイルのインダクタンスが減少し
て、該コイルの電気的インピーダンスが減少し、該コイ
ルの端子間電圧が減少する。こうして、検出対象の回転
に伴い、コイルに対する磁気応答部材の相対的回転位置
が所定の回転角範囲にわたって変化する間で該コイルの
端子間電圧は、増減変化することになる。
The magnetically responsive member typically comprises at least one of a magnetic material and a conductor. When the magnetically responsive member is made of a magnetic material, the inductance of the coil increases as the area of the member facing the coil increases, and the electrical impedance of the coil increases. Voltage) increases. Conversely, as the area of the magnetically responsive member facing the coil becomes narrower, the inductance of the coil decreases, the electrical impedance of the coil decreases, and the voltage across the terminals of the coil decreases. In this way, as the relative rotation position of the magnetically responsive member with respect to the coil changes over a predetermined rotation angle range, the terminal voltage of the coil increases or decreases as the detection target rotates.

【0010】ここで、コイルを流れる交流信号をsin
ωtで示し、一例として、この増減変化によって生ずる
振幅係数成分を、回転角θを変数とする関数A(θ)で
示すと、コイルの端子間電圧はA(θ)sinωtで表
すことができる。この場合、振幅係数成分A(θ)は回
転に伴って増減変化はするが、その値は正の値しかとら
ない。例えば、この振幅係数成分A(θ)の増減変化の
カーブがサインカーブに近似する特性を示すとし、その
ピーク値をPとすると、A(θ)=P0+Psinθの
ような式で典型的には示されるものである。ここで、P
0≧Pである。すなわち、Psinθの値を或るオフセ
ット値P0でプラス方向にオフセットしたような特性で
ある。
Here, the AC signal flowing through the coil is converted to sin.
If the amplitude coefficient component generated by this increase / decrease change is represented by a function A (θ) with the rotation angle θ as a variable, the terminal voltage of the coil can be represented by A (θ) sinωt. In this case, the amplitude coefficient component A (θ) increases / decreases with rotation, but its value is only a positive value. For example, if the curve of the increase / decrease change of the amplitude coefficient component A (θ) exhibits a characteristic that approximates to a sine curve, and its peak value is P, it is typically shown by an equation such as A (θ) = P0 + Psinθ. It is what is done. Where P
0 ≧ P. That is, it is a characteristic that the value of Psinθ is offset in the plus direction by a certain offset value P0.

【0011】本発明によれば、上述したように例えば1
つのコイル対をサイン相とすると、該1つのコイル対に
おける各コイルの端子間電圧の増減変化が差動的な特性
を示すので、一方が(P0+Psinθ)sinωtと
すると、他方が(P0−Psinθ)sinωtとな
る。その両者の差を取り出すと、 (P0+Psinθ)sinωt−{(P0−Psin
θ)sinωt}=2Psinθsinωt となる。もう一方のコイル対をコサイン相とすると、該
コイル対における各コイルの端子間電圧の増減変化が差
動的な特性を示すことにより、その両者の差を取り出す
と、 (P0+Pcosθ)sinωt−{(P0−Pcos
θ)sinωt}=2Pcosθsinωt となる。このような差動合成原理は、従来知られたレゾ
ルバと共通しているが、従来のレゾルバは、1次及び2
次コイルを必要としていたが、本発明によれば、1次コ
イルのみを設ければよく、2次コイルは不要であるた
め、コイル構成が簡単であり、シンプルな構造の回転型
位置検出装置を提供することができることとなる。
According to the present invention, as described above, for example,
When one coil pair has a sine phase, the increase / decrease in the terminal voltage of each coil in the one coil pair exhibits a differential characteristic. Therefore, if one is (P0 + Psinθ) sinωt, the other is (P0−Psinθ). sin ωt. Taking out the difference between them, (P0 + Psinθ) sinωt-{(P0-Psin
θ) sinωt} = 2Psinθsinωt. When the other coil pair is the cosine phase, the increase and decrease in the voltage across the terminals of each coil in the coil pair show a differential characteristic. Therefore, when the difference between the two is taken out, (P0 + Pcosθ) sinωt-{( P0-Pcos
θ) sinωt} = 2Pcos θsinωt. Although such a differential combining principle is common to the conventionally known resolvers, the conventional resolver has a primary and secondary resolver.
Although the secondary coil is required, according to the present invention, since only the primary coil needs to be provided and the secondary coil is not necessary, a rotary type position detecting device having a simple coil structure and a simple structure is provided. It will be possible to provide.

【0012】本発明は、前記コイル部が1回転内の限ら
れた所定の角度範囲に設けられており、該限られた所定
の角度範囲における回転位置の検出を行うのに適するよ
うになっている。この場合は、追って詳しく説明するよ
うに、所定の限られた機械的回転角範囲の回転変位に関
して、360度フルの位相検出スケールではなく、所定
の限られた範囲内の位相検出スケールで(例えば60度
の範囲)位置検出データを得ることができる。すなわ
ち、所定の限られた範囲内の検出スケールではあるが、
レゾルバと同様の2つの交流出力信号、つまりサイン相
出力信号(sinθsinωt)とコサイン相出力信号
(cosθsinωt)、を得ることができる。このよ
うな偏ったコイル部の配置は、既存の機械内に本発明に
係る回転型位置検出装置を後から設置するような場合に
有効である。例えば、検出対象回転軸における所定の角
度範囲においては既に障害物が存在していて、1回転フ
ルにわたるステータコイルの設置が不可能なような場
合、障害物が存在していない角度範囲の場所に偏った配
置のコイル部を設置することができるので有利である。
According to the present invention, the coil portion is provided within a limited predetermined angle range within one rotation, and is adapted to detect a rotational position within the limited predetermined angle range. There is. In this case, as will be described later in detail, with respect to the rotational displacement in the predetermined limited mechanical rotation angle range, the phase detection scale within the predetermined limited range (for example, Position detection data can be obtained within a range of 60 degrees. That is, although it is a detection scale within a predetermined limited range,
It is possible to obtain two AC output signals similar to those of the resolver, that is, a sine phase output signal (sin θsin ωt) and a cosine phase output signal (cos θ sin ωt). Such a biased arrangement of coil portions is effective when the rotary position detecting device according to the present invention is installed later in an existing machine. For example, when an obstacle already exists in a predetermined angle range on the rotation axis to be detected and it is impossible to install the stator coil for one full rotation, the position is set in the angle range where the obstacle does not exist. This is advantageous because it is possible to install the coil portions having a biased arrangement.

【0013】なお、磁気応答部材として、銅のような非
磁性良導電体すなわち反磁性体を使用した場合は、渦電
流損によってコイルのインダクタンスが減少し、磁気応
答部材の近接に応じてコイルの端子間電圧が減少するこ
とになる。この場合も、上記と同様に検出することが可
能である。磁気応答部材として、磁性体と非磁性良導電
体(反磁性体)を組合わせたハイブリッドタイプのもの
を用いてもよい。
When a non-magnetic good conductor such as copper, that is, a diamagnetic material is used as the magnetic responsive member, the inductance of the coil decreases due to eddy current loss, and the coil responsive to the proximity of the magnetic responsive member. The voltage between terminals will decrease. Also in this case, it is possible to detect in the same manner as above. As the magnetic response member, a hybrid type member in which a magnetic body and a non-magnetic good conductor (diamagnetic body) are combined may be used.

【0014】一実施例として、前記コイル部の周囲に、
該コイル部に対する外部からの磁気を遮断するための磁
気シールド部材を設けるとよい。この磁気シールド部材
は磁性体及び/又は導電体からなっていてよい。磁性体
からなる磁気シールド部材を用いた場合は、外部からの
磁気の磁気回路が磁性体を通って形成され、内部のコイ
ル部には外部磁気が侵入しないように遮蔽することがで
きる。導電体からなる磁気シールド部材を用いた場合
は、外部からの磁気が導電体の個所で渦電流損により減
衰されることで、内部のコイル部に対する外部磁気が遮
蔽される。磁気シールド部材として磁性体と導電体を組
合わせたのものを用いてもよい。
As an example, around the coil portion,
It is advisable to provide a magnetic shield member for blocking the external magnetism to the coil portion. The magnetic shield member may be made of a magnetic substance and / or a conductor. When the magnetic shield member made of a magnetic material is used, a magnetic circuit for magnetism from the outside is formed through the magnetic material, and it is possible to shield the internal coil portion from the outside magnetism. When a magnetic shield member made of a conductor is used, the magnetism from the outside is attenuated by the eddy current loss at the location of the conductor, so that the external magnetism with respect to the internal coil portion is shielded. A combination of a magnetic body and a conductor may be used as the magnetic shield member.

【0015】別の観点によると本発明は、磁性体からな
る検出対象回転軸に取り付けられる磁気応答部材からな
る所定形状のロータ部と、交流信号によって励磁される
コイル部を備えたステータとを具備し、前記回転軸の回
転に応じて前記磁気応答部材と前記コイル部との相対的
回転位置が変化し、この相対的回転位置の変化に応じて
前記コイル部のインピーダンスを変化させ、このインピ
ーダンス変化に応じた出力信号を生成するようにした回
転位置検出装置において、前記ロータ部を前記回転軸に
固定する接合部において磁気シールド部材を設け、該回
転軸を通って前記ロータ部に漏洩する外部からの磁気を
該磁気シールド部材で遮蔽することを特徴とする。
According to another aspect, the present invention comprises a rotor portion having a predetermined shape and formed of a magnetically responsive member attached to a rotary shaft to be detected made of a magnetic material, and a stator having a coil portion excited by an AC signal. However, the relative rotational position of the magnetically responsive member and the coil portion changes according to the rotation of the rotating shaft, and the impedance of the coil portion changes according to the change of the relative rotational position. In the rotational position detecting device adapted to generate an output signal according to the above, a magnetic shield member is provided at a joint portion for fixing the rotor portion to the rotation shaft, and the magnetic shield member leaks to the rotor portion through the rotation shaft from the outside. The magnetic field is shielded by the magnetic shield member.

【0016】更に別の観点によると、検出対象回転軸に
取り付けられる磁気応答部材からなる所定形状のロータ
部と、交流信号によって励磁されるコイル部を備えたス
テータとを具備し、前記回転軸の回転に応じて前記磁気
応答部材と前記コイル部との相対的回転位置が変化し、
この相対的回転位置の変化に応じて前記コイル部のイン
ピーダンスを変化させ、このインピーダンス変化に応じ
た出力信号を生成するようにした回転位置検出装置にお
いて、前記コイル部の周囲に、該コイル部に対する外部
からの磁気を遮蔽するための磁気シールド部材を設けた
ことを特徴とする。
[0016] According to another aspect, a rotor part having a predetermined shape, which is a magnetically responsive member, is attached to the rotary shaft to be detected, and a stator having a coil part excited by an AC signal. The relative rotational position of the magnetically responsive member and the coil portion changes according to the rotation,
In a rotational position detecting device configured to change the impedance of the coil portion according to the change in the relative rotational position and generate an output signal according to the change in the impedance, a coil position is provided around the coil portion with respect to the coil portion. It is characterized in that a magnetic shield member for shielding the magnetism from the outside is provided.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照してこの発
明の実施の形態を詳細に説明する。図1(A)はこの発
明の一実施の形態に係る回転型位置検出装置の構造を示
す正面略図、同図(B)はその側面断面略図、同図
(C)は該回転型位置検出装置における検知部の拡大斜
視図である。また、図2は同装置におけるセンサ用コイ
ルに関連する電気回路図である。この実施例に示す回転
型位置検出装置は、モータの回転角を検出するために検
出対象とする回転体(例えば、ロータ)の適宜の位置に
配置することのできる分離型のセンサヘッドを具えた回
転型位置検出装置である。該回転型位置検出装置はモー
タM等の駆動に伴って回転動作するように回転軸MJに
取りつけられた回転体たる本体プレートPの回転角を検
出するものであり、センサ用コイルL1〜L4を各々含
む複数個の検知部S1〜S4を具えたコイル部たる分離
型のセンサヘッドSHと、シールドリングSRと共に取
付ねじT等で前記本体プレートPに一体的に取りつけら
れる所定形状の磁気応答部材(例えば、センサロータプ
レートRPを鉄のような磁性体からなる磁気応答部材で
構成する)とを含んで構成されている。すなわち、この
回転型位置検出装置では、本体プレートPと共に回転軸
MJを中心にして回転動作するセンサロータプレートR
Pの回転をセンサヘッドSHの複数個の検知部S1〜S
4で同時に検知することによって、モータMの回転軸M
Jの回転角を検出できるようになっている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 (A) is a schematic front view showing the structure of a rotary type position detecting device according to an embodiment of the present invention, FIG. 1 (B) is a schematic side sectional view thereof, and FIG. 1 (C) is the rotary type position detecting device. 3 is an enlarged perspective view of a detection unit in FIG. FIG. 2 is an electric circuit diagram related to the sensor coil in the same device. The rotary type position detecting device shown in this embodiment includes a separate type sensor head which can be arranged at an appropriate position of a rotating body (for example, a rotor) to be detected in order to detect a rotation angle of a motor. It is a rotary position detection device. The rotary type position detecting device detects a rotation angle of a body plate P, which is a rotating body and is attached to a rotating shaft MJ so as to rotate with the driving of a motor M or the like, and uses the sensor coils L1 to L4. A separate type sensor head SH, which is a coil section including a plurality of detecting sections S1 to S4, respectively, and a magnetic response member of a predetermined shape which is integrally attached to the main body plate P together with a mounting screw T together with a shield ring SR ( For example, the sensor rotor plate RP is composed of a magnetically responsive member made of a magnetic material such as iron). That is, in this rotary type position detection device, the sensor rotor plate R that rotates together with the body plate P about the rotation axis MJ is used.
The rotation of P is detected by a plurality of detection units S1 to S of the sensor head SH.
4 simultaneously detects the rotation axis M of the motor M.
The rotation angle of J can be detected.

【0018】センサヘッドSHは、センサロータプレー
トRPの回転を検出するための検出用コイルとして複数
個(この実施例では4個)の検知部S1〜S4を具え
る。各検知部S1〜S4は本体プレートPの曲率にあわ
せて回転軸MJの回転中心位置を指向するように、ま
た、センサヘッドSH上において各検知部S1〜S4が
円周方向に所定間隔で離隔するように配置されており、
この間隔は例えば回転軸MJの回転中心位置に関して各
々15度をなすような間隔である。各検知部S1(S2
〜S4)はそれぞれ異なる磁性体コアC1(C2〜C
4)に互いに対向する向きに巻き回された2個のセンサ
用コイルL1(L1〜L4)を含んでおり、この2個の
センサ用コイルL1(L2〜L4)内を通る磁束Φは回
転軸MJの軸方向を指向する。こうしたセンサ用コイル
L1(L2〜L4)を配置する磁性体コアC1(C2〜
C4)は、例えば図1(C)に示すような「C」の字に
形成されたケイ素鋼板を複数個積み重ねた形状の積層ケ
イ素鋼板からなる。磁性体コアC1(C2〜C4)を積
層ケイ素鋼板で構成すると、センサ用コイルL1(L2
〜L4)で各々発生する磁束が変化した際に生じる渦電
流をできるだけ小さくすることができ、これにより渦電
流損を減少することができるので非常に好ましい。ま
た、「C」の字に形成した磁性体コアC1〜C4にセン
サ用コイルL1〜L4を巻き回すことによって、センサ
用コイルL1〜L4で発生する磁束を通す磁路(つま
り、磁束回路)を積極的に生成することから、外部で生
じた他の磁束の影響を減少することができ好ましいこと
になる。
The sensor head SH includes a plurality of (four in this embodiment) detectors S1 to S4 as detecting coils for detecting the rotation of the sensor rotor plate RP. Each of the detection units S1 to S4 is directed to the rotation center position of the rotation axis MJ according to the curvature of the main body plate P, and the detection units S1 to S4 are spaced apart from each other on the sensor head SH at predetermined intervals in the circumferential direction. Are arranged to
The intervals are, for example, intervals of 15 degrees with respect to the rotation center position of the rotation axis MJ. Each detector S1 (S2
To S4) are different magnetic cores C1 (C2 to C4).
4) includes two sensor coils L1 (L1 to L4) wound in opposite directions, and the magnetic flux Φ passing through the two sensor coils L1 (L2 to L4) is the rotation axis. It is oriented in the axial direction of the MJ. The magnetic core C1 (C2-C2) in which the sensor coil L1 (L2-L4) is arranged
C4) is, for example, a laminated silicon steel plate having a shape in which a plurality of silicon steel plates formed in a letter “C” as shown in FIG. 1C are stacked. When the magnetic core C1 (C2 to C4) is made of a laminated silicon steel plate, the sensor coil L1 (L2
.About.L4), the eddy current generated when the magnetic fluxes respectively generated are changed can be made as small as possible, which can reduce the eddy current loss, which is very preferable. Further, by winding the sensor coils L1 to L4 around the magnetic cores C1 to C4 formed in the shape of “C”, a magnetic path (that is, a magnetic flux circuit) for passing magnetic flux generated in the sensor coils L1 to L4 is formed. Since the magnetic field is positively generated, the influence of other magnetic flux generated externally can be reduced, which is preferable.

【0019】各センサ用コイルL1〜L4とセンサロー
タプレートRPの表面との間には空隙が形成されるよう
にそれぞれを構成・配置することによって、センサロー
タプレートRPはセンサヘッドSHの検知部S1〜S4
に対して非接触の状態で回転する。この空隙の距離は、
一定に保たれるように、センサロータプレートRPとセ
ンサヘッドSHの相対的配置が図示しない機構を介して
定められる。センサロータプレートRPが磁性体からな
る場合には、本体プレートPの回転位置に応じて所定の
形状、例えば花弁形状に形成されたセンサロータプレー
トRPが回転することでセンサ用コイルL1〜L4に対
する磁気結合の度合いが変化する。すなわち、センサ用
コイルL1〜L4とセンサロータプレートRPの表面と
の間における対向空隙面積が変化することによって、磁
性体コアC1〜C4を通ってセンサ用コイルL1〜L4
を貫く各々の磁束量が変化し、これによりセンサ用コイ
ルL1〜L4毎の磁気結合の度合いは変化する。このセ
ンサ用コイルL1〜L4に対する磁気結合の度合いが増
せば増すほど、該センサ用コイルL1〜L4のインダク
タンスが増加していくので、該センサ用コイルL1〜L
4の電気的インピーダンスが増加し、該センサ用コイル
L1〜L4に生じる電圧すなわち端子間電圧が増加す
る。反対に、センサ用コイルL1〜L4に対する磁気結
合の度合いが減少すれば減少するほど、該センサ用コイ
ルL1〜L4のインダクタンスが減少していくので、該
センサ用コイルL1〜L4の電気的インピーダンスが減
少し、該センサ用コイルL1〜L4に生じる電圧すなわ
ち端子間電圧が減少する。こうして、検出対象の回転に
伴い、検知部S1〜S4に対するセンサロータプレート
RPの相対的回転位置が所定の回転角度範囲にわたって
変化する間で該センサ用コイルL1〜L4の端子間電圧
は、漸増(又は漸減)変化することとなる。
By arranging and arranging each of the sensor coils L1 to L4 and the surface of the sensor rotor plate RP so that a space is formed between them, the sensor rotor plate RP can detect the sensor portion S1 of the sensor head SH. ~ S4
Rotates in a non-contact state with respect to. The distance of this void is
The relative arrangement of the sensor rotor plate RP and the sensor head SH is determined via a mechanism (not shown) so as to be kept constant. When the sensor rotor plate RP is made of a magnetic material, the sensor rotor plate RP formed in a predetermined shape, for example, a petal shape, rotates according to the rotational position of the main body plate P, so that the sensor coils L1 to L4 are magnetized. The degree of binding changes. That is, the facing void area between the sensor coils L1 to L4 and the surface of the sensor rotor plate RP changes, so that the sensor coils L1 to L4 pass through the magnetic cores C1 to C4.
The amount of magnetic flux penetrating through the sensor changes, and thus the degree of magnetic coupling of each of the sensor coils L1 to L4 changes. As the degree of magnetic coupling to the sensor coils L1 to L4 increases, the inductance of the sensor coils L1 to L4 increases, and thus the sensor coils L1 to L4.
4 increases, and the voltage generated in the sensor coils L1 to L4, that is, the voltage between terminals increases. On the contrary, as the degree of magnetic coupling to the sensor coils L1 to L4 decreases, the inductance of the sensor coils L1 to L4 decreases, so that the electrical impedance of the sensor coils L1 to L4 decreases. And the voltage generated in the sensor coils L1 to L4, that is, the voltage between terminals decreases. In this way, the voltage across the terminals of the sensor coils L1 to L4 gradually increases while the relative rotational position of the sensor rotor plate RP with respect to the detection units S1 to S4 changes over a predetermined rotation angle range as the detection target rotates. Or gradually decrease).

【0020】センサロータプレートRPは磁気応答部材
であって、その形状は理想的なサイン関数のカーブが得
られるように適切な形状に設計される。センサ用コイル
L1〜L4等の設計・配置条件に応じて、例えば、回転
軸MJの1/6回転につき1周期のサイン関数のカーブ
が得られるようにするにはセンサロータプレートRPの
形状は6歯若しくは6花弁の形状、回転軸MJの1/4
回転につき1周期のサイン関数のカーブが得られるよう
にするにはセンサロータプレートRPの形状は4歯若し
くは4花弁の形状となりうる。このセンサロータプレー
トRPの形状をいかに設計するかは本発明の目的ではな
く、かつ、公知/未公知のこの種の可変磁気抵抗型回転
検出器で採用されているロータの形状を該センサロータ
プレートRPの形状として採用してよいことから、ここ
では図1(A)に示した形状(つまり、6歯若しくは6
花弁の形状)のセンサロータプレートRPについて簡単
に説明する。
The sensor rotor plate RP is a magnetically responsive member, and its shape is designed to be an appropriate shape so as to obtain an ideal sine function curve. According to the design / arrangement conditions of the sensor coils L1 to L4, for example, the shape of the sensor rotor plate RP is 6 in order to obtain a curve of a sine function of 1 cycle per 1/6 rotation of the rotation axis MJ. Shape of teeth or 6 petals, 1/4 of axis of rotation MJ
In order to obtain a curve of a sine function of one cycle per rotation, the shape of the sensor rotor plate RP can be the shape of four teeth or four petals. How to design the shape of the sensor rotor plate RP is not the object of the present invention, and the shape of the rotor used in the known / unknown variable reluctance type rotation detector is the sensor rotor plate RP. Since it may be adopted as the shape of the RP, here, the shape shown in FIG.
The petal-shaped sensor rotor plate RP will be briefly described.

【0021】図1(A)の実施例に示したセンサロータ
プレートRPは回転軸MJと共に回転する多歯若しくは
多花弁(この実施例では6歯若しくは6花弁)のよう
な、1回転当り複数(N)周期の磁気抵抗変化をもたら
すような形状をしており、各検知部S1〜S4は該セン
サロータプレートRPの1/N回転(つまり360度/
N)分の狭い範囲内に配置される構造からなっている。
図1(A)の実施例では、360度/N=360/6=
60度の機械角範囲内に4つの検知部S1〜S4が「6
0度/4=15度」の間隔でセンサヘッドSHに配置さ
れている。センサヘッドSHに配置された各検知部S1
〜S4のセンサ用コイルL1〜L4は回転軸MJの軸方
向に互いに対向するように向いており、該センサ用コイ
ルL1〜L4は1回転当り6周期の凹凸変化を持つセン
サロータプレートRPの表面に対向する。これにより得
られるサイン関数sinθとコサイン関数cosθは、
回転軸MJの実際の機械角のN=6倍の精度を持つもの
である。例えば、回転軸MJの実際の機械角をψとする
と、sinθ=sinNψ,cosθ=cosNψであ
る。本実施例においては、センサヘッドSHの各検知部
S1〜S4が1/N回転(つまり360度/N)分の狭
い範囲内に配置される構造からなっているので、センサ
ヘッドSHの取付けスペースが狭い範囲に限定されるよ
うな応用に際して非常に適している。以上のことから、
センサロータプレートRPの形状について重要なこと
は、センサロータプレートRP、つまり、磁気応答部材
の所定の形状が如何なる形状であるかということではな
く、要するに、センサロータプレートRPの回転位置の
変化に応じた各センサ用コイルL1〜L4のインダクタ
ンス変化つまりインピーダンス変化が、理想的なサイン
関数のカーブと同じようになるようにできるだけ適切な
形状に設計されていればよい。
The sensor rotor plate RP shown in the embodiment of FIG. 1 (A) has a plurality (per tooth or six petals in this embodiment) per revolution, such as a multi-tooth or multi-petal that rotates together with the rotation axis MJ. N) The detectors S1 to S4 are shaped so as to cause a change in the magnetic resistance in a cycle, and each of the detection units S1 to S4 rotates 1 / N of the sensor rotor plate RP (that is, 360 degrees /
The structure is arranged within a narrow range of N).
In the embodiment of FIG. 1A, 360 degrees / N = 360/6 =
Within the mechanical angle range of 60 degrees, the four detectors S1 to S4 are "6".
The sensor heads SH are arranged at intervals of 0 degree / 4 = 15 degrees. Each detection unit S1 arranged on the sensor head SH
The sensor coils L1 to L4 of S4 to S4 face each other in the axial direction of the rotation axis MJ, and the sensor coils L1 to L4 have the surface of the sensor rotor plate RP having 6 cycles of unevenness per rotation. To face. The sine function sin θ and the cosine function cos θ obtained by this are
The accuracy is N = 6 times the actual mechanical angle of the rotation axis MJ. For example, if the actual mechanical angle of the rotation axis MJ is ψ, then sin θ = sin N ψ and cos θ = cos N ψ. In the present embodiment, since each of the detection units S1 to S4 of the sensor head SH is arranged within a narrow range of 1 / N rotation (that is, 360 degrees / N), the mounting space of the sensor head SH is large. Very suitable for applications where is limited to a narrow range. From the above,
What is important about the shape of the sensor rotor plate RP is not what kind of shape the sensor rotor plate RP, that is, the predetermined shape of the magnetically responsive member, is, in short, according to the change in the rotational position of the sensor rotor plate RP. It is sufficient that the inductance change, that is, the impedance change, of each of the sensor coils L1 to L4 is designed to have an appropriate shape as much as possible so as to be similar to an ideal sine function curve.

【0022】なお、上述した実施例においては、センサ
ヘッドSHに検知部S1〜S4を4個配置した4極構成
のものを示したが、これに限らず検知部S1〜S4を複
数個構成したものであればよい。すなわち、センサロー
タプレートRPの回転に伴って理想的なサイン関数及び
コサイン関数が得られるものであればどのような構成で
あってもよい。また、センサロータプレートRPを挟み
込むようにしてセンサヘッドSHの各極毎に2個ずつセ
ンサ用コイルL1〜L4を対向配置した例を示したが、
センサ用コイルL1〜L4をセンサヘッドSHの同一側
面側に各極毎に1個ずつ配置するようにしてもよい。し
かし、上記のようにセンサロータプレートRPを挟み込
むようにしてセンサヘッドSHの各極毎に2個ずつセン
サ用コイルL1〜L4を対向配置した方が、キャリブレ
ーションの発生によるセンサロータプレートPのぶれの
影響に伴う磁束の変動を相殺することができることから
好ましい。なお、本体プレートPは鉄のような磁性体で
構成するとよい。こうすると、本体プレートPがモータ
M側で発生する磁束を遮蔽することになり、センサヘッ
ドSH側にモータM側で発生した磁束が漏れることがな
い。すなわち、センサヘッドSHのセンサ用コイルL1
〜L4はモータM側で発生する磁束の影響を受けること
がないことから、回転位置の検出を正確に行うことがで
きるようになり好ましい。また、シールドリングSRは
金や銅あるいは銀のような反磁性の性質を具える反磁性
体材料で構成するのが好ましい。こうすると、各センサ
用コイルL1〜L4から発生した磁束がモータ側Mに漏
れることがなくなるので、正確な回転角の検出を行うこ
とができるようになる。
In the above-described embodiment, the sensor head SH has four poles in which four detectors S1 to S4 are arranged. However, the present invention is not limited to this, and a plurality of detectors S1 to S4 are formed. Anything will do. That is, any configuration may be used as long as an ideal sine function and cosine function can be obtained with the rotation of the sensor rotor plate RP. Also, an example has been shown in which two sensor coils L1 to L4 are arranged so as to face each other such that the sensor rotor plate RP is sandwiched between the respective poles of the sensor head SH.
The sensor coils L1 to L4 may be arranged on the same side surface of the sensor head SH, one for each pole. However, when two sensor coils L1 to L4 are arranged facing each other for each pole of the sensor head SH so as to sandwich the sensor rotor plate RP as described above, the deviation of the sensor rotor plate P due to the occurrence of calibration occurs. It is preferable because the fluctuation of the magnetic flux due to the influence of can be offset. The body plate P may be made of a magnetic material such as iron. In this case, the body plate P shields the magnetic flux generated on the motor M side, and the magnetic flux generated on the motor M side does not leak to the sensor head SH side. That is, the sensor coil L1 of the sensor head SH
Since ~ L4 is not affected by the magnetic flux generated on the motor M side, the rotational position can be accurately detected, which is preferable. Further, the shield ring SR is preferably composed of a diamagnetic material having a diamagnetic property such as gold, copper or silver. In this case, the magnetic flux generated from each of the sensor coils L1 to L4 does not leak to the motor side M, so that the rotation angle can be accurately detected.

【0023】図3(A)は、回転角度θの変化に対する
一方のセンサ用コイルL1のインピーダンス変化の理想
的なサイン関数のカーブをA(θ)で示している。回転
角度θの変化に対する他方のセンサ用コイルL2のイン
ピーダンス変化の理想的なサイン関数のカーブをB
(θ)で示す。他方のセンサ用コイルL2のインピーダ
ンス変化カーブB(θ)は、センサ用コイルL1に対し
て90度ずれた位相のコサイン関数に相当している。か
くして、各カーブA(θ),B(θ)の増減変化の中点
をP0とし、振れの振幅をPとすると、 A(θ)=P0+Psinθ B(θ)=P0+Pcosθ と表せる。
FIG. 3A shows a curve of an ideal sine function of the impedance change of one sensor coil L1 with respect to the change of the rotation angle θ by A (θ). The curve of the ideal sine function of the impedance change of the other sensor coil L2 with respect to the change of the rotation angle θ is
It is indicated by (θ). The impedance change curve B (θ) of the other sensor coil L2 corresponds to a cosine function having a phase shifted by 90 degrees with respect to the sensor coil L1. Thus, if the midpoint of the increase / decrease of each curve A (θ), B (θ) is P0 and the amplitude of the shake is P, A (θ) = P0 + Psinθ B (θ) = P0 + Pcosθ can be expressed.

【0024】また、上述の実施例は差動変化するコイル
対を2つ設けた実施例を示すものである。この構成で
は、1個おきに配置されたセンサ用コイルを各々組合せ
て1組のコイル対とし(つまり、センサ用コイルL1と
L3、センサ用コイルL2とL4とを組合せて1組のコ
イル対となる)、該1組のコイル対における各センサ用
コイルL1〜L4のインピーダンスが差動的に変化し、
よって各センサ用コイルL1〜L4の端子間電圧の増減
変化が差動的な特性を示すものとなる。すなわち、サイ
ン相のセンサ用コイルL1とL3の対では、センサ用コ
イルL1のインピーダンス変化が回転軸MJの回転角度
θに対して上述のように「P0+Psinθ」という関
数特性を示すとすると、他のセンサ用コイルL3のイン
ピーダンス変化は回転軸MJの回転角度θに対して「P
0−Psinθ」という関数特性を示す。同様に、コサ
イン相のセンサ用コイルL2とL4の対では、センサ用
コイルL2のインピーダンス変化が回転軸MJの回転角
度θに対して上述のように「P0+Pcosθ」という
関数特性を示すとすると、他のセンサ用コイルL4のイ
ンピーダンス変化は回転軸MJの回転角度θに対して
「P0−Pcosθ」という関数特性を示す。すなわ
ち、 A´(θ)=P0−Psinθ B´(θ)=P0−Pcosθ と表せる。なお、Pは1とみなして省略しても説明上不
都合はないので、以下の説明ではこれを省略することに
する。
Further, the above-mentioned embodiment shows an embodiment in which two coil pairs that change differentially are provided. In this configuration, the sensor coils arranged every other one are combined into one set of coil pairs (that is, the sensor coils L1 and L3 and the sensor coils L2 and L4 are combined into one set of coil pairs). The impedance of each of the sensor coils L1 to L4 in the one coil pair changes differentially,
Therefore, the increase / decrease in the voltage across the terminals of the sensor coils L1 to L4 exhibits differential characteristics. That is, in the pair of sine-phase sensor coils L1 and L3, assuming that the impedance change of the sensor coil L1 exhibits the functional characteristic “P0 + Psinθ” with respect to the rotation angle θ of the rotation axis MJ as described above, The impedance change of the sensor coil L3 is “P” with respect to the rotation angle θ of the rotation axis MJ.
0-Psin θ ”. Similarly, in the pair of the sensor coils L2 and L4 in the cosine phase, assuming that the impedance change of the sensor coil L2 exhibits the functional characteristic of “P0 + Pcosθ” with respect to the rotation angle θ of the rotation axis MJ as described above, The impedance change of the sensor coil L4 shows a functional characteristic "P0-Pcos θ" with respect to the rotation angle θ of the rotation axis MJ. That is, A ′ (θ) = P0−Psinθ B ′ (θ) = P0−Pcosθ It should be noted that since there is no inconvenience in description even if P is regarded as 1 and omitted, it will be omitted in the following description.

【0025】図2に示すように、各センサ用コイルL
1,L2,L3,L4は交流発生源30から発生される
の所定の1相の高周波交流信号(仮にsinωtで示
す)によって定電圧又は定電流で励磁される。各センサ
用コイルL1,L2,L3,L4の端子間電圧をそれぞ
れVs,Vc,Vsa,Vcaで示すと、検出対象たる
回転角θを変数として、これらは下記のように表せる。 Vs=A(θ)sinωt=(P0+sinθ)sin
ωt Vsa=A´(θ)sinωt=(P0−sinθ)s
inωt Vc=B(θ)sinωt=(P0+cosθ)sin
ωt Vca=B´(θ)sinωt=(P0−cosθ)s
inωt 演算回路31では、下記のように、各コイル対毎に各セ
ンサ用コイルL1,L2,L3,L4の端子間電圧の差
をそれぞれ取り出し、所定の周期的振幅関数を振幅係数
として持つ交流出力信号を各コイル対毎に生成する。す
なわち、各センサ用コイルL1,L2,L3,L4の出
力電圧Vs,Vc,Vsa,Vcaは演算回路31に入
力され、下記演算式に従って演算されることで、該演算
回路31から検出対象位置θに応じたサイン及びコサイ
ン関数特性を示す振幅をそれぞれ持つ2つの交流出力信
号(つまり互に90度位相のずれた振幅関数特性を持つ
2つの交流出力信号)が生成される。 Vs−Vsa=(P0+sinθ)sinωt−(P0−sinθ)sinωt =2sinθsinωt Vc−Vca=(P0+cosθ)sinωt−(P0−cosθ)sinωt =2cosθsinωt
As shown in FIG. 2, each sensor coil L
1, L2, L3, and L4 are excited with a constant voltage or a constant current by a predetermined one-phase high-frequency AC signal (tentatively indicated by sinωt) generated from the AC generation source 30. When the inter-terminal voltages of the sensor coils L1, L2, L3, L4 are represented by Vs, Vc, Vsa, and Vca, respectively, these can be expressed as follows with the rotation angle θ to be detected as a variable. Vs = A (θ) sin ωt = (P0 + sinθ) sin
ωt Vsa = A ′ (θ) sin ωt = (P0-sinθ) s
inωt Vc = B (θ) sin ωt = (P0 + cosθ) sin
ωt Vca = B ′ (θ) sin ωt = (P0−cos θ) s
The inωt arithmetic circuit 31 takes out the difference between the terminal voltages of the sensor coils L1, L2, L3, and L4 for each coil pair, and outputs the AC output having a predetermined periodic amplitude function as an amplitude coefficient, as described below. A signal is generated for each coil pair. That is, the output voltages Vs, Vc, Vsa, and Vca of the sensor coils L1, L2, L3, and L4 are input to the arithmetic circuit 31 and are calculated according to the following arithmetic expressions, so that the detection target position θ is calculated from the arithmetic circuit 31. Two AC output signals each having an amplitude exhibiting a sine and cosine function characteristic corresponding to (i.e., two AC output signals having an amplitude function characteristic 90 degrees out of phase with each other) are generated. Vs-Vsa = (P0 + sinθ) sinωt- (P0-sinθ) sinωt = 2sinθsinωt Vc-Vca = (P0 + cosθ) sinωt- (P0-cosθ) sinωt = 2cosθsinωt

【0026】こうすると、検出対象回転軸MJの回転角
度θに対応する2つの周期的振幅関数(sinθ及びc
osθ)を振幅係数として持つ、レゾルバと同様の、2
つの交流出力信号(sinθsinωt及びcosθs
inωt)を生成することができる。すなわち、増減変
化の中点を零点として正負に振れる2つの周期的振幅関
数(sinθ及びcosθ)を振幅係数として持つ2つ
の交流出力信号(sinθsinωt及びcosθsi
nωt)を生成することができる。図3(B)は、この
状態をθ成分についてのみ模式的に示すものである(こ
こでは、時間tの成分は示していない)。このように、
従来のレゾルバに比べて、本発明では、1次コイルのみ
を設ければよく、誘導出力用の2次コイルは不要である
ため、コイル構成が簡単であり、シンプルな構造の回転
型位置検出装置を提供することができる。なお、各コイ
ル対毎に各コイルの端子間電圧の差をそれぞれ取り出す
ために、格別の演算回路31を使用せずに、センサ用コ
イルL1とL3を差動接続し、また、センサ用コイルL
2とL4を差動接続することで、それぞれの差「Vs−
Vsa」及び「Vc−Vca」に相当する出力交流信号
を得るように、単純に回路を構成してもよい。
In this way, two periodic amplitude functions (sin θ and c) corresponding to the rotation angle θ of the rotation axis MJ to be detected.
osθ) as the amplitude coefficient, similar to the resolver, 2
Two AC output signals (sin θ sin ωt and cos θs
inωt) can be generated. That is, two AC output signals (sin θsin ωt and cos θsi) having as amplitude coefficients two periodic amplitude functions (sin θ and cos θ) that swing positively and negatively with the midpoint of the increase / decrease change as the zero point.
nωt) can be generated. FIG. 3B schematically shows this state only for the θ component (here, the component at time t is not shown). in this way,
Compared with the conventional resolver, in the present invention, only the primary coil needs to be provided, and the secondary coil for inductive output is unnecessary, so the coil configuration is simple and the rotary position detecting device having a simple structure. Can be provided. It should be noted that, in order to extract the difference in the voltage between the terminals of each coil for each coil pair, the sensor coils L1 and L3 are differentially connected without using a special arithmetic circuit 31, and the sensor coil L
By differentially connecting 2 and L4, the difference between each is "Vs-
The circuit may be simply configured to obtain output AC signals corresponding to "Vsa" and "Vc-Vca".

【0027】演算回路31から出力されたサイン及びコ
サイン関数特性の交流出力信号sinθsinωt及び
cosθsinωtにおける振幅関数sinθ及びco
sθの位相成分θを、位相検出回路(若しくは振幅位相
変換手段)32で計測することで、検出対象回転位置θ
をアブソリュートで検出することができる。この位相検
出回路32としては、例えば本出願人の出願に係る特開
平9−126809号公報に示された技術を用いて構成
するとよい。例えば、第1の交流出力信号sinθsi
nωtを電気的に90度シフトすることで、交流信号s
inθcosωtを生成し、これと第2の交流出力信号
cosθsinωtを加減算合成することで、sin
(ωt+θ)およびsin(ωt−θ)なる、θに応じ
て進相および遅相方向に位相シフトされた2つの交流信
号(位相成分θを交流位相ずれに変換した信号)を生成
し、その位相θを測定することで、回転位置検出データ
を得ることができる。あるいは、公知のレゾルバ出力信
号を処理するために使用されるR−Dコンバータを、こ
の位相検出回路32として使用するようにしてもよい。
位相検出回路32における位相成分θの検出処理は、デ
ィジタル処理に限らず、積分回路等を使用したアナログ
処理で行ってもよい。また、ディジタル位相検出処理に
よって回転位置θを示すディジタル検出データを生成し
た後、これをアナログ変換して回転位置θを示すアナロ
グ検出データを得るようにしてもよい。勿論、位相検出
回路32を設けずに、演算回路31の出力信号sinθ
sinωt及びcosθsinωtをそのまま出力する
ようにしてもよい。例えば、シンクロと同様の3相信号
を演算回路31から出力したような場合は、そのような
応用形態も有り得る。
Amplitude functions sin θ and co in the AC output signals sin θ sin ωt and cos θ sin ωt having the sine and cosine function characteristics output from the arithmetic circuit 31.
The phase component θ of sθ is measured by the phase detection circuit (or the amplitude / phase conversion means) 32 to detect the rotational position θ of the detection target.
Can be detected as an absolute value. The phase detection circuit 32 may be configured using, for example, the technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-126809 filed by the present applicant. For example, the first AC output signal sin θsi
By electrically shifting nωt by 90 degrees, the AC signal s
sin θ cos ωt is generated, and this and the second AC output signal cos θ sin ωt are added and subtracted to obtain sin
Two (ωt + θ) and sin (ωt−θ) phase-shifted AC signals (signals obtained by converting the phase component θ into an AC phase shift) corresponding to θ are generated and the phases thereof are generated. The rotational position detection data can be obtained by measuring θ. Alternatively, an RD converter used for processing a known resolver output signal may be used as the phase detection circuit 32.
The detection processing of the phase component θ in the phase detection circuit 32 is not limited to digital processing, and may be analog processing using an integration circuit or the like. Alternatively, the digital detection data indicating the rotational position θ may be generated by the digital phase detection process, and then the analog detection data indicating the rotational position θ may be obtained by analog conversion. Of course, without providing the phase detection circuit 32, the output signal sin θ of the arithmetic circuit 31
Alternatively, sin ωt and cos θ sin ωt may be output as they are. For example, in the case where the arithmetic circuit 31 outputs a three-phase signal similar to that for synchro, such an application form is possible.

【0028】上述した実施例において、センサ用コイル
L1,L2,L3,L4の配置は、1回転内の限られた
所定の角度範囲(60度の範囲)に設けられているだけ
である。従って、センサヘッドSHのサイズは、図1に
示したようなものである必要はなく、より狭い範囲に対
応する大きさとすることができる。そうすれば、センサ
ロータプレートRPの所定の範囲に障害物があったとし
ても、これを避けて検出装置を設置することができる。
また、回転体に上記のようなセンサロータプレートRP
を付設し、これにあわせてセンサヘッドSHを配置する
だけで回転位置検出を行うことができるようになるの
で、既存の回転体であっても簡単に回転型位置検出装置
を具えつけることができるようになる。このように、本
発明に係る回転型位置検出装置は、既存の機械内に回転
型位置検出装置を後から設置するような場合や、機械類
が所定範囲に密集する自動車用エンジンモータなどに設
置する場合に特に有効である。すなわち、回転軸MJの
所定の回転角度範囲においては既に障害物が存在してい
て、1回転フルに対応する大きさの従来の回転型位置検
出装置の設置が不可能なような場合、障害物が存在して
いない角度範囲の場所に対して、本発明に係る回転型位
置検出装置を設置することで対応することができるので
有利である。勿論、いずれの実施例においても、検出対
象回転軸MJそれ自体は、フル1回転以上の連続的回転
が可能であってもよいし、あるいは、1回転未満の限ら
れた角度範囲でのみ回転(つまり往復揺動)するもので
あってもよい。
In the above embodiment, the sensor coils L1, L2, L3 and L4 are arranged only within a limited predetermined angular range (60 degree range) within one rotation. Therefore, the size of the sensor head SH does not have to be the one shown in FIG. 1, but can be a size corresponding to a narrower range. By doing so, even if there is an obstacle in a predetermined area of the sensor rotor plate RP, it is possible to avoid the obstacle and install the detection device.
Further, the sensor rotor plate RP as described above is attached to the rotating body.
Since the rotational position can be detected simply by additionally attaching the sensor head SH and arranging the sensor head SH in accordance with this, the rotational position detecting device can be easily equipped even with an existing rotating body. Like As described above, the rotary position detecting device according to the present invention is installed in a case where the rotary position detecting device is installed in an existing machine later, or in an engine motor for automobiles where machines are densely packed in a predetermined range. It is especially effective when That is, when an obstacle already exists in a predetermined rotation angle range of the rotation axis MJ and installation of a conventional rotary position detecting device having a size corresponding to one full rotation is impossible, It is advantageous that the rotary position detecting device according to the present invention can be applied to a position in an angular range where no position exists, which is advantageous. Of course, in any of the embodiments, the detection target rotation axis MJ itself may be capable of continuous rotation of one full rotation or more, or may be rotated only within a limited angular range of less than one rotation ( That is, it may reciprocally swing).

【0029】本発明に係る検出装置においてはセンサヘ
ッドSHにおいて磁気作用で位置検出を行うようにして
いるため、外部から不所望の磁気が及ぼされた場合、位
置検出精度に悪影響を与える恐れがある。この点に対処
するために、一実施例によれば、センサヘッドSHの周
囲に、外部からの磁気をシールドする磁気シールド部材
を設けるようにしている。特に、本発明に係る位置検出
装置を前述のように電気自動車用エンジンモータに適用
した場合、該自動車用エンジンモータは大出力のため外
部への漏洩磁気も多いため、位置検出装置においては適
切な磁気シールド対策を講じる必要がある。図4、図5
はそのような磁気シールド対策を講じた実施例を示す。
図4(A)は、図1に示すような複数の検知部S1〜S
4(図4では単にSで示す)を含むセンサヘッドSH全
体を磁性体からなるハウジングKでカバーした実施例を
示す断面略図である。この場合、外部からの磁気の磁気
回路がハウジングKの磁性体を通って形成され、内部の
検知部Sには外部磁気が侵入しないように遮蔽すること
ができる。この場合更に、各検知部Sの磁性体コアC全
体を反磁性体(銅、アルミニウム、真鍮等の非磁性良導
電体)Aでカバーするように構成するとよい。外部から
の磁気が反磁性体(非磁性良導電体)の個所で渦電流損
により減衰されることで、検知部S内部に漏洩する外部
磁気が減衰される。したがって、正確な回転位置の検出
を行うことができるようになる。図4(B)は、磁性体
コイルCの変形例を示す断面略図であり、センサ用コイ
ルLに独立した磁性体コアCを配置した例を示す。図4
(B)に示すように、磁性体コアCとして、「C」の字
型(図1(C)参照)に形成した磁性体コアCを用いる
ことなく、単に円筒形あるいは直方体形などの形状に形
成した磁性体コアCを用いるようにしてもよく、こうす
ると、センサヘッドSHをより小型に、かつ、シンプル
に構成することができることから、狭い場所への設置に
より有利な回転型位置検出装置とすることができる、と
いう利点がある。
In the detecting device according to the present invention, the position is detected by the magnetic action in the sensor head SH. Therefore, when an undesired magnetism is exerted from the outside, the position detecting accuracy may be adversely affected. . In order to deal with this point, according to one embodiment, a magnetic shield member that shields external magnetism is provided around the sensor head SH. In particular, when the position detecting device according to the present invention is applied to an engine motor for an electric vehicle as described above, the engine motor for an electric vehicle has a large output and therefore has a lot of leakage magnetism to the outside. It is necessary to take magnetic shield measures. 4 and 5
Shows an example in which such magnetic shield measures are taken.
FIG. 4A shows a plurality of detection units S1 to S as shown in FIG.
6 is a schematic sectional view showing an embodiment in which the entire sensor head SH including 4 (simply indicated by S in FIG. 4) is covered with a housing K made of a magnetic material. In this case, a magnetic circuit of magnetism from the outside is formed through the magnetic body of the housing K, and the inside detection unit S can be shielded so that the outside magnetism does not enter. In this case, it is preferable that the entire magnetic core C of each detection unit S be covered with a diamagnetic material (nonmagnetic good conductor such as copper, aluminum, or brass) A. The magnetism from the outside is attenuated by the eddy current loss at the location of the diamagnetic body (non-magnetic good conductor), so that the external magnetism leaking inside the detection unit S is attenuated. Therefore, it becomes possible to accurately detect the rotational position. FIG. 4B is a schematic cross-sectional view showing a modified example of the magnetic coil C, and shows an example in which an independent magnetic core C is arranged in the sensor coil L. Figure 4
As shown in (B), as the magnetic core C, without using the magnetic core C formed in the shape of “C” (see FIG. 1C), the magnetic core C is simply formed into a cylindrical shape or a rectangular parallelepiped shape. The formed magnetic core C may be used, and this makes it possible to configure the sensor head SH to be smaller and simpler, and thus to provide a rotary position detection device that is advantageous for installation in a narrow space. There is an advantage that it can be done.

【0030】前述したセンサヘッドSHにおける検知部
Sの磁性体コアCの端部は、センサロータプレートRP
のスラスト方向を指向しているが、本発明の実施にあた
ってはこれに限らず、ラジアル方向を指向するように配
置してもよい。図4(C)は、センサ用コイルLの磁性
体コアCがセンサロータプレートRPのラジアル方向を
指向するように配置構成した例を示す断面略図である。
図4(C)で図4(A),図4(B)と同一符号は同一
機能の要素を示すので、上記説明を援用し、同じ説明の
繰り返しを省略する。図4(C)では、センサ用コイル
Lの磁性体コアCの端部がセンサロータプレートRPの
ラジアル方向を内向きに指向し、空隙を介してセンサロ
ータプレートRPの外周側面に向き合う構造である。こ
の場合、センサロータプレートRPの所定の形状(例え
ば、図1(A)に示すような6歯あるいは6花弁形状な
ど適切に設計した形状)の故に、磁性体コアCの端部と
センサロータプレートRPの外周側面との間でラジアル
方向に関して形成される空隙の距離が、回転位置に応じ
て変化する。この対向空隙距離の変化によって、磁性体
コアCを通ってセンサ用コイルLを貫く磁束量が変化
し、もって、センサ用コイルLの自己インダクタンスが
変化し、センサ用コイルLのインピーダンスが変化す
る。よって、図1に示した実施例と同様にして、回転位
置の検出を行うことができる。図4(C)の場合、セン
サロータプレートRPの外周側面の軸方向の長さを幾分
長くしておく。これによって、センサロータプレートR
Pがスラスト方向に機械的ぶれを多少起こしたとして
も、磁性体コアCの端部とセンサロータプレートRPの
外周側面との間でラジアル方向に関して形成される空隙
の距離は変化せず、検出精度が低下しない。したがっ
て、この場合においても、センサロータプレートRPが
スラスト方向に機械ぶれを起こしやすいような環境又は
機械において、該スラスト方向への機械的ぶれの影響を
受けない回転位置検出を可能にする、という利点があ
る。
The end of the magnetic core C of the detecting portion S of the sensor head SH described above is connected to the sensor rotor plate RP.
However, the present invention is not limited to this and may be arranged so as to be directed in the radial direction. FIG. 4C is a schematic sectional view showing an example in which the magnetic core C of the sensor coil L is arranged so as to be oriented in the radial direction of the sensor rotor plate RP.
In FIG. 4 (C), the same reference numerals as those in FIGS. 4 (A) and 4 (B) indicate elements having the same function, and therefore the above description is cited and the same description is not repeated. In FIG. 4C, the end of the magnetic core C of the sensor coil L is directed inward in the radial direction of the sensor rotor plate RP, and faces the outer peripheral side surface of the sensor rotor plate RP through a gap. . In this case, because of the predetermined shape of the sensor rotor plate RP (for example, an appropriately designed shape such as 6 teeth or 6 petals as shown in FIG. 1A), the end portion of the magnetic core C and the sensor rotor plate RP are The distance of the gap formed in the radial direction between the outer peripheral side surface of the RP changes depending on the rotational position. Due to this change in the facing air gap distance, the amount of magnetic flux penetrating the sensor coil L through the magnetic core C changes, so that the self-inductance of the sensor coil L changes and the impedance of the sensor coil L changes. Therefore, the rotational position can be detected in the same manner as the embodiment shown in FIG. In the case of FIG. 4C, the axial length of the outer peripheral side surface of the sensor rotor plate RP is set to be slightly longer. As a result, the sensor rotor plate R
Even if P causes some mechanical shake in the thrust direction, the distance of the air gap formed in the radial direction between the end of the magnetic core C and the outer peripheral side surface of the sensor rotor plate RP does not change, and the detection accuracy is improved. Does not decrease. Therefore, also in this case, in an environment or machine in which the sensor rotor plate RP is likely to cause mechanical shake in the thrust direction, it is possible to detect a rotational position that is not affected by mechanical shake in the thrust direction. There is.

【0031】上述の例では、各検知部Sを反磁性体(非
磁性良導電体)Aでそれぞれ個別にカバーする例を示し
たが、磁気シールド部材の別の構成例として、磁性体か
らなるハウジングKの表面全体を銅等の反磁性体でカバ
ーするように構成してもよい。この場合は、磁性体から
なるハウジングKの表面に例えば銅メッキを施すこと
で、ハウジングK表面に反磁性体からなる薄い層を形成
するとよい。そのような磁気シールド対策を講じた例を
図5に示す。複数の検知部S1〜S4を含むセンサヘッ
ドSH全体を磁性体K1からなるハウジングKでカバー
し、ハウジングKの表面に銅等の反磁性体K2の薄い層
をメッキ等によって施す。図5の例ではハウジングKの
基部K3をプラスチック等の非磁性非導電性物質で形成
し、強度を増すことで磁性体K1を軽量薄型のものとす
ることができる。検知部S1〜S4の磁性体コアは、図
4(B)に示したものと同様な、円筒形、直方形等の形
状に形成したタイプ、あるいは「C」の字型(図4
(A)参照)に形成するタイプのいずれであってもよ
い。なお、ハウジングKの裏面、すなわちハウジングK
とケーシング部K3の間に非磁性良導電体の層を形成す
るようにしてもよい。図4(A)及び(B)に示した例
においても、ハウジングKを非磁性良導電性の材質で被
覆(銅メッキを施す等)する構成にしてもよい。
In the above-mentioned example, an example is shown in which each detecting section S is individually covered with a diamagnetic material (non-magnetic good conductor) A, but as another structural example of the magnetic shield member, a magnetic material is used. The entire surface of the housing K may be covered with a diamagnetic material such as copper. In this case, a thin layer made of a diamagnetic material may be formed on the surface of the housing K by, for example, plating the surface of the housing K made of a magnetic material with copper. FIG. 5 shows an example in which such magnetic shield measures are taken. The entire sensor head SH including the plurality of detectors S1 to S4 is covered with a housing K made of a magnetic material K1, and a thin layer of a diamagnetic material K2 such as copper is applied to the surface of the housing K by plating or the like. In the example of FIG. 5, the base K3 of the housing K is made of a non-magnetic non-conductive material such as plastic and the strength is increased, so that the magnetic body K1 can be made light and thin. The magnetic cores of the detection units S1 to S4 are of the same type as that shown in FIG. 4B, such as a cylindrical shape, a rectangular shape, or a “C” shape (see FIG.
(A) (see (A)). The rear surface of the housing K, that is, the housing K
A layer of a good non-magnetic conductor may be formed between the casing and the casing K3. Also in the example shown in FIGS. 4A and 4B, the housing K may be configured to be coated (copper plated or the like) with a non-magnetic and highly conductive material.

【0032】非磁性良導電性を具える材質からなる磁気
シールド部材を設置し、磁気応答部材の個所の渦電流損
により外部からの磁気を遮蔽するという技術思想は、上
述のようなセンサヘッドSHのハウジングKに磁気シー
ルドを施す例に限らず、図6に示すようにロータ部21
側に磁気シールドを施すことで実現することもできる。
図6において、回転位置検出装置は、コイル部を含むス
テータ部23と、検出対象回転運動が与えられる磁性体
からなる回転軸20と、回転軸20に取り付けられた所
定の磁気応答部材からなる所定形状のロータ部21とを
含んで構成されるもので、回転軸20の回転に応じてロ
ータ部21と前記コイル部との空隙の距離が回転位置に
応じて変化し、この変化に応じて前記コイル部のインピ
ーダンスを変化させ、このインピーダンス変化に応じた
出力信号を生成する。この回転位置検出装置の具体的な
構成は公知のいかなる構成を用いてもよい。この実施例
出特徴とする点は、ロータ部21を回転軸20に固定す
る接合部分を反磁性体(例えば銅)の磁気シールド部材
22で構成する。これにより、回転軸20を通ってロー
タ部21に漏洩する外部からの磁気Φが磁気シールド部
材22の個所で渦電流損により減衰され、ロータ部21
及びステータ部23の検出用の磁気回路に漏洩する外部
磁気が遮蔽される。従って、外部磁気の影響を受けない
正確な位置検出が可能となる。なお、図6に示すような
装置においてもステータ部23のコイル部の周囲に該コ
イル部に対する外部からの磁気を遮蔽するための磁気シ
ールド部材を更に設けるようにしてもよい。
The technical idea of installing a magnetic shield member made of a material having good non-magnetic conductivity and shielding external magnetism by the eddy current loss at the location of the magnetic response member is based on the above-mentioned sensor head SH. Not only the example in which the magnetic shield is applied to the housing K of FIG.
It can also be realized by providing a magnetic shield on the side.
In FIG. 6, the rotational position detection device includes a stator portion 23 including a coil portion, a rotary shaft 20 made of a magnetic body to which a rotational motion to be detected is given, and a predetermined magnetically responsive member attached to the rotary shaft 20. The rotor portion 21 having a shape is included, and the distance of the gap between the rotor portion 21 and the coil portion changes according to the rotation position according to the rotation of the rotating shaft 20. The impedance of the coil portion is changed, and an output signal corresponding to this impedance change is generated. Any known configuration may be used as the specific configuration of the rotational position detecting device. The characteristic feature of this embodiment is that the joint portion for fixing the rotor portion 21 to the rotating shaft 20 is constituted by a magnetic shield member 22 made of a diamagnetic material (for example, copper). As a result, the external magnetism Φ leaking to the rotor portion 21 through the rotating shaft 20 is attenuated by the eddy current loss at the location of the magnetic shield member 22, and the rotor portion 21
Also, external magnetism leaking to the magnetic circuit for detection of the stator portion 23 is shielded. Therefore, it is possible to detect the position accurately without being affected by the external magnetism. Even in the apparatus shown in FIG. 6, a magnetic shield member for shielding the coil portion of the stator portion 23 from the outside may be further provided around the coil portion.

【0033】なお、磁気応答部材として、銅のような良
導電体を使用した場合は、渦電流損によってコイルのイ
ンダクタンスが減少し、磁気応答部材の近接に応じてコ
イルの端子間電圧が減少することになる。この場合も、
上記と同様に位置検出動作することが可能である。ま
た、磁気応答部材として、磁性体と導電体を組合わせた
ハイブリッドタイプのものを用いてもよい。なお、1回
転未満の回転範囲で揺動する動きの回転位置を検出する
タイプのものにおいては、上記各実施例において、磁気
応答部材(上述の実施例においては、センサロータプレ
ートRP)の方を固定し、センサ用コイルL1,L2,
L3,L4を配置したセンサヘッドSHの方を検出対象
の変位に応じて移動させるようにしてもよい。また、上
記実施例では、出力交流信号の数(相数)はサインとコ
サインの2相(つまりレゾルバタイプ)であるが、これ
に限らないのは勿論である。例えば、3相(各相の振幅
関数が例えばsinθ,sin(θ+120),sin
(θ+240)のようなもの)であってもよい。
When a good conductor such as copper is used as the magnetically responsive member, the inductance of the coil decreases due to the eddy current loss, and the voltage between the terminals of the coil decreases as the magnetically responsive member approaches. It will be. Also in this case,
The position detection operation can be performed in the same manner as described above. Further, as the magnetic response member, a hybrid type member in which a magnetic body and a conductor are combined may be used. In addition, in the type that detects the rotational position of the swinging motion within the rotation range of less than one rotation, the magnetic response member (the sensor rotor plate RP in the above-described embodiments) is used in each of the above embodiments. Fixed, sensor coils L1, L2
The sensor head SH in which L3 and L4 are arranged may be moved according to the displacement of the detection target. Further, in the above embodiment, the number of output AC signals (the number of phases) is two phases of sine and cosine (that is, resolver type), but it is not limited to this. For example, three phases (the amplitude function of each phase is sin θ, sin (θ + 120), sin
(Such as (θ + 240)).

【0034】なお、センサ用コイルの交流励磁の仕方と
しては、少なくとも2つのセンサ用コイルの各々をsi
nωtとcosωtで別々に励磁する公知の2相励磁法
を用いることも可能である。しかし、上記実施例で説明
したような1相励磁の方が、構成の簡単化及び温度ドリ
フト補償特性等、種々の面で、優れている。なお、この
発明において、コイルに生じる電圧若しくはコイルの端
子間電圧とは、必ずしも電圧検出タイプの回路構成に限
定されるものではなく、広義に解釈されるべきであり、
電流検出タイプの回路構成を採用するものも範囲に含ま
れる。要するにコイルのインピーダンス変化に応じたア
ナログ電圧または電流を生じ、これを検出することので
きる回路構成であればよい。
As a method of alternating-current excitation of the sensor coils, at least two sensor coils are each si.
It is also possible to use a known two-phase excitation method in which nωt and cosωt are separately excited. However, the one-phase excitation as described in the above embodiment is superior in various aspects such as simplification of the configuration and temperature drift compensation characteristics. In the present invention, the voltage generated in the coil or the voltage between the terminals of the coil is not necessarily limited to the voltage detection type circuit configuration, and should be broadly interpreted.
Those that adopt a current detection type circuit configuration are also included in the range. In short, any circuit configuration can be used as long as it can generate an analog voltage or current according to the change in the impedance of the coil and detect it.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上のとおり、この発明によれば、1次
コイルのみを設ければよく、2次コイルは不要であるた
め、小型かつシンプルな構造の回転型位置検出装置を提
供することができる。また、コイルの出力信号を演算す
ることで、振幅係数成分が正負に振れる真のサイン関数
又はコサイン関数の振幅係数特性を示す出力信号を得る
ことができるので、コイル構成が簡単であり、一層、小
型かつシンプルな構造の回転型位置検出装置を提供する
ことができる。また、外部からの磁気の影響を受けない
正確な位置検出が可能な回転型位置検出装置を提供する
ことができる。
As described above, according to the present invention, only the primary coil needs to be provided, and the secondary coil is not required. Therefore, it is possible to provide a rotary type position detecting device having a small size and a simple structure. it can. Further, by calculating the output signal of the coil, it is possible to obtain an output signal showing the amplitude coefficient characteristic of a true sine function or a cosine function in which the amplitude coefficient component swings positively and negatively, so that the coil configuration is simple, and further, It is possible to provide a rotary type position detection device having a small size and a simple structure. Further, it is possible to provide a rotary position detection device capable of accurate position detection without being affected by external magnetism.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明に係る回転型位置検出装置の一実施例
を示すもので、(A)は該回転型位置検出装置の構造を
示す正面略図、(B)はその側面断面略図、(C)は該
回転型位置検出装置における検知部の拡大斜視図。
1A and 1B show one embodiment of a rotary type position detecting device according to the present invention, where FIG. 1A is a schematic front view showing the structure of the rotary type position detecting device, FIG. 8) is an enlarged perspective view of a detection unit in the rotary position detection device.

【図2】 図1に示した回転型位置検出装置におけるセ
ンサ用コイルに関連する電気回路図。
FIG. 2 is an electric circuit diagram relating to a sensor coil in the rotary position detecting device shown in FIG.

【図3】 図1の実施例の検出動作説明図であって、
(A)は回転角度θの変化に対する各検出用コイルのイ
ンピーダンス変化の理想的なカーブを示し、(B)は、
各検出用コイルの出力電圧を演算することにより得られ
る出力信号の回転角度θに対する振幅変化特性を示す
図。
3 is a diagram for explaining the detection operation of the embodiment of FIG.
(A) shows an ideal curve of impedance change of each detection coil with respect to change of rotation angle θ, and (B) shows
The figure which shows the amplitude change characteristic with respect to the rotation angle (theta) of the output signal obtained by calculating the output voltage of each detection coil.

【図4】 センサヘッドの他の実施例として磁気シール
ド機能を果たすハウジングを有する例を示すもので、
(A)はセンサヘッド全体を磁性体のハウジングでカバ
ーした実施例を示す断面略図、(B)はセンサ用コイル
の磁性体コアの変更例を示す断面略図、(C)はセンサ
用コイルの磁性体コアがセンサロータプレートのラジア
ル方向を指向するように配置構成した例を示す断面略
図。
FIG. 4 shows another example of a sensor head having a housing that performs a magnetic shield function,
(A) is a schematic cross-sectional view showing an embodiment in which the entire sensor head is covered with a magnetic material housing, (B) is a schematic cross-sectional view showing a modification of the magnetic material core of the sensor coil, and (C) is a magnetic material of the sensor coil. 5 is a schematic cross-sectional view showing an example in which the body core is arranged so as to be oriented in the radial direction of the sensor rotor plate.

【図5】 センサヘッドの更に他の実施例を示す概略斜
視図。
FIG. 5 is a schematic perspective view showing still another embodiment of the sensor head.

【図6】 ロータ部において磁気シールド機能を備えた
回転位置検出装置の実施例を示す概略斜視図。
FIG. 6 is a schematic perspective view showing an embodiment of a rotational position detecting device having a magnetic shield function in a rotor section.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

SH センサヘッド S,S1,S2,S3,S4 検知部 L,L1,L2,L3,L4 センサ用コイル C,C1,C2,C3,C4 磁性体コア P 本体プレート RP センサロータプレート(磁気応答部材) T 取付ねじ M モータ MJ 回転軸 K ハウジング SR シールドリング 20 回転軸 21 ロータ 22 磁気シールド部材 23 ステータ 30 交流発生源 31 演算回路 32 位相検出回路 SH sensor head S, S1, S2, S3, S4 detector L, L1, L2, L3, L4 sensor coil C, C1, C2, C3, C4 Magnetic core P body plate RP sensor rotor plate (magnetic response member) T mounting screw M motor MJ rotation axis K housing SR shield ring 20 rotation axis 21 rotor 22 Magnetic shield member 23 Stator 30 AC source 31 arithmetic circuit 32 Phase detection circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F063 AA35 BD16 CA35 DA01 DD06 GA03 GA33 GA36 KA01 LA01 LA03 2F077 AA25 AA27 FF03 FF13 JJ02 JJ06 NN02 NN21 PP06 QQ03 TT06 VV01    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F term (reference) 2F063 AA35 BD16 CA35 DA01 DD06                       GA03 GA33 GA36 KA01 LA01                       LA03                 2F077 AA25 AA27 FF03 FF13 JJ02                       JJ06 NN02 NN21 PP06 QQ03                       TT06 VV01

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 交流信号で励磁される少なくとも1対の
コイルを所定の一部の回転角度範囲にわたって配置して
なるコイル部であって、1対のコイルにおける各コイル
は所定の回転角に対応する間隔で離隔されて配置されて
おり、 前記コイル部に対して相対的に回転変位するよう配置さ
れた磁気応答部材であって、検出対象の回転に応じて該
部材と前記コイル部との相対的回転位置が変化し、この
相対的回転位置に応じて前記コイルのインピーダンスを
変化させ、このインピーダンス変化に基づき前記相対的
回転位置が所定の回転角範囲にわたって変化する間で前
記コイルに生じる電圧が増減変化するようにし、1対の
コイルにおける各コイルの電圧の増減変化が差動的な特
性を示すようにしたものであり、1回転において複数周
期分の前記インピーダンス変化を生じさせるような形状
からなるものと、 前記1対のコイルにおける各コイルに生じる電圧の差を
それぞれ取り出し、所定の周期的振幅関数を振幅係数と
して持つ交流出力信号を各コイル毎に生成する回路であ
って、前記各交流出力信号の前記周期的振幅関数はその
周期特性において所定位相だけ異なっているものとを具
えた回転型位置検出装置。
1. A coil unit in which at least one pair of coils excited by an AC signal are arranged over a predetermined partial rotation angle range, and each coil in the pair of coils corresponds to a predetermined rotation angle. A magnetically responsive member that is arranged so as to be spaced apart from each other with a rotational displacement relative to the coil portion, and that the member and the coil portion are relative to each other according to the rotation of the detection target. The rotational position of the coil changes, the impedance of the coil is changed according to the relative rotational position, and the voltage generated in the coil is changed based on the impedance change while the relative rotational position changes over a predetermined rotation angle range. The voltage of each coil in the pair of coils is increased or decreased so as to exhibit a differential characteristic. And a voltage difference generated between the coils in the pair of coils and an AC output signal having a predetermined periodic amplitude function as an amplitude coefficient is generated for each coil. A rotary position detecting device, wherein the cyclic amplitude function of each of the AC output signals differs in a periodic characteristic by a predetermined phase.
【請求項2】 前記コイル対は2対設けられており、 前記回路は、各々のコイル対からサイン関数を振幅係数
として持つ交流出力信号とコサイン関数を振幅係数とし
て持つ交流出力信号とを生成することを特徴とする請求
項1に記載の回転型位置検出装置。
2. The coil pair is provided in two pairs, and the circuit generates an AC output signal having a sine function as an amplitude coefficient and an AC output signal having a cosine function as an amplitude coefficient from each coil pair. The rotary position detecting device according to claim 1, wherein
【請求項3】 前記コイル部の各コイルは磁性体コアを
含み、該磁性体コアに対峙する前記磁気応答部材との面
積が回転に応じて変化することで、前記コイルのインピ
ーダンス変化が生ぜしめられる請求項1又は2に記載の
回転型位置検出装置。
3. Each coil of the coil section includes a magnetic core, and an area of the magnetic response member facing the magnetic core changes according to rotation, thereby causing impedance change of the coil. The rotary type position detection device according to claim 1 or 2.
【請求項4】 前記磁性体コアは所定のCの字状に形成
されてなり、該磁性体コアの向かい合う両端部に前記コ
イル部の各コイルが配置され、該コイルが前記磁気応答
部材を挟み込むことによって、検出対象回転軸のスラス
ト方向の機械的ぶれの影響を受けにくいようにしたこと
を特徴とする請求項3に記載の回転型位置検出装置。
4. The magnetic core is formed in a predetermined C shape, and the coils of the coil section are arranged at opposite ends of the magnetic core, and the coil sandwiches the magnetic response member. The rotary type position detecting device according to claim 3, wherein the rotary type position detecting device is made less susceptible to mechanical shake in the thrust direction of the detection target rotary shaft.
【請求項5】 前記コイル部の周囲に、該コイル部に対
する外部からの磁気を遮蔽するための磁気シールド部材
を設けたことを特徴とする請求項1に記載の回転位置検
出装置。
5. The rotational position detecting device according to claim 1, wherein a magnetic shield member for shielding the coil portion from the outside is provided around the coil portion.
【請求項6】 磁性体からなる検出対象回転軸に取り付
けられる磁気応答部材からなる所定形状のロータ部と、
交流信号によって励磁されるコイル部を備えたステータ
とを具備し、前記回転軸の回転に応じて前記磁気応答部
材と前記コイル部との相対的回転位置が変化し、この相
対的回転位置の変化に応じて前記コイル部のインピーダ
ンスを変化させ、このインピーダンス変化に応じた出力
信号を生成するようにした回転位置検出装置において、 前記ロータ部を前記回転軸に固定する接合部において磁
気シールド部材を設け、該回転軸を通って前記ロータ部
に漏洩する外部からの磁気を該磁気シールド部材で遮蔽
することを特徴とする回転位置検出装置。
6. A rotor portion having a predetermined shape and made of a magnetically responsive member, which is attached to a detection target rotating shaft made of a magnetic material,
A stator having a coil portion excited by an AC signal, wherein a relative rotational position of the magnetic response member and the coil portion changes according to rotation of the rotating shaft, and the relative rotational position changes. In the rotational position detecting device configured to change the impedance of the coil portion according to the above and generate an output signal according to the change in impedance, a magnetic shield member is provided at a joint portion that fixes the rotor portion to the rotation shaft. A rotational position detecting device, characterized in that the magnetic shield member shields external magnetism leaking to the rotor portion through the rotating shaft.
【請求項7】 検出対象回転軸に取り付けられる磁気応
答部材からなる所定形状のロータ部と、交流信号によっ
て励磁されるコイル部を備えたステータとを具備し、前
記回転軸の回転に応じて前記磁気応答部材と前記コイル
部との相対的回転位置が変化し、この相対的回転位置の
変化に応じて前記コイル部のインピーダンスを変化さ
せ、このインピーダンス変化に応じた出力信号を生成す
るようにした回転位置検出装置において、 前記コイル部の周囲に、該コイル部に対する外部からの
磁気を遮蔽するための磁気シールド部材を設けたことを
特徴とする回転位置検出装置。
7. A rotor unit having a predetermined shape, which is made of a magnetically responsive member, is attached to a rotary shaft to be detected, and a stator having a coil unit that is excited by an alternating current signal. The rotor unit according to the rotation of the rotary shaft. The relative rotational position of the magnetically responsive member and the coil portion changes, the impedance of the coil portion is changed according to the change of the relative rotational position, and an output signal corresponding to this impedance change is generated. In the rotational position detecting device, a magnetic shield member for shielding the coil part from the outside is provided around the coil part.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006284255A (en) * 2005-03-31 2006-10-19 Tamagawa Seiki Co Ltd Flat type resolver
JP2007024556A (en) * 2005-07-13 2007-02-01 Furukawa Electric Co Ltd:The Rotation sensor
JP2007024863A (en) * 2005-01-25 2007-02-01 Furukawa Electric Co Ltd:The Rotation sensor
JP2007271457A (en) * 2006-03-31 2007-10-18 Furukawa Electric Co Ltd:The Displacement sensor and rotation sensor
JPWO2006080567A1 (en) * 2005-01-31 2008-06-26 トヨタ自動車株式会社 Resolver fixing structure
JP2010112825A (en) * 2008-11-06 2010-05-20 Takenaka Electronic Industrial Co Ltd Device for measuring traveling object to be inspected with the use of space filter
JP2012220443A (en) * 2011-04-13 2012-11-12 Tamagawa Seiki Co Ltd Segment resolver
CN109923376A (en) * 2016-10-31 2019-06-21 三菱电机株式会社 Rotation angle detection apparatus and rotation angle detecting method

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62161573U (en) * 1986-04-04 1987-10-14
JPH0965631A (en) * 1995-08-23 1997-03-07 Tamagawa Seiki Co Ltd Rotary differential transformer
JP2000031064A (en) * 1998-07-10 2000-01-28 Hitachi Cable Ltd Method and device for horizontal vapor phase epitaxial growth
JP2000136942A (en) * 1998-10-30 2000-05-16 Sanyo Denki Co Ltd Electromagnetic induction-type rotation sensor
JP2001124590A (en) * 1999-09-30 2001-05-11 Elevadores Atlas Schindler Sa Position detector
JP2001235307A (en) * 1999-03-15 2001-08-31 Tadatoshi Goto Rotary type position detecting apparatus
JP2002168652A (en) * 2000-11-30 2002-06-14 Sanyo Denki Co Ltd nX RELUCTANCE RESOLVER

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62161573U (en) * 1986-04-04 1987-10-14
JPH0965631A (en) * 1995-08-23 1997-03-07 Tamagawa Seiki Co Ltd Rotary differential transformer
JP2000031064A (en) * 1998-07-10 2000-01-28 Hitachi Cable Ltd Method and device for horizontal vapor phase epitaxial growth
JP2000136942A (en) * 1998-10-30 2000-05-16 Sanyo Denki Co Ltd Electromagnetic induction-type rotation sensor
JP2001235307A (en) * 1999-03-15 2001-08-31 Tadatoshi Goto Rotary type position detecting apparatus
JP2001124590A (en) * 1999-09-30 2001-05-11 Elevadores Atlas Schindler Sa Position detector
JP2002168652A (en) * 2000-11-30 2002-06-14 Sanyo Denki Co Ltd nX RELUCTANCE RESOLVER

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007024863A (en) * 2005-01-25 2007-02-01 Furukawa Electric Co Ltd:The Rotation sensor
JP4532417B2 (en) * 2005-01-25 2010-08-25 古河電気工業株式会社 Rotation sensor
JPWO2006080567A1 (en) * 2005-01-31 2008-06-26 トヨタ自動車株式会社 Resolver fixing structure
JP4558036B2 (en) * 2005-01-31 2010-10-06 トヨタ自動車株式会社 Resolver fixing structure
US7928617B2 (en) 2005-01-31 2011-04-19 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Resolver fixing structure
JP2006284255A (en) * 2005-03-31 2006-10-19 Tamagawa Seiki Co Ltd Flat type resolver
JP4639281B2 (en) * 2005-03-31 2011-02-23 多摩川精機株式会社 Flat type resolver
JP2007024556A (en) * 2005-07-13 2007-02-01 Furukawa Electric Co Ltd:The Rotation sensor
JP2007271457A (en) * 2006-03-31 2007-10-18 Furukawa Electric Co Ltd:The Displacement sensor and rotation sensor
JP2010112825A (en) * 2008-11-06 2010-05-20 Takenaka Electronic Industrial Co Ltd Device for measuring traveling object to be inspected with the use of space filter
JP2012220443A (en) * 2011-04-13 2012-11-12 Tamagawa Seiki Co Ltd Segment resolver
CN109923376A (en) * 2016-10-31 2019-06-21 三菱电机株式会社 Rotation angle detection apparatus and rotation angle detecting method

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