JP2003113338A - Heat-resistant block copolyimide composition for screen printing use and composition of ink using the polyimide and method of forming coating film - Google Patents

Heat-resistant block copolyimide composition for screen printing use and composition of ink using the polyimide and method of forming coating film

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JP2003113338A
JP2003113338A JP2001342587A JP2001342587A JP2003113338A JP 2003113338 A JP2003113338 A JP 2003113338A JP 2001342587 A JP2001342587 A JP 2001342587A JP 2001342587 A JP2001342587 A JP 2001342587A JP 2003113338 A JP2003113338 A JP 2003113338A
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polyimide
resin
bis
screen printing
composition
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Moo Soo Uin
ウインモーソー
Toshiyuki Goshima
敏之 五島
Koshu Kin
行洲 金
Hiroyuki Ishii
裕之 石井
Eika Kyo
栄花 許
Hiroshi Itaya
博 板谷
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PI R&D Co Ltd
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PI R&D Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polyimide screen printing varnish composition and a polyimide paste composition excellent in dense fine pattern design and continuous printability by screen printing method without using any photoresist method and photoprinting method and capable of easily forming adhesive layer or protective layer with high heat resistance and high electrical insulation. SOLUTION: The polyimide screen printing varnish comprises a solvent- soluble block copolyimide resin component, electrical insulating inorganic filler and/or resin-coated inorganic filler (in the form of microparticles 0.001-100 μm in mean size) and resin filler of either epoxy resin, maleimide resin, polyurethane resin, polyimide, polyamide or triazine compound (in the form of microparticles 0.05-100 μm in mean size) which is sparingly soluble to the polyimide solution at <=50 deg.C; wherein the fillers account for 2-50 wt.% of the resin on a solid basis, and the varnish varies in viscosity and thixotropy depending on the particle shape, kind and compounding ratio of the fillers. The objective polyimide composition is suitable for screen printing.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、機械的特性およびフレ
キシブル性に優れ、耐熱性、絶縁性を有することから、
エレクトロニクスの分野で各種電子機器の操作パネル等
に使用されるフレキシブル配線板や半導体装置に使用さ
れるシリコンウエハー、半導体チップ、半導体装置周辺
の部材間、半導体チップ捨載用基板、放熱板、リードピ
ン、半導体自身などの保護や絶縁及び接着に使用するた
めの電子部品へのパターン形成を目的としたポリイミド
スクリーン印刷ワニスに関するものである。
INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention has excellent mechanical properties and flexibility, and has heat resistance and insulation properties.
In the field of electronics, flexible wiring boards used for operation panels of various electronic devices, silicon wafers used in semiconductor devices, semiconductor chips, semiconductor device peripheral components, semiconductor chip disposal substrates, heat sinks, lead pins, The present invention relates to a polyimide screen printing varnish for the purpose of forming a pattern on an electronic component for use in protecting, insulating and adhering a semiconductor itself.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ポリイミドにおけるスクリーン印
刷では部分的にイミド化したポリアミック酸の高濃度溶
液をテンプレートに介して基板上に塗工し、その基板上
で当該パターン化した塗膜を完全にイミド化する方法が
知られている(特表平10−502869)。形成した
塗膜は、イミド化するために高温処理(240〜350
℃)をする必要がある。これらの改良方法として、ポリ
イミド化合物によるスクリーン印刷形成方法が求められ
ていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, in screen printing on polyimide, a high-concentration solution of partially imidized polyamic acid is applied to a substrate through a template, and the patterned coating film is completely imidized on the substrate. It is known that the method of conversion (Tokuhyo 10-502869). The formed coating film is subjected to high temperature treatment (240 to 350) for imidization.
C) is required. As a method for improving these, a screen printing forming method using a polyimide compound has been demanded.

【0003】材料の高性能化に伴いポリイミドフレキシ
ブルプリント基板の需要が増大している。現在、ポリイ
ミドプリント基板としてはエポキシ系又はポリイミド系
接着剤を用いて銅板とポリイミドフィルムを加熱接着し
た接着剤型及びこれらを用いない無接着剤型が作られて
いる。また、半導体製造工程において、不導体、緩衝
材、絶縁性塗膜として使用されている。ポリイミド塗膜
におけるパターン形成は、フォトレジスト用のポリアミ
ック酸前駆体を基板に塗工し、紫外光露光及び現像によ
り感光部分又は非感光部分を溶解、さらに残ったポリア
ミック酸をイミド化させることにより行われる。また、
部分的にイミド化したポリアミック酸の塗膜上にフォト
レジスト塗膜を紫外線パターンに露光し、フォトレジス
ト塗膜の感光部分又は非感光部分を溶解させるとともに
そのフォトレジストの下層のポリアミック酸塗膜も溶解
させ、ポリアミック酸の残部をイミド化することにより
パターンを写真技術的に形成することができる。しか
し、いずれの方法においても紫外線露光を含み、パター
ン処理に数工程が必要である。
The demand for polyimide flexible printed circuit boards has increased with the advancement of high performance materials. Currently, as a polyimide printed circuit board, an adhesive type in which a copper plate and a polyimide film are heat-bonded using an epoxy-based or polyimide-based adhesive and a non-adhesive type that does not use these are made. Further, it is used as a non-conductor, a cushioning material, and an insulating coating film in the semiconductor manufacturing process. The pattern formation in the polyimide coating film is performed by coating the substrate with a polyamic acid precursor for photoresist, dissolving the exposed or unexposed portion by ultraviolet light exposure and development, and further imidizing the remaining polyamic acid. Be seen. Also,
The photoresist coating film is exposed to a UV pattern on the partially imidized polyamic acid coating film to dissolve the photosensitive or non-photosensitive portion of the photoresist coating film, and also the polyamic acid coating film under the photoresist. The pattern can be formed photographically by dissolving and imidizing the rest of the polyamic acid. However, in any method, exposure to ultraviolet rays is included and several steps are required for pattern processing.

【0004】従来、半導体への保護層を形成する手法と
して、ポリアミック酸等の保護膜用ワニスをウエハー上
にスピンコートして薄膜化することが実用化されてい
る。しかし、この薄膜はポリイミド化する必要があり、
工程も多く、装置も高価であった。さらに、このワニス
は、膜厚が数μmの薄膜を形成することができるが、1
0μm以上の厚膜に制御しにくい。また、半導体の必要
な部分にのみ薄膜を形成できないことから、フォトエッ
チングや所望の保護膜パターン形成などのさらなる工程
が必要であった。
Conventionally, as a method of forming a protective layer on a semiconductor, it has been put into practical use to spin coat a varnish for a protective film such as polyamic acid on a wafer to form a thin film. However, this thin film needs to be polyimidized,
There were many steps and the device was expensive. Furthermore, this varnish can form a thin film having a thickness of several μm.
It is difficult to control a thick film of 0 μm or more. Further, since a thin film cannot be formed only on a necessary portion of the semiconductor, additional steps such as photoetching and formation of a desired protective film pattern have been required.

【0005】ところで、前記ポリイミド層に使用される
ワニスの第1の形態は、ポリアミック酸の状態で使用す
るものであるが、ポリアミック酸は極性溶剤に溶解して
供給されるため、加熱閉環(イミド化)する工程が必要
となる。そのイミド化反応時には、形成されるポリイミ
ド樹脂の収縮が大きいことが加工性の大きな問題とな
り、特に半導体ウエハー等に緻密なパターン状の保護層
として成形することは困難である。また、ポリアミック
酸は加水分解されやすい、ワニスの吸湿によってポリア
ミック酸が析出しやすい、常温でゆっくりと開環反応が
進むためワニスの保存安定性が悪いなど多くの問題があ
る。
The first type of varnish used for the polyimide layer is used in the state of polyamic acid. However, since the polyamic acid is supplied by being dissolved in a polar solvent, it is heated by ring closure (imide). Process) is required. During the imidization reaction, a large shrinkage of the formed polyimide resin causes a serious problem of workability, and it is particularly difficult to form a dense patterned protective layer on a semiconductor wafer or the like. In addition, there are many problems such that the polyamic acid is easily hydrolyzed, the polyamic acid is likely to be deposited due to the moisture absorption of the varnish, and the storage stability of the varnish is poor because the ring-opening reaction proceeds slowly at room temperature.

【0006】第2の形態は、イミド化の終了した閉環型
ポリイミドとして用いるものであるが、このポリイミド
は溶解性が低いために固形分の濃度を高くすることがで
きず、ワニス化が難しい。また、その低い溶解性のため
に充填剤成分の添加量が制約され粘度の制御が難しい、
チクソトロピー性が得られにくいなどの問題がある。
The second form is used as a ring-closed polyimide that has been imidized, but since this polyimide has low solubility, the solid content cannot be increased and varnishing is difficult. Also, due to its low solubility, it is difficult to control the viscosity due to the limited amount of filler component added.
There are problems such as difficulty in obtaining thixotropy.

【0007】一方、別の方法として感光性を付与したポ
リイミド樹脂を用い、露光により樹脂パターン形成を行
う方法も提案されている。しかしながら、この方法は感
光性付与材料が制約される上、湿式では適用できない場
合も多いことや高価であるという問題がある。
On the other hand, as another method, there has been proposed a method of forming a resin pattern by exposure using a polyimide resin having photosensitivity. However, this method has a problem that the material for imparting photosensitivity is limited, and in many cases, it cannot be applied by a wet method and is expensive.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】従来のポリイミドは、
ポリアミック酸を加工しなければならず、溶媒に難溶で
あるため、形成加工及びスクリーン印刷加工が困難であ
り、スクリーン印刷ペーストとして使用するには問題が
あった。本発明は、スクリーン印刷性が良好で、かつ、
250℃以下の低温硬化が可能であり、硬化した際に耐
熱性、可とう性、高絶縁性、接着性を有し、簡便な方法
で緻密なパターン形成ができる電子部品用ポリイミドス
クリーン印刷ワニスを提供する。これは、これまで印刷
性の向上のため無機フィラーを添加するなどによりチク
ソトロピー性を得ていたポリイミドワニスについて、接
着性低下などの問題点を解決すべく発明されたものであ
る。
The conventional polyimide is
Since the polyamic acid has to be processed and is hardly soluble in a solvent, formation processing and screen printing processing are difficult, and there is a problem in using it as a screen printing paste. The present invention has good screen printability, and
A polyimide screen printing varnish for electronic parts, which can be cured at a low temperature of 250 ° C. or less, has heat resistance, flexibility, high insulation and adhesiveness when cured, and can form a fine pattern by a simple method. provide. This was invented in order to solve problems such as a decrease in adhesiveness of a polyimide varnish which has been obtained with a thixotropic property by adding an inorganic filler for improving printability.

【0009】(発明の構成)(Constitution of the Invention)

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明者等は鋭意研究し、溶媒に可溶であるブロッ
ク共重合ポリイミド製造を完成し、さらにスクリーン印
刷用ポリイミドペーストとして上記の問題点を解決し
た。本ブロック共重合ポリイミドワニスは、室温及び湿
度が50%以下の環境でメッシュ又はメタルマスクを用
いて基板の表面上ににじみが無く、パターン寸法を殆ど
変化させないで目的のパターンを100回以上連続的に
印刷塗布可能であることを特徴としている。また、固形
分が多く(25〜50%)、ポリイミド樹脂と樹脂フィ
ラー、(エポキシ樹脂、マレイミド樹脂、ポリウレタン
樹脂、ポリイミド、ポリアミド、トリアジン化合物エポ
キシ樹脂)の重量割合が100:5〜70である印刷用
樹脂組成物であり、耐熱性、可とう性、接着シート類と
の接着性に優れる皮膜を与える。そして、空隙や気泡の
ない信頼性に優れる均一な厚膜パターンを形成でき、塵
やイオン性不純物が少なくかつ生産性に優れる耐熱樹脂
ペーストの組成物を提供する。さらに、イミド化するた
めの高温処理(240〜350℃)が必要ないため25
0℃以下の低温硬化が可能である。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the inventors of the present invention have conducted diligent research and completed the production of a block copolymerized polyimide which is soluble in a solvent. I solved the point. This block-copolymerized polyimide varnish has no bleeding on the surface of the substrate using a mesh or a metal mask in an environment where the room temperature and humidity are 50% or less, and the target pattern is continuously applied 100 times or more without changing the pattern size. The feature is that it can be applied by printing. Printing in which the solid content is high (25 to 50%) and the weight ratio of the polyimide resin and the resin filler, (epoxy resin, maleimide resin, polyurethane resin, polyimide, polyamide, triazine compound epoxy resin) is 100: 5 to 70. A resin composition for use, which provides a film having excellent heat resistance, flexibility, and adhesiveness with adhesive sheets. Further, the present invention provides a composition of a heat-resistant resin paste which can form a reliable and uniform thick film pattern having no voids and bubbles, has little dust and ionic impurities, and is excellent in productivity. Furthermore, since high temperature treatment (240 to 350 ° C.) for imidization is not required, 25
It can be cured at a low temperature of 0 ° C or lower.

【0010】[0010]

【発明の好ましい実施態様】本発明のブロック共重合ポ
リイミド重合反応に用いる溶媒について説明する。本発
明に使用するスクリーン印刷用ポリイミドは、溶剤可溶
型のブロック共重合ポリイミドであり、重合反応には有
機溶媒が用いられ、これらの溶媒としては、N,N−ジ
メチルホルムアミド(DMF)、N,N−ジメチルアセ
トアミド(DMAc)、ジメチルスルホキシド(DMS
O)、N−メチルピロリドン(NMP)、γ−ブチロラ
クトン(γBL)、アニソール、シクロヘキサノン、テ
トラメチル尿素、スルホラン等が用いられる。好ましく
は、NMPやγBLが用いられる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The solvent used in the block copolymerization polyimide polymerization reaction of the present invention will be explained. The screen-printing polyimide used in the present invention is a solvent-soluble block copolymerized polyimide, and an organic solvent is used for the polymerization reaction. As these solvents, N, N-dimethylformamide (DMF), N , N-dimethylacetamide (DMAc), dimethyl sulfoxide (DMS)
O), N-methylpyrrolidone (NMP), γ-butyrolactone (γBL), anisole, cyclohexanone, tetramethylurea, sulfolane and the like are used. Preferably, NMP or γBL is used.

【0011】これらの溶剤中に、テトラカルボン酸二無
水物と芳香族ジアミンを、ほぼ等モル加え、触媒存在下
で加熱して脱水イミド化反応することにより直接ポリイ
ミド溶液を製造する。触媒は、2成分系の複合触媒であ
る。γ−バレロラクトン、又はクロトン酸に、ピリジン
又はN−メチルモルホリンを混合する。混合比は、1:
1−5(モル当量)好ましくは、1:1−2である。水
が存在すると、酸−塩基の複塩として、触媒作用を示
し、イミド化が完了し、水が反応系外に出ると触媒作用
を失う。この触媒の使用量は、テトラカルボン酸二無水
物に対し1/100−1/5モル、好ましいくは1/5
0−1/10モルである。溶剤可溶のブロックポリイミ
ド化合物の一般的な製造は、米国特許5、502、14
3号に記載されている。
Tetracarboxylic acid dianhydride and aromatic diamine are added to these solvents in approximately equimolar amounts and heated in the presence of a catalyst to carry out a dehydration imidization reaction to directly produce a polyimide solution. The catalyst is a two-component composite catalyst. γ-Valerolactone or crotonic acid is mixed with pyridine or N-methylmorpholine. The mixing ratio is 1:
1-5 (molar equivalent), preferably 1: 1-2. When water is present, it exhibits a catalytic action as an acid-base double salt, and when the imidization is completed and water goes out of the reaction system, the catalytic action is lost. The amount of this catalyst used is 1 / 100-1 / 5 mol, preferably 1/5, of the tetracarboxylic dianhydride.
It is 0-1 / 10 mol. The general manufacture of solvent soluble block polyimide compounds is described in US Pat. No. 5,502,14.
No. 3 is described.

【0012】本発明に使用されるテトラカルボン酸二無
水物は、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’
−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4
−ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、3,
3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン
二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、などの芳香族酸
二無水物、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸二
無水物、1,2,3,4−シクロペンタンテトラカルボ
ン酸二無水物、ビシクロ[2.2.オクト−7−エン−
2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物等の脂肪族
酸二無水物が挙げることができる。これらは単独でも2
種類以上混合してもポリイミド組成物とすることができ
る。
The tetracarboxylic dianhydride used in the present invention is pyromellitic dianhydride, 3,3 ', 4,4'.
-Biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis (3,4
-Dicarboxyphenyl) ether dianhydride, 3,
3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride And the like, aromatic dianhydrides, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, bicyclo [2.2. Oct-7-en-
Aliphatic dianhydrides such as 2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride can be mentioned. These are alone 2
A polyimide composition can be obtained by mixing more than one kind.

【0013】芳香族ジアミンとしては、特に限定されな
いが、m−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミ
ン、2,4−ジアミノトルエン、4,4’−ジアミノ−
3,3’−ジメチル−1,1’−ビフェニル、4,4’
−ジアミノ−3,3’−ジメトキシ−1,1’−ビフェ
ニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシ−
1,1’−ビフェニル、4,4’−ジアミノジフェニル
メタン、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,
4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミ
ノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニル
スルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、
2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2,2
−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパ
ン、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン、1,3−ビス(4−アミ
ノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフ
ェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェ
ノキシ)ビフェニル、2,2−ビス[4−(4−アミノ
フェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−
(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプ
ロパン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニ
ル]スルホン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フ
ェニル]スルホン、3,5−ジアミノ安息香酸、2,5
−ジアミノピリジン、2,6−ジアミノピリジン、2,
6−ジアミノ−4−メチルピリジン、4,4’−(9−
フルオレニリデン)ジアニリン、ジアミノシロキサン化
合物等が用いられる。これらは単独でも2種類以上混合
してもポリイミド組成物とすることができる。重合触媒
を用いる直接イミド化方法の特徴は、3成分以上を混合
してランダム共重合体とするよりもブロック共重合体と
することにより溶解性を高め、接着性を付与し、電気
的、機械的特性を改善することにある。
The aromatic diamine is not particularly limited, but m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, 2,4-diaminotoluene, 4,4'-diamino-
3,3'-dimethyl-1,1'-biphenyl, 4,4 '
-Diamino-3,3'-dimethoxy-1,1'-biphenyl, 4,4'-diamino-3,3'-dihydroxy-
1,1'-biphenyl, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,
4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide,
2,2-bis (4-aminophenyl) propane, 2,2
-Bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis ( 4-aminophenoxy) benzene, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4-
(4-Aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 3,5-diaminobenzoic acid, 2, 5
-Diaminopyridine, 2,6-diaminopyridine, 2,
6-diamino-4-methylpyridine, 4,4 ′-(9-
Fluorenylidene) dianiline, diaminosiloxane compounds and the like are used. These may be used alone or as a mixture of two or more kinds to form a polyimide composition. The feature of the direct imidization method using a polymerization catalyst is that the solubility is enhanced and the adhesiveness is imparted by using a block copolymer rather than mixing three or more components to form a random copolymer. To improve the physical characteristics.

【0014】まず、極性溶媒中、酸触媒の存在下で酸二
無水物と芳香族ジアミンと加熱してイミドオリゴマーを
生成させ、次いでこれに酸二無水物又は/及び芳香族ジ
アミンを加えて第2段階反応することによりポリイミド
を生成する。この方法ではアミック酸間で起こる交換反
応に起因するランダム共重合化を防止することができ
る。その結果、軟質のエラストマー型ポリイミドから硬
質の構造用ポリイミドに至るまで、広範囲多様なブロッ
ク共重合ポリイミドが製造できる。
First, an acid dianhydride and an aromatic diamine are heated in a polar solvent in the presence of an acid catalyst to form an imide oligomer, and then an acid dianhydride and / or an aromatic diamine is added to the imide oligomer. A polyimide is produced by a two-step reaction. This method can prevent random copolymerization due to the exchange reaction between amic acids. As a result, a wide variety of block copolymerized polyimides can be produced, from soft elastomeric polyimides to hard structural polyimides.

【0015】次に、前記のようにして得られたポリイミ
ドの特性を説明する。 1)熱的性質 ガラス転移温度:180−350℃ 熱分解開始温度:400−550℃ 2)電気的性質 体積抵抗値:10(exp17)オーム以上 誘電率:2.5〜3.5 3)機械的性質 引張り強さ:10−25kgf/mm2 引張り伸び:20−200% 引張り弾性率:200−350kf/mm2 4)化学的性質 吸水率:0.2−1% PCT:16H−100H 耐半田性:260℃、60秒以である 耐アルカリ性:5%苛性ソーダーに30分浸漬後重量減
少が 1−3%である ブロック共重合ポリイミド溶液は、既にイミド化反応が
行われているため、スクリーン印刷に際してイミド化反
応が不要である ポリイミド溶液として保存安定性が良好である ポリイミド溶液として水に分解しない 本発明に使用するブロック共重合ポリイミドは、スクリ
ーン印刷ワニスとして優れた特性を示すが、これに限ら
ず、例えば導電性面状発熱体や、コンデンサー型電池の
電極材、電気導電材料、電気抵抗材料等としての利用も
可能である。
Next, the characteristics of the polyimide obtained as described above will be described. 1) Thermal properties Glass transition temperature: 180-350 ° C Thermal decomposition initiation temperature: 400-550 ° C 2) Electrical properties Volume resistance value: 10 (exp17) ohms or more Dielectric constant: 2.5-3.5 3) Machine Properties Tensile strength: 10-25kgf / mm2 Tensile elongation: 20-200% Tensile modulus: 200-350kf / mm2 4) Chemical properties Water absorption rate: 0.2-1% PCT: 16H-100H Solder resistance: Alkali resistance at 260 ° C. for 60 seconds or more: Immersion reaction has already been performed in the block copolymerized polyimide solution in which the weight loss after immersion in 5% caustic soda for 30 minutes is 1-3%. The block copolymerized polyimide used in the present invention does not decompose into water as a polyimide solution having good storage stability as a polyimide solution that does not require imidization reaction. Exhibit excellent properties as a screen printing varnish, not limited to this, for example, a conductive planar heating element and the electrode material of the capacitor type battery, an electrically conductive material, also use as electrical resistance materials possible.

【0016】本発明のポリイミドは、ブロック共重合ポ
リイミドであり、共重合成分を選ぶことによりスクリー
ン印刷法に必要とされるポリマーの特性を付与すること
ができる。例えば、接着基を導入することによって金属
粒子や無機粒子に対する親和性、接着性を高めることが
できる(USP5,502,143)。
The polyimide of the present invention is a block copolymerized polyimide, and the properties of the polymer required for the screen printing method can be imparted by selecting the copolymerization component. For example, by introducing an adhesive group, the affinity and adhesiveness to metal particles and inorganic particles can be increased (USP 5,502,143).

【0017】本発明において、チクソトロピー性、耐熱
性及び密着性を向上させるため、ブロック共重合ポリイ
ミド溶液に添加したマレイミド樹脂化合物は4,4’−
ビスマレイミドジフェニルメタン、ビス(4−マレイミ
ド−3−メチルフェニル)メタン、2,2−ビス(4−
マレイミドフェニル)プロパン、4,4’−ビスマレイ
ミドジフェニルエーテル、3,4’−ビスマレイミドジ
フェニルエーテル、4,4’−ビスマレイミドジフェニ
ルスルホン、3,3’−ビスマレイミドジフェニルスル
ホン、ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニ
ル]スルホン、1,3−ビス(4−マレイミドフェノキ
シ)ベンゼン、1,4−フェニレンビスマレイミド、
2,2−ビス(4−マレイミドフェニル)ヘキサフルオ
ロプロパン、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェ
ノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパンである。
又、マレイミド樹脂化合物以外にポリウレタン樹脂、ポ
リイミド、ポリアミド、トリアジン化合物のいずれかで
ある。これらは、平均粒子0.05μm〜100μmの
微粒子でポリイミド樹脂固形に対して重量2〜50%が
好ましく、さらに好ましくは2〜10重量部の範囲であ
りブロック共重合ポリイミド溶液に50℃以下で難溶で
あることが特徴である。
In the present invention, in order to improve thixotropy, heat resistance and adhesion, the maleimide resin compound added to the block copolymerized polyimide solution is 4,4'-
Bismaleimidodiphenylmethane, bis (4-maleimido-3-methylphenyl) methane, 2,2-bis (4-
Maleimidophenyl) propane, 4,4'-bismaleimide diphenyl ether, 3,4'-bismaleimide diphenyl ether, 4,4'-bismaleimide diphenyl sulfone, 3,3'-bismaleimide diphenyl sulfone, bis [4- (3- Maleimidophenoxy) phenyl] sulfone, 1,3-bis (4-maleimidophenoxy) benzene, 1,4-phenylene bismaleimide,
2,2-bis (4-maleimidophenyl) hexafluoropropane and 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] hexafluoropropane.
In addition to the maleimide resin compound, it is any of polyurethane resin, polyimide, polyamide, and triazine compound. These are fine particles having an average particle size of 0.05 μm to 100 μm, preferably 2 to 50% by weight, and more preferably 2 to 10 parts by weight, based on the solid polyimide resin. It is characterized by being melted.

【0018】本発明のスクリーン印刷用ポリイミドワニ
スには、絶縁性無機フィラーを使用することが好まし
い。使用できる絶縁性無機フィラーとしては、アエロジ
ル、球状シリカ、タルク、アルミナ、石英粉、炭酸カル
シウム、酸化マグネシウム、マイカ等があり、単独また
は2種以上を併用することができる。好ましい絶縁性無
機フィラーは、エロジル、球状シリカ、アルミナの粉末
等があげられる。また、絶縁性フィラーの平均粒径は、
0.01μm〜100μmが好ましく、さらに好ましく
は0.05μm〜40μmである。粒径が0.01μm
未満の場合は、増粘効果が大きくワニスの粘度を制御す
ることが困難である。また、樹脂固形分に対する絶縁性
無機フィラーの量は、2〜50重量部が好ましく、さら
に好ましくは2〜10重量部の範囲である。
An insulating inorganic filler is preferably used in the screen printing polyimide varnish of the present invention. As the insulating inorganic filler that can be used, there are Aerosil, spherical silica, talc, alumina, quartz powder, calcium carbonate, magnesium oxide, mica and the like, and they can be used alone or in combination of two or more kinds. Preferable insulating inorganic fillers include erosil, spherical silica, alumina powder and the like. The average particle size of the insulating filler is
The thickness is preferably 0.01 μm to 100 μm, more preferably 0.05 μm to 40 μm. Particle size is 0.01μm
When it is less than the above range, the thickening effect is large and it is difficult to control the viscosity of the varnish. Further, the amount of the insulating inorganic filler with respect to the resin solid content is preferably 2 to 50 parts by weight, and more preferably 2 to 10 parts by weight.

【0019】本発明のペースト状のポリイミド組成物に
おけるスクリーン印刷では、脱溶媒するのみでポリイミ
ド膜パターンを得ることができる。脱溶媒の条件として
は、コーティング膜厚により、オーブンあるいはホット
プレートにより30〜250℃で行うが、処理時間の全
体に亘って一定の温度であっても良く、徐々に昇温させ
ながら行うこともできる。脱溶媒処理における最高温度
は90℃〜220℃の範囲とし、5〜60分間、空気あ
るいは窒素などの不活性雰囲気下で加熱することが好ま
しい。本発明に使用するポリイミド溶液の製造方法と、
その特性を実施例で具体的に説明する。なお、酸二無水
物、芳香族ジアミンの組み合わせにより種々の特性を持
ったポリイミドが得られることから、本発明はこれらの
実施例のみに限定されるものではない。
In screen printing using the paste-like polyimide composition of the present invention, a polyimide film pattern can be obtained by simply removing the solvent. Desolvation is performed at 30 to 250 ° C. in an oven or a hot plate depending on the coating film thickness, but may be a constant temperature over the entire treatment time, or may be performed while gradually raising the temperature. it can. The maximum temperature in the desolvation treatment is in the range of 90 ° C to 220 ° C, and it is preferable to heat for 5 to 60 minutes in an inert atmosphere such as air or nitrogen. A method for producing a polyimide solution used in the present invention,
The characteristics will be specifically described in Examples. The present invention is not limited to these examples because polyimides having various characteristics can be obtained by combining acid dianhydride and aromatic diamine.

【0020】[0020]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいてより詳細に
説明する。 合成例1 ステンレススチール製の碇型攪拌器を取り付けた3リッ
トルのセパラブル3つ口フラスコに、水分分離トラップ
を備えた玉付冷却管を取り付ける。ビシクロ[2.2.
2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカルボ
ン酸二無水物(BCD)198.55g(800ミリモ
ル)、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル80.0
8g(400ミリモル)、γ−バレロラクトン12.0
1g(120ミリモル)、ピリジン18.98g(24
0ミリモル)、γ−ブチロラクトン(γBL)671
g、トルエン80gを仕込む。室温、窒素雰囲気下、1
80rpmで30分攪拌した後、180℃に昇温して1
時間攪拌した。反応中、トルエン−水の共沸分を除い
た。ついで、室温に冷却し3,3’,4,4’−ベンゾ
フェノンテトラカルボン酸二無水物128.89g(4
00ミリモル)、2,6−ジアミノピリジン43.65
g(400ミリモル)、ビス[4−(3−アミノフェノ
キシ)フェニル]スルホン173.00g(400ミリ
モル)、γBL200g、トルエン80gを加え、18
0℃、180rpmで攪拌しながら7時間反応させた。
還流物を系外に除くことにより40%濃度のポリイミド
溶液を得た。このようにして得られたポリイミドの分子
量をゲルパーミエイションクロマトグラフィー(東ソー
社製)により測定したところ、スチレン換算分子量は数
平均分子量(Mn)22,000、重量平均分子量(M
w)45,000、Z平均分子量(Mz)76,00
0、Mw/Mn=2.02であった。このポリイミド
を、メタノールに注ぎ粉末にして熱分析した。ガラス転
移温度(Tg)は、277.5℃、分解開始温度は41
7.0℃であった。
EXAMPLES The present invention will now be described in more detail with reference to examples. Synthesis Example 1 A 3 liter separable three-necked flask equipped with a stainless steel anchor type stirrer is equipped with a ball cooling tube equipped with a water separation trap. Bicyclo [2.2.
2] Oct-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride (BCD) 198.55 g (800 mmol), 3,4′-diaminodiphenyl ether 80.0
8 g (400 mmol), γ-valerolactone 12.0
1 g (120 mmol), pyridine 18.98 g (24
0 mmol), γ-butyrolactone (γBL) 671
g, and 80 g of toluene are charged. Room temperature, under nitrogen atmosphere, 1
After stirring at 80 rpm for 30 minutes, raise the temperature to 180 ° C. and
Stir for hours. During the reaction, the toluene-water azeotrope was removed. Then, the mixture was cooled to room temperature, and 128.89 g (4: 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride)
00 mmol), 2,6-diaminopyridine 43.65
g (400 mmol), bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone 173.00 g (400 mmol), γBL 200 g, and toluene 80 g were added, and 18
The reaction was carried out for 7 hours while stirring at 0 ° C and 180 rpm.
By removing the refluxed substance outside the system, a polyimide solution having a concentration of 40% was obtained. When the molecular weight of the thus obtained polyimide was measured by gel permeation chromatography (manufactured by Tosoh Corporation), the styrene-equivalent molecular weights were number average molecular weight (Mn) 22,000 and weight average molecular weight (M
w) 45,000, Z average molecular weight (Mz) 76,000
0 and Mw / Mn = 2.02. This polyimide was poured into methanol, made into a powder, and subjected to thermal analysis. Glass transition temperature (Tg) is 277.5 ° C, decomposition start temperature is 41
It was 7.0 ° C.

【0021】合成例2 ステンレススチール製の碇型攪拌器を取り付けた2リッ
トルのセパラブル3つ口フラスコに、水分分離トラップ
を備えた玉付冷却管を取り付ける。3,3’,4,4’
−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物32.22
g(100ミリモル)、2,4−ジアミノトルエン6.
11g(50ミリモル)、γ−バレロラクトン1.50
g(15ミリモル)、ピリジン2.37g(30ミリモ
ル)、γBL150g、トルエン30gを仕込む。室
温、窒素雰囲気下、180rpmで30分攪拌した後、
180℃に昇温して1時間攪拌した。反応中、トルエン
−水の共沸分を除いた。ついで、室温に冷却し3,
3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
(BPDA)14.71g(50ミリモル)、2,2−
ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサ
フルオロプロパン25.93g(50ミリモル)、2,
6−ジアミノピリジン5.46g(50ミリモル)、γ
BL35g、トルエン30gを加え、180℃、180
rpmで攪拌しながら5時間反応させた。還流物を系外
に除くことにより30%濃度のポリイミド溶液を得た。
このようにして得られたポリイミドの分子量をゲルパー
ミエイションクロマトグラフィー(東ソー社製)により
測定したところ、スチレン換算分子量は数平均分子量
(Mn)22,000、重量平均分子量(Mw)42,
000、Z平均分子量(Mz)72,000、Mw/M
n=1.91であった。このポリイミドを、メタノール
に注ぎ粉末にして熱分析した。ガラス転移温度(Tg)
は、276.9℃、分解開始温度は464.3℃であっ
た。
Synthesis Example 2 A 2-liter separable three-necked flask equipped with an anchor type stirrer made of stainless steel was equipped with a condenser tube with a ball equipped with a water separation trap. 3,3 ', 4,4'
-Benzophenone tetracarboxylic dianhydride 32.22
g (100 mmol), 2,4-diaminotoluene 6.
11 g (50 mmol), γ-valerolactone 1.50
g (15 mmol), pyridine 2.37 g (30 mmol), γBL 150 g, and toluene 30 g are charged. After stirring at 180 rpm for 30 minutes at room temperature under a nitrogen atmosphere,
It heated up at 180 degreeC and stirred for 1 hour. During the reaction, the toluene-water azeotrope was removed. Then cool to room temperature3.
14.71 g (50 mmol) of 3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), 2,2-
Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane 25.93 g (50 mmol), 2,
5.46 g (50 mmol) of 6-diaminopyridine, γ
BL35g, toluene 30g are added, 180 degreeC, 180
The reaction was carried out for 5 hours while stirring at rpm. A reflux solution was removed from the system to obtain a polyimide solution having a concentration of 30%.
When the molecular weight of the thus obtained polyimide was measured by gel permeation chromatography (manufactured by Tosoh Corporation), the styrene-equivalent molecular weights were number average molecular weight (Mn) 22,000, weight average molecular weight (Mw) 42,
2,000, Z average molecular weight (Mz) 72,000, Mw / M
It was n = 1.91. This polyimide was poured into methanol, made into a powder, and subjected to thermal analysis. Glass transition temperature (Tg)
Was 276.9 ° C. and the decomposition initiation temperature was 464.3 ° C.

【0022】合成例3 BCD49.64g(200ミリモル)、3,5−ジア
ミノ安息香酸45.65g(300ミリモル)、γ−バ
レロラクトン5.01g(50ミリモル)、ピリジン
7.91g(100ミリモル)、N−メチルピロリドン
(NMP)408g、トルエン40g及びBPDA8
8.27g(300ミリモル)、ビス[4−(3−アミ
ノフェノキシ)フェニル]スルホン43.25g(10
0ミリモル)、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノ
キシ)フェニル]プロパン41.05g(100ミリモ
ル)、γBL175g、トルエン40gを用い、合成例
1と同様の方法により30%濃度のポリイミド溶液を得
た。また、その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温
度を測定した。それらの結果を表1に示す。
Synthesis Example 3 49.64 g (200 mmol) of BCD, 45.65 g (300 mmol) of 3,5-diaminobenzoic acid, 5.01 g (50 mmol) of γ-valerolactone, 7.91 g (100 mmol) of pyridine, N-methylpyrrolidone (NMP) 408 g, toluene 40 g and BPDA8
8.27 g (300 mmol), bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone 43.25 g (10
0 mmol), 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane 41.05 g (100 mmol), γBL175 g, and toluene 40 g were used, and a polyimide solution having a concentration of 30% was prepared in the same manner as in Synthesis Example 1. Got Further, its molecular weight, glass transition point and thermal decomposition initiation temperature were measured. The results are shown in Table 1.

【0023】合成例4 BPDA176.53g(600ミリモル)、ビス[4
−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン86.
50g(200ミリモル)、ジアミノシロキサン(Mw
830)83.00g(100ミリモル)、γ−バレロ
ラクトン9.01g(90ミリモル)、ピリジン14.
24g(180ミリモル)、NMP750g、トルエン
80g及びBTDA96.67g(300ミリモル)、
2,4−ジアミノトルエン48.87g(400ミリモ
ル)、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フ
ェニル]プロパン82.10g(200ミリモル)、N
MP62g、トルエン40gを用い、合成例1と同様の
方法により40%濃度のポリイミド溶液を得た。また、
その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測定し
た。それらの結果を表1に示す。
Synthesis Example 4 176.53 g (600 mmol) of BPDA, bis [4
-(3-Aminophenoxy) phenyl] sulfone 86.
50 g (200 mmol), diaminosiloxane (Mw
830) 83.00 g (100 mmol), γ-valerolactone 9.01 g (90 mmol), pyridine 14.
24 g (180 mmol), NMP 750 g, toluene 80 g and BTDA 96.67 g (300 mmol),
48.87 g (400 mmol) of 2,4-diaminotoluene, 82.10 g (200 mmol) of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, N
A polyimide solution having a concentration of 40% was obtained by the same method as in Synthesis Example 1 using 62 g of MP and 40 g of toluene. Also,
Its molecular weight, glass transition point and thermal decomposition initiation temperature were measured. The results are shown in Table 1.

【0024】合成例5 BTDA64.45g(200ミリモル)、2,4−ジ
アミノトルエン48.87g(100ミリモル)、γ−
バレロラクトン3.00g(30ミリモル)、ピリジン
4.75g(60ミリモル)、γBL400g、トルエ
ン40g及びBTDA32.22g(100ミリモ
ル)、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]
スルホン60.55g(140ミリモル)、3,5−ジ
アミノ安息香酸4.56g(30ミリモル)、2,6−
ジアミノピリジン3.27g(30ミリモル)、γBL
99.4g、トルエン40gを用い、合成例1と同様の
方法により25%濃度のポリイミド溶液を得た。また、
その分子量、ガラス転移点及び熱分解開始温度を測定し
た。それらの結果を表1に示す。
Synthesis Example 5 64.45 g (200 mmol) BTDA, 48.87 g (100 mmol) 2,4-diaminotoluene, γ-
Valerolactone 3.00 g (30 mmol), pyridine 4.75 g (60 mmol), γBL 400 g, toluene 40 g and BTDA 32.22 g (100 mmol), bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl].
Sulfone 60.55 g (140 mmol), 3,5-diaminobenzoic acid 4.56 g (30 mmol), 2,6-
Diaminopyridine 3.27 g (30 mmol), γBL
A polyimide solution having a concentration of 25% was obtained by the same method as in Synthesis Example 1 using 99.4 g and 40 g of toluene. Also,
Its molecular weight, glass transition point and thermal decomposition initiation temperature were measured. The results are shown in Table 1.

【0025】[0025]

【表1】 [Table 1]

【0026】実施例1 合成例1で合成したポリイミドワニスに、シリカ微粉末
(日本アエロジル社製,商品名AEROSIL 20
0、1次粒子の平均粒径0.016μm)を添加した
後、ノリタケ社製のNR−120Aセラミック三本ロー
ルミルにて充分に混合して本発明のスクリーン印刷用ポ
リイミドペーストを得た。
Example 1 Polyimide varnish synthesized in Synthesis Example 1 was mixed with silica fine powder (trade name AEROSIL 20 manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.).
0 and primary particles having an average particle size of 0.016 μm) were added, and then sufficiently mixed with a NR-120A ceramic three-roll mill manufactured by Noritake Co., Ltd. to obtain a polyimide paste for screen printing of the present invention.

【0027】実施例2〜9については,使用したポリイ
ミドワニスの樹脂固形分濃度(重量%)、添加するフィ
ラーの1次粒子平均粒径、シリカ及び樹脂ファラーの種
類及びポリイミド樹脂固形分100重量部に対する添加
量(重量部)を示し、実施例1と同様にして作製し、表
2に示す。
For Examples 2 to 9, the resin solid content concentration (% by weight) of the polyimide varnish used, the primary particle average particle diameter of the filler to be added, the type of silica and resin farah, and the polyimide resin solid content of 100 parts by weight. The amount of addition (parts by weight) is shown in Table 2, and is prepared in the same manner as in Example 1.

【0028】[0028]

【表2】 [Table 2]

【0029】(スクリーン印刷性の評価)実施例は、ピ
ーアイのテスト用スクリーンマスクを用いてマイクロテ
ック社製MT−550TVCスクリーン印刷機にて、ス
クリーン印刷し、次の項目について特性を評価した。 1)パターン形状については、ピーアイ技術研究所の微
細パターン(L(線幅)/S(線間隔)=30、40、
50、60、70、80、100、150、200のも
の、テスト用印刷スクリーン(400メッシュのステン
レス製、乳剤厚16μm)を用いてSUS板にスクリー
ン印刷を連続で10ショット行った後、室温で5〜10
分間レベリングを行い、90℃、180℃、250℃の
熱風オーブンにて各20分間加熱して有機溶剤成分を乾
燥させたものについて、パターンの形状を目視及び光学
顕微鏡で評価を行った。評価は、パターンの『ニジミま
たはタレ不良(パターン幅方向にペーストが広がり、隣
のパターンと接続したブリッジ状態の不良)』、『かす
れ不良(印刷パターンの所定の大きさより小さく印刷さ
れたもの、パターンの欠けの不良)』、『ボイドまたは
カケ』、及び『ローリング性(スキージの移動時にペー
ストがスクリーン上でスキージの進行方向側の前面で、
ほぼ円柱状態で回転流動する時の回転状態の不良)』に
ついて行った。結果を表3に示す。
(Evaluation of Screen Printability) In the examples, screen printing was carried out by using MT-550TVC screen printing machine manufactured by Microtec Co., Ltd. using a test screen mask of PII, and the characteristics of the following items were evaluated. 1) Regarding the pattern shape, a fine pattern (L (line width) / S (line interval) = 30, 40,
50, 60, 70, 80, 100, 150, 200, using a test printing screen (400 mesh stainless steel, emulsion thickness 16 μm), screen printing was continuously performed 10 shots on the SUS plate, and then at room temperature. 5-10
Leveling was performed for minutes, and the organic solvent component was dried by heating in a hot air oven at 90 ° C., 180 ° C., and 250 ° C. for 20 minutes each, and the shape of the pattern was evaluated visually and by an optical microscope. Evaluation is based on the pattern "bluish or sagging defect (paste spreads in the pattern width direction, defect in the bridge state connected to the adjacent pattern)", "blurring defect (printed pattern smaller than the specified size, pattern ”,“ Void or chip ”, and“ Rolling property (when the squeegee moves, the paste is on the screen in the forward direction of the squeegee,
(Poor rotation condition when rotating and flowing in a substantially cylindrical state) ”. The results are shown in Table 3.

【0030】[0030]

【表3】 [Table 3]

【0031】2)連続印刷性連続印刷性(パターン寸法
をほとんど変化させずに目的パターンを100回連続し
てスクリーン印刷できる)の評価は、前記パターンを連
続印刷し、印刷開始から10ショット目、それ以降につ
いては10ショット毎に100ショットまでパターンを
抜き取り、パターン評価の場合と同様な条件に乾燥した
後、前記と同じパターンの形状を目視及び光学顕微鏡で
観察した。これらの結果を表4に示す。なお、表中連続
ショットの○印は良好なパターン形状、×印は不良なで
パターン形状あったことを意味する。但し、パターン形
状が著しく悪化した場合は印刷を中止した。
2) Continuous printability The continuous printability (the target pattern can be continuously screen-printed 100 times with almost no change in the pattern size) was evaluated by continuously printing the above pattern and the 10th shot from the start of printing. After that, the pattern was extracted every 10 shots up to 100 shots, dried under the same conditions as in the case of the pattern evaluation, and then the shape of the same pattern as above was visually observed and observed with an optical microscope. The results are shown in Table 4. In the table, ◯ marks of the continuous shots indicate that the pattern has a good shape, and X marks indicate that the pattern has a bad pattern. However, when the pattern shape was significantly deteriorated, printing was stopped.

【0032】[0032]

【表4】 表3及び表4の結果からわかるように、本発明のスクリ
ーン印刷用ポリイミドワニスは、パターン形状及び連続
印刷性に優れていた。
[Table 4] As can be seen from the results of Table 3 and Table 4, the polyimide varnish for screen printing of the present invention was excellent in pattern shape and continuous printability.

【0033】[0033]

【発明の効果】本発明のスクリーン印刷用ポリイミドワ
ニスは、パターン形状及び連続印刷性に優れており、ス
クリーン印刷により、耐熱性、高絶縁性に優れた接着層
または保護層を容易に形成することができる。特に従来
の表面保護膜や層間絶縁膜用ポリイミド膜の像形成はフ
ォトレジストを用いて、フォトエッチング法によって行
われてきたが、近年、感光性ポリイミドを用いるフォト
プリント法の技術が大きく進んだため、像形成工程がよ
り簡略かされ、エレクトロニクス分野でのポリイミドの
適用が広まってきた。しかし、感光性、非感光性に関係
なくこれまでポリイミドはほとんどが塗布効率に劣るス
ピンナ回転塗布で使用されており、塗布効率向上ととも
に像形成工程の一層簡略化が課題となっている。そこ
で、その解決策の一つとして本発明のスクリーン印刷法
が提案される。この方法は、露光、現像あるいはエッチ
ングなどの工程を行うことなくスクリーンを用いて基材
上に直接像形成するので、フォトエッチング法、フォト
プリント法に比べてより簡略化された像形成法である。
EFFECT OF THE INVENTION The polyimide varnish for screen printing of the present invention is excellent in pattern shape and continuous printability, and it is possible to easily form an adhesive layer or a protective layer excellent in heat resistance and high insulation by screen printing. You can In particular, the conventional image formation of the surface protective film and the polyimide film for the interlayer insulating film has been performed by the photoetching method using the photoresist, but in recent years, the technology of the photoprinting method using the photosensitive polyimide has made great progress. The image forming process has been simplified, and the application of polyimide in the electronics field has spread. However, most of polyimides have been used in spinner spin coating, which is inferior in coating efficiency, regardless of photosensitivity and non-photosensitivity. Therefore, improvement of coating efficiency and further simplification of the image forming process have been problems. Therefore, as one of the solutions, the screen printing method of the present invention is proposed. Since this method directly forms an image on a substrate using a screen without performing steps such as exposure, development or etching, it is a simpler image forming method than the photoetching method and the photoprinting method. .

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石井 裕之 神奈川県横浜市磯子区4丁目3番2号205 室 (72)発明者 許 栄花 神奈川県横浜市金沢区町屋町34番地30号 202室 (72)発明者 板谷 博 千葉県市川市湊新田2丁目1番25号 Fターム(参考) 4J039 AE05 AE08 AE09 AE13 BA13 BA22 BA32 BA35 BC05 BC12 BC13 BC16 BC20 BC29 BC31 BC36 BC37 BC50 BC51 BC52 BC54 BC55 BE12 CA07 CA08 EA37 EA47 GA10 4J043 PA09 QB15 QB26 RA39 SA06 SB02 TA22 TA71 UA032 UA121 UA122 UA131 UA132 UA361 UB052 UB062 UB121 UB122 UB301 UB302 XA13 XB19 XB37 ZA33 ZB50    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Hiroyuki Ishii             205, 4-3, Isogo-ku, Yokohama-shi, Kanagawa             Room (72) Inventor Xuhua             34-30 Machiyamachi, Kanazawa-ku, Yokohama-shi, Kanagawa             202 rooms (72) Inventor Hiroshi Itaya             2-125 Minato-shinden, Ichikawa City, Chiba Prefecture F-term (reference) 4J039 AE05 AE08 AE09 AE13 BA13                       BA22 BA32 BA35 BC05 BC12                       BC13 BC16 BC20 BC29 BC31                       BC36 BC37 BC50 BC51 BC52                       BC54 BC55 BE12 CA07 CA08                       EA37 EA47 GA10                 4J043 PA09 QB15 QB26 RA39 SA06                       SB02 TA22 TA71 UA032                       UA121 UA122 UA131 UA132                       UA361 UB052 UB062 UB121                       UB122 UB301 UB302 XA13                       XB19 XB37 ZA33 ZB50

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ラクトン及び塩基よりなる酸触媒の存在
下でテトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンとを重
縮合した溶媒可溶の−スクリーン印刷用の−ブロック共
重合ポリイミド組成物。
1. A solvent-soluble block copolymer polyimide composition for screen printing, which is obtained by polycondensing a tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine in the presence of an acid catalyst composed of a lactone and a base.
【請求項2】 γ−バレロラクトンとピリジン又は/及
びメチルモルホリンの二成分系触媒の存在下でテトラカ
ルボン酸二無水物と芳香族ジアミンを160〜200℃
に加熱してイミド化オリゴマーを作り、ついでテトラカ
ルボン酸二無水物及び/又は芳香族ジアミンを全酸二無
水物と芳香族ジアミンのモル比が1:0.95〜1:
1.05になるように加えて、加熱、脱水して得られた
ブロック共重合ポリイミド樹脂組成物。
2. A tetracarboxylic dianhydride and an aromatic diamine are added at 160 to 200 ° C. in the presence of a binary catalyst of γ-valerolactone and pyridine or / and methylmorpholine.
To produce an imidized oligomer, and then tetracarboxylic dianhydride and / or aromatic diamine is added in a molar ratio of total acid dianhydride to aromatic diamine of 1: 0.95 to 1:
A block copolymerized polyimide resin composition obtained by heating and dehydrating in addition to 1.05.
【請求項3】 テトラカルボン酸二無水物は、ピロメリ
ット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテト
ラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフ
ェニル)エーテル二無水物、3,3’,4,4’−ベン
ゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビシクロ[2.
2.2]オクト−7−エン−2,3,5,6−テトラカ
ルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキ
シフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物から選ば
れることを特徴とする。
3. The tetracarboxylic dianhydride is pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride. Anhydride, 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride, bicyclo [2.
2.2] It is selected from octo-7-ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride and 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride. Characterize.
【請求項4】 ブロックポリイミド樹脂成分の芳香族ジ
アミンとしては、m−フェニレンジアミン、p−フェニ
レンジアミン、2,4−ジアミノトルエン、4,4’−
ジアミノ−3,3’−ジメチル−1,1’−ビフェニ
ル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジヒドロキシ−
1,1’−ビフェニル、3,4’−ジアミノジフェニル
エーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、
3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジ
アミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェ
ニルスルフィド、2,2−ビス(4−アミノフェニル)
プロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサ
フルオロプロパン、1,3−ビス(4−アミノフェノキ
シ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)
ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビ
フェニル、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキ
シ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−ア
ミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、
ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホ
ン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ス
ルホン、3,5−ジアミノ安息香酸、2,6−ジアミノ
ピリジン、2,6−ジアミノ−4−メチルピリジン、
4,4’−(9−フルオレニリデン)ジアニリン、ジア
ミノシロキサン化合物などが挙げられる。
4. The aromatic diamine of the block polyimide resin component is m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, 2,4-diaminotoluene, 4,4′-
Diamino-3,3'-dimethyl-1,1'-biphenyl, 4,4'-diamino-3,3'-dihydroxy-
1,1'-biphenyl, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether,
3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 2,2-bis (4-aminophenyl)
Propane, 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy)
Benzene, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] Hexafluoropropane,
Bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 3,5-diaminobenzoic acid, 2,6-diaminopyridine, 2,6-diamino-4. -Methylpyridine,
4,4 '-(9-fluorenylidene) dianiline, diaminosiloxane compounds and the like can be mentioned.
【請求項5】 反応に用いる有機溶媒としては、N−メ
チル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミ
ド、N,N−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキ
シド、スルホラン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリ
ドン等の非プロトン性極性溶媒、フェノール、クレゾー
ル、キシレノール、p−クロロフェノール等のフェノー
ル系溶媒、テトラメチル尿素、ブチロラクトン、アニソ
ール、シクロヘキサノン、ラクトン系溶媒等が挙げられ
る。また、二種類以上の溶媒を混合して用いられる。
5. The organic solvent used in the reaction includes N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, sulfolane, 1,3-dimethyl-2-imidazolidone and the like. Aprotic polar solvent, phenolic solvent such as phenol, cresol, xylenol, p-chlorophenol, tetramethylurea, butyrolactone, anisole, cyclohexanone, lactone solvent and the like. Further, two or more kinds of solvents are mixed and used.
【請求項6】 溶剤がラクトン系溶剤、スルホラン、ア
ニソール、シクロヘキサノン、グライム系溶剤、グリコ
ールのモノメチルエーテル類、グリコールのジエチルエ
ーテル類、グリコールのモノエチルエーテル類、グリコ
ールのモノアセチル化物、グリコールのジアセチル化
物、セロソルブ類、環状エーテル類から選択される少な
くとも1種類よりなることを特徴とするポリイミドスク
リーン印刷ワニス。
6. The solvent is a lactone solvent, sulfolane, anisole, cyclohexanone, glyme solvent, glycol monomethyl ethers, glycol diethyl ethers, glycol monoethyl ethers, glycol monoacetylated products, glycol diacetylated products. A polyimide screen printing varnish comprising at least one selected from the group consisting of, cellosolves, and cyclic ethers.
【請求項7】 耐熱樹脂ワニスの印刷性を向上するた
め、ブロック共重合ポリイミド溶液に絶縁性無機フィラ
ー及び/又は樹脂コートした無機フィラー及び/又は樹
脂フィラーを樹脂固形分に対して重量部含有することを
特徴とした接着組成物を用いる請求項1記載の印刷用ワ
ニス。
7. In order to improve the printability of the heat-resistant resin varnish, the block copolymerized polyimide solution contains an insulating inorganic filler and / or a resin-coated inorganic filler and / or a resin filler in a part by weight based on the resin solid content. The printing varnish according to claim 1, wherein the adhesive composition is used.
【請求項8】 請求項1のブロック共重合ポリイミド溶
液に絶縁性無機フィラー及び/又は樹脂コートした無機
フィラー、平均粒子0.001μm〜100μmの微粒
子(エロジル、酸化アルミニウム、二酸化チタン等であ
る)が樹脂固形に対して重量2〜50%含有し、フィラ
ーの形状、種類、配合率によって粘度やチクソ性が変化
することを特徴とする。
8. The block copolymerized polyimide solution according to claim 1, comprising an insulating inorganic filler and / or a resin-coated inorganic filler, and fine particles having an average particle size of 0.001 μm to 100 μm (erosil, aluminum oxide, titanium dioxide, etc.). It is characterized in that it is contained in an amount of 2 to 50% by weight with respect to the resin solid, and the viscosity and thixotropy change depending on the shape, type and blending ratio of the filler.
【請求項9】 請求項1のブロック共重合ポリイミド溶
液に添加した樹脂フィラーは、平均粒子0.05μm〜
100μmの微粒子状のエポキシ樹脂、マレイミド樹
脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド、ポリアミド、トリ
アジン化合物のいずれかであり50℃以下でポリイミド
溶液に難溶であることを特徴とする。それぞれのフィラ
ーは樹脂固形に対して2〜50重量%である。
9. The resin filler added to the block copolymerized polyimide solution according to claim 1, has an average particle size of 0.05 μm to
One of 100 μm fine particle epoxy resin, maleimide resin, polyurethane resin, polyimide, polyamide, and triazine compound, which is characterized by being hardly soluble in a polyimide solution at 50 ° C. or lower. Each filler is 2 to 50% by weight based on the solid resin.
【請求項10】請求項1のポリイミドにおけるスチレン
換算の重量分子量は2万5000乃至40万、好ましく
は3万乃至20万であり、その熱分解開始温度が450
℃以上である耐熱性ポリイミド組成物。
10. The styrene-equivalent weight molecular weight of the polyimide of claim 1 is 25,000 to 400,000, preferably 30,000 to 200,000, and its thermal decomposition initiation temperature is 450.
A heat-resistant polyimide composition having a temperature of ℃ or higher.
【請求項11】請求項1のブロック共重合ポリイミド溶
液に約100ppm〜約10重量%の界面活性剤を含有
していることを特徴とするポリイミドスクリーン印刷ワ
ニス。
11. A polyimide screen printing varnish wherein the block copolymerized polyimide solution of claim 1 contains from about 100 ppm to about 10% by weight of a surfactant.
【請求項12】請求項11のポリイミドスクリーン印刷
ペーストは印刷過程で部材であるメタルマスク又はスク
リーンステンシル金属メッシュを用いて基板の表面にだ
れ、にじみ等の欠陥のない厚膜高精細パターンを形成す
る印刷方法を特徴とする。スクリーン印刷の適正な印刷
条件はクリアランスはスクリーン枠内寸の1/300
程度、スキージ印圧は100〜300g/cm、ス
キージ角度は65〜75°、スキージ速度は40〜15
0mm/secが好ましい。
12. The polyimide screen printing paste according to claim 11 forms a thick film high-definition pattern having no defects such as dripping and bleeding on the surface of a substrate by using a metal mask or a screen stencil metal mesh as a member in the printing process. It features a printing method. The proper printing condition for screen printing is that the clearance is 1/300 of the inner size of the screen frame.
Squeegee printing pressure is 100 ~ 300g / cm, squeegee angle is 65 ~ 75 °, squeegee speed is 40 ~ 15
0 mm / sec is preferable.
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