JP2003110235A - Connecting method of wiring board, electro-optic device and manufacturing method and apparatus thereof, and electronic equipment - Google Patents

Connecting method of wiring board, electro-optic device and manufacturing method and apparatus thereof, and electronic equipment

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JP2003110235A
JP2003110235A JP2001299441A JP2001299441A JP2003110235A JP 2003110235 A JP2003110235 A JP 2003110235A JP 2001299441 A JP2001299441 A JP 2001299441A JP 2001299441 A JP2001299441 A JP 2001299441A JP 2003110235 A JP2003110235 A JP 2003110235A
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terminals
substrate
wiring board
substrates
mark
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Hidekazu Sato
英一 佐藤
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Seiko Epson Corp
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  • Combinations Of Printed Boards (AREA)
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a connecting method of a wiring board for connecting the terminal of the board at an accurate position, to provide an electro-optic device and a manufacturing method of the electro-optical device, and to provide electronic equipment. SOLUTION: First and second boards 10, 20 have wiring patterns 12, 22 having a plurality of terminals 14, 24, and marks 16, 18, 26, 28 are arranged so that a plurality of terminals 14 and 24 are overlapped one another. The marks 16, 18, 26, 28 of the first and second boards 10, 20 are recognized, the first and second boards 10, 20 are aligned at least in the extension direction of the plurality of overlapped terminals 14, 24. A terminal that is positioned at a center section 70 of the plurality of overlapped terminals 14, 24 of the first and second boards 10, 20 is recognized. The first and second boards 10, 20 are aligned in the alignment direction of the plurality of overlapped terminals 14, 24.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、配線基板の接続方
法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法及び製造装
置並びに電子機器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wiring board connecting method, an electro-optical device, an electro-optical device manufacturing method and device, and an electronic apparatus.

【0002】[0002]

【発明の背景】電気光学装置の製造では、配線が形成さ
れた基板同士が互いに電気的に接続される。電気光学装
置は、液晶装置やエレクトロルミネセンスディスプレイ
装置などの表示装置を含む。基板の接続においては、近
年の配線の多端子かつ狭ピッチが進むなかで、両者を高
精度に位置合わせすることが重要となる。
BACKGROUND OF THE INVENTION In the manufacture of electro-optical devices, substrates having wiring formed therein are electrically connected to each other. The electro-optical device includes a display device such as a liquid crystal device or an electroluminescence display device. In the connection of substrates, it is important to align both of them with high accuracy as the number of terminals of wiring and the narrow pitch progress in recent years.

【0003】従来、基板の位置合わせは、複数の端子の
配列方向の端部に形成されたアライメントマークを基準
として行っていた。詳しくは、両方の基板のアライメン
トマークが重なるように位置合わせし、これにより端子
全体が適切に位置合わせされているものと推定して、両
者の接続を図っていた。
Conventionally, the alignment of the substrate has been performed with reference to the alignment mark formed at the end portion in the arrangement direction of the plurality of terminals. Specifically, the alignment marks of both substrates are aligned so that they overlap, and it is presumed that the entire terminals are properly aligned by this, so that the two are connected.

【0004】しかしながら、実際、基板のアライメント
マークは、基板の吸湿による寸法変化やうねりなどによ
って位置ずれをおこすため、正確に位置合わせできない
場合がある。特に、複数の端子の中央部では、実際に配
線同士が正確に重なっているかどうかは確認されておら
ず、位置合わせ精度が劣る場合があった。
However, in actuality, the alignment mark on the substrate may be misaligned due to dimensional changes due to moisture absorption of the substrate, undulation, etc., so that accurate alignment may not be possible in some cases. In particular, in the central portion of the plurality of terminals, it has not been confirmed whether or not the wirings actually overlap with each other, and the alignment accuracy may be poor.

【0005】本発明は、上述した課題を解決するための
ものであり、その目的は、基板の端子を正確な位置で接
続することができる配線基板の接続方法、電気光学装
置、電気光学装置の製造方法及び製造装置並びに電子機
器を提供することにある。
The present invention is intended to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a wiring board connecting method, an electro-optical device, and an electro-optical device, which are capable of connecting terminals of a board at precise positions. A manufacturing method, a manufacturing apparatus, and an electronic device are provided.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】(1)本発明に係る配線
基板の製造方法は、(a)複数の端子を有する配線パタ
ーンと、マークと、を有する第1及び第2の基板を前記
複数の端子同士が重なるように配置し、(b)前記第1
及び第2の基板の前記マークを認識して、前記第1及び
第2の基板を、重ねられた前記複数の端子の少なくとも
延長方向において位置合わせし、(c)前記第1及び第
2の基板の重ねられた前記複数の端子の中央部に位置す
る端子を認識して、前記第1及び第2の基板を、重ねら
れた前記複数の端子の配列方向において位置合わせす
る。
(1) In a method of manufacturing a wiring board according to the present invention, (a) a plurality of first and second boards having a wiring pattern having a plurality of terminals and a mark are provided. Are arranged so that the terminals of the
Recognizing the marks on the first and second substrates, aligning the first and second substrates in at least the extension direction of the plurality of stacked terminals, and (c) the first and second substrates. The first and second substrates are aligned in the arrangement direction of the plurality of terminals by recognizing the terminal located in the central portion of the plurality of terminals stacked.

【0007】本発明によれば、マークを認識して位置合
わせし、第1及び第2の基板の重ねられた複数の端子の
中央部に位置する端子を認識して位置合わせする。その
ため、第1及び第2の基板のうねりや吸湿などによる寸
法変化によって、マーク自体が位置ずれをおこしても、
正確な位置で各基板を位置合わせすることができる。ま
た、重ねられた複数の端子の中央部によって位置合わせ
するので、うねりや吸湿などによる寸法変化を左右に均
等に配分することができる。そのため、端子同士の位置
ずれの範囲を最小に抑えることができる。
According to the present invention, the mark is recognized and aligned, and the terminal located in the central portion of the plurality of terminals overlapped on the first and second substrates is recognized and aligned. Therefore, even if the marks themselves are displaced due to dimensional changes due to undulations and moisture absorption of the first and second substrates,
Each substrate can be aligned in the correct position. In addition, since the terminals are aligned by the central portions of the stacked terminals, it is possible to evenly distribute the dimensional changes due to swell and moisture absorption to the left and right. Therefore, the range of positional displacement between terminals can be minimized.

【0008】(2)この配線基板の接続方法において、
前記(c)工程で、前記第1及び第2の基板の前記中央
部に位置する端子同士を、幅方向の中心が重なるように
位置合わせしてもよい。
(2) In this wiring board connection method,
In the step (c), the terminals located at the central portions of the first and second substrates may be aligned so that the centers in the width direction overlap.

【0009】これによって、第1及び第2の基板の端子
をさらに正確に位置合わせすることができる。
This makes it possible to align the terminals of the first and second substrates more accurately.

【0010】(3)この配線基板の接続方法において、
前記(c)工程で、前記第1の基板の前記中央部に位置
する端子を、前記第2の基板の前記中央部に位置する端
子から、はみ出ないように位置合わせしてもよい。
(3) In this wiring board connection method,
In the step (c), the terminals located in the central part of the first substrate may be aligned so as not to protrude from the terminals located in the central part of the second substrate.

【0011】(4)この配線基板の接続方法において、
前記(c)工程で、前記第1及び第2の基板の前記中央
部に位置する端子は、左右の端子とは異なる形状を有し
てもよい。
(4) In this wiring board connecting method,
In the step (c), the terminals located at the central portions of the first and second substrates may have different shapes from the left and right terminals.

【0012】これによれば、中央部に位置する端子が認
識しやすくなるので、簡単に位置合わせすることができ
る。
According to this, the terminal located in the central portion can be easily recognized, so that the terminals can be easily aligned.

【0013】(5)この配線基板の接続方法において、
前記(c)工程で、前記第1及び第2の基板の前記中央
部に位置する端子は、左右の端子よりも短く形成されて
もよい。
(5) In this wiring board connection method,
In the step (c), the terminals located at the central portions of the first and second substrates may be formed shorter than the left and right terminals.

【0014】(6)この配線基板の接続方法において、
前記(c)工程で、前記第1及び第2の基板の前記中央
部に位置する端子は、左右の端子よりも細く形成されて
もよい。
(6) In this wiring board connection method,
In the step (c), the terminals located at the central portions of the first and second substrates may be formed thinner than the left and right terminals.

【0015】(7)この配線基板の接続方法において、
前記第1及び第2の基板の少なくともいずれか一方は、
フレキシブル基板であってもよい。
(7) In this wiring board connection method,
At least one of the first and second substrates is
It may be a flexible substrate.

【0016】これによれば、うねり、膨張又は吸湿など
による寸法変化が生じやすいフレキシブル基板を使用し
ても、第1及び第2の基板の端子を正確に接続すること
ができる。
According to this, the terminals of the first and second substrates can be accurately connected even when using a flexible substrate which is likely to change in dimension due to swelling, expansion or moisture absorption.

【0017】(8)この配線基板の接続方法において、
前記フレキシブル基板は、ポリイミドからなるものであ
ってもよい。
(8) In this wiring board connecting method,
The flexible substrate may be made of polyimide.

【0018】(9)この配線基板の接続方法において、
前記第1の基板は、フレキシブル基板であり、前記第2
の基板は、電気光学物質が封止された回路基板であって
もよい。
(9) In this wiring board connection method,
The first substrate is a flexible substrate, and the second substrate
The board may be a circuit board in which an electro-optic material is sealed.

【0019】(10)本発明に係る電気光学装置は、上
記方法によって製造されてなる。
(10) The electro-optical device according to the present invention is manufactured by the above method.

【0020】(11)本発明に係る電子機器は、上記電
気光学装置を有する。
(11) An electronic apparatus according to the present invention has the above electro-optical device.

【0021】(12)本発明に係る電気光学装置の製造
装置は、複数の端子を有する配線パターンと、マーク
と、を有する第1の基板を支持する第1の支持体と、複
数の端子を有する配線パターンと、マークと、を有する
第2の基板を支持する第2の支持体と、前記第1の基板
の前記マークと、前記第2の基板の前記マークと、の一
方に対する他方の位置を認識する第1のカメラと、前記
第1の基板の前記複数の端子の中央部に位置する端子
と、前記第2の基板の前記複数の端子の中央部に位置す
る端子と、の一方に対する他方の位置を認識する第2の
カメラと、を含み、前記第1及び第2の支持体は、前記
第1のカメラの認識結果に基づき、前記第1及び第2の
基板の重ねられた前記複数の端子の少なくとも延長方向
において、前記第1及び第2の基板の相対的位置を移動
させ、前記第2のカメラの認識結果に基づき、前記第1
及び第2の基板の重ねられた前記複数の端子の配列方向
において、前記第1及び第2の基板の相対的位置を移動
させる。
(12) An electro-optical device manufacturing apparatus according to the present invention includes a first support body for supporting a first substrate having a wiring pattern having a plurality of terminals and a mark, and a plurality of terminals. A second support body that supports a second substrate having a wiring pattern and a mark, a position of the mark of the first substrate, and a position of the mark of the second substrate with respect to one of the other. For one of the first camera, the terminal located at the center of the plurality of terminals of the first board, and the terminal located at the center of the plurality of terminals of the second board. A second camera for recognizing the other position, wherein the first and second supports have the first and second substrates superposed on each other based on the recognition result of the first camera. At least in the extending direction of the plurality of terminals, the first and Moving the relative position of the second substrate, on the basis of the recognition result of the second camera, the first
And the relative positions of the first and second substrates are moved in the arrangement direction of the plurality of terminals on which the first and second substrates are stacked.

【0022】本発明によれば、マークを認識して位置合
わせし、第1及び第2の基板の重ねられた複数の端子の
中央部に位置する端子を認識して位置合わせすることが
できる。そのため、第1及び第2の基板のうねりや吸湿
などによる寸法変化によって、マーク自体が位置ずれを
おこしても、正確な位置で各基板を位置合わせすること
ができる。また、重ねられた複数の端子の中央部によっ
て位置合わせするので、うねりや吸湿などによる寸法変
化を左右に均等に配分することができる。そのため、端
子同士の位置ずれの範囲を最小に抑えることができる。
According to the present invention, it is possible to recognize and align a mark, and to recognize and align a terminal located at a central portion of a plurality of terminals on which the first and second substrates are overlapped. Therefore, even if the marks themselves are displaced due to dimensional changes due to undulations and moisture absorption of the first and second substrates, the respective substrates can be aligned at accurate positions. In addition, since the terminals are aligned by the central portions of the stacked terminals, it is possible to evenly distribute the dimensional changes due to swell and moisture absorption to the left and right. Therefore, the range of positional displacement between terminals can be minimized.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。ただし、本発明は、以下の
実施の形態に限定されるものではない。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following embodiments.

【0024】図1〜図10(B)は、本実施の形態に係
る配線基板の接続方法を示す図である。詳しくは、本実
施の形態に係る配線基板の接続方法を適用した電気光学
装置の製造方法を示す図である。ここで、電気光学装置
とは、光を制御する装置であって、自発光型又は非自発
光型のいずれも含む。電気光学装置は、例えば、液晶装
置、プラズマディスプレイ装置、エレクトロルミネセン
スディスプレイ装置などであって、電気光学物質(液晶
・放電ガス・発光材料など)を有する。なお、本実施の
形態に係る配線基板の接続方法は、電気光学装置以外の
他の電子装置(記憶装置など)の製造に適用してもよ
い。
1 to 10B are views showing a method of connecting wiring boards according to the present embodiment. More specifically, it is a diagram showing a method of manufacturing an electro-optical device to which the method of connecting wiring boards according to the present embodiment is applied. Here, the electro-optical device is a device that controls light and includes both a self-luminous type and a non-self-luminous type. The electro-optical device is, for example, a liquid crystal device, a plasma display device, an electroluminescent display device, or the like, and includes an electro-optical material (liquid crystal, discharge gas, light emitting material, etc.). The wiring board connection method according to the present embodiment may be applied to the manufacture of electronic devices (memory devices and the like) other than the electro-optical device.

【0025】本実施の形態では、第1及び第2の基板1
0、20を電気的に接続する。図1は、第1及び第2の
基板10、20を説明する図である。
In this embodiment, the first and second substrates 1 are
0 and 20 are electrically connected. FIG. 1 is a diagram illustrating the first and second substrates 10 and 20.

【0026】第1の基板10は、第1の配線パターン1
2を有する。第1の配線パターン12は、第1の基板1
0の片面又は両面に形成される。第1の配線パターン1
2は、銅、ニッケル、金などの金属で形成されてもよ
い。第1の配線パターン12は、複数の第1の端子14
を有する。第1の端子14は、第1の基板10の端部に
形成されてもよい。詳しくは、第1の基板10のいずれ
かの辺に沿って、複数の第1の端子14が配列されても
よい。第1の端子14は、1方向に配列されることが多
い。図1に示す例では、配列方向の中央部の端子14の
ピッチは、配列方向の端部の端子14のピッチよりも小
さくなっている。なお、端子14は、スズや金などの金
属、あるいはスズ−鉛ハンダ、スズ−銀ハンダなどのロ
ウ材でメッキされてもよい。
The first substrate 10 has the first wiring pattern 1
Have two. The first wiring pattern 12 is the first substrate 1
0 is formed on one side or both sides. First wiring pattern 1
2 may be formed of a metal such as copper, nickel or gold. The first wiring pattern 12 includes a plurality of first terminals 14
Have. The first terminal 14 may be formed on the end portion of the first substrate 10. Specifically, the plurality of first terminals 14 may be arranged along any side of the first substrate 10. The first terminals 14 are often arranged in one direction. In the example shown in FIG. 1, the pitch of the terminals 14 at the central portion in the arrangement direction is smaller than the pitch of the terminals 14 at the end portions in the arrangement direction. The terminal 14 may be plated with a metal such as tin or gold, or a brazing material such as tin-lead solder or tin-silver solder.

【0027】第1の基板10は、1つ又は複数(図1で
は2つ)のマーク16、18を有する。マーク16、1
8は、第1及び第2の基板10、20を位置合わせする
ためのアライメントマークである。マーク16、18
は、第1の基板10の一方の面に形成されてもよいし、
両面に形成されてもよい。図1に示すように、少なくと
も2つのマーク16、18を形成することで、第1の基
板10を、縦、横及び回転方向に位置合わせすることが
できる。マーク16、18は、パターンであってもよ
い。その場合、マーク16、18は、配線パターン12
であってもよい。詳しくは、複数の端子14のうち両端
部に位置する2つの端子がマークとなっていてもよい。
あるいは、図1に示すように、配線パターン12とは別
に、マーク16、18が、第1の基板10の端部で複数
の端子14の領域の外側に形成されてもよい。マーク1
6、18は、例えば円形状にパターニングされてもよ
い。あるいは、マーク16、18は、穴やインクであっ
てもよい。
The first substrate 10 has one or a plurality (two in FIG. 1) of marks 16 and 18. Mark 16, 1
Reference numeral 8 is an alignment mark for aligning the first and second substrates 10 and 20. Marks 16 and 18
May be formed on one surface of the first substrate 10,
It may be formed on both sides. By forming at least two marks 16 and 18 as shown in FIG. 1, the first substrate 10 can be aligned in the vertical, horizontal, and rotational directions. The marks 16, 18 may be patterns. In that case, the marks 16 and 18 are the wiring patterns 12.
May be Specifically, two terminals located at both ends of the plurality of terminals 14 may be marks.
Alternatively, as shown in FIG. 1, in addition to the wiring pattern 12, the marks 16 and 18 may be formed outside the region of the plurality of terminals 14 at the end of the first substrate 10. Mark 1
6, 18 may be patterned in a circular shape, for example. Alternatively, the marks 16, 18 may be holes or ink.

【0028】図1に示す例では、第1の基板10は、フ
レキシブル基板である。すなわち、第1の基板10は、
可撓性を有するテープ状(フィルム状)の基板であって
もよい。フレキシブル基板として、例えば、ポリエステ
ル基板やポリイミド基板などが挙げられる。また、第1
の基板10は、COF(Chip On Film)用基板やTAB
(Tape Automated Bonding)用基板と称してもよい。あ
るいは、第1の基板10は、リジッド基板であってもよ
い。
In the example shown in FIG. 1, the first substrate 10 is a flexible substrate. That is, the first substrate 10 is
It may be a flexible tape-shaped (film-shaped) substrate. Examples of the flexible substrate include a polyester substrate and a polyimide substrate. Also, the first
The substrate 10 is a COF (Chip On Film) substrate or TAB.
It may be referred to as a (Tape Automated Bonding) substrate. Alternatively, the first substrate 10 may be a rigid substrate.

【0029】第1の基板10には、1つ又は複数(図1
では複数)の電子部品40〜48が実装されている。電
子部品40〜48によって、例えば電気光学装置を駆動
するための回路が形成されている。電子部品40〜48
は、第1の配線パターン12に電気的に接続される。電
子部品40〜48は、第1の配線パターン12の形成さ
れた面に実装されてもよいし、反対の面に実装されても
よい。電子部品40〜48と第1の基板10との間に
は、図示しないアンダーフィル材(例えば樹脂)が設け
られてもよい。第1の基板10がフレキシブル基板であ
る場合に、アンダーフィル材の硬化収縮によってフレキ
シブル基板が大きくうねることがあるので、本発明を適
用すると効果的である。
The first substrate 10 has one or a plurality (see FIG. 1).
Then, a plurality of electronic components 40 to 48 are mounted. A circuit for driving, for example, an electro-optical device is formed by the electronic components 40 to 48. Electronic parts 40-48
Are electrically connected to the first wiring pattern 12. The electronic components 40 to 48 may be mounted on the surface on which the first wiring pattern 12 is formed, or may be mounted on the opposite surface. An underfill material (not shown) (for example, resin) may be provided between the electronic components 40 to 48 and the first substrate 10. When the first substrate 10 is a flexible substrate, the flexible substrate may undulate due to the curing shrinkage of the underfill material, and thus it is effective to apply the present invention.

【0030】第2の基板20は、第2の配線パターン2
2と、複数の端子24と、マーク26、28と、を有す
る。端子24の幅は、端子14の幅よりも大きくてもよ
い。図1に示すように、マーク26、28は、第1の基
板10のマーク16、18とは異なる形状で形成しても
よい。例えば、マーク26、28は、複数の矩形が組み
合わせられた形状(例えば十字型)をなしてもよい。マ
ーク26、28の形状は、第1の基板10のマーク1
6、18の形状よりも大きくてもよい。
The second substrate 20 has the second wiring pattern 2
2, a plurality of terminals 24, and marks 26 and 28. The width of the terminal 24 may be larger than the width of the terminal 14. As shown in FIG. 1, the marks 26 and 28 may be formed in a shape different from the marks 16 and 18 of the first substrate 10. For example, the marks 26 and 28 may have a shape (for example, a cross shape) in which a plurality of rectangles are combined. The shapes of the marks 26 and 28 are the marks 1 of the first substrate 10.
It may be larger than the shapes of 6 and 18.

【0031】なお、第2の配線パターン22、端子2
4、マーク26、28の他の形態は、上述の第1の配線
パターン12、端子14及びマーク16、18の内容を
適用することができる。
The second wiring pattern 22 and the terminals 2
4, the contents of the first wiring pattern 12, the terminal 14 and the marks 16 and 18 described above can be applied to other forms of the marks 26 and 28.

【0032】第2の基板20は、所望の回路が形成され
た回路基板であってもよい。第2の基板20は、例え
ば、有機ELパネルの表示部であってもよい(図2参
照)。第2の基板20には、図示しない画素部が形成さ
れ、画素部と重なる領域に複数の第1の電極30(例え
ば陽極)が形成されている。第1の電極30と対向する
側には第2の電極32(例えば陰極)が形成され、両者
間に有機層34(発光材料を含む)が設けられる。第2
の基板20には、絶縁材料からなるカバー36(例えば
ガラスカバー)が設けられてもよい。カバー36によっ
て、第2の配線パターン22や画素部を封止してもよ
い。
The second substrate 20 may be a circuit substrate on which a desired circuit is formed. The second substrate 20 may be, for example, a display unit of an organic EL panel (see FIG. 2). A pixel portion (not shown) is formed on the second substrate 20, and a plurality of first electrodes 30 (for example, anodes) are formed in a region overlapping with the pixel portion. A second electrode 32 (for example, a cathode) is formed on the side facing the first electrode 30, and an organic layer 34 (including a light emitting material) is provided between the two. Second
The substrate 20 may be provided with a cover 36 (for example, a glass cover) made of an insulating material. The cover 36 may seal the second wiring pattern 22 and the pixel portion.

【0033】配線パターン22から第1及び第2の電極
30、32に電流を供給し、有機層34で電子とホール
を再結合させて発光することができる。光は、第1の電
極30側から透過させてもよい。その場合、第1の電極
30は透明電極(例えばITO(Indium Tin Oxide)電
極)であり、第2の基板20は透明基板(例えばガラス
基板)であることが好ましい。画素部の表示は、多色、
単色又は白色のいずれであってもよい。
A current can be supplied from the wiring pattern 22 to the first and second electrodes 30 and 32, and electrons and holes can be recombined in the organic layer 34 to emit light. The light may be transmitted from the first electrode 30 side. In that case, it is preferable that the first electrode 30 is a transparent electrode (for example, an ITO (Indium Tin Oxide) electrode) and the second substrate 20 is a transparent substrate (for example, a glass substrate). Pixel display is multicolored,
It may be monochrome or white.

【0034】上述の第1及び第2の基板10、20を使
用して、電気光学装置を製造する。詳しくは、図2〜図
9に示すように、第1の基板10を第2の基板20に重
ねて位置合わせし、図10(A)及び図10(B)に示
すように、複数の端子14、24同士を接着剤50で固
定する。
An electro-optical device is manufactured using the first and second substrates 10 and 20 described above. Specifically, as shown in FIGS. 2 to 9, the first substrate 10 is overlaid and aligned with the second substrate 20, and as shown in FIGS. 10A and 10B, a plurality of terminals are provided. 14 and 24 are fixed to each other with an adhesive 50.

【0035】図2は、第1及び第2の基板10、20の
端子14、24の延長方向(配線パターンの各配線から
延長される方向)の断面を示す図である。
FIG. 2 is a view showing a cross section in the extension direction of the terminals 14 and 24 of the first and second substrates 10 and 20 (direction extending from each wiring of the wiring pattern).

【0036】第1及び第2の基板10、20の少なくと
もいずれか一方に接着剤50を設ける。図2に示す例で
は、接着剤50を、第2の基板20の複数の端子24を
含む領域に設ける。接着剤50は、透明又は光透過性を
有してもよい。こうすれば、接着剤50で複数の端子2
4を覆っても、端子24を接着剤50の側から認識する
ことができる。接着剤50は、フィルム状であってもよ
いし、ペースト状であってもよい。あるいは、接着剤5
0は、後述するマーク及び端子による位置合わせ終了後
に設けてもよい。
An adhesive 50 is provided on at least one of the first and second substrates 10 and 20. In the example shown in FIG. 2, the adhesive 50 is provided on the region of the second substrate 20 including the plurality of terminals 24. The adhesive 50 may be transparent or light transmissive. In this way, the adhesive 50 is used to form the plurality of terminals 2.
Even if it covers 4, the terminals 24 can be recognized from the adhesive 50 side. The adhesive 50 may be in the form of a film or a paste. Alternatively, the adhesive 5
0 may be provided after completion of alignment by marks and terminals described later.

【0037】図2に示すように、第1及び第2の基板1
0、20を、第1の基板10の複数の端子14と、第2
の基板20の複数の端子24と、が重なるように配置す
る。詳しくは、第1の基板10の1つのマーク(例えば
マーク16)と、第2の基板20の1つのマーク(例え
ばマーク26)と、が同一の視野に入るように複数の端
子14、24を大まかな位置で重ねる。認識手段がカメ
ラであれば、例えば、マーク16、26がカメラ60の
撮像範囲内に入るように第1及び第2の基板10、20
を配置する。
As shown in FIG. 2, the first and second substrates 1
0, 20 to the plurality of terminals 14 of the first substrate 10 and the second
The plurality of terminals 24 of the substrate 20 are arranged so as to overlap each other. Specifically, the plurality of terminals 14 and 24 are arranged so that one mark (for example, the mark 16) on the first substrate 10 and one mark (for example, the mark 26) on the second substrate 20 are in the same visual field. Stack at a rough position. If the recognition means is a camera, for example, the first and second substrates 10 and 20 are so arranged that the marks 16 and 26 are within the imaging range of the camera 60.
To place.

【0038】次に、第1の基板10のマーク16、18
と、第2の基板20のマーク26、28と、を認識す
る。これによって、第1及び第2の基板10、20を位
置合わせする。詳しくは、マークの認識によって、重ね
られた複数の端子14、24の少なくとも延長方向(図
3及び図4では縦方向)において位置合わせする。例え
ば、位置合わせのときにマークの中心を合わせる場合に
は、マーク16、18、26、28の各中心を、複数の
端子14、24の延長方向と直交する同一直線(図示し
ない)上に位置させる。また、マークの認識によって、
第1及び第2の基板10、20を、重ねられた複数の端
子14、24の配列方向(図3及び図4では横方向)に
おいて位置合わせしてもよく、あるいは配列方向は位置
合わせしなくてもよい。
Next, the marks 16 and 18 on the first substrate 10 are formed.
And the marks 26 and 28 on the second substrate 20 are recognized. This aligns the first and second substrates 10 and 20. Specifically, the marks are used to align the plurality of terminals 14 and 24 that are overlapped with each other in at least the extension direction (the vertical direction in FIGS. 3 and 4). For example, when aligning the centers of the marks at the time of alignment, the centers of the marks 16, 18, 26, and 28 are positioned on the same straight line (not shown) orthogonal to the extending direction of the terminals 14 and 24. Let Also, by recognizing the mark,
The first and second substrates 10 and 20 may be aligned in the arrangement direction (horizontal direction in FIGS. 3 and 4) of the plurality of stacked terminals 14 and 24, or the arrangement directions are not aligned. May be.

【0039】例えば、図3に示すように、マーク16、
26の各中心を重ね、かつ、マーク18、28の各中心
を重ねるように、第1及び第2の基板10、20を位置
合わせしてもよい。こうすれば、マークの認識による精
度の範囲内で、第1及び第2の基板10、20を、複数
の端子14、24の延長及び配列方向で位置合わせする
ことができる。
For example, as shown in FIG.
The first and second substrates 10 and 20 may be aligned such that the centers of 26 and the marks 18 and 28 overlap. In this way, the first and second substrates 10 and 20 can be aligned in the extension and arrangement direction of the plurality of terminals 14 and 24 within the range of accuracy of recognition of the marks.

【0040】あるいは、図4に示すように、マーク1
6、26の各中心を重ねると、マーク18、28の各中
心が端子14、24の配列方向に大きくずれる場合に
は、第1及び第2の基板10、20を、重ねられた複数
の端子14、24の延長方向において位置合わせする。
第1の基板10がフレキシブル基板の場合には、うねり
又は吸湿などで寸法変化を起こすので、マーク16、1
8によって、配列方向における正確な位置合わせができ
ない場合が多い。なお、図4に示すように、第1及び第
2の基板10、20を、配列方向において、マーク1
6、26の各中心のずれる距離と、マーク18、28の
各中心のずれる距離と、がほぼ同じ距離になるように位
置合わせしてもよい。
Alternatively, as shown in FIG. 4, mark 1
When the centers of the marks 18 and 28 deviate greatly in the arrangement direction of the terminals 14 and 24 when the centers of 6 and 26 are overlapped, the first and second substrates 10 and 20 are combined into a plurality of stacked terminals. Align in the extension direction of 14, 24.
When the first substrate 10 is a flexible substrate, dimensional changes occur due to swelling or moisture absorption.
In many cases, 8 does not allow accurate alignment in the arrangement direction. In addition, as shown in FIG. 4, the first and second substrates 10 and 20 are aligned in the mark 1 in the arrangement direction.
It is also possible to perform alignment so that the offset distances of the centers of 6 and 26 and the offset distances of the centers of the marks 18 and 28 are substantially the same.

【0041】図2に示すように、マークの認識手段は、
例えばカメラであってもよい。詳しくは、カメラ60で
マーク16、26を撮像し、カメラ62(図5参照)で
マーク18、28を撮像する。
As shown in FIG. 2, the mark recognition means is
For example, it may be a camera. Specifically, the camera 60 images the marks 16 and 26, and the camera 62 (see FIG. 5) images the marks 18 and 28.

【0042】カメラ60、62は、第1及び第2の基板
10、20の外側に配置してもよい。その場合、カメラ
60、62は、図2に示すように第2の基板20側に配
置してもよく、あるいは、第1の基板10側に配置して
もよい。カメラ60、62を配置する側の基板は、光透
過性を有することが好ましい。その場合、カメラ60、
62を配置する側のマークも光透過性を有することが好
ましい。こうすれば、認識する各マーク(例えばマーク
16、26)の大きさに限定されず、例えばマークの各
中心を合わせることができる。あるいは、図2に示す例
とは異なり、カメラ60、62を配置する側のマーク
(例えばマーク26)は、それに対向するマーク(例え
ばマーク16)よりも小さくてもよい。こうすれば、マ
ークのはみ出した部分を認識して、第1及び第2の基板
10、20を位置合わせすることができる。
The cameras 60, 62 may be arranged outside the first and second substrates 10, 20. In that case, the cameras 60 and 62 may be arranged on the second substrate 20 side as shown in FIG. 2, or may be arranged on the first substrate 10 side. It is preferable that the substrate on the side where the cameras 60 and 62 are arranged is light transmissive. In that case, the camera 60,
It is preferable that the mark on the side where 62 is arranged also has a light transmitting property. In this way, the size of each mark to be recognized (for example, the marks 16 and 26) is not limited, and for example, the centers of the marks can be aligned. Alternatively, unlike the example shown in FIG. 2, the mark (for example, the mark 26) on the side where the cameras 60 and 62 are arranged may be smaller than the mark (for example, the mark 16) facing it. This makes it possible to recognize the protruding portion of the mark and align the first and second substrates 10 and 20.

【0043】あるいは、カメラ60、62は、第1及び
第2の基板10、20の内側に配置してもよい。その場
合、各マーク(例えばマーク16、26)の間にプリズ
ムを配置すれば、1つのカメラで、異なる方向(図2で
は上下方向)に配置される2つのマークを同時に認識す
ることができる。
Alternatively, the cameras 60, 62 may be arranged inside the first and second substrates 10, 20. In that case, if a prism is arranged between each mark (for example, the marks 16 and 26), one camera can simultaneously recognize two marks arranged in different directions (vertical direction in FIG. 2).

【0044】図5は、第1及び第2の基板10、20の
端子14、24の配列方向の断面を示す図である。図5
に示すように、マークによる位置合わせ終了後に、第1
及び第2の基板10、20の重ねられた複数の端子1
4、24の中央部70に位置する端子14、24を認識
する。詳しくは、第1の基板10の中央部70の端子1
4と、該端子14に接続される第2の基板20の中央部
70の端子24と、を認識する。その場合、いずれか一
方の端子の先端部(又は切れ目部)を含む範囲で、他方
の端子との相対的位置を認識してもよい。こうすれば、
一方の端子が光透過性を有していなくても、他方の端子
を一方の端子からはみ出した部分で認識することができ
る。また、それぞれ1つずつの端子14、24を認識し
てもよく、それぞれ複数の端子14、24を認識しても
よい。なお、認識する端子14、24は、最も中央の端
子を含むことが好ましい。
FIG. 5 is a view showing a cross section in the arrangement direction of the terminals 14 and 24 of the first and second substrates 10 and 20. Figure 5
As shown in, the first
And a plurality of terminals 1 on which the second substrates 10 and 20 are overlapped
The terminals 14 and 24 located in the central portion 70 of 4 and 24 are recognized. Specifically, the terminal 1 of the central portion 70 of the first substrate 10
4 and the terminal 24 of the central portion 70 of the second substrate 20 connected to the terminal 14 are recognized. In that case, the relative position with respect to the other terminal may be recognized within a range including the tip portion (or the cut portion) of one of the terminals. This way
Even if one terminal does not have a light-transmitting property, the other terminal can be recognized by the portion protruding from the one terminal. In addition, one terminal 14 and 24 may be recognized, or a plurality of terminals 14 and 24 may be recognized. The terminals 14 and 24 to be recognized preferably include the most central terminal.

【0045】これによって、第1及び第2の基板10、
20をさらに位置合わせする。詳しくは、図6〜図9に
示すように、第1及び第2の基板10、20を、重ねら
れた複数の端子14、24の配列方向において位置合わ
せする。なお、図6〜図9は、端子14、24の拡大図
であり、端子以外は省略してある。
As a result, the first and second substrates 10,
Align 20 further. Specifically, as shown in FIGS. 6 to 9, the first and second substrates 10 and 20 are aligned in the arrangement direction of the plurality of terminals 14 and 24 that are stacked. 6 to 9 are enlarged views of the terminals 14 and 24, except for the terminals.

【0046】重ねられた複数の端子14、24の中央部
70の範囲は、例えば、中央部70に含まれる一対の端
子数nと、重ねられた複数の端子14、24の全部の一
対の端子数mと、において、 n≦m/5 の関係を有する範囲であってもよい。
The range of the central portion 70 of the plurality of stacked terminals 14 and 24 is, for example, the number n of a pair of terminals included in the central portion 70 and the total pair of terminals of the plurality of stacked terminals 14 and 24. In the number m, the range may have a relationship of n ≦ m / 5.

【0047】図6に示すように、端子14、24同士
を、幅方向の中心が重なるように位置合わせしてもよ
い。こうすれば、第1及び第2の基板10、20を、可
能な限り正確に位置合わせすることができる。また、各
端子14、24の接触面積を最大にすることができるの
で、各端子14、24の接触抵抗を最小にすることがで
きる。
As shown in FIG. 6, the terminals 14 and 24 may be aligned so that the centers in the width direction overlap. In this way, the first and second substrates 10 and 20 can be aligned as accurately as possible. Further, since the contact area of each terminal 14, 24 can be maximized, the contact resistance of each terminal 14, 24 can be minimized.

【0048】あるいは、図7に示すように、第1の基板
10の端子14を、第2の基板20の端子24からはみ
出さないように位置合わせしてもよい。すなわち、端子
14、24の各幅が異なる場合には、幅の小さい端子
(図7では端子14)を、幅の大きい端子(図7では端
子24)からはみ出さないようにする。こうすれば、簡
単な作業で、かつ、各端子14、24の接触面積を最大
にすることができる。したがって、各端子14、24の
接触抵抗を最小にすることができる。
Alternatively, as shown in FIG. 7, the terminals 14 of the first substrate 10 may be aligned so as not to protrude from the terminals 24 of the second substrate 20. That is, when the terminals 14 and 24 have different widths, the terminal having a small width (terminal 14 in FIG. 7) is prevented from protruding from the terminal having a large width (terminal 24 in FIG. 7). This makes it possible to maximize the contact area between the terminals 14 and 24 with a simple operation. Therefore, the contact resistance of each terminal 14, 24 can be minimized.

【0049】なお、マークによる位置合わせにおいて、
端子14、24の配列方向も位置合わせしておけば、図
6及び図7に示すように、電気的に接続されることにな
る一対の端子14、24は、一部において重なることが
多い。したがって、重なり合う端子14、24同士を、
配列方向において位置合わせすればよいので、中央部7
0の端子14、24による位置合わせが簡単になる。
When aligning with marks,
If the arrangement directions of the terminals 14 and 24 are also aligned, the pair of terminals 14 and 24 to be electrically connected often partially overlap each other, as shown in FIGS. 6 and 7. Therefore, the overlapping terminals 14 and 24 are
Since it is sufficient to align in the arrangement direction, the central portion 7
Alignment by the 0 terminals 14 and 24 becomes easy.

【0050】図8に示すように、中央部70の認識され
る端子114、124は、左右の端子とは異なる形状を
有してもよい。詳しくは、第1の基板10の中央部70
の認識される端子114は、左右の端子14とは異なる
形状に形成され、第2の基板20の中央部70の認識さ
れる端子124は、左右の端子24とは異なる形状に形
成されてもよい。あるいは、いずれか一方の基板におけ
る中央部70の認識される端子が左右の端子とは異なる
形状であってもよい。
As shown in FIG. 8, the recognized terminals 114 and 124 of the central portion 70 may have a different shape from the left and right terminals. Specifically, the central portion 70 of the first substrate 10
The recognized terminal 114 is formed in a shape different from that of the left and right terminals 14, and the recognized terminal 124 of the central portion 70 of the second substrate 20 is formed in a shape different from that of the left and right terminals 24. Good. Alternatively, the recognized terminals of the central portion 70 on either one of the substrates may have a shape different from that of the left and right terminals.

【0051】こうすることで、中央部70に位置する端
子114、124が認識しやすくなるので、簡単に位置
合わせすることができる。詳しくは、電気的に接続され
ることになる一対の端子114、124が重なっていな
くても、他の端子と間違えることなく、確実に両者を位
置合わせすることができる。すなわち、マークによる位
置合わせにおいて、端子14、24の配列方向の位置合
わせをしない場合に効果的である。
By doing so, the terminals 114 and 124 located in the central portion 70 can be easily recognized, so that the terminals can be easily aligned. Specifically, even if the pair of terminals 114 and 124 to be electrically connected do not overlap with each other, it is possible to surely align them with each other without making a mistake. That is, this is effective when the terminals 14 and 24 are not aligned in the arrangement direction in the alignment by the marks.

【0052】図8に示す例では、中央部70の認識され
る端子114、124は、左右の端子14、24よりも
短く形成されている。詳しくは、第1の基板10の端子
114は、左右の端子14よりも短く形成され、第2の
基板20の端子124は、左右の端子24よりも短く形
成されている。端子114、124は、エッチングなど
で短くしてもよい。あるいは、逆に、端子114、12
4が左右の端子14、24よりも長く形成されてもよ
い。
In the example shown in FIG. 8, the recognized terminals 114 and 124 of the central portion 70 are formed shorter than the left and right terminals 14 and 24. Specifically, the terminals 114 of the first substrate 10 are formed shorter than the left and right terminals 14, and the terminals 124 of the second substrate 20 are formed shorter than the left and right terminals 24. The terminals 114 and 124 may be shortened by etching or the like. Alternatively, conversely, the terminals 114, 12
4 may be formed longer than the left and right terminals 14 and 24.

【0053】図9に示す例では、中央部70の認識され
る端子214、224は、左右の端子14、24よりも
細く形成されている。詳しくは、第1の基板10の端子
214は、左右の端子14よりも細く形成され、第2の
基板20の端子224は、左右の端子24よりも細く形
成されている。端子214、224は、幅方向に部分的
に細くなっていてもよい。詳しくは、端子214、22
4は、幅方向において切り欠きが形成されてもよい。あ
るいは、端子214、224は、幅方向に全部が細くな
っていてもよい。端子214、224は、エッチングな
どで細くすればよい。
In the example shown in FIG. 9, the recognized terminals 214 and 224 of the central portion 70 are formed thinner than the left and right terminals 14 and 24. Specifically, the terminals 214 of the first substrate 10 are formed thinner than the left and right terminals 14, and the terminals 224 of the second substrate 20 are formed thinner than the left and right terminals 24. The terminals 214 and 224 may be partially narrowed in the width direction. Specifically, the terminals 214 and 22
The notch 4 may be formed in the width direction. Alternatively, the terminals 214 and 224 may be entirely thin in the width direction. The terminals 214 and 224 may be thinned by etching or the like.

【0054】図5に示すように、中央部70に位置する
端子14、24の認識手段は、マークの認識手段と同じ
であってもよく、例えばカメラであってもよい。例え
ば、マーク18、28を認識したいずれか一方のカメラ
64を平行移動させて、中央部70に位置する端子1
4、24を認識してもよい。カメラによる認識の詳細
は、上述の内容を適用することができる。
As shown in FIG. 5, the recognizing means of the terminals 14 and 24 located in the central portion 70 may be the same as the recognizing means of the mark, and may be, for example, a camera. For example, one of the cameras 64 that recognizes the marks 18 and 28 is moved in parallel, and the terminal 1 located at the central portion 70 is moved.
4, 24 may be recognized. The details described above can be applied to the details of the recognition by the camera.

【0055】上述のマーク及び端子による位置合わせ工
程は、カメラなどの認識結果に基づいて手動で行っても
よく、その認識結果に基づいて自動制御で行ってもよ
い。いずれにしても、第1の基板10を支持する第1の
支持体(図示しない)と、第2の基板20を支持する第
2の支持体(図示しない)と、の相対的位置を操作し
て、第1及び第2の基板10、20の位置合わせを行
う。
The above-mentioned positioning process using the marks and terminals may be manually performed based on the recognition result of the camera or the like, or may be automatically controlled based on the recognition result. In any case, the relative positions of the first support (not shown) that supports the first substrate 10 and the second support (not shown) that supports the second substrate 20 are manipulated. Then, the first and second substrates 10 and 20 are aligned.

【0056】第1及び第2の基板10、20の位置合わ
せが終了したら、図10(A)及び図10(B)に示す
ように、第1の基板10の複数の端子14と、第2の基
板20の複数の端子24と、を接着剤50を介して重ね
合わせる。接着剤50は、第1の部分52と、第1の部
分52の両側に位置する第2の部分54と、を有する。
そして、接着剤50を第1の部分52で、少なくとも硬
化が開始するように反応させる。第1の部分52は、図
10(A)に示すように接着剤50の1つの部分であっ
てもよく、あるいは複数の部分であってもよい。使用さ
れる接着剤50の硬化メカニズムに沿った方法で、接着
剤50の第1の部分52にエネルギーを加えればよい。
なお、第1の基板10の端子14と、第2の基板20の
端子24は、硬化反応の開始によって第1の部分52で
電気的に接続してもよいし、電気的に接続しなくてもよ
い。
After the alignment of the first and second substrates 10 and 20 is completed, as shown in FIGS. 10A and 10B, the plurality of terminals 14 of the first substrate 10 and the second terminals 14 are formed. The plurality of terminals 24 of the substrate 20 are overlapped with the adhesive 50. The adhesive 50 has a first portion 52 and second portions 54 located on both sides of the first portion 52.
Then, the adhesive 50 is made to react in the first portion 52 so that at least curing is started. The first portion 52 may be one portion of the adhesive 50 as shown in FIG. 10 (A), or may be a plurality of portions. Energy may be applied to the first portion 52 of the adhesive 50 in a manner consistent with the curing mechanism of the adhesive 50 used.
Note that the terminals 14 of the first substrate 10 and the terminals 24 of the second substrate 20 may be electrically connected at the first portion 52 by the initiation of the curing reaction, or they may not be electrically connected. Good.

【0057】接着剤50は、熱硬化型の接着剤であって
もよい。その場合、接着剤50に熱エネルギーを加える
ことによって、接着力を発現させればよい。熱硬化型の
接着剤は、加熱すると粘度が低下して溶融し、さらに加
熱すると硬化反応が開始する。
The adhesive 50 may be a thermosetting adhesive. In that case, the adhesive force may be expressed by applying heat energy to the adhesive 50. When the thermosetting adhesive is heated, its viscosity is lowered and melted, and when it is further heated, the curing reaction starts.

【0058】図10(A)に示す例では、接着剤50
は、異方性導電材料である。異方性導電材料は、バイン
ダに導電粒子(図示しない)が分散されたもので、分散
剤が添加される場合もある。バインダは、熱硬化性の樹
脂であることが多い。異方性導電材料は、第1の基板1
0の端子14と、第2の基板20の端子24と、の間で
押し潰されて、導電粒子によって両者間での電気的導通
を図るようになっている。あるいは、接着剤50は、絶
縁性の接着剤であってもよく、その場合、接着剤の収縮
力によって、第1の基板10の端子14と、第2の基板
20の端子24と、を圧接して、両者間での電気的導通
を図ってもよい。
In the example shown in FIG. 10A, the adhesive 50
Is an anisotropic conductive material. The anisotropic conductive material is one in which conductive particles (not shown) are dispersed in a binder, and a dispersant may be added in some cases. The binder is often a thermosetting resin. The anisotropic conductive material is the first substrate 1
It is squeezed between the terminal 14 of 0 and the terminal 24 of the second substrate 20, and electrically conductive between them is achieved by the conductive particles. Alternatively, the adhesive 50 may be an insulating adhesive, in which case the terminals 14 of the first substrate 10 and the terminals 24 of the second substrate 20 are pressed together by the contracting force of the adhesive. Then, electrical conduction may be achieved between the two.

【0059】ここで、第1の部分52とは、重ねられた
複数の端子14、24の中央部72に位置する部分を指
す。また、重ねられた複数の端子14、24の中央部7
2の範囲は、例えば、中央部72に含まれる一対の端子
数nと、重ねられた複数の端子14、24の全部の一対
の端子数mと、において、 n≦m/3 の関係を有する範囲であってもよい。接着剤50の第1
の部分52の幅は、第1及び第2の部分52、54との
合計の幅に対して、約1/3であってもよい。
Here, the first portion 52 refers to a portion located at the central portion 72 of the plurality of stacked terminals 14 and 24. In addition, the central portion 7 of the plurality of terminals 14 and 24 that are overlapped
The range of 2 has a relationship of n ≦ m / 3, for example, in the number n of a pair of terminals included in the central portion 72 and the number m of a pair of all terminals of the plurality of stacked terminals 14 and 24. It may be a range. First of the adhesive 50
The width of the portion 52 may be about 1/3 of the total width of the first portion 52 and the second portion 54.

【0060】図10(A)に示す例では、第1のツール
80によって、接着剤50の第1の部分52を加圧す
る。第1のツール80は、ヒータ部を有する。ヒータ部
で第1のツール80が加熱されるので、第1のツール8
0で加圧される第1の部分52において、接着剤50の
硬化反応を開始させることができる。
In the example shown in FIG. 10A, the first tool 80 presses the first portion 52 of the adhesive 50. The first tool 80 has a heater section. Since the first tool 80 is heated by the heater part, the first tool 8
The curing reaction of the adhesive 50 can be initiated in the first portion 52, which is pressurized at zero.

【0061】例えば、第1のツール80を約200℃に
加熱した状態で、約1MPaの圧力で約5秒間加圧して
もよい。その場合、接着剤50の第1の部分52は、約
160℃に加熱され、硬化反応率が約30%になる。な
お、接着剤50の第1の部分52は、少なくとも約13
0℃以上に加熱することが好ましい。
For example, the first tool 80 may be heated to about 200 ° C. and pressurized at a pressure of about 1 MPa for about 5 seconds. In that case, the first portion 52 of the adhesive 50 is heated to about 160 ° C. and the curing reaction rate is about 30%. It should be noted that the first portion 52 of the adhesive 50 is at least about 13
It is preferable to heat to 0 ° C. or higher.

【0062】第1の部分52の硬化反応率は、0%を超
えればよく、例えば約10〜50%であってもよい。第
1の部分52は、後の工程で行う第2の部分54の硬化
を妨げないように、硬化させすぎないことが好ましい。
また、第1の部分52の硬化反応率は、第2の部分54
よりも高ければよく、例えば、約20%以上高くてもよ
い。
The curing reaction rate of the first portion 52 may exceed 0%, and may be, for example, about 10 to 50%. The first portion 52 is preferably not over-cured so as not to interfere with the curing of the second portion 54 performed in a later step.
Further, the curing reaction rate of the first portion 52 is
Higher than, for example, about 20% or higher.

【0063】こうして、第1及び第2の基板10、20
を、接着剤50の第1の部分52で固定することができ
る。次に、図10(B)に示すように、接着剤50を第
1及び第2の部分52、54で硬化させて、第1及び第
2の基板10、20を電気的に接続する。
Thus, the first and second substrates 10, 20
Can be secured with the first portion 52 of the adhesive 50. Next, as shown in FIG. 10B, the adhesive 50 is cured at the first and second portions 52 and 54 to electrically connect the first and second substrates 10 and 20.

【0064】図10(B)に示す例では、第2のツール
82によって、接着剤50の第1及び第2の部分52、
54を加圧する。第2のツール82は、ヒータ部を有す
る。ヒータ部で第2のツール82が加熱されるので、第
2のツール82で加圧される第1及び第2の部分52、
54において、接着剤50を硬化させることができる。
In the example shown in FIG. 10B, the second tool 82 is used to move the first and second parts 52, 52 of the adhesive 50.
Pressurize 54. The second tool 82 has a heater section. Since the second tool 82 is heated by the heater portion, the first and second portions 52 pressurized by the second tool 82,
At 54, the adhesive 50 can be cured.

【0065】例えば、第2のツール82を約250℃に
加熱した状態で、約3MPaの圧力で約20秒間加圧し
てもよい。その場合、接着剤50の第1及び第2の部分
52、54は、約180℃に加熱され、硬化反応が終了
する。
For example, while the second tool 82 is heated to about 250 ° C., it may be pressurized at a pressure of about 3 MPa for about 20 seconds. In that case, the 1st and 2nd parts 52 and 54 of the adhesive agent 50 are heated to about 180 degreeC, and a hardening reaction is complete | finished.

【0066】本発明によれば、接着剤50の第1の部分
52の硬化反応を開始させて、第1及び第2の基板1
0、20がずれないように固定する。そのため、第1及
び第2の基板10、20を電気的に接続するときに、第
1及び第2の基板10、20が滑って位置ずれが起こる
のを防止することができる。また、接着剤50の第1の
部分52は、重ねられた複数の端子14、24の配列方
向の中央部72に位置するので、第1及び第2の基板1
0、20の膨張などによる寸法変化を左右に均等に配分
することができる。そのため、端子14、24同士の位
置ずれの範囲を最小に抑えることができる。
According to the present invention, the curing reaction of the first portion 52 of the adhesive 50 is initiated to initiate the first and second substrates 1
Fix it so that 0 and 20 do not shift. Therefore, when electrically connecting the first and second substrates 10 and 20, it is possible to prevent the first and second substrates 10 and 20 from slipping and being displaced. Further, since the first portion 52 of the adhesive 50 is located at the central portion 72 in the arrangement direction of the plurality of terminals 14 and 24 that are overlapped, the first and second substrates 1
A dimensional change due to expansion of 0, 20 and the like can be evenly distributed to the left and right. Therefore, the range of positional deviation between the terminals 14 and 24 can be minimized.

【0067】本実施の形態では、1つの第1の基板10
を、1つの第2の基板20に位置合わせして電気的に接
続する例を示したが、本発明はこれに限定されない。例
えば、複数の第1の基板10を、1つの第2の基板20
に位置合わせして電気的に接続してもよい。
In the present embodiment, one first substrate 10 is used.
Although an example of aligning and electrically connecting to one second substrate 20 has been shown, the present invention is not limited to this. For example, a plurality of first substrates 10 and one second substrate 20
May be aligned and electrically connected.

【0068】本発明を適用した電気光学装置の製造装置
は、第1の基板10を支持する第1の支持体(図示しな
い)と、第2の基板20を支持する第2の支持体と(図
示しない)、マーク16、18に対するマーク26、2
8の位置を認識する第1のカメラ60、62と、重ねら
れた複数の端子14、24の中央部70に位置する端子
14、24を認識する第2のカメラ64と、を含む。第
1及び第2の支持体は、既に知られているものを使用す
ればよい。第2のカメラ64として、第1のカメラ6
0、62のいずれか一方を移動させて使用してもよい。
The electro-optical device manufacturing apparatus to which the present invention is applied includes a first support (not shown) that supports the first substrate 10 and a second support (that does not support the second substrate 20). (Not shown), marks 26, 2 for marks 16, 18
The first camera 60, 62 for recognizing the position of 8 and the second camera 64 for recognizing the terminal 14, 24 located in the central portion 70 of the plurality of terminals 14, 24 that are overlapped are included. As the first and second supports, those already known may be used. As the second camera 64, the first camera 6
Either one of 0 and 62 may be moved and used.

【0069】第1及び第2の支持体は、第1のカメラ6
0、62の認識結果に基づき、重ねられた複数の端子1
4、24の延長方向において第1及び第2の基板10、
20の相対的位置を移動させる。そして、第1及び第2
の支持体は、第2のカメラ64の認識結果に基づき、重
ねられた複数の端子14、24の配列方向において第1
及び第2の基板10、20の相対的位置を移動させる。
第1及び第2の支持体は、両方が移動してもよく、いず
れか一方が移動してもよい。
The first and second supports are the first camera 6
Based on the recognition results of 0 and 62, the plurality of terminals 1 that are overlapped
4, the first and second substrates 10 in the extending direction of 24,
Move 20 relative positions. And the first and second
Of the first support in the arrangement direction of the plurality of stacked terminals 14 and 24 based on the recognition result of the second camera 64.
And the relative positions of the second substrates 10 and 20 are moved.
Both the first and second supports may move, or one of them may move.

【0070】この電気光学装置の製造装置によれば、上
述の製造方法及びその効果を達成することができる。
According to this electro-optical device manufacturing apparatus, the above-described manufacturing method and its effects can be achieved.

【0071】本発明の実施の形態に係る電気光学装置を
有する電子機器として、図11にはノート型パーソナル
コンピュータ200が示され、図12には携帯電話30
0が示されている。
As an electronic apparatus having the electro-optical device according to the embodiment of the invention, FIG. 11 shows a notebook personal computer 200, and FIG. 12 shows a mobile phone 30.
0 is shown.

【0072】本発明は、上述した実施の形態に限定され
るものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本
発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構
成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるい
は目的及び結果が同一の構成)を含む。また、本発明
は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置
き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説
明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目
的を達成することができる構成を含む。また、本発明
は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構
成を含む。
The present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, but various modifications can be made. For example, the present invention includes configurations that are substantially the same as the configurations described in the embodiments (for example, configurations having the same function, method and result, or configurations having the same purpose and result). Further, the invention includes configurations in which non-essential parts of the configurations described in the embodiments are replaced. Further, the present invention includes a configuration having the same effects as the configurations described in the embodiments or a configuration capable of achieving the same object. Further, the invention includes configurations in which known techniques are added to the configurations described in the embodiments.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は、本発明の実施の形態に係る配線基板を
示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing a wiring board according to an embodiment of the present invention.

【図2】図2は、本発明の実施の形態に係る配線基板の
接続方法を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing a method of connecting wiring boards according to an embodiment of the present invention.

【図3】図3は、本発明の実施の形態に係る配線基板の
接続方法を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a method of connecting wiring boards according to an embodiment of the present invention.

【図4】図4は、本発明の実施の形態に係る配線基板の
接続方法を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing a method of connecting wiring boards according to an embodiment of the present invention.

【図5】図5は、本発明の実施の形態に係る配線基板の
接続方法を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a method of connecting wiring boards according to an embodiment of the present invention.

【図6】図6は、本発明の実施の形態に係る配線基板の
接続方法を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing a method of connecting wiring boards according to an embodiment of the present invention.

【図7】図7は、本発明の実施の形態に係る配線基板の
接続方法を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a method of connecting wiring boards according to the embodiment of the present invention.

【図8】図8は、本発明の実施の形態に係る配線基板の
接続方法を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a method of connecting wiring boards according to the embodiment of the present invention.

【図9】図9は、本発明の実施の形態に係る配線基板の
接続方法を示す図である。
FIG. 9 is a diagram showing a method of connecting wiring boards according to the embodiment of the present invention.

【図10】図10(A)及び図10(B)は、本発明の
実施の形態に係る配線基板の接続方法を示す図である。
10 (A) and 10 (B) are diagrams showing a wiring board connecting method according to an embodiment of the present invention.

【図11】図11は、本発明の実施の形態に係る電子機
器を示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing an electronic device according to an embodiment of the present invention.

【図12】図12は、本発明の実施の形態に係る電子機
器を示す図である。
FIG. 12 is a diagram showing an electronic device according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 第1の基板 12 配線パターン 14 端子 16 マーク 18 マーク 20 第2の基板 22 配線パターン 24 端子 26 マーク 28 マーク 50 接着剤 52 第1の部分 54 第2の部分 60 カメラ 62 カメラ 64 カメラ 70 中央部 72 中央部 80 第1のツール 82 第2のツール 114 端子 124 端子 214 端子 224 端子 10 First substrate 12 wiring patterns 14 terminals 16 mark 18 mark 20 Second substrate 22 wiring pattern 24 terminals 26 mark 28 mark 50 adhesive 52 First Part 54 Second Part 60 cameras 62 cameras 64 cameras 70 Central part 72 Central part 80 First Tool 82 Second Tool 114 terminals 124 terminals 214 terminals 224 terminal

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 1/11 H05K 1/11 D 1/14 1/14 C Fターム(参考) 2H092 GA50 HA15 HA24 MA31 MA48 NA18 NA27 NA29 5E317 AA07 BB03 5E338 AA12 AA16 CC01 CD13 DD12 DD32 EE32 5E344 AA02 AA22 BB02 BB04 BB05 BB10 CC23 CD04 DD10 EE23 5G435 AA17 BB05 BB12 EE33 EE37 EE40 EE41 EE47 KK05 KK10─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H05K 1/11 H05K 1/11 D 1/14 1/14 C F term (reference) 2H092 GA50 HA15 HA24 MA31 MA48 NA18 NA27 NA29 5E317 AA07 BB03 5E338 AA12 AA16 CC01 CD13 DD12 DD32 EE32 5E344 AA02 AA22 BB02 BB04 BB05 BB10 CC23 CD04 DD10 EE23 5G435 AA17 BB05 BB12 EE33 EE37 EE40 EE41 EE47 KK05 KK

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (a)複数の端子を有する配線パターン
と、マークと、を有する第1及び第2の基板を前記複数
の端子同士が重なるように配置し、 (b)前記第1及び第2の基板の前記マークを認識し
て、前記第1及び第2の基板を、重ねられた前記複数の
端子の少なくとも延長方向において位置合わせし、 (c)前記第1及び第2の基板の重ねられた前記複数の
端子の中央部に位置する端子を認識して、前記第1及び
第2の基板を、重ねられた前記複数の端子の配列方向に
おいて位置合わせする配線基板の接続方法。
1. A first and a second substrate having a wiring pattern having a plurality of terminals and a mark are arranged so that the plurality of terminals overlap each other, and (b) the first and the second. Recognizing the mark on the second substrate, aligning the first and second substrates in at least the extension direction of the stacked terminals, and (c) stacking the first and second substrates. A method of connecting a wiring board, wherein a terminal located at a central portion of the plurality of terminals formed is recognized and the first and second boards are aligned in the arrangement direction of the plurality of terminals stacked.
【請求項2】 請求項1記載の配線基板の接続方法にお
いて、 前記(c)工程で、 前記第1及び第2の基板の前記中央部に位置する端子同
士を、幅方向の中心が重なるように位置合わせする配線
基板の接続方法。
2. The wiring board connecting method according to claim 1, wherein in the step (c), the terminals located at the central portions of the first and second boards are overlapped with each other in the center in the width direction. Wiring board connection method to align with.
【請求項3】 請求項1記載の配線基板の接続方法にお
いて、 前記(c)工程で、 前記第1の基板の前記中央部に位置する端子を、前記第
2の基板の前記中央部に位置する端子から、はみ出ない
ように位置合わせする配線基板の接続方法。
3. The wiring board connecting method according to claim 1, wherein in the step (c), the terminal located at the central portion of the first substrate is located at the central portion of the second substrate. A wiring board connection method that aligns the terminals so that they do not protrude from the terminals.
【請求項4】 請求項1から請求項3のいずれかに記載
の配線基板の接続方法において、 前記(c)工程で、 前記第1及び第2の基板の前記中央部に位置する端子
は、左右の端子とは異なる形状を有する配線基板の接続
方法。
4. The wiring board connecting method according to claim 1, wherein in the step (c), the terminals located at the central portions of the first and second boards are: A method of connecting a wiring board having a shape different from that of the left and right terminals.
【請求項5】 請求項4記載の配線基板の接続方法にお
いて、 前記(c)工程で、 前記第1及び第2の基板の前記中央部に位置する端子
は、左右の端子よりも短く形成されてなる配線基板の接
続方法。
5. The wiring board connecting method according to claim 4, wherein in the step (c), the terminals located in the central portions of the first and second boards are formed shorter than the left and right terminals. Wiring board connection method.
【請求項6】 請求項4又は請求項5に記載の配線基板
の接続方法において、 前記(c)工程で、 前記第1及び第2の基板の前記中央部に位置する端子
は、左右の端子よりも細く形成されてなる配線基板の接
続方法。
6. The method for connecting a wiring board according to claim 4, wherein in the step (c), the terminals located in the central portion of the first and second boards are left and right terminals. A method of connecting a wiring board formed to be thinner than the above.
【請求項7】 請求項1から請求項6のいずれかに記載
の配線基板の接続方法において、 前記第1及び第2の基板の少なくともいずれか一方は、
フレキシブル基板である配線基板の接続方法。
7. The wiring board connecting method according to claim 1, wherein at least one of the first and second boards is:
A method of connecting a wiring board which is a flexible board.
【請求項8】 請求項7記載の配線基板の接続方法にお
いて、 前記フレキシブル基板は、ポリイミドからなる配線基板
の接続方法。
8. The method of connecting a wiring board according to claim 7, wherein the flexible substrate is made of polyimide.
【請求項9】 請求項1から請求項6のいずれかに記載
の配線基板の接続方法を含み、 前記第1の基板は、フレキシブル基板であり、 前記第2の基板は、電気光学物質が封止された回路基板
である電気光学装置の製造方法。
9. The wiring board connecting method according to claim 1, wherein the first substrate is a flexible substrate, and the second substrate is sealed with an electro-optical material. A method of manufacturing an electro-optical device which is a stopped circuit board.
【請求項10】 請求項9記載の方法によって製造され
てなる電気光学装置。
10. An electro-optical device manufactured by the method according to claim 9.
【請求項11】 請求項10記載の電気光学装置を有す
る電子機器。
11. An electronic apparatus including the electro-optical device according to claim 10.
【請求項12】 複数の端子を有する配線パターンと、
マークと、を有する第1の基板を支持する第1の支持体
と、 複数の端子を有する配線パターンと、マークと、を有す
る第2の基板を支持する第2の支持体と、 前記第1の基板の前記マークと、前記第2の基板の前記
マークと、の一方に対する他方の位置を認識する第1の
カメラと、 前記第1の基板の前記複数の端子の中央部に位置する端
子と、前記第2の基板の前記複数の端子の中央部に位置
する端子と、の一方に対する他方の位置を認識する第2
のカメラと、 を含み、 前記第1及び第2の支持体は、 前記第1のカメラの認識結果に基づき、前記第1及び第
2の基板の重ねられた前記複数の端子の少なくとも延長
方向において、前記第1及び第2の基板の相対的位置を
移動させ、 前記第2のカメラの認識結果に基づき、前記第1及び第
2の基板の重ねられた前記複数の端子の配列方向におい
て、前記第1及び第2の基板の相対的位置を移動させる
電気光学装置の製造装置。
12. A wiring pattern having a plurality of terminals,
A first support for supporting a first substrate having a mark; a wiring pattern having a plurality of terminals; and a second support for supporting a second substrate having a mark; A first camera that recognizes the position of the mark on the substrate of the second substrate, the mark of the second substrate on the other side, and a terminal located at the center of the plurality of terminals of the first substrate. A second terminal for recognizing a terminal located at a central portion of the plurality of terminals of the second substrate and a position of the other terminal with respect to the second terminal
The camera according to claim 1, wherein the first and second supports are based on a recognition result of the first camera in at least an extension direction of the plurality of terminals on which the first and second substrates are stacked. The relative positions of the first and second substrates are moved, and based on the recognition result of the second camera, in the arrangement direction of the plurality of terminals on which the first and second substrates are stacked, An electro-optical device manufacturing apparatus that moves relative positions of a first substrate and a second substrate.
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