JP2003095673A - Method and apparatus for producing substrate, method for heating mold, glass substrate and information recording medium - Google Patents
Method and apparatus for producing substrate, method for heating mold, glass substrate and information recording mediumInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス素材などの
成形素材を所定温度に加熱した後、加圧成形を行って基
板を製造する方法であって、特には、発熱ブロックと金
型との間に均熱部材を介在させる方式の基板の製造方法
に関する。また、本発明は、それに関係する基板の製造
装置、金型加熱方法、ガラス基板、情報記録媒体に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a substrate by heating a molding material such as a glass material to a predetermined temperature and then pressure-molding the material. The present invention relates to a method for manufacturing a substrate in which a soaking member is interposed therebetween. The present invention also relates to a substrate manufacturing apparatus, a mold heating method, a glass substrate, and an information recording medium, which are related thereto.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、ガラス基板は、情報記録媒体用の
基板として大きな注目を浴びている。それは、ガラス基
板が、高剛性、高硬度で平滑化が容易で、小型化、薄型
化に有利であるためであり、さらには、高密度化、高信
頼性化に有利なことから盛んに検討されている。2. Description of the Related Art In recent years, a glass substrate has received a great deal of attention as a substrate for an information recording medium. This is because the glass substrate has high rigidity, high hardness, easy smoothing, is advantageous for downsizing and thinning, and is also advantageous for high density and high reliability. Has been done.
【0003】ガラス基板の製造方法において、生産性が
悪く高価につく研磨法に代わって、プレス成形法が有効
とされている。プレス成形法は、ガラス素材を加熱する
工程、加圧成形する工程、冷却する工程を経ることによ
り、金型の成形面を高精度にガラス素材に転写するもの
であり、後加工を必要としない。そのため、プレス成形
法は、安価で生産性が高く、かつ高品質である。In the glass substrate manufacturing method, a press molding method is effective instead of the polishing method, which has a low productivity and is expensive. The press molding method transfers the molding surface of the mold to the glass material with high accuracy by going through the steps of heating, pressure molding, and cooling the glass material, and does not require post-processing. . Therefore, the press molding method is inexpensive, high in productivity, and high in quality.
【0004】プレス成形法は、光学素子製造の分野では
既に実用化が図られているが、磁気ディスクなどの情報
記録媒体用のガラス基板にそのまま単純に適用しても、
望ましい結果は得られないのが実情である。その要因の
ひとつが基板外径と基板厚さの比が大きいことがある。
例えば、2.5型サイズの磁気ディスク用のガラス基板
では、基板外径65mm、基板厚さ0.635mmであ
り、外径と厚さとの比は、約100:1である。このよ
うなガラス基板を成形することは、前記の比が比較的小
さくまた曲率を持つ光学素子とは違った課題を有する。The press molding method has already been put to practical use in the field of optical element manufacturing, but even if it is simply applied as it is to a glass substrate for an information recording medium such as a magnetic disk,
The reality is that the desired results are not obtained. One of the reasons is that the ratio of the substrate outer diameter to the substrate thickness is large.
For example, a glass substrate for a 2.5-inch size magnetic disk has a substrate outer diameter of 65 mm and a substrate thickness of 0.635 mm, and the ratio of the outer diameter to the thickness is about 100: 1. Molding such a glass substrate has a problem different from that of an optical element having a relatively small ratio and having a curvature.
【0005】発熱ブロックは、熱を発生し、その熱を金
型に伝播するためのものである。金型は、ガラス素材に
圧力を加えて成形を行うことを基本とし、併せてガラス
素材に熱を伝達して加圧前段階からガラス素材を軟化さ
せるためのものである。この加熱加圧の工程において、
金型は、温度分布の高精度な管理が求められる。金型と
発熱ブロックとでは構成素材、形状などが相違してい
る。発熱ブロックから金型に伝わった熱が金型成形面に
おいて所期の温度分布をもたらすことはむずかしい。The heat generating block is for generating heat and transmitting the heat to the mold. The mold is basically for applying pressure to the glass material to perform molding, and also for transferring heat to the glass material to soften the glass material from the pre-pressing stage. In this heating and pressing process,
Molds are required to manage temperature distribution with high accuracy. The mold material and the heat generating block are different from each other in constituent materials and shapes. It is difficult for the heat transferred from the heat generating block to the mold to bring about the desired temperature distribution on the mold molding surface.
【0006】そこで、発熱ブロックと金型との間に均熱
部材を介在させることが考えられる。均熱部材は、発熱
ブロックからの熱が金型成形面に達した状況で所期の温
度分布をもたらすように、熱伝達の状態を調節するため
のものである。Therefore, it is conceivable to interpose a heat equalizing member between the heat generating block and the mold. The heat equalizing member is for adjusting the state of heat transfer so as to bring about the desired temperature distribution when the heat from the heat generating block reaches the die molding surface.
【0007】均熱部材を備えた従来技術におけるガラス
基板の製造装置の概要を図を用いて説明する。An outline of a conventional glass substrate manufacturing apparatus having a soaking member will be described with reference to the drawings.
【0008】図9において、40aは下側金型エレメン
ト、40bは上側金型エレメント、41a,41bは上
下両金型エレメント40a,40bそれぞれにおける冷
却部材、42a,42bは断熱部材、43a,43bは
発熱ブロック、44a,44bは発熱体(ヒータ)、4
5a,45bは均熱部材、46a,46bは金型、47
a,47bは金型固定リング、48は成形機筐体、49
はシリンダピストンである。上下方向で当接されている
ものどうしはボルトを介して固定連結されている。この
うち、課題に関係する発熱ブロックと均熱部材とを固定
連結するボルト50a,50bを強調的に図示してい
る。In FIG. 9, 40a is a lower mold element, 40b is an upper mold element, 41a and 41b are cooling members in both upper and lower mold elements 40a and 40b, 42a and 42b are heat insulating members, and 43a and 43b are Heat generating blocks, 44a and 44b are heating elements (heaters), 4
5a and 45b are heat equalizing members, 46a and 46b are molds, 47
a and 47b are mold fixing rings, 48 is a molding machine housing, and 49
Is a cylinder piston. Those abutting in the vertical direction are fixedly connected to each other via bolts. Among these, the bolts 50a and 50b that fixedly connect the heat generating block and the heat equalizing member, which are related to the task, are illustrated in an emphasized manner.
【0009】以下、下側金型エレメント40aについて
説明するが、上側金型エレメント40bにおいても同様
である。The lower mold element 40a will be described below, but the same applies to the upper mold element 40b.
【0010】下側金型エレメント40aにおいて、冷却
部材41aは成形機筐体48に固定され、断熱部材42
aは冷却部材41aに固定され、発熱ブロック43aは
断熱部材42aに固定され、均熱部材45aは発熱ブロ
ック43aに固定され、金型46aは均熱部材45aに
当接され、金型46aを押さえる金型固定リング47a
が均熱部材45aに固定されている。それらの固定はボ
ルトで行われるが、発熱ブロック43aに対する均熱部
材45aの固定を行うボルト50aが強調表示されてい
る。なお、上側金型エレメント40bにおいては、冷却
部材41bがシリンダピストン49に固定されている。
図10はボルト50aの配置を示す概略の平面図であ
る。In the lower die element 40a, the cooling member 41a is fixed to the molding machine housing 48, and the heat insulating member 42 is used.
a is fixed to the cooling member 41a, the heat generating block 43a is fixed to the heat insulating member 42a, the heat equalizing member 45a is fixed to the heat generating block 43a, and the die 46a is brought into contact with the heat equalizing member 45a and presses the die 46a. Mold fixing ring 47a
Are fixed to the heat equalizing member 45a. Although these are fixed by bolts, the bolt 50a for fixing the heat equalizing member 45a to the heat generating block 43a is highlighted. In addition, in the upper mold element 40b, the cooling member 41b is fixed to the cylinder piston 49.
FIG. 10 is a schematic plan view showing the arrangement of the bolts 50a.
【0011】均熱部材45aは、金型46aに対する均
熱作用のために、その熱膨張係数が金型46aと同一と
され、つまりは金型46aと同じ材質のもので構成され
ている。これに対して、均熱部材45aと発熱ブロック
43aとは別の材質となっている。例えば、金型46a
がタングステンカーバイトなどの超硬合金の場合には均
熱部材45aも同一材質の超硬合金であるが、発熱ブロ
ック43aはステンレスである。また、ボルト50aも
ステンレスである。The heat equalizing member 45a has the same coefficient of thermal expansion as that of the die 46a, that is, is made of the same material as that of the die 46a in order to uniformly heat the die 46a. On the other hand, the heat equalizing member 45a and the heat generating block 43a are made of different materials. For example, the mold 46a
In the case of a cemented carbide such as tungsten carbide, the heat equalizing member 45a is also a cemented carbide of the same material, but the heat generating block 43a is stainless steel. The bolt 50a is also stainless steel.
【0012】従来の構成においてガラス基板を成形する
場合の温度プロファイルを図11に示す。ヒータ温度は
ヒータ近傍に設置した熱電対の出力、ガラス内部温度は
ガラス素材の内部に挿入した熱電対の出力を示す。加熱
時の加圧力は10Kg、プレス時は15,000Kg、冷却
時は10,000Kgに設定されている。ヒータ温度はガ
ラス軟化点Ts以上の温度に設定されている。FIG. 11 shows a temperature profile when molding a glass substrate in the conventional structure. The heater temperature indicates the output of the thermocouple installed near the heater, and the glass internal temperature indicates the output of the thermocouple inserted inside the glass material. The pressing force during heating is set to 10 kg, the pressing pressure is set to 15,000 kg, and the cooling pressure is set to 10,000 kg. The heater temperature is set to a temperature equal to or higher than the glass softening point Ts.
【0013】この場合、ガラス素材としてアルミノシリ
ケートガラスを用いた。アルミノシリケートガラスは、
転移点温度Tg=460℃、軟化点温度Ts=580
℃、線膨張係数α=95×10-7/℃である。In this case, aluminosilicate glass was used as the glass material. Aluminosilicate glass
Transition point temperature Tg = 460 ° C., softening point temperature Ts = 580
C., linear expansion coefficient α = 95 × 10 −7 / ° C.
【0014】下側金型エレメント40aにおける金型4
6aの上にガラス素材51を載置する。油圧シリンダを
伸張駆動することにより、シリンダピストン49を上側
金型エレメント40bと一体で下動させ、上側の金型4
6bの成形面をガラス素材51に当接し、比較的小さい
圧力で押圧する。具体的には、10kgの力(圧力:約
26g/cm2)を印加した。発熱体44a,44bへ
の予備的な通電により上下の金型46a,46bを30
0℃まで昇温しておく。Mold 4 in lower mold element 40a
The glass material 51 is placed on 6a. By extending and driving the hydraulic cylinder, the cylinder piston 49 is moved downward together with the upper mold element 40b, and the upper mold 4 is moved.
The molding surface of 6b is brought into contact with the glass material 51 and pressed with a relatively small pressure. Specifically, a force of 10 kg (pressure: about 26 g / cm 2 ) was applied. By preliminarily energizing the heating elements 44a and 44b, the upper and lower molds 46a and 46b are moved to 30
The temperature is raised to 0 ° C.
【0015】この予備工程に続く工程は、大きく分けて
3つの段階からなる。加熱工程とプレス工程と冷却工程
とである。The process following this preliminary process is roughly divided into three stages. These are a heating step, a pressing step, and a cooling step.
【0016】まず、加熱工程を説明する。上下の金型4
6a,46bを300℃から昇温開始し、軟化点温度T
sを超えて昇温し、590℃にキープする。発熱ブロッ
ク43aの昇温速度に比べてガラス素材51の内部温度
の上昇の速度はかなり低いものとなっている。その理由
は後述する。First, the heating process will be described. Upper and lower mold 4
6a, 46b starts to be heated from 300 ° C., and the softening point temperature T
Temperature rises above s and keeps at 590 ° C. The rate of increase of the internal temperature of the glass material 51 is considerably lower than the rate of temperature increase of the heat generating block 43a. The reason will be described later.
【0017】ガラス素材51の内部温度はなかなかガラ
ス軟化点Ts近傍に達しない。そこで、ある段階、つま
り、ガラス転移点Tgとガラス軟化点Tsの中間にまで
昇温した段階で(加熱開始より約21分後)、プレス工
程に移行する。The internal temperature of the glass material 51 does not reach the vicinity of the glass softening point Ts. Therefore, at a certain stage, that is, at a stage where the temperature is raised to an intermediate point between the glass transition point Tg and the glass softening point Ts (after about 21 minutes from the start of heating), the press process is started.
【0018】プレス工程においては、シリンダピストン
49をさらに下動させることにより、上側の金型46b
と下側の金型46aとでガラス素材51を充分に強く圧
迫する(15000kg≒390kg/cm2)。ガラ
ス素材の内部温度の上昇速度が増加する。それは、発熱
ブロック43a,43bの各々と均熱部材45a,45
bの各々との密着状態がより強くなるためである。In the pressing step, the cylinder piston 49 is further moved downward to move the upper die 46b.
And the lower mold 46a presses the glass material 51 strongly enough (15000 kg≅390 kg / cm 2 ). The rate of rise of the internal temperature of the glass material increases. That is, the heat generating blocks 43a and 43b and the heat equalizing members 45a and 45, respectively.
This is because the state of close contact with each of b is stronger.
【0019】約4分後にガラス素材51の内部温度がガ
ラス軟化点Ts近傍となり、この時点で発熱体44a,
44bへの通電を停止すると同時に、押圧力を減じた
(10000kg≒260kg/cm2)。これ以降が
冷却工程である。そして、発熱体の温度モニターが30
0℃を示した時点で型開きした。After about 4 minutes, the internal temperature of the glass material 51 becomes close to the glass softening point Ts, at which point the heating elements 44a,
At the same time when the power supply to 44b was stopped, the pressing force was reduced (10000 kg≅260 kg / cm 2 ). The subsequent steps are the cooling step. And the temperature monitor of the heating element is 30
The mold was opened when 0 ° C was indicated.
【0020】以上のようにして、外径70mm、厚み
0.635mmの磁気ディスク用のガラス基板を得た。As described above, a glass substrate for a magnetic disk having an outer diameter of 70 mm and a thickness of 0.635 mm was obtained.
【0021】[0021]
【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術におけ
るガラス基板の製造装置には、次のような問題がある。The apparatus for manufacturing a glass substrate in the above prior art has the following problems.
【0022】発熱ブロック43a,43bと金型46
a,46bとの間に均熱部材45a,45bを介在させ
るプレス成形装置においては、一般的に、発熱ブロック
43a,43bと均熱部材45a,45bとをボルト5
0a,50bで締結するものである。Heat generating blocks 43a and 43b and die 46
In the press molding apparatus in which the heat equalizing members 45a and 45b are interposed between the heat generating blocks 43a and 43b and the heat equalizing members 45a and 45b, the bolts 5 are commonly used.
It is fastened with 0a and 50b.
【0023】以下、下側金型エレメント40aについて
説明するが、上側金型エレメント40bにおいても同様
である。The lower mold element 40a will be described below, but the same applies to the upper mold element 40b.
【0024】下側金型エレメント40aにおいて、均熱
部材45aは、金型46aに対する均熱作用のために、
その熱膨張係数が金型46aと同一とされ、結果として
金型46aと同じ材質のもので構成されている。これに
対して、均熱部材45aと発熱ブロック43aとは別の
材質となっている。例えば、金型46aが超硬合金の場
合には均熱部材45aも超硬合金であるが、発熱ブロッ
ク43aはステンレスである。In the lower die element 40a, the heat equalizing member 45a has a heat equalizing effect on the die 46a.
The coefficient of thermal expansion is the same as that of the mold 46a, and as a result, the mold 46a is made of the same material. On the other hand, the heat equalizing member 45a and the heat generating block 43a are made of different materials. For example, when the die 46a is made of cemented carbide, the soaking member 45a is also made of cemented carbide, but the heat generating block 43a is made of stainless steel.
【0025】初期状態すなわち発熱体44aへの通電を
行っていない状態で均熱部材45aと発熱ブロック43
aとは全面密着状態にある。300℃までの予備加熱の
段階でもほぼ密着状態にある。しかし、図11に示す加
熱工程の開始に伴って発熱ブロック43aの昇温速度を
高めつつさらに昇温すると、発熱ブロック43aの昇温
速度に対してガラス素材51の内部温度が追随すること
ができない。In the initial state, that is, when the heating element 44a is not energized, the soaking member 45a and the heating block 43
The entire surface is in close contact with a. Even in the stage of preheating up to 300 ° C, it is in a close contact state. However, if the temperature of the heat generating block 43a is further increased while increasing the temperature increasing rate with the start of the heating step shown in FIG. 11, the internal temperature of the glass material 51 cannot follow the temperature increasing rate of the heat generating block 43a. .
【0026】上記の追随できない理由として、本発明者
が認識するものを以下に説明する。The reasons that the present inventor recognizes will be explained below as the reasons why the above cannot be followed.
【0027】ボルト50aによって互いに締結されてい
る発熱ブロック43aと均熱部材45aとは、常温およ
び初期の予備加熱の段階では密着状態にあるが、さらに
高温になるにつれて、発熱ブロック43aと均熱部材4
5aとで熱膨張量に差が生じるようになる。それは、熱
膨張係数が互いに相違するからである。The heat generating block 43a and the heat equalizing member 45a, which are fastened to each other by the bolts 50a, are in close contact with each other at room temperature and the stage of initial preheating, but as the temperature becomes higher, the heat generating block 43a and the heat equalizing member 45a become more stable. Four
There is a difference in the amount of thermal expansion with 5a. This is because the coefficients of thermal expansion differ from each other.
【0028】熱膨張量については、タングステンカーバ
イト等の超硬合金で構成された均熱部材45aに比べ
て、ステンレスで構成された発熱ブロック43aの方が
大きい。この熱膨張量の差に起因して、加熱工程では、
図12に示すように、発熱ブロック43aと均熱部材4
5aとの境界面に隙間52aが生じてしまう。この隙間
52aには外気が進入するか真空ないし超低圧となり、
いずれも断熱性が増す。ボルト50aによる発熱ブロッ
ク43aと均熱部材45aとの締結がないのであれば、
発熱ブロック43aは本来の自己の平面に沿って膨張す
るだけで、均熱部材45aとの密着性にはあまり影響が
出ない。しかし、ボルト50aによる締結がないと、発
熱ブロック43aと均熱部材45aとの水平方向での相
対的位置関係が定まらないことになり、ガラス素材51
に対するプレス成形に支障を来す。均熱部材45aを水
平方向で位置固定する他の手段がない限りは、ボルト5
0aによる締結は省略できない。Regarding the amount of thermal expansion, the heat generating block 43a made of stainless steel is larger than the heat equalizing member 45a made of cemented carbide such as tungsten carbide. Due to this difference in the amount of thermal expansion, in the heating process,
As shown in FIG. 12, the heat generating block 43 a and the heat equalizing member 4
A gap 52a is generated at the boundary surface with 5a. Outside air enters the gap 52a or becomes a vacuum or an ultra low pressure,
Both increase the heat insulation. If the heat generating block 43a and the heat equalizing member 45a are not fastened with the bolt 50a,
The heat generating block 43a only expands along its original plane, and does not significantly affect the adhesion with the heat equalizing member 45a. However, if the bolts 50a are not fastened, the horizontal positional relationship between the heat generating block 43a and the heat equalizing member 45a cannot be determined, and the glass material 51
It interferes with the press forming. Unless there is another means for fixing the heat equalizing member 45a in the horizontal direction, the bolt 5
The fastening by 0a cannot be omitted.
【0029】熱膨張量の差があり、なおかつ締結がある
ので、発熱ブロック43aは自己の平面に対して湾曲を
生じることになる。この発熱ブロック43aの熱変形の
結果、図12に示すように、発熱ブロック43aと均熱
部材45aとの境界面において隙間52aが生じてしま
うのである。なお、52bは、上側金型エレメント40
bにおいて、同様の理由により、発熱体44bと均熱部
材45bとの境界面に生じた隙間である。Since there is a difference in the amount of thermal expansion and there is a fastening, the heat generating block 43a is curved with respect to its own plane. As a result of the thermal deformation of the heat generating block 43a, as shown in FIG. 12, a gap 52a is generated at the boundary surface between the heat generating block 43a and the heat equalizing member 45a. In addition, 52b is the upper mold element 40.
In b, for the same reason, it is a gap generated at the boundary surface between the heating element 44b and the heat equalizing member 45b.
【0030】隙間52aが生じるということは、発熱ブ
ロック43aと均熱部材45aとの密着性が悪化すると
いうことである。発熱ブロック43aと均熱部材45a
との境界面における互いの接触面積が小さくなり、ま
た、隙間52aである外気、真空または超低圧が断熱性
を増すことから、発熱ブロック43aから均熱部材45
aへの熱伝導性が悪化し、加熱工程において発熱体温度
に対するガラス素材内部温度の追従性が悪く、昇温速度
が極端に遅くなってしまうのである。The formation of the gap 52a means that the adhesion between the heat generating block 43a and the heat equalizing member 45a deteriorates. Heat generating block 43a and heat equalizing member 45a
The area of contact with each other at the boundary surface between the heat generating block 43a and the heat equalizing member 45 increases from the heat dissipation block 43a to the outside air, the vacuum, or the ultra-low pressure that increases the heat insulating property.
The heat conductivity to a is deteriorated, the followability of the temperature inside the glass material to the temperature of the heating element in the heating step is poor, and the temperature rising rate becomes extremely slow.
【0031】すなわち、加熱工程の開始からプレス工程
に移行するまでの所定時間が長くかかりすぎることにな
っていた。そして、このことは、余分なエネルギー消費
の増大を招く要因となっていた。すなわち、発熱体に対
する通電時間が長いことと、発熱体の昇温限界の設定温
度として軟化点温度を超える温度に設定していることと
の相乗で、エネルギー消費に多大な無駄が発生してい
た。所定時間が長すぎ生産性が低いことともあいまっ
て、成形のコストが高く、大きな問題となっている。That is, it takes too long a predetermined time from the start of the heating step to the shift to the pressing step. And this has been a factor that causes an increase in extra energy consumption. In other words, the energization time to the heating element is long, and the set temperature of the heating element is set to a temperature higher than the softening point temperature, resulting in a great waste of energy consumption. . Combined with the fact that the predetermined time is too long and the productivity is low, the cost of molding is high, which is a big problem.
【0032】このような問題は、ガラス基板に限らず、
プレス成形を行うに、金型と発熱ブロックとの間に均熱
部材を介在させる方式一般に広く該当するものと考えら
れる。Such a problem is not limited to the glass substrate,
It is generally considered to be widely applicable to the method of interposing a heat equalizing member between the mold and the heat generating block for press molding.
【0033】本発明は、このような事情に鑑みて創案さ
れたものであり、発熱ブロック昇温に対する金型昇温の
追随性を改善し、所要時間の短縮および消費エネルギー
の削減を図ることを目的としている。The present invention was devised in view of the above circumstances, and aims to improve the followability of the temperature rise of the mold with respect to the temperature rise of the heat generating block, shorten the required time and reduce the energy consumption. Has an aim.
【0034】[0034]
【課題を解決するための手段】本発明は、次のような手
段を講じることにより、上記の課題を解決する。The present invention solves the above problems by taking the following means.
【0035】基板の製造方法についての本発明は、次の
ことを前提としている。それは、加熱工程とプレス工程
とを含んでいる。加熱工程では、一対の金型により成形
素材を挟持した状態で、発熱ブロックの駆動すなわち発
熱により均熱部材を介して少なくとも一方の金型を所定
温度に加熱する。一対の金型のうち、発熱ブロックおよ
び均熱部材を付帯する金型は、一方でもよいし、両方で
もよい。プレス工程では、一対の金型を相対的に接近さ
せて成形素材を加圧成形する。一対の金型のうち一方を
固定式にし、他方を可動式にしてもよいし、両方とも可
動式にしてもよい。The present invention regarding the method of manufacturing a substrate is premised on the following. It includes a heating step and a pressing step. In the heating step, at least one of the molds is heated to a predetermined temperature through the heat equalizing member by driving the heat generating block, that is, heat while the molding material is sandwiched by the pair of molds. Of the pair of molds, the mold having the heat generating block and the heat equalizing member may be one mold or both molds. In the pressing step, a pair of molds are brought relatively close to each other to press-mold a molding material. One of the pair of molds may be fixed and the other may be movable, or both may be movable.
【0036】このような基板の製造方法において、本発
明は、少なくとも加熱工程では、発熱ブロックをその背
後から均熱部材に密着するように押圧して熱伝達を行
う。In such a substrate manufacturing method, according to the present invention, at least in the heating step, the heat generating block is pressed from behind so as to be in close contact with the heat equalizing member to perform heat transfer.
【0037】発熱ブロックを押圧して、発熱ブロックを
均熱部材に対して全面的に密着させる状態を少なくとも
加熱工程では確保する。熱膨張係数が相違すると、熱膨
張量が発熱ブロックと均熱部材とで相違する。従来、発
熱ブロックと均熱部材とをボルトなどで締結していたた
めに、加熱工程で発熱ブロックと均熱部材との間に隙間
が発生する原因になっていた。しかし、本発明において
は、少なくとも加熱工程で発熱ブロックを背後から押圧
して発熱ブロックを均熱部材に密着させるようにしてい
る。したがって、熱膨張量の差に起因して発熱ブロック
が変形しようとしても、その変形を前記の押圧により打
ち消すことができる。At least in the heating step, a state in which the heat generating block is pressed to bring the heat generating block into close contact with the heat equalizing member is ensured. When the coefficient of thermal expansion is different, the amount of thermal expansion is different between the heat generating block and the heat equalizing member. Conventionally, since the heat generating block and the heat equalizing member are fastened together with bolts or the like, a gap is generated between the heat generating block and the heat equalizing member in the heating process. However, in the present invention, at least in the heating step, the heat generating block is pressed from the rear side so that the heat generating block is brought into close contact with the heat equalizing member. Therefore, even if the heat generating block is deformed due to the difference in the amount of thermal expansion, the deformation can be canceled by the pressing.
【0038】加熱工程において押圧により発熱ブロック
の変形を防止するので、発熱ブロックと均熱部材との密
着性を高度に確保できるとともに、発熱ブロックと均熱
部材との接触面積を最大限に確保できる。その結果、発
熱ブロックから均熱部材を介しての金型への熱伝導の性
能が向上し、発熱ブロックの昇温速度に対する金型がひ
いては成形素材の昇温速度の追随性が改善される。Since the deformation of the heat generating block is prevented by pressing in the heating step, the close contact between the heat generating block and the heat equalizing member can be ensured and the contact area between the heat generating block and the heat equalizing member can be maximized. . As a result, the performance of heat conduction from the heat generating block to the mold via the heat equalizing member is improved, and the followability of the temperature rising speed of the molding material to the mold with respect to the temperature rising speed of the heat generating block is improved.
【0039】したがって、加熱工程において金型を所定
温度にまで昇温するのに要する時間を短縮化することが
できる。また、発熱ブロックから均熱部材を介しての金
型への熱伝導の性能を良好に発揮させることができ、成
形素材の成形品の品質の改善を有利に展開することがで
きる。そして、昇温の追随特性が優れていることから、
エネルギー消費を大きく削減することができる。したが
って、コストパフォーマンスに優れた基板の製造方法を
提供できるに至った。Therefore, the time required to raise the temperature of the mold to the predetermined temperature in the heating step can be shortened. In addition, the performance of heat conduction from the heat generating block to the mold via the heat equalizing member can be satisfactorily exhibited, and the quality of the molded product of the molding material can be advantageously improved. And since the follow-up characteristic of temperature rise is excellent,
Energy consumption can be significantly reduced. Therefore, it is possible to provide a method of manufacturing a substrate having excellent cost performance.
【0040】上記において、好ましい態様としては、前
記の加熱工程における金型についての所定温度が成形素
材の軟化点温度以下の範囲で軟化点温度近傍に設定され
ており、加熱工程では、発熱ブロックの発熱を前記の軟
化点温度近傍の所定温度に昇温するまで行い、その所定
温度に達した段階でその所定温度を維持した上でプレス
工程に進むということである。In the above, as a preferred embodiment, the predetermined temperature of the mold in the heating step is set near the softening point temperature in the range of the softening point temperature of the molding material or lower, and in the heating step This means that heat is generated until the temperature rises to a predetermined temperature near the softening point temperature, and when the temperature reaches the predetermined temperature, the predetermined temperature is maintained before proceeding to the pressing step.
【0041】これによる作用は次のとおりである。The effect of this is as follows.
【0042】従来においては、発熱ブロックに対する金
型(成形素材)の昇温の追随性が低いため、成形素材が
所定温度にまでなかなか達しない。これを補うために、
発熱ブロックの昇温の限度を軟化点温度を超えるレベル
に設定している。しかし、実際上は、発熱ブロックの昇
温限度を軟化点温度を超えたレベルに設定することは、
正常とはいいがたい。それは、成形素材において軟化点
温度を超えると、成形素材が変質を生じることがあるか
らである。成形素材がガラス素材の場合には、水分が出
てきて金型の保護膜と反応し、保護膜が劣化するおそれ
がある。In the prior art, since the temperature of the mold (molding material) with respect to the temperature rise of the heating block is low, the molding material does not easily reach the predetermined temperature. To make up for this,
The limit of temperature rise of the heating block is set to a level above the softening point temperature. However, in practice, setting the temperature rise limit of the heating block to a level exceeding the softening point temperature is
It is hard to say that it is normal. This is because when the molding material exceeds the softening point temperature, the molding material may deteriorate. When the molding material is a glass material, water may come out and react with the protective film of the mold, which may deteriorate the protective film.
【0043】また、従来においては、成形素材が所定温
度に達する前段階からプレス工程に進んでおり、プレス
工程でさらに金型(成形素材)を昇温するようにしてい
る。つまり、プレス工程において金型(成形素材)に温
度変動が生じている。そのため、プレス工程の継続時間
をコントロールすることがむずかしいものとなってい
る。Further, conventionally, the pressing process has been started from the stage before the molding material reaches a predetermined temperature, and the die (molding material) is further heated in the pressing process. That is, in the pressing process, temperature fluctuations occur in the mold (molding material). Therefore, it is difficult to control the duration of the pressing process.
【0044】これに対して上記のように構成された本発
明の基板の製造方法においては、昇温の追随特性が優れ
ていることから、加熱工程における金型についての所定
温度を、理想的な温度、すなわち、成形素材の軟化点温
度以下の範囲で軟化点温度近傍に設定することが可能と
なる。加熱工程において、金型(成形素材)が前記の軟
化点温度近傍の所定温度に昇温するまで発熱ブロックの
発熱を行い、その所定温度に達した段階でその所定温度
を維持した上でプレス工程に進む。On the other hand, in the substrate manufacturing method of the present invention configured as described above, since the temperature rising characteristic is excellent, the predetermined temperature of the mold in the heating step is ideal. It becomes possible to set the temperature in the vicinity of the softening point temperature within the range of the softening point temperature of the forming material or lower. In the heating step, the heat generating block generates heat until the mold (molding material) reaches a predetermined temperature near the softening point temperature, and when the predetermined temperature is reached, the predetermined temperature is maintained and then the pressing step. Proceed to.
【0045】これによれば、金型(成形素材)の温度を
軟化点温度を超えて設定しなければならない不都合から
免れる。成形素材の変質のおそれからも解放される。成
形素材がガラス素材である場合には、水分の発生を回避
し、金型保護膜の劣化を回避することができる。プレス
工程中は、金型(成形素材)の積極的な昇温は不要であ
り、プレス工程中における温度コントロールが行いやす
い。以上の相乗により、成形品の品質向上を期すことが
できる。This avoids the inconvenience of having to set the temperature of the mold (molding material) above the softening point temperature. It is also free from the fear of deterioration of the molding material. When the molding material is a glass material, generation of water can be avoided and deterioration of the mold protective film can be avoided. During the pressing process, it is not necessary to actively raise the temperature of the mold (forming material), and it is easy to control the temperature during the pressing process. Through the above synergies, it is possible to improve the quality of the molded product.
【0046】発熱ブロックが所定温度に達することと金
型(成形素材)が所定温度に達することとの間にはタイ
ムラグ(時間ずれ)がある。プレス工程に進むのは発熱
ブロックが所定温度に達してから後であるが、それを何
時にするかについて、所要時間の経過後というふうに時
間で制御するのでもよいが、成形素材の温度を監視して
おき、成形素材温度が所定温度に達したことを条件にプ
レス工程に進むようにすると、より厳密な温度制御がで
きる。ここで、成形素材の温度監視については、成形素
材を直接に測定するのがもちろんよいのであるが、それ
がむずかしい場合には、金型の温度の測定をもって代用
してもよい。There is a time lag (time lag) between the heat generation block reaching a predetermined temperature and the die (molding material) reaching a predetermined temperature. It is after the heating block reaches the predetermined temperature that the pressing process proceeds, but it is also possible to control the time at which it is done, such as after the required time elapses. If monitoring is performed and the pressing process is performed on the condition that the temperature of the forming material reaches a predetermined temperature, more strict temperature control can be performed. Here, of course, regarding the temperature monitoring of the molding material, it is of course better to directly measure the molding material, but if it is difficult, the temperature of the mold may be measured instead.
【0047】上記において、好ましい態様としては、前
記の加熱工程での金型の成形面における温度分布を金型
の中心に関して軸対称な温度分布とすることである。軸
対称というのは、前記の中心周りの任意の円弧におい
て、その円弧上のどの点においても温度が実質的に等し
いということである。異なる半径の円周どうしでは、温
度が相違していてもよい。ただし、半径方向に沿って
は、単調に変化することが好ましい。ここでの軸対称
は、広い概念のもので、全面にわたって均一な温度分布
の場合も含んでいる。In the above, in a preferred embodiment, the temperature distribution on the molding surface of the mold in the heating step is a temperature distribution which is axisymmetric with respect to the center of the mold. Axisymmetric means that in any arc around the center, the temperature is substantially equal at any point on the arc. The circumferences of different radii may have different temperatures. However, it is preferable to change monotonically along the radial direction. The axial symmetry here is a broad concept and includes the case of uniform temperature distribution over the entire surface.
【0048】このように金型成形面温度分布が軸対称で
あることを条件とする場合には、成形品の軸対称性を保
証する。特に、情報記録媒体の基板(特にはガラス基
板)の場合には、高速回転する媒体に対してほぼ半径方
向に沿って移動し、高速回転媒体が生起する空気流に浮
上する記録/再生用のヘッドとの関係で、軸対称である
ことが望ましい。周方向での相対速度は半径方向での相
対速度に比べて圧倒的に大きく、周方向では形状の軸対
称がきわめて厳密に要求されるからである。成形された
ガラス基板の軸対称性を保証できることは、この要求に
的確に応えるものである。In the case where the temperature distribution on the die molding surface is axisymmetric, the axial symmetry of the molded product is guaranteed. Particularly, in the case of a substrate of an information recording medium (particularly a glass substrate), a medium for recording / reproducing that moves in a substantially radial direction with respect to a medium rotating at high speed and floats on an air flow generated by the medium rotating at high speed It is desirable to be axisymmetric in relation to the head. This is because the relative speed in the circumferential direction is overwhelmingly larger than the relative speed in the radial direction, and axial symmetry of the shape is extremely strictly required in the circumferential direction. The ability to guarantee the axial symmetry of the molded glass substrate exactly meets this requirement.
【0049】上記において、好ましい態様としては、前
記の発熱ブロックを均熱部材に押圧するにおいて、付勢
をもって押圧することがある。この付勢のための手段と
しては、圧縮ばね、板ばねなどがある。押圧の確実でし
かも簡単な手段が付勢である。In the above, in a preferred embodiment, when the heat generating block is pressed against the heat equalizing member, the heat generating block is pressed with a bias. A compression spring, a leaf spring, or the like is used as the means for urging. A reliable and simple means of pressing is urging.
【0050】圧縮ばねや板ばねを用いるときには、発熱
ブロックに対する押圧箇所が部分的となる。特に、ばね
定数が比較的小さいものを複数個用いる場合には、押圧
箇所が部分的となりやすい。プレス工程において、成形
素材を挟んで一対の金型が強力なプレス力をもって互い
に押圧されるが、このとき、全面的ではなく部分的に押
圧されている均熱部材は、その大きなプレス力のために
変形を生じる傾向となる。均熱部材の変形は金型の変形
となり、結果的に成形品の形状劣化を招きかねない。When a compression spring or a leaf spring is used, the pressing points against the heat generating block are partial. In particular, when a plurality of springs having relatively small spring constants are used, the pressing points are likely to be partial. In the pressing process, the pair of molds are pressed against each other with a strong pressing force with the forming material sandwiched between them, but at this time, the heat equalizing member that is pressed partially rather than entirely is due to the large pressing force. It tends to cause deformation. The deformation of the soaking member causes the deformation of the mold, which may result in deterioration of the shape of the molded product.
【0051】そこで、この発熱ブロックの変形に対抗す
るために、均熱部材をその背後から支持することはこと
は有効な対策となる。特に、押圧が付勢手段によるとき
には、プレス力によって均熱部材が変形を生じやすい。
適当な支持部材により均熱部材をその背後から支持する
ことにより、均熱部材の変形を回避することができる。
したがって、金型の変形を防止し、成形品の形状精度を
確保することができる。見方を変えると、次のようにい
うことができる。均熱部材を背後から支持することによ
って均熱部材の変形を防止するので、プレス力として充
分に大きなものを印加することを許容する。その結果、
平坦度および表面平滑性にきわめて優れた成形品を得る
ことができる。Therefore, in order to counter the deformation of the heat generating block, it is an effective measure to support the heat equalizing member from behind. Particularly, when the pressing force is applied by the biasing means, the heat equalizing member is likely to be deformed by the pressing force.
By supporting the heat equalizing member from behind by a suitable supporting member, deformation of the heat equalizing member can be avoided.
Therefore, it is possible to prevent the deformation of the mold and ensure the shape accuracy of the molded product. From a different perspective, it can be said as follows. By supporting the heat equalizing member from the back side, deformation of the heat equalizing member is prevented, so that a sufficiently large pressing force can be applied. as a result,
It is possible to obtain a molded product having extremely excellent flatness and surface smoothness.
【0052】上記の基板の製造方法において、プレス工
程の次に、発熱ブロックの駆動(発熱動作)を停止する
とともに、加熱工程での一対の金型による成形素材に対
する加圧力より小さい加圧力で成形素材を加圧する状態
を維持しつつ成形素材の降温を行う冷却工程を実施する
ことがある。加熱加圧してプレスを行ったあとは、自然
冷却または強制冷却によって成形素材および金型の降温
を行うのが一般的であるが、その場合に、全面的に型開
きをしてしまうのではなく、加圧状態を維持したまま降
温することが好ましい。転移点温度以下になるまでは、
まだ形状の変動の可能性が残っているからである。加圧
状態を維持しつつ降温すると、形状の不測の変動を防止
でき、成形品の形状精度を確保することができる。ま
た、冷却工程における加圧力をプレス工程と同じとする
と、加圧に伴う発熱が大きく降温速度が低くなるので、
そして、成形品の離型がむずかしくなるので、プレス工
程での加圧力よりも小さくすることが望ましい。降温に
要する時間の短縮化と型開き時の離型容易性を図ること
ができる。In the above-mentioned substrate manufacturing method, after the pressing step, driving of the heat generating block (heat generating operation) is stopped, and molding is performed with a pressure smaller than the pressure applied to the molding material by the pair of molds in the heating step. A cooling process for lowering the temperature of the molding material while maintaining a state of pressurizing the material may be performed. After pressing by heating and pressurizing, it is general to lower the temperature of the molding material and the mold by natural cooling or forced cooling, but in that case, the mold should not be opened entirely. It is preferable to lower the temperature while maintaining the pressurized state. Until the temperature falls below the transition point,
This is because there is still the possibility that the shape will change. By lowering the temperature while maintaining the pressurized state, it is possible to prevent an unexpected change in the shape and ensure the shape accuracy of the molded product. Further, if the pressure applied in the cooling step is the same as that in the pressing step, the heat generation associated with pressurization is large and the rate of temperature decrease is low.
Further, since it becomes difficult to release the molded product, it is desirable to make the pressure smaller than the pressing force in the pressing step. The time required for cooling the temperature can be shortened and the mold can be released easily when the mold is opened.
【0053】上記の基板の製造方法は、成形素材がガラ
ス素材の場合にきわめて有用である。磁気記録媒体をは
じめとする情報記録媒体におけるガラス基板は、現行に
おいて多くの課題を抱えているが、そのブレークスルー
(技術突破)に対して本発明はきわめて有効である。The above method of manufacturing a substrate is extremely useful when the molding material is a glass material. Glass substrates for information recording media such as magnetic recording media have many problems at present, but the present invention is extremely effective for breakthrough (breakthrough of technology).
【0054】上記の成形素材をガラス素材とする場合に
おいて、好ましい態様としては、前記の金型としてタン
グステンカーバイトを主成分とする超硬合金製の金型を
用い、前記の発熱ブロックとして窒化アルミニウム製ま
たは炭化シリコン製の発熱ブロックを用い、前記の均熱
部材として前記金型と同じ超硬合金製の均熱部材を用い
ることを挙げることができる。これは、均熱部材が金型
と同じ材質であって、熱膨張係数が同じとなっているこ
と、および、発熱ブロックの材質が均熱部材とは異なっ
ていることを具体的に記述したものである。In the case where the above-mentioned molding material is a glass material, in a preferred embodiment, a cemented carbide mold containing tungsten carbide as a main component is used as the mold and aluminum nitride is used as the heating block. It is possible to use a heat-generating block made of silicon carbide or silicon carbide, and to use, as the soaking member, a soaking member made of the same cemented carbide as the die. This specifically describes that the heat equalizing member is made of the same material as the mold and has the same coefficient of thermal expansion, and that the material of the heat generating block is different from that of the heat equalizing member. Is.
【0055】また、上記において、好ましい態様として
は、前記の発熱ブロックをその背後から押圧する加圧力
を0.5〜2.5kg/cm2、好ましくは、1.0〜
2.0kg/cm2とすることを挙げることができる。
2.5kg/cm2を超えると、却って均熱部材に反り
が生じる傾向があり、0.5kg/cm2未満である
と、隙間の発生を抑制できない傾向がある。そして、
1.0〜2.0kg/cm2の範囲の加圧力であれば、
平坦性と効率とをともに満たすことができる。In the above, in a preferred embodiment, the pressure applied to press the heat generating block from behind is 0.5 to 2.5 kg / cm 2 , preferably 1.0 to
It may be set to 2.0 kg / cm 2 .
On the contrary, if it exceeds 2.5 kg / cm 2 , the soaking member tends to warp, and if it is less than 0.5 kg / cm 2 , the generation of gaps tends to be unable to be suppressed. And
If the applied pressure is in the range of 1.0 to 2.0 kg / cm 2 ,
Both flatness and efficiency can be satisfied.
【0056】本発明はまた、金型加熱方法としても成り
立つ。それは、発熱ブロックから金型への熱伝達に際し
て、発熱ブロックと金型との間に均熱部材を介在させて
熱伝達を行うものであって、発熱ブロックをその背後か
ら均熱部材に密着するように押圧して熱伝達を行うとい
うものである。この場合、基板の製造については、これ
を問うものではない。つまり、成形の対象として必ずし
も基板のみに限定されるものではなく、どのようなもの
を対象としてもよい。The present invention is also applicable as a mold heating method. In heat transfer from the heat generating block to the mold, a heat equalizing member is interposed between the heat generating block and the mold to perform heat transfer, and the heat generating block is brought into close contact with the heat equalizing member from behind. In this way, heat is transferred by pressing. In this case, the manufacturing of the substrate does not matter. In other words, the object of molding is not necessarily limited to the substrate, and any object may be used.
【0057】本発明はまた基板の製造装置に関するもの
である。The present invention also relates to a substrate manufacturing apparatus.
【0058】基板の製造装置についての本発明は、その
構成要素として、少なくとも、成形素材を加熱加圧して
成形する一対の金型と、前記一対の金型のうち少なくと
も一方を加熱する発熱ブロックと、前記発熱ブロックと
前記金型との間に介在された均熱部材と、前記一対の金
型を相対的に接近離間させる金型駆動手段とを備えたも
のであって、前記の発熱ブロックをその背後から前記均
熱部材に密着するように押圧する押圧手段をさらに備え
ているというものである。The present invention regarding the apparatus for manufacturing a substrate has, as its constituent elements, at least a pair of molds for heating and molding a molding material to mold, and a heating block for heating at least one of the pair of molds. A heat equalizing member interposed between the heat generating block and the mold, and mold driving means for relatively moving the pair of molds toward and away from each other. It further comprises a pressing means for pressing the heat equalizing member so as to come into close contact with it from behind.
【0059】上記において、一対の金型のうち、そのい
ずれか一方の金型に発熱ブロックが設けられているので
もよいが、より好ましくは、双方の金型にそれぞれ発熱
ブロックが設けられていることである。発熱ブロックを
付帯している金型においては、その金型と発熱ブロック
との間に均熱部材を介在させるものとする。一対の金型
を相対的に接近離間させる金型駆動手段については、い
ずれか一方の金型のみを可動タイプとし、他方を固定タ
イプとする場合と、双方の金型をともに可動タイプとす
る場合とがある。金型、発熱ブロックおよび均熱部材の
組み合わせにおいて、均熱部材に密着するように発熱ブ
ロックを押圧するための押圧手段を設けてあるので、前
述と同様に、熱膨張量の差に起因して発熱ブロックが変
形しようとしても、その変形を打ち消すことができる。
すなわち、発熱ブロックと均熱部材との密着性を高度に
確保できるとともに、発熱ブロックと均熱部材との接触
面積を最大限に確保できる。その結果、発熱ブロックか
ら均熱部材を介しての金型への熱伝導の性能が向上し、
発熱ブロックの昇温速度に対する金型がひいては成形素
材の昇温速度の追随性が改善される。In the above, one of the pair of molds may be provided with the heat generating block, but more preferably, both molds are provided with the heat generating blocks. That is. In a die having a heat generating block, a heat equalizing member is interposed between the die and the heat generating block. Regarding the mold driving means for relatively moving the pair of molds closer to and away from each other, only one of the molds is a movable type and the other is a fixed type, and both molds are both movable types. There is. In the combination of the mold, the heat generating block and the heat equalizing member, since the pressing means for pressing the heat generating block is provided so as to be in close contact with the heat equalizing member, the difference in the thermal expansion amount is caused by Even if the heat generating block is about to be deformed, the deformation can be canceled.
That is, the adhesion between the heat generating block and the heat equalizing member can be ensured to a high degree, and the contact area between the heat generating block and the heat equalizing member can be maximized. As a result, the performance of heat conduction from the heat generating block to the mold via the heat equalizing member is improved,
The mold is improved in conformity with the rate of temperature rise of the heat generating block, and thus the rate of temperature rise of the molding material.
【0060】したがって、加熱工程において金型を所定
温度にまで昇温するのに要する時間を短縮化することが
できる。また、発熱ブロックから均熱部材を介しての金
型への熱伝導の性能を良好に発揮させることができ、成
形素材の成形品の品質の改善を有利に展開することがで
きる。そして、昇温の追随特性が優れていることから、
エネルギー消費を大きく削減することができる。すなわ
ち、基板を優れたコストパフォーマンスのもとで製造す
ることができる。Therefore, the time required to raise the temperature of the mold to the predetermined temperature in the heating step can be shortened. In addition, the performance of heat conduction from the heat generating block to the mold via the heat equalizing member can be satisfactorily exhibited, and the quality of the molded product of the molding material can be advantageously improved. And since the follow-up characteristic of temperature rise is excellent,
Energy consumption can be significantly reduced. That is, the substrate can be manufactured with excellent cost performance.
【0061】上記において、好ましい態様としては、前
記の押圧手段が圧縮ばね、板ばねなどの付勢手段である
ことである。構成および制御が簡単であり、しかも押圧
作用が確実で、さらには常時的な押圧が可能である。In the above, the pressing means is preferably a biasing means such as a compression spring or a leaf spring. The structure and control are simple, and the pressing action is reliable, and moreover, constant pressing is possible.
【0062】また、前記の発熱ブロックとしては円形の
ものを採用し、その円形の発熱ブロックの中心を金型の
中心と同軸状に配することが好ましい。温度分布の軸対
称性を得やすい。Further, it is preferable that a circular heating block is adopted and the center of the circular heating block is arranged coaxially with the center of the mold. It is easy to obtain the axial symmetry of the temperature distribution.
【0063】あるいは、前記の発熱ブロックとしては中
心部に貫通孔が形成されたものを採用し、その発熱ブロ
ックの中心を金型の中心と同軸状に配することが好まし
い。この場合、前記の均熱部材の変形に対抗するため
に、発熱ブロックの貫通孔に挿通された状態で均熱部材
をその背後から支持する支持部材を備えていることが好
ましい。Alternatively, it is preferable that the heat generating block has a through hole formed in the center thereof and that the center of the heat generating block is arranged coaxially with the center of the mold. In this case, in order to counter the deformation of the heat equalizing member, it is preferable to provide a supporting member that supports the heat equalizing member from the back in a state of being inserted into the through hole of the heat generating block.
【0064】上記の本発明の基板の製造方法または製造
装置によって得られるガラス基板は、中心線平均粗さを
大きくても1.0nm以下にすることができる。中心線
平均粗さを0.7nm以下にすることも可能で、さらに
好ましい。The glass substrate obtained by the above-described substrate manufacturing method or manufacturing apparatus of the present invention can have a center line average roughness of 1.0 nm or less at most. The center line average roughness can be 0.7 nm or less, which is more preferable.
【0065】そのガラス基板について、ガラス基板主成
分が、ソーダライムガラス、アルミノシリケートガラ
ス、アルミノボロシリケートガラス、ボロシリケートガ
ラスまたはジンクシリケートガラスのいずれかであるこ
とが好ましい。Regarding the glass substrate, it is preferable that the main component of the glass substrate is soda lime glass, aluminosilicate glass, aluminoborosilicate glass, borosilicate glass, or zinc silicate glass.
【0066】本発明はまた、情報記録媒体に関するもの
であり、上記のいずれかのガラス基板の表面に少なくと
も記録層が形成されている。磁気記録媒体の場合には、
下地層、磁気記録層、保護層、潤滑剤層がこの順に形成
されるのが一般的である。ガラス基板の平滑性、平坦度
が前述のように優れているので、これを用いた情報記録
媒体は、その高速回転性および高記録密度化を有利に展
開することができる。The present invention also relates to an information recording medium, in which at least a recording layer is formed on the surface of any of the above glass substrates. In the case of magnetic recording media,
Generally, an underlayer, a magnetic recording layer, a protective layer, and a lubricant layer are formed in this order. Since the glass substrate is excellent in smoothness and flatness as described above, the information recording medium using the same can advantageously develop its high-speed rotation property and high recording density.
【0067】[0067]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0068】(実施の形態1)図1は本発明の実施の形
態1におけるガラス基板の製造装置の構造を示す概略の
断面図である。(Embodiment 1) FIG. 1 is a schematic sectional view showing the structure of a glass substrate manufacturing apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
【0069】図1において、符号の1は成形機、2は成
形機筐体、3は金型駆動手段としての油圧シリンダ、4
は搬送手段である。10aは下側金型エレメント、10
bは上側金型エレメント、11a,11bは上下両金型
エレメント10a,10bそれぞれにおける冷却部材、
12a,12bは断熱部材、13a,13bは発熱ブロ
ック、14a,14bは発熱体(ヒータ)、15a,1
5bは均熱部材、16aは下金型、16bは上金型、1
7a,17bは金型固定リング、18は保温胴型、19
は規制リング、20a,20bは断熱部材、21a,2
1bは押圧手段としての圧縮ばねである。In FIG. 1, reference numeral 1 is a molding machine, 2 is a casing of the molding machine, 3 is a hydraulic cylinder as a mold driving means, and 4 is a hydraulic cylinder.
Is a conveying means. 10a is a lower mold element, 10
b is an upper mold element, 11a and 11b are cooling members in the upper and lower mold elements 10a and 10b, respectively.
12a and 12b are heat insulating members, 13a and 13b are heating blocks, 14a and 14b are heating elements (heaters), and 15a and 1
5b is a soaking member, 16a is a lower mold, 16b is an upper mold, 1
7a and 17b are mold fixing rings, 18 is a heat retaining cylinder type, 19
Is a restriction ring, 20a, 20b are heat insulating members, 21a, 2
Reference numeral 1b is a compression spring as a pressing means.
【0070】図2は下側金型エレメント10aにおける
下金型16a、均熱部材15aおよび発熱ブロック13
aの形状および配置を示す概略の平面図である。FIG. 2 shows a lower die 16a, a soaking member 15a and a heat generating block 13 in the lower die element 10a.
It is a schematic plan view which shows the shape and arrangement of a.
【0071】まず、下側金型エレメント10aの構造を
説明する。First, the structure of the lower mold element 10a will be described.
【0072】成形機筐体2のベース部2a上に環状の冷
却部材11aが固定され、冷却部材11a上に環状の断
熱部材12aが固定され、断熱部材12a上に円形の均
熱部材15aが固定され、均熱部材15a上に円形の下
金型16aが載置され、その下金型16aに外嵌係合す
る状態で金型固定リング17aが均熱部材15aに固定
され、この金型固定リング17aによって下金型16a
を固定し、下金型16aの成形部に外嵌合する状態で金
型固定リング17a上に保温胴型18が載置され、プレ
ス成形されるべきガラス基板の厚みを規制するための成
形厚さ規制リング19が保温胴型18に内嵌合して位置
規制された状態で下金型16a上に載置されている。そ
して、環状の冷却部材11aと環状の断熱部材12aの
内部空間において、均熱部材15aの下面に円形の発熱
ブロック13aが当接する状態で配置され、発熱ブロッ
ク13aの下面に断熱部材20aが当接する状態で配置
され、断熱部材20aとベース部2aとの間に複数の圧
縮ばね21aが介在されている。下金型16a、均熱部
材15a、発熱ブロック13a、断熱部材12a,20
a、冷却部材11aは互いに同軸状に配置されている。An annular cooling member 11a is fixed on the base 2a of the molding machine housing 2, an annular heat insulating member 12a is fixed on the cooling member 11a, and a circular heat equalizing member 15a is fixed on the heat insulating member 12a. The circular lower die 16a is placed on the heat equalizing member 15a, and the die fixing ring 17a is fixed to the heat equalizing member 15a in a state where the circular lower die 16a is externally fitted and engaged with the lower die 16a. Lower mold 16a by ring 17a
Is fixed, and the heat retaining cylinder die 18 is placed on the die fixing ring 17a in a state of being externally fitted to the forming portion of the lower die 16a, and the forming thickness for regulating the thickness of the glass substrate to be press-formed. The regulating ring 19 is mounted on the lower mold 16a in a state where the regulating ring 19 is fitted into the heat retaining cylinder mold 18 and the position thereof is regulated. Then, in the inner space of the annular cooling member 11a and the annular heat insulating member 12a, the circular heat generating block 13a is arranged in contact with the lower surface of the heat equalizing member 15a, and the heat insulating member 20a contacts the lower surface of the heat generating block 13a. The plurality of compression springs 21a are interposed between the heat insulating member 20a and the base portion 2a. Lower die 16a, heat equalizing member 15a, heat generating block 13a, heat insulating members 12a, 20
a and the cooling member 11a are arranged coaxially with each other.
【0073】次に、上側金型エレメント10bの構造を
説明する。Next, the structure of the upper mold element 10b will be described.
【0074】油圧シリンダ3におけるピストン体(シリ
ンダヘッド)3aの下面に環状の冷却部材11bが固定
され、冷却部材11bの下面に環状の断熱部材12bが
固定され、断熱部材12bの下面に均熱部材15bが固
定され、均熱部材15bの下面に上金型16bが当接さ
れ、その上金型16bに外嵌係合する状態で金型固定リ
ング17bが均熱部材15bに固定され、この金型固定
リング17bによって上金型16bを固定している。そ
して、環状の冷却部材11bと環状の断熱部材12bの
内部空間において、均熱部材15bの上面に発熱ブロッ
ク13bが載置され、発熱ブロック13bの上面に断熱
部材20bが載置され、断熱部材20bとピストン体3
aの下面との間に複数の圧縮ばね21bが介在されてい
る。上金型16b、均熱部材15b、発熱ブロック13
b、断熱部材12b,20b、冷却部材11bは互いに
同軸状に配置されている。An annular cooling member 11b is fixed to the lower surface of the piston body (cylinder head) 3a of the hydraulic cylinder 3, an annular heat insulating member 12b is fixed to the lower surface of the cooling member 11b, and a heat equalizing member is attached to the lower surface of the heat insulating member 12b. 15b is fixed, and the upper die 16b is brought into contact with the lower surface of the heat equalizing member 15b, and the die fixing ring 17b is fixed to the heat equalizing member 15b in a state of being externally fitted and engaged with the upper die 16b. The upper die 16b is fixed by the die fixing ring 17b. Then, in the inner space of the annular cooling member 11b and the annular heat insulating member 12b, the heat generating block 13b is placed on the upper surface of the heat equalizing member 15b, the heat insulating member 20b is placed on the upper surface of the heat generating block 13b, and the heat insulating member 20b. And piston body 3
A plurality of compression springs 21b are interposed between the lower surface of a and the compression spring 21b. Upper die 16b, heat equalizing member 15b, heat generating block 13
b, the heat insulating members 12b and 20b, and the cooling member 11b are arranged coaxially with each other.
【0075】ここで、上記の各固定は、ボルトによって
行われている。必要に応じて共締めを用いる。保温胴型
18は固定はせずに単に載置している。成形厚さ規制リ
ング19も同様である。Here, each of the above fixings is performed by a bolt. Use co-fastening if necessary. The heat retaining body mold 18 is not fixed and is simply placed. The same applies to the molding thickness control ring 19.
【0076】下側金型エレメント10aにおいて、均熱
部材15aは断熱部材12aおよび冷却部材11aを介
してベース部2aに固定されている。このようにして周
辺部が固定され、水平姿勢に支持された均熱部材15a
は、その周辺部より内側の箇所の下面に発熱ブロック1
3aが当接され、断熱部材20aを介して圧縮ばね21
aの付勢力によって発熱ブロック13aが均熱部材15
aに押圧されている。冷却部材11aおよび断熱部材1
2aを環状にしてあるのは、内側に発熱ブロック13
a、断熱部材20aおよび複数の圧縮ばね21aを配置
するためである。In the lower mold element 10a, the heat equalizing member 15a is fixed to the base portion 2a via the heat insulating member 12a and the cooling member 11a. In this way, the peripheral portion is fixed and the heat equalizing member 15a supported in a horizontal posture.
Is the heat generating block 1 on the lower surface inside the periphery
3a is in contact with the compression spring 21 through the heat insulating member 20a.
The heat generating block 13a is moved by the urging force of a.
It is pressed by a. Cooling member 11a and heat insulating member 1
The ring 2a has a heating block 13 inside.
This is because a, the heat insulating member 20a, and the plurality of compression springs 21a are arranged.
【0077】同様に、上側金型エレメント10bにおい
て、均熱部材15bは断熱部材12bおよび冷却部材1
1bを介してピストン体3aに固定されている。このよ
うにして周辺部が固定され、水平姿勢に支持された均熱
部材15bは、その周辺部より内側の箇所の上面に発熱
ブロック13bが当接され、断熱部材20bを介して圧
縮ばね21bの付勢力によって発熱ブロック13bが均
熱部材15bに押圧されている。冷却部材11bおよび
断熱部材12bを環状にしてあるのは、内側に発熱ブロ
ック13b、断熱部材20bおよび複数の圧縮ばね21
bを配置するためである。Similarly, in the upper mold element 10b, the heat equalizing member 15b includes the heat insulating member 12b and the cooling member 1.
It is fixed to the piston body 3a via 1b. The heat equalizing member 15b whose peripheral portion is fixed in this way and which is supported in a horizontal posture has the heat generating block 13b abutted on the upper surface of a portion inside the peripheral portion, and the compression spring 21b of the compression spring 21b is interposed via the heat insulating member 20b. The heat generating block 13b is pressed against the heat equalizing member 15b by the urging force. The cooling member 11b and the heat insulating member 12b are annular because the heat generating block 13b, the heat insulating member 20b and the plurality of compression springs 21 are provided inside.
This is because b is arranged.
【0078】下金型16aおよび上金型16bは、それ
ぞれ、その母材がタングステンカーバイト(WC)を主
成分とする超硬合金や石英ガラス等の、高温時の機械強
度に優れた材質のものとなっている。さらには、熱膨張
係数が小さいものが望ましい。下金型16aおよび上金
型16bそれぞれのプレス成形面16a1,16b1に
は、貴金属系金属または貴金属系合金の薄膜状の保護膜
が形成されている。その保護膜は、白金(Pt)、ルテ
ニウム(Ru)、イリジウム(Ir)等の貴金属系金属
または貴金属系合金の材料からなるターゲットをスパッ
タして形成されている。そのような保護膜により、高
温、高圧下でのプレス成形の繰返しによるプレス成形面
へのガラス素材の付着およびプレス成形面の面荒れによ
る表面平滑性の低下を防止する。磁気記録媒体用のガラ
ス基板用としては、この保護膜の平滑性は5nm以下が
適当である。このような平滑面は、酸化セリウムの微粒
子を用いた研磨によって得ることができる。The lower mold 16a and the upper mold 16b are each made of a material excellent in mechanical strength at high temperature, such as cemented carbide whose main material is tungsten carbide (WC) or quartz glass. It has become a thing. Furthermore, those having a small coefficient of thermal expansion are desirable. A thin protective film of a noble metal-based metal or a noble metal-based alloy is formed on the press molding surfaces 16a 1 and 16b 1 of the lower mold 16a and the upper mold 16b, respectively. The protective film is formed by sputtering a target made of a noble metal-based metal or a noble metal-based alloy material such as platinum (Pt), ruthenium (Ru), or iridium (Ir). Such a protective film prevents the glass material from adhering to the press-molded surface due to repeated press-molding under high temperature and high pressure and the deterioration of the surface smoothness due to the surface roughness of the press-molded surface. For a glass substrate for a magnetic recording medium, the protective film preferably has a smoothness of 5 nm or less. Such a smooth surface can be obtained by polishing with fine particles of cerium oxide.
【0079】断熱部材12a,12bおよび断熱部材2
0a,20bは、熱伝導率の低いセラミックなどの材料
から構成されている。Heat insulating members 12a and 12b and heat insulating member 2
0a and 20b are made of a material such as ceramic having a low thermal conductivity.
【0080】下側金型エレメント10aにおいて、均熱
部材15aは、下金型16aに対する均熱作用のため
に、その熱膨張係数が下金型16aと同一とされ、つま
りは下金型16aと同じ材質のもので構成されている。
これに対して、均熱部材15aと発熱ブロック13aと
は別の材質となっている。例えば、下金型16aがタン
グステンカーバイトなどの超硬合金の場合には均熱部材
15aも同一材質の超硬合金であるが、発熱ブロック1
3aは窒化アルミニウム(AlN)や炭化シリコン(S
iC)などの熱伝導率が高く高剛性の母材に発熱体14
aを内蔵させたものである。発熱体14aとして、図示
では直管状ヒータを複数平行に埋入したものを示してい
る。発熱体14aとしては、円板状のものがより好まし
い。In the lower die element 10a, the heat equalizing member 15a has the same coefficient of thermal expansion as that of the lower die 16a because of the soaking action on the lower die 16a. Composed of the same material.
On the other hand, the heat equalizing member 15a and the heat generating block 13a are made of different materials. For example, when the lower die 16a is a cemented carbide such as tungsten carbide, the heat equalizing member 15a is also a cemented carbide of the same material, but the heating block 1
3a is aluminum nitride (AlN) or silicon carbide (S
The heat generating element 14 is formed on the base material having high heat conductivity and high rigidity such as iC).
a is built in. As the heating element 14a, a plurality of straight tubular heaters embedded in parallel is shown in the figure. The heating element 14a is more preferably a disc-shaped one.
【0081】上記は下側金型エレメント10aにおいて
の説明であるが、上側金型エレメント10bにおいても
同様に当てはまる。Although the above description is for the lower mold element 10a, the same applies to the upper mold element 10b.
【0082】以上のように構成されたガラス基板の製造
装置の動作を以下に説明する。The operation of the glass substrate manufacturing apparatus configured as described above will be described below.
【0083】ガラス素材30は、成形機筐体2の内部に
装入されるに先立って、図示しない予備発熱ブロックに
より所定の温度に予備加熱されている。予備加熱された
ガラス素材30を搬送手段4の先端の吸着部4aに吸着
し、成形機筐体2の側壁部2cのシャッター22を開
け、開口部2dを通して搬送手段4を成形機筐体2の内
部に進入させ、先端の吸着部4aを下金型16aのプレ
ス成形面16a1の直上で停止させ、次いで下動させる
ことによりガラス素材30を下金型16aのプレス成形
面16a1上に載置する。そして、搬送手段4を上記と
逆の経路で開口部2dから外部へ退避させ、シャッター
22を閉じる。図3参照。The glass material 30 is preheated to a predetermined temperature by a preheating block (not shown) before being loaded into the casing 2 of the molding machine. The preheated glass material 30 is adsorbed to the adsorption portion 4a at the tip of the conveying means 4, the shutter 22 of the side wall 2c of the molding machine housing 2 is opened, and the conveying means 4 is moved to the molding machine housing 2 through the opening 2d. The glass material 30 is placed on the press-molding surface 16a 1 of the lower mold 16a by entering the inside, stopping the suction portion 4a at the tip immediately above the press-molding surface 16a 1 of the lower mold 16a, and then moving it downward. Place. Then, the transporting means 4 is retracted from the opening 2d to the outside by the route opposite to the above, and the shutter 22 is closed. See FIG.
【0084】成形機1は、加熱工程、プレス工程、冷却
工程をこの順に遂行する。以下、順を追って説明する。The molding machine 1 performs a heating process, a pressing process and a cooling process in this order. Hereinafter, description will be made step by step.
【0085】(1)加熱工程
予備加熱されたガラス素材30を下金型16aのプレス
成形面16a1に載置した状態で、油圧シリンダ3を伸
張駆動し、ピストン体3aとともに上側金型エレメント
10bを下動させ、上金型16bのプレス成形面16b
1をガラス素材30に接触させながら小さい力で押圧
し、プレス成形面16b1が所定の高さ位置に達した段
階でピストン体3aの下動を停止する。(1) Heating Step With the preheated glass material 30 placed on the press molding surface 16a 1 of the lower mold 16a, the hydraulic cylinder 3 is extended and driven, and the upper mold element 10b together with the piston body 3a. And press down to move the upper mold 16b to the press forming surface 16b.
The 1 is pressed against the glass material 30 with a small force, and the downward movement of the piston body 3a is stopped when the press molding surface 16b 1 reaches a predetermined height position.
【0086】そして、上下の金型エレメント10a,1
0bにおける発熱ブロック13a,13bの発熱体14
a,14bに対して通電を開始し、ガラス素材30に対
する加熱を開始する。図5に示すように、発熱ブロック
13a,13bの温度上昇の速度に比べて、ガラス素材
30の内部温度の上昇速度は遅い。発熱ブロック13
a,13bの温度が軟化点温度Ts以下の範囲で軟化点
温度近傍に設定された所定温度Toに達すると、発熱体
14a,14bに対する温度制御を、その所定温度To
を維持する状態に切り換える。遅れて、ガラス素材30
の内部温度が所定の成形温度Toに達する。ガラス素材
30の内部温度が所定の成形温度Toで安定した後にプ
レス工程に移行する。Then, the upper and lower mold elements 10a, 1
Heating element 14 of heating blocks 13a, 13b at 0b
Power supply to a and 14b is started, and heating of the glass material 30 is started. As shown in FIG. 5, the rate of increase of the internal temperature of the glass material 30 is slower than the rate of temperature increase of the heat generating blocks 13a and 13b. Heating block 13
When the temperature of a, 13b reaches the predetermined temperature To set near the softening point temperature within the range of the softening point temperature Ts or lower, the temperature control for the heating elements 14a, 14b is performed at the predetermined temperature To.
Switch to the state of maintaining. Late, glass material 30
The internal temperature of reaches the predetermined molding temperature To. After the internal temperature of the glass material 30 is stabilized at the predetermined molding temperature To, the press process is started.
【0087】この加熱工程において、熱膨張係数の相違
により均熱部材15a,15bと発熱ブロック13a,
13bとでは熱膨張量に差が生じる。従来技術のよう
に、両者をボルトなどの締結部材で締結していると、両
者間に隙間が発生し、発熱ブロックから均熱部材への熱
伝達性が悪化する。これに対して、本実施の形態におい
ては、圧縮ばね21a,21bによって発熱ブロック1
3a,13bを均熱部材15a,15bに押圧するよう
に構成してあるので、均熱部材15a,15bと発熱ブ
ロック13a,13bとの密着性を高度に保ったまま、
均熱部材15a,15bに対して発熱ブロック13a,
13bを両者の境界面に沿って相対的にずらすことがで
きる。これは、いわゆる“逃がし”である。これによ
り、境界面に隙間が生じることを回避することができ
る。その結果、発熱ブロック13a,13bから均熱部
材15a,15bを介しての金型16a,16bへの熱
伝達の性能が良好なものとなる。すなわち、発熱ブロッ
ク13a,13bの昇温速度に対する金型16a,16
bひいてはガラス素材30の昇温速度の追随性が良好な
ものとなる。また、加熱工程を開始してからプレス工程
に移行するまでの時間を従来技術に比べて大幅に短縮す
ることができる。In this heating step, the heat equalizing members 15a and 15b and the heat generating block 13a, due to the difference in the coefficient of thermal expansion,
13b has a difference in the amount of thermal expansion. When the two are fastened together with a fastening member such as a bolt as in the prior art, a gap is generated between the two and the heat transfer property from the heat generating block to the heat equalizing member is deteriorated. On the other hand, in the present embodiment, the heat generating block 1 is formed by the compression springs 21a and 21b.
Since 3a and 13b are configured to be pressed against the heat equalizing members 15a and 15b, while maintaining high adhesion between the heat equalizing members 15a and 15b and the heat generating blocks 13a and 13b,
The heat generating blocks 13a, 15b
13b can be relatively displaced along the boundary surface between the two. This is the so-called “escape”. As a result, it is possible to prevent a gap from being formed on the boundary surface. As a result, the performance of heat transfer from the heat generating blocks 13a and 13b to the molds 16a and 16b via the heat equalizing members 15a and 15b is improved. That is, the molds 16a, 16 are controlled with respect to the heating rate of the heat generating blocks 13a, 13b.
b. Consequently, the followability of the temperature rising rate of the glass material 30 becomes good. In addition, the time from the start of the heating step to the shift to the pressing step can be significantly shortened as compared with the prior art.
【0088】(2)プレス工程
図4に示すように、油圧シリンダ3にピストン体3aを
さらに伸張駆動して、所定温度Toにおけるガラス素材
30を加熱加圧する。この状態では、発熱ブロック13
a,13bの発熱体14a,14bを温度制御して所定
の成形温度Toが維持されるようにする。ピストン体3
aの伸張駆動は、上金型16bのプレス成形面16b1
が規制リング19に当接して位置規制されるまで行う。
これにより、得られるガラス成形体の厚みが決定され
る。ガラス素材30は、位置固定の下金型16aのプレ
ス成形面16a1と下動する上金型16bのプレス成形
面16b1とで強力に挟持され加圧力により変形され
る。このようにしてガラス素材30に対する加熱加圧の
プレス成形が完了すると、次に冷却工程に移行する。(2) Pressing Step As shown in FIG. 4, the piston body 3a is further extended and driven in the hydraulic cylinder 3 to heat and press the glass material 30 at the predetermined temperature To. In this state, the heat generating block 13
The heating elements 14a and 14b of a and 13b are temperature-controlled so that a predetermined molding temperature To is maintained. Piston body 3
The extension drive of a is performed by the press forming surface 16b 1 of the upper die 16b.
Is brought into contact with the regulation ring 19 to regulate the position.
Thereby, the thickness of the obtained glass molded body is determined. Glass material 30 is deformed by the pressing force is strongly held between the press forming surface 16b 1 of the upper mold 16b to move downward and press-molding surface 16a 1 of the lower die 16a of the stationary. When the press forming of the glass material 30 with heating and pressurization is completed in this way, a cooling step is performed next.
【0089】(3)冷却工程
発熱体14a,14bに対する通電を停止して加熱を停
止するとともに、油圧シリンダ3のピストン体3aによ
る加圧力を少し減じる。上下の金型エレメント10a,
10bにおける各構成要素での自然放冷を行い、成形に
よって得られたガラス成形体を降温し冷却する。冷却工
程においては、発熱ブロック13a,13bの降温に比
べて、ガラス成形体の降温が遅れる。ガラス成形体の内
部温度が、転移点温度Tgよりも低く設定されたガラス
歪点Ps以下に達した段階で、油圧シリンダ3のピスト
ン体3aを収縮駆動し、上側金型エレメント10bを上
昇させて型開きを行う。(3) Cooling Step Heating is stopped by stopping energization to the heating elements 14a and 14b, and the pressure applied by the piston body 3a of the hydraulic cylinder 3 is slightly reduced. Upper and lower mold elements 10a,
Natural cooling is performed on each component in 10b, and the glass molded body obtained by molding is cooled and cooled. In the cooling step, the temperature decrease of the glass molded body is delayed as compared with the temperature decrease of the heat generating blocks 13a and 13b. When the internal temperature of the glass molded body reaches the glass strain point Ps or lower, which is set lower than the transition temperature Tg, the piston body 3a of the hydraulic cylinder 3 is contractively driven to raise the upper mold element 10b. Open the mold.
【0090】冷却工程が終了し、型開きが行われると、
ガラス成形体の排出を行う。シャッター22を開き、搬
送手段4を開口部2dから進入させ、先端部にガラス成
形体を吸着し、開口部2dから退避させる。When the cooling process is completed and the mold is opened,
Eject the glass molding. The shutter 22 is opened, the conveying means 4 is made to enter through the opening 2d, the glass molded body is adsorbed to the tip portion, and the glass molding is retracted from the opening 2d.
【0091】続いては、次のガラス素材30を搬送手段
4により搬入し、上記と同様の処理を繰り返す。Subsequently, the next glass material 30 is carried in by the carrying means 4, and the same processing as described above is repeated.
【0092】上記の加熱工程からプレス工程にかけて、
金型16a,16bのプレス成形面16a1,16b1に
おける温度分布を金型16a,16bの中心に関して軸
対称な温度分布としてあるので、ガラス成形体の形状は
軸対称形となる。これは、得られたガラス基板を用いて
製造する磁気記録媒体において、磁気ヘッドの浮上特性
を良好なものとなす。From the above heating step to the pressing step,
Since the temperature distributions on the press molding surfaces 16a 1 and 16b 1 of the molds 16a and 16b are axially symmetrical with respect to the centers of the molds 16a and 16b, the shape of the glass molded body is axially symmetrical. This makes the flying characteristics of the magnetic head excellent in the magnetic recording medium manufactured using the obtained glass substrate.
【0093】(実施例1)次に、本発明の磁気記録媒体
の製造方法につい図1から図3により具体的に説明す
る。(Example 1) Next, a method of manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention will be specifically described with reference to FIGS.
【0094】成形素材30はガラス素材である。このガ
ラス素材30として、アルミノシリケートガラスを用い
た。アルミノシリケートガラスにおいては、その転移点
温度Tg=460℃、軟化点温度Ts=580℃、線膨
張係数α=95×10-7/℃である。このアルミノシリ
ケートガラスの重量は6.5g±0.5g、外径は2
2.3mm±0.3mm、厚みは8mm±0.5mmで
あった。The molding material 30 is a glass material. As the glass material 30, aluminosilicate glass was used. In the aluminosilicate glass, the transition point temperature Tg is 460 ° C., the softening point temperature Ts is 580 ° C., and the linear expansion coefficient α is 95 × 10 −7 / ° C. The weight of this aluminosilicate glass is 6.5 g ± 0.5 g, and the outer diameter is 2
The thickness was 2.3 mm ± 0.3 mm and the thickness was 8 mm ± 0.5 mm.
【0095】図5に示すように、成形条件として、ガラ
ス素材に対する予備加熱温度は300℃、金型16a,
16bは300℃から昇温して570℃に維持する。昇
温開始から13分後にプレス工程を開始し、成形圧力を
15,000Kg(390Kg/cm2)とし、成形時間を
3分とした。また、冷却工程においては、プレス圧力を
10,000Kg(260Kg/cm2)とし、発熱体14
a,14bの温度モニターが300℃を示すまで冷却し
た。As shown in FIG. 5, as the molding conditions, the preheating temperature for the glass material was 300 ° C., the mold 16a,
16b is heated from 300 ° C. and maintained at 570 ° C. The pressing step was started 13 minutes after the start of the temperature rise, the molding pressure was set to 15,000 Kg (390 Kg / cm 2 ), and the molding time was set to 3 minutes. In the cooling step, the press pressure was set to 10,000 kg (260 kg / cm 2 ) and the heating element 14
It cooled until the temperature monitor of a, 14b showed 300 degreeC.
【0096】このようにして得られた磁気記録媒体用の
ガラス基板において、その外径は70mm、厚みは0.
635mmであった。The glass substrate for a magnetic recording medium thus obtained had an outer diameter of 70 mm and a thickness of 0.
It was 635 mm.
【0097】そのガラス基板の平滑性はRa=0.5n
m±0.2nmであり、金型16a,16bのプレス成
形面16a1,16b1の平滑性がほぼそのまま転写され
ること確認した。The smoothness of the glass substrate was Ra = 0.5n.
It was m ± 0.2 nm, and it was confirmed that the smoothness of the press molding surfaces 16a 1 and 16b 1 of the dies 16a and 16b was transferred almost as it was.
【0098】(実施の形態2)図6は本発明の実施の形
態2におけるガラス基板の製造装置を示す概略図であ
る。図6において、実施の形態1の図1におけるのと同
じ符号は同一構成要素を指しているので、詳しい説明は
省略する。図7は下側金型エレメント10aにおける下
金型16a、均熱部材15aおよび発熱ブロック13a
の形状および配置を示す概略の平面図である。図8はプ
レス工程の概略図である。(Second Embodiment) FIG. 6 is a schematic view showing an apparatus for manufacturing a glass substrate according to a second embodiment of the present invention. 6, since the same reference numerals as those in FIG. 1 of the first embodiment refer to the same constituent elements, detailed description thereof will be omitted. FIG. 7 shows a lower die 16a, a heat equalizing member 15a and a heat generating block 13a in the lower die element 10a.
It is a schematic plan view showing the shape and arrangement of the. FIG. 8 is a schematic view of the pressing process.
【0099】以下、実施の形態2において実施の形態1
と異なっている構成を中心に説明する。Hereinafter, in the second embodiment, the first embodiment will be described.
The description will focus on the configuration that is different from.
【0100】下側金型エレメント10aにおいて、発熱
ブロック13aおよび断熱部材20aの中心部にそれぞ
れ貫通孔13a1,20a1が形成されている。その貫通
孔13a1,20a1に挿通された支持部材23aが成形
機筐体2のベース部2aと均熱部材15aとの間に介在
されている。つまり、支持部材23aによって均熱部材
15aを支え、プレス工程において強力なプレス力で均
熱部材15aが変形することを防止している。支持部材
23aは断熱部材から構成されているが、上側を断熱部
材にし、下側を冷却部材としてもよい。In the lower mold element 10a, through holes 13a 1 and 20a 1 are formed in the central portions of the heat generating block 13a and the heat insulating member 20a, respectively. The support member 23a inserted into the through holes 13a 1 and 20a 1 is interposed between the base portion 2a of the molding machine housing 2 and the heat equalizing member 15a. That is, the soaking member 15a is supported by the supporting member 23a, and the soaking member 15a is prevented from being deformed by a strong pressing force in the pressing process. The support member 23a is composed of a heat insulating member, but the upper side may be a heat insulating member and the lower side may be a cooling member.
【0101】同様に、上側金型エレメント10bにおい
て、発熱ブロック13bおよび断熱部材20bの中心部
にそれぞれ貫通孔13b1,20b1が形成されている。
その貫通孔13b1,20b1に挿通された支持部材23
bがピストン体3aと均熱部材15bとの間に介在され
ている。つまり、支持部材23bによって均熱部材15
bを支え、プレス工程において強力なプレス力で均熱部
材15bが変形することを防止している。支持部材23
bは断熱部材から構成されているが、下側を断熱部材に
し、上側を冷却部材としてもよい。Similarly, in the upper mold element 10b, through holes 13b 1 and 20b 1 are formed in the central portions of the heat generating block 13b and the heat insulating member 20b, respectively.
Support member 23 inserted into the through holes 13b 1 and 20b 1
b is interposed between the piston body 3a and the heat equalizing member 15b. That is, the soaking member 15 is supported by the supporting member 23b.
It supports b and prevents the soaking member 15b from being deformed by a strong pressing force in the pressing process. Support member 23
Although b is composed of a heat insulating member, the lower side may be a heat insulating member and the upper side may be a cooling member.
【0102】本実施の形態2においては、支持部材23
a,23bを追加してあるので、プレス工程において型
締めの際に極めて大きなプレス力を印加しても、これに
対抗でき、均熱部材15a,15bおよび金型16a,
16bの変形を防止することができる。このことは、最
大プレス力の増大化を許容することになり、プレス成形
可能なガラス基板の大径化を有利に展開する。In the second embodiment, the support member 23
Since a and 23b are added, even if an extremely large pressing force is applied during mold clamping in the pressing process, this can be counteracted, and the heat equalizing members 15a and 15b and the mold 16a,
The deformation of 16b can be prevented. This allows an increase in the maximum pressing force, which advantageously develops a press-moldable glass substrate having a large diameter.
【0103】なお、上記各実施の形態では押圧手段とし
て圧縮ばねを用いた場合を説明したが、本発明はこれに
限定されるものでなく、板ばねを利用した押圧手段を用
いてもよい。また、油圧シリンダやエアシリンダを用い
てもよい。ばねを用いる場合には、発熱ブロックを均熱
部材に押圧する作用が常時的となるが、必ずしも常時的
である必要性はなく、少なくとも加熱工程で押圧作用を
発揮すればよい。したがって、シリンダとする場合に
は、少なくとも加熱工程で伸張動作を行わせるように構
成すればよい。もっとも、加熱工程からプレス工程にか
けて伸張動作を継続させてもよいし、さらには、冷却工
程でも伸張動作を継続してもよい。In each of the above embodiments, the case where the compression spring is used as the pressing means has been described, but the present invention is not limited to this, and a pressing means using a leaf spring may be used. Alternatively, a hydraulic cylinder or an air cylinder may be used. When a spring is used, the action of pressing the heat generating block against the heat equalizing member is constant, but it is not necessarily required to be constant, and the pressing action may be exhibited at least in the heating step. Therefore, when a cylinder is used, it may be configured so that the stretching operation is performed at least in the heating step. However, the stretching operation may be continued from the heating step to the pressing step, and further, the stretching operation may be continued even in the cooling step.
【0104】[0104]
【発明の効果】本発明によれば、発熱ブロックと金型と
の間に均熱部材を介在させて成形素材のプレス成形を行
うにおいて、熱膨張係数の相違から熱膨張量が発熱ブロ
ックと均熱部材とで相違していても、発熱ブロックを均
熱部材に押圧することにより、発熱ブロックの変形を防
止し、発熱ブロックと均熱部材との間に隙間が生じるこ
とを抑制する。すなわち、少なくとも加熱工程では均熱
部材に対する発熱ブロックの密着性を確保し、発熱ブロ
ックから均熱部材への、ひいては金型および成形素材へ
の熱伝導を効率良く行わせることができる。つまり、発
熱ブロックの昇温速度に対する金型がひいては成形素材
の昇温速度の追随性が改善される。According to the present invention, when press-molding a molding material with a heat equalizing member interposed between the heat generating block and the mold, the amount of thermal expansion is equal to that of the heat generating block due to the difference in thermal expansion coefficient. Even if the heating member is different from the heating member, the heating block is pressed against the heating member to prevent the heating block from being deformed and to prevent a gap from being generated between the heating block and the heating member. That is, at least in the heating step, the adhesion of the heat generating block to the heat equalizing member can be secured, and heat can be efficiently conducted from the heat generating block to the heat equalizing member, and further to the mold and the molding material. That is, the followability of the temperature rise rate of the molding material with respect to the temperature rise rate of the heat generating block and the molding material is improved.
【0105】したがって、加熱工程において金型を所定
温度にまで昇温するのに要する時間を短縮化することが
できる。また、発熱ブロックから均熱部材を介しての金
型への熱伝導性が良好であることから、成形品品質の改
善を有利に展開することができる。そして、昇温の追随
特性が優れていることから、エネルギー消費を大きく削
減することができる。したがって、基板製造を優れたコ
ストパフォーマンスのもとに遂行することができるに至
った。Therefore, the time required for raising the temperature of the mold to the predetermined temperature in the heating step can be shortened. Further, since the heat conductivity from the heat generating block to the mold via the soaking member is good, the quality of the molded product can be improved advantageously. Further, since the follow-up characteristic of temperature rise is excellent, it is possible to greatly reduce energy consumption. Therefore, it is possible to manufacture the substrate with excellent cost performance.
【図1】本発明の実施の形態1におけるガラス基板の製
造装置の概略断面図FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a glass substrate manufacturing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
【図2】実施の形態1のガラス基板の製造装置におい
て、下側金型エレメントでの下金型、均熱部材および発
熱ブロックの配置を示す概略平面図FIG. 2 is a schematic plan view showing the arrangement of a lower mold, a heat equalizing member, and a heat generating block in the lower mold element in the glass substrate manufacturing apparatus according to the first embodiment.
【図3】実施の形態1におけるガラス基板の製造装置の
加熱工程の状態を示す概略断面図FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing a state of a heating step of the glass substrate manufacturing apparatus in the first embodiment.
【図4】実施の形態1におけるガラス基板の製造装置の
プレス工程の状態を示す概略断面図FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a state of a pressing step of the glass substrate manufacturing apparatus in the first embodiment.
【図5】本発明の実施の形態1におけるガラス素材成形
の温度プロファイルFIG. 5 is a temperature profile of glass material molding according to Embodiment 1 of the present invention.
【図6】本発明の実施の形態2におけるガラス基板の製
造装置の概略断面図FIG. 6 is a schematic sectional view of a glass substrate manufacturing apparatus according to a second embodiment of the present invention.
【図7】実施の形態2のガラス基板の製造装置におい
て、下側金型エレメントでの下金型、均熱部材および発
熱ブロックの配置を示す概略平面図FIG. 7 is a schematic plan view showing the arrangement of a lower mold, a heat equalizing member and a heat generating block in the lower mold element in the glass substrate manufacturing apparatus according to the second embodiment.
【図8】実施の形態1におけるガラス基板の製造装置の
プレス工程の状態を示す概略断面図FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing a state of a pressing step of the glass substrate manufacturing apparatus in the first embodiment.
【図9】従来技術におけるガラス基板の製造装置の要部
の概略断面図FIG. 9 is a schematic cross-sectional view of a main part of a glass substrate manufacturing apparatus in the related art.
【図10】従来技術におけるボルトの配置を示す概略平
面図FIG. 10 is a schematic plan view showing the arrangement of bolts in the related art.
【図11】従来技術におけるガラス素材成形の温度プロ
ファイルFIG. 11: Temperature profile of glass material molding in the prior art
【図12】従来技術における問題点を指摘するための概
略断面図FIG. 12 is a schematic cross-sectional view for pointing out a problem in the conventional technique.
1…成形機 2…成形機筐体 3…油圧シリンダ(金型駆動手段) 4…搬送手段 10a…下側金型エレメント 10b…上側金型エレメント 11a,11b…冷却部材 12a,12b…断熱部材 13a,13b…発熱ブロック 13a1,13b1…貫通孔 14a,14b…発熱体(ヒータ) 15a,15b…均熱部材 16a…下金型 16b…上金型 16a1,16b1…プレス成形面 17a,17b…金型固定リング 18…保温胴型 19…規制リング 20a,20b…断熱部材 20a1,20b1…貫通孔 21a,21b…圧縮ばね(押圧手段) 22…シャッター 23a,23b…支持部材 30…ガラス素材DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Molding machine 2 ... Molding machine housing 3 ... Hydraulic cylinder (mold drive means) 4 ... Conveying means 10a ... Lower mold element 10b ... Upper mold elements 11a, 11b ... Cooling members 12a, 12b ... Thermal insulation member 13a , 13b ... heating block 13a 1, 13b 1 ... through hole 14a, 14b ... heating element (heater) 15a, 15b ... soaking member 16a ... lower die 16b ... upper die 16a 1, 16b 1 ... press forming surface 17a, 17b ... die fastening ring 18 ... insulation barrel die 19 ... restricting ring 20a, 20b ... heat insulating member 20a 1, 20b 1 ... through hole 21a, 21b ... compression spring (pressing means) 22 ... shutter 23a, 23b ... support member 30 ... Glass material
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 貝沼 研吾 神奈川県川崎市川崎区田辺新田1番1号 富士電機株式会社内 Fターム(参考) 5D006 CB04 DA03 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Kengo Kainuma 1-1 Tanabe Nitta, Kawasaki-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Within Fuji Electric Co., Ltd. F-term (reference) 5D006 CB04 DA03
Claims (18)
態で、発熱ブロックの駆動により均熱部材を介して少な
くとも一方の金型を所定温度に加熱する加熱工程と、一
対の金型を相対的に接近させて成形素材を加圧成形する
プレス工程とを含む基板の製造方法において、少なくと
も前記加熱工程では前記発熱ブロックをその背後から前
記均熱部材に密着するように押圧して熱伝達を行うこと
を特徴とする基板の製造方法。1. A heating step of heating at least one of the molds to a predetermined temperature via a heat equalizing member by driving a heat generating block while sandwiching the molding material between the pair of molds, and the pair of molds are opposed to each other. In the method for manufacturing a substrate, which includes a pressing step of press-forming a molding material by closely approaching each other, at least in the heating step, the heat generating block is pressed from behind so as to be in close contact with the heat equalizing member to transfer heat. A method for manufacturing a substrate, which is performed.
て、前記所定温度が前記成形素材の軟化点温度以下の範
囲で軟化点温度近傍に設定されており、前記加熱工程で
は、前記発熱ブロックの発熱を前記軟化点温度近傍の所
定温度に昇温するまで行い、所定温度に達した段階でそ
の所定温度を維持した上で前記プレス工程に進むことを
特徴とする基板の製造方法。2. The substrate manufacturing method according to claim 1, wherein the predetermined temperature is set near a softening point temperature within a range of the softening point temperature of the molding material or lower, and in the heating step, the heat generating block is used. Is carried out until the temperature rises to a predetermined temperature near the softening point temperature, and when the predetermined temperature is reached, the predetermined temperature is maintained and then the pressing step is performed.
て、前記成形素材の温度が前記軟化点温度近傍の所定温
度またはその近傍に達した後に前記プレス工程に進むこ
とを特徴とする基板の製造方法。3. The method of manufacturing a substrate according to claim 2, wherein the temperature of the forming material reaches a predetermined temperature near the softening point temperature or a temperature near the predetermined temperature, and then the pressing step is performed. Production method.
記載の基板の製造方法において、前記加熱工程での前記
金型の成形面における温度分布を前記金型の中心に関し
て軸対称な温度分布とすることを特徴とする基板の製造
方法。4. The method for manufacturing a substrate according to claim 1, wherein the temperature distribution on the molding surface of the mold in the heating step is an axially symmetric temperature with respect to the center of the mold. A method for manufacturing a substrate, which is characterized by a distribution.
記載の基板の製造方法において、前記発熱ブロックを前
記均熱部材に押圧するに、付勢をもって押圧することを
特徴とする基板の製造方法。5. The method of manufacturing a substrate according to claim 1, wherein the heat generating block is pressed against the heat equalizing member with a bias. Production method.
記載の基板の製造方法において、前記発熱ブロックに対
する押圧箇所が部分的である場合に、少なくとも前記プ
レス工程において、前記均熱部材の変形に対抗するため
に前記均熱部材をその背後から支持することを特徴とす
る基板の製造方法。6. The method for manufacturing a substrate according to claim 1, wherein when the pressing portion against the heat generating block is partial, at least in the pressing step, A method for manufacturing a substrate, characterized in that the heat equalizing member is supported from behind to resist deformation.
記載の基板の製造方法において、前記プレス工程の次
に、前記発熱ブロックの駆動を停止するとともに、前記
加熱工程での前記一対の金型による前記成形素材に対す
る加圧力より小さい加圧力で前記成形素材を加圧する状
態を維持しつつ前記成形素材の降温を行う冷却工程を有
することを特徴とする基板の製造方法。7. The method of manufacturing a substrate according to claim 1, wherein, after the pressing step, driving of the heat generating block is stopped and the pair of the heating step is performed in the heating step. A method for manufacturing a substrate, comprising a cooling step of lowering the temperature of the molding material while maintaining a state in which the molding material is pressed with a pressure smaller than a pressure applied to the molding material by a mold.
記載の基板の製造方法において、前記成形素材としてガ
ラス素材を対象としてガラス基板を製造することを特徴
とする基板の製造方法。8. The method of manufacturing a substrate according to claim 1, wherein the glass substrate is manufactured using a glass material as the molding material.
て、前記金型としてタングステンカーバイトを主成分と
する超硬合金製の金型を用い、前記発熱ブロックとして
窒化アルミニウム製または炭化シリコン製の発熱ブロッ
クを用い、前記均熱部材として前記金型と同じ超硬合金
製の均熱部材を用いることを特徴とする基板の製造方
法。9. The method of manufacturing a substrate according to claim 8, wherein a die made of a cemented carbide containing tungsten carbide as a main component is used as the die, and the heating block is made of aluminum nitride or silicon carbide. 2. The method for manufacturing a substrate, wherein the heat generating block is used, and as the soaking member, a soaking member made of the same cemented carbide as the die is used.
いて、前記発熱ブロックをその背後から押圧する加圧力
を0.5〜2.5kg/cm2、好ましくは、1.0〜
2.0kg/cm2とすることを特徴とする基板の製造
方法。10. The method for manufacturing a substrate according to claim 9, wherein the pressing force for pressing the heat generating block from behind is 0.5 to 2.5 kg / cm 2 , and preferably 1.0 to
A method for manufacturing a substrate, which is 2.0 kg / cm 2 .
して、前記発熱ブロックと前記金型との間に均熱部材を
介在させて前記熱伝達を行う金型加熱方法において、前
記発熱ブロックをその背後から前記均熱部材に密着する
ように押圧して熱伝達を行うことを特徴とする金型加熱
方法。11. A method of heating a mold, wherein a heat equalizing member is interposed between the heat generating block and the mold to transfer the heat from the heat generating block to the mold. A method for heating a mold, characterized by pressing from the back so as to be in close contact with the soaking member to transfer heat.
の金型と、前記一対の金型のうち少なくとも一方を加熱
する発熱ブロックと、前記発熱ブロックと前記金型との
間に介在された均熱部材と、前記一対の金型を相対的に
接近離間させる金型駆動手段とを備えた基板の製造装置
において、前記発熱ブロックをその背後から前記均熱部
材に密着するように押圧する押圧手段を備えていること
を特徴とする基板の製造装置。12. A pair of molds for molding a molding material by heating and pressurizing, a heat generating block for heating at least one of the pair of molds, and a heat generating block interposed between the heat generating block and the mold. In a substrate manufacturing apparatus including a heat equalizing member and a mold driving unit that relatively moves the pair of molds toward and away from each other, a press for pressing the heat generating block from behind so as to closely contact the heat equalizing member. An apparatus for manufacturing a substrate, which is provided with a means.
おいて、前記押圧手段が圧縮ばねなどの付勢手段である
ことを特徴とする基板の製造装置。13. The substrate manufacturing apparatus according to claim 12, wherein the pressing means is a biasing means such as a compression spring.
基板の製造装置において、前記発熱ブロックは円形であ
り、その円形の発熱ブロックの中心が前記金型の中心と
同軸状に配されていることを特徴とする基板の製造装
置。14. The substrate manufacturing apparatus according to claim 12 or 13, wherein the heat generating block is circular, and the center of the circular heat generating block is arranged coaxially with the center of the mold. A substrate manufacturing apparatus characterized by the above.
基板の製造装置において、前記発熱ブロックはその中心
部に貫通孔が形成されており、その発熱ブロックの中心
が前記金型の中心と同軸状に配され、前記均熱部材の変
形に対抗するために前記貫通孔に挿通されて前記均熱部
材をその背後から支持する支持部材を備えていることを
特徴とする基板の製造装置。15. The substrate manufacturing apparatus according to claim 12 or 13, wherein the heat generating block has a through hole formed in the center thereof, and the center of the heat generating block is coaxial with the center of the mold. An apparatus for manufacturing a substrate, comprising: a support member that is arranged in a circular shape and is inserted into the through hole to counter the deformation of the heat equalizing member and supports the heat equalizing member from behind.
m以下、好ましくは、0.7nm以下となっているガラ
ス基板。16. Even if the center line average roughness is large, 1.0n
A glass substrate having a thickness of m or less, preferably 0.7 nm or less.
て、前記ガラス基板主成分が、ソーダライムガラス、ア
ルミノシリケートガラス、アルミノボロシリケートガラ
ス、ボロシリケートガラスまたはジンクシリケートガラ
スのいずれかである情報記録媒体用のガラス基板。17. The glass substrate according to claim 16, wherein the main component of the glass substrate is soda lime glass, aluminosilicate glass, aluminoborosilicate glass, borosilicate glass or zinc silicate glass. A glass substrate for recording media.
が形成されてなる情報記録媒体であって、前記ガラス基
板が請求項16または請求項17に記載のガラス基板で
構成されている情報記録媒体。18. An information recording medium in which at least a recording layer is formed on the surface of a glass substrate, wherein the glass substrate comprises the glass substrate according to claim 16 or 17.
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