JP2003090774A - Torque sensor - Google Patents

Torque sensor

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JP2003090774A
JP2003090774A JP2001284644A JP2001284644A JP2003090774A JP 2003090774 A JP2003090774 A JP 2003090774A JP 2001284644 A JP2001284644 A JP 2001284644A JP 2001284644 A JP2001284644 A JP 2001284644A JP 2003090774 A JP2003090774 A JP 2003090774A
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JP
Japan
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magnetic
magnetic body
portions
protrusion
torque sensor
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Pending
Application number
JP2001284644A
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Japanese (ja)
Inventor
Koji Nishi
幸二 西
Takashi Asano
貴嗣 浅野
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Toyoda Koki KK
Original Assignee
Toyoda Koki KK
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a torque sensor which has a large detection output and stable quality, and which can be manufacturable at a low cost and can ensure stable steering performance. SOLUTION: A first and second sensor rings 2, 6, are extended in the circumferential direction cylindrically around a torsion bar 90, teeth 3a, 5a, are formed in combteeth shape on the outside of the first sensor ring 2, and teeth 7a, 9a, 11a facing the first sensor ring 2 in the radial direction are formed like combteeth on the inside of the second sensor ring 6. The first and second sensor rings 2, 6 and a third magnetic body 60 have their respective magnetic parts 3, etc., magnetically divided in the axial direction by a PBT-made nonconductive magnetic part 4, etc. The first sensor ring 2 and the third magnetic body 60 have two magnetic parts 3, etc. The magnetic parts 12 of the third magnetic body 60 house coils 14, 17, respectively.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電動パワーステア
リング等に利用可能なトルクセンサに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a torque sensor applicable to electric power steering and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、図10に示すように、特開200
0−146722号公報記載のトルクセンサが知られて
いる。このトルクセンサでは、トーションバー90が軸
方向に延在されており、このトーションバー90の上端
にはトーションバー90と同軸をなす第1軸としての中
空の入力シャフト91がピン96により連結されてい
る。この入力シャフト91の上部には図示しない車両の
操舵ハンドルが連結されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in FIG.
A torque sensor disclosed in Japanese Patent Publication No. 0-146722 is known. In this torque sensor, a torsion bar 90 extends in the axial direction, and a hollow input shaft 91 as a first shaft coaxial with the torsion bar 90 is connected to the upper end of the torsion bar 90 by a pin 96. There is. A steering wheel (not shown) of the vehicle is connected to the upper portion of the input shaft 91.

【0003】また、トーションバー90の下端にはトー
ションバー90及び入力シャフト91と同軸をなす第2
軸としての中空の出力シャフト92がスプライン嵌合及
び圧入により連結され、出力シャフト92の下部にはピ
ニオン92aが一体に形成されている。
At the lower end of the torsion bar 90, there is provided a second shaft coaxial with the torsion bar 90 and the input shaft 91.
A hollow output shaft 92 as a shaft is connected by spline fitting and press fitting, and a pinion 92a is integrally formed at a lower portion of the output shaft 92.

【0004】これら入力シャフト91及び出力シャフト
92の外周にはベアリング95a、95bを介してアッ
パーハウジング93及びアンダーハウジング94が設け
られており、アンダーハウジング94内には出力シャフ
ト92のピニオン92aと噛合するラック81が保持さ
れている。このラック81には操舵力をアシストする図
示しないモータが設けられている。
An upper housing 93 and an under housing 94 are provided on the outer circumferences of the input shaft 91 and the output shaft 92 via bearings 95a and 95b, and the under housing 94 meshes with a pinion 92a of the output shaft 92. The rack 81 is held. This rack 81 is provided with a motor (not shown) that assists the steering force.

【0005】アッパーハウジング93内では、磁性材料
からなる第1磁性体としての第1センサリング97が入
力シャフト91に固定されている。この第1センサリン
グ97は、図11に示すように、トーションバー90を
囲む円周方向に延在する円筒状をなしており、第1セン
サリング97の下端面には櫛歯状をなす第1突起として
多数の矩形状の歯部97aが形成されている。
In the upper housing 93, a first sensor ring 97 as a first magnetic body made of a magnetic material is fixed to the input shaft 91. As shown in FIG. 11, the first sensor ring 97 has a cylindrical shape that extends in the circumferential direction surrounding the torsion bar 90, and the lower end surface of the first sensor ring 97 has a comb-teeth shape. Many rectangular tooth portions 97a are formed as one protrusion.

【0006】また、アッパーハウジング93内では、図
10に示すように、磁性材料からなる第2磁性体として
の第2センサリング98が出力シャフト92に固定され
ている。この第2センサリング98も、図11に示すよ
うに、トーションバー90を囲む円周方向に延在する円
筒状をなしており、第2センサリング98の上端面には
櫛歯状をなす第2突起として多数の矩形状の歯部98a
が形成されている。各歯部98aは軸方向で間隙を有し
つつ各歯部97aと位相のずれを有して対面している。
Further, in the upper housing 93, as shown in FIG. 10, a second sensor ring 98 as a second magnetic body made of a magnetic material is fixed to the output shaft 92. As shown in FIG. 11, the second sensor ring 98 also has a cylindrical shape extending in the circumferential direction surrounding the torsion bar 90, and the upper end surface of the second sensor ring 98 has a comb-teeth shape. Many rectangular teeth 98a as two protrusions
Are formed. Each tooth portion 98a faces each tooth portion 97a with a phase shift while having a gap in the axial direction.

【0007】さらに、アッパーハウジング93内には、
図10に示すように、第1、2センサリング97、98
に外周側から対面するコイル99が固定されている。ま
た、このコイル99を囲包し、第1、2センサリング9
7、98とともに磁気回路を形成すべく、第3磁性体と
してのガイド85及びスペーサ86が固定されている。
そして、コイル99はインターフェース回路(以下、I
/F回路という。)80に接続されており、I/F回路
80は図示しないマイクロコンピュータ(以下、マイコ
ンという。)に接続されている。
Further, in the upper housing 93,
As shown in FIG. 10, the first and second sensor rings 97, 98.
A coil 99 facing from the outer peripheral side is fixed to. Further, the coil 99 is surrounded and the first and second sensor rings 9 are enclosed.
A guide 85 and a spacer 86 as a third magnetic body are fixed so as to form a magnetic circuit with 7, 98.
The coil 99 is an interface circuit (hereinafter, I
/ F circuit. ) 80, and the I / F circuit 80 is connected to a microcomputer (not shown) (not shown).

【0008】このトルクセンサでは、車両の操舵ハンド
ルの操作により、入力シャフト91にトルクが伝わる
と、トーションバー90がねじれることにより、入力シ
ャフト91と出力シャフト92との間で相対変位を生じ
る。これにより、第1、2センサリング97、98の歯
部97a、98aの対面面積が変化し、コイル99のイ
ンダクタンスが変化する。このインダクタンスの変化が
I/F回路80を介してマイコンに入力される。このた
め、このトルクセンサが採用された電動パワーステアリ
ングにおいては、トルクに応じた操舵力がモータにより
ラック81にアシストされることとなる。
In this torque sensor, when the torque is transmitted to the input shaft 91 by the operation of the steering wheel of the vehicle, the torsion bar 90 is twisted to cause relative displacement between the input shaft 91 and the output shaft 92. As a result, the facing areas of the tooth portions 97a and 98a of the first and second sensor rings 97 and 98 change, and the inductance of the coil 99 changes. This change in inductance is input to the microcomputer via the I / F circuit 80. Therefore, in the electric power steering employing this torque sensor, the steering force corresponding to the torque is assisted by the motor to the rack 81.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のト
ルクセンサでは、第1、2センサリング97、98の各
歯部97a、98aが軸方向で対面されていることか
ら、トルクを検出するコイル99は1つ設けられている
だけである。そのため、コイル99から得られる信号の
信頼性が低下した場合には、安全上の理由より、モータ
による操舵力のアシストを停止せざるを得ず、安定した
車両の操舵性を得ることができない。
However, in the above-mentioned conventional torque sensor, since the tooth portions 97a, 98a of the first and second sensor rings 97, 98 are axially opposed to each other, the coil for detecting torque is detected. Only one 99 is provided. Therefore, when the reliability of the signal obtained from the coil 99 decreases, for safety reasons, the assist of the steering force by the motor must be stopped, and stable steering performance of the vehicle cannot be obtained.

【0010】仮に、このトルクセンサにおいて、トルク
を検出するコイルを2以上設けるべく、2以上の磁気回
路を形成するようにすれば、各センサリングの各突起が
軸方向で対面する以上、極めて複雑な構造とならざるを
得ず、製造が困難である。
If, in this torque sensor, two or more magnetic circuits are formed in order to provide two or more coils for detecting the torque, each protrusion of each sensor ring faces each other in the axial direction, which is extremely complicated. However, it is difficult to manufacture.

【0011】また、上記従来のトルクセンサでは、第
1、2センサリング97、98の各歯部97a、98a
が軸方向で対面されていることから、組み付け時に各歯
部97a、98aの間隙の長さに変化を生じやすい。こ
のため、各トルクセンサ毎にインダクタンスが大きく変
化することとなり、品質のバラツキを生じやすい。
Further, in the above conventional torque sensor, the tooth portions 97a and 98a of the first and second sensor rings 97 and 98 are formed.
Are opposed to each other in the axial direction, the length of the gap between the tooth portions 97a and 98a easily changes during assembly. For this reason, the inductance changes greatly for each torque sensor, and variations in quality are likely to occur.

【0012】この点、出願人は、第1磁性体の第1突起
と第2磁性体の第2突起とを径方向で対面させるトルク
センサを提案した(特願2000−368240)。こ
のトルクセンサでは、第1磁性体及び第2磁性体がトー
ションバーを囲む円周方向に延在する円筒状をなしてい
る。第1磁性体の外周には第1突起が櫛歯状をなして形
成され、第2磁性体の内周には第1突起と径方向で対面
する第2突起が櫛歯状をなして形成されている。また、
少なくとも第1磁性体及び第3磁性体は、それぞれ非磁
性材料からなる非磁性部によって軸方向に磁気的に分断
された2以上の同数の磁性材料からなる磁性部を有して
いる。第3磁性体の各磁性部にそれぞれコイルが収容さ
れている。
In this respect, the applicant proposed a torque sensor in which the first protrusion of the first magnetic body and the second protrusion of the second magnetic body face each other in the radial direction (Japanese Patent Application No. 2000-368240). In this torque sensor, the first magnetic body and the second magnetic body have a cylindrical shape extending in the circumferential direction surrounding the torsion bar. A first protrusion is formed on the outer periphery of the first magnetic body in a comb-teeth shape, and a second protrusion that faces the first protrusion in the radial direction is formed on the inner periphery of the second magnetic body in a comb-teeth shape. Has been done. Also,
At least the first magnetic body and the third magnetic body each have a magnetic portion made of two or more magnetic materials that are magnetically separated in the axial direction by a nonmagnetic portion made of a nonmagnetic material. A coil is housed in each magnetic portion of the third magnetic body.

【0013】このトルクセンサによれば、磁気回路が2
以上形成されるため、各コイルは各々独立してトルクを
検出可能である。このため、1つの磁気回路の信頼性が
低下したとしても、他のコイルによりトルクを検出する
ことができることから、安定した操舵性を確保すること
ができる。また、組み付け時に第1突起と第2突起との
間隙の径方向の長さにほぼ変化を生じないため、各トル
クセンサ毎にインダクタンスが大きく変化せず、品質の
バラツキを生じ難い。こうして、このトルクセンサは、
安定した操舵性を確保することができ、品質を安定させ
ることができる。
According to this torque sensor, the magnetic circuit has two
Since the above is formed, each coil can detect the torque independently. Therefore, even if the reliability of one magnetic circuit is reduced, the torque can be detected by the other coil, so that stable steering performance can be ensured. In addition, since the radial length of the gap between the first protrusion and the second protrusion does not change substantially during assembly, the inductance does not change significantly for each torque sensor, and variations in quality are less likely to occur. Thus, this torque sensor
Stable steering performance can be secured, and quality can be stabilized.

【0014】しかしながら、このトルクセンサにおい
て、第1センサリング等の非磁性部を導電性のあるSU
S304等のオーステナイト系ステンレスにより構成す
ると、第1センサリング等が相対変位する際、それら非
磁性部に渦電流が発生してしまう。また、オーステナイ
ト系ステンレスを機械加工することにより非磁性部を構
成すると、それら非磁性部が磁化し、非磁性部内が渦電
流を内包してしまう。このため、渦電流による損失によ
りコイルのインダクタンスの変化が小さくなり、ひいて
は検出出力が低下してしまう。
However, in this torque sensor, the non-magnetic portion such as the first sensor ring has a conductive SU.
When it is made of austenitic stainless steel such as S304, eddy current is generated in the non-magnetic parts when the first sensor ring and the like are relatively displaced. Further, when the non-magnetic portion is formed by machining austenitic stainless steel, the non-magnetic portion is magnetized, and the eddy current is included in the non-magnetic portion. Therefore, the change in the inductance of the coil is reduced due to the loss due to the eddy current, which in turn lowers the detection output.

【0015】また、第1センサリング等の磁性部をSU
S430等のフェライト系ステンレスにより構成し、第
1センサリング等の非磁性部を上記オーステナイト系ス
テンレスにより構成すると、両者の熱膨張係数が異なる
一方、両者の剛性が高いため、高温状態を必要とする第
1センサリング等の製造時に磁性部に残留応力が発生し
てしまう。このため、残留応力による損失によりコイル
のインダクタンスの変化が小さくなったり、バラツキを
生じたりし、ひいては検出出力が低下したり、バラツキ
を生じたりしてしまう。
Further, the magnetic portion such as the first sensor ring is attached to the SU.
If it is made of ferritic stainless steel such as S430 and the non-magnetic part such as the first sensor ring is made of the above austenitic stainless steel, the thermal expansion coefficient of both is different, but the rigidity of both is high, so a high temperature state is required. Residual stress is generated in the magnetic part during manufacturing of the first sensor ring and the like. Therefore, the change in the inductance of the coil is reduced or varies due to the loss due to the residual stress, which in turn lowers the detection output or causes variations.

【0016】さらに、オーステナイト系ステンレスは比
較的材料コスト及び加工コストが高く、フェライト系ス
テンレス等からなる磁性部に対して特殊な接合方法を用
いる必要性も生じることから、第1センサリング等の部
品コスト、ひいてはトルクセンサの製造コストの高騰化
を生じてしまう。
Further, since austenitic stainless steel has a relatively high material cost and processing cost, and it is necessary to use a special joining method for the magnetic portion made of ferritic stainless steel or the like, parts such as the first sensor ring are formed. The cost and eventually the manufacturing cost of the torque sensor increase.

【0017】本発明は、上記従来の実情に鑑みてなされ
たものであって、検出出力が大きく、かつ安価に製造可
能であるとともに、安定した操舵性を確保することがで
き、安定した品質のトルクセンサを提供することを解決
すべき課題としている。
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional circumstances, and has a large detection output, can be manufactured at low cost, and can ensure stable steering performance, and thus stable quality. It is an issue to be solved to provide a torque sensor.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】本発明のトルクセンサ
は、軸方向に延在するトーションバーと、該トーション
バーの一端に連結され、該トーションバーと同軸をなす
第1軸と、該トーションバーの他端に連結され、該トー
ションバー及び該第1軸と同軸をなす第2軸と、該第1
軸に固定され、第1突起をもつ第1磁性体と、該第2軸
に固定され、該第1突起と対面する第2突起をもつ第2
磁性体と、該第1磁性体及び該第2磁性体に対面するコ
イルと、該コイルを囲包し、該第1磁性体及び該第2磁
性体とともに磁気回路を形成する第3磁性体とを有し、
該コイルは該トーションバーに作用するねじれに基づく
該第1突起及び該第2突起の対面面積の変化に対応して
インダクタンスが変化し、該インダクタンスに基づいて
トルクを検出するトルクセンサにおいて、前記第1磁性
体及び前記第2磁性体は前記トーションバーを囲む円周
方向に延在する円筒状をなし、該第1磁性体の外周には
前記第1突起が櫛歯状をなして形成され、該第2磁性体
の内周には該第1突起と径方向で対面する前記第2突起
が櫛歯状をなして形成され、該第1磁性体、該第2磁性
体及び前記第3磁性体の少なくとも一つは、非導電非磁
性材料からなる非導電非磁性部によって軸方向に磁気的
に分断された磁性材料からなる磁性部を有していること
を特徴とする。
The torque sensor of the present invention comprises a torsion bar extending in the axial direction, a first shaft connected to one end of the torsion bar and coaxial with the torsion bar, and the torsion bar. A second shaft connected to the other end of the first shaft and coaxial with the torsion bar and the first shaft;
A first magnetic body fixed to the shaft and having a first protrusion, and a second magnetic body fixed to the second shaft and having a second protrusion facing the first protrusion.
A magnetic body, a coil facing the first magnetic body and the second magnetic body, and a third magnetic body that surrounds the coil and forms a magnetic circuit with the first magnetic body and the second magnetic body. Have
In the torque sensor for detecting the torque based on the inductance, the coil has an inductance that changes in response to a change in the facing area of the first protrusion and the second protrusion based on the twist acting on the torsion bar. The first magnetic body and the second magnetic body have a cylindrical shape extending in the circumferential direction surrounding the torsion bar, and the first protrusion is formed on the outer periphery of the first magnetic body in a comb-teeth shape. The second protrusion, which faces the first protrusion in the radial direction, is formed in a comb-teeth shape on the inner circumference of the second magnetic body, and the first magnetic body, the second magnetic body, and the third magnetic body are formed. At least one of the bodies is characterized by having a magnetic portion made of a magnetic material axially magnetically divided by a non-conductive non-magnetic portion made of a non-conductive non-magnetic material.

【0019】本発明のトルクセンサでは、第1磁性体、
第2磁性体及び第3磁性体の少なくとも一つは、非導電
非磁性部が非導電非磁性材料からなるため、第1磁性体
等が相対変位する際、それら非導電非磁性部に渦電流は
生じない。また、非導電非磁性部は磁化せず、非導電非
磁性部内に渦電流を内包することもない。このため、コ
イルのインダクタンスの変化は小さくならず、高い検出
出力を維持できる。
In the torque sensor of the present invention, the first magnetic body,
At least one of the second magnetic body and the third magnetic body has a non-conductive non-magnetic portion made of a non-conductive non-magnetic material. Does not occur. Further, the non-conductive non-magnetic portion is not magnetized, and an eddy current is not included in the non-conductive non-magnetic portion. Therefore, the change in the inductance of the coil is not reduced, and a high detection output can be maintained.

【0020】また、第1磁性体等の非導電非磁性部を非
導電非磁性材料により構成する場合、第1磁性体等の磁
性部をSUS430等のフェライト系ステンレスにより
構成することにより、両者の熱膨張係数が異なっても、
非導電非磁性材料が弾性に富む樹脂であれば、磁性部の
歪みを非導電性非磁性部が吸収する。また、非導電非磁
性材料が樹脂であれば、樹脂の射出時の温度は金属同士
を溶融させる温度に比して低く、磁性部の歪みもさほど
大きくない。こうして、磁性部に残留応力が生じにく
い。このため、コイルのインダクタンスの変化は小さく
ならず、バラツキも生じ難い。このため、高く安定した
検出出力を維持できる。また、樹脂として、フェライト
系ステンレスと近似した熱膨張係数を有するPPS(ポ
リフェニレンサルファイド)を用いれば、PPSからな
る非導電非磁性部とフェライト系ステンレスからなる磁
性部との間で剥離が生じることを防止できる。
When the non-conductive non-magnetic portion such as the first magnetic body is made of a non-conductive non-magnetic material, the magnetic portion such as the first magnetic body is made of ferritic stainless steel such as SUS430. Even if the coefficient of thermal expansion is different,
If the non-conductive non-magnetic material is a highly elastic resin, the non-conductive non-magnetic part absorbs the distortion of the magnetic part. If the non-conductive non-magnetic material is a resin, the temperature at the time of injection of the resin is lower than the temperature at which the metals are melted, and the distortion of the magnetic part is not so large. In this way, residual stress is unlikely to occur in the magnetic part. For this reason, the change in the inductance of the coil is not small, and variation is unlikely to occur. Therefore, a high and stable detection output can be maintained. If PPS (polyphenylene sulfide) having a thermal expansion coefficient similar to that of ferritic stainless steel is used as the resin, peeling may occur between the non-conductive non-magnetic part made of PPS and the magnetic part made of ferritic stainless steel. It can be prevented.

【0021】さらに、非導電非磁性材料としての樹脂や
セラミックスは比較的材料コストが低い。樹脂であれ
ば、加工コストも低く、フェライト系ステンレス等から
なる磁性部に対し、樹脂モールドにより簡易に接合する
こともできる。このため、第1磁性体等の部品コスト、
ひいてはトルクセンサの製造コストの低廉化を実現でき
る。
Further, resin and ceramics as the non-conductive non-magnetic material have a relatively low material cost. If it is a resin, the processing cost is low, and it is possible to easily join the magnetic portion made of ferritic stainless steel or the like by resin molding. Therefore, the cost of parts such as the first magnetic body,
As a result, the manufacturing cost of the torque sensor can be reduced.

【0022】したがって、本発明のトルクセンサでは、
検出出力が大きく、かつ安価に製造可能であるととも
に、安定した操舵性を確保することができ、安定した品
質を発揮できる。
Therefore, in the torque sensor of the present invention,
It has a large detection output, can be manufactured at low cost, and can ensure stable steering performance, thus exhibiting stable quality.

【0023】本発明のトルクセンサでは、例えば、第1
磁性体は、第1軸に対して磁気的に分断されて固定され
た円筒状をなす2以上の磁性部と、各該磁性部間で一体
に設けられた非導電非磁性部とからなり、第2磁性体
は、円筒状をなす3以上の磁性部と、各該磁性部間で一
体に設けられた非導電非磁性部とからなり、該第2磁性
体の隣合う二つの該磁性部はそれぞれ該第1磁性体の一
つの該磁性部と径方向で対面し、第3磁性体は、2以上
の磁性部と、各該磁性部間で一体に設けられた非導電非
磁性部とからなり、該第3磁性体の各該磁性部はそれぞ
れ該第2磁性体の隣合う二つの該磁性部と径方向で対面
していることができる。
In the torque sensor of the present invention, for example, the first
The magnetic body is composed of two or more cylindrical magnetic parts that are magnetically separated and fixed with respect to the first axis, and a non-conductive non-magnetic part that is integrally provided between the magnetic parts. The second magnetic body is composed of three or more cylindrical magnetic parts and a non-conductive non-magnetic part integrally provided between the magnetic parts, and the two adjacent magnetic parts of the second magnetic body. Respectively face one of the magnetic portions of the first magnetic body in the radial direction, and the third magnetic body includes two or more magnetic portions and a non-conductive non-magnetic portion integrally provided between the magnetic portions. Each of the magnetic portions of the third magnetic body can face two adjacent magnetic portions of the second magnetic body in the radial direction.

【0024】この場合、第1磁性体及び第3磁性体は1
の非導電非磁性部を挟む2の磁性部を有し、第2磁性体
は2の非導電非磁性部を挟む3の磁性部を有することが
できる。
In this case, the first magnetic substance and the third magnetic substance are 1
The non-conductive non-magnetic part may be sandwiched between the two magnetic parts, and the second magnetic body may have three non-conductive non-magnetic parts sandwiched between the three magnetic parts.

【0025】また、本発明のトルクセンサでは、例え
ば、第1磁性体は、第1軸に対して磁気的に分断されず
に固定された円筒状をなす2の磁性部と、各該磁性部間
で一体に設けられた非導電非磁性部とからなり、第2磁
性体は、円筒状をなす2の磁性部と、各該磁性部間で一
体に設けられた非導電非磁性部とからなり、該第2磁性
体の各該磁性部はそれぞれ該第1磁性体の一つの該磁性
部と径方向で対面し、第3磁性体は、2の磁性部と、各
該磁性部間で一体に設けられた非導電非磁性部とからな
り、該第3磁性体の各該磁性部はそれぞれ該第2磁性体
の一つの該磁性部と径方向で対面していることもでき
る。
Further, in the torque sensor of the present invention, for example, the first magnetic body is composed of two cylindrical magnetic portions fixed to the first shaft without being magnetically divided, and the magnetic portions. And a non-conductive non-magnetic portion that is integrally provided between the magnetic portions, and the second magnetic body includes two cylindrical magnetic portions and a non-conductive non-magnetic portion that is integrally provided between the magnetic portions. And each of the magnetic portions of the second magnetic body faces one of the magnetic portions of the first magnetic body in the radial direction, and the third magnetic body between the two magnetic portions and each of the magnetic portions. The non-conductive non-magnetic portion may be integrally provided, and each magnetic portion of the third magnetic body may face one magnetic portion of the second magnetic body in the radial direction.

【0026】磁性部が互いに対面する第1突起又は第2
突起をもつ。磁性部は、これら第1突起又は第2突起ば
かりでなく、これら第1突起間又は第2突起間の歯溝を
非導電非磁性部から露出することもできるが、第1突起
又は第2突起が非導電非磁性部から露出し、第1突起間
又は第2突起間の歯溝は非導電非磁性部から露出してい
ないことが好ましい。かかるトルクセンサは非導電非磁
性部内に磁性部が埋設されることとなり、製造が容易に
なる。
The first protrusion or the second protrusion whose magnetic parts face each other.
Has a protrusion. The magnetic portion can expose not only the first protrusion or the second protrusion but also the tooth gap between the first protrusion or the second protrusion from the non-conductive non-magnetic portion. Is exposed from the non-conductive non-magnetic portion, and the tooth gap between the first protrusions or the second protrusions is preferably not exposed from the non-conductive non-magnetic portion. Such a torque sensor has a magnetic part embedded in the non-conductive non-magnetic part, which facilitates manufacturing.

【0027】本発明のトルクセンサでは、非導電非磁性
材料として樹脂を採用することができる。こうであれ
ば、磁性部をキャビティに保持し、樹脂を射出すること
により、第1磁性体、第2磁性体及び第3磁性体を樹脂
モールドすることができる。このため、非導電非磁性部
と磁性部とを強固に接合することができ、ひいてはトル
クセンサの品質が安定することとなる。また、樹脂の材
料費及び加工費はステンレスの材料費及び加工費より低
廉であるため、非導電非磁性材料として樹脂を採用すれ
ば、トルクセンサの低廉化を実現できる。樹脂として
は、PBT(ポリブチレンテレフタレート)やPPS等
を採用することが好ましい。これらの樹脂は耐熱性及び
耐衝撃性に優れているため、耐熱性及び耐衝撃性に優れ
たトルクセンサとすることができる。
In the torque sensor of the present invention, resin can be used as the non-conductive non-magnetic material. In this case, the first magnetic body, the second magnetic body, and the third magnetic body can be resin-molded by holding the magnetic portion in the cavity and injecting the resin. Therefore, the non-conductive non-magnetic portion and the magnetic portion can be firmly joined to each other, and the quality of the torque sensor is stabilized. Further, since the material cost and the processing cost of the resin are lower than the material cost and the processing cost of stainless steel, the cost reduction of the torque sensor can be realized by using the resin as the non-conductive non-magnetic material. As the resin, it is preferable to adopt PBT (polybutylene terephthalate), PPS, or the like. Since these resins have excellent heat resistance and impact resistance, a torque sensor having excellent heat resistance and impact resistance can be obtained.

【0028】また、本発明のトルクセンサでは、非導電
非磁性材料としてセラミックスを採用することもでき
る。こうであれば、耐熱性に優れたトルクセンサとする
ことができる。セラミックスとしてはアルミナを採用す
ることが好ましい。こうであれば、特に耐熱性に優れた
トルクセンサとすることができる。
Further, in the torque sensor of the present invention, ceramics can be adopted as the non-conductive non-magnetic material. In this case, the torque sensor having excellent heat resistance can be obtained. Alumina is preferably used as the ceramic. In this case, the torque sensor can be made particularly excellent in heat resistance.

【0029】[0029]

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した実施形
態1〜3を図面を参照しつつ説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments 1 to 3 embodying the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0030】(実施形態1)実施形態1のトルクセンサ
の主な機械的構成は、図1に示すように、図10のもの
と同様であり、図10に示した従来の機械的構成と同一
の構成については同一の符号を用いることとし、その説
明を省略する。
(First Embodiment) The main mechanical structure of the torque sensor of the first embodiment is the same as that of FIG. 10 as shown in FIG. 1, and is the same as the conventional mechanical structure shown in FIG. The same reference numerals will be used for the configurations of the above, and the description thereof will be omitted.

【0031】このトルクセンサでは、図1に示すよう
に、アッパーハウジング93内において、第1軸として
の入力シャフト91に非磁性材料からなるリング1が固
定され、このリング1の外周面に第1磁性体としての第
1センサリング2が設けられている。これにより第1セ
ンサリング2は入力シャフト91に対して磁気的に分断
されている。第1センサリング2は、図2に示すよう
に、入力シャフト91側より、円筒状をなす第1磁性部
3、円筒状をなす第1非導電非磁性部4及び円筒状をな
す第2磁性部5からなる。第1、2磁性部3、5はフェ
ライト系のステンレスであるSUS430からなり、第
1非導電非磁性部4はPBTからなる。
In this torque sensor, as shown in FIG. 1, in an upper housing 93, a ring 1 made of a non-magnetic material is fixed to an input shaft 91 as a first shaft, and the ring 1 is provided with a first A first sensor ring 2 as a magnetic body is provided. As a result, the first sensor ring 2 is magnetically separated from the input shaft 91. As shown in FIG. 2, the first sensor ring 2 includes, from the input shaft 91 side, a cylindrical first magnetic portion 3, a cylindrical first non-conductive non-magnetic portion 4, and a cylindrical second magnetic portion. It consists of part 5. The first and second magnetic parts 3 and 5 are made of SUS430 which is ferritic stainless steel, and the first non-conductive non-magnetic part 4 is made of PBT.

【0032】第1センサリング2の第1、2磁性部3、
5は、図3及び図4に示すように、トーションバー90
を囲む円周方向に延在する円筒状をなしており、第1、
2磁性部3、5の外周面には櫛歯状をなす第1突起とし
て多数の矩形状の歯部3a、5aが形成されている。
The first and second magnetic portions 3 of the first sensor ring 2,
5 is a torsion bar 90 as shown in FIGS. 3 and 4.
It has a cylindrical shape that extends in the circumferential direction surrounding the first,
A large number of rectangular tooth portions 3a, 5a are formed on the outer peripheral surfaces of the two magnetic portions 3, 5 as comb-shaped first protrusions.

【0033】第1センサリング2の第1非導電非磁性部
4もトーションバー90を囲む円周方向に延在する円筒
状をなしており、内部に第1、2磁性部3、5を埋設し
ている。歯部3a、5aは第1非導電非磁性部4から露
出し、歯部3a、5a間の歯溝は第1非導電非磁性部4
から露出していない。
The first non-conductive non-magnetic portion 4 of the first sensor ring 2 also has a cylindrical shape extending in the circumferential direction surrounding the torsion bar 90, and the first and second magnetic portions 3 and 5 are embedded therein. is doing. The tooth portions 3a, 5a are exposed from the first non-conductive non-magnetic portion 4, and the tooth gap between the tooth portions 3a, 5a is formed by the first non-conductive non-magnetic portion 4.
Not exposed from.

【0034】また、図1に示すように、アッパーハウジ
ング93内において、第2軸としての出力シャフト92
の上方に第2磁性体としての第2センサリング6が設け
られている。第2センサリング6は、図2に示すよう
に、入力シャフト91側より、円筒状をなす第3磁性部
7、円筒状をなす第2非導電非磁性部8、円筒状をなす
第4磁性部9、円筒状をなす第3非導電非磁性部10及
び円筒状をなす第5磁性部11からなる。第3、4、5
磁性部7、9、11はSUS430からなり、第2、3
非導電非磁性部8、10はPBTからなる。
Further, as shown in FIG. 1, in the upper housing 93, the output shaft 92 as the second shaft is provided.
A second sensor ring 6 as a second magnetic body is provided above the. As shown in FIG. 2, the second sensor ring 6 includes, from the input shaft 91 side, a cylindrical third magnetic portion 7, a cylindrical second non-conductive non-magnetic portion 8, and a cylindrical fourth magnetic portion. It comprises a part 9, a third non-conductive non-magnetic part 10 having a cylindrical shape, and a fifth magnetic part 11 having a cylindrical shape. 3rd, 4th, 5th
The magnetic parts 7, 9, 11 are made of SUS430,
The non-conductive non-magnetic parts 8 and 10 are made of PBT.

【0035】第2センサリング6の第3、4、5磁性部
7、9、11も、図3及び図4に示すように、トーショ
ンバー90を囲む円周方向に延在する円筒状をなしてお
り、第3、4、5磁性部7、9、11の内周面には櫛歯
状をなす第2突起として多数の矩形状の歯部7a、9
a、11aが形成されている。
The third, fourth and fifth magnetic portions 7, 9 and 11 of the second sensor ring 6 also have a cylindrical shape extending in the circumferential direction surrounding the torsion bar 90 as shown in FIGS. 3 and 4. In addition, a large number of rectangular tooth portions 7a, 9 are formed on the inner peripheral surface of the third, fourth, fifth magnetic portions 7, 9, 11 as comb-shaped second protrusions.
a and 11a are formed.

【0036】第2センサリング6の第2、3非導電非磁
性部8、10もトーションバー90を囲む円周方向に延
在する円筒状をなしており、内部に第3、4、5磁性部
7、9、11を埋設している。歯部7a、9a、11a
は第2、3非導電非磁性部8、10から露出し、歯部7
a、9a、11a間の歯溝は第2、3非導電非磁性部
8、10から露出していない。なお、センサ感度向上の
ためには、第1、2センサリング2、6の歯部3a、5
a、7a、9a、11aが第1〜3非道電非磁性部4、
8、10から露出している方が好ましいが、露出してい
なくても、歯部3a、5a、7a、9aと歯溝とによっ
てインダクタンスの変化が検出できればよい。
The second and third non-conductive non-magnetic portions 8 and 10 of the second sensor ring 6 also have a cylindrical shape extending in the circumferential direction surrounding the torsion bar 90, and have the third, fourth and fifth magnetic elements inside. The parts 7, 9 and 11 are buried. Teeth 7a, 9a, 11a
Is exposed from the second and third non-conductive non-magnetic portions 8 and 10, and the tooth portion 7
The tooth space between a, 9a and 11a is not exposed from the second and third non-conductive non-magnetic parts 8 and 10. In order to improve the sensor sensitivity, the tooth portions 3a, 5 of the first and second sensor rings 2, 6 are
a, 7a, 9a, 11a are the first to third non-electric nonmagnetic parts 4,
Although it is preferable to expose from No. 8 and 10, even if it is not exposed, it is sufficient that a change in inductance can be detected by the tooth portions 3a, 5a, 7a, 9a and the tooth groove.

【0037】第1、2磁性部3、5の各歯部3a、5a
と第3、4、5磁性部7、9、11の各歯部7a、9
a、11aとは共通の中心Oを有している。また、第
1、2磁性部3、5の各歯部3a、5aは径方向におい
て、間隙の長さlを有しつつ第3、4、5磁性部7、
9、11の各歯部7a、9a、11aと対面している。
Tooth portions 3a and 5a of the first and second magnetic portions 3 and 5, respectively.
And the tooth portions 7a, 9 of the third, fourth, fifth magnetic portions 7, 9, 11
a and 11a have a common center O. Further, the tooth portions 3a, 5a of the first and second magnetic portions 3, 5 have a gap length 1 in the radial direction, while having the third, fourth, fifth magnetic portions 7,
The tooth portions 7a, 9a and 11a of 9 and 11 are faced.

【0038】さらに、各歯部7a、9a、11aの中心
Oに繋がる中心線L0と、歯部3aの中心Oに繋がる中
心線L1とはθの角度をなしている。また、各歯部7
a、9a、11aの中心Oに繋がる中心線L0と、歯部
5aの中心Oに繋がる中心線L2とは、中心線L0と中
心線L1とがなす角度とは逆方向にθの角度をなしてい
る。
Furthermore, the center line L0 connected to the center O of each tooth 7a, 9a, 11a and the center line L1 connected to the center O of the tooth 3a form an angle of θ. Also, each tooth 7
The center line L0 connected to the center O of a, 9a, 11a and the center line L2 connected to the center O of the tooth portion 5a form an angle of θ in the direction opposite to the angle formed by the center line L0 and the center line L1. ing.

【0039】なお、第1、2センサリング2、6の歯部
3a、5a、7a、9a、11aの間の歯溝は、図3及
び図4に示す有底溝に限らず、図5及び図6に示すよう
に構成することもできる。図6は第2センサリング6を
示しているが、第1センサリング2も同様である。つま
り、円筒状の磁性体に軸方向に長く内側から外側に貫通
した貫通穴aを形成し、各貫通穴aに非導電非磁性材料
を埋設して非導電非磁性部4、8、10を構成するよう
にしてもよい。貫通穴aには非導電非磁性材料として例
えばPBTが埋設される。こうであれば、貫通穴a以外
の残存部分bが本願発明における櫛歯状に形成された第
1、2突起としての歯部3a、5a、7a、9a、11
aに相当する。
The tooth spaces between the tooth portions 3a, 5a, 7a, 9a, 11a of the first and second sensor rings 2, 6 are not limited to the bottomed grooves shown in FIG. 3 and FIG. It can also be configured as shown in FIG. Although FIG. 6 shows the second sensor ring 6, the same applies to the first sensor ring 2. That is, through holes a are formed in the cylindrical magnetic body so as to extend axially from the inner side to the outer side, and a non-conductive non-magnetic material is embedded in each through hole a to form the non-conductive non-magnetic portions 4, 8, 10. It may be configured. For example, PBT as a non-conductive non-magnetic material is embedded in the through hole a. In this case, the remaining portion b other than the through hole a is the tooth portions 3a, 5a, 7a, 9a, 11 as the first and second protrusions formed in a comb shape in the present invention.
It corresponds to a.

【0040】また、図1及び図2に示すように、アッパ
ーハウジング93内は、2組のガイド12、15、スペ
ーサ13、16及びセパレータ18により第3磁性体6
0が構成されている。ガイド12、15及びスペーサ1
3、16はSUS430からなり、非導電非磁性材料で
あるPBTからなるセパレータ18で区切られていると
ともに、サークリップ19により固定されている。この
ガイド12、15、スペーサ13、16及びセパレータ
18も、トーションバー90を囲む円周方向に延在する
円筒状をなしており、第2センサリング6の外周面を覆
っている。
Further, as shown in FIGS. 1 and 2, the inside of the upper housing 93 is composed of two sets of guides 12, 15, spacers 13, 16 and a separator 18 to form the third magnetic body 6.
0 is configured. Guides 12 and 15 and spacer 1
Reference numerals 3 and 16 are made of SUS430, are separated by a separator 18 made of PBT which is a non-conductive non-magnetic material, and are fixed by a circlip 19. The guides 12, 15, the spacers 13, 16 and the separator 18 also have a cylindrical shape that extends in the circumferential direction surrounding the torsion bar 90 and cover the outer peripheral surface of the second sensor ring 6.

【0041】そして、第1磁性部3、第3磁性部7、ガ
イド12、スペーサ13及び第4磁性部9により1つの
磁気回路が形成される。また、第2磁性部5、第5磁性
部11、ガイド15、スペーサ16及び第4磁性部9に
より別の磁気回路が形成される。そして、コイル14、
17が各磁気回路内に配置されている。
Then, the first magnetic portion 3, the third magnetic portion 7, the guide 12, the spacer 13 and the fourth magnetic portion 9 form one magnetic circuit. Further, another magnetic circuit is formed by the second magnetic unit 5, the fifth magnetic unit 11, the guide 15, the spacer 16 and the fourth magnetic unit 9. And the coil 14,
17 are arranged in each magnetic circuit.

【0042】また、図7に示すように、コイル14、1
7はI/F回路20に接続されている。I/F回路20
は、原発振回路21と、この原発振回路21とコイル1
4との間に接続された第1発振回路22と、原発振回路
21とコイル17との間に接続された第2発振回路24
と、コイル14に接続されたトルク検出・処理回路23
と、コイル17に接続されたトルク検出・処理回路25
とを有している。
Further, as shown in FIG. 7, coils 14, 1
7 is connected to the I / F circuit 20. I / F circuit 20
Is the original oscillator circuit 21, and the original oscillator circuit 21 and the coil 1
4 and a second oscillator circuit 24 connected between the original oscillator circuit 21 and the coil 17.
And a torque detection / processing circuit 23 connected to the coil 14.
And a torque detection / processing circuit 25 connected to the coil 17
And have.

【0043】以上のように構成された実施形態1のトル
クセンサは以下のようにして製造され得る。
The torque sensor of the first embodiment configured as described above can be manufactured as follows.

【0044】まず、第2センサリング6は、予め第3磁
性部7、第4磁性部9及び第5磁性部11を配置した射
出成形用型のキャビティ内にPBTを射出し、このPB
Tにより第2非導電非磁性部8及び第3非導電非磁性部
10を一体に製造する。こうして、第2、3非導電非磁
性部8、10内に第3、4、5磁性部7、9、11を埋
設する。第1センサリング2も同様に製造される。
First, the second sensor ring 6 injects PBT into the cavity of the injection molding die in which the third magnetic portion 7, the fourth magnetic portion 9 and the fifth magnetic portion 11 are arranged in advance, and this PB is injected.
The second non-conductive non-magnetic portion 8 and the third non-conductive non-magnetic portion 10 are integrally manufactured by T. In this way, the third, fourth and fifth magnetic parts 7, 9 and 11 are embedded in the second and third non-conductive non-magnetic parts 8 and 10. The first sensor ring 2 is manufactured similarly.

【0045】そして、上記第1センサリング2及び第2
センサリング6を用い、トルクセンサが組み付けられ
る。まず、出力シャフト92に第2センサリング6を圧
入する。また、トーションバー90を出力シャフト92
に固定する。
The first sensor ring 2 and the second sensor ring
A torque sensor is assembled using the sensor ring 6. First, the second sensor ring 6 is pressed into the output shaft 92. Further, the torsion bar 90 is connected to the output shaft 92.
Fixed to.

【0046】一方、入力シャフト91にリング1を圧入
した後、第1センサリング2をリング1に圧入する。そ
して、アッパーハウジング93をベアリング95aを介
して入力シャフト91に固定した後、予めコイル14、
17を内部に挿入して組み付けた第3磁性体60をアッ
パーハウジング93内に挿入する。そして、ガイド15
をサークリップ19によりアッパーハウジング93に固
定する。
On the other hand, after pressing the ring 1 into the input shaft 91, the first sensor ring 2 is pressed into the ring 1. Then, after fixing the upper housing 93 to the input shaft 91 via the bearing 95a, the coil 14,
The third magnetic body 60 assembled by inserting 17 into the inside is inserted into the upper housing 93. And guide 15
Is fixed to the upper housing 93 by the circlip 19.

【0047】この後、入力シャフト91をトーションバ
ー90の軸方向から挿入し、図10のものと同様、ピン
により入力シャフト91とトーションバー90とを連結
する。こうして実施形態1のトルクセンサが製造され
る。
After that, the input shaft 91 is inserted from the axial direction of the torsion bar 90, and the input shaft 91 and the torsion bar 90 are connected by a pin as in the case of FIG. In this way, the torque sensor of the first embodiment is manufactured.

【0048】このトルクセンサでは、図7に示すよう
に、I/F回路20の原発振回路21から出力された発
振信号は、第1、2発振回路22、24によりタイミン
グがとられ、コイル14、17に印加される。これによ
り、図2に示すように、2つの磁気回路が形成される。
これら2つの磁気回路の向きは、矢印で示されるように
反対向きである。ここで、車両の操舵ハンドルの操作に
より、入力シャフト91にトルクが伝わると、トーショ
ンバー90がねじれることにより、入力シャフト91と
出力シャフト92との間で相対変位を生じる。これによ
り、第1、2磁性部3、5の歯部3a、5aと第3〜5
磁性部7、9、11の歯部7a、9a、11aの対面面
積が変化する。そうすると、磁束密度が変化し、これが
コイル14、17のインダクタンスの変化となって現れ
る。そして、コイル14、17のインダクタンスはトル
ク検出・処理回路23、25により検出され、処理され
た後、トルク信号T1、T2として図示しないマイコン
に入力される。
In this torque sensor, as shown in FIG. 7, the oscillation signal output from the original oscillation circuit 21 of the I / F circuit 20 is timed by the first and second oscillation circuits 22 and 24, and the coil 14 , 17 are applied. As a result, two magnetic circuits are formed as shown in FIG.
The orientations of these two magnetic circuits are opposite, as indicated by the arrows. Here, when torque is transmitted to the input shaft 91 by operating the steering wheel of the vehicle, the torsion bar 90 is twisted to cause relative displacement between the input shaft 91 and the output shaft 92. As a result, the tooth portions 3a and 5a of the first and second magnetic portions 3 and 5 and the third to fifth portions are formed.
The facing area of the tooth portions 7a, 9a, 11a of the magnetic portions 7, 9, 11 changes. Then, the magnetic flux density changes, which appears as a change in the inductance of the coils 14 and 17. Then, the inductances of the coils 14 and 17 are detected by the torque detection / processing circuits 23 and 25, processed, and then input to a microcomputer (not shown) as torque signals T1 and T2.

【0049】このトルクセンサでは、コイル14、17
が独立してインダクタンスの変化を検出しているため、
コイル14、17の一方の検出値が信頼できなくなった
場合であっても、他方の検出値によりトルクを知ること
ができる。そのため、このような場合であっても、モー
タによる操舵力のアシストを停止する必要はない。
In this torque sensor, the coils 14 and 17 are
Detects the change in inductance independently,
Even if the detected value of one of the coils 14 and 17 becomes unreliable, the torque can be known from the detected value of the other. Therefore, even in such a case, it is not necessary to stop the assist of the steering force by the motor.

【0050】また、第1、2磁性部3、5の歯部3a、
5aと第3〜5磁性部7、9、11の歯部7a、9a、
11aとが径方向で対面するため、組み付け時に歯部3
a、5aと歯部7a、9a、11aとの間隙の径方向の
長さlにほぼ変化を生じない。このため、各トルクセン
サ毎にインダクタンスが大きく変化せず、品質のバラツ
キを生じ難い。
Further, the tooth portions 3a of the first and second magnetic portions 3 and 5,
5a and the tooth portions 7a, 9a of the third to fifth magnetic portions 7, 9, 11;
11a in the radial direction face each other.
There is almost no change in the radial length l of the gap between the teeth a, 5a and the teeth 7a, 9a, 11a. For this reason, the inductance does not change significantly for each torque sensor, and variations in quality are less likely to occur.

【0051】さらに、コイル14、17によるトルク信
号の差動から、温度等による磁気特性の変化を補償する
ことができる。
Further, the change in the magnetic characteristics due to temperature and the like can be compensated for by the differential of the torque signals by the coils 14 and 17.

【0052】また、各歯部7a、9a、11aに対する
歯部3aと歯部5aとの関係から、インダクタンスブリ
ッジ回路を採用することにより、センサ感度を2倍にす
ることもできる。つまり、各歯部7a、9a、11aの
中心線L0と歯部3aの中心線L1とは、各歯部7a、
9a、11aの中心線L0と歯部5aの中心線L2とに
対して、逆の角度を有している。これにより、入力シャ
フト91と出力シャフト92との間で相対変位が生じた
結果、例えば、各歯部7a、9aと歯部3aとの対面面
積が大きくなると、各歯部9a、11aと歯部5aとの
対面面積は小さくなる。逆に、各歯部7a、9aと歯部
3aとの対面面積が小さくなると、各歯部9a、11a
と歯部5aとの対面面積は大きくなる。こうして、コイ
ル14、17のインダクタンスの変化が相対的に逆にな
ることから、センサ感度を2倍にすることができる。
Further, from the relationship between the tooth portions 3a and 5a with respect to the tooth portions 7a, 9a and 11a, the sensor sensitivity can be doubled by adopting the inductance bridge circuit. That is, the center line L0 of each tooth 7a, 9a, 11a and the center line L1 of the tooth 3a are
It has opposite angles with respect to the center line L0 of 9a and 11a and the center line L2 of the tooth portion 5a. Thereby, as a result of the relative displacement between the input shaft 91 and the output shaft 92, for example, when the facing area between the tooth portions 7a, 9a and the tooth portion 3a becomes large, the tooth portions 9a, 11a and the tooth portion 3a The facing area with 5a becomes small. On the contrary, when the facing area between the tooth portions 7a, 9a and the tooth portion 3a becomes small, the tooth portions 9a, 11a
The facing area between the tooth and the tooth portion 5a becomes large. In this way, since the changes in the inductances of the coils 14 and 17 are relatively reversed, the sensor sensitivity can be doubled.

【0053】さらに、第1センサリング2、第2センサ
リング6及び第3磁性体60の各非導電非磁性部4、
8、10、18は非導電非磁性材料であるPBTからな
るため、第1センサリング2等が相対変位する際、それ
ら各非導電非磁性部4、8、10、18に渦電流は生じ
ない。また、各非導電非磁性部4、8、10、18は磁
化せず、各非導電非磁性部4、8、10、18内に渦電
流を内包することもない。このため、コイル14、17
のインダクタンスの変化は小さくならず、高い検出出力
を維持できる。
Further, the non-conductive non-magnetic parts 4 of the first sensor ring 2, the second sensor ring 6 and the third magnetic body 60,
Since 8, 10 and 18 are made of PBT which is a non-conductive non-magnetic material, no eddy current is generated in each non-conductive non-magnetic part 4, 8, 10 and 18 when the first sensor ring 2 and the like are relatively displaced. . Further, the non-conductive non-magnetic parts 4, 8, 10 and 18 are not magnetized, and eddy currents are not included in the non-conductive non-magnetic parts 4, 8, 10 and 18. Therefore, the coils 14, 17
The change in the inductance is not small, and a high detection output can be maintained.

【0054】また、各非導電非磁性部4、8、10、1
8はPBTからなり、第1センサリング2の第1、2磁
性部3、5、第2センサリング6の第3、4、5磁性部
7、9、11並びに第3磁性体60のガイド12、15
及びスペーサ13、16はSUS430からなるため、
PBTとSUS430との熱膨張係数の差により歪が生
じるが、それらの歪みは弾性に富むPBTからなる各非
導電非磁性部4、8、10、18が吸収することとな
る。また、PBTの射出時の温度は金属同士を溶融させ
る温度に比して低く、第1センサリング2の第1、2磁
性部3、5及び第2センサリング6の第3、4、5磁性
部7、9、11の歪みもさほど大きくない。こうして、
第1、2、3、4、5磁性部3、5、7、9、11、ガ
イド12、15及びスペーサ13、16に残留応力が生
じにくい。このため、コイル14、17のインダクタン
スの変化は小さくならず、バラツキも生じ難い。このた
め、高く安定した検出出力を維持できる。
In addition, each non-conductive non-magnetic part 4, 8, 10, 1
Reference numeral 8 is a PBT, and includes the first and second magnetic portions 3 and 5 of the first sensor ring 2, the third, fourth and fifth magnetic portions 7, 9 and 11 of the second sensor ring 6, and the guide 12 of the third magnetic body 60. , 15
Since the spacers 13 and 16 are made of SUS430,
Distortion occurs due to the difference in the coefficient of thermal expansion between PBT and SUS430, but these strains are absorbed by the non-conductive non-magnetic parts 4, 8, 10, and 18 made of highly elastic PBT. In addition, the temperature at the time of injection of PBT is lower than the temperature at which metals are melted, and the first and second magnetic portions 3 and 5 of the first sensor ring 2 and the third, fourth and fifth magnetic properties of the second sensor ring 6 are magnetic. The distortion of the parts 7, 9 and 11 is not so great. Thus
Residual stress is unlikely to occur in the first, second, third, fourth, fifth magnetic parts 3, 5, 7, 9, 11, the guides 12, 15 and the spacers 13, 16. For this reason, the changes in the inductances of the coils 14 and 17 are not small, and variations hardly occur. Therefore, a high and stable detection output can be maintained.

【0055】さらに、PBTは比較的材料コスト及び加
工コストが低く、SUS430からなる第1センサリン
グ2の第1、2磁性部3、5及び第2センサリング6の
第3、4、5磁性部7、9、11に対し、樹脂モールド
により簡易に接合している。このため、第1センサリン
グ2及び第2センサリング6の部品コスト、ひいてはト
ルクセンサの製造コストの低廉化を実現できる。
Further, the PBT has a relatively low material cost and processing cost, and the first and second magnetic portions 3 and 5 of the first sensor ring 2 and the third, fourth and fifth magnetic portions of the second sensor ring 6 made of SUS430 are used. 7, 9 and 11 are easily joined by resin molding. Therefore, it is possible to reduce the cost of parts of the first sensor ring 2 and the second sensor ring 6, and hence the manufacturing cost of the torque sensor.

【0056】また、PBTは耐熱性及び耐衝撃性に優れ
ているため、耐熱性及び耐衝撃性に優れたトルクセンサ
となる。
Further, since PBT has excellent heat resistance and impact resistance, it becomes a torque sensor excellent in heat resistance and impact resistance.

【0057】したがって、実施形態1のトルクセンサで
は、検出出力が大きく、かつ安価に製造可能であるとと
もに、安定した操舵性を確保することができ、安定した
品質を発揮できる。
Therefore, the torque sensor of the first embodiment has a large detection output, can be manufactured at low cost, can secure stable steering performance, and can exhibit stable quality.

【0058】なお、非導電非磁性材料としてPPSを用
いても同様の効果を得ることができる。また、PPSは
フェライト系ステンレスと近似した熱膨張係数を有する
ため、PPSからなる非導電非磁性部とフェライト系ス
テンレスからなる磁性部との間で剥離が生じることを防
止できる。さらに、非導電非磁性材料としてアルミナを
採用することもできる。こうであれば、特に耐熱性に優
れたトルクセンサとなる。
The same effect can be obtained by using PPS as the non-conductive non-magnetic material. Further, since PPS has a thermal expansion coefficient similar to that of ferritic stainless steel, it is possible to prevent separation between the non-conductive non-magnetic portion made of PPS and the magnetic portion made of ferritic stainless steel. Further, alumina can be adopted as the non-conductive non-magnetic material. In this case, the torque sensor has excellent heat resistance.

【0059】(実施形態2)実施形態2のトルクセンサ
の主な機械的構成は、図8に示すように、図1のものと
同様であり、図1に示した機械的構成と同一の構成につ
いては同一の符号を用いることとし、その説明を省略す
る。
(Second Embodiment) As shown in FIG. 8, the main mechanical structure of the torque sensor of the second embodiment is the same as that of FIG. 1, and the same mechanical structure as that shown in FIG. The same reference numerals are used for, and the description thereof will be omitted.

【0060】実施形態1のトルクセンサはコイルを2つ
備えているのに対し、このトルクセンサは、従来のトル
クセンサと同様、コイル14を1つだけ備えている。
While the torque sensor of the first embodiment has two coils, this torque sensor has only one coil 14 like the conventional torque sensor.

【0061】このため、このトルクセンサでは、実施形
態1のトルクセンサに比べて検出値の信頼性に劣り、イ
ンダクタンスの変化は小さくなる。しかし、このトルク
センサでは、実施形態1のトルクセンサと同様、非導電
非磁性部8が非導電非磁性材料であるPBTからなるた
め、非導電非磁性部8に渦電流が生じることはなく、ま
た磁化することもなく、渦電流を内包することもない。
このため、このトルクセンサでは、コイル14のインダ
クタンスの変化が小さくなることはなく、図10及び図
11に示す従来のトルクセンサよりも高い検出出力を得
ることができる。
Therefore, in this torque sensor, the reliability of the detected value is inferior to that of the torque sensor of the first embodiment, and the change in inductance is small. However, in this torque sensor, like the torque sensor of the first embodiment, since the non-conductive non-magnetic portion 8 is made of PBT which is a non-conductive non-magnetic material, no eddy current is generated in the non-conductive non-magnetic portion 8. In addition, it neither magnetizes nor contains eddy currents.
Therefore, in this torque sensor, the change in the inductance of the coil 14 does not decrease, and a higher detection output can be obtained than in the conventional torque sensor shown in FIGS. 10 and 11.

【0062】(実施形態3)実施形態3のトルクセンサ
の主な機械的構成は、図9に示すように、図1のものと
同様であり、図1に示した機械的構成と同一の構成につ
いては同一の符号を用いることとし、その説明を省略す
る。
(Third Embodiment) As shown in FIG. 9, the main mechanical structure of the torque sensor of the third embodiment is similar to that of FIG. 1, and the same mechanical structure as that shown in FIG. The same reference numerals are used for, and the description thereof will be omitted.

【0063】このトルクセンサでは、図9に示すよう
に、入力シャフト91に第1磁性体としての第1センサ
リング32が圧入されている。これにより第1センサリ
ング32は入力シャフト91に対して磁気的に分断され
ていない。第1センサリング32は、入力シャフト91
側より、円筒状をなす第1磁性部33、円筒状をなす第
1非導電非磁性部34及び円筒状をなす第2磁性部35
からなる。第1磁性部33及び第2磁性部35はSUS
430からなり、第1非導電非磁性部34は、非導電非
磁性材料としてのPBTからなる。
In this torque sensor, as shown in FIG. 9, the first sensor ring 32 as the first magnetic body is press-fitted into the input shaft 91. As a result, the first sensor ring 32 is not magnetically separated from the input shaft 91. The first sensor ring 32 has an input shaft 91.
From the side, a cylindrical first magnetic portion 33, a cylindrical first non-conductive non-magnetic portion 34, and a cylindrical second magnetic portion 35.
Consists of. The first magnetic part 33 and the second magnetic part 35 are made of SUS.
430, and the first non-conductive non-magnetic portion 34 is made of PBT as a non-conductive non-magnetic material.

【0064】第1センサリング32の第1、2磁性部3
3、35の外周面には櫛歯状をなす第1突起としての多
数の矩形状の歯部33a、35aが形成されている。第
1センサリング32の第1非導電非磁性部34は内部に
第1、2磁性部33、35を埋設している。歯部33
a、35aは第1非導電非磁性部34から露出し、歯部
33a、35a間の歯溝は第1非導電非磁性部34から
露出していない。
The first and second magnetic portions 3 of the first sensor ring 32
A large number of rectangular tooth portions 33a, 35a as comb-shaped first protrusions are formed on the outer peripheral surfaces of 3, 35. The first non-conductive non-magnetic portion 34 of the first sensor ring 32 has the first and second magnetic portions 33 and 35 embedded therein. Tooth 33
a and 35a are exposed from the first non-conductive non-magnetic portion 34, and the tooth gap between the tooth portions 33a and 35a is not exposed from the first non-conductive non-magnetic portion 34.

【0065】また、出力シャフト92にSUS430か
らなるホルダ50が圧入され、このホルダ50の上方に
第2磁性体としての第2センサリング36が圧入されて
いる。第2センサリング36は入力シャフト91側よ
り、円筒状をなす第3磁性部37、円筒状をなす第2非
導電非磁性部38、円筒状をなす第4磁性部39からな
る。第3、4磁性部37、39はSUS430からな
り、第2非導電非磁性部38はPBTからなる。
A holder 50 made of SUS430 is press-fitted onto the output shaft 92, and a second sensor ring 36 as a second magnetic body is press-fitted above the holder 50. The second sensor ring 36 includes, from the input shaft 91 side, a cylindrical third magnetic portion 37, a cylindrical second non-conductive non-magnetic portion 38, and a cylindrical fourth magnetic portion 39. The third and fourth magnetic parts 37 and 39 are made of SUS430, and the second non-conductive non-magnetic part 38 is made of PBT.

【0066】第2センサリング36の第3、4磁性部3
7、39の内周面には櫛歯状をなす第2突起としての多
数の矩形状の歯部37a、39aが形成されている。第
2センサリング36の第2非導電非磁性部38は内部に
第3、4磁性部37、39を埋設している。歯部37
a、39aは第2非導電非磁性部38から露出し、歯部
37a、39a間の歯溝は第2非導電非磁性部38から
露出していない。なお、第1、2磁性部33、35の歯
部33a、35aと第3、4磁性部37、39の歯部3
7a、39aとの関係は、実施形態1と同様である。
The third and fourth magnetic portions 3 of the second sensor ring 36
A large number of rectangular tooth portions 37a, 39a as comb-shaped second protrusions are formed on the inner peripheral surfaces of 7, 39. The second non-conductive non-magnetic portion 38 of the second sensor ring 36 has the third and fourth magnetic portions 37 and 39 embedded therein. Tooth 37
a and 39a are exposed from the second non-conductive non-magnetic portion 38, and the tooth gap between the tooth portions 37a and 39a is not exposed from the second non-conductive non-magnetic portion 38. In addition, the tooth portions 33a and 35a of the first and second magnetic portions 33 and 35 and the tooth portion 3 of the third and fourth magnetic portions 37 and 39.
The relationship with 7a and 39a is the same as in the first embodiment.

【0067】さらに、SUS430からなる2組のガイ
ド42、45がPBTからなるセパレータ48で区切ら
れている。ガイド42、45及びセパレータ48は第3
磁性体65を形成しており、各ガイド42、45内には
コイル44、47が設けられている。このガイド42、
45及びセパレータ48も、トーションバー90を囲む
円周方向に延在する円筒状をなしており、第2センサリ
ング36の外周面を覆っている。
Further, two sets of guides 42 and 45 made of SUS430 are separated by a separator 48 made of PBT. The guides 42, 45 and the separator 48 are the third
A magnetic body 65 is formed, and coils 44 and 47 are provided in the guides 42 and 45, respectively. This guide 42,
The 45 and the separator 48 also have a cylindrical shape that extends in the circumferential direction surrounding the torsion bar 90 and cover the outer peripheral surface of the second sensor ring 36.

【0068】そして、第1磁性部33、第3磁性部3
7、ガイド42及び入力シャフト91により1つの磁気
回路が形成される。また、第2磁性部35、第4磁性部
39、ガイド45、出力シャフト92及び入力シャフト
91により別の磁気回路が形成される。その他の構成は
実施形態1と同様である。
Then, the first magnetic portion 33 and the third magnetic portion 3
7, the guide 42 and the input shaft 91 form one magnetic circuit. Further, the second magnetic portion 35, the fourth magnetic portion 39, the guide 45, the output shaft 92, and the input shaft 91 form another magnetic circuit. Other configurations are similar to those of the first embodiment.

【0069】この実施形態3のトルクセンサによって
も、図9に示すように、2つの磁気回路が形成される。
また、第1非導電非磁性部34、第2非導電非磁性部3
8及びセパレータ48は非電導非磁性材料であるPBT
からなる。このため、実施形態3のトルクセンサでも実
施形態1のトルクセンサと同様の作用、効果が得られ
る。
The torque sensor of the third embodiment also forms two magnetic circuits as shown in FIG.
In addition, the first non-conductive non-magnetic portion 34 and the second non-conductive non-magnetic portion 3
8 and the separator 48 are PBT which is a non-conducting non-magnetic material.
Consists of. Therefore, the torque sensor of the third embodiment can also obtain the same operation and effect as the torque sensor of the first embodiment.

【0070】なお、上記実施形態1のトルクセンサで
は、第1磁性体としての第1センサリング2が2個の磁
性部3、5と、1個の非導電非磁性部4とからなり、第
2磁性体としての第2センサリング6が3個の磁性部
7、9、11と、2個の非導電非磁性部8、10とから
なり、第3磁性体60は磁性部としてのガイド12、1
5及びスペーサ13、16が計2個であり、非導電非磁
性部としてのセパレータ18が1個であり、コイル1
4、17が2個である。また、上記実施形態3のトルク
センサでは、第1磁性体としての第1センサリング32
が2個の磁性部33、35と、1個の非導電非磁性部3
4とからなり、第2磁性体としての第2センサリング3
6が2個の磁性部37、39と、1個の非導電非磁性部
38とからなり、第3磁性体65の磁性部としてのガイ
ド42、45が計2個であり、非導電非磁性部としての
セパレータ48が1個であり、コイル44、47が2個
である。しかし、以上の実施形態は例示であり、本発明
はその主旨を逸脱しない範囲において種々変更を加えた
態様で実施可能である。
In the torque sensor of the first embodiment, the first sensor ring 2 as the first magnetic body is composed of two magnetic parts 3 and 5 and one non-conductive non-magnetic part 4. The second sensor ring 6 as a two magnetic body is composed of three magnetic parts 7, 9, 11 and two non-conductive non-magnetic parts 8, 10, and the third magnetic body 60 is a guide 12 as a magnetic part. 1
5 and spacers 13 and 16 are two in total, one separator 18 is a non-conductive non-magnetic portion, and coil 1
There are two 4 and 17. Further, in the torque sensor of the third embodiment, the first sensor ring 32 as the first magnetic body is used.
Are two magnetic parts 33 and 35 and one non-conductive non-magnetic part 3
And a second sensor ring 3 as a second magnetic body.
6 is composed of two magnetic parts 37 and 39 and one non-conductive non-magnetic part 38, and there are a total of two guides 42 and 45 as the magnetic parts of the third magnetic body 65. There is one separator 48 as a part, and two coils 44 and 47. However, the above embodiment is an exemplification, and the present invention can be implemented in a mode in which various modifications are made without departing from the spirit of the present invention.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施形態1のトルクセンサの縦断面図である。FIG. 1 is a vertical sectional view of a torque sensor according to a first embodiment.

【図2】実施形態1のトルクセンサの拡大縦断面図であ
る。
FIG. 2 is an enlarged vertical sectional view of the torque sensor according to the first embodiment.

【図3】実施形態1のトルクセンサに係り、図1のII
I−III矢視断面図である。
FIG. 3 relates to the torque sensor according to the first embodiment and is indicated by II in FIG.
It is an I-III arrow sectional view.

【図4】実施形態1のトルクセンサに係り、図1のIV
−IV矢視断面図である。
FIG. 4 relates to the torque sensor of the first embodiment, and is the IV of FIG.
It is a IV-IV cross-sectional view.

【図5】実施形態1を変形したトルクセンサの部分横断
面図である。
FIG. 5 is a partial cross-sectional view of a torque sensor obtained by modifying the first embodiment.

【図6】実施形態1を変形したトルクセンサに係る第2
センサリングの斜視図である。
FIG. 6 is a second torque sensor according to a modification of the first embodiment.
It is a perspective view of a sensor ring.

【図7】実施形態1のトルクセンサに係り、I/F回路
のブロック図である。
FIG. 7 is a block diagram of an I / F circuit according to the torque sensor of the first embodiment.

【図8】実施形態2のトルクセンサの縦断面図である。FIG. 8 is a vertical sectional view of a torque sensor according to a second embodiment.

【図9】実施形態3のトルクセンサの縦断面図である。FIG. 9 is a vertical sectional view of a torque sensor according to a third embodiment.

【図10】従来のトルクセンサの縦断面図である。FIG. 10 is a vertical cross-sectional view of a conventional torque sensor.

【図11】従来のトルクセンサの拡大縦断面図である。FIG. 11 is an enlarged vertical sectional view of a conventional torque sensor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

90…トーションバー 91…第1軸(入力シャフト) 92…第2軸(出力シャフト) 2、32…第1磁性体(第1センサリング) 6、36…第2磁性体(第2センサリング) 3a、5a、33a、35a…歯部(第1突起) 7a、9a、11a、37a、39a…歯部(第2突
起) 14、17、44、47…コイル 60、65…第3磁性体 3、5、7、9、11、12、13、15、16、3
3、35、37、39、42、45…磁性部 4、8、10、18、34、38、48…非道電非磁性
90 ... Torsion bar 91 ... 1st shaft (input shaft) 92 ... 2nd shaft (output shaft) 2, 32 ... 1st magnetic body (1st sensor ring) 6, 36 ... 2nd magnetic body (2nd sensor ring) 3a, 5a, 33a, 35a ... Tooth portion (first protrusion) 7a, 9a, 11a, 37a, 39a ... Tooth portion (second protrusion) 14, 17, 44, 47 ... Coil 60, 65 ... Third magnetic body 3 5, 7, 9, 11, 12, 13, 15, 16, 3
3, 35, 37, 39, 42, 45 ... Magnetic part 4, 8, 10, 18, 34, 38, 48 ... Non-electric non-magnetic part

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】軸方向に延在するトーションバーと、該ト
ーションバーの一端に連結され、該トーションバーと同
軸をなす第1軸と、該トーションバーの他端に連結さ
れ、該トーションバー及び該第1軸と同軸をなす第2軸
と、該第1軸に固定され、第1突起をもつ第1磁性体
と、該第2軸に固定され、該第1突起と対面する第2突
起をもつ第2磁性体と、該第1磁性体及び該第2磁性体
に対面するコイルと、該コイルを囲包し、該第1磁性体
及び該第2磁性体とともに磁気回路を形成する第3磁性
体とを有し、該コイルは該トーションバーに作用するね
じれに基づく該第1突起及び該第2突起の対面面積の変
化に対応してインダクタンスが変化し、該インダクタン
スに基づいてトルクを検出するトルクセンサにおいて、 前記第1磁性体及び前記第2磁性体は前記トーションバ
ーを囲む円周方向に延在する円筒状をなし、該第1磁性
体の外周には前記第1突起が櫛歯状をなして形成され、
該第2磁性体の内周には該第1突起と径方向で対面する
前記第2突起が櫛歯状をなして形成され、該第1磁性
体、該第2磁性体及び前記第3磁性体の少なくとも一つ
は、非導電非磁性材料からなる非導電非磁性部によって
軸方向に磁気的に分断された磁性材料からなる磁性部を
有していることを特徴とするトルクセンサ。
1. A torsion bar extending in the axial direction, a first shaft connected to one end of the torsion bar and coaxial with the torsion bar, and connected to the other end of the torsion bar, the torsion bar and A second shaft that is coaxial with the first shaft, a first magnetic body that is fixed to the first shaft and has a first protrusion, and a second protrusion that is fixed to the second shaft and faces the first protrusion. A second magnetic body having, a coil facing the first magnetic body and the second magnetic body, and a coil that surrounds the coil and forms a magnetic circuit with the first magnetic body and the second magnetic body. The coil has three magnetic bodies, and the coil changes its inductance in response to a change in the facing area of the first protrusion and the second protrusion due to the twist acting on the torsion bar, and the torque is changed based on the inductance. In the torque sensor for detecting, the first magnetic body and the front The second magnetic body has a cylindrical shape extending in the circumferential direction surrounding the torsion bar, and the first protrusion is formed on the outer periphery of the first magnetic body in a comb-tooth shape.
The second protrusion, which faces the first protrusion in the radial direction, is formed in a comb-teeth shape on the inner circumference of the second magnetic body, and the first magnetic body, the second magnetic body, and the third magnetic body are formed. At least one of the bodies has a magnetic portion made of a magnetic material axially magnetically divided by a non-conductive non-magnetic portion made of a non-conductive non-magnetic material.
【請求項2】第1磁性体は、第1軸に対して磁気的に分
断されて固定された円筒状をなす2以上の磁性部と、各
該磁性部間で一体に設けられた非導電非磁性部とからな
り、第2磁性体は、円筒状をなす3以上の磁性部と、各
該磁性部間で一体に設けられた非導電非磁性部とからな
り、該第2磁性体の隣合う二つの該磁性部はそれぞれ該
第1磁性体の一つの該磁性部と径方向で対面し、第3磁
性体は、2以上の磁性部と、各該磁性部間で一体に設け
られた非導電非磁性部とからなり、該第3磁性体の各該
磁性部はそれぞれ該第2磁性体の隣合う二つの該磁性部
と径方向で対面していることを特徴とする請求項1記載
のトルクセンサ。
2. The first magnetic body comprises two or more cylindrical magnetic portions that are magnetically divided and fixed with respect to the first axis, and a non-conductive member integrally provided between the magnetic portions. The second magnetic body includes a non-magnetic portion, and the second magnetic body includes three or more cylindrical magnetic portions and a non-conductive non-magnetic portion integrally provided between the magnetic portions. The two adjacent magnetic parts face one magnetic part of the first magnetic body in the radial direction, and the third magnetic body is provided integrally with two or more magnetic parts between the magnetic parts. And a non-conductive non-magnetic portion, wherein each magnetic portion of the third magnetic body faces two adjacent magnetic portions of the second magnetic body in the radial direction. 1. The torque sensor according to 1.
【請求項3】第1磁性体及び第3磁性体は1の非導電非
磁性部を挟む2の磁性部を有し、第2磁性体は2の非導
電非磁性部を挟む3の磁性部を有することを特徴とする
請求項2記載のトルクセンサ。
3. The first magnetic body and the third magnetic body have two magnetic portions sandwiching one non-conductive non-magnetic portion, and the second magnetic body has three magnetic portions sandwiching two non-conductive non-magnetic portions. The torque sensor according to claim 2, further comprising:
【請求項4】第1磁性体は、第1軸に対して磁気的に分
断されずに固定された円筒状をなす2の磁性部と、各該
磁性部間で一体に設けられた非導電非磁性部とからな
り、第2磁性体は、円筒状をなす2の磁性部と、各該磁
性部間で一体に設けられた非導電非磁性部とからなり、
該第2磁性体の各該磁性部はそれぞれ該第1磁性体の一
つの該磁性部と径方向で対面し、第3磁性体は、2の磁
性部と、各該磁性部間で一体に設けられた非導電非磁性
部とからなり、該第3磁性体の各該磁性部はそれぞれ該
第2磁性体の一つの該磁性部と径方向で対面しているこ
とを特徴とする請求項1記載のトルクセンサ。
4. The first magnetic body is composed of two cylindrical magnetic portions fixed to the first shaft without being magnetically divided, and a non-conductive body integrally provided between the magnetic portions. The second magnetic body is composed of two cylindrical magnetic portions and a non-conductive non-magnetic portion integrally provided between the magnetic portions.
Each of the magnetic parts of the second magnetic body faces one of the magnetic parts of the first magnetic body in the radial direction, and the third magnetic body is integrated with the two magnetic parts between the magnetic parts. 7. A non-conductive non-magnetic portion provided, wherein each of the magnetic portions of the third magnetic body faces one of the magnetic portions of the second magnetic body in the radial direction. 1. The torque sensor according to 1.
【請求項5】磁性部が互いに対面する第1突起又は第2
突起をもち、該第1突起又は該第2突起が非導電非磁性
部から露出し、該第1突起間又は該第2突起間の歯溝は
該非導電非磁性部から露出していないことを特徴とする
請求項1、2、3又は4記載のトルクセンサ。
5. The first protrusion or the second protrusion in which the magnetic portions face each other.
A protrusion, and the first protrusion or the second protrusion is exposed from the non-conductive non-magnetic portion, and the tooth gap between the first protrusion or the second protrusion is not exposed from the non-conductive non-magnetic portion. The torque sensor according to claim 1, 2, 3, or 4.
【請求項6】非導電非磁性材料は樹脂であることを特徴
とする請求項1、2、3、4又は5記載のトルクセン
サ。
6. The torque sensor according to claim 1, wherein the non-conductive non-magnetic material is resin.
【請求項7】非導電非磁性材料はポリフェニレンサルフ
ァイドであることを特徴とする請求項6記載のトルクセ
ンサ。
7. The torque sensor according to claim 6, wherein the non-conductive non-magnetic material is polyphenylene sulfide.
【請求項8】非導電非磁性材料はセラミックスであるこ
とを特徴とする請求項1、2、3、4又は5記載のトル
クセンサ。
8. The torque sensor according to claim 1, wherein the non-conductive non-magnetic material is ceramics.
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