JP2003066288A - Optical module and its assembling method - Google Patents

Optical module and its assembling method

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JP2003066288A
JP2003066288A JP2001255478A JP2001255478A JP2003066288A JP 2003066288 A JP2003066288 A JP 2003066288A JP 2001255478 A JP2001255478 A JP 2001255478A JP 2001255478 A JP2001255478 A JP 2001255478A JP 2003066288 A JP2003066288 A JP 2003066288A
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JP
Japan
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package
optical
mirror
fixed
lens
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2001255478A
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Japanese (ja)
Inventor
Kaoru Yoshino
薫 吉野
Kiyoto Takahata
清人 高畑
Tomoshi Furuta
知史 古田
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a module of a high-speed surface type optical element which has high coupling efficiency, is compact, and has high productivity. SOLUTION: A method for assembling an optical module provided with an optical fiber 9, an optical lens 6, a package 5, a mirror 8 which turns the optical path in the orthogonal direction, and a high frequency photoelectronic element 2 which inputs and outputs an optical signal in the perpendicular direction of an element substrate includes a process in which the optical lens 6 is fixed to the package 5 then mirror 8 or a mirror holder 8' to which the mirror 8 is preliminarily fixed is shifted in the horizontal direction on the mounting face of the package 5 and is aligned so as to obtain the most suitable optical coupling state and is fixed to the package 5 by welding or an adhesive.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は光モジュール及びそ
の組立方法に関する。詳しくは、光通信や計測に用いら
れる光モジュールで特に高速信号処理用のフォトダイオ
ード(PD)や面発光レーザダイオード(vertical cav
ity surface-emitting laser diode:VCSEL)のよ
うな面型光素子のモジュール化に関する技術である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical module and its assembling method. Specifically, in an optical module used for optical communication or measurement, a photodiode (PD) for high-speed signal processing or a surface emitting laser diode (vertical cavity) is used.
It is a technology relating to modularization of a surface-type optical element such as an optical surface-emitting laser diode (VCSEL).

【0002】[0002]

【従来の技術】図3は従来の高速PDモジュールの構造
図であり、(a)は上面図、(b)は断面図、図4はそ
の溶接部位を示すための光軸方向から見た説明図であ
る。ここで、1は面型PD素子,2はセラミック製高周
波配線基板,3は高周波コネクタ,4は金属製サブマウ
ント,5はパッケージ,6は非球面レンズ,7はレンズ
ホルダ,8はミラー,9は光ファイバ,10はファイバ
ホルダ,11はレンズ支柱,12は気密封止用の蓋であ
る。
2. Description of the Related Art FIG. 3 is a structural view of a conventional high-speed PD module, (a) is a top view, (b) is a cross-sectional view, and FIG. 4 is an explanation viewed from the optical axis direction to show the welded portion. It is a figure. Here, 1 is a planar PD element, 2 is a ceramic high-frequency wiring board, 3 is a high-frequency connector, 4 is a metal submount, 5 is a package, 6 is an aspherical lens, 7 is a lens holder, 8 is a mirror, 9 Is an optical fiber, 10 is a fiber holder, 11 is a lens column, and 12 is a lid for hermetic sealing.

【0003】これを組み立てるには、先ず、サブマウン
ト4に高周波配線基板2を金スズ/金ゲルマ等のハンダ
又は接着剤で固定する。次にPD素子1を高周波配線基
板2の近傍に金スズハンダ又は接着剤で固定する。この
状態で素子1の電気的チェックを行い、搭載時の劣化が
無いかどうかを確認する。引き続き、ミラー8(現実的
にはミラーは後述の実施例のようにミラーホルダに装着
した状態で固定されるが、煩雑化するので本図では省略
した)を接着剤やYAGレーザ溶接によってサブマウン
ト4に固定する。
To assemble this, first, the high-frequency wiring board 2 is fixed to the submount 4 with solder such as gold tin / gold germanium or an adhesive. Next, the PD element 1 is fixed near the high-frequency wiring board 2 with gold tin solder or an adhesive. In this state, the element 1 is electrically checked to confirm whether or not there is any deterioration during mounting. Subsequently, the mirror 8 (actually, the mirror is fixed in a state of being mounted on the mirror holder as in the embodiment described later, but omitted in the drawing because it is complicated) is sub-mounted by an adhesive or YAG laser welding. Fix at 4.

【0004】その後、外部から光を入れ、PD素子1の
受光電流を測定しながら、レンズ6を位置合わせして、
サブマウント4やサブマウント4上に形成されたレンズ
支柱11に対してレンズホルダ7を介してYAGレーザ
で溶接固定する。それから、サブマウント4を、サブマ
ウント4上の電気配線基板2とパッケージ5の高周波コ
ネクタ側に予め設置された電気配線基板2とが互いに正
対する位置に、ハンダや接着剤で固定する。
After that, light is input from the outside and the lens 6 is aligned while measuring the light receiving current of the PD element 1.
The YAG laser is welded and fixed to the submount 4 and the lens column 11 formed on the submount 4 via the lens holder 7. Then, the submount 4 is fixed with solder or an adhesive at a position where the electric wiring board 2 on the submount 4 and the electric wiring board 2 installed beforehand on the high frequency connector side of the package 5 face each other.

【0005】そして、配線基板2同士、及びパッケージ
5とサブマウント4のグランド同士を金リボンや銀ペー
ストで電気的に接続する。素子1の電気的チェックを行
った後、気密封止用の蓋12を抵抗溶接や接着剤によっ
てパッケージ5に固定し気密封止する。最後に、パッケ
ージ5の外側でファイバ9を位置合せして、受光電流が
最適になる位置でファイバ9とファイバホルダ10をY
AGレーザでパッケージ5に溶接固定して完成する。こ
こで、「受光電流が最適」と表現したのは、モジュール
の用途によっては最大値が最適値とならないためであ
る。
Then, the wiring boards 2 and the grounds of the package 5 and the submount 4 are electrically connected to each other by a gold ribbon or a silver paste. After the element 1 is electrically checked, the lid 12 for hermetic sealing is fixed to the package 5 by resistance welding or an adhesive to hermetically seal it. Finally, the fiber 9 is aligned on the outside of the package 5, and the fiber 9 and the fiber holder 10 are placed at a position where the received light current is optimum.
This is completed by welding and fixing it to the package 5 with an AG laser. Here, the expression “the received light current is optimum” is because the maximum value is not the optimum value depending on the application of the module.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の光モジ
ュールの組立方法では、サブマウント4を安定に保持し
ながらレンズ6を調整して固定するために、サブマウン
ト4がレンズ半径より厚いことが必須となり、その分パ
ッケージ高が高くならざるを得なかった。特に、面型素
子の場合、レンズ6と素子1との間にミラー8を入れる
ために、作動距離の長い、ひいては外径の大きいレンズ
6が必要であり、モジュールの厚さを薄くできない要因
となっていた。
In the conventional method of assembling the optical module described above, the submount 4 is thicker than the lens radius in order to adjust and fix the lens 6 while stably holding the submount 4. It became mandatory and the package height had to be increased accordingly. In particular, in the case of a surface-type element, in order to insert the mirror 8 between the lens 6 and the element 1, a lens 6 having a long working distance and thus a large outer diameter is necessary, which is a factor that cannot reduce the thickness of the module. Was becoming.

【0007】また、サブマウント4を使う構成では、サ
ブマウント4とパッケージ5の高周波配線基板2の高さ
を揃えるために高い寸法精度が要求され、コストアップ
や歩留り低下の要因となっていた。それに対して、素子
を予めパッケージ内に搭載し、レンズをその素子に対し
てパッケージの中で位置合せして固定するモジュールも
あった。ただし、その場合にはパッケージの壁でYAG
レーザ光がけられないようにどうしても幅広のパッケー
ジにせざるを得ず、小形化が困難であった。
Further, in the structure using the submount 4, high dimensional accuracy is required in order to make the heights of the high-frequency wiring board 2 of the submount 4 and the package 5 uniform, which causes a cost increase and a yield reduction. On the other hand, there is also a module in which an element is mounted in a package in advance and the lens is aligned and fixed to the element in the package. However, in that case, YAG will be on the package wall.
It was inevitable to make a wide package so that the laser beam could not be shielded, and it was difficult to miniaturize it.

【0008】また、レンズとパッケージの溶接部位が上
方から撃てる所に限定されるので、図4の例で言えば、
レンズホルダの上側しか溶接できず、レンズの固定が不
十分であったり、受光径が小さくトレランスの厳しい高
速用の素子においては、光軸ずれが起こりやすいなどの
問題が生じ、信頼性上の課題が残っていた。本発明の目
的は、高い結合効率でコンパクトな高速用面型光素子の
モジュールを生産性良く提供することにある。
Further, since the welded portion of the lens and the package is limited to a place where the lens can be shot from above, in the example of FIG. 4,
Only the upper side of the lens holder can be welded, the lens is not fixed properly, and in the high-speed element with a small light receiving diameter and severe tolerance, problems such as easy misalignment of the optical axis occur, which is a reliability issue. Was left. An object of the present invention is to provide a compact high-speed planar optical element module with high coupling efficiency with high productivity.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】斯かる目的を解決する本
発明の請求項1に係る光モジュールの組立方法は、光フ
ァイバと、光学レンズと、バッケージと、光路を直交方
向に曲げるためのミラーと、素子基板の垂直方向に光信
号を入出力する高周波光電子素子とを具備した光モジュ
ールの組立方法において、先ず、前記光学レンズを前記
パッケージに固定し、その後前記ミラー若しくは前記ミ
ラーを予め固定したミラーホルダを、前記パッケージの
搭載面上で水平方向にずらせて、最適な光学結合状態が
得られるよう位置合わせして、溶接若しくは接着剤で前
記パッケージに固定する工程を含むことを特徴とする。
An optical module assembling method according to claim 1 of the present invention which solves such an object is an optical fiber, an optical lens, a package, and a mirror for bending an optical path in an orthogonal direction. And a high-frequency optoelectronic device for inputting and outputting an optical signal in the vertical direction of the device substrate, the optical lens is first fixed to the package, and then the mirror or the mirror is fixed in advance. The method may further include a step of horizontally shifting the mirror holder on a mounting surface of the package, aligning the mirror holder so as to obtain an optimal optical coupling state, and fixing the mirror holder to the package with welding or an adhesive.

【0010】上記目的を解決する本発明の請求項2に係
る光モジュールは、光ファイバと、光学レンズと、バッ
ケージと、光路を直交方向に曲げるためのミラーと、素
子基板の垂直方向に光信号を入出力する高周波光電子素
子とを具備した光モジュールにおいて、前記光学レンズ
は予め前記パッケージに固定され、その後前記ミラー若
しくは前記ミラーを予め固定したミラーホルダを、前記
パッケージの搭載面上で水平方向にずらせて、最適な光
学結合状態が得られるよう位置合わせして、溶接若しく
は接着剤でパッケージに固定されたことを特徴とする。
An optical module according to a second aspect of the present invention which solves the above object is an optical fiber, an optical lens, a package, a mirror for bending an optical path in an orthogonal direction, and an optical signal in a direction perpendicular to an element substrate. In the optical module including a high-frequency optoelectronic device for inputting and outputting, the optical lens is fixed in advance to the package, and then the mirror or a mirror holder in which the mirror is fixed in advance is horizontally mounted on the mounting surface of the package. It is characterized in that it is displaced, aligned so as to obtain an optimum optical coupling state, and fixed to the package by welding or an adhesive.

【0011】〔作用〕本発明によれば、高い結合効率を
有しながらコンパクトな高速光モジュールを生産性よく
実現できる。
[Operation] According to the present invention, a compact high-speed optical module having high coupling efficiency can be realized with high productivity.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】〔実施例1〕図1は本発明の第1
の実施例を説明するための図であって、(a)は上面
図、(b)は断面図である。ここで、1は面型PD素
子,2はセラミック製高周波配線基板,3は高周波コネ
クタ,5はパッケージ,6は非球面レンズ,8’はミラ
ーホルダ,9は光ファイバ,10はファイバホルダ,1
2は気密封止用の蓋である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS [Embodiment 1] FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention.
3A and 3B are views for explaining the embodiment of FIG. Here, 1 is a surface type PD element, 2 is a ceramic high-frequency wiring board, 3 is a high-frequency connector, 5 is a package, 6 is an aspherical lens, 8'is a mirror holder, 9 is an optical fiber, 10 is a fiber holder, 1
2 is a lid for hermetically sealing.

【0013】これを組み立てるには、先ず、非球面レン
ズ6をろう付け、溶接、圧入等の手段によりパッケージ
5に固定する。次に、PD素子1を高周波配線基板2の
上面に金スズハンダや接着剤等でフリップチップ搭載固
定する。ここで、PD素子1の電気的チェックを行った
後、金スズハンダや接着剤等で基板2をパッケージ5の
所定の位置に固定する。そして、配線基板2同士を金リ
ボンで電気的に接続する。
To assemble this, first, the aspherical lens 6 is fixed to the package 5 by means such as brazing, welding and press fitting. Next, the PD element 1 is flip-chip mounted and fixed on the upper surface of the high-frequency wiring board 2 with gold tin solder, an adhesive, or the like. Here, after the PD element 1 is electrically checked, the substrate 2 is fixed to a predetermined position of the package 5 with gold tin solder, an adhesive or the like. Then, the wiring boards 2 are electrically connected to each other with a gold ribbon.

【0014】それから外部ファイバより光信号を入れ、
PD素子1の受光電流を測りながら、ミラーを装着した
ミラーホルダ8’の位置をパッケージ5の搭載面に対し
てすべらせるようにして位置合せした状態で、上方より
レーザ溶接によってパッケージ5に固定する。その後、
パッケージ5に気密封止用蓋12を抵抗溶接によって固
定し、気密封止する。最後に、パッケージ5の外側でフ
ァイバ9を位置合せして、受光電流が最適になる位置で
ファイバ9とファイバホルダ10をYAGレーザ溶接固
定して完成する。
Then, an optical signal is input from an external fiber,
While measuring the received light current of the PD element 1, the position of the mirror holder 8'having the mirror mounted thereon is aligned with the mounting surface of the package 5 so that the mirror holder 8'is fixed to the package 5 by laser welding from above. . afterwards,
The lid 12 for airtight sealing is fixed to the package 5 by resistance welding and hermetically sealed. Finally, the fiber 9 is aligned on the outside of the package 5, and the fiber 9 and the fiber holder 10 are fixed by YAG laser welding at a position where the received light current is optimum.

【0015】本実施例では、PD素子1の搭載位置ずれ
を補正するために、ミラーの位置をパッケージ底面に対
して水平方向のみ調整して、ほぼ真上から溶接固定でき
るのでパッケージ5の幅を広げる必要はない。またミラ
ーホルダ8’とパッケージ5は常に接触しているのでレ
ーザ溶接でなく、抵抗溶接での固定も可能である。また
それほど過酷な使用条件でなければ、接着剤で固定して
も十分な安定度は得られる。
In the present embodiment, in order to correct the mounting position deviation of the PD element 1, the position of the mirror can be adjusted only in the horizontal direction with respect to the package bottom surface, and the fixing can be performed by welding from almost directly above. No need to unfold. Further, since the mirror holder 8'and the package 5 are always in contact with each other, it is possible to fix them by resistance welding instead of laser welding. If it is not used under such severe conditions, sufficient stability can be obtained even if it is fixed with an adhesive.

【0016】この調整方法ではレンズ6と素子1間の光
学距離は基本的には調節できないが、一般に素子1の搭
載精度は数10μm以内であり、基板2やレンズ6の搭
載精度を含めても100μm程度の誤差に抑えることは
それほど難しくないので一般的にはファイバ側の調整で
十分カバーできる。またどうしても100μm以下の微
妙な調節が必要な場合には、ミラーの取付角度を変えた
ミラーホルダ8’を何種類か準備することで対応も可能
である。
Although the optical distance between the lens 6 and the element 1 cannot be basically adjusted by this adjusting method, the mounting accuracy of the element 1 is generally within several tens of μm, and the mounting accuracy of the substrate 2 and the lens 6 is included. Since it is not so difficult to suppress the error to about 100 μm, in general, adjustment on the fiber side can sufficiently cover the error. Further, when it is absolutely necessary to make a fine adjustment of 100 μm or less, it is possible to deal with it by preparing several kinds of mirror holders 8 ′ having different mirror mounting angles.

【0017】本実施例ではレンズ6とパッケージ5を予
め一体化できるのでパッケージ高を抑えられる上、レン
ズ固定をバッチ処理できるので生産性の向上及び低コス
ト化が期待できる。なお、素子のフリップチップ搭載は
絶対的な要素ではないが、本発明の狙いである高速光素
子においては伝送特性上も有利であり、素子の搭載後の
電気的チェックもパッケージに搭載した状態で行うより
容易で、かつ不良品が出た場合の廃棄コストも低くでき
るメリットがある。
In this embodiment, since the lens 6 and the package 5 can be integrated in advance, the package height can be suppressed, and the lens can be fixed in a batch process, so that improvement in productivity and cost reduction can be expected. Although flip-chip mounting of the element is not an absolute element, it is advantageous in terms of transmission characteristics in the high-speed optical element that is the aim of the present invention, and an electrical check after mounting the element is also performed in the package. There is an advantage that it is easier than that, and the disposal cost when a defective product comes out can be reduced.

【0018】〔実施例2〕図2は本発明の第2の実施例
を説明するための図であって、(a)は上面図、(b)
は断面図である。ここで、1は面型PD素子、2はセラ
ミック製高周波配線基板、3’はパッケージに形成され
たビアホール、5’はセラミック製パッケージ、6は非
球面レンズ、8’はミラーホルダ、9は光ファイバ、1
0はファイバホルダ、12は気密封止用の蓋、13は溶
接用の金属リングである。
[Embodiment 2] FIG. 2 is a view for explaining a second embodiment of the present invention, in which (a) is a top view and (b) is a top view.
Is a sectional view. Here, 1 is a surface-type PD element, 2 is a ceramic high-frequency wiring board, 3'is a via hole formed in the package, 5'is a ceramic package, 6 is an aspherical lens, 8'is a mirror holder, and 9 is optical. Fiber, 1
Reference numeral 0 is a fiber holder, 12 is a lid for hermetically sealing, and 13 is a metal ring for welding.

【0019】本実施例では、セラミック製のパッケージ
5’を用い、パッケージ製造時にレンズ6も高温ハンダ
や低融点ガラス等により内部に一体化して作製する。フ
ァイバ9を溶接固定するために、金属リング13もパッ
ケージ5’の端面にろう付け等の方法により一体化して
作製する。また、高周波信号出力はビアホール3’を介
して底面に出し、光モジュールを搭載するボードに直接
配線する構造としている。
In this embodiment, the ceramic package 5'is used, and the lens 6 is also integrally formed inside by high temperature solder, low melting point glass or the like at the time of manufacturing the package. In order to fix the fiber 9 by welding, the metal ring 13 is also integrally manufactured on the end surface of the package 5 ′ by a method such as brazing. The high-frequency signal output is output to the bottom surface via the via hole 3 ', and is directly wired to the board on which the optical module is mounted.

【0020】組立方法はレンズ固定を省略できる他は、
基本的に実施例1と同様である。本実施例ではさらなる
小形化と経済化が期待でき、量産向きと考えられる。パ
ッケージ材としてアルミナのような高周波損失の少ない
材料を用いて、高周波配線回路2もパッケージ5’に作
り込んでやれば、部品としての配線基板を省略すること
も可能である。なお、上記実施例では、PD素子1を対
象として説明したが、同様なモジュール構成であるVC
SELのような面型の光素子であれば一般に適用でき
る。
As for the assembling method, the lens fixing can be omitted,
Basically, it is the same as the first embodiment. In this embodiment, further miniaturization and economy can be expected, and it is considered to be suitable for mass production. If a high frequency wiring circuit 2 is also formed in the package 5'using a material having a low high frequency loss such as alumina as a package material, the wiring board as a component can be omitted. It should be noted that, in the above-described embodiment, the PD element 1 is described as a target, but a VC having a similar module configuration is used.
Any surface type optical device such as SEL can be generally applied.

【0021】これまで説明したように、本発明は、高速
信号処理用のフォトダイオードや面発光レーザのような
面型光素子のモジュール化に関するものである。従来の
光モジュールは、図3及び図4に表されたように、レン
ズホルダ7を搭載したサブマウント4をバッケージ5に
組み込んで構成されており、サイズや部品点数が大き
く、コストも高くなるという問題を含んでいた。また、
レンズホルダ7をレーザ溶接で固定する際、レーザ光が
照射できる範囲が限定されるため、レンズを充分に固定
できずに光軸の位置あわせ精度が落ちる問題があった。
As described above, the present invention relates to modularization of a surface-type optical element such as a photodiode or a surface-emitting laser for high-speed signal processing. As shown in FIGS. 3 and 4, the conventional optical module is configured by incorporating the submount 4 on which the lens holder 7 is mounted into the package 5, and thus the size and the number of parts are large and the cost is high. It contained problems. Also,
When the lens holder 7 is fixed by laser welding, the range in which the laser light can be irradiated is limited, so that the lens cannot be fixed sufficiently and the alignment accuracy of the optical axis deteriorates.

【0022】これに対して本発明は、図1に表わされた
ように、サブマウントを用いることなく、レンズを予め
固定しておき、ミラーホルダ8’の位置を光学結合状態
が最適となるように調整した後に、溶接又は接着により
固定するものである。従って、本発明は、サブマウント
を用いないため、サイズを小さくできる効果が顕著であ
り、部品点数や組み立て工数が少なくなり、コスト削減
が図れる。
On the other hand, in the present invention, as shown in FIG. 1, the lens is fixed in advance without using the submount, and the position of the mirror holder 8'is optimally in the optically coupled state. After adjusting as described above, it is fixed by welding or adhesion. Therefore, in the present invention, since the submount is not used, the effect of reducing the size is remarkable, the number of parts and the number of assembling steps are reduced, and the cost can be reduced.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上、実施例に基づいて具体的に説明し
たように、本発明によれば光モジュールの小形化が計
れ、かつ部品点数の削減、生産性向上も期待できるの
で、低コスト化が可能となる。
As described above in detail with reference to the embodiments, according to the present invention, the optical module can be miniaturized, the number of parts can be reduced, and the productivity can be improved, so that the cost can be reduced. Is possible.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は本発明の第1の実施例を説明する高速P
D素子モジュールの構成図であって、同図(a)は上面
図、同図(b)は断面図である。
FIG. 1 is a high-speed P illustrating a first embodiment of the present invention.
It is a block diagram of a D element module, the figure (a) is a top view and the figure (b) is a sectional view.

【図2】図2は本発明の第2の実施例を説明する高速P
D素子モジュールの構成図であって、同図(a)は上面
図、同図(b)は断面図である。
FIG. 2 is a high-speed P illustrating a second embodiment of the present invention.
It is a block diagram of a D element module, the figure (a) is a top view and the figure (b) is a sectional view.

【図3】図3は従来型の高速PD素子モジュールの構成
図であって、同図(a)は上面図、同図(b)は断面図
である。
3A and 3B are configuration diagrams of a conventional high-speed PD element module, in which FIG. 3A is a top view and FIG. 3B is a sectional view.

【図4】図4は従来型の高速PD素子モジュールの溶接
部位を示すための光軸方向から見た説明図である。
FIG. 4 is an explanatory view seen from the optical axis direction for showing a welded portion of a conventional high-speed PD element module.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 PD素子 2 高周波配線基板 3 高周波コネクタ 4 サブマウント 5 パッケージ 6 非球面レンズ(金属枠付) 7 レンズホルダ 8 ミラー 8’ミラーホルダ 9 光ファイバ 10 ファイバホルダ 11 レンズ支柱 12 蓋 1 PD element 2 High frequency wiring board 3 high frequency connector 4 submount 5 packages 6 Aspherical lens (with metal frame) 7 lens holder 8 mirror 8'mirror holder 9 optical fiber 10 Fiber holder 11 lens support 12 lid

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 古田 知史 東京都千代田区大手町二丁目3番1号 日 本電信電話株式会社内 Fターム(参考) 2H037 BA03 BA12 CA10 CA15 CA38 DA02 DA06 DA16 DA18 5F073 AB27 AB28 BA02 DA35 FA07 FA08 FA16 FA21 FA30 5F088 BA15 BA16 BB01 BB06 CB20 JA12 JA14 JA20    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Tomoshi Furuta             2-3-1, Otemachi, Chiyoda-ku, Tokyo             Inside Telegraph and Telephone Corporation F term (reference) 2H037 BA03 BA12 CA10 CA15 CA38                       DA02 DA06 DA16 DA18                 5F073 AB27 AB28 BA02 DA35 FA07                       FA08 FA16 FA21 FA30                 5F088 BA15 BA16 BB01 BB06 CB20                       JA12 JA14 JA20

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光ファイバと、光学レンズと、バッケー
ジと、光路を直交方向に曲げるためのミラーと、素子基
板の垂直方向に光信号を入出力する高周波光電子素子と
を具備した光モジュールの組立方法において、先ず、前
記光学レンズを前記パッケージに固定し、その後前記ミ
ラー若しくは前記ミラーを予め固定したミラーホルダ
を、前記パッケージの搭載面上で水平方向にずらせて、
最適な光学結合状態が得られるよう位置合わせして、溶
接若しくは接着剤で前記パッケージに固定する工程を含
むことを特徴とする光モジュールの組立方法。
1. An assembly of an optical module comprising an optical fiber, an optical lens, a package, a mirror for bending an optical path in an orthogonal direction, and a high-frequency optoelectronic element for inputting and outputting an optical signal in a direction perpendicular to an element substrate. In the method, first, the optical lens is fixed to the package, and then the mirror or a mirror holder to which the mirror is previously fixed is horizontally shifted on a mounting surface of the package,
A method of assembling an optical module, comprising the steps of aligning so as to obtain an optimum optical coupling state and fixing the package to the package with welding or an adhesive.
【請求項2】 光ファイバと、光学レンズと、バッケー
ジと、光路を直交方向に曲げるためのミラーと、素子基
板の垂直方向に光信号を入出力する高周波光電子素子と
を具備した光モジュールにおいて、前記光学レンズは前
記パッケージに予め固定され、その後前記ミラー若しく
は前記ミラーを予め固定したミラーホルダを、前記パッ
ケージの搭載面上で水平方向にずらせて、最適な光学結
合状態が得られるよう位置合わせして、溶接若しくは接
着剤でパッケージに固定されたことを特徴とする光モジ
ュール。
2. An optical module comprising an optical fiber, an optical lens, a package, a mirror for bending an optical path in an orthogonal direction, and a high-frequency optoelectronic element for inputting and outputting an optical signal in a direction perpendicular to an element substrate, The optical lens is previously fixed to the package, and then the mirror or the mirror holder to which the mirror is previously fixed is horizontally shifted on the mounting surface of the package, and aligned so as to obtain an optimum optical coupling state. An optical module characterized by being fixed to the package by welding or an adhesive.
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