JP2003065856A - Optical measuring system - Google Patents

Optical measuring system

Info

Publication number
JP2003065856A
JP2003065856A JP2001256527A JP2001256527A JP2003065856A JP 2003065856 A JP2003065856 A JP 2003065856A JP 2001256527 A JP2001256527 A JP 2001256527A JP 2001256527 A JP2001256527 A JP 2001256527A JP 2003065856 A JP2003065856 A JP 2003065856A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
optical measurement
light
measurement
light emission
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2001256527A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mitsuru Inada
満 稲田
Masaaki Negoro
正明 根来
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP2001256527A priority Critical patent/JP2003065856A/en
Publication of JP2003065856A publication Critical patent/JP2003065856A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical measuring system capable of taking accurately luminescent data at a measuring point by removing a noise entering through an observation optical path in luminescence measurement of the specific measuring point. SOLUTION: This optical measuring system comprises a pluralities of optical measuring parts for condensing luminescence of the measuring point through the observation optical paths and deriving condensed light so that the luminescence of one measuring point is condensed through the observation optical paths having mutually different angles, and a correlator for inputting each luminescent signal acquired from light condensed by each optical measuring part and outputting a coherent luminescent signal by taking coherence of inputted luminescent signals. Hereby, an analyzer inputting the luminescent signal acquired by taking the mutually coherent luminescent signals from the inputted plural luminescent signals by the correlator as a luminescent signal from which a noise from except the measuring point is removed can perform accurate measurement on the measuring point, to thereby facilitate clarification of luminescent phenomenon.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光学系の観測光路
上で受けるノイズの影響を除き、特定の点の発光の光学
計測を行える光学計測システムに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical measurement system capable of performing optical measurement of light emission at a specific point, excluding the influence of noise on the observation optical path of an optical system.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、一定の計測点における特定の周波
数の光を計測し、特定の物質を検知したり、その計測点
の状態を検知することが行われる。例えば、燃焼域に特
有に現れる遷移的な物質として、OHラジカル、CHラ
ジカル、C2 ラジカル等があり、それらはそれぞれ特定
の波長306.3nm、431.5nm、516.52
nmの発光を有する。したがってボイラやタービンの燃
焼器における燃焼状態を確認するために、計測点の燃焼
反応に伴う発光を観測し、それらの発光信号を得て分析
することにより、計測点での発光現象である燃焼現象を
とらえることができ、例えば、燃焼器の中央にあるパイ
ロットバーナの保炎状態の監視等に有効である。
2. Description of the Related Art Conventionally, light having a specific frequency at a certain measurement point is measured to detect a specific substance or the state of the measurement point. For example, there are OH radicals, CH radicals, C 2 radicals, and the like as transitional substances that appear uniquely in the combustion region, and these have specific wavelengths of 306.3 nm, 431.5 nm, and 516.52, respectively.
having an emission of nm. Therefore, in order to confirm the combustion state in the combustor of the boiler or the turbine, the luminescence accompanying the combustion reaction at the measurement point is observed, and the luminescence signals at those points are obtained and analyzed to determine the combustion phenomenon that is the luminescence phenomenon at the measurement point It is effective for monitoring the flame holding state of the pilot burner in the center of the combustor, for example.

【0003】図4に基づきそのような光学計測システム
の従来例を説明する。(a)は、一般的なファイバー・
レンズ系による光学計測部1を示すものである。(な
お、本明細書において「光学計測部」とは、計測点の発
光を観測光路を介して集光し集光した光を導き出すもの
をいう。) 図4において、光学計測部1は計測点Aの発光を凸レン
ズ2で集光し、捉えた光を石英ファイバー、グラスファ
イバー等のファイバー導光部3に導き、図示しない必要
なフィルタ、増幅器等を経て、分析計4にインプットす
るものである。なお、図4(a)において、凸レンズ2
は1枚のレンズで示したが、それに限らずレンズ群であ
ってもよい。
A conventional example of such an optical measurement system will be described with reference to FIG. (A) is a general fiber
1 shows an optical measurement unit 1 using a lens system. (In the present specification, the “optical measurement unit” refers to a unit that collects light emitted from a measurement point through an observation optical path and guides the condensed light.) In FIG. 4, the optical measurement unit 1 is a measurement point. The light emitted from A is condensed by the convex lens 2, the captured light is guided to the fiber light guide 3 such as a quartz fiber or a glass fiber, and is input to the analyzer 4 through a necessary filter, amplifier, etc. not shown. . In FIG. 4A, the convex lens 2
Is shown as a single lens, but it is not limited to this and may be a lens group.

【0004】しかし、図4(a)において、Bを計測点
Aを含む燃焼域とすると、Bの範囲では燃焼にともなう
発光があり、A点からの観測光路のうちBの領域を通る
部分(図中ハッチングをした部分)での発光が全てノイ
ズとして入ってきたものを受光するため、正確なA点の
光学計測がしにくい、という問題があった。
However, in FIG. 4A, assuming that B is the combustion region including the measurement point A, there is light emission accompanying combustion in the range of B, and the portion of the observation optical path from point A that passes through the region of B ( There is a problem that it is difficult to perform accurate optical measurement of the point A because all the light emission in the hatched portion in the figure) enters as noise.

【0005】その改良された光学計測システムの従来例
として図4(b)に示すカセグレーン光学系(Cass
egrain Optics)がある。カセグレーン光
学系の光学計測部1’は、計測点Aに対して背を向けた
凸面鏡5と、計測点Aと凸面鏡5を結ぶ線上に凸面鏡5
に向き合い中央に開口6aを有した凹面鏡6を配したも
のである。
As a conventional example of the improved optical measurement system, a Cassegrain optical system (Cass) shown in FIG.
egrain Optics). The optical measuring unit 1 ′ of the Cassegrain optical system includes a convex mirror 5 with its back facing the measurement point A, and a convex mirror 5 on the line connecting the measurement point A and the convex mirror 5.
And a concave mirror 6 having an opening 6a in the center.

【0006】計測点Aの発光は、凸面鏡5の周囲を通過
し、凹面鏡6で反射したものが、凸面鏡5で反射し、凹
面鏡6の中央の開口6aを通過して集光される。
The light emitted from the measuring point A passes around the convex mirror 5, is reflected by the concave mirror 6, is reflected by the convex mirror 5, passes through the central opening 6a of the concave mirror 6, and is condensed.

【0007】これを石英ファイバー、グラスファイバー
等のファイバー導光部3に導き、図示しない必要なフィ
ルタ、増幅器等を経て、分析計4にインプットするもの
である。
This is guided to a fiber light guide portion 3 such as a quartz fiber or a glass fiber, and is inputted to an analyzer 4 through a necessary filter, amplifier, etc. not shown.

【0008】したがって、カセグレーン光学系を用いた
場合、図4(b)の示すように、燃焼域Bを通るA点か
らの観測光路は限定されたものとなり、その間に入るノ
イズとしての発光を少なくできるが、計測点A以外の発
光がノイズとして入ってくることは避けがたい。
Therefore, when the Cassegrain optical system is used, as shown in FIG. 4 (b), the observation optical path from the point A passing through the combustion zone B is limited, and the light emission as noise entering during that period is reduced. It is possible, but it is unavoidable that the light emission other than the measurement point A enters as noise.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記のような
従来の光学計測システムによる特定の計測点の観測にお
いて観測光路で入ってくるノイズを除き、計測点の発光
データを正確に取り出せる光学計測システムを提供する
ことを課題とするものである。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention is an optical measurement capable of accurately extracting emission data of a measurement point, excluding noise that enters in an observation optical path when observing a specific measurement point by the conventional optical measurement system as described above. The challenge is to provide a system.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】(1)本発明は上記の課
題を解決するためになされたものであって、その第1の
手段として、計測点の発光を観測光路を介して集光し集
光した光を導き出す光学計測部を、1つの計測点の発光
を互いに異なる角度の観測光路を介して集光するように
複数備え、同光学計測部のそれぞれが集光した光から得
られたそれぞれの発光信号を入力し、入力した発光信号
のコヒーレンスを取ってコヒーレントな発光信号を出力
する相関器を有してなることを特徴とする光学計測シス
テムを提供する。
[Means for Solving the Problems] (1) The present invention has been made to solve the above problems, and as a first means thereof, collects light emitted from a measurement point through an observation optical path. A plurality of optical measurement units for deriving the condensed light are provided so as to collect light emitted from one measurement point through observation optical paths at mutually different angles, and each of the optical measurement units obtains from the collected light. There is provided an optical measurement system characterized by comprising a correlator that inputs each light emission signal, takes coherence of the input light emission signal, and outputs a coherent light emission signal.

【0011】上記の第1の手段によれば、各光学計測部
で計測点の発光を捉えて集光した光の発光信号は、観測
光路で入って来る光によるノイズのために、計測点の発
光と異なる波形を呈するものとなるが、入力された相関
器において複数の発光信号から互いにコヒーレントな発
光信号を取ることにより、得られた発光信号は、計測点
以外からのノイズを除いた、計測点での発光に従う発光
信号として用いることができるものとなる。
According to the above-mentioned first means, the light emission signal of the light collected by capturing the light emission of the measurement point in each optical measuring section is not detected by the noise due to the light entering in the observation optical path. Although it has a waveform different from that of the light emission, the obtained light emission signal is measured by removing the noise from other than the measurement point by taking coherent light emission signals from multiple light emission signals in the input correlator. It can be used as a light emission signal according to light emission at a point.

【0012】(2)第2の手段としては、第1の手段の
光学計測システムにおいて、前記複数の光学計測部の少
なくとも1つが、前記計測点に相対する凸レンズと、同
凸レンズが集光した光を導くファイバー導光部とを備え
るファイバー・レンズ系であることを特徴とする光学計
測システムを提供する。
(2) As a second means, in the optical measurement system of the first means, at least one of the plurality of optical measurement units has a convex lens facing the measurement point and light collected by the convex lens. An optical measurement system is provided which is a fiber lens system including a fiber light guide unit that guides the light.

【0013】第2の手段によれば、第1の手段の作用を
奏するとともに、光学計測システムを簡易に構成でき
る。
According to the second means, the operation of the first means can be achieved, and the optical measurement system can be simply constructed.

【0014】(3)また、第3の手段として、第1の手
段の光学計測システムにおいて、前記複数の光学計測部
の少なくとも1つが、前記計測点に対して背を向けた凸
面鏡と、同計測点と同凸面鏡を結ぶ線上に配設され同凸
面鏡に向き合い中央に開口を有した凹面鏡と、前記開口
を通過して集光した光を導くファイバー導光部とを備え
るカセグレーン光学系であることを特徴とする光学計測
システムを提供する。
(3) As a third means, in the optical measurement system of the first means, at least one of the plurality of optical measurement units has a convex mirror with its back facing the measurement point, and the same measurement. A Cassegrain optical system that includes a concave mirror disposed on a line connecting the point and the convex mirror and facing the convex mirror and having an opening in the center, and a fiber light guide unit that guides light condensed through the opening. A characteristic optical measurement system is provided.

【0015】第3の手段によれば、第1の手段の作用を
奏するとともに、光学計測システムは、より高精度の計
測が可能となる。
According to the third means, the operation of the first means can be achieved, and the optical measurement system can measure with higher accuracy.

【0016】(4)第4の手段として、第1の手段ない
し第3の手段のいずれかの光学計測システムにおいて、
前記1つの計測点に対し前記光学計測部の2つによる組
が複数組形成され、前記組毎に異なる物質の発光に合わ
せたフィルタが介装され、それぞれの前記組毎に前記相
関器が前記物質の発光信号を出力することを特徴とする
光学計測システムを提供する。
(4) As the fourth means, in the optical measurement system according to any one of the first means to the third means,
A plurality of sets of two optical measurement units are formed for the one measurement point, a filter adapted to the emission of a different substance is interposed for each set, and the correlator is provided for each set. Provided is an optical measurement system, which is characterized by outputting a light emission signal of a substance.

【0017】第4の手段によれば、第1の手段ないし第
3の手段のいずれかの作用に加え、複数組の光学計測部
を用いて同一計測点の発光に関し、同時に異なる物質の
発光についてノイズを除去した計測をすることができ、
複数の物質の発光に関し正確な計測を行うことが可能と
なる。
According to the fourth means, in addition to the operation of any one of the first means to the third means, a plurality of sets of optical measuring units are used to emit light at the same measurement point, and simultaneously to emit light from different substances. It is possible to measure without noise,
It is possible to perform accurate measurement regarding the light emission of a plurality of substances.

【0018】(5)第5の手段として、第4の手段の光
学計測システムにおいて、前記各組の2つの前記光学計
測部の一方を共通の1つの光学計測部としてなることを
特徴とする光学計測システムを提供する。
(5) As a fifth means, in the optical measuring system of the fourth means, one of the two optical measuring sections of each set is a common optical measuring section. Provide a measurement system.

【0019】第5の手段によれば、第4の手段の作用に
加え、複数組の光学計測部による光学計測システムを構
成するに際し、1つの光学計測部を全組に共用できるの
で少ない光学計測部の数で光学計測システムが簡潔に構
成される。
According to the fifth means, in addition to the function of the fourth means, when configuring an optical measurement system with a plurality of sets of optical measurement units, one optical measurement unit can be shared by all the sets, so that few optical measurement The number of parts makes the optical measurement system simple.

【0020】(6)さらに、第6の手段として、第1の
手段ないし第3の手段のいずれかの光学計測システムに
おいて、前記光学計測部を、前記1つの計測点に代えて
複数の計測点の発光を同計測点毎に互いに異なる角度の
観測光路を介して集光するように複数備え、前記計測点
毎に前記相関器が入力した発光信号のコヒーレンスを取
ってコヒーレントな発光信号を出力することを特徴とす
る光学計測システム。
(6) As a sixth means, in the optical measuring system according to any one of the first means to the third means, the optical measuring section is replaced with a plurality of measuring points instead of the one measuring point. Is provided so as to collect light from each of the same measurement points via observation optical paths at mutually different angles, and the coherence of the light emission signal input by the correlator is taken at each of the measurement points to output a coherent light emission signal. An optical measurement system characterized by the above.

【0021】第6の手段によれば、第1の手段の作用を
奏するとともに、複数組の光学計測部を用いて計測域内
の異なる複数の計測点の発光に関し、同時にノイズを除
去した計測をすることができるものであり、複数の計測
点に関し正確に発光状態を捉えることが可能となる。
According to the sixth means, in addition to the effect of the first means, a plurality of sets of optical measurement units are used to simultaneously perform noise-free measurement on light emission at a plurality of different measurement points in the measurement area. Therefore, it is possible to accurately capture the light emission state at a plurality of measurement points.

【0022】(7)第7の手段として、第6の手段の光
学計測システムにおいて、前記複数の光学計測部の内の
1つの光学計測部はその観測光路に前記複数の計測点の
全てが入るものとし、前記計測点毎に前記複数の光学計
測部の内の別の光学計測部が同計測点の発光を前記1つ
の光学計測部の観測光路と異なる角度の観測光路を介し
て集光することを特徴とする光学計測システム。
(7) As a seventh means, in the optical measuring system according to the sixth means, one of the plurality of optical measuring sections has all of the plurality of measuring points in its observation optical path. It is assumed that, for each of the measurement points, another optical measurement section of the plurality of optical measurement sections collects light emission at the same measurement point via an observation optical path at an angle different from the observation optical path of the one optical measurement section. An optical measurement system characterized by the above.

【0023】第7の手段によれば、第6の手段の作用に
加え、複数組の光学計測部による光学計測システムを構
成するに際し、1つの光学計測部の観測光路を平行光線
によるものにすることにより全計測点に共用できるの
で、少ない光学計測部の数で光学計測システムが簡潔に
構成される。
According to the seventh means, in addition to the function of the sixth means, when forming an optical measurement system with a plurality of sets of optical measurement units, the observation optical path of one optical measurement unit is made by parallel rays. Since it can be shared by all the measurement points, the optical measurement system can be simply configured with a small number of optical measurement units.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】図1に基づき、本発明の実施の第
1形態に係る光学計測システムを説明する。図1は本実
施の形態の光学計測システムの基本的構成を示すもので
ある。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An optical measurement system according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 shows the basic configuration of the optical measurement system of this embodiment.

【0025】図1において10は第1の光学計測部、2
0は第2の光学計測部であり、それぞれ従来例で示した
ファイバー・レンズ系による光学計測部1またはカセグ
レーン光学系の光学計測部1’で構成される。
In FIG. 1, 10 is a first optical measuring unit, 2
Reference numeral 0 denotes a second optical measuring unit, which is composed of an optical measuring unit 1 using a fiber-lens system or an optical measuring unit 1'of a Cassegrain optical system shown in the conventional example.

【0026】本実施の形態においてBは計測域である燃
焼域であり、燃焼域B内の1つの計測点Aに対して2つ
の光学計測部、すなわち第1の光学計測部10と第2の
光学計測部20が1組(1ペア)の光学計測部としてそ
れぞれの観測光路の角度を異にして設けられ、光学計測
システムを構成している。
In the present embodiment, B is a combustion region which is a measurement region, and two optical measurement units, that is, the first optical measurement unit 10 and the second optical measurement unit, for one measurement point A in the combustion region B. The optical measurement unit 20 is provided as a set (1 pair) of optical measurement units with different angles of observation optical paths, and constitutes an optical measurement system.

【0027】計測点Aの発光aを計測するため、第1の
光学計測部10が発光aを捉えて集光した光bは石英フ
ァイバー、グラスファイバー等のファイバー導光部13
により導かれ、(特定の物質の発光に関して計測しよう
とする場合はその物質の発光に合わせたフィルタ17を
経由して、)増幅器18にインプットされ、増幅器18
で電気信号化され増幅された発光信号b’は相関器40
にインプットされる。
In order to measure the light emission a at the measurement point A, the light b collected and collected by the first optical measurement unit 10 is a fiber light guide unit 13 such as a quartz fiber or a glass fiber.
And is input to the amplifier 18 (via the filter 17 matched to the emission of the substance when the emission of the specific substance is to be measured).
The light emission signal b ′ converted into an electric signal and amplified by the correlator 40
Is input to.

【0028】第2の光学計測部20が発光aを捉えて集
光した光cは石英ファイバー、グラスファイバー等のフ
ァイバー導光部23により導かれ、(特定の物質の発光
に関して計測しようとする場合は第1の光学計測部で設
定したと同じ特定の物質の発光に合わせたフィルタ27
を経由して、)増幅器28にインプットされ、増幅器2
8で電気信号化され増幅された発光信号c’は相関器4
0にインプットされる。
The light c collected and collected by the second optical measuring section 20 is guided by the fiber light guide section 23 such as a quartz fiber or a glass fiber, and (when measuring the emission of a specific substance, Is a filter 27 adapted to the emission of the same specific substance as set in the first optical measurement unit.
Via the) to the amplifier 28 and the amplifier 2
The light emission signal c ′ converted into an electric signal and amplified by 8 is the correlator 4
Input to 0.

【0029】相関器40は、第1と第2の光学計測部1
0、20からの発光信号b’、c’のコヒーレンス(c
oherence)を取ることによりコヒーレントな発
光信号a’を得て、これを分析計4にインプットするも
のである。
The correlator 40 includes the first and second optical measuring units 1
Coherence (c) of the emission signals b ′ and c ′ from 0 and 20
The coherent light emission signal a ′ is obtained by taking the difference (attenuation), and this is input to the analyzer 4.

【0030】なお、本明細書において「コヒーレンスを
とってコヒーレントな発光信号を得る」とは、複数の発
光信号の、基準とする発光信号の時間波形と対象とする
発光信号の時間波形との類似性を見ることであり、いわ
ゆる、コヒーレンス関数をとり、1に近いものをコヒー
レントな発光信号とすることである。
In the present specification, "obtaining coherent light emission signal by taking coherence" is similar to the time waveform of a reference light emission signal and the time waveform of a target light emission signal of a plurality of light emission signals. The property is to take a so-called coherence function, and a value close to 1 is used as a coherent light emission signal.

【0031】以上のような本実施の形態の光学計測シス
テムによれば、計測点Aの発光aを第1の光学計測部1
0で捉えて集光した光bは、燃焼域B内の観測光路11
(図中ハッチングをした部分)で入って来る光のため
に、発光aと異なる波形を呈するものとなる。
According to the optical measuring system of the present embodiment as described above, the light emission a at the measuring point A is measured by the first optical measuring unit 1.
The light b collected and collected at 0 is the observation optical path 11 in the combustion region B.
The light coming in (hatched portion in the figure) has a waveform different from that of the light emission a.

【0032】同様に、計測点Aの発光aを第2の光学計
測部20で捉えて集光した光cは、燃焼域B内の観測光
路21(図中ハッチングをした部分)で入って来る光の
ために、発光aと異なる波形を呈するものとなる。
Similarly, the light c obtained by collecting the light emission a at the measurement point A by the second optical measuring section 20 and converging it enters through the observation optical path 21 (hatched portion in the figure) in the combustion zone B. Due to the light, it has a waveform different from that of the light emission a.

【0033】しかし、それぞれの光b、cは増幅器1
8、28で増幅されて発光信号b’、c’となった後、
相関器40において互いにコヒーレントな発光信号a’
を取ることにより、上記観測光路11で入った計測点A
以外からの入射光による発光信号の成分と、上記観測光
路21で入った計測点A以外からの入射光による発光信
号の成分との不一致を利用し、これらを区別し除去する
ことができる。
However, the respective lights b and c are transmitted to the amplifier 1
After being amplified by 8 and 28 to become emission signals b ′ and c ′,
Light emission signals a ′ that are coherent with each other in the correlator 40
By taking the measurement point A entered in the observation optical path 11 above.
By utilizing the disagreement between the component of the light emission signal due to the incident light from other than the component of the light emission signal due to the incident light from other than the measurement point A entered in the observation optical path 21, these can be distinguished and removed.

【0034】その結果、得られたコヒーレントな発光信
号a’は、計測点A以外からのノイズを除いた、計測点
Aでの発光aに従う発光信号として用いることができる
ものとなり、発光信号a’を入力した分析計4は、計測
点Aに関し、従来例に比べ遙かに正確に燃焼現象を捉え
ることが可能となって、複雑な燃焼現象の解明を容易に
することができる。
As a result, the obtained coherent light emission signal a'can be used as a light emission signal according to the light emission a at the measurement point A, excluding the noise from other than the measurement point A, and the light emission signal a '. With respect to the measurement point A, the analyzer 4 that has input is able to capture the combustion phenomenon much more accurately than the conventional example, and it is possible to easily understand the complicated combustion phenomenon.

【0035】本実施の形態において、上記第1の光学計
測部10、第2の光学計測部20はそれぞれ従来例で示
したファイバー・レンズ系の光学計測部1によっても十
分効果が得られ、システムを構成するコストを低減でき
るが、カセグレーン光学系の光学計測部1’を用いた場
合は、より高精度の計測が可能となる。
In the present embodiment, the first optical measuring unit 10 and the second optical measuring unit 20 are sufficiently effective even by the optical measuring unit 1 of the fiber lens system shown in the conventional example, and the system is obtained. Although it is possible to reduce the cost of configuring, the use of the optical measuring unit 1 ′ of the Cassegrain optical system enables higher-precision measurement.

【0036】次に、図2に基づき、本発明の実施の第2
形態に係る光学計測システムを説明する。本実施の形態
は実施の第1形態の応用的な態様であり、同様の部分は
図示省略し、図2は本実施の形態の光学計測システムの
構成の要部を示すものである。
Next, the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
The optical measurement system according to the embodiment will be described. The present embodiment is an applied mode of the first embodiment, and the similar parts are omitted in the drawings, and FIG. 2 shows a main part of the configuration of the optical measurement system of the present embodiment.

【0037】図2においては、図1のシステムにさらに
同じ計測点Aを観測する第3の光学計測部30が観測光
路の角度を異にして設けられ、1つの計測点Aに対して
第1の光学計測部10と第2の光学計測部20、および
第1の光学計測部10と第3の光学計測部30の組合せ
により2組(2ペア)の光学計測部からなる光学計測シ
ステムが構成されている。
In FIG. 2, a third optical measuring unit 30 for observing the same measuring point A is provided in the system of FIG. The optical measurement system including two sets (2 pairs) of optical measurement units is configured by the combination of the optical measurement unit 10 and the second optical measurement unit 20, and the combination of the first optical measurement unit 10 and the third optical measurement unit 30. Has been done.

【0038】本実施の形態は、燃焼域B内の同一計測点
Aの発光aに関し、同時に異なる物質XとYの発光につ
いて計測する場合を示すものであり、第1の光学計測部
10が集光した光bは、石英ファイバー、グラスファイ
バー等のファイバー導光部13により導かれ、図示しな
いミラー等により2つに分けられて、物質Xの発光に合
わせたフィルタ17xと物質Yの発光に合わせたフィル
タ17yとに分かれて経由し、それぞれ光bx、byと
なり増幅器18にインプットされ、増幅器18で電気信
号化され増幅された発光信号bx’、by’はそれぞれ
相関器40xと相関器40yとにインプットされる。
The present embodiment shows the case where the emission a at the same measurement point A in the combustion zone B is measured at the same time for the emission of different substances X and Y, and the first optical measurement unit 10 collects. The emitted light b is guided by a fiber light guide 13 such as a quartz fiber or a glass fiber, and is divided into two by a mirror or the like (not shown) to match the emission of the substance X with the filter 17x and the emission of the substance Y. The light emission signals bx ′ and by ′, which have been converted into electric signals bx and by, are input to the amplifier 18, and converted into electric signals by the amplifier 18, and amplified by the correlator 40x and the correlator 40y, respectively. It is input.

【0039】第2の光学計測部20が発光aを捉えて集
光した光cは、同様のファイバー導光部23により導か
れ、物質Xの発光に合わせたフィルタ27xを経由して
光cxとなり、増幅器28にインプットされ、増幅器2
8で電気信号化され増幅された発光信号cx’は相関器
40xにインプットされる。
The light c collected by the second optical measuring unit 20 by capturing the emitted light a is guided by the same fiber light guide unit 23, and becomes the light cx via the filter 27x adapted to the emission of the substance X. , Input to amplifier 28 and amplifier 2
The light emission signal cx ′ converted into an electric signal and amplified in 8 is input to the correlator 40x.

【0040】相関器40xは、第1と第2の光学計測部
10、20からの発光信号bx’、cx’のコヒーレン
ス(coherence)を取り、発光信号ax’を得
るが、前述の実施の第1形態で説明したと同様に、得ら
れたコヒーレントな発光信号ax’は計測点A以外から
入射した光によるノイズを除いたものとなり、計測点A
での発光aに従う物質Xの発光信号として用いることが
できるものとなる。発光信号ax’を分析計に入力する
ことにより、A点における物質Xの発光に関し精度の高
い計測がなされる。
The correlator 40x obtains the light emission signal ax 'by taking the coherence of the light emission signals bx' and cx 'from the first and second optical measurement units 10 and 20, and the above-mentioned first embodiment. As described in the first embodiment, the obtained coherent light emission signal ax ′ is obtained by removing the noise due to the light incident from other than the measurement point A.
It can be used as a light emission signal of the substance X according to the light emission a in the above. By inputting the light emission signal ax ′ to the analyzer, highly accurate measurement of light emission of the substance X at the point A can be performed.

【0041】一方、第3の光学計測部30が発光aを捉
えて集光した光dは、同様のファイバー導光部33によ
り導かれ、物質Yの発光に合わせたフィルタ37yを経
由して光dyとなり、増幅器38にインプットされ、増
幅器38で電気信号化され増幅された発光信号dy’は
相関器40yにインプットされる。
On the other hand, the light d collected by the third optical measuring unit 30 by capturing the emitted light a is guided by the same fiber light guide unit 33, and is transmitted through the filter 37y matched with the emission of the substance Y. The light emission signal dy becomes dy, is input to the amplifier 38, is converted into an electric signal by the amplifier 38, and is amplified, and is input to the correlator 40y.

【0042】相関器40yは、第1と第3の光学計測部
10、30からの発光信号by’、dy’のコヒーレン
ス(coherence)を取り、発光信号ay’を得
るが、前述の実施の第1形態で説明したと同様に、得ら
れたコヒーレントな発光信号ay’は計測点A以外から
のノイズを除いたものとなり、計測点Aでの発光aに従
う物質Yの発光信号として用いることができるものとな
る。発光信号ay’を分析計に入力することにより、A
点における物質Yの発光に関し精度の高い計測がなされ
る。
The correlator 40y takes the coherence of the light emission signals by 'and dy' from the first and third optical measuring units 10 and 30 to obtain the light emission signal ay '. As described in the first embodiment, the obtained coherent light emission signal ay ′ is obtained by removing noise from other than the measurement point A, and can be used as the light emission signal of the substance Y according to the light emission a at the measurement point A. Will be things. By inputting the emission signal ay ′ to the analyzer, A
The light emission of the substance Y at the point is measured with high accuracy.

【0043】すなわち、本実施の形態の光学計測システ
ムによれば、2組の光学計測部を用いて同一計測点Aの
発光aに関し、同時に異なる物質XとYの発光について
ノイズを除去した計測をすることができるものであり、
計測点Aに関し、従来例に比べ遙かに正確に燃焼現象を
捉えることが可能となり、2種の物質の発光を同時に計
測することによって、より複雑な燃焼現象の解明を容易
にすることができる。
That is, according to the optical measurement system of the present embodiment, the measurement is performed by using two sets of optical measurement units with respect to the light emission a at the same measurement point A and simultaneously removing the noise from the light emission of the different substances X and Y. Is something you can do,
Regarding the measurement point A, it is possible to capture the combustion phenomenon much more accurately than in the conventional example, and by measuring the light emission of two kinds of substances at the same time, it is possible to easily clarify a more complicated combustion phenomenon. .

【0044】また、2組の光学計測部による光学計測シ
ステムを構成するに際し、1つの光学計測部を2組で共
用できるので光学計測部は3つでよく、光学計測システ
ムが簡潔に構成できる。
Further, in constructing an optical measurement system with two sets of optical measurement units, one set of optical measurement units can be shared by two sets, so that only three optical measurement units are required, and the optical measurement system can be simply constructed.

【0045】なお、本実施の形態の光学計測システムは
二組の光学計測部を用いて1つの計測点における2物質
の発光の計測を行うものであるが、同様に光学計測部を
増設することによりn組の光学計測部を用いて1つの計
測点におけるn種の物質の発光の計測を行うことがで
き、そのn組の光学計測部からなる光学計測システムは
(n+1)個の光学計測部で構成できる。
The optical measuring system of the present embodiment measures the emission of two substances at one measuring point by using two sets of optical measuring units, but an optical measuring unit should be added in the same manner. Can measure the luminescence of n kinds of substances at one measurement point by using n sets of optical measurement units, and the optical measurement system including the n sets of optical measurement units has (n + 1) optical measurement units. Can be configured with.

【0046】したがって、光学計測部の数が少なく光学
計測システムが簡潔に構成でき、スペースとコストを低
減できる。
Therefore, the number of optical measuring units is small, the optical measuring system can be simply constructed, and the space and cost can be reduced.

【0047】また、本実施の形態においても、各光学計
測部は、前述の従来例で示したファイバー・レンズ系の
光学計測部1によっても十分効果が得られ、システムを
構成するコストを低減できるが、カセグレーン光学系の
光学計測部1’を用いた場合は、より高精度の計測が可
能となる。
Also in the present embodiment, the optical measuring section 1 of the fiber / lens system shown in the above-mentioned conventional example is sufficiently effective for each optical measuring section, and the cost for constructing the system can be reduced. However, when the optical measuring unit 1 ′ of the Cassegrain optical system is used, higher precision measurement becomes possible.

【0048】図2において、相関器40xと相関器40
yとを別体に示したが、別体で構成せず両相関器の機能
を含む一体の相関器として構成されてもよい。
In FIG. 2, correlators 40x and 40
Although y and y are shown separately, they may be configured as an integrated correlator including the functions of both correlators instead of being configured separately.

【0049】さらに、図3に基づき、本発明の実施の第
3形態に係る光学計測システムを説明する。本実施の形
態は実施の第1形態の応用的な態様であり、同様の部分
は図示省略し、図3は、本実施の形態の光学計測システ
ムの構成の要部を示すものである。
Further, an optical measuring system according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The present embodiment is an applied aspect of the first embodiment, and the similar parts are omitted in the drawing, and FIG. 3 shows a main part of the configuration of the optical measurement system of the present embodiment.

【0050】図3において、110は観測光路111を
平行光線とする第1の光学計測部であり、燃焼域B内の
二つの計測点A1、A2をともに観測光路111に入れ
ている。第1の光学計測部110に加え、計測点A1を
観測する第2の光学計測部120、計測点A2を観測す
る第3の光学計測部130が、第1の光学計測部110
の観測光路111と観察光路の角度を異にして設けら
れ、第1の光学計測部110と第2の光学計測部12
0、および第1の光学計測部110と第3の光学計測部
130の組合せにより2組(2ペア)の光学計測部から
なる光学計測システムが構成されている。
In FIG. 3, reference numeral 110 denotes a first optical measuring section which makes the observation light path 111 a parallel light beam and puts two measurement points A1 and A2 in the combustion zone B into the observation light path 111. In addition to the first optical measurement unit 110, the second optical measurement unit 120 that observes the measurement point A1 and the third optical measurement unit 130 that observes the measurement point A2 are the first optical measurement unit 110.
The observation optical path 111 and the observation optical path are provided at different angles, and the first optical measurement unit 110 and the second optical measurement unit 12 are provided.
The combination of 0 and the first optical measurement unit 110 and the third optical measurement unit 130 constitutes an optical measurement system including two sets (2 pairs) of optical measurement units.

【0051】本実施の形態は、燃焼域B内の2つの計測
点A1、A2の発光a1、a2に関し、同時に計測する
場合を示すものであり、第1の光学計測部110が計測
点A1の発光a1と計測点A2の発光a2とを共に捉え
て集光した光bは、石英ファイバー、グラスファイバー
等のファイバー導光部113により導かれ、(特定の物
質の発光に関して計測しようとする場合はその物質の発
光に合わせたフィルタ117を経由して、)増幅器11
8にインプットされ、増幅器118で電気信号化され増
幅された発光信号b’は相関器140にインプットされ
る。
The present embodiment shows a case where the light emission a1 and a2 of the two measurement points A1 and A2 in the combustion zone B are measured simultaneously, and the first optical measurement unit 110 measures the measurement point A1. The light b, which is obtained by collecting and condensing the light emission a1 and the light emission a2 at the measurement point A2, is guided by the fiber light guide unit 113 such as a quartz fiber or a glass fiber, and (when measuring the light emission of a specific substance, Amplifier 11 via a filter 117 adapted to the emission of the substance)
The light-emission signal b ′ that has been input to the amplifier 8, converted into an electric signal by the amplifier 118 and amplified is input to the correlator 140.

【0052】第2の光学計測部120が計測点A1の発
光a1を捉えて集光した光c1は、同様のファイバー導
光部123により導かれ、(第1の光学計測部で設定し
たと同じ特定の物質の発光に関して計測しようとする場
合はその物質の発光に合わせたフィルタ127を経由し
て、)増幅器128にインプットされ、増幅器128で
電気信号化され増幅された発光信号c1’は相関器14
0にインプットされる。
The light c1 collected and collected by the second optical measuring unit 120 at the light emission a1 at the measuring point A1 is guided by the similar fiber light guiding unit 123 (the same as that set in the first optical measuring unit). When the emission of a specific substance is to be measured, the emission signal c1 'which is input to the amplifier 128 via the filter 127 matched to the emission of the substance, is converted into an electric signal by the amplifier 128, and is amplified is a correlator. 14
Input to 0.

【0053】相関器140は、第1と第2の光学計測部
110、120からの発光信号b’、c1’のコヒーレ
ンス(coherence)を取り、発光信号a1’を
得るが、前述の実施の第1形態で説明したと同様に、得
られたコヒーレントな発光信号a1’は計測点A1以外
から入射した光によるノイズを除いたものとなり、計測
点A1での発光a1に従う発光信号として用いることが
できるものとなる。発光信号a1’を分析計に入力する
ことにより、A1点における発光a1に関し精度の高い
計測がなされる。
The correlator 140 takes the coherence of the light emission signals b ′ and c1 ′ from the first and second optical measurement units 110 and 120 to obtain the light emission signal a1 ′. As described in the first embodiment, the obtained coherent light emission signal a1 ′ is obtained by removing noise due to light incident from other than the measurement point A1, and can be used as a light emission signal according to the light emission a1 at the measurement point A1. Will be things. By inputting the light emission signal a1 ′ to the analyzer, highly accurate measurement of the light emission a1 at the point A1 is performed.

【0054】一方、第3の光学計測部130が計測点A
2の発光a2を捉えて集光した光c2は、同様のファイ
バー導光部133により導かれ、(第1の光学計測部で
設定したと同じ特定の物質の発光に関して計測しようと
する場合はその物質の発光に合わせたフィルタ137を
経由して、)増幅器138にインプットされ、増幅器1
38で電気信号化され増幅された発光信号c2’は相関
器140にインプットされる。
On the other hand, the third optical measuring section 130 measures the measurement point A.
The light c2 obtained by capturing and condensing the second emitted light a2 is guided by the similar fiber light guide 133, and (when measuring the emitted light of the same specific substance as set in the first optical measurement unit, It is input to the amplifier 138 via the filter 137 matched to the emission of the substance, and the amplifier 1
The light emission signal c2 ′ which has been converted into an electric signal and amplified at 38 is input to the correlator 140.

【0055】相関器140は、第1と第3の光学計測部
110、130からの発光信号b’、c2’のコヒーレ
ンス(coherence)を取り、発光信号a2’を
得るが、前述の実施の第1形態で説明したと同様に、得
られたコヒーレントな発光信号a2’は計測点A2以外
から入射した光によるノイズを除いたものとなり、計測
点A2での発光a2に従う発光信号として用いることが
できるものとなる。発光信号a2’を分析計に入力する
ことにより、A2点における発光a2に関し精度の高い
計測がなされる。
The correlator 140 takes the coherence of the light emission signals b ′ and c2 ′ from the first and third optical measuring units 110 and 130 to obtain the light emission signal a2 ′. As described in the first embodiment, the obtained coherent light emission signal a2 ′ is obtained by removing noise due to light incident from other than the measurement point A2, and can be used as a light emission signal according to the light emission a2 at the measurement point A2. Will be things. By inputting the light emission signal a2 ′ to the analyzer, highly accurate measurement of the light emission a2 at the point A2 is performed.

【0056】すなわち、本実施の形態の光学計測システ
ムによれば、2組の光学計測部を用いて燃焼域B内の異
なる2つの計測点A1、A2の発光a1、a2に関し、
同時にノイズを除去した計測をすることができるもので
あり、2つの計測点A1、A2に関し、従来例に比べ遙
かに正確に発光状態を捉えることが可能となり、2箇所
の発光を同時に計測することによって、より複雑な燃焼
現象の解明を容易にすることができる。
That is, according to the optical measuring system of the present embodiment, two sets of optical measuring units are used for the light emission a1 and a2 of two different measuring points A1 and A2 in the combustion zone B.
It is possible to perform measurement with noise removed at the same time, and it is possible to capture the light emission state at two measurement points A1 and A2 much more accurately than in the conventional example, and simultaneously measure light emission at two locations. By doing so, it is possible to facilitate the elucidation of more complicated combustion phenomena.

【0057】また、2組の光学計測部による光学計測シ
ステムを構成するに際し、1つの光学計測部の観測光路
を平行光線によるものにすることにより共用できるの
で、光学計測部は3つでよく、光学計測システムが簡潔
に構成できる。
Further, in constructing an optical measurement system with two sets of optical measurement units, since the observation optical path of one optical measurement unit can be shared by making parallel light rays, it is possible to use three optical measurement units. The optical measurement system can be simply constructed.

【0058】なお、本実施の形態の光学計測システムは
2組(2ペア)の光学計測部を用いて異なる2計測点に
おける発光の計測を行うものであるが、同様に光学計測
部を増設することによりn組の光学計測部を用いてn箇
所の計測点における発光の計測を行うことができる。
The optical measuring system of the present embodiment measures the light emission at two different measurement points by using two sets (2 pairs) of optical measuring units, but an optical measuring unit is additionally installed. As a result, it is possible to measure the light emission at n measurement points using the n sets of optical measurement units.

【0059】そしてn箇所の計測点が直線状に配列する
場合は、そのn組の光学計測部からなる光学計測システ
ムは、平行光線を観測光路とする1つの光学計測部とn
個の光学計測部とで構成できる。
When n measurement points are linearly arranged, the optical measurement system including the n sets of optical measurement sections has one optical measurement section that uses parallel rays as an observation optical path and n.
It can be configured with individual optical measuring units.

【0060】したがって、光学計測部の数が少なく光学
計測システムが簡潔に構成でき、スペースとコストを低
減できる。
Therefore, the number of optical measuring units is small, the optical measuring system can be simply constructed, and the space and cost can be reduced.

【0061】また、本実施の形態において、各光学計測
部は、前述の従来例で示したファイバー・レンズ系の光
学計測部1によっても十分効果が得られ、システムを構
成するコストを低減できるが、平行光線を観測光路とす
る第1の光学計測部を除く他の各光学計測部としてはカ
セグレーン光学系の光学計測部1’を用いることがで
き、その場合はより高精度の計測が可能となる。なお、
平行光線を観測光路とする1つの光学計測部は、ファイ
バー・レンズ系の光学計測部1が適している。
Further, in the present embodiment, each optical measuring section can sufficiently obtain the effect even by the optical measuring section 1 of the fiber lens system shown in the above-mentioned conventional example, and the cost for constructing the system can be reduced. , The optical measurement unit 1 ′ of the Cassegrain optical system can be used as each of the optical measurement units other than the first optical measurement unit that uses the parallel light beam as the observation optical path, and in that case, more accurate measurement is possible. Become. In addition,
The fiber-lens system optical measuring unit 1 is suitable as one optical measuring unit using parallel rays as the observation optical path.

【0062】以上、本発明の実施の形態を説明したが、
上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の範
囲内でその具体的構成に種々の変更を加えてもよいこと
は言うまでもない。
The embodiment of the present invention has been described above.
It is needless to say that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications may be made to the specific configuration within the scope of the present invention.

【0063】例えば、上記従来例、実施の形態ともに、
計測域としてボイラやタービンの燃焼域を挙げ、その中
の計測点の光学計測を行い、一つの発光現象として燃焼
現象を解明するための光学計測システムを例に説明した
が、本発明はそれに限られるものではなく、一般の計測
域での計測点の光学計測を行い、種々の発光現象の解明
を行うための光学計測システムとして実施できるもので
ある。
For example, in both the above-mentioned conventional example and the embodiment,
The combustion area of the boiler or turbine is taken as the measurement area, the optical measurement of the measurement points in the area is performed, and the optical measurement system for clarifying the combustion phenomenon as one light emission phenomenon has been described as an example, but the present invention is not limited to this. However, it can be implemented as an optical measurement system for performing optical measurement of a measurement point in a general measurement range and clarifying various light emission phenomena.

【0064】[0064]

【発明の効果】(1)請求項1の発明によれば、光学計
測システムを、計測点の発光を観測光路を介して集光し
集光した光を導き出す光学計測部を、1つの計測点の発
光を互いに異なる角度の観測光路を介して集光するよう
に複数備え、同光学計測部のそれぞれが集光した光から
得られたそれぞれの発光信号を入力し、入力した発光信
号のコヒーレンスを取ってコヒーレントな発光信号を出
力する相関器を有してなるように構成したので、各光学
計測部で計測点の発光を捉えて集光した光の発光信号
は、観測光路で入って来る光によるノイズのために、計
測点の発光と異なる波形を呈するものとなるが、入力さ
れた相関器において複数の発光信号から互いにコヒーレ
ントな発光信号を取ることにより、得られた発光信号
は、計測点以外からのノイズを除いた、計測点での発光
に従う発光信号として用いることができるものとなり、
これを入力した分析計は、計測点に関し正確な計測を行
うことが可能となって、発光現象の解明を容易にするこ
とができる。
(1) According to the invention of claim 1, the optical measuring system is provided with an optical measuring section which collects the light emitted from the measuring point through the observation optical path and derives the condensed light. Is provided so as to collect light emitted through the observation optical paths at different angles from each other, and the respective light emission signals obtained from the light collected by the respective optical measurement units are input, and the coherence of the input light emission signal is determined. Since it is configured to have a correlator that outputs a coherent light emission signal, the light emission signal of the light collected by capturing the light emission at the measurement point in each optical measurement unit is the light that enters the observation light path. Due to noise due to noise, a waveform different from the light emission at the measurement point is exhibited, but the obtained light emission signal is obtained by taking coherent light emission signals from a plurality of light emission signals in the input correlator. From other than Excluding noise, it becomes what can be used as a light-emitting signal according emitting at the measurement point,
The analyzer that inputs this can perform accurate measurement at the measurement point, and can easily clarify the light emission phenomenon.

【0065】(2)請求項2の発明によれば、請求項1
に記載の光学計測システムにおいて、前記複数の光学計
測部の少なくとも1つが、前記計測点に相対する凸レン
ズと、同凸レンズが集光した光を導くファイバー導光部
とを備えるファイバー・レンズ系であるように構成した
ので、請求項1の発明の効果を奏するとともに、光学計
測システムを簡易に構成できそのコストを低減できる。
(2) According to the invention of claim 2, claim 1
In the optical measurement system according to the item 1, at least one of the plurality of optical measurement units is a fiber lens system that includes a convex lens facing the measurement point and a fiber light guide unit that guides light condensed by the convex lens. With this configuration, the effect of the invention of claim 1 can be obtained, and the optical measurement system can be configured easily and its cost can be reduced.

【0066】(3)請求項3の発明によれば、請求項1
に記載の光学計測システムにおいて、前記複数の光学計
測部の少なくとも1つが、前記計測点に対して背を向け
た凸面鏡と、同計測点と同凸面鏡を結ぶ線上に配設され
同凸面鏡に向き合い中央に開口を有した凹面鏡と、前記
開口を通過して集光した光を導くファイバー導光部とを
備えるカセグレーン光学系であるように構成したので、
請求項1の発明の効果を奏するとともに、光学計測シス
テムを、より高精度の計測が可能なものとできる。
(3) According to the invention of claim 3, claim 1
In the optical measurement system according to claim 1, at least one of the plurality of optical measurement units is disposed on a convex mirror with its back facing the measurement point and a line connecting the measurement point and the convex mirror, and faces the same convex mirror. Since it is configured to be a Cassegrain optical system that includes a concave mirror having an opening, and a fiber light guide unit that guides light that has passed through the opening and condensed light,
In addition to the effect of the invention of claim 1, the optical measurement system can be made more highly accurate.

【0067】(4)請求項4の発明によれば、請求項1
ないし請求項3のいずれかに記載の光学計測システムに
おいて、前記1つの計測点に対し前記光学計測部の2つ
による組が複数組形成され、前記組毎に異なる物質の発
光に合わせたフィルタが介装され、それぞれの前記組毎
に前記相関器が前記物質の発光信号を出力するように構
成したので、請求項1ないし請求項3のいずれかの発明
の効果に加え、複数組の光学計測部を用いて同一計測点
の発光に関し、同時に異なる物質の発光についてノイズ
を除去した計測をすることができ、複数の物質の発光に
関し正確な計測を行うことが可能となり、また、より複
雑な発光現象の解明を容易にすることができる。
(4) According to the invention of claim 4, claim 1
The optical measurement system according to any one of claims 1 to 3, wherein a plurality of sets of the two optical measurement units are formed for the one measurement point, and each set has a filter adapted to light emission of a different substance. In addition to the effect of the invention of any one of claims 1 to 3, since the correlator is interposed, and the correlator outputs the emission signal of the substance for each of the groups, a plurality of sets of optical measurement are provided. By using the unit, it is possible to measure the emission of different substances at the same time with noise removed, and it is possible to perform accurate measurement of the emission of multiple substances. The phenomenon can be easily clarified.

【0068】(5)請求項5の発明によれば、請求項4
に記載の光学計測システムにおいて、前記各組の2つの
前記光学計測部の一方を共通の1つの光学計測部として
なるように構成したので、請求項4の発明の効果に加
え、複数組の光学計測部による光学計測システムを構成
するに際し、1つの光学計測部を全組に共用できるので
光学計測部の数が少なく光学計測システムが簡潔に構成
でき、スペースとコストを低減できる。
(5) According to the invention of claim 5, claim 4
In the optical measurement system according to claim 1, since one of the two optical measurement units of each set is configured as a common single optical measurement unit, in addition to the effect of the invention of claim 4, a plurality of sets of optical measurement units are provided. When configuring the optical measurement system with the measurement unit, one optical measurement unit can be shared by all the sets, so that the number of optical measurement units is small and the optical measurement system can be configured simply, and the space and cost can be reduced.

【0069】(6)請求項6の発明によれば、請求項1
ないし請求項3のいずれかに記載の光学計測システムに
おいて、前記光学計測部を、前記1つの計測点に代えて
複数の計測点の発光を同計測点毎に互いに異なる角度の
観測光路を介して集光するように複数備え、前記計測点
毎に前記相関器が入力した発光信号のコヒーレンスを取
ってコヒーレントな発光信号を出力するように構成した
ので、請求項1ないし請求項3のいずれかの発明の効果
に加え、複数組の光学計測部を用いて計測域内の異なる
複数の計測点の発光に関し、同時にノイズを除去した計
測をすることができるものであり、複数の計測点に関し
正確に発光状態を捉えることが可能となり、また、より
複雑な発光現象の解明を容易にすることができる。
(6) According to the invention of claim 6, claim 1
The optical measurement system according to any one of claims 1 to 3, wherein the optical measurement unit replaces the one measurement point with light emitted from a plurality of measurement points via observation optical paths at different angles for each measurement point. 4. A plurality of light-collecting units are provided to collect light, and the coherence of the light-emission signal input to the correlator is taken at each of the measurement points to output a coherent light-emission signal. In addition to the effects of the invention, it is possible to simultaneously perform noise-free measurement on light emission at a plurality of different measurement points within a measurement area by using a plurality of sets of optical measurement units, and accurately emit light at a plurality of measurement points. It is possible to grasp the state and facilitate the elucidation of more complicated light emission phenomenon.

【0070】(7)請求項7の発明によれば、請求項6
に記載の光学計測システムにおいて、前記複数の光学計
測部の内の1つの光学計測部はその観測光路に前記複数
の計測点の全てが入るものとし、前記計測点毎に前記複
数の光学計測部の内の別の光学計測部が同計測点の発光
を前記1つの光学計測部の観測光路と異なる角度の観測
光路を介して集光するように構成したので、請求項6の
発明の効果に加え、複数組の光学計測部による光学計測
システムを構成するに際し、1つの光学計測部の観測光
路を平行光線によるものにすることにより全計測点に共
用できるので、光学計測部の数が少なく光学計測システ
ムが簡潔に構成でき、スペースとコストを低減できる。
(7) According to the invention of claim 7, claim 6
2. In the optical measurement system according to claim 1, one of the plurality of optical measurement units has all of the plurality of measurement points in its observation optical path, and the plurality of optical measurement units is provided for each of the measurement points. Another optical measuring unit of the above is configured to collect the light emission of the same measurement point through the observation optical path of an angle different from the observation optical path of the one optical measuring unit, and thus the effect of the invention of claim 6 is obtained. In addition, when configuring an optical measurement system with multiple sets of optical measurement units, the observation optical path of one optical measurement unit can be shared by all the measurement points by using parallel rays, so the number of optical measurement units is small. The measurement system can be configured simply, saving space and cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の第1形態に係る光学計測システ
ムの説明図であり、本実施の形態の光学計測システムの
基本的構成を示す。
FIG. 1 is an explanatory diagram of an optical measurement system according to a first embodiment of the present invention, showing a basic configuration of the optical measurement system of the present embodiment.

【図2】本発明の実施の第2形態に係る光学計測システ
ムの説明図であり、本実施の形態の光学計測システムの
構成の要部を示す。
FIG. 2 is an explanatory diagram of an optical measurement system according to a second embodiment of the present invention, showing a main part of the configuration of the optical measurement system of the present embodiment.

【図3】本発明の実施の第3形態に係る光学計測システ
ムの説明図であり、本実施の形態の光学計測システムの
構成の要部を示す。
FIG. 3 is an explanatory diagram of an optical measurement system according to a third embodiment of the present invention, showing a main part of the configuration of the optical measurement system of the present embodiment.

【図4】光学計測システムの従来例の説明図であり、
(a)は、一般的なファイバー・レンズ系による光学計
測部を示し、(b)は改良された従来例としてカセグレ
ーン光学系による光学計測部を示す。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a conventional example of an optical measurement system,
(A) shows the optical measurement part by a general fiber lens system, (b) shows the optical measurement part by the Cassegrain optical system as an improved prior art example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

4 分析計 10 第1の光学計測部 11 観測光路 13 ファイバー導光部 17、17x、17y フィルタ 18 増幅器 20 第2の光学計測部 21 観測光路 23 ファイバー導光部 27、27x フィルタ 28 増幅器 30 第3の光学計測部 33 ファイバー導光部 37y フィルタ 38 増幅器 40、40x、40y 相関器 110 第1の光学計測部 111 観測光路 117 フィルタ 118 増幅器 120 第2の光学計測部 127 フィルタ 128 増幅器 130 第3の光学計測部 137 フィルタ 138 増幅器 140 相関器 4 Analyzer 10 First optical measurement unit 11 Observation optical path 13 Fiber light guide 17, 17x, 17y filters 18 amplifier 20 Second optical measurement unit 21 Observation optical path 23 Fiber light guide 27, 27x filter 28 amplifier 30 Third optical measuring unit 33 Fiber light guide 37y filter 38 amplifier 40, 40x, 40y correlators 110 First Optical Measuring Unit 111 Observation optical path 117 Filter 118 amplifier 120 Second optical measurement unit 127 filters 128 amplifier 130 Third optical measurement unit 137 Filter 138 Amplifier 140 correlator

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 計測点の発光を観測光路を介して集光し
集光した光を導き出す光学計測部を、1つの計測点の発
光を互いに異なる角度の観測光路を介して集光するよう
に複数備え、同光学計測部のそれぞれが集光した光から
得られたそれぞれの発光信号を入力し、入力した発光信
号のコヒーレンスを取ってコヒーレントな発光信号を出
力する相関器を有してなることを特徴とする光学計測シ
ステム。
1. An optical measuring unit that collects light emitted from a measurement point through an observation optical path and guides the condensed light so that light emitted from one measurement point is collected through observation optical paths at different angles. A plurality of correlators are provided, each of which inputs each light emission signal obtained from the light collected by the optical measurement unit, takes coherence of the input light emission signal, and outputs a coherent light emission signal. An optical measurement system characterized by.
【請求項2】 請求項1に記載の光学計測システムにお
いて、前記複数の光学計測部の少なくとも1つが、前記
計測点に相対する凸レンズと、同凸レンズが集光した光
を導くファイバー導光部とを備えるファイバー・レンズ
系であることを特徴とする光学計測システム。
2. The optical measurement system according to claim 1, wherein at least one of the plurality of optical measurement units includes a convex lens facing the measurement point, and a fiber light guide unit that guides light collected by the convex lens. An optical measurement system characterized by being a fiber / lens system equipped with.
【請求項3】 請求項1に記載の光学計測システムにお
いて、前記複数の光学計測部の少なくとも1つが、前記
計測点に対して背を向けた凸面鏡と、同計測点と同凸面
鏡を結ぶ線上に配設され同凸面鏡に向き合い中央に開口
を有した凹面鏡と、前記開口を通過して集光した光を導
くファイバー導光部とを備えるカセグレーン光学系であ
ることを特徴とする光学計測システム。
3. The optical measurement system according to claim 1, wherein at least one of the plurality of optical measurement units is on a convex mirror with its back facing the measurement point, and on a line connecting the measurement point and the same convex mirror. An optical measurement system comprising a concave mirror having a concave mirror having a central opening and facing the convex mirror, and a fiber light guide unit for guiding light condensed through the opening.
【請求項4】 請求項1ないし請求項3のいずれかに記
載の光学計測システムにおいて、前記1つの計測点に対
し前記光学計測部の2つによる組が複数組形成され、前
記組毎に異なる物質の発光に合わせたフィルタが介装さ
れ、それぞれの前記組毎に前記相関器が前記物質の発光
信号を出力することを特徴とする光学計測システム。
4. The optical measurement system according to claim 1, wherein a plurality of sets of two optical measurement units are formed for the one measurement point, and each set is different. An optical measurement system, wherein a filter adapted to the emission of a substance is provided, and the correlator outputs an emission signal of the substance for each of the groups.
【請求項5】 請求項4に記載の光学計測システムにお
いて、前記各組の2つの前記光学計測部の一方を共通の
1つの光学計測部としてなることを特徴とする光学計測
システム。
5. The optical measurement system according to claim 4, wherein one of the two optical measurement units of each set serves as a common optical measurement unit.
【請求項6】 請求項1ないし請求項3のいずれかに記
載の光学計測システムにおいて、前記光学計測部を、前
記1つの計測点に代えて複数の計測点の発光を同計測点
毎に互いに異なる角度の観測光路を介して集光するよう
に複数備え、前記計測点毎に前記相関器が入力した発光
信号のコヒーレンスを取ってコヒーレントな発光信号を
出力することを特徴とする光学計測システム。
6. The optical measuring system according to claim 1, wherein the optical measuring unit replaces the one measuring point with light emitted from a plurality of measuring points for each measuring point. An optical measurement system comprising a plurality of light sources that collect light through observation optical paths at different angles, and outputs coherent light emission signals by taking coherence of light emission signals input by the correlator at each of the measurement points.
【請求項7】 請求項6に記載の光学計測システムにお
いて、前記複数の光学計測部の内の1つの光学計測部は
その観測光路に前記複数の計測点の全てが入るものと
し、前記計測点毎に前記複数の光学計測部の内の別の光
学計測部が同計測点の発光を前記1つの光学計測部の観
測光路と異なる角度の観測光路を介して集光することを
特徴とする光学計測システム。
7. The optical measurement system according to claim 6, wherein one of the plurality of optical measurement units has all of the plurality of measurement points in its observation optical path. For each of the plurality of optical measurement units, another optical measurement unit collects light emission at the same measurement point through an observation light path at an angle different from the observation light path of the one optical measurement unit. Measuring system.
JP2001256527A 2001-08-27 2001-08-27 Optical measuring system Withdrawn JP2003065856A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001256527A JP2003065856A (en) 2001-08-27 2001-08-27 Optical measuring system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001256527A JP2003065856A (en) 2001-08-27 2001-08-27 Optical measuring system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003065856A true JP2003065856A (en) 2003-03-05

Family

ID=19084329

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001256527A Withdrawn JP2003065856A (en) 2001-08-27 2001-08-27 Optical measuring system

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003065856A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100992839B1 (en) 2008-09-19 2010-11-08 (주)엘립소테크놀러지 Spectroscopic Ellipsometer with a Microspot Module

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100992839B1 (en) 2008-09-19 2010-11-08 (주)엘립소테크놀러지 Spectroscopic Ellipsometer with a Microspot Module

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11913868B2 (en) Compact detection module for flow cytometers
US20220003659A1 (en) Methods for compact multi-color flow cytometers having compact detection modules
TWI405958B (en) Optical system for measurement
US20240142366A1 (en) Methods and systems for fast recompensation of flow cytometery data
CN107179132B (en) Optical fiber image transmission beam velocity interferometer and shock wave velocity calculation method
US4792689A (en) Method for obtaining a ratio measurement for correcting common path variations in intensity in fiber optic sensors
JPWO2013133340A1 (en) Optical measuring apparatus and fiber bundle association method
TW201925737A (en) Multi-fiber optic sensing system
JP2001141563A (en) Spectrometry, its device, temperature measuring device, and film pressure measurement device
US8824042B2 (en) Ellipsoidal raman signal amplifier
JP2017502344A (en) Multicolor scanning microscope
JP2006153763A (en) Fiber incidence type spectroscope and spectral system using the same
US5229844A (en) Device for the analysis of interferometrical sensors of micromovements
CN112334755A (en) Particle detection device
JP2003065856A (en) Optical measuring system
JP2019505794A (en) Portable device for detecting explosives, including a device for generating and measuring light emission of an indicator
US11698301B2 (en) Multiplexed sensor network using swept source Raman spectroscopy
TWI755690B (en) Optical measurement device, optical measurement method, and optical measurement program
CN210119294U (en) Multi-channel handheld Raman spectrometer device
US20090173891A1 (en) Fluorescence detection system
JP2015094628A (en) Spectral transmission measurement device and spectral transmission measurement method
RU2632993C2 (en) Fibre-optic switch of laser spectrometer
JP2015129674A (en) spectral transmittance measurement device
CN110006860A (en) A kind of burnt multichannel fluorescence detecting system of copolymerization
US20220283027A1 (en) Optoelectronic measuring device for measuring the intensity of electromagnetic radiation in a frequency-resolved manner

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20081104