JP2003065269A - Oil-sealed rotary vacuum pump - Google Patents
Oil-sealed rotary vacuum pumpInfo
- Publication number
- JP2003065269A JP2003065269A JP2001261262A JP2001261262A JP2003065269A JP 2003065269 A JP2003065269 A JP 2003065269A JP 2001261262 A JP2001261262 A JP 2001261262A JP 2001261262 A JP2001261262 A JP 2001261262A JP 2003065269 A JP2003065269 A JP 2003065269A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- tank
- vacuum pump
- rotary vacuum
- sump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池モジュー
ルの製造に際してのラミネート工程などに使用される油
回転式真空ポンプに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an oil rotary vacuum pump used in a laminating process in manufacturing a solar cell module.
【0002】[0002]
【従来の技術】太陽電池モジュールの製造に際して行わ
れるラミネート工程においては、真空発生装置として油
回転式真空ポンプが多く用いられており、このポンプの
オイルタンク内に充填されるオイルとしては、一般的に
鉱物油が使用されている。2. Description of the Related Art An oil rotary vacuum pump is often used as a vacuum generator in a laminating process performed in manufacturing a solar cell module, and an oil filled in an oil tank of this pump is generally used. Mineral oil is used in.
【0003】また、従来ポンプのオイルタンクには、図
2に例示するようなものが使用されていた。即ち、図2
において、21はその底部のオイル溜り部に適量の鉱物油
から成るオイル22を収容するオイルタンク、23は該タン
ク21の下部に設けた排油口、24は油面計、25は油面より
下位に取付けたオイルフィルタ、26は油回転ポンプから
の排気をタンク21内に導入する排気導入口、27は下部案
内壁、28は上部案内壁、29はオイルタンク21の天板と上
部案内壁28との間に設置した排気筒、30は排気口で、排
気導入口26からオイルタンク21内に導入された油回転ポ
ンプからの排気は、矢印のように案内壁27,28間を進行
し、排気筒29において排気中のミスト化したオイルを液
化して、オイル22の上に流下させるようになっている。Further, as an oil tank of a conventional pump, the one illustrated in FIG. 2 has been used. That is, FIG.
In the above, 21 is an oil tank for accommodating an oil 22 composed of an appropriate amount of mineral oil in the oil sump at the bottom thereof, 23 is an oil discharge port provided at the bottom of the tank 21, 24 is an oil level gauge, and 25 is an oil level An oil filter installed in the lower part, 26 is an exhaust introduction port for introducing exhaust gas from the oil rotary pump into the tank 21, 27 is a lower guide wall, 28 is an upper guide wall, 29 is a top plate and an upper guide wall of the oil tank 21. An exhaust pipe installed between the exhaust pipe and the exhaust pipe, and 30 is an exhaust port. The exhaust gas from the oil rotary pump introduced into the oil tank 21 through the exhaust introduction port 26 advances between the guide walls 27 and 28 as shown by the arrow. In the exhaust pipe 29, the misted oil in the exhaust gas is liquefied and made to flow down onto the oil 22.
【0004】しかしながら、従来の油回転式真空ポンプ
では、オイルとして鉱物油が使用されているため、次の
ような問題がある。即ち、油回転式真空ポンプを使用す
る太陽電池モジュールのラミネート工程では、当該電池
モジュールの材料として使用されているEVA(エチレ
ンビニルアセテート)樹脂などが真空チャンバ内で加
圧,加熱されるとガスを発生し、このガスが真空ポンプ
内のオイルタンクに収容されたオイル22を劣化させるの
で、油回転ポンプの騒音が増大したり該ポンプが故障を
起こす原因となっている。このような事態を防止するた
めには、頻繁にオーバーホールを行ったりオイルの交換
作業を行う必要があった。However, since the conventional oil rotary vacuum pump uses mineral oil as oil, it has the following problems. That is, in a laminating process of a solar cell module using an oil rotary vacuum pump, EVA (ethylene vinyl acetate) resin or the like used as a material of the cell module emits gas when pressurized and heated in a vacuum chamber. The generated gas deteriorates the oil 22 contained in the oil tank in the vacuum pump, which causes an increase in noise of the oil rotary pump and a failure of the pump. In order to prevent such a situation, it was necessary to frequently overhaul or change the oil.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、太陽電池モ
ジュールのラミネート工程などに使用する油回転式真空
ポンプにおける上記問題点に鑑み、使用するオイル並び
にオイルタンクの形態を改良することにより、オイル劣
化の問題を解決すると共に、タンク内に溜まる異物を効
果的に除去できる油回転式真空ポンプを提供すること
を、その課題とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems in an oil rotary vacuum pump used in a solar cell module laminating process and the like, an object of the present invention is to improve the oil used and the shape of the oil tank. It is an object of the present invention to provide an oil rotary vacuum pump that can solve the problem of deterioration and can effectively remove foreign matter accumulated in the tank.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
することを目的としてなされたもので、その構成は、油
回転式真空ポンプにおけるオイルタンクの下部にオイル
溜り部と該溜り部に通じたオイルフィルタと排油口を有
すると共に油回転ポンプからの排気をこのタンク内に導
入し排気中のオイルミストを液化して前記溜り部に流下
させながら排気するオイルタンクを具備した油回転式真
空ポンプにおいて、オイルに比重の大きい不活性オイル
を使用すると共に、前記オイルフィルタをオイル溜り部
の油面より上位乃至はほぼ同位に設置したことを特徴と
するものである。即ち、本発明の油回転式真空ポンプで
は、オイルに不活性オイル、好ましくは比重が2程度の
重い不活性オイルを使用することにより、油回転ポンプ
からの排気中にガスや異物が含まれていても、このガス
や異物等の影響による前記オイルの劣化を抑制すること
ができる。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made for the purpose of solving the above-mentioned problems, and its structure is such that an oil sump portion is provided at a lower portion of an oil tank in an oil rotary vacuum pump and the sump portion is connected to the oil sump portion. Oil rotary vacuum equipped with an oil tank that has an oil filter and an oil discharge port, and that exhausts from an oil rotary pump is introduced into this tank to liquefy the oil mist in the exhaust and let it flow down to the reservoir while exhausting it. In the pump, an inert oil having a large specific gravity is used as the oil, and the oil filter is installed above or almost at the same level as the oil surface of the oil reservoir. That is, in the oil rotary vacuum pump of the present invention, by using an inert oil as the oil, preferably a heavy inert oil having a specific gravity of about 2, the exhaust gas from the oil rotary pump contains gas and foreign matter. However, it is possible to suppress the deterioration of the oil due to the influence of the gas or foreign matter.
【0007】本発明は上記構成において、オイルフィル
タをオイル溜り部の油面より上位乃至は略同位に設置す
ることにより、オイル溜り部のオイルの上層に、当該オ
イルより比重が小さいことにより溜まる異物を効率よく
除去できると共に、オイルフィルタのエレメント交換時
など、フィルタを取り外す際にオイルが流出するのを最
少に抑えることができる。また、油面計とほぼ同位に上
部排油口を新たに設けることにより、オイルと比重選別
されてオイル溜り部のオイルの上層に寄った異物を、そ
れが多く含まれた上層のオイルと一緒に効果的に排出す
ることが可能となる。According to the present invention, in the above structure, the oil filter is installed above or substantially at the same level as the oil surface of the oil sump, so that the foreign matter accumulated on the upper layer of the oil in the oil sump due to having a smaller specific gravity than the oil. The oil can be efficiently removed, and the oil can be prevented from flowing out to the minimum when the filter is removed such as when the element of the oil filter is replaced. In addition, by installing a new upper oil discharge port almost at the same level as the oil level gauge, foreign matter that has been gravity-sorted with the oil and has come to the upper layer of the oil in the oil sump will be collected together with the oil in the upper layer that contains much of it. Can be effectively discharged.
【0008】[0008]
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態例につ
いて、図により説明する。図1は本発明油回転式真空ポ
ンプにおけるオイルタンクの一例の縦断正断面図であ
る。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of an example of an oil tank in the oil rotary vacuum pump of the present invention.
【0009】1はその底部のオイル溜り部に比重が大き
い、例えば、比重が2程度の不活性オイルを油回転ポン
プ(図示せず、以下同じ)用のオイル2として収容した
オイルタンク、3は該タンク1におけるオイル溜り部の
底に設けた下部排油口、4はオイル溜り部のオイルの量
をチェックするための油面計、5はオイル溜り部の油面
より上位乃至はほぼ同位に取付けたオイルフィルタ、6
は油回転ポンプからの排気をこのタンク1内に導入する
排気導入口、7は前記タンク1内部のオイル溜り部にお
いてオイルの油面のすぐ上方に形成した下部案内壁、8
は前記壁7の上方の上部案内壁、9はオイルタンク1の
天板1aと上部案内壁8との間に設置した排気筒、10は排
気口、11は前記油面計4と同位に新たに設けた上部排油
口で、以上により本発明油回転式真空ポンプにおけるオ
イルタンクの一例を構成する。なお、従来のオイルタン
ク1において、油回転ポンプからの排気中に含まれた異
物を除去するため、案内壁7,8の入口に配備されてい
たデミスタは、本発明においては設置しない。異物は、
上位排油口11、或は、設置位置を工夫したオイルフィル
タ5において、除去するからである。An oil tank 1 has a large specific gravity in its bottom oil reservoir, for example, an inert oil having a specific gravity of about 2 is stored as an oil 2 for an oil rotary pump (not shown, the same applies hereinafter). A lower oil drain port provided at the bottom of the oil sump in the tank 1 is an oil level gauge for checking the amount of oil in the oil sump, and 5 is higher or almost equal to the oil level in the oil sump. Attached oil filter, 6
Is an exhaust inlet for introducing the exhaust gas from the oil rotary pump into the tank 1, 7 is a lower guide wall formed immediately above the oil surface of the oil in the oil sump inside the tank 1, 8
Is an upper guide wall above the wall 7, 9 is an exhaust pipe installed between the top plate 1a of the oil tank 1 and the upper guide wall 8, 10 is an exhaust port, and 11 is the same as the oil level gauge 4. The upper oil discharge port provided in the above constitutes an example of the oil tank in the oil rotary vacuum pump of the present invention. In the conventional oil tank 1, the demister provided at the inlets of the guide walls 7 and 8 is not installed in the present invention in order to remove foreign matters contained in the exhaust gas from the oil rotary pump. Foreign matter
This is because the upper drain port 11 or the oil filter 5 whose installation position has been devised is removed.
【0010】上記のオイルタンク1において、排気導入
口6からタンク1内に導入された油回転ポンプからの排
気は、案内壁7,8に案内されて矢印のように進行し、
排気筒9において排気中のオイルミストは液化され、オ
イル溜り部のオイル2の上に流下するようになっている
が、本発明の油回転式真空ポンプ用のオイル2は、不活
性オイルである故に前記排気中にEVA等から発生した
ガスなどによっては劣化し難いか或は劣化しない。ま
た、異物が排気ガス中に混入していてそれがオイル溜り
部に落下することがあっても、異物とオイル2との比重
の差によりオイル溜り部のオイル2の上層部に当該異物
を集めることができる。オイル2は、不活性オイルを用
いるが、例えば、NOKクリューバー社製フッ素オイル
「BARRIERTAJ FLUID」が良好である。In the oil tank 1 described above, the exhaust gas from the oil rotary pump introduced into the tank 1 through the exhaust gas introduction port 6 is guided by the guide walls 7 and 8 and progresses as shown by the arrow.
The oil mist in the exhaust gas in the exhaust pipe 9 is liquefied and flows down onto the oil 2 in the oil reservoir, but the oil 2 for the oil rotary vacuum pump of the present invention is an inert oil. Therefore, the gas generated from EVA or the like in the exhaust gas is hardly deteriorated or does not deteriorate. Further, even if foreign matter is mixed in the exhaust gas and drops into the oil sump, the foreign matter collects in the upper layer of the oil 2 in the oil sump due to the difference in specific gravity between the foreign matter and the oil 2. be able to. As the oil 2, an inert oil is used, and for example, fluorine oil “BARRIERTAJ FLUID” manufactured by NOK Kluber Co. is suitable.
【0011】而して、オイル溜り部のオイル2は、オイ
ルフィルタ5により濾過されるのであるが、本発明にお
いては、オイルフィルタ5を油面より上位乃至は略同位
に取付けたので、前記オイル2の上層部に集まった混入
異物を効果的に除去でき、また、オイルフィルタ5のエ
レメントを交換する際にも、オイル2の流出を最小限に
押さえることができる。Thus, the oil 2 in the oil sump is filtered by the oil filter 5. In the present invention, however, the oil filter 5 is mounted above or substantially at the same level as the oil surface. The mixed foreign matter collected in the upper layer portion of the oil 2 can be effectively removed, and the outflow of the oil 2 can be minimized when the element of the oil filter 5 is replaced.
【0012】また、本発明では上部排油口11を下部排油
口3とは別に油面計4とほぼ同じ高さに設置したから、
オイル2の上層部に集められた混入異物を効果的にタン
ク外に取出すことができ、更に、オイル交換時には、従
来のようにすべてのオイルを排出した後、同量の新しい
オイルを充填する必要がなくなり、混入異物を排出した
際に減少したオイルと同量の油を補充するのみで済むの
で、オイル2の消費量を節減できる。Further, in the present invention, since the upper oil drain port 11 is installed at the same height as the oil level gauge 4 separately from the lower oil drain port 3,
Foreign substances collected in the upper layer of the oil 2 can be effectively taken out of the tank. Furthermore, when replacing the oil, it is necessary to discharge all the oil as before and then fill the same amount of new oil. Since it is only necessary to replenish the same amount of oil as the oil reduced when the mixed foreign matter is discharged, it is possible to reduce the consumption of oil 2.
【0013】[0013]
【発明の効果】本発明は上述の通りであるから、太陽電
池モジュールのラミネート工程において真空引きなどに
使用する油回転式真空ポンプとして好適であり、特に、
不活性オイルが鉱物油より高価であっても、その消費量
を節減できるので、鉱物油を使用する従来の油回転式真
空ポンプとランニングコストにおいても大差なく、従っ
て、上記ラミネート工程に使用してもそのコストを押上
げることはない。Industrial Applicability Since the present invention is as described above, it is suitable as an oil rotary vacuum pump used for evacuation in the solar cell module laminating step, and
Even if the inert oil is more expensive than the mineral oil, the consumption can be reduced, so there is no big difference in running cost from the conventional oil rotary vacuum pump that uses the mineral oil. Does not increase the cost.
【図1】本発明油回転式真空ポンプにおけるオイルタン
クの一例の縦断正断面図FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of an example of an oil tank in an oil rotary vacuum pump of the present invention.
【図2】従来の油回転式真空ポンプにおけるオイルタン
クの一例の縦断正面図。FIG. 2 is a vertical cross-sectional front view of an example of an oil tank in a conventional oil rotary vacuum pump.
1 オイルタンク 2 オイル溜り部のオイル 3 下部排油口 4 油面計 5 オイルフィルタ 6 排気導入口 7 下部案内壁 8 上部案内壁 9 排気筒 10 排気口 11 上部排油口 1 oil tank 2 Oil in the oil reservoir 3 Lower oil drain 4 Oil level gauge 5 Oil filter 6 Exhaust inlet 7 Lower guide wall 8 Upper guide wall 9 Exhaust stack 10 exhaust port 11 Upper oil drain port
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) F04C 29/02 351 F04C 29/02 351D 361 361Z (72)発明者 齋藤 和男 東京都足立区中川2丁目23番12号 Fターム(参考) 3H029 AA01 AA17 AA21 AB07 BB36 BB41 CC26 CC43 Front page continuation (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) F04C 29/02 351 F04C 29/02 351D 361 361Z (72) Inventor Kazuo Saito 2-23-12 Nakagawa, Adachi-ku, Tokyo F term (reference) 3H029 AA01 AA17 AA21 AB07 BB36 BB41 CC26 CC43
Claims (3)
クの下部にオイル溜り部と該溜り部に通じたオイルフィ
ルタと排油口を有すると共に油回転ポンプからの排気を
このタンク内に導入し排気中のオイルミストを液化して
前記溜り部に流下させながら排気するオイルタンクを具
備した油回転式真空ポンプにおいて、オイルに比重の大
きい不活性オイルを使用すると共に、前記オイルフィル
タをオイル溜り部の油面より上位乃至はほぼ同位に設置
したことを特徴とする油回転式真空ポンプ。1. An oil rotary vacuum pump is provided with an oil sump portion, an oil filter communicating with the sump portion, and an oil discharge port at a lower portion of an oil tank, and exhaust gas from the oil rotary pump is introduced into the tank during exhaustion. In an oil rotary vacuum pump equipped with an oil tank for liquefying the oil mist and discharging it while flowing down to the sump, an inert oil having a large specific gravity is used as the oil, and the oil filter is used for the oil sump of the oil sump. An oil rotary vacuum pump characterized by being installed above or almost at the same level as the surface.
排油口を新たに設けた請求項1の油回転式真空ポンプ。2. The oil rotary vacuum pump according to claim 1, wherein an upper oil discharge port is newly provided in substantially the same position as the oil level gauge in the oil sump.
ミネート装置の真空発生装置として使用する請求項1又
は2の油回転式真空ポンプ。3. The oil rotary vacuum pump according to claim 1, which is used as a vacuum generator of a laminating apparatus in a solar cell module manufacturing process.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001261262A JP2003065269A (en) | 2001-08-30 | 2001-08-30 | Oil-sealed rotary vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001261262A JP2003065269A (en) | 2001-08-30 | 2001-08-30 | Oil-sealed rotary vacuum pump |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003065269A true JP2003065269A (en) | 2003-03-05 |
Family
ID=19088335
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001261262A Pending JP2003065269A (en) | 2001-08-30 | 2001-08-30 | Oil-sealed rotary vacuum pump |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003065269A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019108156A (en) * | 2017-12-19 | 2019-07-04 | ホシザキ株式会社 | Vacuum packaging machine |
CN114562458A (en) * | 2022-02-25 | 2022-05-31 | 三门拓展真空设备有限公司 | Sliding valve vacuum pump |
-
2001
- 2001-08-30 JP JP2001261262A patent/JP2003065269A/en active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019108156A (en) * | 2017-12-19 | 2019-07-04 | ホシザキ株式会社 | Vacuum packaging machine |
JP7015687B2 (en) | 2017-12-19 | 2022-02-03 | ホシザキ株式会社 | Vacuum packaging machine |
CN114562458A (en) * | 2022-02-25 | 2022-05-31 | 三门拓展真空设备有限公司 | Sliding valve vacuum pump |
CN114562458B (en) * | 2022-02-25 | 2024-06-11 | 三门拓展真空设备有限公司 | Slide valve vacuum pump |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7401599B2 (en) | Vapor-liquid separator | |
CN106704185B (en) | Vacuum evacuation device and vacuum equipment | |
KR20110084519A (en) | Method for cleaning a vacuum pump | |
JP2003065269A (en) | Oil-sealed rotary vacuum pump | |
KR101906270B1 (en) | Fuel supplying apparatus | |
CN102502131B (en) | Hydrochloric acid storage tank and breathing valve thereof | |
CN208965135U (en) | A kind of weaving cleaning spindle fuel loading system | |
CN206694251U (en) | Vacuum extractor and vacuum equipment | |
CN214551369U (en) | Free water identification, drainage and protection device for centrifugal oil purifier | |
CN201249074Y (en) | Integral crude oil gas-liquid separating-drying device | |
JP3982673B2 (en) | Operation method of vacuum exhaust system | |
CN107366823B (en) | Accumulated water draining device on piston of dry type gas tank and method for supplementing water with gas | |
KR200439895Y1 (en) | Structure for addressing oil residual in cargo pump of ship by suction oil residual | |
CN217707176U (en) | Hydrogen fluoride groove emptying device | |
US6446681B1 (en) | Filler unit for topping up a container with liquid | |
CN202281030U (en) | Large-displacement oil-water separation apparatus for gas holders | |
JP3444725B2 (en) | Vacuum deaerator | |
KR20100137237A (en) | Decompression module using the flow of gas and vacuum apparatus for semiconductor manufacturing | |
CN2349168Y (en) | Liquid sealing gas absorber | |
JP2881647B1 (en) | Air compressor | |
CN111765085B (en) | Sliding valve vacuum pump | |
CN215000926U (en) | Gas storage cabinet capable of preventing excessive filling | |
JPH11336699A (en) | Water pump | |
CN216742000U (en) | Double-barrel oil-gas separation device for large-displacement low-pressure oil injection screw air compressor | |
CN221062014U (en) | Ultrasonic cleaning device and filter element cleaning equipment |