JP2003050809A - コンピュータによるデータ記録及び検索方法、データベース、およびデータ記録媒体 - Google Patents
コンピュータによるデータ記録及び検索方法、データベース、およびデータ記録媒体Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 86
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 90
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 21
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 7
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 4
- 238000013523 data management Methods 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- General Factory Administration (AREA)
- Information Retrieval, Db Structures And Fs Structures Therefor (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複雑な製造工程で、多くの条件選択枝がある
場合においても、その製造工程を正確に表現し、製造の
履歴を分類することができる、コンピュータによるデー
タ記録及び検索方法を得る。 【解決手段】 製造工程などの履歴の一つ一つに定まっ
た文字コードを割り振り、このコードを製造工程順に並
べることで製造履歴を分類するデータとする。また、デ
ータベースのレコードに、複数の測定データなどを収納
すると同時に、履歴データのデータフィールドを設けて
履歴データを記録する。
場合においても、その製造工程を正確に表現し、製造の
履歴を分類することができる、コンピュータによるデー
タ記録及び検索方法を得る。 【解決手段】 製造工程などの履歴の一つ一つに定まっ
た文字コードを割り振り、このコードを製造工程順に並
べることで製造履歴を分類するデータとする。また、デ
ータベースのレコードに、複数の測定データなどを収納
すると同時に、履歴データのデータフィールドを設けて
履歴データを記録する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物品の製造等の履
歴に関する履歴データを収容するデータ分類方法と、こ
のデータ分類方法を用いたデータ管理方法、データベー
スならびにデータ記録媒体に関するものである。
歴に関する履歴データを収容するデータ分類方法と、こ
のデータ分類方法を用いたデータ管理方法、データベー
スならびにデータ記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来は、物の履歴に関する履歴データ、
例えば物品の製造工程の履歴に関する履歴データとし
て、製造工程の組合せ自体に何らかの意味のある名前を
付ける方法がとられている。このような方法では、工程
数が多い場合には、製造方法の改良等で工程の組合せが
少し変化しても、全体の組合せ数が多くなり、命名が困
難になり、厳密な分類は不可能であった。このため、過
去にさかのぼって履歴を知ることができなかった。
例えば物品の製造工程の履歴に関する履歴データとし
て、製造工程の組合せ自体に何らかの意味のある名前を
付ける方法がとられている。このような方法では、工程
数が多い場合には、製造方法の改良等で工程の組合せが
少し変化しても、全体の組合せ数が多くなり、命名が困
難になり、厳密な分類は不可能であった。このため、過
去にさかのぼって履歴を知ることができなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、複雑で変化
の多い過程を有する履歴について、例えば製造工場にお
いて、複雑な製造工程で多くの条件選択枝がある場合に
おいても、その製造工程を正確に表現し、製造の履歴を
分類することができるデータ分類方法を得ることを目的
としている。
の多い過程を有する履歴について、例えば製造工場にお
いて、複雑な製造工程で多くの条件選択枝がある場合に
おいても、その製造工程を正確に表現し、製造の履歴を
分類することができるデータ分類方法を得ることを目的
としている。
【０００４】具体的な例で説明すると、例えば半導体装
置の製造プロセスにおいて、製造されたウェハの不純物
分布、電気特性、断面写真などの各種測定結果やウェハ
そのものを分類する場合、各種データが帰属するウェハ
の履歴とそのウェハがどのような製造工程を経て出来た
ものかを容易に知ることができるためのデータ分類方法
を得るものである。半導体を例に挙げたが、これ以外で
も複数工程を経て製造あるいは発生する物の履歴を分類
するためにも使用できる。
置の製造プロセスにおいて、製造されたウェハの不純物
分布、電気特性、断面写真などの各種測定結果やウェハ
そのものを分類する場合、各種データが帰属するウェハ
の履歴とそのウェハがどのような製造工程を経て出来た
ものかを容易に知ることができるためのデータ分類方法
を得るものである。半導体を例に挙げたが、これ以外で
も複数工程を経て製造あるいは発生する物の履歴を分類
するためにも使用できる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のデータ分類方法
では、製造工程などの履歴の一つ一つに定まった記号あ
るいは文字コードを割り振り、このコードを製造工程順
に並べることで製造履歴を分類するものである。
では、製造工程などの履歴の一つ一つに定まった記号あ
るいは文字コードを割り振り、このコードを製造工程順
に並べることで製造履歴を分類するものである。
【０００６】すなわち、本発明のコンピュータによるデ
ータ記録及び検索方法は、物品の製造工程における各工
程にそれぞれ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記
各記号を組み合わせてなる記号列により履歴データを形
成し、前記履歴データを、コンピュータ用のメモリーに
おけるレコード内の１データフィールドに格納し、また
は前記履歴データをコンピュータにより検索することを
特徴とするものである。
ータ記録及び検索方法は、物品の製造工程における各工
程にそれぞれ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記
各記号を組み合わせてなる記号列により履歴データを形
成し、前記履歴データを、コンピュータ用のメモリーに
おけるレコード内の１データフィールドに格納し、また
は前記履歴データをコンピュータにより検索することを
特徴とするものである。
【０００７】また、本発明のコンピュータによるデータ
記録及び検索方法は、物品の製造工程における各工程に
それぞれ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記各記
号を組み合わせてなる記号列により履歴データを形成
し、前記履歴データを、コンピュータ用のメモリーにお
けるレコード内の１データフィールドに格納するととも
に、前記レコード内の他のデータフィールドに測定デー
タを格納し、または前記履歴データをコンピュータによ
り検索することを特徴とするものである。
記録及び検索方法は、物品の製造工程における各工程に
それぞれ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記各記
号を組み合わせてなる記号列により履歴データを形成
し、前記履歴データを、コンピュータ用のメモリーにお
けるレコード内の１データフィールドに格納するととも
に、前記レコード内の他のデータフィールドに測定デー
タを格納し、または前記履歴データをコンピュータによ
り検索することを特徴とするものである。
【０００８】また、本発明のコンピュータによるデータ
記録及び検索方法は、物品の製造工程における各工程に
それぞれ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記各記
号を組み合わせてなる記号列により履歴データを形成
し、この履歴データに他の記号を対応させ、該他の記号
を前記物品の前記製造工程の順に組み合わせてなる該他
の記号の列により他の履歴データを形成し、該他の履歴
データを、コンピュータ用のメモリーにおけるレコード
内の１データフィールドに格納し、または該他の履歴デ
ータをコンピュータにより検索することを特徴とするも
のである。
記録及び検索方法は、物品の製造工程における各工程に
それぞれ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記各記
号を組み合わせてなる記号列により履歴データを形成
し、この履歴データに他の記号を対応させ、該他の記号
を前記物品の前記製造工程の順に組み合わせてなる該他
の記号の列により他の履歴データを形成し、該他の履歴
データを、コンピュータ用のメモリーにおけるレコード
内の１データフィールドに格納し、または該他の履歴デ
ータをコンピュータにより検索することを特徴とするも
のである。
【０００９】また、本発明のコンピュータによるデータ
記録及び検索方法は、物品の製造工程における各工程に
それぞれ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記各記
号を組み合わせてなる記号列により履歴データを形成
し、この履歴データに他の記号を対応させ、該他の記号
を前記物品の前記製造工程の順に組み合わせてなる該他
の記号の列により他の履歴データを形成し、該他の履歴
データを、コンピュータ用のメモリーにおけるレコード
内の１データフィールドに格納するとともに、前記レコ
ード内の他のデータフィールドに測定データを格納し、
または該他の履歴データをコンピュータにより検索する
ことを特徴とするものである。
記録及び検索方法は、物品の製造工程における各工程に
それぞれ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記各記
号を組み合わせてなる記号列により履歴データを形成
し、この履歴データに他の記号を対応させ、該他の記号
を前記物品の前記製造工程の順に組み合わせてなる該他
の記号の列により他の履歴データを形成し、該他の履歴
データを、コンピュータ用のメモリーにおけるレコード
内の１データフィールドに格納するとともに、前記レコ
ード内の他のデータフィールドに測定データを格納し、
または該他の履歴データをコンピュータにより検索する
ことを特徴とするものである。
【００１０】また、本発明のコンピュータによるデータ
記録及び検索方法は、前記各工程の種類を示す記号の間
を区切り記号で区分するようにしたことを特徴とするも
のである。
記録及び検索方法は、前記各工程の種類を示す記号の間
を区切り記号で区分するようにしたことを特徴とするも
のである。
【００１１】また、本発明のコンピュータによるデータ
記録及び検索方法は、前記各工程のそれぞれの種類を１
以上の一定の数の記号で示すようにしたことを特徴とす
るものである。また、本発明のコンピュータによるデー
タ記録及び検索方法は、前記各工程のそれぞれの種類を
１以上の可変数の記号で示すようにしたことを特徴とす
るものである。
記録及び検索方法は、前記各工程のそれぞれの種類を１
以上の一定の数の記号で示すようにしたことを特徴とす
るものである。また、本発明のコンピュータによるデー
タ記録及び検索方法は、前記各工程のそれぞれの種類を
１以上の可変数の記号で示すようにしたことを特徴とす
るものである。
【００１２】また、本発明のデータベースは、請求項１
〜７のいずれかに記載のデータ記録方法により履歴デー
タを収集したことを特徴とするものである。また、本発
明のデータ記録媒体は、請求項１〜７のいずれかに記載
のデータ記録方法により履歴データを収録したことを特
徴とするものである。
〜７のいずれかに記載のデータ記録方法により履歴デー
タを収集したことを特徴とするものである。また、本発
明のデータ記録媒体は、請求項１〜７のいずれかに記載
のデータ記録方法により履歴データを収録したことを特
徴とするものである。
【００１３】また、本発明のコンピュータによるデータ
記録及び検索方法は、物品の製造工程における各過程に
それぞれ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記各記
号を組み合わせてなる記号列により履歴データを形成
し、前記履歴データを、コンピュータ用のメモリーにお
けるレコード内の１データフィールドに格納するととも
に、前記製造工程における各過程の詳細処理条件を格納
した他のレコードを付属させ、前記履歴データをコンピ
ュータにより検索することを特徴とするものである。
記録及び検索方法は、物品の製造工程における各過程に
それぞれ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記各記
号を組み合わせてなる記号列により履歴データを形成
し、前記履歴データを、コンピュータ用のメモリーにお
けるレコード内の１データフィールドに格納するととも
に、前記製造工程における各過程の詳細処理条件を格納
した他のレコードを付属させ、前記履歴データをコンピ
ュータにより検索することを特徴とするものである。
【００１４】また、本発明のコンピュータによるデータ
記録及び検索方法は、物品の製造工程における各過程に
それぞれ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記各記
号を組み合わせてなる記号列により履歴データを形成
し、前記履歴データを、コンピュータ用のメモリーにお
けるレコード内の１データフィールドに格納し、かつ、
他のデータフィールドに前記製造工程における画像のフ
ァイル番号を格納し、該画像ファイル番号に対応した画
像データを格納した他のレコードを付属させ、前記履歴
データをコンピュータにより検索することを特徴とする
ものである。
記録及び検索方法は、物品の製造工程における各過程に
それぞれ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記各記
号を組み合わせてなる記号列により履歴データを形成
し、前記履歴データを、コンピュータ用のメモリーにお
けるレコード内の１データフィールドに格納し、かつ、
他のデータフィールドに前記製造工程における画像のフ
ァイル番号を格納し、該画像ファイル番号に対応した画
像データを格納した他のレコードを付属させ、前記履歴
データをコンピュータにより検索することを特徴とする
ものである。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して本発明の
実施の形態について説明する。本発明は既に説明したと
おり、物の製造、作成など複数の過程を含む履歴を表わ
すデータの分類方法に広く適用されるものであるが、こ
こでは説明の便宜上、半導体装置の製造工程を例にとっ
て説明する。
実施の形態について説明する。本発明は既に説明したと
おり、物の製造、作成など複数の過程を含む履歴を表わ
すデータの分類方法に広く適用されるものであるが、こ
こでは説明の便宜上、半導体装置の製造工程を例にとっ
て説明する。
【００１６】実施の形態１
図１〜図３は、本発明の実施の形態１によるデータ分類
方法を説明するための図である。図１は、半導体装置の
製造工程で適用される工程の種類の例とそれを表示する
ための記号の例とを示す図である。図１に示すように、
「イオン注入」をＡ、「酸化」をＢ、「拡散」をＣの記
号あるいは文字によって示すものとする。このように、
製造工程の種類ごとに記号あるいは文字コード（以下、
文字あるいは文字コードの語を用いる）を割り当てる。
方法を説明するための図である。図１は、半導体装置の
製造工程で適用される工程の種類の例とそれを表示する
ための記号の例とを示す図である。図１に示すように、
「イオン注入」をＡ、「酸化」をＢ、「拡散」をＣの記
号あるいは文字によって示すものとする。このように、
製造工程の種類ごとに記号あるいは文字コード（以下、
文字あるいは文字コードの語を用いる）を割り当てる。
【００１７】そうすると、図２に示す製造工程は、「イ
オン注入−酸化−イオン注入−拡散」と続くので、文字
コードでは「ＡＢＡＣ」と分類できる。図３に示す製造
工程は、「イオン注入−イオン注入−酸化−拡散」と続
くので、「ＡＡＢＣ」と表せる。図２の製造工程と良く
似ているが、文字列としては明確に区別できる。このよ
うな分類方法によれば、コンピュータ上のデータベース
やファイルシステムにおけるデータ検索が容易になる。
オン注入−酸化−イオン注入−拡散」と続くので、文字
コードでは「ＡＢＡＣ」と分類できる。図３に示す製造
工程は、「イオン注入−イオン注入−酸化−拡散」と続
くので、「ＡＡＢＣ」と表せる。図２の製造工程と良く
似ているが、文字列としては明確に区別できる。このよ
うな分類方法によれば、コンピュータ上のデータベース
やファイルシステムにおけるデータ検索が容易になる。
【００１８】なお、ここでは文字コードを例にとった
が、これには広い意味の記号を用いることができ、文字
に数字を含む全ての言語の文字、特殊文字、さらに目視
で区別できる絵、コンピュータで識別できるビットパタ
ーンでもよい。このことは、全ての実施の形態に適用で
きる。
が、これには広い意味の記号を用いることができ、文字
に数字を含む全ての言語の文字、特殊文字、さらに目視
で区別できる絵、コンピュータで識別できるビットパタ
ーンでもよい。このことは、全ての実施の形態に適用で
きる。
【００１９】以上のように、この実施の形態によれば、
製造工程の種類（履歴の各過程）を示す記号を組み合わ
せてなる製造工程データ（履歴データ）をデータフィー
ルドに収容したデータ分類方法が得られる。このように
製造工程の履歴を分類すると、文字列のパターンを見る
だけで製造方法の違いを容易に識別することができる。
製造工程の種類（履歴の各過程）を示す記号を組み合わ
せてなる製造工程データ（履歴データ）をデータフィー
ルドに収容したデータ分類方法が得られる。このように
製造工程の履歴を分類すると、文字列のパターンを見る
だけで製造方法の違いを容易に識別することができる。
【００２０】なお、以上の説明では、図２の工程を「Ａ
ＢＡＣ」、図３の工程を「ＡＡＢＣ」とコード化した。
すなわち、工程ごとに１個の文字を割り当てている。し
かし、必要に応じて、ある定まった工程の組み合わせコ
ードを、さらに１つあるいは少数の文字の文字コードで
表示するようにすることもできる。例えば、上記の「Ａ
ＢＡＣ」を「α」に置き換え、「ＡＡＢＣ」を「β」に
置き換えるなどである。
ＢＡＣ」、図３の工程を「ＡＡＢＣ」とコード化した。
すなわち、工程ごとに１個の文字を割り当てている。し
かし、必要に応じて、ある定まった工程の組み合わせコ
ードを、さらに１つあるいは少数の文字の文字コードで
表示するようにすることもできる。例えば、上記の「Ａ
ＢＡＣ」を「α」に置き換え、「ＡＡＢＣ」を「β」に
置き換えるなどである。
【００２１】これを読み解くときには、例えば「α」を
「ＡＢＡＣ」に変換する必要があるが、少ない文字数で
工程を表示できるメリットがある。また、実質的に同じ
工程の組み合わせを、異なったルールで文字化している
データベースの体系がある場合に、このような「α」、
「β」などの短縮コードを介して、相互変換を可能にす
ることもできる。
「ＡＢＡＣ」に変換する必要があるが、少ない文字数で
工程を表示できるメリットがある。また、実質的に同じ
工程の組み合わせを、異なったルールで文字化している
データベースの体系がある場合に、このような「α」、
「β」などの短縮コードを介して、相互変換を可能にす
ることもできる。
【００２２】このことを、包括的に述べると、履歴の各
過程（例えば、製造の各工程）を示す記号を組み合わせ
てなる履歴データに他の記号を対応させ、この他の記号
をデータフィールドに収容するようにしたデータ分類方
法が可能であるということである。
過程（例えば、製造の各工程）を示す記号を組み合わせ
てなる履歴データに他の記号を対応させ、この他の記号
をデータフィールドに収容するようにしたデータ分類方
法が可能であるということである。
【００２３】実施の形態２
図４〜図５は、本発明の実施の形態２によるデータ分類
方法を説明するための図である。この実施の形態２で
は、製造工程の各種類に対応する文字を複数かつ固定数
にしている。すなわち、例えば図４に示すように、「イ
オン注入」をＡＢ、「酸化」をＣ１、「拡散」を３Ｘの
文字によって、２文字として工程をコード化している。
このようにすると、図５に示す製造工程は、「イオン注
入−酸化−拡散−イオン注入−拡散」とつづくので、
「ＡＢＣ１３ＸＡＢ３Ｘ」とコード化される。
方法を説明するための図である。この実施の形態２で
は、製造工程の各種類に対応する文字を複数かつ固定数
にしている。すなわち、例えば図４に示すように、「イ
オン注入」をＡＢ、「酸化」をＣ１、「拡散」を３Ｘの
文字によって、２文字として工程をコード化している。
このようにすると、図５に示す製造工程は、「イオン注
入−酸化−拡散−イオン注入−拡散」とつづくので、
「ＡＢＣ１３ＸＡＢ３Ｘ」とコード化される。
【００２４】このような文字列の検索はコンピュータに
とっては非常に容易である。人がこの文字列を見る必要
は無く、コンピュータ内部で処理すれば良い。例えば、
入力する時は「イオン注入」等の言葉を画面上から適当
な入力デバイス（例えばマウス）を使って選択すれば良
い。工程に対応する文字数を増やせば、より多くの工程
を取り扱うことができる。
とっては非常に容易である。人がこの文字列を見る必要
は無く、コンピュータ内部で処理すれば良い。例えば、
入力する時は「イオン注入」等の言葉を画面上から適当
な入力デバイス（例えばマウス）を使って選択すれば良
い。工程に対応する文字数を増やせば、より多くの工程
を取り扱うことができる。
【００２５】以上説明したように、この実施の形態のよ
うに製造工程の履歴を分類すると、文字列のパターンを
見るだけで製造方法の違いを容易に識別することができ
る。
うに製造工程の履歴を分類すると、文字列のパターンを
見るだけで製造方法の違いを容易に識別することができ
る。
【００２６】実施の形態３
図６〜図７は、本発明の実施の形態３によるデータ分類
方法を説明するための図である。この実施の形態３で
は、製造工程の種類毎の文字コードを可変長にする場合
を示す。この時は、工程を示すコード間の区切りを示す
コードが別途必要となる。
方法を説明するための図である。この実施の形態３で
は、製造工程の種類毎の文字コードを可変長にする場合
を示す。この時は、工程を示すコード間の区切りを示す
コードが別途必要となる。
【００２７】図６は、この実施の形態３における工程の
種類に割り振ったコードを示している。すなわち、「イ
オン注入」をＩＭＰ、「酸化」をＯＸＩＤＥ、「拡散」
をＤＩＦＦの文字によって、可変数の文字によりコード
化している。このように決めると、図７に示す製造工程
は、「イオン注入−酸化−イオン注入−拡散」とつづく
ので、「ＩＭＰ−ＯＸＩＤＥ−ＩＭＰ−ＤＩＦＦ」とコ
ード化される。各工程を表わす記号コードの文字数が異
なるので、コード間の区切りを表わすためにハイフン
「−」を使っている。
種類に割り振ったコードを示している。すなわち、「イ
オン注入」をＩＭＰ、「酸化」をＯＸＩＤＥ、「拡散」
をＤＩＦＦの文字によって、可変数の文字によりコード
化している。このように決めると、図７に示す製造工程
は、「イオン注入−酸化−イオン注入−拡散」とつづく
ので、「ＩＭＰ−ＯＸＩＤＥ−ＩＭＰ−ＤＩＦＦ」とコ
ード化される。各工程を表わす記号コードの文字数が異
なるので、コード間の区切りを表わすためにハイフン
「−」を使っている。
【００２８】以上説明したように、この実施の形態のよ
うに製造工程の履歴を分類すると、文字列のパターンを
見るだけで製造方法の違いを容易に識別することができ
る。
うに製造工程の履歴を分類すると、文字列のパターンを
見るだけで製造方法の違いを容易に識別することができ
る。
【００２９】実施の形態４
図８は、本発明の実施の形態４によるデータベースの例
を説明するための図である。図８は、データベースの１
個のレコードを示している。図８に見るように、このレ
コードＡは、シリアルＮｏ．、履歴データ、ウェーハＮ
ｏ．、ロットＮｏ．、測定データ１、測定データ２、な
ど、さらに画像ファイルＮｏ．のデータフィールドを有
している。
を説明するための図である。図８は、データベースの１
個のレコードを示している。図８に見るように、このレ
コードＡは、シリアルＮｏ．、履歴データ、ウェーハＮ
ｏ．、ロットＮｏ．、測定データ１、測定データ２、な
ど、さらに画像ファイルＮｏ．のデータフィールドを有
している。
【００３０】すなわち、このレコードＡは、複数の測定
データを収納すると同時に、履歴データのデータフィー
ルドに、実施の形態１〜３で説明したような製造工程の
履歴データを収納している。このレコードＡに各工程の
詳細の処理条件を格納したレコードＢ、およびレコード
Ａに関連する画像データを格納したレコードCが付属し
た形となっている。
データを収納すると同時に、履歴データのデータフィー
ルドに、実施の形態１〜３で説明したような製造工程の
履歴データを収納している。このレコードＡに各工程の
詳細の処理条件を格納したレコードＢ、およびレコード
Ａに関連する画像データを格納したレコードCが付属し
た形となっている。
【００３１】レコードＡでは工程の順番を履歴データに
より文字列で知ることができる。しかし、各工程の種類
の詳しい内容は入っていないので、レコードＢに別途格
納している。レコードＡとレコードＢはシリアルナンバ
ーで対応している。一つのレコードＡに対して、そのレ
コードの文字列にある工程数だけレコードＢは並列して
存在し、その順番は工程番号に入っている。従って、レ
コードＢはシリアルナンバーが同一のものを検索して、
工程番号順に並び変えることにより、あるレコードＡに
対する、詳しい処理内容を知ることができる。なお、レ
コードＡの履歴データは、工程の種類を示す文字コード
であり、工程番号自体を示す数字は含まれていないが、
コンピュータにより工程番号を認識することは容易にで
きる。
より文字列で知ることができる。しかし、各工程の種類
の詳しい内容は入っていないので、レコードＢに別途格
納している。レコードＡとレコードＢはシリアルナンバ
ーで対応している。一つのレコードＡに対して、そのレ
コードの文字列にある工程数だけレコードＢは並列して
存在し、その順番は工程番号に入っている。従って、レ
コードＢはシリアルナンバーが同一のものを検索して、
工程番号順に並び変えることにより、あるレコードＡに
対する、詳しい処理内容を知ることができる。なお、レ
コードＡの履歴データは、工程の種類を示す文字コード
であり、工程番号自体を示す数字は含まれていないが、
コンピュータにより工程番号を認識することは容易にで
きる。
【００３２】次に、レコードＣは画像ファイルを格納し
ている。一般に画像データはデータ量が多く、レコード
Ａに一体化しておくことはデータ処理上高速性が損なわ
れる。そこでレコードＡには画像ファイルのナンバーの
みを格納する。レコードＣには、画像ファイルナンバー
に関連付けされた画像データを格納する。
ている。一般に画像データはデータ量が多く、レコード
Ａに一体化しておくことはデータ処理上高速性が損なわ
れる。そこでレコードＡには画像ファイルのナンバーの
みを格納する。レコードＣには、画像ファイルナンバー
に関連付けされた画像データを格納する。
【００３３】以上説明したように製造工程の履歴に関す
るデータベースを構築すると、履歴データの文字列パタ
ーンを見るだけで製造方法の違いを容易に識別できる。
従って、例えば、ある製造方法で作られた半導体のウェ
ハを側定したデータに、この文字列を記憶するフィール
ドを追加して、コンピュータのデータとして格納するこ
とにより、製造方法の違いを分類して、データを蓄積で
きる。さらに、データを検索する場合には、文字列のパ
ターンマッチングでデータ検索が高速で可能になる。単
なるデータファイルにだけでなく、データベースにも適
用できる。
るデータベースを構築すると、履歴データの文字列パタ
ーンを見るだけで製造方法の違いを容易に識別できる。
従って、例えば、ある製造方法で作られた半導体のウェ
ハを側定したデータに、この文字列を記憶するフィール
ドを追加して、コンピュータのデータとして格納するこ
とにより、製造方法の違いを分類して、データを蓄積で
きる。さらに、データを検索する場合には、文字列のパ
ターンマッチングでデータ検索が高速で可能になる。単
なるデータファイルにだけでなく、データベースにも適
用できる。
【００３４】また、この発明によれば、以上説明したい
ずれかの実施の形態によるデータ分類方法により履歴デ
ータを管理するデータ管理方法が得られる。また、この
ようなデータ分類方法により分類した履歴データを収集
して履歴に関するデータベースを構築することができ
る。さらに、このようなデータ分類方法により分類した
履歴データをデータ記録媒体に収録して、履歴データベ
ースを収録したデータ記録媒体を得ることができる。
ずれかの実施の形態によるデータ分類方法により履歴デ
ータを管理するデータ管理方法が得られる。また、この
ようなデータ分類方法により分類した履歴データを収集
して履歴に関するデータベースを構築することができ
る。さらに、このようなデータ分類方法により分類した
履歴データをデータ記録媒体に収録して、履歴データベ
ースを収録したデータ記録媒体を得ることができる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複雑で変化の多い過程を有する履歴、例えば製造工場に
おいて、複雑な製造工程で、多くの条件選択枝がある場
合においても、その製造工程を正確に表現し、製造の履
歴を分類することができるデータ分類方法を得ることが
できる。そして、従来検索対象として取り扱うのが困難
であった履歴データが検索可能になり、多くの工程を経
て製造される製品や物の作成過程を検索できるようにな
る。
複雑で変化の多い過程を有する履歴、例えば製造工場に
おいて、複雑な製造工程で、多くの条件選択枝がある場
合においても、その製造工程を正確に表現し、製造の履
歴を分類することができるデータ分類方法を得ることが
できる。そして、従来検索対象として取り扱うのが困難
であった履歴データが検索可能になり、多くの工程を経
て製造される製品や物の作成過程を検索できるようにな
る。
【００３６】また、本発明によれば、良く似た製造方法
で作られた物に関する各種測定データの差を評価する場
合において、その詳しい製造方法を過去にさかのぼって
調査することが可能になるため、従来のように膨大な紙
のファイルや、データ出力からの人手による履歴の作成
が不要になる。
で作られた物に関する各種測定データの差を評価する場
合において、その詳しい製造方法を過去にさかのぼって
調査することが可能になるため、従来のように膨大な紙
のファイルや、データ出力からの人手による履歴の作成
が不要になる。
【００３７】また、このため、改良や改善が絶えまなく
続けられる製造工場等における生産あるいは製造物の確
実な管理を可能にし、製品等の不具合を過去に遡って調
査したり、頻繁に発生する作業、例えば、後日発見され
うる測定データの差異を過去の製造方法の違いにまで遡
って調査し、原因を見つけるような作業の時間をコンピ
ュータ処理により大幅に短縮できるという効果がある。
続けられる製造工場等における生産あるいは製造物の確
実な管理を可能にし、製品等の不具合を過去に遡って調
査したり、頻繁に発生する作業、例えば、後日発見され
うる測定データの差異を過去の製造方法の違いにまで遡
って調査し、原因を見つけるような作業の時間をコンピ
ュータ処理により大幅に短縮できるという効果がある。
【図１】 本発明の実施の形態１によるデータ分類方法
を説明するための図で、工程の種類と文字コードとの関
係を示す図である。
を説明するための図で、工程の種類と文字コードとの関
係を示す図である。
【図２】 本発明の実施の形態１によるデータ分類方法
を説明するための図で、製造工程のコード化を示す図で
ある。
を説明するための図で、製造工程のコード化を示す図で
ある。
【図３】 本発明の実施の形態１によるデータ分類方法
を説明するための図で、他の製造工程のコード化を示す
図である。
を説明するための図で、他の製造工程のコード化を示す
図である。
【図４】 本発明の実施の形態２によるデータ分類方法
を説明するための図で、工程の種類と文字コードとの関
係を示す図である。
を説明するための図で、工程の種類と文字コードとの関
係を示す図である。
【図５】 本発明の実施の形態２によるデータ分類方法
を説明するための図で、製造工程のコード化を示す図で
ある。
を説明するための図で、製造工程のコード化を示す図で
ある。
【図６】 本発明の実施の形態３によるデータ分類方法
を説明するための図で、工程の種類と文字コードとの関
係を示す図である。
を説明するための図で、工程の種類と文字コードとの関
係を示す図である。
【図７】 本発明の実施の形態３によるデータ分類方法
を説明するための図で、製造工程のコード化を示す図で
ある。
を説明するための図で、製造工程のコード化を示す図で
ある。
【図８】 本発明の実施の形態４によるデータ管理方
法、データベース及びデータ記録媒体を説明するための
図で、データベースのレコードを示す図である。
法、データベース及びデータ記録媒体を説明するための
図で、データベースのレコードを示す図である。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｚ
Ｆターム(参考） 3C100 AA57 AA68 BB13 BB33 EE06
5B075 ND20 NK02 NK48 NR02 NR12
PP22 PQ32
Claims (11)
- 【請求項１】 物品の製造工程における各工程にそれぞ
れ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記各記号を組
み合わせてなる記号列により履歴データを形成し、前記
履歴データを、コンピュータ用のメモリーにおけるレコ
ード内の１データフィールドに格納し、または前記履歴
データをコンピュータにより検索することを特徴とす
る、コンピュータによるデータ記録及び検索方法。 - 【請求項２】 物品の製造工程における各工程にそれぞ
れ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記各記号を組
み合わせてなる記号列により履歴データを形成し、前記
履歴データを、コンピュータ用のメモリーにおけるレコ
ード内の１データフィールドに格納するとともに、前記
レコード内の他のデータフィールドに測定データを格納
し、または前記履歴データをコンピュータにより検索す
ることを特徴とする、コンピュータによるデータ記録及
び検索方法。 - 【請求項３】 物品の製造工程における各工程にそれぞ
れ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記各記号を組
み合わせてなる記号列により履歴データを形成し、この
履歴データに他の記号を対応させ、該他の記号を前記物
品の前記製造工程の順に組み合わせてなる該他の記号の
列により他の履歴データを形成し、該他の履歴データ
を、コンピュータ用のメモリーにおけるレコード内の１
データフィールドに格納し、または該他の履歴データを
コンピュータにより検索することを特徴とする、コンピ
ュータによるデータ記録及び検索方法。 - 【請求項４】 物品の製造工程における各工程にそれぞ
れ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記各記号を組
み合わせてなる記号列により履歴データを形成し、この
履歴データに他の記号を対応させ、該他の記号を前記物
品の前記製造工程の順に組み合わせてなる該他の記号の
列により他の履歴データを形成し、該他の履歴データ
を、コンピュータ用のメモリーにおけるレコード内の１
データフィールドに格納するとともに、前記レコード内
の他のデータフィールドに測定データを格納し、または
該他の履歴データをコンピュータにより検索することを
特徴とする、コンピュータによるデータ記録及び検索方
法。 - 【請求項５】 前記各工程の種類を示す記号の間を区切
り記号で区分するようにしたことを特徴とする請求項１
〜４のいずれかに記載のデータ記録及び検索方法。 - 【請求項６】 前記各工程のそれぞれの種類を１以上の
一定の数の記号で示すようにしたことを特徴とする請求
項１〜４のいずれかに記載のデータ記録及び検索方法。 - 【請求項７】 前記各工程のそれぞれの種類を１以上の
可変数の記号で示すようにしたことを特徴とする請求項
１〜４のいずれかに記載のデータ記録及び検索方法。 - 【請求項８】 請求項１〜７のいずれかに記載のデータ
記録方法により履歴データを収集したことを特徴とする
データベース。 - 【請求項９】 請求項１〜７のいずれかに記載のデータ
記録方法により履歴データを収録したことを特徴とする
データ記録媒体。 - 【請求項１０】 物品の製造工程における各過程にそれ
ぞれ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記各記号を
組み合わせてなる記号列により履歴データを形成し、前
記履歴データを、コンピュータ用のメモリーにおけるレ
コード内の１データフィールドに格納するとともに、前
記製造工程における各過程の詳細処理条件を格納した他
のレコードを付属させ、前記履歴データをコンピュータ
により検索することを特徴とする、コンピュータによる
データ記録及び検索方法。 - 【請求項１１】 物品の製造工程における各過程にそれ
ぞれ記号を対応させ、前記製造工程の順に前記各記号を
組み合わせてなる記号列により履歴データを形成し、前
記履歴データを、コンピュータ用のメモリーにおけるレ
コード内の１データフィールドに格納し、かつ、他のデ
ータフィールドに前記製造工程における画像のファイル
番号を格納し、該画像ファイル番号に対応した画像デー
タを格納した他のレコードを付属させ、前記履歴データ
をコンピュータにより検索することを特徴とする、コン
ピュータによるデータ記録及び検索方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002123027A JP2003050809A (ja) | 2002-04-24 | 2002-04-24 | コンピュータによるデータ記録及び検索方法、データベース、およびデータ記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002123027A JP2003050809A (ja) | 2002-04-24 | 2002-04-24 | コンピュータによるデータ記録及び検索方法、データベース、およびデータ記録媒体 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21786297A Division JPH1165644A (ja) | 1997-08-12 | 1997-08-12 | データ分類方法及びこれによるデータ管理方法、データベース及びデータ記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003050809A true JP2003050809A (ja) | 2003-02-21 |
Family
ID=19194169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002123027A Pending JP2003050809A (ja) | 2002-04-24 | 2002-04-24 | コンピュータによるデータ記録及び検索方法、データベース、およびデータ記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003050809A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013121493A1 (ja) * | 2012-02-17 | 2013-08-22 | シャープ株式会社 | 半導体処理システム、半導体装置の製造方法、装置データ収集方法、制御プログラムおよび可読記憶媒体 |
-
2002
- 2002-04-24 JP JP2002123027A patent/JP2003050809A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013121493A1 (ja) * | 2012-02-17 | 2013-08-22 | シャープ株式会社 | 半導体処理システム、半導体装置の製造方法、装置データ収集方法、制御プログラムおよび可読記憶媒体 |
| CN104011833A (zh) * | 2012-02-17 | 2014-08-27 | 夏普株式会社 | 半导体处理系统、半导体装置的制造方法、装置数据收集方法、控制程序及可读存储介质 |
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