JP2003047283A - Drive controller - Google Patents

Drive controller

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JP2003047283A
JP2003047283A JP2001226246A JP2001226246A JP2003047283A JP 2003047283 A JP2003047283 A JP 2003047283A JP 2001226246 A JP2001226246 A JP 2001226246A JP 2001226246 A JP2001226246 A JP 2001226246A JP 2003047283 A JP2003047283 A JP 2003047283A
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JP
Japan
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scale
detection head
drive
pulse width
relative displacement
Prior art date
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Application number
JP2001226246A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Itsuki Fujimoto
一城 藤本
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Filing date
Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drive controller which optionally controls the velocity of a motor and can let the motor take a complicated motion. SOLUTION: This drive controller has a scale which has a plurality of patterns different in pulse width, a detection head which applies light to that scale and detects the luminous flux via that scale and detects the information about relative transition with that scale, a drive means which performs the relative transition between that scale and that detection head, and a control means which drives that drive means by generating drive pulses concerned with the quantity of relative transition between that scale and that detection head.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は駆動制御装置に関
し、特に変位物体(光学スケール)に光を照射し、変位
物体を介した光を利用して変位物体及び変位物体を駆動
させるモータ等の駆動手段の回転情報や移動情報等の変
位情報の物理量を求め、相対的変位を滑らかに行う際に
好適なものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a drive control device, and more particularly to driving a displacement object and a motor for irradiating the displacement object (optical scale) with light through the displacement object and driving the displacement object. This is suitable for obtaining a physical quantity of displacement information such as rotation information and movement information of the means and smoothly performing relative displacement.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来よりNC工作機械等には物体(変位
物体)の移動量、回転量や物体を駆動する為のモータの
駆動情報等の変位情報を検出する為にロータリーエンコ
ーダやリニアエンコーダ等が使用されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an NC machine tool or the like has a rotary encoder, a linear encoder, or the like for detecting displacement information such as movement amount, rotation amount of an object (displacement object) and drive information of a motor for driving the object. Is used.

【0003】図5は従来のリニアスケール型の光学式エ
ンコーダーの要部概略図である。
FIG. 5 is a schematic view of a main part of a conventional linear scale type optical encoder.

【0004】図5において、101はスライダー103
に固定されたコの字型の検出ヘッドである。102は溝
が加工されたスケールであり、検出ヘッド101との位
置合わせをおこなった後、両端を左右のスペーサ107
(107a、107b)及びビス108(108a、1
08b)によりベース106に固定されている。104
はボールネジ105に累合されたスライダー103を動
かすためのモータである。109はモータ104および
ボールネジ105を支えるとともにスライダー103の
メカストッパーを兼ねる。また図示しない制御BOXに
より送り量のパルス数をカウントすると共にモータ10
4に指令を送る。スライダー103が移動すると、検出
ヘッド101ではスケール102に基づく周期信号が得
られる。このとき得られる周期信号を用いてスケール1
02に対するスライダー103の変位情報を検出してい
る。
In FIG. 5, 101 is a slider 103.
It is a U-shaped detection head fixed to. Reference numeral 102 denotes a scale in which a groove has been processed.
(107a, 107b) and screws 108 (108a, 1)
It is fixed to the base 106 by 08b). 104
Is a motor for moving the slider 103 accumulated on the ball screw 105. Reference numeral 109 supports the motor 104 and the ball screw 105 and also serves as a mechanical stopper of the slider 103. Further, the number of pulses of the feed amount is counted by a control box (not shown), and the motor 10
Send command to 4. When the slider 103 moves, the detection head 101 obtains a periodic signal based on the scale 102. Scale 1 using the periodic signal obtained at this time
The displacement information of the slider 103 with respect to 02 is detected.

【0005】図6は従来のロータリースケール型のエン
コーダーの要部概略図である。121は図示しない光学
ベースに取り付けられた検出ヘッドである。122はモ
ータ123の軸上に取り付けられたロータリースケール
である。124はメカストッパーである。125はスト
ッパーアタッチメントを示す。また図示しない制御BO
Xにより送り量のパルス数をカウントすると共にモータ
123に指令を送る。検出ヘッド121で得られる周期
信号を用いてロータリースケール122の回転情報を検
出している。
FIG. 6 is a schematic view of a main part of a conventional rotary scale type encoder. A detection head 121 is attached to an optical base (not shown). A rotary scale 122 is mounted on the shaft of the motor 123. Reference numeral 124 is a mechanical stopper. Reference numeral 125 indicates a stopper attachment. A control BO (not shown)
The number of pulses of the feed amount is counted by X, and a command is sent to the motor 123. The rotation information of the rotary scale 122 is detected using the periodic signal obtained by the detection head 121.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来のリニアスケール
型やロータリースケール型のエンコーダでは、スケール
に加工される溝ピッチ(格子ピッチ)がすべての移動範
囲で同一(均一)である。1つの溝ピッチを基準にスケ
ール102と検出ヘッド101との相対的移動を行って
いる。このためにモータの回転速度を変化させること
(即ちスライダーの速度を変化させること)が簡単に出
来ず設計の自由度が狭められていた。
In the conventional linear scale type or rotary scale type encoder, the groove pitch (grid pitch) processed in the scale is the same (uniform) in all the moving ranges. The scale 102 and the detection head 101 are moved relative to each other on the basis of one groove pitch. For this reason, it is difficult to change the rotation speed of the motor (that is, change the speed of the slider), and the degree of freedom in design has been narrowed.

【0007】また動作範囲の端部においてはモータに急
激な停止指令があたえられるために、多くの場合スライ
ダーがオーバーランしてしまうということがあった。
At the end of the operating range, the motor may be given a sudden stop command, and in many cases, the slider may overrun.

【0008】その為に通常、スケールの停止端部のごく
わずか先の部分にメカニカルなストッパーを設けて強制
的にスライダーを停止させる構造を用いている。しかし
ながらスライダーがストッパーにあたるときの振動や衝
撃により、スケールを含む検出部材の位置がずれるこ
と、又、光学部品である検出ヘッドの寿命の低下の原因
となっていた。
For this reason, usually, a structure is used in which a slider is forcibly stopped by providing a mechanical stopper at a portion slightly ahead of the stop end of the scale. However, vibration and impact when the slider hits the stopper causes the position of the detection member including the scale to be displaced, and the life of the detection head, which is an optical component, to be shortened.

【0009】また一度、端部にて停止した可動部材が再
び逆方向(逆回転方向)に動きはじめる場合においても
なめらかな速度増速を実現させないと振動や衝撃が発生
することがあった。
Further, even when the movable member once stopped at the end begins to move in the reverse direction (reverse rotation direction) again, vibration or impact may occur unless a smooth speed increase is realized.

【0010】これらの問題を回避するために、たとえば
ショックアブソーバーなどによってスライダーを振動さ
せることなく停止させる方法がある。しかしながらこの
方法は新たにスペースが必要となる。
In order to avoid these problems, there is a method of stopping the slider without vibrating it by, for example, a shock absorber. However, this method requires new space.

【0011】また端部のみモータ(アクチュエーター)
におくる電圧や周波数を制御することにより減増速させ
る方法もある。しかしながらこの方法は、制御系がより
複雑になりコストアップの要因となっていた。
Further, only the end portion is a motor (actuator)
There is also a method of reducing the speed by controlling the voltage and frequency of the odor. However, this method causes the control system to become more complicated, resulting in an increase in cost.

【0012】本発明はモータ等の駆動手段に送る電圧や
周波数が変動させることなく可動部材の速度を容易に変
化させることができる駆動制御装置の提供を目的とす
る。
It is an object of the present invention to provide a drive control device which can easily change the speed of a movable member without changing the voltage or frequency sent to a driving means such as a motor.

【0013】この他本発明は、可動部材の速度を徐々に
増加させたり減少させたり任意に速度を制御することに
より、なめらか動きが容易に得られる駆動制御装置の提
供を目的とする。
Another object of the present invention is to provide a drive control device in which smooth movement can be easily obtained by gradually increasing or decreasing the speed of the movable member and controlling the speed arbitrarily.

【0014】この他本発明は、メカニカルなストッパー
やショックアブソーバー等に、たよる事なく所定のスペ
ース内で振動衝撃がほとんどなく、可動部材を駆動制御
することができる駆動制御装置の提供を目的とする。
Another object of the present invention is to provide a drive control device capable of driving and controlling a movable member with almost no vibration and impact in a predetermined space without relying on a mechanical stopper or shock absorber. To do.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明の駆動制
御装置は、パルス幅が異なる複数のパターンを有するス
ケールと、該スケールに光を照射し、該スケールを介し
た光束を検出して、該スケールとの相対的変位情報を検
出する検出ヘッドと、該スケールと該検出ヘッドとの相
対的変位を行う駆動手段と、該スケールと該検出ヘッド
との相対的変位量に関する駆動パルスを発生させて、該
駆動手段を駆動させる制御手段とを有していることを特
徴としている。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a drive control device, wherein a scale having a plurality of patterns having different pulse widths, the scale is irradiated with light, and a light flux passing through the scale is detected. , A detection head for detecting relative displacement information with respect to the scale, a drive means for performing relative displacement between the scale and the detection head, and a drive pulse relating to an amount of relative displacement between the scale and the detection head And a control means for driving the drive means.

【0016】請求項2の発明は請求項1の発明におい
て、前記スケールと前記検出ヘッドとの相対的変位方向
に沿って、前記スケール上のパルス幅は連続的又は段階
的に変化していることを特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the pulse width on the scale changes continuously or stepwise along the relative displacement direction of the scale and the detection head. Is characterized by.

【0017】請求項3の発明は請求項1又は2の発明に
おいて、前記駆動手段は前記スケールと前記検出ヘッド
との1つのパルス幅の相対的変位に要する時間が略等し
くなるように駆動させていることを特徴としている。
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the invention, the driving means drives the scale and the detection head so that the time required for relative displacement of one pulse width becomes substantially equal. It is characterized by being.

【0018】請求項4の発明は請求項1、2又は3の発
明において、前記スケールのパルス幅は、該スケールと
前記検出ヘッドとの相対的変移範囲のうち中央側に比べ
て端部側にいくに従って、連続的に又は段階的に小さく
なっていることを特徴としている。
According to a fourth aspect of the present invention, in the first, second or third aspect, the pulse width of the scale is closer to the end side than the center side in the relative displacement range of the scale and the detection head. It is characterized in that it becomes smaller continuously or stepwise as it goes.

【0019】請求項5の発明は請求項1の発明におい
て、前記スケールはパルス幅が均一の均一領域と、パル
ス幅が連続的に変化する不均一領域とを有していること
を特徴としている。
A fifth aspect of the present invention is characterized in that, in the first aspect, the scale has a uniform region having a uniform pulse width and a non-uniform region in which the pulse width continuously changes. .

【0020】請求項6の発明は請求項5の発明におい
て、前記検出ヘッドと前記スケールの不均一の領域との
相対的変位の際、前記制御手段は前記駆動手段に増減速
情報を与えていることを特徴としている。
According to a sixth aspect of the invention, in the fifth aspect of the invention, the control means gives acceleration / deceleration information to the driving means when the detection head and the scale are non-uniformly displaced relative to each other. It is characterized by that.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】図1は本発明の実施形態1の要部
概略図である。図2は図1のA−A断面図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a schematic view of the essential portions of a first embodiment of the present invention. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.

【0022】図1、図2において、101はコの字型の
検出ヘッドであり、スライダー(可動部材)103に固
定されている。コの字型の検出ヘッド101は投光手段
と受光手段を有している。
In FIGS. 1 and 2, reference numeral 101 is a U-shaped detection head, which is fixed to a slider (movable member) 103. The U-shaped detection head 101 has a light projecting means and a light receiving means.

【0023】102はスケールであり、その表面にはパ
ルス幅を構成する溝若しくは格子パターンが加工されて
いる。スケール102は検出ヘッド101の位置合せを
行った後、両端を左右のスペーサ107(107a、1
07b)及びビス108(108a、108b)により
ベース(基板)106に固定されている。
Reference numeral 102 denotes a scale, on the surface of which a groove or a lattice pattern forming a pulse width is processed. After the scale 102 is aligned with the detection head 101, the left and right spacers 107 (107a, 1a) are attached to both ends.
07b) and screws 108 (108a, 108b) are fixed to the base (substrate) 106.

【0024】104は駆動手段(モータ)であり、ボー
ルネジ105に累合されたスライダー103を一方向に
往復駆動させている。
Reference numeral 104 denotes a driving means (motor) which drives the slider 103 accumulated on the ball screw 105 to reciprocate in one direction.

【0025】109(109a、109b)はメカスト
ッパーであり、モータ104およびボールネジ105を
ささえるとともにスライダー103の駆動範囲を制限し
ている。
Reference numeral 109 (109a, 109b) denotes a mechanical stopper which supports the motor 104 and the ball screw 105 and limits the drive range of the slider 103.

【0026】110は制御手段であり、スライダー10
3の送り量のパルス数をカウントすると共にモータ10
4に駆動パルス信号を送っている。
Reference numeral 110 is a control means, and the slider 10
The number of pulses of the feed amount of 3 is counted and the motor 10
The drive pulse signal is sent to 4.

【0027】スケール102のパルス溝の幅は中央部に
くらべて両端部にいくに従って徐々に狭くなっている。
これにより制御手段110が同一時間内に同一パルス数
を移動させる指令をモータ104に与えても分解能に差
が有る為に、スライダー103(検出ヘッド101)は
スケール102上で中央部は比較的速度が速くなり端部
にいくにしたがって徐々に速度が遅くなるようにしてい
る。本実施形態ではスライダーが1つのパルス幅を移動
する時間は移動範囲全体にわたり略一定となるようにし
ている。
The width of the pulse groove of the scale 102 is gradually narrowed toward both ends as compared with the central portion.
Accordingly, even if the control means 110 gives a command to the motor 104 to move the same number of pulses within the same time, there is a difference in resolution. Therefore, the slider 103 (detection head 101) is on the scale 102 and the central portion is relatively fast. It becomes faster and becomes slower toward the end. In this embodiment, the time for the slider to move one pulse width is set to be substantially constant over the entire moving range.

【0028】また検出ヘッド101が一度スケール10
2の端部で停止し再度逆方向にむかって駆動するときも
徐々に速度が増しスライダー103がある一定距離進ん
だ後に速度が一定なるようにパルス幅を設定している。
Further, the detection head 101 is once scale 10
The pulse width is set so that the speed is gradually increased even when the slider 103 is stopped at the end of No. 2 and driven in the opposite direction again, and the speed becomes constant after the slider 103 has advanced a certain distance.

【0029】つまりスケール102の溝部のパルス密度
を中央部を広くまた両端部にいくにしたがって徐々に狭
くしていくことによりモーター104の電圧や周波数を
中央部と端部で変化させるというような複雑な制御方式
を採用することなくスライダーの端部におけるオーバー
−ランや振動衝撃を防止することを容易にしている。
That is, the pulse density of the groove portion of the scale 102 is widened in the central portion and gradually narrowed toward both ends so that the voltage and frequency of the motor 104 are changed between the central portion and the end portions. This makes it easy to prevent overrun and vibration shock at the end of the slider without adopting any control method.

【0030】実施形態1の駆動制御装置は、例えばプリ
ンターの印字ヘッドの送り機構に応用することが出来
る。すなわち印字範囲のみ速度の速い一定速部分を利用
し、リミット部(端部)は出来るだけ検出ヘッドに衝撃
をあたえることなく逆移動させる事が出来る。
The drive control device of the first embodiment can be applied to, for example, a print head feeding mechanism of a printer. That is, the constant speed portion having a high speed is used only in the printing range, and the limit portion (end portion) can be moved in the reverse direction without giving a shock to the detection head as much as possible.

【0031】尚、本実施形態において、スケール102
はパルス幅が均一の領域とパルス幅が徐々に変化する不
均一領域を有するように構成しても良い。
In the present embodiment, the scale 102
May have a region where the pulse width is uniform and a non-uniform region where the pulse width gradually changes.

【0032】又、不均一領域における検出ヘッドの速度
が制御されるように特定の増減速情報を制御手段110
から駆動手段に与えるようにしても良い。
Further, the control means 110 outputs specific acceleration / deceleration information so that the speed of the detection head in the non-uniform area is controlled.
May be given to the driving means.

【0033】本実施形態において、検出ヘッド101を
基盤106上に固定させ、スケール102をスライダー
103の一部に設けてスライダー103の駆動を制御す
るようにしても良い。
In the present embodiment, the detection head 101 may be fixed on the substrate 106, and the scale 102 may be provided on a part of the slider 103 to control the driving of the slider 103.

【0034】図3は本実施形態で用いている検出ヘッド
の説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of the detection head used in this embodiment.

【0035】同図において光源301からの光束は、基
板302に設けた開口を通過した後にレンズ系303で
略平行光束としてパルス幅となる放射格子(直線状格
子)を設けた変位物体としてのスケール102の第1領
域102aに入射している。
In the figure, the light flux from the light source 301 passes through an aperture provided in the substrate 302, and then a scale as a displacement object provided with a radiation grating (linear grating) having a pulse width as a substantially parallel light flux in the lens system 303. It is incident on the first region 102 a of the light beam 102.

【0036】スケール102の第1領域102aの格子
で回折した±n次の回折光はレンズ系305、コーナー
キューブ306、そしてレンズ系307を介してスケー
ル102の格子配列に垂直方向の異なる位置の第2領域
102bに導光され、その面上に干渉パターンを形成す
る。第2領域102bを通過した干渉パターンに基づく
光束をレンズ系308で集光して受光素子309で検出
している。
The ± n-order diffracted light diffracted by the grating of the first region 102a of the scale 102 is transmitted through the lens system 305, the corner cube 306, and the lens system 307 to the grating array of the scale 102 at different positions in the vertical direction. The light is guided to the second region 102b and an interference pattern is formed on the surface. The light flux based on the interference pattern that has passed through the second region 102b is condensed by the lens system 308 and detected by the light receiving element 309.

【0037】このとき検出ヘッド101が矢印304の
方向に移動すると、スケール102上に形成される干渉
パターンは逆方向に変位するので受光素子309では格
子分解能(格子ピッチ)の2倍の周期の信号が得られ
る。
At this time, when the detection head 101 moves in the direction of the arrow 304, the interference pattern formed on the scale 102 is displaced in the opposite direction. Therefore, in the light receiving element 309, a signal having a period twice the grating resolution (grating pitch). Is obtained.

【0038】受光素子309で得られる周期信号を利用
してスライダー103のスケール102に対する変位情
報を得ている。
The displacement information of the slider 103 with respect to the scale 102 is obtained using the periodic signal obtained by the light receiving element 309.

【0039】以上のように本実施形態では、スケールに
設けるパターン形状としてそのパルス幅の広さの異なる
部分を設けている。
As described above, in this embodiment, as the pattern shape provided on the scale, the portions having different pulse widths are provided.

【0040】これにより同一時間内に同一パルス数の信
号をモータに送るというような単純な駆動制御系におい
てもモータの速度を変化させることが可能となった。。
As a result, the speed of the motor can be changed even in a simple drive control system in which signals having the same number of pulses are sent to the motor within the same time. .

【0041】又、スケールのパルス幅を徐々に広くした
り、又は狭くしたりすることにより速度変動を滑らかに
している。
Further, the speed fluctuation is smoothed by gradually widening or narrowing the pulse width of the scale.

【0042】又、駆動範囲のうち、スケール上の中央部
分のパルス幅を広くし端部にいくにしたがって徐々に狭
くすることにし、ショックアブソーバー等のメカ的なク
ッション機構にたよる事なく端部における滑らかな減増
速を可能とし、振動衝撃等などによる検出ヘッド等の位
置ずれや破損、光学部品の寿命の低下を防止している。
Further, in the driving range, the pulse width of the central portion on the scale is widened and gradually narrowed toward the end portion so that the end portion is not affected by a mechanical cushion mechanism such as a shock absorber. This enables smooth deceleration and acceleration, and prevents displacement and damage of the detection head, etc. due to vibration impact, etc., and shortening of the life of optical parts.

【0043】図4は本発明の実施形態2の要部上面図で
ある。
FIG. 4 is a top view of the essential portions of Embodiment 2 of the present invention.

【0044】本実施形態は、駆動制御装置をロボットア
ームの駆動制御に適用した場合を示している。
The present embodiment shows a case where the drive control device is applied to drive control of a robot arm.

【0045】201はロボットアームであり、矢印の如
く、回転軸201aを中心に回動している。202はモ
ータであり、ロボットアーム201を回転させている。
203はロータリー型のスケールである。スケール20
3のパルス幅は、ロボットアーム201の駆動範囲で異
なっている。
Reference numeral 201 denotes a robot arm, which rotates about a rotary shaft 201a as indicated by an arrow. A motor 202 rotates the robot arm 201.
203 is a rotary type scale. Scale 20
The pulse width of 3 differs depending on the driving range of the robot arm 201.

【0046】ロボットアーム201には図示しない検出
ヘッドがスケール203との位置合わせをおこなった後
とりつけられている。204A、204Bはロボットア
ーム201の暴走防止用のメカストッパーである。
A detection head (not shown) is attached to the robot arm 201 after alignment with the scale 203. 204A and 204B are mechanical stoppers for preventing runaway of the robot arm 201.

【0047】スケール203は停止位置(回動の左右
端)に近ずくにしたがってパルス幅が徐々に狭くなって
いる。そのためにロボットアーム201は停止位置の近
傍のみ減増進するためにタクトタイムを大幅におとすこ
となくロボットアーム201にチャックされた部品に衝
撃を与える事なくより安全に正確に移動させている。
The pulse width of the scale 203 is gradually narrowed as it approaches the stop position (left and right ends of rotation). For this reason, the robot arm 201 moves only in the vicinity of the stop position, so that the parts chucked by the robot arm 201 can be moved safely and accurately without significantly reducing the tact time.

【0048】[0048]

【発明の効果】本発明によれば、モータ等の駆動手段に
送る電圧や周波数が変動させることなく可動部材の速度
を容易に変化させることができる駆動制御装置を達成す
ることができる。
According to the present invention, it is possible to achieve a drive control device capable of easily changing the speed of a movable member without changing the voltage or frequency sent to the driving means such as a motor.

【0049】この他本発明によれば、可動部材の速度を
徐々に増加させたり減少させたり任意に速度を制御する
ことにより、なめらか動きが容易に得られる駆動制御装
置を達成することができる。
In addition, according to the present invention, it is possible to achieve a drive control device in which smooth movement can be easily obtained by gradually increasing or decreasing the speed of the movable member and controlling the speed arbitrarily.

【0050】この他本発明によれば、メカニカルなスト
ッパーやショックアブソーバー等に、たよる事なく所定
のスペース内で振動衝撃がほとんどなく、可動部材を駆
動制御することができる駆動制御装置を達成することが
できる。
In addition to the above, according to the present invention, there is achieved a drive control device capable of driving and controlling a movable member with almost no vibration shock in a predetermined space without being swayed by a mechanical stopper, a shock absorber or the like. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の実施形態1の要部概略図FIG. 1 is a schematic view of a main part of a first embodiment of the present invention.

【図2】 図1のA−A断面図2 is a sectional view taken along line AA of FIG.

【図3】 図1の検出ヘッドの説明図3 is an explanatory view of the detection head of FIG.

【図4】 本発明の実施形態2の要部概略図FIG. 4 is a schematic view of a main part of a second embodiment of the present invention.

【図5】 従来のリニアエンコーダの説明図FIG. 5 is an explanatory diagram of a conventional linear encoder.

【図6】 従来のロータリーエンコーダの説明図FIG. 6 is an explanatory diagram of a conventional rotary encoder.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101 検出ヘッド 102 スケール 103 スライダー 104 モータ 105 ボールネジ 106 ベース 107 スペーサー 108 ビス 109 ストッパー 201 ロボットアーム 202 モータ 203 ロータリースケール 301 光源 302 開口 303、305、307、308 レンズ 306 コーナーキューブ 309 受光素子 101 detection head 102 scale 103 slider 104 motor 105 ball screw 106 base 107 Spacer 108 screw 109 stopper 201 robot arm 202 motor 203 rotary scale 301 light source 302 opening 303, 305, 307, 308 lenses 306 corner cube 309 Light receiving element

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 パルス幅が異なる複数のパターンを有す
るスケールと、該スケールに光を照射し、該スケールを
介した光束を検出して、該スケールとの相対的変位情報
を検出する検出ヘッドと、該スケールと該検出ヘッドと
の相対的変位を行う駆動手段と、該スケールと該検出ヘ
ッドとの相対的変位量に関する駆動パルスを発生させ
て、該駆動手段を駆動させる制御手段とを有しているこ
とを特徴とする駆動制御装置。
1. A scale having a plurality of patterns having different pulse widths, and a detection head for irradiating the scale with light, detecting a light beam passing through the scale, and detecting relative displacement information with respect to the scale. A driving means for performing relative displacement between the scale and the detection head, and a control means for generating a drive pulse related to the relative displacement amount between the scale and the detection head to drive the driving means. A drive control device characterized in that
【請求項2】 前記スケールと前記検出ヘッドとの相対
的変位方向に沿って、前記スケール上のパルス幅は連続
的又は段階的に変化していることを特徴とする請求項1
の駆動制御装置。
2. The pulse width on the scale changes continuously or stepwise along the relative displacement direction of the scale and the detection head.
Drive controller.
【請求項3】 前記駆動手段は前記スケールと前記検出
ヘッドとの1つのパルス幅の相対的変位に要する時間が
略等しくなるように駆動させていることを特徴とする請
求項1又は2の駆動制御装置。
3. The drive according to claim 1, wherein the drive means drives the scale and the detection head so that the time required for relative displacement of one pulse width is substantially equal. Control device.
【請求項4】 前記スケールのパルス幅は、該スケール
と前記検出ヘッドとの相対的変位範囲のうち中央側に比
べて端部側にいくに従って、連続的に又は段階的に小さ
くなっていることを特徴とする請求項1、2又は3の駆
動制御装置。
4. The pulse width of the scale is reduced continuously or stepwise toward the end side of the relative displacement range between the scale and the detection head as compared to the center side. The drive control device according to claim 1, 2, or 3.
【請求項5】 前記スケールはパルス幅が均一の均一領
域と、パルス幅が連続的に変化する不均一領域とを有し
ていることを特徴とする請求項1の駆動制御装置。
5. The drive control device according to claim 1, wherein the scale has a uniform region having a uniform pulse width and a non-uniform region having a continuous pulse width variation.
【請求項6】 前記検出ヘッドと前記スケールの不均一
の領域との相対的変位の際、前記制御手段は前記駆動手
段に増減速情報を与えていることを特徴とする請求項5
の駆動制御装置。
6. The control means applies acceleration / deceleration information to the driving means when the detection head and the scale are non-uniformly displaced relative to each other.
Drive controller.
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