JP2003041297A - Detergent and washing method - Google Patents

Detergent and washing method

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JP2003041297A
JP2003041297A JP2001226618A JP2001226618A JP2003041297A JP 2003041297 A JP2003041297 A JP 2003041297A JP 2001226618 A JP2001226618 A JP 2001226618A JP 2001226618 A JP2001226618 A JP 2001226618A JP 2003041297 A JP2003041297 A JP 2003041297A
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JP
Japan
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cleaning
solvent
siloxane compound
cleaning agent
azeotropic composition
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JP2001226618A
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Kenji Saito
健司 齋藤
Shigeo Santo
茂夫 山藤
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GE Toshiba Silicones Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a detergent and a washing method which give a detergency, dryness and the like that can compete with a washing in which a fluorocarbon-based solvent and the like are employed. SOLUTION: The detergent is a mixture of an azeotropic or pseudoazeotropic composition which comprises a low-molecular siloxane compound and a 4-30C aliphatic hydrocarbon solvent, or comprises a low-molecular siloxane compound and a 4-30C alicyclic hydrocarbon-based solvent, with which washing to drying can be carried out in one liquid. The low-molecular siloxane compound may include at least one low-molecular-weight polyorganosiloxane selected from a straight-chain polydiorganosiloxane and a cyclic polydiorganosiloxane. The aliphatic hydrocarbon-based solvent may include a volatile isoparaffin-based solvent.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、洗浄剤および洗浄
方法に係わり、さらに詳しくは非水系の一液洗浄剤およ
びこの洗浄剤を用いた一液洗浄方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cleaning agent and a cleaning method, and more particularly to a non-aqueous one-liquid cleaning agent and a one-liquid cleaning method using this cleaning agent.

【0002】[0002]

【従来の技術】金属部品、メッキ部品、塗装部品、電子
部品、半導体部品などの油汚れ等を除去するための洗浄
剤として、従来からフロン113 に代表されるフロン系溶
剤や、トリクロロエタン、トリクロロエチレン、テトラ
クロロエチレン、四塩化炭素等の塩素系の有機溶剤が使
用されている。
2. Description of the Related Art As a cleaning agent for removing oil stains on metal parts, plated parts, painted parts, electronic parts, semiconductor parts, etc., conventionally, a chlorofluorocarbon solvent represented by Freon 113, trichloroethane, trichloroethylene, Chlorine-based organic solvents such as tetrachloroethylene and carbon tetrachloride are used.

【0003】しかし、最近、フロンの放出がオゾン層の
破壊に繋がり、人体や生物系に深刻な影響を与えること
が明らかになってきたことから、オゾン破壊係数の高い
フロン12やフロン113 等は、世界的な規模で段階的に使
用を削減し、将来的には全廃する方向に進んでいる。ま
た、トリクロロエチレンやテトラクロロエチレン等の塩
素系有機溶剤も、土壌や地下水等の汚染を引き起こすな
どの環境問題にからんで、使用規制が強化される方向に
進んでいる。
Recently, however, it has been revealed that the release of CFCs leads to the destruction of the ozone layer and seriously affects the human body and biological systems. , It is gradually reducing its use on a global scale, and in the future it is going to be totally abolished. In addition, chlorine-based organic solvents such as trichlorethylene and tetrachloroethylene are also in the direction of being tightened due to environmental problems such as pollution of soil and groundwater.

【0004】また、特に金属部品に付着した工作油等の
洗浄には、従来から、イソパラフィン系などの脂肪族炭
化水素系やシクロパラフィン系などの脂環式炭化水素系
の揮発性溶剤が使用されているが、これら溶剤の使用に
は以下に示す問題があった。
In addition, volatile solvents of aliphatic hydrocarbon type such as isoparaffin type and alicyclic hydrocarbon type such as cycloparaffin type have been conventionally used for washing machine oil adhered to metal parts. However, the use of these solvents has the following problems.

【0005】すなわち、洗浄装置で用いられるこれらの
揮発性溶剤は、石油から蒸留精製された様々な沸点範囲
を持つ成分の混合物であり、蒸発潜熱の大きい高沸点成
分が含有されているため、乾燥に時間がかかるばかりで
なく、乾燥時に高沸点成分が被洗浄物の表面に残り、シ
ミが生じやすいという問題があった。
That is, these volatile solvents used in the cleaning apparatus are a mixture of components having various boiling points, which are distilled and refined from petroleum, and contain high boiling components having a large latent heat of vaporization, so that they are dried. Not only does it take a long time, but there is also a problem that high-boiling components remain on the surface of the object to be cleaned during drying and stains are likely to occur.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の洗浄剤の中でフロン系溶剤や塩素系などの有機溶剤系
洗浄剤は、環境破壊を引き起こすという重大な欠点を有
していた。また、これらの代替品として検討されている
現状の洗浄剤は、十分な効果が得られないという問題を
有していた。
As described above, among the conventional cleaning agents, the CFC-based organic solvent and chlorine-based organic solvent-based cleaning agents have a serious drawback of causing environmental damage. In addition, the current detergents that have been investigated as alternatives to these have a problem that sufficient effects cannot be obtained.

【0007】さらに、工作油等の油汚れの洗浄に従来か
ら使用されているイソパラフィン系などの脂肪族炭化水
素系溶剤やシクロパラフィン系などの脂環式炭化水素系
溶剤では、乾燥に時間がかかるばかりでなく、被洗浄物
の表面に乾燥ジミが残りやすいという問題があった。
Further, it takes time to dry with an aliphatic hydrocarbon solvent such as an isoparaffinic solvent or an alicyclic hydrocarbon solvent such as a cycloparaffinic solvent which has been conventionally used for cleaning oil stains such as machine oil. In addition, there is a problem that dry spots are likely to remain on the surface of the object to be cleaned.

【0008】本発明は、上述したような従来の洗浄剤お
よび洗浄方法がかかえる課題に対処するためになされた
ものであり、速乾性に優れ被洗浄物の表面に乾燥ジミを
発生させることがないうえに、オゾン層を破壊すること
がなく環境に優しい洗浄剤および洗浄方法を提供するこ
とを目的とする。
The present invention has been made to address the problems associated with the above-described conventional cleaning agents and cleaning methods, and is excellent in quick-drying properties and does not cause dry spots on the surface of the object to be cleaned. Moreover, it is an object of the present invention to provide an environment-friendly cleaning agent and a cleaning method that do not destroy the ozone layer.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の洗浄剤は、請求
項1に記載するように、低分子シロキサン化合物と、炭
素数 4〜30の脂肪族炭化水素系溶剤とからなる共沸組成
あるいは擬似共沸組成の混合物であることを特徴とす
る。また、請求項4に記載するように、低分子シロキサ
ン化合物と、炭素数 4〜30の脂環式炭化水素系溶剤とを
含む共沸組成あるいは擬似共沸組成の混合物であること
を特徴とする。
The detergent of the present invention has an azeotropic composition comprising a low-molecular siloxane compound and an aliphatic hydrocarbon solvent having 4 to 30 carbon atoms, as described in claim 1. It is characterized by being a mixture having a pseudo-azeotropic composition. Further, as described in claim 4, it is a mixture of an azeotropic composition or a pseudo-azeotropic composition containing a low molecular siloxane compound and an alicyclic hydrocarbon solvent having 4 to 30 carbon atoms. .

【0010】本発明の洗浄方法は、請求項9に記載する
ように、低分子シロキサン化合物と、炭素数 4〜30のイ
ソパラフィン系溶剤とからなる共沸組成あるいは擬似共
沸組成の混合物を用いて、洗浄から乾燥までの一連の工
程を一液で行うことを特徴とする。また、請求項10に
記載するように、低分子シロキサン化合物と、炭素数4
〜30のシクロパラフィン系溶剤とを含む共沸組成あるい
は擬似共沸組成の混合物を用いて、洗浄から乾燥までの
一連の工程を一液で行うことを特徴とする。
As described in claim 9, the cleaning method of the present invention uses a mixture of an azeotropic composition or a pseudo-azeotropic composition which comprises a low molecular weight siloxane compound and an isoparaffinic solvent having 4 to 30 carbon atoms. It is characterized in that a series of steps from cleaning to drying is performed with one liquid. Further, as described in claim 10, a low-molecular-weight siloxane compound and a carbon number 4
It is characterized in that a series of steps from washing to drying is carried out by one liquid by using a mixture of an azeotropic composition or a pseudo-azeotropic composition containing 30 to 30 cycloparaffinic solvents.

【0011】本発明の洗浄剤および洗浄方法に使用する
低分子シロキサン化合物としては、一般式:
The low molecular weight siloxane compound used in the cleaning agent and cleaning method of the present invention has a general formula:

【化5】 (式中、Rは同一または相異なる置換または非置換の 1
価の炭化水素基、 lは 0〜 5の整数を示す)で表される
直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および一般式:
[Chemical 5] (In the formula, R is the same or different and is substituted or unsubstituted 1
A valent hydrocarbon group, l represents an integer of 0 to 5), and a linear polydiorganosiloxane represented by the general formula:

【化6】 (式中、 Rは同一または相異なる置換または非置換の 1
価の炭化水素基、m は 3〜 7の整数を示す)で表される
環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも
1種の低分子量ポリオルガノシロキサンが挙げられる。
なお、上記(1)式で表される直鎖状ポリジオルガノシ
ロキサンと(2)式で表される環状ポリジオルガノシロ
キサンとは、併用することも可能である。
[Chemical 6] (In the formula, R is the same or different and is substituted or unsubstituted 1
And at least one low molecular weight polyorganosiloxane selected from cyclic polydiorganosiloxanes represented by a valent hydrocarbon group, m is an integer of 3 to 7).
The linear polydiorganosiloxane represented by the formula (1) and the cyclic polydiorganosiloxane represented by the formula (2) can be used in combination.

【0012】上記(1)式および(2)式中のRは、置
換または非置換の1価の炭化水素基であり、例えばメチ
ル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等のアルキル
基、フェニル基等の1価の非置換炭化水素基や、トリフ
ルオロメチル基等の1価の置換炭化水素基等が例示され
る。系の安定性、揮発性の維持などの点から、メチル基
が最も好ましい。
R in the above formulas (1) and (2) is a substituted or unsubstituted monovalent hydrocarbon group, for example, an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group or a butyl group, a phenyl group. Examples thereof include monovalent unsubstituted hydrocarbon groups such as groups, and monovalent substituted hydrocarbon groups such as trifluoromethyl groups. A methyl group is most preferable from the viewpoints of stability of the system, maintenance of volatility, and the like.

【0013】低分子量ポリオルガノシロキサンの具体例
としては、へキサメチルジシロキサン(M2)、オクタ
メチルトリシロキサン(MDM)、デカメチルテトラシ
ロキサン(MD2M)、ヘキサメチルシクロトリシロキ
サン(D3)、オクタメチルシクロテトラシロキサン
(D4)、デカメチルシクロペンタシロキサン(D5)、
ドデカメチルシクロヘキサシロキサン(D6)等を挙げ
ることができる。特に、オクタメチルシクロテトラシロ
キサン(D4)が好適する。
Specific examples of the low molecular weight polyorganosiloxane include hexamethyldisiloxane (M2), octamethyltrisiloxane (MDM), decamethyltetrasiloxane (MD2M), hexamethylcyclotrisiloxane (D3) and octamethyl. Cyclotetrasiloxane (D4), decamethylcyclopentasiloxane (D5),
Examples thereof include dodecamethylcyclohexasiloxane (D6). Particularly, octamethylcyclotetrasiloxane (D4) is preferable.

【0014】このような低分子シロキサン化合物は、オ
ゾン層を破壊しないことに加え、表面張力や粘度が小さ
いため隙間への浸透性に優れており、さらに蒸発潜熱も
小さいことから乾燥特性に優れている。
Such a low-molecular-weight siloxane compound does not destroy the ozone layer, has a low surface tension and a low viscosity, and therefore has excellent penetrability into gaps, and also has a low latent heat of vaporization, and thus has excellent drying characteristics. There is.

【0015】本発明の洗浄剤および洗浄方法に使用する
脂肪族炭化水素系溶剤は、炭素数が4〜30の分岐状や直
鎖状の脂肪族炭化水素(以下、単に脂肪族炭化水素系溶
剤と記す)からなり、例えばイソパラフィン系溶剤が挙
げられる。すなわち、イソパラフィン系溶剤は、揮発性
イソパラフィンの1種または2種以上の混合物として使
用され、揮発性イソパラフィンとしては、特にC4 〜C
16の留分を主体とするイソパラフィンが、洗浄性能や洗
浄装置での取り扱いの点から好ましい。さらに、このよ
うなイソパラフィンを含めて、炭素数8〜15のパラフィ
ン系炭化水素の使用が好ましい。
The aliphatic hydrocarbon solvent used in the cleaning agent and the cleaning method of the present invention is a branched or straight chain aliphatic hydrocarbon having 4 to 30 carbon atoms (hereinafter, simply referred to as an aliphatic hydrocarbon solvent). )), For example, an isoparaffinic solvent. That is, the isoparaffin-based solvent is used as one kind or a mixture of two or more kinds of volatile isoparaffins, and as the volatile isoparaffin, particularly C 4 to C
Isoparaffin, which is mainly composed of 16 fractions, is preferable from the viewpoint of cleaning performance and handling in a cleaning device. Furthermore, it is preferable to use paraffinic hydrocarbons having 8 to 15 carbon atoms, including such isoparaffins.

【0016】脂肪族炭化水素系溶剤は、炭素数が8未満
であると引火点が低くなるため、安全性を重視する場合
には炭素数8以上とすることが望ましい。炭素数が16を
越えると沸点が高くなるため、常圧下における温風乾燥
の利用が困難になる。
When the aliphatic hydrocarbon solvent has less than 8 carbon atoms, its flash point becomes low. Therefore, when safety is important, it is desirable that the aliphatic hydrocarbon solvent has 8 or more carbon atoms. When the carbon number exceeds 16, the boiling point becomes high, making it difficult to use warm air drying under normal pressure.

【0017】本発明の洗浄剤および洗浄方法に使用する
脂環式炭化水素系溶剤は、炭素数が4〜30であり、炭素
の単結合で連なっている環状の飽和炭化水素(以下、単
に脂環式炭化水素系溶剤と記す)からなる。例えば、シ
クロパラフィン系溶剤が挙げられる。すなわち、シクロ
パラフィン系溶剤は、揮発性シクロパラフィンの1種ま
たは2種以上の混合物として使用され、揮発性シクロパ
ラフィンとしては、特にC4 〜C16の留分を主体とする
シクロパラフィンが、洗浄性能や洗浄装置での取り扱い
の点から好ましい。
The alicyclic hydrocarbon solvent used in the cleaning agent and the cleaning method of the present invention has a carbon number of 4 to 30, and is a saturated cyclic hydrocarbon (hereinafter, simply referred to as an alicyclic hydrocarbon) connected by a single bond of carbon. It is described as a cyclic hydrocarbon solvent). For example, a cycloparaffinic solvent may be used. That is, the cycloparaffinic solvent is used as one kind or a mixture of two or more kinds of volatile cycloparaffins, and as the volatile cycloparaffins, cycloparaffins mainly composed of C 4 to C 16 fractions are washed. It is preferable in terms of performance and handling in a cleaning device.

【0018】さらに本発明では、このようなシクロパラ
フィンを主体とし、炭素数8〜15のパラフィン系炭化水
素やイソパラフィン系炭化水素を含む溶剤も使用するこ
とができる。すなわち、入手可能な脂環式炭化水素系溶
剤は、製法上、脂環式炭化水素と脂肪族炭化水素とが混
合した混合溶剤がほとんどであるが、このような混合溶
剤も使用することができる。
Further, in the present invention, a solvent containing such a cycloparaffin as a main component and containing a paraffinic hydrocarbon having 8 to 15 carbon atoms or an isoparaffinic hydrocarbon can also be used. That is, most of the available alicyclic hydrocarbon solvents are mixed solvents in which alicyclic hydrocarbons and aliphatic hydrocarbons are mixed in the production method, but such mixed solvents can also be used. .

【0019】本発明の洗浄剤は、前記した炭素数 4〜30
の脂肪族炭化水素系溶剤と低分子シロキサン化合物とか
らなる共沸もしくは擬似共沸組成の混合物、あるいは前
記した炭素数 4〜30の脂環式炭化水素系溶剤と低分子シ
ロキサン化合物とを含む共沸もしくは擬似共沸組成の混
合物である。
The detergent of the present invention has the above-mentioned carbon number of 4 to 30.
A mixture of an azeotropic or pseudo-azeotropic composition consisting of an aliphatic hydrocarbon solvent and a low-molecular-weight siloxane compound, or a mixture containing the alicyclic hydrocarbon solvent having 4 to 30 carbon atoms and a low-molecular-weight siloxane compound. It is a mixture of azeotropic or pseudoazeotropic compositions.

【0020】ここで共沸混合物とは、液相組成と気相組
成が一致し、組成の変化なしに蒸留し得る混合物であ
る。また、共沸混合物を形成しないものの、温度−組成
により表される沸点図において沸騰曲線と凝縮曲線とが
近接している場合、各々の成分の揮発性が近い場合、各
々の成分の沸点が近接している場合などのように、液相
の組成と気相の組成が近似するような現象を擬似共沸と
いい、このような擬似共沸を形成する混合物を擬似共沸
混合物と言う。
Here, the azeotropic mixture is a mixture having a liquid phase composition and a gas phase composition which can be distilled without changing the composition. Although not forming an azeotropic mixture, in the boiling point diagram represented by the temperature-composition, when the boiling curve and the condensation curve are close to each other, when the volatility of each component is close, the boiling points of each component are close to each other. A phenomenon in which the composition of the liquid phase and the composition of the gas phase are similar to each other is called pseudo-azeotrope, and the mixture forming such pseudo-azeotrope is called pseudo-azeotropic mixture.

【0021】共沸性(擬似共沸性を含む)は、混合物と
しての沸点が各成分の固有の沸点よりも低くなる、ある
いは高くなる場合に発現する。したがって、共沸性は単
に各成分を混合しただけで得られない場合が多く、混合
物の沸点が各成分の固有の沸点よりも低くなる場合に
は、任意の割合で混合した液を蒸留し、留分を繰り返し
蒸留したり、あるいは段数を設けた精留を行うことによ
り得ることができる。
The azeotropic property (including pseudo-azeotropic property) is exhibited when the boiling point of the mixture becomes lower or higher than the intrinsic boiling point of each component. Therefore, the azeotropic property is often not obtained simply by mixing the respective components, and when the boiling point of the mixture becomes lower than the specific boiling point of each component, the liquid mixed at an arbitrary ratio is distilled, It can be obtained by repeatedly distilling the fraction or performing rectification with a plate number.

【0022】本発明における低分子シロキサン化合物と
脂肪族炭化水素系溶剤あるいは脂環式炭化水素系溶剤と
の共沸混合物は、このようにして得られものであり、混
合物としての沸点が各成分(低分子シロキサン化合物と
脂肪族炭化水素系溶剤あるいは脂環式炭化水素系溶剤)
の固有の沸点よりも低くなる。また、一定圧力のもとで
蒸留を繰り返しても、留分の実質的な変化が見られない
という特徴を有する。
The azeotropic mixture of the low molecular weight siloxane compound and the aliphatic hydrocarbon solvent or the alicyclic hydrocarbon solvent in the present invention is obtained in this way, and the boiling point of the mixture is that of each component ( Low molecular weight siloxane compound and aliphatic hydrocarbon solvent or alicyclic hydrocarbon solvent)
Lower than the intrinsic boiling point of. Further, it is characterized in that even if distillation is repeated under a constant pressure, no substantial change in the fraction is observed.

【0023】本発明の洗浄方法においては、上述した共
沸組成の混合物を用いて、洗浄工程、すすぎ工程および
乾燥工程の一連の工程を一液で行う。ここで、乾燥工程
は、温風乾燥、自然乾燥、真空乾燥、または減圧蒸気・
真空乾燥により行うことができる。
In the cleaning method of the present invention, the above-mentioned mixture having an azeotropic composition is used to carry out a series of cleaning, rinsing and drying steps as one liquid. Here, the drying process includes warm air drying, natural drying, vacuum drying, or reduced pressure steam.
It can be performed by vacuum drying.

【0024】本発明の対象となる被洗浄物は、金属、セ
ラミックス、プラスチック等であり、さらに具体的には
金属部品、表面処理部品、電子部品、半導体部品、電気
部品、精密機械部品、光学部品、ガラス部品、セラミッ
クス部品等である。そして、これらの被洗浄物に付着し
た工作油などの油脂類の脱脂洗浄、シリコーンオイル、
離型剤、グリースなどの除去洗浄を良好に行うことがで
きる。特に、他の洗浄剤では難溶性とされているシリコ
ーングリースも、容易に除去することができる。
The objects to be cleaned which are objects of the present invention are metals, ceramics, plastics and the like, and more specifically, metal parts, surface treatment parts, electronic parts, semiconductor parts, electric parts, precision machine parts, optical parts. , Glass parts, ceramic parts, etc. Then, degreasing and cleaning of oils and fats such as machine oil adhering to these objects to be cleaned, silicone oil,
It is possible to satisfactorily remove and clean the release agent and grease. In particular, silicone grease, which is hardly soluble with other cleaning agents, can be easily removed.

【0025】また、フロン系溶剤を使用していないの
で、環境に優しくオゾン層を破壊することがないうえ
に、速乾性に優れ、被洗浄物の表面に乾燥ジミを発生さ
せることがない。さらに、洗浄から乾燥まで一連の工程
を同じ液で行うことができ、すすぎ工程を含めて水洗工
程がないので、排水処理が不要である。またさらに、蒸
留器による液の再生使用が可能であり、ランニングコス
トを低減することができる。さらに、プラスティック等
の素材に対して腐食やソルベントクラックを起こしくい
という利点がある。
Further, since no chlorofluorocarbon solvent is used, it is environmentally friendly, does not destroy the ozone layer, has excellent quick-drying properties, and does not cause dry spots on the surface of the article to be cleaned. Furthermore, a series of steps from washing to drying can be performed with the same liquid, and since there is no water washing step including the rinsing step, wastewater treatment is unnecessary. Furthermore, the liquid can be reused by the distiller, and the running cost can be reduced. Further, there is an advantage that materials such as plastic are unlikely to cause corrosion or solvent cracks.

【0026】[0026]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0027】図1は、本発明の一実施形態の洗浄装置の
概略構成を示す図である。この洗浄装置は、大別して、
脱脂洗浄部Aと、すすぎ洗浄部Bと、乾燥部Cとから構
成されており、これらの各部A、B、Cに、金属部品の
ような洗浄対象物が、例えば洗浄カゴ等に収納された状
態で順に搬送されるように構成されている。またこの洗
浄装置には、洗浄液の蒸留再生装置Dが併設されてい
る。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention. This cleaning device is roughly divided into
It is composed of a degreasing / cleaning section A, a rinsing / cleaning section B, and a drying section C, and a cleaning object such as a metal part is stored in each of these sections A, B, and C, for example, in a cleaning basket or the like. It is configured to be sequentially conveyed in the state. Further, this cleaning apparatus is provided with a cleaning liquid distillation regeneration apparatus D.

【0028】脱脂洗浄部Aは、第1の洗浄槽1と第2の
洗浄槽2とを有し、各洗浄槽1、2には洗浄液3がそれ
ぞれ所定量収容されている。洗浄液3としては、オクタ
メチルシクロテトラシロキサン(D4)のような低分子
シロキサン化合物と、炭素数4〜30の脂肪族炭化水素系
溶剤(例えば、揮発性イソパラフィン系溶剤)との共沸
混合物が使用される。これらの洗浄槽の洗浄液3中に、
例えば洗浄カゴに収容された洗浄対象物を浸漬し、上下
に揺動させることによって、洗浄対象物に付着する工作
油等に由来する汚れ成分が除去される。
The degreasing cleaning section A has a first cleaning tank 1 and a second cleaning tank 2, and a predetermined amount of cleaning liquid 3 is contained in each cleaning tank 1, 2. As the cleaning liquid 3, an azeotropic mixture of a low-molecular siloxane compound such as octamethylcyclotetrasiloxane (D4) and an aliphatic hydrocarbon solvent having 4 to 30 carbon atoms (for example, a volatile isoparaffin solvent) is used. To be done. In the cleaning liquid 3 of these cleaning tanks,
For example, by immersing the cleaning target housed in the cleaning basket and rocking the cleaning target up and down, dirt components derived from the machine oil or the like adhering to the cleaning target are removed.

【0029】また、第1および第2の洗浄槽1、2に
は、その底部に超音波および噴流の発生装置4が配置さ
れており、洗浄対象物と洗浄液3に機械的衝撃を与え、
洗浄効果を上げるようになっている。さらに、各洗浄槽
1、2には、フィルタ5が介挿された配管6が付設さ
れ、洗浄液3がポンプPによりフィルタ5を通って循環
し、循環過程で汚れ成分や腐食性物質がフィルタ5に吸
着除去されるように構成されている。
An ultrasonic wave and jet generator 4 is arranged at the bottom of each of the first and second cleaning tanks 1 and 2 to apply a mechanical shock to the object to be cleaned and the cleaning liquid 3.
It is designed to improve the cleaning effect. Further, a pipe 6 having a filter 5 inserted therein is attached to each of the cleaning tanks 1 and 2, and a cleaning liquid 3 is circulated through the filter 5 by a pump P, and dirt components and corrosive substances are removed from the filter 5 during the circulation process. It is configured to be adsorbed and removed by.

【0030】すすぎ洗浄部Bはすすぎ洗浄槽7を有し、
すすぎ洗浄槽7にはすすぎ洗浄液8が所定量収容されて
いる。すすぎ洗浄液8としては、洗浄液3と同一組成の
ものが用いられる。
The rinse cleaning section B has a rinse cleaning tank 7,
The rinsing bath 7 contains a predetermined amount of rinsing liquid 8. As the rinse cleaning liquid 8, the same composition as the cleaning liquid 3 is used.

【0031】そして、各洗浄槽でオーバーフローした洗
浄液(およびすすぎ洗浄液)は、すすぎ洗浄槽7から第
2の洗浄槽2へ次いで第1の洗浄槽1へと、順に流れ込
むようになっている。さらに、第1の洗浄槽1の洗浄液
3は蒸留再生装置Dに導入され、汚れ成分が分離除去さ
れるとともに、蒸留により洗浄成分が再生される。再生
された洗浄液は、ポンプ(図示を省略。)によりすすぎ
洗浄槽7に供給され、再使用される。このような蒸留再
生装置Dを使用することにより、洗浄液の繰り返し使用
が可能となり、ランニングコストの一層の低減を図るこ
とができる。
Then, the cleaning liquid (and the rinse cleaning liquid) overflowing in each cleaning tank sequentially flows from the rinse cleaning tank 7 to the second cleaning tank 2 and then to the first cleaning tank 1. Further, the cleaning liquid 3 in the first cleaning tank 1 is introduced into the distillation / regeneration device D to separate and remove dirt components, and at the same time, the cleaning components are regenerated by distillation. The regenerated cleaning liquid is supplied to the rinse cleaning tank 7 by a pump (not shown) and reused. By using such a distillation / regeneration device D, the cleaning liquid can be repeatedly used, and the running cost can be further reduced.

【0032】乾燥部Cは、乾燥槽9を有している。乾燥
工程は、温風乾燥、真空乾燥、減圧乾燥、または減圧蒸
気・真空乾燥により行うことができる。蒸気乾燥では、
乾燥槽9に前記した洗浄液と同一組成の蒸気洗浄(乾
燥)剤を収容することができる。洗浄液が共沸組成物で
あり蒸気組成に変化が生じないため、乾燥仕上がりを良
好に保つことができる。
The drying section C has a drying tank 9. The drying step can be performed by warm air drying, vacuum drying, reduced pressure drying, or reduced pressure steam / vacuum drying. With steam drying,
The drying tank 9 can contain a vapor cleaning (drying) agent having the same composition as the cleaning liquid described above. Since the cleaning liquid is an azeotropic composition and the vapor composition does not change, a good dry finish can be maintained.

【0033】次に、このような洗浄装置を使用して洗浄
を行った具体的実施例について記載する。
Next, a concrete example of cleaning using such a cleaning apparatus will be described.

【0034】実施例1 まず、洗浄からすすぎ、乾燥までを一液で行う洗浄液を
調製した。各成分の組成が、C18が2重量%(以
下、単に%と示す。)、C20が5%、C
22が8%、C1124が21%、C1226が56
%、C1328が7%、C1430が1%である揮発
性イソパラフィンの混合物であるイソパラフィン系溶剤
と、オクタメチルシクロテトラシロキサンとを、30:70
の重量比で蒸留フラスコにいれ、精留塔を用いて減圧下
で繰り返し蒸留を行った。この蒸留によって、80℃/30m
mHgの共沸留分が得られた。
Example 1 First, a cleaning liquid was prepared in which cleaning, rinsing, and drying were performed in one liquid. The composition of each component, C 8 H 18 2 wt% (hereinafter,. Simply percent shown), C 9 H 20 is 5%, C 1 0 H
22 is 8%, C 11 H 24 is 21%, C 12 H 26 is 56%
%, C 13 H 28 7%, C 14 H 30 1%, an isoparaffinic solvent which is a mixture of volatile isoparaffins, and octamethylcyclotetrasiloxane at 30:70.
The mixture was placed in a distillation flask at a weight ratio of, and repeatedly distilled under reduced pressure using a rectification column. By this distillation, 80 ℃ / 30m
An azeotropic fraction of mHg was obtained.

【0035】得られた共沸成分をHNMRにより分析
し、実際の配合割合を定量した結果、イソパラフィン系
溶剤が72重量部、オクタメチルシクロテトラシロキサン
が28重量部の組成物が得られ、引火点が53℃の第2石油
類に属するものであった。
The obtained azeotropic component was analyzed by 1 HNMR, and the actual blending ratio was quantified. As a result, a composition containing 72 parts by weight of isoparaffinic solvent and 28 parts by weight of octamethylcyclotetrasiloxane was obtained. The point belongs to the 2nd petroleum of 53 ℃.

【0036】実施例2 イソパラフィン系溶剤とオクタメチルシクロテトラシロ
キサンとの仕込み組成を、65:35とした以外は実施例1
と同様にして蒸留を行ったところ、83℃/29mmHgの共沸
留分が得られた。この留分をHNMRにより分析した
結果、イソパラフィン系溶剤が65重量部、オクタメチル
シクロテトラシロキサンが35重量部の組成物であり、引
火点が52℃の第2石油類に属するものであった。
Example 2 Example 1 except that the charge composition of isoparaffinic solvent and octamethylcyclotetrasiloxane was 65:35.
Distillation was performed in the same manner as above to obtain an azeotropic fraction at 83 ° C./29 mmHg. As a result of 1 HNMR analysis of this fraction, it was found that the composition was 65 parts by weight of isoparaffinic solvent, 35 parts by weight of octamethylcyclotetrasiloxane, and had a flash point of 52 ° C. and belonged to a second petroleum product. .

【0037】実施例3 各成分の組成が、C1226が20%、C1328
30%、C1430が35%、C1532が15%である揮
発性イソパラフィンの混合物であるイソパラフィン系溶
剤と、デカメチルシクロペンタシロキサンとを83:17の
重量比で蒸留フラスコにいれ、減圧下で蒸留を行った。
この蒸留によって、104℃/20mmHgの共沸留分が得られ
た。さらにこの留分について、減圧蒸留を繰り返し行っ
た。
Example 3 The composition of each component was such that C 12 H 26 was 20% and C 13 H 28 was
An isoparaffinic solvent, which is a mixture of volatile isoparaffins containing 30% C 14 H 30 35% and C 15 H 32 15%, and decamethylcyclopentasiloxane were placed in a distillation flask at a weight ratio of 83:17. Distillation was performed under reduced pressure.
By this distillation, an azeotropic fraction of 104 ° C./20 mmHg was obtained. Further, this fraction was repeatedly distilled under reduced pressure.

【0038】得られた留分の成分をHNMRにより分
析し、実際の配合割合を定量した結果、イソパラフィン
系溶剤が90重量部、デカメチルシクロペンタシロキサン
が10重量部、の共沸物が得られていた。引火点は78℃で
あり、第3石油類に属するものであった。
The components of the obtained fraction were analyzed by 1 HNMR and the actual blending ratio was quantified. As a result, an azeotrope containing 90 parts by weight of isoparaffinic solvent and 10 parts by weight of decamethylcyclopentasiloxane was obtained. It was being done. The flash point was 78 ° C, and it belonged to the third petroleum.

【0039】実施例4 シクロパラフィン系溶剤60%とパラフィン系溶剤40%か
らなる混合溶剤(C 22が27%、C1224
35%、C1124が13%、C1226が20%、C
1328が5%から成る。)を30重量部、デカメチル
シクロペンタシロキサンを70重量部の割合で混合した混
合物を減圧蒸留した。蒸留の結果、104℃/20mmHgの留分
が得られた。さらにこの留分について繰り返し減圧蒸留
を行った。
[0039] Example 4 cycloparaffinic solvent 60% and a mixed solvent consisting of paraffinic solvent 40% (C 1 1 H 22 is 27%, C 12 H 24 is
35%, C 11 H 24 13%, C 12 H 26 20%, C
13 H 28 consists of 5%. ) Was mixed with 30 parts by weight of decamethylcyclopentasiloxane at a ratio of 70 parts by weight, and the mixture was distilled under reduced pressure. As a result of distillation, a fraction of 104 ° C./20 mmHg was obtained. Further, this fraction was repeatedly subjected to vacuum distillation.

【0040】得られた留分の成分をHNMRにより分
析し、実際の配合割合を定量した結果、シクロパラフィ
ン系溶剤が67重量部、デカメチルシクロペンタシロキサ
ンが33重量部の共沸物が得られていた。引火点は70℃で
あり、第3石油類に属するものであった。
The components of the obtained fraction were analyzed by 1 HNMR and the actual blending ratio was quantified. As a result, 67 parts by weight of cycloparaffinic solvent and 33 parts by weight of decamethylcyclopentasiloxane were obtained as an azeotrope. It was being done. The flash point was 70 ° C, and it belonged to the third petroleum.

【0041】次に、実施例1〜4の共沸組成からなる洗
浄液を使用し、前記した洗浄装置により切削油の付着し
た金属部品(ボルト)を洗浄し、100℃で温風乾燥を行
った。そして、乾燥に要する時間を求めた。
Next, using the cleaning liquid having the azeotropic composition of Examples 1 to 4, the metal parts (bolts) to which the cutting oil adhered were cleaned by the above-mentioned cleaning device, and dried with warm air at 100 ° C. . Then, the time required for drying was determined.

【0042】また、比較のために、同等な引火点を有す
る他の洗浄剤を使用し、実施例と同様にして洗浄次いで
温風乾燥を行い、乾燥に要する時間を求めた。なお、比
較例1ではn−パラフィン系溶剤(C102299%と
11241%の組成を有する)、比較例2では実施
例1で使用されたイソパラフィン系溶剤、比較例3では
実施例3で使用されたイソパラフィン系溶剤、比較例4
では実施例4で使用されたシクロパラフィン系溶剤、比
較例5ではグリコエーテル系溶剤(3-メチル-3-メトキ
シブタノール)を使用して、それぞれ洗浄を行った。
For comparison, another cleaning agent having an equivalent flash point was used, cleaning was carried out in the same manner as in the example, followed by warm air drying, and the time required for drying was determined. In Comparative Example 1, an n-paraffinic solvent (having a composition of C 10 H 22 99% and C 11 H 24 1%), Comparative Example 2 in the isoparaffinic solvent used in Example 1, and Comparative Example 3 in Isoparaffinic solvent used in Example 3, Comparative Example 4
The cycloparaffinic solvent used in Example 4 and the glycoetheric solvent (3-methyl-3-methoxybutanol) in Comparative Example 5 were used for cleaning.

【0043】その結果、同等な引火点を有する比較例1
〜5の洗浄剤を用いた場合と比較して、表1に示すよう
に、最短半分の時間で乾燥することができた。また、乾
燥後の部品表面を肉眼で観察したところ、シミは全く見
られなかった。
As a result, Comparative Example 1 having an equivalent flash point
As shown in Table 1, as compared with the case where the cleaning agents of ~ 5 were used, it was possible to dry in the shortest half time. In addition, when the surface of the dried component was visually observed, no stain was observed.

【0044】[0044]

【表1】 [Table 1]

【0045】さらに、洗浄後の部品表面のESCA分析
の結果、シリコーンに由来するピーク(100160eVのSi
原子の吸収)は検出されなかった。したがって、乾燥後
の部品に、洗浄液の成分であるシリコーンの残留がない
ことが確認された。
Furthermore, as a result of the ESCA analysis of the surface of the part after cleaning, a peak derived from silicone (100160 eV Si
Atomic absorption) was not detected. Therefore, it was confirmed that silicone, which is a component of the cleaning liquid, does not remain on the dried parts.

【0046】次に、他の洗浄剤では難溶性とされている
シリコーングリースに対する洗浄性を調べた。すなわ
ち、金属製銅板の表面にシリコーングリースを約2gを
塗布したものを用意した。そして、これを前記実施例で
調製した共沸組成の洗浄液と同一組成の洗浄液を使用
し、洗浄次いで乾燥を行った。洗浄条件は、引火点より
10℃低い温度で15分間超音波洗浄をし、その後100℃
で15分間温風乾燥を行った。
Next, the detergency for silicone grease, which is considered to be insoluble in other detergents, was examined. That is, a metal copper plate coated with about 2 g of silicone grease was prepared. Then, a cleaning liquid having the same composition as the cleaning liquid having the azeotropic composition prepared in the above Example was used, and the cleaning liquid was then dried. Cleaning conditions are from flash point
Sonicate at 10 ℃ lower temperature for 15 minutes, then 100 ℃
It was dried with warm air for 15 minutes.

【0047】このようにして洗浄・乾燥した試料表面の
シリコーングリースの残留量を重量測定から残渣率を求
めたところ、表2に示すように、洗浄前のシリコーング
リース付着量を100として残渣率0となった。比較のため
に、比較例1、比較例2および比較例4の各洗浄剤、な
らびに比較例6としてハロゲン系溶剤(塩化メチレ
ン)、比較例7としてフッ素系溶剤(ハイドロフロロエ
ーテル)をそれぞれ用いて同様に洗浄を行った結果を、
同表に示す。なお、比較例6では、ハロゲン系溶剤を使
用し30℃で15分間の超音波洗浄を行い、比較例7では、
フッ素系溶剤を使用し40℃で15分間の超音波洗浄を行っ
た。
The residual rate of the silicone grease on the surface of the sample washed and dried in this manner was measured gravimetrically to find the residual rate. As shown in Table 2, the residual rate of the silicone grease before cleaning was 100, and the residual rate was 0. Became. For comparison, the cleaning agents of Comparative Example 1, Comparative Example 2 and Comparative Example 4, the halogen-based solvent (methylene chloride) as Comparative Example 6 and the fluorine-based solvent (hydrofluoroether) as Comparative Example 7 were used, respectively. The results of the same washing,
Shown in the same table. In Comparative Example 6, ultrasonic cleaning was performed at 30 ° C. for 15 minutes using a halogen-based solvent, and in Comparative Example 7,
Ultrasonic cleaning was performed at 40 ° C for 15 minutes using a fluorine-based solvent.

【0048】[0048]

【表2】 [Table 2]

【0049】[0049]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
金属部品等の被洗浄物に付着した工作油などの油脂類の
脱脂洗浄や、シリコーンオイル、シリコーングリースな
どの除去洗浄を良好に行うことができ、しかも速乾性に
優れ、被洗浄物表面に乾燥ジミを残すことがない。ま
た、フロン系溶剤を使用していないので、環境破壊や環
境汚染の心配がない。さらに、非水系の一液洗浄剤であ
り、洗浄から乾燥まで一連の工程を同じ液で行うことが
できるうえに、すすぎ工程を含めて水洗工程がないの
で、排水処理が不要である。
As described above, according to the present invention,
It can satisfactorily perform degreasing and cleaning of oils and fats such as machine oil adhering to objects to be cleaned such as metal parts, and removal and cleaning of silicone oil, silicone grease, etc. Does not leave a spot. Also, since no CFC-based solvent is used, there is no concern about environmental damage or environmental pollution. Further, since it is a non-aqueous one-liquid cleaning agent, a series of steps from cleaning to drying can be performed with the same liquid, and since there is no water washing step including a rinsing step, wastewater treatment is unnecessary.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施形態の洗浄装置の概略構成を示
す図。
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A………脱脂洗浄部 B………すすぎ洗浄部 C………乾燥部 D………蒸留再生装置 1………第1の洗浄槽、…………第2の洗浄槽、3……
…洗浄液、4………超音波および噴流発生装置、5……
…フィルタ、7………すすぎ洗浄槽、9………乾燥槽
A: Degreasing cleaning section B: Rinse cleaning section C: Drying section D: Distillation regeneration unit 1: First cleaning tank, Second cleaning tank, 3 ...
… Cleaning fluid, 4 ……… Ultrasonic wave and jet generator, 5 ……
… Filters, 7 ……… Rinsing tank, 9 ……… Drying tank

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/304 647 H01L 21/304 647A Fターム(参考) 3B201 AA46 AB38 AB45 BB04 BB05 BB95 CB15 CC01 CC12 CC15 CD22 4H003 DA09 DA14 DA15 DB02 DC04 EB25 ED04 ED32 FA01 FA03 FA21 FA46 4K053 PA02 PA17 QA06 RA32 SA06 ZA01 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H01L 21/304 647 H01L 21/304 647A F term (reference) 3B201 AA46 AB38 AB45 BB04 BB05 BB95 CB15 CC01 CC12 CC15 CD22 4H003 DA09 DA14 DA15 DB02 DC04 EB25 ED04 ED32 FA01 FA03 FA21 FA46 4K053 PA02 PA17 QA06 RA32 SA06 ZA01

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 低分子シロキサン化合物と、 炭素数 4〜30の脂肪族炭化水素系溶剤とからなる共沸組
成あるいは擬似共沸組成の混合物であることを特徴とす
る洗浄剤。
1. A cleaning agent, which is a mixture of an azeotropic composition or a pseudo-azeotropic composition comprising a low-molecular siloxane compound and an aliphatic hydrocarbon solvent having 4 to 30 carbon atoms.
【請求項2】 前記脂肪族炭化水素系溶剤は、イソパラ
フィン系溶剤であることを特徴とする請求項1記載の洗
浄剤。
2. The cleaning agent according to claim 1, wherein the aliphatic hydrocarbon solvent is an isoparaffin solvent.
【請求項3】 前記イソパラフィン系溶剤は、揮発性イ
ソパラフィンから実質的になることを特徴とする請求項
2記載の洗浄剤。
3. The cleaning agent according to claim 2, wherein the isoparaffin-based solvent consists essentially of volatile isoparaffin.
【請求項4】 低分子シロキサン化合物と、 炭素数 4〜30の脂環式炭化水素系溶剤とを含む共沸組成
あるいは擬似共沸組成の混合物であることを特徴とする
洗浄剤。
4. A cleaning agent, which is a mixture of an azeotropic composition or a pseudo-azeotropic composition containing a low molecular siloxane compound and an alicyclic hydrocarbon solvent having 4 to 30 carbon atoms.
【請求項5】 前記脂環状炭化水素系溶剤は、シクロパ
ラフィン系溶剤であることを特徴とする請求項4記載の
洗浄剤。
5. The cleaning agent according to claim 4, wherein the alicyclic hydrocarbon-based solvent is a cycloparaffinic solvent.
【請求項6】 前記シクロパラフィン系溶剤は、揮発性
シクロパラフィンから実質的になることを特徴とする請
求項5記載の洗浄剤。
6. The cleaning agent according to claim 5, wherein the cycloparaffinic solvent consists essentially of volatile cycloparaffins.
【請求項7】 前記低分子シロキサン化合物は、一般
式: 【化1】 (式中、Rは同一または相異なる置換または非置換の 1
価の炭化水素基、 lは 0〜 5の整数を示す)で表される
直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および一般式: 【化2】 (式中、Rは同一または相異なる置換または非置換の 1
価の炭化水素基、m は 3〜 7の整数を示す)で表される
環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも
1種の低分子量ポリオルガノシロキサンであることを特
徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載の洗浄剤。
7. The low-molecular-weight siloxane compound has the general formula: (In the formula, R is the same or different and is substituted or unsubstituted 1
A straight-chain polydiorganosiloxane represented by a divalent hydrocarbon group, l represents an integer of 0 to 5, and a general formula: (In the formula, R is the same or different and is substituted or unsubstituted 1
7. A low molecular weight polyorganosiloxane selected from cyclic polydiorganosiloxanes represented by a valent hydrocarbon group, m is an integer of 3 to 7), The cleaning agent according to item 1.
【請求項8】 前記低分子量ポリオルガノシロキサン
は、オクタメチルシクロテトラシロキサンまたはデカメ
チルシクロペンタシロサキンであることを特徴とする請
求項7記載の洗浄剤。
8. The cleaning agent according to claim 7, wherein the low molecular weight polyorganosiloxane is octamethylcyclotetrasiloxane or decamethylcyclopentasilosaquin.
【請求項9】 低分子シロキサン化合物と、 炭素数 4〜30のイソパラフィン系溶剤とからなる共沸組
成あるいは擬似共沸組成の混合物を用いて、洗浄から乾
燥までの一連の工程を一液で行うことを特徴とする洗浄
方法。
9. A series of steps from washing to drying is carried out in one liquid by using a mixture of an azeotropic composition or a pseudo-azeotropic composition comprising a low molecular weight siloxane compound and an isoparaffinic solvent having 4 to 30 carbon atoms. A cleaning method characterized by the above.
【請求項10】 低分子シロキサン化合物と、 炭素数 4〜30のシクロパラフィン系溶剤とを含む共沸組
成あるいは擬似共沸組成の混合物を用いて、洗浄から乾
燥までの一連の工程を一液で行うことを特徴とする洗浄
方法。
10. A series of steps from washing to drying is performed by one liquid using a mixture of an azeotropic composition or a pseudo-azeotropic composition containing a low molecular weight siloxane compound and a cycloparaffinic solvent having 4 to 30 carbon atoms. A cleaning method characterized by performing.
【請求項11】 前記低分子シロキサン化合物は、一般
式: 【化3】 (式中、Rは同一または相異なる置換または非置換の 1
価の炭化水素基、 lは 0〜 5の整数を示す)で表される
直鎖状ポリジオルガノシロキサン、および一般式: 【化4】 (式中、Rは同一または相異なる置換または非置換の 1
価の炭化水素基、m は 3〜 7の整数を示す)で表される
環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれる少なくとも
1種の低分子量ポリオルガノシロキサンであることを特
徴とする請求項10記載の洗浄方法。
11. The low-molecular-weight siloxane compound has the general formula: embedded image (In the formula, R is the same or different and is substituted or unsubstituted 1
A straight-chain polydiorganosiloxane represented by a divalent hydrocarbon group, l represents an integer of 0 to 5, and a general formula: (In the formula, R is the same or different and is substituted or unsubstituted 1
11. A cleaning method according to claim 10, which is at least one low molecular weight polyorganosiloxane selected from cyclic polydiorganosiloxane represented by a valent hydrocarbon group, m is an integer of 3 to 7). .
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