JP2003031865A - Method and device for manufacturing polarized material - Google Patents
Method and device for manufacturing polarized materialInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は分極量の多い分極体
を簡潔に製造することのできる方法、及びその製造装置
に関する。本発明の方法により製造された分極体は、特
に圧電体として好適に使用することができる。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method capable of simply manufacturing a polarizer having a large amount of polarization, and an apparatus for manufacturing the same. The polarizing body manufactured by the method of the present invention can be suitably used particularly as a piezoelectric body.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、分極体の１つの製造方法として
は、空気中で被分極体に対して電界を作用させ、被分極
体を分極させることにより分極体を製造する方法があっ
た。しかしながら、この方法により得られる分極体は分
極量が低いため、より分極量の多い分極体が望まれてい
た。2. Description of the Related Art Conventionally, as one method for manufacturing a polarized body, there has been a method for manufacturing a polarized body by causing an electric field to act on the polarized body in air to polarize the polarized body. However, since the polarization body obtained by this method has a low polarization amount, a polarization body having a larger polarization amount has been desired.
【０００３】この問題を解決する分極体の製造方法とし
て、図４に模式的概念図を示すように、被分極体６の両
面に電極１０ａ、１０ｂを取り付けた上で、絶縁オイル
９中に浸漬し、前記電極１０ａ、１０ｂに対して、高電
圧電源２により高電圧を印加する方法が知られている。
この方法によれば、分極量の多い分極体を製造すること
ができるが、この方法により分極体を製造する場合に
は、絶縁オイル９中に被分極体６を浸漬するが故に絶縁
オイル９を除去する必要があり、被分極体６が多孔質で
ある場合には、孔内における放電を防止するために、孔
内に樹脂等を充填する必要と、分極させた後に樹脂等を
除去する必要があるため、製造が煩雑であるという問題
があった。また、被分極体がゴムと高分子との複合物か
らなる場合には、絶縁オイル中に被分極体を浸漬するこ
とによって、絶縁オイルがゴム中に浸透してしまい、こ
の浸透した絶縁オイルを除去するのが困難であるという
問題があった。As a method of manufacturing a polarizing body that solves this problem, as shown in the schematic conceptual diagram of FIG. 4, electrodes 10a and 10b are attached to both surfaces of a polarized body 6 and then immersed in insulating oil 9. However, a method is known in which a high voltage is applied to the electrodes 10a and 10b by a high voltage power supply 2.
According to this method, a polarized body having a large amount of polarization can be manufactured. However, when the polarized body is manufactured by this method, since the polarized body 6 is immersed in the insulating oil 9, the insulating oil 9 is removed. When the substance to be polarized 6 is porous, it is necessary to fill the pores with resin or the like and to remove the resin or the like after polarization in order to prevent discharge in the pores. Therefore, there is a problem that the manufacturing is complicated. Also, when the substance to be polarized is composed of a composite of rubber and a polymer, by immersing the substance to be polarized in insulating oil, the insulating oil permeates into the rubber and the permeating insulating oil is removed. There was a problem that it was difficult to remove.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の問題点
を解決するためになされたものであり、分極量の多い分
極体を絶縁オイル中に浸漬することなく、簡潔に製造で
きる方法、及びその製造装置を提供することを目的とす
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and is a method for simply manufacturing a polarizing body having a large amount of polarization without immersing it in insulating oil, and It is an object of the present invention to provide a manufacturing device thereof.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明の発明者は、絶縁
オイル中に被分極体を浸漬しなければ簡潔に分極体を製
造できるという考えのもと、従来の空気中で被分極体に
対して電界を作用させて分極体を製造する方法において
分極量を多くできない理由を探求したところ、分極量を
多くするためには被分極体にかかる電界強度を強くする
必要があるが、空気中における絶縁破壊電圧が低いた
め、電界強度を強くすることができないことを見い出し
た。The inventor of the present invention considers that a polarized body can be simply manufactured without immersing the polarized body in an insulating oil, and thus the polarized body can be formed in conventional air. When we investigated the reason why the amount of polarization cannot be increased in the method of manufacturing a polarized body by applying an electric field to it, it was necessary to increase the electric field strength applied to the polarized body in order to increase the amount of polarization. It was found that the electric field strength cannot be increased due to the low dielectric breakdown voltage.
【０００６】本発明はこのような知見に基づいてなされ
たものであり、その要旨とするところは、「被分極体に
対して、圧力が０．２ＭＰａ以上の高圧力気体中で電界
を作用させることにより、被分極体を分極させて分極体
とすることを特徴とする、分極体の製造方法。」であ
る。このように、高圧力気体中においては、気体の絶縁
破壊電圧が高くなるため、被分極体に作用させる電界強
度を強くすることができ、その結果、分極体の分極量を
多くできることを見い出したのである。また、気体中で
電界を作用させているため、従来のように絶縁オイル中
に浸漬した場合のような問題が生じず、簡潔に分極体を
製造することができる。The present invention has been made on the basis of such findings, and the gist of the present invention is that "an electric field is applied to a substance to be polarized in a high-pressure gas having a pressure of 0.2 MPa or more. Accordingly, the polarized body is polarized to form a polarized body. ”. As described above, it has been found that in a high-pressure gas, the breakdown voltage of the gas increases, so that the electric field strength acting on the polarized body can be increased, and as a result, the polarization amount of the polarized body can be increased. Of. Further, since the electric field is applied in the gas, there is no problem as in the case of being immersed in insulating oil as in the conventional case, and the polarizer can be simply manufactured.
【０００７】この高圧力気体が高圧力空気であると、絶
縁破壊電圧が高いため、分極量を多くすることができ、
しかも安全でコスト的にも有利である。When the high-pressure gas is high-pressure air, the dielectric breakdown voltage is high, so that the polarization amount can be increased,
Moreover, it is safe and cost effective.
【０００８】本発明の分極体の製造方法においては、被
分極体が多孔質であっても、絶縁破壊電圧を高くできる
ことによって、孔内における放電を防ぐことができると
共に、強い電界を作用させることができるため、分極量
の多い分極体を簡潔に製造することができる。In the method for producing a polarized body of the present invention, even if the polarized body is porous, it is possible to prevent discharge in the pores and to apply a strong electric field by increasing the dielectric breakdown voltage. Therefore, it is possible to simply manufacture a polarizer having a large amount of polarization.
【０００９】本発明の分極体の製造装置は、電界を発生
させることのできる手段、電界に被分極体を配置するこ
とのできる手段、電界を作用させる被分極体の配置箇所
を圧力が０．２ＭＰａ以上の高圧力気体雰囲気とするこ
とのできる手段、とを備えている。このように、高圧力
気体雰囲気とすることのできる手段を備えており、強い
電界を被分極体に対して作用させることができるため、
分極量の多い分極体を簡潔に製造できる装置である。In the apparatus for manufacturing a polarized body of the present invention, a means for generating an electric field, a means for arranging the polarized body in the electric field, and an arrangement place of the polarized body on which the electric field is applied have a pressure of 0. And a means capable of creating a high-pressure gas atmosphere of 2 MPa or more. As described above, since a means capable of creating a high-pressure gas atmosphere is provided and a strong electric field can be applied to the polarized body,
This is a device that can simply manufacture a polarized body with a large amount of polarization.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】本発明の分極体のもととなる被分
極体は電界の作用によって分極するものであれば良く、
特に限定するものではないが、例えば、強誘電性セラミ
ックスや強誘電性高分子などの強誘電体を挙げることが
できる。より具体的には、前者の強誘電性セラミックス
として、チタン酸バリウム系（例えば、ＢａＴｉＯ３、
ＢａＴｉＯ３／ＰｂＴｉＯ３、ＢａＴｉＯ３／ＳｒＴｉ
Ｏ３、ＢａＴｉＯ３／ＢａＳｎＯ３、ＢａＴｉＯ３／Ｂ
ａＰｂＯ３など）、チタン酸鉛、ＰＺＴ（チタン酸鉛／
チタン酸ジルコニウム固溶体）などのペロブスカイト
型、或いはＰｂＮｂ２Ｏ６などのタングステンブロンズ
型のセラミックスを挙げることができ、後者の強誘電性
高分子として、ポリフッ化ビニリデン、ポリビニリデン
シアナイド、フッ化ビニリデン−トリフロロエチレン共
重合体などを挙げることができる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The substance to be polarized, which is the source of the polarizer of the present invention, may be any one that is polarized by the action of an electric field.
Although not particularly limited, examples thereof include ferroelectrics such as ferroelectric ceramics and ferroelectric polymers. More specifically, as the former ferroelectric ceramics, barium titanate-based (for example, BaTiO 3 ,
BaTiO 3 / PbTiO 3 , BaTiO 3 / SrTi
O 3 , BaTiO 3 / BaSnO 3 , BaTiO 3 / B
aPbO 3 etc.), lead titanate, PZT (lead titanate /
Examples thereof include perovskite type ceramics such as zirconium titanate solid solution) or tungsten bronze type ceramics such as PbNb 2 O 6, and the latter ferroelectric polymer includes polyvinylidene fluoride, polyvinylidene cyanide, vinylidene fluoride- Examples thereof include trifluoroethylene copolymer.
【００１１】なお、本発明で使用できる被分極体は上述
のような強誘電体を少なくとも１種類含んでいれば良
く、強誘電体のみから構成されている必要はない。例え
ば、組成の異なる強誘電体を２種類以上含んでいても、
組成の異なる強誘電体を１種類以上と強誘電体ではない
非強誘電体を１種類以上とを含んでいても良い。また、
被分極体は２種類以上の無機材料から構成されていても
良いし、２種類以上の有機材料から構成されていても良
いし、或いは１種類以上の無機材料と１種類以上の有機
材料とから構成されていても良い。The polarized substance that can be used in the present invention only needs to contain at least one kind of ferroelectric substance as described above, and does not need to be composed of only a ferroelectric substance. For example, even if two or more types of ferroelectrics having different compositions are included,
One or more types of ferroelectrics having different compositions and one or more types of non-ferroelectric substances that are not ferroelectrics may be included. Also,
The polarized body may be composed of two or more kinds of inorganic materials, may be composed of two or more kinds of organic materials, or may be composed of one or more kinds of inorganic materials and one or more kinds of organic materials. It may be configured.
【００１２】この被分極体は無孔質の態様であっても良
いし、多孔質の態様であっても良い。本発明において
は、多孔質の被分極体であっても、孔内で放電を発生さ
せることなく、強い電界を作用させることができるとい
う従来にはない効果を奏する。なお、本発明における被
分極体はシート状の平面的なものである必要はなく、三
次元的な立体的なものであっても良い。The object to be polarized may have a non-porous form or a porous form. In the present invention, even a porous substance to be polarized has an unprecedented effect that a strong electric field can be applied without causing discharge in the pores. It should be noted that the polarized body in the present invention does not have to be a sheet-like planar object, but may be a three-dimensional three-dimensional object.
【００１３】このような被分極体に対して、圧力が０．
２ＭＰａ以上の高圧力気体中で電界を作用させることに
よって、被分極体を分極させて分極体を製造することが
できる。本発明においては、高圧力気体中で強い電界を
作用させることができるため、分極量の多い分極体を簡
潔に製造することができる。この高圧力気体の圧力が高
ければ高いほど、気体の絶縁破壊電圧が高くなり、前記
作用効果に優れているため、好ましい圧力は０．３ＭＰ
ａ以上であり、より好ましい圧力は０．５ＭＰａ以上で
ある。なお、上限は被分極体の形態を維持することので
きる圧力である限り特に限定されるものではないが、一
般的に１０ＭＰａ程度が適当である。A pressure of 0.
By applying an electric field in a high-pressure gas having a pressure of 2 MPa or more, the substance to be polarized can be polarized to produce the polarizer. In the present invention, a strong electric field can be applied in a high-pressure gas, so that a polarizer having a large amount of polarization can be simply manufactured. The higher the pressure of this high-pressure gas, the higher the dielectric breakdown voltage of the gas, and the more excellent the above-mentioned effects, the preferable pressure is 0.3MP.
It is a or more, and a more preferable pressure is 0.5 MPa or more. The upper limit is not particularly limited as long as it is a pressure that can maintain the shape of the body to be polarized, but generally about 10 MPa is appropriate.
【００１４】この高圧力気体は、例えば、空気、窒素、
酸素、アルゴン、二酸化炭素などの中から自由に選択又
は混合することができる。特に、絶縁破壊電圧の高い気
体であると、前述のような作用効果を奏しやすいため好
適である。この絶縁破壊電圧の高い気体としては、例え
ば、空気、酸素、二酸化炭素などを挙げることができ
る。これらの中でも、安全性及びコストの点で有利であ
る空気であるのが好ましい。The high pressure gas is, for example, air, nitrogen,
It can be freely selected or mixed from oxygen, argon, carbon dioxide and the like. In particular, a gas having a high dielectric breakdown voltage is suitable because it is easy to exhibit the above-described effects. Examples of the gas having a high dielectric breakdown voltage include air, oxygen, carbon dioxide and the like. Of these, air is preferable because it is advantageous in terms of safety and cost.
【００１５】本発明の分極体の製造方法においては、こ
のような高圧力気体中で、電界を作用させることによっ
て、被分極体を分極させて分極体を製造する。なお、電
界の発生方法は特に限定するものではないが、例えば、
直流高電圧を印加できる一対の電極によって電界を作用
させることができる。この場合、電極に印加する電圧は
分極量が多くなるように、１ｋＶ以上であるのが好まし
く、５ｋＶ以上であるのがより好ましい。In the method for producing a polarized body of the present invention, an electric field is applied in such a high-pressure gas to polarize the polarized body to produce the polarized body. The method for generating the electric field is not particularly limited, but for example,
An electric field can be applied by a pair of electrodes to which a high DC voltage can be applied. In this case, the voltage applied to the electrodes is preferably 1 kV or more, and more preferably 5 kV or more so that the polarization amount increases.
【００１６】なお、被分極体はどのように配置しても良
いが、例えば、直流高電圧を印加できる一対の電極によ
って電界を作用させる場合には、両方の電極と接触する
ように配置しても良いし、一方の電極と接触するように
配置しても良いし、両方の電極と非接触であるように配
置しても良いが、効率的に分極できるように、両方の電
極と接触しているのが好ましい。It should be noted that the polarized body may be arranged in any manner. For example, when a pair of electrodes capable of applying a high DC voltage is used to apply an electric field, the polarized body is arranged so as to contact both electrodes. It may be placed so that it contacts one of the electrodes, or it may be placed so that it is not in contact with both electrodes, but it may be placed in contact with both electrodes so that it can be efficiently polarized. Is preferred.
【００１７】また、被分極体に対して電界を作用させる
際、被分極体は常温であっても良いし、加熱された状態
にあっても良い。後者の場合、その加熱温度は被分極体
の形態を維持することのできる温度であれば良く、特に
限定されるものではない。このような被分極体の加熱
は、例えば、ヒーターにより加熱する方法、赤外線によ
り加熱する方法、高圧力気体を加熱する方法、或いはこ
れらを併用する方法などがある。なお、被分極体の温度
が徐々に上昇するように加熱しても良いし、終始同じ温
度であるように加熱しても良いし、或いは加熱した後に
温度が徐々に、又は急激に低くなるようにしても良い
が、加熱した後に温度が徐々に、又は急激に低くなるよ
うにすると、分極しやすく、しかもその分極が固定され
やすいため、好適な加熱方法である。When an electric field is applied to the polarized body, the polarized body may be at room temperature or in a heated state. In the latter case, the heating temperature is not particularly limited as long as it is a temperature that can maintain the shape of the polarized body. Such heating of the substance to be polarized includes, for example, a method of heating with a heater, a method of heating with infrared rays, a method of heating high-pressure gas, and a method of using these in combination. The polarized object may be heated so that the temperature thereof gradually rises, the temperature may be the same throughout, or the temperature may be gradually or rapidly lowered after the heating. However, if the temperature is gradually or rapidly lowered after heating, it is easy to polarize and the polarization is easily fixed, which is a preferable heating method.
【００１８】本発明の分極体製造装置は、電界を発生さ
せることのできる手段、電界に被分極体を配置すること
のできる手段、電界を作用させる被分極体の配置箇所を
圧力が０．２ＭＰａ以上の高圧力気体雰囲気とすること
のできる手段、とを備えている。The apparatus for producing a polarized body according to the present invention has a means capable of generating an electric field, a means capable of arranging a polarized body in the electric field, and a location where the polarized body is acted on by an electric field at a pressure of 0.2 MPa. Means capable of creating the above high pressure gas atmosphere.
【００１９】この電界を発生させることのできる手段と
しては、例えば、直流高電圧を印加することのできる一
対の電極を挙げることができる。Examples of means capable of generating this electric field include a pair of electrodes to which a high DC voltage can be applied.
【００２０】なお、電界に被分極体を配置することので
きる手段としては、例えば、供給ロールによる方法、巻
き取りロールによる方法、搬送コンベアによる方法、な
どを挙げることができる。Examples of means for disposing the polarized body in the electric field include a method using a supply roll, a method using a winding roll, and a method using a conveyor.
【００２１】また、電界を作用させる被分極体の配置箇
所を０．２ＭＰａ以上の高圧力気体雰囲気とすることの
できる手段としては、例えば、被分極体に対して電界を
作用させる空間を閉鎖空間とすることのできる容器と、
この容器に気体を導入することのできる、コンプレッサ
ー、ガスボンベ、或いはブロアーなどの加圧装置を挙げ
ることができる。Further, as means for making the arrangement location of the polarized body for applying an electric field a high pressure gas atmosphere of 0.2 MPa or more, for example, a space for applying an electric field to the polarized body is a closed space. And a container that can be
A pressure device such as a compressor, a gas cylinder, or a blower capable of introducing gas into the container can be used.
【００２２】更に、本発明の分極体製造装置が被分極体
を加熱することのできる加熱手段を備えていると、分極
体の分極量を多くすることができる。この加熱手段とし
て、例えば、ヒーター、赤外線、加熱した高圧気体など
を挙げることができる。Further, when the apparatus for producing a polarized body of the present invention is provided with a heating means capable of heating the polarized body, the polarization amount of the polarized body can be increased. Examples of the heating means include a heater, infrared rays, and heated high-pressure gas.
【００２３】以下に、本発明の分極体製造装置につい
て、基本原理を表す模式的断面図である図１をもとに説
明する。The polarizer manufacturing apparatus of the present invention will be described below with reference to FIG. 1, which is a schematic sectional view showing the basic principle.
【００２４】図１の分極体製造装置においては、一対の
平板状電極１ａ、１ｂが対向して配置されており、一方
の平板状電極１ａは高電圧電源２に接続されており、他
方の平板状電極１ｂはアースされている。そのため、一
方の平板状電極１ａに高電圧を印加することによって、
電界を形成できるようになっている。この一対の平板状
電極１ａ、１ｂは、高圧力気体の圧力によっても破壊す
ることのない圧力容器３内に配置されている。この圧力
容器３には、加圧装置４が接続されており、この加圧装
置４により圧力容器３内を高圧力気体雰囲気とすること
ができる。なお、図１においては、圧力容器３内の圧力
を調節できるように、調圧バルブ５が加圧装置４と圧力
容器３との間に接続されている。また、分極量をより多
くすることができるように、加圧装置４は絶縁破壊電圧
の高い気体（例えば、空気、酸素、二酸化炭素など）を
供給できる。更に、効率的に分極できるように、一対の
平板状電極１ａ、１ｂと被分極体６とは接触しているの
が好ましい。In the polarizer manufacturing apparatus of FIG. 1, a pair of flat plate electrodes 1a and 1b are arranged so as to face each other, one flat plate electrode 1a is connected to a high voltage power source 2, and the other flat plate electrode 1a. The electrode 1b is grounded. Therefore, by applying a high voltage to one flat plate-shaped electrode 1a,
An electric field can be formed. The pair of flat plate-shaped electrodes 1a and 1b are arranged in a pressure vessel 3 which is not destroyed even by the pressure of high pressure gas. A pressurizing device 4 is connected to the pressure container 3, and the pressurizing device 4 can create a high-pressure gas atmosphere in the pressure container 3. In FIG. 1, a pressure regulating valve 5 is connected between the pressurizing device 4 and the pressure vessel 3 so that the pressure inside the pressure vessel 3 can be adjusted. Further, the pressurizing device 4 can supply a gas having a high dielectric breakdown voltage (for example, air, oxygen, carbon dioxide, etc.) so that the polarization amount can be increased. Furthermore, it is preferable that the pair of flat plate-shaped electrodes 1a, 1b and the polarized body 6 are in contact with each other so that the polarized light can be efficiently polarized.
【００２５】この図１の分極体製造装置を用いて分極体
を製造する場合、まず、被分極体６を一対の平板状電極
１ａ、１ｂの両方と接触させて配置する。次いで、加圧
装置４により圧力容器３内の気体圧力が０．２ＭＰａ以
上となるまで加圧する。その後、一方の平板状電極１ａ
に対して高電圧電源２によって高電圧を印加することに
より、一対の平板状電極間に電界を形成し、被分極体６
を分極させて分極体を製造する。この加圧装置４により
前述のような絶縁破壊電圧の高い気体を導入すれば、被
分極体６に対して強い電界を作用させることができるた
め、分極体の分極量を多くすることができる。In the case of manufacturing a polarized body using the polarized body manufacturing apparatus of FIG. 1, first, the polarized body 6 is placed in contact with both of the pair of flat plate-shaped electrodes 1a, 1b. Next, the pressurizing device 4 pressurizes the gas in the pressure vessel 3 until the gas pressure becomes 0.2 MPa or more. Then, one plate-shaped electrode 1a
By applying a high voltage from the high-voltage power source 2 to the pair of flat electrodes, an electric field is formed between the pair of flat electrodes, and the polarized body 6
Is polarized to produce a polarizer. If a gas having a high dielectric breakdown voltage as described above is introduced by the pressurizing device 4, a strong electric field can be applied to the polarized body 6, so that the polarization amount of the polarized body can be increased.
【００２６】なお、高電圧電源２により印加する電圧は
分極体の分極量が多くなるように、１ｋＶ以上であるの
が好ましく、５ｋＶ以上であるのがより好ましい。な
お、高電圧電源２による電圧の印加時間は被分極体、温
度などによって変化するため、特に限定するものではな
いが、通常１分間以上であるのが好ましい。また、電圧
はパルス状電圧を印加しても良いし、直流にパルスを重
畳した重畳電圧を印加しても良い。更に、効率的に被分
極体を分極できるように、気体はよく乾燥したもの（相
対湿度が１％以下の気体）を供給するのが好ましい。The voltage applied by the high-voltage power supply 2 is preferably 1 kV or more, more preferably 5 kV or more, so that the polarization amount of the polarizer increases. The application time of the voltage from the high-voltage power supply 2 is not particularly limited because it varies depending on the substance to be polarized, the temperature, etc., but it is usually preferably 1 minute or more. Further, as the voltage, a pulsed voltage may be applied, or a superimposed voltage in which a pulse is superimposed on direct current may be applied. Further, in order to efficiently polarize the substance to be polarized, it is preferable to supply a well-dried gas (a gas having a relative humidity of 1% or less).
【００２７】図２は本発明の別の分極体製造装置の模式
的断面図である。図２の分極体製造装置は被分極体６が
シート状である場合に適用することができる。FIG. 2 is a schematic sectional view of another apparatus for manufacturing a polarizer according to the present invention. The apparatus for manufacturing a polarized body of FIG. 2 can be applied when the polarized body 6 has a sheet shape.
【００２８】図２の分極体製造装置においては、一対の
電極がベルト状電極１ａとロール状電極１ｂとからなる
こと、及び被分極体６を巻き出しロール１１及び巻き取
りロール１２の作用によって被分極体６を一対の電極間
へ供給していること以外は、前述の図１と全く同様であ
る。このように、本発明の分極体製造装置においては、
電界を発生させる手段が一対の平板状電極である必要は
なく、ロール状電極とベルト状電極との組み合わせ、ベ
ルト状電極とベルト状電極との組み合わせ、ロール状電
極とロール状電極の組み合わせであっても良い。また、
図２の分極体製造装置においては、巻き出しロール１１
及び巻き取りロール１２の作用によって被分極体６を一
対の電極間へ被分極体６を供給しているが、コンベアに
よって供給しても良い。2, the pair of electrodes is composed of the belt-shaped electrode 1a and the roll-shaped electrode 1b, and the polarized body 6 is unwound by the action of the unwinding roll 11 and the winding roll 12. The procedure is exactly the same as in FIG. 1 described above except that the polariser 6 is supplied between the pair of electrodes. As described above, in the polarizer manufacturing apparatus of the present invention,
The means for generating an electric field need not be a pair of flat plate-shaped electrodes, but may be a combination of roll-shaped electrodes and belt-shaped electrodes, a combination of belt-shaped electrodes and belt-shaped electrodes, or a combination of roll-shaped electrodes and roll-shaped electrodes. May be. Also,
In the polarizer manufacturing apparatus of FIG. 2, the unwinding roll 11
Although the polarized body 6 is supplied between the pair of electrodes by the action of the winding roll 12, the polarized body 6 may be supplied by a conveyor.
【００２９】図３は別の分極体製造装置の模式的断面図
である。図３の分極体製造装置は被分極体６が不連続な
被分極体６（例えば、成形物）である場合に適用するこ
とができる。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of another polarization body manufacturing apparatus. The polarization body manufacturing apparatus of FIG. 3 can be applied to the case where the polarization body 6 is a discontinuous polarization body 6 (for example, a molded product).
【００３０】この分極体製造装置においては、一対のベ
ルト状電極１ａ、１ｂが対向して配置されており、上側
のベルト状電極１ａに対して高電圧を印加できるよう
に、高電圧電源２が接続されており、下側のベルト状電
極１ｂはアースされている。そのため、上側のベルト状
電極１ａに対して高電圧を印加することによって、これ
ら電極間に電界を形成できるようになっている。なお、
下側のベルト状電極１ｂは被分極体６を搬送するコンベ
アとしても作用することができる。この一対のベルト状
電極１ａ、１ｂは、高圧力気体の圧力によっても破壊す
ることのない圧力容器３内に配置されている。この圧力
容器３には、加圧装置４が接続されており、圧力容器３
内の気体の圧力を０．２ＭＰａ以上とすることができる
ようになっている。なお、図３の分極体製造装置におい
ては、調圧バルブ５が加圧装置４と圧力容器３との間に
接続されているため、圧力容器３内の圧力を調節するこ
とができる。また、図３の分極体製造装置においては、
圧力容器３内の圧力を低下させることなく、下方のベル
ト状電極１ｂに被電極体６を供給できる位置（図３にお
いてはベルト状電極１ｂの上方）に、供給側気密室７が
設けられており、分極体を搬出できる位置（図３におい
てはベルト状電極１ｂの下方）に、搬出側気密室８が設
けられている。なお、供給側気密室７は供給側気密室７
に被分極体６を供給するための大気側入口ドア７ａと、
圧力容器３中に被分極体６を供給するための容器側入口
ドア７ｂを備えており、搬出側気密室８は、圧力容器３
内から分極体を取り出すための容器側出口ドア８ｂと、
搬出側気密室８から分極体を取り出すための大気側出口
ドア８ａとを備えている。また、供給側気密室７及び搬
出側気密室８にも加圧装置４ａ、４ｂが接続され、供給
側気密室７及び搬出側気密室８を加圧することができる
ようになっており、圧力容器３内の圧力を低下させない
ように設計されている。なお、供給側気密室７及び搬出
側気密室８と加圧装置４ａ、４ｂとの間にも、圧力を調
節できるように、調圧バルブ５ａ、５ｂが接続されてい
る。In this polarizer manufacturing apparatus, a pair of belt-shaped electrodes 1a and 1b are arranged so as to face each other, and a high-voltage power supply 2 is provided so that a high voltage can be applied to the upper belt-shaped electrode 1a. The belt-shaped electrode 1b on the lower side is grounded. Therefore, by applying a high voltage to the upper belt-shaped electrode 1a, an electric field can be formed between these electrodes. In addition,
The belt-shaped electrode 1b on the lower side can also act as a conveyor for conveying the polarized body 6. The pair of belt-shaped electrodes 1a and 1b are arranged in the pressure vessel 3 that is not destroyed even by the pressure of the high-pressure gas. A pressurizing device 4 is connected to the pressure vessel 3, and the pressure vessel 3
The pressure of the gas inside can be set to 0.2 MPa or more. In the polarization body manufacturing apparatus of FIG. 3, since the pressure regulating valve 5 is connected between the pressurizing device 4 and the pressure vessel 3, the pressure inside the pressure vessel 3 can be adjusted. Further, in the polarization body manufacturing apparatus of FIG.
A supply side airtight chamber 7 is provided at a position where the electrode body 6 can be supplied to the lower belt-shaped electrode 1b without lowering the pressure in the pressure container 3 (above the belt-shaped electrode 1b in FIG. 3). The discharge-side airtight chamber 8 is provided at a position where the polarized body can be discharged (below the belt-shaped electrode 1b in FIG. 3). The supply side airtight chamber 7 is the supply side airtight chamber 7
An atmosphere side entrance door 7a for supplying the polarized body 6 to the
The pressure vessel 3 is provided with a vessel-side inlet door 7b for supplying the polarized body 6, and the carry-out side airtight chamber 8 is provided with the pressure vessel 3
A container side outlet door 8b for taking out the polarized body from the inside,
The outlet side airtight chamber 8 is provided with an atmosphere side outlet door 8a for taking out the polarized body. Further, pressurizing devices 4a and 4b are also connected to the supply-side airtight chamber 7 and the unload-side airtight chamber 8 so that the supply-side airtight chamber 7 and the unload-side airtight chamber 8 can be pressurized. It is designed so that the pressure in 3 is not reduced. Pressure adjusting valves 5a and 5b are also connected between the supply side airtight chamber 7 and the unloading side airtight chamber 8 and the pressure devices 4a and 4b so that the pressure can be adjusted.
【００３１】この分極体製造装置により分極体を製造す
る場合、まず、加圧装置４により圧力容器３内における
気体の圧力を０．２ＭＰａ以上の所望の圧力にする。次
いで、大気側入口ドア７ａを開けて供給側気密室７に被
分極体６を搬入し、大気側入口ドア７ａを閉じる。次い
で、供給側気密室７における圧力を加圧装置４ａによっ
て圧力容器３と同程度の圧力とする。次いで、容器側入
口ドア７ｂを開けて圧力容器３内の下側のベルト状電極
１ｂ上に被分極体６を搬入し、この下側のベルト状電極
１ｂによって、一対のベルト状電極１ａ、１ｂ間へ搬送
する。なお、被分極体６をベルト状電極上１ｂに搬入し
た後に容器側入口ドア７ｂを閉じる。この搬送された被
分極体６は一対のベルト状電極１ａ、１ｂによって形成
される電界によって、分極して分極体となる。この分極
体は下方のベルト状電極１ｂによって更に搬送される。
次いで、圧力容器３と同程度の圧力に加圧された搬出側
気密室８の容器側出口ドア８ｂを開けて、分極体を搬出
側気密室８に取り出す。容器側出口ドア８ｂを閉じた
後、大気側出口ドア８ａを開けて分極体を取り出す。次
いで、大気側出口ドア８ａを閉じ、加圧装置４ｂによっ
て加圧し、搬出側気密室８の圧力を圧力容器３と同程度
の圧力とする。このような作業を繰り返すことにより、
分極体を連続的に製造することができる。When a polarizer is manufactured by this polarizer manufacturing apparatus, first, the pressure of the gas in the pressure vessel 3 is set to a desired pressure of 0.2 MPa or more by the pressurizing device 4. Next, the atmosphere side entrance door 7a is opened, the polarized body 6 is carried into the supply side airtight chamber 7, and the atmosphere side entrance door 7a is closed. Next, the pressure in the airtight chamber 7 on the supply side is set to the same level as that of the pressure vessel 3 by the pressurizing device 4a. Next, the container-side inlet door 7b is opened to carry the polarized body 6 onto the lower belt-shaped electrode 1b in the pressure container 3, and the lower belt-shaped electrode 1b is used to couple the pair of belt-shaped electrodes 1a and 1b. To be transported between. The container-side entrance door 7b is closed after the polarized body 6 is loaded onto the belt-shaped electrode 1b. The conveyed polarized body 6 is polarized by an electric field formed by the pair of belt-shaped electrodes 1a and 1b to become a polarized body. This polariser is further conveyed by the lower belt-shaped electrode 1b.
Next, the container-side outlet door 8b of the carry-out side airtight chamber 8 which is pressurized to the same pressure as the pressure container 3 is opened, and the polarization body is taken out to the carry-out side airtight chamber 8. After closing the container-side outlet door 8b, the atmosphere-side outlet door 8a is opened to take out the polarizer. Next, the atmosphere side outlet door 8a is closed and pressurized by the pressure device 4b so that the pressure in the carry-out side airtight chamber 8 is set to the same level as the pressure vessel 3. By repeating such work,
Polarizers can be manufactured continuously.
【００３２】なお、容器側入口ドア７ｂを開けて圧力容
器３内の下方のベルト状電極１ｂに被分極体６を搬入す
る工程や、容器側出口ドア８ｂを開けて分極体を搬出側
気密室８に取り出す工程を、分極体を一定量蓄えた後に
実施すれば、容器側入口ドア７ｂ及び／又は容器側出口
ドア８ｂの開閉回数を減らすことができるため、より効
率的に製造することができる。The step of opening the container-side entrance door 7b to carry in the polarized body 6 to the lower belt-shaped electrode 1b in the pressure container 3 and the opening of the container-side exit door 8b to carry out the polarized body 6 are carried out. If the step of taking out to 8 is carried out after accumulating a certain amount of the polarization body, the number of times of opening and closing the container side entrance door 7b and / or the container side exit door 8b can be reduced, so that the manufacturing can be performed more efficiently. .
【００３３】以上、図面をもとに説明した分極体製造装
置は、電極同士が略平行に配置された態様であるが、電
極の形状や電極の配置を被分極体の形状に対応させるこ
とによって、各種形状の被分極体を分極させて分極体を
製造することができる。The above-described polarization body manufacturing apparatus, which has been described with reference to the drawings, has a configuration in which the electrodes are arranged substantially parallel to each other. However, by making the shape of the electrodes and the arrangement of the electrodes correspond to the shape of the polarized body. It is possible to manufacture a polarized body by polarizing polarized bodies of various shapes.
【００３４】本発明の分極体の製造方法及びその製造装
置は分極体の分極量を多くすることができるため、本発
明の製造方法及び製造装置によって製造された分極体
は、例えば、圧電体（例えば、ハイドロホン、医療機
器、各種超音波プローブなどの振動検出センサー用途
や、スピーカー、超音波発信機などの振動子用途に使用
できる）、光ファイバー、光学異方性材料などとして好
適に使用することができる。Since the method and apparatus for manufacturing a polarizing body of the present invention can increase the amount of polarization of the polarizing body, the polarizing body manufactured by the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the present invention is, for example, a piezoelectric body ( For example, it can be used for vibration detection sensors such as hydrophones, medical devices, various ultrasonic probes, and vibrators such as speakers and ultrasonic transmitters), optical fibers, and optically anisotropic materials. You can
【００３５】以下に、本発明の分極体の製造方法につい
て実施例を記載するが、本発明は以下の実施例に限定さ
れるものではない。Examples of the method for producing a polarizer of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to the following examples.
【００３６】[0036]
【実施例】（実施例１）被分極体として、チタン酸ジル
コン酸鉛からなる板状焼結体を用意した。Example 1 A plate-shaped sintered body made of lead zirconate titanate was prepared as a polarized body.
【００３７】次いで、この被分極体の両面に銀ペースト
を塗布した後、温度８５０℃で焼き付けて、電極装備被
分極体（厚さ：約１ｍｍ、直径１５ｍｍの円形）を形成
した。Then, a silver paste was applied to both sides of this polarized body and then baked at a temperature of 850 ° C. to form an electrode-equipped polarized body (thickness: about 1 mm, circular shape with a diameter of 15 mm).
【００３８】次いで、図１のように、電極装備被分極体
の一方の電極を高電圧電源と結線し、他方の電極をアー
スすると共に、電極装備被分極体を調圧バルブを介して
コンプレッサーと接続された圧力容器内に配置した。な
お、図示されていないが、アースされた電極の下方に、
この電極と接するようにヒーターを備え付けた。Next, as shown in FIG. 1, one electrode of the electrode-equipped polarized body is connected to a high-voltage power source, the other electrode is grounded, and the electrode-equipped polarized body is connected to a compressor via a pressure regulating valve. Placed in a connected pressure vessel. Although not shown, below the grounded electrode,
A heater was provided so as to be in contact with this electrode.
【００３９】次いで、圧力容器内の空気圧が０．３ＭＰ
ａとなるまで空気（相対湿度：１％以下）を供給した
後、ヒーターにより電極装備被分極体を温度１５０℃に
加熱すると同時に、５ＫＶの直流電圧を１５分間印加し
た。その後、そのまま５分間放置することにより冷却し
て、分極体を製造した。Next, the air pressure in the pressure vessel is 0.3MP.
After supplying air (relative humidity: 1% or less) until the temperature reaches a, the electrode-equipped polarized body was heated to a temperature of 150 ° C. by a heater, and at the same time, a DC voltage of 5 KV was applied for 15 minutes. Then, it was left to stand for 5 minutes to be cooled, and a polarizer was manufactured.
【００４０】（実施例２）圧力容器内の空気圧が０．８
ＭＰａとなるまで空気を供給したこと、及び印加電圧を
７ＫＶとしたこと以外は、実施例１と全く同様にして分
極体を製造した。(Embodiment 2) The air pressure in the pressure vessel is 0.8.
A polarizer was manufactured in exactly the same manner as in Example 1 except that air was supplied until the pressure reached MPa and the applied voltage was set to 7 KV.
【００４１】（実施例３）被分極体として、チタン酸ジ
ルコン酸鉛からなる板状焼結体（多孔質、空隙率：６０
％）を用意した。(Example 3) As a substance to be polarized, a plate-like sintered body made of lead zirconate titanate (porous, porosity: 60)
%) Was prepared.
【００４２】次いで、この被分極体の両面に銀ペースト
を塗布した後、温度８５０℃で焼き付けて、電極装備被
分極体（厚さ：約３ｍｍ、直径１５ｍｍの円形）を形成
した。Next, silver paste was applied to both sides of this polarized body and then baked at a temperature of 850 ° C. to form an electrode-equipped polarized body (thickness: about 3 mm, circular shape with a diameter of 15 mm).
【００４３】次いで、図１のように、電極装備被分極体
の一方の電極を高電圧電源と結線し、他方の電極をアー
スすると共に、電極装備被分極体を調圧バルブを介して
コンプレッサーと接続された圧力容器内に配置した。な
お、図示されていないが、アースされた電極の下方に、
この電極と接するようにヒーターを備え付けた。Next, as shown in FIG. 1, one electrode of the electrode-equipped polarized body is connected to a high voltage power source, the other electrode is grounded, and the electrode-equipped polarized body is connected to a compressor via a pressure regulating valve. Placed in a connected pressure vessel. Although not shown, below the grounded electrode,
A heater was provided so as to be in contact with this electrode.
【００４４】次いで、圧力容器内の空気圧が２ＭＰａと
なるまで空気（相対湿度：１％以下）を供給した後、ヒ
ーターにより電極装備被分極体を温度１５０℃に加熱す
ると同時に、１４ＫＶの直流電圧を１５分間印加した。
その後、そのまま５分間放置することにより冷却して、
分極体を製造した。Next, after air (relative humidity: 1% or less) was supplied until the air pressure in the pressure vessel became 2 MPa, the electrode-equipped polarized body was heated to a temperature of 150 ° C. by a heater and, at the same time, a DC voltage of 14 KV was applied. It was applied for 15 minutes.
Then, let it cool for 5 minutes,
A polariser was produced.
【００４５】（実施例４）被分極体として、チタン酸ジ
ルコン酸鉛粉末とフッ化ビニリデン粉末とを、９５：５
の質量比率で混合した後、プレス成形することによっ
て、厚さ１．５ｍｍ、直径１０ｍｍの円板状とした多孔
質成形体を用意した。(Example 4) As a substance to be polarized, lead zirconate titanate powder and vinylidene fluoride powder were mixed at 95: 5.
After being mixed at a mass ratio of, a press-molding was performed to prepare a disk-shaped porous molded body having a thickness of 1.5 mm and a diameter of 10 mm.
【００４６】次いで、この多孔質成形体の両面にスパッ
ター法により金を付け、電極装備被分極体（厚さ：約
１．５ｍｍ、直径１０ｍｍの円形）を形成した。Then, gold was attached to both surfaces of the porous molded body by a sputtering method to form an electrode-equipped polarized body (thickness: about 1.5 mm, circular shape having a diameter of 10 mm).
【００４７】次いで、図１のように、電極装備被分極体
の一方の電極を高電圧電源と結線し、他方の電極をアー
スすると共に、電極装備被分極体を調圧バルブを介して
コンプレッサーと接続された圧力容器内に配置した。な
お、図示されていないが、アースされた電極の下方に、
この電極と接するようにヒーターを備え付けた。Next, as shown in FIG. 1, one electrode of the electrode-equipped polarized body is connected to a high-voltage power source, the other electrode is grounded, and the electrode-equipped polarized body is connected to a compressor via a pressure regulating valve. Placed in a connected pressure vessel. Although not shown, below the grounded electrode,
A heater was provided so as to be in contact with this electrode.
【００４８】次いで、圧力容器内の空気圧が２ＭＰａと
なるまで空気（相対湿度：１％以下）を供給した後、ヒ
ーターにより電極装備被分極体を温度１００℃に加熱す
ると同時に、１０ＫＶの直流電圧を１５分間印加した。
その後、そのまま５分間放置することにより冷却して、
分極体を製造した。この分極体はセンサーとして有効な
ものであった。Next, after air (relative humidity: 1% or less) was supplied until the air pressure in the pressure vessel became 2 MPa, the electrode-equipped polarized body was heated to a temperature of 100 ° C. by a heater and, at the same time, a DC voltage of 10 KV was applied. It was applied for 15 minutes.
Then, let it cool for 5 minutes,
A polariser was produced. This polarizer was effective as a sensor.
【００４９】（比較例１）大気圧下（０．１ＭＰａ）で
電界を作用させたこと、及び２．５ＫＶの直流電圧を３
０分間印加したこと以外は、実施例１と同様にして分極
体を製造した。Comparative Example 1 An electric field was applied under atmospheric pressure (0.1 MPa), and a DC voltage of 2.5 KV was applied for 3 hours.
A polarizer was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the voltage was applied for 0 minutes.
【００５０】（比較例２）実施例１と同様にして形成し
た電極装備被分極体の一方の電極を高電圧電源と結線
し、他方の電極をアースした。なお、アースされた電極
の下方に、この電極と接するようにヒーターを備え付け
た。(Comparative Example 2) One electrode of an electrode-equipped to-be-polarized member formed in the same manner as in Example 1 was connected to a high voltage power source, and the other electrode was grounded. A heater was provided below the grounded electrode so as to contact the electrode.
【００５１】次いで、大気圧下（０．１ＭＰａ）、ヒー
ターにより電極装備被分極体を温度１５０℃に加熱する
と同時に、電圧を徐々に上げていったところ、約３．０
ＫＶの電圧を印加した時点で、被分極体の側面を通じて
スパーク放電が発生したため、電極装備被分極体を分極
させることができなかった。Then, under atmospheric pressure (0.1 MPa), the electrode-equipped polarized body was heated to a temperature of 150 ° C. by a heater and, at the same time, the voltage was gradually raised to about 3.0.
At the time when the voltage of KV was applied, spark discharge occurred through the side surface of the body to be polarized, so that the body to be polarized equipped with electrodes could not be polarized.
【００５２】（比較例３）実施例３と同様にして形成し
た電極装備被分極体の一方の電極を高電圧電源と結線
し、他方の電極をアースした。なお、アースされた電極
の下方に、この電極と接するようにヒーターを備え付け
た。(Comparative Example 3) One of electrodes to be polarized, which was formed in the same manner as in Example 3, was connected to a high voltage power source, and the other electrode was grounded. A heater was provided below the grounded electrode so as to contact the electrode.
【００５３】次いで、大気圧下（０．１ＭＰａ）、ヒー
ターにより電極装備被分極体を温度１５０℃に加熱する
と同時に、電圧を徐々に上げていったところ、約６．５
ＫＶの電圧を印加した時点で、被分極体の側面を通じて
スパーク放電が発生したため、電極装備被分極体を分極
させることができなかった。Next, under atmospheric pressure (0.1 MPa), the electrode-equipped polarized body was heated to a temperature of 150 ° C. by a heater and, at the same time, the voltage was gradually raised to about 6.5.
At the time when the voltage of KV was applied, spark discharge occurred through the side surface of the body to be polarized, so that the body to be polarized equipped with electrodes could not be polarized.
【００５４】（比較例４）実施例４と同様にして形成し
た電極装備被分極体の一方の電極を高電圧電源と結線
し、他方の電極をアースした。なお、アースされた電極
の下方に、この電極と接するようにヒーターを備え付け
た。(Comparative Example 4) One electrode of an electrode-equipped polarized body formed in the same manner as in Example 4 was connected to a high voltage power source, and the other electrode was grounded. A heater was provided below the grounded electrode so as to contact the electrode.
【００５５】次いで、大気圧下（０．１ＭＰａ）、ヒー
ターにより電極装備被分極体を温度１００℃に加熱した
状態で、電圧を徐々に上げていったところ、約３．２Ｋ
Ｖの電圧を印加した時点で、被分極体の側面を通じてス
パーク放電が発生したため、電極装備被分極体を分極さ
せることができなかった。Next, under atmospheric pressure (0.1 MPa), the voltage was gradually increased while the electrode-equipped polarized body was heated to a temperature of 100 ° C. by a heater.
At the time when the voltage of V was applied, spark discharge occurred through the side surface of the body to be polarized, so that the body to be polarized equipped with electrodes could not be polarized.
【００５６】（圧電性試験）実施例１〜４及び比較例１
の分極体の厚み方向における圧電定数ｄ３３を、ｄ ３３
メーターで測定した。この結果は表１に示す通りであっ
た。(Piezoelectricity test) Examples 1 to 4 and Comparative Example 1
Piezoelectric constant d in the thickness direction of the polarizer33And d 33
It was measured with a meter. The results are shown in Table 1.
It was
【００５７】[0057]
【表１】 [Table 1]
【００５８】この表１から明らかなように、本発明の分
極体は分極量が多いことがわかった。As is clear from Table 1, the polariser of the present invention has a large amount of polarization.
【００５９】[0059]
【発明の効果】本発明の分極体の製造方法によれば、分
極量の多い分極体を絶縁オイル中に浸漬することなく、
簡潔に製造することができる。また、被分極体を絶縁オ
イル中に浸漬する必要がなく、絶縁オイルを除去するた
めの洗剤が不要であるため、環境への負荷を低減するこ
とのできる分極体の製造方法である。なお、高圧力気体
が高圧力空気であると、絶縁破壊電圧が高いため、分極
量を多くすることができ、しかも安全でコスト的にも有
利である。更に、本発明の分極体の製造方法は被分極体
が多孔質であっても、分極量の多い分極体を簡潔に製造
することができる。According to the method for producing a polarizing body of the present invention, a polarizing body with a large amount of polarization can be prepared without immersing it in insulating oil.
It can be manufactured simply. Further, since it is not necessary to immerse the polarized body in the insulating oil and a detergent for removing the insulating oil is not required, it is a method for manufacturing the polarizing body that can reduce the load on the environment. When the high-pressure gas is high-pressure air, the dielectric breakdown voltage is high, so that the polarization amount can be increased, which is safe and advantageous in cost. Further, the method for producing a polarized body of the present invention can simply produce a polarized body having a large amount of polarization even if the polarized body is porous.
【００６０】本発明の分極体の製造装置は、分極量の多
い分極体を簡潔に製造できる装置である。The apparatus for producing a polarized body of the present invention is an apparatus capable of simply producing a polarized body having a large amount of polarization.
【図1】 本発明の分極体製造装置の模式的断面図FIG. 1 is a schematic sectional view of an apparatus for manufacturing a polarizer according to the present invention.
【図2】 本発明の別の分極体製造装置の模式的断面図FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of another polarization body manufacturing apparatus of the present invention.
【図3】 本発明の更に別の分極体製造装置の模式的断
面図FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of still another polarizer manufacturing apparatus of the present invention.
【図4】 従来の分極体の製造方法を表す模式的概念図FIG. 4 is a schematic conceptual diagram showing a conventional method for manufacturing a polarizer.
１ａ、１ｂ 電極 ２ 高電圧電源 ３ 圧力容器 ４、４ａ、４ｂ 加圧装置 ５、５ａ、５ｂ 調圧バルブ ６ 被分極体 ７ 供給側気密室 ７ａ 大気側入口ドア ７ｂ 容器側入口ドア ８ 搬出側気密室 ８ａ 大気側出口ドア ８ｂ 容器側出口ドア ９ 絶縁オイル １０ａ、１０ｂ 電極 １１ 巻き出しロール １２ 巻き取りロール 1a, 1b electrodes 2 High voltage power supply 3 pressure vessels 4, 4a, 4b Pressurizing device 5, 5a, 5b Pressure regulating valve 6 Polarized body 7 Airtight chamber on the supply side 7a Atmosphere side entrance door 7b Container side entrance door 8 Airtight room on delivery side 8a Atmosphere side exit door 8b Container side exit door 9 insulating oil 10a, 10b electrodes 11 Unrolling roll 12 winding roll
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 41/18 １０２ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H01L 41/18 102
Claims (4)
以上の高圧力気体中で電界を作用させることにより、被
分極体を分極させて分極体とすることを特徴とする、分
極体の製造方法。1. The pressure is 0.2 MPa with respect to the polarized body.
A method for producing a polarized body, which comprises polarizing the polarized body by causing an electric field to act in the high-pressure gas.
特徴とする、請求項１記載の分極体の製造方法。2. The method for producing a polarizer according to claim 1, wherein an electric field is applied in high pressure air.
る、請求項１又は請求項２に記載の分極体の製造方法。3. The method for producing a polarizer according to claim 1, wherein the body to be polarized is porous.
界に被分極体を配置することのできる手段、電界を作用
させる被分極体の配置箇所を圧力が０．２ＭＰａ以上の
高圧力気体雰囲気とすることのできる手段、とを備えて
いることを特徴とする分極体の製造装置。4. A means capable of generating an electric field, a means capable of arranging an object to be polarized in the electric field, and a location where the object to be polarized to act the electric field is a high pressure gas atmosphere having a pressure of 0.2 MPa or more. An apparatus for manufacturing a polarizing body, comprising:
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