JP2003020272A - Method for producing dense scandia stabilized zirconia sheet - Google Patents

Method for producing dense scandia stabilized zirconia sheet

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JP2003020272A
JP2003020272A JP2001208326A JP2001208326A JP2003020272A JP 2003020272 A JP2003020272 A JP 2003020272A JP 2001208326 A JP2001208326 A JP 2001208326A JP 2001208326 A JP2001208326 A JP 2001208326A JP 2003020272 A JP2003020272 A JP 2003020272A
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Japan
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sheet
scandia
stabilized zirconia
slurry
strength
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JP2001208326A
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Japanese (ja)
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Kazuo Hata
和男 秦
Norikazu Aikawa
規一 相川
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Nippon Shokubai Co Ltd
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Nippon Shokubai Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing a scandia stabilized zirconia sheet which exhibits stable, excellent ion electrical conductivity, further has sufficient strength and high temperature durability on handling, and has excellent performance as the one for a solid electrolytic membrane of a fuel battery, an oxygen generator, an oxygen sensor, or the like. SOLUTION: In the method for producing the dense zirconia sheet stabilized by scandia, slurry for producing a green sheet in which the mean grain size (50 vol.% size) of solid components is 0.15 to 0.5 μm, and the 90 volume % size is 0.6 to 1.5 μm is used, and this slurry is formed into a sheet shape, and is then sintered, so that the dense scandia stabilized zirconia sheet in which the mean value of the grain size is 0.1 to 0.6 μm, and the coefficient of the variation thereof is <=50% can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はスカンジア安定化ジ
ルコニアシートの製法に関し、特に安定して優れたイオ
ン導電性を示し、ハンドリングに十分な機械的強度を有
すると共に高温耐久性に優れ、燃料電池や酸素発生器、
酸素センサーなどの固体電解質膜用として優れた性能を
有する緻密質のスカンジア安定化ジルコニアシートを製
造する方法に関するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for producing a scandia-stabilized zirconia sheet, and particularly shows stable and excellent ionic conductivity, has sufficient mechanical strength for handling, and is excellent in high-temperature durability, and is suitable for fuel cells and Oxygen generator,
The present invention relates to a method for producing a dense scandia-stabilized zirconia sheet having excellent performance for a solid electrolyte membrane such as an oxygen sensor.

【0002】[0002]

【従来の技術】固体電解質型燃料電池などの固体電解質
膜として、酸素イオン導電体であるイットリア安定化型
ジルコニアが広く検討されている。しかし、イットリア
安定化ジルコニアで高レベルの酸素イオン導電性を得る
には高温に保持しなければならず、作動温度を高めねば
ならないという難点がある。そこで、比較的低い温度で
も優れたイオン導電性を示す固体電解質材料として、酸
化スカンジウム(スカンジア)で安定化したジルコニア
も検討されている。
2. Description of the Related Art Yttria-stabilized zirconia, which is an oxygen ion conductor, has been widely studied as a solid electrolyte membrane for solid oxide fuel cells and the like. However, yttria-stabilized zirconia has a drawback that it must be kept at a high temperature to obtain a high level of oxygen ion conductivity, and the operating temperature must be increased. Therefore, zirconia stabilized with scandium oxide (scandia) has been investigated as a solid electrolyte material exhibiting excellent ionic conductivity even at a relatively low temperature.

【0003】ところがスカンジア安定化ジルコニアの機
械的強度は、イットリア安定化ジルコニアとほぼ同レベ
ル乃至やや劣るので、高導電率の特徴を有効に発揮させ
るには、高価な原料であるにもかかわらず膜厚を厚くし
なければならない。
However, the mechanical strength of scandia-stabilized zirconia is almost the same as or slightly inferior to that of yttria-stabilized zirconia. Therefore, in order to effectively exhibit the characteristics of high conductivity, the film is a expensive raw material. It must be thick.

【0004】一方、その様なスカンジア安定化ジルコニ
アを固体電解質膜として使用するには、膜厚を薄くする
ことが必要であり、実用的にはテープ成形による製造が
望ましい。ところがスカンジア安定化ジルコニアは、1
700℃以上の高温で焼成して焼結させる必要があり、
生産コストが高くなるばかりでなく、テープ成形体をこ
の様な高温で焼成すると、バルク体に比べて強度低下や
高温での耐久性が悪くなるという問題を生じる。
On the other hand, in order to use such scandia-stabilized zirconia as a solid electrolyte membrane, it is necessary to reduce the film thickness, and practically, tape molding is desirable. However, scandia-stabilized zirconia is 1
It is necessary to fire and sinter at a high temperature of 700 ° C or higher,
Not only the production cost becomes high, but when the tape molded body is fired at such a high temperature, there arises a problem that the strength is lowered and the durability at high temperature is deteriorated as compared with the bulk body.

【0005】また、イットリア安定化ジルコニアと同様
に、ゾルゲル法などにより調製された比表面積の大きい
原料を使用すると、比較的低温でも緻密化できるといわ
れており、例えば、特開平7−69721号や同7−7
3891号公報には、この様な方法で得られた粉体を用
いたプレス成形体が開示されている。しかしこの様な高
表面積の粉体原料では、プレス成形法による成形は可能
であるものの、テープ成形法により平坦で緻密質のシー
トに成形することは極めて困難である。しかも、これら
の公報に開示された方法を採用しても、イットリア安定
化ジルコニアの様には低温化できず、1500〜170
0℃といった高温で焼成しなければならない。これは、
スカンジア安定化ジルコニアがイットリア安定化ジルコ
ニアよりも凝集し易いためであり、凝集し易い原料粉体
からシート成形法により緻密体を得るには、その趣旨に
反して高温焼成が必要になる。
Further, like the yttria-stabilized zirconia, it is said that if a raw material having a large specific surface area prepared by the sol-gel method or the like is used, it can be densified even at a relatively low temperature. For example, JP-A-7-69721 and Same as 7-7
Japanese Patent No. 3891 discloses a press-molded body using the powder obtained by such a method. However, although such a high surface area powder raw material can be formed by the press forming method, it is extremely difficult to form a flat and dense sheet by the tape forming method. Moreover, even if the methods disclosed in these publications are adopted, the temperature cannot be lowered as in the case of yttria-stabilized zirconia, so that
It must be fired at a high temperature such as 0 ° C. this is,
This is because scandia-stabilized zirconia is more likely to agglomerate than yttria-stabilized zirconia, and in order to obtain a dense body by a sheet forming method from a raw material powder that is easily agglomerated, high temperature firing is required contrary to the spirit thereof.

【0006】また特開平6−107462号公報には、
ZrO2−Sc23−Al23の三元系金属酸化物から
なる酸素イオン導電体が開示されている。このセラミッ
クは、副ドーパントとして特定比率のAl23を添加
し、結晶構造を立方晶で安定化したもので、室温と作動
温度の間で構造変態を起こすことがなく、燃料電池用の
固体電解質膜としても実用可能な酸素イオン導電体を与
える。しかし、この方法で緻密体を得るには、例えば1
620℃程度の高温で60時間といった高温長時間の焼
成を行なわなければならず、テープ成形した場合、前述
したのと同様の問題が生じる。
Further, Japanese Patent Laid-Open No. 6-107462 discloses that
An oxygen ion conductor composed of a ternary metal oxide of ZrO 2 —Sc 2 O 3 —Al 2 O 3 is disclosed. This ceramic is a solid crystal for a fuel cell that does not undergo structural transformation between room temperature and operating temperature by adding a specific ratio of Al 2 O 3 as a subdopant and stabilizing the crystal structure by cubic crystal. It gives an oxygen ion conductor that can be used as an electrolyte membrane. However, in order to obtain a dense body by this method, for example,
It is necessary to perform baking at a high temperature of about 620 ° C. for a high temperature and a long time of 60 hours, and when tape molding is performed, the same problem as described above occurs.

【0007】また特開平7−69720号公報には、シ
ート状の固体電解質材料として高い導電率を有し且つ機
械的強度に優れた複合分散強化型固体電解質材を提供す
るための手段として、スカンジア安定化ジルコニアを主
成分とし、これにアルミナやムライトなどのを強化複合
材として分散する技術を開示している。しかし、この原
料を用いてテープ成形して得られるセラミックシート
も、強度および高温耐久性において必ずしも満足し得る
ものではなく、また緻密質のセラミックシートを得るに
は、焼成に1500〜1700℃といった高温を採用し
なければならず、工業的生産性において満足し得るもの
とは言い難い。
Further, in Japanese Patent Laid-Open No. 7-69720, as a means for providing a composite dispersion-strengthened solid electrolyte material having high electrical conductivity and excellent mechanical strength as a sheet-shaped solid electrolyte material, scandia is used. A technique is disclosed in which stabilized zirconia is used as a main component and alumina, mullite, or the like is dispersed as a reinforced composite material. However, the ceramic sheet obtained by tape molding using this raw material is not always satisfactory in strength and high temperature durability, and in order to obtain a dense ceramic sheet, high temperature such as 1500 to 1700 ° C. is required for firing. Must be adopted, and it is hard to say that it is satisfactory in industrial productivity.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の様な事
情に着目してなされたもので、その目的は、スカンジア
安定化ジルコニアシートにおける機械的強度と高温での
耐久性を改善し、安定して高い酸素イオン導電性を示す
スカンジア安定化ジルコニアシートをテープ成形法で効
率よく成形し、比較的低い焼成温度で工業的有利に製造
することのできる方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and its purpose is to improve the mechanical strength and durability at high temperature of a scandia-stabilized zirconia sheet, and to improve stability. Another object of the present invention is to provide a method by which a scandia-stabilized zirconia sheet exhibiting high oxygen ion conductivity can be efficiently formed by a tape forming method and can be produced industrially advantageously at a relatively low firing temperature.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決すること
のできた本発明の製法とは、スカンジアで安定化された
緻密質ジルコニアシートを製造する方法であって、固体
成分の平均粒子径(50体積%径)が0.15〜0.5
μm、90体積%径が0.6〜1.5μmであるグリー
ンシート製造用スラリーを使用し、これをシート状に成
形してから焼結することにより、グレインサイズの平均
値が0.1〜0.6μm、その変動係数が50%以下で
ある緻密質のスカンジア安定化ジルコニアシートを得る
ところに要旨を有している。
The manufacturing method of the present invention which has been able to solve the above-mentioned problems is a method for manufacturing a dense zirconia sheet stabilized with scandia, wherein the average particle size of solid components (50 Volume% diameter) is 0.15-0.5
By using a slurry for producing a green sheet having a diameter of 0.6 μm and a volume ratio of 90% by volume of 0.6 to 1.5 μm, and forming the same into a sheet and then sintering the slurry, the average grain size is 0.1 to 0.1 μm. The main point is to obtain a dense scandia-stabilized zirconia sheet having a coefficient of variation of 0.6 μm and a variation coefficient of 50% or less.

【0010】この方法によって製造される緻密質スカン
ジア安定化ジルコニアシートの原料となる粉末として、
比表面積が4〜20m2/gのものを使用すれば、より
緻密で安定した性能のものを確実に得ることができるの
で好ましい。
As a powder which is a raw material of a dense scandia-stabilized zirconia sheet produced by this method,
It is preferable to use the one having a specific surface area of 4 to 20 m 2 / g because it is possible to surely obtain a more dense and stable performance.

【0011】更に、セラミック成分としてTiO2,N
25,Ta25,MnO2から選択される1種または
2種以上の酸化物、またはLaAlO3,MgAl
24,Al2TiO5から選択される1種または2種以上
の酸化物を含む組成のものは、後述する如く強度や高温
耐久性においてより高レベルのものを得ることができる
ので好ましい。
Further, as a ceramic component, TiO 2 , N
one or more oxides selected from b 2 O 5 , Ta 2 O 5 and MnO 2 , or LaAlO 3 and MgAl
Those having a composition containing one or more kinds of oxides selected from 2 O 4 and Al 2 TiO 5 are preferable because higher levels of strength and high temperature durability can be obtained as described later.

【0012】本発明によって製造される緻密質のスカン
ジア安定化ジルコニアシートは、燃料電池や酸素発生
器、酸素センサーなどの固体電解質膜用としてその優れ
た特性を有効に活用するため、厚さが0.01〜0.5
mmで、面積が25cm2以上の薄膜シート状のものが
望ましい。
The dense scandia-stabilized zirconia sheet produced according to the present invention has a thickness of 0 in order to effectively utilize its excellent characteristics for solid electrolyte membranes such as fuel cells, oxygen generators and oxygen sensors. .01 to 0.5
A thin film sheet having a size of 25 mm 2 and an area of 25 cm 2 is desirable.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】上記の様に本発明者らは、スカン
ジアで安定化されたジルコニアシートを対象とし、該ス
カンジア安定化ジルコニアシートにおける機械的強度の
向上と高温での耐久性を改善すべく様々の角度から研究
を進めてきた。その結果、強度や高温での耐久性は、焼
結後のジルコニアシートのグレインサイズと大きな関係
を有しており、緻密質で該グレインサイズの平均値が好
適範囲にあり、且つその変動係数が極力小さいものは、
常温強度や高温での耐久性において極めて優れたものに
なることを知った。そして、この様なグレインサイズと
変動係数を満たすスカンジア安定化ジルコニアシートを
得るには、該シートの製造原料となるグリーンシート製
造用スラリーとして、固体成分の平均粒子径と90体積
%径を適正に制御することが有効であることを知り、上
記本発明に想到したものである。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION As described above, the inventors of the present invention are directed to scandia-stabilized zirconia sheets, and improve the mechanical strength and durability at high temperature of the scandia-stabilized zirconia sheets. We have been conducting research from various angles. As a result, the strength and durability at high temperature have a large relationship with the grain size of the zirconia sheet after sintering, the average value of the grain size in the dense material is in a suitable range, and the coefficient of variation is Those that are as small as possible
I learned that it will be extremely excellent in room temperature strength and high temperature durability. Then, in order to obtain a scandia-stabilized zirconia sheet satisfying such a grain size and a coefficient of variation, an average particle diameter and a 90 volume% diameter of solid components are appropriately used as a slurry for producing a green sheet which is a raw material for manufacturing the sheet. The inventors of the present invention have come up with the present invention, knowing that control is effective.

【0014】本発明においては、スカンジア安定化ジル
コニアシートとしてのグレインサイズの平均値が0.1
〜0.6μm、好ましくは、その変動係数が50%以下
であることが、高強度と高温耐久性を確保する上で重要
となる。ちなみに、グレインサイズの平均値が0.1μ
m未満のものは、焼結不足で緻密化されていないため充
分な強度が得られず、一方、該平均値が0.6μmを超
えるものでは、主として強度や高温耐久性が不足気味に
なるからである。また、変動係数が50%を上回るもの
は、焼結体中のグレインサイズの分布が広いため強度や
高温耐久性が悪くなると共に、ワイブル係数が10以下
に低下する傾向が見られる。ここでワイブル係数とは、
強度バラツキの度合いを反映する定数とみなされ、この
値が低いものはバラツキが大きく信頼性の乏しいものと
評価される。
In the present invention, the average grain size of the scandia-stabilized zirconia sheet is 0.1.
.About.0.6 .mu.m, preferably a coefficient of variation of 50% or less is important for ensuring high strength and high temperature durability. By the way, the average grain size is 0.1μ
If it is less than m, sufficient strength cannot be obtained because it is not densified due to insufficient sintering, while on the other hand, if the average value exceeds 0.6 μm, mainly strength and high temperature durability tend to be insufficient. Is. If the coefficient of variation exceeds 50%, the grain size distribution in the sintered body is wide and the strength and high temperature durability deteriorate, and the Weibull coefficient tends to decrease to 10 or less. Here, the Weibull coefficient is
It is considered to be a constant that reflects the degree of strength variation, and the one with a low value is evaluated as having a large variation and poor reliability.

【0015】機械的強度や高温耐久性などを総合的に考
慮してより好ましいグレインサイズは、その平均値が
0.2〜0.5μm、更に好ましくは、その90%値
(90%径)が1μm以下である。
A more preferable grain size in consideration of mechanical strength, high temperature durability, etc., has an average value of 0.2 to 0.5 μm, and more preferably 90% value (90% diameter). It is 1 μm or less.

【0016】ここでセラミックシート中のグレインサイ
ズは、スカンジア安定化ジルコニアシートの表面を走査
型電子顕微鏡(10,000〜20,000倍)で写真
撮影し、写真視野内の全グレインの大きさをノギスで測
定した値を元に、個々のデータを集計して全グレインの
平均値と90%値、および変動係数を個数基準で求めた
ものである。なおグレインサイズをノギスで測定する際
に、写真視野の端縁に位置してグレイン全体が現れてい
ないものは測定対象から外し、また縦・横方向寸法の異
なるグレインについては、長径と短径の平均値をそのグ
レインサイズとする。
The grain size in the ceramic sheet is determined by taking a photograph of the surface of the scandia-stabilized zirconia sheet with a scanning electron microscope (10,000 to 20,000 times) and measuring the size of all grains in the visual field. Based on the values measured with a caliper, individual data are aggregated to obtain the average value and 90% value of all grains and the coefficient of variation on a number basis. When measuring the grain size with a caliper, those that are located at the edge of the photographic field and do not show the entire grain are excluded from the measurement target.For grains with different vertical and horizontal dimensions, the major and minor axes are Let the average value be the grain size.

【0017】また本発明でいう強度とは、JIS R1
601の規定に準拠し室温(15〜30℃)で測定した
3点曲げ強度をいい、高温耐久性とは950℃で100
0時間以上保持した後に測定した強度の経時変化が小さ
いものをいう。
The strength as used in the present invention means JIS R1.
The three-point bending strength measured at room temperature (15 to 30 ° C) according to the regulations of 601, and the high temperature durability is 100 at 950 ° C.
It refers to one having a small change in strength over time measured after holding for 0 hour or more.

【0018】この様に本発明のスカンジア安定化ジルコ
ニアシートは、焼結状態でのグレインサイズの平均値と
その変動係数、好ましくは更に90%値を制御すること
で、常温強度および高温耐久性において優れた特性を示
すので、例えば燃料電池や酸素発生器、酸素センサーな
どの固体電解質膜用などとして有効に活用できる。
As described above, in the scandia-stabilized zirconia sheet of the present invention, by controlling the average value of the grain size in the sintered state and its variation coefficient, preferably 90% value, the room temperature strength and the high temperature durability are improved. Since it has excellent characteristics, it can be effectively used for solid electrolyte membranes such as fuel cells, oxygen generators, and oxygen sensors.

【0019】上記グレインサイズの平均値や変動係数を
満たす緻密質のスカンジア安定化ジルコニアシートを得
る上で重要なことは、該グリーンシートを製造する際の
スラリー中に含まれる固形成分の粒度構成であり、該粒
度構成が、平均粒子径(50体積%径)で0.15μm
以上、0.5μm以下、90体積%径で0.6μm以
上、1.5μm以下の要件を満たすスラリーを使用する
ことが、前記好適グレインサイズの要件を満たす緻密質
のスカンジア安定化ジルコニアシートを得る上で極めて
重要となる。上記スラリー中に含まれる固形成分のより
好ましい粒度構成は、平均粒子径(50体積%径)で
0.2μm以上、0.4μm以下、90体積%径で0.
8μm以上、1.2μm以下である。
What is important in obtaining a dense scandia-stabilized zirconia sheet satisfying the above-mentioned average grain size and coefficient of variation is the particle size composition of the solid components contained in the slurry when the green sheet is produced. The average particle size (50% by volume) is 0.15 μm.
As described above, using a slurry satisfying the requirements of 0.5 μm or less and 0.6 μm or more and 1.5 μm or less at 90 volume% diameter gives a dense scandia-stabilized zirconia sheet satisfying the requirements of the preferred grain size. Will be extremely important above. A more preferable particle size constitution of the solid component contained in the slurry is 0.2 μm or more and 0.4 μm or less in average particle diameter (50 volume% diameter), and 0.
It is 8 μm or more and 1.2 μm or less.

【0020】ここで50%体積径とは、粒子径に対する
積算体積分布曲線を粒子径の小さい方から作製し、その
分布における50体積%のところの粒子径をいう。同様
に90体積径とは、90体積%のところの粒子径をい
う。
Here, the 50% volume diameter means a particle diameter at 50% by volume in the distribution in which a cumulative volume distribution curve for the particle diameter is prepared from the smaller particle diameter. Similarly, 90 volume diameter means the particle diameter at 90 volume%.

【0021】ちなみに、スラリー中の平均粒子径が上記
範囲を外れると、スラリー調製時に多量のバインダーを
配合しなければならず、グリーンシート状に成形した後
の脱脂工程でシートに反りやウネリが生じ易くなり、ま
た90体積%径が上記範囲を超えると、粒度分布がブロ
ードになって成形体の粒子間に隙間ができ易くなり、緻
密なスカンジア安定化ジルコニアシートが得られ難くな
る。
By the way, when the average particle diameter in the slurry is out of the above range, a large amount of binder has to be blended at the time of preparing the slurry, and the sheet is warped or swelled in the degreasing step after being formed into a green sheet. If the 90% by volume diameter exceeds the above range, the particle size distribution becomes broad and gaps are easily formed between particles of the molded body, and it becomes difficult to obtain a dense scandia-stabilized zirconia sheet.

【0022】これらスラリー中の固形分の粒度構成を規
定し、それによりシャープな粒度構成を確保すること
で、より低温で焼成した場合でも緻密化を可能とし、緻
密質で且つ適切なグレインサイズのジルコニアシートを
得ることができる。
By defining the particle size composition of the solid content in these slurries and thereby ensuring a sharp particle size composition, it becomes possible to densify even when fired at a lower temperature, and to obtain a dense and appropriate grain size. A zirconia sheet can be obtained.

【0023】なお上記スラリーの調製に当たっては、配
合原料と分散媒をボールミル等にかけて均一に混練粉砕
する方法が採用されるが、該混練条件(分散剤の種類や
添加量などを含む)によっては、該スラリー調製過程で
原料粉末の一部が2次凝集を起こしたり、一部は更に粉
砕されるので、原料粉末の粒度構成がそのままスラリー
中の固形成分の粒度構成と同じになる訳ではない。
In the preparation of the above-mentioned slurry, a method of uniformly kneading and blending the blended raw material and the dispersion medium in a ball mill or the like is adopted, but depending on the kneading conditions (including the kind and addition amount of the dispersant), In the slurry preparation process, a part of the raw material powder undergoes secondary agglomeration or a part of the raw material powder is further pulverized, so that the particle size composition of the raw material powder does not become the same as that of the solid component in the slurry.

【0024】そして、スラリー状態で上記好適粒度構成
を確保するには、該スラリーを構成する原料粉末とし
て、該スラリーを調製する前の原料粉末全体の比表面積
が4m 2/g以上、20m2/g以下、より好ましくは5
2/g以上、15m2/g以下のものを使用することが
望ましい。ちなみに、原料粉末の比表面積が4m2/g
未満では、スラリー調製時に過大なシェアーをかけて該
原料粉末を更に粉砕しなければ、スラリー状態で適切な
粒度構成を確保し難くなり、また原料粉末の比表面積が
15m2/gを超えるものでは、原料粉末が2次凝集を
起こし易くなり、スラリー状態での粒度構成がかえって
粗くなる傾向が生じてくるからである。
Then, the above-mentioned preferable particle size composition in a slurry state
In order to secure the
The specific surface area of the entire raw material powder before preparing the slurry
Is 4m 2/ G or more, 20m2/ G or less, more preferably 5
m2/ G or more, 15m2/ G or less can be used
desirable. By the way, the specific surface area of the raw material powder is 4m.2/ G
If it is less than the above, an excessive share is applied when the slurry is prepared.
If the raw material powder is not crushed further, it is suitable in a slurry state.
It becomes difficult to secure the particle size composition, and the specific surface area of the raw material powder is
15m2> / G, the raw material powder may cause secondary agglomeration.
It becomes easier to cause the particle size composition in the slurry state
This is because there is a tendency to become rough.

【0025】ここで、原料粉末全体の比表面積とは、組
成に従った比率で原料粉末を秤り取ってこれを一つの測
定セルに入れ、その混合粉体の比表面積を、BET法に
基づき窒素を物理吸着させることによって測定した値で
ある。
Here, the specific surface area of the whole raw material powder means that the raw material powder is weighed in a ratio according to the composition, put into one measuring cell, and the specific surface area of the mixed powder is determined by the BET method. It is a value measured by physically adsorbing nitrogen.

【0026】前述の如く、従来、より低温で焼結させる
ための方法として、ゾルゲル法や共沈法によって得られ
る沈殿物を800℃以下の温度で焼成して得られた粉
体、例えば20m2/g以上の大きな比表面積を有する
粉体を用いることが行われてきた。事実、例えば特開平
7−69721号公報に記載されている如く、高比表面
積の粉体を使用すれば、圧力をかけて成形する方法、例
えばプレス成形法によって緻密化することが可能であ
る。ところがこの場合でも、低温焼成では十分に緻密化
することができず、1500℃以上の高温焼成が必要と
なる。
As described above, as a conventional method for sintering at a lower temperature, a powder obtained by firing a precipitate obtained by a sol-gel method or a coprecipitation method at a temperature of 800 ° C. or lower, for example, 20 m 2. It has been practiced to use a powder having a large specific surface area of not less than / g. In fact, as described in JP-A-7-69721, for example, if powder having a high specific surface area is used, it is possible to densify by a method of applying pressure, for example, a press molding method. However, even in this case, low-temperature firing cannot sufficiently densify, and high-temperature firing at 1500 ° C. or higher is required.

【0027】前述の如く、比表面積の大きい粉体は凝集
体を形成し易く、該凝集体が圧壊されることのないテー
プ成形法では、緻密なグリーン体が得られ難くなるとい
う問題を生じてくる。
As described above, powder having a large specific surface area easily forms agglomerates, and a tape molding method in which the agglomerates are not crushed causes a problem that it becomes difficult to obtain a dense green body. come.

【0028】即ちテープ成形法を採用する際には、スラ
リー状態で凝集物を極力生じさせない様にし、且つ、適
度の平均粒子径範囲に納まるスラリーを調製するかが重
要なポイントとなる。しかし、これまでこうした観点か
ら検討した例はあまりなく、緻密度の高いジルコニア系
シートをテープ成形法によって製造することは意外に難
しかったのである。
That is, when the tape molding method is adopted, it is important to prevent agglomerates from being generated in a slurry state as much as possible and to prepare a slurry having an appropriate average particle diameter range. However, there have been few examples examined from this point of view so far, and it was surprisingly difficult to manufacture a zirconia-based sheet having a high density by a tape molding method.

【0029】こうした傾向は、イットリア安定化ジルコ
ニアよりも凝集し易く、粒子径の調整が困難なスカンジ
ア安定化ジルコニアではより顕著に現われる。
This tendency is more remarkable in scandia-stabilized zirconia, which is more likely to aggregate than yttria-stabilized zirconia and whose particle diameter is difficult to control.

【0030】よって本発明を実施するに当たっては、ス
ラリーを調製する前の原料粉末として比表面積が4m2
/g以上、20m2/g以下のもの、より好ましくは、
ゾルゲル法や共沈法によって得られる沈殿物に、有機溶
媒や分散剤あるいはpH調整剤を加えてから乾燥したも
のを使用するのがよく、それにより、その後で調製する
スラリー中の固体成分の粒子径を前述した範囲に調整し
易くなる。
Therefore, in carrying out the present invention, the raw material powder before preparing the slurry has a specific surface area of 4 m 2
/ G or more and 20 m 2 / g or less, more preferably,
Precipitates obtained by the sol-gel method or co-precipitation method should be used after adding an organic solvent, a dispersant or a pH adjusting agent, and then drying, so that the particles of the solid component in the slurry to be prepared later are used. It becomes easy to adjust the diameter within the above range.

【0031】また、原料粉末をバインダー成分や分散媒
などと混合してスラリーを調製する際には、例えばボー
ルミルやアジテータ等を使用し、粗大粒子や2次凝集物
を粉砕しながら均一に分散させることが望ましい。また
ボールミル等を用いて粉砕と分散を行なう際には、好ま
しくない異物の混入を極力避けるためジルコニア質のメ
ディアを用いるのが良い。
When the raw material powder is mixed with a binder component, a dispersion medium, etc. to prepare a slurry, for example, a ball mill, an agitator or the like is used, and coarse particles or secondary agglomerates are crushed and uniformly dispersed. Is desirable. Further, when crushing and dispersing using a ball mill or the like, it is preferable to use a zirconia-based medium in order to avoid undesired inclusion of foreign matter as much as possible.

【0032】なお、スラリー中の固形分の粒度構成と
は、下記の方法で測定した値をいう。即ち、島津製作所
製のレーザー回折式粒度分布測定装置「SALD−11
00」を使用し、スラリー中の分散媒と同じ組成の溶剤
を分散媒として希釈し、1分間超音波処理して分散させ
た後の測定値である。
The particle size composition of the solid content in the slurry means the value measured by the following method. That is, a laser diffraction particle size distribution analyzer “SALD-11” manufactured by Shimadzu Corporation
“00” is used, a solvent having the same composition as the dispersion medium in the slurry is diluted as a dispersion medium, and ultrasonically treated for 1 minute to disperse the dispersion medium.

【0033】そして、本発明に係る緻密質のスカンジア
安定化ジルコニアシートを成形する方法としては、テー
プ成形法が好ましく、より好ましくはドクターブレード
法やカレンダー法である。即ち、前述したセラミックス
原料粉末、バインダーと添加剤および分散媒からなるス
ラリーを、支持板やキャリヤフィルム上に敷き延べてシ
ート状に成形し、これを乾燥し分散媒を揮発させてグリ
ーンシートを得、これを切断、パンチング等により適当
なサイズに揃えた後、棚板上の多孔質セッターに載置し
て1200〜1500℃、好ましくは1250〜142
5℃程度の温度で1〜5時間程度加熱焼成する方法が採
用される。
The method for molding the dense scandia-stabilized zirconia sheet according to the present invention is preferably a tape molding method, more preferably a doctor blade method or a calender method. That is, a slurry comprising the above-mentioned ceramic raw material powder, a binder, an additive and a dispersion medium is spread on a support plate or a carrier film and formed into a sheet, which is dried to volatilize the dispersion medium to obtain a green sheet. After this is cut, punched or the like to have an appropriate size, it is placed on a porous setter on a shelf plate and placed at 1200 to 1500 ° C., preferably 1250 to 142.
A method of heating and firing at a temperature of about 5 ° C. for about 1 to 5 hours is adopted.

【0034】該焼成時の温度が1500℃を超えると、
焼成シートのグレインサイズが大きくなって本発明で意
図する適正なグレインサイズを確保し難くなるばかりで
なく、焼結体中に菱面体晶や単斜晶が生成し、常温での
強度と高温耐久性が共に悪くなる。一方、焼成温度が1
200℃未満では、焼結不足となって緻密質のシートが
得られ難くなり、強度不足になるだけでなく、ガスを透
過してしまうようになる。しかし上記好適温度範囲で焼
成を行なうと、単斜晶や菱面体の生成が抑制されると共
に、焼成シートの密度は理論密度の97%以上、より好
ましくは99%以上となり、優れた常温強度と高温耐久
性に優れた焼結体シートとなる。
When the temperature at the time of firing exceeds 1500 ° C.,
Not only is it difficult to secure the proper grain size intended by the present invention because the grain size of the fired sheet becomes large, but also rhombohedral and monoclinic crystals are formed in the sintered body, resulting in strength at room temperature and high temperature durability. Both sex become worse. On the other hand, the firing temperature is 1
If the temperature is lower than 200 ° C., it becomes difficult to obtain a dense sheet due to insufficient sintering, resulting in insufficient strength and gas permeation. However, if the firing is carried out in the above-mentioned preferable temperature range, the formation of monoclinic crystals and rhombohedra is suppressed, and the density of the fired sheet becomes 97% or more, more preferably 99% or more of the theoretical density, which is excellent in room temperature strength. The sintered body sheet has excellent high temperature durability.

【0035】何れにしても本発明では、上述の如くスラ
リー中の粒子径を規定することで、従来技術に比べてか
なり低い焼成温度であっても容易に緻密化することがで
き、得られるジルコニアシートのグレインサイズの微細
化と適切な制御が可能となる。これにより、結晶構造が
安定し、常温強度や高温耐久性の向上、更には酸素イオ
ン導電性の一層の向上に寄与するばかりでなく、焼成に
要する設備費や熱エネルギーの低減を図ることができ
る。
In any case, in the present invention, by defining the particle size in the slurry as described above, it is possible to easily densify even at a firing temperature considerably lower than in the prior art, and to obtain the obtained zirconia. It is possible to reduce the grain size of the sheet and control it appropriately. This stabilizes the crystal structure and contributes not only to improvement of room temperature strength and high temperature durability and further improvement of oxygen ion conductivity, but also reduction of equipment cost and thermal energy required for firing. .

【0036】この焼成工程では、反りやうねりなどの変
形を生じることなく平坦度の高い薄肉シート状の焼結体
を得るための手段として、例えば通気性が0.0005
m/s・kPa以上である多孔質シート間に、前記グリーンシ
ートをその周縁がはみ出さない様に挟み込んで焼成し、
あるいは上記多孔質シートを前記グリーンシートの周縁
がはみ出さない様に載せてから焼成を行なうことが望ま
しい。
In this firing step, as a means for obtaining a thin-walled sheet-shaped sintered body having a high degree of flatness without causing deformation such as warping or waviness, for example, air permeability is 0.0005.
Between the porous sheets of m / s · kPa or more, the green sheet is sandwiched and baked so that the peripheral edge thereof does not protrude, and fired.
Alternatively, it is desirable that the porous sheet is placed so that the peripheral edge of the green sheet does not protrude, and then firing is performed.

【0037】かくして得られる本発明に係る緻密質スカ
ンジア安定化ジルコニアシートは、高度の熱的、機械
的、電気的、化学的特性を有しており、例えば燃料電池
や酸素発生器、酸素センサーの固体電解質膜用などとし
て使用されるが、特に燃料電池の固体電解質膜用として
実用化する場合は、要求強度を満たしつつ、内部抵抗値
を可及的に抑えて発電効率を向上させるため、シート厚
さを0.01mm以上、より好ましくは0.02mm以
上で、0.5mm以下、より好ましくは0.2mm以
下、更に好ましくは0.1mm以下とするのがよい。
The thus obtained dense scandia-stabilized zirconia sheet according to the present invention has a high degree of thermal, mechanical, electrical and chemical properties, for example, for fuel cells, oxygen generators and oxygen sensors. It is used as a solid electrolyte membrane, but especially when it is put to practical use for a solid electrolyte membrane of a fuel cell, while satisfying the required strength, the internal resistance value is suppressed as much as possible to improve power generation efficiency. The thickness is preferably 0.01 mm or more, more preferably 0.02 mm or more and 0.5 mm or less, more preferably 0.2 mm or less, and further preferably 0.1 mm or less.

【0038】大きさは特に制限されないが、実用規模で
十分な発電容量の燃料電池などを得るには、25cm2
程度以上のサイズとすることが望ましい。本発明では、
サイズが60cm2以上、更には100cm2以上の大き
い面積のシートを製造する際により有効となる。またシ
ートの形状としては、正方形や長方形、円盤状、もしく
は中央部に穴が形成されたドーナツ状などが最も一般的
であるが、任意の多角形状や穴明き多角形状など、その
他の形状のものが排除されないことは言うまでもない。
The size is not particularly limited, but in order to obtain a fuel cell having a sufficient power generation capacity on a practical scale, 25 cm 2
It is desirable that the size is about the same or larger. In the present invention,
It is more effective in producing a large-area sheet having a size of 60 cm 2 or more, further 100 cm 2 or more. The most common sheet shape is a square, rectangle, disk shape, or donut shape with a hole formed in the center, but any other polygonal shape, such as a perforated polygonal shape, can be used. It goes without saying that things are not excluded.

【0039】なお、スラリーを調製する際に用いられる
バインダーの種類に格別の制限はなく、従来から知られ
た有機質もしくは無機質のバインダーを適宜選択して使
用することができる。有機質バインダーとしては、例え
ばエチレン系共重合体、スチレン系共重合体、アクリレ
ート系及びメタクリレート系共重合体、酢酸ビニル系共
重合体、マレイン酸系共重合体、ビニルブチラール系樹
脂、ビニルアセタール系樹脂、ビニルホルマール系樹
脂、ビニルアルコール系樹脂、ワックス類、エチルセル
ロース等のセルロース類等が例示される。
There are no particular restrictions on the type of binder used when preparing the slurry, and conventionally known organic or inorganic binders can be appropriately selected and used. Examples of the organic binder include ethylene-based copolymers, styrene-based copolymers, acrylate-based and methacrylate-based copolymers, vinyl acetate-based copolymers, maleic acid-based copolymers, vinyl butyral-based resins, vinyl acetal-based resins. , Vinyl formal resin, vinyl alcohol resin, waxes, celluloses such as ethyl cellulose, and the like.

【0040】これらの中でもグリーンシートを得る際の
成形性や強度、焼成時の熱分解性等の点から、メチルア
クリレート、エチルアクリレート、プロピルアクリレー
ト、ブチルアクリレート、イソブチルアクリレート、シ
クロヘキシルアクリレート、2−エチルヘキシルアクリ
レート等の炭素数10以下のアルキル基を有するアルキ
ルアクリレート類;メチルメタクリレート、エチルメタ
クリレート、ブチルメタクリレート、イソブチルメタク
リレート、オクチルメタクリレート、2−エチルヘキシ
ルメタクリレート、デシルメタクリレート、ドデシルメ
タクリレート、ラウリルメタクリレート、シクロヘキシ
ルメタクリレート等の炭素数20以下のアルキル基を有
するアルキルメタクリレート類;ヒドロキシエチルアク
リレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキ
シエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリ
レート等のヒドロキシアルキル基を有するヒドロキシア
ルキルアクリレートまたはヒドロキシアルキルメタクリ
レート類;ジメチルアミノエチルアクリレート、ジメチ
ルアミノエチルメタクリレート等のアミノアルキルアク
リレートまたはアミノアルキルメタクリレート類;(メ
タ)アクリル酸、マレイン酸、モノイソプロピルマレー
トの如きマレイン酸半エステル等のカルボキシル基含有
モノマー;などの少なくとも1種を重合または共重合さ
せることによって得られる、数平均分子量が20,00
0〜200,000、より好ましくは50,000〜1
00,000の(メタ)アクリレート系共重合体が好ま
しいものとして推奨される。これらの有機質バインダー
は、単独で使用し得る他、必要により2種以上を適宜組
み合わせて使用することができる。特に好ましいのはイ
ソブチルメタクリレートおよび/または2−エチルヘキ
シルメタクリレートを60質量%以上含むモノマーの重
合体である。
Among these, methyl acrylate, ethyl acrylate, propyl acrylate, butyl acrylate, isobutyl acrylate, cyclohexyl acrylate, and 2-ethylhexyl acrylate are preferable from the viewpoints of moldability and strength when obtaining a green sheet, thermal decomposability during firing, and the like. Alkyl acrylates having an alkyl group having 10 or less carbon atoms such as; methyl methacrylate, ethyl methacrylate, butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, octyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, decyl methacrylate, dodecyl methacrylate, lauryl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, etc. Alkyl methacrylates having 20 or less alkyl groups; hydroxyethyl acrylate, hydro Hydroxyalkyl acrylates or hydroxyalkylmethacrylates having hydroxyalkyl groups such as cypropylacrylate, hydroxyethylmethacrylate, hydroxypropylmethacrylate; aminoalkylacrylates or aminoalkylmethacrylates such as dimethylaminoethylacrylate, dimethylaminoethylmethacrylate; (meth) A number average molecular weight of 20,000, obtained by polymerizing or copolymerizing at least one kind of a carboxyl group-containing monomer such as acrylic acid, maleic acid, maleic acid half ester such as monoisopropyl maleate;
0 to 200,000, more preferably 50,000 to 1
A 0,000 (meth) acrylate-based copolymer is recommended as preferred. These organic binders may be used alone or in combination of two or more kinds, if necessary. Particularly preferred is a polymer of a monomer containing 60% by mass or more of isobutyl methacrylate and / or 2-ethylhexyl methacrylate.

【0041】また無機質バインダーとしては、ジルコニ
アゾル、シリカゾル、アルミナゾル、チタニアゾル等が
単独で若しくは2種以上組み合わせて使用できる。
As the inorganic binder, zirconia sol, silica sol, alumina sol, titania sol or the like can be used alone or in combination of two or more kinds.

【0042】原料粉末とバインダーの使用比率は、前者
100質量部に対して後者5〜30質量部、より好まし
くは10〜20質量部の範囲が好適であり、バインダー
の使用量が不足する場合は、グリーンシートの強度や柔
軟性が不十分となり、逆に多過ぎる場合はスラリーの粘
度調節が困難になるばかりでなく、焼成時のバインダー
成分の分解放出が多く且つ激しくなって均質で平坦な焼
結体シートが得られ難くなる。
The ratio of the raw material powder to the binder used is preferably in the range of 5 to 30 parts by mass, more preferably 10 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the former, and when the amount of binder used is insufficient. However, if the strength and flexibility of the green sheet are insufficient and, on the contrary, too much, it becomes difficult to control the viscosity of the slurry, and the decomposition and release of the binder component during firing become large and violent, resulting in a homogeneous and flat firing. It becomes difficult to obtain a united sheet.

【0043】またスラリー調製に使用される溶媒として
は、水;メタノール、エタノール、2−プロパノール、
1−ブタノール、1−ヘキサノール等のアルコール類;
アセトン、2−ブタノン等のケトン類;ペンタン、ヘキ
サン、ヘプタン等の脂肪族炭化水素類;ベンゼン、トル
エン、キシレン、エチルベンゼン等の芳香族炭化水素
類;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等の酢酸エス
テル類等が適宜選択して使用される。これらの溶媒も単
独で使用し得る他、2種以上を適宜混合して使用するこ
とができる。これら溶媒の使用量は、グリーンシート成
形時におけるスラリーの粘度を加味して適当に調整すれ
ばよい。成形時の好ましいスラリー粘度は0.5〜10
Pa・s、より好ましくは1〜5Pa・sの範囲であ
る。
As the solvent used for preparing the slurry, water; methanol, ethanol, 2-propanol,
Alcohols such as 1-butanol and 1-hexanol;
Ketones such as acetone and 2-butanone; aliphatic hydrocarbons such as pentane, hexane and heptane; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene and ethylbenzene; acetic acid esters such as methyl acetate, ethyl acetate and butyl acetate Classes are appropriately selected and used. These solvents may be used alone, or two or more kinds may be appropriately mixed and used. The amount of these solvents used may be appropriately adjusted in consideration of the viscosity of the slurry at the time of forming the green sheet. The preferable slurry viscosity at the time of molding is 0.5 to 10
Pa · s, more preferably 1 to 5 Pa · s.

【0044】上記スラリーの調製に当たっては、原料粉
末の解膠や分散を促進するため、ポリアクリル酸、ポリ
アクリル酸アンモニウム等の高分子電解質、クエン酸、
酒石酸等の有機酸、イソブチレンまたはスチレンと無水
マレイン酸との共重合体およびそのアンモニウム塩ある
いはアミン塩、ブタジエンと無水マレイン酸との共重合
体およびそのアンモニウム塩等の分散剤;未焼成グリー
ンシートに柔軟性を付与するためのフタル酸ジブチル、
フタル酸ジオクチル等のフタル酸エステル類、プロピレ
ングリコール等のグリコール類やグリコールエーテル類
などの可塑剤;更には界面活性剤や消泡剤などを必要に
応じて添加することができる。
In the preparation of the above-mentioned slurry, polyacrylic acid, a polymer electrolyte such as ammonium polyacrylate, citric acid
Organic acid such as tartaric acid, copolymer of isobutylene or styrene and maleic anhydride and its ammonium salt or amine salt, dispersant of copolymer of butadiene and maleic anhydride and its ammonium salt; Dibutyl phthalate for imparting flexibility,
Phthalates such as dioctyl phthalate, plasticizers such as glycols such as propylene glycol and glycol ethers; and surfactants and defoamers can be added as required.

【0045】本発明では、スカンジアで安定化されたジ
ルコニアシートを対象とするが、高い強度を確保する上
で好ましいのは結晶構造が正方晶で、2〜6モル%程度
のスカンジアで安定化されたジルコニア系セラミックで
ある。即ちスカンジアの含有率が2モル%未満のもので
は、焼結体の結晶構造に単斜晶系の割合が多くなり、ジ
ルコニアの安定化が不十分となって常温での強度および
高温耐久性が不足気味となる。一方、6モル%以上含有
するものは、より高い導電率を示すものの、正方晶の割
合が低くなって強度が低下するので、シート厚を厚くし
なければならなくなる。
The present invention is directed to scandia-stabilized zirconia sheets, but in order to ensure high strength, the tetragonal crystal structure is preferable and it is stabilized with about 2 to 6 mol% scandia. It is a zirconia-based ceramic. That is, if the scandia content is less than 2 mol%, the proportion of the monoclinic system in the crystal structure of the sintered body is large, the stabilization of zirconia is insufficient, and the strength at room temperature and the high temperature durability are improved. I feel like I'm running short. On the other hand, those containing 6 mol% or more show higher conductivity, but the proportion of tetragonal crystals decreases and the strength decreases, so the sheet thickness must be increased.

【0046】適量のスカンジアによる高温安定化効果を
有効に発揮させると共に、焼結体のグレインサイズ及び
その分布を極力小さくして高強度と高温耐久性を確保す
る上でより好ましいのは、結晶構造が正方晶を主体とす
るものではスカンジアの含有率が、3.5モル%以上
で、5.0モル%以下である。
In order to effectively exert the high temperature stabilization effect by an appropriate amount of scandia, and to minimize the grain size and its distribution of the sintered body to ensure high strength and high temperature durability, it is more preferable to have a crystal structure. In those containing mainly tetragonal crystals, the scandia content is 3.5 mol% or more and 5.0 mol% or less.

【0047】また本発明においては、結晶系を安定化さ
せ、常温強度や高温耐久性を一層高め、あるいは焼結性
を高めて緻密質化を増進するため、原料粉末中にTiO
2、Nb25、Ta25、MnO2、Al23、LaAl
3、MgAl24、Al2TiO5等を適量含有させる
ことも有効である。これらは単独で配合し得る他、必要
により2種以上を適宜組合わせて併用できる。原料粉末
中にこれらを含有させることで、当該酸化物がより均一
に分散されたスカンジア安定化ジルコニアシートを製造
することができる。
Further, in the present invention, in order to stabilize the crystal system, further enhance the room temperature strength and the high temperature durability, or enhance the sinterability to improve the densification, the TiO 2 content in the raw material powder is increased.
2 , Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , MnO 2 , Al 2 O 3 , LaAl
It is also effective to contain an appropriate amount of O 3 , MgAl 2 O 4 , Al 2 TiO 5, and the like. These may be blended alone, or may be used in combination of two or more kinds if necessary. By including these in the raw material powder, it is possible to produce a scandia-stabilized zirconia sheet in which the oxide is more uniformly dispersed.

【0048】即ちこれらの酸化物は焼結助剤として作用
し、スカンジア安定化ジルコニア系セラミックの焼結温
度を降下させ、その結果として焼結工程でのグレイン粒
子の成長を抑制するものと予測される。これらの酸化物
は、スカンジア安定化ジルコニア系セラミック中で粒界
付近に存在し、高温に長時間曝しても粒子同士が焼結し
てグレインが粗大化するのを防ぐと共に、結晶相も正方
晶から単斜晶への転移を抑制し、高温耐久性の向上にも
寄与する。
That is, it is predicted that these oxides act as a sintering aid to lower the sintering temperature of the scandia-stabilized zirconia-based ceramic, and as a result, suppress the growth of grain particles in the sintering process. It These oxides are present near grain boundaries in scandia-stabilized zirconia-based ceramics, and prevent grains from coarsening due to sintering of grains even when exposed to high temperature for a long time, and the crystal phase is also tetragonal. It also suppresses the transition from to monoclinic crystals and contributes to the improvement of high temperature durability.

【0049】こうした作用を有効に発揮させるには、ス
カンジア安定化ジルコニア中の[ジルコニア+スカンジ
ア]の合計100モル%の質量に対して、0.05質量
%以上、2.0質量%以下、より好ましくは0.5質量
%以下の範囲で含有させることが望ましい。
In order to exert such an effect effectively, 0.05 mass% or more and 2.0 mass% or less based on the total mass of 100 mol% of [zirconia + scandia] in scandia-stabilized zirconia, It is desirable that the content be 0.5% by mass or less.

【0050】[0050]

【実施例】以下、実施例、比較例を挙げて本発明をより
具体的に説明するが、本発明はもとより下記実施例によ
って制限を受けるものではなく、前・後記の趣旨に適合
し得る範囲で適当に変更して実施することも可能であ
り、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含され
る。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited by the following Examples, and is within a range applicable to the gist of the preceding and the following. It is also possible to carry out by appropriately changing the above, and all of them are included in the technical scope of the present invention.

【0051】尚、下記実施例、比較例で行なった焼結シ
ートの密度、正方晶の割合および高温耐久性の評価法は
下記の通りである。
The methods for evaluating the density, the proportion of tetragonal crystals and the high temperature durability of the sintered sheets used in the following Examples and Comparative Examples are as follows.

【0052】密度:理論密度に対するアルキメデス法に
よって求めた密度の比であり、該密度が92%未満であ
るものは強度が不十分で且つガス透過の可能性があり、
97%以上、特に99%以上であるものは、高強度でガ
ス透過欠陥も認められない。 ◎:理論密度の97%以上、○:92%以上97%未
満、×:92%未満。
Density: The ratio of the density obtained by the Archimedes method to the theoretical density. If the density is less than 92%, the strength is insufficient and there is a possibility of gas permeation.
Those having 97% or more, particularly 99% or more, have high strength and no gas permeation defect is observed. ⊚: 97% or more of theoretical density, ◯: 92% or more and less than 97%, ×: less than 92%.

【0053】正方晶の割合:X線回折パターンより、正
方晶(111)面、立方晶(111)面および単斜晶
(11−1)面のピーク強度比から見積る。 ◎:正方晶が95%以上、○:正方晶が80〜95%、
×:正方晶が80%未満。
Proportion of tetragonal crystal: Estimated from peak intensity ratios of tetragonal (111) plane, cubic (111) plane and monoclinic (11-1) plane from X-ray diffraction pattern. ⊚: 95% or more of tetragonal crystals, ◯: 80 to 95% of tetragonal crystals,
X: Tetragonal crystal is less than 80%.

【0054】高温耐久性:各供試シートから5×50m
m角のテストピースを切出し、室温で3点曲げ強度をJ
IS R1601に準拠して測定し、更に電気炉中95
0℃で500時間以上保持した後の強度を同様に室温で
測定し、初期強度と所定時間後の強度の比から、下記式
により高温耐久性を求める。 高温耐久性=[(950℃で所定時間保持した後の強
度)/(初期の強度)]×100(%) ◎:97%以上、○:95〜97%、×:95%未満。
High temperature durability: 5 × 50 m from each test sheet
Cut out an m-square test piece and measure the 3-point bending strength at room temperature with J
Measured in accordance with IS R1601 and further in an electric furnace 95
Similarly, the strength after holding at 0 ° C. for 500 hours or more is measured at room temperature, and the high temperature durability is calculated by the following formula from the ratio of the initial strength and the strength after a predetermined time. High temperature durability = [(strength after holding at 950 ° C. for a predetermined time) / (initial strength)] × 100 (%) ⊚: 97% or more, ◯: 95 to 97%, x: less than 95%.

【0055】実施例1 硝酸ジルコニル0.1モル/リットルの水溶液に所定量
の硝酸スカンジウムを混合し、スカンジウムとジルコニ
ウムの硝酸塩の混合溶液とする。この混合液を攪拌しな
がらアンモニア水中に滴下し、生成する沈殿をデカンテ
ーションによって取り出す。この沈殿に同体積のブタノ
ールを加えて再分散させ、エバーポレータで溶剤を減圧
留去した後、さらに950℃で焼成することにより4.
0モル%スカンジア安定化ジルコニア粉末(A0)を得
た。この粉末の比表面積を湯浅アイオニクス社製の全自
動表面積測定装置「U2S」で測定したところ、10m
2/gであった。
Example 1 A predetermined amount of scandium nitrate was mixed with an aqueous solution of zirconyl nitrate 0.1 mol / liter to prepare a mixed solution of scandium and zirconium nitrate. This mixed solution is dropped into aqueous ammonia while stirring, and the generated precipitate is taken out by decantation. 3. The same volume of butanol was added to this precipitate for redispersion, the solvent was distilled off under reduced pressure with an evaporator, and then the precipitate was baked at 950 ° C.
A 0 mol% scandia-stabilized zirconia powder (A 0 ) was obtained. The specific surface area of this powder was measured with a fully automatic surface area measuring device "U2S" manufactured by Yuasa Ionics Co., Ltd.
It was 2 / g.

【0056】得られた4.0モル%スカンジア安定化ジ
ルコニア粉末100質量部とメタクリル酸エステル系バ
インダー(数平均分子量:30,000、ガラス転移温
度:−8℃)14質量部、可塑剤としてジブチルフタレ
ート(DBP)2質量部、分散媒としてトルエン/2−
プロパノール(質量比=4/1)混合溶剤50質量部
を、直径10mmのジルコニア製ボールを装入したナイ
ロン製のポットミルに入れ、50rpmで48時間混練
することにより、グリーンシート製造用のスラリーを得
た。
100 parts by mass of the obtained 4.0 mol% scandia-stabilized zirconia powder, 14 parts by mass of a methacrylic ester binder (number average molecular weight: 30,000, glass transition temperature: -8 ° C.), and dibutyl as a plasticizer. 2 parts by mass of phthalate (DBP), toluene / 2- as a dispersion medium
50 parts by mass of propanol (mass ratio = 4/1) mixed solvent was put in a nylon pot mill charged with zirconia balls having a diameter of 10 mm, and kneaded at 50 rpm for 48 hours to obtain a slurry for producing a green sheet. It was

【0057】このスラリーの一部を採取し、トルエン/
2−プロパノール(質量比=4/1)の混合溶剤で希釈
して島津製作所製のレーザー回折式粒度分布測定装置
「SALD−1100」により、スラリー中の固形成分
の粒度分布を測定したところ、平均粒径(50%体積
径)は0.35μm、90%体積径は1.1μmであっ
た。
A part of this slurry was collected and
When diluted with a mixed solvent of 2-propanol (mass ratio = 4/1) and measured with a laser diffraction particle size distribution analyzer "SALD-1100" manufactured by Shimadzu Corporation, the particle size distribution of solid components in the slurry was measured, and the average value was obtained. The particle size (50% volume diameter) was 0.35 μm, and the 90% volume diameter was 1.1 μm.

【0058】このスラリーを濃縮脱泡して粘度を2Pa
・s(23℃)に調整し、最後に200メッシュのフィ
ルターに通してからドクターブレード法によりポリエチ
レンテレフタレート(PET)シート上に塗工し、10
0℃で乾燥することにより、厚さ約0.2mmのグリー
ンシートを得た。
The slurry was concentrated and defoamed to a viscosity of 2 Pa.
・ Adjust to s (23 ° C) and finally pass through a 200-mesh filter, then coat on a polyethylene terephthalate (PET) sheet by the doctor blade method, and apply 10
A green sheet having a thickness of about 0.2 mm was obtained by drying at 0 ° C.

【0059】このグリーンシートを1辺が約130mm
の正方形に切断し、その上下をウネリ高さが10μm以
下の99.5%アルミナ多孔質板(通気性:0.003
m/s・kPa)で挟んで脱脂、焼成を行なった。この
時、1100℃以上での昇温速度は1deg/min以
下とし、最高到達温度1400℃で2時間保持し、1辺
が約100mm角の正方形で、厚さが0.15mmの
4.0モル%スカンジア安定化ジルコニアシートを得
た。
One side of this green sheet is about 130 mm
Cut into squares, and the upper and lower sides of the square are 99.5% alumina porous plate with a swell height of 10 μm or less (air permeability: 0.003
m / s · kPa) for degreasing and firing. At this time, the rate of temperature increase at 1100 ° C. or higher was set to 1 deg / min or less, the maximum reached temperature was maintained at 1400 ° C. for 2 hours, and one side was a square of about 100 mm square, and the thickness was 4.0 mol of 0.15 mm. A% scandia stabilized zirconia sheet was obtained.

【0060】得られたスカンジア安定化ジルコニアシー
トの表面を走査型電子顕微鏡で写真撮影し、15000
倍写真の視野内全グレインのサイズをノギスで測定し、
それらの測定値を基に、グレインサイズの平均値、90
%値および変動係数を求めた。この時、写真視野内の端
縁に位置するグレインで粒子全体が現れていないものは
測定対象から外した。
The surface of the obtained scandia-stabilized zirconia sheet was photographed with a scanning electron microscope to obtain 15,000.
Measure the size of all grains in the field of view of the double photograph with a caliper,
Based on these measurements, the average grain size, 90
The% value and coefficient of variation were determined. At this time, the grains located at the edges in the photographic field where all the particles did not appear were excluded from the measurement target.

【0061】得られたシートの一部を採取し、アルキメ
デス法によって密度を測定すると共に、X線回折パター
ンから正方晶の存在割合を求め、更に前記方法で高温耐
久性を求め、表1,2に示す結果を得た。
A portion of the obtained sheet was sampled, the density was measured by the Archimedes method, the abundance ratio of tetragonal crystals was determined from the X-ray diffraction pattern, and the high temperature durability was determined by the above method. The results shown in are obtained.

【0062】実施例2 上記実施例1と同様にして得た4.0モル%スカンジア
安定化ジルコニア粉末100質量部にアルミナ粉末0.
25質量部を加えた混合粉末(A1)を使用した以外
は、前記実施例1と同様にしてグリーンシート製造用ス
ラリーを調製し、同様にしてグリーンシートの形成と脱
脂および焼成を行ない、1辺が約100mm角の正方形
で、厚さが0.12mmの0.25%アルミナ含有4.
0モル%スカンジア安定化ジルコニアシートを得た。
Example 2 4.0 parts by weight of 4.0 mol% scandia-stabilized zirconia powder obtained in the same manner as in Example 1 was added to 100 parts by weight of alumina powder.
A slurry for producing a green sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that the mixed powder (A 1 ) added with 25 parts by mass was used, and the formation, degreasing and firing of the green sheet were performed in the same manner. 3. A square having sides of about 100 mm and a thickness of 0.12 mm and containing 0.25% alumina.
A 0 mol% scandia-stabilized zirconia sheet was obtained.

【0063】この実験におけるグリーンシート製造用ス
ラリー中の固形成分の粒度分布、得られたスカンジア安
定化ジルコニアシートのグレインサイズの平均値、90
%値および変動係数、該シートの密度並びに各結晶構造
の存在割合、更には室温での3点曲げ強度および高温耐
久性を表1,2に示す。
Particle size distribution of solid components in the slurry for producing green sheets in this experiment, average value of grain size of the obtained scandia-stabilized zirconia sheet, 90
Tables 1 and 2 show the% value and coefficient of variation, the density of the sheet, the existence ratio of each crystal structure, the three-point bending strength at room temperature, and the high temperature durability.

【0064】実施例3 上記実施例2において、最終段階での焼成温度を125
0℃に代える以外は、前記実施例2と全く同様にして、
0.25%アルミナ含有スカンジア安定化ジルコニアシ
ートを得た。この時の、グリーンシート製造用スラリー
中の固形成分の粒度構成、得られたジルコニアシートの
グレインサイズ、密度、結晶構造、強度、高温耐久性を
表1,2に示す。
Example 3 In Example 2, the firing temperature at the final stage was set to 125.
Except that the temperature was changed to 0 ° C., the same procedure as in Example 2 was repeated.
A scandia-stabilized zirconia sheet containing 0.25% alumina was obtained. Tables 1 and 2 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, density, crystal structure, strength and high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0065】比較例1 上記実施例2において、最終段階での焼成温度を152
0℃に代えた以外は、前記実施例2と全く同様にして、
0.25%アルミナ含有スカンジア安定化ジルコニアシ
ートを得た。この時の、グリーンシート製造用スラリー
中の固形成分の粒度構成、得られたジルコニアシートの
グレインサイズ、密度、結晶構造、強度、高温耐久性を
表1,2に示す。
Comparative Example 1 In Example 2 above, the firing temperature at the final stage was changed to 152
Except for changing the temperature to 0 ° C., in the same manner as in Example 2,
A scandia-stabilized zirconia sheet containing 0.25% alumina was obtained. Tables 1 and 2 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, density, crystal structure, strength and high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0066】比較例2 上記実施例2において、グリーンシートの焼成温度を1
100℃に代えた以外は、前記実施例2と全く同様にし
て、0.25%アルミナ含有スカンジア安定化ジルコニ
アシートを得た。この時の、グリーンシート製造用スラ
リー中の固形成分の粒度構成、得られたジルコニアシー
トのグレインサイズ、密度、結晶構造、強度、高温耐久
性を表1,2に示す。
Comparative Example 2 In the above Example 2, the firing temperature of the green sheet was set to 1
A 0.25% alumina-containing scandia-stabilized zirconia sheet was obtained in exactly the same manner as in Example 2 except that the temperature was changed to 100 ° C. Tables 1 and 2 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, density, crystal structure, strength and high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0067】実施例4 上記実施例2において、原料粉末製造時の硝酸ジルコニ
ルと硝酸スカンジウムの濃度を変更し、比表面積が12
2/gの原料粉末(C)を製造すると共に、バインダ
ー配合量を15質量部に変更し、グリーンシートの焼成
温度を1250℃に代えた以外は、前記実施例2と全く
同様にして、0.25%アルミナ含有6モル%スカンジ
ア安定化ジルコニアシートを得た。この時の、グリーン
シート製造用スラリー中の固形成分の粒度構成、得られ
たジルコニアシートのグレインサイズ、密度、結晶構
造、強度、高温耐久性を表1,2に示す。
Example 4 In the above Example 2, the concentrations of zirconyl nitrate and scandium nitrate during the production of the raw material powder were changed so that the specific surface area was 12
In the same manner as in Example 2 except that the raw material powder (C) of m 2 / g was produced, the binder content was changed to 15 parts by mass, and the firing temperature of the green sheet was changed to 1250 ° C., A 6 mol% scandia-stabilized zirconia sheet containing 0.25% alumina was obtained. Tables 1 and 2 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, density, crystal structure, strength and high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0068】比較例3 上記実施例2において、原料粉末製造時の硝酸ジルコニ
ルと硝酸スカンジウムの濃度を変更し、スカンジア含量
が10モル%、比表面積が15m2/gの原料粉末
(D)を製造すると共に、バインダー配合量を18質量
部に変更した以外は、前記実施例2と全く同様にして、
0.25%アルミナ含有スカンジア安定化ジルコニアシ
ートを得た。この時の、グリーンシート製造用スラリー
中の固形成分の粒度構成、得られたジルコニアシートの
グレインサイズ、密度、結晶構造、強度、高温耐久性を
表1,2に示す。
Comparative Example 3 In the above Example 2, the concentrations of zirconyl nitrate and scandium nitrate during production of the raw material powder were changed to produce a raw material powder (D) having a scandia content of 10 mol% and a specific surface area of 15 m 2 / g. In addition, except that the blending amount of the binder was changed to 18 parts by mass, in exactly the same manner as in Example 2,
A scandia-stabilized zirconia sheet containing 0.25% alumina was obtained. Tables 1 and 2 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, density, crystal structure, strength and high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0069】比較例4 上記実施例2において、原料粉末として、スカンジアと
ジルコニアの混合粉末(スカンジア含量:4モル%)を
ミルにより乾式混合した比表面積が5m2/gの混合粉
末(E0)を使用し、バインダーの配合量を14質量部
に代えた以外は、前記実施例2と全く同様にして、0.
25%アルミナ含有4モル%スカンジア安定化ジルコニ
アシートを得た。この時の、グリーンシート製造用スラ
リー中の固形成分の粒度構成、得られたジルコニアシー
トのグレインサイズ、密度、結晶構造、強度、高温耐久
性を表1,2に示す。
Comparative Example 4 In the above-mentioned Example 2, as a raw material powder, a mixed powder of scandia and zirconia (scandia content: 4 mol%) was dry-mixed with a mill to obtain a mixed powder having a specific surface area of 5 m 2 / g (E 0 ). Was used in the same manner as in Example 2 except that the binder content was changed to 14 parts by mass.
A 4 mol% scandia-stabilized zirconia sheet containing 25% alumina was obtained. Tables 1 and 2 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, density, crystal structure, strength and high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0070】比較例5 上記実施例2において、最終段階での焼成温度を125
0℃(ただし、昇温速度は10deg/min、最高温
度での保持時間は10分)に代えた以外は、前記実施例
2と同様にして、0.25%アルミナ含有スカンジア安
定化ジルコニアシートを得た。この時の、グリーンシー
ト製造用スラリー中の固形成分の粒度構成、得られたジ
ルコニアシートのグレインサイズ、密度、結晶構造、強
度、高温耐久性を表1,2に示す。
Comparative Example 5 In Example 2 above, the firing temperature at the final stage was set to 125.
A scandia-stabilized zirconia sheet containing 0.25% alumina was prepared in the same manner as in Example 2 except that the temperature was raised to 0 ° C. (however, the heating rate was 10 deg / min, and the holding time at the maximum temperature was 10 minutes). Obtained. Tables 1 and 2 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, density, crystal structure, strength and high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0071】[0071]

【表1】 [Table 1]

【0072】[0072]

【表2】 [Table 2]

【0073】上記表1,2からも明らかな様に、本発明
の規定要件を満たす実施例は何れも高密度で優れた強度
と高温耐久性を有している。
As is clear from Tables 1 and 2, all the examples satisfying the specified requirements of the present invention have high density and excellent strength and high temperature durability.

【0074】これらに対し、比較例1は、最終の焼成温
度が高過ぎるため焼結シートのグレインサイズの平均
値、90%値、変動係数が何れも高く且つ結晶構造も正
方晶主体となっておらず、強度、高温耐久性共に劣るも
のであり、また比較例2は、逆に焼結温度が低過ぎるた
め焼結不良で緻密性に欠けると共に強度も乏しく、比較
例3は焼結シートのグレインサイズが大きく、しかも正
方晶の割合も少なくて強度が劣悪である。
On the other hand, in Comparative Example 1, since the final firing temperature was too high, the average grain size of the sintered sheet, the 90% value, and the coefficient of variation were all high, and the crystal structure was mainly tetragonal. However, the strength and the high temperature durability are inferior. In contrast, in Comparative Example 2, since the sintering temperature is too low, the sintering is poor and the compactness is poor and the strength is poor. The grain size is large and the proportion of tetragonal crystals is small, resulting in poor strength.

【0075】また比較例4は、適量のスカンジアをジル
コニアと乾式混合したものであるが、スラリー状態での
固形成分の粒子径が適切でないため緻密性を欠き、満足
なガス遮蔽性が期待できない。
In Comparative Example 4, an appropriate amount of scandia was dry-mixed with zirconia. However, since the particle size of the solid component in the slurry state was not appropriate, the denseness was lacking and a satisfactory gas shielding property could not be expected.

【0076】実施例5 上記実施例2において、原料粉末製造時の焼成温度を8
00℃に変更して得た比表面積が18m2/gの原料粉
末(A2)を使用し、スラリー調製時の粉砕時間を72
時間に、更に最終のシート焼成温度を1250℃(ただ
し、昇温速度は10deg/min、最高温度での保持
時間は10分)に代えた以外は、前記実施例2と同様に
して、0.25%アルミナ含有スカンジア安定化ジルコ
ニアシートを得た。この時の、グリーンシート製造用ス
ラリー中の固形成分の粒度構成、得られたジルコニアシ
ートのグレインサイズ、密度、結晶構造、強度、高温耐
久性を表3,4に示す。
Example 5 In Example 2, the firing temperature during the production of the raw material powder was set to 8
The raw material powder (A 2 ) having a specific surface area of 18 m 2 / g obtained by changing the temperature to 00 ° C. was used, and the grinding time during slurry preparation was 72
In the same manner as in Example 2, except that the final sheet firing temperature was changed to 1250 ° C. (however, the temperature rising rate was 10 deg / min and the holding time at the maximum temperature was 10 minutes). A scandia-stabilized zirconia sheet containing 25% alumina was obtained. Tables 3 and 4 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, the density, the crystal structure, the strength and the high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0077】実施例6 上記実施例2と同様にして得た4.0モル%スカンジア
安定化ジルコニア粉末(A1)を使用し、スラリー調製
時の粉砕時間を72時間に代えた以外は、前記実施例2
と同様にして4.0モル%スカンジア安定化ジルコニア
シートを得た。
Example 6 The procedure of Example 2 was repeated except that 4.0 mol% scandia-stabilized zirconia powder (A 1 ) obtained in the same manner as in Example 2 was used, and the milling time during slurry preparation was changed to 72 hours. Example 2
A 4.0 mol% scandia-stabilized zirconia sheet was obtained in the same manner as above.

【0078】この実験におけるグリーンシート製造用ス
ラリー中の固形成分の粒度分布、得られたスカンジア安
定化ジルコニアシートのグレインサイズの平均値、90
%値および変動係数、該シートの密度並びに正方晶の存
在割合、更には室温での3点曲げ強度および高温耐久性
を表3,4に示す。
Particle size distribution of the solid component in the slurry for producing the green sheet in this experiment, the average value of the grain size of the obtained scandia-stabilized zirconia sheet, 90
Tables 3 and 4 show the% value and coefficient of variation, the density of the sheet and the proportion of tetragonal crystals present, as well as the three-point bending strength at room temperature and the high temperature durability.

【0079】比較例6 上記実施例1において、原料粉末製造時に、生成する沈
殿を濾取し乾燥機で乾燥した後800℃で焼成した以外
は全く同様にして製造した比表面積が30m2/gの4
モル%スカンジア安定化ジルコニア粉末(B1)を使用
し、以下も実施例1と全く同様にして実験を行なった。
得られたシートはウネリが著しいばかりでなく焼結が不
十分であり、セラミックシートとして実用化し得るもの
ではなかった。
Comparative Example 6 A specific surface area of 30 m 2 / g produced in exactly the same manner as in Example 1 except that the precipitate produced during the production of the raw material powder was filtered off, dried in a dryer and then calcined at 800 ° C. Of 4
An experiment was conducted in the same manner as in Example 1, except that the mol% scandia-stabilized zirconia powder (B 1 ) was used.
The obtained sheet had not only significant swelling but also insufficient sintering, and could not be put into practical use as a ceramic sheet.

【0080】実施例7 上記実施例2において、原料粉末製造時の焼成温度を1
050℃に変更して得た比表面積が6m2/gの原料粉
末(A3)を使用した以外は、前記実施例2と全く同様
にして、0.25%アルミナ含有スカンジア安定化ジル
コニアシートを得た。この時の、グリーンシート製造用
スラリー中の固形成分の粒度構成、得られたジルコニア
シートのグレインサイズ、密度、結晶構造、強度、高温
耐久性を表3,4に示す。
Example 7 In Example 2, the firing temperature during the production of the raw material powder was set to 1
A scandia-stabilized zirconia sheet containing 0.25% alumina was prepared in exactly the same manner as in Example 2 except that the raw material powder (A 3 ) having a specific surface area of 6 m 2 / g obtained by changing to 050 ° C. was used. Obtained. Tables 3 and 4 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, the density, the crystal structure, the strength and the high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0081】実施例8 前記実施例2において、スラリー調製時の粉砕時間を2
時間に代えた以外は、前記実施例2と全く同様にして、
0.25%アルミナ含有スカンジア安定化ジルコニアシ
ートを得た。この時の、グリーンシート製造用スラリー
中の固形成分の粒度構成、得られたジルコニアシートの
グレインサイズ、密度、結晶構造、強度、高温耐久性を
表3,4に示す。
Example 8 In Example 2, the grinding time at the time of slurry preparation was 2
Except for changing the time, exactly the same as in Example 2,
A scandia-stabilized zirconia sheet containing 0.25% alumina was obtained. Tables 3 and 4 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, the density, the crystal structure, the strength and the high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0082】実施例9 前記実施例2において、アルミナ粉末に代えてTiO2
を0.4質量%添加した以外は、前記実施例2と全く同
様にして、0.4%TiO2含有スカンジア安定化ジル
コニアシートを得た。この時の、グリーンシート製造用
スラリー中の固形成分の粒度構成、得られたジルコニア
シートのグレインサイズ、密度、結晶構造、強度、高温
耐久性を表3,4に示す。
Example 9 In Example 2, TiO 2 was used instead of alumina powder.
A 0.4% TiO 2 -containing scandia-stabilized zirconia sheet was obtained in exactly the same manner as in Example 2 except that 0.4% by weight of was added. Tables 3 and 4 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, the density, the crystal structure, the strength and the high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0083】実施例10 前記実施例2において、アルミナ粉末に代えてNb25
を0.4質量%添加した以外は、前記実施例2と全く同
様にして、0.4%Nb25含有スカンジア安定化ジル
コニアシートを得た。この時の、グリーンシート製造用
スラリー中の固形成分の粒度構成、得られたジルコニア
シートのグレインサイズ、密度、結晶構造、強度、高温
耐久性を表3,4に示す。
Example 10 In Example 2, Nb 2 O 5 was used instead of the alumina powder.
A 0.4% Nb 2 O 5 -containing scandia-stabilized zirconia sheet was obtained in exactly the same manner as in Example 2 except that 0.4% by weight of was added. Tables 3 and 4 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, the density, the crystal structure, the strength and the high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0084】実施例11 前記実施例2において、アルミナ粉末に代えてTa25
を0.25質量%添加した以外は、前記実施例2と全く
同様にして、0.25%Ta25含有スカンジア安定化
ジルコニアシートを得た。この時の、グリーンシート製
造用スラリー中の固形成分の粒度構成、得られたジルコ
ニアシートのグレインサイズ、密度、結晶構造、強度、
高温耐久性を表3,4に示す。
Example 11 In Example 2, Ta 2 O 5 was used instead of the alumina powder.
A 0.25% Ta 2 O 5 -containing scandia-stabilized zirconia sheet was obtained in exactly the same manner as in Example 2 except that 0.25% by mass was added. At this time, the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size of the obtained zirconia sheet, the density, the crystal structure, the strength,
The high temperature durability is shown in Tables 3 and 4.

【0085】実施例12 前記実施例2において、アルミナ粉末に代えてMnO2
を0.25質量%添加した以外は、前記実施例2と全く
同様にして、0.25%MnO2含有スカンジア安定化
ジルコニアシートを得た。この時の、グリーンシート製
造用スラリー中の固形成分の粒度構成、得られたジルコ
ニアシートのグレインサイズ、密度、結晶構造、強度、
高温耐久性を表3,4に示す。
Example 12 In Example 2, MnO 2 was used in place of alumina powder.
A 0.25% MnO 2 -containing scandia-stabilized zirconia sheet was obtained in exactly the same manner as in Example 2 except that 0.25% by mass was added. At this time, the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size of the obtained zirconia sheet, the density, the crystal structure, the strength,
The high temperature durability is shown in Tables 3 and 4.

【0086】実施例13 前記実施例2において、アルミナ粉末に代えてLaAl
3を0.25質量%添加した以外は、前記実施例2と
全く同様にして、0.25%LaAlO3含有スカンジ
ア安定化ジルコニアシートを得た。この時の、グリーン
シート製造用スラリー中の固形成分の粒度構成、得られ
たジルコニアシートのグレインサイズ、密度、結晶構
造、強度、高温耐久性を表3,4に示す。
Example 13 In Example 2, LaAl was used instead of alumina powder.
A scandia-stabilized zirconia sheet containing 0.25% LaAlO 3 was obtained in exactly the same manner as in Example 2 except that 0.25% by mass of O 3 was added. Tables 3 and 4 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, the density, the crystal structure, the strength and the high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0087】実施例14 前記実施例2において、アルミナ粉末に代えてMgAl
24を0.25質量%添加した以外は、前記実施例2と
全く同様にして、0.25%MgAl24含有スカンジ
ア安定化ジルコニアシートを得た。この時の、グリーン
シート製造用スラリー中の固形成分の粒度構成、得られ
たジルコニアシートのグレインサイズ、密度、結晶構
造、強度、高温耐久性を表3,4に示す。
Example 14 In Example 2, MgAl was used instead of alumina powder.
A scandia-stabilized zirconia sheet containing 0.25% MgAl 2 O 4 was obtained in exactly the same manner as in Example 2 except that 0.25% by mass of 2 O 4 was added. Tables 3 and 4 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, the density, the crystal structure, the strength and the high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0088】実施例15 前記実施例2において、アルミナ粉末に代えてAl2
iO5を0.25質量%添加した以外は、前記実施例2
と全く同様にして、0.4%Al2TiO5含有スカンジ
ア安定化ジルコニアシートを得た。この時の、グリーン
シート製造用スラリー中の固形成分の粒度構成、得られ
たジルコニアシートのグレインサイズ、密度、結晶構
造、強度、高温耐久性を表3,4に示す。
Example 15 In Example 2, the alumina powder was replaced with Al 2 T.
Example 2 except that 0.25% by mass of iO 5 was added.
A scandia-stabilized zirconia sheet containing 0.4% Al 2 TiO 5 was obtained in the same manner as above. Tables 3 and 4 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, the density, the crystal structure, the strength and the high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0089】比較例7 上記比較例6において、原料粉末製造時に、生成する沈
殿を濾取し乾燥機で乾燥し、900℃で焼成して得た比
表面積が12m2/gの原料粉末(B2)を使用した以外
は、比較例6と同様にして4モル%スカンジア安定化ジ
ルコニアシートを得た。この時の、グリーンシート製造
用スラリー中の固形成分の粒度構成、得られたジルコニ
アシートのグレインサイズ、密度、結晶構造、強度、高
温耐久性を表3,4に示す。
Comparative Example 7 In the above-mentioned Comparative Example 6, the raw material powder (B having a specific surface area of 12 m 2 / g obtained by filtering the precipitate produced during the production of the raw material powder, drying it with a dryer, and calcining at 900 ° C. A 4 mol% scandia-stabilized zirconia sheet was obtained in the same manner as in Comparative Example 6 except that 2 ) was used. Tables 3 and 4 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, the density, the crystal structure, the strength and the high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0090】比較例8 上記実施例2において、原料粉末製造時の焼成温度を1
100℃に変更して得た比表面積が3m2/gの原料粉
末(A4)を使用した以外は、前記実施例2と全く同様
にして、0.25%アルミナ含有スカンジア安定化ジル
コニアシートを得た。この時の、グリーンシート製造用
スラリー中の固形成分の粒度構成、得られたジルコニア
シートのグレインサイズ、密度、結晶構造、強度、高温
耐久性を表3,4に示す。
Comparative Example 8 In the above-mentioned Example 2, the firing temperature during the production of the raw material powder was 1
A scandia-stabilized zirconia sheet containing 0.25% alumina was prepared in exactly the same manner as in Example 2 except that the raw material powder (A 4 ) having a specific surface area of 3 m 2 / g obtained by changing to 100 ° C. was used. Obtained. Tables 3 and 4 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, the density, the crystal structure, the strength and the high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0091】比較例9 上記実施例2において、原料粉末製造時の焼成温度を1
100℃に変更して得た比表面積が3m2/gの原料粉
末(A3)を使用し、グリーンシートの焼成温度を15
20℃に代えた以外は、前記実施例2と同様にして、
0.25%アルミナ含有スカンジア安定化ジルコニアシ
ートを得た。この時の、グリーンシート製造用スラリー
中の固形成分の粒度構成、得られたジルコニアシートの
グレインサイズ、密度、結晶構造、強度、高温耐久性を
表3,4に示す。
Comparative Example 9 In Example 2 above, the firing temperature during the production of the raw material powder was 1
The raw material powder (A 3 ) having a specific surface area of 3 m 2 / g obtained by changing the temperature to 100 ° C. was used, and the firing temperature of the green sheet was 15
In the same manner as in Example 2 except that the temperature was changed to 20 ° C,
A scandia-stabilized zirconia sheet containing 0.25% alumina was obtained. Tables 3 and 4 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, the density, the crystal structure, the strength and the high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0092】比較例10 前記比較例4において、アルミナ粉末に代えてTiO2
を0.4質量%添加した以外は、前記実施例2と全く同
様にして、0.4%TiO2含有スカンジア安定化ジル
コニアシートを得た。この時の、グリーンシート製造用
スラリー中の固形成分の粒度構成、得られたジルコニア
シートのグレインサイズ、密度、結晶構造、強度、高温
耐久性を表3,4に示す。
Comparative Example 10 In Comparative Example 4, TiO 2 was used instead of the alumina powder.
A 0.4% TiO 2 -containing scandia-stabilized zirconia sheet was obtained in exactly the same manner as in Example 2 except that 0.4% by weight of was added. Tables 3 and 4 show the particle size constitution of the solid component in the slurry for producing the green sheet, the grain size, the density, the crystal structure, the strength and the high temperature durability of the obtained zirconia sheet at this time.

【0093】[0093]

【表3】 [Table 3]

【0094】[0094]

【表4】 [Table 4]

【0095】[0095]

【発明の効果】本発明は以上の様に構成されており、ス
カンジア安定化ジルコニアシートを製造する際に、固体
成分の平均粒径および90体積%径の特定されたグリー
ンシート製造用スラリーを用いてこれをシート状に成形
してから焼結し、得られるスカンジア安定化ジルコニア
シートのグレインサイズの平均値と変動係数を適正範囲
に納めることにより、常温強度や高温耐久性に優れ、且
つガス遮蔽性やイオン導電性にも優れた緻密質のスカン
ジア安定化ジルコニアシートを提供し得ることになっ
た。
EFFECT OF THE INVENTION The present invention is constituted as described above, and when the scandia-stabilized zirconia sheet is produced, the slurry for producing the green sheet in which the average particle diameter of the solid component and the 90% by volume diameter are specified is used. By forming this into a sheet and then sintering it, and keeping the average value and coefficient of variation of the grain size of the resulting scandia-stabilized zirconia sheet within the appropriate range, it has excellent room temperature strength and high temperature durability, and gas shielding. Thus, it is possible to provide a dense scandia-stabilized zirconia sheet having excellent properties and ionic conductivity.

【0096】従って該緻密質のスカンジア安定化ジルコ
ニアシートは、その優れた強度と高温耐久性、ガス遮蔽
性、イオン導電性を活かして、例えば燃料電池用の固体
電解質膜、光ファイバーのフェルール(コネクター)、
各種プリンターのジルコニア質基盤、ボールミルのメデ
ィア等として有効に活用できる。
Therefore, the dense scandia-stabilized zirconia sheet utilizes, for example, the solid electrolyte membrane for fuel cells and the ferrule (connector) of the optical fiber by utilizing its excellent strength, high temperature durability, gas shielding property and ionic conductivity. ,
It can be effectively used as a zirconia base for various printers, media for ball mills, etc.

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Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 スカンジアで安定化された緻密質のジル
コニアシートを製造する方法であって、固体成分の平均
粒子径が0.15〜0.5μm、90体積%径が0.6
〜1.5μmであるグリーンシート製造用スラリーを使
用し、これをシート状に成形してから焼結することによ
り、グレインサイズの平均値が0.1〜0.6μm、そ
の変動係数が50%以下である緻密質のスカンジア安定
化ジルコニアシートを得ることを特徴とする緻密質スカ
ンジア安定化ジルコニアシートの製法。
1. A method for producing a dense zirconia sheet stabilized with scandia, wherein the solid component has an average particle diameter of 0.15 to 0.5 μm and a 90 volume% diameter of 0.6.
The average grain size is 0.1 to 0.6 μm, and the coefficient of variation is 50% by using a green sheet-producing slurry having a particle size of up to 1.5 μm and sintering the green sheet-forming slurry. A process for producing a dense scandia-stabilized zirconia sheet, which is characterized in that a dense scandia-stabilized zirconia sheet as described below is obtained.
【請求項2】 TiO2,Nb25,Ta25,MnO2
から選択される1種または2種以上の酸化物を含むスカ
ンジア安定化ジルコニアシートを得る請求項1に記載の
製法。
2. TiO 2 , Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 , MnO 2
The process according to claim 1, wherein a scandia-stabilized zirconia sheet containing one or more oxides selected from the above is obtained.
【請求項3】 LaAlO3,MgAl24,Al2Ti
5から選択される1種または2種以上の酸化物を含む
スカンジア安定化ジルコニアシートを得る請求項1また
は2に記載の製法。
3. LaAlO 3 , MgAl 2 O 4 , Al 2 Ti
The process according to claim 1 or 2, wherein a scandia-stabilized zirconia sheet containing one or more oxides selected from O 5 is obtained.
【請求項4】 厚さが0.01〜0.5mmで、面積が
25cm2以上の緻密質スカンジア安定化ジルコニアシ
ートを得る請求項1〜3のいずれかに記載の製法。
4. The method according to claim 1, wherein a dense scandia-stabilized zirconia sheet having a thickness of 0.01 to 0.5 mm and an area of 25 cm 2 or more is obtained.
【請求項5】 前記スラリーを調製する前の原料粉末全
体の比表面積が4〜20m2/gである原料粉末を使用
する請求項1〜4のいずれかに記載の製法。
5. The production method according to claim 1, wherein a raw material powder having a specific surface area of the whole raw material powder of 4 to 20 m 2 / g before preparing the slurry is used.
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