JP2003006808A - Magnetic head - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体の一
種である磁気記録ディスクに対して信号記録または信号
再生を行うための磁気ヘッドに関し、特にフレキシブル
磁気ディスクに対して用いて好適な磁気ヘッドに関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head for performing signal recording or signal reproduction on a magnetic recording disk, which is a kind of magnetic recording medium, and is particularly suitable for a flexible magnetic disk. Regarding
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、フレキシブル磁気ディスクにおい
ても大記憶容量化が進み、例えば２５０Ｍｂｙｔｅまた
は２００Ｍｂｙｔｅの記憶容量を有したＺＩＰや２００
Ｍｂｙｔｅの記憶容量を有したＨｉＦＤ等のように、最
大面記録密度に換算すると９５Ｍｂｐｓｉ、２４０Ｍｂ
ｐｓｉ、２７０Ｍｂｐｓｉ程度のものがそれぞれ製品化
されている。これらのフレキシブル磁気ディスクに対し
ては、いわゆる磁束誘導型のＭＩＧ（Metal in Gap）ヘ
ッドを用いて、信号記録または信号再生を行うことが一
般的である。ＭＩＧヘッドは、バルクヘッドの一種で、
フェライト等の磁性材からなる磁気コアをベースにし、
記録磁界の増加を改善する為のＦｅＡｌＳｉ（センダス
ト）やＦｅＣｏＳｉＡｌ（ソフマックス）等の高磁束密
度の金属・合金系磁性薄膜材料を用いて、ギャップ近傍
部分を形成したものである。2. Description of the Related Art In recent years, the storage capacity of flexible magnetic disks has increased, and for example, ZIP and 200 having a storage capacity of 250 Mbytes or 200 Mbytes.
95 Mbps and 240 Mb when converted to the maximum areal recording density like HiFD having a storage capacity of Mbyte.
psi, about 270 Mbps are commercialized. Signal recording or signal reproduction is generally performed on these flexible magnetic disks by using a so-called magnetic flux induction type MIG (Metal in Gap) head. The MIG head is a type of bulkhead,
Based on a magnetic core made of magnetic material such as ferrite,
The portion near the gap is formed by using a metal / alloy magnetic thin film material having a high magnetic flux density such as FeAlSi (Sendust) or FeCoSiAl (Sofmax) for improving the increase of the recording magnetic field.
【０００３】このようなＭＩＧヘッドに代表される磁束
誘導型の磁気ヘッドは、磁気記録媒体から漏洩した磁束
のうち、ヘッド磁気回路に錯交した磁束の時間変化に比
例した電圧を発生する。すなわち、磁気ヘッドにおける
孤立再生波出力ISTAA（＝Isolated Time Average Ampli
tude）および空間分解能であるパルス幅ＰＷ５０（＝Pu
lse Width５０）は、媒体残留磁化量をＭｒ、媒体厚み
をδ、トラック幅をＷ、ヘッドコイル巻線数をＮ、ヘッ
ド媒体間相対速度をｖ、ヘッド記録再生効率をＥとする
と、それぞれ以下に示す（１）式および（２）式によっ
て表されることが知られている（「Theory of Magnetic
Recording」H Neal Bertram Cambridgeuniversity pre
ss,P128等）。なお、（１）式および（２）式中におい
て、gはヘッドギャップ長、ｄはヘッド媒体間スペーシ
ング量、ａは磁化反転パラメータを、それぞれ表してい
る。A magnetic flux induction type magnetic head typified by such an MIG head generates a voltage proportional to the time change of the magnetic flux interlaced in the head magnetic circuit among the magnetic flux leaked from the magnetic recording medium. That is, ISTAA (= Isolated Time Average Ampli)
tude) and the pulse width PW50 (= Pu) which is the spatial resolution.
lse Width 50) is expressed as follows, where Mr is the residual magnetization of the medium, δ is the thickness of the medium, W is the track width, N is the number of windings of the head coil, v is the relative velocity between the head and medium, and E is the head recording / reproducing efficiency. It is known to be expressed by the following equations (1) and (2) (“Theory of Magnetic
Recording ”H Neal Bertram Cambridge university pre
ss, P128 etc.). In the expressions (1) and (2), g represents the head gap length, d represents the head-medium spacing amount, and a represents the magnetization reversal parameter.
【０００４】[0004]
【数３】 [Equation 3]
【０００５】[0005]
【数４】 [Equation 4]
【０００６】（１）式から、磁気ヘッドにおける孤立再
生波出力ISTAAは、ヘッドコイル巻線数Ｎに比例するこ
とが分かる。つまり、コイル巻線数Ｎを増やせば、孤立
再生波出力ISTAAも向上する。ところが、コイル巻線数
Ｎは、磁気ヘッドにおけるインダクタンスＬと、以下の
（３）式に示す関係にあることが知られている。なお、
（３）式中において、Ｃｋは比例定数であり、磁気ヘッ
ドの構造等も含んだ記録再生効率に関連しているパラメ
ータを表している。From equation (1), it is understood that the isolated reproduction wave output ISTAA in the magnetic head is proportional to the number N of head coil windings. That is, if the number of coil windings N is increased, the isolated reproduced wave output ISTAA is also improved. However, it is known that the number N of coil windings has a relationship with the inductance L in the magnetic head as shown in the following expression (3). In addition,
In the equation (3), Ck is a proportional constant and represents a parameter relating to the recording / reproducing efficiency including the structure of the magnetic head and the like.
【０００７】[0007]
【数５】 [Equation 5]
【０００８】この（３）式から、コイル巻線数Ｎを増や
すと、その二乗に比例して、ヘッドのインダクタンスＬ
も上昇することが分かる。したがって、通常は、目標周
波数帯域からくる制限によって、コイル巻線数Ｎを無制
限に増やして孤立再生波出力ISTAAを稼ぐといったこと
は実現不能である。From the equation (3), when the number of coil windings N is increased, the inductance L of the head is proportional to the square of the number.
You can see that it also rises. Therefore, normally, it is not possible to increase the number of coil windings N indefinitely to earn the isolated reproduction wave output ISTAA by the limitation coming from the target frequency band.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＺＩＰやＨ
ｉＦＤ等といった大記憶容量のフレキシブル磁気ディス
クに用いる磁気ヘッドについては、低相対速度より使用
可能で、かつ、高記録密度および高データ転送レートの
双方に対応可能であり、高密度磁気記録システムを実現
させるのに適したものが望まれている。このような要求
に応えるべく、上述したようなＭＩＧヘッドを用いたま
ま、さらにヘッド出力を高めて高記録密度に対応し得る
ようにするためには、（１）式からも明らかなように、
コイル巻線数Ｎを増やすか、ヘッド媒体間相対速度ｖを
上昇させるか、或いは構造や材料等の最適化によりヘッ
ド効率Ｅを上げる等といった施策により、磁気ヘッドに
おける孤立再生波出力ISTAAを向上させる必要が生じ
る。By the way, ZIP and H
Magnetic heads used for flexible magnetic disks with large storage capacity such as iFD can be used at low relative speeds and can support both high recording density and high data transfer rate, realizing a high-density magnetic recording system. It is desired to have a suitable one. In order to meet such a demand, in order to further increase the head output and to cope with high recording density while using the MIG head as described above, it is clear from the formula (1):
Improve the isolated reproduction wave output ISTAA in the magnetic head by increasing the number of coil windings N, increasing the head-to-medium relative speed v, or increasing the head efficiency E by optimizing the structure and materials. The need arises.
【００１０】しかしながら、ＭＩＧヘッドを用いたま
ま、すなわちバルク型のまま、コイル巻線数Ｎを増やす
ことは、元々の磁気回路容積が大きいだけに、（３）式
からも明らかなように、インダクタンスＬの大幅な増加
を招いてしまう。そのため、記録再生周波数帯域が急激
に狭まるおそれがあり、直流抵抗の上昇によるヘッドノ
イズの増加という問題も生じてしまう可能性がある。ま
た、ヘッド媒体間相対速度ｖを必要以上に上げること
は、信頼性の低下をもたらす危険性や、浮上力の発生に
伴うスペーシングロスが増大する危険性が大きくなる。
これらのことから、高記録密度に対応するためには、磁
気ヘッド構造や磁性材料を改善し、ヘッド効率Ｅを上昇
させなければならないことになるが、従来形式のヘッド
では既に略限界に到達している。However, increasing the number of coil windings N while the MIG head is used, that is, in the bulk type is not only because the original magnetic circuit volume is large, but as is clear from the equation (3), the inductance is increased. This causes a large increase in L. Therefore, the recording / reproducing frequency band may be sharply narrowed, and there may be a problem that head noise increases due to an increase in DC resistance. Further, increasing the relative velocity v between the head media more than necessary increases the risk of reducing reliability and the risk of increasing spacing loss due to the generation of the levitation force.
From the above, it is necessary to improve the magnetic head structure and the magnetic material and increase the head efficiency E in order to cope with the high recording density, but the head of the conventional type has already reached the limit. ing.
【００１１】他方、ＺＩＰやＨｉＦＤ等に対しては、通
常、ＨＤＤ技術の信頼性を模倣した浮上型のヘッド媒体
インターフェースを用いている。ところが、浮上型のヘ
ッド媒体インターフェースを用いている限り、磁気スペ
ースは有限の大きさとなって記録磁界強度の低下に伴う
重ね書き特性の劣化、記録磁界急峻さ低下に起因する非
線形トランジッションシフトの発生、実質的な再生感度
の低下に伴う出力電圧の低下等をもたらすため、今後の
大幅な記録密度向上が期待でき難い。On the other hand, with respect to ZIP, HiFD, etc., a flying type head medium interface which normally imitates the reliability of HDD technology is used. However, as long as the flying type head medium interface is used, the magnetic space has a finite size and the deterioration of the overwriting characteristics due to the decrease of the recording magnetic field strength, and the occurrence of the non-linear transition shift due to the decrease of the steepness of the recording magnetic field, Since it causes a decrease in output voltage due to a substantial decrease in reproduction sensitivity, it is difficult to expect a significant increase in recording density in the future.
【００１２】以上のような理由により、上述したような
従来のＭＩＧヘッドを用い、しかもそのＭＩＧヘッドを
浮上型のヘッド媒体インターフェースで使用する限り
は、磁気スペースによる出力低下と相まって、今後の大
幅な記録密度向上の見通しが得られていないのが現状で
ある。このような状況は、特に小型のフレキシブル磁気
ディスク、すなわち従来から広く用いられている３．５
インチサイズより小型のディスクを使用して高密度磁気
記録等を実現する場合には、ディスクサイズの小径化に
比例してヘッド媒体間相対速度ｖが低下するが、同時に
ヘッド再生出力も低下するため、非常に深刻な課題とな
る。Due to the above reasons, as long as the conventional MIG head as described above is used and the MIG head is used in the flying type head medium interface, the output will be greatly reduced due to the magnetic space. At present, there is no prospect of improving the recording density. This situation is especially true for small-sized flexible magnetic disks, that is, 3.5 which has been widely used in the past.
When high density magnetic recording is realized using a disc smaller than an inch size, the relative velocity v between head media decreases in proportion to the reduction in the disc size, but at the same time the head reproduction output also decreases. , Becomes a very serious issue.
【００１３】本発明は、かかる状況に鑑みてなされたも
のであり、低インダクタンス化と高感度化を両立させ記
録密度を大幅に改善することのできる磁気ヘッドを提供
することを目的とする。さらに詳しくは、磁気スペース
を極力ゼロに維持できる連続接触型のヘッド媒体インタ
ーフェースに適用し、かつ、特に磁気特性や接触摺動性
を最適化した塗布型の磁気記録媒体であるフレキシブル
磁気ディスクと組み合わせることにより、低相対速度よ
り使用可能で、しかも記録密度とデータ転送レートを同
時に従来よりも大幅に改善することができる高密度磁気
記録システムを実現可能にする磁気ヘッドを提供するこ
とを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a magnetic head capable of achieving both low inductance and high sensitivity and greatly improving the recording density. More specifically, it is applied to a continuous contact type head medium interface that can keep the magnetic space to zero as much as possible, and is combined with a flexible magnetic disk that is a coating type magnetic recording medium with optimized magnetic characteristics and contact slidability. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a magnetic head that can be used at a low relative speed and can realize a high-density magnetic recording system that can significantly improve the recording density and the data transfer rate at the same time as compared with the conventional one. .
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために案出されたもので、磁気記録ディスクに対
して信号の記録と再生の両方またはいずれか一方を行う
ための磁気ヘッドであって、さらには、前記磁気記録デ
ィスクのトラック幅Ｗ、残留磁化量Ｍｒおよび実効的媒
体厚みδと、前記磁気記録ディスクと前記磁気ヘッドの
間の相対速度ｖと、前記磁気ヘッドのインダクタンスＬ
および孤立再生波出力ISTAAとから、前記磁気ヘッドに
おけるヘッド感度係数Ｓを、SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been devised to achieve the above object, and a magnetic head for recording and / or reproducing a signal on a magnetic recording disk. Further, the track width W of the magnetic recording disk, the residual magnetization amount Mr and the effective medium thickness δ, the relative speed v between the magnetic recording disk and the magnetic head, and the inductance L of the magnetic head.
And the isolated reproduction wave output ISTAA, the head sensitivity coefficient S in the magnetic head is
【数６】 と定義した場合に、当該ヘッド感度係数Ｓの値が[Equation 6] If the value of the head sensitivity coefficient S is
【数７】 であることを特徴とするものである。[Equation 7] It is characterized by being.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、図面に基づき本発明に係る
磁気ヘッドについて説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A magnetic head according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１６】〔磁気ヘッドの概略構成の説明〕先ず、は
じめに、本発明に係る磁気ヘッドおよびその磁気ヘッド
を備えた磁気記録システムの概略構成について簡単に説
明する。図１は、本発明に係る磁気ヘッドの概略構成例
を示す斜視図である。[Description of Schematic Configuration of Magnetic Head] First, a schematic configuration of a magnetic head according to the present invention and a magnetic recording system including the magnetic head will be briefly described. FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration example of a magnetic head according to the present invention.
【００１７】図例のように、ここで説明する磁気ヘッド
１は、図示しない磁気記録ディスクをその両面から挟持
するように、上下に対向するように２つ配設されてい
る。そして、各磁気ヘッド１は、サスペンションビーム
２とこれを支持するベースプレート３とによって、所定
方向に一定の力で付勢された状態で、そのサスペンショ
ンビーム２の先端にて支持される。As shown in the figure, two magnetic heads 1 described here are arranged vertically so as to sandwich a magnetic recording disk (not shown) from both sides. Each magnetic head 1 is supported by the tip of the suspension beam 2 while being urged by the suspension beam 2 and the base plate 3 supporting the suspension beam 2 in a predetermined direction with a constant force.
【００１８】サスペンションビーム２およびベースプレ
ート３は、これらによってＨＧＡ（Head Gimbal Assemb
ly）を構成し、図示しない直動型アクチュエータによっ
て図中Ｄ１方向へ移動し得るようになっている。この移
動により、磁気ヘッド１は、図示しないスピンドルモー
タによって図中Ｄ１方向に回転する磁気記録ディスク上
をシークすることになる。なお、磁気ヘッド１のシーク
方向および磁気記録ディスクの回転方向は、これらに限
定されないことは勿論である。The suspension beam 2 and the base plate 3 are used for the HGA (Head Gimbal Assemb).
ly), and can be moved in the direction D1 in the figure by a direct acting actuator (not shown). By this movement, the magnetic head 1 seeks on the magnetic recording disk rotating in the direction D1 in the figure by a spindle motor (not shown). Needless to say, the seek direction of the magnetic head 1 and the rotating direction of the magnetic recording disk are not limited to these.
【００１９】各磁気ヘッド１は、いずれも、ヘッドスラ
イダ１１と、そのヘッドスライダ１１の一面から突出す
るように配設された３つの接触パッド１２と、これら接
触パッド１２のうちの一つに埋設されたヘッド素子１３
とを備えている。Each magnetic head 1 is embedded in a head slider 11, three contact pads 12 arranged so as to project from one surface of the head slider 11, and one of these contact pads 12. Head element 13
It has and.
【００２０】ヘッドスライダ１１は、薄膜プロセスによ
るスパッタ・アルミナボディ等で形成されており、５０
μｍ以下と極薄のため、剛性がＨＤＤで使用されている
厚み３００μｍ程度のピコスライダと比較して三桁ほど
柔らかく、かつ、自重が５００μｇ以下と軽量である。
その結果、磁気記録ディスクが例えばフレキシブル磁気
ディスクの場合であっても、その表面を滑らかに追従す
ることが可能であるとともに、極めて軽量であるため、
外部から印加される加速度に対して発生する力が弱く、
時にポータブルユースにおいて重要な耐衝撃性に優れて
いる。The head slider 11 is formed of a sputtered alumina body or the like by a thin film process.
Since it is extremely thin (μm or less), its rigidity is three orders of magnitude softer than that of a pico slider having a thickness of about 300 μm used in HDDs, and its own weight is 500 μg or less, which makes it lightweight.
As a result, even when the magnetic recording disk is, for example, a flexible magnetic disk, it is possible to smoothly follow the surface of the magnetic recording disk, and since it is extremely lightweight,
The force generated against the acceleration applied from the outside is weak,
Sometimes it has excellent impact resistance, which is important for portable use.
【００２１】３つの接触パッド１２は、磁気記録ディス
クの表面と接触する摺動部として機能するものであり、
耐摩耗性の観点から一定の硬度（例えば、ビッカース硬
度７００以上）を有する材料によって形成されている。
このような材料としては、例えばＤＬＣ（ダイヤモンド
ライクカーボン）が挙げられる。また、各接触パッド１
２の形状は、磁気記録ディスクとの摺動を考慮して、そ
の頂点部分を円弧状とするのが望ましい。なお、上下に
配された各磁気ヘッド１では、その間に磁気記録ディス
クが位置することになるため、各磁気ヘッド１が備える
接触パッド１２も、互いに対向するように突出してい
る。The three contact pads 12 function as sliding parts that come into contact with the surface of the magnetic recording disk.
It is formed of a material having a certain hardness (for example, Vickers hardness of 700 or more) from the viewpoint of wear resistance.
Examples of such a material include DLC (diamond-like carbon). Also, each contact pad 1
In consideration of sliding with the magnetic recording disk, it is preferable that the shape of 2 has an arcuate apex. Since the magnetic recording disks are located between the magnetic heads 1 arranged above and below, the contact pads 12 included in each magnetic head 1 also protrude so as to face each other.
【００２２】３つの接触パッド１２のうちの一つに埋設
されるヘッド素子１３としては、ギャップ部分に信号磁
界を発生させるコイル巻線を有したインダクティブ型の
ものが挙げられる。また、ヘッド素子１３は、詳細を後
述するように、薄膜作成プロセスを経て形成された、ギ
ャップの両側にある磁気コア部に双子状の平面コイルを
形成した、いわゆるプレーナ型のものとすることが考え
られる。この場合、ヘッド素子１３は、バルクヘッドの
ように磁気コアとなる磁性材の機械加工により形成され
るのではなく、基板上に磁性膜、導体膜、絶縁膜等を順
次形成し、パターンニングし、エッチングするという半
導体微細加工技術と類似の技術によって形成されるとと
もに、各膜の成膜方向（膜の積み重ね方向）がフレキシ
ブル磁気ディスクに対向する面に対して垂直な方向とな
る。なお、ヘッド素子１３は、必ずしもプレーナ型薄膜
磁気ヘッドを構成するものである必要はなく、例えば通
常の一つの磁気コアにコイルを巻いた薄膜磁束誘導型の
ものや再生用ＭＲ（磁気抵抗効果）ヘッド、記録用磁束
誘導複合型のもの等であってもよい。The head element 13 embedded in one of the three contact pads 12 may be an inductive type head element having a coil winding for generating a signal magnetic field in the gap portion. Further, the head element 13 may be a so-called planar type in which twin-shaped planar coils are formed in the magnetic core portions on both sides of the gap, which are formed through a thin film forming process, as will be described later in detail. Conceivable. In this case, the head element 13 is not formed by machining a magnetic material that serves as a magnetic core like a bulkhead, but a magnetic film, a conductor film, an insulating film, etc. are sequentially formed on a substrate and patterned. The film is formed by a technique similar to the semiconductor fine processing technique of etching, and the film forming direction of each film (the film stacking direction) is perpendicular to the surface facing the flexible magnetic disk. The head element 13 does not necessarily have to constitute a planar type thin film magnetic head. For example, a thin film magnetic flux induction type in which a coil is wound around one ordinary magnetic core or a reproducing MR (magnetoresistive effect) is used. It may be a head, a magnetic flux induction composite type for recording or the like.
【００２３】一方、以上のような構成の磁気ヘッド１に
よって信号記録および信号再生が行われる磁気記録ディ
スクとしては、例えばＨｉＦＤと呼ばれるフレキシブル
磁気ディスクに代表される塗布型メタルディスクが挙げ
られる。On the other hand, as a magnetic recording disk on which signal recording and signal reproduction is performed by the magnetic head 1 having the above-mentioned structure, for example, a coating type metal disk represented by a flexible magnetic disk called HiFD can be mentioned.
【００２４】このような塗布型メタルディスクであるフ
レキシブル磁気ディスクに対して、上述したような超軽
量の薄型柔軟ボディーにヘッド素子１３が埋め込まれた
接触型の磁気ヘッド１を用いた場合には、比較的ラフな
取り付け精度であっても、かつ、回転中における変形が
比較的大きなフレキシブル磁気ディスクであっても、非
常に安定した接触走行性を維持するとともに、ディスク
表面の損傷を防止することもできる。また、かかる磁気
ヘッド１は、超軽量の薄型柔軟ボディーを実現するため
に薄膜積層技術により作製されるが、磁気ヘッドとして
の磁束伝達効率を向上させるために磁気コアの両側に双
子状に近接した薄膜平面コイルにより巻線することがで
きる平面型ヘッドで、構造的に巻線を深さ方向に多数重
ねることが可能なため、出力向上のために巻線数を大幅
に増やすことができ、かつ、磁気回路サイズが小さく磁
路長も短くでき、単位巻き線あたりのインダクタンスと
直流抵抗が小さくなるという利点もある。なお、かかる
磁気ヘッド１の形状やフレキシブル磁気ディスクとの接
触状態等（例えば、磁気スペースを極力ゼロに安定維持
する技術）の詳細については、本願発明者らが、特開２
０００−３２２８５２号公報および特開２００１−７６
４１３号公報で提案している。When the contact type magnetic head 1 in which the head element 13 is embedded in the ultra-lightweight thin flexible body as described above is used for the flexible magnetic disk which is such a coating type metal disk, Even with a relatively rough mounting accuracy, and even with a flexible magnetic disk that is relatively deformed during rotation, it is possible to maintain extremely stable contact travelability and prevent damage to the disk surface. it can. Further, although the magnetic head 1 is manufactured by a thin film stacking technique in order to realize an ultra-light thin and flexible body, the magnetic head 1 is twin-shaped close to both sides of the magnetic core in order to improve magnetic flux transmission efficiency as the magnetic head. Since it is a flat head that can be wound with a thin-film flat coil, it is possible to stack a large number of windings structurally in the depth direction, so the number of windings can be greatly increased to improve output, and The magnetic circuit size is small, the magnetic path length can be shortened, and the inductance and DC resistance per unit winding are also small. The details of the shape of the magnetic head 1 and the contact state with the flexible magnetic disk (for example, a technique for stably maintaining the magnetic space to zero as much as possible) are described in Japanese Patent Application Laid-Open No.
000-322852 and JP 2001-76.
No. 413 publication.
【００２５】なお、磁気記録ディスクとしては、高Ｓ／
Ｎなものであれば、塗布型メタルディスクであるフレキ
シブル磁気ディスクの他にも、塗布型の単層ディスク、
蒸着あるいはスパッタ法を用いて製膜された金属薄膜デ
ィスクが使用可能である。つまり、本発明は、磁気記録
媒体の種類や構造を、必ずしも重層塗布型磁気記録ディ
スクに限定するものではない。As a magnetic recording disk, a high S /
If it is N, in addition to a flexible magnetic disk which is a coating type metal disk, a coating type single layer disk,
A metal thin film disk formed by vapor deposition or sputtering can be used. That is, the present invention does not necessarily limit the type and structure of the magnetic recording medium to the multilayer coating type magnetic recording disk.
【００２６】〔磁気ヘッドの特性の説明〕次に、以上の
ように構成された磁気ヘッド１の特性について、さらに
詳しく説明する。[Description of Characteristics of Magnetic Head] Next, the characteristics of the magnetic head 1 configured as described above will be described in more detail.
【００２７】一般に、ある磁気記録システムを考えた場
合、そのシステムにおける磁気記録特性は、磁気ヘッド
におけるコイル巻線の巻線数ではなく、使用可能なイン
ダクタンスが実質的な意味をもつ。そこで、上述した
（１）式を、以下に示す（４）式のように置き換える。In general, when a certain magnetic recording system is considered, the magnetic recording characteristic of the system is not the number of coil windings in the magnetic head, but the usable inductance has a substantial meaning. Therefore, the above equation (1) is replaced with the following equation (4).
【００２８】[0028]
【数８】 [Equation 8]
【００２９】この（４）式中において、Ｅ’は、ヘッド
構造をも考慮された磁気ヘッドの記録再生効率と見なす
ことができ、以下に示す（５）式によって表される。In the equation (4), E'can be regarded as the recording / reproducing efficiency of the magnetic head in consideration of the head structure and is represented by the following equation (5).
【００３０】[0030]
【数９】 [Equation 9]
【００３１】ところで、上述した（１）式および（４）
式中における［ｔａｎ-1｛（ｇ／２＋ｘ）／（ｄ＋
ａ）｝＋ｔａｎ-1｛（ｇ／２−ｘ）／〈ｄ＋ａ〉｝］の
部分は、あるヘッド・媒体パラメータ条件下（ａ，ｇ）
での磁気スペーシング損失を表している。よって、磁気
スペースｄの増加に従って、孤立再生波出力ISTAAが低
下することが分かる。また、上述した（２）式より、磁
気スペースｄの増加に従ってパルス幅ＰＷ５０が増加す
ることが分かる。By the way, the above equations (1) and (4)
[Tan −1 {(g / 2 + x) / (d +
a)} + tan -1 {(g / 2-x) / <d + a>}] is under certain head / medium parameter conditions (a, g)
Represents the magnetic spacing loss at. Therefore, it is understood that the solitary reproduced wave output ISTAA decreases as the magnetic space d increases. Further, it can be seen from the above equation (2) that the pulse width PW50 increases as the magnetic space d increases.
【００３２】磁気スペースｄは、ある磁気記録媒体を仮
定した場合、その製造プロセスに起因するようなリセス
メントや、浮上型ヘッドの場合における浮上特性等とい
った、ヘッド構造自体の影響を受ける。そのため、磁気
スペースｄの真価を決定することは容易ではない。とこ
ろが、既に述べたように、磁気記録システムの到達記録
密度を考える場合、孤立再生波出力の絶対値ISTAAが基
本的に最も重要であり、前述のＥ’や［ｔａｎ-1｛（ｇ
／２＋ｘ）／（ｄ＋ａ）｝＋ｔａｎ-1｛（ｇ／２−ｘ）
／〈ｄ＋ａ〉｝］等の個別の値に意味がある訳ではな
く、これらの積で表された総合的に磁気記録条件を見渡
せる磁気ヘッドパラメータこそが必要である。以上のこ
とから、ここでは、新しいパラメータとして、以下の
（６）式に表すヘッド感度係数Ｓを定義する。When a certain magnetic recording medium is assumed, the magnetic space d is affected by the head structure itself, such as the recession caused by the manufacturing process of the magnetic recording medium and the flying characteristics in the case of a flying head. Therefore, it is not easy to determine the true value of the magnetic space d. However, as already described, when considering the ultimate recording density of the magnetic recording system, the absolute value ISTAA of the output of the isolated reproduction wave is basically the most important, and the above E ′ and [tan −1 {(g
/ 2 + x) / (d + a)} + tan -1 {(g / 2-x)
The individual values such as / <d + a>}] do not have any meaning, and the magnetic head parameters represented by the product and capable of overlooking the magnetic recording condition are necessary. From the above, the head sensitivity coefficient S represented by the following equation (6) is defined here as a new parameter.
【００３３】[0033]
【数１０】 [Equation 10]
【００３４】そして、この（６）式で定義したヘッド感
度係数Ｓを用いて、上述した（４）式の表現を、以下に
示す（７）式のように修正する。Then, using the head sensitivity coefficient S defined by the equation (6), the expression of the above-mentioned equation (4) is modified into the following equation (7).
【００３５】[0035]
【数１１】 [Equation 11]
【００３６】この（７）式からも明らかなように、ヘッ
ド特性の改善といった観点からは、単位磁気記録再生パ
ラメータ（√Ｌ・Ｗ・ｖ・Ｍｒ・δ）当りの孤立再生波
出力ISTAAを高めるヘッド感度係数Ｓの大小が現実的な
意味をもつ。これは、システム系ノイズはある有限の物
理レベルとして固定されるため、高密度な磁気記録シス
テムを実現する上で出力の絶対値が大きいことが必要条
件となるからである。As is apparent from the equation (7), the isolated reproduction wave output ISTAA per unit magnetic recording / reproducing parameter (√L · W · v · Mr · δ) is increased from the viewpoint of improving the head characteristics. The magnitude of the head sensitivity coefficient S has a practical meaning. This is because the system noise is fixed as a certain finite physical level, and therefore a large absolute value of output is a necessary condition for realizing a high-density magnetic recording system.
【００３７】ところで、ディジタル磁気記録信号におけ
る基本的なパラメータは、孤立再生波出力ISTAAと、そ
の孤立再生波出力ISTAAが５０％になるレベルでのパル
ス幅ＰＷ５０との二つであり、あるパルス幅ＰＷ５０で
の等化後におけるＳ／Ｎは後述するように入力信号対雑
音比Ｓ／Ｎinに比例する。By the way, there are two basic parameters in the digital magnetic recording signal: the isolated reproduced wave output ISTAA and the pulse width PW50 at the level where the isolated reproduced wave output ISTAA becomes 50%. The S / N after equalization in the PW50 is proportional to the input signal-to-noise ratio S / Nin as described later.
【００３８】全雑音ノイズ電圧Ｎtotは、異なる３つの
雑音原因、すなわち媒体ノイズ電圧Ｎｍと、システムノ
イズ電圧Ｎｓと、ヘッドインピーダンスノイズ電圧Ｎｈ
とによって、以下の（８）式のように表され、通常ナイ
キスト周波数をｆｎｙとすると、バンド幅ＢＷ＝（１．
０〜１．６）・ｆｎｙの全使用周波数帯域を積分して求
められる。The total noise noise voltage Ntot has three different noise sources, that is, the medium noise voltage Nm, the system noise voltage Ns, and the head impedance noise voltage Nh.
Is expressed by the following equation (8), and when the normal Nyquist frequency is fny, the bandwidth BW = (1.
It is obtained by integrating all the used frequency bands of 0 to 1.6) · fny.
【００３９】[0039]
【数１２】 [Equation 12]
【００４０】媒体ノイズ電圧Ｎｍは、磁性体サイズの不
均一性、分散性（塗布形媒体の場合）、表面粗さで発生
する漏洩磁束の揺らぎが主因である。そして、これらの
大きさは、媒体残留磁化量Ｍｒ、実効的媒体厚みδにそ
れぞれ比例する。つまり、媒体ノイズ電圧Ｎｍは、波長
依存性のみがあり、周波数依存性がないという特徴を有
した雑音であり、ヘッド感度係数Ｓによって以下の
（９）式のように表すことができる。The medium noise voltage Nm is mainly due to the nonuniformity of the size of the magnetic material, the dispersibility (in the case of a coated medium), and the fluctuation of the leakage magnetic flux generated by the surface roughness. Then, these magnitudes are respectively proportional to the medium residual magnetization amount Mr and the effective medium thickness δ. That is, the medium noise voltage Nm is a noise having a characteristic that it has only wavelength dependence but no frequency dependence, and can be expressed by the head sensitivity coefficient S as in the following equation (9).
【００４１】[0041]
【数１３】 [Equation 13]
【００４２】システムノイズ電圧Ｎｓは、磁気ヘッド信
号を増幅する前置増幅器の内部トランジスタ等が発生す
る回路雑音が主因である。つまり、周波数依存性のある
雑音であり、通常、単位周波数あたりの入力換算ノイズ
電圧nampを使って、以下の（１０）式のように表すこと
ができる。The system noise voltage Ns is mainly due to the circuit noise generated by the internal transistor of the preamplifier that amplifies the magnetic head signal. That is, the noise is frequency-dependent noise, and can be normally expressed by the following equation (10) using the input conversion noise voltage namp per unit frequency.
【００４３】[0043]
【数１４】 [Equation 14]
【００４４】ヘッドインピーダンスノイズ電圧Ｎｈは、
コイル巻線が有するヘッド直流抵抗Ｒが発生する熱雑音
（＝ジョンソンノイズ）が主因である。つまり、周波数
依存性のある雑音であり、単位周波数あたりの熱ノイズ
をｎｈとすると、以下の（１１）式のように表すことが
できる。なお、（１１）式中において、ｋはボルツマン
定数、Ｔは測定環境下での絶対温度、ＢＷは周波数帯域
幅をそれぞれ表している。The head impedance noise voltage Nh is
The main cause is thermal noise (= Johnson noise) generated by the head DC resistance R of the coil winding. That is, the noise is frequency-dependent noise, and can be expressed by the following equation (11), where nh is thermal noise per unit frequency. In the equation (11), k represents the Boltzmann constant, T represents the absolute temperature under the measurement environment, and BW represents the frequency bandwidth.
【００４５】[0045]
【数１５】 [Equation 15]
【００４６】これら（８）〜（１１）式により、磁気記
録システムの全雑音ノイズ電圧Ｎtotは、以下の（１
２）式のように表すことができる。From these equations (8) to (11), the total noise noise voltage Ntot of the magnetic recording system is given by
It can be expressed as in equation (2).
【００４７】[0047]
【数１６】 [Equation 16]
【００４８】一方、孤立再生波出力ISTAAは、磁気記録
ディスクの再生トラック幅をＴｗとすると、上述した
（７）式から、以下の（１３）式のように表すことがで
きる。On the other hand, the isolated reproduction wave output ISTAA can be expressed by the following expression (13) from the above expression (7), where Tw is the reproduction track width of the magnetic recording disk.
【００４９】[0049]
【数１７】 [Equation 17]
【００５０】ここで、磁気ヘッドにおける入力Ｓ／Ｎ、
すなわち入力信号対雑音比Ｓ／Ｎinは、孤立再生波出力
ISTAAのゼロ〜ピーク値を信号電圧、ノイズ実効値電圧
をノイズとすると、その対数比として、以下に示す（１
４）式のように表される。Here, the input S / N in the magnetic head,
That is, the input signal-to-noise ratio S / Nin is the isolated reproduction wave output.
Assuming that the ISTAA zero to peak value is the signal voltage and the noise effective value voltage is the noise, the logarithmic ratio is shown below (1
It is expressed as in equation 4).
【００５１】[0051]
【数１８】 [Equation 18]
【００５２】通常、信号処理の理論より、入力信号対雑
音比Ｓ／Ｎinは、最低２５ｄＢ以上必要であることが知
られている。そして、Ｓ／Ｎin＝２５ｄＢ以上を維持し
ようとすると、ヘッド出力や媒体種類等といった使用で
きる磁気記録の諸条件によって、自ずとトラック幅、線
記録密度、相対速度が定まり、到達可能な記録密度、デ
ータレートも一義的に定まる。It is generally known from the theory of signal processing that the input signal-to-noise ratio S / Nin needs to be at least 25 dB or more. When it is attempted to maintain S / Nin = 25 dB or more, the track width, the linear recording density, and the relative speed are naturally determined by the usable magnetic recording conditions such as head output and medium type, and the attainable recording density, data The rate is also uniquely determined.
【００５３】図２には、入力信号対雑音比Ｓ／Ｎinのヘ
ッド感度係数Ｓへの依存性の一具体例を示す。図例で
は、磁気記録媒体として塗布型メタルディスクであるフ
レキシブル磁気ディスクを用い、ヘッド媒体間相対速度
ｖ＝７．０８ｍ／ｓ、再生トラック幅Ｔｗ＝４．３μ
ｍ、線記録密度１８２ｋｆｃｉ、データ転送レート５６
Ｍｂｐｓ、インダクタンスＬ＝１１００ｎＨといった記
録再生条件下でのＳ／Ｎinのヘッド感度係数Ｓへの依存
性を示している。FIG. 2 shows a specific example of the dependency of the input signal-to-noise ratio S / Nin on the head sensitivity coefficient S. In the illustrated example, a flexible magnetic disk, which is a coating type metal disk, is used as the magnetic recording medium, the relative velocity between head media v = 7.08 m / s, and the reproduction track width Tw = 4.3 μ.
m, linear recording density 182 kfci, data transfer rate 56
The dependence of S / Nin on the head sensitivity coefficient S under the recording and reproducing conditions such as Mbps and inductance L = 1100 nH is shown.
【００５４】図例からも明らかなように、入力信号対雑
音比Ｓ／Ｎinを２５ｄＢ以上とするためには、ヘッド感
度係数Ｓが以下に示す（１５）式の関係を満たす必要が
あることが分かる。As is clear from the example of the figure, in order to set the input signal-to-noise ratio S / Nin to 25 dB or more, the head sensitivity coefficient S must satisfy the relationship of the following equation (15). I understand.
【００５５】[0055]
【数１９】 [Formula 19]
【００５６】一方、インダクタンスＬの上限は、図３
（ａ）に示すように、磁気ヘッド込みの再生伝達関数の
ゲイン（Gain）がピークとなる周波数を通常ｆ０と定義
し、周波数帯域幅ＢＷ≦周波数ｆ０で使用する必要があ
る。何故ならば、図３（ｂ）に示すように、周波数ｆ０
を境として位相が急激に回り、波形等化できなくなるた
めである。On the other hand, the upper limit of the inductance L is shown in FIG.
As shown in (a), it is necessary to define the frequency at which the gain (Gain) of the reproducing transfer function including the magnetic head reaches a peak as normal f0 and use it in the frequency bandwidth BW ≦ frequency f0. Because, as shown in FIG. 3B, the frequency f0
This is because the phase abruptly rotates around the boundary and it becomes impossible to equalize the waveform.
【００５７】これらのことから、本実施形態における磁
気ヘッド１では、磁気コア体積がバルクヘッドに比較し
て大幅に低下できる薄膜プレーナ型ヘッド構造を有した
ものにおいて、ヘッド感度係数Ｓが上述した（１５）式
の関係を満たすとともに、インダクタンスＬの上限が
０．２５ｎＨ／turn2以下であり、かつ、単位コイル巻
線あたりの直流抵抗Ｒが０．６Ω／turn以下を満足する
ものとした。このようなヘッド特性によって、当該磁気
ヘッド１は、コイル巻線の巻線数Ｎを３６turn以上で必
要周波数帯域を満足し、面記録密度５５０Ｍｂｐｓｉお
よびデータ転送レート７０Ｍｂｐｓ以上を実現すること
が可能となる。From the above, in the magnetic head 1 according to the present embodiment, the head sensitivity coefficient S has been described above in the one having the thin film planar type head structure in which the magnetic core volume can be largely reduced as compared with the bulk head. In addition to satisfying the relation of the expression (15), the upper limit of the inductance L is 0.25 nH / turn 2 or less, and the DC resistance R per unit coil winding is 0.6 Ω / turn or less. With such a head characteristic, the magnetic head 1 can satisfy the required frequency band when the number N of coil windings is 36 turns or more, and can achieve an areal recording density of 550 Mbps and a data transfer rate of 70 Mbps or more. .
【００５８】〔磁気ヘッドの製造手順の説明〕次に、以
上のようなヘッド特性を有した磁気ヘッド１の製造手順
について、すなわちその磁気ヘッド１を如何にして形成
するかについて説明する。図４は、磁気ヘッドの積層構
造の一例を示す説明図である。[Description of Manufacturing Procedure of Magnetic Head] Next, a manufacturing procedure of the magnetic head 1 having the above-described head characteristics, that is, how to form the magnetic head 1 will be described. FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of the laminated structure of the magnetic head.
【００５９】磁気ヘッド１の形成にあたっては、先ず、
はじめに、第一のステップとして、鏡面研磨された高熱
伝導性・高剛性を有したセラミックス基板（例えば、Ａ
ｌ2Ｏ3・ＴｉＣ焼結基板）１０１を準備し、その基板１
０１上に選択的エッチングの可能な金属犠牲層（例え
ば、銅、ニッケル、鉄等の金属またはそれらの合金層）
１０２を、メッキや真空薄膜形成技術等を用いて、０．
１〜１０μｍ程度成膜する。In forming the magnetic head 1, first,
First, as a first step, a mirror-polished ceramic substrate having high thermal conductivity and high rigidity (for example, A
l 2 O 3 · TiC sintered substrate) 101 is prepared, and the substrate 1
01 is a metal sacrificial layer that can be selectively etched (eg, a metal such as copper, nickel, iron, or an alloy layer thereof).
102 by means of plating or vacuum thin film forming technology.
The film is formed to a thickness of about 1 to 10 μm.
【００６０】続いて、第二のステップとして、金属犠牲
層１０２の上に、磁気ヘッド１のボディーの一部となる
アルミナ薄膜第一層を、真空薄膜形成技術の一種である
スパッタ法を用いて５〜１０μｍ程度成膜する。そし
て、磁気ヘッド１完成後におけるサスペンションビーム
２との接合電極用に、数１０〜１００μｍ角程度の穴
を、周知のフォトレジスト技術、湿式エッチング技術
（例えば、スパッタアルミナ膜のみの選択除去の場
合）、またはイオンビームエッチング技術（例えば、犠
牲層１０２に２μｍ以上の深さの穴加工をする場合）を
用いて作製する。また、犠牲層１０２を最終工程で除去
する際に使用するエッチング液が、ここで作成した穴部
から染込んで、Ａｕ電極膜１０３や積層膜を腐食溶解し
ないように、１μｍ厚以上のスパッタアルミナ薄膜でカ
バーする。これにより、第一積層ボディー１０４が完成
することになる。Then, as a second step, an alumina thin film first layer which is a part of the body of the magnetic head 1 is formed on the metal sacrificial layer 102 by using a sputtering method which is one of vacuum thin film forming techniques. A film of about 5 to 10 μm is formed. Then, a well-known photoresist technique or wet etching technique (for example, in the case of selectively removing only the sputtered alumina film) is formed with a hole of several tens to 100 μm square for a bonding electrode with the suspension beam 2 after completion of the magnetic head 1. , Or using an ion beam etching technique (for example, when the sacrifice layer 102 is drilled to a depth of 2 μm or more). In addition, the etching liquid used for removing the sacrificial layer 102 in the final step does not infiltrate through the holes formed here and corrode and dissolve the Au electrode film 103 and the laminated film, so that sputtered alumina having a thickness of 1 μm or more is used. Cover with a thin film. As a result, the first laminated body 104 is completed.
【００６１】第一積層ボディー１０４の完成後は、第三
のステップとして、その第一積層ボディー１０４上に位
置決め用基準マークを形成する。そして、電気メッキ用
種金属をスパッタ法で０．１μｍ程度成膜し、その位置
決め用基準マークに位置合せして、ＡｕあるいはＡｕ合
金電極、ＣｕあるいはＣｕ合金配線、コイルとの結合Ｃ
ｕあるいはＣｕ合金端子を、電気メッキ法で２μｍ以上
の高さに形成する。さらに、その位置決め用基準マーク
に位置合せして、ＮｉＦｅあるいはＮｉＦｅＣｏ等の軟
磁性合金による上部磁気ヨーク（例えば、数１０μｍ以
上の幅×２００μｍ以下の長さ）１０５と、中間第一磁
気スタッド（例えば、数１０μｍ角）とを、磁束流れ方
向と垂直方向に磁場を印加した状態での磁界中電気メッ
キ法により、３μｍ以上の高さに形成する。これら全構
造物形成後、種をイオンビームエッチング法により除去
し、スパッタアルミナ膜を５μｍ以上成膜する。そし
て、次の層の構造物との結合を得るべく、しかも寸法を
精度良く形成するために、無歪み機械研磨法により層間
膜厚が５μｍ以上となる程度まで平坦化を施し、精密洗
浄後、不活性ガス中で乾燥する。これにより、第二積層
ボディー１０６が完成することになる。After the first laminated body 104 is completed, as a third step, a positioning reference mark is formed on the first laminated body 104. Then, a seed metal for electroplating is deposited to a thickness of about 0.1 .mu.m by the sputtering method, aligned with the positioning reference mark, and bonded to the Au or Au alloy electrode, Cu or Cu alloy wiring, or coil C
The u or Cu alloy terminal is formed by electroplating to a height of 2 μm or more. Further, aligned with the positioning reference mark, an upper magnetic yoke (for example, width of several tens of μm or more × length of 200 μm or less) 105 made of a soft magnetic alloy such as NiFe or NiFeCo and an intermediate first magnetic stud (for example, , Several tens of μm square) are formed to a height of 3 μm or more by electroplating in a magnetic field in a state where a magnetic field is applied in the direction perpendicular to the magnetic flux flow direction. After forming all these structures, the seeds are removed by an ion beam etching method, and a sputtered alumina film is formed to a thickness of 5 μm or more. Then, in order to obtain a bond with the structure of the next layer and to form the dimension with high precision, flattening is performed by an unstrained mechanical polishing method until the interlayer film thickness becomes 5 μm or more, and after precision cleaning, Dry in an inert gas. As a result, the second laminated body 106 is completed.
【００６２】第二積層ボディー１０６の完成後は、第四
のステップとして、その第二積層ボディー１０６上に位
置決め用基準マークを形成する。そして、電気メッキ用
種金属をスパッタ法で０．１μｍ程度成膜し、その位置
決め用基準マークに位置合せして、断面積が６μｍ2以
上で１００μｍ以下の曲率半径を持つ第一Ｃｕあるいは
Ｃｕ合金コイル（片側巻数は全巻数の１／６）１０７
と、後述する第二コイルとの結合ＣｕあるいはＣｕ合金
端子、ＮｉＦｅあるいはＮｉＦｅＣｏ等の軟磁性合金に
よる中間第二磁気スタッドを電気メッキ法で形成後、種
をイオンビームエッチング法により除去しつつ、コイル
断面の角面取りを行う。この角面取りにあたっては、例
えば特開平７−１６３１０１号公報で提案されているよ
うな公知技術を用いて行えばよい。コイル断面の角面取
り後は、スパッタアルミナ膜を５μｍ以上成膜する。そ
して、次の層の構造物との結合を得るべく、しかも寸法
を精度良く形成するために、無歪み機械研磨法により層
間膜厚が５μｍ以上となる程度まで平坦化を施し、精密
洗浄後、不活性ガス中で乾燥する。これにより、第三積
層ボディー１０８が完成することになる。After the second laminated body 106 is completed, as a fourth step, a positioning reference mark is formed on the second laminated body 106. Then, a seed metal for electroplating is deposited to a thickness of about 0.1 μm by a sputtering method, aligned with the positioning reference mark, and the first Cu or Cu alloy having a cross-sectional area of 6 μm 2 or more and a radius of curvature of 100 μm or less. Coil (the number of turns on one side is 1/6 of the total number of turns) 107
And a second coil which will be described later, a Cu or Cu alloy terminal, an intermediate second magnetic stud made of a soft magnetic alloy such as NiFe or NiFeCo is formed by an electroplating method, and the seed is removed by an ion beam etching method. Chamfer the cross section. The chamfering may be performed by using a known technique such as that proposed in Japanese Patent Laid-Open No. 7-163101. After the chamfering of the coil cross section, a sputtered alumina film is formed to a thickness of 5 μm or more. Then, in order to obtain a bond with the structure of the next layer and to form the dimension with high precision, flattening is performed by an unstrained mechanical polishing method until the interlayer film thickness becomes 5 μm or more, and after precision cleaning, Dry in an inert gas. As a result, the third laminated body 108 is completed.
【００６３】第三積層ボディー１０８の完成後は、第五
のステップとして、その第三積層ボディー１０８上に位
置決め用基準マークを形成する。そして、電気メッキ用
種金属をスパッタ法で０．１μｍ程度成膜し、その位置
決め用基準マークに位置合せして、第四のステップの場
合と同様に、第二ＣｕあるいはＣｕ合金コイル１０９、
後述する第三コイルとの結合ＣｕあるいはＣｕ合金端
子、ＮｉＦｅあるいはＮｉＦｅＣｏ等の軟磁性合金によ
る中間第三磁気スタッドを電気メッキ法で形成後、第四
のステップと同様の処理を行う。これにより、第四積層
ボディー１１０が完成することになる。After the completion of the third laminated body 108, as a fifth step, a positioning reference mark is formed on the third laminated body 108. Then, a seed metal for electroplating is deposited to a thickness of about 0.1 μm by a sputtering method, and the film is aligned with the positioning reference mark. As in the case of the fourth step, the second Cu or Cu alloy coil 109,
After formation of an intermediate third magnetic stud made of a Cu or Cu alloy terminal and a soft magnetic alloy such as NiFe or NiFeCo, which will be described later, with the third coil, the same treatment as in the fourth step is performed. As a result, the fourth laminated body 110 is completed.
【００６４】第四積層ボディー１１０の完成後は、第六
のステップとして、その第四積層ボディー１１０上に位
置決め用基準マークを形成する。そして、電気メッキ用
種金属をスパッタ法で０．１μｍ程度成膜し、その位置
決め用基準マークに位置合せして、第四のステップの場
合と同様に、第三ＣｕあるいはＣｕ合金コイル１１１、
抵抗・インダクタンス計測用ＣｕあるいはＣｕ合金端
子、ＮｉＦｅあるいはＮｉＦｅＣｏ等の軟磁性合金によ
る中間第三磁気スタッドを電気メッキ法で形成後、第四
のステップと同様の処理を行う。これにより、第五積層
ボディー１１２が完成することになる。After the fourth laminated body 110 is completed, as a sixth step, a positioning reference mark is formed on the fourth laminated body 110. Then, a seed metal for electroplating is deposited to a thickness of about 0.1 μm by the sputtering method, and is aligned with the positioning reference mark. As in the case of the fourth step, the third Cu or Cu alloy coil 111,
After forming a Cu or Cu alloy terminal for resistance / inductance measurement and an intermediate third magnetic stud of a soft magnetic alloy such as NiFe or NiFeCo by the electroplating method, the same treatment as in the fourth step is performed. As a result, the fifth laminated body 112 is completed.
【００６５】そして、第五積層ボディー１１２が完成す
ると、続いて、その上に位置決め用基準マークを形成す
るとともに、ウェットエッチ耐性膜をスパッタ法で０．
１μｍ以上成膜し、さらにスパッタアルミナ膜を１０μ
ｍ前後成膜する。ここで、下部磁気ヨーク用の台座を、
フォトレジスト技術、湿式エッチング技術（例えば、ス
パッタアルミナ膜のみの選択除去の場合）、またはイオ
ンビームエッチング技術（例えば、ウェットエッチ耐性
膜を除去する場合）を用いて作製する。その後は、、電
気メッキ用種金属をスパッタ法で０．１μｍ程度成膜
し、その位置決め用基準マークに位置合せして、ＮｉＦ
ｅあるいはＮｉＦｅＣｏ等の軟磁性合金による下部磁気
ヨーク（例えば、中央部から２０μｍ程度の長さの間の
み約１０μｍ幅で、それ以外は３０μｍ以上の幅×１５
０μｍ以下の全体長さ）１１３を、磁束流れ方向と垂直
方向に磁場を印加した状態での磁界中電気メッキ法によ
り、３μｍ以上の高さに形成する。これら全構造物形成
後、種をイオンビームエッチング法により除去し、スパ
ッタアルミナ膜を当該台座高さ以上となる７μｍ以上成
膜する。そして、次の層の構造物との結合を得るべく、
しかも寸法を精度良く形成するために、無歪み機械研磨
法により台座開口幅＝３．５±１．０になるまで平坦化
を施し、精密洗浄後、不活性ガス中で乾燥する。これに
より、第六積層ボディー１１４が完成することになる。
また、順次積層される第一〜第六積層ボディー１０４〜
１１４は、例えば特開平１０−１１６４１０号公報に開
示されているように、所定基準以上の柔軟性を有するよ
うになる。Then, when the fifth laminated body 112 is completed, subsequently, a positioning reference mark is formed on the fifth laminated body 112, and a wet etch resistant film is formed by sputtering.
Form a film with a thickness of 1 μm or more, and sputter alumina film with a thickness of 10 μm.
A film is formed around m. Here, the pedestal for the lower magnetic yoke,
It is formed using a photoresist technique, a wet etching technique (for example, in the case of selectively removing only the sputtered alumina film), or an ion beam etching technique (for example, in the case of removing the wet etch resistant film). After that, a seed metal for electroplating is deposited to a thickness of about 0.1 μm by the sputtering method, and the NiF is aligned with the positioning reference mark.
e or a lower magnetic yoke made of a soft magnetic alloy such as NiFeCo (for example, a width of about 10 μm only for a length of about 20 μm from the central portion, and a width of 30 μm or more × 15 otherwise).
(Total length of 0 μm or less) 113 is formed to a height of 3 μm or more by electroplating in a magnetic field in a state where a magnetic field is applied in a direction perpendicular to the magnetic flux flow direction. After forming all of these structures, the seeds are removed by an ion beam etching method, and a sputtered alumina film is formed to a thickness of 7 μm or more, which is equal to or higher than the pedestal height. And to obtain the bond with the structure of the next layer,
In addition, in order to form the dimensions with high precision, flattening is performed by a strain-free mechanical polishing method until the pedestal opening width = 3.5 ± 1.0, followed by precision cleaning and drying in an inert gas. As a result, the sixth laminated body 114 is completed.
Also, the first to sixth laminated bodies 104 to be sequentially laminated
As disclosed in, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-116410, 114 has flexibility equal to or greater than a predetermined standard.
【００６６】第六積層ボディー１１４の完成後は、第七
のステップとして、その第六積層ボディー１１４上に位
置決め用基準マークを形成する。そして、電気メッキ用
種金属をスパッタ法で０．１μｍ程度成膜し、その位置
決め用基準マークに位置合せして、ＮｉＦｅあるいはＮ
ｉＦｅＣｏ等の軟磁性合金による第一の磁気ポールを、
磁束流れ方向と垂直方向に磁場を印加した状態での磁界
中電気メッキ法により、片側の垂直壁がこれから形成さ
れる磁気ギャップ長の中心に位置するように、３μｍ以
上の高さに形成する。その後、種をイオンビームエッチ
ング法により除去し、非磁性磁気ギャップ材を所望の膜
厚だけスパッタ成膜する。さらにその後は、第二の電気
メッキ別種金属をスパッタ法で０．１μｍ程度成膜し、
基準マークに位置合せして、ＮｉＦｅあるいはＮｉＦｅ
Ｃｏ等の軟磁性合金による第二の磁気ポールを、磁束流
れ方向と垂直方向に磁場を印加した状態での磁界中電気
メッキ法により、３μｍ以上高さに形成する。そして、
種をイオンビームエッチング法により除去し、スパッタ
アルミナ膜を第一および第二の磁気ポールの高さ以上と
なる６μｍ以上成膜する。スパッタアルミナ膜の成膜後
は、所定の磁気ポール高さを規定するために、無歪み機
械研磨法により平坦化を施し、精密洗浄後、不活性ガス
中で乾燥する。そして、位置決め用基準マークに合せた
後、フォトレジスト技術、イオンビームエッチング技術
を用いて、所望の平面形状（主にトラック幅）を有する
磁気ポール１１５を作製する。After the sixth laminated body 114 is completed, as a seventh step, a positioning reference mark is formed on the sixth laminated body 114. Then, a seed metal for electroplating is deposited to a thickness of about 0.1 μm by a sputtering method, and the reference metal for positioning is aligned with the NiFe or N
The first magnetic pole made of a soft magnetic alloy such as iFeCo,
By a magnetic field electroplating method in which a magnetic field is applied in a direction perpendicular to the magnetic flux flow direction, a vertical wall on one side is formed at a height of 3 μm or more so as to be located at the center of the magnetic gap length to be formed. After that, the seeds are removed by the ion beam etching method, and the nonmagnetic magnetic gap material is formed by sputtering to a desired thickness. After that, a second electroplating different metal is formed by a sputtering method to a film thickness of about 0.1 μm,
NiFe or NiFe aligned with the reference mark
A second magnetic pole made of a soft magnetic alloy such as Co is formed to have a height of 3 μm or more by electroplating in a magnetic field in a state where a magnetic field is applied in a direction perpendicular to the magnetic flux flow direction. And
The seeds are removed by an ion beam etching method, and a sputtered alumina film is formed to a height of 6 μm or more, which is equal to or higher than the height of the first and second magnetic poles. After forming the sputtered alumina film, in order to define the predetermined magnetic pole height, flattening is performed by a strainless mechanical polishing method, followed by precision cleaning and drying in an inert gas. Then, after aligning with the positioning reference mark, the magnetic pole 115 having a desired planar shape (mainly track width) is manufactured by using a photoresist technique and an ion beam etching technique.
【００６７】その後、第八のステップとして、光学式膜
厚計で炭素系硬質膜の厚みを正確に計測するための反射
基準用金属をスパッタ法で０．２μｍ程度成膜し、さら
に炭素系硬質膜をプラズマ補助化学気相成膜（ＣＶＤ）
法で磁気ポール１１５の全高さ以上に成膜する。このと
き、炭素系硬質膜の成膜は、例えば特開平１１−９２９
３４号公報や特開平１１−３２８６１３号公報にて開示
された公知技術を用いて行えばよい。炭素系硬質膜の成
膜後は、磁気ポール１１５の凸量を１μｍ以下にする平
坦化処理を実施し、保護用の炭素系硬質膜を成膜し、位
置決め後フォトレジスト技術、反応性Ｏ2プラズマイオ
ンエッチング技術、またはイオンビームエッチング技術
を用いて、接触パッド１２を形成する。この接触パッド
１２は、既に説明したように、磁気ポール１１５を覆う
パッドと２つの補助パッドとの計３つを、ディスクとの
摺動を考慮した形状に形成する。また、この接触パッド
１２の形成については、例えば特開平１１−５３８１４
号公報にて開示された公知技術を用いて行えばよい。そ
して、接触パッド１２の形成後は、不必要な部分の反射
基準用金属を、フォトレジスト技術またはイオンビーム
エッチング技術で除去する。これにより、基板１０１上
には、多数の非分離状態にある磁気ヘッド１が同時に作
製されることになる。After that, in the eighth step, a reflection reference metal for accurately measuring the thickness of the carbon-based hard film is formed by a sputtering method to a thickness of about 0.2 μm, and the carbon-based hard film is further formed. Plasma assisted chemical vapor deposition (CVD)
Method is used to form a film with a height not less than the total height of the magnetic pole 115. At this time, the carbon-based hard film is formed by, for example, JP-A-11-929.
The publicly known technique disclosed in JP-A-34-34 or JP-A-11-328613 may be used. After the carbon-based hard film is formed, a flattening process is performed to reduce the convex amount of the magnetic pole 115 to 1 μm or less, a protective carbon-based hard film is formed, and after positioning, the photoresist technique and the reactive O 2 are used. The contact pad 12 is formed using a plasma ion etching technique or an ion beam etching technique. As described above, the contact pad 12 has a total of three pads including the pad for covering the magnetic pole 115 and the two auxiliary pads, and has a shape in consideration of sliding on the disk. Further, regarding the formation of the contact pad 12, for example, JP-A-11-53814 is used.
The publicly known technique disclosed in the publication can be used. After the contact pad 12 is formed, unnecessary portions of the reflection reference metal are removed by a photoresist technique or an ion beam etching technique. As a result, a large number of magnetic heads 1 in a non-separated state are simultaneously manufactured on the substrate 101.
【００６８】以後は、第九のステップとして、一つ一つ
の磁気ヘッド１への分離を行う。そのためには、先ず、
犠牲層１０２を除去する。この除去は、例えば特開平１
０−３６１５号公報や特開平１０−３６１６号公報に開
示されている公知技術を用いて行えばよい。そして、犠
牲層１０２を除去したら、４０μｍ程度のアルミナスパ
ッタ積層ボディーで形成された磁気ヘッドデバイスシー
トを作製した後、一つ一つの磁気ヘッド１への分離を行
う。After that, as a ninth step, separation into individual magnetic heads 1 is performed. To do that, first
The sacrificial layer 102 is removed. This removal is performed, for example, in Japanese Patent Laid-Open No.
The publicly known techniques disclosed in JP-A-0-3615 and JP-A-10-3616 may be used. Then, after removing the sacrificial layer 102, a magnetic head device sheet formed of an alumina sputter laminated body of about 40 μm is produced, and then separated into individual magnetic heads 1.
【００６９】磁気ヘッド１の分離後は、第十のステップ
として、当該磁気ヘッド１のサスペンションビーム２と
の電気的および機械的接合を行う。この接合は、例えば
特開平８−２１２５１６号公報に開示されている公知の
ＡｕＡｕ直接接合技術を用いて行えばよい。これによ
り、ヘッドジンバル組立品（ＨＧＡ）が完成することに
なる。そして、最後に、磁気ポール１１５の表面を覆っ
ている保護炭素系硬質膜を研磨により除去し、磁気ギャ
ップを露出させ、電気磁気変換可能な最終製品として完
成させる。After the magnetic head 1 is separated, as a tenth step, the magnetic head 1 is electrically and mechanically joined to the suspension beam 2. This bonding may be performed by using a known AuAu direct bonding technique disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 8-212516. As a result, the head gimbal assembly (HGA) is completed. Then, finally, the protective carbon-based hard film covering the surface of the magnetic pole 115 is removed by polishing to expose the magnetic gap, and the final product capable of electromagnetic conversion is completed.
【００７０】〔従来例との比較の説明〕次に、以上のよ
うな製造手順によって完成した磁気ヘッド１、さらに詳
しくは上述した特性を有する磁気ヘッド１の優位性につ
いて、従来例である磁束誘導型のＭＩＧヘッドとの比較
において説明する。[Description of Comparison with Conventional Example] Next, regarding the superiority of the magnetic head 1 completed by the above-described manufacturing procedure, more specifically, the magnetic head 1 having the above-mentioned characteristics, the magnetic flux induction which is a conventional example. Description will be made in comparison with a MIG head of a type.
【００７１】ここで、先ず、従来例との比較にあたって
使用した実験装置について説明する。図５は、実験装置
の一例の概略構成図である。図例のように、実験装置
は、エアスピンドルモータ部２０およびヘッドサスペン
ション取り付け部２１を備えている。なお、これらは、
市販のハードディスクスピンスタンド（例えば、協同電
子製：ＬＳ９０）を使用すればよい。First, the experimental apparatus used for comparison with the conventional example will be described. FIG. 5 is a schematic configuration diagram of an example of the experimental device. As shown in the figure, the experimental apparatus includes an air spindle motor section 20 and a head suspension mounting section 21. In addition, these are
A commercially available hard disk spin stand (for example, LS90 manufactured by Kyodo Denshi) may be used.
【００７２】エアスピンドルモータ部２０には、上述し
た塗布型メタルディスクであるフレキシブル磁気ディス
ク４が装着される。ただし、フレキシブル磁気ディスク
４に対しては、その上下に接近してディスクカートリッ
ジに相当するガラスプレート２２ｕ，２２ｄを配置され
ており、それらの間隔をマイクロメータ２３ｕ，２３ｄ
で調整し得るようになっている。これにより、フレキシ
ブル磁気ディスク４の回転時に、空気の層流が発生する
とともに、ベルヌーイ効果による負圧が発生するので、
そのフレキシブル磁気ディスク４の上下方向の振動（以
下ランアウトと略す）を抑制することができる。このラ
ンアウト量は、ディスク回転数およびディスクプレート
間隔で大幅に調整することが可能である。The flexible magnetic disk 4 which is the above-mentioned coating type metal disk is mounted on the air spindle motor section 20. However, with respect to the flexible magnetic disk 4, glass plates 22u and 22d corresponding to disk cartridges are arranged vertically close to each other, and the distance between them is set to the micrometer 23u and 23d.
It can be adjusted with. As a result, when the flexible magnetic disk 4 rotates, a laminar flow of air is generated and a negative pressure due to the Bernoulli effect is generated.
The vertical vibration of the flexible magnetic disk 4 (hereinafter abbreviated as runout) can be suppressed. This run-out amount can be greatly adjusted by the disc rotation speed and the disc plate spacing.
【００７３】図６は、ガラスプレート２２ｕ，２２ｄを
上面側から見た平面図である。ガラスプレート２２ｕ，
２２ｄには、後述するようにフレキシブル磁気ディスク
４上に評価対象となるヘッドがロードされることから、
その磁気ヘッドが挿入されるためのスリット２４が設け
られている。FIG. 6 is a plan view of the glass plates 22u and 22d as seen from the upper surface side. Glass plate 22u,
In 22d, the head to be evaluated is loaded on the flexible magnetic disk 4 as described later,
A slit 24 for inserting the magnetic head is provided.
【００７４】このようなガラスプレート２２ｕ，２２ｄ
に挟まれるフレキシブル磁気ディスク４は、非磁性支持
体上に非磁性粉末を結合剤中に分散せしめてなる下層を
設け、その上に当該下層が未乾燥状態のうちに強磁性粉
末を結合剤中に分散せしめてなる上層を設けたもので、
磁性層のカレンダー処理後の平均厚みが０．２μｍの重
層塗布型磁気記録ディスクを使用した。Such glass plates 22u, 22d
The flexible magnetic disk 4 sandwiched between the magnetic recording medium and the magnetic recording medium is provided with a lower layer obtained by dispersing a non-magnetic powder in a binder on a non-magnetic support, and a ferromagnetic powder in the binder when the lower layer is undried. It has an upper layer that is dispersed in
A multilayer coating type magnetic recording disk having an average thickness of the magnetic layer after calendering of 0.2 μm was used.
【００７５】具体的には、フレキシブル磁気ディスク４
は、塗布型メタル媒体からなり、残留磁化量Ｍｒの値が
Ｍｒ≧２００memu/cm3で、残留磁化量Ｍｒと実効的媒体
厚みδの積Ｍｒ・δの値がＭｒ・δ≧３．５memu/cm
2で、かつ、保磁力Ｈｃの値がＨｃ≧２０００Ｏｅであ
るものを使用した。これは、ＨｉＦＤと呼ばれるフレキ
シブル磁気ディスクに該当するものである。Specifically, the flexible magnetic disk 4
Is a coating type metal medium, the value of the residual magnetization amount Mr is not less than 200 memu / cm 3 , and the value of the product Mr · δ of the residual magnetization amount Mr and the effective medium thickness δ is Mr · δ ≧ 3.5 memu / cm
2 and the value of coercive force Hc was Hc ≧ 2000 Oe. This corresponds to a flexible magnetic disk called HiFD.
【００７６】一方、図５において、ヘッドサスペンショ
ン取り付け部２１には、上述したＨＧＡを構成するサス
ペンションビーム２およびベースプレート３を介して、
評価対象となる磁気ヘッドが装着される。そして、装着
された磁気ヘッドは、ヘッドサスペンション取り付け部
２１によって、ガラスプレート２２ｕ，２２ｄのスリッ
ト２４部分に進入し、定常回転になった後のフレキシブ
ル磁気ディスク４上の任意の半径位置にてロードされ、
フレキシブル磁気ディスク４に対する信号の記録再生が
可能な状態となる。なお、ヘッドサスペンション取り付
け部２１では、Ｚ−ハイト（height）値を調整するため
マイクロメータ２５ｕ，２５ｄを備えており、これによ
り予め規定のＺ−ハイト値を設定しておくことが可能に
なる。On the other hand, in FIG. 5, the head suspension mounting portion 21 is provided with the suspension beam 2 and the base plate 3 forming the above-mentioned HGA,
A magnetic head to be evaluated is mounted. Then, the mounted magnetic head enters the slits 24 of the glass plates 22u and 22d by the head suspension mounting portion 21 and is loaded at an arbitrary radial position on the flexible magnetic disk 4 after the steady rotation. ,
A signal can be recorded / reproduced on / from the flexible magnetic disk 4. The head suspension mounting portion 21 is provided with micrometers 25u and 25d for adjusting the Z-height value, which makes it possible to set a prescribed Z-height value in advance.
【００７７】このときのフレキシブル磁気ディスク４の
ランアウト量は、光学系２５および図中Ｂ部以降に接続
されるレーザドップラー顕微鏡装置（ただし不図示）で
リアルタイムに計測される。実験においては、ディスク
／プレート間隔がそれぞれ３００μｍの時、ランアウト
量（ＲＲＯ）がヘッドアンロード時で１５μｍ、ロード
時で１０μｍと良好な値が得られた。The run-out amount of the flexible magnetic disk 4 at this time is measured in real time by a laser Doppler microscope device (not shown) connected to the optical system 25 and the portion B and after in the figure. In the experiment, when the disk / plate spacing was 300 μm, the runout amount (RRO) was 15 μm when the head was unloaded, and 10 μm when loaded, which were good values.
【００７８】また、フレキシブル磁気ディスク４上にロ
ードされた磁気ヘッドの電磁変換特性は、プリアンプ２
６を通して、図中Ａ部以降に接続される市販の記録再生
評価装置（Guzik1601＋PRML）、ディジタルストレージ
オシロスコープ（Lecroy9345）、スペクトラムアナライ
ザー（Advantest）等を使って解析／評価されることに
なる。Further, the electromagnetic conversion characteristics of the magnetic head loaded on the flexible magnetic disk 4 are determined by the preamplifier 2
6, analysis / evaluation will be performed using a commercially available recording / reproducing evaluation device (Guzik1601 + PRML), a digital storage oscilloscope (Lecroy9345), a spectrum analyzer (Advantest), etc., connected to the part A and later in the figure.
【００７９】以上のような構成の実験装置を用いて、本
実施形態における磁気ヘッド１のうち、高転送レートを
実現する目的に適用した例（以下「第一例」という）
と、低相対速度条件でも高密度記録を実現する目的に適
用した例（以下「第二例」という）と、従来のＭＩＧヘ
ッド（以下「従来例」という）とについて、それぞれヘ
ッド特性の評価を行った。An example (hereinafter referred to as "first example") of the magnetic head 1 of the present embodiment, which is applied for the purpose of realizing a high transfer rate, by using the experimental apparatus having the above-mentioned configuration.
And head characteristics of an example (hereinafter referred to as "second example") applied for the purpose of realizing high density recording even under a low relative speed condition and a conventional MIG head (hereinafter referred to as "conventional example"). went.
【００８０】図７は、それぞれの場合におけるヘッド特
性の評価結果を示す説明図である。なお、図中の評価結
果において、インダクタンスＬの値は、３０ＭＨｚで励
振したときの複素インピーダンスＲ＋ｊｗＬから算出し
ている。また、第一例および第二例の磁気ヘッド１にお
けるコイル巻線は、４５ｍｍツイストペアワイヤ付で、
ワイヤ１００ｍｍあたりの抵抗、インダクタンス、キャ
パシタがそれぞれ３Ω、９０ｎＨ、９ｐＦのものを使用
している。さらに、直流抵抗は、テスターにて直接測定
した。また、第一例および第二例の磁気ヘッド１は、い
ずれも上述した製造手順を経て形成されたものである
が、そのヘッドギャップ長ｇがｇ≧０．１８μｍに形成
されているものとする。FIG. 7 is an explanatory diagram showing the evaluation results of the head characteristics in each case. In the evaluation result in the figure, the value of the inductance L is calculated from the complex impedance R + jwL when excited at 30 MHz. Further, the coil winding in the magnetic head 1 of the first example and the second example has a 45 mm twisted pair wire,
The resistance, inductance, and capacitor per 100 mm of wire are 3Ω, 90 nH, and 9 pF, respectively. Further, the direct current resistance was directly measured with a tester. Further, the magnetic heads 1 of the first example and the second example are both formed through the above-described manufacturing procedure, but the head gap length g is formed to be g ≧ 0.18 μm. .
【００８１】図例に示すように、第一例では、接触型の
ヘッド媒体インターフェースで、ヘッド感度係数Ｓが２
１７nVpp/(√nH)・(m/s)・(emu/cm2)の磁気ヘッド１に
おいて、コイル巻線の巻線数Ｎを３６turnとし、インダ
クタンスＬの値を２８０ｎＨと抑えることによって、ヘ
ッド媒体間相対速度ｖ＝１３．４m/sという条件下で、
７０．７Ｍｂｐｓといった高転送レートと、５５０ｋｂ
ｐｓｉといった高記録密度とを同時に実現している。つ
まり、かかる磁気ヘッド１では、ヘッド感度係数Ｓが
（１５）式の関係を満たすとともに、インダクタンスＬ
の上限が０．２５ｎＨ／turn2以下であり、かつ、単位
コイル巻線あたりの直流抵抗Ｒが０．６Ω／turn以下を
満足するため、フレキシブル磁気ディスク４の再生トラ
ック幅Ｔｗが４．２μｍ、すなわちディスクトラック幅
Ｗ≦５μｍを満足するような高記録密度を実現しつつ、
上述したような高転送レートを実現することができる。As shown in the figure, in the first example, the contact type head medium interface has a head sensitivity coefficient S of 2
In the magnetic head 1 of 17 nVpp / (√nH) · (m / s) · (emu / cm 2 ), the winding number N of the coil winding is set to 36 turns, and the value of the inductance L is suppressed to 280 nH to reduce the head medium. Under the condition of relative velocity v = 13.4 m / s,
High transfer rate of 70.7 Mbps and 550 kb
High recording density such as psi is realized at the same time. That is, in the magnetic head 1, the head sensitivity coefficient S satisfies the relationship of the expression (15) and the inductance L
Has an upper limit of 0.25 nH / turn 2 or less and a DC resistance R per unit coil winding of 0.6 Ω / turn or less, the reproduction track width Tw of the flexible magnetic disk 4 is 4.2 μm, That is, while realizing a high recording density that satisfies the disk track width W ≦ 5 μm,
The high transfer rate as described above can be realized.
【００８２】第二例では、コイル巻線の巻線数Ｎをイン
ダクタンスＬの値の上限まで高めてヘッド出力をあげて
Ｓ／Ｎinを維持し、第一例に比較して半分程度の相対速
度においても同等以上の記録密度を実現できる点で、上
述した第一例と相違する。詳しくは、接触型のヘッド媒
体インターフェースで、ヘッド感度係数Ｓが１８７nVpp
/(√nH)・(m/s)・(emu/cm2)の磁気ヘッド１において、
コイル巻線の巻線数Ｎを７２turnとし、インダクタンス
Ｌの値を６６８ｎＨと高めることによって、ヘッド媒体
間相対速度ｖ＝７．８m/sという第一例よりも低い相対
速度条件下で、５６Ｍｂｐｓといった高転送レートと、
６７４Ｍｂｐｓｉといった高記録密度とを同時に実現し
ている。つまり、かかる磁気ヘッド１では、ヘッド感度
係数Ｓが（１５）式の関係を満たすとともに、インダク
タンスＬの上限が０．２５ｎＨ／turn2以下であり、か
つ、単位コイル巻線あたりの直流抵抗Ｒが０．６Ω／tu
rn以下を満足するため、フレキシブル磁気ディスク４の
再生トラック幅Ｔｗが４．２μｍ、すなわちディスクト
ラック幅Ｗ≦５μｍを満足するような高記録密度を実現
しつつ、上述したような高転送レートを実現することが
できる。In the second example, the number N of coil windings is increased to the upper limit of the value of the inductance L to increase the head output to maintain S / Nin, and the relative speed is about half that of the first example. Also in the above, the same or higher recording density can be realized, which is different from the above-mentioned first example. Specifically, it is a contact type head medium interface, and the head sensitivity coefficient S is 187 nVpp.
In the magnetic head 1 of / (√nH) ・ (m / s) ・ (emu / cm 2 ),
By setting the number of turns N of the coil windings to 72 turns and increasing the value of the inductance L to 668 nH, 56 Mbps under the relative velocity condition v = 7.8 m / s which is lower than the first example. High transfer rate,
High recording density such as 674 Mbps is realized at the same time. That is, in the magnetic head 1, the head sensitivity coefficient S satisfies the relation of the expression (15), the upper limit of the inductance L is 0.25 nH / turn 2 or less, and the DC resistance R per unit coil winding is 0.6Ω / tu
In order to satisfy the following condition, the flexible magnetic disk 4 realizes a high recording density while satisfying a reproducing track width Tw of 4.2 μm, that is, a disk track width W ≦ 5 μm, while realizing the above-mentioned high transfer rate. can do.
【００８３】特に、第二例における磁気ヘッド１では、
ヘッド媒体間相対速度ｖが低い条件下で高記録密度を実
現できるため、フレキシブル磁気ディスク４が小径化し
た場合に用いて非常に好適なものとなる。Particularly, in the magnetic head 1 in the second example,
Since a high recording density can be realized under the condition that the relative velocity v between head media is low, it is very suitable for use when the diameter of the flexible magnetic disk 4 is reduced.
【００８４】これら第一例および第二例の磁気ヘッド１
に対して、従来例では、ヘッド感度係数Ｓが３９nVpp/
(√nH)・(m/s)・(emu/cm2)と低く、（１５）式の関係を
満たしていない。これを、従来例では、再生トラック幅
Ｔｗを８μｍと大きくすることによって補っている。し
かも、従来例では、浮上型のヘッド媒体インターフェー
スであるため、パルス幅ＰＷ５０も大きい。そのため、
従来例では、第一例および第二例のような高記録密度を
実現することができない。また、データ転送レートも、
第一例および第二例の半分以下に留まっている。The magnetic head 1 of the first and second examples
On the other hand, in the conventional example, the head sensitivity coefficient S is 39 nVpp /
It is as low as (√nH) · (m / s) · (emu / cm 2 ), which does not satisfy the relationship of equation (15). In the conventional example, this is compensated by increasing the reproduction track width Tw to 8 μm. Moreover, in the conventional example, the pulse width PW50 is large because it is a flying type head medium interface. for that reason,
In the conventional example, the high recording density as in the first example and the second example cannot be realized. Also, the data transfer rate is
It is less than half that of the first and second examples.
【００８５】以上の比較結果から、第一例および第二例
の磁気ヘッド１、すなわち本実施形態で説明した磁気ヘ
ッド１によれば、磁気記録媒体としてフレキシブル磁気
ディスク４を用いた場合であっても、磁束誘導型のＭＩ
Ｇヘッドでは達成し得なかった高記録密度および高転送
レートを実現することができる。しかも、従来に比べて
大幅な記録密度向上が期待できるので、特に小型のフレ
キシブル磁気ディスク４、すなわち従来から広く用いら
れている３．５インチサイズよりも小径のディスクを使
用して高密度磁気記録等を実現する場合に用いて非常に
好適なものとなる。From the above comparison results, according to the magnetic heads 1 of the first example and the second example, that is, the magnetic head 1 described in this embodiment, the flexible magnetic disk 4 is used as the magnetic recording medium. Also, magnetic flux induction type MI
It is possible to realize a high recording density and a high transfer rate, which cannot be achieved by the G head. Moreover, since a significant improvement in recording density can be expected as compared with the conventional one, high density magnetic recording is achieved by using a particularly small flexible magnetic disk 4, that is, a disk having a diameter smaller than the 3.5 inch size which has been widely used in the past. It is very suitable for use when realizing the above.
【００８６】なお、本実施形態において説明した各部の
具体的態様については、本発明の一具体例を示したもの
に過ぎず、本発明が当該具体例に限定されるものでない
ことはいうまでもない。特に、磁気ヘッド１の形状や接
触パッド１２の数、ヘッド製造手順の詳細、図７に示し
たヘッド特性の具体的数値等については、他の態様であ
ってもよいことは勿論であるIt should be understood that the specific mode of each part described in the present embodiment is only one specific example of the present invention, and the present invention is not limited to the specific example. Absent. In particular, the shape of the magnetic head 1, the number of contact pads 12, the details of the head manufacturing procedure, the specific numerical values of the head characteristics shown in FIG.
【００８７】[0087]
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の磁気ヘ
ッドによれば、低インダクタンス化と高感度化を両立さ
せ、磁気記録ディスクの記録密度を従来よりも大幅に改
善することができる。さらに詳しくは、磁気スペースを
極力ゼロに維持できる連続接触型のヘッド媒体インター
フェースに適用し、かつ、特に磁気特性や接触摺動性を
最適化した塗布型の磁気記録媒体であるフレキシブル磁
気ディスクと組み合わせることにより、低相対速度より
使用可能で、しかも記録密度とデータ転送レートを同時
に従来よりも大幅に改善することができるようになる。As described above, according to the magnetic head of the present invention, both low inductance and high sensitivity can be achieved, and the recording density of the magnetic recording disk can be greatly improved as compared with the conventional one. More specifically, it is applied to a continuous contact type head medium interface that can keep the magnetic space to zero as much as possible, and is combined with a flexible magnetic disk that is a coating type magnetic recording medium with optimized magnetic characteristics and contact slidability. As a result, it is possible to use at a lower relative speed, and at the same time, it is possible to greatly improve the recording density and the data transfer rate compared with the conventional one.
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの概略構成例を示す斜
視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration example of a magnetic head according to the present invention.
【図２】入力信号対雑音比Ｓ／Ｎinのヘッド感度係数Ｓ
への依存性の一具体例を示す説明図である。FIG. 2 is a head sensitivity coefficient S of an input signal-to-noise ratio S / Nin.
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a specific example of the dependency on the.
【図３】磁気ヘッドの周波数帯域に関する説明図であ
り、（ａ）は磁気ヘッド込みの再生伝達関数のゲインと
周波数帯域との関係を示す図、（ｂ）はその周波数帯域
と位相との関係を示す図である。3A and 3B are explanatory diagrams regarding a frequency band of a magnetic head, FIG. 3A is a diagram showing a relationship between a gain of a reproduction transfer function including a magnetic head and the frequency band, and FIG. 3B is a relationship between the frequency band and a phase. FIG.
【図４】本発明に係る磁気ヘッドの積層構造の一例を示
す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing an example of a laminated structure of a magnetic head according to the present invention.
【図５】本発明に係る磁気ヘッドのヘッド特性評価に用
いた実験装置の一例を示す概略構成図である。FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing an example of an experimental apparatus used for head characteristic evaluation of the magnetic head according to the present invention.
【図６】図５の実験装置の要部の構成例を示す説明図で
ある。6 is an explanatory diagram showing a configuration example of a main part of the experimental apparatus of FIG.
【図７】本発明に係る磁気ヘッドおよび従来の磁気ヘッ
ドにおけるヘッド特性の評価結果の一例を示す説明図で
ある。FIG. 7 is an explanatory diagram showing an example of evaluation results of head characteristics of a magnetic head according to the present invention and a conventional magnetic head.
１…磁気ヘッド、４…フレキシブル磁気ディスク、１１
…ヘッドスライダ、１２…接触パッド、１３…ヘッド素
子1 ... Magnetic head, 4 ... Flexible magnetic disk, 11
... head slider, 12 ... contact pad, 13 ... head element
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成１３年８月２０日（２００１．８．２
０）[Submission date] August 20, 2001 (2001.8.2)
0)
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】特許請求の範囲[Name of item to be amended] Claims
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【特許請求の範囲】[Claims]
【数１】 と定義した場合に、当該ヘッド感度係数Ｓの値が[Equation 1] If the value of the head sensitivity coefficient S is
【数２】 であることを特徴とする磁気ヘッド。[Equation 2] A magnetic head characterized in that.
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１４[Correction target item name] 0014
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために案出されたもので、磁気記録ディスクに対
して信号の記録と再生の両方またはいずれか一方を行う
ための磁気ヘッドであって、さらには、前記磁気記録デ
ィスクのトラック幅Ｗ、残留磁化量Ｍｒおよび実効的媒
体厚みδと、前記磁気記録ディスクと前記磁気ヘッドの
間の相対速度ｖと、前記磁気ヘッドのインダクタンスＬ
および孤立再生波出力ISTAAとから、前記磁気ヘッドに
おけるヘッド感度係数Ｓを、SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been devised to achieve the above object, and a magnetic head for recording and / or reproducing a signal on a magnetic recording disk. Further, the track width W of the magnetic recording disk, the residual magnetization amount Mr and the effective medium thickness δ, the relative speed v between the magnetic recording disk and the magnetic head, and the inductance L of the magnetic head.
And the isolated reproduction wave output ISTAA, the head sensitivity coefficient S in the magnetic head is
【数６】 と定義した場合に、当該ヘッド感度係数Ｓの値が[Equation 6] If the value of the head sensitivity coefficient S is
【数７】 であることを特徴とするものである。[Equation 7] It is characterized by being.
【手続補正３】[Procedure 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００５３[Correction target item name] 0053
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００５３】図２には、入力信号対雑音比Ｓ／Ｎinのヘ
ッド感度係数Ｓへの依存性の一具体例を示す。図例で
は、磁気記録媒体として塗布型メタルディスクであるフ
レキシブル磁気ディスクを用い、ヘッド媒体間相対速度
ｖ＝７．８ｍ／ｓ、再生トラック幅Ｔｗ＝４．３μｍ、
線記録密度１８２ｋｆｃｉ、データ転送レート５６Ｍｂ
ｐｓ、インダクタンスＬ＝１１００ｎＨといった記録再
生条件下でのＳ／Ｎinのヘッド感度係数Ｓへの依存性を
示している。FIG. 2 shows a specific example of the dependency of the input signal-to-noise ratio S / Nin on the head sensitivity coefficient S. In the illustrated example, a flexible magnetic disk, which is a coated metal disk, is used as the magnetic recording medium, the relative speed between head media v = 7.8 m / s, the reproduction track width Tw = 4.3 μm,
Linear recording density 182 kfci, data transfer rate 56 Mb
The dependence of S / Nin on the head sensitivity coefficient S under the recording and reproducing conditions such as ps and inductance L = 1100 nH is shown.
【手続補正４】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００５５[Correction target item name] 0055
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００５５】[0055]
【数１９】 [Formula 19]
【手続補正５】[Procedure Amendment 5]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００７５[Correction target item name] 0075
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００７５】具体的には、フレキシブル磁気ディスク４
は、塗布型メタル媒体からなり、残留磁化量Ｍｒの値が
Ｍｒ≧２００emu/cm 3 で、残留磁化量Ｍｒと実効的媒体
厚みδの積Ｍｒ・δの値がＭｒ・δ≧３．５memu/cm
2で、かつ、保磁力Ｈｃの値がＨｃ≧２０００Ｏｅであ
るものを使用した。これは、ＨｉＦＤと呼ばれるフレキ
シブル磁気ディスクに該当するものである。Specifically, the flexible magnetic disk 4
Is a coating type metal medium, the value of the remanent magnetization Mr is Mr ≧ 200 emu / cm 3 , and the product Mr · δ of the remanent magnetization Mr and the effective medium thickness δ is Mr · δ ≧ 3.5memu. /cm
2 and the value of coercive force Hc was Hc ≧ 2000 Oe. This corresponds to a flexible magnetic disk called HiFD.
【手続補正６】[Procedure correction 6]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００８１[Correction target item name] 0081
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００８１】図例に示すように、第一例では、接触型の
ヘッド媒体インターフェースで、ヘッド感度係数Ｓが
０．２１７μVpp/(√nH)・(m/s)・(memu/cm 2 )の磁気ヘ
ッド１において、コイル巻線の巻線数Ｎを３６turnと
し、インダクタンスＬの値を２８０ｎＨと抑えることに
よって、ヘッド媒体間相対速度ｖ＝１３．４m/sという
条件下で、７０．７Ｍｂｐｓといった高転送レートと、
５５０ｋｂｐｓｉといった高記録密度とを同時に実現し
ている。つまり、かかる磁気ヘッド１では、ヘッド感度
係数Ｓが（１５）式の関係を満たすとともに、インダク
タンスＬの上限が０．２５ｎＨ／turn2以下であり、か
つ、単位コイル巻線あたりの直流抵抗Ｒが０．６Ω／tu
rn以下を満足するため、フレキシブル磁気ディスク４の
再生トラック幅Ｔｗが４．２μｍ、すなわちディスクト
ラック幅Ｗ≦５μｍを満足するような高記録密度を実現
しつつ、上述したような高転送レートを実現することが
できる。As shown in the figure, in the first example, the contact type head medium interface has a head sensitivity coefficient S of
0. In 217 μ Vpp / (√nH) · (m / s) · (memu / cm 2) magnetic head 1, the number of turns N of the coil winding and 36Turn, by suppressing a 280nH inductance values L, A high transfer rate of 70.7 Mbps under the condition that the relative velocity between head media v = 13.4 m / s,
A high recording density of 550 kbps is realized at the same time. That is, in the magnetic head 1, the head sensitivity coefficient S satisfies the relation of the expression (15), the upper limit of the inductance L is 0.25 nH / turn 2 or less, and the DC resistance R per unit coil winding is 0.6Ω / tu
In order to satisfy the following condition, the flexible magnetic disk 4 realizes a high recording density while satisfying a reproducing track width Tw of 4.2 μm, that is, a disk track width W ≦ 5 μm, while realizing the above-mentioned high transfer rate. can do.
【手続補正７】[Procedure Amendment 7]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００８２[Correction target item name] 0082
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００８２】第二例では、コイル巻線の巻線数Ｎをイン
ダクタンスＬの値の上限まで高めてヘッド出力をあげて
Ｓ／Ｎinを維持し、第一例に比較して半分程度の相対速
度においても同等以上の記録密度を実現できる点で、上
述した第一例と相違する。詳しくは、接触型のヘッド媒
体インターフェースで、ヘッド感度係数Ｓが０．１５１
μVpp/(√nH)・(m/s)・(memu/cm 2 )の磁気ヘッド１にお
いて、コイル巻線の巻線数Ｎを７２turnとし、インダク
タンスＬの値を９２０ｎＨと高めることによって、ヘッ
ド媒体間相対速度ｖ＝７．８m/sという第一例よりも低
い相対速度条件下で、５６Ｍｂｐｓといった高転送レー
トと、６７４Ｍｂｐｓｉといった高記録密度とを同時に
実現している。つまり、かかる磁気ヘッド１では、ヘッ
ド感度係数Ｓが（１５）式の関係を満たすとともに、イ
ンダクタンスＬの上限が０．２５ｎＨ／turn2以下であ
り、かつ、単位コイル巻線あたりの直流抵抗Ｒが０．６
Ω／turn以下を満足するため、フレキシブル磁気ディス
ク４の再生トラック幅Ｔｗが４．２μｍ、すなわちディ
スクトラック幅Ｗ≦５μｍを満足するような高記録密度
を実現しつつ、上述したような高転送レートを実現する
ことができる。In the second example, the number N of coil windings is increased to the upper limit of the value of the inductance L to increase the head output to maintain S / Nin, and the relative speed is about half that of the first example. Also in the above, the same or higher recording density can be realized, which is different from the above-mentioned first example. Specifically, in a contact type head medium interface, the head sensitivity coefficient S is 0.151.
In the magnetic head 1 of μ Vpp / (√nH) · (m / s) · ( memu / cm 2 ), the number N of coil windings is set to 72 turns, and the value of the inductance L is increased to 920 nH. A high transfer rate of 56 Mbps and a high recording density of 674 Mbps are realized at the same time under the relative velocity condition of the head-medium relative velocity v = 7.8 m / s, which is lower than the first example. That is, in the magnetic head 1, the head sensitivity coefficient S satisfies the relation of the expression (15), the upper limit of the inductance L is 0.25 nH / turn 2 or less, and the DC resistance R per unit coil winding is 0.6
In order to satisfy Ω / turn or less, the reproduction track width Tw of the flexible magnetic disk 4 is 4.2 μm, that is, the high recording density is achieved while satisfying the disk track width W ≦ 5 μm, and the high transfer rate as described above is achieved. Can be realized.
【手続補正８】[Procedure Amendment 8]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００８４[Correction target item name] 0084
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００８４】これら第一例および第二例の磁気ヘッド１
に対して、従来例では、ヘッド感度係数Ｓが０．０３９
μVpp/(√nH)・(m/s)・(emu/cm2)と低く、（１５）式の
関係を満たしていない。これを、従来例では、再生トラ
ック幅Ｔｗを８μｍと大きくすることによって補ってい
る。しかも、従来例では、浮上型のヘッド媒体インター
フェースであるため、パルス幅ＰＷ５０も大きい。その
ため、従来例では、第一例および第二例のような高記録
密度を実現することができない。また、データ転送レー
トも、第一例および第二例の半分以下に留まっている。The magnetic head 1 of the first and second examples
On the other hand, in the conventional example, the head sensitivity coefficient S is 0.039.
It is as low as μ Vpp / (√nH) · (m / s) · (emu / cm 2 ), which does not satisfy the equation (15). In the conventional example, this is compensated by increasing the reproduction track width Tw to 8 μm. Moreover, in the conventional example, the pulse width PW50 is large because it is a flying type head medium interface. Therefore, the conventional example cannot realize the high recording density as in the first and second examples. Also, the data transfer rate is less than half of the first and second examples.
【手続補正９】[Procedure Amendment 9]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図２[Name of item to be corrected] Figure 2
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図２】 [Fig. 2]
【手続補正１０】[Procedure Amendment 10]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図７[Name of item to be corrected] Figure 7
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図７】 [Figure 7]
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金田 安司 愛知県名古屋市南区大同町二丁目30番地 大同特殊鋼株式会社技術開発研究所内 (72)発明者 川嶋 孝 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 後藤 一夫 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 Ｆターム(参考） 5D033 BA07 BA31 5D091 AA02 AA10 CC04 CC05 DD03 DD09 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor Yasushi Kaneda 2-30, Daido-cho, Minami-ku, Nagoya-shi, Aichi Daido Steel Co., Ltd. Technology Development Laboratory (72) Inventor Takashi Kawashima 6-735 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Soni -Inside the corporation (72) Inventor Kazuo Goto 6-735 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Soni -Inside the corporation F-term (reference) 5D033 BA07 BA31 5D091 AA02 AA10 CC04 CC05 DD03 DD09
Claims (8)
再生の両方またはいずれか一方を行うための磁気ヘッド
であって、 前記磁気記録ディスクのトラック幅Ｗ、残留磁化量Ｍｒ
および実効的媒体厚みδと、前記磁気記録ディスクと前
記磁気ヘッドの間の相対速度ｖと、前記磁気ヘッドのイ
ンダクタンスＬおよび孤立再生波出力ISTAAとから、前
記磁気ヘッドにおけるヘッド感度係数Ｓを、 【数１】 と定義した場合に、当該ヘッド感度係数Ｓの値が 【数２】 であることを特徴とする磁気ヘッド。1. A magnetic head for recording and / or reproducing a signal on / from a magnetic recording disk, the track width W of the magnetic recording disk and the residual magnetization amount Mr.
And the effective medium thickness δ, the relative velocity v between the magnetic recording disk and the magnetic head, the inductance L of the magnetic head, and the isolated reproduction wave output ISTAA, the head sensitivity coefficient S of the magnetic head Number 1] When defined as, the value of the head sensitivity coefficient S is A magnetic head characterized in that.
線あたり、Ｌ≦０．２５ｎＨ／turn2であることを特徴
とする請求項１記載の磁気ヘッド。2. The magnetic head according to claim 1, wherein the value of the inductance L is L ≦ 0.25 nH / turn 2 per unit coil winding.
線あたり、Ｒ≦０．６Ω／turnであることを特徴とする
請求項１記載の磁気ヘッド。3. The magnetic head according to claim 1, wherein the value of the head DC resistance R is R ≦ 0.6Ω / turn per unit coil winding.
８μｍであることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッ
ド。4. The value of the head gap length g is g ≧ 0.1.
The magnetic head according to claim 1, wherein the magnetic head has a thickness of 8 μm.
値が、Ｗ≦５μｍであることを特徴とする請求項１記載
の磁気ヘッド。5. The magnetic head according to claim 1, wherein the value of the track width W of the magnetic recording disk is W ≦ 5 μm.
成されたコイル巻線を有するとともに、当該コイル巻線
の巻線数Ｎが、Ｎ≧３６turnであることを特徴とする請
求項１記載の磁気ヘッド。6. The magnetic device according to claim 1, further comprising a coil winding formed into a planar type through a thin film forming process, and the number N of turns of the coil winding is N ≧ 36turn. head.
で、当該磁気記録ディスクに対する信号記録または信号
再生を行うように構成されたことを特徴とする請求項１
記載の磁気ヘッド。7. The magnetic recording disk is configured to perform signal recording or signal reproduction in a state of being in contact with the magnetic recording disk.
The magnetic head described.
Ｍｒの値がＭｒ≧２００memu/cm3で、残留磁化量Ｍｒと
実効的媒体厚みδの積Ｍｒ・δの値がＭｒ・δ≧３．５
memu/cm2で、かつ、保磁力Ｈｃの値がＨｃ≧２０００Ｏ
ｅである磁気記録ディスクに対して用いられることを特
徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。8. A coating type metal medium, wherein the remanent magnetization amount Mr has a value of Mr ≧ 200 memu / cm 3 , and the product Mr · δ of the remanent magnetization amount Mr and the effective medium thickness δ has a value Mr · δ ≧ 3. .5
memu / cm 2 and coercive force Hc value Hc ≧ 2000O
2. The magnetic head according to claim 1, which is used for a magnetic recording disk which is e.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001184726A JP2003006808A (en) | 2001-06-19 | 2001-06-19 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001184726A JP2003006808A (en) | 2001-06-19 | 2001-06-19 | Magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003006808A true JP2003006808A (en) | 2003-01-10 |
Family
ID=19024439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001184726A Pending JP2003006808A (en) | 2001-06-19 | 2001-06-19 | Magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003006808A (en) |
-
2001
- 2001-06-19 JP JP2001184726A patent/JP2003006808A/en active Pending
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