JP2002362907A - Ozonizer - Google Patents

Ozonizer

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JP2002362907A
JP2002362907A JP2001171324A JP2001171324A JP2002362907A JP 2002362907 A JP2002362907 A JP 2002362907A JP 2001171324 A JP2001171324 A JP 2001171324A JP 2001171324 A JP2001171324 A JP 2001171324A JP 2002362907 A JP2002362907 A JP 2002362907A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To attain high efficiency and high concentration by collecting ozone in the maximum concentration. SOLUTION: The ozonizer is provided with a pair of circular or polygonal electrode base plates 1a and 1b mounted vertical, discharge electrodes 2a and 2b having a high voltage part and a low voltage part arranged with a fixed interval on the surface facing a pair of the electrode base plates 1a and 1b, dielectrics 3a and 3b coated to cover the discharge electrodes 2a and 2b, cooling bodies 4a and 4b, mounted to be in contact with a pair of the electrode base plates, a spacer 7a for controlling the distance between the dielectrics on a pair of the opposed electrode base plates to a fixed interval and a discharge space 9 penetrating through a pair of the electrode base plates 1a and 1b and the cooling bodies 4a and 4b and for taking out the generated ozone and the discharge space 9 is arranged in the under side from the center part of a pair of the electrode base plates 1a and 1b.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば浄水処理、
下水処理等のオゾン利用を目的としたオゾナイザに係
り、特に高効率化、高濃度化を実現できるようにしたオ
ゾナイザに関するものである。
The present invention relates to, for example, water purification treatment,
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ozonizer for using ozone for sewage treatment and the like, and particularly to an ozonizer capable of realizing high efficiency and high concentration.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、オゾンは、自然物としてフッ素
に次ぐ強い酸化力を有するが、最終的には酸素に分解す
るため、過剰に使用しても環境汚染の心配が少なく、し
かも空気と電気さえあれば生成することができ、その生
成量も電気的に制御することが可能である。
2. Description of the Related Art In general, ozone has the strongest oxidizing power next to fluorine as a natural substance, but eventually decomposes to oxygen, so that there is little concern about environmental pollution even if it is used excessively, and even air and electricity are not used. If it exists, it can be generated, and the amount of generation can be electrically controlled.

【0003】このような利点のため、酸化処理、脱臭、
殺菌、消毒、表面洗浄へのオゾンの工業的応用が広くな
されてきている。
[0003] Oxidation treatment, deodorization,
The industrial application of ozone for disinfection, disinfection and surface cleaning has been widespread.

【0004】そして、最近では、オゾンのさらなる応用
拡大のため、オゾン発生効率の向上、オゾナイザの小型
化、およびオゾンの高濃度化といった技術革新が求めら
れているようになってきている。
Recently, in order to further expand the application of ozone, technical innovations such as improvement in ozone generation efficiency, downsizing of ozonizers, and increasing ozone concentration have been required.

【0005】従来から、上述したような用途に用いられ
るオゾナイザとしては、対向電極間で無声放電させてオ
ゾンを発生させるものと、沿面電極間で沿面放電させて
オゾンを発生させるものとが一般的である。
[0005] Conventionally, as ozonizers used for the above-mentioned applications, those which generate ozone by silent discharge between opposed electrodes and those which generate ozone by surface discharge between surface electrodes are generally used. It is.

【0006】特に、放電ギャップの管理の容易さ、およ
びオゾン発生性能の向上等の観点から、沿面放電方式の
オゾナイザが多く用いられてきている。そして、沿面放
電方式のオゾナイザとしては、例えば“特開2001−
26405号公報”等に示されるものが知られている。
In particular, a creeping discharge type ozonizer has been widely used from the viewpoint of easy management of a discharge gap and improvement of ozone generation performance. As a creeping discharge type ozonizer, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-2001
No. 26405 "is known.

【0007】図17はこの種の従来の沿面放電オゾナイ
ザの構成例を示す概略図、図18は同沿面放電オゾナイ
ザの構成例を示す断面図である。
FIG. 17 is a schematic diagram showing an example of the configuration of a conventional surface discharge ozonizer of this type, and FIG. 18 is a sectional view showing an example of the configuration of the surface discharge ozonizer.

【0008】図17および図18において、沿面放電オ
ゾナイザ20は、鉛直方向に設置された円形あるいは多
角形状のガラス基板等の一対の電極基板1a,1bと、
この一対の電極基板1a,1bの対向面に、スクリーン
印刷等により高電圧部と低電圧部が一定間隔となるよう
に形成された放電電極2a,2bと、この放電電極2
a,2bを覆うようにコーディングされた誘電体3a,
3bと、上記一対の電極基板1a,1bの上記放電電極
2a,2bを形成していない面に接触するように設置さ
れた冷却体4a,4bとから構成されている放電ユニッ
ト21,22を備えている。
In FIG. 17 and FIG. 18, a creeping discharge ozonizer 20 includes a pair of electrode substrates 1a and 1b such as a circular or polygonal glass substrate installed in a vertical direction.
Discharge electrodes 2a and 2b formed on the opposing surfaces of the pair of electrode substrates 1a and 1b by screen printing or the like so that a high-voltage portion and a low-voltage portion are arranged at a fixed interval;
a, 3b coded to cover a, 2b
3b, and discharge units 21 and 22 composed of cooling bodies 4a and 4b installed so as to contact the surfaces of the pair of electrode substrates 1a and 1b where the discharge electrodes 2a and 2b are not formed. ing.

【0009】また、上記放電電極2a,2bのそれぞれ
の端部に、高電圧を印加するための給電部5a,5bが
設けられている。
[0009] Feeding portions 5a and 5b for applying a high voltage are provided at respective ends of the discharge electrodes 2a and 2b.

【0010】ここで、図示左側および右側の冷却体4
a,4bは冷却室14を有しており、締結部品6を介し
て互いに締結されるようになっている。
Here, the cooling bodies 4 on the left and right sides in FIG.
a and 4b have a cooling chamber 14 and are fastened to each other via a fastening part 6.

【0011】また、上記誘電体3a,3bの間には、当
該誘電体3a,3b間の相対的な位置関係を規制する間
隔片7aが設置されており、上記誘電体3a,3b間に
所定の間隙のガス流路空間8を形成することができるよ
うになっている。
A spacing piece 7a for regulating the relative positional relationship between the dielectrics 3a and 3b is provided between the dielectrics 3a and 3b, and a predetermined distance is provided between the dielectrics 3a and 3b. Can be formed in the gas flow path space 8 of the gap.

【0012】さらに、図示右側の放電ユニット22の中
心部に、円筒状のオゾン排出空間9が設けられている。
Further, a cylindrical ozone discharge space 9 is provided at the center of the discharge unit 22 on the right side in the figure.

【0013】かかる構成の沿面放電オゾナイザ20にお
いては、その外周面より供給される原料ガス10が、ガ
ス流路空間8を通過する時、放電電極2a,2b間に電
源11から高電圧を印加して放電12を生じさせること
により、オゾン13が生成されて、中心部に位置するオ
ゾン排出空間9に排出されて収集される。
In the creeping discharge ozonizer 20 having such a configuration, when the raw material gas 10 supplied from the outer peripheral surface thereof passes through the gas flow path space 8, a high voltage is applied between the discharge electrodes 2a and 2b from the power supply 11. As a result, the ozone 13 is generated and discharged into the ozone discharge space 9 located at the center to be collected.

【0014】なお、上記オゾン排出空間9を中心部に配
置しているのは、ガス流路空間8においてオゾン濃度が
同心円状に高くなると予想しているためである。
The ozone discharge space 9 is located at the center because the ozone concentration is expected to increase concentrically in the gas flow passage space 8.

【0015】[0015]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たような従来の沿面放電オゾナイザにおいては、重力は
鉛直方向(重力方向)矢印19に示すように下向きであ
るため、重力の影響によって、ガス流路空間8でのオゾ
ンの流れ、およびオゾン濃度分布は同心円状にはなら
ず、図19のオゾン濃度分布図に示すように、ガス流路
空間8における最高オゾン濃度は中心部よりも下側に位
置しており、中心部に配置されたオゾン排出空間9から
オゾン13を収集する場合、最高濃度でのオゾン13を
得ることができない。
However, in the conventional surface discharge ozonizer as described above, the gravity is downward as indicated by the vertical (gravity direction) arrow 19, so that the gas flow path is affected by the gravity. The flow of ozone and the ozone concentration distribution in the space 8 do not become concentric, and as shown in the ozone concentration distribution diagram of FIG. 19, the maximum ozone concentration in the gas passage space 8 is located lower than the center. Therefore, when collecting ozone 13 from the ozone discharge space 9 arranged at the center, ozone 13 at the highest concentration cannot be obtained.

【0016】本発明の目的は、オゾン最高濃度において
オゾンを収集することができ、より一層の高効率化、高
濃度化を実現することが可能なオゾナイザを提供するこ
とにある。
An object of the present invention is to provide an ozonizer capable of collecting ozone at the highest concentration of ozone and realizing higher efficiency and higher concentration.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項1に対応する発明のオゾナイザは、鉛直方
向に設置された円形あるいは多角形状の一対の電極基板
と、一対の電極基板の対向面に、高電圧部と低電圧部が
一定間隔となるように配置された放電電極と、放電電極
を覆うようにコーティングされた誘電体と、一対の電極
基板に接触するように設置された冷却体と、対向した一
対の電極基板上の誘電体の距離を所定間隔に規制する間
隔片と、一対の電極基板および冷却体を貫通し、生成さ
れたオゾンを取出すオゾン排出空間とを備え、オゾン排
出空間を、一対の電極基板の中心部よりも下側に配置し
ている。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an ozonizer comprising: a pair of circular or polygonal electrode substrates installed in a vertical direction; On the opposing surface, a high-voltage part and a low-voltage part are arranged so as to be at a constant interval, a dielectric coated to cover the discharge electrode, and a pair of electrode substrates are installed so as to be in contact with each other. Cooling body, a spacing piece that regulates the distance between the dielectrics on the pair of opposed electrode substrates to a predetermined distance, and an ozone discharge space that penetrates the pair of electrode substrates and the cooling body and takes out the generated ozone. The ozone discharge space is disposed below the center of the pair of electrode substrates.

【0018】従って、請求項1に対応する発明のオゾナ
イザにおいては、オゾン排出空間を、一対の電極基板の
中心部よりも下側に配置することにより、オゾン最高濃
度においてオゾンを収集することができ、より一層のオ
ゾナイザの高効率化、高濃度化を実現することができ
る。
Therefore, in the ozonizer according to the first aspect of the present invention, the ozone can be collected at the highest concentration of ozone by arranging the ozone discharge space below the center of the pair of electrode substrates. Thus, it is possible to further increase the efficiency and concentration of the ozonizer.

【0019】また、請求項2に対応する発明のオゾナイ
ザは、鉛直方向に設置された円形あるいは多角形状の一
対の電極基板と、一対の電極基板の対向面に、高電圧部
と低電圧部が一定間隔となるように配置された放電電極
と、放電電極を覆うようにコーティングされた誘電体
と、一対の電極基板に接触するように設置された冷却体
と、対向した一対の電極基板上の誘電体の距離を所定間
隔に規制する間隔片と、一対の電極基板および冷却体を
貫通し、生成されたオゾンを取出す一対の電極基板の中
心部に配置されたオゾン排出空間とを備え、鉛直方向上
部の対向する誘電体間の距離が小さく、鉛直方向下部の
対向する誘電体間の距離が大きくなるように、一方の電
極基板に傾斜を設けている。
According to a second aspect of the present invention, there is provided an ozonizer comprising a pair of circular or polygonal electrode substrates installed in a vertical direction, and a high-voltage portion and a low-voltage portion provided on opposing surfaces of the pair of electrode substrates. Discharge electrodes arranged at regular intervals, a dielectric coated to cover the discharge electrodes, a cooling body installed to contact a pair of electrode substrates, and a pair of opposed electrode substrates A spacing piece for regulating the distance of the dielectric material to a predetermined spacing, and an ozone exhaust space disposed in the center of the pair of electrode substrates that penetrate the pair of electrode substrates and the cooling body and take out the generated ozone; One electrode substrate is inclined so that the distance between the opposing dielectrics in the upper part in the direction is small and the distance between the opposing dielectrics in the lower part in the vertical direction is large.

【0020】従って、請求項2に対応する発明のオゾナ
イザにおいては、対向する一対の電極基板上に設けられ
た誘電体は一定のガス流路空間を空けて配置されている
が、鉛直方向上部の対向する誘電体間の距離が小さく、
鉛直方向下部の対向する誘電体間の距離が大きくなるよ
うに、すなわち下方と比較して上方の間隔か狭くなるよ
うに、一方の電極基板に傾斜を設けることにより、この
傾斜によってガス流路空間が狭くなった上方では、摩擦
による流体抵抗が大きくなるため、流速は遅くなり、か
つ流体が電極間に留まる時間が長くなるため、オゾン生
成反応が活発に行なわれ、下方よりも上方のガス流路空
間におけるオゾン濃度が高くなる。これにより、所定の
傾斜によって、最高オゾン濃度の位置は下方から中心部
へと移動して、中心部に配置されたオゾン排出空間か
ら、より一層高濃度のオゾンを収集することができる。
Therefore, in the ozonizer according to the second aspect of the present invention, the dielectrics provided on the pair of opposing electrode substrates are arranged with a certain gas flow path space therebetween. The distance between the opposing dielectrics is small,
By providing a slope on one of the electrode substrates so that the distance between the opposing dielectrics at the lower part in the vertical direction is large, that is, the distance between the upper and lower dielectrics is smaller than the lower part, the gas flow path space is formed by this slope. Above the narrower, the fluid resistance due to friction increases, the flow velocity becomes slower, and the time for which the fluid stays between the electrodes becomes longer. The ozone concentration in the road space increases. Accordingly, the position of the highest ozone concentration moves from below to the center due to the predetermined inclination, so that even higher concentration ozone can be collected from the ozone discharge space arranged at the center.

【0021】さらに、請求項3に対応する発明のオゾナ
イザは、鉛直方向に設置された円形あるいは多角形状の
一対の電極基板と、一対の電極基板の対向面に、高電圧
部と低電圧部が一定間隔となるように配置された放電電
極と、放電電極を覆うようにコーティングされた誘電体
と、一対の電極基板に接触するように設置された冷却体
と、対向した一対の電極基板上の誘電体の距離を所定間
隔に規制する間隔片と、一対の電極基板および冷却体を
貫通し、生成されたオゾンを取出す一対の電極基板の中
心部に配置されたオゾン排出空間とを備え、上下に分割
された一対の電極基板のうち、上方の電極基板の厚みを
下方の電極基板の厚みよりも大きくなるように、一方の
電極基板に段差を設けている。
Further, the ozonizer according to the third aspect of the present invention has a pair of circular or polygonal electrode substrates installed in a vertical direction, and a high-voltage portion and a low-voltage portion formed on opposing surfaces of the pair of electrode substrates. Discharge electrodes arranged at regular intervals, a dielectric coated to cover the discharge electrodes, a cooling body installed to contact a pair of electrode substrates, and a pair of opposed electrode substrates An interval piece that regulates the distance of the dielectric material to a predetermined interval, and an ozone discharge space that is disposed at the center of the pair of electrode substrates that penetrates the pair of electrode substrates and the cooling body and takes out the generated ozone, A step is provided on one of the pair of divided electrode substrates so that the thickness of the upper electrode substrate is larger than the thickness of the lower electrode substrate.

【0022】従って、請求項3に対応する発明のオゾナ
イザにおいては、対向する上下に分割された一対の電極
基板上に設けられた誘電体は一定のガス流路空間を空け
て配置されているが、上下に分割された一対の電極基板
のうち、上方の電極基板の厚みを下方の電極基板の厚み
よりも大きくなるように、すなわち中心より上方のガス
流路空間が下方のガス流路空間よりも狭くなるように、
一方の電極基板に段差を設けることにより、この段差に
よってガス流路空間が狭くなった上方では、摩擦による
流体抵抗が大きくなるため、流速は遅くなり、かつ流体
が電極間に留まる時間が長くなるため、オゾン生成反応
が活発に行なわれ、下方よりも上方のガス流路空間にお
けるオゾン濃度が高くなる。これにより、所定の段差に
よって、最高オゾン濃度の位置は下方から中心部へと移
動して、中心部に配置されたオゾン排出空間から、より
一層高濃度のオゾンを収集することができる。
Therefore, in the ozonizer according to the third aspect of the present invention, the dielectric provided on the pair of upper and lower electrode substrates opposed to each other is arranged with a certain gas flow space. Of the pair of vertically divided electrode substrates, the thickness of the upper electrode substrate is larger than the thickness of the lower electrode substrate, that is, the gas flow space above the center is smaller than the gas flow space below. So that
By providing a step on one of the electrode substrates, the fluid resistance due to friction increases above the gas flow path space narrowed by this step, so the flow velocity becomes slow and the time for which the fluid stays between the electrodes becomes long Therefore, the ozone generation reaction is actively performed, and the ozone concentration in the gas flow path space above is lower than below. Thus, the position of the highest ozone concentration moves from below to the center due to the predetermined step, so that a higher concentration ozone can be collected from the ozone discharge space arranged in the center.

【0023】ことができる。[0023]

【0024】一方、請求項4に対応する発明のオゾナイ
ザは、鉛直方向に設置された円形あるいは多角形状の一
対の電極基板と、一対の電極基板の対向面に、高電圧部
と低電圧部が一定間隔となるように配置された放電電極
と、放電電極を覆うようにコーティングされた誘電体
と、一対の電極基板に接触するように設置された冷却体
と、対向した一対の電極基板上の誘電体の距離を所定間
隔に規制する間隔片と、一対の電極基板および冷却体を
貫通し、生成されたオゾンを取出す一対の電極基板の中
心部に配置されたオゾン排出空間とを備え、一対の電極
基板の外側の上半分に、調整体を配置している。
On the other hand, an ozonizer according to a fourth aspect of the present invention provides a pair of circular or polygonal electrode substrates installed in a vertical direction, and a high voltage portion and a low voltage portion on opposing surfaces of the pair of electrode substrates. Discharge electrodes arranged at regular intervals, a dielectric coated to cover the discharge electrodes, a cooling body installed to contact a pair of electrode substrates, and a pair of opposed electrode substrates An interval piece that regulates the distance of the dielectric to a predetermined interval, and an ozone discharge space that is arranged at the center of the pair of electrode substrates that penetrates the pair of electrode substrates and the cooling body and takes out the generated ozone, The adjustment body is arranged on the upper half outside the electrode substrate.

【0025】従って、請求項4に対応する発明のオゾナ
イザにおいては、一対の電極基板の外側の上半分に、す
なわち冷却体の電極基板が設けられていない位置(電極
基板の外側)の上方に、網状等の調整体を配置して、上
方からの原料ガスの流速を抑えるようにすることによ
り、上方のガス流路空間に流体が留まる時間が長くなる
ため、オゾン生成反応が活発に行なわれ、下方よりも上
方のガス流路空間におけるオゾン濃度が高くなる。これ
により、最高オゾン濃度の位置は下方から中心部へと移
動して、中心部に配置されたオゾン排出空間から、より
一層高濃度のオゾンを収集することができる。
Therefore, in the ozonizer of the invention corresponding to claim 4, in the upper half outside the pair of electrode substrates, that is, above the position where the electrode substrate of the cooling body is not provided (outside the electrode substrate), By arranging a regulator such as a mesh and suppressing the flow rate of the raw material gas from above, the time for which the fluid stays in the upper gas flow path space becomes longer, so that the ozone generation reaction is actively performed, The ozone concentration in the gas flow path space above the lower side becomes higher. As a result, the position of the highest ozone concentration moves from below to the center, and it is possible to collect ozone with a higher concentration from the ozone discharge space arranged in the center.

【0026】また、請求項5に対応する発明のオゾナイ
ザは、鉛直方向に設置された円形あるいは多角形状の一
対の電極基板と、一対の電極基板の対向面に、高電圧部
と低電圧部が一定間隔となるように配置された放電電極
と、放電電極を覆うようにコーティングされた誘電体
と、上下に分割された冷却室を有し、一対の電極基板に
接触するように設置された冷却体と、対向した一対の電
極基板上の誘電体の距離を所定間隔に規制する間隔片
と、一対の電極基板および冷却体を貫通し、生成された
オゾンを取出す一対の電極基板の中心部に配置されたオ
ゾン排出空間とを備え、下方の冷却室に流入する冷却媒
体の温度よりも上方の冷却室に流入する冷却媒体の温度
を低くするか、あるいは下方の冷却室に流入する冷却媒
体の流量よりも上方の冷却室に流入する冷却媒体の流量
を多くなるようにしている。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an ozonizer comprising: a pair of circular or polygonal electrode substrates installed in a vertical direction; and a high-voltage portion and a low-voltage portion provided on opposing surfaces of the pair of electrode substrates. It has a discharge electrode arranged at regular intervals, a dielectric coated so as to cover the discharge electrode, and a cooling chamber divided into upper and lower parts, and a cooling installed to be in contact with a pair of electrode substrates. Body, a spacing piece that regulates the distance between the dielectrics on the pair of opposing electrode substrates to a predetermined interval, and a central portion of the pair of electrode substrates that penetrate the pair of electrode substrates and the cooling body and take out the generated ozone. The cooling medium flowing into the upper cooling chamber is lower than the temperature of the cooling medium flowing into the lower cooling chamber, or the cooling medium flowing into the lower cooling chamber is provided. Above the flow rate So that increases the flow rate of the cooling medium flowing into 却室.

【0027】従って、請求項5に対応する発明のオゾナ
イザにおいては、冷却体内の冷却室を上下に分割して、
それぞれ異なる冷却媒体が流れるようにし、下方よりも
上方の冷却体に流入する冷却媒体の温度が低くなるよう
にするか、あるいは下方よりも上方の冷却体に流入する
冷却媒体の流量が多くなるようにすることにより、下方
よりも上方のガス流路空間の温度が低くなるため、オゾ
ン生成能力が高くなり、下方よりも上方のガス流路空間
におけるオゾン濃度が高くなる。これにより、最高オゾ
ン濃度の位置は下方から中心部へと移動して、中心部に
配置されたオゾン排出空間から、より一層高濃度のオゾ
ンを収集することができる。
Therefore, in the ozonizer of the invention corresponding to claim 5, the cooling chamber in the cooling body is divided into upper and lower parts,
A different cooling medium flows so that the temperature of the cooling medium flowing into the cooling body above the lower part becomes lower, or the flow rate of the cooling medium flowing into the cooling body above the lower part increases. By doing so, the temperature of the gas flow path space above the lower part becomes lower, so that the ozone generation capacity increases, and the ozone concentration in the gas flow path space above the lower part becomes higher. As a result, the position of the highest ozone concentration moves from below to the center, and it is possible to collect ozone with a higher concentration from the ozone discharge space arranged in the center.

【0028】さらに、請求項6に対応する発明のオゾナ
イザは、鉛直方向に設置された円形あるいは多角形状の
一対の電極基板と、一対の電極基板の対向面に、高電圧
部と低電圧部が一定間隔となるように配置された放電電
極と、放電電極を覆うようにコーティングされた誘電体
と、一対の電極基板に接触するように設置された冷却体
と、対向した一対の電極基板上の誘電体の距離を所定間
隔に規制する間隔片と、一対の電極基板および冷却体を
貫通し、生成されたオゾンを取出す一対の電極基板の中
心部に配置されたオゾン排出空間とを備え、冷却体の上
方に冷却媒体の入口を、冷却体の下方に冷却媒体の出口
をそれぞれ配置している。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an ozonizer comprising: a pair of circular or polygonal electrode substrates installed in a vertical direction; and a high-voltage portion and a low-voltage portion provided on opposing surfaces of the pair of electrode substrates. Discharge electrodes arranged at regular intervals, a dielectric coated to cover the discharge electrodes, a cooling body installed to contact a pair of electrode substrates, and a pair of opposed electrode substrates An interval piece that regulates the distance of the dielectric material to a predetermined interval, and an ozone discharge space that is disposed in the center of the pair of electrode substrates that penetrates the pair of electrode substrates and the cooling body and takes out the generated ozone, includes cooling. A cooling medium inlet is arranged above the body and a cooling medium outlet is arranged below the cooling body.

【0029】従って、請求項6に対応する発明のオゾナ
イザにおいては、冷却室が1つの場合でも、冷却体の上
方に冷却媒体の入口を、冷却体の下方に冷却媒体の出口
をそれぞれ配置して、上方から下方へ冷却媒体を流し、
下方よりも上方の冷却体の冷却能力が高くなるようにす
ることにより、下方よりも上方のガス流路空間の温度が
低くなるため、オゾン生成能力が高くなり、下方よりも
上方のガス流路空間におけるオゾン濃度が高くなる。こ
れにより、最高オゾン濃度の位置は下方から中心部へと
移動して、中心部に配置されたオゾン排出空間から、よ
り一層高濃度のオゾンを収集することができる。
Therefore, in the ozonizer of the invention corresponding to claim 6, even when the number of cooling chambers is one, the cooling medium inlet is arranged above the cooling body and the cooling medium outlet is arranged below the cooling body. Flowing the cooling medium from top to bottom,
By making the cooling capacity of the cooling body above the lower part higher, the temperature of the gas flow path space above the lower part becomes lower, so that the ozone generation capacity becomes higher and the gas flow part above the lower part becomes higher. The ozone concentration in the space increases. As a result, the position of the highest ozone concentration moves from below to the center, and it is possible to collect ozone with a higher concentration from the ozone discharge space arranged in the center.

【0030】さらにまた、請求項7に対応する発明のオ
ゾナイザは、円形あるいは多角形状の一対の電極基板
と、一対の電極基板の対向面に、高電圧部と低電圧部が
一定間隔となるように配置された放電電極と、放電電極
を覆うようにコーティングされた誘電体と、一対の電極
基板に接触するように設置された冷却体と、対向した一
対の電極基板上の誘電体の距離を所定間隔に規制する間
隔片と、一対の電極基板および冷却体を貫通し、生成さ
れたオゾンを取出す一対の電極基板の中心部に配置され
たオゾン排出空間とを備え、一対の電極基板を水平方向
に設置している。
Further, an ozonizer according to the invention according to claim 7 is such that a high-voltage portion and a low-voltage portion are arranged at a constant interval on a pair of circular or polygonal electrode substrates and on opposing surfaces of the pair of electrode substrates. The distance between the discharge electrode, the dielectric coated to cover the discharge electrode, the cooling body placed in contact with the pair of electrode substrates, and the dielectric on the pair of electrode substrates facing each other. An interval piece that regulates at a predetermined interval, an ozone discharge space that penetrates the pair of electrode substrates and the cooling body, and is disposed at the center of the pair of electrode substrates that takes out the generated ozone is provided. Installed in the direction.

【0031】従って、請求項7に対応する発明のオゾナ
イザにおいては、一対の電極基板を水平方向に設置し
て、オゾン排出空間を中心部に配置することにより、オ
ゾン濃度分布は重力の影響を受けずに、同心円状となる
ため、中心部のオゾン排出空間において、最高濃度のオ
ゾンを収集することができる。
Therefore, in the ozonizer of the invention corresponding to claim 7, by disposing the pair of electrode substrates in the horizontal direction and disposing the ozone discharge space at the center, the ozone concentration distribution is affected by gravity. Instead, the ozone is concentric, so that the highest concentration of ozone can be collected in the central ozone discharge space.

【0032】一方、請求項8に対応する発明のオゾナイ
ザは、上記請求項1乃至請求項7のいずれか1項に対応
する発明のオゾナイザ本体を、複数個積層している。
On the other hand, an ozonizer according to an eighth aspect of the present invention has a plurality of the ozonizer bodies according to any one of the first to seventh aspects of the invention.

【0033】従って、請求項8に対応する発明のオゾナ
イザにおいては、上記請求項1乃至請求項7のいずれか
1項に対応する発明のオゾナイザ本体を、複数個積層す
ることにより、大容量のオゾナイザを形成することがで
きる。
Therefore, in the ozonizer according to the present invention, a large-capacity ozonizer is obtained by laminating a plurality of the ozonizer bodies according to any one of the first to seventh aspects. Can be formed.

【0034】[0034]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0035】(第1の実施の形態)図1は本実施の形態
による沿面放電オゾナイザの構成例を示す概略図、図2
は同沿面放電オゾナイザの構成例を示す断面図であり、
図17および図18と同一要素には同一符号を付して示
している。
(First Embodiment) FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to the present embodiment, and FIG.
Is a cross-sectional view showing a configuration example of the creeping discharge ozonizer,
17 and 18 are denoted by the same reference numerals.

【0036】図1および図2において、沿面放電オゾナ
イザ20は、鉛直方向に設置された円形あるいは多角形
状のガラス基板等の一対の電極基板1a,1bと、この
一対の電極基板1a,1bの対向面に、スクリーン印刷
等により高電圧部と低電圧部が一定間隔となるように形
成された放電電極2a,2bと、この放電電極2a,2
bを覆うようにコーディングされた誘電体3a,3b
と、上記一対の電極基板1a,1bの上記放電電極2
a,2bを形成していない面に接触するように設置され
た冷却体4a,4bとから構成されている放電ユニット
21,22を備えている。
1 and 2, a creeping discharge ozonizer 20 includes a pair of electrode substrates 1a and 1b such as a circular or polygonal glass substrate installed in a vertical direction, and a pair of electrode substrates 1a and 1b opposed to each other. Discharge electrodes 2a and 2b formed on a surface by screen printing or the like so that a high-voltage portion and a low-voltage portion are arranged at regular intervals;
Dielectrics 3a, 3b coded to cover b
And the discharge electrodes 2 of the pair of electrode substrates 1a and 1b.
Discharge units 21 and 22 each including cooling bodies 4a and 4b installed so as to come into contact with a surface on which a and 2b are not formed.

【0037】また、上記放電電極2a,2bのそれぞれ
の端部に、高電圧を印加するための給電部5a,5bを
設けている。
In addition, feed ends 5a and 5b for applying a high voltage are provided at respective ends of the discharge electrodes 2a and 2b.

【0038】ここで、図示左側および右側の冷却体4
a,4bは冷却室14を有しており、締結部品6を介し
て互いに締結されるようにしている。
Here, the left and right cooling bodies 4 shown in FIG.
a and 4b have a cooling chamber 14 and are fastened to each other via a fastening part 6.

【0039】また、上記誘電体3a,3bの間には、当
該誘電体3a,3b間の相対的な位置関係を規制する間
隔片7aを設置しており、上記誘電体3a,3b間に所
定の間隙のガス流路空間8を形成することができるよう
にしている。
A spacing piece 7a for regulating the relative positional relationship between the dielectrics 3a and 3b is provided between the dielectrics 3a and 3b, and a predetermined distance is provided between the dielectrics 3a and 3b. Can be formed in the gas flow path space 8 of the gap.

【0040】さらに、図1および図2に示すように、図
示右側の放電ユニット22の中心部よりも下側に、円筒
状のオゾン排出空間9を配置している。
Further, as shown in FIGS. 1 and 2, a cylindrical ozone discharge space 9 is arranged below the center of the discharge unit 22 on the right side in the figure.

【0041】次に、以上のように構成した本実施の形態
による沿面放電オゾナイザ20においては、沿面放電オ
ゾナイザ20の外周面より供給される原料ガス10が、
ガス流路空間8を通過する時、放電電極2a,2b間に
電源11から高電圧を印加して放電12を生じさせるこ
とにより、オゾン13が生成されて、中心部よりも下側
に位置するオゾン排出空間9に排出されて収集される。
Next, in the creeping discharge ozonizer 20 according to the present embodiment configured as described above, the source gas 10 supplied from the outer peripheral surface of the creeping discharge ozonizer 20 is
When passing through the gas passage space 8, a high voltage is applied from the power supply 11 between the discharge electrodes 2a and 2b to generate a discharge 12, whereby ozone 13 is generated and located below the center. It is discharged to the ozone discharge space 9 and collected.

【0042】この場合、本実施の形態では、鉛直方向
(重力方向)矢印19が示すように下向きの重力の影響
によって、最高オゾン濃度が下へ変位した位置にオゾン
排出空間9を設置していることにより、より一層高濃度
のオゾン13を収集することができる。
In this case, in this embodiment, the ozone discharge space 9 is provided at a position where the maximum ozone concentration is displaced downward by the influence of downward gravity as shown by the vertical (gravity direction) arrow 19. As a result, it is possible to collect the ozone 13 at a still higher concentration.

【0043】ここで、例えばガス流路空間8の幅1.0
mm、一対の電極基板1a,1bの直径800mmの沿
面放電オゾナイザ20において、オゾン排出空間9は、
中心部よりも10〜100mm下側へ設置することが、
計算上好ましい結果が得られている。
Here, for example, the width 1.0 of the gas passage space 8 is set.
mm, in a creeping discharge ozonizer 20 having a diameter of 800 mm between the pair of electrode substrates 1a and 1b, the ozone discharge space 9 is:
To be installed 10 to 100 mm below the center,
Calculationally favorable results have been obtained.

【0044】上述したように、本実施の形態による沿面
放電オゾナイザ20では、オゾン最高濃度においてオゾ
ンを収集することができ、より一層のオゾナイザの高効
率化、高濃度化を実現することが可能となる。
As described above, in the creeping discharge ozonizer 20 according to the present embodiment, ozone can be collected at the highest concentration of ozone, and it is possible to further increase the efficiency and concentration of the ozonizer. Become.

【0045】(変形例)図3の断面図に示すように、1
つの冷却体4bの表裏両面に一方の電極基板1bを配置
した放電ユニット23を、前記締結部品6を介して前記
放電ユニット21、22の間に挿入し、適宜、当該放電
ユニット21、22,23を積層する構成とすることに
より、大容量の沿面放電オゾナイザ20を形成すること
が可能となる。
(Modification) As shown in the sectional view of FIG.
A discharge unit 23 in which one electrode substrate 1b is disposed on both front and back surfaces of the two cooling bodies 4b is inserted between the discharge units 21 and 22 via the fastening component 6, and the discharge units 21, 22, and 23 are appropriately inserted. , It is possible to form a large-capacity surface discharge ozonizer 20.

【0046】(第2の実施の形態)図4は本実施の形態
による沿面放電オゾナイザの構成例を示す概略図、図5
は同沿面放電オゾナイザの構成例を示す断面図であり、
図17および図18と同一要素には同一符号を付して示
している。
(Second Embodiment) FIG. 4 is a schematic diagram showing a configuration example of a surface discharge ozonizer according to the present embodiment, and FIG.
Is a cross-sectional view showing a configuration example of the creeping discharge ozonizer,
17 and 18 are denoted by the same reference numerals.

【0047】図4および図5において、沿面放電オゾナ
イザ20は、鉛直方向に設置された円形あるいは多角形
状のガラス基板等の一対の電極基板1a,1bと、この
一対の電極基板1a,1bの対向面に、スクリーン印刷
等により高電圧部と低電圧部が一定間隔となるように形
成された放電電極2a,2bと、この放電電極2a,2
bを覆うようにコーディングされた誘電体3a,3b
と、上記一対の電極基板1a,1bの上記放電電極2
a,2bを形成していない面に接触するように設置され
た冷却体4a,4bとから構成されている放電ユニット
21,22を備えている。
4 and 5, a creeping discharge ozonizer 20 has a pair of electrode substrates 1a and 1b such as a circular or polygonal glass substrate installed in a vertical direction, and a pair of electrode substrates 1a and 1b facing each other. Discharge electrodes 2a and 2b formed on a surface by screen printing or the like so that a high-voltage portion and a low-voltage portion are arranged at regular intervals;
Dielectrics 3a, 3b coded to cover b
And the discharge electrodes 2 of the pair of electrode substrates 1a and 1b.
Discharge units 21 and 22 are provided, which are composed of cooling bodies 4a and 4b installed so as to come into contact with the surfaces on which a and 2b are not formed.

【0048】また、上記放電電極2a,2bのそれぞれ
の端部に、高電圧を印加するための給電部5a,5bを
設けている。
Further, power supply sections 5a and 5b for applying a high voltage are provided at the respective ends of the discharge electrodes 2a and 2b.

【0049】ここで、図示左側および右側の冷却体4
a,4bは冷却室14を有しており、締結部品6を介し
て互いに締結されるようにしている。
Here, the cooling bodies 4 on the left and right sides in FIG.
a and 4b have a cooling chamber 14 and are fastened to each other via a fastening part 6.

【0050】また、上記冷却体4a,4bの間には、上
記誘電体3a,3b間の相対的な位置関係を規制する間
隔片7bを設置しており、上記誘電体3a,3b間に所
定の間隙のガス流路空間8を形成することができるよう
にしている。
A spacing piece 7b for regulating the relative positional relationship between the dielectrics 3a, 3b is provided between the cooling bodies 4a, 4b, and a predetermined space is provided between the dielectrics 3a, 3b. Can be formed in the gas flow path space 8 of the gap.

【0051】さらに、上方のガス流路空間8が下方のガ
ス流路空間8よりも狭くなるように、図示右側の一方の
電極基板1bに傾斜を設けるようにしている。
Further, the one electrode substrate 1b on the right side in the figure is provided with an inclination so that the upper gas flow path space 8 is narrower than the lower gas flow path space 8.

【0052】さらにまた、図4および図5に示すよう
に、図示右側の放電ユニット22の中心部に、円筒状の
オゾン排出空間9を配置している。
Further, as shown in FIGS. 4 and 5, a cylindrical ozone discharge space 9 is arranged at the center of the discharge unit 22 on the right side in the figure.

【0053】次に、以上のように構成した本実施の形態
による沿面放電オゾナイザ20においては、沿面放電オ
ゾナイザ20の外周面より供給される原料ガス10が、
ガス流路空間8を通過する時、放電電極2a,2b間に
電源11から高電圧を印加して放電12を生じさせるこ
とにより、オゾン13が生成されて、中心部に位置する
オゾン排出空間9に排出されて収集される。
Next, in the creeping discharge ozonizer 20 according to the present embodiment configured as described above, the source gas 10 supplied from the outer peripheral surface of the creeping discharge ozonizer 20 is
When passing through the gas flow path space 8, a high voltage is applied between the discharge electrodes 2 a and 2 b from the power supply 11 to generate a discharge 12, thereby generating ozone 13 and the ozone discharge space 9 located at the center. It is discharged and collected.

【0054】この場合、本実施の形態では、狭くなった
上方のガス流路空間8では、摩擦による流体抵抗が大き
くなるため流速は遅くなり、かつ原料ガス10が電極間
に留まる時間が長くなるため、オゾン生成反応が活発に
行なわれ、オゾン濃度が下方と比較して高くなる。
In this case, in the present embodiment, in the narrowed upper gas flow path space 8, the fluid resistance due to friction increases, so that the flow velocity becomes slower and the time for which the source gas 10 stays between the electrodes becomes longer. Therefore, the ozone generation reaction is actively performed, and the ozone concentration is higher than that in the lower part.

【0055】そこで、所定の傾斜を設けていることによ
り、最高オゾン濃度が中心部へ位置することとなるた
め、より一層高濃度のオゾン13を収集することができ
る。
Therefore, by providing the predetermined inclination, the highest ozone concentration is located at the center, so that a higher concentration ozone 13 can be collected.

【0056】ここで、例えば前記ガス流路空間8の幅
1.0mm、一対の電極基板1a,1bの直径800mmの
沿面放電オゾナイザ20において、ガス流路空間8の最
上部が0.6〜0.9mm、最下部が1.1〜1.4mmとな
るように、電極基板1a,1bに傾斜を設けることが、
計算上好ましい結果が得られている。
For example, in the creeping discharge ozonizer 20 having a width of 1.0 mm of the gas flow space 8 and a diameter of 800 mm of the pair of electrode substrates 1a and 1b, the uppermost part of the gas flow space 8 is 0.6 to 0. The electrode substrates 1a and 1b are provided with an inclination so that the lowermost part is 1.1 mm and the lowermost part is 1.1 to 1.4 mm.
Calculationally favorable results have been obtained.

【0057】上述したように、本実施の形態による沿面
放電オゾナイザ20では、より一層高濃度のオゾンを収
集することが可能となる。
As described above, the creeping discharge ozonizer 20 according to the present embodiment can collect a higher concentration of ozone.

【0058】(変形例)図6の断面図に示すように、1
つの冷却体4bの表裏両面に一方の電極基板1bを配置
した放電ユニット23を、前記締結部品6を介して前記
放電ユニット21、22の間に挿入し、適宜、当該放電
ユニット21、22,23を積層する構成とすることに
より、大容量の沿面放電オゾナイザ20を形成すること
が可能となる。
(Modification) As shown in the sectional view of FIG.
A discharge unit 23 in which one electrode substrate 1b is disposed on both front and back surfaces of the two cooling bodies 4b is inserted between the discharge units 21 and 22 via the fastening component 6, and the discharge units 21, 22, and 23 are appropriately inserted. , It is possible to form a large-capacity surface discharge ozonizer 20.

【0059】(第3の実施の形態)図7は本実施の形態
による沿面放電オゾナイザの構成例を示す概略図、図8
は同沿面放電オゾナイザの構成例を示す断面図であり、
図17および図18と同一要素には同一符号を付して示
している。
(Third Embodiment) FIG. 7 is a schematic diagram showing a configuration example of a surface discharge ozonizer according to the present embodiment, and FIG.
Is a cross-sectional view showing a configuration example of the creeping discharge ozonizer,
17 and 18 are denoted by the same reference numerals.

【0060】図7および図8において、沿面放電オゾナ
イザ20は、鉛直方向に設置された円形あるいは多角形
状のガラス基板等の一対の電極基板1a,1bおよび1
cと、この一対の電極基板1a,1bおよび1cの対向面
に、スクリーン印刷等により高電圧部と低電圧部が一定
間隔となるように形成された放電電極2a,2bと、こ
の放電電極2a,2bを覆うようにコーディングされた
誘電体3a,3bおよび3cと、上記一対の電極基板1
a,1bおよび1cの上記放電電極2a,2bを形成して
いない面に接触するように設置された冷却体4a,4b
とから構成されている放電ユニット21,22を備えて
いる。
7 and 8, a creeping discharge ozonizer 20 includes a pair of electrode substrates 1a, 1b and 1 such as a circular or polygonal glass substrate installed in a vertical direction.
c, discharge electrodes 2a and 2b formed on the opposing surfaces of the pair of electrode substrates 1a, 1b and 1c by screen printing or the like so that a high-voltage portion and a low-voltage portion are spaced at a constant interval; , 2b, and a pair of the electrode substrates 1 and 3c.
a, 1b, and 1c, cooling bodies 4a, 4b installed so as to come into contact with surfaces on which the discharge electrodes 2a, 2b are not formed.
And discharge units 21 and 22 composed of the following.

【0061】また、上記放電電極2a,2bのそれぞれ
の端部に、高電圧を印加するための給電部5a,5bを
設けている。
Further, feed portions 5a and 5b for applying a high voltage are provided at respective ends of the discharge electrodes 2a and 2b.

【0062】ここで、図示右側の放電ユニット22は、
上方に上記電極基板1bを、下方に上記電極基板1cを
備えている。
Here, the discharge unit 22 on the right side of the drawing is
The electrode substrate 1b is provided above and the electrode substrate 1c is provided below.

【0063】また、図示左側および右側の冷却体4a,
4bは冷却室14を有しており、締結部品6を介して互
いに締結されるようにしている。
The left and right cooling bodies 4a, 4a,
4 b has a cooling chamber 14, which is fastened to each other via fastening parts 6.

【0064】さらに、上記冷却体4a,4bの間には、
上記誘電体3a,3b間および上記誘電体3a,3c間の
相対的な位置関係を規制する間隔片7bを設置してお
り、上記誘電体3a,3b間および上記誘電体3a,3c
間に所定の間隙のガス流路空間8を形成することができ
るようにしている。
Further, between the cooling bodies 4a and 4b,
A spacing piece 7b is provided to regulate the relative positional relationship between the dielectrics 3a and 3b and between the dielectrics 3a and 3c. The spacing piece 7b is provided between the dielectrics 3a and 3b and the dielectrics 3a and 3c.
A gas passage space 8 having a predetermined gap can be formed therebetween.

【0065】また、上方の上記ガス流路空間8が下方の
上記ガス流路空間8よりも狭くなるように、上方の上記
電極基板1bを下方の上記電極基板1cの厚みよりも厚
くなるようにしている。
The upper electrode substrate 1b is made thicker than the lower electrode substrate 1c so that the upper gas passage space 8 is narrower than the lower gas passage space 8. ing.

【0066】さらに、図7および図8に示すように、図
示右側の放電ユニット22の中心部に、円筒状のオゾン
排出空間9を配置している。
Further, as shown in FIGS. 7 and 8, a cylindrical ozone discharge space 9 is arranged at the center of the discharge unit 22 on the right side in the figure.

【0067】次に、以上のように構成した本実施の形態
による沿面放電オゾナイザ20においては、沿面放電オ
ゾナイザ20の外周面より供給される原料ガス10が、
ガス流路空間8を通過する時、放電電極2a,2b間に
電源11から高電圧を印加して放電12を生じさせるこ
とにより、オゾン13が生成されて、中心部に位置する
オゾン排出空間9に排出されて収集される。
Next, in the creeping discharge ozonizer 20 according to the present embodiment configured as described above, the source gas 10 supplied from the outer peripheral surface of the creeping discharge ozonizer 20 is
When passing through the gas flow path space 8, a high voltage is applied between the discharge electrodes 2 a and 2 b from the power supply 11 to generate a discharge 12, thereby generating ozone 13 and the ozone discharge space 9 located at the center. It is discharged and collected.

【0068】この場合、本実施の形態では、狭くなった
上方のガス流路空間8では、摩擦による流体抵抗が大き
くなるため流速は遅くなり、かつ原料ガス10が電極間
に留まる時間が長くなるため、オゾン生成反応が活発に
行なわれ、オゾン濃度が下方と比較して高くなる。
In this case, in the present embodiment, in the narrowed upper gas flow path space 8, the flow resistance is reduced due to the increased fluid resistance due to friction, and the time for which the source gas 10 stays between the electrodes is increased. Therefore, the ozone generation reaction is actively performed, and the ozone concentration is higher than that in the lower part.

【0069】そこで、電極基板1bと電極基板1cの厚
みに所定の差を設けていることにより、最高オゾン濃度
が中心部へ位置することとなるため、より一層高濃度の
オゾン13を収集することができる。
Therefore, by providing a predetermined difference in the thickness between the electrode substrate 1b and the electrode substrate 1c, the highest ozone concentration is located at the center, so that a higher concentration ozone 13 can be collected. Can be.

【0070】上述したように、本実施の形態による沿面
放電オゾナイザ20では、より一層高濃度のオゾンを収
集することが可能となる。
As described above, the creeping discharge ozonizer 20 according to the present embodiment makes it possible to collect ozone at a higher concentration.

【0071】(変形例)図9の断面図に示すように、1
つの冷却体4bの表裏両面に一方の電極基板1bを配置
した放電ユニット23を、前記締結部品6を介して前記
放電ユニット21、22の間に挿入し、適宜、当該放電
ユニット21、22,23を積層する構成とすることに
より、大容量の沿面放電オゾナイザ20を形成すること
が可能となる。
(Modification) As shown in the sectional view of FIG.
A discharge unit 23 in which one electrode substrate 1b is disposed on both front and back surfaces of the two cooling bodies 4b is inserted between the discharge units 21 and 22 via the fastening component 6, and the discharge units 21, 22, and 23 are appropriately inserted. , It is possible to form a large-capacity surface discharge ozonizer 20.

【0072】(第4の実施の形態)図10は本実施の形
態による沿面放電オゾナイザの構成例を示す概略図、図
11は同沿面放電オゾナイザの構成例を示す断面図であ
り、図17および図18と同一要素には同一符号を付し
て示している。
(Fourth Embodiment) FIG. 10 is a schematic diagram showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to the present embodiment, and FIG. 11 is a sectional view showing a configuration example of the creeping discharge ozonizer. The same elements as those in FIG. 18 are denoted by the same reference numerals.

【0073】図10および図11において、沿面放電オ
ゾナイザ20は、鉛直方向に設置された円形あるいは多
角形状のガラス基板等の一対の電極基板1a,1bと、
この一対の電極基板1a,1bの対向面に、スクリーン
印刷等により高電圧部と低電圧部が一定間隔となるよう
に形成された放電電極2a,2bと、この放電電極2
a、2bを覆うようにコーディングされた誘電体3a,
3bと、上記一対の電極基板1a,1bの上記放電電極
2a,2bを形成していない面に接触するように設置さ
れた冷却体4a,4bとから構成されている放電ユニッ
ト21,22を備えている。
10 and 11, a creeping discharge ozonizer 20 includes a pair of electrode substrates 1a and 1b such as a circular or polygonal glass substrate installed in a vertical direction.
Discharge electrodes 2a and 2b formed on the opposing surfaces of the pair of electrode substrates 1a and 1b by screen printing or the like so that a high-voltage portion and a low-voltage portion are arranged at a fixed interval;
a, a dielectric 3a coded to cover the 2b,
3b, and discharge units 21 and 22 comprising cooling bodies 4a and 4b installed so as to contact the surfaces of the pair of electrode substrates 1a and 1b where the discharge electrodes 2a and 2b are not formed. ing.

【0074】また、上記放電電極2a,2bのそれぞれ
の端部に、高電圧を印加するための給電部5a,5bを
設けている。
Further, feed portions 5a and 5b for applying a high voltage are provided at respective ends of the discharge electrodes 2a and 2b.

【0075】ここで、図示左側および右側の冷却体4
a,4bは冷却室14を有しており、締結部品6を介し
て互いに締結されるようにしている。
Here, the cooling bodies 4 on the left and right sides in FIG.
a and 4b have a cooling chamber 14 and are fastened to each other via a fastening part 6.

【0076】また、上記誘電体3a,3bの間には、当
該誘電体3a,3b間の相対的な位置関係を規制する間
隔片7aを設置しており、上記誘電体3a,3b間に所
定の間隙のガス流路空間8を形成することができるよう
にしている。
A spacing piece 7a for regulating the relative positional relationship between the dielectrics 3a and 3b is provided between the dielectrics 3a and 3b, and a predetermined distance is provided between the dielectrics 3a and 3b. Can be formed in the gas flow path space 8 of the gap.

【0077】さらに、上記冷却体4a,4bの上記電極
基板1a1bが設けられていない位置(電極板の外側)の
上方には、網状等の調整板15を配置している。
Further, a mesh-shaped adjusting plate 15 is arranged above the cooling bodies 4a and 4b at positions where the electrode substrates 1a1b are not provided (outside the electrode plates).

【0078】さらにまた、図10および図11に示すよ
うに、図示右側の放電ユニット22の中心部に、円筒状
のオゾン排出空間9を配置している。
Further, as shown in FIGS. 10 and 11, a cylindrical ozone discharge space 9 is arranged at the center of the discharge unit 22 on the right side in the figure.

【0079】次に、以上のように構成した本実施の形態
による沿面放電オゾナイザ20においては、沿面放電オ
ゾナイザ20の外周面より供給される原料ガス10が、
ガス流路空間8を通過する時、放電電極2a,2b間に
電源11から高電圧を印加して放電12を生じさせるこ
とにより、オゾン13が生成されて、中心部に位置する
オゾン排出空間9に排出されて収集される。
Next, in the creeping discharge ozonizer 20 according to the present embodiment configured as described above, the source gas 10 supplied from the outer peripheral surface of the creeping discharge ozonizer 20 is
When passing through the gas flow path space 8, a high voltage is applied between the discharge electrodes 2 a and 2 b from the power supply 11 to generate a discharge 12, thereby generating ozone 13 and the ozone discharge space 9 located at the center. It is discharged and collected.

【0080】この場合、本実施の形態では、調整板15
によって上方からの原料ガス10の流速が遅くなり、ガ
ス流路空間8に原料ガス10が留まる時間が長くなるた
め、オゾン生成反応が活発に行なわれ、オゾン濃度が下
方よりも高くなる。
In this case, in this embodiment, the adjusting plate 15
As a result, the flow velocity of the source gas 10 from above decreases, and the time during which the source gas 10 stays in the gas flow path space 8 increases, so that the ozone generation reaction is actively performed, and the ozone concentration becomes higher than below.

【0081】これにより、最高オゾン濃度の位置は下方
から中心部へと移動して、中心部に配置されたオゾン排
出空間9から、より一層高濃度のオゾン13を収集する
ことができる。
As a result, the position of the highest ozone concentration moves from below to the center, and ozone 13 having a higher concentration can be collected from the ozone discharge space 9 arranged at the center.

【0082】上述したように、本実施の形態による沿面
放電オゾナイザ20では、より一層高濃度のオゾンを収
集することが可能となる。
As described above, the creeping discharge ozonizer 20 according to the present embodiment makes it possible to collect a higher concentration of ozone.

【0083】(変形例)図12の断面図に示すように、
1つの冷却体4bの表裏両面に一方の電極基板1bを配
置した放電ユニット23を、前記締結部品6を介して前
記放電ユニット21、22の間に挿入し、適宜、当該放
電ユニット21、22,23を積層する構成とすること
により、大容量の沿面放電オゾナイザ20を形成するこ
とが可能となる。
(Modification) As shown in the sectional view of FIG.
A discharge unit 23 in which one electrode substrate 1b is disposed on both front and back surfaces of one cooling body 4b is inserted between the discharge units 21 and 22 via the fastening component 6, and the discharge units 21, 22 and With a configuration in which 23 are stacked, it is possible to form a large-capacity surface discharge ozonizer 20.

【0084】(第5の実施の形態)図13は本実施の形
態による沿面放電オゾナイザの構成例を示す概略図、図
14は同沿面放電オゾナイザの構成例を示す断面図であ
り、図17および図18と同一要素には同一符号を付し
て示している。
(Fifth Embodiment) FIG. 13 is a schematic diagram showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to the present embodiment, and FIG. 14 is a sectional view showing a configuration example of the creeping discharge ozonizer. The same elements as those in FIG. 18 are denoted by the same reference numerals.

【0085】図13および図14において、沿面放電オ
ゾナイザ20は、鉛直方向に設置された円形あるいは多
角形状のガラス基板等の一対の電極基板1a,1bと、
この一対の電極基板1a,1bの対向面に、スグリーン
印刷等により高電圧部と低電圧部が一定間隔となるよう
に形成された放電電極2a,2bと、この放電電極2
a,2bを覆うようにコーディングされた誘電体3a,
3bと、上記一対の電極基板1a,1bの上記放電電極
2a,2bを形成していない面に接触するように設置さ
れた冷却体4a,4bとから構成されている放電ユニッ
ト21,22を備えている。
13 and 14, a creeping discharge ozonizer 20 includes a pair of electrode substrates 1a and 1b such as a circular or polygonal glass substrate installed in a vertical direction.
Discharge electrodes 2a and 2b formed on the opposing surfaces of the pair of electrode substrates 1a and 1b by a sgreen printing or the like so that a high-voltage portion and a low-voltage portion are arranged at regular intervals;
a, 3b, coded to cover a, 2b
3b, and discharge units 21 and 22 comprising cooling bodies 4a and 4b installed so as to contact the surfaces of the pair of electrode substrates 1a and 1b where the discharge electrodes 2a and 2b are not formed. ing.

【0086】また、上記放電電極2a,2bのそれぞれ
の端部に、高電圧を印加するための給電部5a,5bを
設けている。
Further, feed portions 5a and 5b for applying a high voltage are provided at respective ends of the discharge electrodes 2a and 2b.

【0087】ここで、図示左側および右側の冷却体4
a,4bは、締結部品6を介して互いに締結されるよう
にしている。
Here, the cooling bodies 4 on the left and right sides in FIG.
a and 4b are fastened to each other via the fastening component 6.

【0088】また、上記誘電体3a,3bの間には、当
該誘電体3a,3b間の相対的な位置関係を規制する間
隔片7aを設置しており、上記誘電体3a,3b間に所
定の間隙のガス流路空間8を形成することができるよう
にしている。
Also, between the dielectrics 3a and 3b, a spacing piece 7a for regulating a relative positional relationship between the dielectrics 3a and 3b is provided, and a predetermined distance is provided between the dielectrics 3a and 3b. Can be formed in the gas flow path space 8 of the gap.

【0089】さらに、上記冷却体4a,4bは、それぞ
れ上下に分割された冷却室14a,14bを有してお
り、上記冷却体4a,4bにそれぞれ設置された冷却媒
体入口16a,16bから冷却媒体出口17a,17b
へ、それぞれ冷却媒体18a,18bが流入出するよう
にしている。
Further, the cooling bodies 4a and 4b have cooling chambers 14a and 14b which are respectively divided into upper and lower parts. The cooling medium inlets 16a and 16b provided in the cooling bodies 4a and 4b respectively serve as cooling mediums. Exits 17a, 17b
The cooling media 18a and 18b respectively flow into and out of the housing.

【0090】ここで、上方の上記冷却室14aへ流入出
する冷却媒体18aの流入温度は、下方の上記冷却室1
4bへ流入出する冷却媒体18bの流入温度よりも低く
なるようにしている。
Here, the inflow temperature of the cooling medium 18a flowing into and out of the upper cooling chamber 14a depends on the temperature of the lower cooling chamber 1a.
The temperature is set lower than the inflow temperature of the cooling medium 18b flowing into and out of the cooling medium 4b.

【0091】また、図13および図14に示すように、
図示右側の放電ユニット22の中心部に、円筒状のオゾ
ン排出空間9を配置している。
As shown in FIGS. 13 and 14,
A cylindrical ozone discharge space 9 is arranged at the center of the discharge unit 22 on the right side in the figure.

【0092】次に、以上のように構成した本実施の形態
による沿面放電オゾナイザ20においては、沿面放電オ
ゾナイザ20の外周面より供給される原料ガス10が、
ガス流路空間8を通過する時、放電電極2a,2b間に
電源11から高電圧を印加して放電12を生じさせるこ
とにより、オゾン13が生成されて、中心部に位置する
オゾン排出空間9に排出されて収集される。
Next, in the creeping discharge ozonizer 20 according to the present embodiment configured as described above, the source gas 10 supplied from the outer peripheral surface of the creeping discharge ozonizer 20 is
When passing through the gas flow path space 8, a high voltage is applied between the discharge electrodes 2 a and 2 b from the power supply 11 to generate a discharge 12, thereby generating ozone 13 and the ozone discharge space 9 located at the center. It is discharged and collected.

【0093】この場合、本実施の形態では、上方でのガ
ス流路空間8の温度は、下方のガス流路空間8の温度よ
りも低くなり、オゾン生成能力はガス温度が低いほど高
まるという特性を持っているため、上方でのガス流路空
間8におけるオゾン生成能力が高くなり、最高オゾン濃
度の位置は下方から中心部へと移動する。
In this case, in the present embodiment, the characteristic is that the temperature of the upper gas flow path space 8 is lower than the temperature of the lower gas flow path space 8, and the ozone generation capacity is higher as the gas temperature is lower. , The ozone generation ability in the gas flow path space 8 at the upper side is increased, and the position of the highest ozone concentration moves from below to the center.

【0094】そこで、冷却媒体18a,18bに所定の
流入温度差を設けることにより、中心部に配置されたオ
ゾン排出口9から、より一層高濃度のオゾン13を収集
することができる。
Therefore, by providing a predetermined inflow temperature difference between the cooling media 18a and 18b, it is possible to collect the ozone 13 with a higher concentration from the ozone outlet 9 disposed at the center.

【0095】上述したように、本実施の形態による沿面
放電オゾナイザ20では、より一層高濃度のオゾンを収
集することが可能となる。
As described above, the creeping discharge ozonizer 20 according to the present embodiment makes it possible to collect a higher concentration of ozone.

【0096】(変形例) (a)上方の前記冷却室14aに流れる冷却媒体18a
の流量を、下方の前記冷却室14bに流れる冷却媒体1
8bの流量よりも多くなるようにすることにより、上方
のガス流路空間8での冷却能力、およびオゾン生成能力
が高まり、前記第5の実施の形態の場合と同様な作用効
果を得ることができる。
(Modification) (a) The cooling medium 18a flowing into the upper cooling chamber 14a
The flow rate of the cooling medium 1 flowing to the cooling chamber 14b below
By making the flow rate larger than the flow rate of 8b, the cooling capacity and the ozone generation capacity in the upper gas flow path space 8 are increased, and the same operation and effect as in the fifth embodiment can be obtained. it can.

【0097】(b)前記冷却体4a,4bの有する冷却
室14が1つの場合でも、上方から前記冷却媒体18を
流入し、下方で流出させるようにすることにより、上記
と同様の理由により、中心部に配置されたオゾン排出空
間9から、高濃度のオゾン13を収集することができ
る。
(B) Even when the cooling bodies 14 of the cooling bodies 4a and 4b are one, by allowing the cooling medium 18 to flow in from above and to flow out below, for the same reason as described above, High-concentration ozone 13 can be collected from the ozone discharge space 9 arranged at the center.

【0098】(c)前記図3の断面図に示すように、1
つの冷却体4bの表裏両面に一方の電極基板1bを配置
した放電ユニット23を、前記締結部品6を介して前記
放電ユニット21、22の間に挿入し、適宜、当該放電
ユニット21、22,23を積層する構成とすることに
より、大容量の沿面放電オゾナイザ20を形成すること
が可能となる。
(C) As shown in the sectional view of FIG.
A discharge unit 23 in which one electrode substrate 1b is disposed on both front and back surfaces of the two cooling bodies 4b is inserted between the discharge units 21 and 22 via the fastening component 6, and the discharge units 21, 22, and 23 are appropriately inserted. , It is possible to form a large-capacity surface discharge ozonizer 20.

【0099】(第6の実施の形態)図15は同沿面放電
オゾナイザの構成例を示す断面図であり、図17および
図18と同一要素には同一符号を付して示している。
(Sixth Embodiment) FIG. 15 is a sectional view showing a configuration example of the surface discharge ozonizer, and the same elements as those in FIGS. 17 and 18 are denoted by the same reference numerals.

【0100】図15において、沿面放電オゾナイザ20
は、水平方向に設置された円形あるいは多角形状のガラ
ス基板等の一対の電極基板1a,1bと、この一対の電
極基板1a,1bの対向面に、スクリーン印刷等により
高電圧部と低電圧部が一定間隔となるように形成された
放電電極2a,2bと、この放電電極2a,2bを覆う
ようにコーディングされた誘電体3a,3bと、上記一
対の電極基板1a,1bの上記放電電極2a,2bを形
成していない面に接触するように設置された冷却体4
a,4bとから構成されている放電ユニット21,22を
備えている。
In FIG. 15, the creeping discharge ozonizer 20 is used.
A pair of electrode substrates 1a and 1b such as a circular or polygonal glass substrate installed in a horizontal direction, and a high voltage portion and a low voltage portion Are formed at regular intervals, dielectrics 3a, 3b coded to cover the discharge electrodes 2a, 2b, and the discharge electrodes 2a of the pair of electrode substrates 1a, 1b. , 2b provided so as to come into contact with the surface not forming the
a and 4b.

【0101】また、上記放電電極2a,2bのそれぞれ
の端部に、高電圧を印加するための給電部5a,5bを
設けている。
Further, power supply sections 5a and 5b for applying a high voltage are provided at the respective ends of the discharge electrodes 2a and 2b.

【0102】ここで、図示上側および下側の冷却体4
a,4bは冷却室14を有しており、締結部品6を介し
て互いに締結されるようにしている。
Here, the upper and lower cooling bodies 4 in the drawing are shown.
a and 4b have a cooling chamber 14 and are fastened to each other via a fastening part 6.

【0103】また、上記誘電体3a,3bの間には、当
該誘電体3a,3b間の相対的な位置関係を規制する間
隔片7aを設置しており、上記誘電体3a,3b間に所
定の間隙のガス流路空間8を形成することができるよう
にしている。
A spacing piece 7a for regulating the relative positional relationship between the dielectrics 3a, 3b is provided between the dielectrics 3a, 3b, and a predetermined distance is provided between the dielectrics 3a, 3b. Can be formed in the gas flow path space 8 of the gap.

【0104】さらに、図15に示すように、図示上側の
放電ユニット22の中心部に、円筒状のオゾン排出空間
9を配置している。
Further, as shown in FIG. 15, a cylindrical ozone discharge space 9 is arranged at the center of the discharge unit 22 on the upper side in the figure.

【0105】次に、以上のように構成した本実施の形態
による沿面放電オゾナイザ20においては、沿面放電オ
ゾナイザ20の外周面より供給される原料ガス10が、
ガス流路空間8を通過する時、放電電極2a,2b間に
電源11から高電圧を印加して放電12を生じさせるこ
とにより、オゾン13が生成されて、中心部に位置する
オゾン排出空間9に排出されて収集される。
Next, in the creeping discharge ozonizer 20 according to the present embodiment configured as described above, the source gas 10 supplied from the outer peripheral surface of the creeping discharge ozonizer 20 is
When passing through the gas flow path space 8, a high voltage is applied between the discharge electrodes 2 a and 2 b from the power supply 11 to generate a discharge 12, thereby generating ozone 13 and the ozone discharge space 9 located at the center. It is discharged and collected.

【0106】この場合、本実施の形態では、流体は流れ
方向に対して重力の影響を受けず、オゾン濃度分布は同
心円状になるため、中心部に位置するオゾン排出空間9
から、より一層高濃度のオゾン13を収集することがで
きる。
In this case, in the present embodiment, the fluid is not affected by gravity in the flow direction, and the ozone concentration distribution is concentric, so that the ozone discharge space 9 located at the center is formed.
Therefore, ozone 13 having a higher concentration can be collected.

【0107】上述したように、本実施の形態による沿面
放電オゾナイザ20では、より一層高濃度のオゾンを収
集することが可能となる。
As described above, the creeping discharge ozonizer 20 according to the present embodiment makes it possible to collect a higher concentration of ozone.

【0108】(変形例)図16の断面図に示すように、
1つの冷却体4bの表裏両面に一方の電極基板1bを配
置した放電ユニット23を、前記締結部品6を介して前
記放電ユニット21、22の間に挿入し、適宜、当該放
電ユニット21、22,23を積層する構成とすること
により、大容量の沿面放電オゾナイザ20を形成するこ
とが可能となる。
(Modification) As shown in the sectional view of FIG.
A discharge unit 23 in which one electrode substrate 1b is disposed on both front and back surfaces of one cooling body 4b is inserted between the discharge units 21 and 22 via the fastening component 6, and the discharge units 21, 22 and With a configuration in which 23 are stacked, it is possible to form a large-capacity surface discharge ozonizer 20.

【0109】(その他の実施の形態)尚、本発明は、上
記各実施の形態に限定されるものではなく、実施段階で
はその要旨を逸脱しない範囲で、種々に変形して実施す
ることが可能である。 また、各実施の形態は可能な限り適宜組合わせて実施し
てもよく、その場合には組合わせた作用効果を得ること
ができる。 さらに、上記各実施の形態には種々の段階の発明が含ま
れており、開示される複数の構成要件における適宜な組
合わせにより、種々の発明を抽出することができる。 例えば、実施の形態に示される全構成要件から幾つかの
構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題
の欄で述べた課題(の少なくとも一つ)が解決でき、発
明の効果の欄で述べられている効果(の少なくとも一
つ)が得られる場合には、この構成要件が削除された構
成を発明として抽出することができる。
(Other Embodiments) It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be variously modified and implemented without departing from the scope of the invention at the stage of implementation. It is. In addition, the embodiments may be implemented in combination as appropriate as much as possible. In that case, the combined operation and effect can be obtained. Furthermore, the above embodiments include inventions at various stages, and various inventions can be extracted by appropriately combining a plurality of disclosed constituent features. For example, even if some components are deleted from all the components shown in the embodiment, at least one of the problems described in the section of the problem to be solved by the invention can be solved, and In the case where (at least one of) the effects described in the section is obtained, a configuration from which this component is deleted can be extracted as an invention.

【0110】[0110]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のオゾナイ
ザによれば、オゾン最高濃度においてオゾンを収集する
ことができ、より一層の高効率化、高濃度化を実現する
ことが可能となる。
As described above, according to the ozonizer of the present invention, ozone can be collected at the highest concentration of ozone, and higher efficiency and higher concentration can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態による沿面放電オゾ
ナイザの構成例を示す概略図。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施の形態による沿面放電オゾ
ナイザの構成例を示す断面図。
FIG. 2 is a sectional view showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第1および第5の実施の形態の変形例
による沿面放電オゾナイザの構成例を示す断面図。
FIG. 3 is a sectional view showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to a modification of the first and fifth embodiments of the present invention.

【図4】本発明の第2の実施の形態による沿面放電オゾ
ナイザの構成例を示す概略図。
FIG. 4 is a schematic diagram showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to a second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第2の実施の形態による沿面放電オゾ
ナイザの構成例を示す断面図。
FIG. 5 is a sectional view showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to a second embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第2の実施の形態の変形例による沿面
放電オゾナイザの構成例を示す断面図。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a configuration example of a surface discharge ozonizer according to a modification of the second embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第3の実施の形態による沿面放電オゾ
ナイザの構成例を示す概略図。
FIG. 7 is a schematic diagram showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to a third embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第3の実施の形態による沿面放電オゾ
ナイザの構成例を示す断面図。
FIG. 8 is a sectional view showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to a third embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第3の実施の形態の変形例による沿面
放電オゾナイザの構成例を示す断面図。
FIG. 9 is a sectional view showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to a modification of the third embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第4の実施の形態による沿面放電オ
ゾナイザの構成例を示す概略図。
FIG. 10 is a schematic diagram showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to a fourth embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第4の実施の形態による沿面放電オ
ゾナイザの構成例を示す断面図。
FIG. 11 is a sectional view showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to a fourth embodiment of the present invention.

【図12】本発明の第4の実施の形態の変形例による沿
面放電オゾナイザの構成例を示す断面図。
FIG. 12 is a sectional view showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to a modification of the fourth embodiment of the present invention.

【図13】本発明の第5の実施の形態による沿面放電オ
ゾナイザの構成例を示す概略図。
FIG. 13 is a schematic diagram showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to a fifth embodiment of the present invention.

【図14】本発明の第5の実施の形態による沿面放電オ
ゾナイザの構成例を示す断面図。
FIG. 14 is a sectional view showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to a fifth embodiment of the present invention.

【図15】本発明の第6の実施の形態による沿面放電オ
ゾナイザの構成例を示す断面図。
FIG. 15 is a sectional view showing a configuration example of a creeping discharge ozonizer according to a sixth embodiment of the present invention.

【図16】本発明の第6の実施の形態の変形例による沿
面放電オゾナイザの構成例を示す断面図。
FIG. 16 is a cross-sectional view showing a configuration example of a surface discharge ozonizer according to a modification of the sixth embodiment of the present invention.

【図17】従来の沿面放電オゾナイザの構成例を示す概
略図。
FIG. 17 is a schematic diagram showing a configuration example of a conventional surface discharge ozonizer.

【図18】従来の沿面放電オゾナイザの構成例を示す断
面図。
FIG. 18 is a sectional view showing a configuration example of a conventional surface discharge ozonizer.

【図19】従来の沿面放電オゾナイザにおけるオゾン濃
度分布図。
FIG. 19 is an ozone concentration distribution diagram in a conventional surface discharge ozonizer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1a,1b,1c…電極基板 2a,2b…放電電極 3a,3b、3c…誘電体 4a,4b…冷却体 5a,5b…給電部 6…締結部品 7a,7b…間隔片 8…ガス流路空間 9…オゾン排出空間 10…原料ガス 11…電源 12…放電 13…オゾン 14…冷却室 15…調整板 16a,16b…冷却媒体入口 17a,17b…冷却媒体出口 18a,18b…冷却媒体 19…鉛直方向(重力方向)矢印 20…沿面放電オゾナイザ 21…放電ユニット 22…放電ユニット 23…放電ユニット。 1a, 1b, 1c: Electrode substrate 2a, 2b: Discharge electrode 3a, 3b, 3c: Dielectric 4a, 4b: Cooling body 5a, 5b: Power supply unit 6: Fastening component 7a, 7b: Spacing piece 8: Gas flow space 9 ozone discharge space 10 source gas 11 power supply 12 discharge 13 ozone 14 cooling chamber 15 adjustment plate 16a, 16b cooling medium inlet 17a, 17b cooling medium outlet 18a, 18b cooling medium 19 vertical direction (Gravity direction) Arrow 20: Surface discharge ozonizer 21: Discharge unit 22: Discharge unit 23: Discharge unit.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4G042 CA01 CC02 CC13 CC16 CE04 4G075 AA07 BA01 BD05 CA15 DA02 EA02 EB21 EC09 EC21 FC15 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 4G042 CA01 CC02 CC13 CC16 CE04 4G075 AA07 BA01 BD05 CA15 DA02 EA02 EB21 EC09 EC21 FC15

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 鉛直方向に設置された円形あるいは多角
形状の一対の電極基板と、 前記一対の電極基板の対向面に、高電圧部と低電圧部が
一定間隔となるように配置された放電電極と、 前記放電電極を覆うようにコーティングされた誘電体
と、 前記一対の電極基板に接触するように設置された冷却体
と、 対向した前記一対の電極基板上の前記誘電体の距離を所
定間隔に規制する間隔片と、 前記一対の電極基板および前記冷却体を貫通し、生成さ
れたオゾンを取出すオゾン排出空間とを備え、 前記オゾン排出空間を、前記一対の電極基板の中心部よ
りも下側に配置して成ることを特徴とするオゾナイザ。
1. A discharge in which a pair of circular or polygonal electrode substrates installed in a vertical direction, and a high voltage portion and a low voltage portion are arranged at regular intervals on opposing surfaces of the pair of electrode substrates. An electrode; a dielectric coated so as to cover the discharge electrode; a cooling body arranged to be in contact with the pair of electrode substrates; and a predetermined distance between the dielectric on the pair of electrode substrates facing each other. An interval piece that regulates an interval, and an ozone discharge space that penetrates the pair of electrode substrates and the cooling body and takes out generated ozone, wherein the ozone discharge space is more than a central portion of the pair of electrode substrates. An ozonizer characterized by being arranged on the lower side.
【請求項2】 鉛直方向に設置された円形あるいは多角
形状の一対の電極基板と、 前記一対の電極基板の対向面に、高電圧部と低電圧部が
一定間隔となるように配置された放電電極と、 前記放電電極を覆うようにコーティングされた誘電体
と、 前記一対の電極基板に接触するように設置された冷却体
と、 対向した前記一対の電極基板上の前記誘電体の距離を所
定間隔に規制する間隔片と、 前記一対の電極基板および前記冷却体を貫通し、生成さ
れたオゾンを取出す前記一対の電極基板の中心部に配置
されたオゾン排出空間とを備え、 前記鉛直方向上部の対向する前記誘電体間の距離が小さ
く、前記鉛直方向下部の対向する前記誘電体間の距離が
大きくなるように、一方の前記電極基板に傾斜を設けて
成ることを特徴とするオゾナイザ。
2. A discharge in which a pair of circular or polygonal electrode substrates installed in a vertical direction, and a high-voltage portion and a low-voltage portion are arranged at regular intervals on opposing surfaces of the pair of electrode substrates. An electrode; a dielectric coated so as to cover the discharge electrode; a cooling body arranged to be in contact with the pair of electrode substrates; and a predetermined distance between the dielectric on the pair of electrode substrates facing each other. An interval piece that regulates an interval, and an ozone discharge space that penetrates the pair of electrode substrates and the cooling body and is disposed at a central portion of the pair of electrode substrates that takes out generated ozone. An ozonizer characterized in that one of the electrode substrates is provided with an inclination so that the distance between the opposing dielectrics is small and the distance between the opposing dielectrics in the vertical lower part is large.
【請求項3】 鉛直方向に設置された円形あるいは多角
形状の一対の電極基板と、 前記一対の電極基板の対向面に、高電圧部と低電圧部が
一定間隔となるように配置された放電電極と、 前記放電電極を覆うようにコーティングされた誘電体
と、 前記一対の電極基板に接触するように設置された冷却体
と、 対向した前記一対の電極基板上の前記誘電体の距離を所
定間隔に規制する間隔片と、 前記一対の電極基板および前記冷却体を貫通し、生成さ
れたオゾンを取出す前記一対の電極基板の中心部に配置
されたオゾン排出空間とを備え、 上下に分割された前記一対の電極基板のうち、上方の前
記電極基板の厚みを下方の前記電極基板の厚みよりも大
きくなるように、一方の前記電極基板に段差を設けて成
ることを特徴とするオゾナイザ。
3. A pair of circular or polygonal electrode substrates installed in a vertical direction, and a discharge in which a high-voltage portion and a low-voltage portion are arranged at regular intervals on opposing surfaces of the pair of electrode substrates. An electrode; a dielectric coated so as to cover the discharge electrode; a cooling body arranged to be in contact with the pair of electrode substrates; and a predetermined distance between the dielectric on the pair of electrode substrates facing each other. An interval piece that regulates an interval, an ozone discharge space that penetrates the pair of electrode substrates and the cooling body, and is disposed at a central portion of the pair of electrode substrates that takes out generated ozone, is vertically divided. An ozonizer, wherein one of the pair of electrode substrates is provided with a step so that the thickness of the upper electrode substrate is larger than the thickness of the lower electrode substrate.
【請求項4】 鉛直方向に設置された円形あるいは多角
形状の一対の電極基板と、 前記一対の電極基板の対向面に、高電圧部と低電圧部が
一定間隔となるように配置された放電電極と、 前記放電電極を覆うようにコーティングされた誘電体
と、 前記一対の電極基板に接触するように設置された冷却体
と、 対向した前記一対の電極基板上の前記誘電体の距離を所
定間隔に規制する間隔片と、 前記一対の電極基板および前記冷却体を貫通し、生成さ
れたオゾンを取出す前記一対の電極基板の中心部に配置
されたオゾン排出空間とを備え、 前記一対の電極基板の外側の上半分に、調整体を配置し
て成ることを特徴とするオゾナイザ。
4. A discharge in which a pair of circular or polygonal electrode substrates installed in a vertical direction, and a high voltage portion and a low voltage portion are arranged at regular intervals on opposing surfaces of the pair of electrode substrates. An electrode; a dielectric coated so as to cover the discharge electrode; a cooling body arranged to be in contact with the pair of electrode substrates; and a predetermined distance between the dielectric on the pair of electrode substrates facing each other. An interval piece that regulates an interval, and an ozone discharge space that penetrates the pair of electrode substrates and the cooling body and is disposed at a central portion of the pair of electrode substrates that extracts generated ozone, and the pair of electrodes includes An ozonizer comprising an adjusting body disposed on an upper half of an outer side of a substrate.
【請求項5】 鉛直方向に設置された円形あるいは多角
形状の一対の電極基板と、 前記一対の電極基板の対向面に、高電圧部と低電圧部が
一定間隔となるように配置された放電電極と、 前記放電電極を覆うようにコーティングされた誘電体
と、 上下に分割された冷却室を有し、前記一対の電極基板に
接触するように設置された冷却体と、 対向した前記一対の電極基板上の前記誘電体の距離を所
定間隔に規制する間隔片と、 前記一対の電極基板および前記冷却体を貫通し、生成さ
れたオゾンを取出す前記一対の電極基板の中心部に配置
されたオゾン排出空間とを備え、 下方の前記冷却室に流入する冷却媒体の温度よりも上方
の前記冷却室に流入する冷却媒体の温度を低くするか、 あるいは、下方の前記冷却室に流入する冷却媒体の流量
よりも上方の前記冷却室に流入する冷却媒体の流量を多
くなるようにしたことを特徴とするオゾナイザ。
5. A discharge in which a pair of circular or polygonal electrode substrates installed in a vertical direction, and a high-voltage portion and a low-voltage portion are arranged at regular intervals on opposing surfaces of the pair of electrode substrates. An electrode, a dielectric coated so as to cover the discharge electrode, and a cooling body having a vertically divided cooling chamber, and provided so as to be in contact with the pair of electrode substrates; An interval piece that regulates a distance of the dielectric on the electrode substrate to a predetermined interval; and a center piece of the pair of electrode substrates that penetrates the pair of electrode substrates and the cooling body and takes out generated ozone. An ozone exhaust space, wherein the temperature of the cooling medium flowing into the cooling chamber above the temperature of the cooling medium flowing into the cooling chamber below is lowered, or the cooling medium flowing into the cooling chamber below Than the flow rate Ozonizer, characterized in that as increased the flow rate of the cooling medium flowing into the cooling chamber upward.
【請求項6】 鉛直方向に設置された円形あるいは多角
形状の一対の電極基板と、 前記一対の電極基板の対向面に、高電圧部と低電圧部が
一定間隔となるように配置された放電電極と、 前記放電電極を覆うようにコーティングされた誘電体
と、 前記一対の電極基板に接触するように設置された冷却体
と、 対向した前記一対の電極基板上の前記誘電体の距離を所
定間隔に規制する間隔片と、 前記一対の電極基板および前記冷却体を貫通し、生成さ
れたオゾンを取出す前記一対の電極基板の中心部に配置
されたオゾン排出空間とを備え、 前記冷却体の上方に冷却媒体の入口を、前記冷却体の下
方に冷却媒体の出口をそれぞれ配置して成ることを特徴
とするオゾナイザ。
6. A discharge in which a pair of circular or polygonal electrode substrates installed in a vertical direction, and a high-voltage portion and a low-voltage portion are arranged at regular intervals on opposing surfaces of the pair of electrode substrates. An electrode; a dielectric coated so as to cover the discharge electrode; a cooling body arranged to be in contact with the pair of electrode substrates; and a predetermined distance between the dielectric on the pair of electrode substrates facing each other. An interval piece that regulates an interval, and an ozone discharge space that is disposed at a central portion of the pair of electrode substrates that penetrates the pair of electrode substrates and the cooling body and takes out generated ozone. An ozonizer, wherein an inlet for a cooling medium is arranged above and an outlet for a cooling medium is arranged below the cooling body.
【請求項7】 円形あるいは多角形状の一対の電極基板
と、 前記一対の電極基板の対向面に、高電圧部と低電圧部が
一定間隔となるように配置された放電電極と、 前記放電電極を覆うようにコーティングされた誘電体
と、 前記一対の電極基板に接触するように設置された冷却体
と、 対向した前記一対の電極基板上の前記誘電体の距離を所
定間隔に規制する間隔片と、 前記一対の電極基板および前記冷却体を貫通し、生成さ
れたオゾンを取出す前記一対の電極基板の中心部に配置
されたオゾン排出空間とを備え、 前記一対の電極基板を水平方向に設置して成ることを特
徴とするオゾナイザ。
7. A pair of circular or polygonal electrode substrates, a discharge electrode in which a high-voltage portion and a low-voltage portion are arranged at regular intervals on opposing surfaces of the pair of electrode substrates, and A cooling member disposed so as to be in contact with the pair of electrode substrates, and a spacing piece for regulating a distance between the dielectric members on the pair of opposed electrode substrates to a predetermined distance. And an ozone discharge space disposed at the center of the pair of electrode substrates, which penetrates the pair of electrode substrates and the cooling body and takes out generated ozone, and horizontally installs the pair of electrode substrates. An ozonizer characterized by being formed by:
【請求項8】 前記請求項1乃至請求項7のいずれか1
項に記載のオゾナイザ本体を、複数個積層して成ること
を特徴とするオゾナイザ。
8. The method according to claim 1, wherein
An ozonizer characterized by comprising a plurality of the ozonizer main bodies described in the above section laminated.
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