JP2002350730A - Image formation optical system - Google Patents

Image formation optical system

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JP2002350730A
JP2002350730A JP2001360795A JP2001360795A JP2002350730A JP 2002350730 A JP2002350730 A JP 2002350730A JP 2001360795 A JP2001360795 A JP 2001360795A JP 2001360795 A JP2001360795 A JP 2001360795A JP 2002350730 A JP2002350730 A JP 2002350730A
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Japan
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mirror
optical system
light
lens
aberration
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JP2001360795A
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Japanese (ja)
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Yukihisa Tamagawa
恭久 玉川
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an image formation optical system which has an excellent image formation performance even when a first mirror has a poor accuracy. SOLUTION: In the image formation optical system 20, which is provided with a large elliptic face mirror 23 (a first mirror) having an incident pupil 29, a hyperbolic face mirror 24 (a second mirror), a flat reflection mirror 25 which deflects light and does not contribute to an image formation, a condensing optical system 21 having a small elliptic mirror 26 (a third mirror), and an image detector 27 on which an image is formed with the condensing optical system 21, an exit pupil 30 is smaller than an incident pupil 29, and a correction optical element 22 arranged in the vicinity of an exit pupil 30 and the image detector 27 are provided, thus aberration is corrected with the exit pupil 30 which reflects the incident pupil 29 by means of a correction optical element 22, and the aberration is easily corrected at low cost with the small optical element.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば反射式望
遠鏡等の光学機器に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical apparatus such as a reflection type telescope.

【0002】[0002]

【従来の技術】図18は従来の結像光学系の構成を示す
模式図である。図18において、結像光学系1は光を集
める集光光学系6を備えている。この集光光学系6は、
物点の集合である結像対象物からの光が入射する第1鏡
である大楕円面鏡2と、光軸上で大楕円面鏡2で反射し
た光を反射し、一旦結像点10を形成する第2鏡である
双曲面鏡3と、この双曲面鏡3で反射した光の方向を変
えて、結像光学系1をコンパクトにするための平面反射
鏡4と、この平面反射鏡4で反射した光を反射し、再度
結像点11を形成する第3鏡である小楕円面鏡5とを有
している。また、小楕円面鏡5で反射された光の結像点
には像検出器7が配置されており、この結像点での像を
電気信号等に変換して信号処理される。なお、この像検
出器7は人間の目であってもよい。
2. Description of the Related Art FIG. 18 is a schematic diagram showing a configuration of a conventional imaging optical system. In FIG. 18, the imaging optical system 1 includes a condensing optical system 6 for collecting light. This condensing optical system 6
A large ellipsoidal mirror 2 which is a first mirror on which light from an object to be imaged, which is a set of object points, and a light reflected by the large ellipsoidal mirror 2 on an optical axis are reflected to form an imaging point 10 once. , A plane mirror 4 for changing the direction of light reflected by the plane mirror 3 to make the imaging optical system 1 compact, and a plane mirror A small ellipsoidal mirror 5, which is a third mirror that reflects the light reflected by 4 and forms the image point 11 again, is provided. Further, an image detector 7 is arranged at an image forming point of the light reflected by the small ellipsoidal mirror 5, and an image at this image forming point is converted into an electric signal or the like and subjected to signal processing. Note that the image detector 7 may be human eyes.

【0003】大楕円面鏡2は光がこの集光光学系6を通
過する領域を限定するための開口絞りを有している。こ
の開口絞りによって限定された光のうち、結像対象物の
ある任意の1つの物点からの光が限定されたものを光線
束という。また、この開口絞りの位置は同時に入射瞳8
の位置と一致している。ここで、入射瞳とは物体側から
見たときの開口絞り及び物体側の間に介在する光学系の
一部によって作られる虚像をいう。このため大楕円面鏡
2の開口絞り及び物体側(図18においては、大楕円面
鏡2の左側)の間に開口絞りの虚像形成に関与する光学
系が介在してなく、大楕円面鏡2に開口絞りが存在して
いるので、集光光学系6の入射瞳8の位置は大楕円面鏡
2の開口絞りと一致するのである。
The large ellipsoidal mirror 2 has an aperture stop for limiting an area through which light passes through the focusing optical system 6. Of the light limited by the aperture stop, light whose light from any one object point of the imaging target is limited is referred to as a light beam. Further, the position of the aperture stop is set at the same time as the entrance pupil 8.
Position. Here, the entrance pupil refers to a virtual image formed by a part of the optical system interposed between the aperture stop and the object side when viewed from the object side. Therefore, there is no optical system involved in forming a virtual image of the aperture stop between the aperture stop of the large ellipsoidal mirror 2 and the object side (the left side of the large ellipsoidal mirror 2 in FIG. 18). 2 has an aperture stop, the position of the entrance pupil 8 of the condensing optical system 6 coincides with the aperture stop of the large ellipsoidal mirror 2.

【0004】平面反射鏡4は単に光線束の方向を変える
ためだけに配置されているので、この像検出器7への結
像には寄与しない。
[0004] Since the plane reflecting mirror 4 is arranged merely for changing the direction of the light beam, it does not contribute to the image formation on the image detector 7.

【0005】双曲面鏡3は外面で大楕円面鏡2の開口絞
り即ち入射瞳8内で反射された光線束を反射し、焦点距
離を大きくして空間分解能を高くしている。図18では
双曲面鏡3及び平面反射鏡4の間に結像点10が形成さ
れている。また、双曲面鏡3及び小楕円面鏡5によって
像側に射出瞳9が形成され、その後ろで像検出器7上に
検出結像点11が形成されている。ここで、射出瞳とは
像側から見たときの開口絞り及び像側の間に介在する光
学系の一部(ここでは、双曲面鏡3及び小楕円面鏡5)
によって作られる開口絞りの虚像をいう。従って、この
集光光学系6の開口絞りの位置は入射瞳8と一致してい
るので、結果としてこの集光光学系6の射出瞳9は像側
から見たときの双曲面鏡3及び小楕円面鏡5による入射
瞳8の虚像ということになる。
[0005] The hyperboloid mirror 3 reflects the light beam reflected within the aperture stop of the large ellipsoidal mirror 2, that is, the entrance pupil 8 on the outer surface, and increases the focal length to increase the spatial resolution. In FIG. 18, an image point 10 is formed between the hyperboloid mirror 3 and the plane reflecting mirror 4. An exit pupil 9 is formed on the image side by the hyperboloid mirror 3 and the small ellipsoidal mirror 5, and a detection image point 11 is formed on the image detector 7 behind the exit pupil 9. Here, the exit pupil is a part of the optical system interposed between the aperture stop and the image side when viewed from the image side (here, the hyperboloid mirror 3 and the small elliptical mirror 5).
A virtual image of the aperture stop created by Accordingly, since the position of the aperture stop of the condenser optical system 6 coincides with the entrance pupil 8, the exit pupil 9 of the condenser optical system 6 is consequently the hyperboloid mirror 3 and the small pupil 3 when viewed from the image side. This is a virtual image of the entrance pupil 8 by the elliptical mirror 5.

【0006】このような結像光学系1に結像対象物のあ
る1つの物点からの光が入射すると、光は大楕円面鏡2
の入射瞳8と一致する開口絞り内で限定された光線束と
して反射され、この光線束は双曲面鏡3によって反射さ
れた後、平面反射鏡4に達するまでに結像する。その
後、光線束は平面反射鏡4によって反射されて方向が変
化し、小楕円面鏡5で反射される。この動作はすべての
結像対象物の物点からの光についても同様となる。小楕
円面鏡5で反射された光線束は像検出器7上の検出結像
点11に結像し、小楕円面鏡5及び検出結像点11の間
にはすべての光線束が共通して通過する射出瞳9が形成
されている。
When light from one object point of an object to be imaged enters such an image forming optical system 1, the light is converted into a large elliptical mirror 2.
Is reflected as a limited ray bundle within the aperture stop which coincides with the entrance pupil 8 of the first lens, and this ray bundle is reflected by the hyperboloid mirror 3 and forms an image before reaching the plane reflecting mirror 4. Thereafter, the light beam is reflected by the plane reflecting mirror 4, changes its direction, and is reflected by the small elliptical mirror 5. This operation is the same for light from object points of all the imaging targets. The light beam reflected by the small ellipsoidal mirror 5 forms an image at the detection image forming point 11 on the image detector 7, and all the light beams are common between the small ellipsoidal mirror 5 and the detection image forming point 11. Exit pupil 9 is formed.

【0007】この結像光学系1では第1鏡である大楕円
面鏡2、第2鏡である双曲面鏡3及び第3鏡である小楕
円面鏡5の組合せにより、例えば直径1.5mの大楕円
面鏡2を用いて、反射光学系にしては広い視野角1.5
°の範囲で良好な結像性能を得ている。
In this imaging optical system 1, a combination of a large elliptical mirror 2 as a first mirror, a hyperboloid mirror 3 as a second mirror, and a small elliptical mirror 5 as a third mirror, for example, has a diameter of 1.5 m. A large viewing angle of 1.5 for a reflective optical system
Good imaging performance is obtained in the range of °.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】このような従来の結像
光学系1では、以下のような問題点があった。即ち、結
像に関係する大楕円面鏡2、双曲面鏡3及び小楕円面鏡
5が組合わさることにより、結像光学系1は全体として
収差が補正され、高い結像性能を得ているため、これら
3つの反射鏡2、3及び5を設計どおりに精密に作製し
なければ設計より大きな収差を伴う。特に、大楕円面鏡
2は多くの光を集めるために大きく作製されるので、そ
の作製には長期間を要し、またコストも高いという問題
点があった。
However, such a conventional imaging optical system 1 has the following problems. That is, by combining the large ellipsoidal mirror 2, the hyperboloidal mirror 3, and the small ellipsoidal mirror 5 related to imaging, the aberration of the imaging optical system 1 is corrected as a whole, and high imaging performance is obtained. For this reason, unless these three reflecting mirrors 2, 3 and 5 are manufactured precisely as designed, aberrations are greater than designed. In particular, since the large ellipsoidal mirror 2 is manufactured to be large in order to collect a large amount of light, there has been a problem that it takes a long time to manufacture the mirror and the cost is high.

【0009】また、収差を補正するためには反射鏡2、
3及び5自体を作製し直さなければならず、収差の補正
が困難でコストもかかるという問題点もあった。
In order to correct the aberration, the reflecting mirror 2,
It is necessary to remanufacture 3 and 5 themselves, and there is also a problem that it is difficult to correct the aberration and the cost is high.

【0010】そこでこの発明は、上記のような問題点を
解決することを課題とするもので、結像性能が高く、し
かも低コストで作製できるとともに収差の補正が容易な
結像光学系を得ることを目的とする。
Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and to provide an imaging optical system which has high imaging performance, can be manufactured at low cost, and can easily correct aberrations. The purpose is to:

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】この発明に係る結像光学
系は、像側に入射瞳より小さい射出瞳を有する集光光学
系を有する結像光学系において、前記射出瞳近傍に配置
され、前記集光光学系の収差を補正する補正光学素子を
備えたものである。
An imaging optical system according to the present invention is arranged near the exit pupil in an imaging optical system having a condensing optical system having an exit pupil smaller than the entrance pupil on the image side, A correction optical element for correcting the aberration of the condensing optical system.

【0012】また、前記集光光学系はすべて反射鏡であ
る。
Further, all of the condensing optical systems are reflecting mirrors.

【0013】また、前記集光光学系は少なくとも前記入
射瞳を有する第1鏡を備えたものである。
[0013] The condensing optical system includes a first mirror having at least the entrance pupil.

【0014】また、前記第1鏡は楕円面鏡である。The first mirror is an elliptical mirror.

【0015】また、前記第1鏡は球面鏡である。Further, the first mirror is a spherical mirror.

【0016】また、前記第1鏡は放物面鏡である。Further, the first mirror is a parabolic mirror.

【0017】また、前記第1鏡は複数の分割鏡から構成
されている。
The first mirror comprises a plurality of split mirrors.

【0018】また、前記反射鏡は、反射面形状が変化す
るようになっている。
The reflecting mirror has a reflecting surface whose shape is changed.

【0019】また、前記反射鏡には前記反射鏡を回動さ
せて光の入射角度を変化させる角度制御手段が設けられ
ている。
Further, the reflecting mirror is provided with an angle control means for changing the incident angle of light by rotating the reflecting mirror.

【0020】また、前記補正光学素子は、周囲と異なる
屈折率を有する光透過体を有し、前記光透過体により前
記収差を補正するようになっている。
The correction optical element has a light transmitting body having a refractive index different from that of the surroundings, and the aberration is corrected by the light transmitting body.

【0021】また、前記光透過体は、異なる屈折率を有
した複数の光透過部が互いに密着して積層されている。
In the light transmitting body, a plurality of light transmitting portions having different refractive indices are laminated in close contact with each other.

【0022】また、前記光透過体は、間隔を置いて複数
配列されている。
The plurality of light transmitting bodies are arranged at intervals.

【0023】また、前記補正光学素子は、反射面を有し
た光反射体を有し、前記光反射体により前記収差を補正
するようになっている。
Further, the correction optical element has a light reflector having a reflecting surface, and the aberration is corrected by the light reflector.

【0024】また、前記光反射体は、前記反射面が対向
する前記光透過体に密着している。
Further, the light reflector is in close contact with the light transmitting body whose reflecting surface faces.

【0025】また、前記補正光学素子は、前記反射面形
状が変化するようになっている。
In the correction optical element, the shape of the reflection surface changes.

【0026】また、前記集光光学系は収差を測定する収
差測定手段を有しており、前記収差測定手段が測定した
収差に基づいて前記反射面形状が変化するようになって
いる。
Further, the condensing optical system has aberration measuring means for measuring aberration, and the shape of the reflecting surface changes based on the aberration measured by the aberration measuring means.

【0027】また、前記補正光学素子には前記補正光学
素子を回動させて光の入射角度を変化させる角度制御手
段が設けられている。
The correction optical element is provided with an angle control means for rotating the correction optical element to change the incident angle of light.

【0028】[0028]

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて説明するが、同一符号が付された部材、部位につい
ては、同一又は相当する部材、部位である。 実施の形態1.図1はこの発明の実施の形態1に係る結
像光学系の構成を示す模式図である。図1において、結
像光学系20は結像対象物からの光を集める集光光学系
21と、反射鏡を有してこの集光光学系21の収差を補
正する補正光学素子22とを備えている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below. Members and portions denoted by the same reference numerals are the same or corresponding members and portions. Embodiment 1 FIG. FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of an imaging optical system according to Embodiment 1 of the present invention. In FIG. 1, an imaging optical system 20 includes a condensing optical system 21 for collecting light from an object to be imaged, and a correction optical element 22 having a reflecting mirror and correcting the aberration of the condensing optical system 21. ing.

【0029】集光光学系21は結像対象物からの光が入
射する第1鏡である大楕円面鏡23と、光軸上で大楕円
面鏡23で反射した光を反射し、一旦結像点を形成する
第2鏡である双曲面鏡24と、この双曲面鏡24で反射
した光の方向を変えて、集光光学系21をコンパクトに
するための平面反射鏡25と、この平面反射鏡25で反
射した光を反射して再度結像点を形成するための第3鏡
である小楕円面鏡26とを備えている。
The condensing optical system 21 reflects the light reflected by the large ellipsoidal mirror 23 on the optical axis, which is the first mirror on which the light from the object to be imaged enters, and forms the light once. A hyperboloid mirror 24 serving as a second mirror for forming an image point; a plane reflecting mirror 25 for changing the direction of light reflected by the hyperboloid mirror 24 to make the focusing optical system 21 compact; A small elliptical mirror 26, which is a third mirror for reflecting light reflected by the reflecting mirror 25 and forming an image point again, is provided.

【0030】大楕円面鏡23は開口絞り28を有してお
り、この開口絞りは同時に入射瞳29の位置と一致して
いる。大楕円面鏡23の開口絞り28によって限定され
た結像対象物のある1つの物点からの光は光線束と呼ば
れ、この光線束は結像に関係のある光線の集まりであ
る。従って、物点の集まりである結像対象物はそれぞれ
の物点からの光線束によって像側に結像されるのであ
る。
The large ellipsoidal mirror 23 has an aperture stop 28, which coincides with the position of the entrance pupil 29 at the same time. Light from one object point of the object to be imaged defined by the aperture stop 28 of the large ellipsoidal mirror 23 is called a light beam, and this light beam is a group of light beams related to image formation. Therefore, an image-forming object, which is a group of object points, is formed on the image side by a light beam from each object point.

【0031】また、像側から見たときの開口絞り28の
虚像である射出瞳30は入射瞳29より小さく、この射
出瞳30は双曲面鏡24及び小楕円面鏡26で反射され
たすべての光線束が共通の位置を通過する小楕円面鏡2
6の後ろに形成されている。従って、射出瞳30は双曲
面鏡24及び小楕円面鏡26によって形成された像側か
ら見たときの入射瞳29の虚像であるといえる。
The exit pupil 30, which is a virtual image of the aperture stop 28 when viewed from the image side, is smaller than the entrance pupil 29, and this exit pupil 30 is all reflected by the hyperboloid mirror 24 and the small ellipsoid mirror 26. A small ellipsoidal mirror 2 in which the light beam passes through a common position
6 is formed behind. Therefore, it can be said that the exit pupil 30 is a virtual image of the entrance pupil 29 when viewed from the image side formed by the hyperboloid mirror 24 and the small ellipsoid mirror 26.

【0032】補正光学素子22は反射面32を有する光
反射体である。この反射面32が射出瞳30近傍に配置
され、小楕円面鏡26によって反射したすべての光線束
を反射し、この反射された光線束は検出結像点31でそ
れぞれ結像される。この補正光学素子22は収差を補正
するために反射面32に多くの凹凸が形成されている。
即ち、開口絞り28を大楕円面鏡23上に存在させたこ
とによって入射瞳29が開口絞り28に一致するように
なり、また開口絞り28の像側の虚像が射出瞳30であ
ることから、射出瞳30の光線束は入射瞳29の光線束
を反映していることになり、大楕円面鏡23による収差
の原因を補正光学素子22により射出瞳30で補正する
ことができる。例えば、大楕円面鏡23において所定の
形状より窪んだ部分があったとすると、その部分で光線
束は大楕円面鏡23の反射面に到達するまでの距離が長
くなり所定の反射より遅れて反射することになる。この
遅れた分を取り戻すために射出瞳30における大楕円面
鏡23の窪んだ部分に対応する部分に盛り上がった反射
面32を設けることによってこの遅れ分を取り戻し大楕
円面鏡23で生じた固有の収差を補正するのである。
The correction optical element 22 is a light reflector having a reflection surface 32. The reflecting surface 32 is arranged near the exit pupil 30 and reflects all the light beams reflected by the small ellipsoidal mirror 26. The reflected light beams are imaged at the detection imaging points 31, respectively. The correction optical element 22 has many irregularities on the reflection surface 32 in order to correct the aberration.
In other words, since the aperture stop 28 is located on the large ellipsoidal mirror 23, the entrance pupil 29 coincides with the aperture stop 28, and the virtual image on the image side of the aperture stop 28 is the exit pupil 30. The ray bundle of the exit pupil 30 reflects the ray bundle of the entrance pupil 29, and the cause of aberration caused by the large ellipsoidal mirror 23 can be corrected by the correction optical element 22 at the exit pupil 30. For example, if there is a portion depressed from a predetermined shape in the large ellipsoidal mirror 23, the ray bundle at that portion has a longer distance to reach the reflection surface of the large ellipsoidal mirror 23 and is reflected later than the predetermined reflection. Will do. By providing a raised reflecting surface 32 at a portion of the exit pupil 30 corresponding to the recessed portion of the large ellipsoidal mirror 23 in order to recover this delay, the inherent delay generated by the large ellipsoidal mirror 23 is recovered by recovering the delay. It corrects the aberration.

【0033】従って、大楕円面鏡23に入射した結像対
象物の物点からの光は開口絞り28によって限定されて
光線束として反射し、この光線束は双曲面鏡24、平面
反射鏡25及び小楕円面鏡26で反射され、射出瞳30
の位置で補正光学素子22により収差を補正されて反射
される。その後、像検出器27に収差が補正された光線
束が結像される。
Accordingly, light from the object point of the object to be imaged which is incident on the large ellipsoidal mirror 23 is reflected by the aperture stop 28 and reflected as a light beam, and this light beam is reflected by the hyperboloid mirror 24 and the plane reflecting mirror 25. And an exit pupil 30 reflected by the small ellipsoidal mirror 26
The aberration is corrected by the correction optical element 22 at the position of and the light is reflected. After that, the light beam whose aberration has been corrected is formed on the image detector 27.

【0034】このように大楕円面鏡23の形状に多少の
不具合があっても補正光学素子22を第1鏡の入射瞳2
9を反映した射出瞳30に配置して入射瞳29の不具合
部分を射出瞳30で補正することができ、しかも射出瞳
30は入射瞳29より小さいので、補正光学素子22は
小さく、容易にしかも正確に作製することができる。
As described above, even if the shape of the large ellipsoidal mirror 23 has some inconvenience, the correction optical element 22 is connected to the entrance pupil 2 of the first mirror.
9 can be corrected by the exit pupil 30 by arranging it on the exit pupil 30 reflecting the number 9, and since the exit pupil 30 is smaller than the entrance pupil 29, the correction optical element 22 is small, easily and It can be manufactured accurately.

【0035】また、射出瞳30の補正光学素子22で収
差の補正をすることができるので、大楕円面鏡23はそ
れほど精度を高くしなくても十分良好な結像性能を達成
することができ、大楕円面鏡23も容易にしかも低コス
トで作製することができる。また、例えば経年変化等に
より収差による不具合が生じたときでも小さく安価な補
正光学素子22を簡単に取り換えるだけでよく、収差の
不具合に対しても容易に低コストで対応することができ
る。
Further, since the aberration can be corrected by the correction optical element 22 of the exit pupil 30, the large ellipsoidal mirror 23 can achieve a sufficiently good imaging performance even if the accuracy is not so high. Also, the large elliptical mirror 23 can be manufactured easily and at low cost. Further, even when a defect due to aberration occurs due to, for example, aging, it is only necessary to simply replace the small and inexpensive correction optical element 22, and it is possible to easily cope with the defect of aberration at low cost.

【0036】なお、大楕円面鏡23は球面鏡であって
も、反射面の形状が楕円面鏡からどれだけズレているの
かが分かり、射出瞳30の補正光学素子22の形状を球
面鏡に対応するように作製すればよいので構わない。
Even if the large ellipsoidal mirror 23 is a spherical mirror, it is possible to know how much the shape of the reflecting surface deviates from the ellipsoidal mirror, and the shape of the correction optical element 22 of the exit pupil 30 corresponds to the spherical mirror. It does not matter if it is manufactured as follows.

【0037】また、大楕円面鏡23は同様に放物面鏡で
あっても構わない。
Also, the large elliptical mirror 23 may be a parabolic mirror.

【0038】また、大楕円面鏡23は同様に開閉自在の
展開型であっても構わない。
Similarly, the large elliptical mirror 23 may be of a deployable type which can be freely opened and closed.

【0039】実施の形態2.図2はこの発明の実施の形
態2に係る結像光学系の概略構成を示す模式図である。
図2において、サーボモータ等のような補正光学素子2
2の角度を変化させる角度制御手段40が補正光学素子
22に設けられている。また、例えばジャイロスコープ
等の角度検出手段41が結像光学系20の結像に支障を
来さない箇所に設けられている。他の構成は実施の形態
1と同様である。
Embodiment 2 FIG. 2 is a schematic diagram showing a schematic configuration of an imaging optical system according to Embodiment 2 of the present invention.
In FIG. 2, a correction optical element 2 such as a servomotor is shown.
An angle control means 40 for changing the angle 2 is provided in the correction optical element 22. In addition, for example, an angle detecting means 41 such as a gyroscope is provided at a location where the imaging of the imaging optical system 20 is not hindered. Other configurations are the same as in the first embodiment.

【0040】角度検出手段41は常に結像光学系20の
結像対象物の視線方向が一定に保たれているかを監視し
ており、結像光学系20が傾いて視線方向から外れると
角度検出手段41は角度制御手段40に信号を発信し、
この信号を受信した角度制御手段40は結像光学系20
が正規の視線方向に戻るように補正光学素子22の角度
を変化させる。
The angle detecting means 41 constantly monitors whether the direction of the line of sight of the object to be imaged by the image forming optical system 20 is kept constant, and detects the angle when the image forming optical system 20 is inclined and deviates from the line of sight. The means 41 sends a signal to the angle control means 40,
Upon receiving this signal, the angle control means 40
Is changed to return to the normal line-of-sight direction.

【0041】このような構成となっているので、結像光
学系20の振動又は動揺等によって結像対象物の視線方
向が変化したときにも自動的に補正光学素子22の角度
を修正して、像検出器27に一定の結像対象物を結像さ
せることができる。
With such a configuration, the angle of the correction optical element 22 is automatically corrected even when the direction of the line of sight of the object to be imaged changes due to vibration or shaking of the image forming optical system 20. , An image-forming object can be formed on the image detector 27.

【0042】なお、大楕円面鏡23、双曲面鏡24、平
面反射鏡25及び小楕円面鏡26に角度制御手段40が
設けられていてもよい。このような構成であっても、角
度検出手段41の信号によりそれぞれの角度制御手段4
0が動作して大楕円面鏡23、双曲面鏡24、平面反射
鏡25及び小楕円面鏡26の角度を変化させて、結像光
学系20が正規の視線方向に戻るようにすることがで
き、正規の視線方向の結像対象物を像検出器27に結像
させることができる。
The large ellipsoidal mirror 23, the hyperboloidal mirror 24, the plane reflecting mirror 25 and the small ellipsoidal mirror 26 may be provided with an angle control means 40. Even with such a configuration, each angle control unit 4 is controlled by a signal from the angle detection unit 41.
0 operates to change the angles of the large ellipsoid mirror 23, the hyperboloid mirror 24, the plane reflection mirror 25, and the small ellipsoid mirror 26 so that the imaging optical system 20 returns to the normal line-of-sight direction. Thus, an image forming object in a normal line of sight can be formed on the image detector 27.

【0043】実施の形態3.図3はこの発明の実施の形
態3に係る結像光学系の概略構成を示す模式図である。
図3において、補正光学素子50は反射面の形状が変化
する光学素子である。図4はこの補正光学素子50の一
部分の断面斜視図であるが、図4に示すように、補正光
学素子50は反射面51を有した可撓性のシリコン膜5
2と、このシリコン膜52の裏面に設けられ、静電気に
より可動する静電気作動器53と、シリコン膜52及び
静電気作動器53を接続する接着棒54とを有してい
る。
Embodiment 3 FIG. 3 is a schematic diagram showing a schematic configuration of an imaging optical system according to Embodiment 3 of the present invention.
In FIG. 3, the correction optical element 50 is an optical element whose shape of the reflection surface changes. FIG. 4 is a sectional perspective view of a part of the correction optical element 50. As shown in FIG. 4, the correction optical element 50 is a flexible silicon film 5 having a reflection surface 51.
2, an electrostatic actuator 53 provided on the back surface of the silicon film 52 and movable by static electricity, and an adhesive rod 54 connecting the silicon film 52 and the electrostatic actuator 53.

【0044】静電気作動器53は可動電極55及び固定
電極56を有しており、静電気の発生を両電極間で調整
することにより可動電極55を移動させ、可動電極55
に接続されたシリコン膜52の表面(反射面51)の凹
凸を調整することができる。このように反射面の凹凸を
自由に変更することができる反射鏡をデフォーマブルミ
ラーと呼んでいる。
The electrostatic actuator 53 has a movable electrode 55 and a fixed electrode 56. The movable electrode 55 is moved by adjusting the generation of static electricity between the two electrodes.
Of the surface (reflection surface 51) of the silicon film 52 connected to the substrate can be adjusted. Such a reflecting mirror that can freely change the unevenness of the reflecting surface is called a deformable mirror.

【0045】結像光学系20はまた、図3に示すよう
に、例えばシャック・ハルトマン・センサ等によって収
差を測定し送信する収差測定手段57と、この収差測定
手段57によって測定された収差の測定結果を受信し収
差を補正するために最適な補正光学素子50の反射面形
状にするように静電気を用いて制御する形状制御手段5
8とを有している。
As shown in FIG. 3, the imaging optical system 20 also includes an aberration measuring means 57 for measuring and transmitting the aberration by, for example, a Shack-Hartmann sensor and the like, and a measurement of the aberration measured by the aberration measuring means 57. A shape control means 5 for controlling by using static electricity so as to receive the result and to make the reflection surface shape of the correction optical element 50 optimum for correcting the aberration.
8 is provided.

【0046】このような構成となっているので、シャッ
ク・ハルトマン・センサ等の収差測定手段57が収差を
測定し、この収差測定結果が形状制御手段58に送信さ
れる。形状制御手段58は収差の測定結果を基に収差を
補正するようにある特定の箇所の可動電極55及び固定
電極56間に静電気を発生させる。この静電気の発生に
よりその箇所のシリコン膜52が移動し補正光学素子5
0の反射面51の凹凸が形成される。この凹凸により補
正光学素子50の反射面51で反射した光線束は収差が
補正され、像検出器27に結像される。
With such a configuration, the aberration measuring means 57 such as a Shack-Hartmann sensor measures the aberration, and the result of the measurement is transmitted to the shape control means 58. The shape control means 58 generates static electricity between the movable electrode 55 and the fixed electrode 56 at a specific location so as to correct the aberration based on the measurement result of the aberration. Due to the generation of the static electricity, the silicon film 52 at that location moves, and the correction optical element 5
The unevenness of the 0 reflection surface 51 is formed. Due to the unevenness, the light beam reflected by the reflection surface 51 of the correction optical element 50 is corrected for aberration and formed on the image detector 27.

【0047】従って、結像光学系20の組立調整が容易
になり、精度も向上する。また、温度や気圧等の状態変
化、振動、伝搬路の歪み及び経年変化等による収差に対
しても、収差測定手段57によって収差を測定し形状制
御手段58により補正光学素子22の反射面形状を調整
することによって、安定した結像性能が得られる。
Accordingly, the assembly and adjustment of the imaging optical system 20 is facilitated, and the accuracy is improved. Also, for aberrations due to changes in state such as temperature and atmospheric pressure, vibration, distortion of the propagation path, aging, etc., the aberration is measured by the aberration measuring means 57, and the shape of the reflecting surface of the correction optical element 22 is determined by the shape control means 58. By adjusting, stable imaging performance can be obtained.

【0048】なお、大楕円面鏡23、双曲面鏡24及び
小楕円面鏡26がデフォーマブルミラーになっていても
よい。このような構成とすることにより、大楕円面鏡2
3、双曲面鏡24及び小楕円面鏡26のそれぞれの反射
面が自由に変形するので、これら反射鏡自体で結像光学
系20の収差の補正をすることができる。
The large ellipsoidal mirror 23, the hyperboloidal mirror 24 and the small ellipsoidal mirror 26 may be deformable mirrors. With such a configuration, the large elliptical mirror 2
3. Since the respective reflecting surfaces of the hyperboloid mirror 24 and the small elliptical mirror 26 are freely deformed, the aberration of the imaging optical system 20 can be corrected by the reflecting mirrors themselves.

【0049】実施の形態4.図5は、この発明の実施の
形態4に係る結像光学系の第1鏡の構成を示す正面図で
あり、図6は、図5のVI−VI線に沿った断面図であ
る。図5及び図6において、第1鏡である大楕円面鏡6
0は、複数(例えば4枚)の分割鏡61から構成されて
いる。各分割鏡61は大楕円面鏡60を形成するパーツ
になっており、その反射面の形状は設計上の大楕円面鏡
を分割したときの各分割部分の形状と同一となってい
る。大楕円面鏡60は、各分割鏡61の反射面が設計上
の大楕円面鏡の反射面に一致するように各部分ごとに配
置されて組み立てられている。各分割鏡61の間には、
隙間があってもよい。なお、他の構成は実施の形態1と
同様である。
Embodiment 4 FIG. 5 is a front view showing the configuration of the first mirror of the imaging optical system according to Embodiment 4 of the present invention, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI of FIG. 5 and 6, a large elliptical mirror 6 as a first mirror is shown.
0 is composed of a plurality of (for example, four) split mirrors 61. Each of the split mirrors 61 is a part forming the large elliptical mirror 60, and the shape of the reflection surface is the same as the shape of each divided portion when the designed large elliptical mirror is split. The large elliptical mirror 60 is arranged and assembled for each part such that the reflecting surface of each split mirror 61 matches the designed reflecting surface of the large elliptical mirror. Between each split mirror 61,
There may be gaps. Other configurations are the same as those in the first embodiment.

【0050】このような構成の結像光学系20は、分割
鏡61の一つ当たりの反射面が大楕円面鏡60全体の反
射面の一部を形成するにすぎない。従って、それぞれの
分割鏡61の反射面の大きさは大楕円面鏡全体の反射面
の大きさよりも小さくてよいので、分割鏡61は容易に
高精度で作製され、コストも低減する。また、各分割鏡
61を組み合わせて大楕円面鏡60が形成されているの
で、当然のことながら各分割鏡61の反射面が設計通り
の所定の位置に完全に一致させて配置された状態である
ことが望ましい。しかしながら、射出瞳30近傍に配置
された補正光学素子22が各分割鏡61の配置誤差によ
る収差を補正するようになっているので、補正光学素子
22が収差を補正できる範囲内での各分割鏡61の配置
誤差であれば、問題なく安定した結像性能が得られる。
なお、当然のことながら、大楕円面鏡60が放物面鏡、
球面鏡あるいは双曲面鏡であっても同様の効果を奏す
る。
In the imaging optical system 20 having such a configuration, each reflecting surface of the split mirror 61 only forms a part of the reflecting surface of the entire large elliptical mirror 60. Therefore, the size of the reflecting surface of each of the split mirrors 61 may be smaller than the size of the reflecting surface of the entire large elliptical mirror, so that the split mirror 61 can be easily manufactured with high accuracy, and the cost can be reduced. In addition, since the large elliptical mirror 60 is formed by combining the split mirrors 61, it is needless to say that the reflecting surface of each split mirror 61 is arranged so as to completely coincide with a predetermined position as designed. Desirably. However, since the correction optical element 22 disposed in the vicinity of the exit pupil 30 corrects the aberration due to the arrangement error of each of the split mirrors 61, each of the split mirrors within a range where the correction optical element 22 can correct the aberration. With an arrangement error of 61, stable imaging performance can be obtained without any problem.
It should be noted that the large elliptical mirror 60 is a parabolic mirror,
The same effect can be obtained with a spherical mirror or a hyperboloid mirror.

【0051】また、図7は、第1鏡を分割鏡63から構
成された球面鏡62とした構成を示す正面図であり、図
8は、図7のVIII-VIII線に沿った断面図であるが、図
7及び図8に示すように、第1鏡は、各分割鏡63を組
み合わせた球面鏡62であってもよい。各分割鏡63
は、その反射面が設計上での球面鏡の反射面の各部分に
一致するように組み合わせられている。各分割鏡63は
それぞれ中心軸線を有しており、この中心軸線を中心に
円弧を回転させたときの軌跡が各分割鏡63の反射面の
形状となっている。分割鏡63をその中心軸線に沿って
見たときの外形は円形をしている。各分割鏡63は、そ
の中心軸線が全て球面鏡62の焦点を通るように配置さ
れている。このように第1鏡を球面鏡62として各分割
鏡63も中心軸線周りに回転対称とすると、各分割鏡6
3の形状が同一で簡単なものとなってさらに分割鏡63
の作製が容易となり、球面鏡62を短時間、低コストで
作製することができる。
FIG. 7 is a front view showing a configuration in which the first mirror is a spherical mirror 62 composed of a split mirror 63, and FIG. 8 is a sectional view taken along the line VIII-VIII in FIG. However, as shown in FIGS. 7 and 8, the first mirror may be a spherical mirror 62 obtained by combining the split mirrors 63. Each split mirror 63
Are combined such that their reflective surfaces match the respective portions of the reflective surface of the spherical mirror in design. Each of the split mirrors 63 has a central axis, and the trajectory obtained by rotating the arc about the central axis is the shape of the reflection surface of each split mirror 63. The outer shape of the split mirror 63 when viewed along its central axis is circular. Each of the split mirrors 63 is arranged such that the center axis of the split mirror 63 passes through the focal point of the spherical mirror 62. As described above, when the first mirror is the spherical mirror 62 and each of the split mirrors 63 is also rotationally symmetric about the center axis, each of the split mirrors 6
3 has the same shape and is simple, and the split mirror 63 is further formed.
And the spherical mirror 62 can be manufactured in a short time and at low cost.

【0052】実施の形態5.図9は、この発明の実施の
形態5に係る結像光学系における補正光学素子の構成を
示す側面図である。図9において、射出瞳30近傍に配
置された補正光学素子は光透過体であるレンズ65とな
っている。このレンズ65は、周囲よりも屈折率が大き
く、その厚さを調整して収差を補正するようになってい
る。小楕円面鏡26を反射した光線束はこのレンズ65
を透過して像検出器27に結像されるので、像検出器2
7は小楕円面鏡26に対してレンズ65の背面側に配置
されている。他の構成は実施の形態1と同様である。
Embodiment 5 FIG. FIG. 9 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 5 of the present invention. In FIG. 9, the correction optical element arranged near the exit pupil 30 is a lens 65 that is a light transmitting body. The refractive index of the lens 65 is larger than that of the surroundings, and the thickness is adjusted to correct the aberration. The light beam reflected by the small ellipsoidal mirror 26 is
Is transmitted to the image detector 27 to form an image.
Reference numeral 7 is arranged on the back side of the lens 65 with respect to the small elliptical mirror 26. Other configurations are the same as in the first embodiment.

【0053】例えば、大楕円面鏡23において所定の形
状より窪んだ部分があったとすると、その部分で光線束
は大楕円面鏡23の反射面に到達するまでの距離が長く
なり正常な所定の反射より遅れて反射する。光線束は屈
折率の大きいレンズ65中では周囲よりも伝搬速度が小
さいので、この遅れた分を取り戻すために射出瞳30に
おける大楕円面鏡23の窪んだ部分に対応する部分のレ
ンズ65の厚さを小さくしている。即ち、伝搬速度の小
さいレンズ65の厚さを小さくして光がレンズ65中を
通過する時間を短くすることにより、レンズ65中の他
の部分を通過する光よりもこの厚さの小さい部分を通過
する光が相対的に進むようになっているのである。この
結果、レンズ65の厚さが小さい部分で遅れた分を取り
戻すことができ、収差を補正することができる。従っ
て、実施の形態1と同様の効果を奏する。
For example, if there is a portion depressed from a predetermined shape in the large ellipsoidal mirror 23, the ray bundle at that portion has a longer distance to reach the reflection surface of the large ellipsoidal mirror 23, and a normal predetermined light Reflects later than reflection. Since the light beam has a lower propagation velocity in the lens 65 having a large refractive index than the surroundings, the thickness of the lens 65 corresponding to the concave portion of the large ellipsoidal mirror 23 in the exit pupil 30 is recovered in order to recover the delay. The size has been reduced. That is, by reducing the thickness of the lens 65 having a small propagation speed and shortening the time when light passes through the lens 65, a portion having a smaller thickness than light passing through other portions of the lens 65 can be reduced. The light that passes is relatively advanced. As a result, it is possible to recover the delay in the portion where the thickness of the lens 65 is small, and it is possible to correct the aberration. Therefore, the same effect as that of the first embodiment can be obtained.

【0054】実施の形態6.図10は、この発明の実施
の形態6に係る結像光学系における補正光学素子の構成
を示す側面図である。図10において、射出瞳30近傍
に配置された補正光学素子70は、複数(例えば、2
枚)の光透過体であるレンズ71及び72を有してい
る。小楕円面鏡26で反射された光線束は補正光学素子
70を透過して像検出器27で結像されるので、像検出
器27は小楕円面鏡26に対してレンズ71及び72の
背面側に配置されている。また、レンズ71及び72
は、互いに間隔を置いて小楕円面鏡26から像検出器2
7に向かって配列されている。他の構成は実施の形態1
と同様である。
Embodiment 6 FIG. FIG. 10 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 6 of the present invention. In FIG. 10, a plurality of correction optical elements 70 (for example, 2
), Which have lenses 71 and 72 as light transmitting bodies. The light beam reflected by the small ellipsoidal mirror 26 passes through the correction optical element 70 and is imaged by the image detector 27. Located on the side. Also, the lenses 71 and 72
Are spaced apart from each other by the small ellipsoidal mirror 26 and the image detector 2
7 are arranged. Another configuration is the first embodiment.
Is the same as

【0055】このような構成の補正光学素子70は、レ
ンズ71又はレンズ72の一方あるいは両方の厚さを調
整して、実施の形態5と同様に大楕円面鏡23の反射面
の凹凸による収差を補正することができる。また、例え
ばカメラのレンズ配列のようにして、レンズ71及び7
2を組み合わせることにより、大楕円面鏡23、双曲面
鏡24、平面反射鏡25及び小楕円面鏡26の配置誤差
により発生し、あるいは集光光学系21全体で発生する
一枚のレンズでは除去できない球面収差等の諸収差を小
さくすることができる。さらに、レンズ71及びレンズ
72の配置間隔を変化させてズーム機能を持たせること
もできる。
The correcting optical element 70 having such a configuration adjusts the thickness of one or both of the lens 71 and the lens 72 so that the aberration due to the unevenness of the reflecting surface of the large ellipsoidal mirror 23 as in the fifth embodiment. Can be corrected. Also, for example, like the lens arrangement of a camera, the lenses 71 and 7
By combining the two, it is generated by an arrangement error of the large ellipsoidal mirror 23, the hyperboloidal mirror 24, the plane reflection mirror 25, and the small ellipsoidal mirror 26, or is eliminated by a single lens generated in the entire light collecting optical system 21. Various aberrations such as spherical aberration that cannot be achieved can be reduced. Further, the distance between the lenses 71 and 72 can be changed to provide a zoom function.

【0056】従って、補正光学素子70はレンズが2枚
だけでなく、3枚以上配列させて組み合わせたものであ
れば、大楕円面鏡23の反射面の凹凸による収差だけで
なくさらに例えば球面収差等の諸収差を補正することが
できる。
Therefore, if the correction optical element 70 is not only composed of two lenses but also composed of three or more lenses arranged and combined, not only the aberration due to the unevenness of the reflection surface of the large elliptical mirror 23 but also the spherical aberration, for example, And other aberrations can be corrected.

【0057】実施の形態7.図11は、この発明の実施
の形態7に係る結像光学系における補正光学素子の構成
を示す側面図である。図11において、射出瞳30近傍
に配置された補正光学素子75は、光透過体であるレン
ズ結合体76を有している。レンズ結合体76は、光透
過部であるレンズ77及び78が互いに密着して貼り付
けられて構成されている。小楕円面鏡26で反射された
光線束は補正光学素子75を透過して像検出器27で結
像されるので、像検出器27は小楕円面鏡26に対して
レンズ77及び78の背面側に配置されている。また、
レンズ78は、レンズ77の像検出器27側に貼り付け
られている。さらに、レンズ77とレンズ78とは屈折
率が異なっており、レンズ77は凸レンズ、レンズ78
は凹レンズとなっている。他の構成は実施の形態5と同
様である。
Embodiment 7 FIG. FIG. 11 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 7 of the present invention. In FIG. 11, the correction optical element 75 arranged near the exit pupil 30 has a lens assembly 76 that is a light transmitting body. The lens assembly 76 is configured by adhering lenses 77 and 78, which are light transmitting portions, in close contact with each other. Since the light beam reflected by the small ellipsoidal mirror 26 passes through the correction optical element 75 and is imaged by the image detector 27, the image detector 27 is located on the back of the lenses 77 and 78 with respect to the small ellipsoidal mirror 26. Located on the side. Also,
The lens 78 is attached to the lens 77 on the image detector 27 side. Further, the refractive index of the lens 77 is different from that of the lens 78, and the lens 77 is a convex lens and a lens 78.
Is a concave lens. Other configurations are the same as those of the fifth embodiment.

【0058】ここで、レンズは光の波長によって異なる
屈折率を有する。従って、複数の波長が重なっている光
はレンズに入射すると波長によって異なった向きに屈折
し、例えば青(F線)、黄(d線)、赤(C線)という
ように分かれる。このような現象を分散という。レンズ
の中には、波長によって屈折率が大きく異なるもの即ち
分散特性が大きいものから、それほど大きくないもの即
ち分散特性が小さいものまで種々のものがある。分散特
性の大きいレンズは、光の波長(色)によって屈折する
方向が大きく異なるため、それぞれの波長の光が異なる
点に結像し色収差が顕著となる。
Here, the lens has a different refractive index depending on the wavelength of light. Therefore, light having a plurality of overlapping wavelengths is refracted in different directions depending on the wavelength when it enters the lens, and is separated into, for example, blue (F line), yellow (d line), and red (C line). Such a phenomenon is called dispersion. Among lenses, there are various lenses ranging from a lens having a large difference in refractive index depending on the wavelength, that is, a large dispersion characteristic, to a lens having a small refractive index, ie, having a small dispersion characteristic. Since the direction of refraction of a lens having a large dispersion characteristic differs greatly depending on the wavelength (color) of light, light of each wavelength forms an image at a different point, and chromatic aberration becomes remarkable.

【0059】レンズ77は、例えばクラウンガラスのよ
うな分散特性の小さいレンズであり、レンズ78は、例
えばフリントガラスのような分散特性の大きいレンズで
ある。また、レンズ77の屈折力(光を曲げる能力)は
レンズ78の屈折力より大きくなっている。従って、レ
ンズ結合体76の屈折力としてはレンズ77の凸レンズ
の作用を持つようになっている。また、レンズ77が凸
レンズでありレンズ78が凹レンズであるので、レンズ
78は、レンズ77で屈折して分散した光をこのレンズ
78でその分散を戻す方向に屈折するようになってい
る。このとき、レンズ78はレンズ77より屈折力が小
さいが、分散特性が大きいので波長の異なる光を同一の
点に結像することができる。
The lens 77 is a lens having a small dispersion characteristic, such as a crown glass, and the lens 78 is a lens having a large dispersion characteristic, such as a flint glass. The refractive power (the ability to bend light) of the lens 77 is larger than the refractive power of the lens 78. Therefore, the refractive power of the lens assembly 76 has the function of the convex lens of the lens 77. Further, since the lens 77 is a convex lens and the lens 78 is a concave lens, the lens 78 refracts the light refracted and dispersed by the lens 77 in a direction to return the dispersion by the lens 78. At this time, the lens 78 has a smaller refracting power than the lens 77 but has a large dispersion characteristic, so that light having different wavelengths can be imaged at the same point.

【0060】このような補正光学素子75を構成したの
で、レンズ77及びレンズ78の厚さを大楕円面鏡23
の反射面の凹凸に対応させて調整することにより実施の
形態5と同様の効果を奏する。また、レンズ77の屈折
力がレンズ78の屈折力より大きく、レンズ77の分散
特性がレンズ78の分散特性より小さくなっており、レ
ンズ77が凸レンズでレンズ78が凹レンズであること
から、レンズ結合体76の屈折力としてはレンズ77の
屈折力の作用を持ち、レンズ78により2つの異なる波
長の光を同一点に結像できて色収差を小さくすることが
できる。さらに、レンズ77とレンズ78とを密着して
いるので一つのものとして容易に取り扱うことができ、
またレンズ77とレンズ78の相対関係は一定であるこ
とから分離したレンズを配置するよりも配置誤差が小さ
くなる。
Since such a correction optical element 75 is constructed, the thickness of the lens 77 and the lens 78 is reduced by the large elliptical mirror 23.
The same effect as in the fifth embodiment can be obtained by adjusting the reflection surface according to the unevenness of the reflection surface. Further, since the refractive power of the lens 77 is larger than the refractive power of the lens 78 and the dispersion characteristic of the lens 77 is smaller than the dispersion characteristic of the lens 78, and the lens 77 is a convex lens and the lens 78 is a concave lens, The refractive power of the lens 76 has the function of the refractive power of the lens 77, and the lens 78 can form light of two different wavelengths at the same point, thereby reducing chromatic aberration. Further, since the lens 77 and the lens 78 are in close contact with each other, they can be easily handled as one.
In addition, since the relative relationship between the lens 77 and the lens 78 is constant, the arrangement error is smaller than when a separate lens is arranged.

【0061】なお、レンズ77の屈折力がレンズ78の
屈折力より小さくても、小楕円面鏡26からの光線束が
像検出器27に結像できれば構わない。この場合は、色
収差を補正するためにレンズ77の分散特性がレンズ7
8の分散特性よりも大きくなる。
Note that, even if the refractive power of the lens 77 is smaller than the refractive power of the lens 78, it is sufficient if the light beam from the small ellipsoidal mirror 26 can form an image on the image detector 27. In this case, in order to correct the chromatic aberration, the dispersion characteristic of the lens 77 is changed to the lens 7.
8 is larger than the dispersion characteristic.

【0062】また、レンズ77及びレンズ78の表面形
状がどのような形状でも、レンズ77で屈折された光の
向きをレンズ78で戻す方向に屈折されるようにすれば
色収差を補正できるので構わない。
In addition, irrespective of the surface shapes of the lens 77 and the lens 78, chromatic aberration can be corrected if the direction of the light refracted by the lens 77 is refracted in the direction of returning by the lens 78. .

【0063】また、レンズ結合体76は、2枚のレンズ
だけでなく、3枚以上のレンズを密着させて貼り合わせ
てもよい。このようにすることで、色収差を小さくでき
るとともに、レンズの形状及び組合せを調整して他の諸
収差も補正することができる。
In the lens assembly 76, not only two lenses but also three or more lenses may be adhered to each other. By doing so, chromatic aberration can be reduced, and other aberrations can be corrected by adjusting the shape and combination of the lenses.

【0064】実施の形態8.図12は、この発明の実施
の形態8に係る結像光学系における補正光学素子の構成
を示す側面図である。図12において、射出瞳30近傍
に配置された補正光学素子80は、実施の形態7のレン
ズ結合体76を互いに間隔を置いて複数(例えば、2
つ)配列されて構成されている。各レンズ結合体76
は、同一形状である必要はない。また、各レンズ結合体
76は小楕円面鏡26を反射した光線束が進む方向に配
列されている。さらに、像検出器27は小楕円面鏡26
を反射した光線束が補正光学素子80を透過して結像さ
れる位置に配置されるので、小楕円面鏡26に対して補
正光学素子80の背面側に配置されている。他の構成は
実施の形態5と同一である
Embodiment 8 FIG. FIG. 12 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 8 of the present invention. In FIG. 12, the correction optical element 80 arranged near the exit pupil 30 includes a plurality (for example, 2
One) is arranged. Each lens assembly 76
Need not have the same shape. Each lens combination 76 is arranged in the direction in which the light beam reflected by the small ellipsoidal mirror 26 travels. Further, the image detector 27 is a small ellipsoidal mirror 26.
Is arranged at a position where the light beam reflected by the light passes through the correction optical element 80 and forms an image. Therefore, the light flux is disposed on the back side of the correction optical element 80 with respect to the small ellipsoidal mirror 26. Other configurations are the same as those of the fifth embodiment.

【0065】このように補正光学素子80が構成されて
いるので、各レンズ結合体76により色収差を小さくで
きるとともに、各レンズ結合体76が間隔を置いて複数
配列されることにより、カメラのレンズ配列のごとく多
くの諸収差を補正でき、さらに各レンズ結合体76間距
離を変化させてズーム機能を持たせることもできる。
Since the correcting optical element 80 is configured as described above, the chromatic aberration can be reduced by each lens combination 76, and a plurality of lens combinations 76 are arranged at an interval, so that the lens arrangement of the camera can be reduced. As described above, many aberrations can be corrected, and a zoom function can be provided by changing the distance between the lens combined bodies 76.

【0066】なお、レンズ結合体76は、2枚のレンズ
だけでなく、3枚以上のレンズを密着させて貼り合わせ
てもよいし、また補正光学素子80は、レンズ結合体7
6を2つだけでなく、3つ以上間隔を置いて配列しても
よい。このようにすることで、さらに他の諸収差を小さ
く補正することができる。
It should be noted that the lens assembly 76 may be formed by bonding not only two lenses but also three or more lenses in close contact with each other.
6 may be arranged at intervals of three or more, instead of two. By doing so, other various aberrations can be further reduced.

【0067】実施の形態9.図13は、この発明の実施
の形態9に係る結像光学系における補正光学素子の構成
を示す側面図である。図13において、補正光学素子8
5は、反射面を有する光反射体86と、この反射面に密
着して貼り付けられた光透過体であるレンズ87とを有
している。この補正光学素子85は、光反射体86の反
射面がほぼ小楕円面鏡26側を向いており、小楕円面鏡
26で反射されたすべての光線束がレンズ87を通るよ
うになっている。光反射体86の反射面及びレンズ87
の各部分の厚さは種々の収差を小さく補正するように調
整されている。他の構成は実施の形態1と同様である。
Embodiment 9 FIG. 13 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 9 of the present invention. In FIG. 13, the correction optical element 8
Reference numeral 5 includes a light reflector 86 having a reflection surface, and a lens 87 which is a light transmission member adhered to and adhered to the reflection surface. In the correction optical element 85, the reflection surface of the light reflector 86 is substantially directed to the small ellipsoidal mirror 26, and all the light beams reflected by the small ellipsoidal mirror 26 pass through the lens 87. . Reflection surface of light reflector 86 and lens 87
Are adjusted so that various aberrations are corrected small. Other configurations are the same as in the first embodiment.

【0068】小楕円面鏡26で反射された光線束は、補
正光学素子85によって反射されて像検出器27で結像
されるが、補正光学素子85において、光線束はまずレ
ンズ87の表面から入射する。レンズ87の表面形状に
凹凸があるので、光線束は表面の各部分で異なる向きに
屈折し、波面形状も変化する。その後、光線束は屈折率
の大きいレンズ87中で速度を落として進み、表面形状
に凹凸がある光反射体86の反射面で反射される。反射
された光線束は反射面の凹凸により波面形状が変化して
レンズ87中を進み、再びレンズ87の表面で表面形状
の凹凸により各部分で異なる向きに屈折し波面形状が変
化して像検出器27に向かって進む。
The light beam reflected by the small ellipsoidal mirror 26 is reflected by the correction optical element 85 and is imaged by the image detector 27. In the correction optical element 85, the light beam is first transmitted from the surface of the lens 87. Incident. Since the surface shape of the lens 87 is uneven, the light beam is refracted in different directions at each part of the surface, and the wavefront shape also changes. Thereafter, the light beam proceeds at a reduced speed through the lens 87 having a large refractive index, and is reflected by the reflection surface of the light reflector 86 having a surface having irregularities. The reflected light beam changes its wavefront shape due to the unevenness of the reflecting surface and proceeds through the lens 87. Again, the surface of the lens 87 is refracted in different directions by the unevenness of the surface shape at each portion, and the wavefront shape changes to detect an image. Go to the container 27.

【0069】従って、小楕円面鏡26で反射された諸収
差を含む光線束は、レンズ87の表面、光反射体86の
反射面、及びレンズ87の表面で光線束の各部分での光
線の向き及び速度を変化させて補正光学素子85全体と
して諸収差が小さく補正される。このことから、この補
正光学素子85は、光反射体の反射面だけで光線束の諸
収差を補正する場合に比べて、レンズ87の表面で2回
多く光線束の諸収差を補正する箇所があるので、さらに
諸収差を小さく補正できる。
Therefore, the light beam including various aberrations reflected by the small ellipsoidal mirror 26 is reflected on the surface of the lens 87, the reflecting surface of the light reflector 86, and the light beam at each portion of the light beam on the surface of the lens 87. By changing the direction and speed, various aberrations are corrected to be small as a whole of the correction optical element 85. For this reason, the correction optical element 85 has a portion that corrects various aberrations of the light beam twice more on the surface of the lens 87 as compared with a case where various aberrations of the light beam are corrected only by the reflection surface of the light reflector. As a result, various aberrations can be further reduced.

【0070】実施の形態10.図14は、この発明の実
施の形態10に係る結像光学系における補正光学素子の
構成を示す側面図である。図14において、補正光学素
子90は、反射面を有する光反射体91と、この反射面
に対向して間隔を置いて配置された光透過体であるレン
ズ92とを有している。この補正光学素子90は、光反
射体91の反射面がほぼ小楕円面鏡26側を向いてお
り、小楕円面鏡26で反射されたすべての光線束がレン
ズ92を通ってから反射面に当たるようになっている。
光反射体91の反射面及びレンズ92の各部分の厚さは
種々の収差を小さく補正するように調整されている。他
の構成は実施の形態1と同様である。
Embodiment 10 FIG. FIG. 14 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 10 of the present invention. In FIG. 14, the correction optical element 90 has a light reflector 91 having a reflection surface, and a lens 92 which is a light transmission member disposed at an interval facing the reflection surface. In the correction optical element 90, the reflection surface of the light reflector 91 is substantially directed to the small ellipsoidal mirror 26, and all the light beams reflected by the small ellipsoidal mirror 26 pass through the lens 92 before hitting the reflection surface. It has become.
The thickness of the reflecting surface of the light reflector 91 and the thickness of each part of the lens 92 are adjusted so as to correct various aberrations small. Other configurations are the same as in the first embodiment.

【0071】小楕円面鏡26で反射した諸収差を含む光
線束は、実施の形態9と同様に、まずレンズ92の小楕
円面鏡26側の表面(以下、第1表面92aという)か
らレンズ92中に入射して第1表面92aの凹凸により
光線束の各部分で異なる向きに屈折し波面形状が変化す
る。その後、光線束は、レンズ92の光反射体91の反
射面に対向する表面(以下、第2表面92bという)で
屈折、光反射体91の反射面で反射、再び第2表面92
bで屈折、そして第1表面92aで屈折して、像検出器
27で結像される。
As in the ninth embodiment, the light beam including various aberrations reflected by the small ellipsoidal mirror 26 first passes through the surface of the lens 92 on the small ellipsoidal mirror 26 side (hereinafter referred to as the first surface 92a). The light beam enters the light source 92 and is refracted in different directions at each portion of the light beam by the unevenness of the first surface 92a, and the wavefront shape changes. Thereafter, the light beam is refracted on the surface of the lens 92 facing the reflection surface of the light reflector 91 (hereinafter, referred to as a second surface 92b), reflected on the reflection surface of the light reflector 91, and again on the second surface 92.
The light is refracted at b, and refracted at the first surface 92a, and is imaged by the image detector 27.

【0072】従って、小楕円面鏡26で反射された諸収
差を含む光線束は、レンズ92の第1表面92a、第2
表面92b、光反射体91の反射面、再び第2表面92
b、さらに第1表面92aの計5面で光線束の各部分で
の光線の向き及び速度が変化されることにより諸収差が
小さく補正される。このことから、実施の形態9に比べ
てさらに諸収差を小さく補正できる。
Accordingly, the light beam including various aberrations reflected by the small ellipsoidal mirror 26 passes through the first surface 92 a of the lens 92 and the second light beam
The surface 92b, the reflecting surface of the light reflector 91, and again the second surface 92
b. Further, various aberrations are corrected to be small by changing the direction and speed of the light beam in each portion of the light beam on a total of five surfaces of the first surface 92a. Accordingly, various aberrations can be further reduced as compared with the ninth embodiment.

【0073】実施の形態11.図15は、この発明の実
施の形態11に係る結像光学系における補正光学素子の
構成を示す側面図である。図15において、補正光学素
子95は、反射面96aを有する光反射体96と、この
反射面96aに対向して間隔を置いて配置された光透過
体であるレンズ結合体97とを有している。レンズ結合
体97は、複数の光透過部である複数(例えば、2枚)
の第1レンズ98及び第2レンズ99が貼り合わせ面1
00で互いに密着して貼り合わせられて構成されてい
る。この補正光学素子95は光反射体96の反射面96
aがほぼ小楕円面鏡26側を向いている。第2レンズ9
9は、貼り合わせ面100の反対面(以下、第2レンズ
表面101という)が反射面96aに向き合うように配
置されている。第1レンズ98は、貼り合わせ面100
の反対面(以下、第1レンズ表面102という)が小楕
円面鏡26側になるように配置されている。従って、小
楕円面鏡26で反射されたすべての光線束がレンズ98
を通り、その後レンズ99を通ってから光反射体96の
反射面96aに当たるようになっている。光反射体96
の反射面形状及びレンズ98及びレンズ99の各部分の
厚さは種々の収差を小さく補正するように調整されてい
る。他の構成は実施の形態1と同様である。
Embodiment 11 FIG. FIG. 15 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 11 of the present invention. In FIG. 15, the correction optical element 95 includes a light reflector 96 having a reflection surface 96a, and a lens combination 97 which is a light transmission member disposed at an interval facing the reflection surface 96a. I have. The lens assembly 97 includes a plurality of (eg, two) light transmission units.
Of the first lens 98 and the second lens 99 of the bonding surface 1
At 00, they are adhered to each other. The correction optical element 95 is a reflection surface 96 of the light reflector 96.
a substantially faces the small elliptical mirror 26 side. Second lens 9
Reference numeral 9 is arranged such that a surface opposite to the bonding surface 100 (hereinafter, referred to as a second lens surface 101) faces the reflection surface 96a. The first lens 98 has a bonding surface 100
(Hereinafter, referred to as the first lens surface 102) is located on the small ellipsoidal mirror 26 side. Therefore, all the light beams reflected by the small ellipsoidal mirror 26 are
And then passes through a lens 99 before hitting the reflection surface 96a of the light reflector 96. Light reflector 96
And the thickness of each part of the lens 98 and the lens 99 are adjusted so as to correct various aberrations small. Other configurations are the same as in the first embodiment.

【0074】小楕円面鏡26で反射した諸収差を含む光
線束は、実施の形態10と同様に、まずレンズ98の第
1レンズ表面102からレンズ98中に入射して第1レ
ンズ表面102の凹凸により光線束の各部分で異なる向
きに屈折し波面形状が変化する。その後、光線束は、貼
り合わせ面100及び第2レンズ表面101で屈折し、
光反射体96の反射面96aに当たる。反射面96aで
反射した光線束は、再び第2レンズ表面101、貼り合
わせ面100及び第1レンズ表面102で屈折して進
み、像検出器27で結像される。
The ray bundle including various aberrations reflected by the small ellipsoidal mirror 26 first enters the lens 98 from the first lens surface 102 of the lens 98 and is incident on the first lens surface 102 as in the tenth embodiment. Due to the unevenness, each part of the light beam is refracted in a different direction and the wavefront shape changes. Thereafter, the light beam is refracted by the bonding surface 100 and the second lens surface 101,
The light hits the reflection surface 96 a of the light reflector 96. The light beam reflected by the reflection surface 96a is refracted again by the second lens surface 101, the bonding surface 100, and the first lens surface 102, and forms an image by the image detector 27.

【0075】従って、小楕円面鏡26で反射された諸収
差を含む光線束は、レンズ98の第1レンズ表面102
で2回、貼り合わせ面100で2回、第2レンズ表面1
01で2回及び光反射体96の反射面96aで1回の計
7回、光線束の向き及び速度が変化されることにより諸
収差が小さく補正される。このことから、実施の形態1
0に比べてさらに諸収差を小さく補正できる。
Therefore, the ray bundle including various aberrations reflected by the small ellipsoidal mirror 26 is transmitted to the first lens surface 102 of the lens 98.
Twice, the bonding surface 100 twice, the second lens surface 1
The aberrations are corrected to be small by changing the direction and speed of the light beam twice, ie, twice at 01 and once at the reflection surface 96a of the light reflector 96, seven times in total. Therefore, Embodiment 1
Various aberrations can be further reduced as compared to zero.

【0076】さらに、第1レンズ98と第2レンズ99
とを異なる分散特性とし、補正光学素子95が全体とし
て像検出器27で光線束が結像できるようになっていれ
ば、色収差も補正でき実施の形態7と同様の効果も奏す
る。
Further, the first lens 98 and the second lens 99
If the correction optical element 95 is capable of forming a light beam as a whole with the image detector 27, the chromatic aberration can be corrected and the same effect as in the seventh embodiment can be obtained.

【0077】実施の形態12.図16は、この発明の実
施の形態12に係る結像光学系における補正光学素子の
構成を示す側面図である。図16において、射出瞳30
近傍に配置された補正光学素子105は、光反射体10
6と、複数(例えば、2枚)の光透過体である第1レン
ズ107及び第2レンズ108とを有している。光反射
体106は小楕円面鏡26側に面した反射面106aを
有している。第1レンズ107は、反射面106aに間
隔を置いて対向する第1面107aと、この第1面10
7aの背面に位置し、第2レンズ108に間隔を置いて
対向する第2面107bとを有している。第2レンズ1
08は、第1レンズ107の第2面107bに間隔を置
いて対向する第1面108aと、この第1面108aの
背面に位置し、小楕円面鏡26側に面した第2面108
bとを有している。従って、第2レンズ108と第1レ
ンズ107とが光反射体106に向かって配列され、小
楕円面鏡26を反射した光線束が、第2レンズ108及
び第1レンズ107を透過して反射面106aで反射
し、再び第1レンズ107及び第2レンズ108を透過
して像検出器27で結像されるようになっている。他の
構成は実施の形態1と同様である。
Embodiment 12 FIG. FIG. 16 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 12 of the present invention. In FIG. 16, the exit pupil 30
The correction optical element 105 disposed near the light reflector 10
6 and a first lens 107 and a second lens 108 which are a plurality (for example, two) of light transmitting bodies. The light reflector 106 has a reflection surface 106a facing the small ellipsoidal mirror 26 side. The first lens 107 includes a first surface 107a opposed to the reflection surface 106a at an interval, and a first surface 10a.
7a, and has a second surface 107b opposed to the second lens 108 at an interval. Second lens 1
Reference numeral 08 denotes a first surface 108a opposed to the second surface 107b of the first lens 107 at an interval, and a second surface 108 located on the back of the first surface 108a and facing the small ellipsoidal mirror 26.
b. Therefore, the second lens 108 and the first lens 107 are arranged toward the light reflector 106, and the light beam reflected by the small ellipsoidal mirror 26 passes through the second lens 108 and the first lens 107 and is The light is reflected at 106a, passes through the first lens 107 and the second lens 108 again, and is imaged by the image detector 27. Other configurations are the same as in the first embodiment.

【0078】小楕円面鏡26で反射した諸収差を含む光
線束は、まず第2レンズ108の第2面108bから第
2レンズ108中に入射して第2面108bの凹凸によ
り光線束の各部分で異なる向きに屈折し波面形状が変化
する。その後、光線束は、第1面108a、第2面10
7b及び第1面107aで屈折し、光反射体106の反
射面106aに当たる。反射面106aで反射した光線
束は、再び第1面107a、第2面107b、第1面1
08a、第2面108bで屈折して進み、像検出器27
で結像される。
The light beam including various aberrations reflected by the small ellipsoidal mirror 26 first enters the second lens 108 from the second surface 108b of the second lens 108, and is reflected by the unevenness of the second surface 108b. The light is refracted in different directions at the portions and the wavefront shape changes. Thereafter, the light beam is transmitted to the first surface 108a and the second surface 10a.
7b and the first surface 107a refracts and strikes the reflecting surface 106a of the light reflector 106. The light beam reflected by the reflection surface 106a is again transmitted to the first surface 107a, the second surface 107b, and the first surface 1a.
08a, refracted by the second surface 108b, and proceeded to the image detector 27.
Is imaged.

【0079】従って、小楕円面鏡26で反射された諸収
差を含む光線束は、第1面107a、第2面107b、
第1面108a及び第2面108bでそれぞれ2回ず
つ、そして反射面106aで1回の計9回、向きあるい
は速度を調整できるので、さらに諸収差を小さく補正す
ることができる。
Therefore, the light beam including various aberrations reflected by the small ellipsoidal mirror 26 includes the first surface 107a, the second surface 107b,
Since the direction or speed can be adjusted twice each on the first surface 108a and the second surface 108b and once on the reflecting surface 106a, the various aberrations can be further reduced.

【0080】さらに、複数のレンズを用いていることに
より、これらのレンズ間距離を変化させてズーム機能等
の特殊機能を持たせることもできる。また、3枚以上の
レンズを用いることにより、さらに諸収差を小さく補正
することができ、ズーム機能の効果も大きくなる。
Further, by using a plurality of lenses, a special function such as a zoom function can be provided by changing the distance between the lenses. In addition, by using three or more lenses, various aberrations can be further reduced, and the effect of the zoom function increases.

【0081】実施の形態13.図17は、この発明の実
施の形態13に係る結像光学系における補正光学素子の
構成を示す側面図である。図17において、射出瞳30
近傍に配置された補正光学素子110は、光反射体11
1と、複数(例えば、2枚)の光透過体である第1レン
ズ結合体112及び第2レンズ結合体113とを有して
いる。第1レンズ結合体112と第2レンズ結合体11
3とは互いに間隔を置いて対向している。また、第1レ
ンズ結合体112は光反射体111の反射面111aに
間隔を置いて対向している。第1レンズ結合体112
は、光透過部である第1レンズ第1部114と光透過部
である第1レンズ第2部115とが互いに第1貼り合わ
せ面112aで密着し貼り合わされて構成されている。
第2レンズ結合体113も、光透過部である第2レンズ
第1部116と光透過部である第2レンズ第2部117
とが互いに第2貼り合わせ面113aで密着し貼り合わ
されて構成されている。第1レンズ第1部114は、第
1貼り合わせ面112aの背面に位置し反射面111a
に対向する第1面114aを有し、第1レンズ第2部1
15は、第1貼り合わせ面112aの背面に位置し第2
レンズ結合体113に対向する第2面115aを有して
いる。第2レンズ第1部116は、第2貼り合わせ面1
13aの背面に位置し第2面115aに対向する第1面
116aを有し、第2レンズ第2部117は、第2貼り
合わせ面113aの背面に位置し小楕円面鏡26側に面
する第2面117aを有している。従って、小楕円面鏡
26を反射した光線束は、第2レンズ結合体113及び
第1レンズ結合体112を透過し反射面112aで反射
して、再び第1レンズ結合体112及び第2レンズ結合
体113を透過するようになっている。他の構成は実施
の形態1と同様である。
Embodiment 13 FIG. FIG. 17 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 13 of the present invention. In FIG. 17, the exit pupil 30
The correction optical element 110 disposed near the light reflector 11
1 and a plurality of (for example, two) light transmitting bodies, a first lens connecting body 112 and a second lens connecting body 113. First lens combination 112 and second lens combination 11
3 are opposed to each other at an interval. Further, the first lens unit 112 faces the reflection surface 111a of the light reflector 111 at an interval. First lens assembly 112
Is configured such that a first lens first portion 114 serving as a light transmitting portion and a first lens second portion 115 serving as a light transmitting portion are closely adhered to each other on a first bonding surface 112a.
The second lens assembly 113 also includes a second lens first part 116 that is a light transmitting part and a second lens second part 117 that is a light transmitting part.
Are closely adhered to each other on the second bonding surface 113a and bonded to each other. The first lens first portion 114 is located on the back surface of the first bonding surface 112a and is located on the reflection surface 111a.
The first lens 114 has a first surface 114a facing the
15 is located on the back of the first bonding surface 112a and
It has a second surface 115a facing the lens assembly 113. The second lens first part 116 is the second bonding surface 1
The second lens second portion 117 is located on the back surface of the second bonding surface 113a and faces the small ellipsoidal mirror 26 side. It has a second surface 117a. Accordingly, the light beam reflected by the small ellipsoidal mirror 26 passes through the second lens combination 113 and the first lens combination 112, is reflected by the reflection surface 112a, and is again reflected by the first lens combination 112 and the second lens combination. It passes through the body 113. Other configurations are the same as in the first embodiment.

【0082】小楕円面鏡26で反射した諸収差を含む光
線束は、まず第2レンズ結合体113における第2レン
ズ第2部117の第2面117aから第2レンズ第2部
117中に入射して第2面117aの凹凸により光線束
の各部分で異なる向きに屈折し波面形状が変化する。そ
の後、光線束は、第2貼り合わせ面113a、第1面1
16a、第2面115a、第1貼り合わせ面112a及
び第1面114aで屈折し、光反射体111の反射面1
11aに当たる。反射面111aで反射した光線束は、
再び第1面114a、第1貼り合わせ面112a、第2
面115a、第1面116a、第2貼り合わせ面113
a及び第2面117aで屈折して進み、像検出器27で
結像される。
The ray bundle including various aberrations reflected by the small ellipsoidal mirror 26 first enters the second lens second part 117 from the second surface 117a of the second lens second part 117 in the second lens unit 113. Then, due to the unevenness of the second surface 117a, each portion of the light beam is refracted in a different direction, and the wavefront shape changes. After that, the light beam passes through the second bonding surface 113a and the first surface 1
16a, the second surface 115a, the first bonding surface 112a, and the first surface 114a.
This corresponds to 11a. The light beam reflected by the reflecting surface 111a is
Again, the first surface 114a, the first bonding surface 112a,
Surface 115a, first surface 116a, second bonding surface 113
a and the light is refracted by the second surface 117a and is formed by the image detector 27.

【0083】従って、小楕円面鏡26で反射された諸収
差を含む光線束は、第1面114a、第1貼り合わせ面
112a、第2面115a、第1面116a、第2貼り
合わせ面113a及び第2面117aでそれぞれ2回ず
つ、そして反射面111aで1回の計13回、向きある
いは速度を調整できるので、さらに光線束の諸収差を小
さく補正することができる。
Therefore, the light beam including various aberrations reflected by the small ellipsoidal mirror 26 includes the first surface 114a, the first bonding surface 112a, the second surface 115a, the first surface 116a, and the second bonding surface 113a. Since the direction or speed can be adjusted twice each on the second surface 117a and once on the reflecting surface 111a, a total of 13 times, various aberrations of the light beam can be further reduced.

【0084】さらに、レンズを密着させた第1レンズ結
合体112及び第2レンズ結合体113が用いられてい
るので、取り扱いが容易で色収差の補正を確実に行うこ
とができる。また、第1レンズ結合体112及び第2レ
ンズ結合体113間の間隔を変化させることによってズ
ーム機能を持つこともできる。
Further, since the first lens combination 112 and the second lens combination 113 having the lenses in close contact with each other are used, the handling is easy and the chromatic aberration can be surely corrected. Further, a zoom function can be provided by changing the distance between the first lens combination 112 and the second lens combination 113.

【0085】なお、第1レンズ結合体112及び第2レ
ンズ結合体113は、2枚のレンズだけでなく、3枚以
上のレンズを密着させた構成としても色収差その他の諸
収差を全体としてさらに小さく補正できるので構わな
い。また、2つの光透過体である第1レンズ結合体11
2及び第2レンズ結合体113だけでなく、3つ以上の
光透過体を間隔を置いて配列させた構成としてもさらに
諸収差を全体として小さく補正しズーム機能の効果も大
きくなるので構わない。
Note that the first lens combination 112 and the second lens combination 113 can reduce chromatic aberration and other various aberrations as a whole even if not only two lenses but also three or more lenses are in close contact. It can be corrected. Also, the first lens combination 11 which is two light transmitting bodies
A configuration in which not only the second and second lens combined bodies 113 but also three or more light transmitting bodies are arranged at intervals may further reduce various aberrations as a whole and increase the effect of the zoom function.

【0086】なお、複数のレンズを配列して諸収差を補
正することは通常行われていることであるが、このレン
ズ配列をこの配列方向の横から見たとき、レンズ配列が
左右対称となっている場合は一般的に諸収差を補正する
ことが容易になることが知られている。従って、実施の
形態10乃至実施の形態13においては、補正光学素子
は、レンズ等の光透過体の形状が配列方向に沿った中心
軸線を持つように左右対称となっており、光反射体の反
射面もこの中心軸線に垂直な平面となっている構成とす
ると、補正光学素子内を通る光線束の通過経路は左右対
称になり、実質的に光透過体の左右それぞれの形状のレ
ンズが光反射体について対称に配列された状態の中を光
線束が通過しているのと同様となる。従って、このよう
に補正光学素子の形状を左右対称とすることにより諸収
差の補正が容易となる。
It is common practice to correct a variety of aberrations by arranging a plurality of lenses. However, when this lens array is viewed from the side in this array direction, the lens array becomes bilaterally symmetric. In general, it is known that it is easy to correct various aberrations. Therefore, in the tenth to thirteenth embodiments, the correction optical element is bilaterally symmetric such that the shape of the light transmitting body such as a lens has a central axis along the arrangement direction, and If the reflecting surface is also configured to be a plane perpendicular to the central axis, the path of the light beam passing through the correction optical element is symmetrical, and the right and left lenses of the light transmitting body are substantially This is similar to the case where the light beam passes through a state where the reflectors are symmetrically arranged. Therefore, by making the shape of the correction optical element symmetrical in this way, it becomes easy to correct various aberrations.

【0087】また、上記実施の形態4、あるいは実施の
形態10乃至実施の形態13において、補正光学素子の
光反射体がデフォーマブルミラーであれば実施の形態3
と同様の効果を奏する。さらに、上記実施の形態4乃至
実施の形態13において、補正光学素子に角度検出手段
からの信号を得ることができる角度制御手段を設けて補
正光学素子の角度を変化させることができるようにすれ
ば、実施の形態2と同様の効果を奏する。
In the fourth embodiment or the tenth to thirteenth embodiments, if the light reflector of the correction optical element is a deformable mirror, the third embodiment
It has the same effect as. Further, in Embodiments 4 to 13, if the correction optical element is provided with an angle control means capable of obtaining a signal from the angle detection means so that the angle of the correction optical element can be changed. Thus, the same effect as in the second embodiment can be obtained.

【0088】[0088]

【発明の効果】以上の説明から明らかな通り、この発明
によれば、この発明に係る結像光学系は、像側に入射瞳
より小さい射出瞳を有する集光光学系を有する結像光学
系において、前記射出瞳近傍に配置され、前記集光光学
系の収差を補正する補正光学素子を備えたものであるの
で、前記入射瞳より小さい前記補正光学素子によって前
記入射瞳での収差の補正と同等な補正が可能となり、結
像性能が良好で、補正が容易でしかも低コストの結像光
学系を得ることができる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, the imaging optical system according to the present invention has a condensing optical system having an exit pupil smaller than the entrance pupil on the image side. In the above, since it is provided with a correction optical element that is arranged near the exit pupil and corrects the aberration of the condensing optical system, the correction optical element smaller than the entrance pupil corrects the aberration at the entrance pupil. The same correction can be performed, and an imaging optical system with good imaging performance, easy correction, and low cost can be obtained.

【0089】また、前記集光光学系はすべて反射鏡であ
り、レンズを有しないので、レンズ特有の色収差が発生
しない。
Further, since the light collecting optical systems are all reflecting mirrors and do not have a lens, chromatic aberration peculiar to the lens does not occur.

【0090】また、前記集光光学系は少なくとも前記入
射瞳を有する第1鏡を備えたので、前記第1鏡の形状を
前記射出瞳に反映させることができる。
Further, since the condensing optical system includes the first mirror having at least the entrance pupil, the shape of the first mirror can be reflected on the exit pupil.

【0091】また、前記第1鏡は楕円面鏡であるので、
解像度劣化の要因となる球面収差、コマ収差及び非点収
差をバランス良く低減でき、良好な結像性能を得ること
ができる。
Further, since the first mirror is an elliptical mirror,
Spherical aberration, coma, and astigmatism that cause resolution degradation can be reduced in a well-balanced manner, and good imaging performance can be obtained.

【0092】また、前記第1鏡は球面鏡であるので、作
製が容易で低コストとなる。
Since the first mirror is a spherical mirror, it is easy to manufacture and the cost is low.

【0093】また、前記第1鏡は放物面鏡であるので、
作製が容易で低コストとなる。
Since the first mirror is a parabolic mirror,
It is easy to manufacture and low cost.

【0094】また、前記第1鏡は複数の分割鏡から構成
されているので、前記第1鏡を部分的に精度良く作製で
き、前記第1鏡を容易に低コストで作製することができ
る。
Further, since the first mirror is composed of a plurality of split mirrors, the first mirror can be partially manufactured with high accuracy, and the first mirror can be easily manufactured at low cost.

【0095】また、前記反射鏡は、反射面形状が変化す
るようになっているので、経年変化等により前記反射鏡
の反射面形状が所定の形状から外れることがないように
調整して収差の増大を抑制することができる。
Since the shape of the reflecting surface of the reflecting mirror changes, the reflecting surface of the reflecting mirror is adjusted so as not to deviate from a predetermined shape due to aging or the like. The increase can be suppressed.

【0096】また、前記反射鏡には前記反射鏡を回動さ
せて光の入射角度を変化させる角度制御手段が設けられ
ているので、結像対象物の視線方向が振動等により変化
したときにおいても、正規の視線方向の結像対象物を結
像することができる。
Further, since the reflecting mirror is provided with angle control means for changing the incident angle of light by rotating the reflecting mirror, when the line of sight of the object to be imaged changes due to vibration or the like. Also, it is possible to form an image of an object to be formed in a normal line-of-sight direction.

【0097】また、前記補正光学素子は、周囲と異なる
屈折率を有する光透過体を有し、前記光透過体により前
記収差を補正するようになっているので、前記入射瞳よ
り小さい前記光透過体によって容易にしかも低コストで
前記入射瞳での収差の補正をすることができる。
Further, the correction optical element has a light transmitting body having a refractive index different from that of the surroundings, and the aberration is corrected by the light transmitting body. The aberration at the entrance pupil can be easily corrected at low cost by the body.

【0098】また、前記光透過体は、異なる屈折率を有
した複数の光透過部が互いに密着して積層されているの
で、前記複数の光透過部が互いの位置関係がずれること
なく配置誤差が小さくなり、また取り扱いも容易にな
る。さらに、分散特性の異なる光透過部であれば組合せ
により色収差の発生を抑制することもできる。
Further, in the light transmitting body, a plurality of light transmitting portions having different refractive indices are stacked in close contact with each other, so that the plurality of light transmitting portions are not displaced relative to each other, and an arrangement error is prevented. And the handling becomes easy. Further, if the light transmitting portions have different dispersion characteristics, the generation of chromatic aberration can be suppressed by a combination.

【0099】また、前記光透過体は、間隔を置いて複数
配列されているので、全体としてさらに諸収差を補正す
ることができ、前記光透過体間の間隔を変化させること
によりズーム機能を持たせることができる。
Further, since the plurality of light transmitting bodies are arranged at intervals, various aberrations can be further corrected as a whole, and a zoom function is provided by changing the distance between the light transmitting bodies. Can be made.

【0100】また、前記補正光学素子は、反射面を有し
た光反射体を有し、前記光反射体により前記収差を補正
するようになっているので、前記入射瞳より小さい前記
光反射体によって容易にしかも低コストで前記入射瞳で
の収差の補正をすることができ、さらに光の進行方向を
変えて前記結像光学系をコンパクトにすることもでき
る。
The correction optical element has a light reflector having a reflection surface, and the aberration is corrected by the light reflector. The aberration at the entrance pupil can be corrected easily and at low cost, and the imaging optical system can be made compact by changing the traveling direction of light.

【0101】また、前記光反射体は、前記反射面が対向
する前記光透過体に密着しているので、前記光反射体の
みで収差を補正することに加えて、前記光透過体により
前記反射面の反射前後の光の収差が補正され、さらに前
記収差を小さく補正することができる。
Further, since the light reflector is in close contact with the opposing light transmitting body, the reflecting surface of the light reflecting body is not only corrected for aberrations by only the light reflecting body but also reflected by the light transmitting body. The aberration of the light before and after the reflection on the surface is corrected, and the aberration can be corrected to be small.

【0102】また、前記補正光学素子は、前記反射面形
状が変化するようになっているので、温度や気圧等の状
態変化、振動、歪み及び経年変化等に対しても結像性能
の低下を防止することができる。
Further, since the shape of the reflecting surface of the correcting optical element is changed, deterioration of the imaging performance is prevented even with respect to changes in state such as temperature and atmospheric pressure, vibration, distortion and aging. Can be prevented.

【0103】また、前記集光光学系は収差を測定する収
差測定手段を有しており、前記収差測定手段が測定した
収差に基づいて前記反射面形状が変化するようになって
いるので、収差が変化したときにもその時の収差に対応
して補正をすることができる。
The condensing optical system has an aberration measuring means for measuring the aberration, and the reflection surface shape is changed based on the aberration measured by the aberration measuring means. Can be corrected according to the aberration at that time.

【0104】また、前記補正光学素子には前記補正光学
素子を回動させて光の入射角度を変化させる角度制御手
段が設けられているので、結像対象物の視線方向が振動
等により変化したときにおいても、正規の視線方向の結
像対象物を結像することができる。
Further, since the correcting optical element is provided with angle control means for changing the incident angle of light by rotating the correcting optical element, the line-of-sight direction of the image-forming object changes due to vibration or the like. Even in such a case, it is possible to form an image of an object to be formed in a normal line-of-sight direction.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 この発明の実施の形態1に係る結像光学系の
模式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram of an imaging optical system according to Embodiment 1 of the present invention.

【図2】 この発明の実施の形態2に係る結像光学系の
模式図である。
FIG. 2 is a schematic diagram of an imaging optical system according to Embodiment 2 of the present invention.

【図3】 この発明の実施の形態3に係る結像光学系の
模式図である。
FIG. 3 is a schematic diagram of an imaging optical system according to Embodiment 3 of the present invention.

【図4】 図3の補正光学素子50の一部分の断面斜視
図である。
4 is a sectional perspective view of a part of the correction optical element 50 of FIG.

【図5】 この発明の実施の形態4に係る結像光学系の
第1鏡の正面図である。
FIG. 5 is a front view of a first mirror of an imaging optical system according to Embodiment 4 of the present invention.

【図6】 図5のVI−VI線に沿った断面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along the line VI-VI in FIG. 5;

【図7】 第1鏡を分割鏡から構成された球面鏡とした
構成を示す正面図である。
FIG. 7 is a front view showing a configuration in which the first mirror is a spherical mirror formed of a split mirror.

【図8】 図7のVIII-VIII線に沿った断面図である。FIG. 8 is a sectional view taken along line VIII-VIII in FIG.

【図9】 この発明の実施の形態5に係る結像光学系に
おける補正光学素子の構成を示す側面図である。
FIG. 9 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 5 of the present invention.

【図10】 この発明の実施の形態6に係る結像光学系
における補正光学素子の構成を示す側面図である。
FIG. 10 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 6 of the present invention.

【図11】 この発明の実施の形態7に係る結像光学系
における補正光学素子の構成を示す側面図である。
FIG. 11 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 7 of the present invention.

【図12】 この発明の実施の形態8に係る結像光学系
における補正光学素子の構成を示す側面図である。
FIG. 12 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 8 of the present invention.

【図13】 この発明の実施の形態9に係る結像光学系
における補正光学素子の構成を示す側面図である。
FIG. 13 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 9 of the present invention.

【図14】 この発明の実施の形態10に係る結像光学
系における補正光学素子の構成を示す側面図である。
FIG. 14 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 10 of the present invention.

【図15】 この発明の実施の形態11に係る結像光学
系における補正光学素子の構成を示す側面図である。
FIG. 15 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 11 of the present invention.

【図16】 この発明の実施の形態12に係る結像光学
系における補正光学素子の構成を示す側面図である。
FIG. 16 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 12 of the present invention.

【図17】 この発明の実施の形態13に係る結像光学
系における補正光学素子の構成を示す側面図である。
FIG. 17 is a side view showing a configuration of a correction optical element in an imaging optical system according to Embodiment 13 of the present invention.

【図18】 従来の結像光学系の構成を示す模式図であ
る。
FIG. 18 is a schematic diagram showing a configuration of a conventional imaging optical system.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20 結像光学系、21 集光光学系、22,70,7
5,80,85,90,95,105,110 補正光
学素子、23,60,62 第1鏡(楕円面鏡、球面
鏡、放物面鏡)、29 入射瞳、30 射出瞳、40
角度制御手段、57 収差測定手段、61,63 分割
鏡、65,71,72,76,87,92,97,10
7,108,112,113 光透過体、77,78,
98,99114,115,116,117 光透過
部、86,91,96,106,111 光反射体。
Reference Signs List 20 imaging optical system, 21 focusing optical system, 22, 70, 7
5, 80, 85, 90, 95, 105, 110 Correction optical element, 23, 60, 62 First mirror (ellipsoidal mirror, spherical mirror, parabolic mirror), 29 entrance pupil, 30 exit pupil, 40
Angle control means, 57 Aberration measurement means, 61, 63 split mirrors, 65, 71, 72, 76, 87, 92, 97, 10
7, 108, 112, 113 light transmitting body, 77, 78,
98, 99114, 115, 116, 117 Light transmitting part, 86, 91, 96, 106, 111 Light reflector.

フロントページの続き Fターム(参考) 2H039 AA02 AB02 AB12 AB14 AB22 AB24 AB32 AC00 2H042 DA10 DA21 DB14 DD04 DD10 DD11 DE00 2H043 BC01 BC08 CB00 CD02 CD04 2H087 KA15 NA01 PA01 PA02 PA17 PA18 PA19 PB02 PB04 QA19 QA21 QA26 QA34 QA42 QA45 RA06 RA11 RA27 TA00 TA01 TA02 TA06 TA08 Continued on the front page F term (reference) 2H039 AA02 AB02 AB12 AB14 AB22 AB24 AB32 AC00 2H042 DA10 DA21 DB14 DD04 DD10 DD11 DE00 2H043 BC01 BC08 CB00 CD02 CD04 2H087 KA15 NA01 PA01 PA02 PA17 PA18 PA19 PB02 PB04 QA19 QA21 QA19 QA19 QA19 RA27 TA00 TA01 TA02 TA06 TA08

Claims (17)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 像側に入射瞳より小さい射出瞳を有する
集光光学系を有する結像光学系において、 前記射出瞳近傍に配置され、前記集光光学系の収差を補
正する補正光学素子を備えたことを特徴とする結像光学
系。
1. An imaging optical system having a converging optical system having an exit pupil smaller than an entrance pupil on an image side, comprising: a correction optical element arranged near the exit pupil for correcting aberration of the converging optical system. An imaging optical system, comprising:
【請求項2】 前記集光光学系はすべて反射鏡であるこ
とを特徴とする請求項1に記載の結像光学系。
2. The image forming optical system according to claim 1, wherein all of the light collecting optical systems are reflecting mirrors.
【請求項3】 前記集光光学系は少なくとも前記入射瞳
を有する第1鏡を備えたことを特徴とする請求項1又は
請求項2に記載の結像光学系。
3. The imaging optical system according to claim 1, wherein the light-converging optical system includes a first mirror having at least the entrance pupil.
【請求項4】 前記第1鏡は楕円面鏡であることを特徴
とする請求項3に記載の結像光学系。
4. The imaging optical system according to claim 3, wherein the first mirror is an ellipsoidal mirror.
【請求項5】 前記第1鏡は球面鏡であることを特徴と
する請求項3に記載の結像光学系。
5. The imaging optical system according to claim 3, wherein said first mirror is a spherical mirror.
【請求項6】 前記第1鏡は放物面鏡であることを特徴
とする請求項3に記載の結像光学系。
6. The imaging optical system according to claim 3, wherein said first mirror is a parabolic mirror.
【請求項7】 前記第1鏡は複数の分割鏡から構成され
ていることを特徴とする請求項3乃至請求項6の何れか
に記載の結像光学系。
7. The imaging optical system according to claim 3, wherein the first mirror is constituted by a plurality of split mirrors.
【請求項8】 前記反射鏡は、反射面形状が変化するよ
うになっていることを特徴とする請求項2乃至請求項7
の何れかに記載の結像光学系。
8. The reflection mirror according to claim 2, wherein a shape of the reflection surface is changed.
An imaging optical system according to any one of the above.
【請求項9】 前記反射鏡には前記反射鏡を回動させて
光の入射角度を変化させる角度制御手段が設けられてい
ることを特徴とする請求項2乃至請求項8の何れかに記
載の結像光学系。
9. The reflection mirror according to claim 2, wherein the reflection mirror is provided with angle control means for rotating the reflection mirror to change an incident angle of light. Imaging optics.
【請求項10】 前記補正光学素子は、周囲と異なる屈
折率を有する光透過体を有し、前記光透過体により前記
収差を補正するようになっていることを特徴とする請求
項1乃至請求項9の何れかに記載の結像光学系。
10. The apparatus according to claim 1, wherein the correction optical element has a light transmitting body having a refractive index different from that of the surroundings, and the aberration is corrected by the light transmitting body. Item 10. The image forming optical system according to any one of Items 9.
【請求項11】 前記光透過体は、異なる屈折率を有し
た複数の光透過部が互いに密着して積層されていること
を特徴とする請求項10に記載の結像光学系。
11. The imaging optical system according to claim 10, wherein the light transmitting body includes a plurality of light transmitting portions having different refractive indices stacked in close contact with each other.
【請求項12】 前記光透過体は、間隔を置いて複数配
列されていることを特徴とする請求項10又は請求項1
1に記載の結像光学系。
12. The light transmitting body according to claim 10, wherein a plurality of the light transmitting bodies are arranged at intervals.
2. The imaging optical system according to 1.
【請求項13】 前記補正光学素子は、反射面を有した
光反射体を有し、前記光反射体により前記収差を補正す
るようになっていることを特徴とする請求項1乃至請求
項12の何れかに記載の結像光学系。
13. The correction optical element according to claim 1, further comprising a light reflector having a reflection surface, wherein the aberration is corrected by the light reflector. An imaging optical system according to any one of the above.
【請求項14】 前記光反射体は、前記反射面が対向す
る前記光透過体に密着していることを特徴とする請求項
13に記載の結像光学系。
14. The imaging optical system according to claim 13, wherein the light reflector is in close contact with the light transmitting body whose reflecting surface is opposed to the light reflecting body.
【請求項15】 前記補正光学素子は、前記反射面形状
が変化するようになっていることを特徴とする請求項1
3に記載の結像光学系。
15. The correction optical element according to claim 1, wherein said reflection surface shape is changed.
4. The imaging optical system according to 3.
【請求項16】 前記集光光学系は収差を測定する収差
測定手段を有しており、前記収差測定手段が測定した収
差に基づいて前記反射面形状が変化するようになってい
ることを特徴とする請求項8又は請求項15に記載の結
像光学系。
16. The light-converging optical system has an aberration measuring means for measuring aberration, and the shape of the reflecting surface changes based on the aberration measured by the aberration measuring means. The imaging optical system according to claim 8 or claim 15, wherein
【請求項17】 前記補正光学素子には前記補正光学素
子を回動させて光の入射角度を変化させる角度制御手段
が設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項
16の何れかに記載の結像光学系。
17. The correction optical element according to claim 1, further comprising an angle control unit configured to rotate the correction optical element to change an incident angle of light. 2. The imaging optical system according to item 1.
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