JP2002328477A - Method for producing colored photosensitive resin composition - Google Patents

Method for producing colored photosensitive resin composition

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Seiji Muro
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing a colored photosensitive resin composition whose viscosity does not increase in long-term storage even when a colorant (A) is contained at a high concentration. SOLUTION: A mixture of the colorant (A) and a solvent (E), a binder polymer (B), a photopolymerizable compound (C) and a photopolymerization initiator (D) are mixed and kept warm at 25-80 deg.C to produce the objective colored photosensitive resin composition. The mixing is preferably carried out at >=30 deg.C and the keeping time is preferably >=2 hr. When the colored photosensitive resin composition is patterned, a colored pattern is formed and a color filter can be produced.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は着色感光性樹脂組成
物の製造方法に関し、詳しくは長期間保存しても粘度が
大きくならない着色感光性樹脂組成物の製造方法に関す
る。
The present invention relates to a method for producing a colored photosensitive resin composition, and more particularly, to a method for producing a colored photosensitive resin composition whose viscosity does not increase even after long-term storage.

【0002】[0002]

【従来の技術】着色感光性樹脂組成物(カラーレジス
ト)は、着色剤を含有していて着色している感光性樹脂
組成物(レジスト)であって、カラーフィルターを構成
する着色パターンを形成するための原材料として有用で
ある。ここで、カラーフィルターとは、例えばカラー液
晶表示装置に組み込まれて表示画像をカラー化するため
に用いられたり、カラー固体撮像装置に組み込まれてカ
ラー画像を得るために用いられるフィルターである。着
色パターンとは、例えば色画素(5R、5G、5B)、
ブラックマトリックス(5BM)などであって、色画素
は着色された透明な層であり、ブラックマトリックスは
光を遮蔽する層である。これら色画素およびブラックマ
トリックスは通常、基板(2)上に形成されて、カラー
フィルター(6)を構成する(図1)。色画素(5R、
5G、5R)は透明で着色されているので、これを透過
した光はそれぞれの色画素の色を呈する。また、ブラッ
クマトリックス(5BM)は、光を遮蔽する層であるの
で、黒色に見える。着色パターン(5)は格子状(モザ
イク状)であったり(図1(a))、線状である(図1
(b))。
2. Description of the Related Art A colored photosensitive resin composition (color resist) is a colored photosensitive resin composition (resist) containing a coloring agent and forms a colored pattern constituting a color filter. Is useful as a raw material for Here, the color filter is, for example, a filter that is incorporated in a color liquid crystal display device and used for colorizing a display image, or is incorporated in a color solid-state imaging device and used for obtaining a color image. The coloring pattern is, for example, a color pixel (5R, 5G, 5B),
In a black matrix (5BM) or the like, a color pixel is a colored transparent layer, and a black matrix is a layer for shielding light. These color pixels and black matrix are usually formed on a substrate (2) to form a color filter (6) (FIG. 1). Color pixel (5R,
5G, 5R) are transparent and colored, and the light transmitted therethrough exhibits the color of each color pixel. Further, the black matrix (5BM) is a layer that shields light, and thus looks black. The coloring pattern (5) has a lattice shape (mosaic shape) (FIG. 1A) or a linear shape (FIG. 1A).
(b)).

【0003】着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィ
ルターを製造するには、例えば着色感光性樹脂組成物を
パターンニングして着色パターンを形成すればよく、具
体的には、例えば着色感光性樹脂組成物からなる層
(1)を基板(2)の上に形成し(図2(a))、該層
(1)を露光した後(図2(b))、現像すればよい。現
像後、加熱してもよい。
In order to manufacture a color filter using the colored photosensitive resin composition, for example, a colored pattern may be formed by patterning the colored photosensitive resin composition. A layer (1) made of the composition may be formed on the substrate (2) (FIG. 2 (a)), and the layer (1) may be exposed (FIG. 2 (b)) and then developed. After the development, heating may be performed.

【0004】着色感光性組成物としては、例えば着色剤
(A)、バインダーポリマー(B)、光重合性化合物
(C)および光重合開始剤(D)を含有するものが使用
される。かかる着色感光性樹脂組成物は、例えばクリー
ンルームの中で着色剤(A)および溶剤(E)の混合物
をバインダーポリマー(B)、光重合性化合物(C)、
光重合開始剤(D)と室温で混合する方法により製造さ
れる。クリーンルームの温度は通常、23℃に設定され
ている。
As the colored photosensitive composition, for example, a composition containing a colorant (A), a binder polymer (B), a photopolymerizable compound (C) and a photopolymerization initiator (D) is used. Such a colored photosensitive resin composition is prepared, for example, by mixing a mixture of a colorant (A) and a solvent (E) in a clean room with a binder polymer (B), a photopolymerizable compound (C),
It is produced by a method of mixing with the photopolymerization initiator (D) at room temperature. The temperature of the clean room is usually set at 23 ° C.

【0005】かかる着色感光性樹脂組成物をパターンニ
ングして形成される着色パターン(5)は、その厚みが
薄いものが好ましい。厚みが薄くても充分に着色された
着色パターンを得るためには、着色剤(A)を高濃度で
含有する着色感光性組成物を使用すればよい。
The colored pattern (5) formed by patterning the colored photosensitive resin composition is preferably thin. In order to obtain a colored pattern that is sufficiently colored even if the thickness is small, a colored photosensitive composition containing the coloring agent (A) at a high concentration may be used.

【0006】しかし、従来の製造方法によって着色剤を
高濃度で含有する着色感光性樹脂組成物を製造すると、
得られた着色感光性樹脂組成物の粘度が長期間保存する
間に大きくなる場合があった。着色感光性樹脂組成物の
粘度が大きいと、形成される着色パターンの厚みを薄く
することが困難となる傾向にある。
However, when a colored photosensitive resin composition containing a coloring agent at a high concentration is produced by a conventional production method,
In some cases, the viscosity of the obtained colored photosensitive resin composition increased during long-term storage. If the viscosity of the colored photosensitive resin composition is large, it tends to be difficult to reduce the thickness of the formed colored pattern.

【0007】着色剤(A)として、黒色着色剤を用いて
得られる着色感光性樹脂組成物(以下、黒色着色感光性
樹脂組成物ということがある。)を用いてブラックマト
リックスを製造するには、例えば黒色着色感光性樹脂組
成物をパターンニングして黒色着色パターンを形成すれ
ばよく、具体的には、例えば黒色着色感光性樹脂組成物
からなる層(1)を基板(2)の上に形成し(図2
(a))、該層(1)を露光した後(図2(b))、現像すれ
ばよい。現像後、加熱してもよい。
To produce a black matrix by using a colored photosensitive resin composition obtained by using a black coloring agent as the coloring agent (A) (hereinafter sometimes referred to as a black colored photosensitive resin composition). For example, a black-colored photosensitive resin composition may be patterned to form a black-colored pattern. Specifically, for example, a layer (1) made of a black-colored photosensitive resin composition is formed on a substrate (2). (Fig. 2
(a)), after exposing the layer (1) (FIG. 2 (b)), it may be developed. After the development, heating may be performed.

【0008】かくして、形成されるブラックマトリック
ス(5BM)は、その厚みが薄いものが好ましい。厚み
が薄くても充分に着色されたブラックマトリックスを得
るためには、黒色着色剤(A)を高濃度で含有する黒色
着色感光性組成物を使用すればよい。
The black matrix (5BM) thus formed preferably has a small thickness. In order to obtain a black matrix which is sufficiently colored even if it is thin, a black colored photosensitive composition containing the black colorant (A) at a high concentration may be used.

【0009】しかし、従来の製造方法で黒色着色剤を高
濃度で含有する黒色着色感光性樹脂組成物を製造する
と、得られた黒色着色感光性樹脂組成物の粘度が長期間
保存する間に大きくなる場合があった。黒色着色感光性
樹脂組成物の粘度が大きいと、形成されるブラックマト
リックス(5BM)の厚みを薄くすることが困難となる
傾向にある。
However, when a black-colored photosensitive resin composition containing a high concentration of a black colorant is produced by a conventional production method, the viscosity of the obtained black-colored photosensitive resin composition increases during storage for a long period of time. There was a case. If the viscosity of the black colored photosensitive resin composition is large, it tends to be difficult to reduce the thickness of the formed black matrix (5BM).

【0010】また、従来の方法で製造した黒色着色感光
性樹脂組成物を長期間保存すると、これを用いて得られ
るブラックマトリックス(5BM)のラインパターン再
現性が保存前に比べて低下したり、現像マージンが保存
前に比べて狭くなったりして、安定した品質のカラーフ
ィルターを得ることが困難になる場合があった。
When the black colored photosensitive resin composition produced by the conventional method is stored for a long period of time, the reproducibility of the line pattern of the black matrix (5BM) obtained by using the composition becomes lower than before storage, In some cases, the development margin became narrower than before storage, making it difficult to obtain a stable quality color filter.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明者は、高
濃度で着色剤を含有しても、長期間保存する間に粘度が
大きくならない着色感光性樹脂組成物、また高濃度で黒
色着色剤を含有しても、長期間保存する間に粘度が大き
くならず、ラインパターン安定性や現像マージンが変化
しない着色感光性樹脂組成物を開発するべく鋭意検討し
た結果、着色剤(A)および溶剤(E)をバインダーポ
リマー(B)、光重合性化合物(C)および光重合開始
剤(D)と混合したのち、比較的高い温度で保温するこ
とによって得られる着色感光性樹脂組成物は、上記の課
題を解決できることを見出し、本発明に至った。
Accordingly, the present inventors have developed a colored photosensitive resin composition which does not increase in viscosity during long-term storage even if it contains a colorant at a high concentration, and a black colorant at a high concentration. Even after the long term storage, the viscosity did not increase during storage for a long period of time, and as a result of extensive studies to develop a colored photosensitive resin composition in which the line pattern stability and the development margin did not change, the colorant (A) and the solvent were The colored photosensitive resin composition obtained by mixing (E) with the binder polymer (B), the photopolymerizable compound (C) and the photopolymerization initiator (D) and then keeping the temperature at a relatively high temperature is as described above. The present inventors have found that the above problem can be solved, and have reached the present invention.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、
(1)着色剤(A)および溶剤(E)の混合物をバイン
ダーポリマー(B)、光重合性化合物(C)および光重
合開始剤(D)と混合したのち、25℃以上80℃以下
の温度で保温することを特徴とする着色感光性樹脂組成
物の製造方法を提供するものである。さらに、本発明
は、(2)着色剤(A)が黒色着色剤である前記(1)
に記載の製造方法を提供するものである。
That is, the present invention provides:
(1) After mixing a mixture of the colorant (A) and the solvent (E) with the binder polymer (B), the photopolymerizable compound (C) and the photopolymerization initiator (D), the temperature is from 25 ° C to 80 ° C. The present invention provides a method for producing a colored photosensitive resin composition, characterized in that the composition is kept warm. Furthermore, in the present invention, (2) the colorant (A) is a black colorant.
The present invention also provides a production method described in (1).

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の製造方法に適用される着
色剤(A)は、有機物である有機着色剤であってもよい
し、無機物である無機着色剤であってもよい。有機着色
剤は、顔料であってもよいし、染料であってもよい。ま
た、合成色素であってもよいし、天然色素であってもよ
い。無機着色剤は、金属酸化物、金属錯塩、硫酸バリウ
ムの無機塩(体質顔料)などの無機顔料であってもよ
い。かかる着色剤のなかでも、耐熱性、発色性に優れる
点で、有機着色剤、さらには有機顔料が好ましく用いら
れる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The colorant (A) applied to the production method of the present invention may be an organic colorant which is an organic substance or an inorganic colorant which is an inorganic substance. The organic colorant may be a pigment or a dye. Further, it may be a synthetic dye or a natural dye. The inorganic colorant may be an inorganic pigment such as a metal oxide, a metal complex salt, or an inorganic salt of barium sulfate (enrichment pigment). Among these colorants, an organic colorant and further an organic pigment are preferably used in that they are excellent in heat resistance and color development.

【0014】有機顔料として具体的には、カラーインデ
ックス(The Society of Dyers andColourists出版)で
ピグメント(Pigment)に分類されている化合物が挙げ
られる。具体的にはC.I.ピグメントイエロー1、
C.I.ピグメントイエロー3、C.I.ピグメントイ
エロー12、C.I.ピグメントイエロー13、C.
I.ピグメントイエロー14、C.I.ピグメントイエ
ロー15、C.I.ピグメントイエロー16、C.I.
ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエロー
20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグ
メントイエロー31、C.I.ピグメントイエロー5
3、C.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメ
ントイエロー86、C.I.ピグメントイエロー93、
C.I.ピグメントイエロー94、C.I.ピグメント
イエロー109、C.I.ピグメントイエロー110、
C.I.ピグメントイエロー117、C.I.ピグメン
トイエロー125、C.I.ピグメントイエロー12
8、C.I.ピグメントイエロー137、C.I.ピグ
メントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー1
39、C.I.ピグメントイエロー147、C.I.ピ
グメントイエロー148、C.I.ピグメントイエロー
150、C.I.ピグメントイエロー153、C.I.
ピグメントイエロー154、C.I.ピグメントイエロ
ー166、C.I.ピグメントイエロー173、C.
I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメントオレ
ンジ31、C.I.ピグメントオレンジ36、C.I.
ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレンジ
40、C.I.ピグメントオレンジ42、C.I.ピグ
メントオレンジ43、C.I.ピグメントオレンジ5
1、C.I.ピグメントオレンジ55、C.I.ピグメ
ントオレンジ59、C.I.ピグメントオレンジ61、
C.I.ピグメントオレンジ64、C.I.ピグメント
オレンジ65、C.I.ピグメントオレンジ71、C.
I.ピグメントオレンジ73、C.I.ピグメントレッ
ド9、C.I.ピグメントレッド97、C.I.ピグメ
ントレッド105、C.I.ピグメントレッド122、
C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメント
レッド144、C.I.ピグメントレッド149、C.
I.ピグメントレッド166、C.I.ピグメントレッ
ド168、C.I.ピグメントレッド176、C.I.
ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド1
80、C.I.ピグメントレッド192、C.I.ピグ
メントレッド215、C.I.ピグメントレッド21
6、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメ
ントレッド242、C.I.ピグメントレッド254、
C.I.ピグメンレッド264、C.I.ピグメントレ
ッド265、C.I.ピグメントブルー15、C.I.
ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブルー
15:4、C.I.ピグメントブルー15:6、C.
I.ピグメントブルー60、C.I.ピグメントバイオ
レット1、C.I.ピグメントバイオレット19、C.
I.ピグメントバイオレット23、C.I.ピグメント
バイオレット29、C.I.ピグメントバイオレット3
2、C.I.ピグメントバイオレット36、C.I.ピ
グメントバイオレット38、C.I.ピグメントグリー
ン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグ
メントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン2
5、などが挙げられる。これらの有機顔料は、それぞれ
単独で用いてもよいし、2種以上を混合して用いてもよ
い。
Specific examples of the organic pigment include compounds classified as Pigment in the Color Index (published by The Society of Dyers and Colorists). Specifically, C.I. I. Pigment Yellow 1,
C. I. Pigment Yellow 3, C.I. I. Pigment Yellow 12, C.I. I. Pigment Yellow 13, C.I.
I. Pigment Yellow 14, C.I. I. Pigment Yellow 15, C.I. I. Pigment Yellow 16, C.I. I.
Pigment Yellow 17, C.I. I. Pigment Yellow 20, C.I. I. Pigment Yellow 24, C.I. I. Pigment Yellow 31, C.I. I. Pigment Yellow 5
3, C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment Yellow 86, C.I. I. Pigment Yellow 93,
C. I. Pigment Yellow 94, C.I. I. Pigment yellow 109, C.I. I. Pigment Yellow 110,
C. I. Pigment Yellow 117, C.I. I. Pigment yellow 125, C.I. I. Pigment Yellow 12
8, C.I. I. Pigment yellow 137, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment Yellow 1
39, C.I. I. Pigment yellow 147, C.I. I. Pigment yellow 148, C.I. I. Pigment Yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 153, C.I. I.
Pigment yellow 154, C.I. I. Pigment yellow 166, C.I. I. Pigment Yellow 173, C.I.
I. Pigment Orange 13, C.I. I. Pigment Orange 31, C.I. I. Pigment Orange 36, C.I. I.
Pigment Orange 38, C.I. I. Pigment Orange 40, C.I. I. Pigment Orange 42, C.I. I. Pigment Orange 43, C.I. I. Pigment Orange 5
1, C.I. I. Pigment Orange 55, C.I. I. Pigment Orange 59, C.I. I. Pigment Orange 61,
C. I. Pigment Orange 64, C.I. I. Pigment Orange 65, C.I. I. Pigment Orange 71, C.I.
I. Pigment Orange 73, C.I. I. Pigment Red 9, C.I. I. Pigment Red 97, C.I. I. Pigment Red 105, C.I. I. Pigment Red 122,
C. I. Pigment Red 123, C.I. I. Pigment red 144, C.I. I. Pigment Red 149, C.I.
I. Pigment Red 166, C.I. I. Pigment Red 168, C.I. I. Pigment red 176, C.I. I.
Pigment Red 177, C.I. I. Pigment Red 1
80, C.I. I. Pigment Red 192, C.I. I. Pigment Red 215, C.I. I. Pigment Red 21
6, C.I. I. Pigment Red 224, C.I. I. Pigment Red 242, C.I. I. Pigment Red 254,
C. I. Pigment Red 264, C.I. I. Pigment Red 265, C.I. I. Pigment Blue 15, C.I. I.
Pigment Blue 15: 3, C.I. I. Pigment Blue 15: 4, C.I. I. Pigment Blue 15: 6, C.I.
I. Pigment Blue 60, C.I. I. Pigment Violet 1, C.I. I. Pigment Violet 19, C.I.
I. Pigment Violet 23, C.I. I. Pigment Violet 29, C.I. I. Pigment Violet 3
2, C.I. I. Pigment Violet 36, C.I. I. Pigment Violet 38, C.I. I. Pigment Green 7, C.I. I. Pigment Green 36, C.I. I. Pigment Brown 23, C.I. I. Pigment Brown 2
5, and the like. These organic pigments may be used alone or in combination of two or more.

【0015】本発明の製造方法に適用される黒色着色剤
(A)は、有機物である有機黒色着色剤であってもよい
し、無機物である無機黒色着色剤であってもよい。有機
黒色着色剤は、顔料であってもよいし、染料であっても
よい。また、合成色素であってもよいし、天然色素であ
ってもよい。無機黒色着色剤は、金属酸化物、金属錯塩
などの無機顔料であってもよい。かかる黒色着色剤のな
かでも、耐熱性、発色性に優れる点で、黒色顔料が好ま
しい。該黒色顔料として、例えばカラーインデックス
(The Society of Dyers and Colourists出版)でピグ
メント(Pigment)に分類されているものを挙げること
ができる。具体的には、C.I.ピグメントブラック
1、C.I.ピグメントブラック7、C.I.ピグメン
トブラック31、C.I.ピグメントブラック32など
が挙げられる。
The black colorant (A) applied to the production method of the present invention may be an organic black colorant that is an organic substance or an inorganic black colorant that is an inorganic substance. The organic black colorant may be a pigment or a dye. Further, it may be a synthetic dye or a natural dye. The inorganic black colorant may be an inorganic pigment such as a metal oxide or a metal complex salt. Among these black colorants, black pigments are preferred because of their excellent heat resistance and color development. Examples of the black pigment include pigments classified as Pigment in a color index (published by The Society of Dyers and Colorists). Specifically, C.I. I. Pigment Black 1, C.I. I. Pigment Black 7, C.I. I. Pigment Black 31, C.I. I. Pigment Black 32 and the like.

【0016】かかる黒色顔料としては、カーボンブラッ
クが好ましく用いられる。カーボンブラックとしては、
例えばファーネスブラック、チャンネルブラック、アセ
チレンブラック、ランプブラック等のいずれかの種類の
ものを用いることができるが、このうちファーネスブラ
ックが好ましい。かかるカーボンブラックは、前述のカ
ラーインデックスに記載のものでもよいし、記載のない
ものでもよい。これらの黒色顔料は、それぞれ単独で用
いてもよいし、2種以上を混合して用いてもよい。
As such a black pigment, carbon black is preferably used. As carbon black,
For example, any one of furnace black, channel black, acetylene black, lamp black and the like can be used, and among them, furnace black is preferable. Such carbon black may or may not be described in the above-mentioned color index. These black pigments may be used alone or in combination of two or more.

【0017】有機顔料、例えば黒色有機顔料は必要に応
じて、ロジン処理、酸性基または塩基性基が導入された
顔料誘導体などを用いた表面処理、高分子化合物などに
よる顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによ
る微粒化処理、あるいは不純物を除去するための有機溶
剤や水などによる洗浄処理が施されていてもよい。
If necessary, an organic pigment, for example, a black organic pigment, may be treated with a rosin, a surface treatment using a pigment derivative having an acidic or basic group introduced, a graft treatment with a polymer compound or the like on the pigment surface, A pulverization treatment by a sulfuric acid pulverization method or a cleaning treatment with an organic solvent or water for removing impurities may be performed.

【0018】着色剤(A)の使用量は、目的とする着色
感光性樹脂組成物の揮発成分が揮発した後の固形分に対
して質量分率で通常5%以上、好ましくは10%以上で
あり、通常60%以下、好ましくは50%以下の範囲で
あるが、着色剤(A)の使用量が固形分に対して、例え
ば20%以上、さらには30%以上であっても、得られ
る着色感光性樹脂組成物は保存中における粘度の変化が
少ない。また、着色剤(A)として有機顔料を用いる場
合、該有機顔料の使用量は着色剤(A)の全量に対して
質量分率で通常50%以上、好ましくは55%以上であ
る。
The amount of the colorant (A) to be used is usually 5% or more, preferably 10% or more by mass fraction based on the solid content after the volatile components of the objective colored photosensitive resin composition have volatilized. Yes, it is usually in the range of 60% or less, preferably 50% or less. However, even when the amount of the colorant (A) used is, for example, 20% or more, and more preferably 30% or more, based on the solid content. The colored photosensitive resin composition has little change in viscosity during storage. When an organic pigment is used as the coloring agent (A), the amount of the organic pigment used is usually 50% or more, preferably 55% or more, by mass fraction based on the total amount of the coloring agent (A).

【0019】着色剤(A)として、黒色着色剤を用いた
場合も、その使用量は、上記と同様である。例えば、黒
色着色剤(A)として黒色顔料を用いる場合、該黒色顔
料の使用量は黒色着色剤(A)の全量に対して質量分率
で通常50%以上、好ましくは55%以上である。
When a black colorant is used as the colorant (A), the amount used is the same as described above. For example, when a black pigment is used as the black colorant (A), the amount of the black pigment used is usually 50% or more, preferably 55% or more, by mass fraction based on the total amount of the black colorant (A).

【0020】バインダーポリマー(B)は、着色剤を分
散し得、着色感光性樹脂組成物層(1)に、現像におい
て、その光線未照射領域(11)を除去し、光線照射領
域(12)を残す機能を付与するポリマーが使用され
る。かかるバインダーポリマーとしては、例えばカルボ
キシル基を有する単量体単位からなるポリマーが好まし
い。
The binder polymer (B) can disperse a colorant, and remove the unirradiated area (11) of the colored photosensitive resin composition layer (1) during the development to the colored photosensitive resin composition layer (1). A polymer that imparts the function of leaving a polymer is used. As such a binder polymer, for example, a polymer composed of a monomer unit having a carboxyl group is preferable.

【0021】カルボキシル基を有する単量体としては、
例えば不飽和モノカルボン酸、不飽和ジカルボン酸など
の分子中に1個以上のカルボキシル基を有する不飽和カ
ルボン酸が挙げられ、具体的にはアクリル酸、メタクリ
ル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸
などが挙げられる。かかる単量体は、炭素−炭素不飽和
結合を有する化合物であり、それぞれ単独でまたは2種
以上を組み合わせて用いることができる。
As the monomer having a carboxyl group,
Examples thereof include unsaturated carboxylic acids having one or more carboxyl groups in the molecule, such as unsaturated monocarboxylic acids and unsaturated dicarboxylic acids. Specific examples include acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, itaconic acid, and maleic acid. And fumaric acid. Such a monomer is a compound having a carbon-carbon unsaturated bond, and can be used alone or in combination of two or more.

【0022】バインダーポリマーは、かかるカルボキシ
ル基を有する単量体の単独重合体であってもよいが、該
単量体と他の単量体との共重合体であることが好まし
い。他の単量体としては、炭素−炭素不飽和結合を有
し、カルボキシル基を有する単量体と共重合し得る単量
体であり、具体的には、例えばスチレン、α−メチルス
チレン、ビニルトルエンなどの芳香族ビニル化合物、メ
チルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアク
リレート、エチルメタクリレート、ブチルアクリレー
ト、ブチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアク
リレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベン
ジルアクリレート、ベンジルメタクリレートなどの不飽
和カルボン酸エステル化合物、アミノエチルアクリレー
トなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル化合
物、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレー
トなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル化合物、
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのカルボン酸ビニ
ルエステル化合物、アクリロニトリル、メタクリロニト
リル、α−クロロアクリロニトリルなどのシアン化ビニ
ル化合物、3−メチル−3−アクリロキシメチルオキセ
タン、3−メチル−3−メタクリロキシメチルオキセタ
ン、3−エチル−3−アクリロキシメチルオキセタン、
3−エチル−3−メタクリロキシメチルオキセタン、3
−メチル−3−アクリロキシエチルオキセタン、3−メ
チル−3−メタクリロキシエチルオキセタン、3−メチ
ル−3−アクリロキシエチルオキセタン、3−メチル−
3−メタクリロキシエチルオキセタンのような不飽和カ
ルボン酸オキセタンエステル化合物などが挙げられる。
これらの単量体はそれぞれ単独でまたは2種以上を組み
合わせて用いられる。
The binder polymer may be a homopolymer of such a monomer having a carboxyl group, but is preferably a copolymer of the monomer and another monomer. The other monomer is a monomer having a carbon-carbon unsaturated bond and copolymerizable with a monomer having a carboxyl group, specifically, for example, styrene, α-methylstyrene, vinyl Aromatic vinyl compounds such as toluene, unsaturated carboxylic acid esters such as methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, butyl acrylate, butyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, benzyl acrylate and benzyl methacrylate Compounds, unsaturated carboxylic acid aminoalkyl ester compounds such as aminoethyl acrylate, glycidyl acrylate, unsaturated carboxylic acid glycidyl ester compounds such as glycidyl methacrylate,
Carboxylic acid vinyl ester compounds such as vinyl acetate and vinyl propionate; vinyl cyanide compounds such as acrylonitrile, methacrylonitrile and α-chloroacrylonitrile; 3-methyl-3-acryloxymethyloxetane; 3-methyl-3-methacryloxy Methyl oxetane, 3-ethyl-3-acryloxymethyl oxetane,
3-ethyl-3-methacryloxymethyl oxetane, 3
-Methyl-3-acryloxyethyl oxetane, 3-methyl-3-methacryloxyethyl oxetane, 3-methyl-3-acryloxyethyl oxetane, 3-methyl-
Examples include unsaturated carboxylic acid oxetane ester compounds such as 3-methacryloxyethyl oxetane.
These monomers are used alone or in combination of two or more.

【0023】かかる共重合体としては、例えば3−エチ
ル−3−メタクリロキシメチルオキセタン/ベンジルメ
タクリレート/メタクリル酸共重合体、3−エチル−3
−メタクリロキシメチルオキセタン/ベンジルメタクリ
レート/メタクリル酸/スチレン共重合体、3−エチル
−3−メタクリロキシメチルオキセタン/メチルメタク
リレート/メタクリル酸共重合体、3−エチル−3−メ
タクリロキシメチルオキセタン/メチルメタクリレート
/メタクリル酸/スチレン共重合体などが挙げられる。
かかる共重合体におけるカルボキシル基を有する単量体
単位の含有量は質量分率で5%以上50%以下、好まし
くは10%以上40%以下程度である。
Examples of such a copolymer include 3-ethyl-3-methacryloxymethyloxetane / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer and 3-ethyl-3
-Methacryloxymethyl oxetane / benzyl methacrylate / methacrylic acid / styrene copolymer, 3-ethyl-3-methacryloxymethyl oxetane / methyl methacrylate / methacrylic acid copolymer, 3-ethyl-3-methacryloxymethyl oxetane / methyl methacrylate / Methacrylic acid / styrene copolymer.
The content of the monomer unit having a carboxyl group in such a copolymer is from 5% to 50% by mass fraction, preferably from about 10% to 40%.

【0024】また、バインダーポリマーとして、例えば
実質的に下記一般式(I)で表わされる化合物と多塩基
酸またはその酸無水物とを反応させて得られる化合物な
どを用いることもできる。 ・・・・・(I) (式中、R1およびR2は、それぞれ独立に、水素原子、
炭素数1〜5のアルキル基、またはハロゲン原子であ
る。Xは、単結合、−CO−、−SO2−、−C(C
32−、−Si(CH32−、−CH2−、−C(C
32−、−O−、または で示される基である。R3は、置換基を有しても良い炭
素数1〜10のアルキレン基を示す。該置換基は、水酸
基、ハロゲン原子、水酸基を有しても良い炭素数1〜1
0のアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素
数6〜15のアリール基、炭素数7〜15のアラルキル
基、炭素数2〜10のアルケニル基、または炭素数2〜
10のアシルオキシ基である。R4は、水素原子または
メチル基を示す。mは、0〜5の整数、nは、1〜10
の整数を示す。)着色剤が黒色着色剤の場合には、バイ
ンダーポリマーとして、上記一般式(I)で表わされる
化合物と多塩基酸またはその酸無水物とを反応させて得
られる化合物を用いることが好ましく、さらにビスフェ
ノールフルオレン骨格を有する化合物と多塩基酸または
その酸無水物とを反応させて得られる化合物を用いるこ
とが好ましい。
Further, as the binder polymer, for example, a compound obtained by reacting a compound represented by the following general formula (I) with a polybasic acid or an acid anhydride thereof can be used. (I) (wherein R 1 and R 2 are each independently a hydrogen atom,
It is an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms or a halogen atom. X represents a single bond, -CO -, - SO 2 - , - C (C
F 3) 2 -, - Si (CH 3) 2 -, - CH 2 -, - C (C
H 3 ) 2 —, —O—, or Is a group represented by R 3 represents an optionally substituted alkylene group having 1 to 10 carbon atoms. The substituent has a hydroxyl group, a halogen atom, and a carbon number of 1 to 1 which may have a hydroxyl group.
An alkyl group having 0, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an aryl group having 6 to 15 carbon atoms, an aralkyl group having 7 to 15 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, or 2 to 2 carbon atoms
10 acyloxy groups. R 4 represents a hydrogen atom or a methyl group. m is an integer of 0 to 5, n is 1 to 10
Indicates an integer. When the colorant is a black colorant, it is preferable to use, as the binder polymer, a compound obtained by reacting the compound represented by the general formula (I) with a polybasic acid or an acid anhydride thereof. It is preferable to use a compound obtained by reacting a compound having a bisphenolfluorene skeleton with a polybasic acid or an acid anhydride thereof.

【0025】かかるバインダーポリマーは、着色剤が黒
色着色剤以外の場合には、ポリスチレンを標準としてゲ
ルパーミェーションクロマトグラフィー(GPC)で求
められる重量平均分子量(Mw)が1,000〜40
0,000の範囲、さらには5,000〜400,00
0の範囲、特に10,000〜300,000の範囲に
あるのが好ましい。着色剤が黒色着色剤の場合には、該
重量平均分子量(Mw)が2,000〜13,000の
範囲にあるのが好ましい。
When the colorant is other than a black colorant, the binder polymer has a weight average molecular weight (Mw) determined by gel permeation chromatography (GPC) of 1,000 to 40 using polystyrene as a standard.
In the range of 0000, or even 5,000-400,000.
It is preferably in the range of 0, especially in the range of 10,000 to 300,000. When the colorant is a black colorant, the weight average molecular weight (Mw) is preferably in the range of 2,000 to 13,000.

【0026】バインダーポリマー(B)の使用量は、着
色感光性組成物の固形分に対して質量分率で通常5%以
上、好ましくは20%以上、通常90%以下、好ましく
は70%以下程度の範囲である。
The amount of the binder polymer (B) used is usually about 5% or more, preferably about 20% or more, usually about 90% or less, and preferably about 70% or less by mass fraction based on the solid content of the colored photosensitive composition. Range.

【0027】光重合性化合物(C)は、光を照射される
ことによって光重合開始剤(D)から発生した活性ラジ
カル、酸などによって重合し得る化合物であって、例え
ば重合性炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙
げられる。かかる化合物は、単官能の光重合性化合物で
あってもよいし、2官能または3官能以上の多官能の光
重合性化合物であってもよい。
The photopolymerizable compound (C) is a compound which can be polymerized by an active radical, acid or the like generated from the photopolymerization initiator (D) upon irradiation with light. Compounds having a saturated bond are exemplified. Such a compound may be a monofunctional photopolymerizable compound or a bifunctional or trifunctional or higher polyfunctional photopolymerizable compound.

【0028】単官能光重合性化合物としては、例えばノ
ニルフェニルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキ
シ−3−フェノキシプロピルアクリレート、2−エチル
ヘキシルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキシエ
チルアクリレート、N−ビニルピロリドンなどが挙げら
れる。
Examples of the monofunctional photopolymerizable compound include nonylphenyl carbitol acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, 2-ethylhexyl carbitol acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, N-vinylpyrrolidone, and the like. .

【0029】2官能光重合性化合物としては、例えば
1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,6−ヘ
キサンジオールジメタクリレート、エチレングリコール
ジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ネオペン
チルグリコールジメタクリレート、トリエチレングリコ
ールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタク
リレート、ビスフェノールAのビス(アクリロイロキシ
エチル)エーテル、3−メチルペンタンジオールジアク
リレート、3−メチルペンタンジオールジメタクリレー
トなどが挙げられる。
Examples of the bifunctional photopolymerizable compound include 1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, neopentyl glycol diacrylate, and neopentyl glycol. Examples include dimethacrylate, triethylene glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, bis (acryloyloxyethyl) ether of bisphenol A, 3-methylpentanediol diacrylate, and 3-methylpentanediol dimethacrylate.

【0030】3官能以上の多官能光重合性化合物として
は、例えばトリメチロールプロパントリアクリレート、
トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエ
リスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトール
トリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアク
リレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペ
ンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリト
ールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。
Examples of the trifunctional or higher polyfunctional photopolymerizable compound include trimethylolpropane triacrylate,
Trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, etc. Is mentioned.

【0031】かかる光重合性化合物はそれぞれ単独でま
たは2種以上を組み合わせて用いられるが、2官能以上
の多官能光重合性化合物が好ましく用いられ、2種以上
の光重合性化合物を用いる場合には1以上の多官能光重
合性化合物を用いることが好ましい。
These photopolymerizable compounds are used alone or in combination of two or more. However, a bifunctional or higher polyfunctional photopolymerizable compound is preferably used, and when two or more photopolymerizable compounds are used. It is preferable to use one or more polyfunctional photopolymerizable compounds.

【0032】かかる光重合性化合物(C)の使用量は、
バインダーポリマー(B)および光重合性化合物(C)
の合計量100質量部あたり通常は0.1質量部以上7
0質量部以下、好ましくは1質量部以上60質量部以下
である。
The amount of the photopolymerizable compound (C) used is:
Binder polymer (B) and photopolymerizable compound (C)
0.1 parts by mass or more per 100 parts by mass of
0 parts by mass or less, preferably 1 part by mass or more and 60 parts by mass or less.

【0033】光重合開始剤(D)は、光を照射されるこ
とによって活性ラジカルを発生する活性ラジカル発生
剤、酸を発生する酸発生剤などが挙げられ、例えば活性
ラジカル発生剤としては、アセトフェノン系光重合開始
剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重
合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤、トリアジン
系光重合開始剤などが挙げられる。
Examples of the photopolymerization initiator (D) include an active radical generator that generates an active radical upon irradiation with light, an acid generator that generates an acid, and the like. Examples of the active radical generator include acetophenone. Photopolymerization initiators, benzoin photopolymerization initiators, benzophenone photopolymerization initiators, thioxanthone photopolymerization initiators, and triazine photopolymerization initiators.

【0034】アセトフェノン系光重合開始剤としては、
例えばジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2
−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジル
ジメチルケタール、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−
〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕プロパン
−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン、2−メチル−2−モルホリノ−1−(4−メチル
チオフェニル)プロパン−1−オン、2−ベンジル−2
−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブ
タン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−
〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−
オンのオリゴマーなどが挙げられる。
As the acetophenone-based photopolymerization initiator,
For example, diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2
-Methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethylketal, 2-hydroxy-2-methyl-1-
[4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] propan-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-methyl-2-morpholino-1- (4-methylthiophenyl) propan-1-one, 2-benzyl- 2
-Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-
[4- (1-methylvinyl) phenyl] propane-1-
ON oligomers and the like.

【0035】ベンゾイン系光重合開始剤としては、例え
ばベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン
エチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベ
ンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。
Examples of the benzoin-based photopolymerization initiator include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether and the like.

【0036】ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、
例えばベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチ
ル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−
4’−メチルジフェニルサルファイド、3,3’,4,
4’−テトラ(tert−ブチルパーオキシカルボニ
ル)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフ
ェノンなどが挙げられる。
As the benzophenone-based photopolymerization initiator,
For example, benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-
4′-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ′, 4
4'-tetra (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone and the like.

【0037】チオキサントン系光重合開始剤としては、
例えば2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロ
ピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサント
ン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4
−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
As the thioxanthone-based photopolymerization initiator,
For example, 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4
-Propoxythioxanthone and the like.

【0038】トリアジン系光重合開始剤としては、例え
ば2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メト
キシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビ
ス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチ
ル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリク
ロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジ
ン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メ
トキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−
ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフ
ラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジ
ン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−
(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリア
ジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−
(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニ
ル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリク
ロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニ
ル)エテニル〕−1,3,5−トリアジンなどが挙げら
れる。
Examples of the triazine-based photopolymerization initiator include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine and 2,4-bis (trichloromethyl)- 6- (4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6 -(4-methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-
Bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2-
(Furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2-
(4-Diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3 , 5-triazine and the like.

【0039】活性ラジカル発生剤として、例えば2,
4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオ
キサイド、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2
−エチルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナ
ンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキ
シル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもで
きる。
As the active radical generator, for example,
4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,2'-bis (o-chlorophenyl)-
4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole, 10-butyl-2-chloroacridone, 2
-Ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, methyl phenylglyoxylate, titanocene compounds and the like can also be used.

【0040】活性ラジカル発生剤として、市販のものを
用いることもできる。市販の光重合開始剤としては、例
えば商品名「Irgacure−907」(アセトフェ
ノン系光重合開始剤、CIBA−GEIGY社製)など
が挙げられる。
As the active radical generator, a commercially available product can be used. Examples of commercially available photopolymerization initiators include “Irgacure-907” (trade name) (acetophenone-based photopolymerization initiator, manufactured by CIBA-GEIGY).

【0041】酸発生剤としては、例えば4−ヒドロキシ
フェニルジメチルスルホニウムp−トルエンスルホナー
ト、4−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキ
サフルオロアンチモネート、4−アセトキシフェニルジ
メチルスルホニウムp−トルエンスルホナート、4−ア
セトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキ
サフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウム
p−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウム
ヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウ
ムp−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウム
ヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、
ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類
などを挙げることができる。
Examples of the acid generator include 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-hydroxyphenyldimethylsulfonium hexafluoroantimonate, 4-acetoxyphenyldimethylsulfonium p-toluenesulfonate, 4-acetoxyphenyl. Onium salts such as methyl benzylsulfonium hexafluoroantimonate, triphenylsulfonium p-toluenesulfonate, triphenylsulfonium hexafluoroantimonate, diphenyliodonium p-toluenesulfonate, diphenyliodonium hexafluoroantimonate,
Examples include nitrobenzyl tosylate and benzoin tosylate.

【0042】また、活性ラジカル発生剤として上記した
化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化
合物もあり、例えばトリアジン系光重合開始剤は、酸発
生剤としても使用される。
Further, among the above-mentioned compounds as active radical generators, there are also compounds which generate an acid simultaneously with an active radical. For example, a triazine-based photopolymerization initiator is also used as an acid generator.

【0043】これらの光重合開始剤はそれぞれ単独でま
たは2種以上を組み合わせて用いることができる。
These photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two or more.

【0044】本発明の着色感光性組成物は、光重合開始
助剤を含有していてもよい。光重合開始助剤は、光重合
開始剤と組み合わせて、光重合開始剤(D)によって開
始した光重合性化合物(C)の重合を促進するために用
いられる化合物である。光重合開始助剤としては、例え
ばアミン系光重合開始助剤、アルコキシアントラセン系
光重合開始助剤などが挙げられる。
The colored photosensitive composition of the present invention may contain a photopolymerization initiation aid. The photopolymerization initiation aid is a compound used in combination with the photopolymerization initiator to promote the polymerization of the photopolymerizable compound (C) initiated by the photopolymerization initiator (D). Examples of the photopolymerization initiation aid include amine-based photopolymerization initiation aids and alkoxyanthracene-based photopolymerization initiation aids.

【0045】アミン系光重合開始助剤としては、例えば
トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、ト
リイソプロパノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香
酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジ
メチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸2−ジメチ
ルアミノエチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチ
ルヘキシル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,
4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称ミ
ヒラーズケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)
ベンゾフェノン、4,4’−ビス(エチルメチルアミ
ノ)ベンゾフェノンなどが挙げられる。
Examples of the amine-based photopolymerization initiation aid include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, and benzoic acid. 2-dimethylaminoethyl acid, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,
4'-bis (dimethylamino) benzophenone (commonly known as Michler's ketone), 4,4'-bis (diethylamino)
Benzophenone, 4,4′-bis (ethylmethylamino) benzophenone, and the like.

【0046】アルコキシアントラセン系光重合開始助剤
としては、例えば9,10−ジメトキシアントラセン、
2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,
10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10
−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。
Examples of the alkoxyanthracene-based photopolymerization initiation aid include 9,10-dimethoxyanthracene,
2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,
10-diethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10
-Diethoxyanthracene and the like.

【0047】光重合開始助剤として市販のものを用いる
こともでき、市販の光重合開始助剤としては、例えば商
品名「EAB−F」(保土谷化学工業(株)製)などが挙
げられる。
Commercially available photopolymerization initiation aids can be used. Examples of commercially available photopolymerization initiation aids include "EAB-F" (trade name, manufactured by Hodogaya Chemical Industry Co., Ltd.). .

【0048】かかる光重合開始助剤を用いる場合、その
使用量は、光重合開始剤1モルあたり通常10モル以
下、好ましくは0.01モル以上5モル以下である。
When such a photopolymerization initiator is used, its amount is usually 10 mol or less, preferably 0.01 mol or more and 5 mol or less per 1 mol of the photopolymerization initiator.

【0049】光重合開始剤(D)および光重合開始助剤
の使用量は、その合計量がバインダーポリマー(B)お
よび光重合性化合物(C)の合計量100質量部に対し
て通常3質量部以上30質量部以下、好ましくは5質量
部以上25質量部以下である。
The total amount of the photopolymerization initiator (D) and the photopolymerization initiation aid is usually 3 parts by mass based on 100 parts by mass of the total amount of the binder polymer (B) and the photopolymerizable compound (C). To 30 parts by mass, preferably 5 to 25 parts by mass.

【0050】溶剤(E)としては、通常の着色感光性組
成物に用いられると同様の溶剤が用いられ、例えばエチ
レングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコー
ルモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピ
ルエーテル及びエチレングリコールモノブチルエーテル
などのエチレングリコールモノアルキルエーテル類、ジ
エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリ
コールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロ
ピルエーテル及びジエチレングリコールジブチルエーテ
ルなどのジエチレングリコールジアルキルエーテル類、
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテ
ートなどのエチレングリコールアルキルエーテルアセテ
ート類、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセ
テート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセ
テート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルア
セテート、メトキシブチルアセテート及びメトキシペン
チルアセテートなどのアルキレングリコールアルキルエ
ーテルアセテート類、ベンゼン、トルエン、キシレンな
どの芳香族炭化水素類、メチルエチルケトン、アセト
ン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトン、シ
クロヘキサノンなどのケトン類、エタノール、プロパノ
ール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノー
ル、エチレングリコール、グリセリンなどのアルコール
類、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプ
ロピオン酸メチルなどのエステル類、γ−ブチロラクト
ンなどの環状エステル類などが挙げられる。かかる溶剤
は、それぞれ単独でまたは2種類以上を組み合わせて用
いることができ、その使用量は、溶剤で希釈された状態
の着色感光性組成物における含有量含有量が質量分率で
通常50%以上90%以下、好ましくは60%以上85
%以下となる程度である。
As the solvent (E), the same solvents as used for ordinary colored photosensitive compositions can be used, for example, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether and ethylene glycol monobutyl ether. Diethylene glycol dialkyl ethers such as ethylene glycol monoalkyl ethers, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether and diethylene glycol dibutyl ether;
Ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate and ethyl cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, alkylene glycol alkyl ether acetate such as methoxybutyl acetate and methoxypentyl acetate Benzene, toluene, xylene, etc., aromatic hydrocarbons, methyl ethyl ketone, acetone, methyl amyl ketone, methyl isobutyl ketone, ketones such as cyclohexanone, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, glycerin, etc. Alcohols, 3-ethoxypro Ethyl propionic acid, 3-esters such as methyl methoxypropionate, and cyclic esters such as γ- butyrolactone. Such solvents can be used alone or in combination of two or more, and the amount of the solvent used is generally 50% or more by mass fraction in the colored photosensitive composition diluted with the solvent. 90% or less, preferably 60% or more and 85
% Or less.

【0051】着色剤(A)、例えば黒色着色剤および溶
剤(E)の混合物は、かかる着色剤(A)と溶剤(E)
とを混合する方法によって得ることができる。かかる混
合物において、着色剤(A)はその種類によっては溶剤
(E)に溶解することなく分散した状態となることもあ
るが、本発明の製造方法において該混合物は、着色剤
(A)が溶解することなく、溶剤(E)に分散された状
態となっていてもよい。
The mixture of the colorant (A), for example, the black colorant and the solvent (E), is obtained by mixing the colorant (A) with the solvent (E).
Can be obtained by a method of mixing In such a mixture, depending on the type of the colorant (A), the colorant (A) may be in a dispersed state without being dissolved in the solvent (E). However, in the production method of the present invention, the colorant (A) is dissolved in the solvent. Without being performed, it may be in a state of being dispersed in the solvent (E).

【0052】着色剤(A)、例えば黒色着色剤および溶
剤(E)の混合物における着色剤(A)の含有量は、着
色剤(A)および溶剤(E)の合計量100質量部あた
り通常5質量部以上、好ましくは10質量部以上であ
り、通常60質量部以下、好ましくは30質量部以下で
ある。
The content of the colorant (A) in the mixture of the colorant (A), for example, the black colorant and the solvent (E) is usually 5 per 100 parts by mass of the total amount of the colorant (A) and the solvent (E). The amount is at least 10 parts by mass, preferably at least 10 parts by mass, usually at most 60 parts by mass, preferably at most 30 parts by mass.

【0053】着色剤(A)、例えば黒色着色剤および溶
剤(E)の混合物は顔料分散剤を含有していてもよい。
着色剤として顔料を用いる場合には、顔料分散剤を含有
することによって、混合物において顔料を分散すること
ができる。顔料分散剤としては、例えばポリエステル系
高分子分散剤、アクリル系高分子分散剤、ポリウレタン
系高分子分散剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界
面活性剤、ノニオン系界面活性剤などが挙げられ、これ
らはそれぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて用い
られる。顔料分散剤を用いる場合、混合物におけるその
含有量は、着色剤1質量部あたり通常0.01質量部以
上、好ましくは0.05質量部以上であり、通常1質量
部以下、好ましくは0.5質量部以下である。着色剤
(A)および溶剤(E)の混合物は、バインダーポリマ
ー(B)などを含有していてもよい。
The colorant (A), for example, a mixture of the black colorant and the solvent (E) may contain a pigment dispersant.
When a pigment is used as the colorant, the pigment can be dispersed in the mixture by including a pigment dispersant. Examples of the pigment dispersant include a polyester polymer dispersant, an acrylic polymer dispersant, a polyurethane polymer dispersant, a cationic surfactant, an anionic surfactant, a nonionic surfactant, and the like. These may be used alone or in combination of two or more. When a pigment dispersant is used, its content in the mixture is usually at least 0.01 part by mass, preferably at least 0.05 part by mass, and usually at most 1 part by mass, preferably at most 0.5 part by mass, per part by mass of the colorant. Not more than parts by mass. The mixture of the colorant (A) and the solvent (E) may contain a binder polymer (B) and the like.

【0054】本発明の製造方法では、かかる混合物をバ
インダーポリマー(B)、光重合性化合物(C)および
光重合開始剤(D)と混合する。混合する際の温度は、
溶剤(E)が凝固しない温度、例えば0℃以上であれば
よく、23℃またはそれ以下であってもよいが、25℃
以上、さらには30℃以上、特に35℃以上であること
が好ましく、通常は80℃以下、好ましくは60℃以
下、さらに好ましくは50℃以下の温度である。混合に
際しては、例えば黒色着色剤等の着色剤(A)および溶
剤(E)の混合物にバインダーポリマー(B)、光重合
性化合物(C)および光重合開始剤(D)を注加しても
よいし、着色剤(A)および溶剤(E)の混合物をバイ
ンダーポリマー(B)、光重合性化合物(C)および光
重合開始剤(D)の混合物に注加してもよい。混合は、
通常、着色剤(A)例えば黒色着色剤および溶剤(E)
の混合物またはバインダーポリマー(B)、光重合性化
合物(C)、光重合開始剤(D)の混合物を攪拌しなが
ら行なわれる。
In the production method of the present invention, such a mixture is mixed with the binder polymer (B), the photopolymerizable compound (C) and the photopolymerization initiator (D). The mixing temperature is
A temperature at which the solvent (E) does not solidify, for example, 0 ° C. or higher, may be 23 ° C. or lower, but may be 25 ° C.
The temperature is preferably at least 30 ° C, more preferably at least 35 ° C, usually at most 80 ° C, preferably at most 60 ° C, more preferably at most 50 ° C. At the time of mixing, for example, a binder polymer (B), a photopolymerizable compound (C) and a photopolymerization initiator (D) are added to a mixture of a colorant (A) such as a black colorant and a solvent (E). Alternatively, a mixture of the colorant (A) and the solvent (E) may be poured into a mixture of the binder polymer (B), the photopolymerizable compound (C), and the photopolymerization initiator (D). Mixing is
Usually, a colorant (A) such as a black colorant and a solvent (E)
Or a mixture of the binder polymer (B), the photopolymerizable compound (C), and the photopolymerization initiator (D).

【0055】混合に際して、着色剤(A)例えば黒色着
色剤および溶剤(E)の混合物は、さらに溶剤(E)と
混合されてもよく、この場合、さらに混合される溶剤
(E)は、例えばバインダーポリマー(B)、光重合性
化合物(C)および光重合開始剤(D)とあらかじめ混
合される。
In the mixing, the mixture of the colorant (A), for example, the black colorant and the solvent (E) may be further mixed with the solvent (E). In this case, the solvent (E) to be further mixed is, for example, It is preliminarily mixed with the binder polymer (B), the photopolymerizable compound (C) and the photopolymerization initiator (D).

【0056】混合に際して、着色剤(A)例えば黒色着
色剤および溶剤(E)の混合物を、バインダーポリマー
(B)、光重合性化合物(C)および光重合開始剤
(D)とともに、添加剤(F)と混合してもよい。添加
剤としては、例えば充填剤、バインダーポリマー(B)
以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防
止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミノ
化合物、硬化剤などが挙げられる。
At the time of mixing, a colorant (A), for example, a mixture of a black colorant and a solvent (E) is mixed with a binder polymer (B), a photopolymerizable compound (C) and a photopolymerization initiator (D) together with an additive ( You may mix with F). As the additive, for example, a filler, a binder polymer (B)
Polymer compounds other than the above, a surfactant, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an anticoagulant, an organic acid, an organic amino compound, a curing agent, and the like.

【0057】充填剤としては、例えばガラス、アルミナ
などが挙げられる。高分子化合物としては、例えばポリ
ビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリ
コールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアク
リレートなどが挙げられる。界面活性剤としては、例え
ばノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニ
オン系界面活性剤などが挙げられる。密着促進剤として
は、例えばビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエト
キシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シ
ラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピル
メチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−
3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプ
ロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピル
トリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチル
ジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキ
シル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピル
メチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメト
キシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシ
シラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランな
どが挙げられる。
Examples of the filler include glass and alumina. Examples of the polymer compound include polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polyfluoroalkyl acrylate. Examples of the surfactant include a nonionic surfactant, a cationic surfactant, an anionic surfactant, and the like. Examples of the adhesion promoter include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, and N- (2-aminoethyl )-
3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane , 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, and the like.

【0058】酸化防止剤としては、例えば2,2−チオ
ビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,
6−ジ−t−ブチルフェノールなどが挙げられる。紫外
線吸収剤としては、例えば2−(3−t−ブチル−5−
メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾ
トリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げら
れる。凝集防止剤としては、例えばポリアクリル酸ナト
リウムなどが挙げられる。
Examples of the antioxidant include 2,2-thiobis (4-methyl-6-t-butylphenol),
6-di-t-butylphenol and the like. As the ultraviolet absorber, for example, 2- (3-t-butyl-5-
Methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenone and the like. Examples of the aggregation preventive include sodium polyacrylate.

【0059】有機酸としては、例えばぎ酸、酢酸、プロ
ピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエ
チル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカ
ルボン酸類、しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル
酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン
酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチル
マロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラ
メチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコ
ン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン
酸などの脂肪族ジカルボン酸類、トリカルバリル酸、ア
コニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸
類、安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メ
シチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類、フタル酸、
イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸
類、トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピ
ロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類などが挙げ
られる。
Examples of the organic acid include aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, caproic acid, diethylacetic acid, enanthic acid, caprylic acid, oxalic acid, malonic acid, and the like. Succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, suberic acid, azelaic acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methylsuccinic acid, tetramethylsuccinic acid, cyclohexanedicarboxylic acid, itacone Aliphatic dicarboxylic acids such as acid, citraconic acid, maleic acid, fumaric acid, and mesaconic acid; aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid, and camphoronic acid; benzoic acid, toluic acid, cuminic acid, hemelitic acid, and mesitylene acid Aromatic monocarboxylic acids such as phthalic acid,
Examples thereof include aromatic dicarboxylic acids such as isophthalic acid and terephthalic acid, and aromatic polycarboxylic acids such as trimellitic acid, trimesic acid, melophanic acid, and pyromellitic acid.

【0060】有機アミノ化合物としては、例えばn―プ
ロピルアミン、i−プロピルアミン、n−ブチルアミ
ン、i−ブチルアミン、sec−ブチルアミン、t−ブ
チルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキシルアミ
ン、n−ヘプチルアミン、n−オクチルアミン、n−ノ
ニルアミン、n−デシルアミン、n−ウンデシルアミ
ン、n−ドデシルアミン、シクロヘキシルアミン、2−
メチルシクロヘキシルアミン、3−メチルシクロヘキシ
ルアミン、4−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノ
(シクロ)アルキルアミン類、メチルエチルアミン、ジ
エチルアミン、メチルn−プロピルアミン、エチルn−
プロピルアミン、ジn−プロピルアミン、ジi−プロピ
ルアミン、ジn−ブチルアミン、ジi−ブチルアミン、
ジsec−ブチルアミン、ジt−ブチルアミン、ジn−
ペンチルアミン、ジn−ヘキシルアミン、メチルシクロ
ヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミン、ジシク
ロヘキシルアミンなどのジ(シクロ)アルキルアミン
類、ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、ト
リエチルアミン、ジメチルn−プロピルアミン、ジエチ
ルn−プロピルアミン、メチルジn−プロピルアミン、
エチルジn−プロピルアミン、トリn−プロピルアミ
ン、トリi−プロピルアミン、トリn−ブチルアミン、
トリi−ブチルアミン、トリsec−ブチルアミン、ト
リt−ブチルアミン、トリn−ペンチルアミン、トリn
−ヘキシルアミン、ジメチルシクロヘキシルアミン、ジ
エチルシクロヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシル
アミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘ
キシルアミンなどのトリ(シクロ)アルキルアミン類、
2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プロパノー
ル、1−アミノ−2−プロパノール、4−アミノ−1−
ブタノール、5−アミノ−1−ペンタノール、6−アミ
ノ−1−ヘキサノール、4−アミノ−1−シクロヘキサ
ノールなどのモノ(シクロ)アルカノールアミン類、ジ
エタノールアミン、ジn−プロパノールアミン、ジi−
プロパノールアミン、ジn−ブタノールアミン、ジi−
ブタノールアミン、ジn−ペンタノールアミン、ジn−
ヘキサノールアミン、ジ(4−シクロヘキサノール)ア
ミンなどのジ(シクロ)アルカノールアミン類、トリエ
タノールアミン、トリn−プロパノールアミン、トリi
−プロパノールアミン、トリn−ブタノールアミン、ト
リi−ブタノールアミン、トリn−ペンタノールアミ
ン、トリn−ヘキサノールアミン、トリ(4−シクロヘ
キサノール)アミンなどのトリ(シクロ)アルカノール
アミン類、3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2
−アミノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−
1,2−ブタンジオール、4−アミノ−1,3−ブタン
ジオール、4−アミノ−1,2−シクロヘキサンジオー
ル、4−アミノ−1,3−シクロヘキサンジオール、3
−ジメチルアミノ−1,2−プロパンジオール、3−ジ
エチルアミノ−1,2−プロパンジオール、2−ジメチ
ルアミノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエチルア
ミノ−1,3−プロパンジオールなどのアミノ(シク
ロ)アルカンジオール類、1−アミノシクロペンタノン
メタノール、4−アミノシクロペンタノンメタノール、
1−アミノシクロヘキサノンメタノール、4−アミノシ
クロヘキサノンメタノール、4−ジメチルアミノシクロ
ペンタンメタノール、4−ジエチルアミノシクロペンタ
ンメタノール、4−ジメチルアミノシクロヘキサンメタ
ノール、4−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノール
などのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類、β−
アラニン、2−アミノ酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミ
ノ酪酸、2−アミノイソ酢酸、3−アミノイソ酢酸、2
−アミノ吉草酸、5−アミノ吉草酸、6−アミノカプロ
ン酸、1−アミノシクロプロパンカルボン酸、1−アミ
ノシクロヘキサンカルボン酸、4−アミノシクロヘキサ
ンカルボン酸などのアミノカルボン酸類、アニリン、o
−メチルアニリン、m−メチルアニリン、p−メチルア
ニリン、p−エチルアニリン、p−n−プロピルアニリ
ン、p−i−プロピルアニリン、p−n−ブチルアニリ
ン、p−t−ブチルアニリン、1−ナフチルアミン、2
−ナフチルアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N
−ジエチルアニリン、p−メチル−N,N−ジメチルア
ニリンなどの芳香族アミン類、o−アミノベンジルアル
コール、m−アミノベンジルアルコール、p−アミノベ
ンジルアルコール、p−ジメチルアミノベンジルアルコ
ール、p−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのア
ミノベンジルアルコール類、o−アミノフェノール、m
−アミノフェノール、p−アミノフェノール、p−ジメ
チルアミノフェノール、p−ジエチルアミノフェノール
などのアミノフェノール類、m−アミノ安息香酸、p−
アミノ安息香酸、p−ジメチルアミノ安息香酸、p−ジ
エチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙
げられる。
Examples of the organic amino compound include n-propylamine, i-propylamine, n-butylamine, i-butylamine, sec-butylamine, t-butylamine, n-pentylamine, n-hexylamine and n-heptylamine. , N-octylamine, n-nonylamine, n-decylamine, n-undecylamine, n-dodecylamine, cyclohexylamine, 2-
Mono (cyclo) alkylamines such as methylcyclohexylamine, 3-methylcyclohexylamine and 4-methylcyclohexylamine, methylethylamine, diethylamine, methyl n-propylamine, ethyl n-
Propylamine, di-n-propylamine, di-i-propylamine, di-n-butylamine, dii-butylamine,
Disec-butylamine, di-t-butylamine, di-n-
Di (cyclo) alkylamines such as pentylamine, di-n-hexylamine, methylcyclohexylamine, ethylcyclohexylamine, dicyclohexylamine, dimethylethylamine, methyldiethylamine, triethylamine, dimethyln-propylamine, diethyln-propylamine, methyldimethylamine n-propylamine,
Ethyldi-n-propylamine, tri-n-propylamine, tri-i-propylamine, tri-n-butylamine,
Tri-i-butylamine, trisec-butylamine, tri-t-butylamine, tri-n-pentylamine, tri-n
Tri (cyclo) alkylamines such as hexylamine, dimethylcyclohexylamine, diethylcyclohexylamine, methyldicyclohexylamine, ethyldicyclohexylamine, tricyclohexylamine,
2-aminoethanol, 3-amino-1-propanol, 1-amino-2-propanol, 4-amino-1-
Mono (cyclo) alkanolamines such as butanol, 5-amino-1-pentanol, 6-amino-1-hexanol, 4-amino-1-cyclohexanol, diethanolamine, di-n-propanolamine, dii-
Propanolamine, di-n-butanolamine, dii-
Butanolamine, di-n-pentanolamine, di-n-
Di (cyclo) alkanolamines such as hexanolamine and di (4-cyclohexanol) amine, triethanolamine, tri-n-propanolamine, trii
Tri (cyclo) alkanolamines such as propanolamine, tri-n-butanolamine, tri-i-butanolamine, tri-n-pentanolamine, tri-n-hexanolamine, tri (4-cyclohexanol) amine, 3-amino -1,2-propanediol, 2
-Amino-1,3-propanediol, 4-amino-
1,2-butanediol, 4-amino-1,3-butanediol, 4-amino-1,2-cyclohexanediol, 4-amino-1,3-cyclohexanediol, 3
Amino (cyclo) such as -dimethylamino-1,2-propanediol, 3-diethylamino-1,2-propanediol, 2-dimethylamino-1,3-propanediol, 2-diethylamino-1,3-propanediol Alkanediols, 1-aminocyclopentanone methanol, 4-aminocyclopentanone methanol,
Amino group-containing cycloalkane methanols such as 1-aminocyclohexanone methanol, 4-aminocyclohexanone methanol, 4-dimethylaminocyclopentanemethanol, 4-diethylaminocyclopentanemethanol, 4-dimethylaminocyclohexanemethanol, 4-diethylaminocyclohexanemethanol, β −
Alanine, 2-aminobutyric acid, 3-aminobutyric acid, 4-aminobutyric acid, 2-aminoisoacetic acid, 3-aminoisoacetic acid, 2
Aminocarboxylic acids such as -aminovaleric acid, 5-aminovaleric acid, 6-aminocaproic acid, 1-aminocyclopropanecarboxylic acid, 1-aminocyclohexanecarboxylic acid, 4-aminocyclohexanecarboxylic acid, aniline, o
-Methylaniline, m-methylaniline, p-methylaniline, p-ethylaniline, pn-propylaniline, pi-propylaniline, pn-butylaniline, pt-butylaniline, 1-naphthylamine , 2
-Naphthylamine, N, N-dimethylaniline, N, N
Aromatic amines such as -diethylaniline, p-methyl-N, N-dimethylaniline, o-aminobenzyl alcohol, m-aminobenzyl alcohol, p-aminobenzyl alcohol, p-dimethylaminobenzyl alcohol, p-diethylaminobenzyl Aminobenzyl alcohols such as alcohol, o-aminophenol, m
Aminophenols such as aminophenol, p-aminophenol, p-dimethylaminophenol and p-diethylaminophenol, m-aminobenzoic acid, p-
Examples include aminobenzoic acids such as aminobenzoic acid, p-dimethylaminobenzoic acid, and p-diethylaminobenzoic acid.

【0061】硬化剤は、パターンニングにおける現像後
の加熱処理によって着色パターンを硬化させてその機械
的強度を向上するために用いられる。かかる硬化剤とし
ては、例えば加熱されることによってバインダーポリマ
ーのカルボキシル基と反応してバインダーポリマーを架
橋させ得る化合物が挙げられ、バインダーポリマーを架
橋させることにより着色パターンを硬化させる。また、
加熱されることによってそれ単独で重合し得る化合物で
あってもよく、単独で重合することにより色画素等が硬
化する。かかる化合物としては、例えばエポキシ化合
物、オキセタン化合物などが挙げられる。
The curing agent is used to harden the colored pattern by a heat treatment after development in patterning and to improve its mechanical strength. As such a curing agent, for example, a compound capable of reacting with a carboxyl group of the binder polymer by heating to crosslink the binder polymer can be mentioned, and the coloring pattern is cured by crosslinking the binder polymer. Also,
The compound may be a compound which can be polymerized by heating alone, and the color pixel or the like is cured by polymerizing alone. Examples of such a compound include an epoxy compound and an oxetane compound.

【0062】エポキシ化合物としては、例えばビスフェ
ノールA系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系エ
ポキシ樹脂、ビスフェノールF系エポキシ樹脂、水素化
ビスフェノールF系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキ
シ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ
樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹
脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキ
シ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポ
キシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族
または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの(共)重
合体のエポキシ化物、イソプレンの(共)重合体のエポ
キシ化物、グリシジル(メタ)アクリレートの(共)重
合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられ
る。
Examples of the epoxy compound include bisphenol A epoxy resin, hydrogenated bisphenol A epoxy resin, bisphenol F epoxy resin, hydrogenated bisphenol F epoxy resin, novolak type epoxy resin, other aromatic epoxy resins, Epoxy resins such as alicyclic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, glycidyl ester resins, glycidylamine resins, epoxidized oils, and brominated derivatives of these epoxy resins, epoxy resins and other than the brominated derivatives thereof. Aliphatic, alicyclic or aromatic epoxy compounds, epoxidized (co) polymer of butadiene, epoxidized (co) polymer of isoprene, (co) polymer of glycidyl (meth) acrylate, triglycidyl isocyanate Nurate and the like.

【0063】オキセタン化合物としては、例えばカーボ
ネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、ア
ジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタ
ン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが
挙げられる。
Examples of the oxetane compound include carbonate bisoxetane, xylylene bisoxetane, adipate bisoxetane, terephthalate bisoxetane, and bisoxetane cyclohexanedicarboxylate.

【0064】本発明の着色感光性組成物は、例えば黒色
着色感光性組成物は、硬化剤と共にエポキシ化合物のエ
ポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重
合させ得る化合物を含んでいてもよい。かかる化合物と
しては、例えば多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水
物類、酸発生剤などが挙げられる。
The colored photosensitive composition of the present invention, for example, the black colored photosensitive composition may contain a compound capable of ring-opening polymerizing an epoxy group of an epoxy compound and an oxetane skeleton of an oxetane compound together with a curing agent. Examples of such compounds include polycarboxylic acids, polycarboxylic anhydrides, and acid generators.

【0065】多価カルボン酸類としては、例えばフタル
酸、3,4−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフ
タル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、1,4,
5,8−ナフタレンテトラカルボン酸、3,3’,4,
4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多
価カルボン酸類、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、
1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸、マレイン
酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸
類、ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒ
ドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒド
ロテレフタル酸、1,2,4−シクロペンタントリカル
ボン酸、1,2,4−シクロヘキサントリカルボン酸、
シクロペンタンテトラカルボン酸、1,2,4,5−シ
クロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボ
ン酸類などが挙げられる。
Examples of the polycarboxylic acids include phthalic acid, 3,4-dimethylphthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, pyromellitic acid, trimellitic acid, 1,4,4
5,8-naphthalenetetracarboxylic acid, 3,3 ′, 4
Aromatic polycarboxylic acids such as 4'-benzophenonetetracarboxylic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid,
Aliphatic polycarboxylic acids such as 1,2,3,4-butanetetracarboxylic acid, maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, hexahydrophthalic acid, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic acid, hexahydroisophthalic acid, hexa Hydroterephthalic acid, 1,2,4-cyclopentanetricarboxylic acid, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic acid,
Alicyclic polycarboxylic acids such as cyclopentanetetracarboxylic acid and 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic acid;

【0066】多価カルボン酸無水物類としては、例え
ば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリ
ット酸、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物
類、無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン
酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、
無水マレイン酸、1,2,3,4−ブタンテトラカルボ
ン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類、無
水ヘキサヒドロフタル酸、3,4−ジメチルテトラヒド
ロフタル酸無水物、1,2,4−シクロペンタントリカ
ルボン酸無水物、1,2,4−シクロヘキサントリカル
ボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水
物、1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸
二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環
族多価カルボン酸無水物類、エチレングリコールビスト
リメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水
物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げ
られる。
Examples of the polycarboxylic anhydrides include aromatic anhydrides such as phthalic anhydride, pyromellitic anhydride, trimellitic anhydride, and 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride. Polycarboxylic anhydrides, itaconic anhydride, succinic anhydride, citraconic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, tricarballylic anhydride,
Aliphatic polycarboxylic anhydrides such as maleic anhydride, 1,2,3,4-butanetetracarboxylic dianhydride, hexahydrophthalic anhydride, 3,4-dimethyltetrahydrophthalic anhydride; 2,4-cyclopentanetricarboxylic anhydride, 1,2,4-cyclohexanetricarboxylic anhydride, cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, anhydrous hymic Examples include alicyclic polycarboxylic acid anhydrides such as acid and nadic anhydride, and ester group-containing carboxylic acid anhydrides such as ethylene glycol bistrimellitate acid and glycerin tristrimellitate anhydride.

【0067】カルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂
硬化剤として市販されているものを用いてもよい。かか
るエポキシ樹脂硬化剤としては、例えば商品名「アデカ
ハードナーEH−700」(旭電化工業(株))、商品名
「リカシッドHH」(新日本理化(株))、商品名「MH
−700」(新日本理化(株))などが挙げられる。
As the carboxylic acid anhydrides, those commercially available as epoxy resin curing agents may be used. Examples of such an epoxy resin curing agent include “ADEKA HARDNER EH-700” (Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.), “RICACID HH” (Shin Nippon Rika Co., Ltd.), and “MH”
-700 "(Shin Nippon Rika Co., Ltd.).

【0068】かかる硬化剤は、それぞれ単独でまたは2
種以上を組み合わせて用いることができる。
The curing agents may be used alone or in combination.
More than one species can be used in combination.

【0069】かかる添加剤(F)は、着色剤例えば黒色
着色剤および溶剤の混合物に溶解した状態で混合され得
るのであれば、あらかじめ該混合物に溶解されていても
よいが、通常は、あらかじめバインダーポリマー
(B)、光重合性化合物(C)、光重合開始剤(D)な
どと混合される。
The additive (F) may be previously dissolved in a mixture of a colorant, for example, a black colorant and a solvent, as long as it can be mixed with the mixture. It is mixed with the polymer (B), the photopolymerizable compound (C), the photopolymerization initiator (D) and the like.

【0070】本発明の製造方法では、かくして混合した
後の混合物を25℃以上、通常30℃以上、さらには5
5℃以上、通常80℃以下、好ましくは75℃以下の保
温温度で保温する。保温温度は混合温度と同じ温度であ
ってもよいし、混合温度以上の温度であってもよい。保
温時間は通常10分以上、9時間以下であり、好ましく
は1時間以上9時間以下であり、特に好ましくは2時間
以上以上6時間以下である。保温温度が30℃未満の場
合のような比較的低い場合には2時間以上であることが
好ましく、2時間以上6時間以下がさらに好ましい。
In the production method of the present invention, the mixture thus mixed is heated at 25 ° C. or more, usually at 30 ° C. or more,
The temperature is kept at a temperature of 5 ° C. or higher, usually 80 ° C. or lower, preferably 75 ° C. or lower. The heat retaining temperature may be the same as the mixing temperature, or may be a temperature equal to or higher than the mixing temperature. The heat retention time is usually 10 minutes or more and 9 hours or less, preferably 1 hour or more and 9 hours or less, and particularly preferably 2 hours or more and 6 hours or less. When the temperature is relatively low, such as when the heat retention temperature is less than 30 ° C., it is preferably at least 2 hours, more preferably at least 2 hours and at most 6 hours.

【0071】かくして保温処理を行なうことによって、
目的とする着色感光性樹脂組成物を得るが、該着色感光
性樹脂組成物は、長期間保存しても粘度が大きくならな
いので、例えばカラーフィルターを構成する着色パター
ンを形成するための原料として有用である。着色パター
ンを形成するには、例えば本発明の着色感光性樹脂組成
物をパターンニングすればよく、具体的には着色感光性
樹脂組成物からなる層(1)を基板(2)の上に形成し
(図2(a))、該層(1)を露光したのち(図2(b))、
現像すればよい(図2(c))。
Thus, by performing the heat retaining process,
Although the desired colored photosensitive resin composition is obtained, the colored photosensitive resin composition does not increase in viscosity even when stored for a long period of time, and thus is useful, for example, as a raw material for forming a colored pattern constituting a color filter. It is. In order to form a colored pattern, for example, the colored photosensitive resin composition of the present invention may be patterned. Specifically, a layer (1) made of the colored photosensitive resin composition is formed on a substrate (2). (FIG. 2 (a)), and after exposing the layer (1) (FIG. 2 (b)),
It may be developed (FIG. 2 (c)).

【0072】とりわけ、着色剤として黒色着色剤を用い
た場合に、得られる黒色着色感光性樹脂組成物は、長期
間保存しても粘度が大きくならないので、例えばカラー
フィルターを構成するブラックマトリックスを形成する
ための原料として有用である。ブラックマトリックスを
形成するには、例えば本発明の黒色着色感光性樹脂組成
物をパターンニングすればよく、具体的には着色感光性
樹脂組成物からなる層(1)を基板(2)の上に形成し
(図2(a))、該層(1)を露光したのち(図2(b))、
現像すればよい(図2(c))。
In particular, when a black colorant is used as a colorant, the resulting black-colored photosensitive resin composition does not increase in viscosity even when stored for a long period of time. It is useful as a raw material for To form a black matrix, for example, the black colored photosensitive resin composition of the present invention may be patterned. Specifically, a layer (1) composed of the colored photosensitive resin composition is formed on a substrate (2). After forming (FIG. 2 (a)) and exposing the layer (1) (FIG. 2 (b)),
It may be developed (FIG. 2 (c)).

【0073】基板(2)としては、例えばガラス板、シ
リコンウェハー、プラスチック板などが挙げられる。基
板としてシリコンウェハーなどを用いる場合、該シリコ
ンウェハーの表面には電荷結合素子(CCD)などが形
成されていてもよい。
Examples of the substrate (2) include a glass plate, a silicon wafer, and a plastic plate. When a silicon wafer or the like is used as the substrate, a charge-coupled device (CCD) or the like may be formed on the surface of the silicon wafer.

【0074】着色感光性樹脂組成物、例えば黒色着色感
光性樹脂組成物からなる層(1)を基板(2)の上に形
成するには、例えば溶剤で希釈された状態の着色感光性
樹脂組成物を回転塗布法(スピンコート法)などにより
基板上に塗布し、次いで溶剤などの揮発成分を揮発させ
ればよい。かくして、着色感光性樹脂組成物層(1)が
形成されるが、該層は着色感光性樹脂組成物の固形分か
らなる層であり、揮発分をほとんど含有していない。
To form the layer (1) comprising a colored photosensitive resin composition, for example, a black colored photosensitive resin composition on the substrate (2), for example, the colored photosensitive resin composition diluted with a solvent is used. The substance may be applied onto a substrate by a spin coating method (spin coating method) or the like, and then a volatile component such as a solvent may be volatilized. Thus, the colored photosensitive resin composition layer (1) is formed. This layer is a layer composed of the solid content of the colored photosensitive resin composition, and contains almost no volatile matter.

【0075】次いで、着色感光性樹脂組成物層(1)を
露光する。露光するには、例えばフォトマスク(3)を
介して光線(4)を照射すればよい。光線(4)として
は通常、g線(波長436nm)、i線(波長365n
m)などの紫外線が用いられる。光線は、フォトマスク
(3)を介して照射されるが、ここでフォトマスクは、
例えばガラス板(31)の表面に光線を遮蔽する遮光層
(32)が設けられたものである。光線(4)は遮光層
(32)によって遮蔽される。ガラス板(31)のうち
の遮光層が設けられていない部分は光線が透過する透光
部(33)であって、この透光部(33)のパターンに
従って着色感光性樹脂組成物層(2)が露光される。光
線の照射量は、用いた共重合体(B)の種類や含有量、
着色剤(A)の色や含有量、光重合性化合物(C)の種
類や含有量、光重合開始剤(D)の種類や含有量などに
応じて適宜選択される。
Next, the colored photosensitive resin composition layer (1) is exposed. For exposure, for example, a light beam (4) may be applied through a photomask (3). As the light beam (4), g-line (wavelength 436 nm) and i-line (wavelength 365n) are usually used.
m) or the like. The light beam is irradiated through a photomask (3), wherein the photomask is
For example, a light shielding layer (32) for shielding light rays is provided on the surface of a glass plate (31). The light beam (4) is shielded by the light shielding layer (32). The portion of the glass plate (31) where the light-shielding layer is not provided is a light-transmitting portion (33) through which light is transmitted, and the colored photosensitive resin composition layer (2) is formed according to the pattern of the light-transmitting portion (33). ) Is exposed. The irradiation amount of the light beam depends on the type and content of the copolymer (B) used,
It is appropriately selected according to the color and content of the colorant (A), the type and content of the photopolymerizable compound (C), and the type and content of the photopolymerization initiator (D).

【0076】露光後、現像する。現像するには、例えば
露光後の着色感光性樹脂組成物層を現像液に浸漬すれば
よい。現像液としては、例えば炭酸ナトリム、水酸化ナ
トリウム、水酸化カリウム、炭酸カリウム、テトラメチ
ルアンモニウムハイドロオキサイドなどのアルカリ性化
合物の水溶液が用いられる。
After the exposure, development is performed. For development, for example, the colored photosensitive resin composition layer after exposure may be immersed in a developer. As the developer, for example, an aqueous solution of an alkaline compound such as sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, potassium carbonate, and tetramethylammonium hydroxide is used.

【0077】現像によって、着色感光性組成物層のうち
の光線が照射されない光線未照射領域(11)は除去さ
れる。その一方で光線が照射された光線照射領域(1
2)は残って着色パターン(5)を構成する。
By the development, the non-light-irradiated area (11) of the colored photosensitive composition layer which is not irradiated with light is removed. On the other hand, the light beam irradiation area (1
2) remains to form a colored pattern (5).

【0078】黒色着色感光性組成物層の場合、現像によ
って、黒色着色感光性組成物層のうちの光線が照射され
ない光線未照射領域(11)は除去される。その一方で
光線が照射された光線照射領域(12)は残ってブラッ
クマトリックス(5BM)を構成する。
In the case of the black colored photosensitive composition layer, the unirradiated area (11) of the black colored photosensitive composition layer which is not irradiated with light is removed by development. On the other hand, the light irradiation area (12) irradiated with the light remains to constitute a black matrix (5BM).

【0079】現像後、通常は水洗し乾燥することによ
り、目的とする着色パターン(5)を得ることができる
が、乾燥後、加熱処理をしてもよい。加熱処理をするこ
とにより、形成された着色パターン(5)が硬化して、
その機械的強度が向上する。着色感光性組成物として硬
化剤を含有するものを用いた場合には、加熱処理によっ
て着色パターン(5)の機械的強度をより向上できるの
で、好ましい。加熱温度は通常180℃以上であり、好
ましくは200℃以上250℃以下程度である。
After development, the desired colored pattern (5) can be obtained usually by washing with water and drying. However, after drying, heat treatment may be performed. By performing the heat treatment, the formed colored pattern (5) is cured,
Its mechanical strength is improved. The use of a colored photosensitive composition containing a curing agent is preferable because the mechanical strength of the colored pattern (5) can be further improved by heat treatment. The heating temperature is usually 180 ° C. or higher, preferably about 200 ° C. or higher and 250 ° C. or lower.

【0080】着色感光性樹脂組成物に含まれる着色剤
(A)の色を替えて基板(2)の表面に着色感光性樹脂
組成物層(1’)を再び形成し(図3(a))、該層
(1’)にフォトマスク(3)を介して光線(4)を照
射して露光したのち(図3(b))、現像することによっ
て、さらに着色パターン(5’)を形成することができ
る。着色感光性樹脂組成物に含まれる着色剤(A)の色
を替えながら上記操作を繰り返し行なうことによって
(図4)、さらに着色パターン(5”)を形成すること
ができ、目的とするカラーフィルター(6)を得る。
By changing the color of the coloring agent (A) contained in the colored photosensitive resin composition, a colored photosensitive resin composition layer (1 ') is formed again on the surface of the substrate (2) (FIG. 3 (a)). The layer (1 ′) is irradiated with a light beam (4) through a photomask (3) and exposed (FIG. 3 (b)), and then developed to form a colored pattern (5 ′). can do. By repeating the above operation while changing the color of the colorant (A) contained in the colored photosensitive resin composition (FIG. 4), a further colored pattern (5 ″) can be formed. (6) is obtained.

【0081】黒色着色感光性組成物層の場合、ブラック
マトリックス(5BM)の形成された基板(2)の表面
に、異なる着色感光性樹脂組成物層(1’)を再び形成
し(図3(a))、該層(1’)にフォトマスク(3)を
介して光線(4)を照射して露光したのち(図3
(b))、現像することによって、着色パターン(5’)
を形成することができる。着色感光性樹脂組成物の色を
替えながら上記操作を繰り返し行なうことによって(図
4)、さらに着色パターン(5”)を形成することがで
き、目的とするカラーフィルター(6)を得る。
In the case of a black colored photosensitive composition layer, a different colored photosensitive resin composition layer (1 ') is formed again on the surface of the substrate (2) on which the black matrix (5BM) is formed (FIG. a)), the layer (1 ′) is irradiated with a light beam (4) through a photomask (3) and exposed (FIG.
(b)), by developing, a colored pattern (5 ′)
Can be formed. By repeating the above operation while changing the color of the colored photosensitive resin composition (FIG. 4), a further colored pattern (5 ″) can be formed, and the intended color filter (6) is obtained.

【0082】かくして得られるカラーフィルター(6)
は着色パターン(5)からなり、該着色パターン(5)
は、着色感光性組成物が光線を照射されてなるものであ
る。
The color filter thus obtained (6)
Consists of a colored pattern (5), and the colored pattern (5)
Is obtained by irradiating a colored photosensitive composition with a light beam.

【0083】[0083]

【発明の効果】本発明の製造方法によって得られる着色
感光性樹脂組成物は、例えば黒色着色感光性樹脂組成物
は、長期間保存しても粘度の変化が少ないので、製造
後、長期間保管した後の着色感光性樹脂組成物を用いて
形成された着色パターンの厚みは、製造直後の着色感光
性樹脂組成物を用いて形成された着色パターンの厚みと
同等であり、厚みの薄い着色パターンを容易に製造する
ことができる。また、本発明の製造方法によって得られ
る黒色着色感光性樹脂組成物は、長期間保存してもライ
ンパターン再現性や現像マージンが低下しないので、安
定した品質のカラーフィルターを得ることができる。
The colored photosensitive resin composition obtained by the production method of the present invention is, for example, a black colored photosensitive resin composition that has a small change in viscosity even when stored for a long period of time. The thickness of the colored pattern formed using the colored photosensitive resin composition after the production is the same as the thickness of the colored pattern formed using the colored photosensitive resin composition immediately after production, and the thickness of the colored pattern is small. Can be easily manufactured. Further, the black colored photosensitive resin composition obtained by the production method of the present invention does not lower the line pattern reproducibility and the development margin even when stored for a long period of time, so that a stable quality color filter can be obtained.

【0084】[0084]

【実施例】以下、実施例によって本発明をより詳細に説
明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものでは
ない。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0085】実施例1 (着色感光性樹脂組成物の製造)40℃で攪拌下に、顔
料および溶剤の混合物〔顔料(C.I.ピグメントグリ
ーン36)4.93質量部、顔料(C.I.ピグメント
イエロー150)2.32質量部、ノニオン系界面活性
剤2.14質量部、メタクリル酸とベンジルメタクリレ
ートとの共重合体(メタクリル酸単位とベンジルメタク
リレート単位との比は物質量比(モル比)で3:6、重
量平均分子量(Mw)は35000)0.92質量部お
よびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト38.00質量部の混合物〕にメタクリル酸とベンジ
ルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単位とベ
ンジルメタクリレート単位との組成比はモル比(物質量
比)で3:6、重量平均分子量(Mw)は35000〕
4.09質量部、ジペンタエリスリトールヘキサアクリ
レート5.01質量部、光重合開始剤(「Irgacu
re−907」)1.20質量部、光重合開始助剤
(「EAB−F」)0.40質量部およびプロピレング
リコールモノメチルエーテルアセテート40.99質量
部の混合物を1時間かけて滴下して加えた後、60℃で
3時間保温して、着色感光性樹脂組成物(緑色)を得
た。この着色感光性樹脂組成物の粘度をR型粘度計
〔「VISCOMETER MODEL RE120L
SYSTEM」(東機産業(株)製)、回転数50rp
m、温度23℃〕で測定したところ、5.55mPa・
s(ミリパスカル秒)であった。この着色感光性樹脂組
成物の組成を表1に示す。
Example 1 (Production of a colored photosensitive resin composition) A mixture of a pigment and a solvent [pigment (CI Pigment Green 36) 4.93 parts by mass and a pigment (C.I. Pigment Yellow 150), 2.32 parts by mass, a nonionic surfactant 2.14 parts by mass, a copolymer of methacrylic acid and benzyl methacrylate (the ratio of the methacrylic acid unit to the benzyl methacrylate unit is determined by the substance ratio (molar ratio) ), A mixture of 0.92 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate and 38.00 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate) and a copolymer of methacrylic acid and benzyl methacrylate [methacrylic acid unit and The composition ratio with the benzyl methacrylate unit was 3: 6 in molar ratio (substance ratio), and the weight average molecular weight (Mw) was 3500. 0]
4.09 parts by mass, 5.01 parts by mass of dipentaerythritol hexaacrylate, a photopolymerization initiator (“Irgaccu
re-907 "), a mixture of 1.20 parts by mass, a photopolymerization initiation aid (" EAB-F ") 0.40 parts by mass, and propylene glycol monomethyl ether acetate 40.99 parts by mass was added dropwise over 1 hour. After that, the temperature was kept at 60 ° C. for 3 hours to obtain a colored photosensitive resin composition (green). The viscosity of this colored photosensitive resin composition was measured using an R-type viscometer [“VISCOMTER MODEL RE120L”.
SYSTEM "(manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.), rotation speed 50 rpm
m, temperature 23 ° C.] and 5.55 mPa ·
s (millipascal seconds). Table 1 shows the composition of the colored photosensitive resin composition.

【0086】[0086]

【表1】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ C.I.ピグメントグリーン36 4.93質量部 C.I.ピグメントイエロー150 2.32質量部 メタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合体 5.01質量部 ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 5.01質量部 光重合開始剤(「Irgacure−907」) 1.20質量部 光重合開始助剤(「EAB−F」) 0.40質量部 プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 78.99質量部 ノニオン系顔料分散剤 2.14質量部 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━[Table 1] I. Pigment Green 36 4.93 parts by mass C.I. I. Pigment Yellow 150 2.32 parts by mass Copolymer of methacrylic acid and benzyl methacrylate 5.01 parts by mass Dipentaerythritol hexaacrylate 5.01 parts by mass Photopolymerization initiator (“Irgacure-907”) 1.20 parts by mass Light Polymerization initiation aid (“EAB-F”) 0.40 parts by mass Propylene glycol monomethyl ether acetate 78.99 parts by mass Nonionic pigment dispersant 2.14 parts by mass ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

【0087】(着色パターンの形成)23℃でガラス基
板〔コーニング社製、「#7059」〕(2)の表面上
に上記で得た着色感光性組成物をスピンコート法によっ
て塗布した後、100℃で3分間乾燥して揮発分を揮発
させて着色感光性組成物層(1)を形成した。23℃に
冷却後、形成された着色感光性組成物層(1)にフォト
マスク(3)を介してi線(波長365nm)を照射し
た。i線の光源には超高圧水銀ランプを用い、照射光量
は150mJ/cm2とした。フォトマスク(3)とし
ては、線幅3μm、4μm、5μm、6μm、7μm、
8μm、9μm、10μm、20μm、30μm、40
μm、50μmおよび100μmの線状の色画素(5)
を形成するためのフォトマスクを用いた。次いで、現像
液(質量分率で水酸化カリウムを0.05%およびブチ
ルナフタレンスルホン酸ナトリウムを0.2%それぞれ
含む水溶液)に23℃で浸漬して現像し、純水で洗浄し
たのち、230℃で20分間加熱して、緑色画素(5)
を形成した(図1(b))。得られた緑色画素(5)の厚
みは1.6μmであった。なお、目的とする形状で形成
されている緑色画素(5G)の線幅の最小値(解像度)
は20μmであり、その断面形状は基板側が上側よりも
広い順テーパー状であった(図5(b))。
(Formation of Colored Pattern) The colored photosensitive composition obtained above was applied on the surface of a glass substrate (“# 7059”, manufactured by Corning Incorporated) (2) at 23 ° C. by a spin coating method. After drying at a temperature of 3 ° C. for 3 minutes to evaporate volatile components, a colored photosensitive composition layer (1) was formed. After cooling to 23 ° C., the formed colored photosensitive composition layer (1) was irradiated with i-line (wavelength 365 nm) via a photomask (3). An ultra-high pressure mercury lamp was used as an i-line light source, and the irradiation light amount was 150 mJ / cm 2 . As the photomask (3), line widths of 3 μm, 4 μm, 5 μm, 6 μm, 7 μm,
8 μm, 9 μm, 10 μm, 20 μm, 30 μm, 40
μm, 50 μm and 100 μm linear color pixels (5)
Was used for forming a photomask. Then, it is immersed in a developing solution (an aqueous solution containing 0.05% by weight of potassium hydroxide and 0.2% by weight of sodium butylnaphthalenesulfonate) at 23 ° C. to develop, washed with pure water, Heat at 20 ° C for 20 minutes to obtain green pixel (5)
Was formed (FIG. 1 (b)). The thickness of the obtained green pixel (5) was 1.6 μm. The minimum value (resolution) of the line width of the green pixel (5G) formed in the target shape
Was 20 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape in which the substrate side was wider than the upper side (FIG. 5 (b)).

【0088】(保管後の着色感光性樹脂組成物の評価)
上記で得た着色感光性樹脂組成物を23℃で1月保管し
た後、その粘度を測定したところ、5.58mPa・s
であった。また、1月保管した後の着色感光性樹脂組成
物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したとこ
ろ、その厚みは1.6μmであり、その断面形状は順テ
ーパー状であった。上記で得た着色感光性樹脂組成物を
23℃で3月保管した後、その粘度を測定したところ、
5.61mPa・sであった。また、3月保管した後の
着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画
素を形成したところ、その厚みは1.6μmであり、そ
の断面形状は順テーパー状であった。
(Evaluation of colored photosensitive resin composition after storage)
After the colored photosensitive resin composition obtained above was stored at 23 ° C. for one month, its viscosity was measured, and the result was 5.58 mPa · s.
Met. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition stored for one month, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape. After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for 3 months, its viscosity was measured.
It was 5.61 mPa · s. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition after storage for three months, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0089】実施例2 (着色感光性樹脂組成物の製造)40℃で攪拌下に、実
施例1で用いたと同じメタクリル酸とベンジルメタクリ
レートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサア
クリレート、光重合開始剤、光重合開始助剤およびプロ
ピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合
物に、実施例1で用いたと同じ顔料および溶剤の混合物
を1時間かけて滴下して加えて混合し、その後、60℃
で3時間保温して、着色感光性樹脂組成物を得た。この
着色感光性樹脂組成物の粘度を実施例1と同様にして測
定したところ、5.62mPa・sであった。
Example 2 (Production of a colored photosensitive resin composition) The same copolymer of methacrylic acid and benzyl methacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and photopolymerization as used in Example 1 were stirred at 40 ° C. The mixture of the pigment and the solvent used in Example 1 was added dropwise to the mixture of the agent, the photopolymerization initiation auxiliary agent and propylene glycol monomethyl ether acetate over 1 hour, and then mixed.
For 3 hours to obtain a colored photosensitive resin composition. When the viscosity of this colored photosensitive resin composition was measured in the same manner as in Example 1, it was 5.62 mPa · s.

【0090】(着色パターンの形成)実施例1で得た着
色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂
組成物を用いる以外は実施例1と同様に操作して、緑色
画素を形成した。この緑色画素の厚みは1.6μmであ
った。なお、解像度は20μmであり、その断面形状は
順テーパー状であった。
(Formation of Colored Pattern) The same procedure as in Example 1 was carried out except that the colored photosensitive resin composition obtained above was used instead of the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1, to obtain a green pixel. Was formed. The thickness of this green pixel was 1.6 μm. The resolution was 20 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0091】(保管後の着色感光性樹脂組成物の評価)
上記で得た着色感光性樹脂組成物を23℃で1月保管し
た後、その粘度を測定したところ、5.61mPa・s
であった。また、1月保管した後の着色感光性樹脂組成
物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したとこ
ろ、その厚みは1.6μmであり、その断面形状は順テ
ーパー状であった。上記で得た着色感光性樹脂組成物を
23℃で3月保管した後、その粘度を測定したところ、
5.64mPa・sであった。また、3月保管した後の
着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画
素を形成したところ、その厚みは1.6μmであり、そ
の断面形状は順テーパー状であった。
(Evaluation of colored photosensitive resin composition after storage)
After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for one month, its viscosity was measured to be 5.61 mPa · s.
Met. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition stored for one month, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape. After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for 3 months, its viscosity was measured.
It was 5.64 mPa · s. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition after storage for three months, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0092】実施例3 (着色感光性樹脂組成物の製造)混合後、60℃で0.
5時間(30分)保温する以外は、実施例2と同様に操
作して、着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性
樹脂組成物の粘度を実施例1と同様にして測定したとこ
ろ、5.52mPa・sであった。
Example 3 (Production of Colored Photosensitive Resin Composition)
A colored photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 2, except that the temperature was kept for 5 hours (30 minutes). When the viscosity of this colored photosensitive resin composition was measured in the same manner as in Example 1, it was 5.52 mPa · s.

【0093】(着色パターンの形成)実施例1で得た着
色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂
組成物を用いる以外は実施例1と同様に操作して、緑色
画素を形成した。この緑色画素の厚みは1.6μmであ
った。なお、解像度は20μmであり、その断面形状は
順テーパー状であった。
(Formation of Colored Pattern) A green pixel was formed in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1 was used instead of the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1. Was formed. The thickness of this green pixel was 1.6 μm. The resolution was 20 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0094】(保管後の着色感光性樹脂組成物の評価)
上記で得た着色感光性樹脂組成物を23℃で1月保管し
た後、その粘度を測定したところ、5.57mPa・s
であった。また、1月保管した後の着色感光性樹脂組成
物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したとこ
ろ、その厚みは1.6μmであり、その断面形状は順テ
ーパー状であった。上記で得た着色感光性樹脂組成物を
23℃で3月保管した後、その粘度を測定したところ、
5.61mPa・sであった。また、3月保管した後の
着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画
素を形成したところ、その厚みは1.6μmであり、そ
の断面形状は順テーパー状であった。
(Evaluation of the colored photosensitive resin composition after storage)
After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for one month, its viscosity was measured to be 5.57 mPa · s.
Met. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition stored for one month, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape. After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for 3 months, its viscosity was measured.
It was 5.61 mPa · s. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition after storage for three months, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0095】実施例4 (着色感光性樹脂組成物の製造)混合後、60℃で1時
間保温する以外は、実施例2と同様に操作して、着色感
光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘
度を実施例1と同様にして測定したところ、5.54m
Pa・sであった。
Example 4 (Production of colored photosensitive resin composition) A colored photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 2, except that the mixture was kept at 60 ° C for 1 hour after mixing. When the viscosity of this colored photosensitive resin composition was measured in the same manner as in Example 1, 5.54 m
Pa · s.

【0096】(着色パターンの形成)実施例1で得た着
色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂
組成物を用いる以外は実施例1と同様に操作して、緑色
画素を形成した。この緑色画素の厚みは1.6μmであ
った。なお、解像度は20μmであり、その断面形状は
順テーパー状であった。
(Formation of Colored Pattern) A green pixel was prepared in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1 was replaced with the colored photosensitive resin composition obtained above. Was formed. The thickness of this green pixel was 1.6 μm. The resolution was 20 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0097】(保管後の着色感光性樹脂組成物の評価)
上記で得た着色感光性樹脂組成物を23℃で1月保管し
た後、その粘度を測定したところ、5.57mPa・s
であった。また、1月保管した後の着色感光性樹脂組成
物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したとこ
ろ、その厚みは1.6μmであり、その断面形状は順テ
ーパー状であった。上記で得た着色感光性樹脂組成物を
23℃で3月保管した後、その粘度を測定したところ、
5.61mPa・sであった。また、3月保管した後の
着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画
素を形成したところ、その厚みは1.6μmであり、そ
の断面形状は順テーパー状であった。
(Evaluation of the colored photosensitive resin composition after storage)
After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for one month, its viscosity was measured to be 5.57 mPa · s.
Met. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition stored for one month, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape. After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for 3 months, its viscosity was measured.
It was 5.61 mPa · s. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition after storage for three months, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0098】実施例5 (着色感光性樹脂組成物の製造)混合後、40℃で6時
間保温する以外は、実施例2と同様に操作して、着色感
光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘
度を実施例1と同様にして測定したところ、5.57m
Pa・sであった。
Example 5 (Production of colored photosensitive resin composition) A colored photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 2 except that the mixture was kept at 40 ° C. for 6 hours. When the viscosity of this colored photosensitive resin composition was measured in the same manner as in Example 1, 5.57 m
Pa · s.

【0099】(着色パターンの形成)実施例1で得た着
色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂
組成物を用いる以外は実施例1と同様に操作して、緑色
画素を形成した。この緑色画素の厚みは1.6μmであ
った。なお、解像度は20μmであり、その断面形状は
順テーパー状であった。
(Formation of Colored Pattern) The same procedure as in Example 1 was repeated except that the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1 was used instead of the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1, to obtain a green pixel. Was formed. The thickness of this green pixel was 1.6 μm. The resolution was 20 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0100】(保管後の着色感光性樹脂組成物の評価)
上記で得た着色感光性樹脂組成物を23℃で1月保管し
た後、その粘度を測定したところ、5.59mPa・s
であった。また、1月保管した後の着色感光性樹脂組成
物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したとこ
ろ、その厚みは1.6μmであり、その断面形状は順テ
ーパー状であった。上記で得た着色感光性樹脂組成物を
23℃で3月保管した後、その粘度を測定したところ、
5.64mPa・sであった。また、3月保管した後の
着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画
素を形成したところ、その厚みは1.6μmであり、そ
の断面形状は順テーパー状であった。
(Evaluation of the colored photosensitive resin composition after storage)
After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for one month, its viscosity was measured to be 5.59 mPa · s.
Met. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition stored for one month, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape. After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for 3 months, its viscosity was measured.
It was 5.64 mPa · s. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition after storage for three months, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0101】実施例6 (着色感光性樹脂組成物の製造)混合後、40℃で6時
間保温する以外は、実施例2と同様に操作して、着色感
光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘
度を実施例1と同様にして測定したところ、5.49m
Pa・sであった。
Example 6 (Production of colored photosensitive resin composition) A colored photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 2, except that the mixture was kept at 40 ° C for 6 hours after mixing. When the viscosity of this colored photosensitive resin composition was measured in the same manner as in Example 1, it was 5.49 m.
Pa · s.

【0102】(着色パターンの形成)実施例1で得た着
色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂
組成物を用いる以外は実施例1と同様に操作して、緑色
画素を形成した。この緑色画素の厚みは1.6μmであ
った。なお、解像度は20μmであり、その断面形状は
順テーパー状であった。
(Formation of Colored Pattern) The same procedure as in Example 1 was repeated, except that the colored photosensitive resin composition obtained above was used instead of the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1, to obtain a green pixel. Was formed. The thickness of this green pixel was 1.6 μm. The resolution was 20 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0103】(保管後の着色感光性樹脂組成物の評価)
上記で得た着色感光性樹脂組成物を23℃で1月保管し
た後、その粘度を測定したところ、5.52mPa・s
であった。また、1月保管した後の着色感光性樹脂組成
物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したとこ
ろ、その厚みは1.6μmであり、その断面形状は順テ
ーパー状であった。上記で得た着色感光性樹脂組成物を
23℃で3月保管した後、その粘度を測定したところ、
5.62mPa・sであった。また、3月保管した後の
着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画
素を形成したところ、その厚みは1.6μmであり、そ
の断面形状は順テーパー状であった。
(Evaluation of the colored photosensitive resin composition after storage)
After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for one month, its viscosity was measured, and it was 5.52 mPa · s.
Met. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition stored for one month, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape. After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for 3 months, its viscosity was measured.
It was 5.62 mPa · s. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition after storage for three months, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0104】実施例7 (着色感光性樹脂組成物の製造)混合後、50℃で3時
間保温する以外は、実施例2と同様に操作して、着色感
光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘
度を実施例1と同様にして測定したところ、5.48m
Pa・sであった。
Example 7 (Production of colored photosensitive resin composition) A colored photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 2 except that the mixture was kept at 50 ° C for 3 hours after mixing. When the viscosity of this colored photosensitive resin composition was measured in the same manner as in Example 1, 5.48 m
Pa · s.

【0105】(着色パターンの形成)実施例1で得た着
色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂
組成物を用いる以外は実施例1と同様に操作して、緑色
画素を形成した。この緑色画素の厚みは1.6μmであ
った。なお、解像度は20μmであり、その断面形状は
順テーパー状であった。
(Formation of Colored Pattern) The same procedure as in Example 1 was carried out except that the colored photosensitive resin composition obtained above was used instead of the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1, to obtain a green pixel. Was formed. The thickness of this green pixel was 1.6 μm. The resolution was 20 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0106】(保管後の着色感光性樹脂組成物の評価)
上記で得た着色感光性樹脂組成物を23℃で1月保管し
た後、その粘度を測定したところ、5.52mPa・s
であった。また、1月保管した後の着色感光性樹脂組成
物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したとこ
ろ、その厚みは1.6μmであり、その断面形状は順テ
ーパー状であった。上記で得た着色感光性樹脂組成物を
23℃で3月保管した後、その粘度を測定したところ、
5.64mPa・sであった。また、3月保管した後の
着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画
素を形成したところ、その厚みは1.6μmであり、そ
の断面形状は順テーパー状であった。
(Evaluation of the colored photosensitive resin composition after storage)
After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for one month, its viscosity was measured, and it was 5.52 mPa · s.
Met. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition stored for one month, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape. After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for 3 months, its viscosity was measured.
It was 5.64 mPa · s. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition after storage for three months, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0107】実施例8 (着色感光性樹脂組成物の製造)混合後、70℃で3時
間保温する以外は、実施例2と同様に操作して、着色感
光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘
度を実施例1と同様にして測定したところ、5.62m
Pa・sであった。
Example 8 (Production of colored photosensitive resin composition) A colored photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 2 except that the mixture was kept at 70 ° C. for 3 hours after mixing. When the viscosity of this colored photosensitive resin composition was measured in the same manner as in Example 1, 5.62 m
Pa · s.

【0108】(着色パターンの形成)実施例1で得た着
色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂
組成物を用いる以外は実施例1と同様に操作して、緑色
画素を形成した。この緑色画素の厚みは1.6μmであ
った。なお、解像度は20μmであり、その断面形状は
順テーパー状であった。
(Formation of Colored Pattern) A green pixel was prepared in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1 was used instead of the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1. Was formed. The thickness of this green pixel was 1.6 μm. The resolution was 20 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0109】実施例9 (着色感光性樹脂組成物の製造)混合温度を25℃とす
る以外は、実施例2と同様に操作して、着色感光性樹脂
組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度を実施
例1と同様にして測定したところ、5.38mPa・s
であった。
Example 9 (Production of colored photosensitive resin composition) A colored photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 2, except that the mixing temperature was 25 ° C. When the viscosity of the colored photosensitive resin composition was measured in the same manner as in Example 1, 5.38 mPa · s
Met.

【0110】(着色パターンの形成)実施例1で得た着
色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂
組成物を用いる以外は実施例1と同様に操作して、緑色
画素を形成した。この緑色画素(5)の厚みは1.6μ
mであった。なお、解像度は20μmであり、その断面
形状は順テーパー状であった。
(Formation of Colored Pattern) The same procedure as in Example 1 was repeated except that the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1 was used instead of the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1, to obtain a green pixel. Was formed. The thickness of the green pixel (5) is 1.6μ.
m. The resolution was 20 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0111】(保管後の着色感光性樹脂組成物の評価)
上記で得た着色感光性樹脂組成物を23℃で1月保管し
た後、その粘度を測定したところ、5.48mPa・s
であった。また、1月保管した後の着色感光性樹脂組成
物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したとこ
ろ、その厚みは1.6μmであり、その断面形状は順テ
ーパー状であった。上記で得た着色感光性樹脂組成物を
23℃で3月保管した後、その粘度を測定したところ、
5.58mPa・sであった。また、3月保管した後の
着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画
素を形成したところ、その厚みは1.6μmであり、そ
の断面形状は順テーパー状であった。
(Evaluation of the colored photosensitive resin composition after storage)
After the colored photosensitive resin composition obtained above was stored at 23 ° C. for one month, its viscosity was measured to be 5.48 mPa · s.
Met. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition stored for one month, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape. After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for 3 months, its viscosity was measured.
5.58 mPa · s. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition after storage for three months, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0112】実施例10 (着色感光性樹脂組成物の製造)顔料および溶剤の混合
物にメタクリル酸とベンジルメタクリレートとの共重合
体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、光重
合開始剤、光重合開始助剤およびプロピレングリコール
モノメチルエーテルアセテートの混合物を加える際の温
度を23℃とし、混合後の保温時間を1時間とする以外
は実施例1と同様に操作して、着色感光性樹脂組成物を
得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度を実施例1と同
様にして測定したところ、5.34mPa・sであっ
た。
Example 10 (Production of a colored photosensitive resin composition) A copolymer of methacrylic acid and benzyl methacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, a photopolymerization initiator, a photopolymerization initiator, A colored photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 1 except that the temperature at the time of adding the mixture of propylene glycol monomethyl ether acetate was 23 ° C., and the heat retention time after mixing was 1 hour. The viscosity of the colored photosensitive resin composition was measured in the same manner as in Example 1, and it was 5.34 mPa · s.

【0113】(着色パターンの形成)実施例1で得た着
色感光性樹脂組成物に代えて上記で得た着色感光性樹脂
組成物を用いる以外は実施例1と同様に操作して、緑色
画素を形成した。この緑色画素の厚みは1.6μmであ
った。なお、解像度は20μmであり、その断面形状は
順テーパー状であった。
(Formation of Colored Pattern) A green pixel was formed in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition obtained above was used instead of the colored photosensitive resin composition obtained in Example 1. Was formed. The thickness of this green pixel was 1.6 μm. The resolution was 20 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0114】(保管後の着色感光性樹脂組成物の評価)
上記で得た着色感光性樹脂組成物を23℃で1月保管し
た後、その粘度を測定したところ、5.50mPa・s
であった。また、1月保管した後の着色感光性樹脂組成
物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したとこ
ろ、その厚みは1.6μmであり、その断面形状は順テ
ーパー状であった。上記で得た着色感光性樹脂組成物を
23℃で3月保管した後、その粘度を測定したところ、
5.62mPa・sであった。また、3月保管した後の
着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画
素を形成したところ、その厚みは1.6μmであり、そ
の断面形状は順テーパー状であった。
(Evaluation of colored photosensitive resin composition after storage)
After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for one month, its viscosity was measured to be 5.50 mPa · s.
Met. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition stored for one month, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape. After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for 3 months, its viscosity was measured.
It was 5.62 mPa · s. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition after storage for three months, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0115】比較例1 (着色感光性樹脂組成物の製造)23℃で攪拌下に、実
施例1で用いたと同じメタクリル酸とベンジルメタクリ
レートとの共重合体、ジペンタエリスリトールヘキサア
クリレート、光重合開始剤、光重合開始助剤およびプロ
ピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの混合
物に、実施例1で用いたと同じ顔料および溶剤の混合物
を加えて混合して、着色感光性樹脂組成物を得た。この
着色感光性樹脂組成物の粘度を実施例1と同様にして測
定したところ、5.22mPa・sであった。
Comparative Example 1 (Production of colored photosensitive resin composition) The same copolymer of methacrylic acid and benzyl methacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and photopolymerization as used in Example 1 were stirred at 23 ° C. The same mixture of the pigment and the solvent as used in Example 1 was added to a mixture of the agent, the photopolymerization initiation aid and propylene glycol monomethyl ether acetate, and mixed to obtain a colored photosensitive resin composition. The viscosity of the colored photosensitive resin composition measured in the same manner as in Example 1 was 5.22 mPa · s.

【0116】(着色パターンの形成)着色感光性樹脂組
成物(I)に代えて上記で得た着色感光性樹脂組成物を
用いる以外は実施例1と同様に操作して、緑色画素を形
成した。この緑色画素の厚みは1.5μmであった。な
お、解像度は20μmであり、その断面形状は順テーパ
ー状であった。
(Formation of Colored Pattern) A green pixel was formed in the same manner as in Example 1 except that the colored photosensitive resin composition obtained above was used instead of the colored photosensitive resin composition (I). . The thickness of this green pixel was 1.5 μm. The resolution was 20 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape.

【0117】(保管後の着色感光性樹脂組成物の評価)
上記で得た着色感光性樹脂組成物を23℃で1月保管し
た後、その粘度を測定したところ、5.68mPa・s
であった。また、1月保管した後の着色感光性樹脂組成
物を用いて上記と同様にして緑色画素を形成したとこ
ろ、その厚みは1.6μmであり、その断面形状は順テ
ーパー状であった。上記で得た着色感光性樹脂組成物を
23℃で3月保管した後、その粘度を測定したところ、
6.12mPa・sであった。また、3月保管した後の
着色感光性樹脂組成物を用いて上記と同様にして緑色画
素(5G)を形成したところ、その厚みは1.8μmで
あり、その断面形状は基板側と上側とが等しい幅である
矩形状(図5(a))であった。
(Evaluation of the colored photosensitive resin composition after storage)
After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for one month, its viscosity was measured to be 5.68 mPa · s.
Met. When a green pixel was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition stored for one month, the thickness was 1.6 μm, and the cross-sectional shape was a forward tapered shape. After storing the colored photosensitive resin composition obtained above at 23 ° C. for 3 months, its viscosity was measured.
It was 6.12 mPa · s. When a green pixel (5G) was formed in the same manner as described above using the colored photosensitive resin composition stored in March, the thickness thereof was 1.8 μm, and the cross-sectional shapes thereof were the substrate side and the upper side. Have the same width (FIG. 5 (a)).

【0118】上記実施例1〜実施例8および比較例1で
得た着色感光性樹脂組成物の製造時における混合温度、
保温温度、製造直後の粘度(η0)と1月保管した後の
粘度(η1)との差(Δη1=η1−η0)およびη0と3
月保管した後の粘度(η3)との差(Δη3=η3−η0
を表2にまとめて示す。
The mixing temperature during the production of the colored photosensitive resin compositions obtained in Examples 1 to 8 and Comparative Example 1,
Insulation temperature, difference between viscosity immediately after production (η 0 ) and viscosity after storage for one month (η 1 ) (Δη 1 = η 1 −η 0 ) and η 0 and 3
Difference from viscosity (η 3 ) after storage in the moon (Δη 3 = η 3 −η 0 )
Are summarized in Table 2.

【0119】[0119]

【表2】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 混合温度 保温温度 保温時間 Δη1 Δη3 (℃) (℃) (時間) (mPa・s) (mPa・s) ────────────────────────────────── 実施例1 40 60 3 0.03 0.06 実施例2 40 60 3 -0.01 0.02 実施例3 40 60 0.5 0.05 0.09 実施例4 40 60 1 0.03 0.07 実施例5 40 60 6 0.02 0.07 実施例6 40 40 6 0.03 0.13 実施例7 40 50 3 0.04 0.16 実施例8 40 70 3 -0.03 0.04 実施例9 25 60 3 0.10 0.20 実施例10 23 60 1 0.16 0.28 比較例1 23 − − 0.46 0.90 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━[Table 2] ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ Mixing temperature Insulation temperature Insulation time Δη 1 Δη 3 ( ℃) (℃) (time) (mPa ・ s) (mPa ・ s) ──────────────────────────────── ── Example 1 40 60 3 0.03 0.06 Example 2 40 60 3 -0.01 0.02 Example 3 40 60 0.5 0.05 0.09 Example 4 40 60 1 0.03 0.07 Example 5 40 60 6 0.02 0.07 Example 6 40 40 6 0.03 0.13 Example 7 40 50 3 0.04 0.16 Example 8 40 703 -0.03 0.04 Example 9 25 60 3 0.10 0.20 Example 10 23 60 1 0.16 0.28 Comparative example 1 23 − − 0.46 0.90 ━━━━━━━━ ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

【0120】実施例11 40℃で攪拌下に、顔料および溶剤の混合物〔顔料(被
覆カーボンブラック)44質量部、分散剤13質量部、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート2
50質量部の混合物〕を9,9’−ビス(4−ヒドロキ
シフェニル)フルオレンのエポキシアクリレート化合物
とテトラヒドロ無水フタル酸の反応生成物〔重量平均分
子量(Mw)は5000〕29質量部、ジペンタエリス
リトールヘキサアクリレート9質量部、光重合開始剤
(2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル
−1,3,5−トリアジン)5質量部、およびプロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート124質量
部の混合物に5分かけて加えた後、1時間かけて60℃
に昇温、次いで60℃で1時間保温して、黒色着色感光
性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組成物の粘度
をR型粘度計〔「VISCOMETER MODEL
RE120L SYSTEM」(東機産業(株)製)、
回転数50rpm、温度23℃〕で測定したところ、
4.57mPa・s(ミリパスカル秒)であった。
Example 11 Under stirring at 40 ° C., a mixture of a pigment and a solvent (44 parts by mass of a pigment (coated carbon black), 13 parts by mass of a dispersant,
Propylene glycol monomethyl ether acetate 2
50 parts by mass of a reaction product of an epoxy acrylate compound of 9,9'-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene and tetrahydrophthalic anhydride [weight average molecular weight (Mw) is 5000] 29 parts by mass, dipentaerythritol A mixture of 9 parts by mass of hexaacrylate, 5 parts by mass of a photopolymerization initiator (2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine), and 124 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added with 5 parts by mass. 60 minutes at 60 ° C over 1 hour
And then kept at 60 ° C. for 1 hour to obtain a black colored photosensitive resin composition. The viscosity of the colored photosensitive resin composition was measured using an R-type viscometer [“VISCOMTER MODEL”
RE120L SYSTEM ”(manufactured by Toki Sangyo Co., Ltd.),
When measured at a rotation speed of 50 rpm and a temperature of 23 ° C.]
It was 4.57 mPa · s (millipascal second).

【0121】実施例12 40℃で攪拌下に、顔料および溶剤の混合物〔顔料(被
覆カーボンブラック)44質量部、分散剤13質量部、
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート2
50質量部の混合物〕に9,9‘−ビス(4−ヒドロキ
シフェニル)フルオレンのエポキシアクリレート化合物
とテトラヒドロ無水フタル酸の反応生成物〔重量平均分
子量(Mw)は5000〕29質量部、ジペンタエリス
リトールヘキサアクリレート9質量部、光重合開始剤
(2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル
−1,3,5−トリアジン)5質量部、およびプロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート124質量
部の混合物を1時間かけて滴下して加えた後、1時間か
けて60℃に昇温、次いで60℃で1時間保温して、黒
色着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感光性樹脂組
成物の粘度をR型粘度計で測定したところ、4.63m
Pa・s(ミリパスカル秒)であった。
Example 12 Under stirring at 40 ° C., a mixture of a pigment and a solvent [44 parts by mass of a pigment (coated carbon black), 13 parts by mass of a dispersant,
Propylene glycol monomethyl ether acetate 2
50 parts by weight of a mixture], 29 parts by weight of a reaction product of an epoxy acrylate compound of 9,9'-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene and tetrahydrophthalic anhydride [weight average molecular weight (Mw) is 5000] 29 parts by weight, dipentaerythritol A mixture of 9 parts by mass of hexaacrylate, 5 parts by mass of a photopolymerization initiator (2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine) and 124 parts by mass of propylene glycol monomethyl ether acetate was added to 1 part. After dropwise addition over time, the temperature was raised to 60 ° C. over 1 hour, and then kept at 60 ° C. for 1 hour to obtain a black colored photosensitive resin composition. When the viscosity of this colored photosensitive resin composition was measured with an R-type viscometer, 4.63 m
Pa · s (millipascal second).

【0122】実施例13 各物質の混合温度を40℃から20℃に、混合後の保温
時間を1時間から7.5時間に、それぞれ変える他は実
施例1と同様にして、黒色着色感光性樹脂組成物を得
た。この着色感光性樹脂組成物の粘度をR型粘度計で測
定したところ、4.54mPa・s(ミリパスカル秒)
であった。
Example 13 The procedure of Example 1 was repeated except that the mixing temperature of each substance was changed from 40 ° C. to 20 ° C., and the heat retention time after mixing was changed from 1 hour to 7.5 hours. A resin composition was obtained. When the viscosity of this colored photosensitive resin composition was measured with an R-type viscometer, it was 4.54 mPa · s (millipascal second).
Met.

【0123】比較例2 各物質の混合温度を、40℃から20℃に、混合後の保
温温度を60℃から20℃に変える他は実施例1と同様
にして、黒色着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感
光性樹脂組成物の粘度をR型粘度計で測定したところ、
5.04mPa・s(ミリパスカル秒)であった。
Comparative Example 2 A black-colored photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the mixing temperature of each substance was changed from 40 ° C. to 20 ° C., and the holding temperature after mixing was changed from 60 ° C. to 20 ° C. I got When the viscosity of this colored photosensitive resin composition was measured with an R-type viscometer,
It was 5.04 mPa · s (millipascal second).

【0124】比較例3 各物質の混合温度を、40℃から20℃に、混合後の保
温温度を60℃から20℃に変える他は実施例2と同様
にして、黒色着色感光性樹脂組成物を得た。この着色感
光性樹脂組成物の粘度をR型粘度計で測定したところ、
5.10mPa・s(ミリパスカル秒)であった。 (保管後の着色感光性樹脂組成物の評価)上記実施例1
1〜13および比較例2〜3で得た着色感光性樹脂組成
物を5℃で1ヶ月保管した後の粘度(η1)、および製
造直後の粘度(η0)と1ヶ月保管した後の粘度との差
(Δη1=η1−η0)はそれぞれ表3に示す値となっ
た。
Comparative Example 3 A black-colored photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 2 except that the mixing temperature of each substance was changed from 40 ° C. to 20 ° C., and the holding temperature after mixing was changed from 60 ° C. to 20 ° C. I got When the viscosity of this colored photosensitive resin composition was measured with an R-type viscometer,
5.10 mPa · s (millipascal second). (Evaluation of the colored photosensitive resin composition after storage) Example 1 above
The viscosity (η 1 ) of the colored photosensitive resin compositions obtained in Examples 1 to 13 and Comparative Examples 2 to 3 after storage at 5 ° C. for 1 month, and the viscosity immediately after production (η 0 ) and the storage after storage for 1 month. The difference from the viscosity (Δη 1 = η 1 −η 0 ) was the value shown in Table 3.

【0125】[0125]

【表3】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 混合温度 保温温度 η1 Δη1 (℃) (℃) (mPa・s) (mPa・s) ────────────────────────────────── 実施例11 40 60 4.79 0.22 実施例12 40 60 4.88 0.25 実施例13 20 60 4.71 0.17 比較例2 20 20 13.86 8.82 比較例3 20 20 13.65 7.95 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━[Table 3] ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ Mixing temperature Insulation temperature η 1 Δη 1 (℃) ( ° C) (mPa · s) (mPa · s) ────────────────────────────────── Example 11 40 60 4.79 0.22 Example 12 40 60 4.88 0.25 Example 13 20 60 4.71 0.17 Comparative Example 2 20 20 13.86 8.82 Comparative Example 3 20 20 13.65 7.95 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ ━━━━━━━━━━━━━━━

【0126】実施例14 上記実施例11〜13および比較例2〜3で得た着色感
光性樹脂組成物、および上記実施例11〜13および比
較例2〜3で得た着色感光性樹脂組成物を5℃で1ヶ月
保管したものをそれぞれ、コーニング社製の#7059
ガラス基板上に膜厚が均一になるようにスピン塗布し、
100℃で3分間プリベークして乾燥させた。スピン塗
付の条件は、ポストベーク後の塗布膜の光学濃度が3.
6となるように回転数を設定した。次いでこの乾燥塗膜
に、フォトマスクを介して超高圧水銀灯により600m
J/cmの露光を行った後、ノニオン系界面活性剤を含
む0.05%水酸化カリウム水溶液に80秒間浸漬して
現像し、さらに230℃で20分間の後硬化を施して、
黒色画素(ブラックマトリックス)を作成した。得られ
た黒色画素サンプルについてラインパターン再現性、及
び現像マージンについて評価を行った。ラインパターン
再現性はパターニングされた10μmのラインアンドス
ペースパターンを倍率2,500倍の反射型光学顕微鏡
で観察し、判定した。現像マージンは再現する最小のパ
ターン線幅の現像時間依存性により判定した。結果を表
4に示した。
Example 14 The colored photosensitive resin compositions obtained in Examples 11 to 13 and Comparative Examples 2 to 3 and the colored photosensitive resin compositions obtained in Examples 11 to 13 and Comparative Examples 2 to 3 were obtained. Were stored at 5 ° C. for one month.
Spin coating on the glass substrate so that the film thickness becomes uniform,
Prebaked at 100 ° C. for 3 minutes and dried. The spin coating condition is such that the optical density of the coating film after post-baking is 3.
The number of revolutions was set to be 6. Next, the dried coating film was applied for 600 m with a super high pressure mercury lamp through a photomask.
After exposure at J / cm, the film was immersed in a 0.05% aqueous solution of potassium hydroxide containing a nonionic surfactant for 80 seconds, developed, and further subjected to post-curing at 230 ° C. for 20 minutes.
A black pixel (black matrix) was created. The obtained black pixel samples were evaluated for line pattern reproducibility and development margin. The line pattern reproducibility was determined by observing the patterned 10 μm line and space pattern with a reflection optical microscope with a magnification of 2,500. The development margin was determined based on the dependence of the minimum pattern line width to be reproduced on the development time. The results are shown in Table 4.

【0127】[0127]

【表4】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ ラインパターン再現性*1 現像マージン*2 保管前 保管後 保管前 保管後 90秒現像 150秒現像 90秒現像 150秒現像 ──────────────────────────────────── 実施例11 ○ ○ 4μm 7μm 4μm 7μm 実施例12 ○ ○ 4μm 8μm 4μm 8μm 実施例13 ○ ○ 6μm 8μm 6μm 8μm 比較例2 ○ × 4μm 7μm 7μm 20μm 比較例3 ○ × 4μm 8μm 7μm 20μm ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ *1ラインパターン再現性 ○:欠け無し ×:部分的に欠けが認められる *2再現する最小パターン線幅[Table 4] ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ Line pattern reproducibility * 1 Development margin * 2 Before storage After storage Before storage After storage 90 seconds development 150 seconds development 90 seconds development 150 seconds development ────────────────────────────── ────── Example 11 ○ ○ 4 μm 7 μm 4 μm 7 μm Example 12 ○ ○ 4 μm 8 μm 4 μm 8 μm Example 13 ○ ○ 6 μm 8 μm 6 μm 8 μm Comparative Example 2 ○ × 4 μm 7 μm 7 μm 20 μm Comparative Example 3 μm × 4 μm 20 μm ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ * 1 Line pattern reproducibility ○: No chipping ×: Part * 2 Minimum pattern line width to be reproduced

【0128】実施例15〜18 各物質の混合温度と混合後の保温温度をそれぞれ表5に
記載の温度に変える他は実施例11と同様にして、黒色
着色感光性樹脂組成物を得る。得られる着色感光性樹脂
組成物の粘度は、長期間保存しても変化が少ない。
Examples 15 to 18 A black-colored photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 11 except that the mixing temperature of each substance and the heat retention temperature after mixing were changed to the temperatures shown in Table 5, respectively. The viscosity of the obtained colored photosensitive resin composition does not change much even after long-term storage.

【0129】[0129]

【表5】 [Table 5]

【0130】実施例19〜22 各物質の混合温度と混合後の保温温度をそれぞれ表6に
記載の温度に変える他は実施例12と同様にして、黒色
着色感光性樹脂組成物を得る。得られる着色感光性樹脂
組成物の粘度は、長期間保存しても変化が少ない。
Examples 19 to 22 A black-colored photosensitive resin composition was obtained in the same manner as in Example 12, except that the mixing temperature of each substance and the heat retention temperature after mixing were changed to the temperatures shown in Table 6, respectively. The viscosity of the obtained colored photosensitive resin composition does not change much even after long-term storage.

【0131】[0131]

【表6】 [Table 6]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】カラーフィルターの構造を示す斜視模式図であ
る。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing the structure of a color filter.

【図2】着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを
形成する工程を示す断面模式図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a step of forming a colored pattern using a colored photosensitive resin composition.

【図3】着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを
形成する工程を示す断面模式図である。
FIG. 3 is a schematic sectional view showing a step of forming a colored pattern using a colored photosensitive resin composition.

【図4】着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを
形成する工程を示す断面模式図である。
FIG. 4 is a schematic sectional view showing a step of forming a colored pattern using a colored photosensitive resin composition.

【図5】着色パターンの断面形状を示す断面模式図であ
る。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a cross-sectional shape of a coloring pattern.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 :着色感光性樹脂組成物層 2 :基板 3 :フォトマスク 31:ガラス板 32:遮光層 33:透光部 4 :光線 5 :着色パターン(色画素またはブラックマトリック
ス) 5’:着色パターン(色画素またはブラックマトリック
ス) 5”:着色パターン(色画素またはブラックマトリック
ス) 5BM:ブラックマトリックス 5R:赤色画素 5G:緑色画素 5B:青色画素 6 :カラーフィルター
1: colored photosensitive resin composition layer 2: substrate 3: photomask 31: glass plate 32: light shielding layer 33: light-transmitting part 4: light ray 5: colored pattern (color pixel or black matrix) 5 ': colored pattern (color) 5 ″: coloring pattern (color pixel or black matrix) 5BM: black matrix 5R: red pixel 5G: green pixel 5B: blue pixel 6: color filter

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 武部 和男 大阪市此花区春日出中3丁目1番98号 住 友化学工業株式会社内 (72)発明者 室 誠治 大阪市此花区春日出中3丁目1番98号 住 友化学工業株式会社内 (72)発明者 中井 英之 大阪市此花区春日出中3丁目1番98号 住 友化学工業株式会社内 Fターム(参考) 2H048 BA02 BA11 BA45 BA47 BA48 BB02 BB14 2H096 AA23 AA30 BA01 CA20 LA21 LA30  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Kazuo Takebe 3-1-198, Kasuganaka, Konohana-ku, Osaka-shi Sumitomo Chemical Industries Co., Ltd. (72) Inventor Seiji Muroru 3-chome, Kasuganaka, Konohana-ku, Osaka-shi No. 1-98 Sumitomo Chemical Co., Ltd. (72) Hideyuki Nakai Inventor 3-1-1 Kasuganaka, Konohana-ku, Osaka F-term in Sumitomo Chemical Co., Ltd. 2H048 BA02 BA11 BA45 BA47 BA48 BB02 BB14 2H096 AA23 AA30 BA01 CA20 LA21 LA30

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】着色剤(A)および溶剤(E)の混合物を
バインダーポリマー(B)、光重合性化合物(C)およ
び光重合開始剤(D)と混合したのち、25℃以上80
℃以下の温度で保温することを特徴とする着色感光性樹
脂組成物の製造方法。
1. A mixture of a colorant (A) and a solvent (E) is mixed with a binder polymer (B), a photopolymerizable compound (C) and a photopolymerization initiator (D).
A method for producing a colored photosensitive resin composition, wherein the composition is kept at a temperature of not more than ℃.
【請求項2】着色剤(A)および溶剤(E)の混合物を
バインダーポリマー(B)、光重合性化合物(C)およ
び光重合開始剤(D)と30℃以上80℃以下の温度で
混合する請求項1に記載の製造方法。
2. A mixture of a colorant (A) and a solvent (E) is mixed with a binder polymer (B), a photopolymerizable compound (C) and a photopolymerization initiator (D) at a temperature of 30 ° C. or more and 80 ° C. or less. The manufacturing method according to claim 1, wherein
【請求項3】保温時間が10分以上である請求項1また
は請求項2に記載の製造方法。
3. The method according to claim 1, wherein the heat retention time is 10 minutes or more.
【請求項4】着色剤(A)および溶剤(E)の混合物に
おける、着色剤(A)の含有量が着色剤(A)および溶
剤(E)の合計量100質量部あたり5質量部以上60
質量部以下である請求項1〜請求項3のいずれかに記載
の製造方法。
4. A mixture of the colorant (A) and the solvent (E), wherein the content of the colorant (A) is 5 parts by mass or more per 60 parts by mass of the total amount of the colorant (A) and the solvent (E).
The method according to claim 1, wherein the amount is not more than part by mass.
【請求項5】着色剤(A)の使用量が、着色感光性樹脂
組成物の固形分に対して質量分率で5%以上60%以下
である請求項4に記載の製造方法。
5. The method according to claim 4, wherein the amount of the colorant (A) used is 5% or more and 60% or less by mass fraction based on the solid content of the colored photosensitive resin composition.
【請求項6】着色剤(A)が黒色着色剤である請求項1
〜5のいずれかに記載の製造方法。
6. The colorant (A) is a black colorant.
6. The production method according to any one of items 1 to 5,
【請求項7】黒色着色剤がカーボンブラックである請求
項6に記載の製造方法。
7. The method according to claim 6, wherein the black colorant is carbon black.
【請求項8】バインダーポリマー(B)が、ビスフェノ
ールフルオレン骨格を有する化合物である請求項1〜請
求項7のいずれかに記載の製造方法。
8. The method according to claim 1, wherein the binder polymer (B) is a compound having a bisphenolfluorene skeleton.
【請求項9】請求項1〜請求項8のいずれかに記載の方
法で着色感光性樹脂組成物を得、得られた着色感光性樹
脂組成物をパターンニングすることを特徴とする着色パ
ターンの形成方法。
9. A colored pattern comprising the steps of: obtaining a colored photosensitive resin composition by the method according to any one of claims 1 to 8, and patterning the obtained colored photosensitive resin composition. Forming method.
【請求項10】請求項9に記載の方法で着色パターンを
形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方
法。
10. A method for manufacturing a color filter, wherein a colored pattern is formed by the method according to claim 9.
【請求項11】着色剤(A)および溶剤(E)の混合物
が、バインダーポリマー(B)、光重合性化合物(C)
および光重合性化合物(D)と混合したのち25℃以上
80℃以下の温度で保温されてなることを特徴とする着
色感光性樹脂組成物。
11. A mixture of a colorant (A) and a solvent (E) comprising a binder polymer (B) and a photopolymerizable compound (C).
A colored photosensitive resin composition which is kept at a temperature of 25 ° C. or more and 80 ° C. or less after being mixed with the photopolymerizable compound (D).
【請求項12】着色剤(A)および溶剤(E)の混合物
が、バインダーポリマー(B)、光重合性化合物(C)
および光重合性化合物(D)と30℃以上80℃以下の
温度で混合したのち25℃以上80℃以下で保温されて
なる請求項11に記載の着色感光性樹脂組成物。
12. A mixture of a colorant (A) and a solvent (E) comprising a binder polymer (B) and a photopolymerizable compound (C).
The colored photosensitive resin composition according to claim 11, wherein the colored photosensitive resin composition is mixed with the photopolymerizable compound (D) at a temperature of 30C to 80C and then kept at a temperature of 25C to 80C.
【請求項13】保温時間が10分以上である請求項11
または請求項12に記載の着色感光性樹脂組成物。
13. The heat retention time is 10 minutes or more.
Or the colored photosensitive resin composition according to claim 12.
【請求項14】着色剤(A)が黒色着色剤である請求項
11〜13のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物。
14. The colored photosensitive resin composition according to claim 11, wherein the colorant (A) is a black colorant.
【請求項15】黒色着色剤がカーボンブラックである請
求項14に記載の着色感光性樹脂組成物。
15. The colored photosensitive resin composition according to claim 14, wherein the black colorant is carbon black.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004339499A (en) * 2003-04-22 2004-12-02 Osaka Gas Co Ltd Fluorene-based composition and molded product of the same
JP2010111876A (en) * 2003-04-22 2010-05-20 Osaka Gas Co Ltd Fluorene-based composition and molded product of the same
WO2017061477A1 (en) * 2015-10-09 2017-04-13 富士フイルム株式会社 Cured film manufacturing method, cured film, solid-state imaging element, and image display device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101501151B (en) * 2006-08-04 2012-02-15 日立化成工业株式会社 Adhesive composition and connection structure for circuit member
CN101852989A (en) * 2009-03-31 2010-10-06 富士胶片株式会社 Photosensitive coloring composition, color filter and autofrettage thereof and liquid crystal indicator

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004339499A (en) * 2003-04-22 2004-12-02 Osaka Gas Co Ltd Fluorene-based composition and molded product of the same
JP2010111876A (en) * 2003-04-22 2010-05-20 Osaka Gas Co Ltd Fluorene-based composition and molded product of the same
JP2012041561A (en) * 2003-04-22 2012-03-01 Osaka Gas Co Ltd Fluorene-based composition and molded product of the same
JP2013010971A (en) * 2003-04-22 2013-01-17 Osaka Gas Co Ltd Fluorene based composition and molded product of the same
JP2014040615A (en) * 2003-04-22 2014-03-06 Osaka Gas Co Ltd Fluorene-based composition and molded product of the same
WO2017061477A1 (en) * 2015-10-09 2017-04-13 富士フイルム株式会社 Cured film manufacturing method, cured film, solid-state imaging element, and image display device
JPWO2017061477A1 (en) * 2015-10-09 2018-07-05 富士フイルム株式会社 Method for producing cured film, cured film, solid-state imaging device, and image display device

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