JP2002323765A - Photosensitive composition, method for forming pattern by using the same and method for manufacturing cathode ray tube - Google Patents

Photosensitive composition, method for forming pattern by using the same and method for manufacturing cathode ray tube

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JP2002323765A
JP2002323765A JP2001127537A JP2001127537A JP2002323765A JP 2002323765 A JP2002323765 A JP 2002323765A JP 2001127537 A JP2001127537 A JP 2001127537A JP 2001127537 A JP2001127537 A JP 2001127537A JP 2002323765 A JP2002323765 A JP 2002323765A
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JP
Japan
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photosensitive composition
mol
ray tube
coating film
acrylamide
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JP2001127537A
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Japanese (ja)
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Masahito Ito
雅人 伊藤
Nobuaki Hayashi
伸明 林
Emiko Yamada
絵実子 山田
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive composition having high sensitivity and excellent developing property and reciprocity law failure property as a water soluble photosensitive composition to be used for the manufacture of a black matrix type color cathode ray tube or the like. SOLUTION: The photosensitive composition consists of a water-soluble azide compound and a polymer compound prepared by copolymerizing at least one kind of amide between acrylamide and methacrylamide with diacetone acrylamide and vinyl imidazole.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性組成物、そ
れを用いたパターン形成方法及び陰極線管の製造方法に
関する。
The present invention relates to a photosensitive composition, a method of forming a pattern using the same, and a method of manufacturing a cathode ray tube.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のパターン形成方法の一例として、
特開昭48−90185号公報、特開昭50−3376
4号公報には、カラーブラウン管のブッラクマトリック
スの製造方法が記載され、また、これらの公報には、こ
れに用いる感光性組成物が記載されている。この方法は
相反則不軌特性を有する感光性組成物、例えば、アクリ
ルアミド−ジアセトンアクリルアミド共重合体等の高分
子化合物とビスアジド系架橋剤(感光性化合物)とから
なる組成物を用いて光照射区域より実質的に小面積のパ
ターンを形成する方法である。
2. Description of the Related Art As an example of a conventional pattern forming method,
JP-A-48-90185, JP-A-50-3376
No. 4 describes a method for producing a black matrix of a color cathode-ray tube, and these publications describe a photosensitive composition used therein. This method uses a photosensitive composition having reciprocity failure characteristics, for example, a composition comprising a polymer compound such as an acrylamide-diacetone acrylamide copolymer and a bisazide-based cross-linking agent (photosensitive compound). This is a method of forming a pattern having a substantially smaller area.

【0003】この方法について詳しく説明する。ブラッ
クマトリックス型カラーブラウン管は、パネル内面に
赤、青、緑の蛍光体ドット又はストライプ等の蛍光体パ
ターンを有し、その間の空隙をカーボン等の非発光性光
吸収性物質で埋めた構造を有する。以下、説明の便宜の
ためにドットの場合についてその製造方法を述べる。ま
ずカラーブラウン管フェースプレート内面に、前記相反
則不軌特性を有する感光性組成物の塗膜を形成し、蛍光
体ドットを形成する位置をシャドウマスクを介して露光
し、現像して感光性組成物のドットを形成する。この上
にカーボンを塗布し、ドットを剥離液でその上のカーボ
ンと共に除去する。かくてブラックマトッリクスのホー
ルが形成される。このホールに赤、青、緑の蛍光体ドッ
トを順次形成する。相反則不軌特性を有する感光性組成
物を用いているため、上記感光性組成物のドットの面
積、すなわち蛍光体ドットの面積は、シャドウマスクを
介して光照射された面積より実質的に小さい。従ってこ
のシャドウマスを用いてカラーブラウン管を完成すれ
ば、上記シャドウマスクの穴を通って照射される電子ビ
ームの直径は、蛍光ドットのそれより大きい。それ故、
製造したカラーブラウン管は明るく、コントラストに優
れている。
[0003] This method will be described in detail. A black matrix type color cathode ray tube has a structure in which a panel has a phosphor pattern such as red, blue, and green phosphor dots or stripes on the inner surface thereof, and a gap between them is filled with a non-light-emitting light-absorbing substance such as carbon. . Hereinafter, a method of manufacturing a dot will be described for convenience of description. First, a coating film of the photosensitive composition having the reciprocity failure property is formed on the inner surface of the color cathode ray tube face plate, the positions where the phosphor dots are formed are exposed through a shadow mask, and the photosensitive composition is developed and developed. Form dots. Carbon is applied thereon, and the dots are removed together with the carbon thereon using a stripper. Thus, a black matrix hole is formed. Red, blue, and green phosphor dots are sequentially formed in this hole. Since the photosensitive composition having the reciprocity failure property is used, the area of the dot of the photosensitive composition, that is, the area of the phosphor dot is substantially smaller than the area irradiated with light through the shadow mask. Therefore, if a color cathode ray tube is completed using this shadow mass, the diameter of the electron beam irradiated through the hole of the shadow mask is larger than that of the fluorescent dot. Therefore,
The manufactured color CRT is bright and has excellent contrast.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、大型
のカラーブラウン管の製造にこのパターン形成方法を用
いることについて考慮されていなかった。大型のカラー
ブラウン管製造の場合、露光面が光源から離れているた
めに露光面における照度が下がり、露光に長時間要し
た。さらに上記従来技術では、現像に長時間を要した。
高感度で現像時間を短縮できる組成物が得られれば、単
に作業時間を短縮し得るのみならず、現像用温水の節約
につながるものである。
The prior art described above does not consider the use of this pattern forming method in the manufacture of large color cathode ray tubes. In the case of manufacturing a large color cathode ray tube, the illuminance on the exposed surface was reduced because the exposed surface was far from the light source, and it took a long time for exposure. Further, in the above-mentioned conventional technique, development took a long time.
If a composition having high sensitivity and capable of reducing the development time can be obtained, not only can the operation time be reduced, but also the consumption of hot water for development can be saved.

【0005】本発明の第1の目的は、高感度で、現像時
間を短くでき、相反則不軌特性を示す感光性組成物を提
供することにある。本発明の第2の目的は、そのような
感光性組成物を用いたパターン形成方法を提供すること
にある。本発明の第3の目的は、そのような感光性組成
物を用いた陰極線管の製造方法を提供することにある。
A first object of the present invention is to provide a photosensitive composition which has high sensitivity, can shorten the development time, and exhibits reciprocity failure characteristics. A second object of the present invention is to provide a pattern forming method using such a photosensitive composition. A third object of the present invention is to provide a method for manufacturing a cathode ray tube using such a photosensitive composition.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記第1の目的を達成す
るために、本発明の感光性組成物は、アクリルアミド及
びメタクリルアミドの内の少なくとも一種のアミドと、
ジアセトンアクリルアミドと、ビニルイミダゾールとか
らなる高分子化合物及び水溶性アジト化合物とから構成
されるようにしたものである。
Means for Solving the Problems In order to achieve the first object, the photosensitive composition of the present invention comprises at least one of acrylamide and methacrylamide,
It is composed of a polymer compound comprising diacetone acrylamide and vinylimidazole and a water-soluble azido compound.

【0007】また、上記第2の目的を達成するために、
本発明のパターン形成方法は、所望のパターンを形成し
ようとする面上に、相反不軌特性を有する本発明の感光
性組成物の何れか一の塗膜を形成する工程と、この塗膜
に、酸素の存在する条件において所望のパターンの露光
を行う工程と、塗膜を現像してパターンを形成する工程
とを有するものである。
In order to achieve the second object,
The pattern forming method of the present invention is a step of forming any one coating film of the photosensitive composition of the present invention having reciprocity failure characteristics on a surface on which a desired pattern is to be formed, The method includes a step of exposing a desired pattern under conditions where oxygen is present, and a step of forming a pattern by developing a coating film.

【0008】また、上記第3の目的を達成するために、
本発明の陰極線管の製造方法は、フェースパネル上に、
相反不軌特性を有する感光性組成物を含む塗膜を形成す
る工程と、シャドウマスクを介して上記塗膜に放射線を
照射する工程と、放射線の照射後の上記塗膜を現像液で
現像する工程とを有し、この感光性組成物として、本発
明の何れか一の感光性組成物を用いるようにしたもので
ある。
In order to achieve the third object,
The method for manufacturing a cathode ray tube according to the present invention includes the steps of:
A step of forming a coating film containing a photosensitive composition having reciprocity failure characteristics, a step of irradiating the coating film with radiation through a shadow mask, and a step of developing the coating film after irradiation with a developer And any one of the photosensitive compositions of the present invention is used as the photosensitive composition.

【0009】上記高分子化合物は、上記の単量体が共重
合してなる共重合体である。アクリルアミド又はメタク
リルアミドは、重合により下記の式1の構造となる。式
中、RはH又はCH3を表す。同様に、ジアセトンアク
リルアミド及びビニルイミダゾールは、それぞれ下記の
式2、式3の構造となる。
The above-mentioned polymer compound is a copolymer obtained by copolymerizing the above-mentioned monomers. Acrylamide or methacrylamide has a structure of the following formula 1 by polymerization. In the formula, R represents H or CH 3 . Similarly, diacetone acrylamide and vinylimidazole have the following formulas 2 and 3, respectively.

【0010】[0010]

【化1】 Embedded image

【0011】[0011]

【化2】 Embedded image

【0012】[0012]

【化3】 Embedded image

【0013】高分子化合物におけるモノマーの組成比
は、ジアセトンアクリルアミドが、上記アミドに対して
20モル%から100モル%の範囲が好ましく、33〜
67モル%の範囲がより好ましい。その理由は、ジアセ
トンアクリルアミドが上記アミドに対して67モル%を
超えると高分子化合物の水に対する溶解性がやや悪くな
り、100モル%を超えるとさらに悪くなるからであ
る。また、33モル%より少ないと塗布性がやや悪くな
り、20モル%より少ないと更に塗布性が悪くなるため
である。
The composition ratio of the monomer in the polymer compound is preferably in the range of 20 mol% to 100 mol% of diacetone acrylamide based on the amide, and
A range of 67 mol% is more preferred. The reason is that if the amount of diacetone acrylamide exceeds 67 mol% with respect to the amide, the solubility of the polymer compound in water becomes slightly poor, and if it exceeds 100 mol%, it becomes even worse. On the other hand, if the amount is less than 33 mol%, the coatability is slightly deteriorated, and if it is less than 20 mol%, the coatability is further deteriorated.

【0014】また、ビニルイミダゾールは、上記アミド
に対して0.01モル%から100モル%の範囲が好ま
しく、1モル%から30モル%の範囲よりが好ましい。
その理由は、ビニルイミダゾールが上記アミドに対して
0.01モル%以上になると高分子化合物の水に対する
溶解性が向上し、1モル%以上になると高分子化合物の
水に対する溶解性がさらに向上するからである。また、
30モル%を越えると膜の特性がやや変化し、100モ
ル%を越えると膜の特性がさらに変化するためである。
The vinylimidazole is preferably in the range of 0.01 mol% to 100 mol%, more preferably in the range of 1 mol% to 30 mol%, based on the amide.
The reason is that when the amount of vinylimidazole is 0.01 mol% or more based on the amide, the solubility of the polymer compound in water is improved, and when the amount is 1 mol% or more, the solubility of the polymer compound in water is further improved. Because. Also,
If the amount exceeds 30 mol%, the characteristics of the film slightly change. If the amount exceeds 100 mol%, the characteristics of the film further change.

【0015】上記高分子化合物は、水に対する溶解性を
変える目的や、組成物中に添加する他のポリマーとの混
和性を改善する目的で、上記単量体の他のビニル及び/
又はアリル単量体を加えたものとすることができる。ビ
ニル及び/又はアリル単量体としては、アクリロイルモ
ルホリン、メタアクリロイルモルホリン、N、N−ジメ
チルアクリルアミド、N−エチルアクリルアミド、N−
イソプロピルアクリルアミド、アクリルアミドプロパン
スルホン酸、ジメチルアミノプロピルアクリルアミド、
アクリル酸及びその塩、メタクリル酸及びその塩、マレ
イン酸及びその塩、マレイン酸モノエチルエステル、ア
クリル酸ヒドロキシルエチル、スチレンスルホン酸及び
その塩、ビニルスルホン酸及びその塩、アリルスルホン
酸及びその塩、メタクリルスルホン酸及びその塩、ビニ
ルピロリドン、ビニルピリジン、アリルアルコール、メ
タクリルアルコール、ビニルメチルエーテル、ビニルア
ルコール等がある。ここに挙げた化合物は、必ずしもこ
れらが共重合体の原料そのものに用いられるとは限らな
い。例えば、ポリビニルアルコールは、酢酸ビニルを原
料として重合し、加水分解して得られる。このように共
重合体中の構造が、形式的にある単量体(例えばビニル
アルコール)を重合させた場合と同じであれば、その単
量体は水溶性のビニル単量体に含められるものとして扱
っている。
The above-mentioned high molecular compound is used for the purpose of changing the solubility in water and improving the miscibility with other polymers added to the composition, and for the purpose of improving the miscibility with other polymers added to the composition.
Alternatively, an allyl monomer may be added. Examples of vinyl and / or allyl monomers include acryloylmorpholine, methacryloylmorpholine, N, N-dimethylacrylamide, N-ethylacrylamide, N-
Isopropylacrylamide, acrylamidepropanesulfonic acid, dimethylaminopropylacrylamide,
Acrylic acid and its salts, methacrylic acid and its salts, maleic acid and its salts, monoethyl maleate, hydroxylethyl acrylate, styrenesulfonic acid and its salts, vinylsulfonic acid and its salts, allylsulfonic acid and its salts, Examples include methacrylsulfonic acid and salts thereof, vinyl pyrrolidone, vinyl pyridine, allyl alcohol, methacryl alcohol, vinyl methyl ether, vinyl alcohol and the like. The compounds listed here are not always used as raw materials of the copolymer. For example, polyvinyl alcohol is obtained by polymerizing vinyl acetate as a raw material and hydrolyzing. If the structure in the copolymer is formally the same as when a certain monomer (eg, vinyl alcohol) is polymerized, the monomer is included in the water-soluble vinyl monomer. Is treated as.

【0016】他のビニル及び/又はアリル単量体の量
は、高分子化合物の内の5%(単量体単位として)から
0.1%の範囲が好ましい。5%未満であると良好な相
反不軌特性が保てるからである。
The amount of the other vinyl and / or allyl monomer is preferably in the range of 5% (as a monomer unit) to 0.1% of the polymer compound. When the content is less than 5%, good reciprocity failure characteristics can be maintained.

【0017】これらの高分子化合物は、2、2’−アゾ
ビス(2−アミジノプロパン)二塩酸塩、2、2’−ア
ゾビス(2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパ
ン)二塩酸塩等のアゾ系重合開始剤や、過硫酸カリウ
ム、過硫酸アンモニウム等の過硫酸塩や、これらを用い
たレドックス触媒を開始剤として共重合させて合成する
ことができる。
These polymer compounds include 2,2′-azobis (2-amidinopropane) dihydrochloride, 2,2′-azobis (2- (2-imidazolin-2-yl) propane) dihydrochloride and the like. Azo-based polymerization initiators, persulfates such as potassium persulfate and ammonium persulfate, and redox catalysts using these can be used as initiators for copolymerization.

【0018】上記水溶性アジド化合物としては、4、
4’−ジアジドスチルベン−2、2’−ジスルホン酸二
ナトリウム塩、4、4’−ジアジドベンザルアセトン−
2、2’−ジスルホン酸二ナトリウム塩等、特公昭57
−43891号公報に記載されている化合物を用いるこ
とができる。さらに、マレイン酸−4−ビニルモノアジ
ドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸ナトリウム共
重合体等の特開平1−302348号公報に記載されて
いる共重合体を用いることができる。また、特開平2−
92905号公報、特開平2−173007号公報、特
開平2−204750号公報、特開平4−26849号
公報、特開平4−50205号公報等に記載されている
化合物を用いることができる。また、これら化合物を2
種以上混合して用いることができる。
The water-soluble azide compound includes 4,
4'-diazidostilbene-2, 2'-disulfonic acid disodium salt, 4,4'-diazidobenzalacetone-
2,2'-disulfonate disodium salt, etc.
No. 4,389,91 can be used. Further, a copolymer described in JP-A-1-302348, such as a maleic acid-4-vinylmonoazidobenzylideneacetophenone sodium sulfonate copolymer, can be used. In addition, Japanese Unexamined Patent Application Publication No.
Compounds described in JP-A-92905, JP-A-2-173007, JP-A-2-204750, JP-A-4-26849, JP-A-4-50205 and the like can be used. In addition, these compounds are
A mixture of more than one species can be used.

【0019】本発明の感光性組成物の高分子化合物と水
溶性アジド化合物の配合の割合は、高分子化合物に対し
て水溶性アジド化合物が1から50重量%が好ましく、
特に5から25重量%の範囲がより好ましい。その理由
は、5重量%未満で感光性組成物の感度が悪くなり、1
重量%未満でさらに低感度になるためである。また、2
5重量%を超えると塗布性が悪くなり、50重量%を超
えるとさらに悪くなるためである。
The proportion of the polymer compound and the water-soluble azide compound in the photosensitive composition of the present invention is preferably 1 to 50% by weight based on the polymer compound.
In particular, the range of 5 to 25% by weight is more preferable. The reason is that if the content is less than 5% by weight, the sensitivity of the photosensitive composition deteriorates,
This is because the sensitivity is further reduced when the amount is less than% by weight. Also, 2
If the content exceeds 5% by weight, the coating properties will be poor, and if it exceeds 50% by weight, the application will be even worse.

【0020】本発明の感光性組成物には、上記組成物と
相溶性を持つ他の水溶性高分子化合物を加えることがで
きる。水溶性高分子化合物を加える理由としては、感光
性組成物の流動性、塗布性等の塗料としての特性の改良
や、塗膜の特性を改良するためである。このような水溶
性高分子化合物としては、例えば、メチルセルロース、
ヒドロキシメチルセルロースなどのセルロース類、ポリ
ビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ゼラチン、
ポリアクリルアミド、ポリメタアクリルアミド、アクリ
ルアミド−ジアセトンアクリルアミド共重合体、メタア
クリルアミド−ジアセトンアクリルアミド共重合体、ア
クリルアミド−アクリロイルモルホリン共重合体、メタ
アクリルアミド−アクリロイルモルホリン共重合体等が
あるが、これらに限定するものではない。また、これら
の水溶性高分子化合物を同時に2種以上用いてもよい。
The photosensitive composition of the present invention may contain another water-soluble polymer compound compatible with the above composition. The reason for adding the water-soluble polymer compound is to improve the characteristics of the photosensitive composition as a paint, such as fluidity and coatability, and to improve the characteristics of the coating film. As such a water-soluble polymer compound, for example, methyl cellulose,
Cellulose such as hydroxymethyl cellulose, polyvinyl alcohol, polyvinyl pyrrolidone, gelatin,
Polyacrylamide, polymethacrylamide, acrylamide-diacetone acrylamide copolymer, methacrylamide-diacetone acrylamide copolymer, acrylamide-acryloylmorpholine copolymer, methacrylamide-acryloylmorpholine copolymer, and the like, but are not limited thereto. It does not do. Further, two or more of these water-soluble polymer compounds may be used simultaneously.

【0021】本発明の感光性組成物には、塗料特性、塗
膜特性の改良のため、エチレングリコール、ソルビトー
ル又は界面活性剤等を加えること、基板との接着性改良
のためにビニルトリス(β−メトキシエトキシ)シラン
等のカップリング剤も加えることができる。上記特性改
良のため、これらの物質が加ええられることは知られて
おり、前記特開昭48−90185号公報、特開昭50
−33764号公報等にこれらのことは開示されてい
る。
The photosensitive composition of the present invention is added with ethylene glycol, sorbitol or a surfactant for improving coating properties and coating properties, and vinyl tris (β- Coupling agents such as methoxyethoxy) silane can also be added. It is known that these substances can be added in order to improve the above-mentioned properties, and are disclosed in JP-A-48-90185 and JP-A-50-90185.
These matters are disclosed in, for example, JP-A-33764.

【0022】本発明のパターン形成方法は、気体の酸素
の存在する条件で露光を行なうことが必要である。ま
た、シュバルツシルツ定数pの値が0<p<0.76の
範囲で露光することこが好ましい。ここでシュバルツバ
ルツ定数と相反則不軌性については、前記特開昭48−
90185号公報、特開昭50−33764号公報に記
載されている。
In the pattern forming method of the present invention, it is necessary to perform exposure under the condition that gaseous oxygen exists. Further, it is preferable that the exposure is performed in a range where the value of the Schwarzschild's constant p is 0 <p <0.76. The Schwarz-Baltz constant and reciprocity failure are described in the above-mentioned JP-A-48-48.
90185 and JP-A-50-33764.

【0023】[0023]

【発明の実施の形態】以下、フェースパネルにブラック
マトリクスパターンを形成する陰極線管の製造方法を例
として、図1を用いて本発明の実施の形態について具体
的に説明する。フェースパネルに塗布する感光性組成物
は、ベース樹脂としての水溶性高分子と感光剤とを少な
くとも含むもので構成される。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to FIG. 1 by taking as an example a method of manufacturing a cathode ray tube for forming a black matrix pattern on a face panel. The photosensitive composition applied to the face panel includes at least a water-soluble polymer as a base resin and a photosensitive agent.

【0024】まず、上記感光組成物を用いて蛍光面のブ
ラックマトリクスを形成する。上記感光性組成物を1〜
5重量%程度となるように水に溶かしたものをカラー陰
極線管のフェースパネル1の内面に、膜厚が0.1〜
1.0ミクロンになるように塗布し乾燥して、感光性組
成物層にシャドウマスク4を介して露光する。次に水で
現像を行い、未露光部分を除去し、フェースパネル1の
内面に光硬化パターンを形成する。続いて、このフェー
スパネル1の内面全体に光吸収性物質(カーボン)含有
液を全体に渡って塗布し、乾燥する。次に剥離剤を用い
て感光性組成物の硬化部とその上にある光吸収性物質を
リフトオフ法により剥離除去して、ブラックマトリクス
パターンを形成する。さらに赤、青、緑のそれぞれの蛍
光体を含む感光性塗料を順に塗布、乾燥、光照射による
固化、現像を行ない、それぞれの蛍光体ドットを形成
し、蛍光面3を作成した。以下、ファンネル2、ネック
5、電子銃6を取付け、通常通りの方法でカラーブラウ
ン管を製造する。
First, a black matrix of a phosphor screen is formed using the above photosensitive composition. The photosensitive composition is 1 to
A solution dissolved in water so as to have a thickness of about 5% by weight is coated on the inner surface of the face panel 1 of the color cathode ray tube to a thickness of 0.1 to
The photosensitive composition layer is exposed through a shadow mask 4 to a thickness of 1.0 μm and dried. Next, development is performed with water to remove unexposed portions, and a photocured pattern is formed on the inner surface of the face panel 1. Subsequently, a liquid containing a light-absorbing substance (carbon) is applied to the entire inner surface of the face panel 1 and dried. Next, the cured portion of the photosensitive composition and the light-absorbing substance on the cured portion of the photosensitive composition are peeled and removed by a lift-off method using a release agent to form a black matrix pattern. Further, a photosensitive paint containing each of red, blue, and green phosphors was sequentially applied, dried, solidified by light irradiation, and developed to form respective phosphor dots, thereby forming a phosphor screen 3. Hereinafter, the funnel 2, the neck 5, and the electron gun 6 are attached, and a color CRT is manufactured in the usual manner.

【0025】以下、本発明の内容を実施例及び比較例を
用いてさらに具体的に説明する。
Hereinafter, the contents of the present invention will be described more specifically with reference to Examples and Comparative Examples.

【0026】(実施例1)攪拌機、冷却管、窒素導入
管、温度計の付いた2000mlのセパラブルフラスコ
にアクリルアミド67.26gと、ジアセトンアクリル
アミド68.14gと、ビニルイミダゾール4.60g
と、水1860gを取り、窒素置換しながら攪拌して溶
解した。これを60℃に加熱し、2、2’−アゾビス
(2−(2−イミダゾリン−2−イル)プロパン)二塩
酸塩0.30gの水溶液5mlを加えて重合を開始し
た。この状態で4時間重合させて冷却して共重合体を得
た。このようにして得た反応生成物はほとんどすべての
モノマーが重合している。この1.5%水溶液の粘度
は、18.3mPa・sで、pHは7.83であった。
(Example 1) 67.26 g of acrylamide, 68.14 g of diacetone acrylamide and 4.60 g of vinylimidazole were placed in a 2000 ml separable flask equipped with a stirrer, a cooling tube, a nitrogen introducing tube, and a thermometer.
And 1860 g of water were taken and dissolved while stirring with nitrogen replacement. This was heated to 60 ° C., and 5 ml of an aqueous solution of 0.30 g of 2,2′-azobis (2- (2-imidazolin-2-yl) propane) dihydrochloride was added to initiate polymerization. In this state, the mixture was polymerized for 4 hours and cooled to obtain a copolymer. Almost all monomers of the reaction product thus obtained are polymerized. The viscosity of this 1.5% aqueous solution was 18.3 mPa · s, and the pH was 7.83.

【0027】この水溶液の固形分に対して架橋剤とし
て、4、4’−ジアジドスチルベン−2、2’−ジスル
ホン酸二ナトリウム塩10重量%、エチレングリコール
100重量%、シランカップリング剤0.1重量%を加
えて感光性組成物水溶液とした。この感光性組成物水溶
液をカラーブラウン管の内面に0.7ミクロンの厚さに
回転塗布し、乾燥して塗膜とした。シャドウマスクをマ
スクとして、超高圧水銀灯を光源として紫外線露光を行
なった。そのときの感度は3.8mJであった。次に4
0℃の温水を用い、2.0kg/cm2で30秒スプレ
ー現像して形のよいネガパターンのドットを得た。この
感光性組成物は相反則不軌特性を示した。
As a cross-linking agent for the solid content of this aqueous solution, 10% by weight of 4,4'-diazidostilbene-2,2'-disulfonate disodium salt, 100% by weight of ethylene glycol, 0.1% of a silane coupling agent. 1% by weight was added to obtain a photosensitive composition aqueous solution. This aqueous solution of the photosensitive composition was spin-coated on the inner surface of a color cathode-ray tube to a thickness of 0.7 μm and dried to form a coating film. Ultraviolet exposure was performed using a shadow mask as a mask and an ultra-high pressure mercury lamp as a light source. At that time, the sensitivity was 3.8 mJ. Then 4
Using hot water at 0 ° C., spray development was performed at 2.0 kg / cm 2 for 30 seconds to obtain well-shaped negative pattern dots. This photosensitive composition exhibited reciprocity failure characteristics.

【0028】次いでカーボン懸濁液をドット上に塗布
し、剥離液でドットとその上のカーボンを除いてブラッ
クマトリクスを形成した。さらに通常の方法で赤、青、
緑のそれぞれの蛍光体を含む感光性塗料を順に塗布、乾
燥、光照射による固化、現像を行ない、それぞれの蛍光
体ドットを形成した。以下、通常通りの方法でカラーブ
ラウン管を製造した。
Next, a carbon suspension was applied onto the dots, and a black matrix was formed by removing the dots and carbon on the dots with a stripping solution. Red, blue,
A photosensitive coating material containing each green phosphor was sequentially applied, dried, solidified by light irradiation, and developed to form each phosphor dot. Hereinafter, a color CRT was manufactured in the usual manner.

【0029】(実施例2)実施例1の反応容器に、アク
リルアミド60.05g、ジアセトンアクリルアミド7
1.48g、ビニルイミダゾール8.47g及びイオン
交換水1860gを入れ、実施例1と同様に処理した。
得られた共重合体の1.5%水溶液の粘度は17.4m
Pa・sで、pHは8.03であった。実施例1と同様
の光架橋剤を加え、以下、同様に処理した。そのときの
感度は2.7mJであった。また、現像は25秒で完全
に終了し、形のよいネガパターンのドットを得た。この
感光性組成物も相反則不軌特性を示した。
(Example 2) 60.05 g of acrylamide and diacetone acrylamide 7 were added to the reaction vessel of Example 1.
1.48 g, 8.47 g of vinylimidazole and 1860 g of ion-exchanged water were added and treated in the same manner as in Example 1.
The viscosity of a 1.5% aqueous solution of the obtained copolymer is 17.4 m
At Pa · s, the pH was 8.03. The same photo-crosslinking agent as in Example 1 was added, and the same treatment was performed thereafter. At that time, the sensitivity was 2.7 mJ. The development was completed completely in 25 seconds, and a well-shaped negative pattern dot was obtained. This photosensitive composition also exhibited reciprocity failure characteristics.

【0030】次いで実施例1と同様にして、ブラックマ
トリクスを形成し、さらに赤、青、緑のそれぞれの蛍光
体ドットを形成した。以下、通常通りの方法でカラーブ
ラウン管を製造した。
Next, in the same manner as in Example 1, a black matrix was formed, and further, red, blue, and green phosphor dots were formed. Hereinafter, a color CRT was manufactured in the usual manner.

【0031】(実施例3)実施例1の反応容器に、アク
リルアミド49.07g、ジアセトンアクリルアミド5
8.43g、ビニルイミダゾール32.50g及びイオ
ン交換水1860gを入れ、実施例1と同様に処理し
た。得られた共重合体の1.5%水溶液の粘度は13.
8mPa・sで、pHは8.43であった。実施例1と
同様の光架橋剤を加え、以下、同様に処理した。そのと
きの感度は2.4mJであった。また、現像は22秒で
完全に終了し、形のよいネガパターンのドットを得た。
この感光性組成物も相反則不軌特性を示した。
Example 3 49.07 g of acrylamide and diacetone acrylamide 5 were added to the reaction vessel of Example 1.
8.43 g, vinylimidazole 32.50 g, and ion-exchanged water 1860 g were added, and the mixture was treated in the same manner as in Example 1. The viscosity of a 1.5% aqueous solution of the obtained copolymer is 13.
At 8 mPa · s, the pH was 8.43. The same photo-crosslinking agent as in Example 1 was added, and the same treatment was performed thereafter. The sensitivity at that time was 2.4 mJ. The development was completed completely in 22 seconds, and a good-shaped negative pattern dot was obtained.
This photosensitive composition also exhibited reciprocity failure characteristics.

【0032】次いで実施例1と同様にして、ブラックマ
トリクスを形成し、さらに赤、青、緑のそれぞれの蛍光
体ドットを形成した。以下、通常通りの方法でカラーブ
ラウン管を製造した。
Next, in the same manner as in Example 1, a black matrix was formed, and further, red, blue, and green phosphor dots were formed. Hereinafter, a color CRT was manufactured in the usual manner.

【0033】(実施例4)実施例1の反応容器に、アク
リルアミド51.62g、ジアセトンアクリルアミド8
1.93g、ビニルイミダゾール6.45g及びイオン
交換水1860gを入れ、実施例1と同様に処理した。
得られた共重合体の1.5%水溶液の粘度は17.7m
Pa・sで、pHは8.11であった。実施例1と同様
の光架橋剤を加え、以下、同様に処理した。そのときの
感度は2.9mJであった。また、現像は30秒で完全
に終了し、形のよいネガパターンのドットを得た。この
感光性組成物も相反則不軌特性を示した。
Example 4 51.62 g of acrylamide and diacetone acrylamide 8 were added to the reaction vessel of Example 1.
1.93 g, 6.45 g of vinylimidazole and 1860 g of ion-exchanged water were added and treated in the same manner as in Example 1.
The viscosity of a 1.5% aqueous solution of the obtained copolymer is 17.7 m.
At Pa · s, the pH was 8.11. The same photo-crosslinking agent as in Example 1 was added, and the same treatment was performed thereafter. At that time, the sensitivity was 2.9 mJ. Further, the development was completed completely in 30 seconds, and good-shaped negative pattern dots were obtained. This photosensitive composition also exhibited reciprocity failure characteristics.

【0034】次いで実施例1と同様にして、ブラックマ
トリクスを形成し、さらに赤、青、緑のそれぞれの蛍光
体ドットを形成した。以下、通常通りの方法でカラーブ
ラウン管を製造した。
Next, a black matrix was formed in the same manner as in Example 1, and further, red, blue, and green phosphor dots were formed. Hereinafter, a color CRT was manufactured in the usual manner.

【0035】(実施例5)実施例1の反応容器に、アク
リルアミド35.79g、ジアセトンアクリルアミド5
6.82g、ビニルイミダゾール47.39g及びイオ
ン交換水1860gを入れ、実施例1と同様に処理し
た。得られた共重合体の1.5%水溶液の粘度は12.
8mPa・sで、pHは8.46であった。実施例1と
同様の光架橋剤を加え、以下同様に処理した。そのとき
の感度は2.1mJであった。また、現像は20秒で完
全に終了し、形のよいネガパターンのドットを得た。こ
の感光性組成物も相反則不軌特性を示した。
Example 5 35.79 g of acrylamide and diacetone acrylamide 5 were added to the reaction vessel of Example 1.
6.82 g, vinyl imidazole 47.39 g and ion-exchanged water 1860 g were added, and the mixture was treated in the same manner as in Example 1. The viscosity of a 1.5% aqueous solution of the obtained copolymer is 12.
At 8 mPa · s, the pH was 8.46. The same photocrosslinking agent as in Example 1 was added, and the same treatment was performed. At that time, the sensitivity was 2.1 mJ. Further, the development was completed completely in 20 seconds, and a well-shaped negative pattern dot was obtained. This photosensitive composition also exhibited reciprocity failure characteristics.

【0036】次いで実施例1と同様にして、ブラックマ
トリクスを形成し、さらに赤、青、緑のそれぞれの蛍光
体ドットを形成した。以下、通常通りの方法でカラーブ
ラウン管を製造した。
Next, in the same manner as in Example 1, a black matrix was formed, and further, red, blue, and green phosphor dots were formed. Hereinafter, a color CRT was manufactured in the usual manner.

【0037】(実施例6)実施例1の反応容器に、アク
リルアミド50.00g、ジアセトンアクリルアミド5
9.52g、ビニルイミダゾール15.00g、アクリ
ロイルモルホリン15.48g及びイオン交換水186
0gを入れ、実施例1と同様に処理した。得られた共重
合体の1.5%水溶液の粘度は13.6mPa・sで、
pHは8.05であった。実施例1と同様の光架橋剤を
加え、以下同様に処理した。そのときの感度は2.1m
Jであった。また、現像は20秒で完全に終了し、形の
よいネガパターンのドットを得た。この感光性組成物も
相反則不軌特性を示した。
EXAMPLE 6 50.00 g of acrylamide and 5 ml of diacetone acrylamide were added to the reaction vessel of Example 1.
9.52 g, vinyl imidazole 15.00 g, acryloyl morpholine 15.48 g and ion-exchanged water 186
0 g was added and treated in the same manner as in Example 1. The viscosity of a 1.5% aqueous solution of the obtained copolymer was 13.6 mPa · s,
pH was 8.05. The same photo-crosslinking agent as in Example 1 was added, and the same treatment was performed. The sensitivity at that time is 2.1m
J. Further, the development was completed completely in 20 seconds, and a well-shaped negative pattern dot was obtained. This photosensitive composition also exhibited reciprocity failure characteristics.

【0038】次いで実施例1と同様にして、ブラックマ
トリクスを形成し、さらに赤、青、緑のそれぞれの蛍光
体ドットを形成した。以下、通常通りの方法でカラーブ
ラウン管を製造した。
Next, a black matrix was formed in the same manner as in Example 1, and further, red, blue, and green phosphor dots were formed. Hereinafter, a color CRT was manufactured in the usual manner.

【0039】(比較例1)攪拌機、冷却管、窒素導入
管、温度計の付いた2000mlのセパラブルフラスコ
にアクリルアミド69.55g、ジアセトンアクリルア
ミド70.45g、水1860gを取り、窒素置換しな
がら攪拌して溶解した。これを58℃に加熱し、これに
2、2’−アゾビス(2−(2−イミダゾリン−2−イ
ル)プロパン)二塩酸塩0.20gの水溶液5mlを加
え重合を開始した。この状態で4時間重合させ、冷却し
て7重量%の水溶液を得た。このようにして得た反応生
成物はほとんどすべてのモノマーが重合している。これ
を希釈して共重合体の1.5重量%水溶液とした。この
水溶液の粘度は、19.7mPa・sで、pHは5.1
3であった。
Comparative Example 1 69.55 g of acrylamide, 70.45 g of diacetone acrylamide, and 1860 g of water were placed in a 2000 ml separable flask equipped with a stirrer, a cooling tube, a nitrogen inlet tube, and a thermometer, and stirred while replacing with nitrogen. And dissolved. This was heated to 58 ° C., and thereto was added 5 ml of an aqueous solution of 0.20 g of 2,2′-azobis (2- (2-imidazolin-2-yl) propane) dihydrochloride to initiate polymerization. In this state, polymerization was carried out for 4 hours, followed by cooling to obtain a 7% by weight aqueous solution. Almost all monomers of the reaction product thus obtained are polymerized. This was diluted to obtain a 1.5% by weight aqueous solution of the copolymer. The viscosity of this aqueous solution is 19.7 mPa · s, and the pH is 5.1.
It was 3.

【0040】以下、実施例1と同様に感光性組成物を調
製し、続いて同様な操作を行ない、通常通りの方法でカ
ラーブラウン管を製造した。このときの感度は4.0m
Jであり、現像には40秒必要であった。
Thereafter, a photosensitive composition was prepared in the same manner as in Example 1, and subsequently the same operation was carried out to produce a color CRT in a usual manner. The sensitivity at this time is 4.0m
J, and required 40 seconds for development.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上述べたように、本発明の感光性組成
物は高感度で優れた現像特性を有し、相反則不軌特性を
示す。それ故、この感光性組成物を用いて良好にパター
ン形成することができる。また、例えば、大型のブラッ
クマトリックス型カラーブラウン管等を効率よく製造で
きる。さらに、高精細ブラックマトリックス型カラーブ
ラウン管の製造等に用いてもコントラストのよいブラッ
クマトリクスを製作できる。
As described above, the photosensitive composition of the present invention has high sensitivity and excellent developing characteristics, and exhibits reciprocity failure characteristics. Therefore, a good pattern can be formed using this photosensitive composition. In addition, for example, a large black matrix type color CRT can be efficiently manufactured. Further, a black matrix with good contrast can be manufactured even when used for manufacturing a high-definition black matrix type color CRT.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の陰極線管の構造を示す断面図。FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a cathode ray tube according to the present invention.

【符号の説明】 1…フェースパネル、2…ファンネル、3…蛍光面、4
…シャドウマスク、5…ネック、6…電子銃。
[Description of Signs] 1 ... face panel, 2 ... funnel, 3 ... phosphor screen, 4
... shadow mask, 5 ... neck, 6 ... electron gun.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01J 9/227 H01J 9/227 D (72)発明者 山田 絵実子 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所ディスプレイグループ内 Fターム(参考) 2H025 AA01 AA04 AB17 AC01 AD01 BA06 BC19 BC20 BC23 BC24 CB15 FA03 FA17 4J002 BG131 BJ001 EQ036 GP03 GQ00 5C028 JJ01 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H01J 9/227 H01J 9/227 D (72) Inventor Emiko Yamada 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Hitachi, Ltd. F term in display group (reference) 2H025 AA01 AA04 AB17 AC01 AD01 BA06 BC19 BC20 BC23 BC24 CB15 FA03 FA17 4J002 BG131 BJ001 EQ036 GP03 GQ00 5C028 JJ01

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】アクリルアミド及びメタクリルアミドの内
の少なくとも一種のアミドと、ジアセトンアクリルアミ
ドと、ビニルイミダゾールとからなる高分子化合物及び
水溶性アジト化合物からなる感光性組成物。
1. A photosensitive composition comprising a polymer compound comprising at least one amide of acrylamide and methacrylamide, diacetone acrylamide and vinylimidazole, and a water-soluble azido compound.
【請求項2】上記高分子化合物のモノマーの組成比は、
上記ジアセトンアクリルアミドが、上記アミドに対して
20モル%から100モル%の範囲であり、上記ビニル
イミダゾールが、上記アミドに対して0.01モル%か
ら100モル%の範囲であることを特徴とする請求項1
記載の感光性組成物。
2. The composition ratio of the monomer of the polymer compound is as follows:
The diacetone acrylamide is in a range of 20 mol% to 100 mol% with respect to the amide, and the vinylimidazole is in a range of 0.01 mol% to 100 mol% with respect to the amide. Claim 1
The photosensitive composition as described in the above.
【請求項3】上記高分子化合物は、上記の組成の他に、
ビニル単量体及びアリル単量体の内の少なくとも一種の
単量体を含むことを特徴とする請求項1又は2記載の感
光性組成物。
3. The polymer compound according to claim 1, wherein
3. The photosensitive composition according to claim 1, comprising at least one monomer selected from a vinyl monomer and an allyl monomer.
【請求項4】所望のパターンを形成しようとする面上
に、請求項1から3の何れか一に記載の相反不軌特性を
有する感光性組成物の塗膜を形成する工程、上記塗膜
に、酸素の存在する条件において所望のパターンの露光
を行なう工程及び上記塗膜を現像してパターンを形成す
る工程を有することを特徴とするパターン形成方法。
4. A step of forming a coating film of the photosensitive composition having reciprocity failure characteristics according to any one of claims 1 to 3 on a surface on which a desired pattern is to be formed. A step of exposing a desired pattern under conditions where oxygen is present, and a step of developing the coating film to form a pattern.
【請求項5】フェースパネル上に、相反不軌特性を有す
る感光性組成物を含む塗膜を形成する工程と、シャドウ
マスクを介して上記塗膜に放射線を照射する工程と、上
記塗膜を現像液で現像する工程とを有する陰極線管の製
造方法において、上記感光性組成物は、請求項1から3
の何れか一に記載の感光性組成物であることを特徴とす
る陰極線管の製造方法。
5. A step of forming a coating film containing a photosensitive composition having a reciprocity failure property on a face panel, a step of irradiating the coating film with radiation through a shadow mask, and a step of developing the coating film. Wherein the photosensitive composition comprises a step of developing with a liquid.
A method for producing a cathode ray tube, comprising the photosensitive composition according to any one of the above.
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