JP2002311612A - Electrophotographic method, electrophotographic photoreceptor and electrophotographic device - Google Patents

Electrophotographic method, electrophotographic photoreceptor and electrophotographic device

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JP2002311612A
JP2002311612A JP2001114344A JP2001114344A JP2002311612A JP 2002311612 A JP2002311612 A JP 2002311612A JP 2001114344 A JP2001114344 A JP 2001114344A JP 2001114344 A JP2001114344 A JP 2001114344A JP 2002311612 A JP2002311612 A JP 2002311612A
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JP
Japan
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electrophotographic
surface layer
group
polymerizable functional
photosensitive member
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JP2001114344A
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Japanese (ja)
Inventor
Koji Yamazaki
晃司 山崎
Mitsuharu Hitsuishi
光治 櫃石
Minoru Shimojo
稔 下條
Shoji Amamiya
昇司 雨宮
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrophotographic method which well functions a cleanerless toner recycling process when an amorphous silicon photoreceptor is used, an electrophotographic device and an electrophotographic photoreceptor. SOLUTION: The electrophotographic method and electrophotographic device are characterized in that the electrophotographic photoreceptor has a photoconductive layer composed of a non-single crystalline material consisting of silicon atoms as a base body and a first substrate layer composed of the non-single crystalline material on a conductive substrate and is laminated with a second surface layer containing the compound formed by polymerizing a compound having at least a chain polymerizable functional group by irradiation with electrons and conductive particles in the first surface layer and the electrostatic charging process step of electrostatically charges the surface of a body to be electrostatically charged by bringing electrostatic charging particles essentially consisting of the conductive particles of 10 nm to 10 μm in grain size into contact with the body to be electrostatically charged by an electrostatic charging particles carrier provided with a surface of electrical conductivity and elasticity and is absent of the cleaning process step from between the transfer to the electrostatic charging and the electrophotographic photoreceptor used for this method.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は電子写真方法、電子
写真装置及び電子写真感光体に関し、詳しくは、転写か
ら帯電までの間にクリーニング工程が無い特定のシステ
ムの電子写真方法と電子写真装置、及び電子線硬化化合
物からなる特定の表面層を付加した非晶質シリコン電子
写真感光体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrophotographic method, an electrophotographic apparatus, and an electrophotographic photoreceptor. More specifically, the present invention relates to an electrophotographic method and an electrophotographic apparatus for a specific system in which there is no cleaning step between transfer and charging. And an amorphous silicon electrophotographic photosensitive member to which a specific surface layer made of an electron beam curing compound is added.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、電子写真方法は、帯電−露光−現
像−転写−転写残トナーのクリーニング−感光体残留電
荷の除電−帯電といったサイクルを繰り返すことが一般
的であった。この方式においては、転写後の感光体(電
子写真感光体)に残存する転写残トナーは、クリーナー
(クリーニング装置)によって感光体面から除去されて
廃トナーとなるが、この廃トナーは環境保護の面からも
発生しないことが好ましい。そこでクリーナーをなく
し、転写後の感光体上の転写残トナーは現像装置によっ
て「現像同時クリーニング」で感光体上から除去し現像
装置に回収・再用する装置構成にしたトナーリサイクル
プロセスの電子写真装置も出現している。
2. Description of the Related Art Conventionally, an electrophotographic method generally repeats a cycle of charging-exposure-development-transfer-cleaning of toner remaining after transfer-discharging of residual charges of a photoconductor-charging. In this method, transfer residual toner remaining on the photoreceptor (electrophotographic photoreceptor) after transfer is removed from the photoreceptor surface by a cleaner (cleaning device) to become waste toner. This waste toner is environmentally friendly. It is also preferable that this does not occur. Therefore, the electrophotographic device of the toner recycling process, which removes the cleaner and removes the transfer residual toner on the photoreceptor after transfer from the photoreceptor by "development simultaneous cleaning" by the developing device and collects and reuses it in the developing device Has also appeared.

【0003】特開平10−307455号公報には、こ
うした電子写真装置の開示がある。現像同時クリーニン
グとは、転写後に感光体上に残留したトナーを次工程以
降の現像時、すなわち引き続き感光体を帯電し、露光し
て潜像を形成し、該潜像の現像時にカブリ取りバイアス
(現像装置に印加する直流電圧と感光体の表面電位間の
電位差であるカブリ取り電位差Vback)によって回
収する方法である。この方法によれば、転写残トナーは
現像装置に回収されて次工程以後に再利用されるため、
廃トナーをなくし、メンテナンスに手を煩わせることも
少なくすることができる。また、クリーナーレスである
ことでスペース面での利点も大きく、電子写真装置を大
幅に小型化できるようになる。
[0003] Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-307455 discloses such an electrophotographic apparatus. Simultaneous development and cleaning means that the toner remaining on the photoreceptor after transfer is developed during the next and subsequent steps, that is, the photoreceptor is subsequently charged and exposed to form a latent image. This is a method of recovering by a fog removal potential difference (Vback) which is a potential difference between a DC voltage applied to the developing device and a surface potential of the photoconductor. According to this method, the transfer residual toner is collected in the developing device and reused in the subsequent process and thereafter,
By eliminating waste toner, it is possible to reduce troublesome maintenance. In addition, the cleaner-less system has a great advantage in terms of space, and can greatly reduce the size of the electrophotographic apparatus.

【0004】以下に、図2を用いて簡単にトナーリサイ
クルプロセスを説明する。
Hereinafter, a toner recycling process will be briefly described with reference to FIG.

【0005】(1)感光体201は接触帯電部材202
により、電圧を印加され均一に帯電される。この図の場
合は負帯電となる。
(1) The photosensitive member 201 is a contact charging member 202
As a result, a voltage is applied and the substrate is uniformly charged. In the case of this figure, it is negatively charged.

【0006】(2)均一に負帯電された感光体201上
に、画像情報に対応した反転現像方式の露光光203が
与えられ潜像を形成する。
(2) On the photosensitive member 201 uniformly negatively charged, the exposure light 203 of the reversal development system corresponding to the image information is given to form a latent image.

【0007】(3)現像器204から電荷を付与された
着色粉体であるトナー205が、潜像に応じた形で感光
体201表面に供給され顕像を形成する。
(3) The toner 205, which is a colored powder to which a charge is applied from the developing unit 204, is supplied to the surface of the photoconductor 201 in a form corresponding to the latent image to form a visible image.

【0008】(4)転写部材206で電圧を印加、乃至
静電吸着力を付与することによって、転写材207にト
ナー像が転写され、定着器209で定着される。この
際、一部のトナーは転写され残留し、かつ更にその一部
はトナーと逆極性の電圧を印加された転写帯電部材によ
って本来の極性と逆極性に帯電されるものが生じる。こ
れを反転トナー208と呼ぶ。
(4) The toner image is transferred to the transfer material 207 by applying a voltage by the transfer member 206 or applying an electrostatic attraction force, and is fixed by the fixing device 209. At this time, a part of the toner is transferred and remains, and a part of the toner is charged to a polarity opposite to the original polarity by a transfer charging member to which a voltage having a polarity opposite to that of the toner is applied. This is called a reversal toner 208.

【0009】(5)感光体表面に残留した転写残トナー
は(1)の電圧を印加された接触帯電部材202と感光
体201との摺擦により、上記反転トナーも含めて帯電
極性と等しい極性に電荷を再付与され、感光体上に再度
吐き出される。以後、この段階のトナーを「吐き出しト
ナー」と呼ぶ。この吐き出しトナー中の反転トナーを元
の極性にそろえることを「トナー極性の正規化」と呼
ぶ。この度合を定量的に測定する方法として、ホソカワ
ミクロン社製の帯電量測定器「E−SPARTANAL
YZER MODEL EST−II」を用いる方法が
ある。具体例については後述する。
(5) The transfer residual toner remaining on the photoreceptor surface has the same polarity as the charging polarity including the reversal toner due to the friction between the contact charging member 202 to which the voltage of (1) is applied and the photoreceptor 201. Is re-applied to the photoreceptor and discharged again onto the photoreceptor. Hereinafter, the toner at this stage is referred to as “discharge toner”. Aligning the inverted toner in the discharged toner to the original polarity is called "normalization of toner polarity". As a method for quantitatively measuring this degree, a charge amount measuring device “E-SPARTANAL” manufactured by Hosokawa Micron Corporation is used.
There is a method using “YZER MODEL EST-II”. A specific example will be described later.

【0010】(6)帯電極性と等しい電荷を再付与され
たトナー205は、現像器の現像バイアスにより、現像
時の余剰トナーと共に再度現像器204に回収される。
(6) The toner 205 recharged with a charge having the same polarity as the charged polarity is again collected by the developing device 204 together with surplus toner during development by the developing bias of the developing device.

【0011】といった一連のサイクルにより、廃トナー
を発生しないシステムが可能となる。ここでの説明は、
概要を述べたものであり、この記載に限定されるもので
はない。
[0011] By such a series of cycles, a system that does not generate waste toner can be realized. The explanation here is
It is an overview and is not intended to be limiting.

【0012】非晶質シリコン感光体は比類なき電位安定
性を持ち、特に高速複写機、高速プリンター領域で用い
られている。特に、導電性基体上にシリコン原子を母体
とする非単結晶材料で構成された光導電層に炭素原子を
母体とする非単結晶材料で構成された表面層を積層した
感光体は、非晶質炭素膜の特徴である潤滑性、高硬度、
耐酸化性から融着防止、長寿命、環境安定性といった優
れた性能を有している。
Amorphous silicon photoreceptors have unmatched potential stability and are used especially in high-speed copying machines and high-speed printers. In particular, a photoconductor in which a photoconductive layer formed of a non-single-crystal material having silicon atoms as a base on a conductive substrate and a surface layer formed of a non-single-crystal material having carbon atoms as a base is laminated, Lubricating properties, high hardness,
It has excellent performance such as anti-fusing, long life and environmental stability from oxidation resistance.

【0013】小型機や普及機の領域においてもその優れ
た電位安定性を望む声は大きかったが、本体が棄却され
るまでのプリント枚数は多くて百万枚ほどであり、非晶
質シリコン感光体の数百万枚といった耐久寿命とのミス
マッチでなかなか広く普及していない。
There has been a great demand for excellent potential stability even in the field of small-sized machines and popularized machines, but the number of prints before the main body is rejected is at most one million, and amorphous silicon Due to the mismatch with the durable life of millions of bodies, it is not widely used.

【0014】また、前述クリーナーレスシステムにおい
ては、非晶質シリコン感光体の中には、トナーや帯電部
材との帯電系列、具体的には感光体表面の仕事関数や電
気陰性度のミスマッチから、(5)の工程において、吐
き出しトナー中の反転トナーをカブリ取りバイアスによ
っても回収されにくい極性分布、具体的には帯電極性と
逆の方向の平均極性に変換してしまう現象があり、非晶
質シリコン感光体のメリットを十分に付加したクリーナ
ーレスシステムが達成し得ない課題があった。
In the cleanerless system described above, the amorphous silicon photoreceptor contains a charge series with toner and a charging member, specifically, a mismatch in work function and electronegativity of the photoreceptor surface. In the step (5), there is a phenomenon that the inverted toner in the discharged toner is converted into a polarity distribution that is difficult to be recovered even by the fog removing bias, specifically, an average polarity in a direction opposite to the charging polarity. There is a problem that a cleanerless system to which the merits of a silicon photoreceptor are sufficiently added cannot be achieved.

【0015】具体例として、図4のトナーの帯電量分布
における破線で示された比較例1が回収されにくい極性
分布、言い換えれば正規化が不十分な例、実線で示され
た実施例1が回収され易い極性分布、正規化された例で
ある。
As a specific example, Comparative Example 1 indicated by a broken line in the charge amount distribution of the toner in FIG. 4 is a polarity distribution that is difficult to collect, in other words, an example where normalization is insufficient, and Example 1 indicated by a solid line. This is a normalized example of the polarity distribution that is easily collected.

【0016】特に、炭素原子を母体とする非単結晶材料
で構成された表面層は、樹脂等の有機物からなる表面層
に比べ正規化しにくい傾向があり、これによって画像カ
ブリ、現像剤劣化による濃度薄等の画像トラブルを生じ
ることがあった。
In particular, a surface layer composed of a non-single-crystal material having carbon atoms as a matrix tends to be less normalized than a surface layer composed of an organic substance such as a resin. Image troubles such as thinness sometimes occurred.

【0017】なお、特開平8−220782号公報に
は、感光体の電荷輸送層が電子線による硬化物からなる
ことの開示がある。また、特開平11−265085号
公報には、感光体の表面層が放射線照射により硬化する
ことの開示がある。特開平10−307455号公報に
は、非晶質シリコン感光体のトナーリサイクルプロセス
の開示がある。特開2000−98846号公報には、
非晶質シリコン感光体、特には非晶質炭素からなる表面
層を有する非晶質シリコン感光体の接触帯電に関する開
示がある。
Incidentally, Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-220784 discloses that the charge transport layer of the photoreceptor is made of a cured product by an electron beam. JP-A-11-265085 discloses that the surface layer of a photoreceptor is cured by irradiation with radiation. JP-A-10-307455 discloses a toner recycling process for an amorphous silicon photoreceptor. JP-A-2000-98846 discloses that
There is a disclosure related to contact charging of an amorphous silicon photoconductor, particularly an amorphous silicon photoconductor having a surface layer made of amorphous carbon.

【0018】[0018]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
の技術課題の解決を目指したものであり、非晶質シリコ
ン感光体を用いた場合においても、クリーナーレストナ
ーリサイクルプロセスを良好に機能させる電子写真方
法、電子写真装置及び電子写真感光体を提供することに
ある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned technical problems. Even when an amorphous silicon photoreceptor is used, the cleaner-less toner recycling process can function well. An object of the present invention is to provide an electrophotographic method, an electrophotographic apparatus, and an electrophotographic photosensitive member.

【0019】本発明の別の目的は、広く小型機、普及機
にも普及可能とならしめる、リサイクル効果、画像欠陥
防止効果を持つ新規な非晶質シリコン感光体、該感光体
を有する電子写真方法及び電子写真装置を提供すること
にある。
Another object of the present invention is to provide a novel amorphous silicon photosensitive member having a recycling effect and an image defect preventing effect which can be widely used in small-sized machines and popularized machines, and an electrophotography having the photosensitive body. A method and an electrophotographic apparatus are provided.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】本発明に従って、電子写
真感光体と、該電子写真感光体の表面を帯電する帯電工
程と、該電子写真感光体の帯電面に静電潜像を形成する
潜像形成工程と、該静電潜像をトナー像として現像する
現像工程と、該トナー像を記録媒体に転写する転写工程
を有する電子写真方法において、該電子写真感光体は、
導電性基体上にシリコン原子を母体とする非単結晶材料
で構成された光導電層及び非単結晶材料で構成された第
1の表面層があり、更に該第1の表面層上に少なくとも
連鎖重合性官能基を有する化合物を電子線照射により重
合した化合物及び導電性粒子を含有する第2の表面層が
積層され、該帯電工程は、粒径が10nm〜10μmで
ある導電性粒子を主成分とする帯電粒子を、導電性と弾
性を有した表面を備えた帯電粒子担持体により被帯電体
に接触させて、被帯電体表面を帯電し、転写から帯電ま
での間にクリーニング工程が無いことを特徴とする電子
写真方法及び電子写真装置が提供される。
According to the present invention, there is provided an electrophotographic photosensitive member, a charging step for charging a surface of the electrophotographic photosensitive member, and a latent image for forming an electrostatic latent image on a charged surface of the electrophotographic photosensitive member. An image forming step, a developing step of developing the electrostatic latent image as a toner image, and an electrophotographic method having a transfer step of transferring the toner image to a recording medium, wherein the electrophotographic photosensitive member is
There is a photoconductive layer made of a non-single-crystal material mainly composed of silicon atoms on a conductive substrate and a first surface layer made of a non-single-crystal material, and at least a chain is formed on the first surface layer. A second surface layer containing a compound obtained by polymerizing a compound having a polymerizable functional group by electron beam irradiation and conductive particles is laminated, and the charging step mainly includes conductive particles having a particle size of 10 nm to 10 μm. The charged particles are brought into contact with the charged object by a charged particle carrier having a surface having conductivity and elasticity, and the surface of the charged object is charged, and there is no cleaning process between transfer and charging. An electrophotographic method and an electrophotographic apparatus are provided.

【0021】また、本発明に従って、導電性基体上にシ
リコン原子を母体とする非単結晶材料で構成された光導
電層及び非単結晶材料で構成された第1の表面層からな
り、更に該第1の表面層上に少なくとも連鎖重合性官能
基を有する化合物を電子線照射により重合した化合物及
び導電性粒子を含有する第2の表面層を有することを特
徴とする電子写真感光体が提供される。
According to the present invention, there is further provided a photoconductive layer composed of a non-single-crystal material mainly composed of silicon atoms on a conductive substrate, and a first surface layer composed of a non-single-crystal material. An electrophotographic photoreceptor having a second surface layer containing a compound obtained by polymerizing at least a compound having a chain polymerizable functional group on a first surface layer by electron beam irradiation and conductive particles is provided. You.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を詳
細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail.

【0023】上記課題を解決するために、本発明者らは
(5)の反転トナーを正規化する工程について鋭意研究
を行ったところ、電子線硬化化合物からなる特定の表面
層を付加した非晶質シリコン感光体を用いることでこの
工程が極めて円滑かつ安定的に行われることを見出し
た。
In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors have conducted intensive studies on the step (5) of normalizing the reversal toner. It has been found that this process can be performed extremely smoothly and stably by using a high quality silicon photoreceptor.

【0024】具体的には、導電性基体上にシリコン原子
を母体とする非単結晶材料で構成された光導電層及び第
1の表面層からなり、該第1の表面層上に少なくとも連
鎖重合性官能基を有する化合物を電子線照射により重合
した化合物及び導電性粒子を含有する第2の表面層を有
する電子写真感光体を用い、該帯電手段は、粒径が10
nm〜10μmである導電性粒子を主成分とする帯電粒
子と、導電性と弾性を有した表面を備え、該帯電粒子を
担持する帯電粒子担持体により構成され、該帯電粒子は
被帯電体に接触し、被帯電体表面を帯電する帯電手段を
用い、転写から帯電までの間にクリーニング工程が無い
電子写真方法及び装置で極めて良好なトナーリサイクル
プロセスが達成された。
More specifically, a photoconductive layer composed of a non-single-crystal material containing silicon atoms as a base material and a first surface layer are formed on a conductive substrate, and at least a chain polymerization is formed on the first surface layer. An electrophotographic photoreceptor having a second surface layer containing conductive particles and a compound obtained by polymerizing a compound having a functional functional group by electron beam irradiation, and the charging means having a particle size of 10
a charged particle mainly composed of conductive particles having a thickness of 10 nm to 10 μm, and a surface provided with conductivity and elasticity, comprising a charged particle carrier for supporting the charged particle, wherein the charged particle is An extremely good toner recycling process has been achieved by an electrophotographic method and apparatus using a charging means for contacting and charging the surface of an object to be charged and having no cleaning step from transfer to charging.

【0025】本発明者らの検討によれば、前記工程
(5)において接触帯電部材、導電性粒子、トナー、感
光体表面の4要素の摺擦接触によって制御される現象で
あり、本発明においては感光体表面の差が最も重要なパ
ラメータとなる。
According to the study of the present inventors, it is a phenomenon that is controlled by the rubbing contact of the four elements on the contact charging member, the conductive particles, the toner, and the photoreceptor surface in the step (5). The most important parameter is the difference of the photoconductor surface.

【0026】なぜ、非晶質材料で構成された表面層で正
規化状態に差が出るか、連鎖重合性官能基を有する化合
物からなる表面層が正規化に良好な作用をするかについ
て明確な理由は判明していないが、材料の持つQuas
i Fermi Level(eV)の値やその材料の
構成元素比率に相関があると考えられる。
It is clear why the surface layer made of an amorphous material has a difference in the normalized state and whether the surface layer made of a compound having a chain polymerizable functional group has a good effect on the normalization. Although the reason is not clear, Quas of the material
It is considered that there is a correlation between the value of i Fermi Level (eV) and the ratio of constituent elements of the material.

【0027】具体的には、QFLの値が大きいとその材
料自身がネガ化し易く相手をポジ化し易い。
Specifically, when the value of QFL is large, the material itself tends to be negative and the other party tends to be positive.

【0028】表面層のQFLは、低エネルギー光電子計
測装置(理研計器製、表面分析装置AC−1型)を用い
て測定した。具体的には大気中において紫外線により励
起された光電子を測定する。紫外線の波長を変化させる
ことで励起エネルギーを変化させ、光電子が検出され始
める励起エネルギーを求める。この値がQFLである。
QFLは仕事関数そのものではないが、仕事関数に相関
のある値として有効であることが知られている。
The QFL of the surface layer was measured using a low energy photoelectron measuring device (manufactured by Riken Keiki Co., Ltd., surface analyzer AC-1 type). Specifically, photoelectrons excited by ultraviolet light in the atmosphere are measured. The excitation energy is changed by changing the wavelength of the ultraviolet light, and the excitation energy at which photoelectrons begin to be detected is determined. This value is QFL.
It is known that QFL is not a work function itself, but is effective as a value correlated with the work function.

【0029】第1の表面層として用いる非晶質シリコン
原子を母体とする表面層のQFLは4.2〜5.0eV
であり、連鎖重合性官能基を主成分とする化合物を電子
線照射により重合した膜は約6eVであった。また、第
2の表面層として用いる場合に、前記膜に混合する導電
性粒子、例えば酸化スズは約4eVであった。本発明者
らが推測するに、この導電性粒子のQFLが本発明に関
する吐き出しトナーの正規化に大きく関与していると考
える。すなわち、表面層中に如何にQFLが小さい材料
が含まれているかが、支配的と推察される。
The QFL of the surface layer mainly composed of amorphous silicon atoms used as the first surface layer is 4.2 to 5.0 eV.
The film obtained by polymerizing a compound having a chain polymerizable functional group as a main component by electron beam irradiation had a value of about 6 eV. When used as the second surface layer, the conductive particles mixed with the film, for example, tin oxide had a value of about 4 eV. The present inventors presume that the QFL of the conductive particles greatly contributes to the normalization of the discharged toner according to the present invention. That is, it is presumed that how small the QFL is contained in the surface layer is dominant.

【0030】本発明に用いる電子写真感光体は、導電性
基体上にシリコン原子を母体とする非単結晶材料で構成
された光導電層及び第1の表面層からなり、該第1の表
面層上に少なくとも連鎖重合性官能基を有する化合物を
電子線照射により重合した化合物及び導電性粒子を含有
する第2の表面層を有する。
The electrophotographic photoreceptor used in the present invention comprises a photoconductive layer made of a non-single-crystal material having silicon atoms as a base on a conductive substrate and a first surface layer. A second surface layer containing conductive particles and a compound obtained by polymerizing a compound having at least a chain polymerizable functional group by electron beam irradiation is provided thereon.

【0031】図1は本発明に用いられる電子写真感光体
100の模式的な断面図の一例である。
FIG. 1 is an example of a schematic sectional view of an electrophotographic photosensitive member 100 used in the present invention.

【0032】図1(A)に示すa−Si感光体は、アル
ミニウム等の導電性基体101と、導電性基体101の
表面に順次積層された電荷注入阻止層102と光導電層
103及び第1の表面層104、第2の表面層105か
らなる。ここで、電荷注入阻止層102は、導電性基体
101から光導電層103への電荷の注入を阻止するも
のであり、必要に応じて設けられる。また、光導電層1
03は少なくともシリコン原子を含む非晶質材料で構成
され、光導電性を示すものである。更に、第1表面層1
04及び第2の表面層105は、電子写真装置における
潜像を保持する能力をもつ層である。
The a-Si photosensitive member shown in FIG. 1A has a conductive substrate 101 made of aluminum or the like, a charge injection blocking layer 102, a photoconductive layer 103, and a first conductive layer 103 sequentially laminated on the surface of the conductive substrate 101. , And a second surface layer 105. Here, the charge injection blocking layer 102 blocks charge injection from the conductive substrate 101 to the photoconductive layer 103, and is provided as necessary. Also, the photoconductive layer 1
Numeral 03 is made of an amorphous material containing at least silicon atoms and shows photoconductivity. Further, the first surface layer 1
04 and the second surface layer 105 are layers having an ability to retain a latent image in an electrophotographic apparatus.

【0033】図1(B)に示したように光導電層103
は、少なくともシリコン原子と炭素原子を含む非晶質材
料で構成された電荷輸送層107と、少なくともシリコ
ン原子を含む非晶質材料で構成された電荷発生層106
が順次積層された構成の機能分離型としてもよい。
As shown in FIG. 1B, the photoconductive layer 103
Are a charge transport layer 107 made of an amorphous material containing at least silicon atoms and carbon atoms, and a charge generation layer 106 made of an amorphous material containing at least silicon atoms.
May be a function-separated type having a configuration in which are sequentially stacked.

【0034】まず、母体となる非単結晶シリコン感光体
部分の作製概要を述べる。
First, an outline of manufacturing a non-single-crystal silicon photoreceptor portion serving as a base will be described.

【0035】<導電性基体>導電性基体の基材として
は、導電性でも電気絶縁性であってもよい。導電性基体
としては、例えば、Al、Cr、Mo、Au、In、N
b、Te、V、Ti、Pt、Pd、Fe等の金属、及び
これらの合金、例えばステンレス等が挙げられる。ま
た、ポリエステル、ポリエチレン、ポリカーボネート、
セルロースアセテート、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニ
ル、ポリスチレン及びポリアミド等の合成樹脂のフィル
ム又はシート、ガラスやセラミック等の電気絶縁性支持
体の少なくとも感光層を形成する側の表面を導電処理し
たものも導電性基体として用いることができる。
<Conductive Substrate> The substrate of the conductive substrate may be either conductive or electrically insulating. Examples of the conductive substrate include Al, Cr, Mo, Au, In, and N.
Examples include metals such as b, Te, V, Ti, Pt, Pd, and Fe, and alloys thereof, for example, stainless steel. Also, polyester, polyethylene, polycarbonate,
Films or sheets of synthetic resins such as cellulose acetate, polypropylene, polyvinyl chloride, polystyrene and polyamide, and electrically insulating supports such as glass and ceramics at least on the surface on which the photosensitive layer is to be formed are also conductive substrates. Can be used as

【0036】<光導電層>光導電層は、例えばグロー放
電法(低周波CVD法、高周波CVD法又はマイクロ波
CVD法等の交流放電CVD法、又は直流放電CVD法
等)、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーテ
ィング法、光CVD法及び熱CVD法等の数々の薄膜堆
積法によって形成することができる。これらの薄膜堆積
法は、製造条件、設備資本投資下の負荷程度、製造規
模、作製される画像形成装置用電子写真感光体に所望さ
れる特性等の要因によって適宜選択されて採用される
が、所望の特性を有する画像形成装置用電子写真感光体
を製造するにあたっての条件の制御が比較的容易である
ことからしてグロー放電法、特にRF帯、μW帯又はV
HF帯の電源周波数を用いた高周波グロー放電法が好適
である。
<Photoconductive Layer> The photoconductive layer can be formed by, for example, a glow discharge method (an AC discharge CVD method such as a low-frequency CVD method, a high-frequency CVD method or a microwave CVD method, or a DC discharge CVD method), a sputtering method, or a vacuum method. It can be formed by various thin film deposition methods such as an evaporation method, an ion plating method, an optical CVD method, and a thermal CVD method. These thin film deposition methods are appropriately selected and adopted depending on factors such as manufacturing conditions, the degree of load under capital investment, the manufacturing scale, and the characteristics desired for an electrophotographic photosensitive member for an image forming apparatus to be manufactured. The glow discharge method, especially in the RF band, μW band or V, is used because it is relatively easy to control the conditions for manufacturing an electrophotographic photosensitive member for an image forming apparatus having desired characteristics.
A high-frequency glow discharge method using a power supply frequency in the HF band is preferable.

【0037】グロー放電法によって光導電層103を形
成するには、基本的には周知のごとくシリコン原子(S
i)を供給し得るSi供給用の原料ガスと、水素原子
(H)を供給し得るH供給用の原料ガス、及びハロゲン
原子(X)を供給し得るX供給用の原料ガスの少なくと
もいずれかを、内部が減圧にし得る反応容器内に所望の
ガス状態で導入して、該反応容器内にグロー放電を生起
させ、導入した原料ガスを分解し、予め所定の位置に設
置されてある所定の導電性基体101上にa−Si:
H,Xからなる層を形成すればよい。
In order to form the photoconductive layer 103 by the glow discharge method, it is basically known that silicon atoms (S
At least one of a source gas for supplying Si that can supply i), a source gas for supplying H that can supply hydrogen atoms (H), and a source gas for supplying X that can supply halogen atoms (X) Is introduced in a desired gas state into a reaction vessel in which the pressure can be reduced, a glow discharge is generated in the reaction vessel, the introduced raw material gas is decomposed, and a predetermined gas which is previously set at a predetermined position is introduced. A-Si on conductive substrate 101:
What is necessary is just to form the layer which consists of H and X.

【0038】また、シリコン原子の未結合手を補償し、
層品質の向上、特に光導電性及び電荷保持特性を向上さ
せるためには、光導電層103中に水素原子及びハロゲ
ン原子の少なくともいずれかが含有されることが必要で
あるが、水素原子又はハロゲン原子の含有量、又は水素
原子とハロゲン原子の和の量は、シリコン原子と水素原
子及びハロゲン原子の和に対して10〜30原子%が好
ましく、特には15〜25原子%が好ましい。
Further, the dangling bonds of silicon atoms are compensated,
In order to improve the layer quality, in particular, the photoconductivity and the charge retention characteristics, it is necessary that the photoconductive layer 103 contains at least one of a hydrogen atom and a halogen atom. The content of atoms or the sum of hydrogen atoms and halogen atoms is preferably from 10 to 30 at%, more preferably from 15 to 25 at%, based on the sum of silicon, hydrogen and halogen atoms.

【0039】本発明において好適に使用し得るハロゲン
化合物としては、具体的には弗素ガス(F2)、Br
F、ClF、ClF3、BrF3、BrF5、IF3及びI
7等のハロゲン間化合物を挙げることができる。ハロ
ゲン原子を含む珪素化合物、いわゆるハロゲン原子で置
換されたシラン誘導体としては、具体的には、例えばS
iF4やSi26等の弗化珪素が好ましいものとして挙
げることができる。
As the halogen compound which can be suitably used in the present invention, specifically, fluorine gas (F 2 ), Br
F, ClF, ClF 3, BrF 3, BrF 5, IF 3 and I
It can be exemplified interhalogen compounds such as F 7. Specific examples of the silicon compound containing a halogen atom, ie, a silane derivative substituted with a halogen atom, include, for example, S
Silicon fluoride such as iF 4 or Si 2 F 6 can be mentioned as a preferable example.

【0040】本発明においては、光導電層103には必
要に応じて伝導性を制御する原子を含有させることが好
ましい。伝導性を制御する原子は、光導電層103中に
万偏なく均一に分布した状態で含有されてもよいし、又
は層厚方向には不均一な分布状態で含有している部分が
あってもよい。
In the present invention, it is preferable that the photoconductive layer 103 contains atoms for controlling conductivity as necessary. The atoms that control the conductivity may be contained in the photoconductive layer 103 in a uniformly distributed state, or may be contained in the layer thickness direction in a non-uniform distribution state. Is also good.

【0041】前記伝導性を制御する原子としては、半導
体分野における、いわゆる不純物を挙げることができ、
p型伝導特性を与える周期律表13族に属する原子(以
後「13族原子」と略記する)又はn型伝導特性を与え
る周期律表15族に属する原子(以後「第15族原子」
と略記する)を用いることができる。
Examples of the atoms for controlling the conductivity include so-called impurities in the semiconductor field.
An atom belonging to Group 13 of the periodic table that gives p-type conduction properties (hereinafter abbreviated as “Group 13 atom”) or an atom belonging to Group 15 of the periodic table that gives n-type conduction properties (hereinafter “Group 15 atom”)
May be used.

【0042】第13族原子としては、具体的には、硼素
(B)、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)、イ
ンジウム(In)及びタリウム(Tl)等があり、特に
B、Al及びGaが好適である。第15族原子として
は、具体的には燐(P)、砒素(As)、アンチモン
(Sb)及びビスマス(Bi)等があり、特にP及びA
sが好適である。
Specific examples of Group 13 atoms include boron (B), aluminum (Al), gallium (Ga), indium (In), and thallium (Tl). It is suitable. Specific examples of Group 15 atoms include phosphorus (P), arsenic (As), antimony (Sb), and bismuth (Bi).
s is preferred.

【0043】光導電層103に含有される伝導性を制御
する原子の含有量としては、好ましくは1×10-2〜1
×104原子ppm、より好ましくは5×10-2〜5×
103原子ppm、最適には1×10-1〜1×103原子
ppmとされるのが好ましい。
The content of atoms for controlling the conductivity contained in the photoconductive layer 103 is preferably 1 × 10 -2 to 1
× 10 4 atomic ppm, more preferably 5 × 10 -2 to 5 ×
Preferably, it is 10 3 atomic ppm, most preferably 1 × 10 -1 to 1 × 10 3 atomic ppm.

【0044】伝導性を制御する原子、例えば、第13族
原子又は第15族原子を構造的に導入するには、層形成
の際に、第13族原子導入用の原料物質又は第15族原
子導入用の原料物質をガス状態で、光導電層103を形
成するための他のガスと共に反応容器中に導入してやれ
ばよい。第13族原子導入用の原料物質又は第15族原
子導入用の原料物質となり得るものとしては、常温常圧
でガス状の又は、少なくとも層形成条件下で容易にガス
化し得るものが採用されるのが好ましい。
In order to structurally introduce an atom for controlling conductivity, for example, a group 13 atom or a group 15 atom, a source material for introducing a group 13 atom or a group 15 atom during formation of a layer. The raw material for introduction may be introduced into the reaction vessel in a gaseous state together with another gas for forming the photoconductive layer 103. As a raw material for introducing a Group 13 atom or a raw material for introducing a Group 15 atom, a material which is gaseous at ordinary temperature and normal pressure or which can be easily gasified at least under layer forming conditions is employed. Is preferred.

【0045】また、これらの伝導性を制御する原子導入
用の原料物質を必要に応じてH2やHe等により希釈し
て使用してもよい。
These raw materials for introducing atoms for controlling conductivity may be diluted with H 2 , He or the like as necessary.

【0046】更に、本発明においては、光導電層103
に炭素原子、酸素原子及び窒素原子等の原子を単独で又
は複数種含有させることも有効である。炭素原子、酸素
原子及び窒素原子の含有量は、シリコン原子、炭素原
子、酸素原子及び窒素原子の和に対して、好ましくは1
×10-5〜10原子%、より好ましくは1×10-4〜8
原子%、最適には1×10-3〜5原子%が好ましい。炭
素原子、酸素原子及び窒素原子は、光導電層中に万遍な
く均一に含有されてもよいし、光導電層の層厚方向に含
有量が変化するような不均一な分布をもたせた部分があ
ってもよい。
Further, in the present invention, the photoconductive layer 103
It is also effective to contain singly or plural kinds of atoms such as carbon atom, oxygen atom and nitrogen atom. The content of carbon atom, oxygen atom and nitrogen atom is preferably 1 to the sum of silicon atom, carbon atom, oxygen atom and nitrogen atom.
× 10 -5 to 10 atomic%, more preferably 1 × 10 -4 to 8
Atomic%, optimally 1 × 10 −3 to 5 atomic% is preferred. Carbon atoms, oxygen atoms and nitrogen atoms may be uniformly contained in the photoconductive layer, or may have a non-uniform distribution such that the content changes in the thickness direction of the photoconductive layer. There may be.

【0047】本発明において、光導電層103の層厚
は、所望の電子写真特性が得られること及び経済的効果
等の点から適宜所望にしたがって決定され、好ましくは
15〜60μm、より好ましくは20〜50μm、最適
には20〜40μmとされるのが好ましい。15μm未
満であると帯電部材への通過電流量が増大し劣化が早ま
り易い。60μmを超えるとa−Si感光体の異常成長
部位が大きくなり、具体的には水平方向で50〜150
μm、高さ方向で5〜20μmとなり表面を摺擦する帯
電部材へのダメージが無視しえなくなるためである。
In the present invention, the thickness of the photoconductive layer 103 is appropriately determined as desired from the viewpoint of obtaining desired electrophotographic characteristics and economic effects, and is preferably 15 to 60 μm, more preferably 20 to 60 μm. It is preferably from 50 to 50 μm, most preferably from 20 to 40 μm. If it is less than 15 μm, the amount of current passing through the charging member increases, and the deterioration tends to be quick. When the thickness exceeds 60 μm, the abnormally grown portion of the a-Si photoreceptor becomes large.
μm, and 5 to 20 μm in the height direction, so that damage to the charging member rubbing the surface cannot be ignored.

【0048】なお、光導電層103の層厚は、原料ガス
の導入量等の製膜条件によって調整することができる
が、(膜厚計 HELMUT FISHER GMBH
社製FisherScope mms)を用いることに
より測定することができ、光導電層103の層厚を確認
することができる。
The thickness of the photoconductive layer 103 can be adjusted by the film forming conditions such as the amount of the source gas introduced, and the like (a film thickness meter HELMUT FISHER GMBH).
It can be measured by using FisherScope mms (manufactured by Co., Ltd.), and the thickness of the photoconductive layer 103 can be confirmed.

【0049】更に、導電性基体101の温度は、層設計
にしたがって適宜最適範囲が選択されるが、通常の場
合、好ましくは200〜350℃、より好ましくは23
0〜330℃、最適には250〜310℃とするのが好
ましい。
Further, the temperature of the conductive substrate 101 is appropriately selected in an optimum range according to the layer design, but is usually preferably 200 to 350 ° C., and more preferably 23 ° C.
The temperature is preferably from 0 to 330C, most preferably from 250 to 310C.

【0050】<第1の表面層>本発明に用いられる電子
写真感光体は、非晶質材料からなる第1の表面層を有す
る。具体的には、従来から知られている、水素(H)及
びハロゲン(X)の少なくともいずれかと珪素(S
i)、炭素(C)、酸素(O)、窒素(N)とにより形
成されるa−Si(C、O、N):H(X)乃至a−C
(N):H(X)で構成された第1の表面層を有する。
<First Surface Layer> The electrophotographic photosensitive member used in the present invention has a first surface layer made of an amorphous material. Specifically, at least one of hydrogen (H) and halogen (X) and silicon (S
i), a-Si (C, O, N) formed by carbon (C), oxygen (O), and nitrogen (N): H (X) to a-C
(N): having a first surface layer composed of H (X).

【0051】中でも、a−SiC:H(X)及びa−
C:H(X)は、高硬度で耐久性に優れている。なお、
第1の表面層の層厚は、反射分光式干渉計(大塚電子
(株)製MCPD2000)により干渉度合を測定し、
この値と既知の屈折率から膜厚を算出する。後述する表
面層の膜厚は、製膜成膜条件等によって調整することが
できる。膜厚の好適な範囲としては0.01μm〜5μ
mが好ましく、特には0.1μm〜2μmが好ましい。
Among them, a-SiC: H (X) and a-SiC: H (X)
C: H (X) has high hardness and excellent durability. In addition,
The thickness of the first surface layer is determined by measuring the degree of interference with a reflection spectroscopic interferometer (MCPD2000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.).
The film thickness is calculated from this value and the known refractive index. The thickness of the surface layer described later can be adjusted by the film formation conditions. A preferable range of the film thickness is 0.01 μm to 5 μm.
m is preferable, and particularly preferably 0.1 μm to 2 μm.

【0052】また、表面層の屈折率は、1.6〜2.8
程度であれば好適に用いられ、好ましくは1.6〜2.
2、特には1.6〜2.0が好ましい。ここで、屈折率
は、長波長光多重干渉により測定する。具体的にはガラ
ス基板(Coaning社製7059)上に表面層を製
膜したサンプルを可視分光器(日立社製330等)で、
2500nm付近から短波長側に分光透過率を測定し
(極値が4〜5個判る波長範囲)、得られた極値の波長
・透過率を用いて屈折率を計算する。また、第1の表面
層104の比誘電率は、屈折率を2乗することにより求
められる。
The refractive index of the surface layer is 1.6 to 2.8.
It is suitably used if it is on the order of magnitude, preferably from 1.6 to 2.
2, particularly preferably 1.6 to 2.0. Here, the refractive index is measured by long-wavelength light multiplex interference. Specifically, a sample in which a surface layer is formed on a glass substrate (7059 manufactured by Coating) is applied to a visible spectroscope (330 manufactured by Hitachi, etc.).
Spectral transmittance is measured on the short wavelength side from around 2500 nm (wavelength range in which 4 to 5 extreme values are found), and the refractive index is calculated using the obtained extreme value wavelength / transmittance. The relative dielectric constant of the first surface layer 104 is obtained by squaring the refractive index.

【0053】該表面層104は、例えばグロー放電法、
スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング
法、光CVD法及び熱CVD法等の周知の薄膜堆積法に
よって形成することができる。これらの薄膜堆積法は、
製造条件、設備資本投資下の負荷程度、製造規模、作製
される画像形成装置用電子写真感光体に所望される特性
等の要因によって適宜選択されて採用されるが、電子写
真感光体の生産性から光導電層と同等の堆積法によるこ
とが好ましい。
The surface layer 104 is formed by, for example, a glow discharge method.
It can be formed by a known thin film deposition method such as a sputtering method, a vacuum evaporation method, an ion plating method, a photo CVD method, and a thermal CVD method. These thin film deposition methods
It is appropriately selected and adopted depending on factors such as manufacturing conditions, the degree of load under capital investment, the manufacturing scale, and the characteristics desired for the electrophotographic photosensitive member for an image forming apparatus to be manufactured. Therefore, it is preferable to use a deposition method equivalent to that of the photoconductive layer.

【0054】原料ガスを分解するための高周波電力につ
いては、できるだけ高い方が炭化水素の分解が十分に進
むため好ましく、具体的には原料ガスに対して、単位時
間(min)、標準状態(normal)におけるガス
の単位容積(ml)あたりの電気量(W)が5W・mi
n/ml(normal)以上が好ましいが、あまり高
くなると異常放電が発生してしまい、電子写真感光体の
特性を劣化させるので、異常放電が発生しない程度の電
力に抑える必要がある。放電空間の圧力については、通
常のRF(具体的には13.56MHz)電力を用いる
場合には13.3Pa〜1333Pa(0.1Torr
〜10Torr)、VHF帯(具体的には50〜450
MHz)を用いる場合には0.133Pa〜13.3P
a(0.1mTorr〜100mTorr)程度に保た
れる。
The high-frequency power for decomposing the raw material gas is preferably as high as possible because the decomposition of the hydrocarbon proceeds sufficiently. Specifically, the unit time (min) of the raw material gas and the standard state (normal) ) Is 5 W · mi per unit volume (ml) of gas.
Although it is preferably n / ml (normal) or more, if it is too high, an abnormal discharge occurs and the characteristics of the electrophotographic photoreceptor deteriorate. Therefore, it is necessary to suppress the electric power to a level that does not cause the abnormal discharge. Regarding the pressure in the discharge space, when using normal RF (specifically, 13.56 MHz) power, 13.3 Pa to 1333 Pa (0.1 Torr) is used.
-10 Torr), VHF band (specifically, 50-450 Torr)
MHz) when using 0.133 Pa to 13.3 P
a (0.1 mTorr to 100 mTorr).

【0055】更に、本発明においては、表面層104に
は必要に応じて伝導性を制御する原子を含有させること
が好ましい。伝導性を制御する原子は、表面層104中
に万偏なく均一に分布した状態で含有されてもよいし、
又は層厚方向には不均一な分布状態で含有している部分
があってもよい。
Further, in the present invention, it is preferable that the surface layer 104 contains atoms for controlling conductivity as necessary. The atoms for controlling the conductivity may be contained in the surface layer 104 in a state of being uniformly distributed without unevenness,
Alternatively, there may be a portion contained in a non-uniform distribution state in the layer thickness direction.

【0056】前記の伝導性を制御する原子としては、半
導体分野における、いわゆる不純物を挙げることがで
き、「第13族原子」又は「第15族原子」を用いるこ
とができる。
Examples of the atoms for controlling the conductivity include so-called impurities in the field of semiconductors, and "Group 13 atoms" or "Group 15 atoms" can be used.

【0057】また、表面層104と光導電層103との
間に、酸素原子及び窒素原子の含有量が光導電層103
に向かって減少するように変化する領域を設けてもよ
い。これにより表面層と光導電層の密着性を向上させ、
界面での光の反射による干渉の影響をより少なくするこ
とができる。
Further, between the surface layer 104 and the photoconductive layer 103, the content of oxygen atoms and nitrogen atoms is reduced.
A region that changes so as to decrease toward may be provided. This improves the adhesion between the surface layer and the photoconductive layer,
The influence of interference due to light reflection at the interface can be further reduced.

【0058】以下、図3の装置を用いた非晶質シリコン
感光体の作製手順の一例を述べる。
Hereinafter, an example of a procedure for manufacturing an amorphous silicon photoreceptor using the apparatus shown in FIG. 3 will be described.

【0059】図3は、高周波電源を用いたRFプラズマ
CVD法による電子写真感光体の堆積装置の一例を模式
的に示した図である。
FIG. 3 is a diagram schematically showing an example of an electrophotographic photosensitive member deposition apparatus by an RF plasma CVD method using a high-frequency power supply.

【0060】この装置は大別すると、反応容器2110
を有する堆積装置2100、原料ガス供給装置220
0、反応容器2110内を減圧するための排気装置(図
示せず)から構成されている。堆積装置2100中の反
応容器2110内にはアースに接続された導電性基体2
112、導電性基体加熱用ヒーター2113、原料ガス
導入管2114が設置され、更に高周波マッチングボッ
クス2115を介して高周波電源2120が接続されて
いる。
This apparatus is roughly classified into a reaction vessel 2110
Device 2100 having source gas, source gas supply device 220
0, an exhaust device (not shown) for reducing the pressure inside the reaction vessel 2110. The conductive substrate 2 connected to the ground is provided in the reaction vessel 2110 in the deposition apparatus 2100.
112, a heater 2113 for heating the conductive substrate, and a raw material gas introduction pipe 2114 are provided, and a high frequency power supply 2120 is connected via a high frequency matching box 2115.

【0061】原料ガス供給装置2200は、SiH4
2、CH4、NO、B26及びCF4等の原料ガスボン
ベ2221〜2226とバルブ2231〜2236、圧
力調整器2261〜2266、流入バルブ2241〜2
246、流出バルブ2251〜2256及びマスフロー
コントローラー2211〜2216から構成され、各原
料ガスを封入したガスのボンベは補助バルブ2260を
介して反応容器2110内の原料ガス導入管2114に
接続されている。
The raw material gas supply device 2200 includes SiH 4 ,
H 2, CH 4, NO, B 2 H 6 and CF 4, etc. of the raw material gas cylinders 2221 to 2226 and the valve 2231 to 2236, pressure regulators 2261 to 2266, flow-in valves 2241 to 2
246, outflow valves 2251 to 2256, and mass flow controllers 2211 to 2216. A gas cylinder filled with each source gas is connected to a source gas introduction pipe 2114 in a reaction vessel 2110 via an auxiliary valve 2260.

【0062】導電性基体2112は、導電性受け台21
23の上に設置されることによってアースに接続され
る。
The conductive base 2112 is provided on the conductive pedestal 21.
23 is connected to the ground.

【0063】以下、図3の装置を用いた、電子写真感光
体の作製手順の一例について説明する。
Hereinafter, an example of a procedure for producing an electrophotographic photosensitive member using the apparatus shown in FIG. 3 will be described.

【0064】反応容器2110内に導電性基体2112
を設置し、不図示の排気装置(例えば真空ポンプ)によ
り反応容器2110内を排気する。続いて導電性基体加
熱用ヒーター2113により導電性基体2112の温度
を20℃〜500℃の所望の温度に制御する。次いで、
電子写真感光体形成用の原料ガスを反応容器2110内
に流入させる。原料ガスの導入は、ガスボンベのバルブ
2231〜2236、反応容器のリークバルブ2117
が閉じられていることを確認し、また、流入バルブ22
41〜2246、流出バルブ2251〜2256、補助
バルブ2260が開かれていることを確認し、メインバ
ルブ2118を開いて反応容器2110及びガス供給配
管2116を排気する。
A conductive substrate 2112 is placed in a reaction vessel 2110.
Is installed, and the inside of the reaction vessel 2110 is exhausted by an exhaust device (not shown) (for example, a vacuum pump). Subsequently, the temperature of the conductive substrate 2112 is controlled to a desired temperature of 20 ° C. to 500 ° C. by the heater 2113 for heating the conductive substrate. Then
A source gas for forming an electrophotographic photosensitive member is caused to flow into the reaction vessel 2110. The introduction of the raw material gas is performed by the valves 2231 to 2236 of the gas cylinder and the leak valve 2117 of the reaction vessel.
Is closed, and the inlet valve 22
After confirming that 41 to 2246, the outflow valves 2251 to 2256, and the auxiliary valve 2260 are open, the main valve 2118 is opened to exhaust the reaction vessel 2110 and the gas supply pipe 2116.

【0065】その後、真空計2119の読みが0.67
mPaになった時点で補助バルブ2260、流出バルブ
2251〜2256を閉じる。その後原料ガスボンベ2
221〜2226より各ガスをバルブ2231〜223
6を開いて導入し、圧力調整器2261〜2266によ
り各ガス圧を2kg/cm2(0.2MPa)に調整す
る。次に、流入バルブ2241〜2246を徐々に開け
て各ガスをマスフローコントローラー2211〜221
6内に導入する。
Thereafter, the reading of the vacuum gauge 2119 becomes 0.67.
When the pressure reaches mPa, the auxiliary valve 2260 and the outflow valves 2251 to 2256 are closed. Then the raw material gas cylinder 2
From 221 to 2226, each gas is supplied to a valve 2231 to 223.
6 is opened and introduced, and each gas pressure is adjusted to 2 kg / cm 2 (0.2 MPa) by the pressure adjusters 2261 to 2266. Next, the inflow valves 2241 to 2246 are gradually opened, and each gas is supplied to the mass flow controllers 2211 to 221.
6 is introduced.

【0066】以上の手順によって製膜準備を完了した
後、導電性基体2112上に、まず光導電層の形成を行
う。
After the preparation for film formation is completed by the above procedure, first, a photoconductive layer is formed on the conductive base 2112.

【0067】すなわち、導電性基体2112が所望の温
度になったところで、各流出バルブ2251〜2256
のうちの必要なものと補助バルブ2260とを徐々に開
き、各原料ガスボンベ2221〜2226から所望の原
料ガスを原料ガス導入管2114を介して反応容器21
10内に導入する。次に、各マスフローコントローラー
2211〜2216によって、各原料ガスが所望の流量
になる様に調整する。その際、反応容器2110内が1
33.3Pa以下の所望の圧力になる様に、真空計21
19を見ながらメインバルブ2118の開口を調整す
る。
That is, when the temperature of the conductive substrate 2112 reaches a desired temperature, each of the outflow valves 2251 to 2256
Are gradually opened, and the auxiliary valve 2260 is gradually opened, and a desired source gas is supplied from each source gas cylinder 2221 to 2226 through the source gas introduction pipe 2114 to the reaction vessel 21.
Introduce into 10. Next, each mass flow controller 2211 to 2216 adjusts each raw material gas to a desired flow rate. At this time, the inside of the reaction vessel 2110 is 1
Vacuum gauge 21 is set to a desired pressure of 33.3 Pa or less.
Adjust the opening of the main valve 2118 while looking at 19.

【0068】内圧が安定したところで、高周波電源21
20を所望の電力に設定して、例えば周波数1MHz〜
450MHz、例えば13.56MHzの高周波電力を
高周波マッチングボックス2115を通じてカソード電
極2111に供給し、高周波グロー放電を生起させる。
この放電エネルギーによって反応容器2110内に導入
させた各原料ガスが分解され、導電性基体2112上に
所望のシリコン原子を主成分とする光導電層が堆積す
る。所望の層厚の形成が行われた後、高周波電力の供給
を止め、各流出バルブ2251〜2256を閉じて反応
容器2110への各原料ガスの流入を止め、光導電層の
形成を終える。
When the internal pressure becomes stable, the high-frequency power supply 21
20 is set to a desired power, for example, a frequency of 1 MHz to
A high frequency power of 450 MHz, for example, 13.56 MHz is supplied to the cathode electrode 2111 through the high frequency matching box 2115 to generate a high frequency glow discharge.
Each source gas introduced into the reaction vessel 2110 is decomposed by this discharge energy, and a photoconductive layer mainly containing silicon atoms is deposited on the conductive base 2112. After the desired layer thickness is formed, the supply of the high-frequency power is stopped, the outlet valves 2251 to 2256 are closed to stop the flow of the source gases into the reaction vessel 2110, and the formation of the photoconductive layer is completed.

【0069】光導電層の組成や層厚は、公知のものを使
用することができる。上記光導電層に表面層を形成する
場合も、基本的には上記の操作を繰り返せばよい。ま
た、積層の場合には、ガスを連続して流したり、高周波
電力を連続して供給することによって、層間の界面を無
くす、乃至連続的に変化させることも可能となる。
Known compositions and thicknesses of the photoconductive layer can be used. When a surface layer is formed on the photoconductive layer, basically, the above operation may be repeated. In the case of lamination, the interface between the layers can be eliminated or continuously changed by continuously flowing a gas or continuously supplying high-frequency power.

【0070】次いで、第2の表面層の作製概要を述べ
る。
Next, an outline of preparation of the second surface layer will be described.

【0071】第2の表面層に含有される導電性粒子とし
ては、金属、金属酸化物及びカーボンブラック等が挙げ
られる。金属としてはアルミニウム、亜鉛、銅、ニッケ
ル、銀及びステンレス等、またこれらの金属をプラステ
ィック粒子の表面に蒸着したもの等が挙げられる。金属
酸化物としては、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化スズ、酸
化アンチモン、酸化インジウム、酸化ビスマス、スズを
ドープした酸化インジウム、アンチモンやタンタルをド
ープした酸化スズ及びアンチモンをドープした酸化ジル
コニウム等が挙げられる。これらは単独で用いること
も、2種以上を組み合わせて用いることもできる。2種
以上組み合わせて用いる場合には、単に混合しても、固
溶体や融着させた形にしてもよい。
The conductive particles contained in the second surface layer include metals, metal oxides and carbon black. Examples of the metal include aluminum, zinc, copper, nickel, silver, and stainless steel, and those obtained by vapor-depositing these metals on the surface of plastic particles. Examples of the metal oxide include zinc oxide, titanium oxide, tin oxide, antimony oxide, indium oxide, bismuth oxide, tin-doped indium oxide, antimony and tantalum-doped tin oxide, and antimony-doped zirconium oxide. . These can be used alone or in combination of two or more. When used in combination of two or more, they may be simply mixed, or may be in a solid solution or fused form.

【0072】本発明に用いられる導電性粒子の平均粒径
は第2の表面層の透明性の点で、0.3μm以下である
ことが好ましく、特には0.1μm以下であることが好
ましい。また、本発明においては、上述した導電性粒子
の中でも透明性の点で金属酸化物を用いることが特に好
ましい。
The average particle size of the conductive particles used in the present invention is preferably 0.3 μm or less, particularly preferably 0.1 μm or less, in view of the transparency of the second surface layer. In the present invention, among the above-described conductive particles, it is particularly preferable to use a metal oxide from the viewpoint of transparency.

【0073】更に、第2の表面層には感光体表面の滑り
性を向上させるために、フッ素原子含有樹脂粒子を分散
させることもできる。フッ素原子含有粒子としては、四
フッ化エチレン樹脂、三フッ化塩化エチレン樹脂、六フ
ッ化エチレンプロピレン樹脂、フッ化ビニル樹脂、フッ
化ビニリデン樹脂、二フッ化二塩化エチレン樹脂及びこ
れらの共重合体から選ばれる1種あるいは2種以上を適
宜選択することが好ましく、特に四フッ化エチレン樹脂
及びフッ化ビニリデン樹脂が好ましい。樹脂粒子の分子
量や粒子の粒径は、適宜選択することができ特に制限さ
れるものではない。
Further, fluorine atom-containing resin particles can be dispersed in the second surface layer in order to improve the slipperiness of the photosensitive member surface. Examples of the fluorine atom-containing particles include ethylene tetrafluoride resin, ethylene trifluoride chloride resin, ethylene hexafluoride propylene resin, vinyl fluoride resin, vinylidene fluoride resin, ethylene dichloride diethylene resin, and copolymers thereof. It is preferable to appropriately select one kind or two or more kinds selected from the following, and particularly preferable are a tetrafluoroethylene resin and a vinylidene fluoride resin. The molecular weight of the resin particles and the particle size of the particles can be appropriately selected and are not particularly limited.

【0074】更に、第2の表面層には電荷輸送材料を積
極的に混入させることも可能である。電荷輸送材料とし
ては、例えば2,4,7−トリニトロフルオレノンや
2,4,5,7−テトラニトロフルオレノン等の電子吸
引性材料やこれらの電子吸引性材料を高分子化した物等
が挙げられる。正孔輸送材料としては、ピレン及びアン
トラセン等の多環芳香族化合物;カルバゾール系、イン
ドール系、イミダゾール系、オキサゾール系、チアゾー
ル系、オキシジアゾール系、ピラゾール系、ピラゾリン
系、チアジアゾール系及びトリアゾール系化合物等の複
素環化合物等が挙げられる。これらの有機電荷輸送材料
の他にセレン、セレン−テルル、非晶質シリコン等の無
機材料を用いることができる。
Further, a charge transporting material can be positively mixed into the second surface layer. Examples of the charge transport material include electron-withdrawing materials such as 2,4,7-trinitrofluorenone and 2,4,5,7-tetranitrofluorenone, and those obtained by polymerizing these electron-withdrawing materials. Can be Examples of the hole transport material include polycyclic aromatic compounds such as pyrene and anthracene; carbazole, indole, imidazole, oxazole, thiazole, oxydiazole, pyrazole, pyrazoline, thiadiazole and triazole compounds And the like. In addition to these organic charge transport materials, inorganic materials such as selenium, selenium-tellurium, and amorphous silicon can be used.

【0075】第2の表面層に含有される連鎖重合性官能
基を有する化合物に関し、以下に説明する。
The compound having a chain polymerizable functional group contained in the second surface layer will be described below.

【0076】本発明における連鎖重合とは、高分子化合
物の生成反応を大きく連鎖重合と逐次重合に分けた場合
の前者の重合反応形態を示し、詳しくは技報堂出版 三
羽忠広著の「基礎 合成樹脂の化学(新版)」1995
年7月25日(1版8刷)P.24に説明されているよ
うに、その形態が主にラジカルあるいはイオン等の中間
体を経由して反応が進行する不飽和重合、開環重合そし
て異性化重合等のことをいう。前記一般式(1)におけ
る連鎖重合性官能基とは、前記の反応形態のうち不飽和
重合が可能な官能基を意味し、下記に不飽和重合性官能
基の具体例を示す。
The chain polymerization in the present invention refers to the former type of polymerization reaction when the formation reaction of a high molecular compound is largely divided into chain polymerization and sequential polymerization, and is described in detail in “Basic Synthetic Resin” Chemistry (New Edition) "1995
July 25 (1st edition, 8th press) As described in 24, the form mainly refers to unsaturated polymerization, ring-opening polymerization, isomerization polymerization, and the like in which the reaction proceeds mainly through intermediates such as radicals or ions. The chain polymerizable functional group in the general formula (1) means a functional group capable of unsaturated polymerization in the above-mentioned reaction form, and specific examples of the unsaturated polymerizable functional group are shown below.

【0077】不飽和重合とは、ラジカル及びイオン等に
よって不飽和基、例えばC=C、C≡C、C=O、C=
N又はC≡N等が重合する反応であるが、主にはC=C
である。不飽和重合性官能基の具体例を下記の表1に示
すがこれらに限定されるものではない。
Unsaturated polymerization refers to an unsaturated group such as C = C, C≡C, C = O, C =
This is a reaction in which N or C≡N is polymerized.
It is. Specific examples of the unsaturated polymerizable functional group are shown in Table 1 below, but are not limited thereto.

【0078】[0078]

【表1】 [Table 1]

【0079】表1の中でも(6)のアクリロイルオキシ
基及び(7)のメタクリロイルオキシ基が、重合特性の
点から好ましい。
In Table 1, the acryloyloxy group (6) and the methacryloyloxy group (7) are preferred from the viewpoint of polymerization characteristics.

【0080】上記に説明したような本発明に関わる連鎖
重合性官能基の中でも、下記一般式(1)で示されるも
のが好ましい。
Among the chain polymerizable functional groups according to the present invention as described above, those represented by the following general formula (1) are preferable.

【0081】[0081]

【化4】 Embedded image

【0082】式中、Eは水素原子、ハロゲン原子、置換
基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいア
リール基、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、−CO
OR 1(R1は水素原子、ハロゲン原子、置換基を有して
もよいアルキル基、置換基を有してもよいアラルキル基
又は置換基を有してもよいアリール基)又は−CONR
23(R2及びR3は水素原子、ハロゲン原子、置換基を
有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアラル
キル基又は置換基を有してもよいアリール基を示し、互
いに同一であっても異なっていてもよい)を示し、Wは
置換基を有してもよい2価のアルキレン基、置換基を有
してもよい2価のアリーレン基、−COO−、−CH2
−、−O−、−OO−、−S−又は−CONR4−(R4
は水素原子、ハロゲン原子、置換基を有してもよいアル
キル基、置換基を有してもよいアラルキル基又は置換基
を有してもよいアリール基)を示す。fは0又は1を示
す。
In the formula, E represents a hydrogen atom, a halogen atom,
An alkyl group which may have a group;
Reel group, cyano group, nitro group, alkoxy group, -CO
OR 1(R1Has a hydrogen atom, a halogen atom and a substituent
Alkyl group, aralkyl group which may have a substituent
Or an aryl group which may have a substituent) or -CONR
TwoRThree(RTwoAnd RThreeRepresents a hydrogen atom, a halogen atom,
Alkyl group which may have, aral which may have a substituent
An aryl group which may have a kill group or a substituent;
May be the same or different), and W is
A divalent alkylene group which may have a substituent,
Divalent arylene group, -COO-, -CHTwo
-, -O-, -OO-, -S- or -CONRFour− (RFour
Represents a hydrogen atom, a halogen atom, and an optionally substituted
Kill group, aralkyl group or substituent which may have a substituent
An aryl group which may have a). f represents 0 or 1
You.

【0083】一般式(1)において、Eで示されるハロ
ゲン原子としてはフッ素原子、塩素原子及び臭素原子
等、アルキル基としてはメチル基、エチル基、プロピル
基及びブチル基等、アリール基としてはフェニル基、ナ
フチル基、アンスリル基、ピレニル基、チオフェニル基
及びフリル基等、アルコキシ基としてはメトキシ基、エ
トキシ基及びプロポキシ基等が挙げられる。
In the general formula (1), the halogen atom represented by E is a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom or the like; the alkyl group is a methyl group, an ethyl group, a propyl group or a butyl group; Group, naphthyl group, anthryl group, pyrenyl group, thiophenyl group, furyl group and the like, and alkoxy group include methoxy group, ethoxy group and propoxy group.

【0084】Wで示されるアルキレン基としては、メチ
レン基、エチレン基及びブチレン基等が挙げられ、アリ
ーレン基としてはフェニレン基、ナフチレン基及びアン
トラセニレン基等が挙げられる。
Examples of the alkylene group represented by W include a methylene group, an ethylene group and a butylene group, and examples of the arylene group include a phenylene group, a naphthylene group and an anthracenylene group.

【0085】R1、R2、R3及びR4で示されるハロゲン
原子としてはフッ素原子、塩素原子及び臭素原子等が挙
げられ、アルキル基としてはメチル基、エチル基、プロ
ピル基及びブチル基等が挙げられ、アラルキル基として
はベンジル基、フェネチル基、ナフチルメチル基、フル
フリル基及びチエニル基が挙げられ、アリール基として
はフェニル基、ナフチル基、アンスリル基、ピレニル
基、チオフェニル基及びフリル基等が挙げられる。
The halogen atom represented by R 1 , R 2 , R 3 and R 4 includes a fluorine atom, a chlorine atom and a bromine atom, and the alkyl group includes a methyl group, an ethyl group, a propyl group and a butyl group. Examples of the aralkyl group include a benzyl group, a phenethyl group, a naphthylmethyl group, a furfuryl group and a thienyl group, and the aryl group includes a phenyl group, a naphthyl group, an anthryl group, a pyrenyl group, a thiophenyl group and a furyl group. No.

【0086】E及びWの中で有してもよい置換基として
は、フッ素原子及び塩素原子等のハロゲン原子;ニトロ
基;シアノ基;水酸基;メチル基及びエチル基等のアル
キル基;メトキシ基及びエトキシ基等のアルコキシ等が
挙げられる。
Substituents which may be present in E and W include halogen atoms such as fluorine and chlorine atoms; nitro groups; cyano groups; hydroxyl groups; alkyl groups such as methyl and ethyl groups; Alkoxy such as an ethoxy group and the like can be mentioned.

【0087】本発明における一般式(1)で示される連
鎖重合性官能基を有する化合物は、その構造単位の繰り
返しにより、モノマーとオリゴマーに大別される。モノ
マーとは一般式(1)で示される連鎖重合性官能基を有
する構造単位の繰り返しが無く、比較的分子量の小さい
ものを示し、オリゴマーとは一般式(1)で示される連
鎖重合性官能基を有する単位構造の繰り返し数が2〜2
0程度の重合体である。また、ポリマー又はオリゴマー
の末端のみに一般式(1)で示される連鎖重合性官能基
を有するマクロノマーも本発明の第2の表面層用重合性
化合物として使用可能である。
The compound having a chain polymerizable functional group represented by the general formula (1) in the present invention is roughly classified into a monomer and an oligomer by repeating its structural unit. The monomer refers to a monomer having a relatively small molecular weight without repeating the structural unit having a chain polymerizable functional group represented by the general formula (1), and the oligomer refers to a chain polymerizable functional group represented by the general formula (1). The number of repetitions of the unit structure having the formula is 2 to 2
It is a polymer of about 0. Further, a macronomer having a chain polymerizable functional group represented by the general formula (1) only at the terminal of the polymer or oligomer can also be used as the second surface layer polymerizable compound of the present invention.

【0088】本発明では、感光体の耐久性と電気的な特
性の両立という点からモノマーを使用することが好まし
い。また、一般式(1)で示される官能基を有するモノ
マーにおいては1分子中の官能基数において更に分類が
可能であり、1分子に官能基が1つのものは単官能モノ
マーと呼び、2つ以上のものは多官能モノマーと呼ぶ。
In the present invention, it is preferable to use a monomer from the viewpoint of achieving both durability and electrical characteristics of the photosensitive member. In addition, monomers having a functional group represented by the general formula (1) can be further classified according to the number of functional groups in one molecule, and those having one functional group in one molecule are called monofunctional monomers. Are called polyfunctional monomers.

【0089】本発明において第2の表面層の硬度を十分
に確保するために多官能モノマーを使用することが好ま
しく、更には1分子中に3つ以上の連鎖重合性官能基を
有する多官能モノマーを使用することが好ましい。
In the present invention, it is preferable to use a polyfunctional monomer in order to sufficiently secure the hardness of the second surface layer, and more preferably a polyfunctional monomer having three or more chain-polymerizable functional groups in one molecule. It is preferred to use

【0090】一般式(1)で示される連鎖重合性官能基
を持つオリゴマーとしては、その繰り返し構造単位中に
表1の化合物例に示されるような一般式(1)で示され
る連鎖重合性官能基を持てばよい。
As the oligomer having a chain-polymerizable functional group represented by the general formula (1), the repeating structural unit includes a chain-polymerizable functional group represented by the general formula (1) as shown in the compound example of Table 1. You only need to have a group.

【0091】連鎖重合性官能基を有する化合物が溶解し
た液は、その溶剤としてトルエン、キシレン及びモノク
ロロベンゼン等の芳香族系溶剤の他、エーテル類、ケト
ン類等も使用可能である。本発明においては、この溶解
液中に導電性粒子が均一に分散している必要があり、導
電性粒子と該化合物との混合割合は導電性粒子の粒径や
抵抗率により大きく変化し、その組合せにより適宜選択
される。
In the solution in which the compound having a chain polymerizable functional group is dissolved, not only aromatic solvents such as toluene, xylene and monochlorobenzene but also ethers and ketones can be used as the solvent. In the present invention, it is necessary that the conductive particles are uniformly dispersed in the solution, and the mixing ratio of the conductive particles and the compound greatly changes depending on the particle size and resistivity of the conductive particles. It is appropriately selected depending on the combination.

【0092】上述した、導電性粒子が均一に分散した、
連鎖重合性官能基を有する化合物よりなる溶解液は、第
1の表面層上に塗布後、重合/硬化反応を行い第2の表
面層として形成されるのが一般的である。しかし、前も
って溶解液を反応させて硬化物を得た後に再度溶剤中に
分散あるいは溶解させたものを塗布して、形成すること
も可能である。
As described above, the conductive particles are uniformly dispersed.
A solution comprising a compound having a chain polymerizable functional group is generally formed as a second surface layer by performing a polymerization / curing reaction after being applied on the first surface layer. However, it is also possible to form by applying a solution that has been dispersed or dissolved in a solvent again after a cured product is obtained by reacting the solution in advance.

【0093】塗布する方法は、例えば、浸漬コーティン
グ法、スプレーコーティング法、カーテンコーティング
法及びスピンコーティング法等が挙げられる。
[0093] The method of coating includes, for example, a dip coating method, a spray coating method, a curtain coating method and a spin coating method.

【0094】第1の表面層上に第2の表面層を設けるに
あたって、a−Si感光体の突起を研摩処理することが
好ましい。特公平7−77702号公報にa−Si感光
体の研摩装置に関する開示がある。
In providing the second surface layer on the first surface layer, it is preferable to polish the projections of the a-Si photosensitive member. Japanese Patent Publication No. 7-77702 discloses a polishing apparatus for a-Si photoreceptor.

【0095】研摩処理装置の一例を図5に示す。図5に
おいて、500はa−Si感光体、520は弾性支持機
構及び回転機構で、具体的には空気圧ホルダーで、本実
験ではブリジストン社製空気圧式ホルダー(商品名:エ
アーピック、型番:PO45TCA*820)にモータ
ーを接続したものを用いた。530は研摩テープを巻回
してa−Si感光体500に押圧させる加圧弾性ローラ
ー、531は研摩テープ、532は送り出しロール、5
33は巻き取りロール、534及び535は定量送りだ
しロール、キャプスタンローラである。531の研摩テ
ープは、通常ラッピングテープと呼ばれるものが好まし
く、砥粒としてはSiC、Al23、Fe23等が用い
られる。ここでは、富士フィルム社製ラッピングテープ
LT−C2000を用いた。
FIG. 5 shows an example of the polishing apparatus. In FIG. 5, 500 is an a-Si photoreceptor, 520 is an elastic supporting mechanism and a rotating mechanism, specifically a pneumatic holder. In this experiment, a pneumatic holder made by Bridgestone Corporation (trade name: air pick, model number: PO45TCA *) 820) connected to a motor. 530 is a pressing elastic roller for winding a polishing tape and pressing the a-Si photoreceptor 500, 531 is a polishing tape, 532 is a delivery roll, 5
Reference numeral 33 denotes a take-up roll, and 534 and 535 denote fixed-rate feeding rolls and capstan rollers. The polishing tape 531 is preferably usually called a wrapping tape, and SiC, Al 2 O 3 , Fe 2 O 3 or the like is used as abrasive grains. Here, a wrapping tape LT-C2000 manufactured by Fuji Film Co., Ltd. was used.

【0096】540は感光体支持機構を保持する台で、
0.01mm程度の精度で前後に移動可能なように構成
し、感光体500を回転させ、研摩テープ加圧ローラー
530との圧力調整しながら研摩を行う。
Reference numeral 540 denotes a table for holding the photosensitive member support mechanism.
The photosensitive member 500 is rotated so as to be able to move back and forth with an accuracy of about 0.01 mm, and polishing is performed while adjusting the pressure with the polishing tape pressing roller 530.

【0097】本発明において、第1の表面層上に塗布し
た第2の表面層を構成する連鎖重合性官能基を有する化
合物を電子線照射によって重合する。電子線照射をする
場合、加速器としてはスキャニング型、エレクトロカー
テン型、ブロードピーク型、パルス型等のいずれの形式
も使用することができる。電子線を照射する場合に、本
発明において、加速電圧は250kV以下であることが
好ましく、特には150kV以下であることが好まし
い。また、線量は好ましくは1×104Gy(1Mra
d)〜1×106Gy(100Mrad)の範囲、より
好ましくは3×104Gy〜5×105Gyの範囲であ
る。加速電圧が250kVを超えると感光体特性に対す
る電子線照射のダメージが顕著になる。また、線量が1
×104Gyよりも少ない場合には重合が不十分とな
り、1×106Gyより多い場合には感光体特性に悪影
響を及ぼす。
In the present invention, the compound having a chain polymerizable functional group constituting the second surface layer applied on the first surface layer is polymerized by electron beam irradiation. When irradiating with an electron beam, any type of accelerator such as a scanning type, an electro-curtain type, a broad peak type, and a pulse type can be used. When irradiating with an electron beam, in the present invention, the acceleration voltage is preferably 250 kV or less, particularly preferably 150 kV or less. The dose is preferably 1 × 10 4 Gy (1 Mra
d) to 1 × 10 6 Gy (100 Mrad), more preferably 3 × 10 4 Gy to 5 × 10 5 Gy. When the acceleration voltage exceeds 250 kV, the damage of the electron beam irradiation to the photoconductor characteristics becomes remarkable. If the dose is 1
When the amount is less than × 10 4 Gy, the polymerization becomes insufficient, and when the amount is more than 1 × 10 6 Gy, the characteristics of the photoreceptor are adversely affected.

【0098】上記方法による第2の表面層の膜厚は1〜
50μmであることが好ましく、特には1〜30μmで
あることが好ましい。
The thickness of the second surface layer by the above method is 1 to
It is preferably 50 μm, particularly preferably 1 to 30 μm.

【0099】次に、電子写真方法、電子写真装置につい
て概要を述べる。
Next, an outline of the electrophotographic method and the electrophotographic apparatus will be described.

【0100】図2は、本発明に従うクリーナーレス画像
形成装置の一例の概略構成図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of a cleanerless image forming apparatus according to the present invention.

【0101】<電子写真感光体>201は、電子写真感
光体としての回転ドラム型の電子写真感光体である。本
実施形態の複写機は反転現像を用いており、電子写真感
光体201は例えば直径30mmの負極性a−Si感光
体上に前述した第2の表面層が形成されたa−Si系の
電子写真感光体である。電子写真感光体201は、矢印
の方向に例えば200mm/secの周速度をもって回
転駆動される。
<Electrophotographic photosensitive member> 201 is a rotating drum type electrophotographic photosensitive member as the electrophotographic photosensitive member. The copying machine of the present embodiment employs reversal development, and the electrophotographic photosensitive member 201 is an a-Si based electron in which the above-mentioned second surface layer is formed on a negative a-Si photosensitive member having a diameter of, for example, 30 mm. It is a photoreceptor. The electrophotographic photosensitive member 201 is driven to rotate in the direction of the arrow at a peripheral speed of, for example, 200 mm / sec.

【0102】<帯電>本発明における帯電器構成は、転
写残トナーを正規化させる電荷付与能力を持つことが必
須である。その範疇においては、コロナ帯電、ローラー
等の導電性部材に高圧を印加して感光体に接触帯電させ
る方法も排除されるべきものではないが、オゾン生成物
の発生を抑止し、転写残トナーの正規化確率を向上させ
る観点から、帯電粒子を導電性弾性ローラーと感光体の
間に存在させ、感光体帯電電位に近い電圧を印加させる
方法が好ましい。
<Charging> It is essential that the charging device of the present invention has a charge providing ability for normalizing the transfer residual toner. In this category, corona charging, a method of applying a high voltage to a conductive member such as a roller to charge the photosensitive member in contact is not to be excluded, but the generation of ozone products is suppressed, and the transfer residual toner is suppressed. From the viewpoint of improving the normalization probability, a method in which charged particles are present between the conductive elastic roller and the photoconductor and a voltage close to the photoconductor charging potential is preferably applied.

【0103】202は、電子写真感光体201に所定の
押圧力をもって接触させて配設した可撓性の接触帯電部
材としての帯電粒子担持体である導電性弾性ローラーで
ある。この帯電ローラー202には、予めその外周面に
帯電粒子Mをコートして担持させてあり、電子写真感光
体201との帯電ニップ部には帯電粒子Mが存在してい
る。
Reference numeral 202 denotes a conductive elastic roller which is a charged particle carrier serving as a flexible contact charging member disposed in contact with the electrophotographic photosensitive member 201 with a predetermined pressing force. The outer periphery of the charging roller 202 is coated with and charged with charged particles M, and the charged particles M are present in a charging nip portion between the charging roller 202 and the electrophotographic photosensitive member 201.

【0104】帯電ローラー202は、本実施の形態にお
いては、帯電ニップ部において電子写真感光体201の
回転方向と逆方向(カウンター)に50%の周速で回転
駆動され、電子写真感光体201の面に対して速度差を
持って接触する。そして、この帯電ローラー202に帯
電バイアス電源から所定の帯電バイアスが印加される。
これにより電子写真感光体201の外周面が、注入帯電
方式で所定の極性・電位に一様に接触帯電処理される。
In this embodiment, the charging roller 202 is rotationally driven at a peripheral speed of 50% in a direction (counter) opposite to the rotation direction of the electrophotographic photosensitive member 201 in the charging nip portion. Contact the surface with a speed difference. Then, a predetermined charging bias is applied to the charging roller 202 from a charging bias power supply.
Thus, the outer peripheral surface of the electrophotographic photosensitive member 201 is uniformly contact-charged to a predetermined polarity and potential by the injection charging method.

【0105】本実施形態では、電子写真感光体201の
現像部位電位が150V〜800Vが好ましく、特に好
ましくは250V〜600V、更に好ましくは300V
〜450Vに一様に帯電処理されるように、帯電バイア
ス電源から帯電バイアスを帯電ローラー202に印加す
る。150V未満であるとトナーがトナー担持体からa
−Si感光体へ現像させることができず、それが蓄積し
て画像濃度薄等の弊害を引き起こすことがある。また、
800Vを超えると帯電部材への通過電流量が増加し帯
電部材の劣化が早まること、印加電圧が大きくなり部分
的に微細放電が発生することがあるため好ましくない。
In the present embodiment, the developing site potential of the electrophotographic photosensitive member 201 is preferably 150 V to 800 V, particularly preferably 250 V to 600 V, and more preferably 300 V.
A charging bias is applied to the charging roller 202 from a charging bias power source so that the charging process is uniformly performed to 450 V. If the voltage is less than 150 V, the toner
−Si photoconductors cannot be developed, which accumulates and may cause adverse effects such as low image density. Also,
If the voltage exceeds 800 V, the amount of current passing through the charging member increases, and the deterioration of the charging member is accelerated, and the applied voltage is increased, which may cause partial discharge, which is not preferable.

【0106】この帯電ローラー、帯電粒子M、注入帯電
等については別項で詳述する。
The charging roller, charged particles M, injection charging and the like will be described in detail in another section.

【0107】<露光>203はレーザーダイオード・ポ
リゴンミラー等を含む潜像形成手段であるレーザービー
ムスキャナ(露光装置)等から目的の画像情報の時系列
電気ディジタル画素信号に対応して強度変調されたレー
ザー光を出力し、該レーザー光でもって上記電子写真感
光体201の一様帯電面を走査露光する露光光である。
この走査露光により電子写真感光体201の面に目的の
画像情報に対応した静電潜像が形成される。
<Exposure> 203 is intensity-modulated from a laser beam scanner (exposure device) as latent image forming means including a laser diode, a polygon mirror, and the like in accordance with a time-series electric digital pixel signal of target image information. Exposure light that outputs a laser beam and scans and exposes the uniformly charged surface of the electrophotographic photosensitive member 201 with the laser beam.
By this scanning exposure, an electrostatic latent image corresponding to the target image information is formed on the surface of the electrophotographic photosensitive member 201.

【0108】静電潜像形成手段に用いる光源は、上記レ
ーザービームスキャナに限定されず、LEDアレイであ
ってもよく、この場合は、目的の画像情報に対応する位
置のLEDを点灯し、電子写真感光体201の面に静電
潜像を形成する。
The light source used for the electrostatic latent image forming means is not limited to the above laser beam scanner, but may be an LED array. In this case, the LED at the position corresponding to the target image information is turned on, An electrostatic latent image is formed on the surface of the photoconductor 201.

【0109】<現像>204は現像手段としての現像器
である。電子写真感光体201に形成された静電潜像
は、現像器204によりトナー像、ここでは負帯電トナ
ー205、として現像される。
<Developing> 204 is a developing device as a developing means. The electrostatic latent image formed on the electrophotographic photosensitive member 201 is developed by the developing device 204 as a toner image, here, a negatively charged toner 205.

【0110】<転写>206は接触転写手段としての転
写手段である中抵抗の転写ローラーであり、電子写真感
光体201に所定に圧接させて転写ニップ部を形成させ
てある。この転写ニップ部に不図示の給紙部から所定の
タイミングで被記録体(記録媒体)としての転写材20
7が給紙され、かつ転写ローラー206に所定の転写バ
イアス電圧、ここでは正帯電が印加されることで、電子
写真感光体201側のトナー像、ここでは負帯電トナー
が転写ニップ部に給紙された転写材207の面に、静電
気力と押圧力にて順次に転写されていく。
<Transfer> Reference numeral 206 denotes a transfer roller of medium resistance, which is a transfer means as a contact transfer means, and is brought into predetermined contact with the electrophotographic photosensitive member 201 to form a transfer nip portion. A transfer material 20 as a recording medium (recording medium) is supplied to the transfer nip from a paper supply unit (not shown) at a predetermined timing.
7 is supplied, and a predetermined transfer bias voltage, here a positive charge is applied to the transfer roller 206, so that a toner image on the electrophotographic photosensitive member 201 side, here a negatively charged toner, is fed to the transfer nip portion. The transfer material 207 is sequentially transferred to the surface of the transferred transfer material 207 by electrostatic force and pressing force.

【0111】<定着>209は熱定着方式等の定着装置
である。電子写真感光体201側のトナー像の転写を受
けた転写材207は電子写真感光体201の面から分離
されてこの定着装置209に導入され、トナー像の定着
を受けて画像形成物(プリント又はコピー)として装置
外へ排出される。
<Fixing> 209 is a fixing device such as a heat fixing system. The transfer material 207 to which the toner image on the electrophotographic photosensitive member 201 has been transferred is separated from the surface of the electrophotographic photosensitive member 201 and introduced into the fixing device 209, where the toner image is fixed and an image forming material (print or (Copy) is discharged out of the apparatus.

【0112】<帯電ローラー>本実施形態における接触
帯電部材としての帯電ローラー202は、芯金上にゴム
又は発泡体の中抵抗層を形成することにより作製され
る。
<Charging Roller> The charging roller 202 as a contact charging member in the present embodiment is manufactured by forming a medium-resistance layer of rubber or foam on a cored bar.

【0113】中抵抗層は樹脂(例えばウレタン)、導電
性粒子(例えばカーボンブラック)、硫化剤、発泡剤等
により処方され、芯金の上にローラー状に形成される。
その後必要に応じて表面を研磨する。
The medium resistance layer is formulated with a resin (eg, urethane), conductive particles (eg, carbon black), a sulfide agent, a foaming agent, and the like, and is formed in a roller shape on a cored bar.
Thereafter, the surface is polished if necessary.

【0114】本実施形態の帯電ローラー202のローラ
ー抵抗を測定したところ、該抵抗は100kΩであっ
た。なお、ローラー抵抗は、帯電ローラー202の芯金
に総圧1kgの加重がかかるようφ30mmのアルミニ
ウム基体に帯電ローラー202を圧着した状態で、芯金
とアルミ基体との間に100Vを印加し計測した。
When the roller resistance of the charging roller 202 of this embodiment was measured, the resistance was 100 kΩ. The roller resistance was measured by applying a voltage of 100 V between the core metal and the aluminum substrate in a state where the charging roller 202 was pressed against an aluminum substrate having a diameter of 30 mm so that a total pressure of 1 kg was applied to the core metal of the charging roller 202. .

【0115】ここで、接触帯電部材である帯電ローラー
202は電極として機能することが重要である。つま
り、弾性を持たせて被帯電体との十分な接触状態を得る
と同時に、移動する被帯電体を充電するに十分低い抵抗
を有する必要がある。一方では被帯電体にピンホール等
の低耐圧欠陥部位が存在した場合に電圧のリークを防止
する必要がある。被帯電体として電子写真用電子写真感
光体を用いた場合、十分な帯電性と耐リークを得るには
104〜107Ωの抵抗が好ましい。
Here, it is important that the charging roller 202 as a contact charging member functions as an electrode. That is, it is necessary to obtain a sufficient contact state with the member to be charged by providing elasticity, and at the same time, it is necessary to have a resistance low enough to charge the moving member to be charged. On the other hand, it is necessary to prevent voltage leakage when a low breakdown voltage defect site such as a pinhole is present in the charged body. When an electrophotographic photosensitive member for electrophotography is used as a member to be charged, a resistance of 10 4 to 10 7 Ω is preferable in order to obtain sufficient chargeability and leakage resistance.

【0116】帯電ローラー202の表面は、帯電粒子M
を保持できるようミクロな凹凸があるものが好ましい。
The surface of the charging roller 202 is charged with the charged particles M
It is preferable that the substrate has microscopic irregularities so that the surface roughness can be maintained.

【0117】帯電ローラー202の硬度は、硬度が低す
ぎると形状が安定しないために被帯電体との接触性が悪
くなり、高すぎると被帯電体との間に帯電ニップ部を確
保できないだけでなく、被帯電体表面へのミクロな接触
性が悪くなるので、アスカーC硬度で25度〜50度が
好ましい範囲である。なお、帯電ローラー202の硬度
は、高分子計器(株)製のAsker−Cマイクロゴム
硬度計を用いて測定することができる。より詳しくは、
該硬度計により、帯電部材の任意の五点におけるゴム硬
度を測定し、その五点の平均値をもって、帯電部材の硬
度とする。
If the hardness of the charging roller 202 is too low, the shape is not stable, so that the contact property with the member to be charged is deteriorated. If the hardness is too high, only a charging nip portion cannot be secured between the roller and the member to be charged. However, since the microscopic contact with the surface of the member to be charged is deteriorated, the Asker C hardness is preferably in the range of 25 to 50 degrees. The hardness of the charging roller 202 can be measured using an Asker-C micro rubber hardness meter manufactured by Kobunshi Keiki Co., Ltd. More specifically,
The hardness meter measures the rubber hardness at any five points of the charging member, and the average value of the five points is defined as the hardness of the charging member.

【0118】帯電ローラー202の材質としては、弾性
発泡体に限定するものではなく、弾性体の材料として、
EPDM、ウレタン、NBR、シリコーンゴムや、IR
等に抵抗調整のためにカーボンブラックや金属酸化物等
の導電性物質を分散したゴム材や、またこれらを発泡さ
せたものが挙げられる。また、特に導電性物質を分散せ
ずに、イオン導電性の材料を用いて抵抗調整をすること
も可能である。
The material of the charging roller 202 is not limited to an elastic foam.
EPDM, urethane, NBR, silicone rubber, IR
For example, a rubber material in which a conductive material such as carbon black or a metal oxide is dispersed for resistance adjustment, or a foamed material thereof is used. Further, it is also possible to adjust the resistance by using an ionic conductive material without dispersing the conductive substance.

【0119】帯電ローラー202は、被帯電体としての
電子写真感光体201に対して弾性に抗して所定の押圧
力で圧接させて配設し、本実施形態では幅数mmの帯電
ニップ部を形成させてある。
The charging roller 202 is disposed so as to be pressed against the electrophotographic photosensitive member 201 as a member to be charged with a predetermined pressing force against elasticity. In this embodiment, a charging nip portion having a width of several mm is provided. It has been formed.

【0120】<帯電粒子>本発明に用いられる帯電粒子
は、粒径が10nm〜10μmである導電性粒子を主成
分とする。本実施形態では、帯電粒子Mとして、比抵抗
が105Ω・cm、平均粒径1.5μmの導電性酸化亜
鉛粒子を用いる。帯電粒子は、一次粒子の状態で存在す
るばかりでなく、二次粒子の凝集した状態で存在するこ
ともなんら問題はない。どのような凝集状態であれ、凝
集体として帯電粒子としての機能が実現できればその形
態は重要ではない。
<Charged Particles> The charged particles used in the present invention are mainly composed of conductive particles having a particle size of 10 nm to 10 μm. In the present embodiment, conductive zinc oxide particles having a specific resistance of 10 5 Ω · cm and an average particle diameter of 1.5 μm are used as the charged particles M. There is no problem that the charged particles exist not only in the state of primary particles but also in the state of aggregation of secondary particles. Regardless of the state of aggregation, the form is not important as long as the function as charged particles can be realized as an aggregate.

【0121】粒径は粒子が凝集体を構成している場合
は、その凝集体としての平均粒径として定義した。粒径
の測定には、光学又は電子顕微鏡による観察から、10
0個以上抽出し、水平方向最大弦長をもって体積粒度分
布を算出し、その50%平均粒径をもって決定した。
When the particles constitute an aggregate, the particle size is defined as the average particle size of the aggregate. The particle size was measured by observation using an optical or electron microscope.
Zero or more were extracted, the volume particle size distribution was calculated using the maximum chord length in the horizontal direction, and the 50% average particle size was determined.

【0122】帯電粒子Mの抵抗値が1010Ω・cmを超
えると帯電性が損なわれ易い。そのため、抵抗値が10
10Ω・cm以下であることが好ましく、更に好ましくは
10 8Ω・cm以下である。本実施形態では1×105Ω
・cmのものを用いる。抵抗測定は、錠剤法により測定
し正規化して求めた。すなわち、底面積2.26cm 2
の円筒内に約0.5gの粉体試料を入れ、上下電極に1
5kgの加圧を行うと同時に100Vの電圧を印加し抵
抗値を計測し、その後正規化して比抵抗を算出した。
The resistance value of the charged particles M is 10TenOver Ω · cm
The charging property is easily impaired. Therefore, if the resistance value is 10
TenΩ · cm or less, more preferably
10 8Ω · cm or less. In this embodiment, 1 × 10FiveΩ
・ Use the one of cm. Resistance is measured by the tablet method
And normalized. That is, the bottom area is 2.26 cm. Two
About 0.5 g of a powder sample is placed in a cylinder of
While applying 5 kg of pressure, a voltage of 100 V
The resistance was measured and then normalized to calculate the specific resistance.

【0123】帯電粒子Mは、潜像露光時に妨げにならな
いよう白色又は透明に近いことが好ましく、よって非磁
性であることが好ましい。更に、帯電粒子が感光体上か
ら転写材Pに一部転写されてしまうことを考えるとカラ
ー記録では無色、又は白色のものが好ましい。また、粒
径もトナーの粒径に対して、1/2以下程度でないと画
像露光を遮ることがある。そのため帯電粒子Mの粒径
は、トナーの粒径の1/2よりも小さいことが好まし
い。粒径の下限値としては、粒子として安定に得られる
ものとして10nmが限界と考えられる。また、良好な
帯電均一性を得るために10μm以下が好ましい。
The charged particles M are preferably white or nearly transparent so as not to hinder the exposure of the latent image, and are therefore preferably non-magnetic. Further, considering that the charged particles are partially transferred from the photoreceptor to the transfer material P, color recording is preferably colorless or white. If the particle size is not more than about 1/2 of the particle size of the toner, image exposure may be interrupted. Therefore, the particle size of the charged particles M is preferably smaller than 1/2 of the particle size of the toner. The lower limit of the particle size is considered to be 10 nm as a limit so that the particles can be stably obtained. In order to obtain good charging uniformity, the thickness is preferably 10 μm or less.

【0124】帯電粒子Mの材料としては、本実施形態で
は酸化亜鉛を用いるが、これに限るものではなく、その
他、酸化チタンやアルミナ等他の金属酸化物の導電性無
機粒子や有機物との混合物、又はこれらに表面処理を施
したもの等の各種導電粒子が使用可能である。また、2
つ以上混合して使用してもよい。
As the material of the charged particles M, zinc oxide is used in the present embodiment, but the material is not limited to zinc oxide. In addition, a mixture of other metal oxides such as titanium oxide and alumina with conductive inorganic particles and organic substances. Alternatively, various conductive particles such as those obtained by subjecting them to a surface treatment can be used. Also, 2
You may mix and use two or more.

【0125】導電性微粉体を前記当接部に介在させるに
は、帯電部材表面に導電性微粉体を供給する導電性微粉
体補給手段を帯電手段に備えるか、あるいはトナーに導
電性微粉体を外添させて間接的に介在させる方法が挙げ
られる。
In order for the conductive fine powder to be interposed in the contact portion, the charging means may be provided with a conductive fine powder replenishing means for supplying the conductive fine powder to the surface of the charging member, or the conductive fine powder may be added to the toner. There is a method of externally adding and indirectly intervening.

【0126】<注入帯電>感光体201と接触帯電部材
である帯電ローラー202との帯電ニップ部に帯電粒子
Mを介在させることで、該帯電粒子Mの滑剤効果によ
り、摩擦抵抗が大きくてそのままでは感光体201に対
して速度差を持たせて接触させることが困難であった帯
電ローラーであっても、それを感光体201面に対して
無理なく容易に効果的に速度差を持たせて接触させた状
態にすることが可能となると共に、該帯電ローラー20
2が該帯電粒子Mを介して感光体201面に密に接触し
てより高い頻度で感光体201面に接触する構成とな
る。
<Injection Charging> By interposing the charged particles M in the charging nip between the photosensitive member 201 and the charging roller 202 serving as a contact charging member, the frictional effect of the charged particles M causes a large frictional resistance. Even if it is difficult for the charging roller to make contact with the photoconductor 201 with a speed difference, the charging roller can be easily and effectively brought into contact with the surface of the photoconductor 201 with a speed difference. And the charging roller 20
2 comes into close contact with the surface of the photoconductor 201 via the charged particles M, and comes into contact with the surface of the photoconductor 201 more frequently.

【0127】帯電ローラー202と感光体201との間
に十分な速度差を設けることにより、帯電ローラー20
2と感光体201の帯電ニップ部において帯電粒子Mが
感光体201に接触する機会を格段に増加させ、高い接
触性を得ることができ、帯電ローラー202と感光体2
01の帯電ニップ部に存在する帯電粒子Mが感光体20
1表面を隙間なく摺擦することで感光体201に電荷を
直接注入できるようになり、帯電ローラー202による
感光体201の接触帯電は帯電粒子Mの介在により注入
帯電機構が支配的となる。
By providing a sufficient speed difference between the charging roller 202 and the photosensitive member 201, the charging roller 20
In the charging nip portion of the photoconductor 201 and the photoconductor 201, the chance of the charged particles M coming into contact with the photoconductor 201 is significantly increased, and a high contact property can be obtained.
01 in the charging nip portion of the photoconductor 20
By rubbing one surface without gaps, electric charge can be directly injected into the photoconductor 201. Contact charging of the photoconductor 201 by the charging roller 202 is controlled by the injection charging mechanism due to the interposition of the charged particles M.

【0128】速度差を設ける構成としては、帯電ローラ
ー202を回転駆動又は固定して感光体201と速度差
を設けることになる。好ましくは、帯電ローラー202
を回転駆動し、更に、その回転方向は感光体201表面
の移動方向とは逆方向に回転するように構成することが
好ましい。
As a configuration for providing a speed difference, the charging roller 202 is driven to rotate or fixed to provide a speed difference from the photosensitive member 201. Preferably, the charging roller 202
, And the rotation direction is preferably rotated in a direction opposite to the moving direction of the surface of the photoconductor 201.

【0129】[0129]

【実施例】以下に、具体的な実施例を挙げて本発明をよ
り詳細に説明する。なお、実施例中の「部」は質量部を
示す。
The present invention will be described below in more detail with reference to specific examples. In addition, "part" in an Example shows a mass part.

【0130】(実施例1) <電子写真感光体の製造例1>まず、図3に記載のRF
によるプラズマCVD装置を用いて下記に示した条件に
よりφ30mm、肉厚2.5mmのアルミニウム製基体
上に下部阻止層、光導電層、表面層を順次積層し、負帯
電で用いられる電子写真感光体を作製した。作製後、図
5に記載の研摩装置により、a−Si感光体の異常突起
部分を、高さ1μm以下に研摩処理した。
Example 1 Manufacturing Example 1 of Electrophotographic Photoreceptor First, the RF shown in FIG.
Electrophotographic photoreceptor used for negative charging in which a lower blocking layer, a photoconductive layer, and a surface layer are sequentially laminated on an aluminum substrate having a diameter of 30 mm and a thickness of 2.5 mm using a plasma CVD apparatus according to the following conditions. Was prepared. After the fabrication, the abnormal projections of the a-Si photoreceptor were polished to a height of 1 μm or less by the polishing apparatus shown in FIG.

【0131】 ・下部阻止層 SiH4 150ml/min(normal) PH3 500ppm NO 10ml/min(normal) パワー 200W 内圧 67Pa 基体温度 240℃ 膜厚 1μm ・光導電層 SiH4 200ml/min(normal) パワー 500W 内圧 67Pa 基体温度 240℃ 膜厚 25μm ・第1の表面層 SiH4 50ml/min(normal) CH4 500ml/min(normal) パワー 1500w 内圧 67Pa 基体温度 240℃ 膜厚 0.7μmLower blocking layer SiH 4 150 ml / min (normal) PH 3 500 ppm NO 10 ml / min (normal) Power 200 W Internal pressure 67 Pa Base temperature 240 ° C. Film thickness 1 μm Photoconductive layer SiH 4 200 ml / min (normal) Power 500 W Internal pressure 67 Pa Base temperature 240 ° C. Film thickness 25 μm First surface layer SiH 4 50 ml / min (normal) CH 4 500 ml / min (normal) Power 1500 w Internal pressure 67 Pa Base temperature 240 ° C. Film thickness 0.7 μm

【0132】次いで、アクリロイルオキシ基を有する化
合物25部及び下記構造式(11)
Next, 25 parts of a compound having an acryloyloxy group and the following structural formula (11)

【0133】[0133]

【化5】 の化合物で表面処理した(処理量7%)アンチモンドー
プ酸化スズ超微粒子50部をモノクロロベンゼン420
部/びジクロロメタン140部の混合溶媒に溶解し、サ
ンドミルで66時間かけて酸化スズ超微粒子を分散し
て、第2の表面層用塗料を調製した。この塗料を前記非
単結晶シリコン感光体の第1の表面層上にスプレーコー
ティング法で塗布し、120℃で60分間乾燥した後、
加速電圧150KV、線量3×105Gyの条件で電子
線を照射して樹脂を重合/硬化させることによって、膜
厚が3μmの第2の表面層を形成し、電子写真感光体を
作製した。
Embedded image 50 parts of antimony-doped tin oxide ultrafine particles surface-treated (7% treatment amount) with the compound of
The mixture was dissolved in a mixed solvent of 140 parts by mass and dichloromethane of 140 parts, and tin oxide ultrafine particles were dispersed in a sand mill over 66 hours to prepare a second surface layer coating material. This paint was applied on the first surface layer of the non-single-crystal silicon photoreceptor by a spray coating method, and dried at 120 ° C. for 60 minutes.
An electron beam was irradiated under the conditions of an acceleration voltage of 150 KV and a dose of 3 × 10 5 Gy to polymerize / harden the resin, thereby forming a second surface layer having a thickness of 3 μm, thereby producing an electrophotographic photosensitive member.

【0134】トナーは、磁性ネガトナーを用いた。具体
的には、イオン交換水709部に0.1M−Na3PO4
水溶液451部を投入し60℃に加温した後、塩化カル
シウム添加後のpHが6.0になるように塩酸を投入
し、次に1.0M−CaCl2水溶液67.7部を添加
してリン酸カルシウム塩を含む水系媒体を得た。
As the toner, a magnetic negative toner was used. Specifically, 0.1M-Na 3 PO 4 was added to 709 parts of ion-exchanged water.
After adding 451 parts of an aqueous solution and heating to 60 ° C., hydrochloric acid is added so that the pH after the addition of calcium chloride becomes 6.0, and then 67.7 parts of a 1.0 M CaCl 2 aqueous solution is added. An aqueous medium containing a calcium phosphate salt was obtained.

【0135】次いで、 スチレン 78部 n−ブチルアクリレート 22部 ビスフェノールAのP.O.及びE.O.付加物と フマル酸の縮合反応により得られる不飽和ポリエステル樹脂 2部 ビスフェノールAのP.O.及びE.O.付加物と テレフタル酸の縮合反応により得られる飽和ポリエステル樹脂 3部 負荷電性制御剤(モノアゾ染料系のFe化合物) 1部 表面処理磁性体1 90部 上記処方をアトライター(三井三池化工機(株))を用
いて均一に分散混合した。
Then, 78 parts of styrene and 22 parts of n-butyl acrylate O. And E. O. Unsaturated polyester resin obtained by condensation reaction between adduct and fumaric acid 2 parts Bisphenol A O. And E. O. Saturated polyester resin obtained by condensation reaction between adduct and terephthalic acid 3 parts Negative charge control agent (monoazo dye-based Fe compound) 1 part Surface-treated magnetic substance 1 90 parts Attritor (Mitsui Miike Chemical Co., Ltd. )) To uniformly disperse and mix.

【0136】この単量体組成物を60℃に加温し、そこ
にエステルワックス(DSCにおける吸熱ピークの極大
値72℃)6部を添加混合溶解し、これに重合開始剤
2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリ
ル)[t1/2=140分、60℃条件下]5部を溶解
した。
The monomer composition was heated to 60 ° C., and 6 parts of an ester wax (maximum endothermic peak in DSC: 72 ° C.) was added thereto, mixed and dissolved, and the polymerization initiator 2,2′- 5 parts of azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) [t1 / 2 = 140 minutes, at 60 ° C.] were dissolved.

【0137】前記水系媒体中に上記重合性単量体系を投
入し、60℃、N2雰囲気下においてTK式ホモミキサ
ー(特殊機化工業(株))にて10000rpmで15
分間攪拌し、造粒した。その後、パドル攪拌翼で攪拌し
つつ、60℃で6時間反応させた。その後、液温を80
℃とし更に4時間攪拌を続けた。反応終了後、80℃で
更に2時間蒸留を行い、その後、懸濁液を冷却し、塩酸
を加えてリン酸カルシウム塩を溶解し、濾過、水洗、乾
燥して重量平均粒径7.0μmの黒色粒子1を得た。
The above-mentioned polymerizable monomer system was charged into the aqueous medium, and the mixture was heated at 10,000 rpm at 60 ° C. in a N 2 atmosphere at 10,000 rpm with a TK type homomixer.
Stir for minutes and granulate. Thereafter, the mixture was reacted at 60 ° C. for 6 hours while stirring with a paddle stirring blade. Thereafter, the liquid temperature is set to 80
C. and continued stirring for another 4 hours. After completion of the reaction, distillation was further performed at 80 ° C. for 2 hours. Thereafter, the suspension was cooled, hydrochloric acid was added to dissolve the calcium phosphate salt, filtered, washed with water, and dried to obtain black particles having a weight average particle size of 7.0 μm. 1 was obtained.

【0138】この黒色粒子100部と、ヘキサメチルジ
シラザンで処理をした後シリコーンオイルで処理し、処
理後のBET値が180m2/gの疎水性シリカ微粉体
0.9部、及び帯電粒子として比抵抗が105Ω・c
m、平均粒径(2次粒子)1.5μmの導電性酸化亜鉛
粒子とをヘンシェルミキサー(三井三池化工機(株))
で混合して作製した。
The black particles (100 parts) were treated with hexamethyldisilazane, and then treated with silicone oil. After the treatment, 0.9 parts of a hydrophobic silica fine powder having a BET value of 180 m 2 / g and charged particles were used. Specific resistance is 10 5 Ω · c
m, conductive zinc oxide particles having an average particle diameter (secondary particle) of 1.5 μm and a Henschel mixer (Mitsui Miike Kakoki Co., Ltd.)
And mixed.

【0139】作製した電子写真感光体を図2に示される
構成の電子写真装置により吐き出しトナーの正規化度合
と画質を評価した。
The produced electrophotographic photosensitive member was evaluated for the degree of normalization and the image quality of the discharged toner by an electrophotographic apparatus having the structure shown in FIG.

【0140】図2に示される電子写真装置の露光部位に
て感光体201上から吐き出しトナーを採取し、ホソカ
ワミクロン社製の帯電量測定器「E−SPART AN
ALYZER MODEL EST−II」にて帯電量分
布を測定した。図4に実施例1の結果を示す。図4に示
されるように回収バイアスにより回収され易い、ネガ化
した帯電分布を示した。
At the exposure site of the electrophotographic apparatus shown in FIG. 2, toner is discharged from the photoreceptor 201 and collected, and a charge amount measuring device “E-SPART AN” manufactured by Hosokawa Micron Corporation is used.
ALYZER MODEL EST-II "was used to measure the charge amount distribution. FIG. 4 shows the results of Example 1. As shown in FIG. 4, a negative charge distribution which was easily collected by the collection bias was shown.

【0141】画質については、反転トナー成分に起因す
る現像カブリを評価した。図6に示す様な一部分だけベ
タ黒の画像を画出しして転写残トナーの量を長手方向で
変化させ、転写残トナーを多くした部分でのカブリの悪
化度合を評価した。ベタ黒部とベタ白部にカブリの差は
ほとんど無く、カブリ自体も軽微であった。
As for the image quality, development fog caused by the reversal toner component was evaluated. As shown in FIG. 6, a solid black image was imaged only in a part, and the amount of transfer residual toner was changed in the longitudinal direction, and the degree of fog deterioration in the part where the transfer residual toner was increased was evaluated. There was almost no difference in fog between the solid black portion and the solid white portion, and the fog itself was also slight.

【0142】(比較例1)次いで、実施例1と同じ図3
に記載のプラズマCVD装置を用いて下記に示した条件
によりφ30mm、肉厚2.5mmのアルミニウム製導
電性基体上に下部阻止層、光導電層、表面層を順次積層
し、負帯電で用いられる電子写真感光体を作製した。作
製後、図5に記載の研摩装置により、a−Si感光体の
異常突起部分を、高さ1μm以下に研摩処理した。
(Comparative Example 1) Next, FIG.
The lower blocking layer, the photoconductive layer, and the surface layer are sequentially laminated on a conductive substrate made of aluminum having a diameter of 30 mm and a thickness of 2.5 mm under the conditions shown below using the plasma CVD apparatus described in An electrophotographic photosensitive member was manufactured. After the fabrication, the abnormal projections of the a-Si photoreceptor were polished to a height of 1 μm or less by the polishing apparatus shown in FIG.

【0143】 <電子写真感光体の比較製造例1> ・下部阻止層 SiH4 150ml/min(normal) PH3 500ppm NO 10ml/min(normal) パワー 200W 内圧 67Pa 基体温度 240℃ 膜厚 1μm ・光導電層 SiH4 200ml/min(normal) パワー 500W 内圧 67Pa 基体温度 240℃ 膜厚 25μm ・バッファー層 SiH4 50ml/min(normal) CH4 500ml/min(normal) パワー 1500W 内圧 67Pa 基体温度 240℃ 膜厚 0.7μm ・表面層 CH4 100ml/min(normal) パワー 800w 内圧 47Pa 基体温度 100℃ 膜厚 0.2μm<Comparative Production Example 1 of Electrophotographic Photoreceptor> Lower Blocking Layer SiH 4 150 ml / min (normal) PH 3 500 ppm NO 10 ml / min (normal) Power 200 W Internal Pressure 67 Pa Base Temperature 240 ° C. Film Thickness 1 μm Photoconductive Layer SiH 4 200 ml / min (normal) Power 500 W Internal pressure 67 Pa Base temperature 240 ° C. Film thickness 25 μm Buffer layer SiH 4 50 mL / min (normal) CH 4 500 ml / min (normal) Power 1500 W Internal pressure 67 Pa Base temperature 240 ° C. Film thickness 0 0.7 μm ・ Surface layer CH 4 100 ml / min (normal) Power 800 w Internal pressure 47 Pa Base temperature 100 ° C. Film thickness 0.2 μm

【0144】作製した電子写真感光体を図2に示される
構成の電子写真装置により吐き出しトナーの正規化度合
と画質を評価した。図4に比較例1の結果を示す。図4
に示されるように、回収バイアスによる回収が比較的困
難な帯電分布を示した。
The produced electrophotographic photosensitive member was evaluated for the degree of normalization and the image quality of the discharged toner by an electrophotographic apparatus having the structure shown in FIG. FIG. 4 shows the results of Comparative Example 1. FIG.
As shown in the figure, the charge distribution was relatively difficult to recover by the recovery bias.

【0145】画質については、実施例1と同様の反転ト
ナー成分に起因する現像カブリを評価した。ベタ黒部と
ベタ白部にカブリの差が認められ、ベタ黒部後のカブリ
が認められた。
Regarding the image quality, development fogging caused by the same reversal toner component as in Example 1 was evaluated. A difference in fog was observed between the solid black portion and the solid white portion, and fog after the solid black portion was observed.

【0146】(実施例2)比較例1で用いた上記に示し
た条件によりφ30mm、肉厚2.5mmのアルミニウ
ム製導電性基体上に下部阻止層、光導電層、表面層を順
次積層し、負帯電で用いられる電子写真感光体を作製し
た。作製後、図5に記載の研摩装置により、a−Si感
光体の異常突起部分を、高さ1μm以下に研摩処理し
た。
(Example 2) A lower blocking layer, a photoconductive layer, and a surface layer were sequentially laminated on an aluminum conductive substrate having a diameter of 30 mm and a thickness of 2.5 mm according to the conditions described above used in Comparative Example 1. An electrophotographic photosensitive member used for negative charging was produced. After the fabrication, the abnormal projections of the a-Si photoreceptor were polished to a height of 1 μm or less by the polishing apparatus shown in FIG.

【0147】トナーは、磁性ネガトナーを用いた。As the toner, a magnetic negative toner was used.

【0148】具体的には、 スチレン/n−ブチルアクリレート共重合体(質量比80/20) 100部 不飽和ポリエステル樹脂 2部 飽和ポリエステル樹脂 3部 負荷電性制御剤(モノアゾ染料系のFe化合物) 1部 表面処理磁性体1 90部 現像剤1で用いたエステルワックス 5部 上記材料をブレンダーにて混合し、110℃に加熱した
2軸エクストルーダーで溶融混練し、冷却した混練物を
ハンマーミルで粗粉砕し、粗粉砕物をジェットミルで微
粉砕後、得られた微粉砕物を風力分級して重量平均粒径
8.9μmの黒色粒子2を得た。この黒色粒子100部
に対して疎水性シリカ微粉体1.2部と帯電粒子として
平均粒径1.5μmの導電性酸化亜鉛粒子を加えた混合
物をヘンシェルミキサーで混合作製した。
Specifically, a styrene / n-butyl acrylate copolymer (mass ratio 80/20) 100 parts Unsaturated polyester resin 2 parts Saturated polyester resin 3 parts Load control agent (monoazo dye-based Fe compound) 1 part Surface-treated magnetic substance 1 90 parts Ester wax used in developer 1 5 parts The above materials were mixed by a blender, melted and kneaded by a twin-screw extruder heated to 110 ° C, and the cooled kneaded material was hammer milled. After coarse pulverization, the coarsely pulverized product was finely pulverized by a jet mill, and the obtained finely pulverized product was subjected to air classification to obtain black particles 2 having a weight average particle size of 8.9 μm. A mixture obtained by adding 1.2 parts of hydrophobic silica fine powder to 100 parts of the black particles and conductive zinc oxide particles having an average particle size of 1.5 μm as charged particles was mixed and produced using a Henschel mixer.

【0149】次いで、実施例1で用いた第2の表面層を
形成し、作製した電子写真感光体を図2に示される構成
の電子写真装置によりA4用紙にて100万枚の複写を
行った。カブリについては良好に推移したが、100万
枚時点の画像には一部に円周方向の傷が認められた。
Next, the second surface layer used in Example 1 was formed, and the produced electrophotographic photosensitive member was copied on an A4 paper sheet for one million sheets using an electrophotographic apparatus having the structure shown in FIG. . Although fog changed favorably, some circumferential scratches were observed in the image at 1 million sheets.

【0150】この感光体を、図5に記載の研摩装置の研
摩テープ531を砥粒が比較的柔らかく粗いもの、具体
的には砥粒がアルミナのものに交換し、第2の表面層を
剥離処理した。
The photosensitive member was replaced with a polishing tape 531 of the polishing apparatus shown in FIG. 5 having a relatively soft and coarse abrasive, specifically, an abrasive having an alumina abrasive, and peeling off the second surface layer. Processed.

【0151】次いで、再度、実施例1で用いた第2の表
面層を形成し、作製した電子写真感光体を図2に示され
る構成の電子写真装置により画像評価を行った。カブ
リ、傷の無い良好な画質が得られるように再生された。
Next, the second surface layer used in Example 1 was formed again, and the produced electrophotographic photosensitive member was subjected to image evaluation using an electrophotographic apparatus having the structure shown in FIG. The image was reproduced so that good image quality without fog and scratches could be obtained.

【0152】[0152]

【発明の効果】以上説明してきたように、導電性基体上
にシリコン原子を母体とする非単結晶材料で構成された
光導電層及び第1の表面層を設け、該第1の表面層上に
少なくとも連鎖重合性官能基を有する化合物を電子線照
射により重合した化合物及び導電性粒子を含有する第2
の表面層を有する電子写真感光体。また、該感光体を用
い、粒径が10nm〜10μmである導電性粒子を主成
分とする帯電粒子と、導電性と弾性を有した表面を備
え、該帯電粒子を担持する帯電粒子担持体により構成さ
れ、該帯電粒子は被帯電体に接触し、被帯電体表面を帯
電する帯電手段を用い、転写から帯電までの間にクリー
ニング工程が無い電子写真方法及び装置によって、a−
Si感光体の極めて安定した潜像特性を生かしつつ、回
収プロセスサイクルにおける吐き出しトナー(被回収ト
ナー)の帯電量制御が安定化し、よってクリーナーレス
トナーリサイクルプロセスを良好かつ長期にわたって機
能させることが可能となった。
As described above, a photoconductive layer and a first surface layer made of a non-single-crystal material having silicon atoms as a base are provided on a conductive substrate. A second compound containing a compound obtained by polymerizing a compound having at least a chain polymerizable functional group by electron beam irradiation and a conductive particle
An electrophotographic photosensitive member having a surface layer. Further, using the photoreceptor, a charged particle having a conductive particle having a particle size of 10 nm to 10 μm as a main component, and a charged particle carrier having a surface having conductivity and elasticity, and carrying the charged particle. The charged particles are in contact with the member to be charged, and a charging means for charging the surface of the member to be charged is used.
While making use of the extremely stable latent image characteristics of the Si photoreceptor, the control of the charge amount of the discharged toner (toner to be recovered) in the recovery process cycle is stabilized, so that the cleaner-less toner recycling process can function well for a long time. became.

【0153】また、硬度の高い第1の表面層により、第
2の表面層の剥離が容易となり、極めて安定した潜像特
性を有するa−Si感光体を何度も再使用ならしめるシ
ステムが達成された。
Further, the first surface layer having high hardness makes it easy to peel off the second surface layer, and achieves a system for reusing the a-Si photosensitive member having an extremely stable latent image characteristic many times. Was done.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に関わる電子写真感光体の層構成を示す
概略断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a layer structure of an electrophotographic photosensitive member according to the present invention.

【図2】本発明に関わる画像形成装置の一実施例を示す
概略構成図である。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram illustrating an embodiment of an image forming apparatus according to the present invention.

【図3】高周波を用いたグロー放電によるアモルファス
シリコン系電子写真感光体の製造装置の一例を示す模式
図である。
FIG. 3 is a schematic view showing an example of an apparatus for manufacturing an amorphous silicon electrophotographic photosensitive member by glow discharge using high frequency.

【図4】帯電量測定器により測定したトナーの帯電量分
布の一例である。
FIG. 4 is an example of a toner charge amount distribution measured by a charge amount measuring device.

【図5】アモルファスシリコン系電子写真感光体の表面
研摩処理装置の一例を示す模式図である。
FIG. 5 is a schematic view showing an example of an apparatus for polishing the surface of an amorphous silicon electrophotographic photosensitive member.

【図6】実施例において、現像カブリの評価方法を示す
図である。
FIG. 6 is a diagram showing a method for evaluating development fog in an example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101 導電性基体 102 電荷注入阻止層 103 光導電層 104 非晶質材料で構成される第1の表面層 105 連鎖重合性官能基を有する化合物を電子線照
射により重合した化合物及び導電性粒子を含有する第2
の表面層 106 電荷発生層 107 電荷輸送層 201 電子写真感光体 202 接触帯電部材 203 露光光 204 現像器 205 トナー 206 転写部材 207 転写材 208 反転トナー 209 定着器 2100 堆積装置 2110 反応容器 2112 導電性基体 2113 加熱用ヒーター 2114 ガス導入管 2115 マッチングボックス 2116 ガス供給配管 2117 リークバルブ 2118 メインバルブ 2119 真空計 2120 高周波電源 2123 導電性受け台 2200 原料ガス供給装置 2211〜2216 マスフローコントローラー 2221〜2226 原料ガスボンベ 2231〜2236 バルブ 2241〜2246 流入バルブ 2251〜2256 流出バルブ 2260 補助バルブ 500 a−Si感光体 520 空気ホルダー 530 加圧弾性ローラー 531 研摩テープ 532 送り出しロール 533 巻き取りロール 534,535 キャンプスタンロール 540 保持台
Reference Signs List 101 conductive substrate 102 charge injection blocking layer 103 photoconductive layer 104 first surface layer made of an amorphous material 105 containing a compound obtained by polymerizing a compound having a chain polymerizable functional group by electron beam irradiation and conductive particles Second
Surface layer 106 Charge generation layer 107 Charge transport layer 201 Electrophotographic photoreceptor 202 Contact charging member 203 Exposure light 204 Developing device 205 Toner 206 Transfer member 207 Transfer material 208 Inverted toner 209 Fixing device 2100 Deposition device 2110 Reaction container 2112 Conductive substrate 2113 Heating heater 2114 Gas introduction pipe 2115 Matching box 2116 Gas supply pipe 2117 Leak valve 2118 Main valve 2119 Vacuum gauge 2120 High frequency power supply 2123 Conductive pedestal 2200 Raw material gas supply device 2211 to 2216 Mass flow controller 2221 to 2226 Raw material gas cylinder 2231 to 2236 Valves 2241 to 2246 Inflow valves 2251 to 2256 Outflow valves 2260 Auxiliary valves 500 a-Si photoconductor 520 Air hose Rudder 530 Pressure elastic roller 531 Abrasive tape 532 Delivery roll 533 Take-up roll 534,535 Campstan roll 540 Holder

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G03G 15/08 507 G03G 15/08 507B (72)発明者 下條 稔 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 雨宮 昇司 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 Fターム(参考) 2H068 AA03 AA04 AA05 BA15 BB02 BB10 BB18 BB31 CA03 DA05 DA13 DA19 EA18 EA38 EA47 FC01 FC15 2H077 AA37 AC16 AD06 DB12 GA04 GA17 2H200 FA08 FA12 GA18 GA23 GA33 GA34 GA44 GA49 GA59 GB22 GB25 GB37 HA03 HA21 HA28 HB12 HB17 HB22 HB45 HB46 HB47 JA02 JA26 JB10 JB46 MA03 MA04 MA08 MA14 MA20 MB01 MB06 MC01 MC15 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification FI FI Theme Court ゛ (Reference) G03G 15/08 507 G03G 15/08 507B (72) Inventor Minoru Shimojo 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo No. Canon Inc. (72) Inventor Shoji Amemiya 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo F-term (reference) 2H068 AA03 AA04 AA05 BA15 BB02 BB10 BB18 BB31 CA03 DA05 DA13 DA19 EA18 EA38 EA47 FC01 FC15 2H077 AA37 AC16 AD06 DB12 GA04 GA17 2H200 FA08 FA12 GA18 GA23 GA33 GA34 GA44 GA49 GA59 GB22 GB25 GB37 HA03 HA21 HA28 HB12 HB17 HB22 HB45 HB46 HB47 JA02 JA26 JB10 JB46 MA03 MA04 MA08 MA14 MA20 MC01 MB06 MC01

Claims (34)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電子写真感光体と、該電子写真感光体の
表面を帯電する帯電工程と、該電子写真感光体の帯電面
に静電潜像を形成する潜像形成工程と、該静電潜像をト
ナー像として現像する現像工程と、該トナー像を記録媒
体に転写する転写工程を有する電子写真方法において、 該電子写真感光体は、導電性基体上にシリコン原子を母
体とする非単結晶材料で構成された光導電層及び非単結
晶材料で構成された第1の表面層があり、更に該第1の
表面層上に少なくとも連鎖重合性官能基を有する化合物
を電子線照射により重合した化合物及び導電性粒子を含
有する第2の表面層が積層され、 該帯電工程は、粒径が10nm〜10μmである導電性
粒子を主成分とする帯電粒子を、導電性と弾性を有した
表面を備えた帯電粒子担持体により被帯電体に接触させ
て、被帯電体表面を帯電し、 転写から帯電までの間にクリーニング工程が無いことを
特徴とする電子写真方法。
An electrophotographic photosensitive member, a charging step of charging a surface of the electrophotographic photosensitive member, a latent image forming step of forming an electrostatic latent image on a charged surface of the electrophotographic photosensitive member, An electrophotographic method comprising: a developing step of developing a latent image as a toner image; and a transfer step of transferring the toner image to a recording medium, wherein the electrophotographic photoreceptor includes a non-monolithic material having a silicon atom as a base on a conductive substrate. There is a photoconductive layer made of a crystalline material and a first surface layer made of a non-single-crystal material, and a compound having at least a chain polymerizable functional group on the first surface layer is polymerized by electron beam irradiation. A second surface layer containing the compound and the conductive particles is laminated, and the charging step includes charging the conductive particles having a particle diameter of 10 nm to 10 μm as a main component and having conductivity and elasticity. Covered by charged particle carrier with surface In contact with the body, the electrophotographic method, wherein the cleaning step is not between the charged and the charged surface, from the transfer to the charge.
【請求項2】 連鎖重合性官能基が下記一般式(1)で
示される不飽和重合性官能基である請求項1に記載の電
子写真方法。 【化1】 {式中、Eは水素原子、ハロゲン原子、置換基を有して
もよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、
シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、−COOR 1(R1
は水素原子、ハロゲン原子、置換基を有してもよいアル
キル基、置換基を有してもよいアラルキル基又は置換基
を有してもよいアリール基)又は−CONR23(R2
及びR3は水素原子、ハロゲン原子、置換基を有しても
よいアルキル基、置換基を有してもよいアラルキル基又
は置換基を有してもよいアリール基を示し、互いに同一
であっても異なっていてもよい)を示し、Wは置換基を
有してもよいアルキレン基、置換基を有してもよいアリ
ーレン基、−COO−、−CH 2−、−O−、−OO
−、−S−又は−CONR4−(R4は水素原子、ハロゲ
ン原子、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有
してもよいアラルキル基又は置換基を有してもよいアリ
ール基)を示す。fは0又は1を示す}
2. The chain polymerizable functional group represented by the following general formula (1)
2. The electrode according to claim 1, which is an unsaturated polymerizable functional group represented by the formula:
Child photography method. Embedded imageE In the formula, E has a hydrogen atom, a halogen atom,
An alkyl group, an aryl group which may have a substituent,
Cyano group, nitro group, alkoxy group, -COOR 1(R1
Represents a hydrogen atom, a halogen atom, and an optionally substituted
Kill group, aralkyl group or substituent which may have a substituent
An aryl group optionally having) or -CONRTwoRThree(RTwo
And RThreeHas a hydrogen atom, a halogen atom, and a substituent
A good alkyl group, an aralkyl group which may have a substituent or
Represents an aryl group which may have a substituent, and is the same as each other
May be different from each other), and W represents a substituent
Alkylene group which may have, ant which may have a substituent
-Lene group, -COO-, -CH Two-, -O-, -OO
-, -S- or -CONRFour− (RFourIs hydrogen atom, halogen
Atom, an alkyl group which may have a substituent,
Aralkyl group or ant which may have a substituent
Group). f represents 0 or 1;
【請求項3】 連鎖重合性官能基を有する化合物が1分
子中に連鎖重合性官能基を2つ以上有する請求項1又は
2に記載の電子写真方法。
3. The electrophotographic method according to claim 1, wherein the compound having a chain polymerizable functional group has two or more chain polymerizable functional groups in one molecule.
【請求項4】 一般式(1)で示される連鎖重合性官能
基が下記構造式(2)又は式(3)である請求項1〜3
のいずれかに記載の電子写真方法。 【化2】
4. The chain polymerizable functional group represented by the general formula (1) is represented by the following structural formula (2) or (3).
The electrophotographic method according to any one of the above. Embedded image
【請求項5】 一般式(1)におけるWが置換基を有し
てもよいベンゼン、ナフタレン、アントラセン及びピレ
ンから選ばれる芳香族炭化水素から2個の水素原子を除
いたアリーレン基である請求項1〜3のいずれかに記載
の電子写真方法。
5. The method according to claim 1, wherein W in the general formula (1) is an arylene group obtained by removing two hydrogen atoms from an aromatic hydrocarbon selected from benzene, naphthalene, anthracene and pyrene which may have a substituent. The electrophotographic method according to any one of 1 to 3.
【請求項6】 一般式(1)で示される連鎖重合性官能
基が下記構造式(4)である請求項1、2、3又は5に
記載の電子写真方法。 【化3】
6. The electrophotographic method according to claim 1, wherein the chain polymerizable functional group represented by the general formula (1) is represented by the following structural formula (4). Embedded image
【請求項7】 第2の表面層が電荷輸送材料を含有する
請求項1〜6のいずれかに記載の電子写真方法。
7. The electrophotographic method according to claim 1, wherein the second surface layer contains a charge transport material.
【請求項8】 第2の表面層が四フッ化エチレン樹脂、
三フッ化塩化エチレン樹脂、六フッ化エチレンプロピレ
ン樹脂、フッ化ビニル樹脂、フッ化ビニリデン樹脂、二
フッ化二塩化エチレン樹脂及びこれらの共重合体からな
るフッ素原子含有樹脂粒子からなる群より選ばれる1種
あるいは2種以上を含有する請求項1〜7のいずれかに
記載の電子写真方法。
8. The method according to claim 1, wherein the second surface layer is an ethylene tetrafluoride resin,
It is selected from the group consisting of ethylene trifluoride chloride resin, hexafluoroethylene propylene resin, vinyl fluoride resin, vinylidene fluoride resin, ethylene difluoride ethylene chloride resin and fluorine atom-containing resin particles composed of a copolymer thereof. The electrophotographic method according to any one of claims 1 to 7, comprising one or more kinds.
【請求項9】 電子線照射の加速電圧が250KV以下
である請求項1〜8のいずれかに記載の電子写真方法。
9. The electrophotographic method according to claim 1, wherein the acceleration voltage for electron beam irradiation is 250 KV or less.
【請求項10】 電子線照射の線量が1×104Gy〜
1×106Gyである請求項1〜9のいずれかに記載の
電子写真方法。
10. The dose of electron beam irradiation is 1 × 10 4 Gy or more.
The electrophotographic method according to claim 1, wherein the electrophotographic method is 1 × 10 6 Gy.
【請求項11】 第1の表面層が非晶質炭素を主体とす
る請求項1〜10のいずれかに記載の電子写真方法。
11. The electrophotographic method according to claim 1, wherein the first surface layer is mainly composed of amorphous carbon.
【請求項12】 第2の表面層を剥離、再積層して画像
形成を行う請求項1〜11のいずれかに記載の電子写真
方法。
12. The electrophotographic method according to claim 1, wherein the second surface layer is peeled off and re-laminated to form an image.
【請求項13】 導電性基体上にシリコン原子を母体と
する非単結晶材料で構成された光導電層及び非単結晶材
料で構成された第1の表面層からなり、更に該第1の表
面層上に少なくとも連鎖重合性官能基を有する化合物を
電子線照射により重合した化合物及び導電性粒子を含有
する第2の表面層を有することを特徴とする電子写真感
光体。
13. A photoconductive layer composed of a non-single-crystal material mainly composed of silicon atoms on a conductive substrate and a first surface layer composed of a non-single-crystal material, and further comprising the first surface. An electrophotographic photoreceptor having a second surface layer containing conductive particles and a compound obtained by polymerizing a compound having at least a chain polymerizable functional group by electron beam irradiation on a layer.
【請求項14】 連鎖重合性官能基が一般式(1)で示
される不飽和重合性官能基である請求項13に記載の電
子写真感光体。
14. The electrophotographic photosensitive member according to claim 13, wherein the chain polymerizable functional group is an unsaturated polymerizable functional group represented by the general formula (1).
【請求項15】 連鎖重合性官能基を有する化合物が1
分子中に連鎖重合性官能基を2つ以上有する請求項13
又は14に記載の電子写真感光体。
15. The compound having a chain polymerizable functional group is 1
14. A molecule having two or more chain polymerizable functional groups in the molecule.
Or the electrophotographic photosensitive member according to 14.
【請求項16】 一般式(1)で示される連鎖重合性官
能基が構造式(2)又は式(3)である請求項13〜1
5のいずれかに記載の電子写真感光体。
16. The chain polymerizable functional group represented by the general formula (1) is a structural formula (2) or a formula (3).
5. The electrophotographic photosensitive member according to any one of 5.
【請求項17】 一般式(1)におけるWが置換基を有
してもよいベンゼン、ナフタレン、アントラセン及びピ
レンから選ばれる芳香族炭化水素から2個の水素原子を
除いたアリーレン基である請求項13〜15のいずれか
に記載の電子写真感光体。
17. The method according to claim 1, wherein W in the general formula (1) is an arylene group obtained by removing two hydrogen atoms from an aromatic hydrocarbon selected from benzene, naphthalene, anthracene and pyrene which may have a substituent. The electrophotographic photosensitive member according to any one of 13 to 15, wherein
【請求項18】 一般式(1)で示される連鎖重合性官
能基が構造式(4)である請求項13、14、15又は
17のいずれかに記載の電子写真感光体。
18. The electrophotographic photoreceptor according to claim 13, wherein the chain polymerizable functional group represented by the general formula (1) is a structural formula (4).
【請求項19】 第2の表面層が電荷輸送材料を含有す
る請求項13〜18のいずれかに記載の電子写真感光
体。
19. The electrophotographic photosensitive member according to claim 13, wherein the second surface layer contains a charge transport material.
【請求項20】 第2の表面層が四フッ化エチレン樹
脂、三フッ化塩化エチレン樹脂、六フッ化エチレンプロ
ピレン樹脂、フッ化ビニル樹脂、フッ化ビニリデン樹
脂、二フッ化二塩化エチレン樹脂及びこれらの共重合体
からなるフッ素原子含有樹脂粒子からなる群より選ばれ
る1種あるいは2種以上を含有する請求項13〜19の
いずれかに記載の電子写真感光体。
20. A second surface layer comprising an ethylene tetrafluoride resin, an ethylene trifluoride chloride resin, a hexafluoroethylene propylene resin, a vinyl fluoride resin, a vinylidene fluoride resin, an ethylene dichloride ethylene chloride resin and the like. 20. The electrophotographic photosensitive member according to any one of claims 13 to 19, comprising one or more members selected from the group consisting of fluorine atom-containing resin particles made of a copolymer of
【請求項21】 電子線照射の加速電圧が250KV以
下である請求項13〜20のいずれかに記載の電子写真
感光体。
21. The electrophotographic photosensitive member according to claim 13, wherein an acceleration voltage of electron beam irradiation is 250 KV or less.
【請求項22】 電子線照射の線量が1×104Gy〜
1×106Gyである請求項13〜21のいずれかに記
載の電子写真感光体。
22. An electron beam irradiation dose of 1 × 10 4 Gy to
The electrophotographic photoreceptor according to any one of claims 13 to 21, wherein the electrophotographic photoreceptor has 1 x 10 6 Gy.
【請求項23】 第1の表面層が非晶質炭素を主体とす
る請求項13〜22のいずれかに記載の電子写真感光
体。
23. The electrophotographic photosensitive member according to claim 13, wherein the first surface layer is mainly composed of amorphous carbon.
【請求項24】 電子写真感光体と、該電子写真感光体
の表面を帯電する帯電手段と、該電子写真感光体の帯電
面に静電潜像を形成する潜像形成手段と、該静電潜像を
トナー像として現像する現像手段と、該トナー像を記録
媒体に転写する転写手段を備えた電子写真装置におい
て、 該電子写真感光体は、導電性基体上にシリコン原子を母
体とする非単結晶材料で構成された光導電層及び非単結
晶材料で構成された第1の表面層からなり、更に該第1
の表面層上に少なくとも連鎖重合性官能基を有する化合
物を電子線照射により重合した化合物及び導電性粒子を
含有する第2の表面層を有し、 該帯電手段は、粒径が10nm〜10μmである導電性
粒子を主成分とする帯電粒子と、導電性と弾性を有した
表面を備え、該帯電粒子を担持する帯電粒子担持体によ
り構成され、該帯電粒子は被帯電体に接触し、被帯電体
表面を帯電し、 転写から帯電までの間にクリーニング工程が無いことを
特徴とする電子写真装置。
24. An electrophotographic photosensitive member, charging means for charging a surface of the electrophotographic photosensitive member, latent image forming means for forming an electrostatic latent image on a charged surface of the electrophotographic photosensitive member, An electrophotographic apparatus comprising: developing means for developing a latent image as a toner image; and transfer means for transferring the toner image to a recording medium, wherein the electrophotographic photoreceptor includes a non-conductive material having silicon atoms as a base on a conductive substrate. A photoconductive layer made of a single-crystal material and a first surface layer made of a non-single-crystal material;
A second surface layer containing a compound obtained by polymerizing at least a compound having a chain-polymerizable functional group by electron beam irradiation and a conductive particle on the surface layer, wherein the charging means has a particle size of 10 nm to 10 μm. A charged particle having a conductive particle as a main component, and a charged particle carrier having a surface having conductivity and elasticity and supporting the charged particle, the charged particle is brought into contact with the charged object, An electrophotographic apparatus characterized in that a charged body surface is charged, and there is no cleaning process between transfer and charging.
【請求項25】 連鎖重合性官能基が一般式(1)で示
される不飽和重合性官能基である請求項24に記載の電
子写真装置。
25. The electrophotographic apparatus according to claim 24, wherein the chain polymerizable functional group is an unsaturated polymerizable functional group represented by the general formula (1).
【請求項26】 連鎖重合性官能基を有する化合物が1
分子中に連鎖重合性官能基を2つ以上有する請求項24
又は25に記載の電子写真装置。
26. The compound having a chain polymerizable functional group is 1
25. A molecule having two or more chain polymerizable functional groups in the molecule.
Or the electrophotographic apparatus according to 25.
【請求項27】 一般式(1)で示される連鎖重合性官
能基が構造式(2)又は(3)である請求項24〜26
のいずれかに記載の電子写真装置。
27. The chain polymerizable functional group represented by the general formula (1) is a structural formula (2) or (3).
An electrophotographic apparatus according to any one of the above.
【請求項28】 一般式(1)におけるWが置換基を有
してもよいベンゼン、ナフタレン、アントラセン及びピ
レンから選ばれる芳香族炭化水素から2個の水素原子を
除いたアリーレン基である請求項24〜27のいずれか
に記載の電子写真装置。
28. The method according to claim 1, wherein W in the general formula (1) is an arylene group obtained by removing two hydrogen atoms from an aromatic hydrocarbon selected from benzene, naphthalene, anthracene and pyrene which may have a substituent. The electrophotographic apparatus according to any one of 24 to 27.
【請求項29】 一般式(1)で示される連鎖重合性官
能基が構造式(4)である請求項24、25、26又は
28のいずれかに記載の電子写真装置。
29. The electrophotographic apparatus according to claim 24, wherein the chain polymerizable functional group represented by the general formula (1) is a structural formula (4).
【請求項30】 第2の表面層が電荷輸送材料を含有す
る請求項24〜29のいずれかに記載の電子写真装置。
30. The electrophotographic apparatus according to claim 24, wherein the second surface layer contains a charge transport material.
【請求項31】 第2の表面層が四フッ化エチレン樹
脂、三フッ化塩化エチレン樹脂、六フッ化エチレンプロ
ピレン樹脂、フッ化ビニル樹脂、フッ化ビニリデン樹
脂、二フッ化二塩化エチレン樹脂及びこれらの共重合体
からなるフッ素原子含有樹脂粒子からなる群より選ばれ
る1種あるいは2種以上を含有する請求項24〜30の
いずれかに記載の電子写真装置。
31. A second surface layer comprising an ethylene tetrafluoride resin, an ethylene trifluoride chloride resin, a hexafluoroethylene propylene resin, a vinyl fluoride resin, a vinylidene fluoride resin, an ethylene difluoride ethylene chloride resin and the like. 31. The electrophotographic apparatus according to claim 24, wherein the electrophotographic apparatus contains one or more kinds selected from the group consisting of fluorine atom-containing resin particles made of a copolymer of
【請求項32】 電子線照射の加速電圧が250KV以
下である請求項24〜31のいずれかに記載の電子写真
装置。
32. The electrophotographic apparatus according to claim 24, wherein an acceleration voltage of electron beam irradiation is 250 KV or less.
【請求項33】 電子線照射の線量が1×104Gy以
上1×106Gy以下である請求項24〜32のいずれ
かに記載の電子写真装置。
33. The electrophotographic apparatus according to claim 24, wherein the dose of electron beam irradiation is 1 × 10 4 Gy or more and 1 × 10 6 Gy or less.
【請求項34】 第1の表面層が非晶質炭素を主体とす
る請求項24〜33のいずれかに記載の電子写真装置。
34. The electrophotographic apparatus according to claim 24, wherein the first surface layer is mainly composed of amorphous carbon.
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WO2012115650A1 (en) * 2011-02-24 2012-08-30 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Coating for extending lifetime of an organic photoconductor
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007225761A (en) * 2006-02-22 2007-09-06 Ricoh Co Ltd Electrophotographic photoreceptor, method for regenerating the same, process cartridge, image forming apparatus and image forming method
WO2012115650A1 (en) * 2011-02-24 2012-08-30 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Coating for extending lifetime of an organic photoconductor
US9116451B2 (en) 2011-02-24 2015-08-25 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Coating for extending lifetime of an organic photoconductor
US9482970B2 (en) 2012-03-30 2016-11-01 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Organic photoconductors having protective coatings with nanoparticles
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