JP2002296136A - Case structure of transducer - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、液体、気
体の圧力、加速度、温度等の一の状態量を電気信号等の
他の状態量に変換する変換器のケース構造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a case structure of a converter for converting one state quantity such as pressure, acceleration and temperature of a liquid or a gas into another state quantity such as an electric signal.
【０００２】[0002]
【背景技術】従来、一の状態量を他の状態量に変換する
変換器（センサチップ）としては、例えば、圧力を電気
信号に変換する圧力センサチップが知られている。図６
には、従来例に係る圧力センサチップを適用した圧力セ
ンサ１１０の全体断面図が示されている。圧力センサ１
１０は、圧力導入孔１４０を有するケース本体１２０
と、このケース本体１２０内部に設けられた変換器５０
および信号処理回路５７と、これら変換器５０および信
号処理回路５７を覆い、かつケース本体１２０に嵌合さ
れるケース蓋１３０とを含んで構成されている。BACKGROUND ART Conventionally, as a converter (sensor chip) for converting one state quantity into another state quantity, for example, a pressure sensor chip for converting pressure into an electric signal is known. FIG.
FIG. 1 shows an overall sectional view of a pressure sensor 110 to which a pressure sensor chip according to a conventional example is applied. Pressure sensor 1
10 is a case body 120 having a pressure introduction hole 140
And a converter 50 provided inside the case main body 120.
And a signal processing circuit 57, and a case cover 130 that covers the converter 50 and the signal processing circuit 57 and is fitted to the case main body 120.
【０００３】ケース本体１２０は、その内部に圧力導入
孔１４０に連通される座堀部１２４を備え、この座堀部
１２４は、パッキン１２５を介して基板１２７で塞がれ
ている。基板１２７は、圧力導入孔１４０と連通される
連通孔１２６を備えている。また、ケース本体１２０
は、内外に連通された通気口１３１を備え、この通気口
１３１を通じて、圧力センサ１１０の内部が大気に開放
されている。[0003] The case body 120 has a seating portion 124 communicating with the pressure introducing hole 140 therein, and the seating portion 124 is closed by a substrate 127 via a packing 125. The substrate 127 has a communication hole 126 that communicates with the pressure introduction hole 140. Also, the case body 120
Is provided with a vent 131 communicating inside and outside, and through this vent 131, the inside of the pressure sensor 110 is open to the atmosphere.
【０００４】変換器５０は、圧力の変化を静電容量の変
化として検出する静電容量型の圧力センサチップであ
り、変換器５０に接続された信号処理回路５７とともに
基板１２７上に設けられている。変換器５０は、弾性変
形可能なダイアフラム５３と、このダイアフラム５３の
周囲の厚肉部５３Ａに陽極接合されてダイアフラム５３
を挟持する上ガラス５１および下ガラス５２と、上ガラ
ス５１のダイアフラム５３と対向する面に設けられた固
定電極５４とから構成されている。ダイアフラム５３と
上、下ガラス５１，５２との間には所定の空隙が形成さ
れており、ダイアフラム５３は、この空隙において弾性
変形することにより、上ガラス５１の固定電極５４に対
して変位できるようになっている。The converter 50 is a capacitance type pressure sensor chip that detects a change in pressure as a change in capacitance, and is provided on a substrate 127 together with a signal processing circuit 57 connected to the converter 50. I have. The converter 50 is anodically bonded to an elastically deformable diaphragm 53 and a thick portion 53A around the diaphragm 53, and
And a fixed electrode 54 provided on the surface of the upper glass 51 facing the diaphragm 53. A predetermined gap is formed between the diaphragm 53 and the upper and lower glasses 51 and 52, and the diaphragm 53 can be displaced with respect to the fixed electrode 54 of the upper glass 51 by elastically deforming in this gap. It has become.
【０００５】上ガラス５１は、スルーホール５５を備
え、このスルーホール５５および通気口１３１を通じ
て、ダイアフラム５３の上ガラス５１側の空隙が大気に
開放されている。下ガラス５２は、連通孔１２６と連通
される圧力導入孔５６を備え、この圧力導入孔５６と連
通孔１２６とを通じて、ダイアフラム５３の下ガラス５
２側の空隙が圧力導入孔１４０に連通されている。[0005] The upper glass 51 has a through hole 55, and a gap on the upper glass 51 side of the diaphragm 53 is opened to the atmosphere through the through hole 55 and the vent 131. The lower glass 52 has a pressure introducing hole 56 that communicates with the communication hole 126, and the lower glass 5 of the diaphragm 53 passes through the pressure introducing hole 56 and the communication hole 126.
The gap on the second side communicates with the pressure introducing hole 140.
【０００６】信号処理回路５７は、基板１２７上に設け
られ、ワイヤボンディングによって変換器５０の固定電
極５４およびダイアフラム５３に接続されて、変換器５
０から出力された電気信号を処理している。[0006] The signal processing circuit 57 is provided on the substrate 127 and connected to the fixed electrode 54 and the diaphragm 53 of the converter 50 by wire bonding.
It processes the electrical signal output from 0.
【０００７】以上のような圧力センサ１１０によれば、
圧力導入孔１４０に圧力を導入すると、この圧力導入孔
１４０に連通されたダイアフラム５３の下ガラス５２側
の空隙と、大気に開放されたダイアフラム５３の上ガラ
ス５１側の空隙とに差圧が発生して、この差圧によって
ダイアフラム５３が撓み、ダイアフラム５３とこれに対
向する固定電極５４との間の静電容量が変化する。この
静電容量の変化を信号処理回路５７で処理してコネクタ
（図示省略）を介して外部に出力するようになってい
る。なお、この圧力センサ１１０は、変換器５０が通気
口１３１を通じて大気に開放されているため、いわゆる
ゲージ圧（大気圧をゼロとしたときの、大気圧に対する
差圧）センサとなっている。According to the pressure sensor 110 described above,
When pressure is introduced into the pressure introducing hole 140, a differential pressure is generated between a gap on the lower glass 52 side of the diaphragm 53 connected to the pressure introducing hole 140 and a gap on the upper glass 51 side of the diaphragm 53 opened to the atmosphere. As a result, the diaphragm 53 bends due to this differential pressure, and the capacitance between the diaphragm 53 and the fixed electrode 54 facing the diaphragm 53 changes. The change in the capacitance is processed by the signal processing circuit 57 and output to the outside via a connector (not shown). Note that the pressure sensor 110 is a so-called gauge pressure (differential pressure with respect to the atmospheric pressure when the atmospheric pressure is set to zero) since the converter 50 is open to the atmosphere through the vent 131.
【０００８】ところで、大気にパーティクルが含まれて
いる状況下で圧力センサ１１０を使用する場合、圧力セ
ンサ１１０の変換器５０が正常に機能しないおそれがあ
った。すなわち、パーティクルが通気口１３１およびス
ルーホール５５を通じて変換器５０内に入り込み、ダイ
アフラム５３に接触して動作を妨げたり、ダイアフラム
５３と固定電極５４とを短絡させて故障させる可能性が
あった。When the pressure sensor 110 is used in a situation where particles are contained in the atmosphere, the converter 50 of the pressure sensor 110 may not function properly. That is, the particles may enter the converter 50 through the ventilation holes 131 and the through holes 55 and come into contact with the diaphragm 53 to hinder the operation or short-circuit the diaphragm 53 and the fixed electrode 54 to cause a failure.
【０００９】以上のような問題点を解決するため、圧力
センサのケースを密閉構造とし、ケースの一部にフィル
タを介した通気口を設ける構造がある。この構造によれ
ば、通気口からのみフィルタを介して大気が圧力センサ
内に流入するから、パーティクルの侵入を確実に防ぐこ
とができるようになる。In order to solve the above problems, there is a structure in which the case of the pressure sensor has a sealed structure and a vent is provided in a part of the case through a filter. According to this structure, since the air flows into the pressure sensor only from the vent through the filter, the intrusion of particles can be reliably prevented.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】しかし、圧力センサの
ケースを密閉構造としても、変換器の周囲の容積、つま
り圧力センサ内部の容積が大きいため、温度変化による
圧力センサ内部の空気の膨張収縮による腐食性ガスや湿
気を含む空気の流入、流出が多くなってしまい、圧力セ
ンサの機能が低下する可能性があった。すなわち、いわ
ゆる大気汚染物質（ＳＯＸ、ＮＯＸ等）等の腐食性ガス
が大気中に含まれている場合は、腐食性ガスによってダ
イアフラム５３や固定電極５４が侵される可能性があっ
た。また、大気の湿度が高い場合は、ダイアフラム５３
と固定電極５４間の絶縁抵抗が下がってしまい、特に結
露に至るとダイアフラム５３と固定電極５４との短絡が
発生する可能性があり、腐食性ガスの溶解による腐食も
発生しやすくなっていた。さらに、圧力センサの密閉性
を確保する方法としては、例えば、ケース蓋やコネクタ
にパッキンを介装する方法や、シール打ち等の方法が考
えられるが、これらの方法では、工数が増加するばかり
でなく、組立て精度の確保のためケース自体の小型化が
困難であった。However, even if the pressure sensor case has a sealed structure, the volume around the transducer, that is, the volume inside the pressure sensor is large, so that the air inside the pressure sensor expands and contracts due to a temperature change. Inflow and outflow of air containing corrosive gas and moisture may increase, and the function of the pressure sensor may be reduced. That is, when a corrosive gas such as a so-called air pollutant (SO X , NO X and the like) is contained in the atmosphere, the corrosive gas may invade the diaphragm 53 and the fixed electrode 54. When the humidity of the atmosphere is high, the diaphragm 53
Insulation resistance between the fixed electrode and the fixed electrode is lowered, and especially when dew condensation occurs, a short circuit between the diaphragm 53 and the fixed electrode may occur, and corrosion due to dissolution of corrosive gas is liable to occur. Further, as a method of ensuring the tightness of the pressure sensor, for example, a method of interposing a packing in a case lid or a connector, a method of sealing, or the like can be considered, but these methods only increase the number of steps. Therefore, it was difficult to reduce the size of the case itself in order to ensure assembly accuracy.
【００１１】本発明の目的は、大気にパーティクル、腐
食性ガス、湿気が含まれている状況下でも使用でき、か
つ小型化可能な変換器のケース構造を提供することにあ
る。An object of the present invention is to provide a converter case structure which can be used even in a situation where particles, corrosive gas and moisture are contained in the atmosphere and which can be miniaturized.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の変換器のケース構造は、次の構成を採用す
る。請求項１に記載の変換器のケース構造は、流体導入
孔を有するケース本体およびこのケース本体に取付けら
れるケース蓋を備えた収納ケースと、この収納ケース内
部に取り付けられ前記流体導入孔に導入された流体の状
態量を他の状態量に変換する変換器とを備えた変換器の
ケース構造において、前記収納ケースに設けられ内外を
連通する通気口と、前記収納ケース内部に設けられ前記
収納ケースの内部空間に連通されるとともに前記変換器
を覆うキャップとを備え、このキャップは、弾性および
気密性を有する材料で形成されていることを特徴とす
る。In order to achieve the above object, the case structure of the converter according to the present invention employs the following structure. The case structure of the converter according to claim 1, wherein a housing body having a case main body having a fluid introduction hole and a case lid attached to the case main body, and a storage case mounted inside the storage case and introduced into the fluid introduction hole. A converter for converting a state quantity of the fluid into another state quantity, wherein a vent provided in the storage case and communicating between inside and outside, and the storage case provided inside the storage case. And a cap that covers the converter while being communicated with the internal space of the device. The cap is formed of a material having elasticity and airtightness.
【００１３】この発明によれば、変換器を弾性および気
密性を有する材料で形成したキャップで覆ったので、変
換器が設けられた回路基板等に過大な力を加えることな
くキャップが密着するから、回路基板の動作に影響を与
えることなく変換器を覆うことができる。そして、通気
口を介してキャップ内と外部とを連通したので、変換器
は、従来のように収納ケース全体で覆われる場合に比
べ、キャップ内の小さな空間で覆われることとなり、温
度変化によって空気が膨張収縮しても、変換器周囲への
空気の流入量、流出量を抑制できるから、外部からの腐
食性ガス、湿気の侵入を抑制できる。さらに、収納ケー
スの内部空間とキャップ内との連通部分の形状、大きさ
を調整することにより、大気中のパーティクルの侵入を
抑制できるから、大気にパーティクル、腐食性ガス、湿
気が含まれている状況下でも、機能を低下させることな
く変換器を使用できる。また、ケース本体とケース蓋と
の僅かな隙間を密閉する必要がないから、パッキンやシ
ールが不要となるため、工数を削減できるうえに小型化
でき、また、ケース本体とケース蓋との接合部分の設計
自由度を向上できる。According to the present invention, since the converter is covered with the cap formed of a material having elasticity and airtightness, the cap adheres to the circuit board provided with the converter without applying excessive force. In addition, the converter can be covered without affecting the operation of the circuit board. And, since the inside and outside of the cap are communicated through the vent, the converter is covered by a small space in the cap as compared with the conventional case where the converter is covered by the entire storage case. Even if the gas expands and contracts, the amount of inflow and outflow of air around the converter can be suppressed, so that the intrusion of corrosive gas and moisture from the outside can be suppressed. Furthermore, by adjusting the shape and size of the communicating portion between the internal space of the storage case and the inside of the cap, the intrusion of particles in the atmosphere can be suppressed, so that the atmosphere contains particles, corrosive gas, and moisture. The converter can be used even under circumstances without any loss of function. In addition, since it is not necessary to seal a small gap between the case body and the case lid, packing and sealing are not required, so that the man-hour can be reduced and the size can be reduced. Design flexibility can be improved.
【００１４】請求項２に記載の変換器のケース構造は、
請求項１に記載の変換器のケース構造において、前記収
納ケース内部には、変換器から出力された信号を処理す
る信号処理回路が設けられ、前記キャップは、前記信号
処理回路を覆うことを特徴とする。この発明によれば、
キャップで変換器と共に信号処理回路を覆ったので、信
号処理回路についても、請求項１と同様に、外部からの
パーティクル、腐食性ガス、湿気の侵入を抑制できるか
ら、信号処理回路の機能を低下させるようなパーティク
ル、腐食性ガス、湿気が含まれている状況下でも、機能
を低下させることなく変換器を使用できる。[0014] The case structure of the converter according to the second aspect is as follows.
2. The converter case structure according to claim 1, wherein a signal processing circuit for processing a signal output from the converter is provided inside the storage case, and the cap covers the signal processing circuit. And According to the invention,
Since the signal processing circuit is covered with the cap together with the converter, the function of the signal processing circuit is reduced because the intrusion of particles, corrosive gas, and moisture from the outside can be suppressed in the signal processing circuit as well. The converter can be used without deteriorating its function even in a situation where particles, corrosive gas and moisture are contained.
【００１５】請求項３に記載の変換器のケース構造は、
請求項１または２に記載の変換器のケース構造におい
て、前記キャップは、フィルタを介して前記収納ケース
の内部空間に連通されていることを特徴とする。この発
明によれば、収納ケース内部の空気等がキャップ内に流
入する際に、フィルタによってパーティクルを確実に除
去できるから、大量のパーティクルがあるような状況下
においても変換器を使用できる。[0015] The case structure of the converter according to claim 3 is as follows.
3. The converter case structure according to claim 1, wherein the cap communicates with an internal space of the storage case via a filter. According to the present invention, when air or the like inside the storage case flows into the cap, the particles can be reliably removed by the filter, so that the converter can be used even in a situation where there are a large number of particles.
【００１６】請求項４に記載の変換器のケース構造は、
請求項１から３のいずれかに記載の変換器のケース構造
において、前記通気口は、前記ケース蓋に設けられ、前
記キャップは、前記ケース蓋を前記ケース本体に取付け
たときに前記変換器を覆うような位置で、前記ケース蓋
に支持されていることを特徴とする。この発明によれ
ば、ケース蓋をケース本体に取付けるだけで、ケース蓋
に支持されたキャップが自動的にケース本体内部の変換
器を覆うことになるから、予めキャップで変換器を覆っ
た後にケース蓋をケース本体に取付ける場合に比べ、高
精度かつ迅速にキャップで変換器を覆うことができ、コ
ストを削減できる。[0016] The case structure of the converter according to claim 4 is as follows.
In the case structure of the converter according to any one of claims 1 to 3, the vent is provided in the case lid, and the cap is configured to connect the converter when the case lid is attached to the case main body. It is characterized by being supported by the case lid at a position to cover. According to the present invention, since the cap supported by the case lid automatically covers the converter inside the case main body just by attaching the case lid to the case main body, the case is covered after the converter is previously covered with the cap. Compared with the case where the lid is attached to the case main body, the converter can be covered with the cap with high accuracy and speed, and the cost can be reduced.
【００１７】請求項５に記載の変換器のケース構造は、
請求項１から４のいずれかに記載の変換器のケース構造
において、前記キャップは、前記ケース蓋に立設された
ガイド部に沿って支持されていることを特徴とする。こ
の発明によれば、キャップをガイド部に沿って支持した
ので、ケース蓋をケース本体に取付ける際の振動等によ
るキャップのずれを抑えることができ、変換器をキャッ
プで確実に覆うことができるから、不良品の発生率を低
減できる。The case structure of the converter according to claim 5 is
5. The converter case structure according to claim 1, wherein the cap is supported along a guide portion erected on the case lid. 6. According to the present invention, since the cap is supported along the guide portion, displacement of the cap due to vibration or the like when attaching the case lid to the case body can be suppressed, and the converter can be reliably covered with the cap. In addition, the occurrence rate of defective products can be reduced.
【００１８】請求項６に記載の変換器のケース構造は、
請求項１から５のいずれかに記載の変換器のケース構造
において、前記フィルタは、前記ケース蓋と前記キャッ
プとの間に介装されていることを特徴とする。この発明
によれば、フィルタをケース蓋とキャップとの間に介装
したので、接着剤等を用いることなく容易にフィルタを
ケース蓋に取付けることができるから、製造効率を向上
できる。[0018] The case structure of the converter according to claim 6 is as follows.
The case structure of the converter according to any one of claims 1 to 5, wherein the filter is interposed between the case lid and the cap. According to the present invention, since the filter is interposed between the case lid and the cap, the filter can be easily attached to the case lid without using an adhesive or the like, so that manufacturing efficiency can be improved.
【００１９】請求項７に記載の変換器のケース構造は、
請求項１から６のいずれかに記載の変換器のケース構造
において、前記フィルタは、フッ素樹脂から形成された
多孔質構造を有していることを特徴とする。この発明に
よれば、フィルタを耐熱性、耐薬品性、耐候性に優れた
フッ素樹脂から形成した多孔質構造としたので、フィル
タを交換することなく長期に亘って変換器を使用するこ
とができる。The case structure of the converter according to claim 7 is as follows.
The converter case structure according to any one of claims 1 to 6, wherein the filter has a porous structure formed of a fluororesin. According to the present invention, since the filter has a porous structure formed of a fluororesin having excellent heat resistance, chemical resistance, and weather resistance, the converter can be used for a long time without replacing the filter. .
【００２０】請求項８に記載の変換器のケース構造は、
流体導入孔を有するケース本体およびこのケース本体に
取付けられるケース蓋を備えた収納ケースと、この収納
ケース内部に取り付けられ前記流体導入孔に導入された
流体の状態量を他の状態量に変換する変換器とを備えた
変換器のケース構造において、前記収納ケースに設けら
れ内外を連通する通気口と、前記収納ケース内部に設け
られ前記通気口に連通されるとともに前記変換器を覆う
キャップとを備え、このキャップは、弾性および気密性
を有する材料で形成され、前記通気口には、前記収納ケ
ース外部に連通するホースが装着可能とされていること
を特徴とする。[0020] The case structure of the converter according to claim 8 is as follows.
A case body having a fluid introduction hole and a storage case having a case lid attached to the case body, and a state quantity of the fluid attached to the inside of the storage case and introduced into the fluid introduction hole is converted into another state quantity. In a converter case structure including a converter, a vent provided in the storage case and communicating between the inside and the outside, and a cap provided inside the storage case and connected to the vent and covering the converter. The cap is formed of a material having elasticity and airtightness, and a hose communicating with the outside of the storage case can be attached to the vent.
【００２１】この発明によれば、変換器を弾性および気
密性を有する材料で形成したキャップで覆ったので、変
換器が設けられた回路基板等に過大な力を加えることな
くキャップが密着するから、回路基板の動作に影響を与
えることなく変換器を覆うことができる。そして、通気
口およびホースを介してキャップ内と収納ケース外部と
を連通したので、変換器は、従来のように収納ケース全
体で覆われる場合に比べ、キャップ内の小さな空間で覆
われることとなり、温度変化によって空気が膨張収縮し
ても、変換器周囲への空気の流入量、流出量を抑制でき
るうえに、ホースが所定長さを有することによってパー
ティクルの侵入を確実に抑制できるから、大気にパーテ
ィクル、腐食性ガス、湿気が含まれている状況下でも、
機能を低下させることなく変換器を使用できる。また、
ケース本体とケース蓋との僅かな隙間を密閉する必要が
ないから、パッキンやシールが不要となるため、工数を
削減できるうえに小型化でき、また、ケース本体とケー
ス蓋との接合部分の設計自由度を向上できる。According to the present invention, the converter is covered with the cap formed of a material having elasticity and airtightness, so that the cap adheres to the circuit board on which the converter is provided without applying excessive force. In addition, the converter can be covered without affecting the operation of the circuit board. And since the inside of the cap and the outside of the storage case were communicated via the vent and the hose, the converter would be covered by a small space in the cap, compared to the case where the converter was covered by the whole storage case as before. Even if the air expands and contracts due to temperature changes, the amount of inflow and outflow of air around the converter can be suppressed, and since the hose has a predetermined length, the intrusion of particles can be reliably suppressed. Even in situations where particles, corrosive gas and moisture are contained,
Transducers can be used without compromising functionality. Also,
Since there is no need to seal the small gap between the case body and the case lid, packing and sealing are not required, which can reduce man-hours and reduce the size, and also design the joint part between the case body and the case lid The degree of freedom can be improved.
【００２２】[0022]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１には、本発明に係る変換器５０
が適用された圧力センサ１０の断面図が示され、図２に
は、圧力センサ１０の分解断面図が示されている。圧力
センサ１０は、流体導入孔としての圧力導入孔４０を有
するケース本体２０およびケース本体２０に嵌合される
ケース蓋３０とを有する収納ケース６０と、この収納ケ
ース６０内部に設けられた変換器５０および信号処理回
路５７とを含んで構成されている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a converter 50 according to the invention.
Is shown in FIG. 2, and FIG. 2 is an exploded sectional view of the pressure sensor 10. The pressure sensor 10 includes a storage case 60 having a case body 20 having a pressure introduction hole 40 as a fluid introduction hole and a case lid 30 fitted to the case body 20, and a converter provided inside the storage case 60. 50 and a signal processing circuit 57.
【００２３】図３には、ケース本体２０の平面図が示さ
れている。ケース本体２０は、平面略四角形状の底面部
２１と、この底面部２１の略中央に設けられた圧力導入
部２２（図１、図２参照）と、この圧力導入部２２を囲
むように設けられた４つの爪部２８と、この爪部２８近
傍に設けられ収納ケース６０内部と外部とを連通する通
気口４３（図１、図２中破線で示す）と、爪部２８をほ
ぼ囲むように立設された立上り部２３と、その１側面か
ら突出して設けられ圧力導入部２２に連通される継手部
４１とを備えている。また、立上り部２３の外周側に
は、後述するケース蓋３０の爪部３８が係止される被係
止部２９が設けられている。FIG. 3 is a plan view of the case main body 20. The case body 20 is provided with a bottom surface portion 21 having a substantially quadrangular planar shape, a pressure introduction portion 22 (see FIGS. 1 and 2) provided substantially at the center of the bottom surface portion 21, and provided so as to surround the pressure introduction portion 22. The four claw portions 28 provided, the ventilation holes 43 (shown by broken lines in FIGS. 1 and 2) provided near the claw portions 28 and communicating between the inside and the outside of the storage case 60, and substantially surround the claw portions 28. And a joint portion 41 protruding from one side surface thereof and communicating with the pressure introducing portion 22. Further, on the outer peripheral side of the rising portion 23, a locked portion 29 to which a claw portion 38 of the case lid 30 described later is locked is provided.
【００２４】図１および図２に戻って、圧力導入部２２
は、底面部２１の略中央に設けられた座堀部２４と、こ
の座堀部２４を囲むように配置されたシリコーンゴム等
の柔軟性素材からなるパッキン２５と、このパッキン２
５を介して座堀部２４を塞ぐ基板２７とで構成されてい
る。基板２７は、爪部２８によって座堀部２４を塞ぐよ
うに固定され、座堀部２４と変換器５０とを連通する連
通孔２６を備えている継手部４１は、ホース等が接続可
能とされ、その先端にケース本体２０の座堀部２４と連
通される圧力導入孔４０を備えている。Returning to FIG. 1 and FIG.
A seating portion 24 provided substantially at the center of the bottom portion 21; a packing 25 made of a flexible material such as silicone rubber, which is arranged so as to surround the seating portion 24;
5 and a substrate 27 that blocks the seat moat 24. The board 27 is fixed so as to close the seating portion 24 by the claw portion 28, and the joint portion 41 provided with the communication hole 26 for communicating the seating portion 24 and the converter 50 can be connected to a hose or the like. At the tip, a pressure introducing hole 40 is provided, which communicates with the seating portion 24 of the case body 20.
【００２５】変換器５０および信号処理回路５７は、従
来例に係る圧力センサ１１０に用いられるものと同様な
センサであって、基板２７の上に設けられている。ま
た、ケース本体２０の側面には、信号処理回路５７に接
続されたコネクタ５８（図３参照）が設けられ、このコ
ネクタ５８を介して、信号処理回路５７で処理された電
気信号が外部に出力されるようになっている。The converter 50 and the signal processing circuit 57 are sensors similar to those used for the conventional pressure sensor 110, and are provided on the substrate 27. A connector 58 (see FIG. 3) connected to the signal processing circuit 57 is provided on a side surface of the case main body 20. Through this connector 58, an electric signal processed by the signal processing circuit 57 is output to the outside. It is supposed to be.
【００２６】図４には、ケース蓋３０の平面見上げ図が
示されている。ケース蓋３０は、略四角形板状のケース
蓋本体３１と、このケース蓋本体３１の外周のほぼ全周
から立ち上がった立上り部３２と、ケース蓋本体３１の
４辺のうち相対向する２辺側でかつ立上り部３２の内側
に立設された押圧部３４と、ケース蓋本体３１の４辺の
うち押圧部３４を除く１辺寄りに設けられて変換器５０
を覆う保護部３３とを備えている。立上り部３２の一部
には、ケース本体２０の被係止部２９に係止する爪部３
８が設けられている。また、押圧部３４は、図１に示す
ように、ケース蓋３０をケース本体２０に嵌合した際
に、爪部２８と立上り部２３との間に差し込まれ、爪部
２８を基板２７側に向けて押圧することによって、基板
２７が座堀部２４から脱落しないようになっている。FIG. 4 is a plan view of the case lid 30. The case cover 30 includes a substantially rectangular plate-shaped case cover main body 31, a rising portion 32 rising from almost the entire outer periphery of the case cover main body 31, and two opposing sides of the four sides of the case cover main body 31. And a pressing portion 34 erected inside the rising portion 32 and a converter 50 provided near one side of the four sides of the case lid body 31 excluding the pressing portion 34.
And a protection unit 33 that covers the A claw portion 3 that is locked to the locked portion 29 of the case body 20 is provided on a part of the rising portion 32.
8 are provided. The pressing portion 34 is inserted between the claw portion 28 and the rising portion 23 when the case lid 30 is fitted to the case main body 20 as shown in FIG. The substrate 27 is prevented from dropping from the seat moat part 24 by being pressed toward it.
【００２７】図５には、保護部３３の分解斜視図が示さ
れている。保護部３３は、ケース蓋３０をケース本体２
０に嵌合したときに変換器５０を覆うような位置にケー
ス蓋本体３１に設けられている。保護部３３は、ケース
蓋本体３１の内側に設けられた溝３５と、この溝３５を
跨ぎかつ溝３５の一端側を囲むようにケース蓋本体３１
に立設されたガイド部３７と、このガイド部３７に沿っ
て支持され溝３５に連通されるキャップ７０と、溝３５
とキャップ７０との間に介装されたフィルタ３６とを備
えている。FIG. 5 is an exploded perspective view of the protection section 33. The protection unit 33 is configured to connect the case lid 30 to the case body 2.
It is provided on the case lid main body 31 at a position such that it covers the converter 50 when it is fitted into the case. The protection portion 33 includes a groove 35 provided inside the case lid main body 31 and a case lid main body 31 that straddles the groove 35 and surrounds one end of the groove 35.
A cap 37 supported along the guide 37 and communicated with the groove 35;
And a filter 36 interposed between the filter 36 and the cap 70.
【００２８】キャップ７０は、弾性および気密性を有す
る合成ゴム等の柔軟性材料で形成され、長方形板状の底
面部７１と、この底面部７１の外周全周から立ち上がり
ガイド部３７に嵌合されて支持される被支持部７２と、
この被支持部７２の先端外周側全周に設けられ被支持部
７２より一回り大きく形成された当接部７３とを含んで
構成されている。なお、キャップ７０は、天然ゴム等そ
の他の材料で形成されてもよい。底面部７１の長手方向
一端側には、溝３５に連通される通気孔７４が設けられ
ている。キャップ７０は、その被支持部７２をケース蓋
本体３１のガイド部３７に嵌め込むことによって、被支
持部７２の外周面がガイド部３７の内周面に沿って支持
されるとともに、当接部７３の下端面がガイド部３７の
先端面に当接されるようになっている。フィルタ３６
は、フッ素樹脂から形成された多孔質構造を有し、フィ
ルタ３６を通過する空気等に含まれるパーティクルを除
去するようになっている。The cap 70 is made of a flexible material such as synthetic rubber having elasticity and airtightness, and is fitted to the rectangular plate-shaped bottom portion 71 and the rising guide portion 37 from the entire outer periphery of the bottom portion 71. Supported portion 72 supported by
The support portion 72 includes a contact portion 73 which is provided on the entire outer periphery of the distal end of the support portion 72 and is slightly larger than the support portion 72. Note that the cap 70 may be formed of other materials such as natural rubber. A vent hole 74 that communicates with the groove 35 is provided at one longitudinal end of the bottom surface portion 71. By fitting the supported portion 72 into the guide portion 37 of the case lid body 31, the cap 70 supports the outer peripheral surface of the supported portion 72 along the inner peripheral surface of the guide portion 37, and The lower end surface of 73 is in contact with the distal end surface of the guide portion 37. Filter 36
Has a porous structure formed of a fluororesin, and removes particles contained in air or the like passing through the filter 36.
【００２９】したがって、保護部３３において、キャッ
プ７０の内側は、溝３５、フィルタ３６、および通気孔
７４を通じて収納ケース６０の内部空間と連通されてい
る。Therefore, in the protection portion 33, the inside of the cap 70 is communicated with the internal space of the storage case 60 through the groove 35, the filter 36, and the ventilation hole 74.
【００３０】よって、ケース蓋３０でケース本体２０を
覆い、ケース蓋３０の爪部３８をケース本体２０の被係
止部２９に係止させることによって嵌合すると、キャッ
プ７０が変換器５０を覆うとともに、キャップ７０の当
接部７３の開口側端面がケース本体２０の基板２７に接
触し、基板２７に押圧されて変形しつつ密着する。この
時、当接部７３は、ガイド部３７に支持されることとな
り、基板２７によって押圧されても大きく変形しないよ
うになっている。なお、キャップ７０の当接部７３の基
板２７への密着度は、当接部７３のケース蓋本体３１か
らの高さ、硬さ、および当接部７３を支持するガイド部
３７のケース蓋本体３１からの高さによって決定される
が、これらは適宜決められてよい。Therefore, when the case main body 20 is covered with the case lid 30 and the claw portion 38 of the case lid 30 is engaged with the locked portion 29 of the case main body 20 by fitting, the cap 70 covers the converter 50. At the same time, the opening-side end face of the contact portion 73 of the cap 70 comes into contact with the substrate 27 of the case main body 20 and is pressed against the substrate 27 and adheres while being deformed. At this time, the contact portion 73 is supported by the guide portion 37, and does not significantly deform even when pressed by the substrate 27. The degree of adhesion of the contact portion 73 of the cap 70 to the substrate 27 depends on the height and hardness of the contact portion 73 from the case lid body 31 and the case lid body of the guide portion 37 that supports the contact portion 73. Although they are determined by the height from 31, they may be determined as appropriate.
【００３１】以上のような圧力センサ１０によれば、変
換器５０のダイアフラム５３の上ガラス５１側の空隙
は、上ガラス５１のスルーホール５５、通気孔７４およ
び溝３５、通気口４３を通じて、大気に開放される。ま
た、ダイアフラム５３の下ガラス５２側の空隙は、圧力
導入孔５６と連通孔２６とを通じて、圧力導入孔４０に
連通される。したがって、圧力導入孔４０に圧力を導入
すると、この圧力導入孔４０に連通されたダイアフラム
５３の下ガラス５２側の空隙と、大気に開放されたダイ
アフラム５３の上ガラス５１側の空隙との差圧が発生し
て、変換器５０の静電容量が変化し、この静電容量の変
化が信号処理用の回路で処理されてコネクタ５８を介し
て外部に出力されるようになっている。According to the pressure sensor 10 as described above, the gap of the transducer 53 on the upper glass 51 side of the diaphragm 53 passes through the through hole 55, the vent hole 74, the groove 35, and the vent hole 43 of the upper glass 51. Open to the public. The gap on the lower glass 52 side of the diaphragm 53 is communicated with the pressure introduction hole 40 through the pressure introduction hole 56 and the communication hole 26. Therefore, when pressure is introduced into the pressure introducing hole 40, the pressure difference between the gap on the lower glass 52 side of the diaphragm 53 communicated with the pressure introducing hole 40 and the gap on the upper glass 51 side of the diaphragm 53 opened to the atmosphere. Occurs, the capacitance of the converter 50 changes, and the change in the capacitance is processed by a signal processing circuit and output to the outside via the connector 58.
【００３２】したがって、本実施形態によれば以下の効
果がある。 （１）変換器５０を弾性および気密性を有する柔軟性材
料、例えば合成ゴムで形成されたキャップ７０で覆うこ
とにより、変換器５０が設けられた基板２７および変換
器５０に接続された信号処理回路５７に過大な力が加わ
ることなく、キャップ７０の当接部７３の開口側端面が
基板２７および信号処理回路５７に密着するから、信号
処理回路５７の動作に影響を与えることなく変換器５０
を覆うことができる。そして、通気孔７４、フィルタ３
６、溝３５、通気口４３を介してキャップ７０内部を外
部に連通することにより、変換器５０は従来のように収
納ケース６０全体で覆われる場合に比べ、キャップ７０
内部の小さな空間に覆われるので、温度変化によって空
気が膨張収縮しても、変換器５０周囲の空気の流入量、
流出量を抑制できるから、収納ケース６０外部からの腐
食性ガス、湿気の侵入を抑制できる。さらに、溝３５の
形状、大きさを調整することにより、大気中のパーティ
クルの侵入を抑制できるから、大気にパーティクル、腐
食性ガス、湿気が含まれている状況下でも、機能を低下
させることなく圧力センサ１０を使用できる。また、ケ
ース本体２０とケース蓋３０との僅かな隙間を密閉する
必要がないから、パッキンやシールが不要となるため、
工数を削減できるうえに小型化でき、また、ケース本体
２０とケース蓋３０との接合部分の設計自由度を向上で
きる。Therefore, according to the present embodiment, the following effects can be obtained. (1) By covering the converter 50 with a cap 70 formed of a flexible material having elasticity and airtightness, for example, synthetic rubber, the signal processing connected to the substrate 27 on which the converter 50 is provided and the converter 50 Since the opening-side end face of the contact portion 73 of the cap 70 is in close contact with the substrate 27 and the signal processing circuit 57 without applying an excessive force to the circuit 57, the converter 50 does not affect the operation of the signal processing circuit 57.
Can be covered. Then, the vent hole 74, the filter 3
6, the communication between the inside of the cap 70 and the outside through the groove 35 and the ventilation hole 43 allows the converter 50 to have the cap 70
Even when air expands and contracts due to temperature changes, the amount of air inflow around the converter 50,
Since the amount of outflow can be suppressed, intrusion of corrosive gas and moisture from the outside of the storage case 60 can be suppressed. Further, by adjusting the shape and size of the groove 35, the intrusion of particles in the atmosphere can be suppressed, so that the function is not deteriorated even in a situation where the atmosphere contains particles, corrosive gas, and moisture. A pressure sensor 10 can be used. In addition, since it is not necessary to seal a small gap between the case body 20 and the case lid 30, no packing or seal is required, so that
The number of steps can be reduced, the size can be reduced, and the degree of freedom in designing the joint between the case body 20 and the case lid 30 can be improved.
【００３３】（２）収納ケース６０内部の空気等がキャ
ップ７０内に流入する際に、フィルタ３６によってパー
ティクルを確実に除去できるから、大量のパーティクル
があるような状況下においても圧力センサ１０を使用で
きる。(2) When the air or the like inside the storage case 60 flows into the cap 70, the particles can be reliably removed by the filter 36. Therefore, the pressure sensor 10 can be used even in a situation where there is a large amount of particles. it can.
【００３４】（３）ケース蓋３０をケース本体２０に嵌
合させることにより、ケース蓋３０に支持されたキャッ
プ７０が自動的にケース本体２０内部の変換器５０を覆
うこととなるから、予め変換器５０を覆うようにキャッ
プ７０を固定した後にケース蓋３０をケース本体２０に
嵌合させた場合に比べ、高精度かつ迅速にキャップ７０
で変換器５０を覆うことができ、コストを削減できる。(3) By fitting the case cover 30 to the case body 20, the cap 70 supported by the case cover 30 automatically covers the converter 50 inside the case body 20. As compared with the case where the case lid 30 is fitted to the case body 20 after the cap 70 is fixed so as to cover the container
Can cover the converter 50, and the cost can be reduced.
【００３５】（４）キャップ７０をガイド部３７に沿っ
て支持したので、ケース蓋３０をケース本体２０に嵌合
させる際の振動等によるキャップ７０の当接部７３のず
れを最小限に抑えることができる。したがって、ケース
本体２０の変換器５０を完全に覆うことなくケース蓋３
０をケース本体２０に嵌合してしまうようなミスを防止
できるから、変換器５０をキャップ７０で確実に覆うこ
とができ、製造時の不良品発生率を低減できる。(4) Since the cap 70 is supported along the guide portion 37, displacement of the contact portion 73 of the cap 70 due to vibration or the like when fitting the case lid 30 to the case body 20 is minimized. Can be. Therefore, without completely covering the converter 50 of the case body 20, the case cover 3
Since it is possible to prevent an error such as fitting the “0” into the case body 20, the converter 50 can be reliably covered with the cap 70, and the occurrence rate of defective products during manufacturing can be reduced.
【００３６】（５）フィルタ３６をケース蓋本体３１と
キャップ７０の底面部７１との間に介装したので、接着
剤等を用いることなく容易にケース蓋３０に取付けるこ
とができるから、製造効率を向上できる。(5) Since the filter 36 is interposed between the case cover main body 31 and the bottom surface 71 of the cap 70, the filter 36 can be easily attached to the case cover 30 without using an adhesive or the like. Can be improved.
【００３７】（６）フィルタ３６を耐熱性、耐薬品性、
耐候性に優れたフッ素樹脂から形成した多孔質構造とし
たので、フィルタ３６を交換することなく長期に亘って
圧力センサ１０を使用することができる。(6) The filter 36 has heat resistance, chemical resistance,
The pressure sensor 10 can be used for a long period of time without replacing the filter 36 because it has a porous structure formed of a fluororesin having excellent weather resistance.
【００３８】なお、本発明は前記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変
形、改良等は本発明に含まれるものである。例えば、図
１中二点鎖線で示すように、収納ケース６０の内外を連
通する継手３９をケース蓋本体３１に設け、この継手３
９に先端が外部に開放されたホースを装着するととも
に、継手３９とキャップ７０内とを直接連通させてもよ
い。このようにすれば、変換器５０を弾性および気密性
を有する材料で形成したキャップ７０で覆ったので、信
号処理回路５７の動作に影響を与えることなく変換器５
０を覆うことができる。そして、継手３９およびホース
を介してキャップ７０内と収納ケース６０外部とを連通
したので、変換器５０は従来のように収納ケース６０全
体で覆われる場合に比べ、キャップ７０内部の小さな空
間に覆われるから、温度変化によって空気が膨張収縮し
ても、変換器５０周囲への空気の流入量、流出量を抑制
できるうえに、ホースが所定長さを有することによって
パーティクルの侵入を確実に抑制できるから、大気にパ
ーティクル、腐食性ガス、湿気が含まれている状況下で
も、機能を低下させることなく圧力センサ１０を使用で
きる。また、ケース本体２０とケース蓋３０との僅かな
隙間を密閉する必要がないから、パッキンやシールが不
要となるため、工数を削減できるうえに小型化でき、ま
た、ケース本体２０とケース蓋３０との接合部分の設計
自由度を向上できる。It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, but includes modifications and improvements as long as the object of the present invention can be achieved. For example, as shown by a two-dot chain line in FIG. 1, a joint 39 communicating between the inside and outside of the storage case 60 is provided on the case lid main body 31, and this joint 3
A hose having a tip open to the outside may be attached to 9, and the joint 39 and the inside of the cap 70 may be directly connected. With this configuration, the converter 50 is covered with the cap 70 formed of a material having elasticity and airtightness, so that the operation of the signal processing circuit 57 is not affected.
0 can be covered. Since the inside of the cap 70 and the outside of the storage case 60 are communicated via the joint 39 and the hose, the converter 50 is covered in a small space inside the cap 70 as compared with the case where the converter 50 is entirely covered as in the related art. Therefore, even if the air expands and contracts due to a temperature change, the inflow and outflow of the air around the converter 50 can be suppressed, and the intrusion of particles can be reliably suppressed by the hose having a predetermined length. Therefore, the pressure sensor 10 can be used without deteriorating its function even in a situation where the atmosphere contains particles, corrosive gas, and moisture. In addition, since it is not necessary to seal a small gap between the case body 20 and the case lid 30, packing and sealing are not required, so that the number of steps can be reduced and the size can be reduced. The degree of freedom of design of the joint part with the metal can be improved.
【００３９】また、本実施形態では、キャップ７０で変
換器５０のみを覆ったが、これに限らず、キャップ７０
で変換器５０と共に信号処理回路５７も覆うようにして
もよい。このようにすれば、信号処理回路５７について
も、外部からのパーティクル、腐食性ガス、湿気の侵入
を抑制できるから、信号処理回路５７の機能を低下させ
るようなパーティクル、腐食性ガス、湿気が含まれてい
る状況下でも、機能を低下させることなく変換器を使用
できる。In the present embodiment, only the converter 50 is covered by the cap 70, but the invention is not limited to this.
Thus, the signal processing circuit 57 may be covered together with the converter 50. In this way, the signal processing circuit 57 can also suppress the intrusion of particles, corrosive gas, and moisture from the outside, so that particles, corrosive gas, and moisture that deteriorate the function of the signal processing circuit 57 are included. The converter can be used without deteriorating the function even in the situation where it is used.
【００４０】また、本実施形態では、ダイアフラム５３
と固定電極５４の静電容量の変化を信号処理用回路で処
理することによって圧力センサとして用いたが、これに
限らず、信号処理用回路の設計を変更することによっ
て、温度、加速度等の一の状態量を電気信号等の他の状
態量に変換する温度センサ、加速度センサ等として用い
てもよい。また、本実施形態では、圧力センサ１０を静
電容量型としたが、これに限らず、ブリッジ型回路を用
いた歪みゲージ型等でもよい。In the present embodiment, the diaphragm 53
The change in the capacitance of the fixed electrode 54 is processed by a signal processing circuit to be used as a pressure sensor. However, the present invention is not limited to this. It may be used as a temperature sensor, an acceleration sensor, or the like that converts the state quantity of the above into another state quantity such as an electric signal. Further, in the present embodiment, the pressure sensor 10 is of the capacitance type, but is not limited thereto, and may be of a strain gauge type using a bridge type circuit.
【００４１】[0041]
【発明の効果】本発明の変換器のケース構造によれば、
次のような効果が得られる。変換器を弾性および気密性
を有する材料で形成したキャップで覆ったので、変換器
が設けられた回路基板等に過大な力を加えることなくキ
ャップが密着するから、回路基板の動作に影響を与える
ことなく変換器を覆うことができる。そして、通気口を
介してキャップ内と外部とを連通したので、変換器は、
従来のように収納ケース全体で覆われる場合に比べ、キ
ャップ内の小さな空間で覆われることとなり、温度変化
によって空気が膨張収縮しても、変換器周囲への空気の
流入量、流出量を抑制できるから、外部からの腐食性ガ
ス、湿気の侵入を抑制できる。さらに、収納ケースの内
部空間とキャップ内との連通部分の形状、大きさを調整
することにより、大気中のパーティクルの侵入を抑制で
きるから、大気にパーティクル、腐食性ガス、湿気が含
まれている状況下でも、機能を低下させることなく変換
器を使用できる。また、ケース本体とケース蓋との僅か
な隙間を密閉する必要がないから、パッキンやシールが
不要となるため、工数を削減できるうえに小型化でき、
また、ケース本体とケース蓋との接合部分の設計自由度
を向上できる。According to the converter case structure of the present invention,
The following effects can be obtained. Since the transducer is covered with a cap formed of a material having elasticity and airtightness, the cap adheres to the circuit board on which the transducer is provided without applying excessive force, thereby affecting the operation of the circuit board. The converter can be covered without the need. And since the inside and outside of the cap were communicated through the vent, the converter
Compared to the conventional case where the entire storage case is covered, it is covered by the small space inside the cap, and even if the air expands and contracts due to temperature changes, the amount of air inflow and outflow around the converter is suppressed. As a result, the invasion of corrosive gas and moisture from the outside can be suppressed. Further, by adjusting the shape and size of the communicating portion between the internal space of the storage case and the inside of the cap, the intrusion of particles in the atmosphere can be suppressed, so that the atmosphere contains particles, corrosive gas, and moisture. The converter can be used even under circumstances without any loss of function. In addition, since it is not necessary to seal a small gap between the case body and the case lid, packing and sealing are not required, which can reduce man-hours and reduce the size,
In addition, the degree of freedom in designing the joint between the case body and the case lid can be improved.
【図１】本発明の実施形態に係る変換器が適用された圧
力センサを示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a pressure sensor to which a converter according to an embodiment of the present invention is applied.
【図２】前記実施形態に係る圧力センサの分解した状態
の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the pressure sensor according to the embodiment in an exploded state.
【図３】前記実施形態に係るケース本体の平面図であ
る。FIG. 3 is a plan view of a case body according to the embodiment.
【図４】前記実施形態に係るケース蓋の平面見上げ図で
ある。FIG. 4 is a plan view of the case lid according to the embodiment.
【図５】前記実施形態に係る変換器を覆う部分の分解斜
視図である。FIG. 5 is an exploded perspective view of a portion covering the converter according to the embodiment.
【図６】従来例に係る圧力センサを示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a pressure sensor according to a conventional example.
１０ 圧力センサ ２０ ケース本体 ３０ ケース蓋 ３１ ケース蓋本体 ３６ フィルタ ３７ ガイド部 ４０ 圧力導入孔 ４３ 通気口 ５０ 変換器 ５７ 信号処理回路 ７０ キャップ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Pressure sensor 20 Case main body 30 Case lid 31 Case lid main body 36 Filter 37 Guide part 40 Pressure introduction hole 43 Vent 50 Converter 57 Signal processing circuit 70 Cap
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横山 誠一 東京都大田区東馬込１−30−４ 長野計器 株式会社内 Ｆターム(参考） 2F055 AA40 BB20 CC02 DD20 EE25 FF43 GG25 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Seiichi Yokoyama 1-30-4 Higashimagome, Ota-ku, Tokyo Nagano Keiki Co., Ltd. F-term (reference) 2F055 AA40 BB20 CC02 DD20 EE25 FF43 GG25
Claims (8)
のケース本体に取付けられるケース蓋を備えた収納ケー
スと、この収納ケース内部に取り付けられ前記流体導入
孔に導入された流体の状態量を他の状態量に変換する変
換器とを備えた変換器のケース構造において、 前記収納ケースに設けられ内外を連通する通気口と、前
記収納ケース内部に設けられ前記収納ケースの内部空間
に連通されるとともに前記変換器を覆うキャップとを備
え、 このキャップは、弾性および気密性を有する材料で形成
されていることを特徴とする変換器のケース構造。A storage case having a case main body having a fluid introduction hole and a case lid attached to the case main body, and a state quantity of a fluid attached to the inside of the storage case and introduced into the fluid introduction hole, is stored in another storage case. In a case structure of a converter comprising a converter for converting into a state quantity, a vent provided in the storage case and communicating between inside and outside, and connected to an internal space of the storage case provided inside the storage case. A cap for covering the converter, wherein the cap is formed of a material having elasticity and airtightness.
おいて、 前記収納ケース内部には、変換器から出力された信号を
処理する信号処理回路が設けられ、 前記キャップは、前記信号処理回路を覆うことを特徴と
する変換器のケース構造。2. The converter case structure according to claim 1, wherein a signal processing circuit for processing a signal output from the converter is provided inside the storage case, and the cap is the signal processing circuit. A case structure of the converter, which covers the case.
ス構造において、 前記キャップは、フィルタを介して前記収納ケースの内
部空間に連通されていることを特徴とする変換器のケー
ス構造。3. The converter case structure according to claim 1, wherein the cap is connected to an internal space of the storage case via a filter.
器のケース構造において、 前記通気口は、前記ケース蓋に設けられ、 前記キャップは、前記ケース蓋を前記ケース本体に取付
けたときに前記変換器を覆うような位置で、前記ケース
蓋に支持されていることを特徴とする変換器のケース構
造。4. The converter case structure according to claim 1, wherein the vent is provided in the case cover, and the cap is attached to the case body. 3. A converter case structure, wherein the converter case is supported by the case lid at a position covering the converter.
器のケース構造において、 前記キャップは、前記ケース蓋に立設されたガイド部に
沿って支持されていることを特徴とする変換器のケース
構造。5. The conversion device according to claim 1, wherein the cap is supported along a guide portion erected on the case lid. Bowl case structure.
器のケース構造において、 前記フィルタは、前記ケース蓋と前記キャップとの間に
介装されていることを特徴とする変換器のケース構造。6. The converter case structure according to claim 1, wherein said filter is interposed between said case lid and said cap. Case structure.
器のケース構造において、 前記フィルタは、フッ素樹脂から形成された多孔質構造
を有していることを特徴とする変換器のケース構造。7. The converter case according to claim 1, wherein the filter has a porous structure formed of a fluororesin. Construction.
のケース本体に取付けられるケース蓋を備えた収納ケー
スと、この収納ケース内部に取り付けられ前記流体導入
孔に導入された流体の状態量を他の状態量に変換する変
換器とを備えた変換器のケース構造において、 前記収納ケースに設けられ内外を連通する通気口と、前
記収納ケース内部に設けられ前記通気口に連通されると
ともに前記変換器を覆うキャップとを備え、 このキャップは、弾性および気密性を有する材料で形成
され、 前記通気口には、前記収納ケース外部に連通するホース
が装着可能とされていることを特徴とする変換器のケー
ス構造。8. A case body having a fluid introduction hole and a storage case provided with a case lid attached to the case body, and a state quantity of the fluid attached to the inside of the storage case and introduced into the fluid introduction hole is changed by another. In a converter case structure provided with a converter for converting into a state quantity, a vent provided in the storage case and communicating between inside and outside, and the converter provided inside the storage case and communicated with the vent. And a cap which is formed of a material having elasticity and airtightness, and wherein a hose communicating with the outside of the storage case can be attached to the vent. Case structure.
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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