JP2002279711A - Electron ray information reproducing method and electron ray information reproducing medium - Google Patents
Electron ray information reproducing method and electron ray information reproducing mediumInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、高密度記録された
情報を電子線により読み出す電子線情報再生方法および
電子線情報再生媒体に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electron beam information reproducing method and an electron beam information reproducing medium for reading out information recorded at a high density with an electron beam.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、光記録媒体等の情報記録体への記
録密度を増加させ、記録容量に対するコスト、即ちコス
ト／記録容量を低下させる研究が進められている。とこ
ろでレーザー光により情報を記録再生する光記録媒体に
おいては、光照射によりアモルファス相−結晶相間の可
逆的な相変化が生じる材料を記録層とした書き換え型の
記録媒体が提案されている。この媒体は、記録・消去が
できるとともに、既に記録された情報を消去しながら新
たな情報を記録することができる特徴を持っている。一
般的には、記録層におけるアモルファス状態を記録状態
とし、結晶状態を消去状態としている。即ち、情報の記
録は、記録レベルのレーザービームを照射し融点以上に
加熱した後に急冷することでアモルファスマークを形成
し、一方消去は、消去レベルのレーザービームを照射し
結晶化温度まで上昇した後に徐冷することでマークを結
晶化することにより行なわれる。そして記録情報は、ア
モルファス−結晶間での反射率差や位相差による反射光
量の変化を検出し再生するものである。2. Description of the Related Art In recent years, studies have been made to increase the recording density on an information recording medium such as an optical recording medium and to reduce the cost for the recording capacity, that is, the cost / recording capacity. By the way, as an optical recording medium for recording and reproducing information by a laser beam, a rewritable recording medium using a material in which a reversible phase change between an amorphous phase and a crystalline phase is generated by light irradiation as a recording layer has been proposed. This medium has a feature that it can be recorded and erased, and can record new information while erasing already recorded information. Generally, an amorphous state in a recording layer is a recording state, and a crystalline state is an erasing state. That is, information recording is performed by irradiating a laser beam at a recording level and heating to a temperature equal to or higher than the melting point, and then rapidly cooling to form an amorphous mark. This is performed by crystallizing the mark by slow cooling. The recorded information is for reproducing by detecting a change in the amount of reflected light due to a reflectance difference or a phase difference between the amorphous and the crystal.
【０００３】このような光記録媒体において記録密度を
上げるには、マーク長、トラックピッチの縮小が必要に
なる。通常書換型もしくは追記型記録媒体では、記録・
再生を同一のレーザービームで行っている。レーザービ
ームの発光パルス長を短くすることによって、ビーム径
より小さいマーク長で記録することができる。しかし、
再生できるマーク長は、レーザー発光波長とレンズの
ＮＡ によって決まる。また、トラックピッチのスケー
リングもビーム径で決定される。これは、マーク長・ピ
ッチもしくはトラックピッチがビーム径以下になると相
互干渉が起こり、信号強度が減衰するためである。つま
り、記録・再生を同一レーザービームで行う場合には、
小さいマークが記録できても再生できず、再生限界が媒
体の記録密度を律速している。現在、光ディスクにおい
ては次世代 ＤＶＤ として短波長レーザーによる高密
度化が進行しているが、何れの世代においても記録密度
は再生の制限を受ける。To increase the recording density in such an optical recording medium, it is necessary to reduce the mark length and the track pitch. Normal rewritable or write-once recording media
Reproduction is performed with the same laser beam. By shortening the emission pulse length of the laser beam, recording can be performed with a mark length smaller than the beam diameter. But,
Reproducible mark length depends on laser emission wavelength and lens
Determined by NA. Also, the scaling of the track pitch is determined by the beam diameter. This is because when the mark length / pitch or the track pitch becomes smaller than the beam diameter, mutual interference occurs and the signal intensity is attenuated. In other words, when recording and reproducing are performed with the same laser beam,
Even if a small mark can be recorded, it cannot be reproduced, and the reproduction limit determines the recording density of the medium. At present, in optical disks, high-density lasers have been used as next-generation DVDs by using short-wavelength lasers.
【０００４】このようなことから、再生においても上記
問題点の改善が望まれているが、未だ満足しうる高記録
密度化の可能な情報再生媒体、及びその情報再生方法は
提案されていない。[0004] For these reasons, it is desired to improve the above-mentioned problems in reproduction, but an information reproducing medium capable of achieving a satisfactory high recording density and an information reproducing method have not yet been proposed.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、記録情報の
読み取り限界サイズを大幅に小さくすることが可能な情
報再生方法及び情報再生媒体を提供することを目的とす
る。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an information reproducing method and an information reproducing medium which can greatly reduce the read limit size of recorded information.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明等は、鋭意検討を
行なった結果、電子線を再生手段として利用することに
よって、上記課題を解決しうることを見い出し、本発明
を完成するに至った。即ち、本発明によれば、下記の電
子線情報再生方法が提供される。 （１）情報記録媒体を変質させることによって記録され
た情報を有する情報記録媒体に、電子線を照射すること
によって得られる該情報記録媒体内電流量の差を利用し
て、情報を読み出すことを特徴とする電子線情報再生方
法。 （２）レーザー光の照射によって記録された情報を有す
る情報記録媒体に、電子線を照射することによって得ら
れる該情報記録媒体内電流量の差を利用して、情報を読
み出すことを特徴とする電子線情報再生方法。 （３）結晶相−アモルファス相間の相変化を利用した相
変化型光記録方式で記録された情報を有する情報記録媒
体の２相間に、電子線を照射することによって得られる
該情報記録媒体内電流量の差を利用して、情報を読み出
すことを特徴とする電子線情報再生方法。 （４）電子線を照射することによって情報記録媒体内を
流れる電流量を二値化することによって情報を読み出す
ことを特徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載の電
子線情報再生方法。 （５）情報記録媒体を変質させることによって記録され
た情報を有する情報記録媒体に、電子線を照射すること
によって得られる電子量の差を利用して、情報を読み出
すことを特徴とする電子線情報再生方法。 （６）レーザー光の照射によって記録された情報を有す
る情報記録媒体に、電子線を照射することによって得ら
れる電子量の差を利用して、情報を読み出すことを特徴
とする電子線情報再生方法。 （７）結晶相−アモルファス相間の相変化を利用した相
変化型光記録方式で記録された情報を有する情報記録媒
体に、電子線を照射することによって得られる２相間で
の電子量の差を利用して、情報を読み出すことを特徴と
する電子線情報再生方法 （８）電子線を照射することによる、情報記録媒体から
の電子量を二値化することによって情報を読み出すこと
を特徴とする（５）〜（７）のいずれかに記載の電子線
情報再生方式。 （９）電子線を照射し、情報記録媒体上の記録斑点部の
中心位置およびエッジ位置を検出することによって情報
を再生することを特徴とする（１）〜（８）のいずれか
に記載の電子線情報再生方法。 （１０）情報記録媒体に存在する一定周期の凹凸形状を
検出し、トラッキング、アドレスおよび同期信号源とす
ることを特徴とする（１）〜（８）のいずれかに記載の
電子線情報再生方法。 （１１）電子線を偏向し、走査することによって情報を
再生することを特徴とする（１）〜（８）のいずれかに
記載の電子線情報再生方法。 （１２）情報記録媒体の移動または回転および電子線走
査を併用することによって情報を再生することを特徴と
する（１）〜（８）のいずれかに記載の電子線情報再生
方法。 （１３）電子線照射位置を記憶することを特徴とする
（１）〜（８）のいずれかに記載の電子線情報再生方
法。 （１４）照射する電子線量を一定にして行なうことを特
徴とする（１）〜（８）のいずれかに記載の電子線情報
再生方法。As a result of intensive studies, the present invention has found that the above-mentioned problems can be solved by using an electron beam as a reproducing means, and have completed the present invention. . That is, according to the present invention, the following electron beam information reproducing method is provided. (1) Reading information by utilizing the difference in the amount of current in the information recording medium obtained by irradiating the information recording medium having information recorded by altering the information recording medium with an electron beam. Characteristic electron beam information reproducing method. (2) Information is read out by utilizing a difference in the amount of current in the information recording medium obtained by irradiating an electron beam onto an information recording medium having information recorded by laser light irradiation. Electron beam information reproduction method. (3) A current in the information recording medium obtained by irradiating an electron beam between two phases of the information recording medium having information recorded by a phase change optical recording method using a phase change between a crystalline phase and an amorphous phase. An electron beam information reproducing method, wherein information is read out using a difference in amount. (4) Electron beam information reproduction according to any one of (1) to (3), wherein information is read out by binarizing the amount of current flowing in the information recording medium by irradiating the electron beam. Method. (5) An electron beam characterized in that information is read out by utilizing the difference in the amount of electrons obtained by irradiating an information recording medium having information recorded by altering the information recording medium with an electron beam. Information reproduction method. (6) An electron beam information reproducing method characterized in that information is read out by utilizing a difference in the amount of electrons obtained by irradiating an information recording medium having information recorded by laser beam irradiation with an electron beam. . (7) The difference in the amount of electrons between two phases obtained by irradiating an electron beam onto an information recording medium having information recorded by a phase change optical recording system utilizing a phase change between a crystalline phase and an amorphous phase is calculated. Electron beam information reproducing method characterized by reading out information by utilizing (8) Reading out information by binarizing the amount of electrons from an information recording medium by irradiating an electron beam (5) The electron beam information reproducing method according to any one of (7) to (7). (9) The method according to any one of (1) to (8), wherein information is reproduced by irradiating an electron beam and detecting a center position and an edge position of a recording spot on the information recording medium. Electron beam information reproduction method. (10) The method for reproducing electron beam information according to any one of (1) to (8), wherein the irregularity shape having a constant period existing on the information recording medium is detected and used as a tracking, address and synchronization signal source. . (11) The electron beam information reproducing method according to any one of (1) to (8), wherein information is reproduced by deflecting and scanning the electron beam. (12) The electron beam information reproducing method according to any one of (1) to (8), wherein information is reproduced by using both movement or rotation of the information recording medium and electron beam scanning. (13) The electron beam information reproducing method according to any one of (1) to (8), wherein the electron beam irradiation position is stored. (14) The method for reproducing electron beam information according to any one of (1) to (8), wherein the irradiation is performed with a constant electron dose.
【０００７】また、本発明によれば、下記の電子線情報
再生媒体が提供される。 （１５）少なくとも記録層、導電層、それらを支持する
基板を有する情報再生媒体であって、記録層内の記録部
と未記録部に電子線が照射された際、該情報再生媒体内
の電流量に差が生じることを特徴とする電子線情報再生
媒体。 （１６）記録層が結晶−アモルファスの相変化を起こす
ものからなることを特徴とする（１５）に記載の電子線
情報再生媒体。 （１７）導電性物質により媒体内が区切られていること
を特徴とする（１５）に記載の電子線情報再生媒体。 （１８）導電層が、一定周期の凹凸形状を有し、凹部と
凸部とで異なる厚さの導電層であることを特徴とする
（１５）に記載の電子線情報再生媒体。Further, according to the present invention, the following electron beam information reproducing medium is provided. (15) An information reproducing medium having at least a recording layer, a conductive layer, and a substrate supporting the same, wherein when a recorded portion and an unrecorded portion in the recording layer are irradiated with an electron beam, a current in the information reproducing medium is reduced. An electron beam information reproducing medium characterized by a difference in the amount. (16) The electron beam information reproducing medium according to (15), wherein the recording layer is made of one that causes a crystal-amorphous phase change. (17) The electron beam information reproducing medium according to (15), wherein the inside of the medium is separated by a conductive substance. (18) The electron beam information reproducing medium according to (15), wherein the conductive layer has a concavo-convex shape having a constant period and has a different thickness between the concave portion and the convex portion.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】以下、本発明をさらに詳細に説明
する。本発明は、“電子線はレーザービームよりも空間
分解能が格段に高く、従って電子線を再生手段に利用で
きれば、記録密度は大幅に上げることが可能になる”と
いう知見に基づいてなされたものである。先ず本発明の
電子線情報再生方法について説明する。情報再生媒体と
しては、例えば図１に示すように、記録層、導電層、そ
れらを支える支持基板からなる積層構造を有するもので
あって、部分的に加熱したり、またはレーザー光、電子
線、Ｘ線などを照射することにより記録層の一部分を変
質、具体的には穴を開けたり、平滑性をなくしたり、相
変化を起こさせたり、物理的、化学的に変化させること
によって記録マークを作り、情報を記録でき、そしてこ
の変質により記録部と未記録部との間に、電子線を照射
した際に流れる電流量に差を生じるものを用いる。そし
てこのような情報再生媒体に、例えばタングステン・ヘ
アピンやＬａＢ６結晶等から熱により、または金属に強
い電界を印加することで電界により放出された電子線
を、電子線源とその先に存在する陽極との間の電位差を
利用して加速させ、電磁レンズ、永久磁石または静電型
電子レンズにより集束させ、照射する機構を用い、その
ようにして発生した電子線照射すると、反射、透過、吸
収されるが、一部分は媒体内を電流として流れる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in more detail. The present invention has been made based on the finding that "electron beams have a much higher spatial resolution than laser beams, and therefore, if electron beams can be used for reproducing means, the recording density can be greatly increased". is there. First, the electron beam information reproducing method of the present invention will be described. As an information reproducing medium, for example, as shown in FIG. 1, a recording layer, a conductive layer, having a laminated structure consisting of a supporting substrate that supports them, partially heated or laser light, electron beam, A part of the recording layer is deteriorated by irradiating X-rays or the like. Specifically, a recording mark is formed by making a hole, losing smoothness, causing a phase change, or changing physically or chemically. It is used that can record and record information, and causes a difference in the amount of current flowing when an electron beam is irradiated between a recorded portion and an unrecorded portion due to the alteration. In such an information reproducing medium, an electron beam emitted from a tungsten hairpin, LaB 6 crystal, or the like by heat or by applying a strong electric field to a metal is present at the electron beam source and beyond. A mechanism that accelerates by utilizing the potential difference between the anode and the electron beam, focuses it by an electromagnetic lens, a permanent magnet or an electrostatic electron lens, and irradiates it, irradiates the electron beam generated in such a way, reflection, transmission, absorption However, a part flows as electric current in the medium.
【０００９】ここで、電流値（量）の大小は情報再生媒
体物質の種類や読み取り用電子線を加速する電圧の値に
より異なるが、例えば図２のように、記録部と未記録部
において電流値の違いが読み取れる。この電流量の差
を、流れる電流量を検知する機構を用いて検出すること
により記録部と未記録部を判別することによって情報を
再生することができる。Here, the magnitude of the current value (amount) differs depending on the type of the information reproducing medium material and the value of the voltage for accelerating the reading electron beam. For example, as shown in FIG. You can read the difference between the values. By detecting the difference in the amount of current using a mechanism for detecting the amount of flowing current, information can be reproduced by discriminating between a recorded portion and an unrecorded portion.
【００１０】電流量は、例えば円盤形の情報再生媒体の
場合、媒体保持部が電極としての機構も併せ持ち、そ
こ、またはそこに接続されている回転用モータの軸等か
ら流れる電流値を電流計により検知する。電流計と軸ま
たは保持部とはブラシ形状等の接続部により接続されて
いて、媒体回転時にも電流値を測定できるようにしてお
く。また、カード型の情報再生媒体の場合、カード保持
部自体が電極として働き、それを電流計に接続し、同様
に電流を検知する（図３）。For example, in the case of a disc-shaped information reproducing medium, the medium holding portion also has a mechanism as an electrode, and the amount of current is measured by a current value flowing therefrom or a shaft of a rotating motor connected thereto. Detected by The ammeter and the shaft or the holding unit are connected by a connecting unit such as a brush so that the current value can be measured even when the medium is rotating. In the case of a card-type information reproducing medium, the card holder itself functions as an electrode, which is connected to an ammeter, and similarly detects a current (FIG. 3).
【００１１】また、本発明においては、情報記録媒体と
してレーザー光の照射による情報の記録が可能な情報記
録媒体を用いた場合も、上記と同様の原理により記録部
と未記録部における電流値（量）の違いを読み取ること
によって情報を再生することができる。In the present invention, when an information recording medium on which information can be recorded by irradiating a laser beam is used as the information recording medium, the current value in the recorded portion and the unrecorded portion can be calculated according to the same principle as described above. The information can be reproduced by reading the difference in the amount.
【００１２】このようなレーザー光の照射による情報の
記録が可能な情報記録媒体には、支持基板上に、導電
層、レーザー光反射層、記録層、必要に応じて記録層を
保護する保護層を有する積層構造を有するものを用い
る。レーザー光反射層と導電層は両方の性質を併せ持て
ば同じ層でも構わない（図４）。この情報記録媒体に
は、部分的にレーザー光を照射することにより記録層の
一部分を変質、つまり穴を開けたり、平滑性をなくした
り、相変化を起こさせたりと、記録媒体を物理的、化学
的に変化させることによって記録マークを作り、情報を
記録することができる。An information recording medium on which information can be recorded by irradiating a laser beam has a conductive layer, a laser beam reflecting layer, a recording layer, and a protective layer for protecting the recording layer if necessary. Is used. The laser light reflecting layer and the conductive layer may be the same layer as long as they have both properties (FIG. 4). In this information recording medium, a part of the recording layer is deteriorated by partially irradiating a laser beam, that is, a hole is formed, the smoothness is lost, and a phase change is caused. By making a chemical change, a recording mark can be created and information can be recorded.
【００１３】さらに、本発明においては、情報記録媒体
として相変化を利用した記録方式で記録が可能な情報記
録媒体を用いた場合も、前記と同様原理により記録部と
未記録部における電流値（量）の違いを読み取ることに
よって情報を再生することができる。Further, according to the present invention, even when an information recording medium which can be recorded by a recording method utilizing a phase change is used as an information recording medium, the current value (in a recorded portion and an unrecorded portion) in the same manner as described above is used. The information can be reproduced by reading the difference in the amount.
【００１４】ここで、相変化で記録する相変化記録方式
とは記録層に熱、レーザー光または電子線、Ｘ線を照射
し、この記録層の照射部位を記録材料の融解温度以上に
加熱し、ついで急冷することによりこの照射部位を結晶
状態から非結晶状態（アモルファス状態）へ変化させる
ことにより記録マークを作製する方式である。この方式
で情報記録媒体に記録した情報を上記した方法により再
生することができる。このような情報記録媒体の記録媒
体層を構成する記録材料としては、例えば、ｘ／ｙが１
〜４であるＳｂ（ｘ）−Ｔｅ（ｙ）を主成分とし、且つ
添加剤としてＢ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｇａ，Ｇｅ，Ａｇ，Ｉ
ｎ，Ｓｎ，Ｂａ，Ｌａ，Ａｕ，Ｂｉ，Ｇｄの群から選ば
れる少なくとも一種類の元素を含有したもの等が挙げら
れる。Here, the phase change recording method of recording by a phase change is to irradiate a recording layer with heat, laser light or electron beam or X-ray, and to heat the irradiated portion of the recording layer to a temperature higher than the melting temperature of the recording material. Then, a recording mark is formed by changing the irradiated portion from a crystalline state to a non-crystalline state (amorphous state) by rapidly cooling. Information recorded on an information recording medium in this manner can be reproduced by the above-described method. As a recording material constituting a recording medium layer of such an information recording medium, for example, x / y is 1
-4 (Sb (x) -Te (y)) and B, Al, Si, Ga, Ge, Ag, I as additives.
Examples include those containing at least one element selected from the group consisting of n, Sn, Ba, La, Au, Bi, and Gd.
【００１５】さらにまた、本発明は、前記各電子線情報
再生方法において、記録部と未記録部の電流量の差を利
用する代りに、電子量を検知する機構を用い、情報再生
媒体の記録部から得られる電子量と、未記録部から得ら
れる電子量の差を利用して、同様に情報を再生すること
ができる。上記電子量を検知する機構としては、シンチ
レーターと光電子増倍管を組み合わせたもの等が挙げら
れる。Still further, according to the present invention, in each of the electron beam information reproducing methods, a mechanism for detecting an amount of electrons is used instead of utilizing a difference in the amount of current between a recorded portion and an unrecorded portion, and the information is recorded on an information reproducing medium. Information can be similarly reproduced using the difference between the amount of electrons obtained from the unrecorded part and the amount of electrons obtained from the unrecorded part. The mechanism for detecting the amount of electrons includes a combination of a scintillator and a photomultiplier tube.
【００１６】このように、本発明の電子線情報再生方法
においては、情報の記録された情報再生媒体に電子線を
照射することによって、記録部と未記録部の電流量の
差、或いは電子量の差を利用して情報を読み出すことに
より、今まで、高密度化を妨げる原因となっていた記録
マーク読み取り限界サイズを、空間分解能の高い電子線
を用いて再生することにより、大幅に小さくすることが
可能になり、高密度化が実現できる。また、電流値、或
いは電子量で再生することにより、より簡便で、より小
規模な装置で再生が可能になる。As described above, in the electron beam information reproducing method of the present invention, by irradiating an information reproducing medium on which information is recorded with an electron beam, the difference in current amount between a recorded portion and an unrecorded portion, or the amount of electron By reading information using the difference between the two, the limit size of recording mark reading, which has hindered high-density storage, is greatly reduced by using an electron beam with high spatial resolution. And high density can be realized. In addition, by performing reproduction with a current value or an amount of electrons, reproduction can be performed with a simpler and smaller device.
【００１７】また、本発明の電子線情報再生方法におい
て、電子線を記録マーク部に照射することで得られる媒
体内電流量と、未記録部に照射することで得られる媒体
内電流量の間のある値を境に、或いは電子線を記録マー
ク部に照射することで得られる電子量と、未記録部に照
射することで得られる電子量の間のある値を境に、いず
れの場合も、多い方を１、少ない方を０として認識する
ことによりアナログ信号を２値化し、それをＥＦＭ等の
従来のデジタル変調方式を用いて処理することによっ
て、情報を再生することもできる。このように２値化す
ることで情報処理が単純化される。Further, in the electron beam information reproducing method according to the present invention, the amount of current in the medium obtained by irradiating the recording mark portion with the electron beam and the amount of current in the medium obtained by irradiating the unrecorded portion are different. In any case, at a certain value, or at a certain value between the amount of electrons obtained by irradiating the electron beam to the recording mark portion and the amount of electrons obtained by irradiating the unrecorded portion, The information can also be reproduced by recognizing the analog signal as a binary by recognizing the larger one as 1 and the smaller one as 0, and processing it using a conventional digital modulation method such as EFM. Such binarization simplifies information processing.
【００１８】また、本発明の電子線情報再生方法におい
て、情報再生媒体上には前記の方式で記録マークを記録
しておき、その記録マーク部に電子線を照射した時に検
出された電流量（又は電子量）と、未記録部に電子線を
照射した時に検出される電流量（又は電子量）の差か
ら、マーク位置、マークのエッジ位置等を認識し、情報
として読み出すこともできる。Further, in the electron beam information reproducing method of the present invention, a recording mark is recorded on the information reproducing medium by the above-mentioned method, and a current amount detected when the recording mark portion is irradiated with the electron beam ( Alternatively, the mark position, the edge position of the mark, and the like can be recognized from the difference between the current amount (or the electron amount) detected when the unrecorded portion is irradiated with the electron beam, and the information can be read as information.
【００１９】また、本発明の電子線情報再生方法におい
て、情報再生媒体として、情報再生媒体の表面にプリグ
ルーブと呼ばれるトラック案内溝やプリピットと呼ばれ
る凹凸の穴等が周期的に存在するものを使用することが
できる（図５）。通常、光情報記録媒体等ではこのよう
な凹凸は記録の際、レーザー光を照射して凹凸のエッジ
部分やその他の部分等から得られる光量の変化を検出
し、トラッキング、アドレス、同期信号源とする際に使
用される。本発明において電子線で再生する際も同じ原
理を適応し、トラッキング、アドレス、同期信号源とす
ることができる。グルーブ深さは１０ｎｍ〜５００ｎｍ
が好ましく、より好ましくは３０ｎｍ〜５０ｎｍであ
る。またグルーブピッチは０．１μｍ〜１０μｍが好ま
しく、より好ましくは０．３μｍ〜１μｍである。この
ように、トラッキング、アドレス、同期信号がとれるこ
とにより、情報再生信号をスムーズに読み取ることが可
能になる。In the electron beam information reproducing method of the present invention, an information reproducing medium is used which has a track guide groove called a pre-groove or an uneven hole called a pre-pit periodically on the surface of the information reproducing medium. (Figure 5). Normally, in an optical information recording medium or the like, such irregularities are irradiated with a laser beam during recording to detect a change in the amount of light obtained from an edge portion or other portion of the irregularities, and are used as a tracking, address, and synchronization signal source. Used when doing. In the present invention, the same principle is applied when reproducing with an electron beam, and a tracking, address, and synchronization signal source can be used. Groove depth is 10 nm to 500 nm
And more preferably 30 nm to 50 nm. The groove pitch is preferably from 0.1 μm to 10 μm, and more preferably from 0.3 μm to 1 μm. Thus, the tracking, address, and synchronization signals can be obtained, so that the information reproduction signal can be read smoothly.
【００２０】また、本発明の電子線情報再生方法におい
て、電子線を偏向して走査することもできる。電子線の
偏向は電磁的に行い、情報再生媒体上を２次元的に走査
する。走査方向はＸ−Ｙ方向でも、情報再生媒体の中心
に向かって、または中心から離れる方向に円を描くよう
な形で走査してもよい。In the electron beam information reproducing method of the present invention, the electron beam can be scanned while being deflected. Electron beam deflection is performed electromagnetically to scan the information reproducing medium two-dimensionally. The scanning direction may be the X-Y direction, or the scanning may be performed in such a manner as to draw a circle toward or away from the center of the information reproducing medium.
【００２１】また、本発明の電子線情報再生方法におい
ては、情報再生を電子線の走査のみにより行うのではな
く、同時に情報再生媒体を移動または回転させて行うこ
ともできる。例えば、電子線は情報記録媒体の中心に向
かって偏向され、情報再生媒体は一定回転数で、または
読み取り線速を一定にして回転する方法がある。このよ
うに電子線の偏向、或いはこれと情報記録媒体の移動・
回転を組み合わせることにより、情報再生信号をスムー
ズに読み取ることが可能になる。Further, in the electron beam information reproducing method of the present invention, the information can be reproduced not only by scanning the electron beam but also by moving or rotating the information reproducing medium at the same time. For example, there is a method in which an electron beam is deflected toward the center of an information recording medium, and the information reproducing medium rotates at a constant rotation speed or with a constant reading linear velocity. In this way, the deflection of the electron beam or the movement of the
By combining the rotation, the information reproduction signal can be read smoothly.
【００２２】また、本発明の電子線情報再生方法におい
ては、情報再生媒体上にあらかじめ、書き込み始めの位
置を記憶しておき、それを再生することによって位置情
報を得、迅速に特定の情報を再生することもできる。こ
の位置の記憶は、情報再生媒体の特定の場所に、前記し
たプリピット方式や、その他の記録方式で書き込んでお
く。このように、情報の書き込み位置が簡単に認識でき
るようになり、情報再生信号をスムーズに読み取ること
が可能になる。In the electron beam information reproducing method of the present invention, the position at which writing is started is stored in advance on the information reproducing medium, the position information is obtained by reproducing the position, and the specific information is quickly transmitted. You can also play it. The storage of this position is written in a specific place of the information reproducing medium by the above-mentioned pre-pit method or other recording method. As described above, the information writing position can be easily recognized, and the information reproduction signal can be smoothly read.
【００２３】さらに、本発明の電子線情報再生方法にお
いては、照射する電子線量を一定に保持して行うことも
できる。このように電子線を一定に保持する方法として
は、電子線発生源の先に円筒状の制御電極を設置し、そ
の電極に電子線発生源より低電圧をかけ、この電圧を制
御することで発生電子線の制御電極通過量を一定に保つ
ことができる。この制御方法には、自己バイアス方式、
固定バイアス方式、それらを組み合わせた半固定バイア
ス方式があるが、特に半固定バイアス方式で制御するの
が安定性の面からも望ましい。このように、電子線を一
定に保つことにより、安定した再生信号を得ることが可
能になる。Further, in the electron beam information reproducing method of the present invention, the electron beam irradiation can be performed while keeping the irradiation electron beam constant. In order to keep the electron beam constant, a cylindrical control electrode is installed in front of the electron beam source, a lower voltage is applied to the electrode than the electron beam source, and this voltage is controlled. The amount of generated electron beam passing through the control electrode can be kept constant. This control method includes a self-biasing method,
There are a fixed bias system and a semi-fixed bias system in which these are combined. In particular, it is desirable to control with the semi-fixed bias system from the viewpoint of stability. As described above, by keeping the electron beam constant, a stable reproduction signal can be obtained.
【００２４】次に、本発明の電子線情報再生媒体につい
て説明する。本発明の電子線情報再生媒体は、少なくと
も記録層、導電層、それらを支持する基板を有するもの
であり、記録層内の記録部と未記録部に電子線を照射す
ると媒体内の記録部と未記録部に電流差を生じるもので
ある。Next, the electron beam information reproducing medium of the present invention will be described. The electron beam information reproducing medium of the present invention has at least a recording layer, a conductive layer, and a substrate that supports them, and when a recording portion and an unrecorded portion in the recording layer are irradiated with an electron beam, a recording portion in the medium is formed. This causes a current difference in the unrecorded portion.
【００２５】基板としては、金属、有機物どんな材質の
ものを使用しても構わないが、成形しやすさ、安価等の
面から、例えばポリカーボネート、アクリル樹脂等の有
機物が望ましい。形状は円盤状、カード状等が望ましい
が、多角形型でも楕円形でも構わない。大きさは取り扱
いの便利な直径または一辺が３０ｃｍ以下、好ましくは
ＣＤサイズの直径１２ｃｍ程度ものが良いが、それ以上
のものでも以下のものでも構わない。厚みは基板として
の平らさを出すため、０．５ｍｍ以上のもの、好ましく
は１．０ｍｍ以上のものが良い。The substrate may be made of any material such as a metal or an organic material. However, organic materials such as polycarbonate and acrylic resin are preferable from the viewpoint of ease of molding and low cost. The shape is preferably a disk shape, a card shape, or the like, but may be a polygonal shape or an elliptical shape. The size should be 30 cm or less in diameter or one side of convenient diameter, preferably about 12 cm in diameter of CD size, but may be larger or smaller. The thickness is preferably 0.5 mm or more, and more preferably 1.0 mm or more, in order to increase the flatness of the substrate.
【００２６】導電層としては、例えばＣｕ，Ａｇ，Ａ
ｕ，Ａｌ，Ｆｅ等の金属物質膜またはその合金膜や、カ
ーボン膜等があげられる。層の厚みは、厚くしすぎると
層の抵抗値が大きくなり、電流値測定の障害となり、ま
た、薄すぎると導通が取れなくなるため、１０ｎｍ〜１
０μｍが好ましく、より好ましくは１００ｎｍ〜１μｍ
である。As the conductive layer, for example, Cu, Ag, A
Examples thereof include a film of a metal material such as u, Al, and Fe or an alloy film thereof, and a carbon film. If the thickness of the layer is too large, the resistance value of the layer becomes large, which hinders the measurement of the current value.
0 μm is preferable, and more preferably 100 nm to 1 μm
It is.
【００２７】記録層としては、導電性を持つ膜にあらか
じめ孔をあけ、その部分に電流が流れなくしているも
の、具体的にはＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ａｌ，Ｆｅ等の金属
物質膜またはその合金膜に記録マークとして孔をあけて
いるものが挙げられる。その他には、加熱したり、レー
ザー光、電子線、Ｘ線等を照射することにより一部を変
質、具体的には孔をあけたり、平滑性をなくしたり、相
変化を起こさせたり、物理的、化学的に変化させること
によって、変質部分と未処理部分との間に電流の流れや
すさの差を作り出すことができ有機物、金属、半導体、
合金膜があげられる。具体的には、シアニン色素、フタ
ロシアニン錯塩等の有機物膜の一部を変質させて記録マ
ークを作ったもの、結晶−アモルファスの相変化を利用
して記録することのできる記録媒体等が挙げられる。As the recording layer, a layer in which a hole is formed in advance in a conductive film to prevent current from flowing therethrough, specifically, a metal material film of Cu, Ag, Au, Al, Fe, etc. One in which a hole is formed as a recording mark in the alloy film is given. In addition, by heating or irradiating laser light, electron beam, X-ray, etc., part of the material is altered, specifically, holes are formed, smoothness is lost, phase change is caused, And chemical changes can create a difference in the ease of current flow between the altered and untreated parts, organic matter, metals, semiconductors,
Alloy film. Specific examples include a recording medium in which a part of an organic material film such as a cyanine dye and a phthalocyanine complex salt is altered to form a recording mark, and a recording medium on which recording can be performed by utilizing a crystal-amorphous phase change.
【００２８】本発明の電子線情報再生媒体は、上記構成
を有することから、記録層の電流の流れやすさの差、つ
まり抵抗値の差により、電子線を照射した際の媒体内電
流値に差が生じ、これを再生信号として読み出せること
ができる。Since the electron beam information reproducing medium of the present invention has the above-described structure, the difference in the ease of current flow in the recording layer, that is, the difference in the resistance value, causes the current value in the medium when the electron beam is irradiated to change. A difference occurs, which can be read as a reproduction signal.
【００２９】また、本発明の電子線情報再生媒体の記録
層の材料としては、前記したように、ｘ／ｙが１〜４で
あるＳｂ（ｘ）−Ｔｅ（ｙ）を主成分とし、且つ添加剤
としてＢ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｇａ，Ｇｅ，Ａｇ，Ｉｎ，Ｓ
ｎ，Ｂａ，Ｌａ，Ａｕ，Ｂｉ，Ｇｄの群から選ばれる少
なくとも一種類の元素を含有したもの等が挙げられる。
この材料は熱、レーザー光、電子線、Ｘ線等を照射する
ことで、照射部位が材料の融点以上に加熱され、ついで
急冷することにより結晶状態から非結晶状態（アモルフ
ァス状態）へ変化させることにより記録マークを作製す
ることができる。この相変化により記録材料部の抵抗値
が変わり、電子線を照射した際に材料内を流れる電流値
に差が生じる。本発明の電子線情報再生媒体は、この差
を信号として読み出すことによって情報を再生すること
ができる。Further, as described above, the material of the recording layer of the electron beam information reproducing medium of the present invention contains Sb (x) -Te (y) having x / y of 1 to 4 as a main component, and B, Al, Si, Ga, Ge, Ag, In, S as additives
Examples include those containing at least one element selected from the group consisting of n, Ba, La, Au, Bi, and Gd.
By irradiating heat, laser light, electron beam, X-ray, etc. on this material, the irradiated part is heated above the melting point of the material and then rapidly cooled to change from a crystalline state to an amorphous state (amorphous state). Thus, a recording mark can be produced. Due to this phase change, the resistance value of the recording material portion changes, and a difference occurs in the current value flowing through the material when the electron beam is irradiated. The electron beam information reproducing medium of the present invention can reproduce information by reading the difference as a signal.
【００３０】さらに、本発明の電子線情報再生媒体は、
導電性物質により媒体内を区切った構成としてもよい。
上記導電性物質としては、Ｃｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ａｌ，Ｆ
ｅ等の金属またはその合金が挙げられる。例えば、図６
に示すようにこの導電性物質により媒体内を、放射状、
格子状、螺旋状、同心円状等に区切り、それぞれの箇所
にあたった電子線由来の電流が、すぐ導電物質に流れて
電極まで到達し、電流値を検知できるような機能を有す
る。Further, the electron beam information reproducing medium of the present invention comprises:
The inside of the medium may be divided by a conductive material.
Examples of the conductive substance include Cu, Ag, Au, Al, and F.
e or a metal thereof or an alloy thereof. For example, FIG.
As shown in the figure, the conductive material causes the inside of the medium to radiate,
It is divided into a lattice, a spiral, a concentric circle, and the like, and has a function of allowing a current derived from an electron beam hitting each location to immediately flow to a conductive material and reach an electrode, thereby detecting a current value.
【００３１】この導電性物質の製膜方法は、まず基板上
に導電層をスパッタ、蒸着等の方法で製膜し、その後、
区切りの導電性物質を製膜したい箇所以外をマスキング
し、この物質を製膜する。この導電層の厚みは１０ｎｍ
〜１０μｍが好ましく、より好ましくは１００ｎｍ〜１
μｍである。また、この導電性物質間の距離は０．１ｍ
ｍ〜１０ｃｍが好ましく、より好ましくは１ｍｍ〜３ｃ
ｍである。その後、マスキングをはずし、記録層を製膜
する。その他にも、基板上に導電層をスパッタ、または
蒸着などの方法で製膜し、同様に記録層も製膜してしま
う方法が挙げられる。その後、区切りの導電性物質を製
膜したい箇所に導電層まで届く孔を、メス、針先端部等
で削り取る形で、またはイオンビーム照射等で削る方法
であけ、その上に、それ以外をマスキングした状態で導
電性物質を製膜する方法もある（図７）。In this method of forming a conductive material, first, a conductive layer is formed on a substrate by a method such as sputtering or vapor deposition, and then,
The portion other than the portion where the conductive material is to be formed is masked, and this material is formed. The thickness of this conductive layer is 10 nm
10 μm to 10 μm, more preferably 100 nm to 1 μm.
μm. The distance between the conductive substances is 0.1 m.
m to 10 cm, preferably 1 mm to 3 c
m. After that, the masking is removed, and the recording layer is formed. In addition, there is a method in which a conductive layer is formed on a substrate by a method such as sputtering or vapor deposition, and a recording layer is similarly formed. After that, the hole that reaches the conductive layer at the place where the conductive material is to be formed is cut with a scalpel, the tip of a needle, etc., or by a method of cutting with an ion beam, etc., and the other parts are masked. There is also a method of forming a conductive material in a state in which the conductive material is formed (FIG. 7).
【００３２】さらにまた、本発明の電子線情報再生媒体
は、一定周期の凹凸形状を有し、凹部と凸部とで異なる
厚さの導電層を形成されたものでもよい。このような構
成とするには情報再生媒体の支持基板自体に、放射状、
格子状、螺旋状、同心円状等（図６）の凹部をあらかじ
め作っておき、その上から導電層をスパッタまたは蒸着
等で、溝の深さ以上に製膜する。その後、イオンビーム
照射等で表面を平らに削り取り、導電層の厚みを凹部と
凸部とで差をつける。その後、記録層、保護層等を必要
に応じて製膜する。導電層の厚さは凹部では１０ｎｍ〜
１０μｍが好ましく、より好ましくは１００ｎｍ〜１μ
ｍ、凸部では１０ｎｍ〜１０μｍが好ましく、より好ま
しくは１００ｎｍ〜１μｍである。この導電性物質間の
距離は０．１ｍｍ〜１０ｃｍが好ましく、より好ましく
は１ｍｍ〜３ｃｍである。Further, the electron beam information reproducing medium of the present invention may have an irregular shape with a constant period, and a conductive layer having a different thickness between the concave portion and the convex portion. In order to make such a configuration, the support substrate itself of the information reproducing medium is provided with a radial,
A concave portion having a lattice shape, a spiral shape, a concentric shape or the like (FIG. 6) is formed in advance, and a conductive layer is formed on the concave portion by sputtering or vapor deposition to a depth equal to or greater than the depth of the groove. Thereafter, the surface is flattened by ion beam irradiation or the like, and the thickness of the conductive layer is made different between the concave portions and the convex portions. Thereafter, a recording layer, a protective layer and the like are formed as needed. The thickness of the conductive layer is 10 nm or more in the concave portion.
10 μm is preferred, and more preferably 100 nm to 1 μm.
m, 10 nm to 10 μm is preferable for the convex portion, and 100 nm to 1 μm is more preferable. The distance between the conductive substances is preferably from 0.1 mm to 10 cm, more preferably from 1 mm to 3 cm.
【００３３】本発明の電子線情報再生媒体として、導電
性物質により媒体内を区切った構成のものや、凹凸が形
成され、該凹部と凸部で異なる厚さの導電層を有する構
成のものは、電流の流れるラインを確保することによ
り、電子線照射位置と電極位置との距離関係にあまり影
響されない電流値を得ることが可能になり、より正確な
信号を受けることが可能である。As the electron beam information reproducing medium of the present invention, those having a structure in which the inside of the medium is separated by a conductive substance and those having a conductive layer having different thicknesses in the concave and convex portions are formed. By securing a line through which current flows, it is possible to obtain a current value that is not so affected by the distance relationship between the electron beam irradiation position and the electrode position, and to receive a more accurate signal.
【００３４】以上は、本発明の電子線情報再生媒体につ
いて、電子線を照射し、得られる電流値の差を利用して
再生する場合の効果等を説明したが、電子量の差を利用
して再生する場合についても、同様である。In the above, the effect of reproducing the electron beam information reproducing medium of the present invention by irradiating the electron beam and utilizing the difference in the obtained current value has been described. The same applies to the case of playing back.
【００３５】[0035]
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説
明する。 実施例１ <電子線情報再生媒体の作成>図８に層構成を示す。基板
はポリカーボネートからなるものを用いた。図には明記
しないが基板表面にはプリグルーブが存在し、グルーブ
深さは４０ｎｍ、ピッチは０．７μｍ、基板厚は０．６
ｍｍ、基板径は１２０ｍｍであった。この基板上に導電
層としてＡｇを膜厚１２０ｎｍで形成した。導電層上に
第一誘電体層としてＺｎＳ・ＳｉＯ２を膜厚２０ｎｍで
形成した。次いで第一誘電体層上に記録層としてＡｇＩ
ｎＳｂＴｅを膜厚１５ｎｍで形成した。記録層上に第二
誘電体層であるＺｎＳ・ＳｉＯ２を膜厚２０ｎｍで形成
した。ここでＡｇ薄膜はＤＣスパッタ法で製膜し、その
他の薄膜はＲＦスパッタ法で製膜した。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be specifically described below based on embodiments. Example 1 <Preparation of Electron Beam Information Reproduction Medium> FIG. 8 shows a layer structure. A substrate made of polycarbonate was used. Although not shown in the figure, a pre-groove exists on the substrate surface, the groove depth is 40 nm, the pitch is 0.7 μm, and the substrate thickness is 0.6.
mm, and the substrate diameter was 120 mm. Ag was formed with a thickness of 120 nm as a conductive layer on this substrate. On the conductive layer, ZnS.SiO 2 was formed as a first dielectric layer with a thickness of 20 nm. Next, AgI was used as a recording layer on the first dielectric layer.
nSbTe was formed with a film thickness of 15 nm. On the recording layer, ZnS.SiO 2 as a second dielectric layer was formed with a thickness of 20 nm. Here, the Ag thin film was formed by the DC sputtering method, and the other thin films were formed by the RF sputtering method.
【００３６】実施例２ <電流量の差を利用する記録された情報の再生>図８に示
す層構成の情報再生媒体に対して、波長６３５ｎｍ，Ｎ
Ａ０．６の光学系を用いてマークを記録した。Ｄｕｔｙ
５０％の単周期マークを記録しており、条件によってデ
ィスクのタンジェンタル方向のマーク長を０．１〜０．
４μｍの範囲で変えた。記録に用いたレーザービームは
波長６３５ｎｍ，ＮＡ０．６であり、ビーム径は約０．
９μｍ（１／ｅ２）であった。図９に記録マークの電子
線再生結果を示す。（ａ）は電流値のプロファイルであ
り、ランドに沿った方向のプロファイルを示している。
アモルファスで高く、結晶部で低くなっていた。アモル
ファスの値から５０％低下した値におけるマーク長を
（ｂ）に示す。Embodiment 2 <Reproduction of Recorded Information Using Difference in Current Amount> An information reproducing medium having a layer structure shown in FIG.
A mark was recorded using an optical system of A0.6. Duty
A single-period mark of 50% is recorded, and the mark length in the tangential direction of the disc is set to 0.1 to 0.
It was changed in the range of 4 μm. The laser beam used for recording has a wavelength of 635 nm and an NA of 0.6, and the beam diameter is about 0.3 mm.
It was 9 μm (1 / e 2 ). FIG. 9 shows the result of electron beam reproduction of a recording mark. (A) is a profile of a current value, and shows a profile in a direction along a land.
It was amorphous and high, and low in the crystal part. The mark length at a value 50% lower than the amorphous value is shown in FIG.
【００３７】実施例３ <電子量の差を利用する記録された情報の再生>実施例２
と同様に、図８に示す層構成の情報媒体再生に対して、
波長６３５ｎｍ，ＮＡ０．６の光学系を用いてマークを
記録した。Ｄｕｔｙ５０％の単周期マークを記録してお
り、条件によってディスクのタンジェンタル方向のマー
ク長を０．１〜０．４μｍの範囲で変えた。記録に用い
たレーザービームは波長６３５ｎｍ，ＮＡ０．６であ
り、ビーム径は約０．９μｍ（１／ｅ２）であった。図
１０に記録マークの電子線再生結果を示す。（ａ）は電
子線強度のプロファイルであり、ランドに沿った方向の
強度プロファイルを示している。結晶レベルで強度が強
く、アモルファスレベルで弱くなっている。結晶レベル
の強度から５０％低下した強度におけるマーク長を
（ｂ）に示す。Embodiment 3 <Reproduction of Recorded Information Utilizing Difference in Electron Amount> Embodiment 2
Similarly to the information medium having the layer configuration shown in FIG.
A mark was recorded using an optical system having a wavelength of 635 nm and an NA of 0.6. A single-period mark of 50% duty was recorded, and the mark length in the tangential direction of the disc was changed in the range of 0.1 to 0.4 μm depending on the conditions. The laser beam used for recording had a wavelength of 635 nm, an NA of 0.6, and a beam diameter of about 0.9 μm (1 / e 2 ). FIG. 10 shows an electron beam reproduction result of the recording mark. (A) is an electron beam intensity profile, which shows an intensity profile in a direction along a land. The strength is strong at the crystalline level and weak at the amorphous level. The mark length at an intensity 50% lower than the intensity at the crystal level is shown in FIG.
【００３８】上記実施例２及び３の記録マークの電子線
再生結果（図９、図１０）から明らかなように、電子線
で再生した場合、最小マーク長０．１μｍまで再生でき
ていることがわかる。以上のように電子線で相変化マー
クが再生でき、この方法によればレーザービームの再生
限界以下のマーク長も十分に再生できる。これに対し
て、この記録と同じ光学系でマークを再生した場合に
は、マーク間干渉によってマーク０．３μｍ（マークピ
ッチ０．６μｍ）以下は全く再生できなかった。As is apparent from the results of the electron beam reproduction of the recording marks of Examples 2 and 3 (FIGS. 9 and 10), when the reproduction was performed by an electron beam, it was possible to reproduce the mark up to the minimum mark length of 0.1 μm. Understand. As described above, a phase change mark can be reproduced by an electron beam. According to this method, a mark length less than the reproduction limit of a laser beam can be sufficiently reproduced. On the other hand, when the mark was reproduced with the same optical system as this recording, the mark could not be reproduced at all below 0.3 μm (mark pitch 0.6 μm) due to the interference between marks.
【００３９】[0039]
【発明の効果】本発明によって、従来から高密度化を妨
げる原因となっていた記録マーク読み取り限界サイズ
を、空間分解能の高い電子線を用いて再生することによ
り、大幅に小さくすることが可能になり、高密度化が実
現できる。According to the present invention, it is possible to greatly reduce the limit size of a recording mark read, which has conventionally been a factor hindering high-density recording, by using an electron beam having a high spatial resolution. And high density can be realized.
【図１】本発明の電子線情報再生媒体の例の模式断面
図。FIG. 1 is a schematic sectional view of an example of an electron beam information reproducing medium of the present invention.
【図２】本発明の方法により記録された情報を電子線照
射により読み取る場合の説明図。FIG. 2 is an explanatory diagram in the case where information recorded by the method of the present invention is read by electron beam irradiation.
【図３】本発明の方法により記録された情報を電子線照
射により読み取るための装置の概略図。FIG. 3 is a schematic diagram of an apparatus for reading information recorded by the method of the present invention by electron beam irradiation.
【図４】本発明の電子線情報再生媒体の別の例の模式断
面図。FIG. 4 is a schematic sectional view of another example of the electron beam information reproducing medium of the present invention.
【図５】本発明の電子線情報再生媒体のプリグループの
構成例を示す図。FIG. 5 is a diagram showing a configuration example of a pre-group of the electron beam information reproducing medium of the present invention.
【図６】本発明の電子線情報再生媒体の媒体内を導電性
物質により区切った例を示す図。FIG. 6 is a diagram showing an example in which the inside of the electron beam information reproducing medium of the present invention is divided by a conductive substance.
【図７】本発明の図６で示される電子線情報再生媒体の
製造例を示す図。FIG. 7 is a diagram showing a production example of the electron beam information reproducing medium shown in FIG. 6 of the present invention.
【図８】本発明の実施例１で得られた電子線情報再生媒
体の模式断面図。FIG. 8 is a schematic sectional view of the electron beam information reproducing medium obtained in Example 1 of the present invention.
【図９】本発明の実施例２で記録マークを再生した結果
を示す図。FIG. 9 is a diagram showing a result of reproducing a recording mark according to the second embodiment of the present invention.
【図１０】本発明の実施例３で記録マークを再生した結
果を示す図。FIG. 10 is a diagram showing a result of reproducing a recording mark according to the third embodiment of the present invention.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三浦 博 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 Ｆターム(参考） 5D029 HA01 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Hiroshi Miura 1-3-6 Nakamagome, Ota-ku, Tokyo F-term in Ricoh Co., Ltd. 5D029 HA01
Claims (18)
記録された情報を有する情報記録媒体に、電子線を照射
することによって得られる該情報記録媒体内電流量の差
を利用して、情報を読み出すことを特徴とする電子線情
報再生方法。1. An information recording medium having information recorded by altering the quality of an information recording medium is read by utilizing a difference in current amount in the information recording medium obtained by irradiating the information recording medium with an electron beam. An electron beam information reproducing method, comprising:
報を有する情報記録媒体に、電子線を照射することによ
って得られる該情報記録媒体内電流量の差を利用して、
情報を読み出すことを特徴とする電子線情報再生方法。2. An information recording medium having information recorded by irradiating a laser beam is irradiated on the information recording medium with an electron beam.
An electron beam information reproducing method comprising reading information.
用した相変化型光記録方式で記録された情報を有する情
報記録媒体の２相間に、電子線を照射することによって
得られる該情報記録媒体内電流量の差を利用して、情報
を読み出すことを特徴とする電子線情報再生方法。3. An information recording medium obtained by irradiating an electron beam between two phases of an information recording medium having information recorded by a phase change optical recording system utilizing a phase change between a crystalline phase and an amorphous phase. An electron beam information reproducing method, wherein information is read out using a difference in internal current amount.
媒体内を流れる電流量を二値化することによって情報を
読み出すことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記
載の電子線情報再生方法。4. An electron beam information reproducing apparatus according to claim 1, wherein the information is read by binarizing a current flowing in the information recording medium by irradiating the electron beam. Method.
記録された情報を有する情報記録媒体に、電子線を照射
することによって得られる電子量の差を利用して、情報
を読み出すことを特徴とする電子線情報再生方法。5. The method according to claim 1, wherein the information is read by utilizing a difference in the amount of electrons obtained by irradiating the information recording medium having the information recorded by altering the information recording medium with an electron beam. Electron beam information reproduction method.
報を有する情報記録媒体に、電子線を照射することによ
って得られる電子量の差を利用して、情報を読み出すこ
とを特徴とする電子線情報再生方法。6. Electron beam information characterized by reading out information by utilizing a difference in the amount of electrons obtained by irradiating an information recording medium having information recorded by laser beam irradiation with an electron beam. Playback method.
用した相変化型光記録方式で記録された情報を有する情
報記録媒体に、電子線を照射することによって得られる
２相間での電子量の差を利用して、情報を読み出すこと
を特徴とする電子線情報再生方法7. The amount of electrons between two phases obtained by irradiating an information recording medium having information recorded by a phase change type optical recording system utilizing a phase change between a crystalline phase and an amorphous phase with an electron beam. Electron beam information reproducing method characterized in that information is read out using the difference
媒体からの電子量を二値化することによって情報を読み
出すことを特徴とする請求項５〜７記載のいずれかに記
載の電子線情報再生方式。8. The electron beam information according to claim 5, wherein information is read out by binarizing the amount of electrons from the information recording medium by irradiating the electron beam. Playback method.
斑点部の中心位置およびエッジ位置を検出することによ
って情報を再生することを特徴とする請求項１〜８のい
ずれかに記載の電子線情報再生方法。9. The information reproducing apparatus according to claim 1, wherein the information is reproduced by irradiating an electron beam and detecting a center position and an edge position of a recording spot on the information recording medium. Electron beam information reproduction method.
凸形状を検出し、トラッキング、アドレスおよび同期信
号源とすることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに
記載の電子線情報再生方法。10. The electron beam information reproducing method according to claim 1, wherein the irregular shape having a constant period existing in the information recording medium is detected and used as a tracking, address and synchronization signal source. .
て情報を再生することを特徴とする請求項１〜８のいず
れかに記載の電子線情報再生方法。11. An electron beam information reproducing method according to claim 1, wherein information is reproduced by deflecting and scanning an electron beam.
電子線走査を併用することによって情報を再生すること
を特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の電子線情
報再生方法。12. The electron beam information reproducing method according to claim 1, wherein the information is reproduced by using both movement or rotation of the information recording medium and electron beam scanning.
とする請求項１〜８のいずれかに記載の電子線情報再生
方法。13. The electron beam information reproducing method according to claim 1, wherein an electron beam irradiation position is stored.
ことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の電子
線情報再生方法。14. The electron beam information reproducing method according to claim 1, wherein the irradiation is performed with a constant electron dose.
支持する基板を有する情報再生媒体であって、記録層内
の記録部と未記録部に電子線が照射された際、該情報再
生媒体内の電流量に差が生じることを特徴とする電子線
情報再生媒体。15. An information reproducing medium having at least a recording layer, a conductive layer, and a substrate for supporting the recording layer, wherein a recorded portion and an unrecorded portion in the recording layer are irradiated with an electron beam. An electron beam information reproducing medium characterized in that a difference occurs in the current amount of the electron beam.
を起こすものからなることを特徴とする請求項１５に記
載の電子線情報再生媒体。16. The electron beam information reproducing medium according to claim 15, wherein the recording layer is made of one that causes a crystal-amorphous phase change.
いることを特徴とする請求項１５に記載の電子線情報再
生媒体。17. The electron beam information reproducing medium according to claim 15, wherein the inside of the medium is separated by a conductive material.
し、凹部と凸部とで異なる厚さの導電層であることを特
徴とする請求項１５に記載の電子線情報再生媒体。18. The electron beam information reproducing medium according to claim 15, wherein the conductive layer is a conductive layer having a concavo-convex shape having a constant period and having a different thickness between the concave portion and the convex portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001082265A JP2002279711A (en) | 2001-03-22 | 2001-03-22 | Electron ray information reproducing method and electron ray information reproducing medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001082265A JP2002279711A (en) | 2001-03-22 | 2001-03-22 | Electron ray information reproducing method and electron ray information reproducing medium |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002279711A true JP2002279711A (en) | 2002-09-27 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2001082265A Pending JP2002279711A (en) | 2001-03-22 | 2001-03-22 | Electron ray information reproducing method and electron ray information reproducing medium |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002279711A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7920458B2 (en) | 2005-04-27 | 2011-04-05 | Ricoh Company, Ltd. | Optical recording medium, and recording and reproducing method |
-
2001
- 2001-03-22 JP JP2001082265A patent/JP2002279711A/en active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7920458B2 (en) | 2005-04-27 | 2011-04-05 | Ricoh Company, Ltd. | Optical recording medium, and recording and reproducing method |
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