JP2002258265A - Transfer sheet - Google Patents

Transfer sheet

Info

Publication number
JP2002258265A
JP2002258265A JP2001061397A JP2001061397A JP2002258265A JP 2002258265 A JP2002258265 A JP 2002258265A JP 2001061397 A JP2001061397 A JP 2001061397A JP 2001061397 A JP2001061397 A JP 2001061397A JP 2002258265 A JP2002258265 A JP 2002258265A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transfer sheet
electrode substrate
liquid crystal
transfer
crystal display
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001061397A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hironobu Suda
廣伸 須田
Shigeru Hirayama
茂 平山
Masayuki Kawashima
正行 川島
Toyoji Nishimoto
豊司 西本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toppan Printing Co Ltd filed Critical Toppan Printing Co Ltd
Priority to JP2001061397A priority Critical patent/JP2002258265A/en
Publication of JP2002258265A publication Critical patent/JP2002258265A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transfer sheet, which is used for producing an electrode substrate for an active matrix type color liquid crystal display device, solving a problem of possibilities that defects are generated on a pattern through transfer from a coloring layer to the back of an adjacent support sheet, or the surface of the coloring layer gets scratched when the transfer sheet of a color filter is rolled out of a roll for transfer after it is stored with being rolled in a roll, and is carried. SOLUTION: By providing a release layer 32 at least on one surface of the support sheet 26, and forming cylinder-shaped parts 33 and the coloring layer 14 having a function of color filter on the release layer, transfer from the coloring layer 14 to the back of the adjacent support sheet is prevented, even when the transfer sheet is carried with being rolled. When the coloring layer is transferred to the electrode substrate, the cylinder-shaped parts are not transferred.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示装
置用電極基板の製造に用いる転写シートに関するもので
あり、特に、アクティブマトリックス型カラー液晶表示
装置用電極基板の製造に用いる転写シートに関する。
The present invention relates to a transfer sheet used for manufacturing an electrode substrate for a color liquid crystal display device, and more particularly to a transfer sheet used for manufacturing an electrode substrate for an active matrix type color liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】図16は、転写シートの一例の一部分を
模式的に示した断面図である。また、図17は、図16
の転写シートをロール状に巻いたものの一部分を模式的
に示した断面図である。図16および図17に示すよう
に、この転写シート(25)は、例えば42合金(3
1)(ニッケル42重量%、残部鉄)とその両面に形成
された剥離層(32)からなる支持シート(26)と、
カラーフィルター機能を有する着色層(14)とで構成
されている。
2. Description of the Related Art FIG. 16 is a sectional view schematically showing a part of an example of a transfer sheet. 17 is the same as FIG.
FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing a part of a transfer sheet wound in a roll shape. As shown in FIGS. 16 and 17, the transfer sheet (25) is made of, for example, 42 alloy (3
1) a support sheet (26) comprising (42% by weight of nickel, balance iron) and release layers (32) formed on both sides thereof;
And a colored layer (14) having a color filter function.

【0003】この転写シートは、カラーフィルター機能
を有する着色層(14)を内側にしてロール状に巻いて
搬送するとき、着色層(14)が剥離層(32)に密着
して巻かれている。このため、転写時にロールから引き
出す際、重なって隣接する支持シート(26)の裏面に
着色層(14)が裏移りする、あるいは着色層表面に傷
が付く可能性がある、といった問題を有している。
When the transfer sheet is rolled and transported with the colored layer (14) having a color filter function inside, the colored layer (14) is tightly wound on the release layer (32). . For this reason, there is a problem that the colored layer (14) may be set off on the back surface of the adjacent support sheet (26) when it is pulled out from the roll during transfer, or the surface of the colored layer may be damaged. ing.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明における課題
は、上記のように転写シートをロール巻きして搬送する
とき、カラーフィルター機能を有する着色層が隣接する
転写シートの裏に移る事を防止し、それによるパターン
形状不良等を発生させない転写シートを提供することに
ある。
An object of the present invention is to prevent a colored layer having a color filter function from being transferred to the back of an adjacent transfer sheet when the transfer sheet is rolled and conveyed as described above. Another object of the present invention is to provide a transfer sheet that does not cause a pattern shape defect or the like due to the above problem.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明は、支持シートの
少なくとも一方の面に剥離層を形成し、該剥離層の上に
柱状部、およびカラーフィルター機能を有する着色層が
形成された、カラー液晶表示装置用電極基板の製造に用
いる転写シートであって、電極基板に着色層を転写する
際には前記柱状部は転写しないことを特徴とする転写シ
ートである。
According to the present invention, there is provided a color sheet comprising a release sheet formed on at least one surface of a support sheet, and a columnar portion and a colored layer having a color filter function formed on the release layer. A transfer sheet for use in manufacturing an electrode substrate for a liquid crystal display device, wherein the columnar portion is not transferred when a colored layer is transferred to the electrode substrate.

【0006】また本発明は、薄膜トランジスタ素子形成
電極基板の補助容量部上の保護膜に画素配線を露出させ
るように形成するスルーホールの位置に対応する位置に
柱状部を形成したことを特徴とする前記転写シートであ
る。
According to the present invention, a columnar portion is formed at a position corresponding to a position of a through hole formed so as to expose a pixel wiring in a protective film on an auxiliary capacitance portion of a thin film transistor element forming electrode substrate. The transfer sheet.

【0007】また本発明は、前記転写シートが、被転写
体の基板と熱膨張率がほぼ等しい金属の連続したシート
であることを特徴とする前記転写シートである。
Further, the present invention is the transfer sheet, wherein the transfer sheet is a continuous sheet of metal having substantially the same thermal expansion coefficient as the substrate of the object to be transferred.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下に本発明による転写シート
を、その一実施形態に基づいて詳細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A transfer sheet according to the present invention will be described below in detail based on one embodiment.

【0009】図3(a)、(b)および(c)は、本発
明の転写シートの説明図である。図3(a)は転写シー
ト(30)の平面図、図3(b)は図3(a)のX−
X’における断面図、図3(c)は図3(a)のY−
Y’における断面図である。
FIGS. 3A, 3B and 3C are illustrations of the transfer sheet of the present invention. FIG. 3A is a plan view of the transfer sheet (30), and FIG.
FIG. 3C is a sectional view taken along the line X ′, and FIG.
It is sectional drawing in Y '.

【0010】図3(a)、(b)および(c)に示すよ
うに、転写シート(30)は、42合金(31)とその
上に形成された剥離層(32)からなる支持シート(2
6)上に、感光性樹脂等よりなる柱状部(33)、およ
びカラーフィルター機能を有する着色層(14)が形成
されたものである。カラーフィルター機能を有する着色
層(14)は、カラー表示用の、例えば赤色(R)、緑
色(G)、青色(B)のストライプ状のパターンが多数
規則的に配列されたものである。この着色層(14)
は、顔料分散型フォトレジスト、印刷インキ、無機物質
多層干渉膜等により形成される。
As shown in FIGS. 3 (a), 3 (b) and 3 (c), the transfer sheet (30) comprises a support sheet (42) composed of a 42 alloy (31) and a release layer (32) formed thereon. 2
6) A columnar portion (33) made of a photosensitive resin or the like and a colored layer (14) having a color filter function are formed thereon. The colored layer (14) having a color filter function is, for example, a pattern in which a large number of red (R), green (G), and blue (B) stripe-shaped patterns for color display are regularly arranged. This colored layer (14)
Is formed of a pigment-dispersed photoresist, a printing ink, an inorganic multilayer interference film, or the like.

【0011】図18は、こうして作成された転写シート
(30)の一断面を模式的に示した説明図であり、これ
は図3(a)のZ−Z’における断面に相当する。ま
た、図19は、図18の転写シートをロール状に巻いた
ものの断面の一部分を模式的に示した説明図である。図
に示すように、柱状部(33)の上端が、42合金(3
1)の下側の剥離層(32)に接している。
FIG. 18 is an explanatory view schematically showing a cross section of the transfer sheet (30) thus prepared, which corresponds to a cross section taken along the line ZZ 'in FIG. 3 (a). FIG. 19 is an explanatory diagram schematically showing a part of a cross section of the transfer sheet of FIG. 18 wound in a roll shape. As shown in the figure, the upper end of the columnar portion (33) is made of 42 alloy (3
1) It is in contact with the lower release layer (32).

【0012】以下、本発明の転写シートの構成について
述べる。転写ベースは、連続する金属板、または金属箔
であって、板厚は0.20mm以下、望ましくは0.0
6〜0.20mm程度であり、材質は被転写体である透
明ガラス基板と熱膨張率がほぼ等しい金属が好ましい。
Hereinafter, the structure of the transfer sheet of the present invention will be described. The transfer base is a continuous metal plate or metal foil, and the plate thickness is 0.20 mm or less, preferably 0.02 mm or less.
It is preferably about 6 to 0.20 mm, and the material is preferably a metal having a coefficient of thermal expansion substantially equal to that of the transparent glass substrate as the transfer object.

【0013】液晶表示装置に使われる透明ガラス基板
は、熱膨張率40×10-7/℃程度の低膨張率ガラスで
あるので、用いる金属としては、鉄〜ニッケル合金、例
えば42合金(ニッケル42重量%、残部鉄)、アンバ
ー(ニッケル36重量%、マンガン微量、残部鉄)等が
熱膨張率10〜40×10-7/℃程度であるので好都合
である。鉄〜ニッケル合金は、空気中で錆びにくく、保
存性が良い点でも適している。
The transparent glass substrate used for the liquid crystal display device is a low expansion coefficient glass having a coefficient of thermal expansion of about 40 × 10 −7 / ° C., and therefore, the metal used is an iron-nickel alloy, for example, a 42 alloy (nickel 42 (% By weight, balance iron), amber (36% by weight of nickel, trace amount of manganese, balance of iron) and the like have a coefficient of thermal expansion of about 10 to 40 × 10 −7 / ° C., which is convenient. Iron-nickel alloys are also suitable in that they hardly rust in the air and have good storage stability.

【0014】剥離層は、有機溶剤に耐性を有する高分子
膜で、転写ベースの表面平滑化の効果、及び転写に際し
てガラス透明基板と転写ベースとの密着性を保つための
弾性を与えるものである。膜厚としては、4.5μm以
上5.5μm以下が好ましい。また、剥離層は柔軟性を
有することが転写適性からは好ましいが、他方剥離層と
しての本来の適性からすると、表面が不活性で膜硬度は
高いことが望ましい。
The release layer is a polymer film having resistance to an organic solvent and imparts an effect of smoothing the surface of the transfer base and elasticity for maintaining the adhesion between the transparent glass substrate and the transfer base during transfer. . The thickness is preferably 4.5 μm or more and 5.5 μm or less. It is preferable that the release layer has flexibility in terms of transferability. On the other hand, in view of the intrinsic suitability of the release layer, it is desirable that the surface is inert and the film hardness is high.

【0015】具体的には、耐有機溶剤性のある水溶性樹
脂でカゼイン、ポリビニルアルコール、ヒドロキシエチ
ルセルロース等を塗布乾燥した膜が、また、弾性のある
樹脂としてポリウレタン樹脂、各種ゴム系樹脂があげら
れるが、これらの樹脂に限定されるものではない。剥離
性を向上させる目的でシリコーン系、フッ素系界面活性
剤を添加することも有効であり、転写ベースは剥離層と
一体化して初めて本来の機能が発現可能となるものであ
る。
Specifically, a film obtained by applying and drying casein, polyvinyl alcohol, hydroxyethylcellulose, etc. with a water-soluble resin having organic solvent resistance, and a polyurethane resin and various rubber resins as elastic resins can be mentioned. However, it is not limited to these resins. It is also effective to add a silicone-based or fluorine-based surfactant for the purpose of improving releasability, and the transfer base can exhibit its original function only when integrated with the release layer.

【0016】剥離層上に作る、TFT基板補助容量部上
の保護膜に設けられる所定のスルーホールパターンの位
置に対応する柱状部は、公知のフォトリソグラフィー法
により、ネガ型感光性樹脂組成物を用い、着色層のパタ
ーンサイズおよびピッチに応じて、例えば塗膜の厚さ約
3μmで15μm□程度のパターンを形成するものであ
る。
The columnar portion formed on the release layer and corresponding to the position of a predetermined through-hole pattern provided on the protective film on the TFT substrate auxiliary capacitance portion is coated with a negative photosensitive resin composition by a known photolithography method. For example, a pattern having a thickness of about 3 μm and a thickness of about 15 μm square is formed according to the pattern size and pitch of the colored layer.

【0017】着色層は、顔料分散法、印刷法等が適用で
きる。顔料分散法は、予め所望する色相の顔料を分散し
た感光性樹脂を塗布・露光・現像・加熱工程を繰り返し
て着色層を形成するものである。また、印刷法は、赤
色、緑色、青色インキを、例えば、主に平版オフセット
あるいは凹版オフセット印刷方式で順次基板上に印刷す
ることでカラー着色層を形成する方法である。
For the colored layer, a pigment dispersion method, a printing method and the like can be applied. The pigment dispersion method forms a colored layer by repeating the steps of applying, exposing, developing, and heating a photosensitive resin in which a pigment having a desired hue is dispersed in advance. The printing method is a method of forming a color coloring layer by sequentially printing red, green, and blue inks on a substrate, for example, mainly by lithographic offset or intaglio offset printing.

【0018】このようにして作成された転写シートを使
用する際の一実施形態を以下に説明する。図1は、本発
明の前記転写シートを使用して製造されたカラー液晶表
示装置用電極基板の一部分を模式的に示した断面図の一
例である。また、図2は、図1に示すカラー液晶表示装
置用電極基板を用いたカラー液晶表示用装置の一部分を
模式的に示した断面図の一例である。
An embodiment in which the transfer sheet thus prepared is used will be described below. FIG. 1 is an example of a cross-sectional view schematically showing a part of an electrode substrate for a color liquid crystal display device manufactured using the transfer sheet of the present invention. FIG. 2 is an example of a sectional view schematically showing a part of a color liquid crystal display device using the color liquid crystal display device electrode substrate shown in FIG.

【0019】図1に示すように、液晶表示装置用電極基
板(1)は、透明基板(11)の片面上にTFT素子
(12)、保護膜(13)、接着剤層(15)、カラー
フィルター機能を有する着色層(14)、画素電極(1
8)、配向膜(16)および柱状スぺーサー(17)が
形成されたものである。
As shown in FIG. 1, an electrode substrate (1) for a liquid crystal display device has a TFT element (12), a protective film (13), an adhesive layer (15), a color on one side of a transparent substrate (11). The colored layer (14) having a filter function, the pixel electrode (1
8), an alignment film (16) and a columnar spacer (17) are formed.

【0020】また、図2に示すように、図1に示す液晶
表示装置用電極基板(1)を用いた液晶表示装置(4)
は、液晶表示装置用電極基板(1)、電極基板(2)お
よび液晶(3)で構成されている。電極基板(2)は、
透明基板(21)の片面上に透明導電膜(22)、配向
膜(23)が形成されたものである。
As shown in FIG. 2, a liquid crystal display (4) using the electrode substrate (1) for a liquid crystal display shown in FIG.
Is composed of a liquid crystal display electrode substrate (1), an electrode substrate (2) and a liquid crystal (3). The electrode substrate (2)
A transparent conductive film (22) and an alignment film (23) are formed on one surface of a transparent substrate (21).

【0021】図1および図2に示すように、本発明の転
写シートを用いて製造された液晶表示装置用電極基板
(1)およびそれを用いた液晶表示装置(4)の一実施
形態においては、基板間の液晶層の厚みを保つためのス
ぺーサー粒子をセル内部の画素部に存在させることな
く、液晶層の厚みを保つためのスぺーサー機能を柱状ス
ぺーサ(17)に持たせ、画素部にはスぺーサ粒子を存
在させない液晶表示装置を可能とするものである。
As shown in FIGS. 1 and 2, in one embodiment of an electrode substrate for a liquid crystal display device (1) manufactured using the transfer sheet of the present invention and a liquid crystal display device (4) using the same. The columnar spacer (17) has a spacer function for maintaining the thickness of the liquid crystal layer without the presence of spacer particles for maintaining the thickness of the liquid crystal layer between the substrates in the pixel portion inside the cell. In addition, it is possible to provide a liquid crystal display device in which spacer particles are not present in the pixel portion.

【0022】図4〜図15は、本発明の転写シートを用
いた液晶表示装置用電極基板の製造工程の一実施形態を
示す説明図である。図4(a)、(b)および(c)
は、本発明の転写シートを用いた液晶表示装置用電極基
板の製造に用いる薄膜トランジスタ素子形成電極基板
(以下TFT素子形成電極基板)の説明図である。図4
(a)は、TFT素子形成電極基板(40)の平面図、
図4(b)は図4(a)のX−X’における断面図、図
4(c)は図4(a)のY−Y’における断面図であ
る。
4 to 15 are explanatory views showing one embodiment of a process for manufacturing an electrode substrate for a liquid crystal display device using the transfer sheet of the present invention. 4 (a), (b) and (c)
FIG. 2 is an explanatory view of a thin film transistor element forming electrode substrate (hereinafter, a TFT element forming electrode substrate) used for manufacturing an electrode substrate for a liquid crystal display device using the transfer sheet of the present invention. FIG.
(A) is a plan view of a TFT element forming electrode substrate (40),
4B is a cross-sectional view taken along line XX ′ of FIG. 4A, and FIG. 4C is a cross-sectional view taken along line YY ′ of FIG.

【0023】図4(a)、(b)および(c)に示すよ
うに、TFT素子形成電極基板(40)は、透明基板
(11)の片面上にTFT素子(12)、ゲート配線
(41)、ソース配線(42)、画素配線(43)、及
び補助容量部(44)等が形成されたものである。そし
て、図4におけるソース配線(42)のピッチ(P)、
及び幅(W)は、図3における転写シート上の着色層
(14)のピッチ(P)、及び幅(W)に対応したもの
となっている。TFT素子(12)は、ゲート電極(4
5)、及びドレイン電極(48)などで構成されてい
る。
As shown in FIGS. 4A, 4B and 4C, the TFT element forming electrode substrate (40) has a TFT element (12) and a gate wiring (41) on one surface of a transparent substrate (11). ), A source wiring (42), a pixel wiring (43), an auxiliary capacitance section (44), and the like. Then, the pitch (P) of the source wiring (42) in FIG.
The width (W) corresponds to the pitch (P) and the width (W) of the colored layer (14) on the transfer sheet in FIG. The TFT element (12) has a gate electrode (4
5) and a drain electrode (48).

【0024】まず、図4(a)、(b)および(c)に
示すように、TFT素子形成電極基板(40)のTFT
素子側上の全面に保護膜(49)を形成する。次いで、
例えばフォトグラフィー法、ドライエッチング法等によ
り、図5に示すように、所定パターンに従って補助容量
部(44)上の保護膜(49)にスルーホール(51)
を形成し、画素配線(43)の一部を保護膜より露出さ
せる。
First, as shown in FIGS. 4 (a), (b) and (c), the TFT of the TFT element forming electrode substrate (40)
A protective film (49) is formed on the entire surface on the element side. Then
As shown in FIG. 5, through holes (51) are formed in the protective film (49) on the auxiliary capacitance portion (44) according to a predetermined pattern by, for example, a photography method or a dry etching method.
Is formed, and a part of the pixel wiring (43) is exposed from the protective film.

【0025】次いで、図6に示すように、TFT素子形
成電極基板(40)のTFT素子側上の全面に例えば無
溶剤型紫外線硬化型の接着剤よりなる接着剤層(15)
を形成する。なお、無溶剤型紫外線硬化型接着剤として
は、硬化した時点で透明であり、光を透過するものを用
いることが肝要である。
Next, as shown in FIG. 6, an adhesive layer (15) made of, for example, a solventless UV-curable adhesive is formed on the entire surface of the TFT element forming electrode substrate (40) on the TFT element side.
To form It is important to use a non-solvent type ultraviolet curable adhesive which is transparent when cured and transmits light.

【0026】次いで、図7に示すように、本発明の前記
転写シート(30)を図4におけるソース配線(42)
の幅(W)と、図3における転写シート上の着色層(1
4)の幅(W)に対応するように、位置を制御しながら
TFT素子形成電極基板(40)に重ね合わせる。この
とき、TFT素子形成電極基板(40)の接着剤層(1
5)が形成された面と、転写シート(30)の着色層
(14)が形成された面とを対向させ圧着するものであ
る。
Next, as shown in FIG. 7, the transfer sheet (30) of the present invention is connected to the source wiring (42) shown in FIG.
Of the color layer (1) on the transfer sheet in FIG.
The substrate is superposed on the TFT element forming electrode substrate (40) while controlling the position so as to correspond to the width (W) of 4). At this time, the adhesive layer (1) of the TFT element forming electrode substrate (40) is formed.
The surface on which 5) is formed and the surface on which the colored layer (14) of the transfer sheet (30) is formed are opposed to each other and pressure-bonded.

【0027】次いで、図8に示すように、TFT素子形
成電極基板(40)のTFT素子側の対向面と反対の側
から紫外線(81)を照射してTFT素子、ゲート配
線、ソース配線、及び補助容量部など以外の光透過性部
分の接着剤層(15)を光硬化させる。
Next, as shown in FIG. 8, ultraviolet rays (81) are irradiated from the side opposite to the TFT element side of the TFT element forming electrode substrate (40), and the TFT elements, gate wiring, source wiring, and The adhesive layer (15) in a light-transmitting portion other than the auxiliary capacitance portion is light-cured.

【0028】次いで、図9に示すように、支持シート
(26)を剥離して、TFT素子形成電極基板(40)
のTFT素子側に、光硬化させた接着剤上の着色層(1
4)を転写し、未硬化の接着剤上の柱状部及び着色層を
剥離する。
Next, as shown in FIG. 9, the support sheet (26) is peeled off, and the TFT element forming electrode substrate (40) is peeled off.
Of the colored layer (1) on the photo-cured adhesive
4) is transferred to peel off the columnar portion and the colored layer on the uncured adhesive.

【0029】次いで、図10に示すように、TFT素子
形成電極基板(40)のTFT素子側のTFT素子、ゲ
ート配線、ソース配線、及び補助容量部などの光不透過
性部分の未硬化の接着剤層(15)を除去し、スルーホ
ール部分の画素配線(43)を露出させる。
Next, as shown in FIG. 10, the uncured adhesion of the light-impermeable portions such as the TFT element, the gate wiring, the source wiring, and the auxiliary capacitance section on the TFT element side of the TFT element forming electrode substrate (40). The agent layer (15) is removed to expose the pixel wiring (43) in the through hole portion.

【0030】次いで、図11に示すように、TFT素子
形成電極基板(40)のTFT素子側上全面にITOを
付け、焼成して透明導電膜(28)を形成する。
Next, as shown in FIG. 11, ITO is applied to the entire surface of the TFT element forming electrode substrate (40) on the TFT element side and baked to form a transparent conductive film (28).

【0031】次いで、図12に示すように、透明電極膜
を所定の形状にパターニングして、スルーホールにより
画素配線(43)と電気的に接続した透明導電膜よりな
る画素電極(18)を形成する。
Next, as shown in FIG. 12, the transparent electrode film is patterned into a predetermined shape to form a pixel electrode (18) made of a transparent conductive film electrically connected to the pixel wiring (43) by through holes. I do.

【0032】次いで、図13に示すように、TFT素子
形成電極基板(40)のTFT素子側のTFT素子側上
の全面に黒色感光性樹脂組成物(37)を塗布する。次
いで、TFT素子形成電極基板(40)のTFT素子側
の反対側から紫外線(82)を照射すると、図14に示
すように、TFT素子、ゲート配線、ソース配線、及び
補助容量部と着色層がマスクとなって黒色感光性樹脂組
成物が硬化する。
Next, as shown in FIG. 13, a black photosensitive resin composition (37) is applied to the entire surface of the TFT element forming electrode substrate (40) on the TFT element side. Next, when ultraviolet light (82) is irradiated from the side opposite to the TFT element side of the TFT element forming electrode substrate (40), as shown in FIG. 14, the TFT element, the gate wiring, the source wiring, and the auxiliary capacitance portion and the coloring layer are formed. The black photosensitive resin composition cures as a mask.

【0033】このように塗布面の裏側から塗布面側に既
に形成されているパターンをマスクとして露光すること
を、本発明では裏露光セルフアライメントと称してい
る。そして、現像によって未硬化の黒色感光性樹脂組成
物を除去することによって遮光膜(27)を形成する。
In the present invention, exposure using the pattern already formed on the coating surface side from the back side of the coating surface as a mask in this manner is referred to as back exposure self-alignment. Then, the uncured black photosensitive resin composition is removed by development to form a light-shielding film (27).

【0034】このように裏露光セルフアライメントにて
紫外線(82)を照射し遮光膜(27)を形成するの
で、遮光膜が着色層にオーバーラップすることなく各着
色層の輪郭をはっきりとし、コントラストを向上させる
ことになる。
As described above, since the light-shielding film (27) is formed by irradiating ultraviolet rays (82) by the back exposure self-alignment, the outline of each colored layer is made clear without the light-shielding film overlapping the colored layer, and the contrast is improved. Will be improved.

【0035】ここで、裏露光セルフアライメントについ
て、上記の実施形態を用いてさらに詳述する。まず、転
写シートを用いてカラーフィルター層を形成しているた
めに、転写された着色層に次のような欠け欠陥が生ずる
可能性がある。即ち、第一に転写シートの着色層にピン
ホール状等の欠け不良があることにより、転写された着
色層に欠けが発生する欠陥であり、第二には、支持シー
トを剥離する際に、接着剤層の硬化された部分と硬化さ
れない部分の境界部で着色層の分断が行なわれるが、分
断がきれいに行なわれず、転写される部分の着色層が剥
離されてしまい、転写された着色層に欠けが発生する欠
陥である。この支持シートを剥離する際に生じる欠け欠
陥は転写によって着色層を形成する際に特有の問題であ
り、着色層の輪郭部分において発生する。
Here, the back exposure self-alignment will be described in further detail using the above embodiment. First, since the color filter layer is formed using the transfer sheet, the transferred color layer may have the following chipping defect. That is, first, due to a defective defect such as a pinhole in the colored layer of the transfer sheet, a defect in which the transferred colored layer is defective, and secondly, when the support sheet is peeled off, The colored layer is separated at the boundary between the cured portion and the uncured portion of the adhesive layer, but the separation is not performed cleanly, and the colored layer at the portion to be transferred is peeled off. This is a defect in which chipping occurs. The chipping defect generated when the support sheet is peeled is a problem peculiar to the formation of the colored layer by transfer, and occurs at the contour of the colored layer.

【0036】このような欠け欠陥が生じた場合において
も、TFT素子側に黒色感光性樹脂組成物を塗布し裏露
光すると、着色層の欠け欠陥上の黒色感光性樹脂組成物
が硬化され、遮光層が形成される。そのため、液晶表示
装置の使用時に着色層の輪郭部分やその他の部分の欠け
欠陥から光が漏れることがなく、コントラストを向上さ
せ、表示画質を美しくさせるものである。
Even when such a chipping defect occurs, when the black photosensitive resin composition is applied to the TFT element side and exposed to the back, the black photosensitive resin composition on the chipping defect in the colored layer is hardened and light is shielded. A layer is formed. Therefore, when the liquid crystal display device is used, light does not leak from the contour portion of the colored layer or a chipped defect in other portions, and the contrast is improved and the display image quality is improved.

【0037】続いて、図15に示すように、TFT素子
形成電極基板(40)のTFT素子側表面の全面に黒色
感光性樹脂組成物を塗布し、TFT素子側からマスクを
用いて露光することによってTFT素子(12)側に柱
状スぺーサー(17)を形成する。
Subsequently, as shown in FIG. 15, a black photosensitive resin composition is applied to the entire surface of the TFT element forming electrode substrate (40) on the TFT element side, and is exposed from the TFT element side using a mask. Thereby, a columnar spacer (17) is formed on the TFT element (12) side.

【0038】ここでは、裏露光セルフアライメントによ
って遮光層が形成されているため、少なくともスペーサ
ー部分の光を透過するマスクを用いればよいが、裏露光
ではTFT素子上には遮光層が形成されていないため、
TFT素子上には遮光層を形成することが望ましく、さ
らに裏露光ではゲート配線等の配線上にも遮光層が形成
されていないため、遮光層を平滑化して液晶の配向不良
を防ぐためにも、配線部分上にも遮光層を形成すること
が望ましい。このような遮光層の形成領域を変えること
は、マスクのパターンを変更することによって容易に行
なえる。
Here, since the light-shielding layer is formed by back exposure self-alignment, it is sufficient to use a mask that transmits light at least in the spacer portion. However, in the back exposure, no light-shielding layer is formed on the TFT element. For,
It is desirable to form a light-shielding layer on the TFT element. Further, in the back exposure, since no light-shielding layer is formed on the wiring such as the gate wiring, in order to smooth the light-shielding layer and to prevent poor alignment of the liquid crystal, It is desirable to form a light shielding layer also on the wiring portion. Changing the formation region of such a light shielding layer can be easily performed by changing the pattern of the mask.

【0039】そして、着色層の輪郭部分等に着色層の欠
け欠陥が存在した場合でも既に裏露光セルフアライメン
トによって遮光層が形成されており、このマスクはそれ
ほど高い精度は要しない。またマスクの位置ズレも多少
であれば許容することができる。以上の工程により柱状
スぺーサーを有する液晶表示装置用電極基板を製造する
ものである。
Even when there is a chipped defect in the colored layer in the contour portion of the colored layer or the like, the light-shielding layer has already been formed by back-exposure self-alignment, and this mask does not require such high precision. Also, a slight positional deviation of the mask can be tolerated. Through the above steps, an electrode substrate for a liquid crystal display device having a columnar spacer is manufactured.

【0040】なお、ここで用いる透明基板は、ガラス、
好ましくはアルカリ金属元素を少量しか含まないか、ま
ったく含まない熱膨張係数の低いガラスを用いる。その
厚さは、例えば、0.5〜1.1mm程度のものであ
る。
The transparent substrate used here is glass,
Preferably, a glass having a low coefficient of thermal expansion containing only a small amount or no alkali metal element is used. Its thickness is, for example, about 0.5 to 1.1 mm.

【0041】また、接着剤は、分子中にエチレン性不飽
和基とカルボキシル基を有する樹脂と、希釈モノマー、
光増感剤、熱硬化成分及び添加剤からなるものが好まし
い。
The adhesive comprises a resin having an ethylenically unsaturated group and a carboxyl group in a molecule, a diluting monomer,
Those comprising a photosensitizer, a thermosetting component and an additive are preferred.

【0042】また、遮光膜及び柱状スぺーサーに用いる
黒色感光性樹脂組成物は、高絶縁性を有し、組成として
は、樹脂系材料と架橋剤と光酸発生剤とポリマーグラフ
ト化されたカーボンブラックとからなるものが好まし
い。高絶縁性であることにより、液晶表示装置の電極間
のリークを防ぎ表示品質を良好なものとする。
The black photosensitive resin composition used for the light-shielding film and the columnar spacer has a high insulating property, and is composed of a resin material, a crosslinking agent, a photoacid generator, and a polymer graft. What consists of carbon black is preferable. The high insulating property prevents leakage between the electrodes of the liquid crystal display device and improves the display quality.

【0043】[0043]

【実施例】以下実施例により本発明を詳細に説明する。The present invention will be described in detail with reference to the following examples.

【0044】<実施例1> (転写シートの作成)厚さ150μmの42合金(鉄−
ニッケル合金、ニッケル42重量%、残部鉄)を使用し
た。所定の部位に、各着色層の形成の際の位置合わせ、
および、着色層とTFT形成電極基板との間の位置合わ
せ等のためのアライメントマークをフォトリソグラフィ
ー法によって形成した。
<Example 1> (Preparation of transfer sheet) 42 alloy (iron-iron) having a thickness of 150 μm
Nickel alloy, nickel 42% by weight, balance iron) was used. At a predetermined site, alignment at the time of forming each colored layer,
In addition, alignment marks for alignment between the coloring layer and the TFT forming electrode substrate were formed by photolithography.

【0045】次に、42合金によく接着し、かつ着色層
との剥離性が良好である光硬化ポリビニルアルコールか
らなる剥離層を厚さ5μm程度、表面の平滑度は0.0
5μm程度に形成した。
Next, a release layer made of photo-cured polyvinyl alcohol which adheres well to the 42 alloy and has good releasability from the colored layer has a thickness of about 5 μm and a surface smoothness of 0.0
It was formed to about 5 μm.

【0046】この硬化した剥離層の上に、以下に示すネ
ガ型感光性樹脂組成物を用い、塗膜の厚さ約3μmに塗
布した。この塗膜面にフォトマスクを用い、約150m
J/cm2の紫外線照射を行った。現像液として、炭酸
ナトリウム:0.1重量%、重炭酸ナトリウム:0.1
重量%を組成とするアルカリ性水溶液を用いて現像処理
を行った。以上のようにして、塗膜の厚さが約3μmで
15μm□のパターンの柱状部を形成した。
On the cured release layer, a negative photosensitive resin composition shown below was applied to a coating thickness of about 3 μm. Approximately 150m using a photomask on this coating surface
Ultraviolet radiation of J / cm 2 was performed. As a developer, sodium carbonate: 0.1% by weight, sodium bicarbonate: 0.1%
Development processing was performed using an alkaline aqueous solution having a composition of weight%. As described above, a columnar portion having a pattern of about 3 μm and a pattern of 15 μm square was formed.

【0047】 <ネガ型感光性樹脂組成物の組成> A:以下の組成からなるアニオン性アクリル共重合体 …10重量部 ・メタクリル酸 1重量部 ・メチルメタクリレート 2重量部 ・ヒドロキシエチルメタクリレート 2重量部 ・ブチルメタクリレート 2重量部 ・シクロヘキシルアクリレート 3重量部 B:多官能アクリルモノマー「アローニクスM400」 …10重量部 (東亜合成化学工業(株)製) C:光重合開始剤「イルガキュア907」 …0.5重量部 (チバガイギー製) D:溶剤シクロヘキサノン …79.5重量部<Composition of Negative-Type Photosensitive Resin Composition> A: Anionic acrylic copolymer having the following composition: 10 parts by weight, 1 part by weight of methacrylic acid, 2 parts by weight of methyl methacrylate, 2 parts by weight of hydroxyethyl methacrylate -Butyl methacrylate 2 parts by weight-Cyclohexyl acrylate 3 parts by weight B: Polyfunctional acrylic monomer "Aronics M400" ... 10 parts by weight (manufactured by Toa Gosei Chemical Industry Co., Ltd.) C: Photopolymerization initiator "Irgacure 907" ... 0. 5 parts by weight (manufactured by Ciba Geigy) D: Solvent cyclohexanone 79.5 parts by weight

【0048】次いで、着色層を公知のフォトリソグラフ
ィー法を用いた顔料分散法により形成し、転写シートを
得た。
Next, a colored layer was formed by a pigment dispersion method using a known photolithography method to obtain a transfer sheet.

【0049】(液晶表示装置用電極基板の作成)透明基
板の片面上にTFT素子、ゲート配線、ソース配線、画
素配線、及び補助容量部を公知の方法により形成したT
FT素子形成電極基板を用いた。まず、TFT素子形成
電極基板の全面にSiO2を蒸着形成し保護膜を形成し
た。
(Preparation of Electrode Substrate for Liquid Crystal Display) A TFT element, a gate wiring, a source wiring, a pixel wiring, and an auxiliary capacitor are formed on one surface of a transparent substrate by a known method.
An FT element forming electrode substrate was used. First, a protective film was formed by vapor deposition of SiO 2 over the entire surface of the TFT element forming electrode substrate.

【0050】次いで、保護膜上に感光性レジスト(ヘキ
スト社製、商品名「AZ4620」)を塗布した後、フ
ォトリソグラフィー法を用い、補助容量部の領域の感光
性レジストから、所定パターンに従って保護膜を一部露
出させた。
Then, after applying a photosensitive resist (trade name “AZ4620”, manufactured by Hoechst) on the protective film, the protective film is formed in accordance with a predetermined pattern from the photosensitive resist in the area of the auxiliary capacitance portion by photolithography. Was partially exposed.

【0051】次いで、ドライエッチング装置(ラムリサ
ーチ社製、商品名「ドライテック384T」)を用い、
圧力150mTorr、出力700W、CHF3ガス量
100SCCMの条件にて、感光性レジストから露出し
た保護膜にドライエッチングを行った。しかる後、感光
性レジストを剥離し、保護膜に、所定パターンに従って
画素配線の一部を露出させるスルーホールを形成した。
Next, using a dry etching apparatus (trade name “Drytec 384T” manufactured by Lam Research Co., Ltd.)
Pressure 150 mTorr, at the output 700 W, CHF 3 gas amount 100SCCM conditions, the dry etching was performed on the protective film exposed from the photosensitive resist. Thereafter, the photosensitive resist was peeled off, and a through-hole was formed in the protective film to expose a part of the pixel wiring according to a predetermined pattern.

【0052】次いで、TFT素子形成電極基板の全面に
接着剤層を塗布形成した。この接着剤は、分子中にエチ
レン性不飽和基とカルボキシル基を有する樹脂と、希釈
モノマー、光増感剤、熱硬化成分及び添加剤からなるも
のを用いた。
Next, an adhesive layer was applied over the entire surface of the TFT element forming electrode substrate. The adhesive used was a resin comprising a resin having an ethylenically unsaturated group and a carboxyl group in the molecule, a diluting monomer, a photosensitizer, a thermosetting component, and an additive.

【0053】ところで、前記転写シートは、3ロット作
成した。長さは、ロール状に巻いた状態で、1巻きあた
り500mとした。第1のロットは、作成後数日放置し
た後使用した。第2のロットは、3ヶ月間放置した後使
用した。第3のロットは、輸送試験で約500km搬送
した後使用した。TFT素子形成電極基板の全面に接着
剤を塗布形成した後に、前記転写シートを位置合わせを
行いながら、TFT素子形成面と着色層面とが対向する
よう重ね合わせ、この状態を保ってロールプレスにて圧
力5kg/cm2でTFT素子形成電極基板および転写
シートをプレスした後、TFT素子形成面の反対面側か
ら紫外線を照射して、素子および配線部等を除いた接着
剤層部分を光硬化させ、TFT素子形成電極基板に着色
層を転写した。
Incidentally, three lots of the transfer sheet were prepared. The length was 500 m per roll in a rolled state. The first lot was used after being left for several days after preparation. The second lot was used after standing for 3 months. The third lot was used after transporting about 500 km in the transportation test. After an adhesive is applied to the entire surface of the TFT element forming electrode substrate, the transfer sheet is overlapped so that the TFT element forming surface and the colored layer surface face each other while performing alignment, and a roll press is performed while maintaining this state. After pressing the TFT element forming electrode substrate and the transfer sheet at a pressure of 5 kg / cm 2 , ultraviolet rays are irradiated from the side opposite to the TFT element forming surface to photo-cure the adhesive layer portion excluding the elements and wiring portions. The colored layer was transferred to the TFT element forming electrode substrate.

【0054】この時、TFT素子および配線上の接着剤
層の部分は、TFT素子および配線が照射された紫外線
を遮光するため、未露光となり光硬化しない。
At this time, the portion of the adhesive layer on the TFT element and the wiring is not exposed to light and does not harden because the TFT element and the wiring shield the ultraviolet rays irradiated.

【0055】次いで、支持シートを取り除き、TFT素
子形成電極基板をアルカリ液等で洗浄し、未露光の未硬
化部位、すなわち、TFT素子および配線上の接着剤を
除去した。これにより、TFT素子および配線上の未露
光未硬化の接着剤層が洗浄除去され、TFT素子および
配線等の表面が現れる。
Next, the support sheet was removed, and the TFT element forming electrode substrate was washed with an alkaline solution or the like to remove unexposed uncured portions, that is, the adhesive on the TFT element and the wiring. As a result, the unexposed and uncured adhesive layer on the TFT element and the wiring is removed by washing, and the surfaces of the TFT element and the wiring appear.

【0056】次いで、ITO膜をスパッタリングなどに
より付け、焼成して透明導電膜を形成し、フォトリソグ
ラフィー法を用いエッチングした。これにより、所定の
形状にパターニングされた画素電極を着色層上に作成し
た。なお、画素電極は、スルーホールにより画素配線と
電気的接続がなされている。
Next, an ITO film was applied by sputtering or the like, baked to form a transparent conductive film, and was etched by photolithography. Thereby, a pixel electrode patterned into a predetermined shape was formed on the colored layer. The pixel electrode is electrically connected to the pixel wiring through a through hole.

【0057】次いで、画素電極が形成されている面に、
遮光膜形成用の黒色感光性樹脂組成物を塗布し、裏露光
セルフアライメントによって遮光膜を形成した。
Next, on the surface on which the pixel electrode is formed,
A black photosensitive resin composition for forming a light-shielding film was applied, and a light-shielding film was formed by back-exposure self-alignment.

【0058】続いて、TFT素子側に、黒色感光性樹脂
組成物を塗布し、TFT素子側からマスクを介して露光
することにより、TFT素子上に遮光膜および柱状スぺ
ーサーを形成し、柱状スペーサーを有する液晶表示装置
用電極基板を得た。
Subsequently, a black photosensitive resin composition is applied to the TFT element side, and is exposed through a mask from the TFT element side to form a light-shielding film and a columnar spacer on the TFT element. An electrode substrate for a liquid crystal display device having a spacer was obtained.

【0059】なお、本発明の形態は、上記実施例に限定
されるものでなく、転写やパターニングの方式は、熱圧
着硬化、EB(電子ビーム)硬化、電子線硬化など種々
のものが考えられ、使用する材料、膜厚、着色層やTF
T素子の構造等種々の条件も変更できることは言うまで
もない。
The mode of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various types of transfer and patterning methods such as thermocompression bonding, EB (electron beam) curing, and electron beam curing can be considered. , Material used, film thickness, coloring layer and TF
It goes without saying that various conditions such as the structure of the T element can be changed.

【0060】[0060]

【発明の効果】上記、3ロット作成した転写シートは、
既述のように、ロール状に巻いた状態で、長さは1巻き
あたり500mとし、第1のロットは作成後数日放置
し、第2のロットは3ヶ月間放置し、第3のロットは輸
送試験で約500km搬送した後、それぞれ使用したも
のであるが、いずれのロットもカラーフィルターは裏移
りや傷等が無く良好な柱状スペーサーを有する液晶表示
装置用電極基板を作成することができた。
As described above, the transfer sheets prepared in the three lots are:
As described above, in a rolled state, the length is 500 m per roll, the first lot is left for several days after preparation, the second lot is left for three months, and the third lot is left. Is used after transporting about 500 km in the transport test, but in each lot, the color filter has no set-off or scratches, etc., and it is possible to produce an electrode substrate for a liquid crystal display device having a good columnar spacer. Was.

【0061】本発明によれば、ポリビニルアルコール樹
脂を表面に塗布した支持シート上に、薄膜トンジスタの
補助容量線領域の保護膜に、所定パターンに従って画素
配線を露出させるために形成したスルーホールの位置に
対応するように形成した柱状部により、ロールに巻いた
形状であっても、ロールに巻き取って搬送しても柱状部
がスぺーサーとなり、重なって隣接する支持シートの裏
面にカラーフィルターが裏移りしないことを確認でき
た。
According to the present invention, the position of the through-hole formed on the support sheet coated with polyvinyl alcohol resin on the protective film in the auxiliary capacitance line region of the thin film transistor in order to expose the pixel wiring according to a predetermined pattern. Due to the columnar portion formed to correspond to the above, the columnar portion becomes a spacer even if it is wound up on a roll and conveyed, and the color filter is overlaid on the back surface of the adjacent support sheet It was confirmed that there was no set-off.

【0062】本発明の転写シートを用いれば、既述のよ
うに転写時にロールから引き出す際の裏移りによるパタ
ーン欠け、あるいは着色層表面に傷が付くといった不具
合を起こすこと無しに、カラーフィルタをロールに巻い
た状態で搬送、保管できるので、従来のガラス上に作成
したカラーフィルターに比べて、実用上きわめて優れて
いるといえる。
By using the transfer sheet of the present invention, as described above, the color filter can be rolled without causing defects such as chipping of the pattern due to set-off at the time of being pulled out from the roll at the time of transfer or scratching of the surface of the colored layer. Since it can be transported and stored in a state of being wound around, it can be said that it is extremely excellent in practical use compared to a color filter formed on conventional glass.

【0063】[0063]

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の転写シートを用いて製造された液晶表
示装置用電極基板の断面の一部分を模式的に示した説明
図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram schematically showing a part of a cross section of an electrode substrate for a liquid crystal display device manufactured using a transfer sheet of the present invention.

【図2】図1に示す液晶表示装置用電極基板を用いた液
晶表示装置の断面の一部分を模式的に示した説明図の一
例である。
FIG. 2 is an example of an explanatory diagram schematically showing a part of a cross section of a liquid crystal display device using the liquid crystal display device electrode substrate shown in FIG. 1;

【図3】(a)〜(c)は、本発明の転写シートを用い
た液晶表示装置用電極基板の製造方法を示す説明図であ
る。
FIGS. 3A to 3C are explanatory diagrams showing a method for manufacturing an electrode substrate for a liquid crystal display device using the transfer sheet of the present invention.

【図4】(a)〜(c)は、本発明の転写シートを用い
た液晶表示装置用電極基板の製造方法を示す説明図であ
る。
FIGS. 4A to 4C are explanatory diagrams illustrating a method for manufacturing an electrode substrate for a liquid crystal display device using the transfer sheet of the present invention.

【図5】(a)〜(c)は、本発明の転写シートを用い
た液晶表示装置用電極基板の製造方法を示す説明図であ
る。
FIGS. 5A to 5C are explanatory diagrams illustrating a method for manufacturing an electrode substrate for a liquid crystal display device using the transfer sheet of the present invention.

【図6】(a)〜(c)は、本発明の転写シートを用い
た液晶表示装置用電極基板の製造方法を示す説明図であ
る。
FIGS. 6A to 6C are explanatory views showing a method for manufacturing an electrode substrate for a liquid crystal display device using the transfer sheet of the present invention.

【図7】(a)〜(c)は、本発明の転写シートを用い
た液晶表示装置用電極基板の製造方法を示す説明図であ
る。
FIGS. 7A to 7C are explanatory views showing a method for manufacturing an electrode substrate for a liquid crystal display device using the transfer sheet of the present invention.

【図8】(a)〜(c)は、本発明の転写シートを用い
た液晶表示装置用電極基板の製造方法を示す説明図であ
る。
FIGS. 8A to 8C are explanatory views showing a method for manufacturing an electrode substrate for a liquid crystal display device using the transfer sheet of the present invention.

【図9】(a)〜(c)は、本発明の転写シートを用い
た液晶表示装置用電極基板の製造方法を示す説明図であ
る。
FIGS. 9A to 9C are explanatory views showing a method for manufacturing an electrode substrate for a liquid crystal display device using the transfer sheet of the present invention.

【図10】(a)〜(c)は、本発明の転写シートを用
いた液晶表示装置用電極基板の製造方法を示す説明図で
ある。
FIGS. 10A to 10C are explanatory diagrams illustrating a method for manufacturing an electrode substrate for a liquid crystal display device using the transfer sheet of the present invention.

【図11】(a)〜(c)は、本発明の転写シートを用
いた液晶表示装置用電極基板の製造方法を示す説明図で
ある。
FIGS. 11A to 11C are explanatory diagrams illustrating a method for manufacturing an electrode substrate for a liquid crystal display device using the transfer sheet of the present invention.

【図12】(a)〜(c)は、本発明の転写シートを用
いた液晶表示装置用電極基板の製造方法を示す説明図で
ある。
FIGS. 12A to 12C are explanatory diagrams illustrating a method for manufacturing an electrode substrate for a liquid crystal display device using the transfer sheet of the present invention.

【図13】(a)〜(c)は、本発明の転写シートを用
いた液晶表示装置用電極基板の製造方法を示す説明図で
ある。
13 (a) to 13 (c) are explanatory views showing a method for manufacturing an electrode substrate for a liquid crystal display device using the transfer sheet of the present invention.

【図14】(a)〜(c)は、本発明の転写シートを用
いた液晶表示装置用電極基板の製造方法を示す説明図で
ある。
14A to 14C are explanatory diagrams illustrating a method for manufacturing an electrode substrate for a liquid crystal display device using the transfer sheet of the present invention.

【図15】(a)〜(c)は、本発明の転写シートを用
いた液晶表示装置用電極基板の製造方法を示す説明図で
ある。
FIGS. 15A to 15C are explanatory views showing a method for manufacturing an electrode substrate for a liquid crystal display device using the transfer sheet of the present invention.

【図16】従来の転写シートの断面の一例を模式的に示
した説明図である。
FIG. 16 is an explanatory diagram schematically showing an example of a cross section of a conventional transfer sheet.

【図17】図16の転写シートをロール状に巻いたもの
の断面の一部分を模式的に示した説明図である。
FIG. 17 is an explanatory view schematically showing a part of a cross section of the transfer sheet of FIG. 16 wound in a roll shape.

【図18】本発明の転写シートの断面の一例を模式的に
示した説明図である。
FIG. 18 is an explanatory view schematically showing an example of a cross section of the transfer sheet of the present invention.

【図19】本発明の転写シートをロール状に巻いたもの
の断面の一部分を模式的に示した説明図である。
FIG. 19 is an explanatory view schematically showing a part of a cross section of a transfer sheet of the present invention wound in a roll shape.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・液晶表示装置用電極基板 2・・・電極基板 3・・・液晶 4・・・液晶表示装置 5・・・薄膜トランジスト素子側電極基板 11、21・・・透明基板 12・・・TFT素子 13、49・・・保護膜 14・・・着色層 15・・・接着剤層 16、23・・・配向膜 17・・・柱状スペーサ 18・・・画素電極 19・・・絶縁膜 22、28・・・透明導電膜 25・・・従来の転写シート 26・・・支持シート 27・・・遮光膜 30・・・本発明の転写シート 31・・・42合金 32・・・剥離層 33・・・柱状部 37・・・黒色感光性樹脂組成物 40・・・TFT素子形成電極基板 41・・・ゲート配線 42・・・ソース配線 43・・・画素配線 44・・・補助容量部 45・・・ゲート電極 46・・・ソース電極 47・・・シリコン 48・・・ドレイン電極 51・・・スルーホール 81、82・・・紫外線 R・・・・赤色 G・・・・緑色 B・・・・青色 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electrode substrate for liquid crystal display devices 2 ... Electrode substrate 3 ... Liquid crystal 4 ... Liquid crystal display device 5 ... Thin film transistor element side electrode substrate 11, 21 ... Transparent substrate 12 ... TFT elements 13, 49 Protective film 14 Coloring layer 15 Adhesive layer 16, 23 Alignment film 17 Column spacer 18 Pixel electrode 19 Insulating film 22 , 28: transparent conductive film 25: conventional transfer sheet 26: support sheet 27: light-shielding film 30: transfer sheet of the present invention 31: 42 alloy 32: release layer 33 ... columnar part 37 ... black photosensitive resin composition 40 ... TFT element formation electrode substrate 41 ... gate wiring 42 ... source wiring 43 ... pixel wiring 44 ... auxiliary capacitance part 45 ... Gate electrode 46 ... Source electrode 47 Silicon 48 ... drain electrode 51 ... through hole 81 ... ultraviolet R · · · · Red G · · · · Green B · · · · Blue

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西本 豊司 東京都台東区台東1丁目5番1号 凸版印 刷株式会社内 Fターム(参考) 2H048 BA43 BA45 BA48 BA55 BA66 BB02 BB08 BB42 2H091 FA02Y GA08 GA13 LA30 2H092 GA29 JA24 JA37 JA41 JA46 JB51 MA13 MA19 MA32 MA41 MA42 NA25 PA03 PA08  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Toyoji Nishimoto 1-5-1, Taito, Taito-ku, Tokyo Toppan Printing Co., Ltd. F-term (reference) 2H048 BA43 BA45 BA48 BA55 BA66 BB02 BB08 BB42 2H091 FA02Y GA08 GA13 LA30 2H092 GA29 JA24 JA37 JA41 JA46 JB51 MA13 MA19 MA32 MA41 MA42 NA25 PA03 PA08

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】支持シートの少なくとも一方の面に剥離層
を形成し、該剥離層の上に柱状部、およびカラーフィル
ター機能を有する着色層が形成された、カラー液晶表示
装置用電極基板の製造に用いる転写シートであって、電
極基板に着色層を転写する際には前記柱状部は転写しな
いことを特徴とする転写シート。
1. Production of an electrode substrate for a color liquid crystal display device, wherein a release layer is formed on at least one surface of a support sheet, and a columnar portion and a colored layer having a color filter function are formed on the release layer. A transfer sheet used in the above, wherein the columnar portion is not transferred when the colored layer is transferred to the electrode substrate.
【請求項2】薄膜トランジスタ素子形成電極基板の補助
容量部上の保護膜に画素配線を露出させるように形成す
るスルーホールの位置に対応する位置に柱状部を形成し
たことを特徴とする請求項1記載の転写シート。
2. A columnar portion is formed at a position corresponding to a position of a through hole formed so as to expose a pixel wiring on a protective film on an auxiliary capacitance portion of a thin film transistor element forming electrode substrate. The transfer sheet according to the above.
【請求項3】上記転写シートが、被転写体の基板と熱膨
張率がほぼ等しい金属の連続したシートであることを特
徴とする請求項1または2記載の転写シート。
3. The transfer sheet according to claim 1, wherein the transfer sheet is a continuous sheet of metal having a coefficient of thermal expansion substantially equal to that of the substrate of the transfer object.
JP2001061397A 2001-03-06 2001-03-06 Transfer sheet Pending JP2002258265A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001061397A JP2002258265A (en) 2001-03-06 2001-03-06 Transfer sheet

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001061397A JP2002258265A (en) 2001-03-06 2001-03-06 Transfer sheet

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002258265A true JP2002258265A (en) 2002-09-11

Family

ID=18920698

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001061397A Pending JP2002258265A (en) 2001-03-06 2001-03-06 Transfer sheet

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002258265A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7363202B2 (en) 2018-11-28 2023-10-18 Toppanホールディングス株式会社 Roll body and method for manufacturing roll body

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7363202B2 (en) 2018-11-28 2023-10-18 Toppanホールディングス株式会社 Roll body and method for manufacturing roll body

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6881529B2 (en) Positive photoresist transfer material and method for processing surface of substrate using the transfer material
JP5371245B2 (en) Photosensitive transfer material, display device member and manufacturing method thereof, black matrix, color filter and manufacturing method thereof, display device substrate, and display device
US20100126367A1 (en) Method for etching glass or metal substrates using negative photoresist and method for fabricating cliche using the same
US9000064B2 (en) Composition for forming pattern and in-plane printing method using the same
JPH0322976B2 (en)
JPH05147359A (en) Forming method for fine pattern
JP4651800B2 (en) Negative photosensitive thermosetting transfer material for interlayer insulating film, method for forming interlayer insulating film, high aperture type liquid crystal display device and manufacturing method thereof
JP5891861B2 (en) Reverse printing method and reverse printing apparatus
JP2002258265A (en) Transfer sheet
US6352804B1 (en) Black matrix of resin, method for producing the same, method for producing color filter using the same, and liquid crystal element produced by the same color filter production method
JPH07120613A (en) Manufacture of color filter
JP4910237B2 (en) Method for manufacturing electrode substrate for color liquid crystal display device
JP2000310772A (en) Manufacture of color filter
JP4453130B2 (en) Method for manufacturing electrode substrate for liquid crystal display device and liquid crystal display device
JP2005221726A (en) Photosensitive transfer material, protrusion for liquid crystal alignment control and method for forming the same, and liquid crystal display
JP2001075124A (en) Manufacture of electrode substrate for liquid crystal display device, and liquid crystal display device
JP2829457B2 (en) How to make a color filter
JP2003114318A (en) Method for manufacturing color filter
JPH10206623A (en) Color filter and manufacture thereof
JPH11260255A (en) Dry film, and manufacture of shadow mask for color picture tube using the same
JP3234696B2 (en) Shading image forming method
JPH08271714A (en) Production of color filter
JPS63303736A (en) Manufacture of screen printing plate
JPH11248916A (en) Color filter substrate and its manufacture
JPH05147360A (en) Forming method for fine pattern