JP2002247456A - Scanning circuit and image pickup device using it - Google Patents

Scanning circuit and image pickup device using it

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JP2002247456A
JP2002247456A JP2001040167A JP2001040167A JP2002247456A JP 2002247456 A JP2002247456 A JP 2002247456A JP 2001040167 A JP2001040167 A JP 2001040167A JP 2001040167 A JP2001040167 A JP 2001040167A JP 2002247456 A JP2002247456 A JP 2002247456A
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pulse
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拓己 樋山
Toru Koizumi
徹 小泉
Masaru Fujimura
大 藤村
Katsuto Sakurai
克仁 桜井
Tomoko Eguchi
智子 江口
Masanori Ogura
正徳 小倉
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a scanning circuit that is compatible with various functions. SOLUTION: This invention provides the scanning circuit that is characterized in that the scanning circuit includes a shift register and a pulse output circuit that is placed at each stage of the shift register and outputs a plurality of pulses on the basis of a pulse from the shift register, the pulse output circuit includes a level conversion circuit that converts a voltage range of the pulse from the shift register and the pulse output circuit outputs a plurality of the pulses with different voltage ranges.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、シフトレジスタと
パルス出力回路から構成される走査回路及びその走査回
路を用いたデジタルスチルカメラ、ビデオカムコーダ等
の撮像装置に関するものである。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a scanning circuit comprising a shift register and a pulse output circuit, and an imaging apparatus such as a digital still camera and a video camcorder using the scanning circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、光電変換信号をCCD(電荷結合
素子)ではなく、MOSFETトランジスタによって読
み出すCMOS型イメージセンサと呼ばれるイメージセ
ンサの研究開発が活発となっている。CMOS型イメー
ジセンサはCMOSロジックLSIプロセスとの親和性
により周辺回路のオンチップ化が容易であること、低電
圧駆動、低消費電力などの点から、とくに携帯用途向け
のイメージセンサとして期待されている。
2. Description of the Related Art In recent years, research and development of an image sensor called a CMOS type image sensor which reads out a photoelectric conversion signal not by a CCD (charge coupled device) but by a MOSFET transistor has been active. The CMOS image sensor is expected to be an image sensor for portable use, particularly, because it is easy to integrate peripheral circuits on a chip due to its affinity with a CMOS logic LSI process, and is driven by low voltage and low power consumption. .

【0003】CMOS型イメージセンサの画素に蓄積さ
れた光信号を読み出す方法としては、シフトレジスタを
基本とする走査回路によって読み出す方法が一般的であ
る。例えば特開平11−112016には、シフトレジ
スタの各段出力と外部入力パルスの論理演算によって制
御信号を生成し、1水平行ごとに画素部のトランジスタ
に制御信号を印加し、信号蓄積部に読みだすという方法
が開示されている。
[0003] As a method of reading out an optical signal stored in a pixel of a CMOS type image sensor, a method of reading out by a scanning circuit based on a shift register is generally used. For example, in JP-A-11-111016, a control signal is generated by a logical operation of each stage output of a shift register and an external input pulse, a control signal is applied to a transistor of a pixel unit for each horizontal line, and a read signal is read to a signal storage unit. A method of soaking is disclosed.

【0004】この従来の走査回路を図12に示す。図1
2の走査回路においては、シフトレジスタの出力φSR
によって画素エリアの任意の1行が選択され、外部入力
パルスφSEL’との論理演算によって、制御信号φS
EL、φRESを生成している。φSELは画素のソー
スフォロワのオン・オフを制御する選択スイッチ5に供
給され、φRESはソースフォロワの入力ノードをリセ
ットするリセットスイッチ4に供給されている。
FIG. 12 shows this conventional scanning circuit. Figure 1
2, the output φSR of the shift register
An arbitrary row in the pixel area is selected by the control signal φS.
EL and φRES are generated. φSEL is supplied to a selection switch 5 for controlling on / off of a source follower of a pixel, and φRES is supplied to a reset switch 4 for resetting an input node of the source follower.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】図12に示されている
従来技術の走査回路においては、シフトレジスタおよび
パルス出力回路が同一な電源電圧で動作しているため、
出力される複数の制御信号φSEL、φRESが同一の
電圧範囲の出力パルスとなっている。このため、従来の
固体撮像素子においては、さまざまな制約が存在してい
た。
In the conventional scanning circuit shown in FIG. 12, since the shift register and the pulse output circuit operate at the same power supply voltage,
The output control signals φSEL and φRES are output pulses in the same voltage range. For this reason, in the conventional solid-state imaging device, there were various restrictions.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の一手段では、前記シフトレジスタの各段に
それぞれ設けられた前記シフトレジスタかあのパルスに
基づいて複数のパルスを出力するパルス出力回路を有
し、前記パルス出力回路は、前記シフトレジスタからの
パルスの電圧範囲を変換するレベル変換回路を含み、前
記パルス出力回路は、複数の異なる電圧範囲のパルスを
出力することを特徴とする走査回路を提供する。
According to one aspect of the present invention, a plurality of pulses are output based on a pulse of a shift register provided at each stage of the shift register. A pulse output circuit, wherein the pulse output circuit includes a level conversion circuit that converts a voltage range of a pulse from the shift register, and the pulse output circuit outputs pulses in a plurality of different voltage ranges. Is provided.

【0007】また、他の手段では、入射光を電気信号に
変換して蓄積する光電変換部と、前記光電変換部からの
信号を増幅して出力する増幅トランジスタと、前記光電
変換部に蓄積されている前記電気信号を前記増幅トラン
ジスタに転送する転送トランジスタと、所定の処理を行
う処理トランジスタとをそれぞれ含む複数の画素と、前
記転送トランジスタをオフに切り替えるための、前記転
送トランジスタの制御電極に印加する信号レベルを、前
記処理トランジスタをオフに切り替えるための、前記処
理トランジスタの制御電極に印加する信号レベルよりも
低くするように制御する走査回路とを有し、前記走査回
路は、シフトレジスタと、前記シフトレジスタの各段に
それぞれ設けられた前記シフトレジスタかあのパルスに
基づいて複数のパルスを出力するパルス出力回路を有
し、前記パルス出力回路は、前記シフトレジスタからの
パルスの電圧範囲を変換するレベル変換回路を含み、前
記パルス出力回路は、複数の異なる電圧範囲のパルスを
出力することを特徴とする撮像装置を提供する。
In another means, a photoelectric conversion unit converts incident light into an electric signal and accumulates the electric signal, an amplification transistor which amplifies and outputs a signal from the photoelectric conversion unit, and an amplifying transistor which accumulates and outputs the electric signal. A plurality of pixels each including a transfer transistor that transfers the electrical signal to the amplification transistor, and a processing transistor that performs predetermined processing, and a control electrode of the transfer transistor for turning off the transfer transistor. A scanning circuit for controlling the signal level to be applied to lower the signal level applied to the control electrode of the processing transistor, for switching the processing transistor off, wherein the scanning circuit includes a shift register, The shift register provided at each stage of the shift register has a plurality of pulses based on the pulse. A pulse output circuit that outputs a pulse having a plurality of different voltage ranges. The pulse output circuit includes a level conversion circuit that converts a voltage range of the pulse from the shift register. An imaging device is provided.

【0008】また、他の手段では、入射光を電気信号に
変換して蓄積する光電変換部と、前記光電変換部からの
信号を増幅して出力する増幅トランジスタと、前記増幅
トランジスタの制御電極をリセットするためのリセット
トランジスタと所定の処理を行う処理トランジスタとを
それぞれ含む複数の画素と、前記リセットトランジスタ
をオフに切り替えるための、前記リセットトランジスタ
の制御電極に印加する信号レベルを、前記処理トランジ
スタをオフに切り替えるための、前記処理トランジスタ
の制御電極に印加する信号レベルよりも低くするように
制御する走査回路とを有し、前記走査回路は、シフトレ
ジスタと、前記シフトレジスタの各段にそれぞれ設けら
れた前記シフトレジスタかあのパルスに基づいて複数の
パルスを出力するパルス出力回路を有し、前記パルス出
力回路は、前記シフトレジスタからのパルスの電圧範囲
を変換するレベル変換回路を含み、前記パルス出力回路
は、複数の異なる電圧範囲のパルスを出力することを特
徴とする撮像装置を提供する。
In another means, a photoelectric conversion unit that converts incident light into an electric signal and accumulates the electric signal, an amplification transistor that amplifies and outputs a signal from the photoelectric conversion unit, and a control electrode of the amplification transistor A plurality of pixels each including a reset transistor for resetting and a processing transistor for performing predetermined processing, and a signal level applied to a control electrode of the reset transistor for switching off the reset transistor, the processing transistor A scanning circuit for controlling the signal level to be lower than a signal level applied to a control electrode of the processing transistor for switching off, the scanning circuit being provided in a shift register and each stage of the shift register. And outputs a plurality of pulses based on the shift register. A pulse output circuit, wherein the pulse output circuit includes a level conversion circuit that converts a voltage range of a pulse from the shift register, and the pulse output circuit outputs a pulse having a plurality of different voltage ranges. Is provided.

【0009】また、他の手段では、入射光を電気信号に
変換して蓄積する光電変換部と、前記光電変換部からの
信号に所定の処理を行い出力する第1の処理トランジス
タと、前記光電変換部に蓄積されている前記電気信号を
前記第1の処理トランジスタに転送する転送トランジス
タと、所定の処理を行う第2の処理トランジスタとをそ
れぞれ含む複数の画素と、前記転送トランジスタをオフ
に切り替えるための、前記転送トランジスタの制御電極
に印加する信号レベルを、前記第2の処理トランジスタ
をオフに切り替えるための、前記処理トランジスタの制
御電極に印加する信号レベルよりも低くするように制御
する走査回路とを有し、前記走査回路は、シフトレジス
タと、前記シフトレジスタの各段にそれぞれ設けられた
前記シフトレジスタかあのパルスに基づいて複数のパル
スを出力するパルス出力回路を有し、前記パルス出力回
路は、前記シフトレジスタからのパルスの電圧範囲を変
換するレベル変換回路を含み、前記パルス出力回路は、
複数の異なる電圧範囲のパルスを出力することを特徴と
する撮像装置を提供する。
In another aspect, the photoelectric conversion unit converts incident light into an electric signal and accumulates the electric signal, a first processing transistor that performs predetermined processing on a signal from the photoelectric conversion unit and outputs the processed signal, A plurality of pixels each including a transfer transistor for transferring the electric signal accumulated in the conversion unit to the first processing transistor, and a second processing transistor for performing a predetermined process, and switching off the transfer transistor Scanning circuit for controlling the signal level applied to the control electrode of the transfer transistor to be lower than the signal level applied to the control electrode of the processing transistor for switching off the second processing transistor. Wherein the scanning circuit comprises: a shift register; and the shift register provided at each stage of the shift register. Or has a pulse output circuit for outputting a plurality of pulses based on that pulse, the pulse output circuit includes a level converting circuit for converting the voltage range of the pulse from the shift register, the pulse output circuit,
Provided is an imaging device that outputs a plurality of pulses in different voltage ranges.

【0010】また、他の手段では、入射光を電気信号に
変換して蓄積する光電変換部と、前記光電変換部からの
信号に所定の処理を行い出力する第1の処理トランジス
タと、リセット信号を供給するためのリセットトランジ
スタと、所定の処理を行う第2の処理トランジスタとを
それぞれ含む複数の画素と、前記転送トランジスタをオ
フに切り替えるための、前記転送トランジスタの制御電
極に印加する信号レベルを、前記第2の処理トランジス
タをオフに切り替えるための、前記処理トランジスタの
制御電極に印加する信号レベルよりも低くするように制
御する走査回路を有し、前記走査回路は、シフトレジス
タと、前記シフトレジスタの各段にそれぞれ設けられた
前記シフトレジスタかあのパルスに基づいて複数のパル
スを出力するパルス出力回路を有し、前記パルス出力回
路は、前記シフトレジスタからのパルスの電圧範囲を変
換するレベル変換回路を含み、前記パルス出力回路は、
複数の異なる電圧範囲のパルスを出力することを特徴と
する撮像装置を提供する。
In another means, a photoelectric conversion unit for converting incident light into an electric signal and storing the electric signal, a first processing transistor for performing predetermined processing on a signal from the photoelectric conversion unit and outputting the signal, and a reset signal And a plurality of pixels each including a reset transistor for supplying a second transistor for performing a predetermined process, and a signal level applied to a control electrode of the transfer transistor for switching off the transfer transistor. A scanning circuit for switching off the second processing transistor, the control circuit controlling the signal level to be lower than a signal level applied to a control electrode of the processing transistor, wherein the scanning circuit includes a shift register and the shift register. A pulse output from the shift register provided at each stage of the register, based on the pulse. An output circuit, the pulse output circuit includes a level converting circuit for converting the voltage range of the pulse from the shift register, the pulse output circuit,
Provided is an imaging device that outputs pulses in a plurality of different voltage ranges.

【0011】また、他の手段では、入射光を電気信号に
変換して蓄積する光電変換部と、主電極が前記光電変換
部と接続され所定の処理を行う第1の処理トランジスタ
と、主電極が前記光電変換部に接続されていない所定の
処理を行う第2の処理トランジスタとをそれぞれ含む複
数の画素と、前記第1のトランジスタをオフに切り替え
るための、前記第1のトランジスタの制御電極に印加す
る信号レベルを、前記第2の処理トランジスタをオフに
切り替えるための、前記処理トランジスタの制御電極に
印加する信号レベルよりも低くするように制御する走査
回路を有し、前記走査回路は、シフトレジスタと、前記
シフトレジスタの各段にそれぞれ設けられた前記シフト
レジスタかあのパルスに基づいて複数のパルスを出力す
るパルス出力回路を有し、前記パルス出力回路は、前記
シフトレジスタからのパルスの電圧範囲を変換するレベ
ル変換回路を含み、前記パルス出力回路は、複数の異な
る電圧範囲のパルスを出力することを特徴とする撮像装
置を提供する。
In another means, a photoelectric conversion unit for converting incident light into an electric signal and storing the converted signal, a first processing transistor having a main electrode connected to the photoelectric conversion unit for performing predetermined processing, a main electrode, A plurality of pixels each including a second processing transistor that performs a predetermined process that is not connected to the photoelectric conversion unit, and a control electrode of the first transistor for switching off the first transistor. A scanning circuit for controlling a signal level to be applied to be lower than a signal level to be applied to a control electrode of the processing transistor for switching off the second processing transistor; A register and a pulse output circuit for outputting a plurality of pulses based on the pulse of the shift register provided at each stage of the shift register Wherein the pulse output circuit includes a level conversion circuit for converting a voltage range of a pulse from the shift register, and the pulse output circuit outputs pulses in a plurality of different voltage ranges. I will provide a.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】本発明の実施形態について以下に
詳細に説明する。なお、以下の実施の形態において、M
OS型電界効果トランジスタをMOSFETと記載す
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below in detail. In the following embodiment, M
The OS type field effect transistor is described as a MOSFET.

【0013】(実施形態1)本発明の実施形態1につい
て説明する。
(First Embodiment) A first embodiment of the present invention will be described.

【0014】図1は、複数段からなる走査回路の第n段
の単位ブロックを示している。シフトレジスタ単位ブロ
ック21を複数段接続することによって走査回路を構成
する。
FIG. 1 shows an n-th unit block of a scanning circuit having a plurality of stages. A scanning circuit is formed by connecting the shift register unit blocks 21 in a plurality of stages.

【0015】パルス出力回路22は、シフトレジスタ単
位ブロック21の出力φSR(n)と、外部入力パルスφ
B0を入力として、出力パルスφA(n)、φB(n)
を生成する。
The pulse output circuit 22 outputs the output φSR (n) of the shift register unit block 21 and the external input pulse φ
With B0 as input, output pulses φA (n), φB (n)
Generate

【0016】ここで、φSR(n)、φB0、φA(n)
は、ハイレベルが共通正電源VDD、ローレベルが共通
負電源VSSのパルスであり、φB(n)はハイレベルが
VBH、ローレベルがVBLのパルスである。
Here, φSR (n), φB0, φA (n)
Is a pulse of a common positive power supply VDD at a high level and a pulse of a common negative power supply VSS at a low level, and φB (n) is a pulse of VBH at a high level and VBL at a low level.

【0017】φB(n)が生成される過程を説明する。
φSR(n)とφB0の論理積φB1がレベル変換回路2
3に入力され、VDD〜VSSの電圧範囲からVBH〜
VBLの電圧範囲のパルスφB2に変換される。φB2
がバッファ24に入力され、最終的に出力パルスφB
(n)として出力される。バッファ24はVBH、VB
Lの2電源によって動作するため、φB(n)はVBH
〜VBLのパルスである。
The process of generating φB (n) will be described.
The logical product φB1 of φSR (n) and φB0 is the level conversion circuit 2
3 from the voltage range of VDD to VSS to VBH to
It is converted into a pulse φB2 in the voltage range of VBL. φB2
Is input to the buffer 24, and finally the output pulse φB
(N). Buffer 24 is VBH, VB
ΦB (n) is VBH
To VBL.

【0018】一方φA(n)は、φSR(n)を反転した
φA1をバッファに入力し、最終的な出力パルスφA
(n)となったもので、生成される過程においてパルス
電圧範囲のレベル変換はされない。
On the other hand, φA (n) inputs φA1 obtained by inverting φSR (n) to the buffer, and outputs a final output pulse φA (n).
(N), the level conversion of the pulse voltage range is not performed in the generation process.

【0019】パルス出力回路22中にレベル変換回路2
3を設けたことにより、電圧範囲の異なる出力パルスφ
A(n)、φB(n)が生成でき、走査される回路にお
いて、特殊な回路動作が可能となる。また、シフトレジ
スタは単一で済むため、チップ面積縮小につながる。
The level conversion circuit 2 is included in the pulse output circuit 22.
3 provides output pulses φ having different voltage ranges.
A (n) and φB (n) can be generated, and a special circuit operation can be performed in a circuit to be scanned. In addition, since only one shift register is required, the chip area can be reduced.

【0020】(実施形態2)本発明の実施形態2につい
て説明する。
(Embodiment 2) Embodiment 2 of the present invention will be described.

【0021】図2は、複数段からなる走査回路の第n段
の単位ブロックを示している。
FIG. 2 shows an n-th unit block of a scanning circuit having a plurality of stages.

【0022】正電源VDD、負電源VSSで動作する前
段回路26は、少なくともシフトレジスタ単位ブロック
を含むロジック回路である。一方後段回路27は、正電
源VDD、負電源VLで動作するロジック回路で、最終
的な出力パルスを発生するが、レベル変換回路23が十
分な駆動能力を持つ場合は、省略可能である。ここで、
2つの負電源の電圧関係は、VSS>VLに設定されて
いる。
The pre-stage circuit 26 operated by the positive power supply VDD and the negative power supply VSS is a logic circuit including at least a shift register unit block. On the other hand, the post-stage circuit 27 is a logic circuit that operates on the positive power supply VDD and the negative power supply VL, and generates a final output pulse. However, if the level conversion circuit 23 has sufficient driving capability, it can be omitted. here,
The voltage relationship between the two negative power supplies is set to VSS> VL.

【0023】前段回路26から入力される反転入力φI
NBは、PMOSFET28とNMOSFET29で構
成されるインバータの入力ゲートに印加されており、さ
らに負電源VLとの間に直列接続されたNMOSFET
30のゲートには、φINBと同相であるがレベル変換
後の出力φOUTBが帰還されている。
Inverting input φI input from pre-stage circuit 26
NB is applied to an input gate of an inverter composed of a PMOSFET 28 and an NMOSFET 29, and is further connected to a negative power supply VL.
The output φOUTB, which is in phase with φINB but after level conversion, is fed back to the gate 30.

【0024】φINBのローレベルはVSSであり、V
Lより高い電圧のため、単純なCMOSインバータだと
NMOSFET29が完全にオフしないため、貫通電流
が流れてしまう。
The low level of φINB is VSS,
Since the voltage is higher than L, if a simple CMOS inverter is used, the NMOSFET 29 is not completely turned off, so that a through current flows.

【0025】本実施形態のレベル変換回路23では、ロ
ーレベルがVLであるφOUTBを帰還入力されているNM
OSFET30が直列接続されていることにより、貫通
電流が遮断される。正転入力φINが入力されるPMO
SFET31とNMOSFET32によって構成される
CMOSインバ−タも、NMOSFET33が直列に接
続され、NMOSFET33のゲ−トにφOUTを入力
するようにしたことによって、同様な原理で貫通電流が
遮断される。
In the level conversion circuit 23 of the present embodiment, the NM which is fed back with φOUTB whose low level is VL is input.
Since the OSFETs 30 are connected in series, the through current is cut off. PMO to which forward rotation input φIN is input
In the CMOS inverter formed by the SFET 31 and the NMOSFET 32, the NMOSFET 33 is connected in series, and φOUT is inputted to the gate of the NMOSFET 33.

【0026】したがって、このレベル変換回路23にお
いて、NMOSFET30とNMOSFET31からな
る貫通電流抑制回路を設けたことにより、貫通電流によ
る消費電力の増大はなくなる。正電源側でレベルが異な
る場合も、本実施例と同様な回路構成によって、貫通電
流を抑止できることは明らかである。この貫通電流抑制
効果は、多画素の固体撮像素子の走査回路のように、走
査回路の段数が多くなればなるほど効果がある。
Therefore, in the level conversion circuit 23, the provision of the through current suppressing circuit including the NMOSFET 30 and the NMOSFET 31 eliminates an increase in power consumption due to the through current. Even when the level differs on the positive power supply side, it is clear that through current can be suppressed by a circuit configuration similar to that of the present embodiment. This through current suppression effect is more effective as the number of stages of the scanning circuit increases, as in the case of a scanning circuit of a solid-state imaging device having multiple pixels.

【0027】(実施形態3)本発明の実施形態3を説明
する。
(Embodiment 3) Embodiment 3 of the present invention will be described.

【0028】複数段からなる走査回路の第n段の単位ブ
ロックを示している。
FIG. 3 shows an n-th unit block of a scanning circuit having a plurality of stages.

【0029】上記の実施形態2の走査回路に含まれるレ
ベル変換回路は、貫通電流抑制効果は高いものの、帰還
用の配線が必要なため、走査回路全体の面積が大きくな
ってしまうという問題がある。
The level conversion circuit included in the scanning circuit according to the second embodiment has a high effect of suppressing a through current but has a problem that the area of the entire scanning circuit becomes large because a wiring for feedback is required. .

【0030】本発明の実施形態3はこの点を改善したも
のであり、PMOSFET28とNMOSFET29で
構成されるインバータと負電源VL間に直列接続され
た、ゲート電極とドレイン電極を直結したNMOSFE
T30によって貫通電流抑制回路を構成している。この
ように構成することによって、NMOSFET30は貫
通電流に対して抵抗として作用する。
The third embodiment of the present invention is an improvement of this point. An NMOS FE having a gate electrode and a drain electrode directly connected and connected in series between an inverter composed of a PMOSFET 28 and an NMOSFET 29 and a negative power supply VL.
T30 constitutes a through current suppression circuit. With this configuration, the NMOSFET 30 acts as a resistance to a through current.

【0031】素子数が少ないことと帰還用の配線が削減
できるため、チップ面積縮小効果と貫通電流抑制効果の
両立が図れる。
Since the number of elements is small and the number of wirings for feedback can be reduced, both the effect of reducing the chip area and the effect of suppressing the through current can be achieved.

【0032】なお、本実施形態のレベル変換回路はイン
バータであるが、インバータを基本とした派生ゲートで
あるNAND、NORも、図4(a)、(b)に示すよ
うに構成することができる。
Although the level conversion circuit of this embodiment is an inverter, the inverter-based derivative gates NAND and NOR can also be configured as shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b). .

【0033】(実施形態4)本発明の実施形態4につい
て説明する。
(Embodiment 4) Embodiment 4 of the present invention will be described.

【0034】本実施形態は、図5の走査回路を垂直走査
回路として用いた固体撮像素子(図8)に関するもので
ある。図5の走査回路内のレベルシフト回路は、上記で
説明した実施形態1から3の走査回路内に含まれるレベ
ルシフト回路23である。
This embodiment relates to a solid-state imaging device (FIG. 8) using the scanning circuit of FIG. 5 as a vertical scanning circuit. The level shift circuit in the scanning circuit of FIG. 5 is the level shift circuit 23 included in the scanning circuits of the first to third embodiments described above.

【0035】図8は、固体撮像素子をあらわし、図5の
走査回路を垂直走査回路として駆動したもので、固体撮
像素子のダイナミックレンジを改善したものである。
FIG. 8 shows a solid-state image sensor, in which the scanning circuit of FIG. 5 is driven as a vertical scanning circuit, and which improves the dynamic range of the solid-state image sensor.

【0036】図8は単位画素4つ分の配列を図示してい
るが、画素の個数に特に制限はなく、また2次元的な配
列でなくともよい。
FIG. 8 shows an arrangement for four unit pixels, but there is no particular limitation on the number of pixels, and the arrangement need not be a two-dimensional arrangement.

【0037】単位画素中には、光電変換部としてフォト
ダイオード1、光電変換部で発生した信号を増幅する増
幅用MOSFET2、フォトダイオード1から増幅用M
OSFET2の入力に信号電荷を転送する転送用MOS
FET3が図のように接続されている。
In the unit pixel, a photodiode 1 as a photoelectric conversion unit, an amplifying MOSFET 2 for amplifying a signal generated in the photoelectric conversion unit, and an amplifying M
Transfer MOS for transferring signal charges to the input of OSFET2
FET 3 is connected as shown.

【0038】また、増幅用MOSFET2の入力をリセ
ットするリセットMOSFET4、画素の出力をオン・
オフする選択用MOSFET5が設けられている。
A reset MOSFET 4 for resetting the input of the amplifying MOSFET 2 and an output of the pixel are turned on.
A selection MOSFET 5 to be turned off is provided.

【0039】図10の駆動パルスタイミングを用いて、
本実施形態の固体撮像素子の動作を説明する。本実施形
態の固体撮像素子は、垂直走査回路6によって、一行ご
とに行選択パルスφSELがハイレベルとなることで、
ある行の画素と定電流源9で構成されるソースフォロワ
回路が動作状態となり、対応する出力が垂直出力線7上
にあらわれる。
Using the driving pulse timing shown in FIG.
The operation of the solid-state imaging device according to the present embodiment will be described. In the solid-state imaging device according to the present embodiment, the row selection pulse φSEL becomes a high level for each row by the vertical scanning circuit 6,
A source follower circuit composed of pixels in a certain row and a constant current source 9 is activated, and a corresponding output appears on the vertical output line 7.

【0040】蓄積期間中リセットパルスφRESはハイ
レベルとなっており、増幅用MOSFET2の入力はリ
セットされた状態にあるが、画素の選択期間の間、リセ
ットMOSFET4はオフとなり、増幅用MOSFET
2の入力はフローティングの状態になる。
During the accumulation period, the reset pulse φRES is at a high level, and the input of the amplification MOSFET 2 is in a reset state. However, during the pixel selection period, the reset MOSFET 4 is turned off and the amplification MOSFET 2 is turned off.
The input of 2 is in a floating state.

【0041】固定パターンノイズ除去のため、まずリセ
ット直後の出力が転送ゲート8aを介して信号蓄積部1
0に記憶される。つづいて、転送パルスφTXがハイレ
ベルとなり、光信号電荷がフォトダイオード1から増幅
用MOSFET2の入力に転送される。信号転送後の出
力は、転送ゲート8bを介して信号蓄積部9に記憶され
る。リセット直後の出力と信号転送後の出力の差分をと
ることで、固体パターンノイズの除去が可能である。
In order to remove fixed pattern noise, first, the output immediately after the reset is applied to the signal storage unit 1 via the transfer gate 8a.
0 is stored. Subsequently, the transfer pulse φTX goes high, and the optical signal charge is transferred from the photodiode 1 to the input of the amplifying MOSFET 2. The output after the signal transfer is stored in the signal storage unit 9 via the transfer gate 8b. By taking the difference between the output immediately after reset and the output after signal transfer, solid pattern noise can be removed.

【0042】この固体撮像素子の画素エリアでのダイナ
ミックレンジを考えると、ダイナミックレンジ上限を規
定するリセットレベルは、リセットMOSFET4のゲ
ートハイレベルをVRESH、MOSFETのしきい値
をVth、画素ソースフォロワ電源を含む共通正電源を
VDDとすると、リセットMOSFET4が5極管領域
でリセット動作をしている場合、すなわちVRESH−
Vth<VDDの関係が成り立っている場合はVRES
H−Vthで表される。
Considering the dynamic range in the pixel area of the solid-state imaging device, the reset level defining the upper limit of the dynamic range is VRESH for the gate high level of the reset MOSFET 4, Vth for the threshold value of the MOSFET, and Vth for the pixel source follower power supply. Assuming that the common positive power supply includes VDD, when the reset MOSFET 4 performs a reset operation in the pentode region, that is, VRESH-
If the relationship of Vth <VDD holds, VRES
It is represented by H-Vth.

【0043】一方、3極管領域でリセット動作している
場合、すなわちVRESH−Vth>VDDの関係が成
り立っている場合はリセットレベルはVDDとなる。従
来技術の走査回路においてはVRESH=VDDである
ので、リセットレベルはVDD−Vthまでしか上げる
ことができなかったが、本発明の走査回路では、レベル
変換回路を内蔵しているため、φRESを電圧範囲VR
ESH〜VSSのパルスにして従来よりもリセットレベ
ルを高く設定し、ダイナミックレンジを拡大することが
可能である。
On the other hand, when the reset operation is performed in the triode region, that is, when the relationship of VRESH-Vth> VDD holds, the reset level becomes VDD. In the conventional scanning circuit, since VRESH = VDD, the reset level can be increased only to VDD-Vth. However, in the scanning circuit of the present invention, since the level conversion circuit is built in, φRES is set to a voltage. Range VR
It is possible to extend the dynamic range by setting the reset level higher than before by making pulses of ESH to VSS.

【0044】また、電源電圧の異なる複数の走査回路を
用いた場合と比較して、チップ面積が大幅に縮小される
ことは言うまでもない。
It is needless to say that the chip area is greatly reduced as compared with the case where a plurality of scanning circuits having different power supply voltages are used.

【0045】(実施形態5)本発明の実施形態5につい
て説明する。
(Fifth Embodiment) A fifth embodiment of the present invention will be described.

【0046】本実施形態は、本実施形態は、図6の走査
回路を垂直走査回路としてい用いた固体撮像素子(図
8)に関するものである。図6の走査回路内のレベルシ
フト回路は、上記で説明した実施形態1から3の走査回
路内に含まれるレベルシフト回路23である。
This embodiment relates to a solid-state imaging device (FIG. 8) using the scanning circuit of FIG. 6 as a vertical scanning circuit. The level shift circuit in the scanning circuit of FIG. 6 is the level shift circuit 23 included in the scanning circuits of the first to third embodiments described above.

【0047】図8は、固体撮像素子をあらわし、図6の
走査回路を垂直走査回路として駆動したもので、固体撮
像素子の暗電流特性を改善したものである。
FIG. 8 shows a solid-state image sensing device, in which the scanning circuit of FIG. 6 is driven as a vertical scanning circuit, and which has improved dark current characteristics of the solid-state image sensing device.

【0048】以下に暗電流特性について説明する。Hereinafter, the dark current characteristics will be described.

【0049】図8に示す単位画素中には、光電変換部と
してフォトダイオード1、光電変換部で発生した信号を
増幅する増幅用MOSFET2、フォトダイオード1か
ら増幅用MOSFET2の入力に信号電荷を転送する転
送用MOSFET3が図のように接続されている。ま
た、増幅用MOSFET2の入力をリセットするリセッ
トMOSFET4、画素の出力をオン・オフする選択用
MOSFET5が設けられている。
In the unit pixel shown in FIG. 8, a photodiode 1 as a photoelectric converter, an amplifying MOSFET 2 for amplifying a signal generated in the photoelectric converter, and a signal charge are transferred from the photodiode 1 to an input of the amplifying MOSFET 2. The transfer MOSFET 3 is connected as shown in the figure. Further, a reset MOSFET 4 for resetting the input of the amplification MOSFET 2 and a selection MOSFET 5 for turning on / off the output of the pixel are provided.

【0050】図8の画素構造における暗電流特性を考え
た場合、フォトダイオード1内で発生する暗電流成分だ
けでなく、転送用MOSFET3のゲート電極下で発生
する暗電流成分もS/N比に関わってくる。
In consideration of the dark current characteristic of the pixel structure shown in FIG. 8, not only the dark current component generated in the photodiode 1 but also the dark current component generated under the gate electrode of the transfer MOSFET 3 has an S / N ratio. Comes involved.

【0051】なぜなら、転送用MOSFET3のゲート
酸化膜のSi−SiO2界面あるいはそれより下の空乏
層で蓄積期間中発生した発生電荷は、フォトダイオード
1側に拡散してしまい、信号電荷読み出しの際に信号電
荷に重畳され、偽信号として影響するため、S/N比を
劣化させる。したがって一般に、光電変換部に隣接して
スイッチ用のトランジスタを設ける形式のイメージセン
サにおいては、スイッチ部での暗電流を抑制することが
画質向上のために必要である。
The charge generated during the accumulation period at the Si-SiO2 interface of the gate oxide film of the transfer MOSFET 3 or at the depletion layer below it is diffused to the photodiode 1 side, and the signal charge is read out. Since it is superimposed on the signal charge and affects as a false signal, the S / N ratio is deteriorated. Therefore, generally, in an image sensor in which a switching transistor is provided adjacent to the photoelectric conversion unit, it is necessary to suppress dark current in the switching unit in order to improve image quality.

【0052】ゲート電極近傍で発生する暗電流を抑制す
る方法としては、転送スイッチであるMOSFETトラ
ンジスタのしきい値を高く設定し、蓄積期間中ゲート電
極近傍を十分にホール蓄積状態にすることが考えられ
る。
As a method of suppressing the dark current generated near the gate electrode, it is considered that the threshold value of the MOSFET transistor as the transfer switch is set high and the vicinity of the gate electrode is sufficiently filled with holes during the accumulation period. Can be

【0053】しかし、しきい値制御のための追加のチャ
ネルドープが必要となりコスト増となるだけでなく、フ
ォトダイオードから転送スイッチ近傍の不純物プロファ
イルに影響を与えるため、フォトダイオードからの電荷
転送特性が悪化し、残像等の問題が発生することがあ
る。とくに、転送直後にフォトダイオードを空乏化させ
るタイプのCMOSイメージセンサでは、一層影響が大
きく、フォトダイオード・転送スイッチ近傍のデバイス
構造の設計を困難にしていた。
However, additional channel doping for controlling the threshold value is required, which not only increases the cost, but also affects the impurity profile from the photodiode to the vicinity of the transfer switch. It may worsen, and problems such as afterimages may occur. Particularly, in a CMOS image sensor of a type in which a photodiode is depleted immediately after transfer, the influence is further increased, and it has been difficult to design a device structure near the photodiode and the transfer switch.

【0054】また、通常フォトダイオードに隣接するス
イッチ部のMOSFETトランジスタと、それ以外のM
OSFETトランジスタは同時に形成されるため、他の
トランジスタのしきい値をも上げることになり、回路設
計上の困難を増加させる。また、画素ソースフォロワの
ダイナミックレンジを考えた場合、MOSFETのしき
い値をVth、共通な正電源をVDDとすると、ダーク
時の出力電圧に相当する垂直出力線上の電圧上限は、V
DD−2*Vthで規定される。
Further, the MOSFET transistor in the switch section adjacent to the photodiode and the other M
Since the OSFET transistor is formed at the same time, the threshold value of the other transistor is also increased, which increases the difficulty in circuit design. When the dynamic range of the pixel source follower is considered, assuming that the threshold voltage of the MOSFET is Vth and the common positive power supply is VDD, the upper limit of the voltage on the vertical output line corresponding to the output voltage in darkness is V
DD-2 * Vth.

【0055】ここでしきい値Vthが高くなると、この
上限は低下するため、垂直出力線上でとり得る信号振幅
は圧迫される。
Here, when the threshold value Vth increases, the upper limit decreases, and the signal amplitude that can be obtained on the vertical output line is suppressed.

【0056】MOSFETトランジスタの微細化が進む
につれて、回路に供給される電源電圧は低くなるため、
この問題の影響はさらに顕著になってくる。
Since the power supply voltage supplied to the circuit decreases as the size of the MOSFET transistor decreases,
The effect of this problem is even more pronounced.

【0057】本実施形態においては、転送用MOSFE
T3のゲートに印加するパルスφTX(n)は、VDD〜
VSSの電圧範囲からVDD〜VTXLにレベル変換し
てある。
In this embodiment, the transfer MOSFE
The pulse φTX (n) applied to the gate of T3 is from VDD to
The level is converted from the voltage range of VSS to VDD to VTXL.

【0058】ここで、VTXLは共通負電源VSSより
低く設定してある。これにより、露光・蓄積期間中の転
送用MOSFET3のゲート電極下のポテンシャルをコ
ントロールし、ゲート電極下をホール蓄積状態にするこ
とが容易にでき、ゲート電極下で発生する暗電流成分を
抑制することができる。
Here, VTXL is set lower than the common negative power supply VSS. This makes it possible to control the potential under the gate electrode of the transfer MOSFET 3 during the exposure / accumulation period, easily bring the hole under the gate electrode into a hole accumulation state, and suppress a dark current component generated under the gate electrode. Can be.

【0059】一方、φRES(n))のローレベルはV
SSのままであるため、次のような効果がある。リセッ
トMOSFET3がオフする瞬間に、リセットMOSF
ET3のゲート・ソース間容量結合によるクロックリー
クによって、実施形態4で述べたリセットレベルは、詳
細にはVRESH−VthよりさらにΔCKだけ低くな
る。このクロックリークによる低下分ΔCKは、φRE
Sのローレベルが低くなるとφRESの振幅が大きくな
るため増加する。本実施形態のように、ローレベルがV
SSのままであれば、ΔCKが大きくなることはなく、
ダイナミックレンジの低下は回避される。
On the other hand, the low level of φRES (n)) is V
Since it is still SS, the following effects are obtained. At the moment when the reset MOSFET 3 is turned off, the reset MOSF
The reset level described in the fourth embodiment is specifically lower than VRESH-Vth by ΔCK due to clock leakage due to gate-source capacitance coupling of ET3. The decrease ΔCK due to this clock leak is φRE
When the low level of S decreases, the amplitude of φRES increases because it increases. As in the present embodiment, when the low level is V
If it remains SS, ΔCK will not increase,
Reduction of the dynamic range is avoided.

【0060】また、全行においてφTXがローレベルで
ある蓄積期間中、あるいは1行を除く全行においてφT
Xがローレベルである読み出し期間において、レベル変
換部の貫通電流は無視できない。したがって、実施形態
2または3で示したような貫通電流抑制回路を内蔵した
レベル変換回路を採用することで、低消費電力化が実現
でき、特に効果が高い。
During the accumulation period in which φTX is at a low level in all rows, or in all rows except for one row, φT
In the read period in which X is at the low level, the through current of the level conversion unit cannot be ignored. Therefore, by employing a level conversion circuit having a built-in through current suppression circuit as described in the second or third embodiment, low power consumption can be realized, and the effect is particularly high.

【0061】(実施形態6)本発明の実施形態6につい
て説明する。
(Embodiment 6) Embodiment 6 of the present invention will be described.

【0062】本実施形態は、図7の走査回路を垂直走査
回路として用いた固体撮像素子(図9)に関するもので
ある。図7の走査回路内のレベルシフト回路は、上記で
説明した実施形態1から3の走査回路内に含まれるレベ
ルシフト回路23である。
This embodiment relates to a solid-state imaging device (FIG. 9) using the scanning circuit of FIG. 7 as a vertical scanning circuit. The level shift circuit in the scanning circuit of FIG. 7 is the level shift circuit 23 included in the scanning circuits of the first to third embodiments described above.

【0063】図9は、固体撮像素子をあらわし、図7の
走査回路を垂直走査回路として駆動したもので、リニア
リティおよびダイナミックレンジ改善の手法を具体化し
たものである。選択用MOSFET5が、増幅用MOS
FET2と画素部電源VDDの間に接続されている固体
撮像素子においては、選択用MOSFET5に印加する
ゲートハイレベル(VSELH)を、リセットMOSF
ET4のゲートハイレベル(VDD)より高くすること
で、低輝度側のリニアリティが改善し、有効なダイナミ
ックレンジが拡大する。本実施形態においては、図7の
走査回路を用いることで、走査回路部分の面積を縮小で
きる。
FIG. 9 shows a solid-state image pickup device, in which the scanning circuit of FIG. 7 is driven as a vertical scanning circuit, and which embodies a method of improving linearity and dynamic range. The selection MOSFET 5 is an amplification MOS
In the solid-state imaging device connected between the FET 2 and the pixel unit power supply VDD, the gate high level (VSELH) applied to the selection MOSFET 5 is reset by the reset MOSF.
By setting it higher than the gate high level (VDD) of ET4, the linearity on the low luminance side is improved, and the effective dynamic range is expanded. In the present embodiment, the area of the scanning circuit portion can be reduced by using the scanning circuit of FIG.

【0064】上記の実施形態4から6では、信号電荷が
電子である場合を説明したが、信号電荷がホールである
場合でも、極性を反対にすることで同様の効果が得られ
ることは明らかである。また、上記の実施形態4から6
で挙げた回路構成または電圧値等に限定されるものでは
ないが、特に電源電圧の低い微細化プロセスになるほ
ど、顕著な効果を持つ。
In the fourth to sixth embodiments, the case where the signal charge is an electron has been described. Even when the signal charge is a hole, it is apparent that the same effect can be obtained by reversing the polarity. is there. In addition, the above embodiments 4 to 6
Although not limited to the circuit configuration, voltage value, and the like described above, the effect is more remarkable as the power supply voltage becomes lower and the process becomes finer.

【0065】(実施形態7)図11に基づいて、上記で
説明した実施形態4〜6で説明した固体撮像素子を用い
た撮像装置について説明する。
(Embodiment 7) An imaging apparatus using the solid-state imaging device described in Embodiments 4 to 6 will be described with reference to FIG.

【0066】図11において、101はレンズのプロテ
クトとメインスイッチを兼ねるバリア、102は被写体
の光学像を固体撮像素子104に結像させるレンズ、1
03はレンズ102を通った光量を可変するための絞
り、104はレンズ102で結像された被写体を画像信
号として取り込むための固体撮像素子、105は、固体
撮像素子104から出力される画像信号を増幅するゲイ
ン可変アンプ部及びゲイン値を補正するためのゲイン補
正回路部等を含む撮像信号処理回路、106は固体撮像
素子104より出力される画像信号のアナログーディジ
タル変換を行うA/D変換器、107はA/D変換器1
06より出力された画像データに各種の補正を行ったり
データを圧縮する信号処理部、108は固体撮像素子1
04、撮像信号処理回路105、A/D変換器106、
信号処理部107に、各種タイミング信号を出力するタ
イミング発生部、109は各種演算とスチルビデオカメ
ラ全体を制御する全体制御・演算部、110は画像デー
タを一時的に記憶する為のメモリ部、111は記録媒体
に記録または読み出しを行うためのインターフェース
部、112は画像データの記録または読み出しを行う為
の半導体メモリ等の着脱可能な記録媒体、113は外部
コンピュータ等と通信する為のインターフェース部であ
る。
In FIG. 11, reference numeral 101 denotes a barrier which functions both as protection of the lens and as a main switch; 102, a lens for forming an optical image of a subject on the solid-state image sensor 104;
Reference numeral 03 denotes an aperture for varying the amount of light passing through the lens 102, reference numeral 104 denotes a solid-state imaging device for capturing a subject formed by the lens 102 as an image signal, and reference numeral 105 denotes an image signal output from the solid-state imaging device 104. An image signal processing circuit including a variable gain amplifier section for amplifying and a gain correction circuit section for correcting a gain value; , 107 are A / D converters 1
A signal processing unit 108 for performing various corrections on the image data output from 06 and compressing the data;
04, an imaging signal processing circuit 105, an A / D converter 106,
A timing generation unit for outputting various timing signals to the signal processing unit 107; 109, an overall control / operation unit for controlling various operations and the entire still video camera; 110, a memory unit for temporarily storing image data; Is an interface unit for recording or reading on a recording medium, 112 is a detachable recording medium such as a semiconductor memory for recording or reading image data, and 113 is an interface unit for communicating with an external computer or the like. .

【0067】次に、前述の構成における撮影時の撮像装
置の動作について説明する。
Next, the operation of the image pickup apparatus at the time of photographing in the above configuration will be described.

【0068】バリア1がオープンされるとメイン電源が
オンされ、次にコントロール系の電源がオンし、更にA
/D変換器6などの撮像系回路の電源がオンされる。
When the barrier 1 is opened, the main power supply is turned on, and then the control system power supply is turned on.
The power of the imaging system circuit such as the / D converter 6 is turned on.

【0069】それから、露光量を制御する為に、全体制
御・演算部109は絞り103を開放にし、固体撮像素
子104から出力された信号はA/D変換器106で変
換された後、信号処理部107に入力される。そのデー
タを基に露出の演算を全体制御・演算部9で行う。
Then, in order to control the exposure amount, the overall control / calculation unit 109 opens the aperture 103, and the signal output from the solid-state image sensor 104 is converted by the A / D converter 106, and then the signal is processed. The data is input to the unit 107. The overall control / arithmetic unit 9 calculates the exposure based on the data.

【0070】この測光を行った結果により明るさを判断
し、その結果に応じて全体制御・演算部9は絞りを制御
する。
The brightness is determined based on the result of the photometry, and the overall control / arithmetic unit 9 controls the aperture according to the result.

【0071】次に、固体撮像素子104から出力された
信号をもとに、高周波成分を取り出し被写体までの距離
の演算を全体制御・演算部109で行う。その後、レン
ズを駆動して合焦か否かを判断し、合焦していないと判
断した時は、再びレンズを駆動し測距を行う。
Next, based on the signal output from the solid-state imaging device 104, a high-frequency component is extracted and the overall control / arithmetic unit 109 calculates the distance to the subject. Thereafter, the lens is driven to determine whether or not the lens is in focus. When it is determined that the lens is not focused, the lens is driven again to perform distance measurement.

【0072】そして、合焦が確認された後に本露光が始
まる。
After the in-focus state is confirmed, the main exposure starts.

【0073】露光が終了すると、固体撮像素子104か
ら出力された画像信号はA/D変換器106でA/D変
換され、信号処理部107を通り全体制御・演算部10
9によりメモリ部に書き込まれる。
When the exposure is completed, the image signal output from the solid-state image sensor 104 is A / D-converted by the A / D converter 106, passes through the signal processing unit 107, and is controlled by the overall control / operation unit 10
9 is written to the memory unit.

【0074】その後、メモリ部110に蓄積されたデー
タは、全体制御・演算部109の制御により記録媒体制
御I/F部を通り半導体メモリ等の着脱可能な記録媒体
112に記録される。
Thereafter, the data stored in the memory unit 110 passes through the recording medium control I / F unit under the control of the overall control / arithmetic unit 109 and is recorded on a removable recording medium 112 such as a semiconductor memory.

【0075】また、外部I/F部113を通り直接コン
ピュータ等に入力して画像の加工を行ってもよい。
Further, the image may be processed by inputting it directly to a computer or the like through the external I / F unit 113.

【0076】[0076]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の走査回路
は、レベル変換機能を内蔵し電圧範囲の異なる複数のパ
ルスを出力することができることで、走査される対象の
回路に対して特別な動作をさせることが可能となる。
As described above, the scanning circuit of the present invention has a built-in level conversion function and can output a plurality of pulses having different voltage ranges. The operation can be performed.

【0077】特にこのような走査回路を固体撮像素子に
適用した本発明の固体撮像素子においては、ダイナミッ
クレンジ、暗電流特性の改善された高画質な固体撮像素
子が実現できる。
In particular, in the solid-state imaging device of the present invention in which such a scanning circuit is applied to a solid-state imaging device, a high-quality solid-state imaging device with improved dynamic range and dark current characteristics can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施形態1の走査回路の単位ブロック
を示す図である。
FIG. 1 is a diagram illustrating a unit block of a scanning circuit according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施形態2の走査回路の単位ブロック
を示す図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a unit block of a scanning circuit according to a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施形態3の走査回路の単位ブロック
を示す図である。
FIG. 3 is a diagram illustrating a unit block of a scanning circuit according to a third embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施形態3の走査回路のレベル変換回
路と同様な機能を有する他のレベル変換回路を示す図で
ある。
FIG. 4 is a diagram illustrating another level conversion circuit having the same function as the level conversion circuit of the scanning circuit according to the third embodiment of the present invention.

【図5】本発明の実施形態4の走査回路の単位ブロック
2段分を示す図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating two stages of unit blocks of a scanning circuit according to a fourth embodiment of the present invention.

【図6】本発明の実施形態5の走査回路の単位ブロック
2段分を示す図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating two stages of unit blocks of a scanning circuit according to a fifth embodiment of the present invention.

【図7】本発明の実施形態6の走査回路の単位ブロック
2段分を示す図である。
FIG. 7 is a diagram illustrating two stages of unit blocks of a scanning circuit according to a sixth embodiment of the present invention.

【図8】本発明の実施形態4、実施形態5の固体撮像素
子を示す図である。
FIG. 8 is a diagram illustrating a solid-state imaging device according to Embodiments 4 and 5 of the present invention.

【図9】本発明の実施形態6の固体撮像素子を示す図で
ある。
FIG. 9 is a diagram illustrating a solid-state imaging device according to a sixth embodiment of the present invention.

【図10】実施形態4の固体撮像素子を駆動する際の駆
動タイミングの一部を示した図である。
FIG. 10 is a diagram illustrating a part of the drive timing when driving the solid-state imaging device according to the fourth embodiment.

【図11】実施形態4から5の固体撮像素子を用いた撮
像装置を示す図である。
FIG. 11 is a diagram illustrating an imaging apparatus using the solid-state imaging device according to Embodiments 4 and 5.

【図12】従来技術の走査回路を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing a conventional scanning circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 フォトダイオード 2 増幅用MOSFET 3 転送用MOSFET 4 リセットMOSFET 5 選択用MOSFET 6 垂直走査回路 7 垂直出力線 8a、8b 転送ゲート 9 定電流源 10 信号蓄積部 11 水平走査回路 21 シフトレジスタの単位ブロック 22 パルス出力回路 23 レベル変換回路 24、25 バッファ回路 26 レベル変換回路の前段回路 27 レベル変換回路の後段回路 28 インバータを構成するPMOSFET 29 インバータを構成するNMOSFET 30 貫通電流抑制回路を構成するNMOSFET Reference Signs List 1 photodiode 2 amplification MOSFET 3 transfer MOSFET 4 reset MOSFET 5 selection MOSFET 6 vertical scanning circuit 7 vertical output line 8a, 8b transfer gate 9 constant current source 10 signal storage unit 11 horizontal scanning circuit 21 unit block of shift register 22 Pulse output circuit 23 Level conversion circuit 24, 25 Buffer circuit 26 Pre-stage circuit of level conversion circuit 27 Post-stage circuit of level conversion circuit 28 PMOSFET constituting inverter 29 NMOSFET constituting inverter 30 NMOSFET constituting through current suppression circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤村 大 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 桜井 克仁 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 江口 智子 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 (72)発明者 小倉 正徳 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内 Fターム(参考) 4M118 AA02 AA05 AB01 BA14 CA03 DD10 FA06 FA34 FA42 FA45 GD03 5C024 BX01 CX32 CX43 GX04 GY36 HX15 HX23 HX51 JX00  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Dai Fujimura 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (72) Inventor Katsuhito Sakurai 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inside (72) Inventor Tomoko Eguchi 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Masanori Ogura 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. F Terms (reference) 4M118 AA02 AA05 AB01 BA14 CA03 DD10 FA06 FA34 FA42 FA45 GD03 5C024 BX01 CX32 CX43 GX04 GY36 HX15 HX23 HX51 JX00

Claims (23)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 シフトレジスタと、 前記シフトレジスタの各段にそれぞれ設けられた前記シ
フトレジスタからのパルスに基づいて複数のパルスを出
力するパルス出力回路を有し、 前記パルス出力回路は、前記シフトレジスタからのパル
スの電圧範囲を変換するレベル変換回路を含み、前記パ
ルス出力回路は、複数の異なる電圧範囲のパルスを出力
することを特徴とする走査回路。
1. A shift register, comprising: a shift register; and a pulse output circuit that outputs a plurality of pulses based on a pulse from the shift register provided at each stage of the shift register. A scanning circuit including a level conversion circuit for converting a voltage range of a pulse from a register, wherein the pulse output circuit outputs pulses in a plurality of different voltage ranges.
【請求項2】 前記レベルシフト回路は、貫通電流を抑
制する貫通電流抑制回路を含むことを特徴とする請求項
1に記載の走査回路。
2. The scanning circuit according to claim 1, wherein the level shift circuit includes a through current suppression circuit that suppresses a through current.
【請求項3】 前記レベルシフト回路は、相補性インバ
−タを含むことを特徴とする請求項1に記載の走査回
路。
3. The scanning circuit according to claim 1, wherein said level shift circuit includes a complementary inverter.
【請求項4】 前記貫通電流抑制回路は、前記相補性イ
ンバ−タを貫通する電流を抑制することを特徴とする請
求項3に記載の走査回路。
4. The scanning circuit according to claim 3, wherein said through current suppressing circuit suppresses a current flowing through said complementary inverter.
【請求項5】 前記貫通電流抑制回路は、前記相補性イ
ンバ−タと電源の間に直列に接続されたトランジスタを
含み、前記トランジスタは、前記パルス出力回路で生成
されたレベルの変換後のパルスによって制御されること
を特徴とする請求項4に記載の走査回路。
5. The circuit of claim 1, wherein the through current suppressing circuit includes a transistor connected in series between the complementary inverter and a power supply, wherein the transistor has a level-converted pulse generated by the pulse output circuit. 5. The scanning circuit according to claim 4, wherein the scanning circuit is controlled by:
【請求項6】 入射光を電気信号に変換して蓄積する光
電変換部と、前記光電変換部からの信号を増幅して出力
する増幅トランジスタと、前記光電変換部に蓄積されて
いる前記電気信号を前記増幅トランジスタに転送する転
送トランジスタと、所定の処理を行う処理トランジスタ
とをそれぞれ含む複数の画素と、 前記転送トランジスタをオフに切り替えるための、前記
転送トランジスタの制御電極に印加する信号レベルを、
前記処理トランジスタをオフに切り替えるための、前記
処理トランジスタの制御電極に印加する信号レベルより
も低くするように制御する走査回路とを有し、 前記走査回路は、シフトレジスタと、前記シフトレジス
タの各段にそれぞれ設けられた前記シフトレジスタかあ
のパルスに基づいて複数のパルスを出力するパルス出力
回路を有し、前記パルス出力回路は、前記シフトレジス
タからのパルスの電圧範囲を変換するレベル変換回路を
含み、前記パルス出力回路は、複数の異なる電圧範囲の
パルスを出力することを特徴とする撮像装置。
6. A photoelectric conversion unit that converts incident light into an electric signal and stores the electric signal, an amplification transistor that amplifies and outputs a signal from the photoelectric conversion unit, and the electric signal that is stored in the photoelectric conversion unit. A plurality of pixels each including a transfer transistor that transfers a signal to the amplification transistor, and a processing transistor that performs a predetermined process, and a signal level applied to a control electrode of the transfer transistor for switching off the transfer transistor.
A scanning circuit for controlling the processing transistor to be turned off, the scanning circuit controlling the signal level to be lower than a signal level applied to a control electrode of the processing transistor, the scanning circuit includes a shift register, and each of the shift register. A pulse output circuit that outputs a plurality of pulses based on the pulse provided by the shift register provided in each stage; and the pulse output circuit includes a level conversion circuit that converts a voltage range of the pulse from the shift register. An imaging device, wherein the pulse output circuit outputs pulses in a plurality of different voltage ranges.
【請求項7】 前記レベルシフト回路は、貫通電流を抑
制する貫通電流抑制回路を含むことを特徴とする請求項
6に記載の撮像装置。
7. The imaging device according to claim 6, wherein the level shift circuit includes a through current suppression circuit that suppresses a through current.
【請求項8】 前記処理トランジスタは、前記増幅トラ
ンジスタの制御電極をリセットするためのリセットトラ
ンジスタを含むことを特徴とする請求項6又は7に記載
の撮像装置。
8. The imaging device according to claim 6, wherein the processing transistor includes a reset transistor for resetting a control electrode of the amplification transistor.
【請求項9】 前記走査回路は、前記転送トランジスタ
の制御電極と前記処理トランジスタの制御電極に同振幅
のパルスを印加することを特徴とする請求項6乃至8の
いずれか1項に記載の撮像装置。
9. The imaging device according to claim 6, wherein the scanning circuit applies a pulse of the same amplitude to a control electrode of the transfer transistor and a control electrode of the processing transistor. apparatus.
【請求項10】 入射光を電気信号に変換して蓄積する
光電変換部と、前記光電変換部からの信号を増幅して出
力する増幅トランジスタと、前記増幅トランジスタの制
御電極をリセットするためのリセットトランジスタと所
定の処理を行う処理トランジスタとをそれぞれ含む複数
の画素と、 前記リセットトランジスタをオフに切り替えるための、
前記リセットトランジスタの制御電極に印加する信号レ
ベルを、前記処理トランジスタをオフに切り替えるため
の、前記処理トランジスタの制御電極に印加する信号レ
ベルよりも低くするように制御する走査回路とを有し、 前記走査回路は、シフトレジスタと、前記シフトレジス
タの各段にそれぞれ設けられた前記シフトレジスタかあ
のパルスに基づいて複数のパルスを出力するパルス出力
回路を有し、前記パルス出力回路は、前記シフトレジス
タからのパルスの電圧範囲を変換するレベル変換回路を
含み、前記パルス出力回路は、複数の異なる電圧範囲の
パルスを出力することを特徴とする撮像装置。
10. A photoelectric conversion unit that converts incident light into an electric signal and stores the electric signal, an amplification transistor that amplifies and outputs a signal from the photoelectric conversion unit, and a reset for resetting a control electrode of the amplification transistor. A plurality of pixels each including a transistor and a processing transistor for performing predetermined processing, and for switching off the reset transistor,
A scanning circuit for controlling the signal level applied to the control electrode of the reset transistor to be lower than the signal level applied to the control electrode of the processing transistor for switching off the processing transistor; The scanning circuit includes a shift register, and a pulse output circuit that outputs a plurality of pulses based on a pulse from the shift register provided at each stage of the shift register, and the pulse output circuit includes the shift register. An image pickup apparatus, comprising: a level conversion circuit for converting a voltage range of a pulse from a pulse generator;
【請求項11】 前記レベルシフト回路は、貫通電流を
抑制する貫通電流抑制回路を含むことを特徴とする請求
項10に記載の撮像装置。
11. The imaging device according to claim 10, wherein the level shift circuit includes a through current suppression circuit that suppresses a through current.
【請求項12】 前記処理トランジスタは、前記増幅ト
ランジスタから信号を出力するように前記増幅トランジ
スタに所定の電位を供給するための選択トランジスタを
含むことを特徴とする請求項10又は11に記載の撮像
装置。
12. The imaging device according to claim 10, wherein the processing transistor includes a selection transistor for supplying a predetermined potential to the amplification transistor so as to output a signal from the amplification transistor. apparatus.
【請求項13】 前記走査回路は、前記転送トランジス
タの制御電極と前記処理トランジスタの制御電極に同振
幅のパルスを印加することを特徴とする請求項10乃至
12のいずれか1項に記載の撮像装置。
13. The imaging device according to claim 10, wherein the scanning circuit applies a pulse having the same amplitude to a control electrode of the transfer transistor and a control electrode of the processing transistor. apparatus.
【請求項14】 入射光を電気信号に変換して蓄積する
光電変換部と、前記光電変換部からの信号に所定の処理
を行い出力する第1の処理トランジスタと、前記光電変
換部に蓄積されている前記電気信号を前記第1の処理ト
ランジスタに転送する転送トランジスタと、所定の処理
を行う第2の処理トランジスタとをそれぞれ含む複数の
画素と、 前記転送トランジスタをオフに切り替えるための、前記
転送トランジスタの制御電極に印加する信号レベルを、
前記第2の処理トランジスタをオフに切り替えるため
の、前記処理トランジスタの制御電極に印加する信号レ
ベルよりも低くするように制御する走査回路とを有し、 前記走査回路は、シフトレジスタと、前記シフトレジス
タの各段にそれぞれ設けられた前記シフトレジスタかあ
のパルスに基づいて複数のパルスを出力するパルス出力
回路を有し、前記パルス出力回路は、前記シフトレジス
タからのパルスの電圧範囲を変換するレベル変換回路を
含み、前記パルス出力回路は、複数の異なる電圧範囲の
パルスを出力することを特徴とする撮像装置。
14. A photoelectric conversion unit that converts incident light into an electric signal and stores the signal, a first processing transistor that performs predetermined processing on a signal from the photoelectric conversion unit and outputs the signal, and a signal that is stored in the photoelectric conversion unit. A plurality of pixels each including a transfer transistor for transferring the electrical signal to the first processing transistor, and a second processing transistor for performing predetermined processing; and the transfer for switching off the transfer transistor. The signal level applied to the control electrode of the transistor is
A scanning circuit for controlling the second processing transistor to be turned off so as to be lower than a signal level applied to a control electrode of the processing transistor, wherein the scanning circuit includes a shift register; A pulse output circuit for outputting a plurality of pulses based on the shift register provided in each stage of the register, wherein the pulse output circuit converts a voltage range of a pulse from the shift register; An imaging apparatus including a conversion circuit, wherein the pulse output circuit outputs pulses in a plurality of different voltage ranges.
【請求項15】 前記レベルシフト回路は、貫通電流を
抑制する貫通電流抑制回路を含むことを特徴とする請求
項13に記載の撮像装置。
15. The imaging device according to claim 13, wherein the level shift circuit includes a through current suppression circuit that suppresses a through current.
【請求項16】 前記走査回路は、前記転送トランジス
タの制御電極と前記第2の処理トランジスタの制御電極
に同振幅のパルスを印加することを特徴とする請求項1
3又は14に記載の撮像装置。
16. The scanning circuit according to claim 1, wherein the scanning circuit applies pulses of the same amplitude to a control electrode of the transfer transistor and a control electrode of the second processing transistor.
The imaging device according to 3 or 14.
【請求項17】 入射光を電気信号に変換して蓄積する
光電変換部と、前記光電変換部からの信号に所定の処理
を行い出力する第1の処理トランジスタと、リセット信
号を供給するためのリセットトランジスタと、所定の処
理を行う第2の処理トランジスタとをそれぞれ含む複数
の画素と、 前記転送トランジスタをオフに切り替えるための、前記
転送トランジスタの制御電極に印加する信号レベルを、
前記第2の処理トランジスタをオフに切り替えるため
の、前記処理トランジスタの制御電極に印加する信号レ
ベルよりも低くするように制御する走査回路を有し、 前記走査回路は、シフトレジスタと、前記シフトレジス
タの各段にそれぞれ設けられた前記シフトレジスタかあ
のパルスに基づいて複数のパルスを出力するパルス出力
回路を有し、前記パルス出力回路は、前記シフトレジス
タからのパルスの電圧範囲を変換するレベル変換回路を
含み、前記パルス出力回路は、複数の異なる電圧範囲の
パルスを出力することを特徴とする撮像装置。
17. A photoelectric conversion unit that converts incident light into an electric signal and accumulates the signal, a first processing transistor that performs predetermined processing on a signal from the photoelectric conversion unit and outputs the processed signal, and supplies a reset signal. A plurality of pixels each including a reset transistor and a second processing transistor that performs predetermined processing, and a signal level applied to a control electrode of the transfer transistor for switching off the transfer transistor,
A scanning circuit for controlling the second processing transistor to be turned off so as to be lower than a signal level applied to a control electrode of the processing transistor, wherein the scanning circuit includes a shift register; and the shift register. A pulse output circuit that outputs a plurality of pulses based on the pulse provided by the shift register provided at each stage, wherein the pulse output circuit converts a voltage range of a pulse from the shift register. An imaging apparatus including a circuit, wherein the pulse output circuit outputs pulses in a plurality of different voltage ranges.
【請求項18】 前記レベルシフト回路は、貫通電流を
抑制する貫通電流抑制回路を含むことを特徴とする請求
項16に記載の撮像装置。
18. The imaging device according to claim 16, wherein the level shift circuit includes a through current suppression circuit that suppresses a through current.
【請求項19】 前記走査回路は、前記リセットトラン
ジスタの制御電極と前記第2の処理トランジスタの制御
電極に同振幅のパルスを印加することを特徴とする請求
項16又は17に記載の撮像装置。
19. The imaging apparatus according to claim 16, wherein the scanning circuit applies pulses of the same amplitude to a control electrode of the reset transistor and a control electrode of the second processing transistor.
【請求項20】 入射光を電気信号に変換して蓄積する
光電変換部と、主電極が前記光電変換部と接続され所定
の処理を行う第1の処理トランジスタと、主電極が前記
光電変換部に接続されていない所定の処理を行う第2の
処理トランジスタとをそれぞれ含む複数の画素と、 前記第1のトランジスタをオフに切り替えるための、前
記第1のトランジスタの制御電極に印加する信号レベル
を、前記第2の処理トランジスタをオフに切り替えるた
めの、前記処理トランジスタの制御電極に印加する信号
レベルよりも低くするように制御する走査回路を有し、 前記走査回路は、シフトレジスタと、前記シフトレジス
タの各段にそれぞれ設けられた前記シフトレジスタかあ
のパルスに基づいて複数のパルスを出力するパルス出力
回路を有し、前記パルス出力回路は、前記シフトレジス
タからのパルスの電圧範囲を変換するレベル変換回路を
含み、前記パルス出力回路は、複数の異なる電圧範囲の
パルスを出力することを特徴とする撮像装置。
20. A photoelectric conversion unit for converting incident light into an electric signal and storing the electric signal, a first processing transistor having a main electrode connected to the photoelectric conversion unit and performing a predetermined process, and a main electrode comprising the photoelectric conversion unit. A plurality of pixels each including a second processing transistor that performs a predetermined process that is not connected to a plurality of pixels, and a signal level applied to a control electrode of the first transistor for switching off the first transistor. A scanning circuit for switching off the second processing transistor so as to be lower than a signal level applied to a control electrode of the processing transistor, wherein the scanning circuit includes a shift register and the shift circuit. A pulse output circuit that outputs a plurality of pulses based on the pulse of the shift register provided at each stage of the register; The output circuit includes a level converting circuit for converting the voltage range of the pulse from the shift register, the pulse output circuit includes an imaging device and outputs a pulse of a plurality of different voltage ranges.
【請求項21】 前記レベルシフト回路は、貫通電流を
抑制する貫通電流抑制回路を含むことを特徴とする請求
項19に記載の撮像装置。
21. The imaging device according to claim 19, wherein the level shift circuit includes a through current suppression circuit that suppresses a through current.
【請求項22】 前記制御回路は、前記第1の処理トラ
ンジスタの制御電極と前記第2の処理トランジスタの制
御電極に同振幅のパルスを印加することを特徴とする請
求項19又は20に記載の撮像装置。
22. The control circuit according to claim 19, wherein the control circuit applies pulses of the same amplitude to a control electrode of the first processing transistor and a control electrode of the second processing transistor. Imaging device.
【請求項23】 前記複数の画素に光を結像されるレン
ズと、前記複数の画素からの信号をディジタル信号に変
換するためにアナログ・ディジタル変換回路と、前記ア
ナログ・ディジタル変換回路からの信号を処理する信号
処理回路とを有することを特徴とする請求項6乃至21
のいずれか1項に記載の撮像装置。
23. A lens which forms an image on the plurality of pixels, an analog / digital conversion circuit for converting signals from the plurality of pixels into digital signals, and a signal from the analog / digital conversion circuit. 22. A signal processing circuit for processing
The imaging device according to any one of the above.
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